JP2020049803A - Release film for producing ceramic green sheet and method for evaluating the same - Google Patents

Release film for producing ceramic green sheet and method for evaluating the same Download PDF

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Abstract

To provide a release film for producing a ceramic green sheet capable of suppressing the cissing and pin holes of a ceramic green sheet and also forming a suitable float around a half cut mark upon ceramic half cut, and a method for evaluating the release film for producing a ceramic green sheet.SOLUTION: A release film is obtained by laminating a release layer(s) on at least either side of a polyester film directly or the other layer(s), in which the maximum crest height (Rp) of the surface(s) of the release layer(s) is 60 nm or lower, and, in the case a ceramic green sheet-fitted release film is created and is half-cut, a specified float easiness of a ceramic green sheet is shown. A method for evaluating a release film for producing a ceramic green sheet is performed by a half cut process.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムに関するものであり、詳しくは超薄層のセラミックグリーンシート製造時にピンホール及び厚みムラによる工程不良の発生を抑制し、かつ剥離時にセラミックグリーンシートの破損を抑制し得る、超薄層のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム及びその評価方法に関するものである。   The present invention relates to a release film for producing an ultra-thin ceramic green sheet, and more particularly, suppresses the occurrence of process defects due to pinholes and thickness unevenness during the production of an ultra-thin ceramic green sheet, and suppresses the occurrence of ceramic during peeling. The present invention relates to a release film for producing a ceramic green sheet having an ultra-thin layer, which can suppress breakage of a green sheet, and a method for evaluating the same.

従来ポリエステルフィルムを基材とし、その上に離型層を積層した離型フィルムは、積層セラミックコンデンサ(以下MLCCとする)、セラミック基板等のセラミックグリーンシート成型用に使用されている。近年、積層セラミックコンデンサの小型化・大容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも薄膜化する傾向にある。セラミックグリーンシートは、離型フィルムに、チタン酸バリウムなどのセラミック成分とバインダー樹脂を含有したスラリーを塗工し乾燥することで成型される。成型したセラミックグリーンシートに電極を印刷し、電極が印刷されたセラミックグリーンシートをハーフカットしたうえで離型フィルムから剥離したのち、セラミックグリーンシートを積層、プレスし裁断後、焼成、外部電極を塗布することで積層セラミックコンデンサが製造される。これまで、ポリエステルフィルムの離型層表面にセラミックグリーンシートを成型する場合、離型層表面の微小な突起が成型したセラミックグリーンシートに影響を与え、ハジキやピンホール等の欠点が生じやすくなるといった問題点があった。そのため、優れた平坦性を有する離型層表面を実現するための手法が種々開発されてきた(例えば、特許文献1)。   2. Description of the Related Art Conventionally, a release film in which a release layer is laminated on a polyester film as a substrate has been used for forming a ceramic green sheet such as a multilayer ceramic capacitor (hereinafter referred to as MLCC), a ceramic substrate and the like. In recent years, the thickness of ceramic green sheets has tended to be reduced as the size and capacity of multilayer ceramic capacitors have increased. The ceramic green sheet is formed by applying a slurry containing a ceramic component such as barium titanate and a binder resin to a release film and drying the slurry. After printing the electrodes on the molded ceramic green sheet, cutting the ceramic green sheet with the printed electrodes in half and peeling it from the release film, laminating, pressing and cutting the ceramic green sheets, firing, and applying external electrodes By doing so, a multilayer ceramic capacitor is manufactured. Until now, when molding a ceramic green sheet on the release layer surface of a polyester film, minute projections on the release layer surface affect the molded ceramic green sheet, and defects such as cissing and pinholes are likely to occur. There was a problem. Therefore, various techniques for realizing a release layer surface having excellent flatness have been developed (for example, Patent Document 1).

しかしながら近年、さらなるセラミックグリーンシートの薄膜化が進み、1.0μm以下、より詳しくは0.2μm〜1.0μmの厚みのセラミックグリーンシートが要求されるようになってきた。そのため、離型層表面により高い平滑性が求められるようになってきている。また、セラミックグリーンシートの薄膜化に伴い、セラミックグリーンシートの強度が低下するため、離型層表面の平滑化だけではなく、セラミックグリーンシートを離型フィルムから剥離するときの剥離力を低くかつ均一にすることが好ましく、離型フィルムからセラミックグリーンシートを剥離するときにセラミックグリーンシートにかかる負荷を極力少なくし、セラミックグリーンシートにダメージを与えないようにすることが好ましくなってきている。   However, in recent years, ceramic green sheets have been further reduced in thickness, and ceramic green sheets having a thickness of 1.0 μm or less, more specifically, a thickness of 0.2 μm to 1.0 μm have been required. Therefore, higher smoothness has been required for the surface of the release layer. In addition, as the ceramic green sheet becomes thinner, the strength of the ceramic green sheet decreases, so not only the surface of the release layer is smoothed, but also the peeling force when the ceramic green sheet is peeled off from the release film is reduced and uniform. It is preferable to minimize the load applied to the ceramic green sheet when the ceramic green sheet is peeled from the release film so as not to damage the ceramic green sheet.

離型層表面の平滑化と剥離時のセラミックグリーンシートへの負荷を抑制する離型層側からの方法としては、離型フィルムの離型層に活性エネルギー線硬化成分を用いることで離型層の架橋密度を高め、弾性率を向上させることで、セラミックグリーンシート剥離時における離型層の弾性変形を抑制し剥離力を軽くする方策が検討されている(例えば、特許文献2、3)。しかしながらこの方法では、平滑性が高すぎるため面剥離となり、剥離力が重くなり、グリーンシートが剥離時に破けるなどのセラミック剥離不良が発生する等の問題があった。   As a method from the release layer side to smooth the release layer surface and to suppress the load on the ceramic green sheet during peeling, the release layer of the release film is formed by using an active energy ray-curable component. In order to increase the cross-linking density and improve the elastic modulus of the ceramic green sheet, measures for suppressing the elastic deformation of the release layer at the time of peeling the ceramic green sheet and reducing the peeling force have been studied (for example, Patent Documents 2 and 3). However, this method has problems such as surface peeling due to too high smoothness, heavy peeling force and poor ceramic peeling such as tearing of the green sheet upon peeling.

特開2000−117899号公報JP 2000-117899 A 国際公開第2013/145864号International Publication No. WO 2013/145864 国際公開第2013/145865号International Publication No. 2013/145865

そこで、本発明者らは、鋭意検討を行った結果、セラミックグリーンシートをハーフカットした際にハーフカット痕の周囲に一定以上のセラミックグリーンシートの浮きを発生させることがセラミック剥離不良の抑制に有効であることを見出した。そして、本発明の課題は、セラミックグリーンシートのハジキやピンホールを抑制し、かつセラミックハーフカット時にハーフカット痕の周囲に適度な浮きを形成できるようなセラミックグリーンシート製造用離型フィルムとその評価方法を提供することである。   Thus, the present inventors have conducted intensive studies and as a result, it has been found that when a ceramic green sheet is half-cut, it is effective to suppress the ceramic peeling defect by causing a certain or more floating of the ceramic green sheet around a half-cut mark. Was found. An object of the present invention is to provide a release film for producing a ceramic green sheet capable of suppressing cissing and pinholes of a ceramic green sheet and forming an appropriate float around a half-cut mark at the time of a ceramic half-cut. Is to provide a way.

即ち、本発明は以下の構成よりなる。
1. ポリエステルフィルムの少なくとも片面に直接又は他の層を介して離型層が積層された離型フィルムであって、離型層表面の最大山高さ(Rp)が60nm以下であり、離型層のポリエステルフィルムの反対側の表面にセラミックスラリーを塗布、乾燥して得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを作成し、セラミックグリーンシート付き離型フィルムをセラミックグリーンシート側から離型フィルムに達する深さ、かつ離型フィルムの離型層表面から10μm以下の深さでハーフカットし、離型層表面におけるハーフカット痕の幅(B)が50μm以下になるようにハーフカットした場合に、以下の式を満たすセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
A/B ≧ 20
A:ハーフカット痕の周囲のセラミックグリーンシートの浮きの幅(μm)
B:離型層表面におけるハーフカット痕の幅(μm)
2. 離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が5〜40nmである上記第1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
3. 離型フィルムの離型層上にセラミックスラリーを塗布、乾燥して得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを、セラミックグリーンシート側からハーフカットし、ハーフカット痕が離型フィルムに達する深さ、かつ離型フィルムの離型層表面から10μm以下の深さであり、離型層表面におけるハーフカット痕の幅(B)が50μm以下になるようにして、ハーフカット痕の周囲のセラミックグリーンシートの浮きの幅(A)を測定することにより、ハーフカット後のセラミックグリーンシートの浮き易さを評価するセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの評価方法。
That is, the present invention has the following configurations.
1. A release film in which a release layer is laminated on at least one surface of a polyester film directly or via another layer, wherein the maximum peak height (Rp) of the release layer surface is 60 nm or less, and the polyester of the release layer is A ceramic slurry is applied to the surface on the opposite side of the film, and a release film with a ceramic green sheet obtained by drying is created, and the release film with the ceramic green sheet reaches the release film from the ceramic green sheet side, When the half-cut is performed at a depth of 10 μm or less from the surface of the release layer of the release film and the width (B) of the half-cut mark on the surface of the release layer is 50 μm or less, the following expression is obtained. Filling release film for manufacturing ceramic green sheets.
A / B ≧ 20
A: Floating width of ceramic green sheet around half-cut mark (μm)
B: Width of half-cut mark on release layer surface (μm)
2. 2. The release film for producing a ceramic green sheet according to the above 1, wherein the surface average surface roughness (Sa) of the release layer surface is 5 to 40 nm.
3. The ceramic slurry is applied on the release layer of the release film, and the release film with the ceramic green sheet obtained by drying is half-cut from the ceramic green sheet side, and the depth at which the half-cut mark reaches the release film, In addition, the depth (B) of the half-cut mark on the surface of the release layer is 10 μm or less from the surface of the release layer of the release film, and the width (B) of the half-cut mark on the release layer is 50 μm or less. A method for evaluating a release film for producing a ceramic green sheet, which measures the floating width (A) to evaluate the ease of floating of a ceramic green sheet after half-cutting.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムによれば、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較して、成型される厚み1μm以下といった超薄膜セラミックグリーンシートの製造過程において剥離不良率を少なくできるセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの提供が可能となった。また、簡便に前記のような特性を有するセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの評価を可能とした。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the release film for ceramic green sheet manufacture of this invention, compared with the conventional release film for ceramic green sheet manufacture, the peeling failure rate in the manufacturing process of the ultra-thin ceramic green sheet whose thickness is 1 micrometer or less is reduced. It has become possible to provide a release film for producing ceramic green sheets which can be reduced. In addition, it was possible to easily evaluate a release film for producing a ceramic green sheet having the above-mentioned characteristics.

ハーフカット痕の周囲のセラミックグリーンシートの浮きの幅(A)と離型層表面におけるハーフカット痕の幅(B)を説明するためのセラミックグリーンシート付き離型フィルムの平面模式図である。It is a plane schematic diagram of a release film with a ceramic green sheet for explaining width (A) of floating of a ceramic green sheet around a half cut mark, and width (B) of a half cut mark on a release layer surface. ハーフカット試験の概要を示すための断面模式図である。It is a cross section showing an outline of a half-cut test.

以下、本発明について詳細に説明する。
(ポリエステルフィルム)
本発明の離型フィルムにおいて基材として用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、特に限定されず、離型フィルム基材として通常一般に使用されているポリエステルをフィルム成型したものを使用することが出来るが、好ましくは、芳香族二塩基酸成分とジオール成分からなる結晶性の線状飽和ポリエステルであるのが良く、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート又はこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体がさらに好適であり、とりわけポリエチレンテレフタレートから形成されたポリエステルフィルムが好適である。ポリエチレンテレフタレートは、エチレンテレフタレートの繰り返し単位が好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上であり、他のジカルボン酸成分、ジオール成分が少量共重合されていてもよいが、コストの点から、テレフタル酸とエチレングリコールのみから製造されたものが好ましい。また、本発明のフィルムの効果を阻害しない範囲内で、公知の添加剤、例えば、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶化剤などを添加してもよい。ポリエステルフィルムは双方向の弾性率の高さ等の理由からポリエステルフィルムであることが好ましい。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
(Polyester film)
The polyester constituting the polyester film used as the base material in the release film of the present invention is not particularly limited, and it is possible to use a polyester film that is generally used as a release film base film-formed. Preferably, it is a crystalline linear saturated polyester comprising an aromatic dibasic acid component and a diol component. For example, polyethylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate, or a mixture thereof. A copolymer containing the resin component as a main component is more preferable, and a polyester film formed from polyethylene terephthalate is particularly preferable. In polyethylene terephthalate, the repeating unit of ethylene terephthalate is preferably at least 90 mol%, more preferably at least 95 mol%, and other dicarboxylic acid components and diol components may be copolymerized in small amounts, but from the viewpoint of cost. And those produced only from terephthalic acid and ethylene glycol. Known additives such as an antioxidant, a light stabilizer, an ultraviolet absorber, and a crystallization agent may be added as long as the effects of the film of the present invention are not impaired. The polyester film is preferably a polyester film because of the high elastic modulus in both directions.

上記ポリエチレンテレフタレートフィルムの固有粘度は0.50〜0.70dl/gが好ましく、0.52〜0.62dl/gがより好ましい。固有粘度が0.50dl/g以上の場合、延伸工程で破断が発生しづらく好ましい。逆に、0.70dl/g以下の場合、所定の製品幅に裁断するときの裁断性が良く、寸法不良が発生しないので好ましい。また、原料は十分に真空乾燥することが好ましい。   The intrinsic viscosity of the polyethylene terephthalate film is preferably from 0.50 to 0.70 dl / g, more preferably from 0.52 to 0.62 dl / g. When the intrinsic viscosity is 0.50 dl / g or more, it is preferable that breakage hardly occurs in the stretching step. Conversely, when it is 0.70 dl / g or less, it is preferable because the cutability when cutting into a predetermined product width is good and dimensional defects do not occur. Further, it is preferable that the raw material is sufficiently dried in vacuum.

本発明におけるポリエステルフィルムの製造方法は特に限定されず、従来一般に用いられている方法を用いることが出来る。例えば、前記ポリエステルを押出機にて溶融して、フィルム状に押出し、回転冷却ドラムにて冷却することにより未延伸フィルムを得て、該未延伸フィルムを一軸又は二軸延伸することにより得ることが出来る。二軸延伸フィルムは、縦方向あるいは横方向の一軸延伸フィルムを横方向または縦方向に逐次二軸延伸する方法、或いは未延伸フィルムを縦方向と横方向に同時二軸延伸する方法で得ることが出来る。   The method for producing the polyester film in the present invention is not particularly limited, and a method generally used conventionally can be used. For example, the polyester can be melted by an extruder, extruded into a film, and obtained by cooling with a rotary cooling drum to obtain an unstretched film, and uniaxially or biaxially stretching the unstretched film. I can do it. A biaxially stretched film can be obtained by a method of sequentially biaxially stretching a longitudinally or transversely uniaxially stretched film in the transverse or longitudinal direction, or a method of simultaneously biaxially stretching an unstretched film in the longitudinal and transverse directions. I can do it.

本発明において、ポリエステルフィルム延伸時の延伸温度はポリエステルの二次転移点(Tg)以上とすることが好ましい。縦、横各々の方向に1〜8倍、特に2〜6倍の延伸をすることが好ましい。   In the present invention, the stretching temperature at the time of stretching the polyester film is preferably equal to or higher than the secondary transition point (Tg) of the polyester. It is preferable to stretch 1 to 8 times, particularly 2 to 6 times in each of the vertical and horizontal directions.

上記ポリエステルフィルムは、厚みが12〜50μmであることが好ましく、さらに好ましくは12〜38μmであり、より好ましくは、15μm〜31μmである。フィルムの厚みが12μm以上であれば、フィルム生産時や離型層の加工工程、セラミックグリーンシートの成型の時に、熱により変形するおそれがなく好ましい。一方、フィルムの厚みが50μm以下であれば、使用後に廃棄するフィルムの量が極度に多くならず、環境負荷を小さくする上で好ましく、さらには、使用する離型フィルムの面積当たりの材料が少なくなるため経済的観点からも好ましい。   The polyester film preferably has a thickness of 12 to 50 μm, more preferably 12 to 38 μm, and still more preferably 15 to 31 μm. When the thickness of the film is 12 μm or more, there is no possibility of being deformed by heat at the time of film production, processing of a release layer, and molding of a ceramic green sheet, which is preferable. On the other hand, if the thickness of the film is 50 μm or less, the amount of the film to be discarded after use is not extremely large, which is preferable in reducing the environmental load. Further, the material per area of the release film to be used is small. Therefore, it is preferable from an economic viewpoint.

上記ポリエステルフィルム基材は、単層であっても2層以上の多層であっても構わないが、少なくとも片面には実質的に無機粒子を含まない表面層Aを有する積層ポリエステルフィルムであることが好ましい。2層以上の多層構成からなる積層ポリエステルフィルムの場合は、実質的に無機粒子を含有しない表面層Aの反対面には、粒子などを含有することができる表面層Bを有することが好ましい。積層構成としては、離型層を塗布する側の層を表面層A、その反対面の層を表面層B、これら以外の芯層を芯層Cとすると、厚み方向の層構成は離型層/表面層A/表面層B、あるいは離型層/表面層A/芯層C/表面層B等の積層構造が挙げられる。当然ながら芯層Cは複数の層構成であっても構わない。また、表面層Bには粒子を含まないこともできる。その場合、フィルムをロール状に巻き取るための滑り性を付与するため、表面層B上には粒子とバインダーを含んだコート層(D)を設けることが好ましい。   The polyester film substrate may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but may be a laminated polyester film having a surface layer A substantially free of inorganic particles on at least one surface. preferable. In the case of a laminated polyester film having a multilayer structure of two or more layers, it is preferable to have a surface layer B capable of containing particles and the like on the surface opposite to the surface layer A substantially containing no inorganic particles. As for the laminated structure, the layer on the side on which the release layer is applied is the surface layer A, the layer on the opposite side is the surface layer B, and the other core layers are the core layer C. / A surface layer A / a surface layer B or a release layer / a surface layer A / a core layer C / a surface layer B. Of course, the core layer C may have a plurality of layer configurations. Further, the surface layer B may not contain particles. In that case, it is preferable to provide a coat layer (D) containing particles and a binder on the surface layer B in order to provide slipperiness for winding the film into a roll.

本発明におけるポリエステルフィルム基材において、離型層を塗布する面を形成する表面層Aは、実質的に無機粒子を含有しないことが好ましい。このとき、表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は、7nm以下が好ましい。Saが7nm以下であると、離型層の膜厚が2.0μm以下、更に薄く0.5μm以下のような薄膜でも、積層する超薄層セラミックグリーンシートの成型時にピンホールなどの発生が起こりにくく好ましい。表面層Aの領域表面平均粗さ(Sa)は小さいほど好ましいと言えるが、0.1nm以上であって構わない。但し表面層A上に後述のアンカーコート層などを設ける場合は、コート層に実質的に無機粒子を含まないことが好ましく、コート層積層後の領域表面平均粗さ(Sa)が前記範囲内であることが好ましい。本発明において「無機粒子を実質的に含有しない」とは、ケイ光X線分析で無機元素を定量した場合に50ppm以下であることにより定義され、好ましくは10ppm以下、最も好ましくは検出限界以下となる含有量である。これは積極的に無機粒子をフィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分や、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるラインや装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。   In the polyester film substrate of the present invention, the surface layer A forming the surface on which the release layer is applied preferably contains substantially no inorganic particles. At this time, the average surface roughness (Sa) of the surface layer A is preferably 7 nm or less. When Sa is 7 nm or less, even if the release layer has a film thickness of 2.0 μm or less, and even a thin film having a thickness of 0.5 μm or less, pinholes or the like occur when molding the super-thin ceramic green sheets to be laminated. It is difficult and preferable. It can be said that the smaller the area surface average roughness (Sa) of the surface layer A is, the more preferable it is, but it may be 0.1 nm or more. However, when an anchor coat layer or the like described below is provided on the surface layer A, it is preferable that the coat layer contains substantially no inorganic particles, and the area average surface roughness (Sa) after the coat layer is laminated is within the above range. Preferably, there is. In the present invention, "substantially free of inorganic particles" is defined as being 50 ppm or less when the inorganic element is quantified by fluorescent X-ray analysis, preferably 10 ppm or less, most preferably the detection limit or less. Content. This is because even if the inorganic particles are not positively added to the film, the contamination components derived from the foreign matter and the dirt attached to the raw material resin or the line or the device in the manufacturing process of the film are separated and mixed into the film. This is because there are cases.

本発明におけるポリエステルフィルム基材が積層フィルムである場合において、離型層を塗布する表面層Aと反対面を形成する表面層Bは、フィルムの滑り性や空気の抜けやすさの観点から、粒子を含有することが好ましく、特にシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を含有することが好ましい。含有される粒子含有量は、表面層B中に粒子の合計で5000〜15000ppmであることが好ましい。このとき、表面層Bのフィルムの領域表面平均粗さ(Sa)は、1〜40nmの範囲であることが好ましい。より好ましくは、5〜35nmの範囲である。表面層Bのシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が5000ppm以上、Saが1nm以上の場合には、フィルムをロール状に巻き上げるときに、空気を均一に逃がすことができ、巻き姿が良好で平面性良好により、超薄層セラミックグリーンシートの製造に好適なものとなる。また、シリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子の合計が15000ppm以下、Saが40nm以下の場合には、滑剤の凝集が生じにくく、粗大突起ができないため、超薄層のセラミックグリーンシートを成型後に巻き取った場合でもセラミックグリーンシートにピンホールなどの欠点を発生させることがなく好ましい。   In the case where the polyester film substrate in the present invention is a laminated film, the surface layer B forming the opposite surface to the surface layer A on which the release layer is applied has a particle size in view of the slipperiness of the film and the ease of air release. , And particularly preferably silica particles and / or calcium carbonate particles. The content of the particles contained in the surface layer B is preferably 5,000 to 15,000 ppm in total. At this time, the surface average roughness (Sa) of the film of the surface layer B is preferably in the range of 1 to 40 nm. More preferably, it is in the range of 5 to 35 nm. When the total of the silica particles and / or calcium carbonate particles of the surface layer B is 5000 ppm or more and Sa is 1 nm or more, when the film is wound up into a roll, air can be uniformly released and the wound appearance is good. Good flatness makes it suitable for the production of ultra-thin ceramic green sheets. When the total of the silica particles and / or calcium carbonate particles is 15000 ppm or less and Sa is 40 nm or less, the aggregation of the lubricant hardly occurs, and coarse projections cannot be formed. In this case, it is preferable because defects such as pinholes do not occur in the ceramic green sheet.

上記表面層Bに含有する粒子としては、透明性やコストの観点からシリカ粒子及び/又は炭酸カルシウム粒子を用いることがより好ましい。シリカ及び/又は炭酸カルシウム以外に不活性な無機粒子及び/又は耐熱性有機粒子などを用いることができ、他に使用できる無機粒子としては、アルミナ−シリカ複合酸化物粒子、ヒドロキシアパタイト粒子などが挙げられる。また、耐熱性有機粒子としては、架橋ポリアクリル系粒子、架橋ポリスチレン粒子、ベンゾグアナミン系粒子などが挙げられる。またシリカ粒子を用いる場合、多孔質のコロイダルシリカが好ましく、炭酸カルシウム粒子を用いる場合は、ポリアクリル酸系の高分子化合物で表面処理を施した軽質炭酸カルシウムが、滑剤の脱落防止の観点から好ましい。   As the particles contained in the surface layer B, it is more preferable to use silica particles and / or calcium carbonate particles from the viewpoint of transparency and cost. Inert inorganic particles and / or heat-resistant organic particles other than silica and / or calcium carbonate can be used, and examples of other inorganic particles that can be used include alumina-silica composite oxide particles and hydroxyapatite particles. Can be Examples of the heat-resistant organic particles include crosslinked polyacrylic particles, crosslinked polystyrene particles, and benzoguanamine particles. Further, when using silica particles, porous colloidal silica is preferable, and when using calcium carbonate particles, light calcium carbonate surface-treated with a polyacrylic acid-based polymer compound is preferable from the viewpoint of preventing the lubricant from falling off. .

上記表面層Bに添加する粒子の平均粒子径は、0.1μm以上2.0μm以下が好ましく、0.5μm以上1.0μm以下が特に好ましい。粒子の平均粒子径が0.1μm以上であれば、離型フィルムの滑り性が良好であり好ましい。また、平均粒子径が2.0μm以下であれば、離型層表面に粗大粒子によるピンホールが発生するおそれがなく好ましい。なお、粒子の平均粒子径の測定方法は、加工後のフィルムの断面の粒子を走査型電子顕微鏡で観察を行い、粒子100個を観察し、その平均値をもって平均粒子径とする方法で行うことができる。本発明の目的を満たすものであれば、粒子の形状は特に限定されるものでなく、球状粒子、不定形の球状でない粒子を使用できる。不定形の粒子の粒子径は円相当径として計算することができる。円相当径は、観察された粒子の面積を円周率(π)で除し、平方根を算出し2倍した値である。   The average particle diameter of the particles added to the surface layer B is preferably from 0.1 μm to 2.0 μm, and particularly preferably from 0.5 μm to 1.0 μm. When the average particle diameter of the particles is 0.1 μm or more, the slipperiness of the release film is good, which is preferable. Further, when the average particle diameter is 2.0 μm or less, there is no possibility that pinholes due to coarse particles are generated on the surface of the release layer, which is preferable. The average particle diameter of the particles is measured by observing the particles on the cross section of the processed film with a scanning electron microscope, observing 100 particles, and using the average value as the average particle diameter. Can be. The shape of the particles is not particularly limited as long as the object of the present invention is satisfied, and spherical particles and irregular non-spherical particles can be used. The particle diameter of the amorphous particles can be calculated as a circle equivalent diameter. The equivalent circle diameter is a value obtained by dividing the area of the observed particle by the pi (π), calculating the square root, and doubling the square root.

表面層Bには素材の異なる粒子を2種類以上含有させてもよい。また、同種の粒子で平均粒子径の異なるものを含有させてもよい。   The surface layer B may contain two or more kinds of particles made of different materials. Further, particles of the same kind but having different average particle diameters may be contained.

表面層Bに粒子を含まない場合は、表面層B上に粒子を含んだコート層で易滑性を持たせることも好ましい。本コート層を設ける手段は、特に限定されないが、ポリエステルフィルムの製膜中に塗工する所謂インラインコート法で設けることが好ましい。また、ポリエステルフィルムの離型層を積層しない側の表面に易滑性を持たせるコート層を設ける場合には、ポリエステルフィルムは表面層A及びBを有している必要はなく、無機粒子を実質的に含有しない単層のポリエステルフィルムからなっていてもよい。   When particles are not contained in the surface layer B, it is also preferable that the coat layer containing the particles on the surface layer B has lubricity. Means for providing the present coat layer is not particularly limited, but is preferably provided by a so-called in-line coating method for applying during the production of a polyester film. In the case where a coat layer having lubricity is provided on the surface of the polyester film on the side where the release layer is not laminated, the polyester film does not need to have the surface layers A and B, and inorganic particles are substantially contained. It may be composed of a single-layered polyester film which is not contained in the film.

表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)は、40nm以下が好ましく、35nm以下がより好ましく、さらに好ましくは30nm以下である。また、表面層Bあるいは単層ポリエステルフィルムの離型層を積層しない側の表面にコート層(D)で易滑性を持たせる場合は、その表面のSaは、コート層を積層した表面を測定するものとし、前記の表面層Bの領域表面平均粗さ(Sa)と同等範囲であることが好ましい。   The average surface roughness (Sa) of the surface layer B is preferably 40 nm or less, more preferably 35 nm or less, and still more preferably 30 nm or less. When the surface of the surface layer B or the surface of the single-layer polyester film on which the release layer is not laminated has a slipperiness with the coating layer (D), the surface Sa is measured by measuring the surface on which the coating layer is laminated. The average surface roughness (Sa) of the surface layer B is preferably in the same range as that described above.

(コート層D)
前記のポリエステルフィルムについて離型層を積層しない側の表面のコート層D中には、少なくともバインダー樹脂及び粒子が含まれていることが好ましい。
(Coat layer D)
It is preferable that at least the binder resin and the particles are contained in the coat layer D on the surface of the polyester film on which the release layer is not laminated.

(コート層Dのバインダー樹脂)
易滑塗布層を構成するバインダー樹脂としては特に限定されないが、ポリマーの具体例としては、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリビニル系樹脂(ポリビニルアルコール等)、ポリアルキレングリコール、ポリアルキレンイミン、メチルセルロース、ヒドロキシセルロース、でんぷん類等が挙げられる。これらの中でも粒子の保持、密着性の観点から、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂を使用することが好ましい。また、ポリエステルフィルムとのなじみを考慮した場合、ポリエステル樹脂が特に好ましい。溶剤への溶解性、分散性、さらには基材フィルムや他の層との接着性を達成させるため、バインダーのポリエステルは共重合ポリエステルであることが好ましい。なお、ポリエステル樹脂はポリウレタン変性されていても良い。また、ポリエステル基材フィルム上の易滑塗布層を構成する他の好ましいバインダー樹脂としてはウレタン樹脂が挙げられる。ウレタン樹脂としてはポリカーボネートポリウレタン樹脂が挙げられる。さらに、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂は併用しても良く、上記の他のバインダー樹脂を併用してもよい。
(Binder resin of coat layer D)
The binder resin constituting the slippery coating layer is not particularly limited, but specific examples of the polymer include a polyester resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyvinyl resin (eg, polyvinyl alcohol), a polyalkylene glycol, a polyalkyleneimine, and methylcellulose. , Hydroxycellulose, starch and the like. Among these, it is preferable to use a polyester resin, an acrylic resin, or a urethane resin from the viewpoint of retaining particles and adhesion. Further, in consideration of compatibility with the polyester film, a polyester resin is particularly preferable. In order to achieve solubility and dispersibility in a solvent and adhesion to a base film and other layers, the polyester of the binder is preferably a copolymer polyester. Incidentally, the polyester resin may be modified with polyurethane. Another preferred binder resin that forms the easy-to-lubricate coating layer on the polyester base film is urethane resin. Examples of the urethane resin include a polycarbonate polyurethane resin. Further, a polyester resin and a polyurethane resin may be used in combination, and the above-mentioned other binder resins may be used in combination.

(コート層Dの架橋剤)
本発明において、易滑塗布層中に架橋構造を形成させるために、易滑塗布層は架橋剤が含まれて形成されていてもよい。架橋剤を含有させることにより、高温高湿下での密着性を更に向上させることが可能になる。具体的な架橋剤としては、尿素系、エポキシ系、メラミン系、イソシアネート系、オキサゾリン系、カルボジイミド系、アジリジン等が挙げられる。また、架橋反応を促進させるため、触媒等を必要に応じて適宜使用することができる。
(Crosslinking agent for coat layer D)
In the present invention, in order to form a crosslinked structure in the slippery coating layer, the slippery coating layer may be formed to contain a crosslinking agent. By including a crosslinking agent, it is possible to further improve the adhesion under high temperature and high humidity. Specific examples of the crosslinking agent include urea-based, epoxy-based, melamine-based, isocyanate-based, oxazoline-based, carbodiimide-based, and aziridine. In addition, a catalyst or the like can be appropriately used as needed to promote the crosslinking reaction.

(コート層D中の粒子)
易滑塗布層は、表面にすべり性を付与するために、滑剤粒子を含むことが好ましい。粒子は、無機粒子であっても、有機粒子であってもよく、特に限定されるものではないが、(1)シリカ、カオリナイト、タルク、軽質炭酸カルシウム、重質炭酸カルシウム、ゼオライト、アルミナ、硫酸バリウム、カーボンブラック、酸化亜鉛、硫酸亜鉛、炭酸亜鉛、酸化ジルコニウム、二酸化チタン、サチンホワイト、珪酸アルミニウム、ケイソウ土、珪酸カルシウム、水酸化アルミニウム、加水ハロイサイト、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、リン酸カルシウム、水酸化マグネシウム、硫酸バリウム等の無機粒子、(2)アクリルあるいはメタアクリル系、塩化ビニル系、酢酸ビニル系、ナイロン、スチレン/アクリル系、スチレン/ブタジエン系、ポリスチレン/アクリル系、ポリスチレン/イソプレン系、ポリスチレン/イソプレン系、メチルメタアクリレート/ブチルメタアクリレート系、メラミン系、ポリカーボネート系、尿素系、エポキシ系、ウレタン系、フェノール系、ジアリルフタレート系、ポリエステル系等の有機粒子が挙げられるが、塗布層に適度な滑り性を与えるために、シリカが特に好ましく使用される。
(Particles in coat layer D)
The slippery coating layer preferably contains lubricant particles in order to impart slipperiness to the surface. The particles may be inorganic particles or organic particles, and are not particularly limited. (1) Silica, kaolinite, talc, light calcium carbonate, heavy calcium carbonate, zeolite, alumina, Barium sulfate, carbon black, zinc oxide, zinc sulfate, zinc carbonate, zirconium oxide, titanium dioxide, satin white, aluminum silicate, diatomaceous earth, calcium silicate, aluminum hydroxide, hydrohaloysite, calcium carbonate, magnesium carbonate, calcium phosphate, hydroxylated Inorganic particles such as magnesium and barium sulfate, (2) acrylic or methacrylic, vinyl chloride, vinyl acetate, nylon, styrene / acrylic, styrene / butadiene, polystyrene / acrylic, polystyrene / isoprene, polystyrene / Iso Organic particles such as len-based, methyl methacrylate / butyl methacrylate-based, melamine-based, polycarbonate-based, urea-based, epoxy-based, urethane-based, phenol-based, diallyl phthalate-based, and polyester-based are exemplified, but are suitable for a coating layer. Silica is particularly preferably used to provide lubricity.

粒子の平均粒径は10nm以上であることが好ましく、より好ましくは20nm以上であり、さらに好ましくは30nm以上である。粒子の平均粒径は10nm以上であると、凝集しにくく、滑り性が確保できて好ましい。   The average particle size of the particles is preferably 10 nm or more, more preferably 20 nm or more, and further preferably 30 nm or more. It is preferable that the average particle diameter of the particles is 10 nm or more, since the particles are hardly aggregated and the slipperiness can be secured.

粒子の平均粒径は1000nm以下であることが好ましく、より好ましくは800nm以下であり、さらに好ましくは600nm以下である。粒子の平均粒径が1000nm以下であると、透明性が保たれ、また、粒子が脱落することがなく好ましい。   The average particle size of the particles is preferably 1000 nm or less, more preferably 800 nm or less, and even more preferably 600 nm or less. When the average particle diameter of the particles is 1000 nm or less, the transparency is maintained, and the particles do not fall off, which is preferable.

また、例えば、平均粒径が10〜270nm程度の小さい粒子と、平均粒径が300〜1000nm程度の大きい粒子を混用することも、後述の領域表面平均粗さ(Sa)、最大突起高さ(Rp)を小さく保ちながら、粗さ曲線要素の平均長さ(RSm)を小さくして、すべり性と平滑性を両立させる上で好ましく、特に好ましくは、30nm以上250nm以下の小さい粒子と、平均粒径が350〜600nmの大きい粒子を併用することである。小さい粒子と大きい粒子を混用する場合、塗布層固形分全体に対して、小さい粒子の質量含有率を大きい粒子の質量含有率より大きくしておくことが好ましい。   Further, for example, mixing small particles having an average particle diameter of about 10 to 270 nm and large particles having an average particle diameter of about 300 to 1000 nm can also be achieved by the following method. It is preferable to reduce the average length (RSm) of the roughness curve element while keeping Rp) small, and to achieve both smoothness and smoothness. Particularly preferable are small particles of 30 nm or more and 250 nm or less, Large particles having a diameter of 350 to 600 nm are used in combination. When the small particles and the large particles are mixed, it is preferable that the mass content of the small particles is larger than the mass content of the large particles with respect to the entire solid content of the coating layer.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aには、ピンホール低減の観点から、滑剤などの粒子の混入を防ぐため、再生原料などを使用しないことが好ましい。   From the viewpoint of reducing pinholes, it is preferable not to use a recycled material or the like in the surface layer A on the side where the release layer is provided, in order to prevent particles such as a lubricant from being mixed.

上記離型層を設ける側の層である表面層Aの厚み比率は、基材フィルムの全層厚みの20%以上50%以下であることが好ましい。20%以上であれば、表面層Bなどに含まれる粒子の影響をフィルム内部から受けづらく、領域表面平均粗さSaが上記の範囲を満足することが容易であり好ましい。基材フィルムの全層の厚みの50%以下であると、表面層Bにおける再生原料の使用比率を増やすことができ、環境負荷が小さく好ましい。   The thickness ratio of the surface layer A on the side where the release layer is provided is preferably 20% or more and 50% or less of the total thickness of the base film. If it is 20% or more, the influence of the particles contained in the surface layer B and the like is hardly affected from the inside of the film, and it is easy to satisfy the above-mentioned range of the area average surface roughness Sa, which is preferable. When the thickness is not more than 50% of the thickness of all the layers of the base film, the usage ratio of the recycled material in the surface layer B can be increased and the environmental load is preferably small.

また、経済性の観点から上記表面層A以外の層(表面層Bもしくは前述の芯層C)には、50〜90質量%のフィルム屑やペットボトルの再生原料を使用することができる。この場合でも、表面層Bに含まれる滑剤の種類や量、粒子径ならびに領域表面平均粗さ(Sa)は、上記の範囲を満足することが好ましい。   In addition, from the viewpoint of economy, the layers other than the surface layer A (the surface layer B or the above-mentioned core layer C) can be made of 50 to 90% by mass of film waste or PET bottle recycled material. Even in this case, it is preferable that the type and amount of lubricant contained in the surface layer B, the particle diameter, and the average surface roughness (Sa) satisfy the above ranges.

また、後に塗布する離型層などの密着性を向上させたり、帯電を防止するなどのために表面層A及び/または表面層Bの表面に製膜工程内の延伸前または一軸延伸後のフィルムにコート層を設けてもよく、コロナ処理などを施すこともできる。コート層も設ける場合は、各層のSaはコート層表面の測定値で代用する。また、表面層Aの表面にこれらコート層を設ける場合は、粒子を含有しないことが好ましい。   In addition, a film before or after uniaxial stretching in the film forming process is applied to the surface of the surface layer A and / or the surface layer B in order to improve the adhesion of a release layer or the like to be applied later or to prevent electrification. May be provided with a coat layer, or a corona treatment or the like may be performed. When a coat layer is also provided, the measured value of the surface of the coat layer is substituted for Sa of each layer. When these coat layers are provided on the surface of the surface layer A, it is preferable that no particles are contained.

(離型層) (Release layer)

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、セラミックグリーンシート付き離型フィルムを後述のハーフカットをした際に一定以上の「浮き」が発生することが好ましい。本発明者らは鋭意検討を行った結果、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムの離型層の領域表面平均粗さ(Sa)は、前記の「浮き」と関連があると考えられ、離型層の領域表面平均粗さ(Sa)が5〜40nmの範囲であることが好ましい。しかしながら一方で、離型層の最大突起高さ(Rp)が一定以上である場合はセラミックグリーンシートのピンホール等の不具合が発生し易くなることから、離型層の最大突起高さ(Rp)は60nm以下であることが好ましい。   In the release film for manufacturing a ceramic green sheet of the present invention, it is preferable that a certain amount or more of “floating” occurs when the release film with the ceramic green sheet is half-cut as described below. The present inventors have conducted intensive studies and as a result, it is considered that the area surface average roughness (Sa) of the release layer of the release film for producing a ceramic green sheet is related to the above-mentioned “floating”. It is preferable that the region average surface roughness (Sa) of the layer is in the range of 5 to 40 nm. However, on the other hand, when the maximum protrusion height (Rp) of the release layer is equal to or more than a certain value, problems such as pinholes of the ceramic green sheet are likely to occur, and therefore, the maximum protrusion height (Rp) of the release layer. Is preferably 60 nm or less.

本発明において、離型フィルムの離型層上に積層したセラミックグリーンシートを剥離する際、セラミックグリーンシートが十分な剥離性を有することが求められる。特に薄層のセラミックシートを剥離する際には、セラミックシートをハーフカットした段階であらかじめ十分な剥離切欠を生じさせることが好ましい。剥離切欠が十分であると、セラミックシートを剥離した場合、セラミックグリーンシートの破れやひずみ等の欠点が生じにくくなり、最終製品において電極のショート等の問題を容易に回避することができ好ましい。   In the present invention, when the ceramic green sheet laminated on the release layer of the release film is peeled, it is required that the ceramic green sheet has sufficient peelability. In particular, when peeling a thin ceramic sheet, it is preferable to generate a sufficient peeling notch in advance at the stage where the ceramic sheet is half-cut. When the peeling notch is sufficient, when the ceramic sheet is peeled, defects such as breakage and distortion of the ceramic green sheet hardly occur, and problems such as short-circuiting of the electrode in the final product can be easily avoided, which is preferable.

本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、離型層のポリエステルフィルムの反対側の表面にセラミックスラリーを塗布、乾燥して得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを、以下の方法によりハーフカットを行うことによってセラミックグリーンシートの剥離切欠の生じやすさを容易に数値化できることを見出した。   The present inventors have conducted intensive studies, and as a result, applied a ceramic slurry to the surface of the release layer opposite to the polyester film, and half-cut the release film with the ceramic green sheet obtained by drying by the following method. It has been found that by performing the above, the easiness of occurrence of peeling notch of the ceramic green sheet can be easily quantified.

以下、図1及び2を用いて説明する。セラミックグリーンシート付き離型フィルムのハーフカットにはロータリーダイカッター等を使用し、ピナクルダイ等の抜き型(図2の符号9)をセラミックグリーンシート付き離型フィルム(図2の符号7)のセラミックグリーンシート(図2の符号6)の表面に押し当てることでセラミックグリーンシート付き離型フィルムのセラミックグリーンシート部(図2の符号6)をカットすることでハーフカットを行う。この際、ハーフカット時にはセラミックグリーンシート部(図2の符号6)が完全にカットされるだけでなく、離型フィルム(図2の符号5)部についてもハーフカット痕(図1の符号2)が残るようにハーフカットすることが望ましい。このとき、離型フィルムのハーフカット痕(図1の符号2)は、離型フィルムの厚みにもよるが、離型フィルムの離型層表面から深さが(図示していないが)10μm以下であることが好ましく、ハーフカット痕(図1の符号2)の矢印の間隔の幅が50μm以下であることが望ましい。離型フィルムの離型層表面から深さは1μm以上10μm以下であることがより好ましく、ハーフカット痕(図1の符号2)の矢印の間隔の幅は5μm以上50μm以下であることがより好ましい。ハーフカット痕の深さが1μm以上であり、幅が5μm以上であると、セラミックグリーンシートが完全にカットされて望ましい。また、離型フィルムの厚みにもよるが、深さが10μm以下であり、幅が50μm以下である場合は、離型フィルムが打ち抜かれるおそれがなく、ハーフカット部周辺のせん断量が多過ぎずセラミックグリーンシートが破損するおそれがなく好ましい。   This will be described below with reference to FIGS. A half-cutting of the release film with the ceramic green sheet is performed by using a rotary die cutter or the like, and a punching die such as a pinnacle die (reference numeral 9 in FIG. 2) is used as the ceramic of the release film with the ceramic green sheet (reference numeral 7 in FIG. 2). Half cutting is performed by pressing the surface of the green sheet (reference numeral 6 in FIG. 2) to cut the ceramic green sheet portion (reference numeral 6 in FIG. 2) of the release film with the ceramic green sheet. At this time, at the time of half-cutting, not only the ceramic green sheet portion (reference numeral 6 in FIG. 2) is completely cut, but also the release film (reference numeral 5 in FIG. 2) half-cut marks (reference numeral 2 in FIG. 1). It is desirable to perform half-cut so as to remain. At this time, the half-cut mark (2 in FIG. 1) of the release film has a depth (not shown) of 10 μm or less from the surface of the release layer of the release film, depending on the thickness of the release film. It is preferable that the width of the interval between the arrows of the half-cut mark (reference numeral 2 in FIG. 1) is 50 μm or less. The depth from the surface of the release layer of the release film is more preferably 1 μm or more and 10 μm or less, and the width of the half-cut mark (reference numeral 2 in FIG. 1) between arrows is more preferably 5 μm or more and 50 μm or less. . When the depth of the half-cut mark is 1 μm or more and the width is 5 μm or more, it is desirable that the ceramic green sheet is completely cut. In addition, depending on the thickness of the release film, if the depth is 10 μm or less and the width is 50 μm or less, there is no possibility that the release film is punched out, and the shear amount around the half cut portion is not too large. It is preferable because there is no possibility that the ceramic green sheet is damaged.

ロータリーダイカッター等を使用する場合、上記のようにハーフカット痕を調整するためにピナクルダイ(図2の符号9)とセラミックグリーンシート付き離型フィルム(図2の符号7)の間およびセラミックグリーンシート付き離型フィルム(図2の符号7)とローダリーダイカッター駆動部との間にハーフカット深さ調整用ポリエステルフィルム(図2の符号4、符号8)を設置することが望ましい。ハーフカット深さ調整用ポリエステルフィルムはハーフカット痕が上記の条件になるように適宜厚さを調整することが望ましい。   When a rotary die cutter or the like is used, in order to adjust the half-cut marks as described above, between the pinnacle die (reference numeral 9 in FIG. 2) and the release film with ceramic green sheet (reference numeral 7 in FIG. 2) and ceramic green It is desirable to install a half-cut depth adjusting polyester film (reference numerals 4 and 8 in FIG. 2) between the release film with sheet (reference numeral 7 in FIG. 2) and the loader die cutter driving unit. It is desirable that the thickness of the half-cut depth adjusting polyester film is appropriately adjusted so that the half-cut marks satisfy the above conditions.

本発明者らは上記の条件でセラミックグリーンシートをハーフカットした場合に、以下の式を満たすときに後工程の剥離工程においてセラミックグリーンシートの破れやひずみ等の欠点が発生しないような十分な浮き(セラミックグリーンシートが離型フィルムから部分的に自然に僅かに剥離する現象)が確保されることを見出した。

A/B ≧ 20

A:ハーフカット痕の周囲のセラミックシートの浮きの幅(μm)
B:離型層表面におけるハーフカット痕の幅(μm)

ここで、(A)のハーフカット痕の周囲のセラミックシートの浮きの幅(μm)は、図1の符号3の矢印の間隔に対応している。また、(B)の離型層表面におけるハーフカット痕の幅(μm)は、上述のように図1の符号2の矢印の間隔に対応している。
The present inventors have found that when the ceramic green sheet is half-cut under the above conditions, when the following formula is satisfied, sufficient lifting such that defects such as breakage and distortion of the ceramic green sheet do not occur in the subsequent peeling step. (A phenomenon in which the ceramic green sheet partially and spontaneously peels off from the release film) has been found to be secured.

A / B ≧ 20

A: Floating width of the ceramic sheet around the half-cut mark (μm)
B: Width of half-cut mark on release layer surface (μm)

Here, the floating width (μm) of the ceramic sheet around the half-cut mark in (A) corresponds to the interval indicated by the arrow 3 in FIG. Further, the width (μm) of the half-cut mark on the surface of the release layer in (B) corresponds to the interval of the arrow 2 in FIG. 1 as described above.

上術のように、セラミックグリーンシート付き離型フィルムを後述のハーフカットをした際に一定以上の「浮き」が発生させるために、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムは離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)を一定レベルに高くすることが好ましいが、最大突起高さ(Rp)はより小さく制御することが好ましい。この条件を満たすことにより、従来技術では得られない平滑性と離型性・剥離性を兼備したセラミックシート製造用離型フィルムを得ることができる。   As described above, when a release film with a ceramic green sheet is half-cut as described below, a certain amount or more of “floating” occurs, so that the release film for producing a ceramic green sheet is formed on the surface of the release layer surface. It is preferable to increase the average roughness (Sa) to a certain level, but it is preferable to control the maximum protrusion height (Rp) to be smaller. By satisfying these conditions, it is possible to obtain a release film for producing a ceramic sheet having both smoothness, releasability, and releasability that cannot be obtained by conventional techniques.

本発明における離型層表面は、前述の最大突起高さ(Rp)の小ささを満たすことが好ましい。また、離型層表面の前述の領域表面平均粗さ(Sa)と前記の領域表面平均粗さ(Sa)と最大突起高さ(Rp)を兼備させるためには、離型層中に相互に非相溶な異種類の化合物で海島構造を形成し、適度な離型層表面粗さとする等の方策が挙げられる。   It is preferable that the release layer surface in the present invention satisfies the above-mentioned small maximum protrusion height (Rp). In order to combine the above-mentioned area average surface roughness (Sa), the above-mentioned area average surface roughness (Sa), and the maximum projection height (Rp) of the release layer surface with each other, it is necessary to form the release layer with each other. There is a method of forming a sea-island structure with incompatible compounds of different types to obtain an appropriate release layer surface roughness.

以下に、離型層表面に海島構造による表面凹凸を設ける好ましい態様について説明する。本発明における離型層は、1分子内に3以上の反応性基を有するエネルギー線硬化型化合物(I)と前記エネルギー線硬化型化合物(I)と非相溶であり相分離して海島構造を形成する樹脂(II)と、離型成分(III)とを少なくとも含む塗膜を硬化してなることが好ましい。エネルギー線硬化型化合物(I)と樹脂(II)が相分離して海島構造を形成することで、適度な高さの凹凸を簡便に形成でき、粗大突起が発生しないことから、グリーンシートにピンホールなどが発生しない。また、平面部分がほとんどなくなり、点での剥離となるため脆質な超薄層セラミックグリーンシートであっても、ジッピング無く剥離することができるため、クラックや変形などのダメージを抑制することができる。   Hereinafter, a preferred embodiment in which surface irregularities having a sea-island structure are provided on the surface of the release layer will be described. The release layer in the present invention is an energy ray-curable compound (I) having three or more reactive groups in one molecule and is incompatible with the energy ray-curable compound (I), and undergoes phase separation to form a sea-island structure. It is preferable to cure a coating film containing at least the resin (II) forming the resin and the release component (III). Since the energy ray-curable compound (I) and the resin (II) phase-separate to form a sea-island structure, irregularities of moderate height can be easily formed and coarse projections do not occur. No holes are generated. In addition, since the flat portion is almost eliminated, and peeling is performed at a point, even a brittle ultra-thin ceramic green sheet can be peeled without zipping, thereby suppressing damage such as cracks and deformation. .

(1分子内に3以上の反応性基を有するエネルギー線硬化型化合物(I))
本発明で用いるエネルギー線硬化型化合物(I)としては、1分子内に3以上の反応性基を有するエネルギー線硬化型化合物を用いることができる。1分子内に3以上の反応性基を有することで、高弾性率の離型層となり、グリーンシート剥離時の離型層の変形を抑制し、重剥離化を抑制することができる。また、離型層の耐溶剤性を向上させることができるためスラリー塗工時に溶剤による離型層の浸食なども防げるため好ましい。また、1分子内に3以上の反応性基を有するエネルギー線硬化型化合物としては、エネルギー線により直接的に反応するか、または間接的に発生した活性種により反応するかは特に限定しない。エネルギー線硬化型化合物(I)の離型層形成用塗布液中の固形分中の含有量としては、60〜98質量%が好ましく、75〜97質量%が好ましい。60質量%以上添加することで架橋度を維持し、高弾性率を得ることができる。
(Energy ray-curable compound (I) having three or more reactive groups in one molecule)
As the energy ray-curable compound (I) used in the present invention, an energy ray-curable compound having three or more reactive groups in one molecule can be used. By having three or more reactive groups in one molecule, a release layer having a high elastic modulus can be obtained, and deformation of the release layer at the time of peeling the green sheet can be suppressed, and heavy release can be suppressed. In addition, since the solvent resistance of the release layer can be improved, erosion of the release layer by a solvent at the time of slurry application can be prevented, which is preferable. The energy ray-curable compound having three or more reactive groups in one molecule is not particularly limited as to whether it reacts directly with an energy ray or reacts with an indirectly generated active species. The content of the energy ray-curable compound (I) in the solid content in the coating solution for forming a release layer is preferably from 60 to 98% by mass, and more preferably from 75 to 97% by mass. By adding 60% by mass or more, the degree of crosslinking can be maintained and a high elastic modulus can be obtained.

エネルギー線硬化型化合物(I)の反応性基としては、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基、アクリルアミド基、マレイミド基、エポキシ基、シクロヘキセンオキシド基などが挙げられる。その中でも、加工性に優れる(メタ)アクリロイル基を有するエネルギー線硬化型化合物が好ましい。   Examples of the reactive group of the energy ray-curable compound (I) include a (meth) acryloyl group, an alkenyl group, an acrylamide group, a maleimide group, an epoxy group, and a cyclohexene oxide group. Among them, an energy ray-curable compound having a (meth) acryloyl group having excellent workability is preferable.

(メタ)アクリロイル基を有するエネルギー線硬化型化合物としては、モノマー、オリゴマー、ポリマーに限定されず使用できる。また、少なくとも1分子内に3以上の反応性基を有する化合物を含有していることが好ましいが、分子内に1〜2の反応性基を有する化合物など2以上の化合物を混合して使用することもできる。これら反応基数が少ない化合物を混合することで、カールなどを抑制することができる。   The energy ray-curable compound having a (meth) acryloyl group can be used without being limited to a monomer, an oligomer or a polymer. In addition, it is preferable to contain at least one compound having three or more reactive groups in one molecule, but two or more compounds such as compounds having one to two reactive groups in a molecule are used as a mixture. You can also. By mixing these compounds having a small number of reactive groups, curling and the like can be suppressed.

分子内に3以上の(メタ)アクリロイル基を有するエネルギー線硬化型モノマーとしては、イソシアヌル酸トリアクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレートとそれらのエチレンオキサイド変性物、プロピレンオキサイド変性物、カプロラクトン変性物等が挙げられる。   Examples of energy ray-curable monomers having three or more (meth) acryloyl groups in the molecule include isocyanuric acid triacrylate, glycerin tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, Methylolpropane tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropanetetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meta) ) Polyfunctional (meth) acrylates such as acrylates and their ethylene oxide modified products, propylene oxide modified products, caprolactone modified products, etc. .

分子内に1〜2の反応性基を有するエネルギー線硬化型モノマーとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ベヘニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、環状トリメチロールプロパンホルマール(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ペンタメチルピペリジニル(メタ)アクリレート、テトラメチルピペリジニル(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレートなどのモノマー類とそれらのエチレンオキサイド変性物、プロピレンオキサイド変性物、カプロラクトン変性物等が挙げられる。   Examples of the energy ray-curable monomer having 1 to 2 reactive groups in the molecule include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, Isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, Nonyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, behenyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, cyclic trimethylolpropane formal (Meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, Benzyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, pentamethylpiperidinyl (meth) acrylate, tetramethylpiperidinyl (meth) acrylate, 1 , 4-butanediol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, nonanediol di (meth) acrylate, bisphenol A di (meth) acrylate Rate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, monomers and their ethylene oxide-modified products such as cyclohexane diol di (meth) acrylate, propylene oxide-modified products, caprolactone-modified products, and the like.

分子内に3以上の(メタ)アクリロイル基を有するエネルギー線硬化型オリゴマー類としては、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、エポキシアクリレート、シリコーン変性アクリレートなどが挙げられ、一般に市販されているものが使用できる。例えば、荒川化学工業社製ビームセット(登録商標)シリーズ、新中村化学社製NKオリゴシリーズ、ダイセル・オルネクス社製EBECRYLシリーズ、大阪有機化学工業社製ビスコートシリーズ、共栄社化学社製ウレタンアクリレートシリーズ、DIC社製ユニディックシリーズなどが挙げられる。   Examples of energy ray-curable oligomers having three or more (meth) acryloyl groups in the molecule include urethane acrylate, polyester acrylate, polyether acrylate, epoxy acrylate, and silicone-modified acrylate, and those commercially available are generally available. Can be used. For example, beam set (registered trademark) series manufactured by Arakawa Chemical Industry Co., Ltd., NK oligo series manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., EBECRYL series manufactured by Daicel Ornex, Biscoat series manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd., urethane acrylate series manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., DIC's Unidick series.

分子内に3以上の(メタ)アクリロイル基を有するエネルギー線硬化型ポリマー類としては、ポリマーに(メタ)アクリロイル基をグラフトしたグラフトポリマーや、多官能アクリルモノマーをポリマー末端に付加させたブロックポリマーなどが挙げられる。前記のようなポリマー類としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリオルガノシロキサンなど使用でき、特に限定されるものではない。   Examples of the energy ray-curable polymers having three or more (meth) acryloyl groups in the molecule include a graft polymer obtained by grafting a (meth) acryloyl group to a polymer and a block polymer obtained by adding a polyfunctional acrylic monomer to a polymer terminal. Is mentioned. As the above-mentioned polymers, an acrylic resin, an epoxy resin, a polyester resin, a polyorganosiloxane, or the like can be used, and is not particularly limited.

(樹脂(II))
本発明において離型層形成用塗布液中で用いる樹脂(II)としては、エネルギー線硬化型化合物(I)と同一の溶媒に溶解又は分散し塗剤の状態では両者が溶解又は分散した状態であるが、塗布後、溶媒の乾燥、硬化を経て形成された離型層中では相互に非相溶であり、エネルギー線硬化型化合物(I)を海成分とし樹脂(II)を島成分として海島構造を形成することが好ましく、樹脂(II)としては前記要件を満たせば特に限定せず使用できる。2以上の樹脂を同時に用いることもできる。樹脂(II)の離型層形成用塗布液中の固形分中の含有量として、1〜40質量%が好ましく、1〜10質量%が好ましい。1質量%以上含有させることで十分な凹凸を形成することができ、40質量%以下にすることで離型層の架橋度が高く、剥離時の温度依存性が低く好ましい。
(Resin (II))
In the present invention, the resin (II) used in the coating liquid for forming a release layer is dissolved or dispersed in the same solvent as the energy ray-curable compound (I), and in the state of a coating material, both are dissolved or dispersed. However, it is incompatible with each other in the release layer formed after drying and curing of the solvent after coating, and the energy ray-curable compound (I) is used as a sea component, and the resin (II) is used as an island component. It is preferable to form a structure, and the resin (II) can be used without any particular limitation as long as the above requirements are satisfied. Two or more resins can be used simultaneously. The content of the resin (II) in the solid content of the coating solution for forming a release layer is preferably 1 to 40% by mass, and more preferably 1 to 10% by mass. When the content is 1% by mass or more, sufficient unevenness can be formed, and when the content is 40% by mass or less, the degree of crosslinking of the release layer is high, and the temperature dependency at the time of peeling is low, which is preferable.

樹脂(II)としては、例えば、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリエステルウレタン樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、セルロース系樹脂など、溶剤可溶型であれば特に限定なく使用できるが、エネルギー線硬化型化合物(I)と非相溶の樹脂であることが条件となる。   As the resin (II), for example, a polyester resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester urethane resin, a polyimide resin, a polyamideimide resin, a cellulose resin, and the like can be used without particular limitation as long as the solvent is soluble. The condition is that the resin is incompatible with the energy ray-curable compound (I).

ポリエステル樹脂としては、特に限定されず、市販のものを使用することができる。例えば、東洋紡社製バイロン(登録商標)シリーズ、日本合成化学工業社製ニチゴーポリエスター(登録商標)シリーズなどが挙げられる。   The polyester resin is not particularly limited, and a commercially available polyester resin can be used. Examples include the Byron (registered trademark) series manufactured by Toyobo and the Nichigo Polyester (registered trademark) series manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry.

アクリル樹脂としては、アクリル酸エステルを重合したオリゴマー、ポリマーをいい、ホモポリマーであってもコポリマーであっても構わない。また、市販のものを使用することができる。例えば、DIC株式会社製アクリディック(登録商標)シリーズ、東亞合成社製ARFON(登録商標)シリーズなどが挙げられる。   The acrylic resin refers to an oligomer or polymer obtained by polymerizing an acrylate, and may be a homopolymer or a copolymer. Also, commercially available products can be used. For example, ADICIC (registered trademark) series manufactured by DIC Corporation, ARFON (registered trademark) series manufactured by Toagosei Co., Ltd., and the like can be mentioned.

ポリエステルウレタン樹脂としては、東洋紡社製バイロン(登録商標)URシリーズなどを挙げることができる。   Examples of the polyester urethane resin include Byron (registered trademark) UR series manufactured by Toyobo.

(離型成分(III))
本発明において離型層形成用塗布液中で用いる離型成分(III)としては、ポリオルガノシロキサン、フッ素化合物、長鎖アルキル化合物、ワックス類などグリーンシートとの間で離型性を発揮できる材料であればよく特に限定はない。またこれらの材料に(メタ)アクリロイル基などを有するエネルギー線硬化型化合物(I)と反応して結合できる官能基を有する材料が好ましい。また2種以上の材料を混合して用いることもできる。離型成分(III)の離型層形成用塗布液中の固形分中の含有量としては、0.05〜10質量%が好ましく、0.1〜5質量%がさらに好ましい。0.05質量%以上添加されていれば剥離力が軽くでき、10質量%以下であれば離型成分のセラミックグリーンシート等への移行が抑えられるため好ましい。
(Release component (III))
The release component (III) used in the coating liquid for forming a release layer in the present invention is a material capable of exhibiting release properties with a green sheet, such as a polyorganosiloxane, a fluorine compound, a long-chain alkyl compound, or a wax. There is no particular limitation as long as it is sufficient. Further, a material having a functional group which can react with and bond to the energy ray-curable compound (I) having a (meth) acryloyl group or the like is preferable. Further, two or more kinds of materials can be mixed and used. The content of the release component (III) in the solid content in the coating liquid for forming a release layer is preferably 0.05 to 10% by mass, more preferably 0.1 to 5% by mass. Addition of 0.05% by mass or more is preferred because the peeling force can be reduced and 10% by mass or less can suppress the transfer of the release component to the ceramic green sheet or the like.

ポリオルガノシロキサンとしては、ポリジメチルシロキサン、ポリジエチルシロキサン、ポリフェニルシロキサンなどの他、一部を有機変性したシロキサン系化合物や、ポリオルガノシロキサンを有するブロックポリマーや、ポリオルガノシロキサンをグラフトしたポリマーなども使用できる。市販のものとしては、例えば、ビックケミージャパン社製BYK(登録商標)シリーズ、日油社製モディパー(登録商標)シリーズなど使用できる。   Examples of the polyorganosiloxane include polydimethylsiloxane, polydiethylsiloxane, polyphenylsiloxane, a partially organically modified siloxane-based compound, a block polymer having a polyorganosiloxane, and a polymer obtained by grafting a polyorganosiloxane. Can be used. As commercially available products, for example, BYK (registered trademark) series manufactured by BYK Japan KK and Modiper (registered trademark) series manufactured by NOF Corporation can be used.

フッ素化合物としては、特に限定されず、市販のものを使用することができる。例えば、DIC社製メガファック(登録商標)シリーズなどが挙げられる。   The fluorine compound is not particularly limited, and a commercially available one can be used. For example, there is a MegaFac (registered trademark) series manufactured by DIC Corporation.

長鎖アルキル化合物としては、長鎖アルキルアクリレートを共重合したアクリルポリマーや、長鎖アルキルをグラフトしたグラフトポリマー、長鎖アルキルを末端に付加させたブロックポリマーなどが挙げられる。また特に限定されず、市販のものを使用することができる。例えば、日立化成社製テスファイン(登録商標)シリーズ、ライオン・スペシャリティ・ケミカルズ社製ピーロイル(登録商標)などが挙げられる。   Examples of the long-chain alkyl compound include an acrylic polymer obtained by copolymerizing a long-chain alkyl acrylate, a graft polymer obtained by grafting a long-chain alkyl, and a block polymer having a long-chain alkyl added to a terminal. There is no particular limitation, and commercially available products can be used. Examples include the Tesfine (registered trademark) series manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., and Peiroyl (registered trademark) manufactured by Lion Specialty Chemicals.

加熱乾燥後の離型層を硬化させるための活性エネルギー線としては、例えば、赤外線、可視光線、紫外線、X線のような電磁波、電子線、イオンビーム、中性子線およびα線のような粒子線等が挙げられ、これらの中でも、製造コストに優れる紫外線を用いるのが好ましい。   Examples of active energy rays for curing the release layer after heating and drying include infrared rays, visible rays, ultraviolet rays, electromagnetic waves such as X-rays, electron beams, ion beams, neutron rays, and particle rays such as α rays. Among them, it is preferable to use ultraviolet light which is excellent in production cost.

前記活性エネルギー線を照射するときの雰囲気は、一般的な空気中でも窒素ガス雰囲気下でも構わない。窒素ガス雰囲気では、酸素濃度を減少させることでラジカル反応がスムーズに進行し離型層の弾性率を向上させることができるが、空気中で照射しても実用上問題なければ、空気中で照射する方が経済的観点から好ましい。   The atmosphere for irradiating the active energy ray may be general air or nitrogen gas atmosphere. In a nitrogen gas atmosphere, the radical reaction can proceed smoothly by reducing the oxygen concentration and the elastic modulus of the release layer can be improved. It is preferable to do so from an economic viewpoint.

(光重合開始剤)
本発明の離型層にラジカル重合系化合物を用いる場合は、光重合開始剤を添加することが好ましい。光重合開始剤としては、具体的には、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、2,4−ジエチルチオキサンソン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノン、(2,4,6−トリメチルベンジルジフェニル)フォスフィンオキサイド、2−ベンゾチアゾール−N,N−ジエチルジチオカルバメート等が挙げられる。特に、表面硬化性に優れるとされる、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]−フェニル}−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オンが好ましく、中でも2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オンが特に好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Photopolymerization initiator)
When a radical polymerization compound is used in the release layer of the present invention, it is preferable to add a photopolymerization initiator. Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin benzoic acid, methyl benzoin benzoate, benzoin dimethyl ketal, and 2,4. -Diethylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, benzyldiphenylsulfide, tetramethylthiurammonosulfide, azobisisobutyronitrile, benzyl, dibenzyl, diacetyl, β-chloranthraquinone, (2,4,6-trimethyl (Benzyldiphenyl) phosphine oxide, 2-benzothiazole-N, N-diethyldithiocarbamate and the like. In particular, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl} -2-methylpropan-1-one, which is considered to have excellent surface curability, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1 -One is preferable, and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one are particularly preferable. preferable. These may be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤の添加量は、特に限定されないが、例えば、離型層形成用塗布液中の固形分として0.1から20質量%程度含有させることが好ましい。   The amount of the photopolymerization initiator to be added is not particularly limited. For example, it is preferable that the photopolymerization initiator be contained in an amount of about 0.1 to 20% by mass as a solid content in the coating solution for forming a release layer.

本発明における離型層には、粒子径が1μm以下の粒子などを含有することができるが、ピンホール発生の観点から粒子など突起を形成するものは含有しないほうが好ましい。   The release layer in the present invention may contain particles having a particle diameter of 1 μm or less, but it is preferable not to contain particles that form projections such as particles from the viewpoint of pinhole generation.

本発明における離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。   An additive such as an adhesion improver or an antistatic agent may be added to the release layer in the present invention as long as the effect of the present invention is not impaired. Further, in order to improve the adhesion to the base material, it is also preferable to perform a pretreatment such as an anchor coat, a corona treatment, a plasma treatment, or an atmospheric pressure plasma treatment on the polyester film surface before providing the release coating layer.

本発明において、離型層の厚みは、その使用目的に応じて設定すれば良く、特に限定されないが、好ましくは、硬化後の離型層が0.02〜3.5μmとなる範囲がよく、より好ましくは、0.5〜3.0μmである。離型層の厚みが0.02μm以上であるとエネルギー線硬化型共重合ポリマーの硬化性が良く、離型層の弾性率が向上するため良好な剥離性能が得られ好ましい。また、3.5μm以下であると、離型フィルムの厚みが薄くなってもカールを起こしにくくセラミックグリーンシートを成型、乾燥する過程で走行性不良を起こさず好ましい。   In the present invention, the thickness of the release layer may be set according to the purpose of use, and is not particularly limited. Preferably, the release layer after curing has a range of 0.02 to 3.5 μm. More preferably, it is 0.5 to 3.0 μm. When the thickness of the release layer is 0.02 μm or more, the curability of the energy ray-curable copolymer is good, and the elasticity of the release layer is improved, so that good release performance can be obtained, which is preferable. Further, when the thickness is 3.5 μm or less, curling hardly occurs even when the thickness of the release film is reduced, and the running property is not deteriorated in the process of molding and drying the ceramic green sheet, which is preferable.

本発明における離型層には、本発明の効果を阻害しない範囲であれば、密着向上剤や、帯電防止剤、界面活性剤などの添加剤などを添加してもよい。また、基材との密着性を向上させるために、離型塗布層を設ける前にポリエステルフィルム表面に、アンカーコート、コロナ処理、プラズマ処理、大気圧プラズマ処理等の前処理をすることも好ましい。   An additive such as an adhesion improver, an antistatic agent and a surfactant may be added to the release layer in the present invention as long as the effect of the present invention is not impaired. Further, in order to improve the adhesion to the base material, it is also preferable to perform a pretreatment such as an anchor coat, a corona treatment, a plasma treatment, or an atmospheric pressure plasma treatment on the polyester film surface before providing the release coating layer.

本発明の離型フィルムは、セラミックシートのピンホール等の欠点を抑制する考え方から離型層表面の最大突起高さ(Rp)が60nm以下であることが好ましい。しかし、上記のセラミックグリーンシートのハーフカット時の「浮き」の観点から、離型層表面が適度な凹凸があることが好ましい。そのため、離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が5〜40nmであることが好ましい。また、前記のSaを満足し、且つ離型層表面の最大突起高さ(Rp)が60nm以下であることが更に好ましい。さらには領域表面平均粗さ(Sa)は5〜20nmが好ましく、その際同時に最大突起高さ(Rp)が50nm以下であることが特に好ましい。領域表面平均粗さ(Sa)が5nm以上であれば、セラミックグリーンシートハーフカット時にハーフカット周囲に十分な浮きが発生し、セラミックグリーンシートにダメージを与えることなく剥離することが可能になる。また領域表面平均粗さ(Sa)が40nm以下であれば、セラミックの粒径よりも十分に小さく、グリーンシートの表面形状に影響を及ぼすことが無い。   The release film of the present invention preferably has a maximum protrusion height (Rp) of 60 nm or less on the surface of the release layer from the viewpoint of suppressing defects such as pinholes of the ceramic sheet. However, from the viewpoint of "floating" at the time of half-cutting of the ceramic green sheet, it is preferable that the surface of the release layer has moderate unevenness. Therefore, it is preferable that the average surface roughness (Sa) of the release layer surface is 5 to 40 nm. Further, it is more preferable that the above-mentioned Sa is satisfied and the maximum projection height (Rp) of the surface of the release layer is 60 nm or less. Further, the average surface roughness (Sa) of the region is preferably 5 to 20 nm, and at the same time, the maximum projection height (Rp) is particularly preferably 50 nm or less. If the average surface roughness (Sa) is 5 nm or more, sufficient lifting occurs around the half cut of the ceramic green sheet at the time of half cutting, and the ceramic green sheet can be peeled without being damaged. When the average surface roughness (Sa) is 40 nm or less, it is sufficiently smaller than the particle size of the ceramic and does not affect the surface shape of the green sheet.

本発明において、離型層の形成方法は、特に限定されず、離型性の化合物を溶解もしくは分散させた塗液を、基材のポリエステルフィルムの一方の面に塗布等により展開し、溶媒等を乾燥により除去後、硬化させる方法が用いられる。   In the present invention, the method for forming the release layer is not particularly limited, and a coating liquid in which a release compound is dissolved or dispersed is spread on one surface of a polyester film of a base material by coating or the like, and a solvent or the like is developed. Is removed and then cured.

本発明の離型層を基材フィルム上に溶液塗布により塗布する場合の溶媒乾燥の乾燥温度は、50℃以上、120℃以下であることが好ましく、60℃以上、100℃以下であることがより好ましい。その乾燥時間は、30秒以下が好ましく、20秒以下がより好ましい。さらに溶剤乾燥後、活性エネルギー線を照射し硬化反応を進行させることが好ましい。この時用いる活性エネルギー線としては、紫外線、電子線、X線などを使用することができるが、紫外線が使用しやすく好ましい。照射する紫外線量としては光量で30〜300mJ/cmが好ましく、より好ましくは、30〜200mJ/cmである。30mJ/cm以上とすることで組成物の硬化が十分進行し、300mJ/cm以下とすることで加工時の速度を向上させることができるため経済的に離型フィルムを作成することができ好ましい。 When the release layer of the present invention is applied on a substrate film by solution coating, the drying temperature of solvent drying is preferably 50 ° C or more and 120 ° C or less, and is preferably 60 ° C or more and 100 ° C or less. More preferred. The drying time is preferably 30 seconds or less, more preferably 20 seconds or less. Further, it is preferable that after the solvent is dried, the curing reaction proceeds by irradiating with an active energy ray. As the active energy ray used at this time, an ultraviolet ray, an electron beam, an X-ray, or the like can be used. Preferably 30~300mJ / cm 2 in quantity as the amount of ultraviolet rays to be irradiated, more preferably 30~200mJ / cm 2. Curing proceed sufficiently in composition by a 30 mJ / cm 2 or more, it is possible to create economically release film it is possible to improve the speed during processing by a 300 mJ / cm 2 or less preferable.

本発明において、離型層を塗布するときの塗液の表面張力は、特に限定されないが30mN/m以下であることが好ましい。表面張力を前記のようにすることで、塗工後の塗れ性が向上し、乾燥後の塗膜表面の凹凸を低減することができる。   In the present invention, the surface tension of the coating liquid when applying the release layer is not particularly limited, but is preferably 30 mN / m or less. By setting the surface tension as described above, the wettability after coating is improved, and the unevenness of the coating film surface after drying can be reduced.

上記塗液の塗布法としては、公知の任意の塗布法が適用出来、例えばグラビアコート法やリバースコート法などのロールコート法、ワイヤーバーなどのバーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、等の従来から知られている方法が利用できる。   As the coating method of the coating liquid, any known coating method can be applied, for example, a roll coating method such as a gravure coating method or a reverse coating method, a bar coating method such as a wire bar, a die coating method, a spray coating method, and an air knife. A conventionally known method such as a coating method can be used.

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムは、離型層上にセラミック微粉末およびバインダー、可塑剤等を含むセラミックスラリーを塗布、乾燥し、電極印刷を行う際の支持体として使用される。このようにして形成されたセラミックグリーンシートは離型フィルム上でハーフカットされたうえ、剥離、積層、焼結工程を経てセラミックコンデンサ等の製品となる。   The release film for producing a ceramic green sheet of the present invention is used as a support when performing electrode printing by applying and drying a ceramic slurry containing fine ceramic powder, a binder, a plasticizer and the like on a release layer. The thus formed ceramic green sheet is half-cut on a release film, and is subjected to a peeling, laminating, and sintering process to obtain a product such as a ceramic capacitor.

本発明を詳細に説明するために、以下に実施例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。本発明で用いた特性値は下記の方法を用いて評価した。   EXAMPLES The present invention will be described in detail with reference to examples below, but the present invention is not limited to these examples. The characteristic values used in the present invention were evaluated using the following methods.

(1)基材フィルム厚み
ミリトロン(電子マイクロインジケーター)を用い、測定すべきフィルムの任意の4箇所より5cm角サンプル4枚を切り取り、一枚あたり各5点(計20点)測定して平均値を厚みとした。
(1) Base film thickness Using a Millitron (electronic microindicator), four 5 cm square samples are cut out from any four points of the film to be measured, and each point is measured at 5 points (20 points in total) and averaged. Is the thickness.

(2)離型層厚み
離型層の厚みは、光干渉式膜厚計(F20、フィルメトリクス社製)を用いて測定した。(離型層の屈折率は1.52として算出)
(2) Release Layer Thickness The thickness of the release layer was measured using a light interference type film thickness meter (F20, manufactured by Filmetrics). (The refractive index of the release layer is calculated as 1.52)

(4)セラミックグリーンシートのピンホール評価
下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径0.5mmのジルコニアビーズを分散媒とするビーズミルを用いて60分間分散し、セラミックスラリーを調製した。
トルエン 76.3質量部
エタノール 76.3質量部
チタン酸バリウム(富士チタン社製 HPBT−1) 35.0質量部
ポリビニルブチラール 3.5質量部
(積水化学工業社製 エスレック(登録商標)BM−S)
DOP(フタル酸ジオクチル) 1.8質量部
次いで離型フィルムサンプルの離型面にアプリケーターを用いて乾燥後のセラミックグリーンシートが0.8μmになるように塗工し90℃で2分乾燥後、離型フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。
得られたセラミックグリーンシートのフィルム幅方向の中央領域において25cm2の範囲でセラミックスラリーの塗布面の反対面から光を当て、光が透過して見えるピンホールの発生状況を観察し、下記基準で目視判定した。測定は5回測定し平均値を採用した。
○:ピンホールの発生がほぼなし(目安:ピンホールが測定面積当たり2個以下)
△:ピンホールの発生があり(目安:ピンホールが測定面積当たり3個以上、5個以下)
×:ピンホールの発生が多数あり(目安:ピンホールが測定面積当たり6個以上)
(4) Pinhole Evaluation of Ceramic Green Sheet A composition comprising the following materials was stirred and mixed, and dispersed for 60 minutes using a bead mill using zirconia beads having a diameter of 0.5 mm as a dispersion medium to prepare a ceramic slurry.
76.3 parts by mass of toluene 76.3 parts by mass of ethanol 76.3 parts by mass of barium titanate (HPBT-1 manufactured by Fuji Titanium Co., Ltd.) 35.0 parts by mass 3.5 parts by mass of polyvinyl butyral 3.5 parts by mass (ESLEC (registered trademark) BM-S manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) )
1.8 parts by mass of DOP (dioctyl phthalate) Next, the release surface of the release film sample is coated using an applicator so that the dried ceramic green sheet has a thickness of 0.8 μm, and dried at 90 ° C. for 2 minutes. The release film was peeled off to obtain a ceramic green sheet.
In the center area of the obtained ceramic green sheet in the film width direction, light is applied from the opposite side of the ceramic slurry application surface within a range of 25 cm 2, and the occurrence of pinholes through which light is visible is observed. Judged. The measurement was performed five times and the average value was adopted.
○: Almost no pinholes (approximate: 2 or less pinholes per measurement area)
△: Pinholes are generated (approximate: 3 or more pinholes per measurement area, 5 or less)
×: Many pinholes occurred (approximate: 6 or more pinholes per measurement area)

(5)セラミックグリーンシートのハーフカット評価
(4)の方法で得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムをロータリーダイカッター(R.D.C(FB)−A4、塚谷刄物製作所社製)を用い、セラミックグリーンシート面側から16mm×32mm角、離型層表面からの深さ約3μm程度になるようハーフカットした。ロータリーダイカッターの刃は両刃50°、刃深度0.3mm、刃高0.6mmのものを使用し、ハーフカットの深さ調整には適当な厚さのポリエステルフィルムをロータリーダイカッターの刃とセラミックグリーンシート間および離型フィルムとアンビルロール間に挟むことにより行った。
ハーフカットされたセラミックグリーンシート付き離型フィルムについて、離型層表面におけるハーフカット痕の幅(A)(単位:μm)と、ハーフカット痕の周囲のセクミックグリーンシートが浮き上がった部分の幅(B)(単位:μm)をレーザー顕微鏡(KEYENCE VK−X100)にて5か所測定し、それぞれの平均値を求めた。測定結果より、以下の式を用いて計算し、セラミックグリーンシートのハーフカット後の浮き易さとした。
A/B
A:ハーフカット痕の周囲のセラミックシートの浮きの幅(μm)
B:離型層表面におけるハーフカット痕の幅(μm)
(5) Half cut evaluation of ceramic green sheet The release film with the ceramic green sheet obtained by the method of (4) was subjected to a rotary die cutter (RDC (FB) -A4, manufactured by Tsukaya Nebuta Seisakusho Co., Ltd.). It was half-cut so as to have a size of 16 mm × 32 mm square from the ceramic green sheet surface side and a depth of about 3 μm from the surface of the release layer. Use a rotary die cutter blade with a double edge of 50 °, a blade depth of 0.3 mm and a blade height of 0.6 mm. To adjust the half-cut depth, use a polyester film of appropriate thickness with the rotary die cutter blade and ceramic. It was carried out by sandwiching between green sheets and between a release film and an anvil roll.
Regarding the half-cut release film with ceramic green sheet, the width of the half-cut mark (A) (unit: μm) on the surface of the release layer and the width of the part where the sexual green sheet around the half-cut mark floats ( B) (unit: μm) was measured at five places with a laser microscope (KEYENCE VK-X100), and the average value of each was determined. From the measurement results, the following formula was used to calculate the value, which was taken as the floatability of the ceramic green sheet after half-cutting.
A / B
A: Floating width of the ceramic sheet around the half-cut mark (μm)
B: Width of half-cut mark on release layer surface (μm)

(6)セラミックグリーンシートの面剥離評価
(5)の方法で得られたハーフカット済みセラミックグリーンシート付き離型フィルムのハーフカット部内側に粘着フィルムを介して剥離用端子を貼り付け、テンシロンにてフィルムと垂直方向に引張速度10m/minで剥離し、剥離時にハーフカット内側に破損したセラミックグリーンシートが残存するかを確認した。剥離試験は1サンプルにつき5回測定し、破損したセラミックグリーンシートが残存した回数をもとに以下の判定を行った。
○:セラミックグリーンシートがほぼ破損しない(破損回数0〜1回)
△:セラミックグリーンシートが破損することがある(破損回数2〜3回)
×:セラミックグリーンシートがほぼ破損する(破損回数4〜5回)
(6) Evaluation of surface peeling of ceramic green sheet A peeling terminal is attached via an adhesive film to the inside of a half-cut portion of the release film with a half-cut ceramic green sheet obtained by the method of (5), and is then subjected to tensilon. Peeling was performed in a direction perpendicular to the film at a tensile speed of 10 m / min, and it was confirmed whether a damaged ceramic green sheet remained inside the half cut at the time of peeling. The peel test was performed five times for each sample, and the following judgment was made based on the number of times the damaged ceramic green sheet remained.
:: The ceramic green sheet is hardly damaged (0 to 1 damage)
Δ: The ceramic green sheet may be damaged (number of times of damage: 2 to 3 times)
×: The ceramic green sheet is almost broken (four times to five times)

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(1))の調製)
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口及び生成物取出口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用いた。TPA(テレフタル酸)を2トン/時とし、EG(エチレングリコール)をTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間、255℃で反応させた。次いで、第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成PETに対して8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウム四水塩を含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が40ppmのとなる量のTMPA(リン酸トリメチル)を含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1時間、260℃で反応させた。次いで、第2エステル化反応缶の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、高圧分散機(日本精機社製)を用いて39MPa(400kg/cm2)の圧力で平均処理回数5パスの分散処理をした平均粒子径が0.9μmの多孔質コロイダルシリカ0.2質量%と、ポリアクリル酸のアンモニウム塩を炭酸カルシウムあたり1質量%付着させた平均粒子径が0.6μmの合成炭酸カルシウム0.4質量%とを、それぞれ10%のEGスラリーとして添加しながら、常圧にて平均滞留時間0.5時間、260℃で反応させた。第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、95%カット径が20μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターで濾過を行ってから、限外濾過を行って水中に押出し、冷却後にチップ状にカットして、固有粘度0.60dl/gのPETチップを得た(以後、PET(1)と略す)。PETチップ中の滑剤含有量は0.6質量%であった。
(Preparation of polyethylene terephthalate pellet (PET (1)))
As the esterification reactor, a continuous esterification reactor consisting of a three-stage complete mixing tank having a stirrer, a decomposer, a raw material inlet, and a product outlet was used. TPA (terephthalic acid) was set at 2 tons / hour, EG (ethylene glycol) was set at 2 moles with respect to 1 mole of TPA, antimony trioxide was used in such an amount that Sb atoms became 160 ppm with respect to generated PET, and these slurries were esterified. The mixture was continuously supplied to the first esterification reactor of the conversion reaction apparatus, and reacted at 255 ° C. at ordinary pressure for 4 hours on average. Next, the reaction product in the first esterification reactor is continuously taken out of the system and supplied to the second esterification reactor, and is distilled from the first esterification reactor into the second esterification reactor. EG solution containing magnesium acetate tetrahydrate in an amount such that Mg atoms become 65 ppm with respect to the generated PET, and 40 ppm with P atoms with respect to the generated PET. An EG solution containing the following amount of TMPA (trimethyl phosphate) was added and reacted at 260 ° C. for 1 hour at an average residence time at normal pressure. Next, the reaction product of the second esterification reaction vessel was continuously taken out of the system, supplied to the third esterification reaction vessel, and subjected to 39 MPa (400 kg / cm2) using a high-pressure disperser (manufactured by Nippon Seiki Co., Ltd.). 0.2 mass% of porous colloidal silica having an average particle diameter of 0.9 μm and an average particle diameter of 1 mass% per calcium carbonate adhered to calcium carbonate after dispersion treatment with an average number of treatments of 5 passes under pressure. And 0.4% by mass of synthetic calcium carbonate having a particle size of 0.6 μm, and reacted at 260 ° C. for 0.5 hour on average residence time at normal pressure while adding each as 10% EG slurry. The esterification reaction product generated in the third esterification reaction vessel was continuously supplied to a three-stage continuous polycondensation reaction apparatus to perform polycondensation, and sintered a stainless steel fiber having a 95% cut diameter of 20 μm. After filtration with a filter, ultrafiltration was performed and the mixture was extruded into water. After cooling, the mixture was cut into chips to obtain a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.60 dl / g (hereinafter abbreviated as PET (1)). . The lubricant content in the PET chip was 0.6% by mass.

(ポリエチレンテレフタレートペレット(PET(2))の調製)
一方、上記PETチップの製造において、炭酸カルシウム、シリカ等の粒子を全く含有しない固有粘度0.62dl/gのPETチップを得た(以後、PET(2)と略す。)
(Preparation of polyethylene terephthalate pellet (PET (2)))
On the other hand, in the production of the PET chip, a PET chip having an intrinsic viscosity of 0.62 dl / g containing no particles such as calcium carbonate and silica was obtained (hereinafter abbreviated as PET (2)).

(積層フィルムX1の製造)
これらのPETチップを乾燥後、285℃で溶融し、別個の溶融押出し機押出機により290℃で溶融し、95%カット径が15μmのステンレススチール繊維を焼結したフィルターと、95%カット径が15μmのステンレススチール粒子を焼結したフィルターの2段の濾過を行って、フィードブロック内で合流して、PET(1)を表面層B(反離型面側層)、PET(2)を表面層A(離型面側層)となるように積層し、シート状に45m/分のスピードで押出(キャスティング)し、静電密着法により30℃のキャスティングドラム上に静電密着・冷却させ、固有粘度が0.59dl/gの未延伸ポリエチレンテレフタレートシートを得た。層比率は各押出機の吐出量計算でPET(1)/(2)=60%/40%となるように調整した。次いで、この未延伸シートを赤外線ヒーターで加熱した後、ロール温度80℃でロール間のスピード差により縦方向に3.5倍延伸した。その後、テンターに導き、140℃で横方向に4.2倍の延伸を行なった。次いで、熱固定ゾーンにおいて、210℃で熱処理した。その後、横方向に170℃で2.3%の緩和処理をして、厚さ31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムX1を得た。得られたフィルムX1の表面層AのSaは2nm、表面層BのSaは29nmであった。
(Production of laminated film X1)
After drying these PET chips, they were melted at 285 ° C., melted at 290 ° C. by a separate melt extruder extruder, and a filter obtained by sintering a stainless steel fiber having a 95% cut diameter of 15 μm, and a 95% cut diameter. Two-stage filtration of a filter in which 15 μm stainless steel particles are sintered is performed, and the two are merged in a feed block. PET (1) has a surface layer B (anti-release surface side layer) and PET (2) has a surface. It is laminated so as to become the layer A (release side layer), extruded (casted) at a speed of 45 m / min into a sheet, electrostatically adhered and cooled on a casting drum at 30 ° C. by an electrostatic adhesion method, An unstretched polyethylene terephthalate sheet having an intrinsic viscosity of 0.59 dl / g was obtained. The layer ratio was adjusted so that PET (1) / (2) = 60% / 40% in the discharge amount calculation of each extruder. Next, the unstretched sheet was heated by an infrared heater, and then stretched 3.5 times in the longitudinal direction at a roll temperature of 80 ° C. due to a speed difference between the rolls. Then, it was guided to a tenter and stretched 4.2 times in the transverse direction at 140 ° C. Next, heat treatment was performed at 210 ° C. in the heat setting zone. Thereafter, a relaxation treatment of 2.3% was performed in the horizontal direction at 170 ° C. to obtain a biaxially stretched polyethylene terephthalate film X1 having a thickness of 31 μm. Sa of the surface layer A of the obtained film X1 was 2 nm, and Sa of the surface layer B was 29 nm.

(実施例1)
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗布液1をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が2.5μmになるように塗工し、90℃で30秒乾燥後、高圧水銀ランプを用いて200mJ/cmとなるように紫外線を照射することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムについて、離型層厚み、領域表面平均粗さSa、最大突起高さRp、セラミックグリーンシートのピンホール評価、セラミックグリーンシートのハーフカット評価、セラミックグリーンシートの面剥離評価を行った。離型層および基材の構成を表1に示す。また、得られた離型フィルムの物性を表2に示す。セラミックグリーンシートのハーフカット時の浮きに優れ、かつセラミックグリーンシートにピンホール等の粗大突起起因の異常が発生しない、超薄膜のセラミックグリーンシートの剥離用途に適した離型フィルムとなった。
(塗布液1)
化合物(I)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 100.00質量部
(新中村化学工業社製 A−DPH、水酸基価10mgKOH/g、6官能アクリレート、固形分濃度100%)
樹脂(II) ポリエステル樹脂 9.45質量部
(東洋紡社製バイロン(登録商標)RV280、固形分濃度100質量%)
離型剤(III) 1.26質量部
(アクリロイル基を有する変性ポリジメチルシロキサン、BYK−UV3505、ビックケミージャパン社製、固形分濃度40質量%)
光重合開始剤 5.25質量部
(OMNIRAD(登録商標)907、IGM Japan GK社製、固形分濃度100質量%)
希釈溶剤(MEK/トルエン=1/1) 431.30質量部
(Example 1)
A coating solution 1 having the following composition is applied on the surface layer A of the laminated film X1 using reverse gravure so that the thickness of the release layer after drying is 2.5 μm, and dried at 90 ° C. for 30 seconds. Ultraviolet rays were irradiated to 200 mJ / cm 2 using a mercury lamp to obtain a release film for producing an ultra-thin ceramic green sheet. About the obtained release film, release layer thickness, area surface average roughness Sa, maximum protrusion height Rp, pinhole evaluation of ceramic green sheet, half-cut evaluation of ceramic green sheet, surface peel evaluation of ceramic green sheet were evaluated. went. Table 1 shows the configurations of the release layer and the substrate. Table 2 shows the physical properties of the obtained release film. A release film suitable for use in peeling off ultra-thin ceramic green sheets, which is excellent in floating during half-cutting of the ceramic green sheets and does not cause abnormalities caused by coarse protrusions such as pinholes in the ceramic green sheets.
(Coating liquid 1)
Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass
(A-DPH manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., hydroxyl value 10 mgKOH / g, hexafunctional acrylate, solid content concentration 100%)
Resin (II) 9.45 parts by mass of polyester resin (Vylon (registered trademark) RV280 manufactured by Toyobo Co., solid content concentration: 100% by mass)
1.26 parts by mass of release agent (III) (modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by BYK Japan KK, solid content concentration 40% by mass)
5.25 parts by mass of photopolymerization initiator (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)
431.30 parts by mass of diluting solvent (MEK / toluene = 1/1)

(実施例2)
塗布液1に替えて以下組成の塗布液2を用いた点を除いては、実施例1と同様にして、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムについて、離型層厚み、領域表面平均粗さSa、最大突起高さRp、セラミックグリーンシートのピンホール評価、セラミックグリーンシートのハーフカット評価、セラミックグリーンシートの面剥離評価を行った。離型層および基材の構成を表1に示す。また、得られた離型フィルムの物性を表2に示す。セラミックグリーンシートのハーフカット時の浮きに優れ、かつセラミックグリーンシートにピンホール等の粗大突起起因の異常が発生しない、超薄膜のセラミックグリーンシートの剥離用途に適した離型フィルムとなった。
(塗布液2)
化合物(I)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 100.00質量部
(東亜合成社製 M−402、水酸基価30mgKOH/g、6官能アクリレート、固形分濃度100%)
樹脂(II) ポリエステルウレタン樹脂 31.50質量部
(東洋紡社製バイロン(登録商標)UR1400、固形分濃度30質量%)
離型剤(III) 1.26質量部
(アクリロイル基を有する変性ポリジメチルシロキサン、BYK−UV3505、ビックケミージャパン社製、固形分濃度40質量%)
光重合開始剤 5.25質量部
(OMNIRAD(登録商標)907、IGM Japan GK社製、固形分濃度100質量%)
希釈溶剤(MEK/トルエン=1/1) 431.30質量部
(Example 2)
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that coating liquid 2 having the following composition was used instead of coating liquid 1. About the obtained release film, release layer thickness, area surface average roughness Sa, maximum protrusion height Rp, pinhole evaluation of ceramic green sheet, half-cut evaluation of ceramic green sheet, surface peel evaluation of ceramic green sheet were evaluated. went. Table 1 shows the configurations of the release layer and the substrate. Table 2 shows the physical properties of the obtained release film. A release film suitable for use in peeling off ultra-thin ceramic green sheets, which is excellent in floating during half-cutting of the ceramic green sheets and does not cause abnormalities caused by coarse protrusions such as pinholes in the ceramic green sheets.
(Coating liquid 2)
Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass
(M-402 manufactured by Toagosei Co., Ltd., hydroxyl value 30 mgKOH / g, hexafunctional acrylate, solid content concentration 100%)
Resin (II) 31.50 parts by mass of polyester urethane resin (Vylon (registered trademark) UR1400 manufactured by Toyobo Co., solid content concentration: 30% by mass)
1.26 parts by mass of release agent (III) (modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by BYK Japan KK, solid content concentration 40% by mass)
5.25 parts by mass of photopolymerization initiator (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)
431.30 parts by mass of diluting solvent (MEK / toluene = 1/1)

(比較例1)
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗布液3をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.03μmになるように塗工し、120℃で30秒乾燥後、高圧水銀ランプを用いて200mJ/cmとなるように紫外線を照射することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムについて、離型層厚み、領域表面平均粗さSa、最大突起高さRp、セラミックグリーンシートのピンホール評価、セラミックグリーンシートのハーフカット評価、セラミックグリーンシートの面剥離評価を行った。離型層および基材の構成を表1に示す。また、得られた離型フィルムの物性を表2に示す。セラミックグリーンシートにピンホール等の粗大突起起因の異常は発生しないものの、ハーフカット痕の周りに浮きが発生せず、面剥離時にセラミックグリーンシートが破損しやすい、超薄膜のセラミックグリーンシートの剥離用途に適さない離型フィルムとなった。
(塗布液3)
硬化型シリコーン樹脂 100.00質量部
(東レダウコーニング製 LTC856、固形分濃度30質量%)
付加型白金触媒 2.10質量部
(東レダウコーニング製 SRX212、固形分濃度100質量%)
希釈溶剤(MEK/トルエン=1/1) 3107.90質量部
(Comparative Example 1)
A coating solution 3 having the following composition is applied on the surface layer A of the laminated film X1 using reverse gravure so that the thickness of the release layer after drying is 0.03 μm, and dried at 120 ° C. for 30 seconds. Ultraviolet rays were irradiated to 200 mJ / cm 2 using a mercury lamp to obtain a release film for producing an ultra-thin ceramic green sheet. About the obtained release film, release layer thickness, area surface average roughness Sa, maximum protrusion height Rp, pinhole evaluation of ceramic green sheet, half-cut evaluation of ceramic green sheet, surface peel evaluation of ceramic green sheet were evaluated. went. Table 1 shows the configurations of the release layer and the substrate. Table 2 shows the physical properties of the obtained release film. Abnormality caused by coarse protrusions such as pinholes does not occur in the ceramic green sheet, but no floating occurs around the half-cut mark, and the ceramic green sheet is easily damaged at the time of surface peeling. The resulting release film was not suitable for use.
(Coating liquid 3)
Curable silicone resin 100.00 parts by mass (Toray Dow Corning LTC856, solid content concentration 30% by mass)
Addition type platinum catalyst 2.10 parts by mass (SRX212 manufactured by Toray Dow Corning, solid content concentration 100% by mass)
Diluent solvent (MEK / toluene = 1/1) 3107.90 parts by mass

(比較例2)
塗布液1に替えて以下組成の塗布液4を用い、乾燥後の離型層の膜厚を2μmとした点を除いては、実施例1と同様にして、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムについて、離型層厚み、領域表面平均粗さSa、最大突起高さRp、セラミックグリーンシートのピンホール評価、セラミックグリーンシートのハーフカット評価、セラミックグリーンシートの面剥離評価を行った。離型層および基材の構成を表1に示す。また、得られた離型フィルムの物性を表2に示す。セラミックグリーンシートにピンホール等の粗大突起起因の異常は発生しないものの、ハーフカット痕の周りに浮きが発生せず、面剥離時にセラミックグリーンシートが破損しやすい、超薄膜のセラミックグリーンシートの剥離用途に適さない離型フィルムとなった。
(塗布液4)
化合物(I)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 100.00質量部
(新中村化学工業社製 A−DPH、水酸基価10mgKOH/g、6官能アクリレート、固形分濃度100%)
離型剤(III) 1.26質量部
(アクリロイル基を有する変性ポリジメチルシロキサン、BYK−UV3505、ビックケミージャパン社製、固形分濃度40質量%)
光重合開始剤 5.25質量部
(OMNIRAD(登録商標)907、IGM Japan GK社製、固形分濃度100質量%)
希釈溶剤(MEK/トルエン=1/1) 422.27質量部
(Comparative Example 2)
A release film was obtained in the same manner as in Example 1 except that a coating liquid 4 having the following composition was used in place of the coating liquid 1, and that the thickness of the release layer after drying was 2 μm. About the obtained release film, release layer thickness, area surface average roughness Sa, maximum protrusion height Rp, pinhole evaluation of ceramic green sheet, half-cut evaluation of ceramic green sheet, surface peel evaluation of ceramic green sheet were evaluated. went. Table 1 shows the configurations of the release layer and the substrate. Table 2 shows the physical properties of the obtained release film. Abnormality caused by coarse protrusions such as pinholes does not occur in the ceramic green sheet, but no floating occurs around the half-cut mark, and the ceramic green sheet is easily damaged at the time of surface peeling. The resulting release film was not suitable for use.
(Coating liquid 4)
Compound (I) dipentaerythritol hexaacrylate 100.00 parts by mass
(A-DPH manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., hydroxyl value 10 mgKOH / g, hexafunctional acrylate, solid content concentration 100%)
1.26 parts by mass of release agent (III) (modified polydimethylsiloxane having an acryloyl group, BYK-UV3505, manufactured by BYK Japan KK, solid content concentration 40% by mass)
5.25 parts by mass of photopolymerization initiator (OMNIRAD (registered trademark) 907, manufactured by IGM Japan GK, solid content concentration 100% by mass)
Diluent solvent (MEK / toluene = 1/1) 422.27 parts by mass

(比較例3)
内部に無機粒子を有する二軸延伸ポリエステルフィルム(東洋紡製 E5100、厚み38μm、)の表面層(Sa:28nm、Rp:280nm)上に以下組成の塗布液5をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.2μmになるように塗工し、120℃で30秒乾燥後、高圧水銀ランプを用いて200mJ/cmとなるように紫外線を照射することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムについて、離型層厚み、領域表面平均粗さSa、最大突起高さRp、セラミックグリーンシートのピンホール評価、セラミックグリーンシートのハーフカット評価、セラミックグリーンシートの面剥離評価を行った。離型層および基材の構成を表1に示す。また、得られた離型フィルムの物性を表2に示す。セラミックグリーンシートのハーフカット時の浮きは見られるものの、セラミックグリーンシートのピンホールが発生しやすく、超薄膜のセラミックグリーンシートの剥離用途に適さない離型フィルムとなった。
(塗布液5)
硬化型シリコーン樹脂 100.00質量部
(東レダウコーニング製 LTC856、固形分濃度30質量%)
付加型白金触媒 2.10質量部
(東レダウコーニング製 SRX212、固形分濃度100質量%)
希釈溶剤(MEK/トルエン=1/1) 379.16質量部
(Comparative Example 3)
A coating solution 5 having the following composition was dried on a surface layer (Sa: 28 nm, Rp: 280 nm) of a biaxially stretched polyester film (E5100, 38 μm, manufactured by Toyobo) having inorganic particles inside after drying using reverse gravure. The coating is performed so that the thickness of the mold layer becomes 0.2 μm, dried at 120 ° C. for 30 seconds, and then irradiated with ultraviolet rays using a high-pressure mercury lamp so that the thickness becomes 200 mJ / cm 2. A release film for production was obtained. About the obtained release film, release layer thickness, area surface average roughness Sa, maximum protrusion height Rp, pinhole evaluation of ceramic green sheet, half-cut evaluation of ceramic green sheet, surface peel evaluation of ceramic green sheet were evaluated. went. Table 1 shows the configurations of the release layer and the substrate. Table 2 shows the physical properties of the obtained release film. Although the ceramic green sheet was lifted during half-cutting, pinholes were likely to be generated in the ceramic green sheet, and the release film was not suitable for use in peeling ultra-thin ceramic green sheets.
(Coating liquid 5)
Curable silicone resin 100.00 parts by mass (LTC 856 manufactured by Toray Dow Corning, solid content concentration 30% by mass)
Addition type platinum catalyst 2.10 parts by mass (SRX212 manufactured by Toray Dow Corning, solid concentration 100% by mass)
Diluting solvent (MEK / toluene = 1/1) 379.16 parts by mass

(比較例4)
積層フィルムX1の表面層A上に以下組成の塗布液6をリバースグラビアを用いて乾燥後の離型層膜厚が0.2μmになるように塗工し、120℃で30秒乾燥後、高圧水銀ランプを用いて200mJ/cmとなるように紫外線を照射することで超薄層セラミックグリーンシート製造用離型フィルムを得た。得られた離型フィルムについて、離型層厚み、領域表面平均粗さSa、最大突起高さRp、セラミックグリーンシートのピンホール評価、セラミックグリーンシートのハーフカット評価、セラミックグリーンシートの面剥離評価を行った。離型層および基材の構成を表1に示す。また、得られた離型フィルムの物性を表2に示す。セラミックグリーンシートのハーフカット時の浮きは見られるものの、セラミックグリーンシートのピンホールが発生しやすく、超薄膜のセラミックグリーンシートの剥離用途に適さない離型フィルムとなった。
(塗布液6)
硬化型シリコーン樹脂 100.00質量部
(東レダウコーニング製 LTC856、固形分濃度30質量%)
シリコーン樹脂微粒子 3.00質量部
(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製 トスパール120(平均粒径2μm)、固形分濃度100質量%)
付加型白金触媒 2.10質量部
(東レダウコーニング製 SRX212、固形分濃度100質量%)
希釈溶剤(MEK/トルエン=1/1) 421.14質量部
(Comparative Example 4)
A coating liquid 6 having the following composition is applied on the surface layer A of the laminated film X1 using reverse gravure so that the thickness of the release layer after drying is 0.2 μm, and dried at 120 ° C. for 30 seconds. Ultraviolet rays were irradiated to 200 mJ / cm 2 using a mercury lamp to obtain a release film for producing an ultra-thin ceramic green sheet. About the obtained release film, release layer thickness, area surface average roughness Sa, maximum protrusion height Rp, pinhole evaluation of ceramic green sheet, half-cut evaluation of ceramic green sheet, surface peel evaluation of ceramic green sheet were evaluated. went. Table 1 shows the configurations of the release layer and the substrate. Table 2 shows the physical properties of the obtained release film. Although the ceramic green sheet was lifted during half-cutting, pinholes were likely to be generated in the ceramic green sheet, and the release film was not suitable for use in peeling ultra-thin ceramic green sheets.
(Coating liquid 6)
Curable silicone resin 100.00 parts by mass (LTC 856 manufactured by Toray Dow Corning, solid content concentration 30% by mass)
3.00 parts by mass of silicone resin fine particles (Tospearl 120 (average particle size: 2 μm) manufactured by Momentive Performance Materials Japan LLC, solid content concentration: 100% by mass)
Addition type platinum catalyst 2.10 parts by mass (SRX212 manufactured by Toray Dow Corning, solid concentration 100% by mass)
Diluent solvent (MEK / toluene = 1/1) 421.14 parts by mass

本発明のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムによれば、従来のセラミックグリーンシート製造用離型フィルムと比較して、超薄層のセラミックグリーンシート製造時にピンホール及び厚みムラによる工程不良の発生を抑制し、かつ剥離性に優れ、剥離時にセラミックグリーンシートの破損を抑制し得るセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの提供が可能となった。   According to the release film for manufacturing a ceramic green sheet of the present invention, compared to the conventional release film for manufacturing a ceramic green sheet, the occurrence of process defects due to pinholes and uneven thickness during the production of an ultra-thin ceramic green sheet. It has become possible to provide a release film for producing a ceramic green sheet, which is excellent in suppressing peelability and suppressing breakage of the ceramic green sheet during peeling.

1 : セラミックグリーンシート付き離型フィルム
2 : 離型層表面におけるハーフカット痕の幅(B)
3 : ハーフカット痕の周囲のセラミックグリーンシートの浮きの幅(A)
4 : ハーフカット深さ調整用ポリエステルフィルム
5 : 離型フィルム
6 : セラミックグリーンシート
7 : セラミックグリーンシート付き離型フィルム
8 : ハーフカット深さ調整用ポリエステルフィルム
9 : ピナクルダイ
1: Release film with ceramic green sheet 2: Width of half-cut mark on release layer surface (B)
3: Floating width of ceramic green sheet around half-cut mark (A)
4: Half cut depth adjustment polyester film 5: Release film 6: Ceramic green sheet 7: Release film with ceramic green sheet 8: Half cut depth adjustment polyester film 9: Pinnacle die

Claims (3)

ポリエステルフィルムの少なくとも片面に直接又は他の層を介して離型層が積層された離型フィルムであって、離型層表面の最大山高さ(Rp)が60nm以下であり、離型層のポリエステルフィルムの反対側の表面にセラミックスラリーを塗布、乾燥して得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを作成し、セラミックグリーンシート付き離型フィルムをセラミックグリーンシート側から離型フィルムに達する深さ、かつ離型フィルムの離型層表面から10μm以下の深さでハーフカットし、離型層表面におけるハーフカット痕の幅(B)が50μm以下になるようにハーフカットした場合に、以下の式を満たすセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。
A/B ≧ 20
A:ハーフカット痕の周囲のセラミックグリーンシートの浮きの幅(μm)
B:離型層表面におけるハーフカット痕の幅(μm)
A release film in which a release layer is laminated on at least one surface of a polyester film directly or via another layer, wherein the maximum peak height (Rp) of the release layer surface is 60 nm or less, and the polyester of the release layer is A ceramic slurry is applied to the surface on the opposite side of the film, and a release film with a ceramic green sheet obtained by drying is created, and the release film with the ceramic green sheet reaches the release film from the ceramic green sheet side, When the half-cut is performed at a depth of 10 μm or less from the surface of the release layer of the release film and the width (B) of the half-cut mark on the surface of the release layer is 50 μm or less, the following expression is obtained. Filling release film for manufacturing ceramic green sheets.
A / B ≧ 20
A: Floating width of ceramic green sheet around half-cut mark (μm)
B: Width of half-cut mark on release layer surface (μm)
離型層表面の領域表面平均粗さ(Sa)が5〜40nmである請求項1に記載のセラミックグリーンシート製造用離型フィルム。   2. The release film for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the surface average surface roughness (Sa) of the release layer surface is 5 to 40 nm. 離型フィルムの離型層上にセラミックスラリーを塗布、乾燥して得られたセラミックグリーンシート付き離型フィルムを、セラミックグリーンシート側からハーフカットし、ハーフカット痕が離型フィルムに達する深さ、かつ離型フィルムの離型層表面から10μm以下の深さであり、離型層表面におけるハーフカット痕の幅(B)が50μm以下になるようにして、ハーフカット痕の周囲のセラミックグリーンシートの浮きの幅(A)を測定することにより、ハーフカット後のセラミックグリーンシートの浮き易さを評価するセラミックグリーンシート製造用離型フィルムの評価方法。   The ceramic slurry is applied on the release layer of the release film, and the release film with the ceramic green sheet obtained by drying is half-cut from the ceramic green sheet side, and the depth at which the half-cut mark reaches the release film, In addition, the depth (B) of the half-cut mark on the surface of the release layer is 10 μm or less from the surface of the release layer of the release film, and the width (B) of the half-cut mark on the release layer is 50 μm or less. A method for evaluating a release film for producing a ceramic green sheet, which measures the floating width (A) to evaluate the ease of floating of a ceramic green sheet after half-cutting.
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