JP2020089818A - Actuator, and method for manufacturing actuator - Google Patents

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Abstract

To provide an actuator which can direct a magnet to a predetermined position of a yoke provided on a side opposite to a coil with respect to the magnet, and a method for manufacturing the same.SOLUTION: In the actuator, a magnetic driving circuit 6 is provided with a first yoke 86 opposite to a first coil 71 and a second coil 72 with respect to a first magnet 81 and a second magnet 82. The first yoke 86 is provided with a positioning projection 865 formed by projecting a part of the first yoke 86. In the positioning projection 865, a common projection 865c (first projection 865a and second projection 865b) specifies a position on the second magnet 82 side of the first magnet 81 and specifies a position on the first magnet 81 side of the second magnet 82. The first magnet 81 and the second magnet 82 are arranged at predetermined positions in a third direction Y by a third projection 865d and a third projection 865e.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法に関するものである。 The present invention relates to an actuator that vibrates a movable body and a method for manufacturing the actuator.

情報を振動によって報知するデバイスとして、支持体と、可動体と、可動体および支持体に接続された接続体と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路とを有するアクチュエータが提案されており、磁気駆動回路は、第1方向で対向するコイルおよび磁石によって、可動体を第1方向と交差する第2方向に駆動する(特許文献1参照)。特許文献1には、枠状の分銅の開口部に磁石を接着剤によって固定した振動アクチュエータが提案されている。かかる構造によれば、可動体上の所定位置に磁石を配置することができる。 An actuator having a support, a movable body, a connection body connected to the movable body and the support, and a magnetic drive circuit for moving the movable body relative to the support is proposed as a device for reporting information by vibration. The magnetic drive circuit drives the movable body in the second direction that intersects the first direction by the coil and the magnet that face each other in the first direction (see Patent Document 1). Patent Document 1 proposes a vibration actuator in which a magnet is fixed to an opening of a frame-shaped weight with an adhesive. With this structure, the magnet can be arranged at a predetermined position on the movable body.

特開2018−137995号公報JP, 2018-137995, A

引用文献1に記載の振動アクチュエータでは、磁石に対してコイルと反対側にヨークが設けられていないため、磁気効率が低いという問題点がある。また、ヨークの一方面に磁石を固定すれば、磁石を配置する開口部を設けた部材を必要としないので、構成の簡素化を図ることができる。しかしながら、ヨークの一方面に磁石を配置した構造では、磁石の位置がずれやすいという問題点がある。 The vibration actuator described in the cited document 1 has a problem that the magnetic efficiency is low because the yoke is not provided on the side opposite to the coil with respect to the magnet. Further, if the magnet is fixed to one surface of the yoke, a member provided with an opening for arranging the magnet is not required, so that the structure can be simplified. However, the structure in which the magnet is arranged on one surface of the yoke has a problem that the position of the magnet is easily displaced.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁石に対してコイルとは反対側に設けたヨークの所定位置に磁石を向けることのできるアクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法を提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an actuator capable of directing the magnet to a predetermined position of a yoke provided on the side opposite to the coil with respect to the magnet, and a method for manufacturing the actuator. ..

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を有し、前記可動体および前記支持体に接続する接続体と、磁気駆動回路と、を備え、前記磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第1コイルと、前記第1コイルの側に一方面を向けて前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられたヨークと、前記ヨークの前記一方面に前記第1コイルと第1方向で対向するように保持された第1磁石と、を備え、前記可動体を前記第1方向に対して交差する第2方向に駆動し、前記ヨークは、前記ヨークの一部が前記一方面から突出して前記第1磁石の前記ヨークの面内方向における位置決めを行う位置決め凸部を有することを特徴とする。 In order to solve the above problems, an actuator according to the present invention includes a support, a movable body, a connector having at least one of elasticity and viscoelasticity, and a magnetic body that is connected to the movable body and the support. A magnetic circuit, the magnetic drive circuit includes a first coil provided on one side member of the support body and the movable body, and the support body with one surface facing the side of the first coil. The movable body includes: a yoke provided on the other member of the movable body; and a first magnet held on the one surface of the yoke so as to face the first coil in the first direction. Is driven in a second direction intersecting the first direction, and a part of the yoke protrudes from the one surface to position the first magnet in the in-plane direction of the yoke. It is characterized by having a part.

本発明では、第1磁石に対して第1コイルとは反対側にヨークが設けられているため、磁気効率を高めることができる。また、第1磁石は、ヨークの一方面に保持されているが、ヨークの一方面から位置決め凸部が突出しているため、ヨークの一方面の所定位置に第1磁石を配置することができる。また、位置決め凸部は、ヨークの一部を突出させた部分であるため、位置決め凸部を設けても、コストの増大を抑制することができる。 In the present invention, since the yoke is provided on the side opposite to the first coil with respect to the first magnet, the magnetic efficiency can be improved. Further, the first magnet is held on one surface of the yoke, but since the positioning protrusion is projected from the one surface of the yoke, the first magnet can be arranged at a predetermined position on the one surface of the yoke. Further, since the positioning protrusion is a portion obtained by projecting a part of the yoke, even if the positioning protrusion is provided, an increase in cost can be suppressed.

本発明において、前記磁気駆動回路は、前記第1磁石と隣り合うように前記ヨークの前
記一方面に保持された第2磁石を備え、前記第1磁石の前記第2磁石側の磁極と前記第2磁石の前記第1磁石側の磁極とが異なっており、前記位置決め凸部は、前記第1磁石の前記第2磁石側の位置を規定する第1凸部と、前記第2磁石の前記第1磁石側の位置を規定する第2凸部と、を含む態様を採用することができる。かかる態様の場合には、第1磁石および第2磁石を配置する際、引力が作用するが、第1磁石は第1凸部によって第2磁石側の位置が規定され、第2磁石は第2凸部によって第1磁石側の位置が規定される。従って、ヨークの一方面の所定位置に第1磁石および第2磁石を配置することができる。
In the present invention, the magnetic drive circuit includes a second magnet held on the one surface of the yoke so as to be adjacent to the first magnet, and the magnetic pole on the second magnet side of the first magnet and the second magnet. The magnetic poles of the two magnets on the side of the first magnet are different, and the positioning convex portion defines a first convex portion that defines a position of the first magnet on the side of the second magnet, and the first convex portion of the second magnet. It is possible to adopt a mode including a second convex portion that defines the position on the side of one magnet. In this case, when the first magnet and the second magnet are arranged, an attractive force acts, but the position of the first magnet on the second magnet side is defined by the first convex portion, and the second magnet is arranged by the second magnet. The position on the first magnet side is defined by the convex portion. Therefore, the first magnet and the second magnet can be arranged at predetermined positions on one surface of the yoke.

本発明において、前記磁気駆動回路は、前記第1コイルと隣り合うように前記一方側部材に設けられた第2コイルを備え、前記第2磁石は、前記第2コイルと前記第1方向で対向している態様を採用することができる。 In the present invention, the magnetic drive circuit includes a second coil provided on the one side member so as to be adjacent to the first coil, and the second magnet faces the second coil in the first direction. The present embodiment can be adopted.

本発明において、前記第1凸部と前記第2凸部とは、共通の凸部からなる態様を採用することができる。 In the present invention, a mode in which the first convex portion and the second convex portion are common convex portions can be adopted.

本発明において、前記第1磁石と前記第2磁石とは、前記第2方向で隣り合っている態様を採用することができる。 In the present invention, it is possible to adopt a mode in which the first magnet and the second magnet are adjacent to each other in the second direction.

本発明において、前記位置決め凸部は、前記第1磁石と前記第2磁石とが隣り合う方向と交差する方向における前記第1磁石の位置決め、および前記第2磁石の位置決めを行う第3凸部を含む態様を採用することができる。かかる態様によれば、ヨークの一方面のうち、第1磁石および第2磁石が隣り合う方向と交差する方向における所定位置に第1磁石および第2磁石を配置することができる。 In the present invention, the positioning projection has a third projection for positioning the first magnet and for positioning the second magnet in a direction intersecting a direction in which the first magnet and the second magnet are adjacent to each other. The aspect including can be adopted. According to this aspect, the first magnet and the second magnet can be arranged at a predetermined position on the one surface of the yoke in a direction intersecting the direction in which the first magnet and the second magnet are adjacent to each other.

本発明において、前記位置決め凸部の前記一方面からの突出寸法は、前記第1磁石の厚さ、および前記第2磁石の厚さより低い態様を採用することができる。かかる態様によれば、アクチュエータを製造するにあたって、前記ヨークに前記第1磁石および前記第2磁石を配置する工程において、カートリッジの内部に積層された複数の磁石のうち、最も下方に位置する磁石をスライドさせて、前記第1磁石および前記第2磁石を前記ヨークの前記一方面に配置する際、位置決め凸部が邪魔にならない。 In the present invention, the protrusion size of the positioning protrusion from the one surface may be lower than the thickness of the first magnet and the thickness of the second magnet. According to this aspect, in manufacturing the actuator, in the step of disposing the first magnet and the second magnet in the yoke, the lowest magnet among the plurality of magnets stacked inside the cartridge is selected. When the first magnet and the second magnet are slid and arranged on the one surface of the yoke, the positioning protrusion does not interfere.

本発明において、前記ヨークの前記第1磁石に対して前記第2磁石と反対側、および前記第2磁石に対して前記第1磁石と反対側には、前記位置決め凸部が設けられていない態様を採用することができる。かかる態様によれば、アクチュエータを製造するにあたって、前記ヨークに前記第1磁石および前記第2磁石を配置する工程において、カートリッジの内部に積層された複数の磁石のうち、最も下方に位置する磁石をスライドさせて、前記第1磁石および前記第2磁石を前記ヨークの前記一方面に配置する際、位置決め凸部が邪魔にならない。 In the present invention, the positioning protrusion is not provided on the side of the yoke opposite to the second magnet with respect to the first magnet, and on the side of the second magnet opposite to the first magnet. Can be adopted. According to this aspect, in manufacturing the actuator, in the step of disposing the first magnet and the second magnet in the yoke, the lowest magnet among the plurality of magnets stacked inside the cartridge is selected. When the first magnet and the second magnet are slid and arranged on the one surface of the yoke, the positioning protrusion does not interfere.

本発明において、前記位置決め凸部は、前記ヨークの一部を前記一方面とは反対側の面から突出させた凸部である態様を採用することができる。 In the present invention, it is possible to adopt a mode in which the positioning projection is a projection in which a part of the yoke is projected from a surface opposite to the one surface.

本発明において、前記位置決め凸部は、前記ヨークの一部を折り曲げた凸部である態様を採用することができる。 In the present invention, it is possible to adopt a mode in which the positioning protrusion is a protrusion obtained by bending a part of the yoke.

本発明において、前記第1磁石および前記ヨークのうちの少なくとも一方には、前記第1磁石に対する着磁方向を示すマークが付されている態様を採用することができる。 In the present invention, it is possible to adopt a mode in which at least one of the first magnet and the yoke is provided with a mark indicating a magnetization direction with respect to the first magnet.

本発明では、第1磁石に対して第1コイルとは反対側にヨークが設けられているため、
磁気効率を高めることができる。また、第1磁石は、ヨークの一方面に保持されているが、ヨークの一方面から位置決め凸部が突出しているため、ヨークの一方面の所定位置に第1磁石を配置することができる。また、位置決め凸部は、ヨークの一部を突出させた部分であるため、位置決め凸部を設けても、コストの増大を抑制することができる。
In the present invention, since the yoke is provided on the side opposite to the first coil with respect to the first magnet,
The magnetic efficiency can be increased. Further, the first magnet is held on one surface of the yoke, but since the positioning protrusion is projected from the one surface of the yoke, the first magnet can be arranged at a predetermined position on the one surface of the yoke. Further, since the positioning protrusion is a portion obtained by projecting a part of the yoke, even if the positioning protrusion is provided, an increase in cost can be suppressed.

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図。The perspective view of the actuator concerning the embodiment of the present invention. 図1に示すアクチュエータのXZ断面図。The XZ sectional view of the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータを分解して第1方向の一方側からみたときの分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator shown in FIG. 1 when disassembled and viewed from one side in a first direction. 図1に示すアクチュエータを分解して第1方向の他方側からみたときの分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator shown in FIG. 1 when disassembled and viewed from the other side in the first direction. 図2に示す磁気駆動回路の分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit shown in FIG. 2. 図5に示すホルダおよびコイル等の説明図。Explanatory drawing of a holder, a coil, etc. which are shown in FIG. 図6に示すホルダ等の説明図。Explanatory drawing of the holder etc. which are shown in FIG. 図2に示す可動体の説明図。Explanatory drawing of the movable body shown in FIG. 図7に示す第1ヨーク等の説明図。Explanatory drawing of the 1st yoke etc. which are shown in FIG. 図7に示す第2ヨーク等の説明図。Explanatory drawing of the 2nd yoke etc. which are shown in FIG. 図10に示す第2ヨークに磁石を搭載する工程を示す説明図。Explanatory drawing which shows the process of mounting a magnet in the 2nd yoke shown in FIG. 本発明の別の実施形態に係るアクチュエータの説明図。Explanatory drawing of the actuator which concerns on another embodiment of this invention.

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する3つの方向を各々、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yとして説明する。また、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yは、互いに直交する方向である。また、第2方向Xの一方側にX1を付し、第2方向Xの他方側にX2を付し、第3方向Yの一方側にY1を付し、第3方向Yの他方側にY2を付し、第1方向Zの一方側にZ1を付し、第1方向Zの他方側にZ2を付して説明する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the three directions that intersect each other will be described as a first direction Z, a second direction X, and a third direction Y, respectively. Further, the first direction Z, the second direction X, and the third direction Y are directions orthogonal to each other. Further, X1 is attached to one side of the second direction X, X2 is attached to the other side of the second direction X, Y1 is attached to one side of the third direction Y, and Y2 is attached to the other side of the third direction Y. , Z1 is attached to one side of the first direction Z, and Z2 is attached to the other side of the first direction Z.

また、以下に説明するアクチュエータ1の磁気駆動回路6では、コイル7が支持体2(一方側部材)の側に設けられ、磁石8が可動体3(他方側部材)の側に設けられた態様、および磁石8が支持体2(他方側部材)の側に設けられ、コイル7が可動体3(一方側部材)の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル7が支持体2の側に設けられ、磁石8が可動体3の側に設けられた態様を中心に説明する。 In the magnetic drive circuit 6 of the actuator 1 described below, the coil 7 is provided on the support 2 (one side member) side, and the magnet 8 is provided on the movable body 3 (other side member) side. , And the magnet 8 are provided on the side of the support body 2 (member on the other side), and the coil 7 is provided on the side of the movable body 3 (member on the one side). In the following description, the coil 7 is provided on the support body 2 side and the magnet 8 is provided on the movable body 3 side.

(全体構成)
図1は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ1の斜視図である。図2は、図1に示すアクチュエータ1のXZ断面図である。図3は、図1に示すアクチュエータ1を分解して第1方向Zの一方側Z1からみたときの分解斜視図である。図4は、図1に示すアクチュエータ1を分解して第1方向Zの他方側Z2からみたときの分解斜視図である。
(overall structure)
FIG. 1 is a perspective view of an actuator 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an XZ sectional view of the actuator 1 shown in FIG. FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator 1 shown in FIG. 1 when disassembled and viewed from one side Z1 of the first direction Z. FIG. 4 is an exploded perspective view when the actuator 1 shown in FIG. 1 is disassembled and viewed from the other side Z2 in the first direction Z.

図1および図2に示すように、本形態のアクチュエータ1は、全体として、第2方向Xの寸法が第3方向Yの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図2に示すように、アクチュエータ1は、支持体2と、支持体2に移動可能に支持された可動体3と、可動体3を支持体2に対して相対移動させる磁気駆動回路6とを有しており、磁気駆動回路6は、可動体3を第2方向Xに振動させる。また、アクチュエータ1には、支持体2および可動体3に接続された接続体90が設けられている。
おいて
As shown in FIGS. 1 and 2, the actuator 1 of the present embodiment has a rectangular parallelepiped shape in which the dimension in the second direction X is larger than the dimension in the third direction Y as a whole. In addition, as shown in FIG. 2, the actuator 1 includes a support body 2, a movable body 3 movably supported by the support body 2, and a magnetic drive circuit 6 for relatively moving the movable body 3 with respect to the support body 2. The magnetic drive circuit 6 vibrates the movable body 3 in the second direction X. Further, the actuator 1 is provided with a connection body 90 connected to the support body 2 and the movable body 3.
In advance

図1、図2および図3に示すように、支持体2は、第1方向Zの一方側Z1から他方側
Z2に順に重ねられた第1ケース部材16、ホルダ60、および第2ケース部材17を有しており、第1ケース部材16と第2ケース部材17との間に可動体3および磁気駆動回路6が配置される。第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17は各々、四角形の平面形状を有している。第1ケース部材16の角部である第1角部160、ホルダ60の角部である第2角部600、および第2ケース部材17の角部である第3角部170は第1方向Zで重なっている。本形態において、第1ケース部材16、ホルダ60、および第2ケース部材17は各々、樹脂製である。
As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the support 2 includes a first case member 16, a holder 60, and a second case member 17, which are sequentially stacked from one side Z1 to the other side Z2 in the first direction Z. The movable body 3 and the magnetic drive circuit 6 are arranged between the first case member 16 and the second case member 17. The first case member 16, the holder 60 and the second case member 17 each have a quadrangular planar shape. The first corner 160, which is the corner of the first case member 16, the second corner 600, which is the corner of the holder 60, and the third corner 170, which is the corner of the second case member 17, are in the first direction Z. It overlaps with. In the present embodiment, the first case member 16, the holder 60, and the second case member 17 are each made of resin.

図3および図4に示すように、第1ケース部材16は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部161と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部162と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部163と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部164とによって囲まれた底板部165を有している。第1方向Zからみたとき、第1壁部161および第2壁部162の幅(第2方向Xの寸法)は、第3壁部163および第4壁部164の幅(第3方向Yの寸法)より広い。 As shown in FIGS. 3 and 4, the first case member 16 includes a first wall portion 161 located on one side X1 of the second direction X and a second wall portion located on the other side X2 of the second direction X. 162, a third wall portion 163 located on one side Y1 in the third direction Y, and a fourth wall portion 164 located on the other side Y2 in the third direction Y, and has a bottom plate portion 165. .. When viewed from the first direction Z, the widths (dimensions in the second direction X) of the first wall portion 161 and the second wall portion 162 are the widths of the third wall portion 163 and the fourth wall portion 164 (in the third direction Y). Dimension) wider.

第1ケース部材16の4つの角付近の各々には、第1方向Zの他方側Z2に向けて開口した位置決め用の穴16cが形成されている。また、第1ケース部材16の一方の対角位置には、タッピングネジからなるネジ18を止めるための有底の穴16eが形成され、他方の対角位置には貫通穴16fが形成されている。 Positioning holes 16c opened toward the other side Z2 in the first direction Z are formed near each of the four corners of the first case member 16. Further, a bottomed hole 16e for stopping the screw 18 made of a tapping screw is formed in one diagonal position of the first case member 16, and a through hole 16f is formed in the other diagonal position. ..

底板部165の第1方向Zの他方側Z2の面には、第2方向Xで並ぶ2つの凹部166、167が形成されている。凹部166の第2方向Xの一方側X1の角、および凹部167の第2方向Xの他方側X2の角には貫通穴16aが形成されている。凹部166、167の第3方向Yの両端部には貫通穴16bが形成されている。 On the surface of the bottom plate portion 165 on the other side Z2 in the first direction Z, two recesses 166 and 167 arranged in the second direction X are formed. Through holes 16a are formed at the corners of the recess 166 on one side X1 in the second direction X and the corners of the recess 167 on the other side X2 in the second direction X. Through holes 16b are formed at both ends of the recesses 166 and 167 in the third direction Y.

第3壁部163の外面では、第3方向Yの他方側Y2に凹んだ凹部168が第2方向Xに沿って延在している。第3壁部163では、第1方向Zの他方側Z2に突出した複数の凸板部163aが第2方向Xに沿って所定の間隔に形成されている。第1壁部161および第2壁部162には、第1方向Zの他方側Z2に突出した円柱状の凸部161h、162hが形成されている。また、第1壁部161および第2壁部162には、外縁から第1方向Zの他方側Z2に突出した凸板部161a、162aが第3方向Yの中央に形成されている。 On the outer surface of the third wall portion 163, a concave portion 168 recessed on the other side Y2 in the third direction Y extends along the second direction X. In the third wall portion 163, a plurality of convex plate portions 163a protruding toward the other side Z2 in the first direction Z are formed along the second direction X at predetermined intervals. The first wall portion 161 and the second wall portion 162 are formed with columnar protrusions 161h and 162h protruding toward the other side Z2 in the first direction Z. Further, on the first wall portion 161 and the second wall portion 162, convex plate portions 161a and 162a protruding from the outer edge to the other side Z2 in the first direction Z are formed in the center in the third direction Y.

第2ケース部材17は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部171と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部172と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部173と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部174とによって囲まれた底板部175を有している。第1方向Zからみたとき、第1壁部171および第2壁部172の幅(第2方向Xの寸法)は、第3壁部173および第4壁部174の幅(第3方向Yの寸法)より広い。 The second case member 17 includes a first wall portion 171 located on one side X1 of the second direction X, a second wall portion 172 located on the other side X2 of the second direction X, and one side of the third direction Y. The bottom plate part 175 is surrounded by the third wall part 173 located in Y1 and the fourth wall part 174 located on the other side Y2 in the third direction Y. When viewed from the first direction Z, the widths of the first wall portion 171 and the second wall portion 172 (dimensions in the second direction X) are the widths of the third wall portion 173 and the fourth wall portion 174 (in the third direction Y). Dimension) wider.

第2ケース部材16の4つの角付近の各々には、第1方向Zの一方側Z1に向けて開口した位置決め用の凹部17dが形成されている。また、第2ケース部材17の一方の対角位置には、ネジ18を止めるための貫通穴17eが形成され、他方の対角位置には貫通穴17fが形成されている。 Positioning recesses 17d that are open toward the one side Z1 in the first direction Z are formed near each of the four corners of the second case member 16. A through hole 17e for fixing the screw 18 is formed at one diagonal position of the second case member 17, and a through hole 17f is formed at the other diagonal position.

底板部175の第1方向Zの一方側Z1の面には、第2方向Xで並ぶ2つの凹部176、177が形成されている。また、凹部176、177の縁には、切り欠き17bが形成されている。 On the surface of the bottom plate portion 175 on the one side Z1 in the first direction Z, two recesses 176 and 177 arranged in the second direction X are formed. Further, notches 17b are formed at the edges of the recesses 176 and 177.

第3壁部173の外面では、第3方向Yの他方側Y2に凹んだ凹部178が第2方向X
に沿って延在している。第1壁部171および第2壁部172には、第1ケース部材16の凸部161h、162hが嵌る穴171h、172hが形成されている。第1壁部171には、第1方向Zの一方側Z1に突出した凸板部171aが第3方向Yの中央に形成されている。
On the outer surface of the third wall portion 173, a concave portion 178 recessed on the other side Y2 in the third direction Y has a second direction X.
Extends along. The first wall portion 171 and the second wall portion 172 are formed with holes 171h and 172h into which the convex portions 161h and 162h of the first case member 16 fit. On the first wall portion 171, a convex plate portion 171a protruding in one side Z1 of the first direction Z is formed at the center in the third direction Y.

(磁気駆動回路6の構成)
図5は、図2に示す磁気駆動回路6の分解斜視図である。図2および図5に示すように、磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。コイル7は、第2方向Xで並列するように配置された第1コイル71および第2コイル72からなり、コイル7は、支持体2のうち、ホルダ60に保持されている。
(Structure of magnetic drive circuit 6)
FIG. 5 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit 6 shown in FIG. As shown in FIGS. 2 and 5, the magnetic drive circuit 6 includes a coil 7 and a magnet 8 that faces the coil 7 in the first direction Z. The coil 7 includes a first coil 71 and a second coil 72 that are arranged in parallel in the second direction X, and the coil 7 is held by the holder 60 of the support body 2.

(コイル7およびホルダ60の構成)
図6は、図5に示すホルダ60およびコイル7等の説明図である。図7は、図6に示すホルダ60等の説明図である。図6および図7に示すように、コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルであり、第3方向Yの一方側Y1にコイル線の端部705が引き出されている。
(Configuration of coil 7 and holder 60)
FIG. 6 is an explanatory view of the holder 60, the coil 7 and the like shown in FIG. FIG. 7 is an explanatory diagram of the holder 60 and the like shown in FIG. As shown in FIGS. 6 and 7, the coil 7 is an elliptical air-core coil in which the long side 701 (effective portion) extends in the third direction Y, and the coil 7 is provided on one side Y1 of the third direction Y. The end 705 of the line is pulled out.

ホルダ60は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部61と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部62と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部63と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部64とによって囲まれた底板部65を有している。第1方向Zからみたとき、第1壁部61および第2壁部62の幅(第2方向Xの寸法)は、第3壁部63および第4壁部64の幅(第3方向Yの寸法)より広い。 The holder 60 is located on one side Y1 of the second direction X, the first wall portion 61 located on the other side X2 of the second direction X, and the one side Y1 of the third direction Y. The bottom plate portion 65 is surrounded by the third wall portion 63 and the fourth wall portion 64 located on the other side Y2 in the third direction Y. When viewed in the first direction Z, the widths of the first wall portion 61 and the second wall portion 62 (dimensions in the second direction X) are the widths of the third wall portion 63 and the fourth wall portion 64 (in the third direction Y). Dimension) wider.

ホルダ60の一方の対角位置には、ネジ18を通すための貫通穴60eが形成され、他方の対角位置には貫通穴60fが形成されている。第3壁部63および第4壁部64の第2方向Xの両端には、第1方向Zの一方側Z1に突出した位置決め用の凸部60cと、第1方向Zの他方側Z2に突出した位置決め用の凸部60dとが形成されている。 A through hole 60e for passing the screw 18 is formed in one diagonal position of the holder 60, and a through hole 60f is formed in the other diagonal position. At both ends of the third wall portion 63 and the fourth wall portion 64 in the second direction X, positioning projections 60c protruding in one side Z1 of the first direction Z and protruding in the other side Z2 of the first direction Z. The positioning convex portion 60d is formed.

底板部65には、2つのコイル保持穴651、652が第2方向Xで並列するように形成されており、コイル保持穴651、652の各々に第1コイル71および第2コイル72が配置されている。コイル保持穴651、652は貫通穴であり、第3方向Yの両端部には、第1方向Zの他方側Z2でコイル保持穴651、652の一部に重なるように張り出した受け部641、642が形成されている。従って、第1コイル71および第2コイル72を第1方向Zの一方側Z1からコイル保持穴651、652に装着すると、コイル7の短辺702(無効部分)が受け部641、642によって第1方向Zの他方側Z1で支持された状態となる。この状態で、ホルダ60には第1方向Zの一方側Z1からプレート26が重ねられ、プレート26は、接着剤によって第1コイル71および第2コイル72と固定されるとともに、ホルダ60に固定される。プレート26は、例えば、アルミニウムやステンレス等の非磁性の金属板である。 Two coil holding holes 651 and 652 are formed in the bottom plate portion 65 so as to be juxtaposed in the second direction X, and the first coil 71 and the second coil 72 are arranged in each of the coil holding holes 651 and 652. ing. The coil holding holes 651 and 652 are through holes, and the receiving portions 641 projecting at both ends in the third direction Y so as to overlap with the coil holding holes 651 and 652 on the other side Z2 in the first direction Z, 642 is formed. Therefore, when the first coil 71 and the second coil 72 are mounted in the coil holding holes 651 and 652 from the one side Z1 in the first direction Z, the short side 702 (ineffective portion) of the coil 7 is moved to the first by the receiving portions 641 and 642. It is supported by the other side Z1 in the direction Z. In this state, the plate 26 is superposed on the holder 60 from the one side Z1 in the first direction Z, and the plate 26 is fixed to the first coil 71 and the second coil 72 by an adhesive and also fixed to the holder 60. It The plate 26 is, for example, a non-magnetic metal plate such as aluminum or stainless steel.

ホルダ60には、コイル保持穴651と第1壁部61との間に第1開口部601が形成され、コイル保持穴652と第2壁部62との間に第2開口部602が形成されている。第1開口部601、および第2開口部602はホルダ60の底板部65を第1方向Zで貫通している。第1開口部601、および第2開口部602の内周面には切り欠き603が形成されている。 The holder 60 has a first opening 601 formed between the coil holding hole 651 and the first wall portion 61, and a second opening 602 formed between the coil holding hole 652 and the second wall portion 62. ing. The first opening 601 and the second opening 602 penetrate the bottom plate portion 65 of the holder 60 in the first direction Z. Notches 603 are formed on the inner peripheral surfaces of the first opening 601 and the second opening 602.

第1壁部61において、第2角部600の間には、第1方向Zの一方側Z1に凹部611(図2および図4参照)が形成され、第1方向Zの他方側Z2に凹部612が形成されている。第2壁部62において、第2角部600の間には、第1方向Zの一方側Z1に凹部621(図2および図4参照)が形成され、第1方向Zの他方側Z2に凹部622が形
成されている。従って、4つの第2角部600は、第1方向Zの両側に向けて突出した構造になっている。
In the first wall portion 61, a recess 611 (see FIGS. 2 and 4) is formed between the second corners 600 on one side Z1 in the first direction Z, and a recess is formed on the other side Z2 in the first direction Z. 612 is formed. In the second wall portion 62, a recess 621 (see FIGS. 2 and 4) is formed between the second corners 600 on one side Z1 in the first direction Z, and a recess is formed on the other side Z2 in the first direction Z. 622 is formed. Therefore, the four second corners 600 have a structure protruding toward both sides in the first direction Z.

第3壁部63の外面では、第3方向Yの他方側Y2に凹んだ凹部630が第2方向Xに沿って延在しており、凹部630の底部には、第1方向Zの一方側Z1に開口した切り欠き状の引き出し部68が第2方向Xに沿って複数、形成されている。また、凹部630のうち、引き出し部68によって挟まれた部分は、凹部630の底部からさらに第3方向Yの他方側に凹んだ凹部630aになっている。 On the outer surface of the third wall 63, a recess 630 recessed in the other side Y2 in the third direction Y extends along the second direction X, and the bottom of the recess 630 has one side in the first direction Z. A plurality of cutout-shaped lead-out portions 68 having openings Z1 are formed along the second direction X. In addition, the portion of the recess 630 sandwiched by the lead-out portions 68 is a recess 630a that is further recessed from the bottom of the recess 630 to the other side in the third direction Y.

凹部630の底部には、凹部630aに対して第2方向Xでずれた位置で第3方向Yの一方側Y1に突出した係合凸部69が第2方向Xに沿って複数、形成されている。本形態において、係合凸部69は3か所に形成されている。 A plurality of engaging protrusions 69 protruding in one side Y1 of the third direction Y at positions displaced from the recess 630a in the second direction X are formed on the bottom of the recess 630a along the second direction X. There is. In this embodiment, the engaging protrusions 69 are formed at three places.

(支持体2の構成)
本形態では、第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17を第1方向Zに重ねた状態で、第2ケース部材17の貫通穴17e、ホルダ60の貫通穴60e、および第2ケース部材17の貫通穴17eにネジ18を止め、第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17を第1方向Zで締結する。ネジ18を止めた際、ネジ18の頭は、第2ケース部材17から第1方向Zの他方側Z2に突出しない。
(Structure of support 2)
In this embodiment, the first case member 16, the holder 60, and the second case member 17 are stacked in the first direction Z, and the through hole 17e of the second case member 17, the through hole 60e of the holder 60, and the second case are provided. The screw 18 is fixed to the through hole 17e of the member 17, and the first case member 16, the holder 60 and the second case member 17 are fastened in the first direction Z. When the screw 18 is stopped, the head of the screw 18 does not project from the second case member 17 to the other side Z2 in the first direction Z.

また、第1ケース部材16の第1角部160とホルダ60の第2角部600との間に接着剤が充填され、ホルダ60の第2角部600と第2ケース部材17の第3角部170との間に接着剤が充填される。 Further, an adhesive is filled between the first corner portion 160 of the first case member 16 and the second corner portion 600 of the holder 60, and the second corner portion 600 of the holder 60 and the third corner portion of the second case member 17 are filled. An adhesive is filled between the part 170 and the part 170.

このようにして、第1ケース部材16、ホルダ60、および第2ケース部材17によって支持体2が形成される。その際、第1ケース部材16の凸部161h、162hは各々、ホルダ60の穴61h、62hを貫通して第2ケース部材17の穴171h、172hに嵌る。また、第1ケース部材16の穴16cにホルダ60の凸部60cが嵌り、第2ケース部材17の凹部17cにホルダ60の凸部60dが嵌る。従って、第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17は互いに位置決めされた状態で連結される。また、第1ケース部材16の凸板部163aがホルダ60の凹部630aに重なる。 In this way, the support body 2 is formed by the first case member 16, the holder 60, and the second case member 17. At this time, the convex portions 161h and 162h of the first case member 16 penetrate the holes 61h and 62h of the holder 60 and fit into the holes 171h and 172h of the second case member 17, respectively. Further, the convex portion 60c of the holder 60 fits into the hole 16c of the first case member 16, and the convex portion 60d of the holder 60 fits into the concave portion 17c of the second case member 17. Therefore, the first case member 16, the holder 60, and the second case member 17 are connected to each other while being positioned with respect to each other. Further, the convex plate portion 163a of the first case member 16 overlaps the concave portion 630a of the holder 60.

なお、第2ケース部材17の貫通穴17f、ホルダ60の貫通穴60f、および第2ケース部材17の貫通穴17fは、アクチュエータ1を各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ(図示せず)が止められる。 The through hole 17f of the second case member 17, the through hole 60f of the holder 60, and the through hole 17f of the second case member 17 are screws (not shown) for fixing to the frame of the device when the actuator 1 is mounted on various devices. (Not shown) is stopped.

(コイル7の端部の処理)
本形態では、ホルダ60の第3壁部63の外面に配線基板15が固定される。配線基板15には、引き出し部68と重なる部分に切り欠き158が形成されている。また、配線基板15には、係合凸部69と重なる部分に複数の係合穴159が形成されている。本形態では、係合凸部69の数に対応して、複数の係合穴159として3つの係合穴159が形成されており、3つの係合穴159のうち、中央の係合穴159は、切り欠き158と繋がった切り欠き状に形成されている。
(Treatment of the end of the coil 7)
In this embodiment, the wiring board 15 is fixed to the outer surface of the third wall portion 63 of the holder 60. A notch 158 is formed in the wiring board 15 at a portion overlapping the lead portion 68. Further, the wiring board 15 has a plurality of engagement holes 159 formed in a portion overlapping the engagement protrusion 69. In the present embodiment, three engaging holes 159 are formed as the plurality of engaging holes 159 in correspondence with the number of engaging convex portions 69, and among the three engaging holes 159, the central engaging hole 159. Are formed in a notch shape connected to the notch 158.

配線基板15は、係合凸部69と係合穴159とが係合した状態で、ホルダ60の第3壁部63の外面に接着剤により固定されている。配線基板15には、第1コイル71の端部705、および第2コイル72の端部705が電気的に接続されるランド151と、外部からの配線部材(図示せず)が電気的に接続されるランド152とが形成されており、第1コイル71の端部および第2コイル72の端部705は、引き出し部68を介してランド151まで引き回された後、ハンダによりランド151に電気的に接続される。なお
、ランド151とランド152とは配線パターン(図示せず)を介して繋がっている。
The wiring board 15 is fixed to the outer surface of the third wall portion 63 of the holder 60 with an adhesive in a state where the engagement protrusion 69 and the engagement hole 159 are engaged with each other. On the wiring board 15, a land 151 to which the end 705 of the first coil 71 and the end 705 of the second coil 72 are electrically connected, and a wiring member (not shown) from the outside are electrically connected. The end portion 705 of the first coil 71 and the end portion 705 of the second coil 72 are drawn to the land 151 via the lead-out portion 68, and then electrically connected to the land 151 by soldering. Connected to each other. The land 151 and the land 152 are connected via a wiring pattern (not shown).

本形態では、ランド151が3つ形成されており、第1コイル71の巻き終わりの端部705、および第2コイル72の巻き始めの端部705は、中央のランド151に電気的に接続される。従って、第1コイル71と第2コイル72とは直列に電気的に接続される。なお、第1コイル71と第2コイル72とは、並列に電気的に接続してもよい。 In this embodiment, three lands 151 are formed, and the winding end end 705 of the first coil 71 and the winding start end 705 of the second coil 72 are electrically connected to the central land 151. It Therefore, the first coil 71 and the second coil 72 are electrically connected in series. The first coil 71 and the second coil 72 may be electrically connected in parallel.

(可動体3の構成)
図8は、図2に示す可動体3の説明図である。図9は、図8に示す第1ヨーク86等の説明図である。図10は、図8に示す第2ヨーク87等の説明図である。
(Structure of the movable body 3)
FIG. 8 is an explanatory diagram of the movable body 3 shown in FIG. FIG. 9 is an explanatory diagram of the first yoke 86 and the like shown in FIG. FIG. 10 is an explanatory diagram of the second yoke 87 and the like shown in FIG.

図8に示すように、図2等に示す可動体3は、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1で対向する平板部860を備えた第1ヨーク86と、コイル7に対して第1方向Zの他方側Z2で対向する平板部870を備えた第2ヨーク87と、磁石8とを有している。磁石8は、第1ヨーク86の平板部860のコイル7と対向する面、および第2ヨーク87の平板部870のコイル7と対向する面の少なくとも一方に保持されてコイル7に第1方向Zで対向している。 As shown in FIG. 8, the movable body 3 shown in FIG. 2 and the like includes a first yoke 86 including a flat plate portion 860 facing the coil 7 on the one side Z1 in the first direction Z, and a coil 7 with respect to the coil 7. The magnet 8 is provided with the second yoke 87 having the flat plate portion 870 facing each other on the other side Z2 in the first direction Z. The magnet 8 is held on at least one of the surface of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 facing the coil 7 and the surface of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 facing the coil 7, and is held by the coil 7 in the first direction Z. Are facing each other.

本形態においては、図9に示すように、可動体3は、磁石8として、第1ヨーク86の平板部860のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された第1磁石81と、第2ヨーク87の平板部870のコイル7と対向する面のうち、第1方向Zに対して交差する方向で第1磁石81と隣り合う第2磁石82とを備えている。本形態において、第1磁石81と第2磁石82は第2方向Xで隣り合っている。従って、第1磁石81は、第1コイル71の長辺701に第1方向Zの一方側Z1で対向し、第2磁石82は、第2コイル72の長辺701に第1方向Zの一方側Z1で対向している。 In the present embodiment, as shown in FIG. 9, the movable body 3 serves as a magnet 8 and a first magnet 81 fixed to the surface of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 facing the coil 7 by a method such as adhesion. Of the surface of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 facing the coil 7, the second magnet 82 adjacent to the first magnet 81 in the direction intersecting the first direction Z is provided. In the present embodiment, the first magnet 81 and the second magnet 82 are adjacent to each other in the second direction X. Therefore, the first magnet 81 faces the long side 701 of the first coil 71 on one side Z1 in the first direction Z, and the second magnet 82 faces the long side 701 of the second coil 72 in the first direction Z one side. Opposed on the side Z1.

また、図10に示すように、可動体3は、磁石8として、第2ヨーク87の平板部870のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された第1磁石83と、第2ヨーク87の平板部870のコイル7と対向する面のうち、第1方向Zに対して交差する方向で第1磁石83と隣り合う第2磁石84とを備えている。本形態において、第1磁石83と第2磁石84は、第2方向Xで隣り合っている。従って、第1磁石83は、第1コイル71の長辺701に第1方向Zの他方側Z2で対向し、第2磁石84は、第2コイル72の長辺701に第1方向Zの他方側Z2で対向している。 In addition, as shown in FIG. 10, the movable body 3 includes, as the magnet 8, a first magnet 83 fixed to the surface of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 facing the coil 7 by a method such as bonding, and a second magnet 83. Of the surface of the flat plate portion 870 of the yoke 87 that faces the coil 7, the second magnet 84 that is adjacent to the first magnet 83 in the direction intersecting the first direction Z is provided. In the present embodiment, the first magnet 83 and the second magnet 84 are adjacent to each other in the second direction X. Therefore, the first magnet 83 faces the long side 701 of the first coil 71 on the other side Z2 in the first direction Z, and the second magnet 84 contacts the long side 701 of the second coil 72 on the other side in the first direction Z. Opposed on the side Z2.

本形態において、第1磁石81、83、および第2磁石82、84は各々、厚さ方向(第1方向Z)および幅方向(X方向)で分極着磁されている。第1磁石81と第2磁石82とは、隣り合う方向(第2方向X)で同一方向に着磁され、第1磁石83と第2磁石84とは、隣り合う方向(第2方向X)で同一方向に着磁されている。従って、第1磁石81の第2磁石82側の磁極と第2磁石82の第1磁石81側の磁極とが異なっており、第1磁石83の第2磁石84側の磁極と第2磁石84の第1磁石83側の磁極とが異なっている。 In this embodiment, the first magnets 81 and 83 and the second magnets 82 and 84 are polarized and magnetized in the thickness direction (first direction Z) and the width direction (X direction), respectively. The first magnet 81 and the second magnet 82 are magnetized in the same direction in the adjacent direction (second direction X), and the first magnet 83 and the second magnet 84 are adjacent direction (second direction X). Are magnetized in the same direction. Therefore, the magnetic poles of the first magnet 81 on the second magnet 82 side and the magnetic poles of the second magnet 82 on the first magnet 81 side are different, and the magnetic poles of the first magnet 83 on the second magnet 84 side and the second magnet 84. Is different from the magnetic pole on the first magnet 83 side.

また、第1磁石81と第1磁石83とは、隣り合う方向(第2方向X)で逆方向に着磁され、第2磁石82と第2磁石84とは、隣り合う方向(第2方向X)で逆方向に着磁されている。従って、第1磁石81と第1磁石83とでは、第1コイル71に対向する面の磁極が異なっており、第2磁石82と第2磁石84とでは、第2コイル72に対向する面の磁極が異なっている。 Further, the first magnet 81 and the first magnet 83 are magnetized in opposite directions in the adjacent direction (second direction X), and the second magnet 82 and the second magnet 84 are adjacent to each other (second direction). X) is magnetized in the opposite direction. Therefore, the first magnet 81 and the first magnet 83 have different magnetic poles on the surface facing the first coil 71, and the second magnet 82 and the second magnet 84 have different magnetic poles on the surface facing the second coil 72. The magnetic poles are different.

図8、図9および図10に示すように、第1ヨーク86は、平板部860の第2方向の一方側X1の端部から第1方向Zの他方側Z2に延在して第2ヨーク87と連結された第
1連結板部861と、平板部860の第2方向の他方側X2の端部から第1方向Zの他方側Z2に延在して第2ヨーク87と連結された第2連結板部862とを備えている。第1連結板部861および第2連結板部862は平板部860より第3方向Yの寸法が小さく、第1連結板部861および第2連結板部862の両側には切り欠き869が形成されている。ここで、図3および図4に示すように、第1連結板部861は、コイル7に対して第2方向Xの一方側X1でホルダ60の第1開口部601を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて延在し、第2連結板部862は、コイル7に対して第2方向Xの他方側Z2でホルダ60の第2開口部602を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて延在している。
As shown in FIGS. 8, 9 and 10, the first yoke 86 extends from the end of the flat plate portion 860 on the one side X1 in the second direction to the other side Z2 in the first direction Z and extends to the second yoke 86. 87 and a first connecting plate portion 861 connected to the second yoke 87 extending from the end of the flat plate portion 860 on the other side X2 in the second direction to the other side Z2 in the first direction Z. Two connecting plate portions 862 are provided. The first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 have smaller dimensions in the third direction Y than the flat plate portion 860, and the notches 869 are formed on both sides of the first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862. ing. Here, as shown in FIGS. 3 and 4, the first connecting plate portion 861 passes through the first opening 601 of the holder 60 on the one side X1 of the second direction X with respect to the coil 7 in the first direction Z. Of the second connecting plate portion 862 extending toward the other side Z2 of the holder 60 through the second opening 602 of the holder 60 on the other side Z2 of the coil 7 in the second direction X. It extends toward the side Z2.

本形態では、第1連結板部861および第2連結板部862は、溶接により第2ヨーク87の端部と連結されている。より具体的には、第1連結板部861の第1方向Zの他方側Z2の端部861aは、第2ヨーク87の平板部870の第1側面871に重なって第1連結板部861と第2ヨーク87の第1側面871とが溶接されている。同様に、第2連結板部862の第1方向Zの他方側Z2の端部862aは、第2ヨーク87の平板部870の第2側面872に重なって第2連結板部862と第2ヨーク87の第2側面872とが溶接されている。 In this embodiment, the first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 are connected to the end portion of the second yoke 87 by welding. More specifically, the end portion 861a of the other side Z2 of the first connecting plate portion 861 in the first direction Z overlaps with the first side surface 871 of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 and the first connecting plate portion 861. The first side surface 871 of the second yoke 87 is welded. Similarly, the end portion 862a of the second connecting plate portion 862 on the other side Z2 in the first direction Z overlaps with the second side surface 872 of the flat plate portion 870 of the second yoke 87, and the second connecting plate portion 862 and the second yoke. The second side surface 872 of 87 is welded.

第1連結板部861の端部861a、および第1側面871のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成され、第2連結板部862の端部862a、および第2側面872のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成されている。本形態では、平板部870に形成された凸部873が第1連結板部861の端部861aに形成された凹部863に嵌って溶接され、平板部870に形成された凸部874が第2連結板部862の端部862aに形成された凹部864に嵌って溶接されている。 On one of the end portion 861a of the first connecting plate portion 861 and the first side surface 871, a convex portion that is fitted and welded to a concave portion formed on the other is formed, and an end portion of the second connecting plate portion 862. One of the 862a and the second side surface 872 is provided with a convex portion that is fitted into and welded to the concave portion formed in the other. In the present embodiment, the convex portion 873 formed on the flat plate portion 870 is fitted and welded to the concave portion 863 formed on the end portion 861a of the first connecting plate portion 861, and the convex portion 874 formed on the flat plate portion 870 is the second. It is fitted and welded to a recess 864 formed in the end portion 862a of the connecting plate portion 862.

本形態では、第1ヨーク86の平板部860、および第2ヨーク87の平板部870の第3方向Yの端部には、磁石8を搭載する際に第1ヨーク86および第2ヨーク87の位置決めを行うための切り欠き860a、870aが形成されている。 In this embodiment, the flat plate portion 860 of the first yoke 86 and the flat plate portion 870 of the second yoke 87 have ends of the first yoke 86 and the second yoke 87 at the ends in the third direction Y when the magnet 8 is mounted. Notches 860a and 870a for positioning are formed.

このように構成した可動体3において、第1ヨーク86および磁石8の少なくとも一方には、磁石8の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第1ヨーク86には、平板部860の4つの角のうち、S極が位置する側の角が切り欠かれたマーク86sが付され、他の角は角張っている。また、第2ヨーク87および磁石8の少なくとも一方にも、磁石8の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第2ヨーク87には、平板部870の4つの角のうち、N極が位置する側の角が切り欠かれたマーク87sが付され、他の角は角張っている。なお、磁石8に対して、マークを付す場合には、印刷等を利用すればよい。 In the movable body 3 thus configured, at least one of the first yoke 86 and the magnet 8 is provided with a mark indicating the magnetizing direction of the magnet 8. For example, of the four corners of the flat plate portion 860, the first yoke 86 is provided with a mark 86s in which the corner on the side where the S pole is located is cut out, and the other corners are angular. At least one of the second yoke 87 and the magnet 8 is also marked with a magnetizing direction of the magnet 8. For example, of the four corners of the flat plate portion 870, the second yoke 87 is provided with a mark 87s in which the corner on the side where the N pole is located is cut out, and the other corners are angular. In addition, when attaching a mark to the magnet 8, printing or the like may be used.

(位置決め凸部865、875の構成)
図11は、図10に示す第2ヨーク87に磁石8を搭載する工程を示す説明図である。図9に示すように、第1ヨーク86は、第1ヨーク86の一部が、磁石8が固定された一方面から突出して第1磁石81および第2磁石82の第1ヨーク86の平板部860の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部865を有している。本形態において、位置決め凸部865は、第1磁石81の第2磁石82側の位置を規定する第1凸部865aと、第2磁石82の第1磁石81側の位置を規定する第2凸部865bとを含んでいる。本形態において、第1凸部865aと第2凸部865bとは、第1磁石81と第2磁石82との間に設けられた共通の凸部865cからなる。凸部865c(第1凸部865aおよび第2凸部865b)は、第3方向Yで離間する2箇所に設けられている。
(Configuration of positioning protrusions 865 and 875)
FIG. 11 is an explanatory diagram showing a step of mounting the magnet 8 on the second yoke 87 shown in FIG. As shown in FIG. 9, in the first yoke 86, a part of the first yoke 86 protrudes from one surface on which the magnet 8 is fixed, and the flat plate portion of the first yoke 86 of the first magnet 81 and the second magnet 82. It has a positioning projection 865 for positioning in the in-plane direction of 860. In the present embodiment, the positioning protrusion 865 includes the first protrusion 865a that defines the position of the first magnet 81 on the second magnet 82 side and the second protrusion 865a that defines the position of the second magnet 82 on the first magnet 81 side. Section 865b. In the present embodiment, the first convex portion 865a and the second convex portion 865b are the common convex portion 865c provided between the first magnet 81 and the second magnet 82. The convex portion 865c (the first convex portion 865a and the second convex portion 865b) is provided at two locations separated in the third direction Y.

位置決め凸部865は、さらに、第1磁石81と第2磁石82とが隣り合う第2方向X
と交差する第3方向Yにおける第1磁石81の位置決め、および第2磁石82の位置決めを行う第3凸部865d、865eを含んでいる。本形態において、第3凸部865dは、第1磁石81のY方向の両側2箇所に設けられ、第3凸部865eは、第2磁石82のY方向の両側2箇所に設けられている。
The positioning protrusion 865 further includes a second direction X in which the first magnet 81 and the second magnet 82 are adjacent to each other.
It includes third protrusions 865d and 865e for positioning the first magnet 81 and the second magnet 82 in the third direction Y intersecting with. In the present embodiment, the third protrusions 865d are provided at two locations on both sides of the first magnet 81 in the Y direction, and the third protrusions 865e are provided at two locations on both sides of the second magnet 82 in the Y direction.

図10に示すように、第2ヨーク87も、第1ヨーク86と同様、第2ヨーク87の一部が、磁石8が固定された一方面から突出して第1磁石83および第2磁石84の第2ヨーク87の平板部870の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部875を有している。本形態において、位置決め凸部875は、第1磁石83の第2磁石84側の位置を規定する第1凸部875aと、第2磁石84の第1磁石83側の位置を規定する第2凸部875bとを含んでいる。本形態において、第1凸部875aと第2凸部875bとは、第1磁石83と第2磁石84との間に設けられた共通の凸部875cからなる。凸部875c(第1凸部875aおよび第2凸部875b)は、第3方向Yで離間する2箇所に設けられている。 As shown in FIG. 10, in the second yoke 87 as well, like the first yoke 86, a part of the second yoke 87 protrudes from the one surface on which the magnet 8 is fixed and the first magnet 83 and the second magnet 84. The second yoke 87 has a positioning protrusion 875 that positions the flat plate portion 870 in the in-plane direction. In the present embodiment, the positioning protrusion 875 includes the first protrusion 875a that defines the position of the first magnet 83 on the second magnet 84 side and the second protrusion 875 that defines the position of the second magnet 84 on the first magnet 83 side. Section 875b. In the present embodiment, the first convex portion 875a and the second convex portion 875b are the common convex portion 875c provided between the first magnet 83 and the second magnet 84. The convex portion 875c (the first convex portion 875a and the second convex portion 875b) is provided at two locations separated in the third direction Y.

位置決め凸部875は、さらに、第1磁石83と第2磁石84とが隣り合う第2方向Xと交差する第3方向Yにおける第1磁石83の位置決め、および第2磁石84の位置決めを行う第3凸部875d、875eを含んでいる。本形態において、第3凸部875dは、第1磁石83のY方向の両側2箇所に設けられ、第3凸部875eは、第2磁石84のY方向の両側2箇所に設けられている。 The positioning protrusion 875 further positions the first magnet 83 and the second magnet 84 in the third direction Y intersecting the second direction X in which the first magnet 83 and the second magnet 84 are adjacent to each other. It includes three convex portions 875d and 875e. In the present embodiment, the third protrusions 875d are provided at two locations on both sides of the first magnet 83 in the Y direction, and the third protrusions 875e are provided at two locations on both sides of the second magnet 84 in the Y direction.

位置決め凸部865は、第1ヨーク86の平板部860の一部を、磁石8とは反対側の他方面側から磁石8が位置する一方面側に突出させた凸部である。また、位置決め凸部875は、第2ヨーク87の平板部870の一部を、磁石8とは反対側の他方面側から磁石8が位置する一方面側に突出させた凸部である。従って、例えば、図8に示すように、第2ヨーク87の平板部870の磁石8とは反対側の他方面には、位置決め凸部875を形成した際の凹状の痕875xが残っている。また、図4に示すように、第1ヨーク86の平板部860の磁石8とは反対側の他方面には、位置決め凸部865を形成した際の凹状の痕865xが残っている。 The positioning projection 865 is a projection in which a part of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 is projected from the other surface side opposite to the magnet 8 to the one surface side where the magnet 8 is located. The positioning protrusion 875 is a protrusion in which a part of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 is protruded from the other surface side opposite to the magnet 8 to the one surface side where the magnet 8 is located. Therefore, for example, as shown in FIG. 8, a concave mark 875x when the positioning protrusion 875 is formed is left on the other surface of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 opposite to the magnet 8. Further, as shown in FIG. 4, on the other surface of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 opposite to the magnet 8, a concave mark 865x when the positioning convex portion 865 is formed remains.

ここで、第1ヨーク86では、第1磁石81に対して第2磁石82と反対側、および第2磁石82に対して第1磁石81と反対側には、位置決め凸部865が設けられていない。また、第2ヨーク87では、第1磁石83に対して第2磁石84と反対側、および第2磁石84に対して第1磁石83と反対側には、位置決め凸部875が設けられていない。また、図11に示すように、位置決め凸部875の平板部870からの突出寸法は、磁石8の厚さ(第1磁石83の厚さ、および第2磁石84の厚さ)より低い。 Here, in the first yoke 86, positioning protrusions 865 are provided on the opposite side of the first magnet 81 from the second magnet 82 and on the opposite side of the second magnet 82 from the first magnet 81. Absent. Further, in the second yoke 87, the positioning protrusion 875 is not provided on the side opposite to the second magnet 84 with respect to the first magnet 83 and on the side opposite to the first magnet 83 with respect to the second magnet 84. .. Further, as shown in FIG. 11, the protrusion size of the positioning protrusion 875 from the flat plate portion 870 is lower than the thickness of the magnet 8 (thickness of the first magnet 83 and second magnet 84).

従って、アクチュエータ1を製造するにあたって、第2ヨーク87に第1磁石83および第2磁石84を配置する工程において、カートリッジ800の内部に積層された複数の磁石8のうち、最も下方に位置する磁石8をスライドさせて、第1磁石83および第2磁石84を第2ヨーク87の一方面に配置する際、位置決め凸部875とカートリッジ800とが干渉しにくい等、位置決め凸部875が邪魔にならない。 Therefore, in manufacturing the actuator 1, in the step of disposing the first magnet 83 and the second magnet 84 in the second yoke 87, the lowest magnet among the plurality of magnets 8 stacked inside the cartridge 800. When the first magnet 83 and the second magnet 84 are slid on the one surface of the second yoke 87 by sliding 8, the positioning protrusion 875 does not easily interfere with the positioning protrusion 875 and the cartridge 800. ..

図示を省略するが、第1ヨーク86でも、第2ヨーク87の側と同様、位置決め凸部865の平板部860からの突出寸法は、磁石8の厚さ(第1磁石81の厚さ、および第2磁石82の厚さ)より低い。従って、図11に示す工程では、第1磁石81および第2磁石82を配置する際、位置決め凸部865が邪魔にならない。なお、第1ヨーク86では、第1連結板部861および第2連結板部862が存在するが、カートリッジ800を傾ければ、第1連結板部861および第2連結板部862がカートリッジ800と干渉することを回避することができる。 Although not shown, in the first yoke 86 as well, as in the second yoke 87 side, the projection size of the positioning projection 865 from the flat plate portion 860 is determined by the thickness of the magnet 8 (the thickness of the first magnet 81, and (Thickness of the second magnet 82). Therefore, in the step shown in FIG. 11, the positioning protrusion 865 does not obstruct the arrangement of the first magnet 81 and the second magnet 82. Although the first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 exist in the first yoke 86, if the cartridge 800 is tilted, the first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 become the cartridge 800. Interference can be avoided.

(ストッパの構成)
図2に示すように、本形態では、可動体3に用いた第1ヨーク86の第1連結板部861に対して第2方向Xの一方側X1には、第1ケース部材16の第1壁部161、ホルダ60の第1壁部61、および第2ケース部材17の第1壁部171の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第1連結板部861は、可動体3が第2方向Xの一方側X1に移動した際に可動体3の第2方向Xの一方側X1への可動範囲を規制する第1ストッパを構成している。
(Structure of stopper)
As shown in FIG. 2, in this embodiment, the first connecting member 861 of the first yoke 86 used for the movable body 3 is provided on the first side X1 of the first case member 16 on the one side X1 in the second direction X. The inner surfaces of the wall portion 161, the first wall portion 61 of the holder 60, and the first wall portion 171 of the second case member 17 are opposed to each other in a state of forming a continuous plane. Therefore, the first connecting plate portion 861 serves as a first stopper that restricts the movable range of the movable body 3 in the one side X1 of the second direction X when the movable body 3 moves in the one side X1 of the second direction X. I am configuring.

同様に、第2連結板部862に対して第2方向Xの他方側X2には、第1ケース部材16の第2壁部162、ホルダ60の第2壁部62、および第2ケース部材17の第2壁部172の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第2連結板部862は、可動体3が第2方向Xの他方側X2に移動した際に可動体3の第2方向Xの他方側X2への可動範囲を規制する第2ストッパを構成している。 Similarly, on the other side X2 in the second direction X with respect to the second connecting plate portion 862, the second wall portion 162 of the first case member 16, the second wall portion 62 of the holder 60, and the second case member 17 are provided. The inner surfaces of the second wall portions 172 of the two face each other in the state of forming a continuous plane. Therefore, the second connecting plate portion 862 has a second stopper that restricts the movable range of the movable body 3 to the other side X2 in the second direction X when the movable body 3 moves to the other side X2 in the second direction X. I am configuring.

(基本動作)
本形態のアクチュエータ1において、コイル7に交流を印加すると、可動体3は、第2方向Xに振動するため、アクチュエータ1における重心が第2方向Xに変動する。このため、利用者は、第2方向Xの振動を体感することができる。その際、コイル7に印加する交流波形を調整して、可動体3が第2方向Xの一方側X1に移動する加速度と、可動体3が第2方向の他方側X2に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第2方向Xにおいて方向性を有する振動を体感することができる。
(basic action)
In the actuator 1 of the present embodiment, when an alternating current is applied to the coil 7, the movable body 3 vibrates in the second direction X, so that the center of gravity of the actuator 1 changes in the second direction X. Therefore, the user can feel the vibration in the second direction X. At that time, by adjusting the AC waveform applied to the coil 7, the acceleration of the movable body 3 moving to the one side X1 in the second direction X and the acceleration of the movable body 3 moving to the other side X2 in the second direction. If they are different, the user can experience the directional vibration in the second direction X.

(接続体90および粘弾性部材9の構成)
図2、図4および図5に示すように、支持体2および可動体3に対して接続する接続体90が設けられている。接続体90は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。本形態において、接続体90は、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に設けられた粘弾性部材9であり、第1方向Z、第2方向X、および第3方向Y方向に弾性的に変形可能である。粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材9として、各種ゲル状部材を用いることができる。粘弾性部材9として、天然ゴム、ジエン系ゴム(例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム)、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等)、非ジエン系ゴム(例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等)、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
(Structures of the connection body 90 and the viscoelastic member 9)
As shown in FIG. 2, FIG. 4 and FIG. 5, a connecting body 90 for connecting to the support body 2 and the movable body 3 is provided. The connection body 90 includes at least one of elasticity and viscoelasticity. In the present embodiment, the connecting body 90 is the viscoelastic member 9 provided at a position where the support body 2 and the movable body 3 face each other in the first direction Z, and the first direction Z, the second direction X, and the third direction. It is elastically deformable in the direction Y. Viscoelasticity is a property that combines both viscosity and elasticity, and is a property remarkably found in polymer substances such as gel-like members, plastics, and rubber. Therefore, various gel-like members can be used as the viscoelastic member 9. As the viscoelastic member 9, natural rubber, diene rubber (for example, styrene/butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber), chloroprene rubber, acrylonitrile/butadiene rubber, etc., non-diene rubber (for example, butyl rubber, ethylene/propylene rubber) , Ethylene/propylene/diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluororubber, etc.), thermoplastic elastomers, and various rubber materials and modified materials thereof.

本形態において、接続体90として粘弾性部材9のみが支持体2および可動体3の双方に接続されている。本形態においては、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク86と支持体2の第1ケース部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第2ヨーク87と支持体2の第2ケース部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の平板部860と第1ケース部材16の凹部166、167の底部との間の各々に設けられ、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の平板部870と第2ケース部材17の凹部176、177の底部との間の各々に設けられている。 In the present embodiment, only the viscoelastic member 9 as the connecting body 90 is connected to both the support body 2 and the movable body 3. In the present embodiment, as the viscoelastic member 9, the first viscoelastic member 91 is arranged at a position where the first yoke 86 of the movable body 3 and the first case member 16 of the support body 2 face each other in the first direction Z, The second viscoelastic member 92 is arranged at a position where the second yoke 87 of the movable body 3 and the second case member 17 of the support body 2 face each other in the first direction Z. More specifically, the first viscoelastic member 91 is provided between each of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 and the bottom portions of the concave portions 166 and 167 of the first case member 16, and the second viscoelastic member 92. Are provided between the flat plate portion 870 of the second yoke 87 and the bottom portions of the recesses 176 and 177 of the second case member 17, respectively.

ここで、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の平板部860と第1ケース部材16の凹部166、167の底部との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の平板部870と第2ケース部材17の凹部176、177の底部との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置されている。第1粘弾性部材91は
、支持体2と接する面(第1ケース部材16の凹部166、167の底部)に接着され、可動体3と接する面(第1ヨーク86)と接着されている。第2粘弾性部材92は、支持体2と接する面(第2ケース部材17の凹部176、177の底部)に接着され、可動体3と接する面(第2ヨーク87)と接着されている。
Here, the first viscoelastic member 91 is arranged in a state of being compressed in the first direction Z between the flat plate portion 860 of the first yoke 86 and the bottom portions of the concave portions 166 and 167 of the first case member 16. The two viscoelastic member 92 is arranged between the flat plate portion 870 of the second yoke 87 and the bottom portions of the recesses 176 and 177 of the second case member 17 in a compressed state in the first direction Z. The first viscoelastic member 91 is bonded to the surface in contact with the support body 2 (bottoms of the recesses 166 and 167 of the first case member 16) and to the surface in contact with the movable body 3 (first yoke 86). The second viscoelastic member 92 is adhered to the surface in contact with the support 2 (bottoms of the recesses 176 and 177 of the second case member 17) and to the surface in contact with the movable body 3 (second yoke 87).

本形態において、粘弾性部材9(第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92)は、針入度が10度から110度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材9は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材9は、その厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向(軸方向)に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、粘弾性部材9が厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材9では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。 In this embodiment, the viscoelastic member 9 (the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92) is a silicone gel having a penetration of 10 to 110 degrees. The penetration degree is defined by JIS-K-2207 or JIS-K-2220, and the smaller the value, the harder it is. The viscoelastic member 9 has a linear or non-linear expansion/contraction characteristic depending on the expansion/contraction direction. For example, when the viscoelastic member 9 is pressed in the thickness direction (axial direction) and is compressed and deformed, the viscoelastic member 9 has expansion and contraction characteristics in which the nonlinear component (spring coefficient) is larger than the linear component (spring coefficient). On the other hand, when it is stretched by being pulled in the thickness direction (axial direction), it has expansion/contraction characteristics in which the linear component (spring coefficient) is larger than the nonlinear component (spring coefficient). On the other hand, when the viscoelastic member 9 is deformed in the direction (shear direction) intersecting the thickness direction (axial direction) as in the present embodiment, the deformation is in a direction in which the viscoelastic member 9 is pulled and stretched regardless of the movement. Therefore, it has a deformation characteristic in which the linear component (spring coefficient) is larger than the nonlinear component (spring coefficient). Therefore, in the viscoelastic member 9, the spring force depending on the movement direction is constant. Therefore, as in the present embodiment, by using the spring element of the viscoelastic member 9 in the shearing direction, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration with a subtle nuance is realized. be able to.

本形態では、第1ケース部材16の凹部166、167のうち、第1粘弾性部材91が接続される接続領域166a、167aには複数の凹部が形成されている。また、第2ケース部材17の凹部176、177のうち、第2粘弾性部材92が接続される接続領域176a、177aには複数の凹部が形成されている。 In the present embodiment, among the recesses 166 and 167 of the first case member 16, a plurality of recesses are formed in the connection regions 166a and 167a to which the first viscoelastic member 91 is connected. Further, among the recesses 176 and 177 of the second case member 17, a plurality of recesses are formed in the connection regions 176a and 177a to which the second viscoelastic member 92 is connected.

また、接続体90は、第1方向Zに圧縮された状態にあるため、接続体90は、一部が複数の凹部の内側に位置する。このため、複数の凹部の縁は、接続体90が第1方向Zと交差する方向に移動することを抑制する。従って、接続体90を支持体2と可動体3との間に配置する際、複数の凹部の縁は、接続体90が第1方向Zと交差する方向に移動することを効果的に抑制する。また、可動体3が第2方向Xに駆動される際、複数の凹部の縁は、接続体90が第2方向Xに移動することを効果的に抑制する。それ故、支持体2と可動体3との間に配置した接続体90の位置ずれを抑制することができる。また、接続体90は、接続領域166a、167a、176a、177aに接着剤を介して固定され、接着剤の一部は、複数の凹部の内側に位置する。このため、接続体90の接着強度が高い。 Further, since the connecting body 90 is compressed in the first direction Z, a part of the connecting body 90 is located inside the plurality of recesses. Therefore, the edges of the plurality of recesses prevent the connecting body 90 from moving in the direction intersecting the first direction Z. Therefore, when the connection body 90 is arranged between the support body 2 and the movable body 3, the edges of the plurality of recesses effectively suppress the movement of the connection body 90 in the direction intersecting the first direction Z. .. Further, when the movable body 3 is driven in the second direction X, the edges of the plurality of recesses effectively prevent the connecting body 90 from moving in the second direction X. Therefore, it is possible to suppress the positional displacement of the connection body 90 arranged between the support body 2 and the movable body 3. Further, the connection body 90 is fixed to the connection regions 166a, 167a, 176a, 177a via an adhesive, and a part of the adhesive is located inside the plurality of recesses. Therefore, the adhesive strength of the connection body 90 is high.

(アクチュエータ1の組み立て工程)
本形態では、第1ケース部材16の貫通穴16bから差し込んだ支持ピン(図示せず)によって第1ヨーク86を支持しながら、第1ケース部材16、第1ヨーク86、ホルダ60、および第2ヨーク87を第1方向Zに重ねるとき、貫通穴16aから差し込んだ位置決めピンを基準に第1ケース部材16の貫通穴16a、第1ヨーク86の切り欠き869、ホルダ60の切り欠き603、および第2ヨーク87の切り欠き879を重ねる。従って、第1ケース部材16、第1ヨーク86、ホルダ60、および第2ヨーク87を適正に重ねることができる。
(Assembling process of actuator 1)
In this embodiment, the first case member 16, the first yoke 86, the holder 60, and the second case 86 are supported while the first yoke 86 is supported by the support pins (not shown) inserted from the through holes 16b of the first case member 16. When the yoke 87 is stacked in the first direction Z, the through hole 16a of the first case member 16, the cutout 869 of the first yoke 86, the cutout 603 of the holder 60, and the 2 The notch 879 of the yoke 87 is overlapped. Therefore, the first case member 16, the first yoke 86, the holder 60, and the second yoke 87 can be properly stacked.

その際、第1ヨーク86の第1連結板部861をホルダ60の第1開口部601を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて突出させ、第2連結板部862をホルダ60の第2開口部602を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて突出させる。従って、第1ヨーク86の第1連結板部861および第2連結板部862を各々、第2ヨーク87と連結することができる。 At that time, the first connecting plate portion 861 of the first yoke 86 is projected toward the other side Z2 in the first direction Z through the first opening 601 of the holder 60, and the second connecting plate portion 862 of the holder 60. It is projected toward the other side Z2 in the first direction Z through the second opening 602. Therefore, each of the first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 of the first yoke 86 can be connected to the second yoke 87.

また、第1ケース部材16および第1ヨーク86の一方に第1粘弾性部材91を予め、接着剤によって接続しておき、第1ケース部材16と第1ヨーク86とを重ねる際、第1ケース部材16および第1ヨーク86の他方に第1粘弾性部材91を接着剤によって接続する。また、第2ケース部材17および第2ヨーク87の一方に第2粘弾性部材92を予め、接着剤によって接続しておき、第2ケース部材17と第2ヨーク87とを重ねる際、第2ケース部材17および第2ヨーク87の他方に第2粘弾性部材92を接着剤によって接続する。その際、貫通穴16bから差し込んだ支持ピンを第2ケース部材17の切り欠き17bに当接させて第2ケース部材17を支持する。 In addition, the first viscoelastic member 91 is previously connected to one of the first case member 16 and the first yoke 86 by an adhesive agent, and when the first case member 16 and the first yoke 86 are overlapped with each other, the first case The first viscoelastic member 91 is connected to the other of the member 16 and the first yoke 86 with an adhesive. Further, the second viscoelastic member 92 is previously connected to one of the second case member 17 and the second yoke 87 by an adhesive agent, and when the second case member 17 and the second yoke 87 are stacked, the second case The second viscoelastic member 92 is connected to the other of the member 17 and the second yoke 87 with an adhesive. At that time, the support pin inserted from the through hole 16b is brought into contact with the notch 17b of the second case member 17 to support the second case member 17.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態のアクチュエータ1において、第1磁石81および第2磁石82に対して第1コイル71および第2コイル72とは反対側に第1ヨーク86が設けられているため、磁気効率を高めることができる。また、第1ヨーク86には、第1磁石81および第2磁石82の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部865が設けられているため、第1ヨーク86の一方面の所定位置に第1磁石81および第2磁石82を設けることができる。また、第1磁石83および第2磁石84に対して第1コイル71および第2コイル72とは反対側に第2ヨーク87が設けられているため、磁気効率を高めることができる。また、第2ヨーク87には、第1磁石83および第2磁石84の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部875が設けられているため、第2ヨーク87の一方面の所定位置に第1磁石83および第2磁石84を設けることができる。さらに、位置決め凸部865、875は、第1ヨーク86および第2ヨーク87の一部を突出させた部分であるため、位置決め凸部865、875を設けても、コストの増大を抑制することができる。
(Main effects of this embodiment)
As described above, in the actuator 1 of the present embodiment, the first yoke 86 is provided on the side opposite to the first coil 71 and the second coil 72 with respect to the first magnet 81 and the second magnet 82. The magnetic efficiency can be increased. Further, since the first yoke 86 is provided with the positioning projection 865 for positioning the first magnet 81 and the second magnet 82 in the in-plane direction, the first yoke 86 is provided with the first protrusion at a predetermined position on one surface of the first yoke 86. A magnet 81 and a second magnet 82 can be provided. Further, since the second yoke 87 is provided on the side opposite to the first coil 71 and the second coil 72 with respect to the first magnet 83 and the second magnet 84, the magnetic efficiency can be improved. Further, since the second yoke 87 is provided with the positioning protrusion 875 that positions the first magnet 83 and the second magnet 84 in the in-plane direction, the first yoke is provided at a predetermined position on one surface of the second yoke 87. A magnet 83 and a second magnet 84 can be provided. Further, since the positioning protrusions 865, 875 are portions where the first yoke 86 and the second yoke 87 are partly projected, even if the positioning protrusions 865, 875 are provided, an increase in cost can be suppressed. it can.

特に本形態において、第1磁石81の第2磁石82側の磁極と第2磁石82の第1磁石81側の磁極とが異なっているため、第1磁石81および第2磁石82を配置する際、引力が作用するが、第1磁石81は第1凸部865aによって第2磁石82側の位置が規定され、第2磁石82は第2凸部865bによって第1磁石81側の位置が規定される。従って、第1ヨーク86の一方面の所定位置に第1磁石81および第2磁石82を配置することができる。また、第1磁石83の第2磁石84側の磁極と第2磁石84の第1磁石83側の磁極とが異なっているため、第1磁石83および第2磁石84を配置する際、引力が作用するが、第1磁石83は第1凸部875aによって第2磁石84側の位置が規定され、第2磁石84は第2凸部875bによって第1磁石83側の位置が規定される。従って、第2ヨーク87の一方面の所定位置に第1磁石83および第2磁石84を配置することができる。また、第1凸部865aと第2凸部865bは、共通の凸部865cからなり、第1凸部875aと第2凸部875bは、共通の凸部875cからなる。このため、第1ヨーク86および第2ヨーク87に対する加工を効率よく行うことができる。 Particularly in the present embodiment, since the magnetic poles of the first magnet 81 on the second magnet 82 side and the magnetic poles of the second magnet 82 on the first magnet 81 side are different, when arranging the first magnet 81 and the second magnet 82 , The attraction acts, but the first magnet 81 defines the position on the second magnet 82 side by the first convex portion 865a, and the second magnet 82 defines the position on the first magnet 81 side by the second convex portion 865b. It Therefore, the first magnet 81 and the second magnet 82 can be arranged at predetermined positions on one surface of the first yoke 86. Further, since the magnetic pole of the first magnet 83 on the second magnet 84 side is different from the magnetic pole of the second magnet 84 on the first magnet 83 side, an attractive force is exerted when the first magnet 83 and the second magnet 84 are arranged. Although acting, the position of the first magnet 83 on the second magnet 84 side is defined by the first convex portion 875a, and the position of the second magnet 84 on the first magnet 83 side is defined by the second convex portion 875b. Therefore, the first magnet 83 and the second magnet 84 can be arranged at predetermined positions on the one surface of the second yoke 87. Further, the first convex portion 865a and the second convex portion 865b are composed of a common convex portion 865c, and the first convex portion 875a and the second convex portion 875b are composed of a common convex portion 875c. Therefore, the first yoke 86 and the second yoke 87 can be efficiently processed.

また、第1磁石81および第2磁石82は、第3凸部865dおよび第3凸部865eによって第3方向Yでも第1ヨーク86の所定位置に配置される。また、第1磁石83および第2磁石84は、第3凸部875dおよび第3凸部875eによって第2ヨーク87の所定位置に配置される。それ故、第1磁石81、83および第2磁石82、84が第1コイル71および第2コイル72に対して適正に配置されるので、磁気効率を高めることができる。 Further, the first magnet 81 and the second magnet 82 are arranged at the predetermined positions of the first yoke 86 in the third direction Y by the third convex portion 865d and the third convex portion 865e. Further, the first magnet 83 and the second magnet 84 are arranged at predetermined positions of the second yoke 87 by the third convex portion 875d and the third convex portion 875e. Therefore, the first magnets 81 and 83 and the second magnets 82 and 84 are properly arranged with respect to the first coil 71 and the second coil 72, so that the magnetic efficiency can be improved.

[別の実施形態]
図12は、本発明の別の実施形態に係るアクチュエータ1の説明図である。上記実施形態に係るアクチュエータ1において、位置決め凸部875は、第2ヨーク87の平板部870の一部を、磁石8とは反対側の他方面側から磁石8が位置する一方面側に突出させた凸部であったが、図12に示すように、位置決め凸部875は、第2ヨーク87の一部を
折り曲げた凸部であってもよい。図12には、第2ヨーク87の一部を切り起こした凸部によって位置決め凸部875を形成した例を示してある。なお、図示を省略するが、図9を参照して説明した位置決め凸部865に代えて、第1ヨーク86の一部を折り曲げて位置決め凸部865を形成してもよい。
[Another embodiment]
FIG. 12 is an explanatory diagram of an actuator 1 according to another embodiment of the present invention. In the actuator 1 according to the above-described embodiment, the positioning protrusion 875 causes a part of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 to protrude from the other surface side opposite to the magnet 8 to the one surface side where the magnet 8 is located. However, as shown in FIG. 12, the positioning protrusion 875 may be a protrusion obtained by bending a part of the second yoke 87. FIG. 12 shows an example in which the positioning protrusion 875 is formed by a protrusion formed by cutting and raising a part of the second yoke 87. Although not shown, the positioning protrusion 865 may be formed by bending a part of the first yoke 86 instead of the positioning protrusion 865 described with reference to FIG. 9.

[他の実施形態]
上記実施形態では、2つの磁石8(第1磁石81および第2磁石82)を有していたが、例えば、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1のみに磁石8が配置され、第1方向Zの他方側Z2に第2ヨーク87のみが存在する態様の場合に本発明を適用してもよい。
[Other Embodiments]
Although the two magnets 8 (the first magnet 81 and the second magnet 82) are included in the above-described embodiment, for example, the magnet 8 is arranged only on one side Z1 of the first direction Z with respect to the coil 7. The present invention may be applied to the case where only the second yoke 87 is present on the other side Z2 in the first direction Z.

上記実施形態では、粘弾性部材9としてシリコーン系ゲル等のゲル状部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。また、上記実施形態では、接続体90として粘弾性部材9を用いたが、バネ等の弾性部材を用いてもよい。 Although a gel-like member such as a silicone gel is used as the viscoelastic member 9 in the above embodiment, rubber or the like may be used as the viscoelastic member. Further, in the above embodiment, the viscoelastic member 9 is used as the connecting body 90, but an elastic member such as a spring may be used.

上記実施形態では、コイルおよびホルダが支持体2に設けられ、磁石およびヨークが可動体3に設けられていたが、コイルおよびホルダが可動体3に設けられ、磁石およびヨークが支持体2に設けられている場合に本発明を適用してもよい。上記実施形態では、可動体3を第2方向Xのみに駆動するアクチュエータ1に本発明を適用したが、可動体3を第2方向Xおよび第3方向Yに駆動するアクチュエータ1に本発明を適用してもよい。 In the above embodiment, the coil and the holder are provided on the support body 2 and the magnet and the yoke are provided on the movable body 3. However, the coil and the holder are provided on the movable body 3, and the magnet and the yoke are provided on the support body 2. The present invention may be applied to such cases. In the above embodiment, the present invention is applied to the actuator 1 that drives the movable body 3 only in the second direction X, but the present invention is applied to the actuator 1 that drives the movable body 3 in the second direction X and the third direction Y. You may.

1…アクチュエータ、2…支持体、3…可動体、6…磁気駆動回路、7…コイル、8…磁石、9…粘弾性部材、15…配線基板、16…第1ケース部材、17…第2ケース部材、60…ホルダ、71…第1コイル、72…第2コイル、81、83…第1磁石、82、84…第2磁石、86…第1ヨーク、86s、87s…マーク、87…第2ヨーク、90…接続体、91…第1粘弾性部材、92…第2粘弾性部材、166a、167a、176a、177a…接続領域、601…第1開口部、602…第2開口部、701…長辺、702…短辺、800…カートリッジ、860、870…平板部、861…第1連結板部、862…第2連結板部、865、875…位置決め凸部、865a、875a…第1凸部、865b、875b…第2凸部、865c…凸部、865d、865e、875d、875e…第3凸部、865x、875x…痕、X…第2方向、Y…第3方向、Z…第1方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Actuator, 2... Support body, 3... Movable body, 6... Magnetic drive circuit, 7... Coil, 8... Magnet, 9... Viscoelastic member, 15... Wiring board, 16... First case member, 17... Second Case member, 60... Holder, 71... First coil, 72... Second coil, 81, 83... First magnet, 82, 84... Second magnet, 86... First yoke, 86s, 87s... Mark, 87... 2 yoke, 90... Connection body, 91... 1st viscoelastic member, 92... 2nd viscoelastic member, 166a, 167a, 176a, 177a... Connection area, 601... 1st opening part, 602... 2nd opening part, 701 ... Long side, 702... Short side, 800... Cartridge, 860, 870... Flat plate part, 861... First connecting plate part, 862... Second connecting plate part, 865, 875... Positioning convex part, 865a, 875a... First Convex part, 865b, 875b... second convex part, 865c... convex part, 865d, 865e, 875d, 875e... third convex part, 865x, 875x... mark, X... second direction, Y... third direction, Z... First direction

Claims (12)

支持体と、
可動体と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を有し、前記可動体および前記支持体に接続する接続体と、
磁気駆動回路と、
を備え、
前記磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第1コイルと、前記第1コイルの側に一方面を向けて前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられたヨークと、前記ヨークの前記一方面に前記第1コイルと第1方向で対向するように保持された第1磁石と、を備え、前記可動体を前記第1方向に対して交差する第2方向に駆動し、
前記ヨークは、前記ヨークの一部が前記一方面から突出して前記第1磁石の前記ヨークの面内方向における位置決めを行う位置決め凸部を有することを特徴とするアクチュエータ。
A support,
A movable body,
A connector having at least one of elasticity and viscoelasticity, which is connected to the movable body and the support,
Magnetic drive circuit,
Equipped with
The magnetic drive circuit includes a first coil provided on one side member of the support and the movable body, and one of the support and the movable body with one surface facing the first coil. The movable body is provided in the first direction, the yoke being provided on the other member, and the first magnet held on the one surface of the yoke so as to face the first coil in the first direction. Drive in the second direction that intersects with each other,
An actuator, wherein the yoke has a positioning convex portion for positioning the first magnet in the in-plane direction of the yoke by protruding a part of the yoke from the one surface.
請求項1に記載のアクチュエータにおいて、
前記磁気駆動回路は、前記第1磁石と隣り合うように前記ヨークの前記一方面に保持された第2磁石を備え、
前記第1磁石の前記第2磁石側の磁極と前記第2磁石の前記第1磁石側の磁極とが異なっており、
前記位置決め凸部は、前記第1磁石の前記第2磁石側の位置を規定する第1凸部と、前記第2磁石の前記第1磁石側の位置を規定する第2凸部と、を含むことを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1,
The magnetic drive circuit includes a second magnet held on the one surface of the yoke so as to be adjacent to the first magnet,
A magnetic pole on the second magnet side of the first magnet and a magnetic pole on the first magnet side of the second magnet are different,
The positioning protrusion includes a first protrusion that defines a position of the first magnet on the second magnet side, and a second protrusion that defines a position of the second magnet on the first magnet side. An actuator characterized by the following.
請求項2に記載のアクチュエータにおいて、
前記磁気駆動回路は、前記第1コイルと隣り合うように前記一方側部材に設けられた第2コイルを備え、
前記第2磁石は、前記第2コイルと前記第1方向で対向していることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 2,
The magnetic drive circuit includes a second coil provided on the one side member so as to be adjacent to the first coil,
The actuator is characterized in that the second magnet faces the second coil in the first direction.
請求項2または3に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1凸部と前記第2凸部とは、共通の凸部からなることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 2 or 3,
The actuator, wherein the first convex portion and the second convex portion are common convex portions.
請求項2から4までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1磁石と前記第2磁石とは、前記第2方向で隣り合っていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 2 to 4,
An actuator characterized in that the first magnet and the second magnet are adjacent to each other in the second direction.
請求項2から5までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記位置決め凸部は、前記第1磁石と前記第2磁石とが隣り合う方向と交差する方向における前記第1磁石の位置決め、および前記第2磁石の位置決めを行う第3凸部を含むことを特徴とすることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 2 to 5,
The positioning convex portion includes a third convex portion that positions the first magnet and the second magnet in a direction intersecting a direction in which the first magnet and the second magnet are adjacent to each other. An actuator characterized by:
請求項2から6までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記位置決め凸部の前記一方面からの突出寸法は、前記第1磁石の厚さ、および前記第2磁石の厚さより低いことを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 2 to 6,
The actuator is characterized in that a protrusion dimension of the positioning protrusion from the one surface is lower than a thickness of the first magnet and a thickness of the second magnet.
請求項7に記載のアクチュエータにおいて、
前記ヨークの前記第1磁石に対して前記第2磁石と反対側、および前記第2磁石に対して前記第1磁石と反対側には、前記位置決め凸部が設けられていないことを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 7,
The positioning protrusion is not provided on the side of the yoke opposite to the second magnet with respect to the first magnet and on the side of the second magnet opposite to the first magnet. Actuator.
請求項1から8までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記位置決め凸部は、前記ヨークの一部を前記一方面とは反対側の面から突出させた凸部であることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 8,
The actuator is characterized in that the positioning protrusion is a protrusion obtained by projecting a part of the yoke from a surface opposite to the one surface.
請求項1から7までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記位置決め凸部は、前記ヨークの一部を折り曲げた凸部であることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 7,
The actuator is characterized in that the positioning protrusion is a protrusion obtained by bending a part of the yoke.
請求項1から10までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1磁石および前記ヨークのうちの少なくとも一方には、前記第1磁石に対する着磁方向を示すマークが付されていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 10,
An actuator characterized in that at least one of the first magnet and the yoke is provided with a mark indicating a magnetization direction with respect to the first magnet.
請求項7または8に記載のアクチュエータの製造方法において、
前記ヨークに前記第1磁石および前記第2磁石を配置する工程では、カートリッジの内部に積層された複数の磁石のうち、最も下方に位置する磁石をスライドさせて、前記第1磁石および前記第2磁石を前記ヨークの前記一方面に配置することを特徴とするアクチュエータの製造方法。
The method for manufacturing an actuator according to claim 7 or 8,
In the step of arranging the first magnet and the second magnet on the yoke, the magnet located at the lowermost of the plurality of magnets stacked inside the cartridge is slid to move the first magnet and the second magnet. A method for manufacturing an actuator, wherein a magnet is arranged on the one surface of the yoke.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111641323B (en) * 2020-06-30 2022-03-25 歌尔股份有限公司 Vibration device and electronic apparatus
WO2022006837A1 (en) * 2020-07-10 2022-01-13 瑞声声学科技(深圳)有限公司 Linear motor
WO2022006839A1 (en) * 2020-07-10 2022-01-13 瑞声声学科技(深圳)有限公司 Linear motor
JP2022047020A (en) * 2020-09-11 2022-03-24 リオン株式会社 Electromechanical converter

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018030265A1 (en) * 2016-08-09 2018-02-15 日本電産サンキョー株式会社 Linear actuator
JP2018134851A (en) * 2017-02-22 2018-08-30 広瀬 洋一 Magnet holder and remover
JP2018161047A (en) * 2014-05-21 2018-10-11 ミネベアミツミ株式会社 Vibration generator

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201774436U (en) * 2010-07-22 2011-03-23 金龙机电股份有限公司 Vibrator component for linear vibrating motor
CN201774435U (en) * 2010-08-04 2011-03-23 浙江省东阳市诚基电机有限公司 Moving coil type liner vibration motor
CN203054321U (en) * 2012-12-25 2013-07-10 格科微电子(上海)有限公司 Device for driving mini-size lens to move in rectilinear manner
JP2017067908A (en) * 2015-09-29 2017-04-06 アルプス電気株式会社 Lens drive device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018161047A (en) * 2014-05-21 2018-10-11 ミネベアミツミ株式会社 Vibration generator
WO2018030265A1 (en) * 2016-08-09 2018-02-15 日本電産サンキョー株式会社 Linear actuator
JP2018134851A (en) * 2017-02-22 2018-08-30 広瀬 洋一 Magnet holder and remover

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