JP2020076029A - Thermoconductive sheet - Google Patents

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Abstract

To provide a thermoconductive sheet that prevents outgasing and has excellent handleability.SOLUTION: A thermoconductive sheet has graphite with an amount of oil absorption of 250 ml/100 g or less, and a resin. In the thermoconductive sheet, the graphite is oriented in the thickness direction, and the graphite has a volume fraction of 40 vol.% or more.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、熱伝導シートに関するものである。   The present invention relates to a heat conductive sheet.

近年、パワー半導体や集積回路(IC)チップ等の電子部品は、高性能化に伴って発熱量が増大している。その結果、電子部品を用いた電子機器では、電子部品の温度上昇による機能障害対策を講じる必要が生じている。   2. Description of the Related Art In recent years, electronic components such as power semiconductors and integrated circuit (IC) chips have increased the amount of heat generation as their performance has increased. As a result, in an electronic device using an electronic component, it is necessary to take measures for a functional failure due to a temperature rise of the electronic component.

電子部品の温度上昇による機能障害対策としては、一般に、電子部品等の発熱体に対し、金属製のヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体を取り付けることによって、放熱を促進させる方法が採られている。そして、放熱体を使用する際には、発熱体と放熱体との間に、熱伝導性を有するシート状の部材(即ち、熱伝導シート)を介在させ、発熱体と放熱体とを密着させることが、一般的に行われている。   As a measure against functional failure due to temperature rise of electronic parts, generally, a method of accelerating heat dissipation by attaching a heat sink such as a metal heat sink, heat sink, or heat dissipation fin to a heat generator such as an electronic part is adopted. ing. When using the heat radiator, a sheet-shaped member having heat conductivity (that is, a heat conductive sheet) is interposed between the heat generator and the heat radiator to bring the heat generator and the heat radiator into close contact with each other. Is commonly done.

そして、特許文献1には、高い熱伝導性、及び高い強度を有する、熱伝導性感圧接着性シートが開示されている。より具体的には、特許文献1では、(メタ)アクリル酸エステル重合体を含んでなる樹脂と、膨張化黒鉛とを含む組成物をシート状に成形してなる熱伝導性感圧接着性シートが開示されている。   And patent document 1 discloses a heat conductive pressure-sensitive adhesive sheet having high heat conductivity and high strength. More specifically, in Patent Document 1, a heat-conductive pressure-sensitive adhesive sheet obtained by molding a composition containing a resin containing a (meth) acrylic acid ester polymer and expanded graphite into a sheet shape is provided. It is disclosed.

特開2011−26531号公報JP, 2011-26531, A

ここで、近年、熱伝導シートの用途の拡大に伴い、熱伝導シートには、種々の属性を一層高めることが求められている。より具体的には、熱伝導シートには、アウトガスを発生し難いこと、及び、適度な硬度を有しハンドリング性に優れることが求められている。
しかしながら、上記従来の熱伝導シートには、アウトガスを発生し難いことと、優れたハンドリング性を呈し得ることと、を両立するという点において、改善の余地があった。
Here, in recent years, along with the expansion of applications of the heat conductive sheet, it is required to further enhance various attributes of the heat conductive sheet. More specifically, the heat conductive sheet is required to be less likely to generate outgas and to have an appropriate hardness and excellent handleability.
However, the above-mentioned conventional heat conductive sheet has room for improvement in that it is difficult to generate outgas and exhibits excellent handling properties.

そこで、本発明は、アウトガスを発生し難く且つハンドリング性に優れる、熱伝導シートを提供することを目的とする。   Therefore, it is an object of the present invention to provide a heat conductive sheet that does not easily generate outgas and is excellent in handleability.

本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を行った。そして、本発明者らは、熱伝導シートに配合する黒鉛として、吸油量が比較的少ない黒鉛を採用することで、酸性ガス等のアウトガスの発生量が少なくなることを新たに見出した。熱伝導シートからのアウトガスの発生量が少なければ、電子機器等に熱伝導シートを実装した際に、電子機器の使用に伴い発生したアウトガスにより電子機器等に悪影響を与えることを抑制することができる。しかし、本発明者らが検討を進めた結果、熱伝導シートの形成にあたり、吸油量が比較的少ない黒鉛を採用した場合には、特に、黒鉛の配合量が少ない場合に、得られる熱伝導シートの硬度が低くなり易いということが明らかとなった。ここで、熱伝導シートの硬度が過度に低い、即ち、熱伝導シートが柔らかすぎる場合には、熱伝導シートが破れ易くなる、及び、熱伝導シートの運搬が困難になる、等の、ハンドリング上の問題が生じる虞がある。なお、熱伝導シートのハンドリング性は、熱伝導シートがべたつくことによっても劣化し得る。そこで、本発明者らは、吸油量が所定値以下の黒鉛を材料として熱伝導シートを形成するにあたり、熱伝導シート中における黒鉛の体積分率を40体積%以上とすることで、アウトガスを発生し難く且つハンドリング性に優れる熱伝導シートを提供可能であることを新たに見出し、本発明を完成させた。   The present inventors have earnestly studied to achieve the above object. Then, the present inventors have newly found that the amount of outgas such as acid gas generated is reduced by adopting graphite having a relatively small oil absorption amount as graphite to be blended in the heat conductive sheet. When the amount of outgas generated from the heat conductive sheet is small, when the heat conductive sheet is mounted on an electronic device or the like, it is possible to suppress adverse effects on the electronic device or the like due to the outgas generated due to the use of the electronic device. .. However, as a result of the studies conducted by the present inventors, in the formation of the heat conductive sheet, when the graphite having a relatively small oil absorption is adopted, the heat conductive sheet obtained particularly when the graphite content is small. It has become clear that the hardness of the is easily lowered. Here, the hardness of the heat conductive sheet is excessively low, that is, when the heat conductive sheet is too soft, the heat conductive sheet is easily broken, and it becomes difficult to carry the heat conductive sheet. There is a possibility that the problem of. The handleability of the heat conductive sheet may be deteriorated even if the heat conductive sheet becomes sticky. Therefore, when forming a heat conductive sheet using graphite having an oil absorption amount equal to or less than a predetermined value, the present inventors set the volume fraction of graphite in the heat conductive sheet to 40% by volume or more to generate outgas. It was newly found that it is possible to provide a heat conductive sheet that is difficult to handle and is excellent in handleability, and completed the present invention.

即ち、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱伝導シートは、黒鉛及び樹脂を含む熱伝導シートであって、前記黒鉛の吸油量が250ml/100g以下であり、前記黒鉛が前記熱伝導シートの厚み方向に配向してなり、且つ、前記熱伝導シート中における前記黒鉛の体積分率が40体積%以上である、ことを特徴とする。熱伝導シート中にて厚み方向に配向され、且つ、体積分率が40体積%以上となるような比率で含有される黒鉛の吸油量が、250ml/100g以下であれば、かかる熱伝導シートは、アウトガスを発生し難く且つハンドリング性に優れる。なお、黒鉛の吸油量及び熱伝導シート中における黒鉛の体積分率は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、本明細書において、「シート」とは、表面及び裏面からなる主面が、厚み分の距離を隔てて配置されてなる形状を有する物体を意味する。   That is, the present invention is intended to advantageously solve the above problems, the thermal conductive sheet of the present invention is a thermal conductive sheet containing graphite and resin, the oil absorption of the graphite is 250ml / It is 100 g or less, the graphite is oriented in the thickness direction of the heat conductive sheet, and the volume fraction of the graphite in the heat conductive sheet is 40 vol% or more. If the oil absorption amount of graphite that is oriented in the thickness direction in the heat conductive sheet and is contained at a ratio such that the volume fraction is 40% by volume or more is 250 ml / 100 g or less, the heat conductive sheet is Outgassing is difficult to occur and handling is excellent. The oil absorption of graphite and the volume fraction of graphite in the heat conductive sheet can be measured by the methods described in Examples. Further, in the present specification, the “sheet” means an object having a shape in which main surfaces including a front surface and a back surface are arranged with a distance of thickness therebetween.

また、本発明の熱伝導シートにおいて、前記黒鉛の体積平均粒子径が、40μm以上260μm以下であることが好ましい。熱伝導シートに含有される黒鉛の体積平均粒子径が、上記下限値以上であれば、熱伝導性を一層高めることができ、また、上記上限値以下であればえられる熱伝導シートがべたつくことを抑制して、シートのハンドリング性を一層高めることができる。なお、黒鉛の体積平均粒子径は、実施例に記載の方法により測定することができる。   In the heat conductive sheet of the present invention, it is preferable that the graphite has a volume average particle size of 40 μm or more and 260 μm or less. If the volume average particle diameter of graphite contained in the heat conductive sheet is at least the above lower limit, the thermal conductivity can be further enhanced, and if the volume average particle size is at most the above upper limit, the resulting heat conductive sheet will be sticky. Can be suppressed, and the handleability of the seat can be further enhanced. The volume average particle diameter of graphite can be measured by the method described in Examples.

また、本発明の熱伝導シートにおいて、前記黒鉛が人造黒鉛であることが好ましい。熱伝導シートが黒鉛として人造黒鉛を含有していれば、アウトガスを一層発生し難い。   Further, in the heat conductive sheet of the present invention, it is preferable that the graphite is artificial graphite. If the heat conductive sheet contains artificial graphite as graphite, it is more difficult to generate outgas.

また、本発明の熱伝導シートにおいて、前記黒鉛のBET比表面積が、1m/g以上30m/g以下であることが好ましい。熱伝導シートに含まれる黒鉛のBET比表面積が1m/g以上30m/g以下であれば、熱伝導シートの引張強度を高めることができる。なお、黒鉛のBET比表面積は、実施例に記載の方法により測定することができる。 Further, in the heat conductive sheet of the present invention, it is preferable that the BET specific surface area of the graphite is 1 m 2 / g or more and 30 m 2 / g or less. When the BET specific surface area of graphite contained in the heat conductive sheet is 1 m 2 / g or more and 30 m 2 / g or less, the tensile strength of the heat conductive sheet can be increased. The BET specific surface area of graphite can be measured by the method described in Examples.

また、本発明の熱伝導シートにおいて、前記樹脂が、熱可塑性フッ素樹脂であることが好ましい。熱伝導シートに含まれる樹脂が熱可塑性フッ素樹脂であれば、熱伝導シートの耐久性を高めることができる。   Further, in the heat conductive sheet of the present invention, it is preferable that the resin is a thermoplastic fluororesin. If the resin contained in the heat conductive sheet is a thermoplastic fluororesin, the durability of the heat conductive sheet can be improved.

本発明によれば、アウトガスを発生し難く且つハンドリング性に優れる、熱伝導シートを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the heat conductive sheet which is hard to generate | occur | produce an outgas and is excellent in handleability can be provided.

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
本発明の熱伝導シートは、熱伝導性を有するため、発熱体と放熱体との間に挟み込んで使用することができる。即ち、本発明の熱伝導シートは、放熱部材として、ヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体と共に放熱装置を構成することができる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
Since the heat conductive sheet of the present invention has heat conductivity, it can be used by being sandwiched between a heat generating body and a heat radiating body. That is, the heat conductive sheet of the present invention can constitute a heat dissipation device together with a heat dissipation member such as a heat sink, a heat dissipation plate, and a heat dissipation fin as a heat dissipation member.

(熱伝導シート)
本発明の熱伝導シートは、黒鉛及び樹脂を含む熱伝導シートである。そして、本発明の熱伝導シートにおいて、黒鉛の吸油量が250ml/100g以下であり、黒鉛が熱伝導シートの厚み方向に配向してなり、且つ、熱伝導シート中における黒鉛の体積分率が40体積%以上であることを特徴とする。なお、本発明の熱伝導シートは、任意で、上記所定の含有成分以外のその他の成分を含んでいても良い。本発明の熱伝導シートは、黒鉛材料として、吸油量が250ml/100g以下の黒鉛を含有するため、アウトガスの発生が少ない。このため、本発明の熱伝導シートは、電子機器等に実装した際に、アウトガスによる影響を電子機器に対して与え難い。さらに、熱伝導シートを被着体に対して装着した状態で、加熱された熱伝導シートから、H2SO4ガス等の酸性ガスが、アウトガスとして発生すると、被着体及び熱伝導シートの周囲に配置されたその他の部品等を腐食させる虞がある。このように、熱伝導シートにおいて、アウトガスの発生が少ないことは様々な側面において重要である。そこで、本発明者らが種々検討した結果、黒鉛材料として、吸油量が250ml/100g以下の黒鉛を採用した場合に、アウトガスの発生が良好に抑制されうることが明らかとなった。しかし、本発明者らによる更なる検討の結果、吸油量が250ml/100g以下の黒鉛は、熱伝導シートの形成に用いた場合に、熱伝導シート中における含有比率が少なければ、熱伝導シートに充分な硬度を付与することができず、得られる熱伝導シートの硬度が不足してハンドリング性が劣ることが明らかとなった。そこで、本発明者らは、熱伝導シート中における吸油量が250ml/100g以下の黒鉛の体積分率を40体積%以上とすることで、熱伝導シートからのアウトガスの発生を抑制しつつ、熱伝導シートに適度な硬度を付与してハンドリング性も担保することに成功した。
(Heat conduction sheet)
The heat conductive sheet of the present invention is a heat conductive sheet containing graphite and resin. In the heat conductive sheet of the present invention, the oil absorption of graphite is 250 ml / 100 g or less, the graphite is oriented in the thickness direction of the heat conductive sheet, and the volume fraction of graphite in the heat conductive sheet is 40. It is characterized by being at least volume%. The heat conductive sheet of the present invention may optionally contain other components than the above-mentioned predetermined contained components. The heat conductive sheet of the present invention contains, as a graphite material, graphite having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less, so that outgas generation is small. For this reason, when the heat conductive sheet of the present invention is mounted on an electronic device or the like, it is difficult for the electronic device to be affected by outgas. Furthermore, when an acid gas such as H 2 SO 4 gas is generated as an outgas from the heated heat conductive sheet with the heat conductive sheet attached to the adherend, the surroundings of the adherend and the heat conductive sheet. There is a risk of corroding other parts and the like arranged in the. As described above, in the heat conductive sheet, it is important in various aspects that the outgas generation is small. Therefore, as a result of various studies by the present inventors, it was revealed that when graphite having an oil absorption amount of 250 ml / 100 g or less was used as the graphite material, the generation of outgas could be effectively suppressed. However, as a result of further study by the present inventors, graphite having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less is used as a heat conductive sheet if the content ratio in the heat conductive sheet is small when used for forming the heat conductive sheet. It was revealed that sufficient hardness could not be imparted, and the resulting heat conductive sheet lacked in hardness and was inferior in handleability. Therefore, the present inventors set the volume fraction of graphite having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less in the heat conductive sheet to 40% by volume or more, thereby suppressing the generation of outgas from the heat conductive sheet, We succeeded in securing appropriate handleability by giving appropriate hardness to the conductive sheet.

<黒鉛>
黒鉛は、本発明の熱伝導シート中において、シートの厚み方向に配向され、シートの厚み方向における熱伝導ネットワークを形成する。ここで、黒鉛が「シートの厚み方向に配向」した状態となっているか否かは、熱伝導シートの断面を走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)で観察することにより確認することができる。熱伝導シートの厚み方向に黒鉛が配向していれば、かかるシートは、少なくとも厚み方向に熱伝導性を呈する。
<Graphite>
In the heat conductive sheet of the present invention, graphite is oriented in the thickness direction of the sheet and forms a heat conduction network in the thickness direction of the sheet. Here, whether or not the graphite is in the state of being “oriented in the thickness direction of the sheet” can be confirmed by observing the cross section of the heat conductive sheet with a scanning electron microscope (SEM). .. If the graphite is oriented in the thickness direction of the heat conductive sheet, such a sheet exhibits heat conductivity at least in the thickness direction.

<<黒鉛の吸油量>>
そして、本発明の熱伝導シートに含まれる黒鉛は、吸油量が250ml/100g以下であることを必要とする。熱伝導シートに含まれる黒鉛の吸油量が250ml/100g以下であれば、かかる熱伝導シートはアウトガスを発生し難いばかりではなく、シートに適度な柔軟性を付与することができる。その結果、熱伝導シートと、当該熱伝導シートを挟み込んでいる被着体(例えば、発熱体及び放熱体)との間の密着性を高めることができ、被着体と熱伝導シートとの界面における熱抵抗(即ち、界面抵抗)を低減することができる。なお、吸油量が250ml/100g超の黒鉛と、吸油量が250ml/100g以下の黒鉛とを、それぞれ用いて、熱伝導シート中における体積分率の値が同じ熱伝導シートを形成した場合、吸油量が250ml/100g超の黒鉛を用いて形成した熱伝導シートの硬度の方が、吸油量が250ml/100g以下の黒鉛を用いて形成した熱伝導シートの硬度よりも高くなる。さらに、熱伝導シート中における黒鉛の体積分率を高めた場合に、その差は顕著になる。よって、本発明に係る熱伝導シートは、黒鉛の体積分率が高い場合であっても熱伝導シートの硬度が過度に高くなることを抑制することができる。従って、本発明によれば、適切な柔軟性及び硬度を有する熱伝導シートを提供することができる。なお、黒鉛の吸油量は、実施例に記載したように、材料としての黒鉛について所定の方法に従って測定することができる。ある黒鉛についての吸油量の値は、熱伝導シートを製造するための各種工程において実質的に変化せず、一定でありうる。
<< Oil absorption of graphite >>
The graphite contained in the heat conductive sheet of the present invention needs to have an oil absorption of 250 ml / 100 g or less. When the oil absorption of graphite contained in the heat conductive sheet is 250 ml / 100 g or less, the heat conductive sheet is not only difficult to generate outgas, but also can be given appropriate flexibility to the sheet. As a result, the adhesion between the heat conductive sheet and the adherends (for example, the heat generating body and the heat radiating body) sandwiching the heat conductive sheet can be enhanced, and the interface between the adherend and the heat conductive sheet can be increased. The thermal resistance (i.e., interfacial resistance) at 1 can be reduced. In the case where a graphite sheet having an oil absorption amount of more than 250 ml / 100 g and a graphite sheet having an oil absorption amount of 250 ml / 100 g or less are used to form a heat conductive sheet having the same volume fraction value in the heat conductive sheet, The hardness of the heat conductive sheet formed by using graphite having an amount of more than 250 ml / 100 g is higher than the hardness of the heat conductive sheet formed by using graphite having an oil absorption amount of 250 ml / 100 g or less. Further, the difference becomes remarkable when the volume fraction of graphite in the heat conductive sheet is increased. Therefore, the heat conductive sheet according to the present invention can prevent the hardness of the heat conductive sheet from becoming excessively high even when the volume fraction of graphite is high. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a heat conductive sheet having appropriate flexibility and hardness. The oil absorption of graphite can be measured according to a predetermined method for graphite as a material, as described in the examples. The value of the oil absorption amount for a certain graphite may be constant without substantially changing in various steps for manufacturing the heat conductive sheet.

以下、本発明の熱伝導シートに含まれる、吸油量が250ml/100g以下の黒鉛を、「黒鉛A」とも称する。さらに、黒鉛Aの吸油量は、熱伝導シートのハンドリング性を一層高める観点から、50ml/100g以上であることが好ましく、80ml/100g以上であることがより好ましく、100ml/100g以上であることが更に好ましい。黒鉛Aの吸油量が50ml/100g以上であれば、熱伝導シート中における黒鉛Aと樹脂との間の親和性が適度に高く、熱伝導シートの硬度が過度に低くなることを抑制することができるからである。   Hereinafter, the graphite having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less contained in the heat conductive sheet of the present invention is also referred to as “graphite A”. Further, the oil absorption of graphite A is preferably 50 ml / 100 g or more, more preferably 80 ml / 100 g or more, and more preferably 100 ml / 100 g or more, from the viewpoint of further enhancing the handleability of the heat conductive sheet. More preferable. When the oil absorption of the graphite A is 50 ml / 100 g or more, the affinity between the graphite A and the resin in the heat conductive sheet is appropriately high, and it is possible to prevent the hardness of the heat conductive sheet from becoming excessively low. Because you can.

<<黒鉛Aの体積分率>>
熱伝導シート中における、吸油量が250ml/100g以下の黒鉛(黒鉛A)の体積分率は、40体積%以上である必要があり、80体積%以下であることが好ましく、60体積%以下であることがより好ましい。熱伝導シート中における、黒鉛Aの体積分率が40体積%以上であれば、アウトガスが充分に少ない熱伝導シートが、適度な硬度を有しており、ハンドリング性に優れる。また、熱伝導シート中における、黒鉛Aの体積分率が上記上限値以下であれば、熱伝導シートの硬度が過度に高くなり、界面抵抗が高まることを抑制することができる。
<< Volume of Graphite A >>
The volume fraction of graphite (graphite A) having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less in the heat conductive sheet needs to be 40% by volume or more, preferably 80% by volume or less, and 60% by volume or less. More preferably. When the volume fraction of graphite A in the heat conductive sheet is 40% by volume or more, the heat conductive sheet with a sufficiently small amount of outgas has an appropriate hardness and is excellent in handleability. Further, when the volume fraction of graphite A in the heat conductive sheet is equal to or less than the above upper limit value, it is possible to prevent the hardness of the heat conductive sheet from becoming excessively high and the interface resistance from increasing.

<<黒鉛Aの種類>>
吸油量が250ml/100g以下の黒鉛(黒鉛A)は、特に限定されることなく、人造黒鉛、並びに、鱗片状黒鉛、薄片化黒鉛、酸処理黒鉛、膨張性黒鉛、及び膨張化黒鉛等の天然系黒鉛で有り得る。なお、吸油量が上記条件を満たす限りにおいて特に限定されることなく、黒鉛Aとして、これらの混合物を用いても良い。中でも、熱伝導シートのハンドリング性及び耐久性を一層良好に高める観点、及び、熱伝導シートの均質化の観点等から、熱伝導シートに含まれる黒鉛Aが、人造黒鉛からなることが好ましい。人造黒鉛は、例えば、石油又は石炭に由来するコークスを高温(例えば、1000℃以上)で熱処理することで得ることができる。
<< Type of Graphite A >>
The graphite (graphite A) having an oil absorption amount of 250 ml / 100 g or less is not particularly limited, and artificial graphite and natural graphite such as flake graphite, exfoliated graphite, acid-treated graphite, expandable graphite, and expanded graphite are used. It may be graphite. The oil absorption is not particularly limited as long as the above conditions are satisfied, and a mixture of these may be used as the graphite A. Above all, it is preferable that the graphite A contained in the heat conductive sheet is made of artificial graphite from the viewpoints of further improving the handling property and durability of the heat conductive sheet, the homogenization of the heat conductive sheet, and the like. The artificial graphite can be obtained, for example, by heat-treating coke derived from petroleum or coal at a high temperature (for example, 1000 ° C. or higher).

<<黒鉛Aの体積平均粒子径>>
吸油量が250ml/100g以下の黒鉛(黒鉛A)の体積平均粒子径は、40μm以上が好ましく、50μm以上がより好ましく、260μm以下が好ましく、250μm以下がより好ましい。熱伝導シートに含有される黒鉛Aの体積平均粒子径が上記下限値以上であれば、熱伝導シートの硬度を高めることにより熱伝導シートのハンドリング性を高めるとともに、得られる熱伝導シートの熱伝導率を高めることができる。また、黒鉛Aの体積平均粒子径が上記上限値以下であれば、得られる熱伝導シートがべたつくことを抑制して、シートのハンドリング性を一層高めることができる。さらに、黒鉛Aの体積平均粒子径が上記上限値以下であれば、熱伝導シート表面の平滑性を過度に悪化させることがなく、界面抵抗を低減することが出来る。なお、黒鉛の体積平均粒子径は、実施例に記載したように、材料としての黒鉛について所定の方法に従って測定することができる。吸油量が250ml/100g以下である、黒鉛Aについての体積平均粒子径の値は、熱伝導シートを製造するための各種工程において実質的に変化せず、一定でありうる。これは、吸油量が250ml/100g以下である黒鉛Aは、高い圧縮強度を有しており、熱伝導シートを製造するための一連の工程に供され撹拌及び圧縮等された場合であっても、粒子径が実質的に変化しないためであると推察される。
<< Volume Average Particle Diameter of Graphite A >>
The volume average particle size of graphite (graphite A) having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less is preferably 40 μm or more, more preferably 50 μm or more, preferably 260 μm or less, and more preferably 250 μm or less. When the volume average particle diameter of the graphite A contained in the heat conductive sheet is not less than the lower limit value described above, the handleability of the heat conductive sheet is improved by increasing the hardness of the heat conductive sheet, and the heat conductivity of the obtained heat conductive sheet is increased. The rate can be increased. Further, when the volume average particle diameter of the graphite A is not more than the above upper limit value, it is possible to suppress stickiness of the obtained heat conductive sheet and further improve the handleability of the sheet. Furthermore, if the volume average particle diameter of the graphite A is not more than the above upper limit value, the interface resistance can be reduced without excessively deteriorating the smoothness of the surface of the heat conductive sheet. The volume average particle diameter of graphite can be measured according to a predetermined method for graphite as a material, as described in Examples. The value of the volume average particle diameter of the graphite A having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less does not substantially change in various steps for producing the heat conductive sheet and may be constant. This is because graphite A having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less has a high compressive strength, and even when it is subjected to a series of steps for producing a heat conductive sheet and stirred and compressed. It is assumed that this is because the particle size does not substantially change.

<<黒鉛AのBET比表面積>>
黒鉛AのBET比表面積は、1m/g以上が好ましく、30m/g以下が好ましく、15m/g以下がより好ましく、5m/g以下が更に好ましい。黒鉛AのBET比表面積が上記範囲内であれば、熱伝導シートの引張強度を高めることができる。より具体的には、黒鉛AのBET比表面積が上記範囲内であれば、樹脂と黒鉛Aとが適度に相互作用することで親和性が高まり、熱伝導シートの延性を高めるように作用して、引張強度を高めることができる。なお、黒鉛AのBET比表面積は、実施例に記載したように、材料としての黒鉛について所定の方法に従って測定することができる。ある黒鉛AについてのBET比表面積の値は、熱伝導シートを製造するための各種工程において実質的に変化せず、一定でありうる。
<< BET specific surface area of graphite A >>
BET specific surface area of the graphite A is preferably at least 1 m 2 / g, preferably 30 m 2 / g or less, more preferably 15m 2 / g, 5m 2 / g or less is more preferable. When the BET specific surface area of graphite A is within the above range, the tensile strength of the heat conductive sheet can be increased. More specifically, if the BET specific surface area of the graphite A is within the above range, the resin and the graphite A interact appropriately to increase the affinity and act to increase the ductility of the heat conductive sheet. The tensile strength can be increased. The BET specific surface area of graphite A can be measured according to a predetermined method for graphite as a material, as described in the examples. The value of the BET specific surface area of a certain graphite A does not substantially change in various steps for producing a heat conductive sheet and may be constant.

<<黒鉛Aのアスペクト比>>
黒鉛Aのアスペクト比は、10以下が好ましく、6以下がより好ましく、通常、1以上であり、好ましくは1.5以上である。黒鉛Aのアスペクト比が上記上限値以下であれば、黒鉛Aが補強効果を発揮しないため熱伝導シートの柔らかさを維持することが出来る。また、黒鉛Aのアスペクト比が上記下限値以上であれば、熱伝導シートの熱伝導性を高めるとともに、熱伝導シートの引張強度及び硬度を適度に高めることができる。なお、「アスペクト比」は、粒子状物質の長径の長さをかかる長径に直交する短径の長さで除して得られる値であり、具体的には、実施例に記載した方法により測定することができる。また、黒鉛Aのアスペクト比は、実施例に記載したように、材料としての黒鉛Aについて所定の方法に従って測定することができる。吸油量が250ml/100g以下である、黒鉛Aについてのアスペクト比の値は、熱伝導シートを製造するための各種工程において実質的に変化せず、一定でありうる。これは、吸油量が250ml/100g以下である黒鉛Aは、高い圧縮強度を有しており、熱伝導シートを製造するための一連の工程に供され撹拌及び圧縮等された場合であっても、形状が実質的に変化しないためであると推察される。
<< Aspect ratio of graphite A >>
The aspect ratio of the graphite A is preferably 10 or less, more preferably 6 or less, usually 1 or more, and preferably 1.5 or more. If the aspect ratio of the graphite A is equal to or less than the above upper limit value, the graphite A does not exert the reinforcing effect, so that the softness of the heat conductive sheet can be maintained. Further, when the aspect ratio of the graphite A is not less than the lower limit value described above, the thermal conductivity of the heat conductive sheet can be increased, and the tensile strength and hardness of the heat conductive sheet can be appropriately increased. The "aspect ratio" is a value obtained by dividing the length of the major axis of the particulate matter by the length of the minor axis orthogonal to the major axis, and specifically, measured by the method described in Examples. can do. The aspect ratio of graphite A can be measured according to a predetermined method for graphite A as a material, as described in the examples. The value of the aspect ratio of graphite A having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less does not substantially change in various steps for producing the heat conductive sheet and may be constant. This is because graphite A having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less has a high compressive strength, and even when it is subjected to a series of steps for producing a heat conductive sheet and stirred and compressed. It is assumed that this is because the shape does not substantially change.

<樹脂>
本発明の熱伝導シートに含有される樹脂は、熱伝導シートのマトリックス樹脂として機能するとともに、熱伝導シート中において黒鉛等を結着する結着材として機能する。より具体的には、熱伝導シート中に含まれる樹脂は、熱可塑性樹脂であり得る。熱伝導シートが熱可塑性樹脂を含有することにより、使用時(放熱時)の高温環境下で、熱伝導シートの柔軟性を向上させ、熱伝導シートを介して発熱体と放熱体とを良好に密着させることができる。また、本発明の熱伝導シートの特性及び効果を失わないことを条件として、熱伝導シートに熱硬化性樹脂を併用することができる。なお、本明細書において、ゴム及びエラストマーは、「樹脂」に含まれるものとする。
<Resin>
The resin contained in the heat conductive sheet of the present invention functions as a matrix resin for the heat conductive sheet and also as a binder for binding graphite and the like in the heat conductive sheet. More specifically, the resin contained in the heat conductive sheet may be a thermoplastic resin. By including a thermoplastic resin in the heat conductive sheet, the flexibility of the heat conductive sheet is improved in a high temperature environment during use (when heat is dissipated), and the heat generating element and the heat radiating element are satisfactorily provided through the heat conductive sheet. Can be closely attached. Further, a thermosetting resin can be used in combination with the heat conductive sheet provided that the properties and effects of the heat conductive sheet of the present invention are not lost. In this specification, rubber and elastomer are included in the "resin".

熱可塑性樹脂としては、「常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂」、「常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂」、などが挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で併用してもよい。被着体と熱伝導シートとの間の界面抵抗を低下させることができ、熱伝導シートの熱伝導性を一層向上させることができる点で、「常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂」を少なくとも用いることが好ましい。更に、かかる界面抵抗低下効果に加えて、熱伝導シートに硬度を付与してハンドリング性を高める観点から、「常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂」に併せて、「常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂」を用いることが好ましい。なお、本明細書において、「常温」とは、23℃を指し、「常圧」とは、1atm(絶対圧)を指す。   Examples of the thermoplastic resin include "a thermoplastic resin which is liquid at normal temperature and normal pressure" and "a thermoplastic resin which is solid at normal temperature and normal pressure". These may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio. The interface resistance between the adherend and the heat conductive sheet can be lowered, and the thermal conductivity of the heat conductive sheet can be further improved, so that at least "a thermoplastic resin which is liquid under normal temperature and normal pressure" is used. It is preferable to use. Furthermore, in addition to the effect of reducing the interfacial resistance, from the viewpoint of imparting hardness to the heat conductive sheet to enhance handling properties, in addition to "thermoplastic resin which is liquid under normal temperature and normal pressure", "solid heat under normal temperature and normal pressure" It is preferable to use "plastic resin". In the present specification, “normal temperature” refers to 23 ° C., and “normal pressure” refers to 1 atm (absolute pressure).

そして、常温常圧下で液体/固体の熱可塑性樹脂を併用する場合には、常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂の含有割合が、常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂及び常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂の合計含有量の、40質量%以上であることが好ましく、60質量%以上であることがより好ましく、90質量%以下であることが好ましく、75質量%以下であることがより好ましい。常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂の含有割合が上記範囲内であれば、熱伝導シートの柔軟性を高めることにより熱伝導シートの熱伝導性を高めることができるからである。   When a liquid / solid thermoplastic resin is used together at room temperature and normal pressure, the content ratio of the liquid thermoplastic resin at room temperature and normal pressure is the same as that of the liquid thermoplastic resin at room temperature and normal pressure and the solid content at normal temperature and normal pressure. The total content of the thermoplastic resin is preferably 40% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, preferably 90% by mass or less, and more preferably 75% by mass or less. . This is because if the content ratio of the liquid thermoplastic resin at room temperature and normal pressure is within the above range, the thermal conductivity of the thermal conductive sheet can be increased by increasing the flexibility of the thermal conductive sheet.

<<常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂>>
常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を任意の比率で併用してもよい。
これらの中でも、熱伝導シートの難燃性、耐熱性、耐油性、及び耐薬品性を向上させる観点、及び熱伝導シートの耐久性を高める観点から、常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂が好ましい。
<< thermoplastic resin that is liquid under normal temperature and pressure >>
Examples of the thermoplastic resin that is liquid at room temperature and normal pressure include acrylic resin, epoxy resin, silicone resin, and fluororesin. These may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio.
Among these, from the viewpoint of improving the flame retardancy, heat resistance, oil resistance, and chemical resistance of the heat conductive sheet, and from the viewpoint of enhancing the durability of the heat conductive sheet, a liquid thermoplastic fluororesin at room temperature and normal pressure is used. preferable.

[常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂]
常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂は、常温常圧下で液体状の熱可塑性フッ素樹脂であれば、特に制限されない。常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂としては、例えば、ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロペンテン−テトラフルオロエチレン3元共重合体、パーフルオロプロペンオキサイド重合体、テトラフルオロエチレン−プロピレン−フッ化ビニリデン共重合体、などが挙げられる。これらは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を任意の比率で併用してもよい。
また、市販されている、常温常圧下で液状の熱可塑性フッ素樹脂としては、例えば、デュポン株式会社製のバイトン(登録商標)LM、ダイキン工業株式会社製のダイエル(登録商標)G−101、スリーエム株式会社製のダイニオンFC2210、信越化学工業株式会社製のSIFELシリーズ、などが挙げられる。
[Thermoplastic fluororesin that is liquid at normal temperature and pressure]
The thermoplastic fluororesin that is liquid at room temperature and atmospheric pressure is not particularly limited as long as it is a liquid thermoplastic fluororesin at room temperature and atmospheric pressure. Examples of the thermoplastic fluororesin that is liquid under normal temperature and pressure include, for example, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer, vinylidene fluoride-hexafluoropentene-tetrafluoroethylene terpolymer, perfluoropropene oxide polymer, And tetrafluoroethylene-propylene-vinylidene fluoride copolymer. These may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio.
Examples of commercially available thermoplastic fluororesins that are liquid at room temperature and normal pressure include Viton (registered trademark) LM manufactured by DuPont Co., Ltd., Daier (registered trademark) G-101 manufactured by Daikin Industries, Ltd., and 3M. Examples include Dyneon FC2210 manufactured by Co., Ltd. and SIFEL series manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

<<常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂>>
常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリ(アクリル酸2−エチルヘキシル)、アクリル酸とアクリル酸2−エチルヘキシルとの共重合体、ポリメタクリル酸又はそのエステル、ポリアクリル酸又はそのエステルなどのアクリル樹脂;シリコーン樹脂;フッ素樹脂;ポリエチレン;ポリプロピレン;エチレン−プロピレン共重合体;ポリメチルペンテン;ポリ塩化ビニル;ポリ塩化ビニリデン;ポリ酢酸ビニル;エチレン−酢酸ビニル共重合体;ポリビニルアルコール;ポリアセタール;ポリエチレンテレフタレート;ポリブチレンテレフタレート;ポリエチレンナフタレート;ポリスチレン;ポリアクリロニトリル;スチレン−アクリロニトリル共重合体;アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS樹脂);スチレン−ブタジエンブロック共重合体又はその水素添加物;スチレン−イソプレンブロック共重合体又はその水素添加物;ポリフェニレンエーテル;変性ポリフェニレンエーテル;脂肪族ポリアミド類;芳香族ポリアミド類;ポリアミドイミド;ポリカーボネート;ポリフェニレンスルフィド;ポリサルホン;ポリエーテルサルホン;ポリエーテルニトリル;ポリエーテルケトン;ポリケトン;ポリウレタン;液晶ポリマー;アイオノマー;などが挙げられる。これらは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を任意の比率で併用してもよい。
これらの中でも、熱伝導シートの難燃性、耐熱性、耐油性、及び耐薬品性などを向上させる観点、及び熱伝導シートの耐久性を高める観点から、常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂が好ましい。
<< thermoplastic resin solid at room temperature and pressure >>
Examples of the solid thermoplastic resin at room temperature and normal pressure include poly (2-ethylhexyl acrylate), copolymers of acrylic acid and 2-ethylhexyl acrylate, polymethacrylic acid or its ester, polyacrylic acid or its ester. Acrylic resin such as; Silicone resin; Fluorine resin; Polyethylene; Polypropylene; Ethylene-propylene copolymer; Polymethylpentene; Polyvinyl chloride; Polyvinylidene chloride; Polyvinyl acetate; Ethylene-vinyl acetate copolymer; Polyvinyl alcohol; Polyacetal Polyethylene terephthalate; Polybutylene terephthalate; Polyethylene naphthalate; Polystyrene; Polyacrylonitrile; Styrene-acrylonitrile copolymer; Acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin); Styrene-butadiene block copolymer or hydrogenated product thereof; Styrene-isoprene block copolymer or hydrogenated product thereof; polyphenylene ether; modified polyphenylene ether; aliphatic polyamides; aromatic polyamides; polyamideimide; polycarbonate; polyphenylene sulfide; polysulfone; polyethersulfone; polyethernitrile; poly Ether ketone; polyketone; polyurethane; liquid crystal polymer; ionomer; and the like. These may be used individually by 1 type, and may be used together 2 or more types by arbitrary ratios.
Among these, from the viewpoint of improving flame retardancy, heat resistance, oil resistance, chemical resistance, etc. of the heat conductive sheet, and from the viewpoint of enhancing the durability of the heat conductive sheet, a solid thermoplastic fluororesin under normal temperature and normal pressure. Is preferred.

[常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂]
常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂は、常温常圧下で固体状の熱可塑性フッ素樹脂であれば、特に制限されない。常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂としては、例えば、フッ化ビニリデン系フッ素樹脂、テトラフルオロエチレン−プロピレン系フッ素樹脂、テトラフルオロエチレン−パープルオロビニルエーテル系フッ素樹脂等、フッ素含有モノマーを重合して得られるエラストマーなどが挙げられる。より具体的には、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド、ポリクロロトリフルオロエチレン、エチレン−クロロフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロジオキソール共重合体、ポリビニルフルオライド、テトラフルオロエチレン−プロピレン共重合体、ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ビニリデンフルオライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリテトラフルオロエチレンのアクリル変性物、ポリテトラフルオロエチレンのエステル変性物、ポリテトラフルオロエチレンのエポキシ変性物及びポリテトラフルオロエチレンのシラン変性物、などが挙げられる。これらは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を任意の比率で併用してもよい。
これらの中でも、加工性の観点から、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ビニリデンフルオライド−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリテトラフルオロエチレンのアクリル変性物、が好ましい。
[Thermoplastic fluororesin that is solid under normal temperature and pressure]
The thermoplastic fluororesin that is solid under normal temperature and normal pressure is not particularly limited as long as it is a solid thermoplastic fluororesin under normal temperature and normal pressure. As the solid thermoplastic fluororesin at room temperature and atmospheric pressure, for example, vinylidene fluoride-based fluororesin, tetrafluoroethylene-propylene-based fluororesin, tetrafluoroethylene-purple orovinyl ether-based fluororesin, etc. are polymerized with a fluorine-containing monomer. The resulting elastomer may be mentioned. More specifically, polytetrafluoroethylene, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, tetrafluoroethylene-ethylene copolymer, polyvinylidene fluoride, polychloro. Trifluoroethylene, ethylene-chlorofluoroethylene copolymer, tetrafluoroethylene-perfluorodioxole copolymer, polyvinyl fluoride, tetrafluoroethylene-propylene copolymer, vinylidene fluoride-hexafluoropropylene copolymer, Vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, acrylic modified product of polytetrafluoroethylene, ester modified product of polytetrafluoroethylene, epoxy modified product of polytetrafluoroethylene and silane modified product of polytetrafluoroethylene , And so on. These may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio.
Among these, from the viewpoint of processability, polytetrafluoroethylene, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, acrylic modified product of polytetrafluoroethylene. , Are preferred.

また、市販されている、常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂としては、例えば、ダイキン工業株式会社製のダイエル(登録商標)G−912、G−700シリーズ、ダイエルG−550シリーズ/G−600シリーズ、ダイエルG−310;ALKEMA社製のKYNAR(登録商標)シリーズ、KYNAR FLEX(登録商標)シリーズ;スリーエム社製のダイニオンFC2211、FPO3600ULV;などが挙げられる。   Examples of commercially available thermoplastic fluororesin that is solid at room temperature and atmospheric pressure include Daiel (registered trademark) G-912, G-700 series, and Daiel G-550 series / G- manufactured by Daikin Industries, Ltd. 600 series, DAI-EL G-310; KYNAR (registered trademark) series, KYNAR FLEX (registered trademark) series manufactured by ALKEMA; Dyneon FC2211, FPO3600ULV manufactured by 3M, and the like.

<<熱硬化性樹脂>>
本発明の熱伝導シートの特性及び効果を失わないことを条件として、熱伝導シートに任意に使用し得る熱硬化性樹脂としては、例えば、天然ゴム;ブタジエンゴム;イソプレンゴム;ニトリルゴム;水素化ニトリルゴム;クロロプレンゴム;エチレンプロピレンゴム;塩素化ポリエチレン;クロロスルホン化ポリエチレン;ブチルゴム;ハロゲン化ブチルゴム;ポリイソブチレンゴム;エポキシ樹脂;ポリイミド樹脂;ビスマレイミド樹脂;ベンゾシクロブテン樹脂;フェノール樹脂;不飽和ポリエステル;ジアリルフタレート樹脂;ポリイミドシリコーン樹脂;ポリウレタン;熱硬化型ポリフェニレンエーテル;熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル;などが挙げられる。これらは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を任意の比率で併用してもよい。
<< thermosetting resin >>
Thermosetting resins that can be optionally used in the heat conductive sheet are, for example, natural rubber; butadiene rubber; isoprene rubber; nitrile rubber; hydrogenated, provided that the properties and effects of the heat conductive sheet of the present invention are not lost. Nitrile rubber; chloroprene rubber; ethylene propylene rubber; chlorinated polyethylene; chlorosulfonated polyethylene; butyl rubber; halogenated butyl rubber; polyisobutylene rubber; epoxy resin; polyimide resin; bismaleimide resin; benzocyclobutene resin; phenol resin; unsaturated polyester Diallyl phthalate resin; polyimide silicone resin; polyurethane; thermosetting polyphenylene ether; thermosetting modified polyphenylene ether; and the like. These may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio.

<その他の成分>
本発明の熱伝導シートは、本発明の熱伝導シートの特性及び効果を失わないことを条件として、上述した各種含有成分以外のその他の成分を含んでいても良い。かかるその他の成分としては、特に限定されることなく、カーボンナノチューブ等の繊維状炭素材料;無機窒化物材料;赤りん系難燃剤及びりん酸エステル系難燃剤等の難燃剤;脂肪酸エステル系可塑剤等の可塑剤;ウレタンアクリレート等の靭性改良剤;酸化カルシウム、酸化マグネシウム等の吸湿剤;シランカップリング剤、チタンカップリング剤、及び酸無水物などの接着力向上剤;ノニオン系界面活性剤及びフッ素系界面活性剤等の濡れ性向上剤;並びに、無機イオン交換体等のイオントラップ剤;などが挙げられる。
<Other ingredients>
The heat conductive sheet of the present invention may contain components other than the above-mentioned various contained components, provided that the properties and effects of the heat conductive sheet of the present invention are not lost. Such other components are not particularly limited, and include fibrous carbon materials such as carbon nanotubes; inorganic nitride materials; flame retardants such as red phosphorus flame retardants and phosphoric acid ester flame retardants; fatty acid ester plasticizers. Plasticizers such as urethane acrylates; toughness improving agents such as urethane acrylates; moisture absorbing agents such as calcium oxide and magnesium oxide; silane coupling agents, titanium coupling agents, and adhesion improvers such as acid anhydrides; nonionic surfactants and And a wetting improver such as a fluorinated surfactant; and an ion trapping agent such as an inorganic ion exchanger.

<熱伝導シートの引張強度>
熱伝導シートの引張強度は、0.5MPa以上であることが好ましく、通常、1.5MPa以下であり得る。熱伝導シートの引張強度が0.5MPa以上であれば、熱伝導シートを被着体(例えば、発熱体及び放熱体)により挟んで使用する際に、熱伝導シートが破れやすくなることを抑制することができる。
<Tensile strength of heat conductive sheet>
The tensile strength of the heat conductive sheet is preferably 0.5 MPa or more, and usually 1.5 MPa or less. When the tensile strength of the heat conductive sheet is 0.5 MPa or more, it is possible to prevent the heat conductive sheet from being easily broken when the heat conductive sheet is sandwiched between adherends (for example, a heat generating body and a heat radiating body). be able to.

<熱伝導シートの熱伝導率>
また、上述したように、本発明の熱伝導シートでは、黒鉛Aが熱伝導シートの厚み方向に配向している。このため、本発明の熱伝導シートは、少なくとも熱伝導シートの厚み方向において、熱伝導性を呈する。熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率は、実施例に記載した方法に従って測定することができる。ここで、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率は、1.5W/m・K以上であることが好ましい。熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が1.5W/m・K以上であれば、放熱部材として充分に実装可能である。
<Thermal conductivity of the heat conductive sheet>
Moreover, as described above, in the heat conductive sheet of the present invention, the graphite A is oriented in the thickness direction of the heat conductive sheet. Therefore, the heat conductive sheet of the present invention exhibits heat conductivity at least in the thickness direction of the heat conductive sheet. The thermal conductivity in the thickness direction of the heat conductive sheet can be measured according to the method described in the examples. Here, the thermal conductivity in the thickness direction of the heat conductive sheet is preferably 1.5 W / m · K or more. If the thermal conductivity of the heat conductive sheet in the thickness direction is 1.5 W / m · K or more, it can be sufficiently mounted as a heat dissipation member.

<熱伝導シートの比重及び厚み>
熱伝導シートの比重は、特に限定されることなく、熱伝導シートに配合する樹脂の種類、黒鉛の配合量等に応じて、種々の値をとり得る。例えば、樹脂として熱可塑性フッ素樹脂を用いた場合には、得られる熱伝導シートの比重は、1.20g/cm以上2.00g/cm以下であり得る。熱伝導シートの比重がかかる範囲内であれば、種々の用途に好適に用いることができる。なお、熱伝導シートの比重は、実施例に記載の方法により測定することができる。また、熱伝導シートの厚みは、特に限定されることなく、50μm以上500μm以下でありうる。熱伝導シートの厚みが上記上限値以下であれば、発熱体及び放熱体の間に熱伝導シートを介在させる必要が生じた場合に、熱伝導シートを介した発熱体及び放熱体の間の熱移動を容易とすることができる。また、熱伝導シートの厚みが上記下限値以上であれば、熱伝導シートの強度を高めることができる。
<Specific gravity and thickness of heat conductive sheet>
The specific gravity of the heat conductive sheet is not particularly limited, and can take various values depending on the type of resin mixed in the heat conductive sheet, the amount of graphite mixed, and the like. For example, in the case of using a thermoplastic fluororesin as the resin has a specific gravity of the resulting thermally conductive sheet may be 1.20 g / cm 3 or more 2.00 g / cm 3 or less. If the specific gravity of the heat conductive sheet is within such a range, it can be suitably used for various purposes. The specific gravity of the heat conductive sheet can be measured by the method described in Examples. The thickness of the heat conductive sheet is not particularly limited and may be 50 μm or more and 500 μm or less. If the thickness of the heat-conducting sheet is less than or equal to the above upper limit, when it becomes necessary to interpose the heat-conducting sheet between the heat-generating body and the heat-dissipating body, heat generated between the heat-generating body and the heat-dissipating body via the heat-conducting sheet. It can be moved easily. When the thickness of the heat conductive sheet is at least the above lower limit, the strength of the heat conductive sheet can be increased.

<熱伝導シートの形成方法>
本発明の熱伝導シートは、例えば、以下に詳述する、(i)プレ熱伝導シート成形工程、(ii)積層体形成工程、(iii)スライス工程、などを含む熱伝導シート形成方法により調製される。
<Method of forming heat conductive sheet>
The heat conductive sheet of the present invention is prepared by a heat conductive sheet forming method including, for example, (i) pre-heat conductive sheet forming step, (ii) laminate forming step, (iii) slicing step, and the like, which will be described in detail below. To be done.

<<(i)プレ熱伝導シート成形工程>>
プレ熱伝導シート成形工程では、樹脂及び吸油量が250ml/100g以下である黒鉛Aを含み、任意の他の成分をさらに含む組成物を加圧してシート状に成形し、プレ熱伝導シートを得る。
<< (i) Pre-heat conductive sheet forming step >>
In the pre-heat conductive sheet forming step, a composition containing a resin and graphite A having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less and further containing any other component is pressed to form a sheet to obtain a pre-heat conductive sheet. ..

〔組成物〕
ここで、組成物は、樹脂と、黒鉛Aと、任意の他の成分とを混合して調製することができる。そして、樹脂、黒鉛A、及び任意の他の成分としては、上述した各種成分を好適に用いることができる。換言すると、プレ熱伝導シート成形工程にて用いる黒鉛Aが、体積平均粒子径が40μm以上260μm以下、BET比表面積が、1m/g以上30m/g以下の、人造黒鉛であることが好ましい。また、本工程にて用いる樹脂が熱可塑性フッ素樹脂であることが好ましい。
〔Composition〕
Here, the composition can be prepared by mixing the resin, graphite A, and any other component. As the resin, graphite A, and any other component, the above-mentioned various components can be preferably used. In other words, it is preferable that the graphite A used in the pre-heat conductive sheet forming step is artificial graphite having a volume average particle diameter of 40 μm or more and 260 μm or less and a BET specific surface area of 1 m 2 / g or more and 30 m 2 / g or less. .. Further, the resin used in this step is preferably a thermoplastic fluororesin.

なお、上述した成分の混合は、特に限定されることなく、ニーダー、ロール、ミキサー等の既知の混合装置を用いて行うことができる。また、混合は、有機溶剤等の溶媒の存在下で行ってもよい。そして、混合時間は、例えば5分以上60分以下とすることができる。また、混合温度は、例えば5℃以上150℃以下とすることができる。   The mixing of the above-mentioned components is not particularly limited, and can be performed using a known mixing device such as a kneader, roll, or mixer. Further, the mixing may be performed in the presence of a solvent such as an organic solvent. The mixing time can be, for example, 5 minutes or more and 60 minutes or less. Further, the mixing temperature can be set to, for example, 5 ° C or higher and 150 ° C or lower.

そして、上述のようにして調製した組成物は、任意に脱泡及び解砕した後に、加圧(一次加圧)してシート状に成形することができる。そして、組成物を加圧してシート状に成形してなるプレ熱伝導シートでは、黒鉛が主として面内方向に配列し、特に面内方向の熱伝導性が向上すると推察される。なお、プレ熱伝導シートの厚みは、特に限定されることなく、例えば0.05mm以上2mm以下とすることができる。   The composition prepared as described above may be defoamed and crushed, and then pressed (primary pressure) to be molded into a sheet. Then, in the pre-heat conductive sheet formed by pressing the composition into a sheet shape, it is presumed that the graphite is mainly arranged in the in-plane direction, and particularly the thermal conductivity in the in-plane direction is improved. The thickness of the pre-heat conductive sheet is not particularly limited and can be, for example, 0.05 mm or more and 2 mm or less.

なお、プレ熱伝導シートについて、実施例にて記載した方法で測定したアスカーC硬度(以下、単に「プレ熱伝導シートのアスカーC硬度」とも称する)が、20以上であることが好ましく、25以上であることがより好ましく、75以下であることが好ましく、70以下であることがより好ましく、60以下であることが更に好ましい。プレ熱伝導シートのアスカーC硬度が上記下限値以上であれば、得られる熱伝導シートが過度に柔らかすぎず、ハンドリング性に優れる。また、プレ熱伝導シートのアスカーC硬度が上記上限値以下であれば、熱伝導シートが適度な柔軟性を有し、熱伝導シートと被着体との間の密着性をより良好にすることができ、界面抵抗を低減することができる。
なお、プレ熱伝導シートの硬度は、材料として吸油量の高い黒鉛を用いた場合、及び、黒鉛を多く用いた場合等に、高くなる。
The Asker C hardness of the pre-heat conductive sheet measured by the method described in the examples (hereinafter, simply referred to as “Asker C hardness of pre-heat conductive sheet”) is preferably 20 or more, and 25 or more. Is more preferable, 75 or less is preferable, 70 or less is more preferable, and 60 or less is further preferable. When the Asker C hardness of the pre-heat conductive sheet is at least the above lower limit value, the obtained heat conductive sheet is not excessively soft and is excellent in handleability. Further, when the Asker C hardness of the pre-heat conductive sheet is not more than the above upper limit value, the heat conductive sheet has appropriate flexibility, and the adhesion between the heat conductive sheet and the adherend is improved. Therefore, the interface resistance can be reduced.
The hardness of the pre-heat conductive sheet is increased when graphite having a high oil absorption amount is used as a material and when a large amount of graphite is used.

<<(ii)積層体形成工程>>
積層体形成工程では、プレ熱伝導シート成形工程で得られたプレ熱伝導シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、プレ熱伝導シートを折畳又は捲回して、積層体を得る。ここで、プレ熱伝導シートを積層させた積層体を積層方向に更に熱プレス(二次加圧)することが好ましい。二次加圧の条件としては、特に限定されず、積層方向への圧力0.05MPa以上0.5MPa以下、温度80℃以上170℃以下で10秒〜30分間とすることができる。そして、プレ熱伝導シートを積層、折畳又は捲回して得られる積層体では、黒鉛が積層方向に略直交する方向に配列していると推察される。従って、かかる積層体においては、積層方向に略直交する方向の熱伝導性が、積層方向の熱伝導性よりも高いと推察される。
<< (ii) Laminated body forming step >>
In the laminate forming step, a plurality of pre-heat conductive sheets obtained in the pre-heat conductive sheet forming step are laminated in the thickness direction, or the pre-heat conductive sheet is folded or wound to obtain a laminate. Here, it is preferable that the laminated body in which the pre-heat conductive sheets are laminated is further hot pressed (secondary pressure) in the laminating direction. The conditions of the secondary pressurization are not particularly limited, and the pressure in the stacking direction is 0.05 MPa or more and 0.5 MPa or less, and the temperature can be 80 ° C. or more and 170 ° C. or less for 10 seconds to 30 minutes. Then, in the laminated body obtained by laminating, folding or winding the pre-heat conductive sheets, it is presumed that graphite is arranged in a direction substantially orthogonal to the laminating direction. Therefore, in such a laminate, it is presumed that the thermal conductivity in the direction substantially orthogonal to the laminating direction is higher than the thermal conductivity in the laminating direction.

<<(iii)スライス工程>>
スライス工程では、積層体形成工程で得られた積層体を、積層方向に対して45°以下の角度でスライスし、積層体のスライス片よりなる熱伝導シートを得る。ここで、積層体をスライスする方法としては、特に限定されることなく、例えば、マルチブレード法、レーザー加工法、ウォータージェット法、ナイフ加工法等が挙げられる。中でも、熱伝導シートの厚みを均一にし易い点で、ナイフ加工法が好ましい。また、積層体をスライスする際の切断具としては、特に限定されることなく、例えば、積層体を積層方向に押圧して固定するための金属板等の固定具と、両刃の切断刃を有するスライス部材と、を備え、固定具により積層体を押圧状態としつつ切断刃を動かすことで積層体をスライスする、スライサーを用いることができる。
<< (iii) Slicing process >>
In the slicing step, the laminated body obtained in the laminated body forming step is sliced at an angle of 45 ° or less with respect to the laminating direction to obtain a heat conductive sheet made of sliced pieces of the laminated body. Here, the method for slicing the laminate is not particularly limited, and examples thereof include a multi-blade method, a laser processing method, a water jet method, and a knife processing method. Among them, the knife processing method is preferable because it is easy to make the thickness of the heat conductive sheet uniform. The cutting tool for slicing the laminate is not particularly limited, and has, for example, a fixture such as a metal plate for pressing and fixing the laminate in the stacking direction, and a double-edged cutting blade. It is possible to use a slicer that includes a slicing member and that slices the laminated body by moving a cutting blade while pressing the laminated body with a fixture.

なお、熱伝導シートの熱伝導性を高める観点からは、積層体をスライスする角度は、積層方向に対して略0°である(即ち、積層方向に沿う方向である)ことが好ましい。このようにして得られた、積層体のスライス片よりなる熱伝導シートは、厚み方向にて熱伝導性を呈する。より具体的には、上記の各工程を経て得られた熱伝導シートは、樹脂及び黒鉛等を含む条片が熱伝導シートの厚み方向に対して略垂直な方向(厚み方向に対する角度が略90°の方向)並列接合されてなる構造を有する。かかる熱伝導シートでは、各条片内にて、黒鉛等が熱伝導シートの厚み方向に配向されてなるため、熱伝導性に優れる。   From the viewpoint of enhancing the thermal conductivity of the heat conductive sheet, the angle at which the laminate is sliced is preferably about 0 ° with respect to the laminating direction (that is, the direction along the laminating direction). The heat conductive sheet made of sliced pieces of the laminate thus obtained exhibits heat conductivity in the thickness direction. More specifically, in the heat conductive sheet obtained through each of the above steps, the strip containing resin and graphite is in a direction substantially perpendicular to the thickness direction of the heat conductive sheet (the angle with respect to the thickness direction is approximately 90). (Direction of °) has a structure in which they are joined in parallel. In such a heat conductive sheet, graphite or the like is oriented in the thickness direction of the heat conductive sheet in each strip, so that the heat conductivity is excellent.

以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下の説明において、量を表す「%」及び「部」は、特に断らない限り、質量基準である。実施例、比較例において、黒鉛の吸油量、黒鉛の体積平均粒子径、黒鉛の比表面積、黒鉛のアスペクト比、熱伝導シートにおける黒鉛の体積分率、熱伝導シートのアスカーC硬度、熱伝導シートの引張強度、熱伝導シートの比重、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率、及びアウトガス発生量は、それぞれ以下のようにして測定又は評価した。   Hereinafter, the present invention will be specifically described based on Examples, but the present invention is not limited to these Examples. In the following description, "%" and "parts" representing amounts are based on mass unless otherwise specified. In Examples and Comparative Examples, the oil absorption of graphite, the volume average particle diameter of graphite, the specific surface area of graphite, the aspect ratio of graphite, the volume fraction of graphite in the heat conductive sheet, the Asker C hardness of the heat conductive sheet, and the heat conductive sheet. The tensile strength, the specific gravity of the heat conductive sheet, the thermal conductivity in the thickness direction of the heat conductive sheet, and the amount of outgas generated were measured or evaluated as follows.

<黒鉛の吸油量>
実施例、比較例で用いた各種黒鉛の吸油量は、JIS K 5101−13−1:2004に準拠して測定した。
<黒鉛の体積平均粒子径>
実施例、比較例で用いた各種黒鉛の体積平均粒子径は、レーザー回折/散乱式粒子径分布測定装置(堀場製作所製、型式「LA−960」)を用いて、レーザー回折法を用いて測定された粒子径分布において、小径側から計算した累積体積が50%となるときの粒子径(D50)として求めた。なお、黒鉛の体積平均粒子径は、材料としての黒鉛について測定した時の値と、熱伝導シートに含有された状態の黒鉛についての値とが、同じ値であった。
<黒鉛の比表面積>
実施例、比較例で用いた各種黒鉛に関して、120℃で8時間の真空脱気処理を施した後、自動比表面積/細孔分布測定装置「BELSORP−miniII」(マイクロトラック・ベル社製)を用い、液体窒素温度(−196℃)条件で定容量法ガス吸着法により、窒素吸着等温測定を行った。得られた吸着等温線から、BETプロットを作成し、相対圧0.05から相対圧0.30の範囲内で最も相関係数が高くなる2点を選択し、BET比表面積(m2/g)を求めた。
<黒鉛のアスペクト比>
実施例、比較例で用いた各種自黒鉛について、アスペクト比を以下に従って算出した。SEMを用いて、ランダムに選択した50個の黒鉛について、最大径(長径)と、最大径に直交する方向の粒子径(短径)とを測定し、長径と短径の比(長径/短径)の数平均値を算出した。なお、黒鉛のアスペクト比は、材料としての黒鉛について測定した時の値と、熱伝導シートに含有された状態の黒鉛についての値とが、同じ値であった。
<Oil absorption of graphite>
The oil absorption of each type of graphite used in the examples and comparative examples was measured according to JIS K 5101-13-1: 2004.
<Volume average particle diameter of graphite>
The volume average particle diameter of each type of graphite used in Examples and Comparative Examples is measured by a laser diffraction method using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring device (manufactured by Horiba, Ltd., model “LA-960”). In the obtained particle diameter distribution, the particle diameter (D50) was calculated when the cumulative volume calculated from the small diameter side was 50%. The volume average particle diameter of graphite was the same as the value when measured for graphite as a material and the value for graphite in the state of being contained in the heat conductive sheet.
<Specific surface area of graphite>
The various graphites used in Examples and Comparative Examples were subjected to vacuum deaeration treatment at 120 ° C. for 8 hours, and then an automatic specific surface area / pore distribution measuring device “BELSORP-miniII” (manufactured by Microtrac Bell) was used. Nitrogen adsorption isotherm was measured by the constant volume method gas adsorption method under the condition of liquid nitrogen temperature (−196 ° C.). A BET plot is prepared from the obtained adsorption isotherm, and two points having the highest correlation coefficient within the range of relative pressure of 0.05 to relative pressure of 0.30 are selected, and the BET specific surface area (m 2 / g ) Was asked.
<Aspect ratio of graphite>
Aspect ratios of various autographites used in Examples and Comparative Examples were calculated as follows. Using SEM, the maximum diameter (major axis) and the particle diameter (minor axis) in a direction orthogonal to the maximum diameter are measured for 50 randomly selected graphites, and the ratio of major axis and minor axis (major axis / minor axis) is measured. The number average value of (diameter) was calculated. Note that the aspect ratio of graphite was the same as the value when measured for graphite as a material and the value for graphite in the state of being contained in the heat conductive sheet.

<熱伝導シートにおける黒鉛の体積分率>
熱伝導シートにおける黒鉛の体積分率は、黒鉛の添加量及び比重、並びに、各樹脂の添加量及び比重を用いて算出した。
<Volume fraction of graphite in heat conductive sheet>
The volume fraction of graphite in the heat conductive sheet was calculated using the addition amount and specific gravity of graphite, and the addition amount and specific gravity of each resin.

<プレ熱伝導シートのアスカーC硬度>
日本ゴム協会標準規格(SRIS)のアスカーC法に準拠し、硬度計(高分子計器社製、商品名「ASKER CL−150LJ」を使用して、温度25℃の条件下で、プレ熱伝導シートのアスカーC硬度を測定した。
まず、実施例、比較例で得られたプレ熱伝導シートを、それぞれ、幅25mm×長さ50mm×厚さ0.5mmの大きさに切り取り、24枚重ね合わせることにより試験片を得た。得られた試験片を温度25℃に保たれた恒温室内に48時間以上静置することにより、試験体としてのプレ熱伝導シート積層体を得た。次に、指針が95〜98となるようにダンパー高さを調整し、プレ熱伝導シート積層体とダンパーとを衝突させた。当該衝突から60秒後のプレ熱伝導シート積層体のアスカーC硬度を、硬度計(高分子計器社製、商品名「ASKER CL−150LJ」)を用いて2回測定し、測定結果の平均値を算出した。アスカーC硬度が小さい程、プレ熱伝導シートが柔軟性及び可撓性に優れることを示し、アスカーC硬度が大きい程、プレ熱伝導シートが硬いことを示す。プレ熱伝導シートのアスカーC硬度が適度に高ければ、得られる熱伝導シートのハンドリング性に優れる。
<Asker C hardness of pre-heat conductive sheet>
Based on the Asker C method of the Japan Rubber Association Standard (SRIS), using a hardness meter (manufactured by Kobunshi Keiki Co., Ltd., trade name "ASKER CL-150LJ", at a temperature of 25 ° C, a pre-heat conductive sheet Asker C hardness was measured.
First, each of the pre-heat conductive sheets obtained in Examples and Comparative Examples was cut into a size of width 25 mm × length 50 mm × thickness 0.5 mm, and 24 sheets were stacked to obtain a test piece. The obtained test piece was allowed to stand in a thermostatic chamber kept at a temperature of 25 ° C. for 48 hours or more to obtain a pre-heat conductive sheet laminate as a test piece. Next, the height of the damper was adjusted so that the pointer was 95 to 98, and the pre-heat conductive sheet laminate was made to collide with the damper. The Asker C hardness of the pre-heat conductive sheet laminate 60 seconds after the collision was measured twice using a hardness meter (manufactured by Kobunshi Keiki Co., Ltd., trade name "ASKER CL-150LJ"), and the average value of the measurement results was measured. Was calculated. The smaller Asker C hardness indicates that the pre-heat conductive sheet is more flexible and flexible, and the larger Asker C hardness indicates that the pre-heat conductive sheet is harder. If the Asker C hardness of the pre-heat conductive sheet is appropriately high, the resulting heat conductive sheet will be excellent in handleability.

<熱伝導シートの引張強度>
実施例、比較例で得られた熱伝導シートを20mm×50mmのサイズで打ち抜いたものを試験片とした。打ち抜きに際して、試験片の長手方向が、下記のX方向に一致するようにした。得られた試験片について、小型卓上試験機(日本電産シンポ社製、「FGS−500TV」、デジタルフォースゲージとしてFGP−50を使用)を用いて、X方向に、引張速度を20mm/分とした引張試験を行った。なお、チャック間距離は30mmとした。引張試験時における最大強度(N)を試験体の厚み(mm)で除して、熱伝導シートのシート強度(N/mm)を算出した。なお、X方向は、熱伝導シートの主面にて、プレ熱伝導シートの積層体の積層方向に対して垂直な方向とした。かかるX方向は、概して、熱伝導シートの主面内にて、熱伝導率が最も高くなる方向に一致する方向でありうる。
<Tensile strength of heat conductive sheet>
The heat conductive sheets obtained in Examples and Comparative Examples were punched out in a size of 20 mm × 50 mm to obtain test pieces. At the time of punching, the longitudinal direction of the test piece was made to coincide with the following X direction. About the obtained test piece, using a small bench tester ("FGS-500TV" manufactured by Nidec Shinpo Co., Ltd., FGP-50 is used as a digital force gauge), a pulling speed was set to 20 mm / min in the X direction. The tensile test was performed. The distance between chucks was 30 mm. The sheet strength (N / mm) of the heat conductive sheet was calculated by dividing the maximum strength (N) in the tensile test by the thickness (mm) of the test body. The X direction was the direction perpendicular to the stacking direction of the laminate of the pre-heat conductive sheets on the main surface of the heat conductive sheet. The X direction may be a direction generally corresponding to the direction in which the thermal conductivity is highest in the main surface of the heat conductive sheet.

<熱伝導シートの比重>
自動比重計(東洋精機社製、商品名「DENSIMETER−H」)を用いて、実施例、比較例で得られた熱伝導シートの比重(密度)(g/m)を測定した。
<Specific gravity of heat conduction sheet>
The specific gravity (density) (g / m 3 ) of the heat conductive sheets obtained in Examples and Comparative Examples was measured using an automatic densitometer (trade name “DENSIMETER-H” manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd.).

<熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率>
実施例、比較例で得られた熱伝導シートについて、熱拡散率α(m/s)、及び定圧比熱Cp(J/g・K)を、ぞれぞれ、以下の方法で測定した。また、上記に従って測定した各シートの比重の値:ρ(g/m)も用いた。
[熱拡散率α(m/s)]
熱物性測定装置(株式会社ベテル製、製品名「サーモウェーブアナライザTA35」)を使用して熱拡散率を測定した。
[定圧比熱Cp(J/g・K)]
示差走査熱量計(Rigaku製、製品名「DSC8230」)を使用し、10℃/分の昇温条件下における比熱を測定した。
そして、各測定値を、下記式(I):
λ=α×Cp×ρ・・・(I)
に代入し、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率λ(W/m・K)を求めた。
<Thermal conductivity in the thickness direction of the heat conductive sheet>
The thermal diffusivity α (m 2 / s) and the constant pressure specific heat Cp (J / g · K) of the heat conductive sheets obtained in Examples and Comparative Examples were measured by the following methods. Further, the value of specific gravity of each sheet measured according to the above: ρ (g / m 3 ) was also used.
[Thermal diffusivity α (m 2 / s)]
The thermal diffusivity was measured using a thermophysical property measuring device (product name “Thermo Wave Analyzer TA35” manufactured by Bethel Co., Ltd.).
[Constant pressure specific heat Cp (J / gK)]
Using a differential scanning calorimeter (manufactured by Rigaku, product name "DSC8230"), specific heat was measured under a temperature rising condition of 10 ° C / min.
Then, each measured value is represented by the following formula (I):
λ = α × Cp × ρ (I)
And the thermal conductivity λ (W / m · K) in the thickness direction of the heat conductive sheet was determined.

<アウトガス発生量>
実施例、比較例で得られた熱伝導シートから、それぞれ、1.5gずつ採取し、測定試料を得た。各測定試料について、空気(JIS W 0201:1990に従う標準大気)を流量100mL/minの条件で供給しながら、175℃で2時間加熱し、熱伝導シートから放出されたアウトガスを、濃度0.01%の過酸化水素水(20ml)に捕集して捕集液を得た。更に得られた捕集液を、イオンクロマトグラフィー(Dionex社製、DX−320)を用いて分析し、SO4 2-成分の定量を行い、シートの単位質量(g)当たりのSO4 2-成分量を算出し、下記の基準に従って評価した。尚、カラムとしてはIonPac AS4A−SC(サイズは直径4mm×長さ250mm)を用い、捕集液の注入量は0.5mlとした。
A:SO4 2-成分の量が3μg/g以下
B:SO4 2-成分の量が3μg/g超
<Outgassing amount>
From the heat conductive sheets obtained in Examples and Comparative Examples, 1.5 g each was sampled to obtain a measurement sample. For each measurement sample, air (standard atmosphere according to JIS W 0201: 1990) was heated at 175 ° C. for 2 hours while supplying air at a flow rate of 100 mL / min, and the outgas released from the heat conductive sheet had a concentration of 0.01. % Hydrogen peroxide solution (20 ml) to collect the solution. Further resulting captured solution, ion chromatography (Dionex Corp., DX-320) was analyzed using, SO 4 2- perform quantification of the components, SO unit mass (g) per sheet 4 2- The component amounts were calculated and evaluated according to the following criteria. In addition, IonPac AS4A-SC (size is 4 mm in diameter × 250 mm in length) was used as a column, and the injection amount of the collection liquid was 0.5 ml.
A: The amount of SO 4 2- component is 3 μg / g or less. B: The amount of SO 4 2- component is more than 3 μg / g.

(実施例1)
<プレ熱伝導シート成形工程>
−組成物の調製
樹脂としての、常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイエルG−101」)70部と、常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂(スリーエムジャパン株式会社製、商品名「ダイニオンFC2211」)30部と、吸油量が250ml/100g以下黒鉛(黒鉛A)としての人造黒鉛(オリエンタル産業株式会社製、商品名「AT−No.5」、吸油量:79ml/100g、体積平均粒子径:50μm、アスペクト比:5)90部とを、加圧ニーダー(日本スピンドル製)を用いて、温度150℃にて20分間撹拌混合した。次に、得られた混合物を解砕機(大阪ケミカル社製、商品名「ワンダークラッシュミルD3V−10」)に投入して、10秒間解砕することにより、組成物を得た。
−プレ熱伝導シートの成形
次いで、得られた組成物50gを、サンドブラスト処理を施した厚み50μmのPETフィルム(保護フィルム)で挟み、ロール間隙550μm、ロール温度50℃、ロール線圧50kg/cm、ロール速度1m/分の条件にて圧延成形(一次加圧)し、厚み0.5mmのプレ熱伝導シートを得た。
<積層体形成工程>
続いて、得られたプレ熱伝導シートを縦50mm×横50mm×厚み0.5mmに裁断し、プレ熱伝導シートの厚み方向に110枚積層し高さ約55mmの積層体を得た。更に、温度80℃、圧力0.2MPaで1分間、積層方向にプレス(二次加圧)することにより、高さ約50mmの積層体を得た。
<スライス工程>
その後、スライスに必要な長さを残して、得られた積層体の上面の全体を金属板で押え、積層方向に(即ち、上から)0.1MPaの圧力をかけて、積層体を固定した。なお、積層体の側面、背面の固定は行わなかった。このとき、積層体の温度は25℃であった。
次いで、サーボプレス機(放電精密加工研究所製)のプレス部分に、切断刃(両刃、刃角2θ:20°、刃部の最大厚み:3.5mm、材質:超鋼、ロックウェル硬度:91.5、刃面のシリコン加工:なし、全長:200mm)を取り付け、スライス速度200mm/秒、スライス幅100μmの条件で積層体の積層方向(換言すれば、積層されたプレ熱伝導シートの主面の法線に一致する方向に)にスライスして、縦50mm×横50mm×厚み0.10mmの熱伝導シートを得た。かかる熱伝導シートは、樹脂及び黒鉛を含む条片(プレ熱伝導シート)が並列接合されて成る構造を有していた。また、本例に従って得られた熱伝導シートでは、黒鉛が熱伝導シートの厚み方向に配向されていたことをSEMによる観察により確認した。
そして、得られた熱伝導シートについて、上述の方法に従って、上述の測定及び評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 1)
<Pre-heat conductive sheet molding process>
-Preparation of composition 70 parts of a thermoplastic fluororesin (Daikin Industry Co., Ltd., trade name "Dayer G-101") which is liquid at room temperature and atmospheric pressure as a resin, and a thermoplastic fluororesin which is solid at room temperature and atmospheric pressure ( 30 parts manufactured by 3M Japan Co., Ltd., trade name "Dynion FC2211", and artificial graphite as graphite (graphite A) having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less (manufactured by Oriental Sangyo Co., Ltd., trade name "AT-No. 5"). 90 parts of oil absorption: 79 ml / 100 g, volume average particle diameter: 50 μm, aspect ratio: 5) were stirred and mixed at a temperature of 150 ° C. for 20 minutes using a pressure kneader (manufactured by Nippon Spindle). Next, the obtained mixture was put into a crusher (trade name “Wonder Crush Mill D3V-10” manufactured by Osaka Chemical Co., Ltd.) and crushed for 10 seconds to obtain a composition.
-Molding of pre-heat conductive sheet Next, 50 g of the obtained composition is sandwiched by a sandblasted PET film (protective film) having a thickness of 50 μm, a roll gap of 550 μm, a roll temperature of 50 ° C., a roll linear pressure of 50 kg / cm, Roll forming (primary pressure) was performed under a roll speed of 1 m / min to obtain a pre-heat conductive sheet having a thickness of 0.5 mm.
<Laminate formation process>
Subsequently, the obtained pre-heat conductive sheet was cut into a length of 50 mm, a width of 50 mm and a thickness of 0.5 mm, and 110 sheets were laminated in the thickness direction of the pre-heat conductive sheet to obtain a laminate having a height of about 55 mm. Further, by pressing (secondary pressing) in the stacking direction at a temperature of 80 ° C. and a pressure of 0.2 MPa for 1 minute, a stack having a height of about 50 mm was obtained.
<Slicing process>
Then, the entire upper surface of the obtained laminated body was pressed with a metal plate, leaving a necessary length for slicing, and a pressure of 0.1 MPa was applied in the laminating direction (that is, from above) to fix the laminated body. .. The side surface and back surface of the laminate were not fixed. At this time, the temperature of the laminated body was 25 ° C.
Next, a cutting blade (double-edged blade, blade angle 2θ: 20 °, maximum blade thickness: 3.5 mm, material: super steel, Rockwell hardness: 91) was applied to the press portion of a servo press machine (manufactured by Electric Discharge Precision Machining Laboratory). .5, silicon processing of the blade surface: none, total length: 200 mm was attached, and the stacking direction of the stack body (in other words, the main surface of the stacked pre-heat conductive sheet) under the conditions of a slicing speed of 200 mm / sec and a slice width of 100 μm. (In the direction corresponding to the normal line of 1) to obtain a heat conductive sheet having a length of 50 mm, a width of 50 mm and a thickness of 0.10 mm. Such a heat conductive sheet had a structure in which strips containing resin and graphite (pre-heat conductive sheets) were joined in parallel. Further, in the heat conductive sheet obtained according to this example, it was confirmed by SEM observation that graphite was oriented in the thickness direction of the heat conductive sheet.
And about the obtained heat conductive sheet, the above-mentioned measurement and evaluation were performed according to the above-mentioned method. The results are shown in Table 1.

(実施例2)
人造黒鉛の添加量を180部とした以外は、実施例1と同様にして各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Example 2)
Each step, measurement, and evaluation were performed in the same manner as in Example 1 except that the amount of artificial graphite added was 180 parts. The results are shown in Table 1.

(実施例3)
黒鉛Aとして添加する人造黒鉛を、表1に示す各種属性を満たす人造黒鉛(オリエンタル産業株式会社製、「4010S」、吸油量:248ml/100g、体積平均粒子径:250μm、アスペクト比:2)に変更した。かかる点以外は、実施例1と同様にして各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Example 3)
Artificial graphite to be added as graphite A is made into artificial graphite (“4010S” manufactured by Oriental Sangyo Co., Ltd., oil absorption: 248 ml / 100 g, volume average particle diameter: 250 μm, aspect ratio: 2) satisfying various attributes shown in Table 1. changed. Except for this point, each step, measurement, and evaluation were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

(実施例4)
人造黒鉛の添加量を160部とした以外は、実施例3と同様にして各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Example 4)
Each step, measurement, and evaluation were performed in the same manner as in Example 3 except that the amount of artificial graphite added was 160 parts. The results are shown in Table 1.

(実施例5)
黒鉛Aとして添加する人造黒鉛を、表1に示す各種属性を満たす人造黒鉛(東洋炭素株式会社製、商品名「TEG−200」、吸油量:80ml/100g、体積平均粒子径:70μm、アスペクト比:1)に変更した。それ以外は実施例1と同様に行った。
(Example 5)
Artificial graphite to be added as graphite A, artificial graphite satisfying various attributes shown in Table 1 (manufactured by Toyo Tanso Co., Ltd., trade name “TEG-200”, oil absorption: 80 ml / 100 g, volume average particle diameter: 70 μm, aspect ratio Changed to 1). Other than that was performed like Example 1.

(実施例6)
人造黒鉛の添加量を130部とした以外は、実施例5と同様にして、各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Example 6)
Each step, measurement, and evaluation were performed in the same manner as in Example 5 except that the amount of artificial graphite added was 130 parts. The results are shown in Table 1.

(実施例7)
人造黒鉛の添加量を180部とした以外は、実施例5と同様にして、各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Example 7)
Each step, measurement, and evaluation were performed in the same manner as in Example 5 except that the amount of artificial graphite added was 180 parts. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
樹脂として下記のようにして調製したアクリル樹脂100部を用い、黒鉛Aに代えて、膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、商品名「EC−50」、吸油量:310ml/100g、体積平均粒子径:250μm、アスペクト比:2)355質量部を用いた。これらの点以外は実施例1と同様にして、各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
<アクリル樹脂の調製>
反応器に、アクリル酸2−エチルヘキシル94部とアクリル酸6部とからなる単量体混合物100部、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル0.03部、及び酢酸エチル700部を入れて、均一に溶解し、器内の雰囲気を窒素置換した後、80℃で6時間重合反応を行った。なお、重合転化率は97%であった。そして、得られた重合体を減圧乾燥して酢酸エチルを蒸発させ、粘性のある固体状のアクリル樹脂を得た。アクリル樹脂の重量平均分子量(Mw)は270000であり、分子量分布(重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn))は3.1であった。なお、重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、テトラヒドロフランを溶離液とするゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより、標準ポリスチレン換算で求めた。
(Comparative Example 1)
Using 100 parts of an acrylic resin prepared as described below as a resin, instead of graphite A, expanded graphite (manufactured by Ito Graphite Industry Co., Ltd., trade name "EC-50", oil absorption: 310 ml / 100 g, volume average) Particle diameter: 250 μm, aspect ratio: 2) 355 parts by mass were used. Except for these points, each step, measurement, and evaluation were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
<Preparation of acrylic resin>
100 parts of a monomer mixture consisting of 94 parts of 2-ethylhexyl acrylate and 6 parts of acrylic acid, 0.03 part of 2,2′-azobisisobutyronitrile, and 700 parts of ethyl acetate were placed in a reactor. After being uniformly dissolved and the atmosphere in the vessel was replaced with nitrogen, a polymerization reaction was carried out at 80 ° C. for 6 hours. The polymerization conversion rate was 97%. Then, the obtained polymer was dried under reduced pressure and ethyl acetate was evaporated to obtain a viscous solid acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 270000, and the molecular weight distribution (weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)) was 3.1. The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) were calculated in terms of standard polystyrene by gel permeation chromatography using tetrahydrofuran as an eluent.

(比較例2)
樹脂として、常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂を配合せずに、常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂の配合量を100部とした。また、黒鉛Aに代えて、膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、商品名「EC−300」、吸油量:303ml/100g、体積平均粒子径:50μm、アスペクト比:2)50部を配合した。これらの点以外は、実施例1と同様にして、各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Comparative example 2)
As the resin, the solid thermoplastic fluororesin at room temperature and normal pressure was not compounded, but the compounding amount of the liquid thermoplastic fluororesin at room temperature and normal pressure was 100 parts. Further, instead of the graphite A, 50 parts of expanded graphite (trade name “EC-300” manufactured by Ito Graphite Industry Co., Ltd., oil absorption: 303 ml / 100 g, volume average particle diameter: 50 μm, aspect ratio: 2) was blended. did. Except for these points, each step, measurement, and evaluation were performed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

(比較例3)
黒鉛Aに代えて、膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、商品名「EC−300」、吸油量:303ml/100g、体積平均粒子径:50μm、アスペクト比:2)90部を配合した以外は、実施例1と同様にして、各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Comparative example 3)
Instead of graphite A, 90 parts of expanded graphite (Ito Graphite Industry Co., Ltd., trade name “EC-300”, oil absorption: 303 ml / 100 g, volume average particle diameter: 50 μm, aspect ratio: 2) was blended. In the same manner as in Example 1, each step, measurement, and evaluation were performed. The results are shown in Table 1.

(比較例4)
黒鉛Aに代えて、膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、商品名「EC−300」、吸油量:303ml/100g、体積平均粒子径:50μm)30部を配合した以外は、実施例1と同様にして、各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Comparative example 4)
Example 1 except that 30 parts of expanded graphite (trade name “EC-300” manufactured by Ito Graphite Industry Co., Ltd., oil absorption: 303 ml / 100 g, volume average particle diameter: 50 μm) was mixed in place of graphite A Each step, measurement, and evaluation were performed in the same manner as in. The results are shown in Table 1.

(比較例5)
組成物の調製に際して、熱伝導シート中における黒鉛の体積分率が28体積%となるように、人造黒鉛の配合量を少なくした以外は、実施例1と同様にして、各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Comparative example 5)
In preparing the composition, each step, measurement, and measurement were performed in the same manner as in Example 1 except that the blending amount of artificial graphite was decreased so that the volume fraction of graphite in the heat conductive sheet was 28% by volume. An evaluation was carried out. The results are shown in Table 1.

(比較例6)
黒鉛Aに代えて、膨張化黒鉛(伊藤黒鉛工業株式会社製、商品名「EC−300」、吸油量:303ml/100g、体積平均粒子径:50μm、アスペクト比:2)15部を配合した以外は、実施例1と同様にして、各工程、測定、及び評価を実施した。結果を表1に示す。
(Comparative example 6)
Instead of graphite A, 15 parts of expanded graphite (trade name “EC-300” manufactured by Ito Graphite Industry Co., Ltd., oil absorption: 303 ml / 100 g, volume average particle diameter: 50 μm, aspect ratio: 2) was blended. In the same manner as in Example 1, each step, measurement, and evaluation were performed. The results are shown in Table 1.

Figure 2020076029
Figure 2020076029

表1より、吸油量が250ml/100g以下である黒鉛を40体積%以上含有する実施例1〜7に従う熱伝導シートは、アウトガスが少なく、且つ、ハンドリング性も兼ね備えるものであったことが分かる。なお、実施例1〜7に従う熱伝導シートに関する熱伝導率の測定結果より、これらのシートは、厚み方向に熱伝導性を呈するものであったことが分かる。
一方、吸油量が250ml/100g超の黒鉛を配合した比較例1〜4、6に従う熱伝導シートは、ハンドリング性は備えている場合であっても、アウトガスが多く、アウトガスを発生し難く且つハンドリング性に優れる熱伝導シートとはならなかったことが分かる。また、所定の吸油量を満たす黒鉛の含有割合が40体積%未満である比較例5に従う熱伝導シートは、アウトガスは発生しないものの、ハンドリング性に劣るものであったことが分かる。
From Table 1, it can be seen that the heat conductive sheets according to Examples 1 to 7 containing 40% by volume or more of graphite having an oil absorption of 250 ml / 100 g or less had little outgas and also had handleability. From the results of measuring the thermal conductivity of the heat conductive sheets according to Examples 1 to 7, it can be seen that these sheets exhibited thermal conductivity in the thickness direction.
On the other hand, the heat conductive sheets according to Comparative Examples 1 to 4 and 6 in which the graphite having an oil absorption amount of more than 250 ml / 100 g is mixed, have a large amount of outgas even if they have handleability, and outgas is hardly generated and handled. It can be seen that the heat conductive sheet did not have excellent properties. Also, it can be seen that the heat conductive sheet according to Comparative Example 5 in which the content ratio of the graphite satisfying the predetermined oil absorption amount is less than 40% by volume was inferior in handleability although outgas was not generated.

本発明によれば、アウトガスを発生し難く且つハンドリング性に優れる、熱伝導シートを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the heat conductive sheet which is hard to generate | occur | produce an outgas and is excellent in handleability can be provided.

Claims (5)

黒鉛及び樹脂を含む熱伝導シートであって、
前記黒鉛の吸油量が250ml/100g以下であり、
前記黒鉛が前記熱伝導シートの厚み方向に配向してなり、且つ、
前記熱伝導シート中における前記黒鉛の体積分率が40体積%以上である、
熱伝導シート。
A heat conductive sheet containing graphite and resin,
The oil absorption of the graphite is 250 ml / 100 g or less,
The graphite is oriented in the thickness direction of the heat conductive sheet, and,
The volume fraction of the graphite in the heat conductive sheet is 40% by volume or more,
Thermal conductive sheet.
前記黒鉛の体積平均粒子径が、40μm以上260μm以下である、請求項1に記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet according to claim 1, wherein the graphite has a volume average particle size of 40 μm or more and 260 μm or less. 前記黒鉛が人造黒鉛である、請求項1又は2に記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet according to claim 1, wherein the graphite is artificial graphite. 前記黒鉛のBET比表面積が、1m/g以上30m/g以下である、請求項1〜3の何れかに記載の熱伝導シート。 The heat conductive sheet according to claim 1, wherein the BET specific surface area of the graphite is 1 m 2 / g or more and 30 m 2 / g or less. 前記樹脂が、熱可塑性フッ素樹脂である、請求項1〜4の何れかに記載の熱伝導シート。   The heat conductive sheet according to claim 1, wherein the resin is a thermoplastic fluororesin.
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