JP2020065966A - Purifier and ozone supply device - Google Patents

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皓貴 内藤
Teruki Naito
皓貴 内藤
昇 和田
Noboru Wada
昇 和田
登起子 山内
Tokiko Yamauchi
登起子 山内
野田 清治
Seiji Noda
清治 野田
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Abstract

To provide a purifier and an ozone supply device, capable of preventing backward flow of ozone so as to secure quality of the device.SOLUTION: A purifier which purifies the soil using a well 1 inserted in the soil comprises an ozone generator 2 for generating ozone, an exhaust gas treatment part 130 as an ozone removal part for removing ozone when refluxed from the well 1, and a control part 71. The exhaust gas treatment part 130 treats ozone, and the control part 71 controls the flow rate of ozone delivered to the exhaust gas treatment part 130.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本願は、浄化装置およびオゾン供給装置に関するものである。   The present application relates to a purification device and an ozone supply device.

従来の浄化装置は、汚染土壌中に所定時間オゾンを注入して汚染土壌のオゾン処理を行うものである。   The conventional purifying apparatus injects ozone into the contaminated soil for a predetermined time to perform ozone treatment of the contaminated soil.

特開2000−325935号公報JP, 2000-325935, A

従来の浄化装置は、オゾン発生装置によりオゾンを供給しているが、オゾン発生装置でのオゾン発生開始の際に、オゾン発生装置の内圧よりも注入部の圧力が高かったり、オゾン注入部が目詰まりなどによって閉塞したりする場合に、オゾンがオゾン発生装置に逆流し、オゾン発生装置およびオゾン発生装置への原料ガス供給部の品質が低下するという問題点があった。また、オゾンの逆流に備えてオゾン発生装置および原料ガス供給部にオゾン耐性を持たせた場合、浄化装置の装置コストが増加するという問題点があった。   Conventional purifiers supply ozone with an ozone generator, but when starting ozone generation in the ozone generator, the pressure of the injection part is higher than the internal pressure of the ozone generator, or the ozone injection part is not visible. When it is clogged due to clogging or the like, ozone flows back into the ozone generator, and there is a problem that the quality of the ozone generator and the raw material gas supply unit to the ozone generator is deteriorated. Further, when the ozone generator and the raw material gas supply unit are provided with ozone resistance in preparation for the reverse flow of ozone, there is a problem that the cost of the purifier increases.

本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、オゾンの逆流を防止する浄化装置およびオゾン供給装置を提供することを目的とする。   The present application discloses a technique for solving the above problems, and an object thereof is to provide a purifying device and an ozone supply device that prevent the reverse flow of ozone.

本願に開示される浄化装置は、
土壌中に挿入されるスパージング井戸を用いて前記土壌を浄化する浄化装置において、
オゾンを発生させるオゾン発生器と、
前記スパージング井戸からオゾンが逆流した場合に逆流した前記オゾンを除去するオゾン除去部とを備えるものである。
また、本願に開示されるオゾン供給装置は、
オゾンを発生させるオゾン発生器と、
前記オゾン発生器からオゾンが逆流した場合に逆流した前記オゾンを除去するオゾン除去部とを備えるものである。
The purification device disclosed in the present application is
In a purifying device for purifying the soil using a sparging well inserted into the soil,
An ozone generator that generates ozone,
And an ozone removing unit that removes the ozone that flows back when the ozone flows backward from the sparging well.
Further, the ozone supply device disclosed in the present application,
An ozone generator that generates ozone,
And an ozone removing unit for removing the ozone that has flowed back when the ozone flows back from the ozone generator.

本願に開示される浄化装置およびオゾン供給装置によれば、
オゾンの逆流を防止し、装置の品質の低下を防止できる。
According to the purification device and the ozone supply device disclosed in the present application,
It is possible to prevent back flow of ozone and prevent deterioration of the quality of the device.

実施の形態1による浄化装置の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a purification device according to a first embodiment. 図1に示した浄化装置のオゾン発生器の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ozone generator of the purification apparatus shown in FIG. 実施の形態1による他の浄化装置の構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of another purification device according to the first embodiment. 実施の形態2による浄化装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the purification apparatus by Embodiment 2. 図4に示した浄化装置の調整部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the adjustment part of the purification apparatus shown in FIG. 図4に示した浄化装置の浄化方法のタイミングチャートを示す図である。It is a figure which shows the timing chart of the purification | cleaning method of the purification | cleaning apparatus shown in FIG. 実施の形態3による浄化装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the purification | cleaning apparatus by Embodiment 3. 実施の形態4によるオゾン供給装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ozone supply apparatus by Embodiment 4.

実施の形態1.
以下、本願の実施の形態について説明する。まず、本願の目的などについて説明する。工場跡地等における土壌汚染調査において、有機物による土壌汚染が顕在化している。汚染物質としては揮発性有機化合物(Volatile Organic Compound、以下、「VOC」と称す)に分類されるテトラクロロエチレン(別名、PCE)、トリクロロエチレン(略称、TCE)などの有機塩素化合物が挙げられる。これらの物質を浄化する方法のひとつとして、地中に設置した井戸から土壌中に空気を散気させるエアスパージング処理がある。
Embodiment 1.
Hereinafter, embodiments of the present application will be described. First, the purpose of the present application will be described. In the soil pollution survey on the site of the factory, soil pollution by organic substances has become apparent. Examples of pollutants include organic chlorine compounds such as tetrachloroethylene (also known as PCE) and trichlorethylene (abbreviated as TCE), which are classified as volatile organic compounds (hereinafter referred to as “VOC”). As one of the methods for purifying these substances, there is an air sparging treatment in which air is diffused from a well installed underground into the soil.

エアスパージング処理では、土壌中に散気した気泡と、土壌との界面における濃度勾配を駆動力として、土壌中のVOCが気泡中に移動する。ガス化したVOCは気泡とともに土壌中を上昇して地上に排出される。本処理方法では土壌中に散気した気泡は、土壌中の流れやすい位置を通過するため、汚染領域全体をエアスパージング処理できない。従ってエアスパージング処理だけでは、汚染領域の土壌中にVOC等が残存する。   In the air sparging process, VOCs in the soil move into the bubbles by using the concentration gradient at the interface between the bubbles diffused in the soil and the soil as a driving force. The gasified VOC rises in the soil along with bubbles and is discharged to the ground. In this treatment method, the air bubbles diffused in the soil pass through the position where the soil easily flows, so that the entire contaminated region cannot be air-sparged. Therefore, only air sparging treatment leaves VOCs and the like in the soil in the contaminated region.

そこで土壌中に散気するスパージングガスとしてオゾン化酸素(以下、「オゾン」と称す)ガスを用いる土壌の原位置浄化方法が提案されている。本処理方法は、エアスパージング処理によるVOCの除去に加えて、オゾンによる酸化力を用いた土壌の浄化方法である。土壌中に注入したオゾンガスは、気泡と土壌との界面での濃度勾配により、気泡中のオゾンガスが気体側から土壌中に液体側に移動する。   Therefore, a method for in-situ purification of soil using ozonized oxygen (hereinafter referred to as "ozone") gas as a sparging gas diffused in the soil has been proposed. This treatment method is a soil purification method that uses the oxidizing power of ozone in addition to the removal of VOCs by air sparging. The ozone gas injected into the soil moves from the gas side to the liquid side into the soil due to the concentration gradient at the interface between the bubbles and the soil.

そして、オゾンは、気泡が通過しにくい土壌中にオゾン水として浸透することにより、VOCを原位置で分解除去する。従来のオゾンガスを用いる浄化装置は、いずれも溶存オゾンの分解を促進し、オゾンと比べて酸化力の大きいラジカルを生成することで、VOCの分解率を向上させるものである。   Ozone decomposes and removes VOCs in-situ by permeating the soil as ozone water into the soil where bubbles hardly pass. All of the conventional purifiers using ozone gas promote the decomposition of dissolved ozone and generate radicals having a greater oxidizing power than ozone, thereby improving the decomposition rate of VOC.

本願の実施の形態における浄化装置は、オゾンガスをガススパージング法のスパージングガスとして用い、VOCなどの汚染物質による汚染を原位置で浄化する処理に適用される。ガススパージング法とは、土壌中にガスを吹き込むことにより、土壌中の汚染物質(例えば揮発性有機物質)を揮発させ、揮発した汚染物質(有機物質)とガスをともに回収する浄化方法をさす。   The purifying apparatus according to the embodiment of the present application is applied to a process for purifying in-situ pollution by pollutants such as VOC using ozone gas as a sparging gas in a gas sparging method. The gas sparging method refers to a purification method in which a pollutant (for example, a volatile organic substance) in the soil is volatilized by blowing gas into the soil, and the volatilized pollutant (organic substance) and gas are both collected.

よって、土壌中にガスを注入すると、揮発してガス化した汚染物質は注入したガスの気泡に取り込まれ、気泡となって土壌中を上昇する。上昇した気泡は、吸引井戸を設置して吸引するか、あるいは、土壌の地表面に設置したカバーを用いて地表面からのガスを吸引して、ガスとして汚染物質(揮発性有機物質)とともに回収される。尚、土壌とは、当然のことながら、土壌中に含まれる地下水も含むものである。   Therefore, when gas is injected into the soil, the pollutants that have volatilized and gasified are taken into the bubbles of the injected gas to form bubbles and rise in the soil. The air bubbles that have risen are sucked by installing a suction well, or the gas from the ground surface is sucked using a cover installed on the ground surface of the soil, and it is collected together with pollutants (volatile organic substances) as gas. To be done. The soil naturally includes groundwater contained in the soil.

図1は実施の形態1による浄化装置の構成を示す図である。図において、汚染領域100は、土壌中において、汚染物質(VOCなど)によって土壌が汚染されている領域を示す。スパージング井戸1(以下、井戸1と称す)は、汚染領域100に挿入された井戸1である。井戸1は、土壌中に埋設した配管から構成され、配管中にも若干の土壌が存在する場合がある。土壌中に埋設された当該配管は、例えば耐オゾン性を有するステンレス、ポリ塩化ビニルあるいはフッ素樹脂の材質で構成される。   FIG. 1 is a diagram showing the configuration of the purification device according to the first embodiment. In the figure, a contaminated region 100 is a region in the soil in which the soil is contaminated by a contaminant (VOC or the like). The sparging well 1 (hereinafter referred to as the well 1) is the well 1 inserted in the contaminated region 100. The well 1 is composed of a pipe buried in the soil, and some soil may be present in the pipe. The pipe buried in the soil is made of, for example, ozone-resistant stainless steel, polyvinyl chloride, or a fluororesin material.

井戸1の下端側には、オゾンガスを土壌中に供給する噴出部11が形成される。噴出部11は、井戸1の配管に形成された孔またはスリットが1箇所以上にて形成される。井戸1は、オゾンガスが井戸1の上端から外気(大気)に漏れ出ないように、井戸1の上端に封止部材を備え、外気(大気)には漏れ出ない状態を維持できるように構成される。これにより、オゾンガスが井戸1の上部から外気(大気)中に漏れることが防止される。   On the lower end side of the well 1, a jet part 11 for supplying ozone gas into the soil is formed. The spouting portion 11 has holes or slits formed in the pipe of the well 1 at one or more locations. The well 1 is provided with a sealing member at the upper end of the well 1 so that ozone gas does not leak from the upper end of the well 1 to the outside air (atmosphere), and is maintained so as not to leak to the outside air (atmosphere). It This prevents ozone gas from leaking from the upper part of the well 1 into the outside air (atmosphere).

井戸1は、複数本が汚染領域100に設置される場合があるが、ここでは1本の井戸1を例に説明する。井戸1には、オゾン発生器2が接続される。オゾン発生器2は、井戸1にオゾンガスを供給するためのものである。オゾン発生器2には、配管50を介して原料ガスを供給する原料ガス部5が接続される。   A plurality of wells 1 may be installed in the contaminated region 100, but here, one well 1 will be described as an example. An ozone generator 2 is connected to the well 1. The ozone generator 2 is for supplying ozone gas to the well 1. A raw material gas unit 5 that supplies a raw material gas is connected to the ozone generator 2 through a pipe 50.

オゾン発生器2は、原料ガス部5から配管50を介して原料ガスとしての酸素ガスが供給されてオゾンガスを生成する。オゾン発生器2は、具体的には図2に示すように圧力容器21と、圧力容器21内に設置された放電電極22とを備える。そして、圧力容器21内に原料ガス部5の配管50から酸素ガスが供給される。そして、放電電極22にて放電してオゾンガスを発生させ、第一配管51からオゾンガスを送出する。このためオゾン発生器2の駆動中には圧力容器21内に、発生したオゾンガスが充満している。尚、本実施の形態のオゾン発生器2では、原料ガスとして酸素ガスを用いているが、原料ガスには少なくとも部分的に酸素が含まれていればよく、空気、および、酸素と希ガスなどの不活性ガスとの混合ガスなどを適宜用いることもできる。   The ozone generator 2 is supplied with oxygen gas as a raw material gas from the raw material gas section 5 through a pipe 50 to generate ozone gas. Specifically, the ozone generator 2 includes a pressure vessel 21 and a discharge electrode 22 installed in the pressure vessel 21, as shown in FIG. Then, oxygen gas is supplied into the pressure vessel 21 from the pipe 50 of the raw material gas part 5. Then, the discharge electrode 22 discharges to generate ozone gas, and the ozone gas is sent out from the first pipe 51. Therefore, while the ozone generator 2 is being driven, the pressure vessel 21 is filled with the generated ozone gas. In addition, in the ozone generator 2 of the present embodiment, oxygen gas is used as the raw material gas, but it is sufficient that the raw material gas at least partially contains oxygen, such as air, oxygen, and a rare gas. It is also possible to appropriately use a mixed gas with the above inert gas.

さらに浄化装置は、井戸1からオゾンが逆流した場合に逆流したオゾンを除去するオゾン除去部としての、排ガスの処理を行う排ガス処理部130と、排ガス処理部130にて排ガス処理されたガスを大気中に放出する吸引ブロワ110と、オゾン発生器2にて発生したオゾンを井戸1に送出するか、または、排ガス処理部130に送出するかのいずれかに調整する調整部71とを備える。調整部71は、井戸1からオゾンが逆流した場合に逆流したオゾンを除去するオゾン除去部の一部である。オゾン発生器2と調整部71とは第一配管51にて接続される。調整部71と井戸1とは第二配管52にて接続される。調整部71と排ガス処理部130とは分岐配管511にて接続される。   Further, the purifying device includes an exhaust gas processing unit 130 that processes exhaust gas as an ozone removal unit that removes ozone that has flowed back when the ozone backflows from the well 1, and a gas that has been exhaust gas processed by the exhaust gas processing unit 130 to the atmosphere. A suction blower 110 that discharges into the inside and an adjusting unit 71 that adjusts whether ozone generated by the ozone generator 2 is sent to the well 1 or to the exhaust gas processing unit 130 are provided. The adjusting unit 71 is a part of an ozone removing unit that removes the ozone that has flowed back when the ozone has flowed back from the well 1. The ozone generator 2 and the adjustment unit 71 are connected by the first pipe 51. The adjustment unit 71 and the well 1 are connected by the second pipe 52. The adjustment unit 71 and the exhaust gas processing unit 130 are connected by a branch pipe 511.

調整部71は、第二配管52を開状態として分岐配管511を閉状態とする、または、分岐配管511を開状態として第二配管52を閉状態として調整を行う。さらに、調整部71は第一配管51内の管圧が第二配管52内の管圧よりも高くなると、第二配管52を開状態として分岐配管511を閉状態とし、かつ、第一配管51内の管圧が第二配管52内の管圧よりも低くなると、分岐配管511を開状態として第二配管52を閉状態として調整する。例えば、調整部71は、各配管の管圧差に応じて、開閉が制御される開閉弁にて構成される。   The adjustment unit 71 adjusts the second pipe 52 to an open state and the branch pipe 511 to a closed state, or the branch pipe 511 to an open state and the second pipe 52 to a closed state. Further, when the pipe pressure inside the first pipe 51 becomes higher than the pipe pressure inside the second pipe 52, the adjusting unit 71 closes the branch pipe 511 while keeping the second pipe 52 open and the first pipe 51. When the pipe pressure inside becomes lower than the pipe pressure inside the second pipe 52, the branch pipe 511 is opened and the second pipe 52 is adjusted to be closed. For example, the adjusting unit 71 is configured by an opening / closing valve whose opening / closing is controlled according to the pipe pressure difference between the pipes.

制御部4はオゾン発生器2および吸引ブロワ110を制御する。制御部4とオゾン発生器2とは第一信号線81を介して接続される。制御部4と吸引ブロワ110とは第二信号線86を介して接続される。   The control unit 4 controls the ozone generator 2 and the suction blower 110. The control unit 4 and the ozone generator 2 are connected via the first signal line 81. The control unit 4 and the suction blower 110 are connected via the second signal line 86.

制御部4は、例えば、パーソナルコンピュータにて構成される。制御部4は、第一信号線81にてオゾン発生器2にオゾンの発生の開始の開始信号およびオゾンの発生の停止の停止信号を送信する。制御部4は、第二信号線86にて吸引ブロワ110の吸引開始のタイミングを制御する。   The control unit 4 is composed of, for example, a personal computer. The control unit 4 transmits a start signal for starting the generation of ozone and a stop signal for stopping the generation of ozone to the ozone generator 2 through the first signal line 81. The control unit 4 controls the suction start timing of the suction blower 110 through the second signal line 86.

次に上記のように構成された実施の形態1の浄化装置による浄化方法について説明する。本実施の形態1においては、土壌中にオゾンガスを供給する工程を備えている。当該工程では、オゾンガスが、第一配管51および第二配管52を介して井戸1の下部の噴出部11から汚染領域100に供給される。そして、土壌中に供給されたオゾンガスは、土壌中に散気されて気泡となり、汚染領域100の土壌中を上昇する。そして、当該気泡との気液界面との濃度勾配を駆動力として、気泡中から土壌中にオゾンが溶解する。   Next, a purification method using the purification device of the first embodiment configured as described above will be described. The first embodiment has a step of supplying ozone gas into the soil. In this step, ozone gas is supplied to the contaminated region 100 from the ejection portion 11 below the well 1 via the first pipe 51 and the second pipe 52. Then, the ozone gas supplied into the soil is diffused into the soil to form bubbles, and rises in the soil in the contaminated region 100. Then, ozone is dissolved from the bubbles into the soil by using the concentration gradient between the bubbles and the gas-liquid interface as a driving force.

地下水に溶解したオゾンは、汚染物質(VOCなど)および土壌中の被酸化物質との反応、あるいはオゾン自己分解に消費される。それらの反応に消費されなかったオゾンが溶存オゾンとして土壌中に検出される。土壌中に検出される溶存オゾンは、土壌中に浸透して汚染物質分解に寄与する。   Ozone dissolved in groundwater is consumed for reaction with pollutants (VOC, etc.) and oxidizable substances in soil, or for ozone self-decomposition. Ozone not consumed in these reactions is detected in the soil as dissolved ozone. Dissolved ozone detected in the soil permeates the soil and contributes to the decomposition of pollutants.

このよう井戸1にオゾンガスを供給する工程において、制御部4は第一信号線81を介してオゾン発生器2にオゾンの発生の開始の開始信号を送信する。そして、オゾン発生器2にて発生したオゾンは、第一配管51から調整部71を介して第二配管52に流れる。このようにオゾン発生器2にてオゾンが発生が開始された直後では、オゾン発生器2の圧力容器21内にオゾンが充満しておらず、オゾン発生器2からのオゾンが送出されていないまたは送出されていても少ない可能がある。よって、第一配管51内の管圧が第二配管52内の管圧よりも低く可能性が高く、このような状態のまま、第二配管52を開状態とするとオゾン発生器2にオゾンが逆流する可能性がある。   In the process of supplying ozone gas to the well 1 in this way, the control unit 4 transmits a start signal for starting the generation of ozone to the ozone generator 2 via the first signal line 81. Then, the ozone generated by the ozone generator 2 flows from the first pipe 51 to the second pipe 52 via the adjusting unit 71. Immediately after the ozone generator 2 starts to generate ozone in this way, the pressure vessel 21 of the ozone generator 2 is not filled with ozone, and ozone is not being sent from the ozone generator 2. It may be small even if it is sent out. Therefore, there is a high possibility that the pipe pressure in the first pipe 51 is lower than the pipe pressure in the second pipe 52, and if the second pipe 52 is opened in this state, ozone will be generated in the ozone generator 2. There is a possibility of reflux.

しかしながら、調整部71では、第一配管51内の管圧が第二配管52内の管圧よりも低くなると、分岐配管511を開状態として第二配管52を閉状態として調整されるため、オゾン発生器2のオゾンの発生の開始に同期して、第二配管52が開状態とはならないため、上記に示したような、オゾン発生器2にオゾンが逆流することが防止される。   However, in the adjustment unit 71, when the pipe pressure in the first pipe 51 becomes lower than the pipe pressure in the second pipe 52, the branch pipe 511 is opened and the second pipe 52 is closed, so that the ozone is adjusted. Since the second pipe 52 is not opened in synchronization with the start of generation of ozone by the generator 2, the reverse flow of ozone to the ozone generator 2 as described above is prevented.

そして、オゾン発生器2の圧力容器21内にオゾンが十分に充満して、オゾン発生器2から所定量のオゾンが送出され始めると、通常は、第一配管51内の管圧が第二配管52内の管圧よりも高くなり、調整部71は、第二配管52を開状態として分岐配管511を閉状態として調整し、オゾンは第二配管52を介して井戸1に供給される。   When the pressure vessel 21 of the ozone generator 2 is sufficiently filled with ozone and a predetermined amount of ozone starts to be delivered from the ozone generator 2, the pipe pressure in the first pipe 51 is normally the second pipe. The pipe pressure becomes higher than the pipe pressure in 52, and the adjusting unit 71 adjusts the second pipe 52 to the open state and the branch pipe 511 to the closed state, and ozone is supplied to the well 1 through the second pipe 52.

また、このようにオゾン発生器2によるオゾンの発生の開始時点以外であっても、他の要因により第一配管51内の管圧が第二配管52内の管圧よりも低くなると、分岐配管511を開状態として第二配管52を閉状態として調整されるため、オゾン発生器2へのオゾンの逆流は防止される。さらに、第一配管51内の管圧が第二配管52内の管圧よりも低くなると、分岐配管511を開状態となるため、オゾンが残存する場合であっても、排ガス処理部130にて当該オゾンは流れ込むため、排ガス処理が行われた後、吸引ブロワ110にて大気に放出される。   Even when the ozone generator 2 does not start generating ozone, if the pipe pressure in the first pipe 51 becomes lower than the pipe pressure in the second pipe 52 due to other factors, the branch pipe Since the adjustment is performed with 511 opened and the second pipe 52 closed, backflow of ozone to the ozone generator 2 is prevented. Further, when the pipe pressure in the first pipe 51 becomes lower than the pipe pressure in the second pipe 52, the branch pipe 511 is opened, so that even in the case where ozone remains, the exhaust gas treatment unit 130 Since the ozone flows in, it is discharged to the atmosphere by the suction blower 110 after the exhaust gas treatment is performed.

次に、上記実施の形態1の他の浄化装置の例について図3に基づいて説明する。図において、図1と同様の部分を同一符号を付して説明を省略する。図3においては、上記に示した場合と、井戸1からオゾンが逆流した場合に逆流したオゾンを除去するオゾン除去部としての調整部72の設置位置および調整が異なるものである。調整部72は排ガス処理部130に送出されるオゾンガスの流量を調整する。1例として、第二配管52は常に開状態として、調整部72によって分岐配管511の開閉を制御するものである。第一配管51と第二配管52とに分岐部Tを備える。第一配管51と第二配管52と分岐配管511とは分岐部Tで接続される。調整部72は分岐部Tと分岐配管511との間に設けられる。   Next, another example of the purifying device according to the first embodiment will be described with reference to FIG. In the figure, the same parts as in FIG. In FIG. 3, the installation position and the adjustment of the adjusting unit 72 as an ozone removing unit that removes the backflowing ozone when the backflowing ozone from the well 1 is different from the case described above. The adjustment unit 72 adjusts the flow rate of ozone gas sent to the exhaust gas processing unit 130. As an example, the second pipe 52 is always in an open state, and the adjustment unit 72 controls opening / closing of the branch pipe 511. The first pipe 51 and the second pipe 52 are provided with a branch portion T. The first pipe 51, the second pipe 52, and the branch pipe 511 are connected at a branch portion T. The adjusting section 72 is provided between the branch section T and the branch pipe 511.

調整部72はオゾン発生器2から井戸1の方向へガスが流れている場合は、分岐配管511を閉状態とする。一方、噴出部11の目詰まりなどによってオゾン発生器2から井戸1に向かうガスの流れが停止した場合は分岐配管511を開状態とし、オゾン発生器2から排ガス処理部130へオゾンガスを流す。また、オゾン発生器2から供給されるガスの流量が、井戸1へ供給されるガスの流量よりも大きい場合に、調整部72はオゾン発生器2から供給されるガス流量と井戸1へ供給されるガスの流量との差に相当するガスの流量を分岐配管511へ通流させる。   When the gas is flowing from the ozone generator 2 to the well 1, the adjusting unit 72 closes the branch pipe 511. On the other hand, when the flow of gas from the ozone generator 2 to the well 1 is stopped due to clogging of the ejection part 11, the branch pipe 511 is opened and ozone gas is allowed to flow from the ozone generator 2 to the exhaust gas processing part 130. Further, when the flow rate of the gas supplied from the ozone generator 2 is larger than the flow rate of the gas supplied to the well 1, the adjusting unit 72 supplies the gas flow rate supplied from the ozone generator 2 and the well 1. A flow rate of gas corresponding to the difference from the flow rate of the gas is passed through the branch pipe 511.

従来の浄化装置では、井戸1にオゾンガスを供給する工程において、土壌およびオゾンによって酸化された金属酸化物による噴出部11の目詰まりなどが生じると、オゾン発生器2から送出されたオゾンガスが噴出部11から土壌中に供給されなくなるため、オゾン発生器2にオゾンが逆流する可能性があった。   In the conventional purifying apparatus, in the process of supplying ozone gas to the well 1, if the spouting part 11 is clogged with the soil and the metal oxides oxidized by ozone, the ozone gas sent from the ozone generator 2 will be ejected. Since it is not supplied to the soil from No. 11, ozone may flow back to the ozone generator 2.

しかしながら、図3のように構成された本実施の形態1の浄化装置では、噴出部11の目詰まりなどによって井戸1に向かうオゾンガスの流れが減少および停止した場合に分岐配管511を開状態とし、オゾン発生器2から排ガス処理部130へオゾンガスを流すため、上記に示したような、オゾン発生器2にオゾンが逆流することが防止できる。   However, in the purifying apparatus of the first embodiment configured as shown in FIG. 3, the branch pipe 511 is opened when the flow of ozone gas toward the well 1 is reduced and stopped due to clogging of the ejection part 11 or the like, Since ozone gas flows from the ozone generator 2 to the exhaust gas processing unit 130, it is possible to prevent ozone from flowing back to the ozone generator 2 as described above.

調整部72は、例えば、第一配管51の圧力に応じて弁の開度を自動制御する圧力調整器(圧力レギュレータ)を用いることができる。調整部72に圧力調整器を用いることで、外部制御なしに弁の開度を制御することができ、装置構成を簡素化し、装置コストを低下できる。   As the adjusting unit 72, for example, a pressure adjuster (pressure regulator) that automatically controls the opening degree of the valve according to the pressure of the first pipe 51 can be used. By using the pressure adjuster for the adjusting unit 72, the opening degree of the valve can be controlled without external control, the device configuration can be simplified, and the device cost can be reduced.

また、調整部72は、例えば、第二配管52に設けられた圧力計と流量調整弁(マスフローコントローラ)とを用いることができる。圧力計で測定した第二配管52の管圧に応じて、流量調整弁の開度を制御することで、分岐配管511へ通流するオゾンガスの流量を制御できる。また、圧力計の代わりに流量計を用いて第二配管52のガス流量を測定し、第二配管52のガス流量に応じて流量調整弁の開度を制御することもできる。このように、圧力計ないし流量計と流量調整弁をそれぞれ用いることによって、井戸1に近いところで井戸1の状態を測定できるため、調整部72を高精度に制御することができる。   Further, as the adjusting unit 72, for example, a pressure gauge and a flow rate adjusting valve (mass flow controller) provided in the second pipe 52 can be used. The flow rate of the ozone gas flowing to the branch pipe 511 can be controlled by controlling the opening degree of the flow rate adjusting valve according to the pipe pressure of the second pipe 52 measured by the pressure gauge. It is also possible to measure the gas flow rate of the second pipe 52 by using a flow meter instead of the pressure gauge and control the opening degree of the flow rate adjusting valve according to the gas flow rate of the second pipe 52. As described above, since the state of the well 1 can be measured near the well 1 by using the pressure gauge or the flow meter and the flow rate adjusting valve, the adjusting unit 72 can be controlled with high accuracy.

上記のように構成された実施の形態1の浄化装置によれば、
土壌中に挿入されるスパージング井戸を用いて前記土壌を浄化する浄化装置において、
オゾンを発生させるオゾン発生器と、
前記スパージング井戸からオゾンが逆流した場合に逆流した前記オゾンを除去するオゾン除去部とを備えるため、オゾン発生器へのオゾンの逆流の発生を防止できるため、オゾン発生器、ひいては浄化装置の品質を確保できる。
According to the purification device of the first embodiment configured as described above,
In a purifying device for purifying the soil using a sparging well inserted into the soil,
An ozone generator that generates ozone,
Since it is provided with an ozone removal unit that removes the ozone that has flowed back when the ozone flows back from the sparging well, it is possible to prevent the backflow of ozone to the ozone generator, so that the quality of the ozone generator, and thus the purification device, can be improved. Can be secured.

また、前記オゾン除去部は、排ガスを処理する排ガス処理部と、
前記排ガス処理部に送出されるオゾンの流量を調整する調整部と
を備えるので、オゾン発生器へのオゾンの逆流の発生を確実に防止できるため、オゾン発生器、ひいては浄化装置の品質を確保できる。
Further, the ozone removing unit, an exhaust gas processing unit for processing exhaust gas,
Since the adjustment unit that adjusts the flow rate of ozone sent to the exhaust gas processing unit is provided, it is possible to reliably prevent the backflow of ozone to the ozone generator, so that the quality of the ozone generator and thus the quality of the purification device can be secured. .

また、前記オゾン除去部は、排ガスを処理する排ガス処理部と、
前記オゾン発生器にて発生したオゾンを前記スパージング井戸に送出するか、または、前記排ガス処理部に送出するかを調整する調整部とを備えるので、オゾン発生器へのオゾンの逆流の発生を確実に防止できるため、オゾン発生器、ひいては浄化装置の品質を確保できる。
Further, the ozone removing unit, an exhaust gas processing unit for processing exhaust gas,
Since it is provided with an adjusting unit that adjusts whether ozone generated by the ozone generator is sent to the sparging well or is sent to the exhaust gas processing unit, it is possible to reliably generate a reverse flow of ozone to the ozone generator. Therefore, it is possible to ensure the quality of the ozone generator and eventually the purifying device.

また、分岐部と、
前記オゾン発生器と前記分岐部とを接続する第一配管と、
前記分岐部と前記スパージング井戸とを接続する第二配管と、
前記分岐部と前記排ガス処理部とを接続する分岐配管と、
前記分岐部と前記分岐配管との間に設けられた調整部とを備え、
前記調整部は、前記分岐配管の開閉状態を調整するので、第一配管、第二配管および分岐配管により、オゾン発生器へのオゾンの逆流の発生を確実に防止できるため、オゾン発生器、ひいては浄化装置の品質を確保できる。
Also, with a branch,
A first pipe connecting the ozone generator and the branch portion,
A second pipe connecting the branch portion and the sparging well,
A branch pipe connecting the branch part and the exhaust gas treatment part,
An adjusting unit provided between the branch unit and the branch pipe,
Since the adjustment unit adjusts the open / closed state of the branch pipe, the first pipe, the second pipe, and the branch pipe can reliably prevent the backflow of ozone to the ozone generator. The quality of the purification device can be secured.

また、前記オゾン発生器と前記調整部とを接続する第一配管と、
前記調整部と前記スパージング井戸とを接続する第二配管と、
前記調整部と前記排ガス処理部とを接続する分岐配管とを備え、
前記調整部は、前記第二配管を開状態として前記分岐配管を閉状態とする、または、前記分岐配管を開状態として前記第二配管を閉状態として調整を行うので、
第一配管、第二配管および分岐配管により、オゾン発生器へのオゾンの逆流の発生を確実に防止できるため、オゾン発生器、ひいては浄化装置の品質を確保できる。
Also, a first pipe connecting the ozone generator and the adjusting unit,
A second pipe connecting the adjusting portion and the sparging well,
A branch pipe connecting the adjusting unit and the exhaust gas treating unit is provided,
The adjusting unit performs the adjustment by setting the second pipe in the open state to close the branch pipe, or by setting the branch pipe in the open state and closing the second pipe.
The first pipe, the second pipe, and the branch pipe can reliably prevent the backflow of ozone to the ozone generator, so that the quality of the ozone generator and thus the purification device can be ensured.

また、前記調整部は、前記第一配管内の管圧が前記第二配管内の管圧よりも高くなると、前記第二配管を開状態として前記分岐配管を閉状態とし、かつ、前記第一配管内の管圧が前記第二配管内の管圧よりも低くなると、前記分岐配管を開状態として前記第二配管を閉状態として調整するので、
オゾン発生器のオゾンの発生と関係なく、調整部によりオゾンの流路が調整されるため、オゾン発生器へのオゾンの逆流の発生を防止でき、オゾン発生器、ひいては浄化装置の品質を確保できる。
Further, the adjusting unit, when the pipe pressure in the first pipe becomes higher than the pipe pressure in the second pipe, opens the second pipe and closes the branch pipe, and the first When the pipe pressure in the pipe becomes lower than the pipe pressure in the second pipe, the branch pipe is opened and the second pipe is adjusted in the closed state.
Regardless of the ozone generation of the ozone generator, the ozone flow path is adjusted by the adjustment unit, so that the backflow of ozone to the ozone generator can be prevented, and the quality of the ozone generator and eventually the purification device can be secured. .

また、前記オゾン発生器は、圧力容器と、前記圧力容器内に配置された放電電極とを備え、
前記圧力容器内に導入された原料ガスを前記放電電極にて放電してオゾンを発生させて前記第一配管から送出するので、
圧力容器内にオゾンの逆流の発生を防止できるため、オゾン発生器、ひいては浄化装置の品質を確保できる。
The ozone generator includes a pressure container and a discharge electrode arranged in the pressure container,
Since the raw material gas introduced into the pressure vessel is discharged at the discharge electrode to generate ozone and sent out from the first pipe,
Since the back flow of ozone can be prevented from being generated in the pressure vessel, the quality of the ozone generator and thus the quality of the purification device can be secured.

実施の形態2.
実施の形態2においては、土壌中の排ガスにおけるオゾンガス濃度を測定し、土壌へのオゾン注入率などを制御する機構を備えたものである。
Embodiment 2.
The second embodiment is provided with a mechanism for measuring the ozone gas concentration in the exhaust gas in the soil and controlling the ozone injection rate into the soil.

図4は実施の形態2による浄化装置の構成を示す図である。図5は図4に示した浄化装置の調整部の構成を示す図である。図において、上記実施の形態1と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。調整部71は、図5に示すように、バルブ710と、第一測定部711と、第二測定部712とを備える。バルブ710は第二配管52の開閉および分岐配管511の開閉を行う開閉部である。第一測定部711は、第一配管51内の管圧を測定する。第二測定部712は、第二配管52内の管圧を測定する。   FIG. 4 is a diagram showing the configuration of the purifying device according to the second embodiment. FIG. 5 is a diagram showing the configuration of the adjustment unit of the purification device shown in FIG. In the figure, the same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. As shown in FIG. 5, the adjusting unit 71 includes a valve 710, a first measuring unit 711, and a second measuring unit 712. The valve 710 is an opening / closing unit that opens / closes the second pipe 52 and opens / closes the branch pipe 511. The first measurement unit 711 measures the pipe pressure in the first pipe 51. The second measurement unit 712 measures the pipe pressure in the second pipe 52.

調整部71と制御部4とは第三信号線84にて接続されている。
制御部4は、調整部71の第一測定部711の第一測定値および第二測定部712の第二測定値をそれぞれ入力し、第一測定値が第二測定値よりも高くなると、バルブ710を第二配管52を開状態として分岐配管511を閉状態とし、かつ、第一測定値が第二測定値よりも低くなると、分岐配管511を開状態として第二配管52を閉状態として調整部71を制御する。
The adjusting unit 71 and the control unit 4 are connected by the third signal line 84.
The control unit 4 inputs the first measurement value of the first measurement unit 711 of the adjustment unit 71 and the second measurement value of the second measurement unit 712, respectively, and when the first measurement value becomes higher than the second measurement value, the valve When the second pipe 52 is opened and the branch pipe 511 is closed, and when the first measured value is lower than the second measured value, the branch pipe 511 is opened and the second pipe 52 is closed. The part 71 is controlled.

調整部71のバルブ710が第二配管52を開状態として分岐配管511を閉状態として調整されている場合には、第一配管51の矢印Y1から第二配管52の矢印Y2の方向への流路が確保される。また、調整部71のバルブ710が分岐配管511を開状態として第二配管52を閉状態として調整されている場合には、第一配管51の矢印Y1から分岐配管511の矢印Y3の方向への流路が確保される。   When the valve 710 of the adjusting unit 71 is adjusted by opening the second pipe 52 and closing the branch pipe 511, the flow from the arrow Y1 of the first pipe 51 to the direction of the arrow Y2 of the second pipe 52. The road is secured. Further, when the valve 710 of the adjusting unit 71 is adjusted by opening the branch pipe 511 and closing the second pipe 52, the direction from the arrow Y1 of the first pipe 51 to the arrow Y3 of the branch pipe 511 is adjusted. A flow path is secured.

そして本実施の形態2においては、汚染領域100の土壌中に挿入され、汚染領域100の土壌中の排ガスを吸引する吸引部としての吸引井戸91を備える。ここでは、汚染領域100の土壌中に形成される吸引井戸91を例に示したが、これに限られることはなく、汚染領域100の土壌中のガスを吸引するための吸引部として、例えば、汚染領域100上において井戸1周辺の地表面にカバーを設置し、吸引井戸91の代わりに汚染領域100の土壌中のガスを吸引するための吸引部としてもよい、また、これらの両方を設置する構成としてもよい。   In the second embodiment, the suction well 91 is provided as a suction unit that is inserted into the soil of the contaminated region 100 and that sucks the exhaust gas in the soil of the contaminated region 100. Here, the suction well 91 formed in the soil of the contaminated region 100 is shown as an example, but the suction well 91 is not limited to this, and as a suction unit for sucking gas in the soil of the contaminated region 100, for example, A cover may be installed on the ground surface around the well 1 on the contaminated area 100, and instead of the suction well 91, a suction unit for sucking gas in the soil of the contaminated area 100 may be provided, or both of them may be installed. It may be configured.

吸引井戸91には、第三配管142が接続される。第三配管142には、測定部としてのオゾンガスモニタ10が接続される。オゾンガスモニタ10は第四信号線85を介して制御部4に接続され、制御部4に測定結果を送信する。オゾンガスモニタ10は、吸引された排ガス中のオゾンガス濃度を測定し、測定結果を制御部4に送信する。吸引ブロワ110は、第三配管142を介して、吸引井戸91からガスを吸引させるための吸引部としても機能する。   The third pipe 142 is connected to the suction well 91. The ozone gas monitor 10 as a measurement unit is connected to the third pipe 142. The ozone gas monitor 10 is connected to the control unit 4 via the fourth signal line 85 and transmits the measurement result to the control unit 4. The ozone gas monitor 10 measures the ozone gas concentration in the sucked exhaust gas and sends the measurement result to the control unit 4. The suction blower 110 also functions as a suction unit for sucking gas from the suction well 91 via the third pipe 142.

そして、吸引井戸91には排ガス処理部130および吸引ブロワ110が接続される。
制御部4は、オゾンガスモニタ10にて測定されたオゾンガス濃度に基づいて、オゾン発生器2、または、吸引ブロワ110の少なくともいずれかひとつを制御する。
The exhaust gas treatment unit 130 and the suction blower 110 are connected to the suction well 91.
The control unit 4 controls at least one of the ozone generator 2 and the suction blower 110 based on the ozone gas concentration measured by the ozone gas monitor 10.

次に上記のように構成された本実施の形態2の浄化装置の浄化方法について説明する。尚、オゾンガスの供給方法は、上記実施の形態1と同様であるため、その説明は適宜省略する。オゾンガスの供給および停止のタイミングについて、図6のタイミングチャートの例に基づいて説明する。まず、図6は、実施の形態2の浄化方法の一連の動作を1サイクルとして示す。具体的には、1サイクルを任意の数の工程Tに分割する。ここでは1サイクルを2分割した場合、それぞれT1工程およびT2工程とし、各工程の動作においてオゾンガスの供給および停止のタイミングを示す図である。尚、図6に示したタイミングチャートは1例であり、他の例も考えられる。   Next, a purification method of the purification device of the second embodiment configured as described above will be described. Since the ozone gas supply method is the same as that in the first embodiment, the description thereof is appropriately omitted. The timing of supplying and stopping the ozone gas will be described based on the example of the timing chart of FIG. First, FIG. 6 shows a series of operations of the purification method of the second embodiment as one cycle. Specifically, one cycle is divided into an arbitrary number of steps T. Here, in the case where one cycle is divided into two, it is a step T1 and a step T2, respectively, and is a diagram showing the timing of supplying and stopping ozone gas in the operation of each step. The timing chart shown in FIG. 6 is an example, and other examples are possible.

図6における浄化方法は、まず、T1工程にて、土壌中にオゾンガスを供給する。T1工程の開始のタイミングに、制御部4は第一信号線81を介してオゾン発生器2にオゾンの発生の開始の開始信号を送信する。また、T2工程にて、オゾンガスの供給を停止する。T2工程の開始のタイミングに、制御部4は第一信号線81を介してオゾン発生器2にオゾンの発生の停止の停止信号を送信する。   In the purification method in FIG. 6, first, ozone gas is supplied into the soil in the T1 step. At the timing of starting the T1 process, the control unit 4 transmits a start signal for starting the generation of ozone to the ozone generator 2 via the first signal line 81. Further, the supply of ozone gas is stopped in the step T2. At the timing of starting the T2 process, the control unit 4 transmits a stop signal for stopping the generation of ozone to the ozone generator 2 via the first signal line 81.

汚染領域100の土壌に井戸1からオゾンガスが注入されると、土壌中にオゾンガスが散気される。土壌中に注入されたオゾンガスは、土壌中では気泡となって土壌中を移動し、土壌中の土壌表面に到達する。土壌表面から地上表面までの土壌中では、土壌中のガスは土壌粒子の間隙を移動する。そして、当該土壌中のガスは吸引ブロワ110を用いて吸引井戸91から吸引され、土壌中に注入されたガスは地上へと排出が促進される。そして、当該排ガスは吸引井戸91および第三配管142を経て、排ガス処理部130に導入される。そして、当該排ガスは排ガス処理部130でオゾンおよびVOCなどが除去され、排ガス処理が行われる。そして、VOCおよびオゾンが除去され排ガス処理が行われた土壌中のガスは、吸引ブロワ110を経て大気に開放される。   When ozone gas is injected into the soil in the contaminated region 100 from the well 1, ozone gas is diffused into the soil. The ozone gas injected into the soil becomes bubbles in the soil, moves in the soil, and reaches the soil surface in the soil. In the soil from the soil surface to the ground surface, the gas in the soil moves through the gaps between the soil particles. Then, the gas in the soil is sucked from the suction well 91 using the suction blower 110, and the gas injected into the soil is expelled to the ground. Then, the exhaust gas is introduced into the exhaust gas processing unit 130 via the suction well 91 and the third pipe 142. Then, the exhaust gas is subjected to exhaust gas processing by removing ozone, VOC, and the like in the exhaust gas processing unit 130. Then, the gas in the soil from which VOC and ozone have been removed and exhaust gas treatment has been performed is released to the atmosphere via the suction blower 110.

オゾンガスモニタ10にて測定されたオゾンガス濃度の結果は、第四信号線85を介して制御部4に送信される。制御部4は、取得したオゾンガス濃度の測定結果に基づいて、オゾンガス濃度が浄化装置として予め求められている所定値となるように、オゾン発生器2および吸引ブロワ110に信号を送信して、土壌中の土壌に注入するオゾンガスの濃度、オゾンガスの流量の切り替えのタイミングあるいは吸引井戸91において吸引する排ガス流量、すなわち吸引ブロワ110を制御する。   The result of the ozone gas concentration measured by the ozone gas monitor 10 is transmitted to the control unit 4 via the fourth signal line 85. The control unit 4 transmits a signal to the ozone generator 2 and the suction blower 110 based on the acquired measurement result of the ozone gas concentration so that the ozone gas concentration becomes a predetermined value that is obtained in advance as a purification device, and the soil is discharged. The concentration of the ozone gas to be injected into the soil therein, the timing of switching the flow rate of the ozone gas, or the flow rate of the exhaust gas sucked in the suction well 91, that is, the suction blower 110 is controlled.

また、吸引ブロワ110を制御して、吸引井戸91から吸引するガス流量を変動させることにより、吸引井戸91の周辺の土壌圧力を変動させてもよい。吸引井戸91の周辺の土壌圧力を変動させれば、オゾンが浸透しにくい箇所のVOCとオゾンとの接触する機会を増大でき、VOC分解除去の可能性が増大する。   The soil pressure around the suction well 91 may be changed by controlling the suction blower 110 and changing the flow rate of the gas sucked from the suction well 91. If the soil pressure around the suction well 91 is changed, it is possible to increase the chances of contact between the VOC and ozone in a place where ozone hardly penetrates, and increase the possibility of VOC decomposition and removal.

また、制御部4は、オゾンの発生および停止の制御とは別に、調整部71の第一測定部711の第一測定値および第二測定部712の第二測定値を入力し、第一測定値が第二測定値よりも高くなると、第二配管52を開状態として分岐配管511を閉状態とし、かつ、第一測定値が第二測定値よりも低くなると、分岐配管511を開状態として第二配管52を閉状態として調整部71を調整する。このように制御部4は、調整部71の制御をオゾン発生器2のオゾンの発生の開始および停止に同期して行わない。よって、上記実施の形態1と同様に、オゾン発生器2にオゾンが逆流することが防止される。   Further, the control unit 4 inputs the first measurement value of the first measurement unit 711 of the adjustment unit 71 and the second measurement value of the second measurement unit 712 separately from the control of the generation and stop of ozone, and performs the first measurement. When the value is higher than the second measured value, the second pipe 52 is opened and the branch pipe 511 is closed, and when the first measured value is lower than the second measured value, the branch pipe 511 is opened. The adjustment part 71 is adjusted with the second pipe 52 closed. As described above, the control unit 4 does not control the adjustment unit 71 in synchronization with the start and stop of ozone generation of the ozone generator 2. Therefore, as in the first embodiment, ozone is prevented from flowing back to the ozone generator 2.

上記のように構成された実施の形態2の浄化装置によれば、上記実施の形態1と同様の効果を奏するのはもちろんのこと、
前記スパージング井戸にオゾンの供給を開始する開始時点では、前記オゾン発生器にオゾンの発生を開始する開始信号を送信し、かつ、前記スパージング井戸にオゾンの供給を停止する停止時点では、前記オゾン発生器にオゾンの発生を停止する停止信号を送信する制御部を備え、オゾン発生部へのオゾンの逆流を防止する制御とは別に、オゾンの発生および停止を制御できるため、装置の性能が向上する。
According to the purifying apparatus of the second embodiment configured as described above, it goes without saying that the same effects as those of the first embodiment can be obtained.
At the start time of starting the supply of ozone to the sparging well, a start signal for starting the generation of ozone is transmitted to the ozone generator, and at the stop time of stopping the supply of ozone to the sparging well, the ozone generation The device is equipped with a control unit that sends a stop signal to stop the generation of ozone, and in addition to the control that prevents the reverse flow of ozone to the ozone generation unit, the generation and stop of ozone can be controlled, improving the performance of the device. .

また、前記土壌中に排ガスを吸引する吸引部を用いて前記土壌中の排ガスを吸引する浄化装置において、
前記排ガス処理部は、前記吸引部に接続され、前記吸引部にて吸引した排ガスを処理するので、オゾン発生部からの発生したオゾンの排ガス処理と、土壌中からの排ガス処理とを兼ねることができ、効率が向上する。
Further, in the purification device for sucking the exhaust gas in the soil using the suction unit for sucking the exhaust gas in the soil,
Since the exhaust gas treatment unit is connected to the suction unit and processes the exhaust gas sucked by the suction unit, the exhaust gas treatment of ozone generated from the ozone generation unit and the exhaust gas treatment from the soil can be combined. It is possible and efficiency is improved.

尚、本実施の形態の浄化装置では、調整部71と吸引井戸91とは同一の排ガス処理部130に接続されているが、別に第二排ガス処理部を設け、調整部71は排ガス処理部130に、吸引井戸91は第二排ガス処理部に接続することもできる。このように第二排ガス処理部を設けることで、排ガスに含まれるオゾンの濃度および量に応じて各排ガス処理部の仕様を変更し、装置コストおよび寸法を最適化することができる。   In addition, in the purification apparatus of the present embodiment, the adjusting unit 71 and the suction well 91 are connected to the same exhaust gas processing unit 130, but a second exhaust gas processing unit is provided separately, and the adjusting unit 71 is the exhaust gas processing unit 130. In addition, the suction well 91 can be connected to the second exhaust gas processing unit. By providing the second exhaust gas treatment unit in this way, the specifications of each exhaust gas treatment unit can be changed according to the concentration and amount of ozone contained in the exhaust gas, and the apparatus cost and size can be optimized.

実施の形態3.
実施の形態3においては、オゾンガスに加えて、持続化体および加圧供給体を供給する例を示す。図7は実施の形態3による浄化装置の構成を示す図である。実施の形態3においては、土壌にオゾンガスが溶解した溶存オゾンの自己分解を抑制する“持続化体”を土壌中に、上記に示したスパージングガスとして用いられるオゾンガスとともに供給するものである。持続化体とは、土壌にオゾンガスが溶解した溶存オゾンの自己分解を抑制し、土壌中の溶存オゾン濃度の半減期を延長させる物質である。溶存オゾン濃度の半減期とは、溶存オゾン濃度が半分に低減するために要する時間であり、溶存オゾン濃度の半減期が長いほど、土壌中の溶存オゾンが持続する。
Embodiment 3.
In the third embodiment, an example in which a sustainer and a pressurized supplier are supplied in addition to ozone gas is shown. FIG. 7 is a diagram showing the configuration of the purification device according to the third embodiment. In the third embodiment, the "sustainer" that suppresses the self-decomposition of dissolved ozone in which ozone gas is dissolved in the soil is supplied into the soil together with the ozone gas used as the sparging gas described above. The sustainer is a substance that suppresses the self-decomposition of dissolved ozone in which ozone gas is dissolved in the soil and extends the half-life of the dissolved ozone concentration in the soil. The half-life of the dissolved ozone concentration is the time required to reduce the dissolved ozone concentration to half, and the longer the half-life of the dissolved ozone concentration, the longer the dissolved ozone in the soil.

オゾン発生器2には、配管54を介して持続化体を供給する持続化体部3が接続される。持続化体部3は、井戸1にオゾンガスとともに持続化体を供給するためのものである。持続化体部3は、持続化体として炭酸ガスを用いる例を示す。   The ozone generator 2 is connected to a sustainer unit 3 that supplies a sustainer via a pipe 54. The sustainer section 3 is for supplying the well 1 with a sustainer together with ozone gas. The sustaining body part 3 shows an example in which carbon dioxide is used as the sustaining body.

供給部6は、オゾンガスと異なる加圧供給体を井戸1を介して土壌中に供給するものである。供給部6と井戸1とは第四配管53にて接続される。加圧供給体とは、オゾンガスと異なる気体であり、当然のことながらオゾンの自己分解を促進しない気体であり、ここでは加圧空気を用いる例を示す。加圧供給体を土壌中に供給するのは、土壌圧力を変動させるためである。このように、土壌圧力を変動させることにより、土壌中のオゾンの移動を促すことができ、土壌のオゾンによる浄化が促進される。   The supply unit 6 supplies a pressurized supply body different from ozone gas into the soil through the well 1. The supply unit 6 and the well 1 are connected by a fourth pipe 53. The pressurized supplier is a gas that is different from ozone gas, and is naturally a gas that does not promote the self-decomposition of ozone. Here, an example using pressurized air is shown. The pressurized feeder is fed into the soil in order to vary the soil pressure. By changing the soil pressure in this way, the movement of ozone in the soil can be promoted, and the purification of the soil by ozone is promoted.

供給部6は、ブロワあるいはコンプレッサにて構成される。よって、供給部6は、ブロワあるいはコンプレッサの出力を調整すれば加圧空気の供給量を調整できる。供給部6の加圧空気の噴出圧は、具体例として、絶対圧として0.1MPaから1.5MPa、望ましくは0.15MPaから1MPaが考えられる。空気圧が0.1MPa未満では、大気圧より低くなり地下水に効率よく供給できない。また、空気圧が1.5MPa以上では、消費電力が大きくなり、さらに装置が大型化し、高コストになる。   The supply unit 6 is composed of a blower or a compressor. Therefore, the supply unit 6 can adjust the supply amount of the compressed air by adjusting the output of the blower or the compressor. As a specific example, the ejection pressure of the pressurized air from the supply unit 6 may be 0.1 MPa to 1.5 MPa, preferably 0.15 MPa to 1 MPa, as an absolute pressure. If the air pressure is less than 0.1 MPa, it will be lower than the atmospheric pressure and cannot be efficiently supplied to groundwater. Further, when the air pressure is 1.5 MPa or more, the power consumption becomes large, the device becomes large, and the cost becomes high.

制御部4は持続化体部3および供給部6も制御する。制御部4と持続化体部3とは第五信号線82を介して接続される。制御部4と供給部6とは第六信号線83を介して接続される。制御部4は、第五信号線82にて持続化体部3に、オゾンの発生の開始の開始信号およびオゾンの発生の停止の停止信号と同期して、持続化体の供給の開始の開始信号および持続化体の供給の停止の停止信号を送信する。   The control unit 4 also controls the sustainer unit 3 and the supply unit 6. The control unit 4 and the sustaining unit 3 are connected via the fifth signal line 82. The control unit 4 and the supply unit 6 are connected via the sixth signal line 83. The control unit 4 starts the supply of the sustaining body to the sustaining body unit 3 through the fifth signal line 82 in synchronization with the start signal of the start of ozone generation and the stop signal of the stop of the generation of ozone. Send a stop signal to stop the signal and supply of the sustainer.

さらに、制御部4は、第六信号線83にて供給部6に加圧空気の供給の開始の開始信号および加圧空気の供給の停止の停止信号を送信する。制御部4の他の制御は、上記各実施の形態と同様である。   Further, the control unit 4 transmits a start signal for starting the supply of the pressurized air and a stop signal for stopping the supply of the pressurized air to the supply unit 6 through the sixth signal line 83. Other controls of the control unit 4 are the same as those in each of the above-described embodiments.

次に上記のように構成された実施の形態3の浄化装置による浄化方法について説明する。本実施の形態3においては、土壌中にオゾンガスおよび持続化体を供給する工程と、土壌中に加圧空気を供給する工程とを備えている。オゾンガスおよび持続化体を供給する工程では、オゾンガスおよび持続化体が、第一配管51および第二配管52を介して井戸1の下部の噴出部11から汚染領域100に供給する。そして、土壌中に供給されたオゾンガスおよび持続化体は、土壌中に散気されて気泡となり、汚染領域100の土壌中を上昇する。そして、当該気泡との気液界面との濃度勾配を駆動力として、気泡中から土壌中にオゾンが溶解する。   Next, a purification method using the purification device of the third embodiment configured as described above will be described. The third embodiment includes a step of supplying ozone gas and a sustainer into the soil and a step of supplying pressurized air into the soil. In the step of supplying the ozone gas and the sustaining agent, the ozone gas and the sustaining agent are supplied to the contaminated region 100 from the ejection portion 11 below the well 1 via the first pipe 51 and the second pipe 52. Then, the ozone gas and the sustaining agent supplied into the soil are diffused into the soil to form bubbles, and rise in the soil in the contaminated region 100. Then, ozone is dissolved from the bubbles into the soil by using the concentration gradient between the bubbles and the gas-liquid interface as a driving force.

溶解したオゾンは、汚染物質(VOCなど)および土壌中の被酸化物質との反応、あるいはオゾン自己分解に消費される。それらの反応に消費されなかったオゾンが溶存オゾンとして土壌中に検出される。土壌中に検出される溶存オゾンは、土壌中に浸透して汚染物質分解に寄与する。さらに、持続化体は、土壌中での溶存オゾンの自己分解を抑制できる。よって、土壌中のオゾンガスが通過した位置から離れた位置にオゾンが到達できる。その結果、汚染領域の汚染物質分解除去が進行する。   Dissolved ozone is consumed for reaction with pollutants (VOC and the like) and oxidizable substances in soil, or for ozone self-decomposition. Ozone not consumed in these reactions is detected in the soil as dissolved ozone. Dissolved ozone detected in the soil permeates the soil and contributes to the decomposition of pollutants. Furthermore, the sustainer can suppress the self-decomposition of dissolved ozone in soil. Therefore, ozone can reach a position apart from the position where ozone gas has passed in the soil. As a result, the decomposition and removal of contaminants in the contaminated area progresses.

加圧空気を供給する工程では、加圧空気が、第四配管53を介して井戸1の下部の噴出部11から汚染領域100に供給される。そして、土壌中の土壌圧力を変動させ、オゾンガスおよび持続化体の土壌中の移動を促進させる。   In the step of supplying the pressurized air, the pressurized air is supplied to the contaminated region 100 from the jet portion 11 below the well 1 via the fourth pipe 53. Then, the soil pressure in the soil is fluctuated to promote the movement of ozone gas and the sustainer in the soil.

例えば、最初の工程にて、土壌中に加圧空気を供給し、オゾンガスおよび持続化体は供給しない(停止)。次の工程にて、土壌中にオゾンガスおよび持続化体を供給し、加圧空気を供給しない(停止)。また、上記実施の形態2と同様に、制御部4にて、このような制御とは別に、調整部71の開閉状態の制御が行われる。   For example, in the first step, pressurized air is supplied into the soil, but ozone gas and a sustainer are not supplied (stop). In the next step, ozone gas and a sustainer are supplied to the soil, and pressurized air is not supplied (stop). Further, similarly to the second embodiment, the control unit 4 controls the open / closed state of the adjustment unit 71 in addition to such control.

上記のように構成された実施の形態3の浄化装置によれば、上記各実施の形態と同様の効果を奏するのはもちろんこと、
前記スパージング井戸にオゾンと異なる加圧供給体を供給する供給部と、
前記供給部と前記スパージング井戸とを接続する第三配管と、
前記第三配管は、前記第二配管に接続されるので、
加圧供給体を供給されている場合であっても、オゾンの逆流の発生を確実に防止できるため、オゾン発生器、ひいては浄化装置の品質を確実に確保できる。
According to the purifying apparatus of the third embodiment configured as described above, of course, the same effects as those of the above-described respective embodiments are achieved,
A supply unit that supplies a pressurized supply different from ozone to the sparging well,
A third pipe connecting the supply unit and the sparging well,
Since the third pipe is connected to the second pipe,
Even when the pressurized supply body is supplied, the back flow of ozone can be surely prevented from occurring, so that the quality of the ozone generator and eventually the purification device can be surely ensured.

また、前記供給部は、加圧空気を供給するので、
浄化装置が低コストとなる。
Also, since the supply unit supplies pressurized air,
The cost of the purification device is low.

また、前記オゾン発生器には、オゾンの分解を抑制する持続化体を供給する持続化体部が接続され、前記スパージング井戸にはオゾンとともに持続化体が供給されるので、
土壌中でのオゾンの自己分解を抑制し、土壌中の汚染物質の原位置での分解除去が向上する。
Further, the ozone generator is connected to a sustaining body portion that supplies a sustaining body that suppresses the decomposition of ozone, and the sparging well is supplied with the sustaining body together with ozone.
It suppresses the self-decomposition of ozone in the soil and improves the in-situ decomposition and removal of pollutants in the soil.

実施の形態4.
上記各実施の形態においては浄化装置の例を示したが、実施の形態4においては、オゾン供給装置の例について説明する。図8は実施の形態4によるオゾン供給装置の構成を示す図である。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。
Fourth Embodiment
Although an example of the purifying device has been shown in each of the above-described embodiments, an example of the ozone supply device will be described in the fourth embodiment. FIG. 8 is a diagram showing the configuration of the ozone supply device according to the fourth embodiment. In the figure, the same parts as those in each of the above-described embodiments are designated by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

上記各実施の形態は、土壌中の井戸1をオゾンを供給する被供給部とする例を示したが、他にオゾンを供給する必要がある箇所である、被供給部101も考えられる。そして、オゾン発生器2へ、被供給部101からオゾンが逆流した場合、オゾンを除去するオゾン除去部131とを備える。よって、上記実施の形態と同様にオゾン発生器2へのオゾンの逆流の防止に対応することが可能である。   In each of the above-described embodiments, the example in which the well 1 in the soil is used as the supply target part for supplying ozone has been described. However, the supply target part 101, which is a part where ozone needs to be supplied, may be considered. The ozone generator 2 is provided with an ozone removing unit 131 that removes ozone when the ozone flows backward from the supply target unit 101. Therefore, it is possible to cope with the backflow of ozone to the ozone generator 2 as in the above embodiment.

上記のように構成された実施の形態4のオゾン供給装置によれば、
オゾンを発生させるオゾン発生器と、
前記オゾン発生器からオゾンが逆流した場合に逆流した前記オゾンを除去するオゾン除去部とを備えるので、オゾン発生器へのオゾンの逆流の発生を防止できるため、オゾン発生器、ひいてはオゾン供給装置の品質を確保できる。
According to the ozone supply device of the fourth embodiment configured as described above,
An ozone generator that generates ozone,
Since the ozone generator is provided with an ozone removing unit that removes the ozone that has flowed back when the ozone flows back from the ozone generator, it is possible to prevent the generation of the reverse flow of ozone to the ozone generator. Quality can be secured.

本開示は、様々な例示的な実施の形態および実施例が記載されているが、ひとつ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、および機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくともひとつの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくともひとつの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。   Although the present disclosure describes various exemplary embodiments and examples, various features, aspects, and functions described in one or more of the embodiments are applicable to particular embodiments. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to the embodiments alone or in various combinations. Therefore, innumerable variations not illustrated are envisioned within the scope of the technology disclosed herein. For example, it is assumed that at least one component is modified, added or omitted, and at least one component is extracted and combined with the components of other embodiments.

1 井戸、10 オゾンガスモニタ、100 汚染領域、101 被供給部、
11 噴出部、110 吸引ブロワ、130 排ガス処理部、131 オゾン除去部、
142 第三配管、2 オゾン発生器、21 圧力容器、22 放電電極、
3 持続化体部、4 制御部、5 原料ガス部、6 供給部、50 配管、
51 第一配管、511 分岐配管、52 第二配管、53 第四配管、54 配管、
71 調整部、710 バルブ、711 第一測定部、712 第二測定部、
72 調整部、81 第一信号線、82 第五信号線、83 第六信号線、
84 第三信号線、85 第四信号線、86 第二信号線、91 吸引井戸、
T 分岐部。
1 well, 10 ozone gas monitor, 100 contaminated area, 101 supplied area,
11 jetting section, 110 suction blower, 130 exhaust gas processing section, 131 ozone removing section,
142 third pipe, 2 ozone generator, 21 pressure vessel, 22 discharge electrode,
3 sustainer part, 4 control part, 5 raw material gas part, 6 supply part, 50 piping,
51 first pipe, 511 branch pipe, 52 second pipe, 53 fourth pipe, 54 pipe,
71 adjustment unit, 710 valve, 711 first measurement unit, 712 second measurement unit,
72 adjustment unit, 81 first signal line, 82 fifth signal line, 83 sixth signal line,
84 third signal line, 85 fourth signal line, 86 second signal line, 91 suction well,
T branch.

Claims (13)

土壌中に挿入されるスパージング井戸を用いて前記土壌を浄化する浄化装置において、
オゾンを発生させるオゾン発生器と、
前記スパージング井戸からオゾンが逆流した場合に逆流した前記オゾンを除去するオゾン除去部とを備える浄化装置。
In a purifying device for purifying the soil using a sparging well inserted into the soil,
An ozone generator that generates ozone,
An ozone removing unit that removes the ozone that has flowed back when the ozone flows back from the sparging well.
前記オゾン除去部は、排ガスを処理する排ガス処理部と、
前記排ガス処理部に送出されるオゾンの流量を調整する調整部と
を備える請求項1に記載の浄化装置。
The ozone removing unit is an exhaust gas processing unit that processes exhaust gas,
The purification device according to claim 1, further comprising an adjusting unit that adjusts a flow rate of ozone sent to the exhaust gas processing unit.
前記オゾン除去部は、排ガスを処理する排ガス処理部と、
前記オゾン発生器にて発生したオゾンを前記スパージング井戸に送出するか、または、前記排ガス処理部に送出するかを調整する調整部とを備える請求項1に記載の浄化装置。
The ozone removing unit is an exhaust gas processing unit that processes exhaust gas,
The purification device according to claim 1, further comprising: an adjustment unit that adjusts whether ozone generated by the ozone generator is sent to the sparging well or to the exhaust gas processing unit.
分岐部と、
前記オゾン発生器と前記分岐部とを接続する第一配管と、
前記分岐部と前記スパージング井戸とを接続する第二配管と、
前記分岐部と前記排ガス処理部とを接続する分岐配管と、
前記分岐部と前記分岐配管との間に設けられた調整部とを備え、
前記調整部は、前記分岐配管の開閉状態を調整する請求項2に記載の浄化装置。
Branching part,
A first pipe connecting the ozone generator and the branch portion,
A second pipe connecting the branch portion and the sparging well,
A branch pipe connecting the branch part and the exhaust gas treatment part,
An adjusting unit provided between the branch unit and the branch pipe,
The purification device according to claim 2, wherein the adjustment unit adjusts an open / closed state of the branch pipe.
前記オゾン発生器と前記調整部とを接続する第一配管と、
前記調整部と前記スパージング井戸とを接続する第二配管と、
前記調整部と前記排ガス処理部とを接続する分岐配管とを備え、
前記調整部は、前記第二配管を開状態として前記分岐配管を閉状態とする、または、前記分岐配管を開状態として前記第二配管を閉状態として調整を行う請求項3に記載の浄化装置。
A first pipe connecting the ozone generator and the adjusting unit,
A second pipe connecting the adjusting portion and the sparging well,
A branch pipe connecting the adjusting unit and the exhaust gas treating unit is provided,
The purification device according to claim 3, wherein the adjustment unit performs adjustment by opening the second pipe and closing the branch pipe, or by opening the branch pipe and closing the second pipe. .
前記調整部は、前記第一配管内の管圧が前記第二配管内の管圧よりも高くなると、前記第二配管を開状態として前記分岐配管を閉状態とし、かつ、前記第一配管内の管圧が前記第二配管内の管圧よりも低くなると、前記分岐配管を開状態として前記第二配管を閉状態として調整する請求項5に記載の浄化装置。 When the pipe pressure in the first pipe becomes higher than the pipe pressure in the second pipe, the adjusting unit opens the second pipe and closes the branch pipe, and the inside of the first pipe. 6. The purifying apparatus according to claim 5, wherein when the pipe pressure of is lower than the pipe pressure in the second pipe, the branch pipe is opened and the second pipe is closed. 前記スパージング井戸にオゾンの供給を開始する開始時点では、前記オゾン発生器にオゾンの発生を開始する開始信号を送信し、かつ、前記スパージング井戸にオゾンの供給を停止する停止時点では、前記オゾン発生器にオゾンの発生を停止する停止信号を送信する制御部を備えた請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の浄化装置。 At the start time of starting the supply of ozone to the sparging well, a start signal for starting the generation of ozone is transmitted to the ozone generator, and at the stop time of stopping the supply of ozone to the sparging well, the ozone generation The purification device according to any one of claims 4 to 6, further comprising a control unit that transmits a stop signal for stopping generation of ozone to the container. 前記オゾン発生器は、圧力容器と、前記圧力容器内に配置された放電電極とを備え、
前記圧力容器内に導入された原料ガスを前記放電電極にて放電してオゾンを発生させて前記第一配管から送出する請求項4から請求項7のいずれか1項に記載の浄化装置。
The ozone generator comprises a pressure vessel, and a discharge electrode arranged in the pressure vessel,
The purification apparatus according to any one of claims 4 to 7, wherein the raw material gas introduced into the pressure vessel is discharged at the discharge electrode to generate ozone and is sent out from the first pipe.
前記土壌中に排ガスを吸引する吸引部を用いて前記土壌中の排ガスを吸引する浄化装置において、
前記排ガス処理部は、前記吸引部に接続され、前記吸引部にて吸引した排ガスを処理する請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の浄化装置。
In a purifying device that sucks exhaust gas in the soil using a suction unit that sucks exhaust gas into the soil,
The purification apparatus according to any one of claims 4 to 6, wherein the exhaust gas processing unit is connected to the suction unit and processes the exhaust gas sucked by the suction unit.
前記スパージング井戸にオゾンと異なる加圧供給体を供給する供給部と、
前記供給部と前記スパージング井戸とを接続する第三配管と、
前記第三配管は、前記第二配管に接続される請求項4から請求項9のいずれか1項に記載の浄化装置。
A supply unit that supplies a pressurized supply different from ozone to the sparging well,
A third pipe connecting the supply unit and the sparging well,
The purification device according to any one of claims 4 to 9, wherein the third pipe is connected to the second pipe.
前記供給部は、加圧空気を供給する請求項10に記載の浄化装置。 The purification device according to claim 10, wherein the supply unit supplies pressurized air. 前記オゾン発生器には、オゾンの分解を抑制する持続化体を供給する持続化体部が接続され、前記スパージング井戸にはオゾンとともに持続化体が供給される請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の浄化装置。 12. The ozone generator is connected to a sustainer unit that supplies a sustainer that suppresses the decomposition of ozone, and the sparging well is supplied with the sustainer together with ozone. The purifying device according to item 1. オゾンを発生させるオゾン発生器と、
前記オゾン発生器へオゾンが逆流した場合に逆流した前記オゾンを除去するオゾン除去部とを備えるオゾン供給装置。
An ozone generator that generates ozone,
An ozone supply device comprising: an ozone removing unit that removes the ozone that has flowed back when the ozone flows back to the ozone generator.
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C22 Notice of designation (change) of administrative judge

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C22 Notice of designation (change) of administrative judge

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C23 Notice of termination of proceedings

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C03 Trial/appeal decision taken

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