JP2020055147A - Method for manufacturing polyimide film and method for manufacturing metal-clad laminated plate - Google Patents

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Abstract

To improve adhesion between polyimide layers without needing a special step such as surface treatment in manufacture of a polyimide film having a plurality of polyimide layers or a metal-clad laminated plate.SOLUTION: A method for manufacturing a polyimide film including a first polyimide layer (A) and a second polyimide layer (B) stacked on at least one surface of the first polyimide layer (A) includes I) a step of preparing the first polyimide layer (A) containing polyimide having a ketone group, II) a step of stacking a resin layer containing a polyamic acid (b) having a functional group having a mutual action with the ketone group, on the first polyimide layer (A) and III) a step of heat-treating the resin layer containing the polyamic acid (b) along with the first polyimide layer (A), imidizing the polyamic acid (b) and forming the second polyimide layer (B).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、回路基板などの材料として利用可能なポリイミドフィルム及び金属張積層板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a polyimide film and a metal-clad laminate that can be used as materials for circuit boards and the like.

近年、電子機器の小型化、軽量化、省スペース化の進展に伴い、薄く軽量で、可撓性を有し、屈曲を繰り返しても優れた耐久性を持つフレキシブル回路基板(FPC;Flexible Printed Circuits)の需要が増大している。FPCは、限られたスペースでも立体的かつ高密度の実装が可能であるため、例えば、HDD、DVD、携帯電話、スマートフォン等の電子機器の配線や、ケーブル、コネクター等の部品にその用途が拡大しつつある。FPCに用いる絶縁樹脂として、耐熱性や接着性に優れたポリイミドが注目されている。   2. Description of the Related Art In recent years, with the progress of miniaturization, weight reduction, and space saving of electronic devices, a flexible printed circuit (FPC) that is thin and lightweight, has flexibility, and has excellent durability even when repeatedly bent. ) Demand is increasing. Since FPCs can be mounted three-dimensionally and at high density even in limited space, their applications are expanding, for example, to wiring of electronic devices such as HDDs, DVDs, mobile phones, and smartphones, and to components such as cables and connectors. I am doing it. As an insulating resin used for the FPC, polyimide having excellent heat resistance and adhesiveness has attracted attention.

FPC材料としてのポリイミドフィルムや、ポリイミド絶縁層を有する金属張積層板の製造方法として、ポリアミド酸の樹脂液を塗布することによってポリイミド前駆体層を形成した後、イミド化してポリイミド層を形成するキャスト法が知られている(例えば、特許文献1、特許文献2)。   As a method of manufacturing a polyimide film as an FPC material or a metal-clad laminate having a polyimide insulating layer, a polyimide precursor layer is formed by applying a resin solution of polyamic acid, and then a polyimide layer is formed by imidization. Methods are known (for example, Patent Documents 1 and 2).

キャスト法によって、複数のポリイミド層を有するポリイミドフィルムや金属張積層板を製造する場合、一般的には、銅箔等の基材上に、複数層のポリイミド前駆体層を順次形成した後、これらを一括してイミド化することが行われている。しかし、複数のポリイミド前駆体層を一括してイミド化すると、ポリイミド前駆体層中の溶剤やイミド化水が抜け切らず、残留溶剤やイミド化水によってポリイミド層間での発泡や剥離が生じ、歩留まりの低下を招くという問題があった。   When manufacturing a polyimide film or a metal-clad laminate having a plurality of polyimide layers by a casting method, generally, on a substrate such as a copper foil, after sequentially forming a plurality of polyimide precursor layers, these Are collectively imidized. However, when a plurality of polyimide precursor layers are simultaneously imidized, the solvent and imidized water in the polyimide precursor layer are not completely removed, and foaming and peeling between the polyimide layers are caused by the residual solvent and the imidized water, thereby increasing the yield. There is a problem that it causes a decrease in

上記発泡や剥離の問題は、ポリイミド前駆体層を一層毎にイミド化し、その上にポリアミド酸の樹脂液を塗布することを繰り返すことによって解決できる。しかし、一旦イミド化したポリイミド層上に、さらに、ポリアミド酸の樹脂液を塗布してイミド化させると、層間の密着性が十分に得られ難くなる。従来技術では、ポリアミド酸の樹脂液を塗布する前に、下地のポリイミドフィルムやポリイミド層の表面に、コロナ処理、プラズマ処理などの表面処理を施すことによって、層間の密着性を改善する提案がなされている(例えば、特許文献3、4)。   The problems of foaming and peeling can be solved by repeatedly imidizing the polyimide precursor layer one by one and applying a polyamic acid resin liquid thereon. However, if a resin solution of polyamic acid is further applied on the polyimide layer once imidized and imidized, it is difficult to sufficiently obtain adhesion between the layers. In the prior art, a proposal has been made to improve the adhesion between layers by applying a surface treatment such as a corona treatment or a plasma treatment to the surface of an underlying polyimide film or polyimide layer before applying a resin solution of polyamic acid. (For example, Patent Documents 3 and 4).

国際公開WO2016/159104号International Publication WO2016 / 159104 特開2004−322441号公報JP 2004-322441 A 特開2010−116443号公報JP 2010-116443 A 特開2012−134478号公報JP 2012-134478 A

特許文献3、4のように、層間の密着性を得るためにイミド化されたポリイミドに対して表面処理を行う方法では、そのための設備が必要であるとともに、工程数が増加して製造のスループットが低下してしまう、という問題がある。   In the method of performing surface treatment on imidized polyimide in order to obtain interlayer adhesion as in Patent Documents 3 and 4, equipment for the surface treatment is required, and the number of steps is increased to increase the manufacturing throughput. Is reduced.

従って、本発明の目的は、複数のポリイミド層を有するポリイミドフィルム又は金属張積層板の製造において、表面処理などの特別な工程を必要としなくても、ポリイミド層間の密着性を改善することである。   Therefore, an object of the present invention is to improve the adhesion between polyimide layers without the need for a special step such as surface treatment in the production of a polyimide film or a metal-clad laminate having a plurality of polyimide layers. .

本発明者らは、キャスト法によって形成されるポリイミド前駆体層の樹脂成分と、その下地となるポリイミド層の樹脂成分との相互作用を利用することによって、表面処理などの特別な工程を必要としなくても、ポリイミド層間の密着性を改善できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors require a special process such as surface treatment by utilizing the interaction between the resin component of the polyimide precursor layer formed by the casting method and the resin component of the polyimide layer to be the base. It has been found that the adhesion between the polyimide layers can be improved without using the same, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、第1のポリイミド層(A)と、前記第1のポリイミド層(A)の少なくとも片側の面に積層された第2のポリイミド層(B)と、を備えたポリイミドフィルムの製造方法である。
本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、下記の工程I〜III;
I)ケトン基を有するポリイミドを含む第1のポリイミド層(A)を準備する工程、
II)前記第1のポリイミド層(A)の上に、前記ケトン基と相互作用する性質を有する官能基を持つポリアミド酸(b)を含む樹脂層を積層する工程、
III)前記ポリアミド酸(b)を含む樹脂層を前記第1のポリイミド層(A)ごと熱処理し、前記ポリアミド酸(b)をイミド化して第2のポリイミド層(B)を形成する工程、
を含むものである。
That is, the method for producing a polyimide film of the present invention comprises a first polyimide layer (A), a second polyimide layer (B) laminated on at least one surface of the first polyimide layer (A), This is a method for producing a polyimide film comprising:
The method for producing a polyimide film of the present invention comprises the following steps I to III;
I) a step of preparing a first polyimide layer (A) containing a polyimide having a ketone group;
II) laminating a resin layer containing a polyamic acid (b) having a functional group having a property of interacting with the ketone group on the first polyimide layer (A);
III) a step of heat-treating the resin layer containing the polyamic acid (b) together with the first polyimide layer (A) to imidize the polyamic acid (b) to form a second polyimide layer (B);
Is included.

本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1のポリイミド層(A)を構成するポリイミドが、テトラカルボン酸残基(1a)及びジアミン残基(2a)を含むものであって、前記テトラカルボン酸残基(1a)及び前記ジアミン残基(2a)の合計100モル部に対して、前記ケトン基が5モル部以上であってもよい。   In the method for producing a polyimide film according to the present invention, the polyimide constituting the first polyimide layer (A) includes a tetracarboxylic acid residue (1a) and a diamine residue (2a); The ketone group may be 5 mole parts or more based on 100 mole parts in total of the acid residue (1a) and the diamine residue (2a).

本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、前記ポリアミド酸(b)を含む樹脂層が、テトラカルボン酸残基(1b)及びジアミン残基(2b)を含むものであって、前記ジアミン残基(2b)1モルに対し、前記テトラカルボン酸残基(1b)が1モル未満であってもよい。   In the method for producing a polyimide film of the present invention, the resin layer containing the polyamic acid (b) includes a tetracarboxylic acid residue (1b) and a diamine residue (2b), and the diamine residue (2b ) The tetracarboxylic acid residue (1b) may be less than 1 mol per 1 mol.

本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、前記第1のポリイミド層(A)が、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を基材上に積層して、前記基材ごと前記ポリアミド酸(a)をイミド化して形成されたものであってもよい。   In the method for producing a polyimide film according to the present invention, the first polyimide layer (A) is formed by laminating a resin layer containing a polyamic acid (a) having a ketone group on a base material, and the polyamic acid together with the base material is provided. It may be formed by imidizing (a).

本発明の金属張積層板の製造方法は、金属層と、第1のポリイミド層(A)と、前記第1のポリイミド層(A)の片側の面に積層された第2のポリイミド層(B)と、を備えた金属張積層板の製造方法である。
本発明の金属張積層板の製造方法は、下記の工程i〜iv;
i)金属層の上に、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を表層部に有する、少なくとも1層以上のポリアミド酸の樹脂層を形成する工程、
ii)前記ポリアミド酸の樹脂層を前記金属層ごと熱処理し、前記ポリアミド酸をイミド化することにより、前記金属層の上に、ケトン基を有するポリイミドを含む第1のポリイミド層(A)を表層部として有するポリイミド層が積層された中間体を形成する工程、
iii)前記第1のポリイミド層(A)の上に、前記ケトン基と相互作用する性質を有する官能基を持つポリアミド酸(b)を含む樹脂層を積層する工程、
iv)前記ポリアミド酸(b)の樹脂層を前記中間体ごと熱処理し、前記ポリアミド酸(b)をイミド化して第2のポリイミド層(B)を形成する工程、
を含むものである。
The method for producing a metal-clad laminate according to the present invention comprises a metal layer, a first polyimide layer (A), and a second polyimide layer (B) laminated on one surface of the first polyimide layer (A). ), And a method for producing a metal-clad laminate.
The method for producing a metal-clad laminate of the present invention comprises the following steps i to iv:
i) a step of forming at least one or more polyamic acid resin layers having a resin layer containing a polyamic acid (a) having a ketone group on the surface layer on the metal layer;
ii) heat treating the polyamic acid resin layer together with the metal layer to imidize the polyamic acid, thereby forming a first polyimide layer (A) containing a polyimide having a ketone group on the metal layer; Step of forming an intermediate in which a polyimide layer having a part is laminated,
iii) laminating a resin layer containing a polyamic acid (b) having a functional group having a property of interacting with the ketone group on the first polyimide layer (A);
iv) heat treating the resin layer of the polyamic acid (b) together with the intermediate, and imidizing the polyamic acid (b) to form a second polyimide layer (B);
Is included.

本発明の回路基板の製造方法は、上記方法で製造された前記金属張積層板の前記金属層を配線回路加工する工程を含むものである。   The method of manufacturing a circuit board according to the present invention includes a step of processing a wiring circuit of the metal layer of the metal-clad laminate manufactured by the above method.

本発明方法によれば、スループットを損なうことなく、ポリイミド層間の密着性に優れたポリイミドフィルム又は金属張積層板を製造できる。   According to the method of the present invention, a polyimide film or a metal-clad laminate having excellent adhesion between polyimide layers can be produced without impairing the throughput.

以下、本発明の実施の形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

[第1の実施の形態:ポリイミドフィルムの製造方法]
本実施の形態のポリイミドフィルムの製造方法は、第1のポリイミド層(A)と、第1のポリイミド層(A)の少なくとも片側の面に積層された第2のポリイミド層(B)と、を備えたポリイミドフィルムを製造する方法である。本実施の形態により得られるポリイミドフィルムは、第1のポリイミド層(A)及び第2のポリイミド層(B)以外のポリイミド層を有していてもよく、また、任意の基材に積層されていてもよい。
[First Embodiment: Method for Producing Polyimide Film]
The method for manufacturing a polyimide film according to the present embodiment includes a first polyimide layer (A) and a second polyimide layer (B) laminated on at least one surface of the first polyimide layer (A). This is a method for producing a polyimide film provided. The polyimide film obtained according to the present embodiment may have a polyimide layer other than the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B), and may be laminated on any substrate. You may.

本実施の形態のポリイミドフィルムの製造方法は、下記の工程I〜IIIを含む。   The method for producing a polyimide film according to the present embodiment includes the following steps I to III.

(工程I):
工程Iでは、ケトン基を有するポリイミドを含む第1のポリイミド層(A)を準備する。ケトン基を有するポリイミドは、その分子内にケトン基(−CO−)を有する。ケトン基は、ポリイミドの原料である酸二無水物及び/又はジアミン化合物に由来するものである。すなわち、第1のポリイミド層(A)を構成するポリイミドは、テトラカルボン酸残基(1a)及びジアミン残基(2a)を含むものであって、テトラカルボン酸残基(1a)又はジアミン残基(2a)のいずれか片方又は両方に、ケトン基を有する残基が含まれている。
なお、本発明において、「テトラカルボン酸残基」とは、テトラカルボン酸二無水物から誘導された4価の基のことを表し、「ジアミン残基」とは、ジアミン化合物から誘導された2価の基のことを表す。また、「ジアミン化合物」は、末端の二つのアミノ基における水素原子が置換されていてもよい。
(Step I):
In step I, a first polyimide layer (A) containing a polyimide having a ketone group is prepared. A polyimide having a ketone group has a ketone group (—CO—) in the molecule. The ketone group is derived from an acid dianhydride and / or a diamine compound which is a raw material for polyimide. That is, the polyimide constituting the first polyimide layer (A) contains a tetracarboxylic acid residue (1a) and a diamine residue (2a), and contains a tetracarboxylic acid residue (1a) or a diamine residue. One or both of (2a) include a residue having a ketone group.
In the present invention, “tetracarboxylic acid residue” refers to a tetravalent group derived from tetracarboxylic dianhydride, and “diamine residue” refers to a divalent group derived from a diamine compound. It represents a valence group. In the “diamine compound”, the hydrogen atoms in the two terminal amino groups may be substituted.

テトラカルボン酸残基(1a)中に含まれるケトン基を有する残基としては、例えば、
3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3’,3,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−(パラフェニレンジカルボニル)ジフタル酸無水物、4,4’−(メタフェニレンジカルボニル)ジフタル酸無水物等の「分子内にケトン基を有するテトラカルボン酸二無水物」から誘導される残基を挙げることができる。
Examples of the residue having a ketone group contained in the tetracarboxylic acid residue (1a) include, for example,
3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3 ′, 3,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenonetetracarboxylic acid "Tetracarboxylic dianhydride having a ketone group in the molecule, such as dianhydride, 4,4 '-(paraphenylenedicarbonyl) diphthalic anhydride, 4,4'-(metaphenylenedicarbonyl) diphthalic anhydride Residue derived from a “product”.

テトラカルボン酸残基(1a)において、ケトン基を有する残基以外としては、例えば後記実施例に示すもののほか、一般的にポリイミドの合成に使用されているテトラカルボン酸二無水物から誘導される残基を挙げることができる。   In the tetracarboxylic acid residue (1a), other than the residue having a ketone group, for example, those derived from tetracarboxylic dianhydride generally used in the synthesis of polyimide, in addition to those shown in Examples described later. Residues may be mentioned.

ジアミン残基(2a)中に含まれるケトン基を有する残基としては、例えば、
3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ‐α,α‐ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゾフェノン4,4’―ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゾフェノン(BABP)、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン(BABB)、1,4−ビス(4−アミノベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノベンゾイル)ベンゼン等の「分子内にケトン基を有するジアミン化合物」から誘導される残基を挙げることができる。
As the residue having a ketone group contained in the diamine residue (2a), for example,
3,3′-diaminobenzophenone, 3,4′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) benzophenone 4,4'-bis (3-aminophenoxy) benzophenone (BABP), 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene (BABB), Residues derived from “diamine compounds having a ketone group in the molecule” such as 1,4-bis (4-aminobenzoyl) benzene and 1,3-bis (4-aminobenzoyl) benzene can be mentioned.

ジアミン残基(2a)において、ケトン基を有する残基以外としては、例えば後記実施例に示すもののほか、一般的にポリイミドの合成に使用されているジアミン化合物から誘導される残基を挙げることができる。   In the diamine residue (2a), other than the residue having a ketone group, for example, in addition to those shown in Examples described later, there may be mentioned residues derived from a diamine compound generally used in the synthesis of polyimide. it can.

第1のポリイミド層(A)は、ケトン基を有するポリイミド以外の他のポリイミドを含んでいてもよい。ただし、第2のポリイミド層(B)との十分な密着性を確保するため、第1のポリイミド層(A)を構成するポリイミドの全量に対して、10モル%以上がケトン基を有するポリイミドであることが好ましく、30モル%以上のポリイミドが、ケトン基を有するポリイミドであることがより好ましい。
また、第1のポリイミド層(A)を構成するポリイミド中に存在するケトン基の量(−CO−として)は、テトラカルボン酸残基(1a)及びジアミン残基(2a)の合計100モル部に対して、5〜200モル部の範囲内であることが好ましく、15〜100モル部の範囲内であることがより好ましい。第1のポリイミド層(A)を構成するポリイミド中に存在するケトン基が5モル部未満であると、工程IIで積層されるポリアミド酸(b)を含む樹脂層中に存在する官能基(例えば末端アミノ基)と相互作用を起こす確率が低くなって、層間の密着性が十分に得られないことがある。
The first polyimide layer (A) may contain another polyimide other than the polyimide having a ketone group. However, in order to ensure sufficient adhesion with the second polyimide layer (B), 10 mol% or more of the polyimide having a ketone group is based on the total amount of the polyimide constituting the first polyimide layer (A). It is more preferable that 30 mol% or more of the polyimide is a polyimide having a ketone group.
The amount (as -CO-) of the ketone group present in the polyimide constituting the first polyimide layer (A) is 100 mol parts in total of the tetracarboxylic acid residue (1a) and the diamine residue (2a). Is preferably in the range of 5 to 200 mol parts, more preferably in the range of 15 to 100 mol parts. When the ketone group present in the polyimide constituting the first polyimide layer (A) is less than 5 mol parts, the functional group present in the resin layer containing the polyamic acid (b) laminated in the step II (for example, In some cases, the probability of interaction with the terminal amino group) is reduced, and sufficient adhesion between layers may not be obtained.

第1のポリイミド層(A)を形成する方法としては、任意の基材の上に、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂溶液を塗布する方法(キャスト法)、任意の基材の上にケトン基を有するポリアミド酸(a)を含むゲルフィルムを積層する方法などによって形成することが可能である。   As a method of forming the first polyimide layer (A), a method of applying a resin solution containing a polyamic acid (a) having a ketone group on an arbitrary base material (cast method), a method of forming an arbitrary base material It can be formed by a method of laminating a gel film containing a polyamic acid (a) having a ketone group thereon.

キャスト法において、ポリアミド酸(a)を含む樹脂溶液を塗布する方法は特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターにて塗布することが可能である。   In the casting method, the method of applying the resin solution containing the polyamic acid (a) is not particularly limited, and for example, the resin solution can be applied using a coater such as a comma, a die, a knife, a lip, or the like.

なお、第1のポリイミド層(A)は、他の樹脂層と積層された状態でもよいし、任意の基材に積層された状態であってもよい。   Note that the first polyimide layer (A) may be in a state of being laminated with another resin layer, or may be in a state of being laminated on an arbitrary base material.

また、第1のポリイミド層(A)は、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を基材上に積層して、基材ごとポリアミド酸(a)をイミド化して形成されたものであることが好ましい。このように、第1のポリイミド層(A)が基材上にキャスト法で形成された場合でも、第2のポリイミド層(B)を形成する前にイミド化を完了させるため、溶剤やイミド化水が除去されており、発泡や層間剥離などの問題が生じることがない。   Further, the first polyimide layer (A) is formed by laminating a resin layer containing a polyamic acid (a) having a ketone group on a substrate and imidizing the polyamic acid (a) together with the substrate. It is preferred that As described above, even when the first polyimide layer (A) is formed on the base material by the casting method, the imidation is completed before the second polyimide layer (B) is formed. Since water is removed, problems such as foaming and delamination do not occur.

また、第1のポリイミド層(A)は、カットシート状、ロール状のもの、又はエンドレスベルト状などの形状とすることができるが、生産性を得るためには、ロール状又はエンドレスベルト状の形態とし、連続生産可能な形式とすることが効率的である。さらに、回路基板における配線パターン精度の改善効果をより大きく発現させる観点から、第1のポリイミド層(A)は長尺に形成されたロール状のものが好ましい。   Further, the first polyimide layer (A) can be formed in a shape such as a cut sheet shape, a roll shape, or an endless belt shape. It is efficient to use a form that enables continuous production. Further, the first polyimide layer (A) is preferably a long roll formed from the viewpoint of further improving the effect of improving the wiring pattern accuracy on the circuit board.

(工程II)
工程IIでは、工程Iで得た第1のポリイミド層(A)の上に、前記ケトン基と相互作用する性質を有する官能基を持つポリアミド酸(b)を含む樹脂層を積層する。
工程IIにおいて、「ケトン基と相互作用する性質を有する官能基」としては、ケトン基との間で、例えば分子間力による物理的相互作用や、共有結合による化学的相互作用などを生じ得る官能基であれば特に制限はないが、その代表例としてアミノ基(−NH)を挙げることができる。
前記官能基がアミノ基である場合、ポリアミド酸(b)として、末端にアミノ基を有するポリアミド酸を用いることが可能であり、好ましくは末端の大部分がアミノ基であるポリアミド酸、さらに好ましくは末端の全てがアミノ基であるポリアミド酸を使用することができる。このように、アミノ末端を豊富に有するポリアミド酸(b)は、原料中のテトラカルボン酸二無水物に対してジアミン化合物が過剰となるように、両成分のモル比を調節することによって形成できる。例えば、ジアミン化合物1モルに対し、テトラカルボン酸二無水物が1モル未満となるように原料の仕込み比率を調節することで、確率的に、合成されるポリアミド酸の大部分を、アミノ末端(−NH)を有するポリアミド酸(b)にすることができる。ジアミン化合物1モルに対し、テトラカルボン酸二無水物の仕込み比率が1モルを超えると、アミノ末端(−NH)がほとんど残らなくなるため好ましくない。一方、ジアミン化合物に対するテトラカルボン酸二無水物の仕込み比率が小さすぎると、ポリアミド酸の高分子量化が十分に進行しない。そのため、ジアミン化合物1モルに対するテトラカルボン酸二無水物の仕込み比率は、例えば0.970〜0.998モルの範囲内とすることが好ましく、0.980〜0.995モルの範囲内がより好ましい。
(Step II)
In step II, a resin layer containing a polyamic acid (b) having a functional group having a property of interacting with the ketone group is laminated on the first polyimide layer (A) obtained in step I.
In step II, the “functional group having the property of interacting with a ketone group” includes, for example, a functional group capable of generating a physical interaction due to an intermolecular force or a chemical interaction due to a covalent bond with the ketone group. The group is not particularly limited as long as it is a group, and a typical example thereof is an amino group (—NH 2 ).
When the functional group is an amino group, the polyamic acid (b) may be a polyamic acid having an amino group at a terminal, preferably a polyamic acid having most of terminal amino groups, more preferably Polyamic acids, all of whose ends are amino groups, can be used. Thus, the polyamic acid (b) having abundant amino terminals can be formed by adjusting the molar ratio of the two components so that the diamine compound is in excess with respect to the tetracarboxylic dianhydride in the raw material. . For example, by adjusting the charge ratio of the raw materials so that the amount of the tetracarboxylic dianhydride is less than 1 mol per 1 mol of the diamine compound, most of the synthesized polyamic acid is stochastically changed to the amino terminal ( —NH 2 ). Diamine compound per mol, the charging ratio of the tetracarboxylic acid dianhydride is more than 1 mole, undesirable amino terminal (-NH 2) for no longer remains almost. On the other hand, if the charging ratio of the tetracarboxylic dianhydride to the diamine compound is too small, the increase in the molecular weight of the polyamic acid does not sufficiently proceed. Therefore, the charging ratio of the tetracarboxylic dianhydride to 1 mol of the diamine compound is preferably, for example, in the range of 0.970 to 0.998 mol, and more preferably in the range of 0.980 to 0.995 mol. .

ポリアミド酸(b)は、一般的にポリイミドの合成に使用されているテトラカルボン酸二無水物及びジアミン化合物を原料として合成することができる。なお、分子内にケトン基を有するテトラカルボン酸二無水物や、分子内にケトン基を有するジアミン化合物を原料としてもよい。   The polyamic acid (b) can be synthesized using a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound generally used for the synthesis of polyimide as raw materials. The raw material may be a tetracarboxylic dianhydride having a ketone group in the molecule or a diamine compound having a ketone group in the molecule.

また、原料のジアミン化合物の一部分もしくは全部に替えて、分子内にアミノ基を豊富に含む化合物(例えばトリアミン化合物など)を使用することによって、アミノ末端を豊富に有するポリアミド酸(b)を合成することも可能である。
さらに、原料中のテトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物の仕込み比率は等モルとし、アミノ基を含む化合物(例えば、トリアミン化合物など)を少量添加することによって、アミノ末端を豊富に有するポリアミド酸(b)を含む樹脂層を形成することも可能である。
In addition, a polyamic acid (b) having abundant amino terminals is synthesized by using a compound (for example, a triamine compound) rich in an amino group in a molecule instead of part or all of the diamine compound as a raw material. It is also possible.
Furthermore, the charge ratio of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound in the raw materials is made equimolar, and by adding a small amount of a compound containing an amino group (for example, a triamine compound), a polyamic acid having a rich amino terminal ( It is also possible to form a resin layer containing b).

ポリアミド酸(b)を含む樹脂層の形成には、ポリアミド酸(b)とともに、それ以外の他のポリアミド酸を混合して使用してもよい。当該他のポリイミド酸としては、一般的にポリイミドの合成に使用されているテトラカルボン酸二無水物及びジアミン化合物を原料として、それらのモル比が等モルで合成されたポリアミド酸を使用できる。ただし、第1のポリイミド層(A)との十分な密着性を確保する観点から、ポリアミド酸(b)を含む樹脂層は、構成するポリアミド酸の全量に対して、10モル%以上がポリアミド酸(b)であることが好ましく、30モル%以上のポリアミド酸がポリアミド酸(b)であることがより好ましい。   For the formation of the resin layer containing the polyamic acid (b), other polyamic acid may be mixed with the polyamic acid (b). As the other polyimide acid, a polyamic acid synthesized using tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound, which are generally used for the synthesis of polyimide, as raw materials and in an equimolar ratio thereof can be used. However, from the viewpoint of ensuring sufficient adhesiveness with the first polyimide layer (A), the resin layer containing the polyamic acid (b) has a polyamic acid content of 10 mol% or more based on the total amount of the constituent polyamic acid. (B), and more preferably 30% by mole or more of the polyamic acid is the polyamic acid (b).

ポリアミド酸(b)を含む樹脂層は、第1のポリイミド層(A)の上にポリアミド酸(b)を含む樹脂溶液を塗布する方法(キャスト法)、第1のポリイミド層(A)の上にポリアミド酸(b)を含むゲルフィルムを積層する方法などによって形成することが可能であるが、第1のポリイミド層(A)と第2のポリイミド層(B)との密着性を高めるために、キャスト法によることが好ましい。また、ポリアミド酸(b)を含む樹脂層の形成に際して、事前に第1のポリイミド層(A)の表面に、プラズマ処理、コロナ処理などの表面処理を行う必要はないが、これらの表面処理を行うことも可能である。   The resin layer containing the polyamic acid (b) is formed by applying a resin solution containing the polyamic acid (b) on the first polyimide layer (A) (casting method). It can be formed by a method of laminating a gel film containing a polyamic acid (b) on the first layer. In order to increase the adhesion between the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B), It is preferable to use a casting method. In addition, when forming the resin layer containing the polyamic acid (b), it is not necessary to previously perform a surface treatment such as a plasma treatment or a corona treatment on the surface of the first polyimide layer (A). It is also possible to do.

キャスト法において、ポリアミド酸(b)を含む樹脂溶液を塗布する方法は特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターにて塗布することが可能である。   In the casting method, the method of applying the resin solution containing the polyamic acid (b) is not particularly limited. For example, the resin solution can be applied with a coater such as a comma, a die, a knife, and a lip.

このようにして得られるポリアミド酸(b)を含む樹脂層は、テトラカルボン酸残基(1b)及びジアミン残基(2b)を含むものであって、ジアミン残基(2b)1モルに対し、テトラカルボン酸残基(1b)を1モル未満、好ましくは0.970〜0.998モルの範囲内、より好ましくは0.980〜0.995モルの範囲内で含有し、アミノ末端(−NH)を豊富に含有する樹脂層となる。 The resin layer containing the polyamic acid (b) thus obtained contains the tetracarboxylic acid residue (1b) and the diamine residue (2b), and is contained in 1 mole of the diamine residue (2b). Tetracarboxylic acid residue (1b) is contained in less than 1 mol, preferably in the range of 0.970 to 0.998 mol, more preferably in the range of 0.980 to 0.995 mol, and the amino terminal (-NH It becomes a resin layer containing 2 ) abundantly.

(工程III)
工程IIIでは、ポリアミド酸(b)を含む樹脂層を、第1のポリイミド層(A)ごと熱処理し、ポリアミド酸(b)をイミド化して第2のポリイミド層(B)を形成する。
イミド化の方法は、特に制限されず、例えば、80〜400℃の範囲内の温度条件で1〜60分間の範囲内の時間加熱するといった熱処理が好適に採用される。金属層を含む場合は、酸化を抑制するため、低酸素雰囲気下での熱処理が好ましく、具体的には、窒素又は希ガスなどの不活性ガス雰囲気下、水素などの還元ガス雰囲気下、あるいは真空中で行うことが好ましい。
(Step III)
In Step III, the resin layer containing the polyamic acid (b) is heat-treated together with the first polyimide layer (A), and the polyamic acid (b) is imidized to form a second polyimide layer (B).
The method of imidization is not particularly limited, and for example, a heat treatment such as heating at a temperature in the range of 80 to 400 ° C. for a time in the range of 1 to 60 minutes is preferably employed. When a metal layer is included, heat treatment in a low-oxygen atmosphere is preferable to suppress oxidation.Specifically, under an inert gas atmosphere such as nitrogen or a rare gas, a reducing gas atmosphere such as hydrogen, or a vacuum It is preferably carried out in

また、イミド化と並行して、第1のポリイミド層(A)のポリイミド鎖中に存在するケトン基と、ポリアミド酸(b)を含む樹脂層中に存在する前記官能基(例えば、豊富な末端アミノ基)との間で相互作用が生じ、第1のポリイミド層(A)と第2のポリイミド層(B)との密着性が、両層を構成するポリイミドの特性(例えば、熱可塑性であるか、非熱可塑性であるか、など)を超えて大きく向上するものと考えられる。かかる相互作用については、そのすべての機構を解明できていないが、前記官能基がアミノ基である場合には、一つの可能性として、ポリアミド酸(b)をイミド化する際の熱処理によって、上記ケトン基と末端のアミノ基との間でイミン結合が生じていることが推測される。つまり、第1のポリイミド層(A)のポリイミド鎖中のケトン基と、ポリアミド酸(b)の末端のアミノ基との間で、加熱によって脱水縮合反応が生じてイミン結合が形成され、第1のポリイミド層(A)中のポリイミド鎖と、イミド化後の第2のポリイミド層(B)とが化学的に接着することによって、第1のポリイミド層(A)と第2のポリイミド層(B)の接着力を強めている、と推定される。   In parallel with the imidation, a ketone group present in the polyimide chain of the first polyimide layer (A) and the functional group present in the resin layer containing the polyamic acid (b) (for example, abundant terminal Interaction occurs between the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B), and the adhesion between the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B) is a property of the polyimide constituting both layers (for example, thermoplastic). Or non-thermoplastic, etc.). Although all the mechanisms of such an interaction have not been elucidated, when the functional group is an amino group, one possibility is that the heat treatment at the time of imidizing the polyamic acid (b) causes It is presumed that an imine bond has occurred between the ketone group and the terminal amino group. That is, a heating causes a dehydration condensation reaction between the ketone group in the polyimide chain of the first polyimide layer (A) and the amino group at the terminal of the polyamic acid (b) to form an imine bond. Is chemically bonded to the second polyimide layer (B) after imidization, whereby the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B) are chemically bonded to each other. It is presumed that the adhesive strength is increased.

なお、第1のポリイミド層(A)と第2のポリイミド層(B)が上記と逆の関係になる場合には、層間の密着性の向上効果が得られない。すなわち、まず、ケトン基と相互作用する性質を有する官能基を持つポリアミド酸(b)を含む樹脂層をイミド化して1層目のポリイミド層を形成し、その上に、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を形成してから熱処理によってイミド化し、2層目のポリイミド層を形成する場合は、1層目と2層目の密着性が両層を構成するポリイミドの特性(例えば、熱可塑性であるか、非熱可塑性であるか、など)を超えて改善することはない。その理由として、硬化したポリイミド中では、前記官能基としての末端のアミノ基の移動が制限されて反応性が低下することから、上記相互作用が生じにくくなるためと考えられる。   If the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B) have the opposite relationship, the effect of improving the adhesion between the layers cannot be obtained. That is, first, a resin layer containing a polyamic acid (b) having a functional group having a property of interacting with a ketone group is imidized to form a first polyimide layer, and a polyamic acid having a ketone group is formed thereon. When a resin layer containing (a) is formed and then imidized by heat treatment to form a second polyimide layer, the adhesion between the first and second layers is determined by the properties of the polyimide constituting both layers (for example, , Thermoplastic or non-thermoplastic, etc.). It is considered that the reason for this is that in the cured polyimide, the movement of the terminal amino group as the functional group is restricted and the reactivity is reduced, so that the above-mentioned interaction hardly occurs.

第1のポリイミド層(A)及び第2のポリイミド層(B)は、必要に応じて、無機フィラーを含有してもよい。具体的には、例えば二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム等が挙げられる。これらは1種又は2種以上を混合して用いることができる。   The first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B) may contain an inorganic filler as needed. Specific examples include silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, calcium fluoride, and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

以上の工程I〜IIIによって、工程数の増加によるスループット低下を生じさせることなく、第1のポリイミド層(A)と第2のポリイミド層(B)との密着性に優れたポリイミドフィルムを製造することができる。   Through the above steps I to III, a polyimide film having excellent adhesion between the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B) is produced without causing a decrease in throughput due to an increase in the number of steps. be able to.

[第2の実施の形態:金属張積層板の製造方法]
金属層と、第1のポリイミド層(A)と、前記第1のポリイミド層(A)の片側の面に積層された第2のポリイミド層(B)と、を備えた金属張積層板の製造方法であって、下記の工程i〜ivを含むものである。
[Second Embodiment: Method for Manufacturing Metal-Clad Laminate]
Production of a metal-clad laminate including a metal layer, a first polyimide layer (A), and a second polyimide layer (B) laminated on one surface of the first polyimide layer (A) A method comprising the following steps i to iv:

(工程i)
工程iでは、金属層の上に、ケトン基を有するポリアミド酸(a)の樹脂層を表層部に有する、少なくとも1層以上のポリアミド酸の樹脂層を形成する。
(Step i)
In step i, at least one or more polyamic acid resin layers having a polyamic acid (a) resin layer having a ketone group on the surface layer are formed on the metal layer.

金属層としては、金属箔を好ましく使用することができる。金属箔の材質としては、特に制限はないが、例えば、銅、ステンレス、鉄、ニッケル、ベリリウム、アルミニウム、亜鉛、インジウム、銀、金、スズ、ジルコニウム、タンタル、チタン、鉛、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金等が挙げられる。この中でも、特に銅又は銅合金が好ましい。銅箔としては、圧延銅箔でも電解銅箔でもよく、市販されている銅箔を好ましく用いることができる。   As the metal layer, a metal foil can be preferably used. The material of the metal foil is not particularly limited. For example, copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium, tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese and the like And the like. Among them, copper or a copper alloy is particularly preferable. As the copper foil, a rolled copper foil or an electrolytic copper foil may be used, and a commercially available copper foil can be preferably used.

本実施の形態において、例えばFPCの製造に用いる場合の金属層の好ましい厚みは3〜50μmの範囲内であり、より好ましくは5〜30μmの範囲内である。   In the present embodiment, for example, when the metal layer is used for manufacturing an FPC, the preferred thickness is in the range of 3 to 50 μm, and more preferably in the range of 5 to 30 μm.

金属層として使用する金属箔は、表面に、例えば防錆処理、サイディング、アルミニウムアルコラート、アルミニウムキレート、シランカップリング剤等の表面処理が施されていてもよい。また、金属箔は、カットシート状、ロール状のもの、又はエンドレスベルト状などの形状とすることができるが、生産性を得るためには、ロール状又はエンドレスベルト状の形態とし、連続生産可能な形式とすることが効率的である。さらに、回路基板における配線パターン精度の改善効果をより大きく発現させる観点から、金属箔は長尺に形成されたロール状のものが好ましい。   The surface of the metal foil used as the metal layer may be subjected to surface treatment such as rust prevention treatment, siding, aluminum alcoholate, aluminum chelate, and silane coupling agent. In addition, the metal foil can be in a shape such as a cut sheet shape, a roll shape, or an endless belt shape. It is efficient to use a simple format. Further, from the viewpoint of further improving the effect of improving the accuracy of the wiring pattern on the circuit board, the metal foil is preferably a roll formed in a long shape.

第1のポリイミド層(A)の形成にあたっては、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層が表層部となるように、金属層の上に、少なくとも1層以上のポリアミド酸の樹脂層を形成する。この場合、金属層の上にポリアミド酸の樹脂溶液を塗布する方法(キャスト法)、金属層の上にポリアミド酸(a)を含むゲルフィルムを積層する方法などによって形成することが可能である。
なお、金属層と、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層との間には、任意の樹脂層(他のポリアミド酸の樹脂層を含む)を有していてもよく、その場合は、該任意の樹脂層上に、上記方法によってケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を形成できる。また、金属層の上に、直接、ケトン基を有するポリアミド酸(a)の樹脂層を形成する場合は、金属層と第1のポリイミド層(A)との接着性を高めるために、キャスト法によることが好ましい。
In forming the first polyimide layer (A), at least one or more resin layers of polyamic acid are formed on the metal layer so that the resin layer containing the polyamic acid (a) having a ketone group becomes a surface layer. To form In this case, it can be formed by a method of applying a polyamic acid resin solution on the metal layer (casting method), a method of laminating a gel film containing the polyamic acid (a) on the metal layer, or the like.
Note that an arbitrary resin layer (including a resin layer of another polyamic acid) may be provided between the metal layer and the resin layer containing the polyamic acid (a) having a ketone group. Can form a resin layer containing a polyamic acid (a) having a ketone group on the arbitrary resin layer by the above method. When a resin layer of a polyamic acid (a) having a ketone group is directly formed on the metal layer, a cast method is used in order to increase the adhesion between the metal layer and the first polyimide layer (A). Is preferred.

キャスト法において、ポリアミド酸(a)を含む樹脂溶液を塗布する方法は特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターにて塗布することが可能である。   In the casting method, the method of applying the resin solution containing the polyamic acid (a) is not particularly limited, and for example, the resin solution can be applied using a coater such as a comma, a die, a knife, a lip, or the like.

(工程ii)
工程iiでは、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を表層部に有するポリアミド酸の樹脂層を前記金属層ごと熱処理し、前記ポリアミド酸をイミド化する。これによって、金属層の上に、ケトン基を有するポリイミドを含む第1のポリイミド層(A)を表層部として有するポリイミド層が積層された中間体を形成する。
(Step ii)
In step ii, the polyamic acid resin layer having a resin layer containing a polyamic acid (a) having a ketone group in the surface layer is heat-treated together with the metal layer to imidize the polyamic acid. As a result, an intermediate is formed in which the polyimide layer having the first polyimide layer (A) containing the polyimide having a ketone group as a surface layer is laminated on the metal layer.

ポリアミド酸のイミド化については、上記第1の実施の形態の工程(III)に記載した方法で行うことができる。本実施の形態では、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を表層部に有するポリアミド酸の樹脂層を、金属箔上にキャスト法によって形成する場合であっても、第2のポリイミド層(B)を形成する前にイミド化を完了させているため、溶剤やイミド化水が除去されており、発泡や層間剥離などの問題が生じることがない。   The imidization of the polyamic acid can be performed by the method described in the step (III) of the first embodiment. In the present embodiment, even when a resin layer of a polyamic acid having a surface layer with a resin layer containing a polyamic acid (a) having a ketone group is formed on a metal foil by a casting method, the second polyimide Since the imidization is completed before the formation of the layer (B), the solvent and the imidized water are removed, so that problems such as foaming and delamination do not occur.

(工程iii)
工程iiiでは、前記第1のポリイミド層(A)の上に、前記ケトン基と相互作用する性質を有する官能基を持つポリアミド酸(b)を含む樹脂層を積層する。
本工程iiiは、上記第1の実施の形態の工程IIと同様に実施できる。
(Step iii)
In step iii, a resin layer containing a polyamic acid (b) having a functional group having a property of interacting with the ketone group is laminated on the first polyimide layer (A).
This step iii can be carried out in the same manner as in step II of the first embodiment.

(工程iv)
工程iiiで中間体上に積層したポリアミド酸(b)を含む樹脂層を、中間体ごと熱処理し、ポリアミド酸(b)をイミド化して第2のポリイミド層(B)を形成する。
本工程ivは、上記第1の実施の形態の工程IIIと同様に実施できる。
(Step iv)
The resin layer containing the polyamic acid (b) laminated on the intermediate in step iii is heat-treated together with the intermediate to imidize the polyamic acid (b) to form a second polyimide layer (B).
This step iv can be carried out in the same manner as step III of the first embodiment.

以上の工程i〜ivによって、工程数の増加によるスループット低下を生じさせることなく、第1のポリイミド層(A)と第2のポリイミド層(B)との密着性に優れた金属張積層板を製造することができる。   By the above steps i to iv, a metal-clad laminate excellent in adhesion between the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B) can be obtained without causing a decrease in throughput due to an increase in the number of steps. Can be manufactured.

本実施の形態における他の構成及び効果は、第1の実施の形態と同様である。   Other configurations and effects in the present embodiment are the same as those in the first embodiment.

<ポリイミド>
次に、第1のポリイミド層(A)及び第2のポリイミド層(B)を形成するための好ましいポリイミドについて説明する。第1のポリイミド層(A)の形成には、上記「分子内にケトン基を有するテトラカルボン酸二無水物」及び/又は「分子内にケトン基を有するジアミン化合物」と、一般的にポリイミドの合成原料として用いられる酸無水物成分及びジアミン成分とを組み合わせて使用することが好ましい。第2のポリイミド層(B)の形成には、一般的にポリイミドの合成原料として用いられる酸無水物成分及びジアミン成分を特に制限なく使用可能である。
<Polyimide>
Next, a preferred polyimide for forming the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B) will be described. In forming the first polyimide layer (A), the above-mentioned “tetracarboxylic dianhydride having a ketone group in the molecule” and / or “diamine compound having a ketone group in the molecule” and generally a polyimide It is preferable to use a combination of an acid anhydride component and a diamine component used as a raw material for synthesis. In forming the second polyimide layer (B), an acid anhydride component and a diamine component generally used as a raw material for synthesizing polyimide can be used without any particular limitation.

ポリイミドフィルム又は金属張積層板において、第1のポリイミド層(A)を構成するポリイミドは、熱可塑性ポリイミド、非熱可塑性ポリイミドのいずれでもよいが、下地となる基材や金属箔、樹脂層との接着性の確保が容易であるという理由から、熱可塑性ポリイミドが好ましい。   In the polyimide film or the metal-clad laminate, the polyimide constituting the first polyimide layer (A) may be either a thermoplastic polyimide or a non-thermoplastic polyimide. Thermoplastic polyimide is preferred because it is easy to secure adhesion.

また、第2のポリイミド層(B)を構成するポリイミドは、熱可塑性ポリイミド、非熱可塑性ポリイミドのどちらでもよいが、非熱可塑性ポリイミドとする場合に発明の効果が顕著に発揮される。
すなわち、イミド化が完了している第1のポリイミド層(A)上に、非熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸の樹脂層をキャスト法等の方法で積層してイミド化しても、通常は、ポリイミド層間の密着性がほとんど得られない。しかし、本実施の形態では、上述のケトン基と前記官能基(例えば末端アミノ基)との相互作用によって、第2のポリイミド層(B)を構成するポリイミドが熱可塑性であるか非熱可塑性であるかにかかわらず、第1のポリイミド層(A)との層間で優れた密着性が得られる。また、第2のポリイミド層(B)を非熱可塑性ポリイミドとすることによって、ポリイミドフィルム又は金属張積層板におけるポリイミド層の機械的強度を担保する主たる層(ベース層)としての機能を奏することができる。
Further, the polyimide constituting the second polyimide layer (B) may be either a thermoplastic polyimide or a non-thermoplastic polyimide. However, when the non-thermoplastic polyimide is used, the effect of the invention is remarkably exhibited.
That is, even when a resin layer of a polyamic acid, which is a precursor of a non-thermoplastic polyimide, is laminated on the first polyimide layer (A) which has been imidized by a method such as a casting method, imidization is usually performed. Has little adhesion between polyimide layers. However, in the present embodiment, the polyimide constituting the second polyimide layer (B) is thermoplastic or non-thermoplastic due to the interaction between the ketone group and the functional group (for example, terminal amino group). Regardless of whether or not there is, excellent adhesion between the first polyimide layer (A) and the first polyimide layer (A) can be obtained. Further, by making the second polyimide layer (B) a non-thermoplastic polyimide, it can function as a main layer (base layer) for securing the mechanical strength of the polyimide layer in the polyimide film or the metal-clad laminate. it can.

以上から、ポリイミドフィルム又は金属張積層板において、第1のポリイミド層(A)として熱可塑性ポリイミド層、第2のポリイミド層(B)として非熱可塑性ポリイミド層が積層された構造を形成することは、最も好ましい態様である。   From the above, it is not possible to form a structure in which a thermoplastic polyimide layer is laminated as the first polyimide layer (A) and a non-thermoplastic polyimide layer is laminated as the second polyimide layer (B) in the polyimide film or the metal-clad laminate. This is the most preferred embodiment.

なお、「熱可塑性ポリイミド」とは、一般にガラス転移温度(Tg)が明確に確認できるポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、300℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa未満であるポリイミドをいう。また、「非熱可塑性ポリイミド」とは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定した、30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、300℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であるポリイミドをいう。 In addition, “thermoplastic polyimide” generally refers to a polyimide whose glass transition temperature (Tg) can be clearly confirmed. In the present invention, 30 ° C. was measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA). Is a polyimide having a storage elastic modulus of 1.0 × 10 9 Pa or more and a storage elastic modulus at 300 ° C. of less than 1.0 × 10 8 Pa. In addition, “non-thermoplastic polyimide” generally refers to a polyimide that does not soften or exhibit adhesiveness even when heated, but in the present invention, it is measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA). It refers to a polyimide having a storage elastic modulus at 1.0 ° C. of 1.0 × 10 9 Pa or more and a storage elastic modulus at 300 ° C. of 1.0 × 10 8 Pa or more.

(熱可塑性ポリイミド)
熱可塑性ポリイミドは、酸無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られる。熱可塑性ポリイミドの原料となる酸無水物成分としては、ポリイミドの合成に使用される一般的な酸無水物を特に制限なく利用できるが、特に、金属層との接着性と低誘電特性とを両立させる観点から、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とピロメリット酸二無水物(PMDA)とを組み合わせて使用することが好ましい。ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は、ポリイミドの半田耐熱性低下に影響を与えない程度にガラス転移温度を下げる効果があり、金属層等との十分な接着力を確保することができる。また、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は、ポリイミドのイミド基濃度を低下させるとともに、ポリマーの秩序構造を形成しやすくして、分子の運動抑制により誘電特性を改善する。さらに、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は、ポリイミドの極性基の減少に寄与するので吸湿特性を改善する。このようなことから、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は、FPCの伝送損失を低くすることができる。なお、「イミド基濃度」は、ポリイミド中のイミド基部(−(CO)−N−)の分子量を、ポリイミドの構造全体の分子量で除した値を意味する。
(Thermoplastic polyimide)
Thermoplastic polyimide is obtained by reacting an acid anhydride component with a diamine component. As the acid anhydride component used as a raw material of the thermoplastic polyimide, a general acid anhydride used for the synthesis of polyimide can be used without any particular limitation, and in particular, both the adhesion to the metal layer and the low dielectric property are compatible. In view of this, it is preferable to use a combination of biphenyltetracarboxylic dianhydride and pyromellitic dianhydride (PMDA). Biphenyltetracarboxylic dianhydride has an effect of lowering the glass transition temperature so as not to affect the decrease in solder heat resistance of the polyimide, and can secure a sufficient adhesive force with a metal layer or the like. In addition, biphenyltetracarboxylic dianhydride reduces the concentration of imide groups in the polyimide, facilitates the formation of an ordered structure of the polymer, and improves the dielectric properties by suppressing the movement of molecules. Furthermore, biphenyltetracarboxylic dianhydride contributes to the reduction in the number of polar groups in the polyimide, so that the hygroscopic property is improved. For this reason, biphenyltetracarboxylic dianhydride can reduce the transmission loss of FPC. In addition, the "imide group concentration" means a value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire structure of the polyimide.

ビフェニルテトラカルボン酸二無水物としては、例えば3,3',4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、2,3’,3,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などを挙げることができる。ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を上記範囲内で使用することによって、剛直構造による秩序構造が形成されるので、低誘電正接化が可能になるとともに、熱可塑性でありながら、ガス透過性が低く、長期耐熱接着性に優れた熱可塑性ポリイミドが得られる。ピロメリット酸二無水物は、ガラス転移温度の制御の役割を担うモノマーであり、ポリイミドの半田耐熱性の向上に寄与する。   Examples of the biphenyltetracarboxylic dianhydride include 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 2,3 ′, 3,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and the like can be mentioned. By using biphenyltetracarboxylic dianhydride within the above range, an ordered structure with a rigid structure is formed, so that a low dielectric loss tangent is possible, and while being thermoplastic, gas permeability is low, A thermoplastic polyimide having excellent long-term heat resistance can be obtained. Pyromellitic dianhydride is a monomer that plays a role in controlling the glass transition temperature, and contributes to improving the solder heat resistance of polyimide.

なお、熱可塑性ポリイミドは、酸無水物成分として、上記以外の酸無水物を使用可能である。そのような酸無水物としては、例えば、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物、2,2',3,3'-、2,3,3',4'-又は3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,3'',4,4''-、2,3,3'',4''-又は2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,3,5,6-シクロヘキサン二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルメタン二無水物、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン二無水物等が挙げられる。   In the thermoplastic polyimide, an acid anhydride other than the above can be used as the acid anhydride component. Such acid anhydrides include, for example, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 2,2 ′, 3,3′- 2,3,3 ′, 4′- or 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3 ′, 3,4′-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis ( 2,3-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 3,3 ", 4,4"-, 2,3,3 ", 4"-or 2,2 ", 3,3" -p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) -propane dianhydride, bis (2,3- or 3.4-dicarboxy) Phenyl) methane dianhydride, bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1 2,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride Anhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1, 4,5,8-Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride 2,2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7- (or 1,4,5,8-) tetrachloronaphthalene -1,4,5,8- (or 2,3,6,7-) tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10 , 11- or 5,6,1 , 12-Perylene-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2 , 3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis (2,3-dicarboxyphenoxy) diphenylmethane dianhydride And 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride.

熱可塑性ポリイミドの原料となるジアミン成分としては、ポリイミドの合成に使用される一般的なジアミンを特に制限なく利用できるが、下記の一般式(1)〜(8)で表されるジアミン化合物から選ばれる少なくとも1種を含有することが好ましい。   As the diamine component serving as a raw material of the thermoplastic polyimide, a general diamine used for the synthesis of polyimide can be used without any particular limitation, and is selected from diamine compounds represented by the following general formulas (1) to (8). It is preferable to contain at least one of these.

Figure 2020055147
Figure 2020055147

上記式(1)〜(7)において、Rは独立に炭素数1〜6の1価の炭化水素基又はアルコキシ基を示し、連結基Aは独立に−O−、−S−、−CO−、−SO−、−SO−、−COO−、−CH−、−C(CH−、−NH−又は−CONH−から選ばれる2価の基を示し、nは独立に0〜4の整数を示す。ただし、式(3)中から式(2)と重複するものは除き、式(5)中から式(4)と重複するものは除くものとする。ここで、「独立に」とは、上記式(1)〜(7)の内の一つにおいて、または二つ以上において、複数の連結基A、複数のR若しくは複数のnが、同一でもよいし、異なっていてもよいことを意味する。 In the above formulas (1) to (7), R 1 independently represents a monovalent hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms or an alkoxy group, and the linking group A independently represents -O-, -S-, -CO -, - SO -, - SO 2 -, - COO -, - CH 2 -, - C (CH 3) 2 -, - NH- or -CONH- represents a divalent group selected from, n 1 is independently Shows an integer of 0 to 4. However, those overlapping with Expression (2) are excluded from Expression (3), and those overlapping with Expression (4) are excluded from Expression (5). Here, “independently” means that in one or two or more of the above formulas (1) to (7), a plurality of linking groups A, a plurality of R 1, or a plurality of n 1 are the same. Or may be different.

Figure 2020055147
Figure 2020055147

上記式(8)において、連結基Xは単結合、又は−CONH−を示し、Yは独立にハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3の1価の炭化水素基又はアルコキシ基を示し、nは0〜2の整数を示し、p及びqは独立して0〜4の整数を示す。   In the above formula (8), the linking group X represents a single bond or -CONH-, and Y represents a monovalent hydrocarbon group or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms which may be independently substituted with a halogen atom. And n represents an integer of 0 to 2, and p and q independently represent an integer of 0 to 4.

なお、上記式(1)〜(8)において、末端の二つのアミノ基における水素原子は置換されていてもよく、例えば−NR(ここで、R,Rは、独立してアルキル基などの任意の置換基を意味する)であってもよい。 In the above formulas (1) to (8), the hydrogen atoms in the two terminal amino groups may be substituted, for example, -NR 2 R 3 (where R 2 and R 3 are independently Any substituent such as an alkyl group).

式(1)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(1)」と記すことがある)は、2つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(1)は、少なくとも1つのベンゼン環に直結したアミノ基と2価の連結基Aとがメタ位にあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(1)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、−O−、−CH−、−C(CH−、−CO−、−SO−、−S−が好ましい。 The diamine represented by the formula (1) (hereinafter sometimes referred to as “diamine (1)”) is an aromatic diamine having two benzene rings. The diamine (1) has a high flexibility by increasing the degree of freedom of the polyimide molecular chain because the amino group directly bonded to at least one benzene ring and the divalent linking group A are at the meta position. This is considered to contribute to the improvement of the flexibility of the polyimide molecular chain. Accordingly, the use of the diamine (1) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, the linking group A, -O -, - CH 2 -, - C (CH 3) 2 -, - CO -, - SO 2 -, - S- are preferred.

ジアミン(1)としては、例えば、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、(3,3’−ビスアミノ)ジフェニルアミン等を挙げることができる。   Examples of the diamine (1) include 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diaminodiphenylpropane, 3,3′-diaminodiphenylsulfide, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, and 3,3-diaminodiphenylether 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylpropane, 3,4′-diaminodiphenylsulfide, 3,3′-diaminobenzophenone, (3,3′-bisamino ) Diphenylamine and the like.

式(2)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(2)」と記すことがある)は、3つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(2)は、少なくとも1つのベンゼン環に直結したアミノ基と2価の連結基Aとがメタ位にあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(2)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、−O−が好ましい。   The diamine represented by the formula (2) (hereinafter sometimes referred to as “diamine (2)”) is an aromatic diamine having three benzene rings. Since the diamine (2) has at least one amino group directly bonded to the benzene ring and the divalent linking group A at the meta position, the degree of freedom of the polyimide molecular chain is increased, and the diamine (2) has high flexibility. This is considered to contribute to the improvement of the flexibility of the polyimide molecular chain. Accordingly, the use of the diamine (2) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, the connecting group A is preferably -O-.

ジアミン(2)としては、例えば1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、3−[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン、3−[3−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン等を挙げることができる。   Examples of the diamine (2) include 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 3- [4- (4-aminophenoxy) phenoxy] benzeneamine, and 3- [3- (4-aminophenoxy) phenoxy] Benzenamine and the like can be mentioned.

式(3)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(3)」と記すことがある)は、3つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(3)は、1つのベンゼン環に直結した、2つの2価の連結基Aが互いにメタ位にあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(3)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、−O−が好ましい。   The diamine represented by the formula (3) (hereinafter sometimes referred to as “diamine (3)”) is an aromatic diamine having three benzene rings. The diamine (3) has a high flexibility by increasing the degree of freedom of the polyimide molecular chain because the two divalent linking groups A directly bonded to one benzene ring are at the meta position with each other. It is considered that this contributes to the improvement of the flexibility of the polyimide molecular chain. Accordingly, the use of the diamine (3) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, the connecting group A is preferably -O-.

ジアミン(3)としては、例えば1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、4,4’−[2−メチル−(1,3−フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4’−[4−メチル−(1,3−フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4’−[5−メチル−(1,3−フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン等を挙げることができる。これらの中でも、熱可塑性ポリイミドの高CTE化に寄与するとともに、イミド基濃度を減少させ、誘電特性を改善するモノマーとして、特に1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)が好ましい。   Examples of the diamine (3) include 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R), 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB), and 4,4 ′-[2- Methyl- (1,3-phenylene) bisoxy] bisaniline, 4,4 ′-[4-methyl- (1,3-phenylene) bisoxy] bisaniline, 4,4 ′-[5-methyl- (1,3-phenylene) ) Bisoxy] bisaniline and the like. Among these, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R) is particularly useful as a monomer that contributes to increasing the CTE of the thermoplastic polyimide, reduces the imide group concentration, and improves the dielectric properties. preferable.

式(4)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(4)」と記すことがある)は、4つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(4)は、少なくとも1つのベンゼン環に直結したアミノ基と2価の連結基Aとがメタ位にあることで高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(4)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、−O−、−CH−、−C(CH−、−SO−、−CO−、−CONH−が好ましい。 The diamine represented by the formula (4) (hereinafter sometimes referred to as “diamine (4)”) is an aromatic diamine having four benzene rings. The diamine (4) has high flexibility by having at least one amino group directly bonded to the benzene ring and the divalent linking group A at the meta position, and is useful for improving the flexibility of the polyimide molecular chain. It is thought to contribute. Accordingly, the use of the diamine (4) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, the linking group A, -O -, - CH 2 -, - C (CH 3) 2 -, - SO 2 -, - CO -, - CONH- are preferred.

ジアミン(4)としては、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、ビス[4,4’−(3−アミノフェノキシ)]ベンズアニリド等を挙げることができる。   Examples of the diamine (4) include bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy)] benzophenone, bis [4,4 ′-(3-aminophenoxy)] benzanilide and the like can be given.

式(5)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(5)」と記すことがある)は、4つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(5)は、少なくとも1つのベンゼン環に直結した、2つの2価の連結基Aが互いにメタ位にあることで、ポリイミド分子鎖が有する自由度が増加して高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(5)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、−O−が好ましい。   The diamine represented by the formula (5) (hereinafter sometimes referred to as “diamine (5)”) is an aromatic diamine having four benzene rings. The diamine (5) has a high flexibility by increasing the degree of freedom of the polyimide molecular chain because two divalent linking groups A directly bonded to at least one benzene ring are at meta positions with each other. This is considered to contribute to the improvement of the flexibility of the polyimide molecular chain. Accordingly, the use of the diamine (5) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, the connecting group A is preferably -O-.

ジアミン(5)としては、4−[3−[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ]フェノキシ]アニリン、4,4’−[オキシビス(3,1−フェニレンオキシ)]ビスアニリン等を挙げることができる。   Examples of the diamine (5) include 4- [3- [4- (4-aminophenoxy) phenoxy] phenoxy] aniline and 4,4 ′-[oxybis (3,1-phenyleneoxy)] bisaniline. .

式(6)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(6)」と記すことがある)は、4つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(6)は、少なくとも2つのエーテル結合を有することで高い屈曲性を有しており、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(6)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、−C(CH−、−O−、−SO−、−CO−が好ましい。 The diamine represented by the formula (6) (hereinafter sometimes referred to as “diamine (6)”) is an aromatic diamine having four benzene rings. The diamine (6) has high flexibility by having at least two ether bonds, and is considered to contribute to improvement in flexibility of the polyimide molecular chain. Accordingly, the use of the diamine (6) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, as the connecting group A, —C (CH 3 ) 2 —, —O—, —SO 2 —, and —CO— are preferable.

ジアミン(6)としては、例えば、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル(BAPE)、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン(BAPS)、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン(BAPK)等を挙げることができる。これらの中でも、金属層との接着性向上に大きく寄与するモノマーとして、2,2‐ビス[4‐(4‐アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)が特に好ましい。   Examples of the diamine (6) include 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP), bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether (BAPE), and bis [4 -(4-aminophenoxy) phenyl] sulfone (BAPS), bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone (BAPK) and the like. Among these, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) is particularly preferred as a monomer that greatly contributes to the improvement in adhesion to the metal layer.

式(7)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(7)」と記すことがある)は、4つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。このジアミン(7)は、ジフェニル骨格の両側に、それぞれ屈曲性の高い2価の連結基Aを有するため、ポリイミド分子鎖の柔軟性の向上に寄与すると考えられる。従って、ジアミン(7)を用いることで、ポリイミドの熱可塑性が高まる。ここで、連結基Aとしては、−O−が好ましい。   The diamine represented by the formula (7) (hereinafter sometimes referred to as “diamine (7)”) is an aromatic diamine having four benzene rings. Since the diamine (7) has the highly flexible divalent linking group A on both sides of the diphenyl skeleton, it is considered that the diamine (7) contributes to the improvement of the flexibility of the polyimide molecular chain. Accordingly, the use of the diamine (7) increases the thermoplasticity of the polyimide. Here, the connecting group A is preferably -O-.

ジアミン(7)としては、例えば、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)]ビフェニル等を挙げることができる。   Examples of the diamine (7) include bis [4- (3-aminophenoxy)] biphenyl and bis [4- (4-aminophenoxy)] biphenyl.

一般式(8)で表されるジアミン(以下、「ジアミン(8)」と記すことがある)は、1ないし3つのベンゼン環を有する芳香族ジアミンである。ジアミン(8)は、剛直構造を有しているため、ポリマー全体に秩序構造を付与する作用を有している。そのため、ジアミン(1)〜ジアミン(7)の1種以上と、ジアミン(8)の1種以上とを所定の比率で組み合わせて用いることによって、低誘電正接化が可能になるとともに、熱可塑性でありながら、ガス透過性が低く、長期耐熱接着性に優れたポリイミドが得られる。ここで、連結基Xとしては、単結合、−CONH−が好ましい。   The diamine represented by the general formula (8) (hereinafter sometimes referred to as “diamine (8)”) is an aromatic diamine having one to three benzene rings. Since the diamine (8) has a rigid structure, it has an action of giving an ordered structure to the entire polymer. Therefore, by using one or more of the diamines (1) to (7) and one or more of the diamines (8) in combination at a predetermined ratio, the dielectric loss tangent can be reduced, and the thermoplastic resin can have a low dielectric loss tangent. However, a polyimide having low gas permeability and excellent long-term heat resistance can be obtained. Here, the connecting group X is preferably a single bond or -CONH-.

ジアミン(8)としては、例えば、パラフェニレンジアミン(PDA)、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルビフェニル(m−TB)、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−n−プロピルビフェニル(m−NPB)、2’−メトキシ−4,4’−ジアミノベンズアニリド(MABA)、4,4‘−ジアミノベンズアニリド(DABA)、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル等を挙げることができる。これらの中でも、熱可塑性ポリイミドの誘電特性の改善、更に低吸湿化や高耐熱化に大きく寄与するモノマーとして、特に4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルビフェニル(m−TB)が好ましい。   Examples of the diamine (8) include paraphenylenediamine (PDA), 4,4′-diamino-2,2′-dimethylbiphenyl (m-TB), 4,4′-diamino-3,3′-dimethyldiphenyl 4,4′-diamino-2,2′-n-propylbiphenyl (m-NPB), 2′-methoxy-4,4′-diaminobenzanilide (MABA), 4,4′-diaminobenzanilide (DABA) ), 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobiphenyl and the like. Among these, 4,4′-diamino-2,2′-dimethylbiphenyl (m-TB) is particularly preferable as a monomer that greatly contributes to improvement of the dielectric properties of the thermoplastic polyimide, lower moisture absorption and higher heat resistance. .

ジアミン(1)〜(7)を使用することによって、ポリイミド分子鎖の柔軟性を向上させ、熱可塑性を付与することができる。   By using the diamines (1) to (7), the flexibility of the polyimide molecular chain can be improved and thermoplasticity can be imparted.

また、ジアミン(8)を使用することによって、モノマー由来の剛直構造により、ポリマー全体に秩序構造が形成されるので、低誘電正接化が可能になるとともに、熱可塑性でありながら、ガス透過性が低く、長期耐熱接着性に優れたポリイミドが得られる。   In addition, by using the diamine (8), an ordered structure is formed throughout the polymer due to the rigid structure derived from the monomer, so that a low dielectric loss tangent can be achieved, and gas permeability is obtained while being thermoplastic. A polyimide which is low and has excellent long-term heat resistance is obtained.

なお、熱可塑性ポリイミドは、ジアミン成分として、上記以外のジアミンを使用可能である。   In the thermoplastic polyimide, a diamine other than the above can be used as the diamine component.

(非熱可塑性ポリイミド)
非熱可塑性ポリイミドは、酸無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られる。非熱可塑性ポリイミドの原料となる酸無水物成分としては、ポリイミドの合成に使用される一般的な酸無水物を特に制限なく利用できるが、低誘電特性を付与するため、原料の酸無水物成分として、少なくとも、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物から選ばれる1種以上を使用することが好ましい。ここで、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物としては、3,3',4,4' −ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)が特に好ましく、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物としては、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(NTCDA)が特に好ましい。
(Non-thermoplastic polyimide)
The non-thermoplastic polyimide is obtained by reacting an acid anhydride component and a diamine component. As the acid anhydride component serving as the raw material of the non-thermoplastic polyimide, a general acid anhydride used for the synthesis of polyimide can be used without any particular limitation, but in order to impart low dielectric properties, the acid anhydride component of the raw material It is preferable to use at least one selected from the group consisting of pyromellitic dianhydride (PMDA), biphenyltetracarboxylic dianhydride, and naphthalenetetracarboxylic dianhydride. Here, as the biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) is particularly preferable, and as the naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3 ′ , 6,7-Naphthalenetetracarboxylic dianhydride (NTCDA) is particularly preferred.

PMDAは、ポリイミドの熱膨張係数(CTE)を低下させることができる。BPDAは、ポリイミドの半田耐熱性低下に影響を与えない程度にガラス転移温度を下げる効果がある。また、BPDAは、ポリイミドのイミド基濃度を低下させるとともに、ポリマーの秩序構造を形成しやすくして、分子の運動抑制により誘電特性を改善する。さらに、BPDAは、ポリイミドの極性基の減少に寄与するので吸湿特性を改善する。従って、BPDAを使用することによって、FPCの伝送損失を低くすることができる。   PMDA can reduce the coefficient of thermal expansion (CTE) of polyimide. BPDA has the effect of lowering the glass transition temperature to such an extent that it does not affect the solder heat resistance of polyimide. In addition, BPDA reduces the imide group concentration of the polyimide, facilitates the formation of an ordered structure of the polymer, and improves the dielectric properties by suppressing the movement of molecules. In addition, BPDA improves the moisture absorption properties since it contributes to the reduction of the polar groups of the polyimide. Therefore, the transmission loss of FPC can be reduced by using BPDA.

なお、非熱可塑性ポリイミドは、酸無水物成分として、上記以外の酸無水物を使用可能である。   The non-thermoplastic polyimide can use an acid anhydride other than the above as an acid anhydride component.

非熱可塑性ポリイミドの原料となるジアミン成分としては、ポリイミドの合成に使用される一般的なジアミンを特に制限なく利用できるが、熱可塑性ポリイミドの説明で例示した上記ジアミン(1)〜(8)の中から選ばれるジアミンが好ましく、ジアミン(8)がより好ましい。   As the diamine component serving as a raw material of the non-thermoplastic polyimide, a general diamine used for the synthesis of polyimide can be used without any particular limitation, and the diamines (1) to (8) exemplified in the description of the thermoplastic polyimide can be used. Diamines selected from among them are preferred, and diamine (8) is more preferred.

ジアミン(8)は、芳香族ジアミンであり、低CTE化や誘電特性の改善、更に低吸湿化や高耐熱化に寄与する。ジアミン(8)の中でも、上記一般式(8)において、Yが炭素数1〜3のアルキル基であるものが好ましく、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルジフェニル(m−TB)、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフェニルがより好ましい。これらの中でも、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルジフェニル(m−TB)が最も好ましい。   The diamine (8) is an aromatic diamine, and contributes to lowering the CTE and improving the dielectric properties, and further lowering the moisture absorption and increasing the heat resistance. Among the diamines (8), those in which Y is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms in the above general formula (8) are preferable, and 4,4′-diamino-2,2′-dimethyldiphenyl (m-TB) 4,4′-Diamino-3,3′-dimethyldiphenyl is more preferred. Among these, 4,4'-diamino-2,2'-dimethyldiphenyl (m-TB) is most preferred.

なお、非熱可塑性ポリイミドは、ジアミン成分として、発明の効果を妨げない範囲で上記以外のジアミンを使用可能である。   As the non-thermoplastic polyimide, a diamine other than the above can be used as the diamine component as long as the effects of the present invention are not hindered.

(ポリイミドの合成)
ポリイミド層を構成するポリイミドは、酸無水物及びジアミンを溶媒中で反応させ、前駆体樹脂を生成したのち加熱閉環させることにより製造できる。例えば、酸無水物成分とジアミン成分をほぼ等モル[ただし、第2のポリイミド層(B)を形成する場合は、ジアミン成分の比率を多くする]で有機溶媒中に溶解させて、0〜100℃の範囲内の温度で30分〜24時間撹拌し重合反応させることでポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が得られる。反応にあたっては、生成する前駆体が有機溶媒中に5〜30重量%の範囲内、好ましくは10〜20重量%の範囲内となるように反応成分を溶解する。重合反応に用いる有機溶媒としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAC)、N−メチル−2−ピロリドン、2−ブタノン、ジメチルスホキシド、硫酸ジメチル、シクロヘキサノン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、トリグライム等が挙げられる。これらの溶媒を2種以上併用して使用することもでき、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の併用も可能である。また、このような有機溶剤の使用量としては特に制限されるものではないが、重合反応によって得られるポリアミド酸溶液(ポリイミド前駆体溶液)の濃度が5〜30重量%程度になるような使用量に調整して用いることが好ましい。
(Synthesis of polyimide)
The polyimide constituting the polyimide layer can be produced by reacting an acid anhydride and a diamine in a solvent to form a precursor resin, and then heating and closing the ring. For example, the acid anhydride component and the diamine component are dissolved in an organic solvent in substantially equimolar amounts (when the second polyimide layer (B) is formed, the ratio of the diamine component is increased). By stirring at a temperature in the range of 30 ° C. for 30 minutes to 24 hours to carry out a polymerization reaction, a polyamic acid which is a precursor of polyimide is obtained. In the reaction, the reaction components are dissolved so that the generated precursor is in the range of 5 to 30% by weight, preferably 10 to 20% by weight in the organic solvent. Examples of the organic solvent used for the polymerization reaction include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide (DMAC), N-methyl-2-pyrrolidone, 2-butanone, dimethylsulfoxide, dimethyl sulfate, cyclohexanone, and dioxane. , Tetrahydrofuran, diglyme, triglyme and the like. Two or more of these solvents can be used in combination, and further, an aromatic hydrocarbon such as xylene or toluene can be used in combination. The amount of the organic solvent used is not particularly limited, but may be such that the concentration of the polyamic acid solution (polyimide precursor solution) obtained by the polymerization reaction is about 5 to 30% by weight. It is preferable to use it after adjusting.

ポリイミドの合成において、上記酸無水物及びジアミンはそれぞれ、その1種のみを使用してもよく2種以上を併用して使用することもできる。酸無水物及びジアミンの種類や、2種以上の酸無水物又はジアミンを使用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張性、接着性、ガラス転移温度等を制御することができる。   In the synthesis of polyimide, each of the above-mentioned acid anhydrides and diamines may be used alone or in combination of two or more. By selecting the types of the acid anhydride and the diamine and the respective molar ratios when using two or more acid anhydrides or diamines, it is possible to control the thermal expansion property, the adhesive property, the glass transition temperature, and the like. .

合成された前駆体は、通常、反応溶媒溶液として使用することが有利であるが、必要により濃縮、希釈又は他の有機溶媒に置換することができる。また、前駆体は一般に溶媒可溶性に優れるので、有利に使用される。前駆体をイミド化させる方法は、特に制限されず、例えば前記溶媒中で、80〜400℃の範囲内の温度条件で1〜24時間かけて加熱するといった熱処理が好適に採用される。   Usually, the synthesized precursor is advantageously used as a reaction solvent solution, but can be concentrated, diluted, or replaced with another organic solvent if necessary. Further, the precursor is generally used because it is excellent in solvent solubility. The method of imidizing the precursor is not particularly limited. For example, a heat treatment in which the precursor is heated in the solvent under a temperature condition of 80 to 400 ° C. for 1 to 24 hours is suitably employed.

以上、第1の実施の形態で得られるポリイミドフィルム、及び、第2の実施の形態で得られる金属張積層板は、第1のポリイミド層(A)と第2のポリイミド層(B)との密着性に優れており、FPCに代表される回路基板材料として使用することによって、電子機器の信頼性を向上させることができる。   As described above, the polyimide film obtained in the first embodiment and the metal-clad laminate obtained in the second embodiment consist of the first polyimide layer (A) and the second polyimide layer (B). It has excellent adhesion and can improve the reliability of electronic devices by being used as a circuit board material represented by FPC.

<回路基板>
回路基板は、第2の実施の形態の金属張積層板の製造方法によって得られた金属張積層板の金属層を常法によってパターン状に加工して配線層を形成することによって製造することができる。金属層のパターニングは、例えばフォトリソグラフィー技術とエッチングなどを利用する任意の方法で行うことができる。
<Circuit board>
The circuit board can be manufactured by processing a metal layer of the metal-clad laminate obtained by the method for manufacturing a metal-clad laminate of the second embodiment into a pattern by a conventional method to form a wiring layer. it can. The patterning of the metal layer can be performed by any method using, for example, photolithography technology and etching.

なお、回路基板を製造する際に、通常行われる工程として、例えば前工程でのスルーホール加工や、後工程の端子メッキ、外形加工などの工程は、常法に従い行うことができる。   When manufacturing a circuit board, for example, processes such as through-hole processing in a previous process and terminal plating and external shape processing in a subsequent process, which are usually performed, can be performed according to a conventional method.

以下に実施例を示し、本発明の特徴をより具体的に説明する。ただし、本発明の範囲は、実施例に限定されない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。   Examples will be shown below, and the features of the present invention will be described more specifically. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In the following examples, various measurements and evaluations are as follows unless otherwise specified.

[粘度測定]
樹脂の粘度はE型粘度計(ブルックフィールド社製、商品名;DV−II+Pro)を用いて、25℃における粘度を測定した。トルクが10%〜90%になるよう回転数を設定し、測定を開始してから2分経過後、粘度が安定した時の値を読み取った。
[Viscosity measurement]
The viscosity of the resin was measured at 25 ° C. using an E-type viscometer (trade name: DV-II + Pro, manufactured by Brookfield). The rotation speed was set so that the torque became 10% to 90%, and two minutes after the start of the measurement, the value when the viscosity was stabilized was read.

[ピール強度の測定]
ピール強度は、テンシロンテスター(東洋精機製作所製、商品名;ストログラフVE−1D)を用いて、幅10mmのサンプルの第2のポリイミド層側を両面テープによりアルミ板に固定し、第1のポリイミド層側の金属張積層板を180°方向に50mm/分の速度で引っ張り、第1のポリイミド層と第2のポリイミド層の層間で剥離する時の力を求めた。
[Measurement of peel strength]
The peel strength was measured by using a tensilon tester (trade name: Strograph VE-1D, manufactured by Toyo Seiki Seisaku-sho, Ltd.), fixing the second polyimide layer side of the sample having a width of 10 mm to an aluminum plate with a double-sided tape, and removing the first polyimide. The metal-clad laminate on the layer side was pulled in the direction of 180 ° at a speed of 50 mm / min, and the force at the time of peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was determined.

[発泡の評価]
第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間で剥離が確認されるか、又はポリイミド層に亀裂が発生している場合を「発泡あり」とし、剥離や亀裂がない場合を「発泡なし」とした。
[Evaluation of foaming]
When peeling is confirmed between the first polyimide layer and the second polyimide layer, or when the polyimide layer is cracked, it is regarded as “foamed”, and when there is no peeling or cracking, “no foaming”. And

実施例及び比較例に用いた略号は、以下の化合物を示す。
m−TB:2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル
TPE−R:1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
APB:1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン
TPE−Q:1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
BAPP:2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
4,4’−DAPE:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル
3,4’−DAPE:3,4’−ジアミノジフェニルエーテル
PDA:p−フェニレンジアミン
TFMB:2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3’、4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
BTDA:3,3’、4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
ODPA:4,4’−オキシジフタル酸二無水物
DMAc:N,N−ジメチルアセトアミド
Abbreviations used in Examples and Comparative Examples indicate the following compounds.
m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl TPE-R: 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene APB: 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene TPE- Q: 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene BAPP: 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane 4,4′-DAPE: 4,4′-diaminodiphenyl ether 3,4 '-DAPE: 3,4'-diaminodiphenyl ether PDA: p-phenylenediamine TFMB: 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-diaminobiphenyl PMDA: pyromellitic dianhydride BPDA: 3, 3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride BTDA: 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride ODPA 4,4'-oxydiphthalic dianhydride DMAc: N, N-dimethylacetamide

(合成例1)
1000mlのセパラブルフラスコに、45.989gのm−TB(216.63mmol)、15.832gのTPE−R(54.16mmol)、680gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、58.179gのPMDA(266.73mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Aを得た。得られたポリアミド酸溶液Aの粘度は22,000cPであった。
(Synthesis example 1)
45.989 g of m-TB (216.63 mmol), 15.832 g of TPE-R (54.16 mmol) and 680 g of DMAc were charged into a 1000 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 58.179 g of PMDA (266.73 mmol) was added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution A. The viscosity of the obtained polyamic acid solution A was 22,000 cP.

(合成例2)
300mlのセパラブルフラスコに、9.244gの4,4’−DAPE(46.16mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、14.756gのBTDA(45.79mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Bを得た。得られたポリアミド酸溶液Bの粘度は1,200cPであった。
(Synthesis example 2)
9.244 g of 4,4'-DAPE (46.16 mmol) and 176 g of DMAc were charged into a 300 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 14.756 g of BTDA (45.79 mmol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution B. The viscosity of the obtained polyamic acid solution B was 1,200 cP.

(合成例3)
300mlのセパラブルフラスコに、11.464gのTPE−Q(39.22mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、12.536gのBTDA(38.90mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Cを得た。得られたポリアミド酸溶液Cの粘度は2,200cPであった。
(Synthesis example 3)
11.464 g of TPE-Q (39.22 mmol) and 176 g of DMAc were charged into a 300 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 12.536 g of BTDA (38.90 mmol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution C. The viscosity of the obtained polyamic acid solution C was 2,200 cP.

(合成例4)
300mlのセパラブルフラスコに、11.464gのTPE−R(39.22mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、12.536gのBTDA(38.90mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Dを得た。得られたポリアミド酸溶液Dの粘度は1,100cPであった。
(Synthesis example 4)
In a 300 ml separable flask, 11.464 g of TPE-R (39.22 mmol) and 176 g of DMAc were charged, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 12.536 g of BTDA (38.90 mmol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution D. The viscosity of the obtained polyamic acid solution D was 1,100 cP.

(合成例5)
300mlのセパラブルフラスコに、11.386gのAPB(38.95mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、12.614gのBTDA(39.14mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Eを得た。得られたポリアミド酸溶液Eの粘度は200cPであった。
(Synthesis example 5)
11.386 g of APB (38.95 mmol) and 176 g of DMAc were charged into a 300 ml separable flask and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 12.614 g of BTDA (39.14 mmol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution E. The viscosity of the obtained polyamic acid solution E was 200 cP.

(合成例6)
300mlのセパラブルフラスコに、13.493gのBAPP(32.87mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、10.507gのBTDA(32.61mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Fを得た。得られたポリアミド酸溶液Fの粘度は1,400cPであった。
(Synthesis example 6)
13.493 g of BAPP (32.87 mmol) and 176 g of DMAc were charged into a 300 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 10.507 g of BTDA (32.61 mmol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution F. The viscosity of the obtained polyamic acid solution F was 1,400 cP.

(合成例7)
300mlのセパラブルフラスコに、9.227gの3,4’−DAPE(46.08mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、14.773gのBTDA(45.85mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Gを得た。得られたポリアミド酸溶液Gの粘度は500cPであった。
(Synthesis example 7)
9.227 g of 3,4′-DAPE (46.08 mmol) and 176 g of DMAc were charged into a 300 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 14.773 g of BTDA (45.85 mmol) was added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution G. The viscosity of the obtained polyamic acid solution G was 500 cP.

(合成例8)
300mlのセパラブルフラスコに、4.660gのPDA(43.09mmol)、2.157gの4,4’−DAPE(10.77mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、17.183gのBTDA(53.33mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Hを得た。得られたポリアミド酸溶液Hの粘度は1,500cPであった。
(Synthesis example 8)
4.660 g of PDA (43.09 mmol), 2.157 g of 4,4'-DAPE (10.77 mmol) and 176 g of DMAc were added to a 300 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 17.183 g of BTDA (53.33 mmol) was added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution H. The viscosity of the obtained polyamic acid solution H was 1,500 cP.

(合成例9)
300mlのセパラブルフラスコに、12.053gのTFMB(37.64mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、11.947gのBTDA(37.07mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Iを得た。得られたポリアミド酸溶液Iの粘度は1,200cPであった。
(Synthesis example 9)
In a 300 ml separable flask, 12.053 g of TFMB (37.64 mmol) and 176 g of DMAc were charged, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 11.947 g of BTDA (37.07 mmol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution I. The viscosity of the obtained polyamic acid solution I was 1,200 cP.

(合成例10)
300mlのセパラブルフラスコに、9.498gの4,4’−DAPE(47.43mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、7.581gのBTDA(23.53mmol)及び6.922gのBPDA(23.53mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Jを得た。得られたポリアミド酸溶液Jの粘度は2,500cPであった。
(Synthesis example 10)
9.498 g of 4,4′-DAPE (47.43 mmol) and 176 g of DMAc were charged into a 300 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 7.581 g of BTDA (23.53 mmol) and 6.922 g of BPDA (23.53 mmol) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution J. The viscosity of the obtained polyamic acid solution J was 2,500 cP.

(合成例11)
300mlのセパラブルフラスコに、9.727gの4,4’−DAPE(48.58mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、11.646gのBTDA(36.14mmol)及び2.628gのPMDA(12.05mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Kを得た。得られたポリアミド酸溶液Kの粘度は1,100cPであった。
(Synthesis example 11)
9.727 g of 4,4′-DAPE (48.58 mmol) and 176 g of DMAc were charged into a 300 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 11.646 g of BTDA (36.14 mmol) and 2.628 g of PMDA (12.05 mmol) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution K. The viscosity of the obtained polyamic acid solution K was 1,100 cP.

(合成例12)
300mlのセパラブルフラスコに、4.575gの4,4’−DAPE(22.85mmol)、4.850gのm−TB(22.85mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、14.576gのBTDA(45.23mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Lを得た。得られたポリアミド酸溶液Lの粘度は1,100cPであった。
(Synthesis Example 12)
4.575 g of 4,4′-DAPE (22.85 mmol), 4.850 g of m-TB (22.85 mmol), and 176 g of DMAc are charged into a 300 ml separable flask, and stirred at room temperature under a nitrogen stream. did. After complete dissolution, 14.576 g of BTDA (45.23 mmol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution L. The viscosity of the obtained polyamic acid solution L was 1,100 cP.

(合成例13)
300mlのセパラブルフラスコに、9.807gの4,4’−DAPE(48.97mmol)、176gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、14.193gのBPDA(48.24mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Mを得た。得られたポリアミド酸溶液Mの粘度は1,000cPであった。
(Synthesis Example 13)
9.807 g of 4,4'-DAPE (48.97 mmol) and 176 g of DMAc were charged into a 300 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 14.193 g of BPDA (48.24 mmol) was added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution M. The viscosity of the obtained polyamic acid solution M was 1,000 cP.

(合成例14)
1000mlのセパラブルフラスコに、62.734gのBAPP(152.82mmol)、704gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、33.266gのPMDA(152.51mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Nを得た。得られたポリアミド酸溶液Nの粘度は4,800cPであった。
(Synthesis Example 14)
To a 1000 ml separable flask were charged 62.734 g of BAPP (152.82 mmol) and 704 g of DMAc, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 33.266 g of PMDA (152.51 mmol) was added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution N. The viscosity of the obtained polyamic acid solution N was 4,800 cP.

(合成例15)
1000mlのセパラブルフラスコに、38.27gのm−TB(180.27mmol)、704gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、57.102gのBTDA(177.21mmol)及び0.629gのPMDA(2.88mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Oを得た。得られたポリアミド酸溶液Oの粘度は43,000cPであった。
(Synthesis Example 15)
38.27 g of m-TB (180.27 mmol) and 704 g of DMAc were charged into a 1000 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 57.102 g of BTDA (177.21 mmol) and 0.629 g of PMDA (2.88 mmol) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution O. The viscosity of the obtained polyamic acid solution O was 43,000 cP.

(合成例16)
1000mlのセパラブルフラスコに、19.536gのPDA(180.66mmol)、13.087gのBAPP(31.88mmol)、704gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、56.73gのBPDA(192.82mmol)及び6.646gのODPA(21.42mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Pを得た。得られたポリアミド酸溶液Pの粘度は51,000cPであった。
(Synthesis Example 16)
Into a 1000 ml separable flask, 19.536 g of PDA (180.66 mmol), 13.087 g of BAPP (31.88 mmol) and 704 g of DMAc were charged, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 56.73 g of BPDA (192.82 mmol) and 6.646 g of ODPA (21.42 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution P. The viscosity of the obtained polyamic acid solution P was 51,000 cP.

(合成例17)
1000mlのセパラブルフラスコに、76.91gのBAPP(187.35mmol)、680gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、34.805gのPMDA(159.57mmol)及び8.285gのBPDA(28.16mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Qを得た。得られたポリアミド酸溶液Qの粘度は9,500cPであった。
(Synthesis Example 17)
76.91 g of BAPP (187.35 mmol) and 680 g of DMAc were charged into a 1000 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 34.805 g of PMDA (159.57 mmol) and 8.285 g of BPDA (28.16 mmol) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution Q. The viscosity of the obtained polyamic acid solution Q was 9,500 cP.

(合成例18)
1000mlのセパラブルフラスコに、77.298gのBAPP(188.30mmol)、680gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、34.492gのPMDA(158.13mmol)及び8.210gのBPDA(27.91mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Rを得た。得られたポリアミド酸溶液Rの粘度は2,200cPであった。
(Synthesis Example 18)
77.298 g of BAPP (188.30 mmol) and 680 g of DMAc were charged into a 1000 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 34.492 g of PMDA (158.13 mmol) and 8.210 g of BPDA (27.91 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution R. The viscosity of the obtained polyamic acid solution R was 2,200 cP.

(合成例19)
1000mlのセパラブルフラスコに、50.803gのm−TB(239.31mmol)、7.773gのTPE−R(26.59mmol)、680gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、45.934gのPMDA(210.59mmol)及び15.490gのBPDA(52.65mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Sを得た。得られたポリアミド酸溶液Sの粘度は23,000cPであった。
(Synthesis Example 19)
50.803 g of m-TB (239.31 mmol), 7.773 g of TPE-R (26.59 mmol) and 680 g of DMAc were put into a 1000 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 45.934 g of PMDA (210.59 mmol) and 15.490 g of BPDA (52.65 mmol) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution S. The viscosity of the obtained polyamic acid solution S was 23,000 cP.

(合成例20)
1000mlのセパラブルフラスコに、44.203gのm−TB(208.22mmol)、6.763gのTPE−R(23.14mmol)、680gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、59.043gのBTDA(183.23mmol)及び9.992gのPMDA(45.81mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Tを得た。得られたポリアミド酸溶液Tの粘度は12,000cPであった。
(Synthesis example 20)
44.203 g of m-TB (208.22 mmol), 6.763 g of TPE-R (23.14 mmol) and 680 g of DMAc were added to a 1000 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 59.043 g of BTDA (183.23 mmol) and 9.992 g of PMDA (45.81 mmol) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution T. The viscosity of the obtained polyamic acid solution T was 12,000 cP.

(合成例21)
1000mlのセパラブルフラスコに、33.475gのTPE−R(114.51mmol)、14.346gのTPE−Q(49.08mmol)、704gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、48.179gのBPDA(163.75mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Uを得た。得られたポリアミド酸溶液Uの粘度は15,000cPであった。
(Synthesis Example 21)
33.475 g of TPE-R (114.51 mmol), 14.346 g of TPE-Q (49.08 mmol) and 704 g of DMAc were put into a 1000 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 48.179 g of BPDA (163.75 mmol) was added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution U. The viscosity of the obtained polyamic acid solution U was 15,000 cP.

(合成例22)
1000mlのセパラブルフラスコに、33.542gのTPE−R(114.74mmol)、14.375gのTPE−Q(49.17mmol)、704gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。完全に溶解した後、48.083gのBPDA(163.42mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Vを得た。得られたポリアミド酸溶液Vの粘度は10,000cPであった。
(Synthesis Example 22)
33.542 g of TPE-R (114.74 mmol), 14.375 g of TPE-Q (49.17 mmol) and 704 g of DMAc were put into a 1000 ml separable flask, and the mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After complete dissolution, 48.083 g of BPDA (163.42 mmol) was added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution V. The viscosity of the obtained polyamic acid solution V was 10,000 cP.

[実施例1]
厚み12μmの電解銅箔上に、第1のポリイミド層となるポリアミド酸溶液Bを硬化後の厚みが2μmとなるように均一に塗布した後、120℃から360℃まで段階的に昇温させて溶媒の除去及びイミド化を行った。次に、その上に、第2のポリイミド層となるポリアミド酸溶液Aを硬化後の厚みが25μmとなるように均一に塗布した後、120℃で3分間加熱乾燥して溶媒を除去した。その後、130℃から360℃まで段階的に昇温させてイミド化を行い、金属張積層板1を調製した。調製した金属張積層板1の樹脂面に粘着テープを貼り、垂直方向に瞬間的に引き剥がしによる剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 1]
On a 12 μm-thick electrolytic copper foil, a polyamic acid solution B to be a first polyimide layer was uniformly applied so as to have a cured thickness of 2 μm, and the temperature was gradually increased from 120 ° C. to 360 ° C. Removal of the solvent and imidation were performed. Next, a polyamic acid solution A to be a second polyimide layer was uniformly applied thereon so as to have a cured thickness of 25 μm, and then heated and dried at 120 ° C. for 3 minutes to remove the solvent. Thereafter, the temperature was increased stepwise from 130 ° C. to 360 ° C. to perform imidization, thereby preparing a metal-clad laminate 1. An adhesive tape was applied to the resin surface of the prepared metal-clad laminate 1 and a peeling test was performed by instantaneously peeling off the resin in the vertical direction. However, peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed. Did not.

[実施例2]
ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板2を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板2の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 2]
A metal-clad laminate 2 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 2 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例3]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Cを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板3を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板3の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 3]
A metal-clad laminate 3 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution C was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 3 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例4]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Cを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板4を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板4の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 4]
A metal-clad laminate 4 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution B was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peeling test of the prepared metal-clad laminate 4 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例5]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Dを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板5を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板5の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 5]
A metal-clad laminate 5 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution D was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 5 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例6]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Dを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板6を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板6の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 6]
A metal-clad laminate 6 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution B was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peeling test of the prepared metal-clad laminate 6 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling was observed between the first polyimide layer and the second polyimide layer.

[実施例7]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Eを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板7を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板7の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 7]
A metal-clad laminate 7 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution E was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 7 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling was observed between the first polyimide layer and the second polyimide layer.

[実施例8]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Eを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板8を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板8の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
Example 8
A metal-clad laminate 8 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution E was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peeling test of the prepared metal-clad laminate 8 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例9]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Fを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板9を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板9の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 9]
A metal-clad laminate 9 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution F was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 9 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例10]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Fを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板10を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板10の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 10]
The metal-clad laminate 10 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution F was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peeling test of the prepared metal-clad laminate 10 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例11]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Gを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板11を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板11の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 11]
A metal-clad laminate 11 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution G was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 11 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例12]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Gを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板12を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板12の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 12]
A metal-clad laminate 12 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution B was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peel test of the prepared metal-clad laminate 12 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例13]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Hを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板13を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板13の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
Example 13
A metal-clad laminate 13 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution H was used instead of the polyamic acid solution B. A peel test of the prepared metal-clad laminate 13 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例14]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Hを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板14を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板14の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 14]
The metal-clad laminate 14 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution H was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . In the same manner as in Example 1, a peeling test of the prepared metal-clad laminate 14 was performed, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例15]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Iを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板15を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板15の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 15]
A metal-clad laminate 15 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution I was used instead of the polyamic acid solution B. In the same manner as in Example 1, a peel test of the prepared metal-clad laminate 15 was performed, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例16]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Iを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板16を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板16の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 16]
A metal-clad laminate 16 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution I was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peeling test of the prepared metal-clad laminate 16 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例17]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Jを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板17を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板17の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 17]
A metal-clad laminate 17 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution J was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 17 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例18]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Jを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板18を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板18の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 18]
A metal-clad laminate 18 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution B was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peeling test of the prepared metal-clad laminate 18 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例19]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Kを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板19を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板19の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 19]
A metal-clad laminate 19 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution K was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 19 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例20]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Kを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板20を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板20の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 20]
A metal-clad laminate 20 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution K was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peel test of the prepared metal-clad laminate 20 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例21]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Lを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板21を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板21の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 21]
A metal-clad laminate 21 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution L was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 21 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例22]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Lを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板22を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板22の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 22]
A metal-clad laminate 22 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution B was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peeling test of the prepared metal-clad laminate 22 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling was observed between the first polyimide layer and the second polyimide layer.

[実施例23]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Oを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板23を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板23の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 23]
A metal-clad laminate 23 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution O was used instead of the polyamic acid solution B. A peeling test of the prepared metal-clad laminate 23 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例24]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Oを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板24を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板24の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 24]
A metal-clad laminate 24 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution B was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . In the same manner as in Example 1, the prepared metal-clad laminate 24 was subjected to a peel test, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例25]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Tを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板25を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板25の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 25]
A metal-clad laminate 25 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution T was used instead of the polyamic acid solution B. In the same manner as in Example 1, a peeling test of the prepared metal-clad laminate 25 was performed, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

[実施例26]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Tを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板26を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板26の剥離試験を行ったが、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間の剥離は見られなかった。
[Example 26]
A metal-clad laminate 26 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution T was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peeling test of the prepared metal-clad laminate 26 was performed in the same manner as in Example 1, but no peeling between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed.

比較例1
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Mを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板27を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板27の剥離試験を行ったところ、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間剥離が生じた。
Comparative Example 1
A metal-clad laminate 27 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution M was used instead of the polyamic acid solution B. When a peel test was performed on the prepared metal-clad laminate 27 in the same manner as in Example 1, delamination between the first polyimide layer and the second polyimide layer occurred.

比較例2
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Mを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板28を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板28の剥離試験を行ったところ、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間剥離が生じた。
Comparative Example 2
A metal-clad laminate 28 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution M was used instead of the polyamic acid solution B, and the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution A. . A peel test of the prepared metal-clad laminate 28 was performed in the same manner as in Example 1. As a result, delamination of the first polyimide layer and the second polyimide layer occurred.

比較例3
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板29を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板29の剥離試験を行ったところ、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間剥離が生じた。
Comparative Example 3
A metal-clad laminate 29 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution N was used instead of the polyamic acid solution B. A peel test of the prepared metal-clad laminate 29 was performed in the same manner as in Example 1. As a result, delamination of the first polyimide layer and the second polyimide layer occurred.

比較例4
ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Pを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板30を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板30の剥離試験を行ったところ、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間剥離が生じた。
Comparative Example 4
A metal-clad laminate 30 was prepared in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solution A was used instead of the polyamic acid solution A. When a peel test was performed on the prepared metal-clad laminate 30 in the same manner as in Example 1, delamination between the first polyimide layer and the second polyimide layer occurred.

比較例5
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Aを使用し、ポリアミド酸溶液Aの代わりに、ポリアミド酸溶液Bを使用したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板31を調製した。実施例1と同様に、調製した金属張積層板31の剥離試験を行ったところ、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間剥離が生じた。
Comparative Example 5
A metal-clad laminate 31 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution A was used instead of the polyamic acid solution B, and that the polyamic acid solution B was used instead of the polyamic acid solution A. . A peel test of the prepared metal-clad laminate 31 was performed in the same manner as in Example 1. As a result, delamination of the first polyimide layer and the second polyimide layer occurred.

[実施例27]
ポリアミド酸溶液Aの塗布後の130℃から360℃までの昇温時間を1/3に短縮したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板32を調製したが、発泡は確認されなかった。
[Example 27]
A metal-clad laminate 32 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the temperature-raising time from 130 ° C. to 360 ° C. after the application of the polyamic acid solution A was reduced to 1 /, but foaming was confirmed. Did not.

[実施例28]
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Aを使用し、ポリアミド酸溶液Aの塗布後の130℃から360℃までの昇温時間を1/3に短縮したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板33を調製したが、発泡は確認されなかった。
[Example 28]
In the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution A was used in place of the polyamic acid solution B, and the heating time from 130 ° C. to 360 ° C. after the application of the polyamic acid solution A was shortened to 1/3. Thus, a metal-clad laminate 33 was prepared, but no foaming was confirmed.

比較例6
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Mを使用し、ポリアミド酸溶液Aの塗布後の130℃から360℃までの昇温時間を1/3に短縮したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板34を調製したところ、発泡が生じた。
Comparative Example 6
In the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution M was used in place of the polyamic acid solution B, and the heating time from 130 ° C. to 360 ° C. after the application of the polyamic acid solution A was shortened to 1/3. When the metal-clad laminate 34 was prepared, foaming occurred.

比較例7
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Nを使用し、ポリアミド酸溶液Aの塗布後の130℃から360℃までの昇温時間を1/3に短縮したこと以外、実施例1と同様にして、金属張積層板35を調製したところ、発泡が生じた。
Comparative Example 7
In the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution N was used in place of the polyamic acid solution B, and the heating time from 130 ° C. to 360 ° C. after the application of the polyamic acid solution A was shortened to 1/3. When the metal-clad laminate 35 was prepared, foaming occurred.

[実施例29]
ステンレス基材上に、第1のポリイミド層となるポリアミド酸溶液Oを塗布した後、120℃で乾燥して、ポリアミド酸のゲルフィルムを調製した。調製したゲルフィルムをステンレス基材から剥離後、テンタークリップに固定し、130℃から360℃まで段階的に昇温させてイミド化を行い、厚み12.5μmのポリイミドフィルム36を調製した。調製したポリイミドフィルム36に、第2のポリイミド層となるポリアミド酸溶液Rを硬化後の厚みが3μmとなるように塗布し、120℃で乾燥を行った。その後、130℃から360℃まで段階的に昇温させてイミド化を行い、積層ポリイミドフィルム36を調製した。調製した積層ポリイミドフィルム36をカッターで裁断し、SEM観察による第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層間の層間剥離は確認されなかった。
[Example 29]
After a polyamic acid solution O serving as a first polyimide layer was applied on a stainless steel base material, it was dried at 120 ° C. to prepare a polyamic acid gel film. After the prepared gel film was peeled from the stainless steel base material, it was fixed to a tenter clip, and the temperature was gradually increased from 130 ° C. to 360 ° C. to perform imidization, thereby preparing a 12.5 μm-thick polyimide film 36. A polyamic acid solution R to be a second polyimide layer was applied to the prepared polyimide film 36 so as to have a cured thickness of 3 μm, and dried at 120 ° C. Thereafter, the temperature was increased stepwise from 130 ° C. to 360 ° C. to perform imidization, thereby preparing a laminated polyimide film 36. The prepared laminated polyimide film 36 was cut with a cutter, and no delamination between the first polyimide layer and the second polyimide layer was observed by SEM observation.

[実施例30]
ポリアミド酸溶液Oの代わりに、ポリアミド酸溶液Tを使用したこと以外、実施例29と同様にして、積層ポリイミドフィルム37を調製した。調製した積層ポリイミドフィルム37のSEM観察による層間剥離は確認されなかった。
[Example 30]
A laminated polyimide film 37 was prepared in the same manner as in Example 29, except that the polyamic acid solution T was used instead of the polyamic acid solution O. No delamination was observed on the prepared laminated polyimide film 37 by SEM observation.

[実施例31]
第1のポリイミド層の厚みを17μmにしたこと、及びポリアミド酸溶液Rの代わりに、ポリアミド酸溶液Vを使用し、硬化後の厚みを4μmとしたこと以外、実施例29と同様にして、積層ポリイミドフィルム38を調製した。調製した積層ポリイミドフィルム38のSEM観察による層間剥離は確認されなかった。
[Example 31]
Laminating was performed in the same manner as in Example 29, except that the thickness of the first polyimide layer was 17 μm, and that the thickness after curing was 4 μm using a polyamic acid solution V instead of the polyamic acid solution R. A polyimide film 38 was prepared. No delamination was observed by SEM observation of the prepared laminated polyimide film 38.

[実施例32]
ポリアミド酸溶液Oの代わりに、ポリアミド酸溶液Tを使用し、第1のポリイミド層の厚みを17μmにしたこと、及びポリアミド酸溶液Rの代わりに、ポリアミド酸溶液Vを使用し、硬化後の厚みを4μmとしたこと以外、実施例29と同様にして、積層ポリイミドフィルム39を調製した。調製した積層ポリイミドフィルム39のSEM観察による層間剥離は確認されなかった。
[Example 32]
Instead of the polyamic acid solution O, a polyamic acid solution T was used, the thickness of the first polyimide layer was set to 17 μm, and instead of the polyamic acid solution R, a polyamic acid solution V was used, and the cured thickness was used. Was set to 4 μm, and a laminated polyimide film 39 was prepared in the same manner as in Example 29. No delamination was observed by SEM observation of the prepared laminated polyimide film 39.

比較例8
ポリアミド酸溶液Rの代わりに、ポリアミド酸溶液Qを使用したこと以外、実施例29と同様にして、積層ポリイミドフィルム40を調製した。調製した積層ポリイミドフィルム40のSEM観察によって、層間剥離が確認された。
Comparative Example 8
A laminated polyimide film 40 was prepared in the same manner as in Example 29, except that the polyamic acid solution R was used instead of the polyamic acid solution R. SEM observation of the prepared laminated polyimide film 40 confirmed delamination.

比較例9
ポリアミド酸溶液Oの代わりに、ポリアミド酸溶液Pを使用したこと以外、実施例29と同様にして、積層ポリイミドフィルム41を調製した。調製した積層ポリイミドフィルム41のSEM観察によって、層間剥離が確認された。
Comparative Example 9
A laminated polyimide film 41 was prepared in the same manner as in Example 29 except that the polyamic acid solution O was used instead of the polyamic acid solution O. SEM observation of the prepared laminated polyimide film 41 confirmed delamination.

比較例10
第1のポリイミド層の厚みを17μmにしたこと、及びポリアミド酸溶液Rの代わりに、ポリアミド酸溶液Uを使用し、硬化後の厚みを4μmとしたこと以外、実施例29と同様にして、積層ポリイミドフィルム42を調製した。調製した積層ポリイミドフィルム42のSEM観察によって、層間剥離が確認された。
Comparative Example 10
Laminating was performed in the same manner as in Example 29 except that the thickness of the first polyimide layer was 17 μm, and that the thickness after curing was 4 μm using a polyamic acid solution U instead of the polyamic acid solution R. A polyimide film 42 was prepared. SEM observation of the prepared laminated polyimide film 42 confirmed delamination.

[実施例33]
厚み12μmの電解銅箔上に、第1のポリイミド層となるポリアミド酸溶液Tを硬化後の厚みが25μmとなるように均一に塗布した後、120℃から360℃まで段階的に昇温させて溶媒の除去及びイミド化を行った。次に、その上に、第2のポリイミド層となるポリアミド酸溶液Sを硬化後の厚みが25μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥して溶媒を除去した。その後、130℃から360℃まで段階的に昇温させてイミド化を行い、金属張積層板43を調製した。調製した金属張積層板43における第1のポリイミド層と第2のポリイミド層のピール強度は1.5kN/m以上であった。
[Example 33]
On a 12 μm-thick electrolytic copper foil, a polyamic acid solution T to be a first polyimide layer was uniformly applied so as to have a cured thickness of 25 μm, and then the temperature was increased stepwise from 120 ° C. to 360 ° C. Removal of the solvent and imidation were performed. Next, a polyamic acid solution S to be a second polyimide layer was uniformly applied thereon so as to have a cured thickness of 25 μm, and then heated and dried at 120 ° C. to remove the solvent. Thereafter, the temperature was increased stepwise from 130 ° C. to 360 ° C. to perform imidization, thereby preparing a metal-clad laminate 43. The peel strength of the first polyimide layer and the second polyimide layer in the prepared metal-clad laminate 43 was 1.5 kN / m or more.

[実施例34]
厚み12μmの電解銅箔上に、ポリアミド酸溶液Sを硬化後の厚みが23μmとなるように均一に塗布し、120℃で加熱乾燥して溶媒を除去した。その上に、ポリアミド酸溶液Bを硬化後の厚みが2μmとなるように均一に塗布し、120℃で加熱乾燥して溶媒を除去した。その後、130℃から360℃まで段階的に昇温させてイミド化を行い、第1のポリイミド層を形成した。次に、その上に、第2のポリイミド層となるポリアミド酸溶液Sを硬化後の厚みが25μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥して溶媒を除去した。その後、130℃から360℃まで段階的に昇温させてイミド化を行い、金属張積層板44を調製した。調製した金属張積層板44における第1のポリイミド層と第2のポリイミド層のピール強度は1.5kN/m以上であった。
[Example 34]
The polyamic acid solution S was uniformly applied on a 12 μm-thick electrolytic copper foil so that the thickness after curing became 23 μm, and was heated and dried at 120 ° C. to remove the solvent. The polyamic acid solution B was uniformly applied thereon so as to have a cured thickness of 2 μm, and dried by heating at 120 ° C. to remove the solvent. Thereafter, the temperature was increased stepwise from 130 ° C. to 360 ° C. to perform imidization, thereby forming a first polyimide layer. Next, a polyamic acid solution S to be a second polyimide layer was uniformly applied thereon so as to have a cured thickness of 25 μm, and then heated and dried at 120 ° C. to remove the solvent. Thereafter, the temperature was raised stepwise from 130 ° C. to 360 ° C. to perform imidization, thereby preparing a metal-clad laminate 44. The peel strength of the first polyimide layer and the second polyimide layer in the prepared metal-clad laminate 44 was 1.5 kN / m or more.

比較例11
ポリアミド酸溶液Tの代わりに、ポリアミド酸溶液Sを使用したこと以外、実施例33と同様にして、金属張積層板45を調製した。調製した金属張積層板45における第1のポリイミド層と第2のポリイミド層のピール強度は0.1kN/m以下であった。
Comparative Example 11
A metal-clad laminate 45 was prepared in the same manner as in Example 33 except that the polyamic acid solution T was used instead of the polyamic acid solution T. The peel strength of the first polyimide layer and the second polyimide layer in the prepared metal-clad laminate 45 was 0.1 kN / m or less.

比較例12
ポリアミド酸溶液Bの代わりに、ポリアミド酸溶液Mを使用したこと以外、実施例34と同様にして、金属張積層板46を調製した。調製した金属張積層板46における第1のポリイミド層と第2のポリイミド層のピール強度は0.1kN/m以下であった。
Comparative Example 12
A metal-clad laminate 46 was prepared in the same manner as in Example 34 except that the polyamic acid solution M was used instead of the polyamic acid solution B. The peel strength of the first polyimide layer and the second polyimide layer in the prepared metal-clad laminate 46 was 0.1 kN / m or less.

参考例
100gのポリアミド酸溶液Aに0.45gの無水フタル酸(3.02mmol)を加え4時間撹拌を行い、ポリアミド酸溶液A2を調製した。ポリアミド酸溶液Aの代わりにポリアミド酸溶液A2を用いた以外、実施例1と同様にして、金属張積層板47を調製したところ、発泡が生じた。また、実施例1と同様に、調製した金属張積層板47の剥離試験を行ったところ、第1のポリイミド層及び第2のポリイミド層の層間剥離が生じた。
これは第2のポリイミド層のアミノ基が無水フタル酸と反応することで、第1のポリイミド層と反応できる官能基が無くなり、樹脂層間の化学的接着が生じなかった為と考えられる。
Reference Example 0.45 g of phthalic anhydride (3.02 mmol) was added to 100 g of polyamic acid solution A, and the mixture was stirred for 4 hours to prepare a polyamic acid solution A2. When the metal-clad laminate 47 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution A2 was used instead of the polyamic acid solution A, foaming occurred. Further, a peeling test of the prepared metal-clad laminate 47 was performed in the same manner as in Example 1. As a result, delamination between the first polyimide layer and the second polyimide layer occurred.
This is presumably because the amino group of the second polyimide layer reacted with phthalic anhydride, so that there was no functional group capable of reacting with the first polyimide layer, and no chemical adhesion between the resin layers occurred.

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはない。   The embodiments of the present invention have been described in detail for the purpose of illustration, but the present invention is not limited to the above embodiments.

Claims (6)

第1のポリイミド層(A)と、前記第1のポリイミド層(A)の少なくとも片側の面に積層された第2のポリイミド層(B)と、を備えたポリイミドフィルムの製造方法であって、
下記の工程I〜III;
I)ケトン基を有するポリイミドを含む第1のポリイミド層(A)を準備する工程、
II)前記第1のポリイミド層(A)の上に、前記ケトン基と相互作用する性質を有する官能基を持つポリアミド酸(b)を含む樹脂層を積層する工程、
III)前記ポリアミド酸(b)を含む樹脂層を前記第1のポリイミド層(A)ごと熱処理し、前記ポリアミド酸(b)をイミド化して第2のポリイミド層(B)を形成する工程、
を含むことを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。
A method for producing a polyimide film, comprising: a first polyimide layer (A); and a second polyimide layer (B) laminated on at least one surface of the first polyimide layer (A),
The following steps I to III;
I) a step of preparing a first polyimide layer (A) containing a polyimide having a ketone group;
II) laminating a resin layer containing a polyamic acid (b) having a functional group having a property of interacting with the ketone group on the first polyimide layer (A);
III) a step of heat-treating the resin layer containing the polyamic acid (b) together with the first polyimide layer (A) to imidize the polyamic acid (b) to form a second polyimide layer (B);
A method for producing a polyimide film, comprising:
前記第1のポリイミド層(A)を構成するポリイミドが、テトラカルボン酸残基(1a)及びジアミン残基(2a)を含むものであって、前記テトラカルボン酸残基(1a)及び前記ジアミン残基(2a)の合計100モル部に対して、前記ケトン基が5モル部以上であることを特徴とする請求項1に記載のポリイミドフィルムの製造方法。   The polyimide constituting the first polyimide layer (A) contains a tetracarboxylic acid residue (1a) and a diamine residue (2a), and the tetracarboxylic acid residue (1a) and the diamine residue The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the ketone group is 5 mol parts or more based on 100 mol parts in total of the group (2a). 前記ポリアミド酸(b)を含む樹脂層が、テトラカルボン酸残基(1b)及びジアミン残基(2b)を含むものであって、前記ジアミン残基(2b)1モルに対し、前記テトラカルボン酸残基(1b)が1モル未満であることを特徴とする請求項1又は2に記載のポリイミドフィルムの製造方法。   The resin layer containing the polyamic acid (b) contains a tetracarboxylic acid residue (1b) and a diamine residue (2b), and the tetracarboxylic acid is contained in 1 mol of the diamine residue (2b). 3. The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the residue (1b) is less than 1 mol. 前記第1のポリイミド層(A)が、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を基材上に積層して、前記基材ごと前記ポリアミド酸(a)をイミド化して形成されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムの製造方法。   The first polyimide layer (A) is formed by laminating a resin layer containing a polyamic acid (a) having a ketone group on a substrate and imidizing the polyamic acid (a) together with the substrate. The method for producing a polyimide film according to any one of claims 1 to 3, characterized in that: 金属層と、第1のポリイミド層(A)と、前記第1のポリイミド層(A)の片側の面に積層された第2のポリイミド層(B)と、を備えた金属張積層板の製造方法であって、
下記の工程i〜iv;
i)金属層の上に、ケトン基を有するポリアミド酸(a)を含む樹脂層を表層部に有する、少なくとも1層以上のポリアミド酸の樹脂層を形成する工程、
ii)前記ポリアミド酸の樹脂層を前記金属層ごと熱処理し、前記ポリアミド酸をイミド化することにより、前記金属層の上に、ケトン基を有するポリイミドを含む第1のポリイミド層(A)を表層部として有するポリイミド層が積層された中間体を形成する工程、
iii)前記第1のポリイミド層(A)の上に、前記ケトン基と相互作用する性質を有する官能基を持つポリアミド酸(b)を含む樹脂層を積層する工程、
iv)前記ポリアミド酸(b)の樹脂層を前記中間体ごと熱処理し、前記ポリアミド酸(b)をイミド化して第2のポリイミド層(B)を形成する工程、
を含むことを特徴とする金属張積層板の製造方法。
Production of a metal-clad laminate including a metal layer, a first polyimide layer (A), and a second polyimide layer (B) laminated on one surface of the first polyimide layer (A) The method
The following steps i to iv:
i) a step of forming at least one or more polyamic acid resin layers having a resin layer containing a polyamic acid (a) having a ketone group on the surface layer on the metal layer;
ii) heat treating the polyamic acid resin layer together with the metal layer to imidize the polyamic acid, thereby forming a first polyimide layer (A) containing a polyimide having a ketone group on the metal layer; Step of forming an intermediate in which a polyimide layer having a part is laminated,
iii) laminating a resin layer containing a polyamic acid (b) having a functional group having a property of interacting with the ketone group on the first polyimide layer (A);
iv) heat treating the resin layer of the polyamic acid (b) together with the intermediate, and imidizing the polyamic acid (b) to form a second polyimide layer (B);
A method for producing a metal-clad laminate, comprising:
請求項5に記載された方法で製造された前記金属張積層板の前記金属層を配線回路加工する工程を含む回路基板の製造方法。
A method for manufacturing a circuit board, comprising a step of performing a wiring circuit processing on the metal layer of the metal-clad laminate manufactured by the method according to claim 5.
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