JP2020031096A - 状態予測装置及び半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
時系列信号から特徴量を抽出することにより、データ量をある程度圧縮することが可能になるが、抽出した特徴量が少なすぎる場合には、データが持っている重要な情報が失われる可能性があり、特徴量の抽出の段階では出来る限り多くの特徴量が抽出されることが望ましい。
複数の観測に対して、前記処理システムから複数のデータ変数を有するデータを取得することと、
主成分分析を使用して、前記複数の観測に対して、前記データの1つ以上の主成分を決定することと、
前記主成分分析の間、前記複数のデータ変数の少なくとも1つに重み付けをすることと、
前記1つ以上の主成分上への前記追加でデータの射影から算出された1つ以上のスコアから少なくとも1つの統計量を決定することと、
前記少なくとも1つの統計量に対して、コントロールリミットを決定することと、
前記少なくとも1つの統計量を前記コントロールリミットと比較することを具備する方法が開示されている。
非特許文献1においては、主成分負荷の値を基準として重要な特徴量の絞り込みを行う手法が開示されている。
プラズマ処理装置100は,プラズマを発生させる機構として,マイクロ波電源106,マイクロ波発振源107およびソレノイドコイル108を備える。マイクロ波電源106からの高周波電力によりマイクロ波発振源107で発生させたマイクロ波は,導波管109を介して処理室101に導入される。
例えば、本実施例では異常の検出に主成分分析とそれに伴うHotteling’s T2を用いているが、その他の異常検出手段を用いても構わない。
Claims (7)
- プラズマ処理装置の状態を予測する状態予測装置において、
正常な状態の前記プラズマ処理装置のモニタされたデータから前記プラズマ処理装置の状態を示す第一の特徴量が求められ、
前記プラズマ処理装置のモニタされたデータから前記プラズマ処理装置の状態を示す第二の特徴量が求められ、
前記求められた第二の特徴量が前記第一の特徴量を用いて演算され、
前記演算された第二の特徴量の大きいものから順番に選択された特徴量と同一の種類の前記第一の特徴量を用いて前記プラズマ処理装置の状態を予測するモデルが生成され、
前記生成されたモデルを用いて前記プラズマ処理装置の状態が予測されることを特徴とする状態予測装置。 - 請求項1に記載の状態予測装置において、
前記生成されたモデルは、前記プラズマ処理装置の状態を予測する毎に生成し直されることを特徴とする状態予測装置。 - 請求項1に記載の状態予測装置において、
前記演算された第二の特徴量の各々は、複数のプラズマ処理における前記第一の特徴量の各々の平均値を前記第二の特徴量の各々から減じた値の各々を前記複数のプラズマ処理における前記第一の特徴量の各々の標準偏差により除した値の各々であることを特徴とする状態予測装置。 - 試料が処理される処理室と、前記試料を前記処理室に搬送し前記処理室に接続された搬送室とを備える半導体製造装置において、
備える各構成のいずれかにおける正常な状態時にモニタされたデータから前記備える各構成のいずれかの状態を示す第一の特徴量が求められ、
前記備える各構成のいずれかにおけるモニタされたデータから前記いずれかの状態を示す第二の特徴量が求められ、
前記求められた第二の特徴量が前記第一の特徴量を用いて演算され、
前記演算された第二の特徴量の大きいものから順番に選択された特徴量と同一の種類の前記第一の特徴量を用いて前記備える各構成のいずれかの状態を予測するモデルが生成され、
前記生成されたモデルを用いて前記備える各構成のいずれかの状態が予測される制御装置をさらに備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 試料が処理される処理室と、前記試料を前記処理室に搬送し前記処理室に接続された搬送室とを備える半導体製造装置において、
備える各構成のいずれかにおける正常な状態時にモニタされたデータから前記備える各構成のいずれかの状態を示す第一の特徴量が求められ、
前記備える各構成のいずれかにおけるモニタされたデータから前記いずれかの状態を示す第二の特徴量が求められ、
前記求められた第二の特徴量が前記第一の特徴量を用いて演算され、
前記演算された第二の特徴量の大きいものから順番に選択された特徴量と同一の種類の前記第一の特徴量を用いて前記備える各構成のいずれかの状態を予測するモデルが生成され、
前記生成されたモデルを用いて前記備える各構成のいずれかの状態が予測される状態予測装置をさらに備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項4または請求項5に記載の半導体製造装置において、
前記備える各構成のいずれかは、前記処理室または前記搬送室であることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項6に記載の半導体製造装置において、
前記演算された第二の特徴量の各々は、複数の処理における前記第一の特徴量の各々の平均値を前記第二の特徴量の各々から減じた値の各々を前記複数の処理における前記第一の特徴量の各々の標準偏差により除した値の各々であることを特徴とする半導体製造装置。
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