JP2020027974A - 高周波モジュールおよび通信装置 - Google Patents

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克也 中澤
Katsuya Nakazawa
克也 中澤
孝紀 上嶋
Takanori Uejima
孝紀 上嶋
基嗣 津田
Mototsugu Tsuda
基嗣 津田
佑二 竹松
Yuji Takematsu
佑二 竹松
大 中川
Masaru Nakagawa
大 中川
原田 哲郎
Tetsuo Harada
哲郎 原田
正英 武部
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正英 武部
直也 松本
Naoya Matsumoto
直也 松本
義明 祐森
Yoshiaki Sukemori
義明 祐森
充則 佐俣
Mitsunori Samata
充則 佐俣
佐々木 豊
Yutaka Sasaki
豊 佐々木
裕基 福田
Yuki Fukuda
裕基 福田
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Abstract

【課題】放熱性が向上した高周波モジュールを提供する。【解決手段】高周波モジュール1は、送信電力増幅器11と、送信電力増幅器11の主面に接続され、当該主面を平面視した場合に長尺形状であるバンプ電極13と、送信電力増幅器11を実装する実装基板90とを備え、実装基板90は、上記平面視において長尺形状であるビア導体91を有し、バンプ電極13とビア導体91とは、上記平面視において、長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも当該長尺方向に長い、バンプ電極13とビア導体91との重複領域で接続されている。【選択図】図2B

Description

本発明は、高周波モジュールおよび通信装置に関する。
携帯電話などの移動体通信機器では、特に、マルチバンド化の進展に伴い、高周波フロントエンド回路を構成する回路素子が高密度に実装される必要がある。回路素子を高密度実装するにあたり、増幅回路、および、当該増幅回路から出力された高周波信号を通過させる受動素子の放熱対策が重要となる。
特許文献1には、電力増幅回路を含む半導体チップと、当該半導体チップが実装された配線基板とを有する電力増幅モジュールが開示されている。半導体チップのソースに接続されたバンプ電極は、複数の球状バンプが長尺状に繋げられた、いわゆる長尺形状となっている。この構成により、電力増幅モジュールは、電力増幅回路からの発熱を、ソース接続のバンプ電極から、配線基板に設けられた複数のソース用ビア(VH1S〜VH3S)を介して配線基板の裏面端子に放熱することが可能となる。
特開2010−267944号公報
特許文献1に記載された電力増幅モジュールのように、半導体チップの放熱性を上げるべく、半導体チップに接続されたバンプ電極を長尺形状とすることは有効である。
しかしながら、上記長尺形状のバンプ電極と接続される配線基板内のビアが、配線基板を平面視した場合に真円形状を有する通常ビア導体の場合、配線基板での放熱性は向上しない。従って、結果的に、半導体チップからの発熱を、配線基板を経由して効率的に放熱することはできない。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、放熱性が向上した高周波モジュールおよび通信装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る高周波モジュールは、高周波部品と、前記高周波部品に接続され、当該高周波部品を平面視した場合に長尺形状である第1バンプ電極と、前記高周波部品が実装された実装基板と、を備え、前記実装基板は、前記実装基板を平面視した場合に長尺形状であるビア導体を有し、前記第1バンプ電極と前記ビア導体とは、前記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、前記平面視において少なくとも前記長尺方向に長い、前記第1バンプ電極と前記ビア導体との重複領域で接続されている。
本発明によれば、放熱性が向上した高周波モジュールおよび通信装置を提供することが可能となる。
実施の形態に係る高周波モジュールの回路構成の一例を示す図である。 実施の形態に係る高周波モジュールの回路配置を示す平面概略図である。 実施の形態に係る高周波モジュールの断面概略図および電力増幅器の第1の実装配置を示す平面概略図である。 実施の形態に係る電力増幅器の回路構成図である。 実施の形態の変形例1に係る高周波モジュールが有する電力増幅器の第2の実装配置を示す平面概略図である。 実施の形態の変形例2に係る高周波モジュールが有する電力増幅器の第3の実装配置を示す平面および断面概略図である。 実施の形態の変形例3に係る高周波モジュールが有する電力増幅器の回路構成図である。 実施の形態の変形例3に係る高周波モジュールが有する電力増幅器の第4の実装配置を示す平面概略図である。 実施の形態の変形例4に係る高周波モジュールが有する電力増幅器の第5の実装配置を示す平面概略図である。
以下、本発明の実施の形態およびその変形例について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態およびその変形例は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態およびその変形例で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施の形態およびその変形例における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、図面に示される構成要素の大きさまたは大きさの比は、必ずしも厳密ではない。
なお、以下の実施の形態およびその変形例において、「AとBとが接続されている」とは、(1)AとBとが直接、または、(2)導体膜を介して(AとBとがそれぞれ導体膜の表面および裏面に)、接していることを指すものと定義される。また、「AとBとが電気的に接続されている」とは、AとBとが直接接していなくてもよく、導電配線を介してAとBとが間接的に接続されていることを含むものと定義される。
また、以下の実施の形態およびその変形例において、基板上に実装されたA、BおよびCにおいて、「当該基板(または当該基板の主面)を平面視した場合に、AとBとの間にCが配置されている」とは、当該基板を平面視した場合に投影されるAの領域内の任意の点と、当該基板を平面視した場合に投影されるBの領域内の任意の点とを結ぶ線に、当該基板を平面視した場合に投影されるCの領域の少なくとも一部が重複していることを指すものと定義される。
(実施の形態)
[1 高周波モジュールおよび通信装置の回路構成]
図1は、実施の形態に係る高周波モジュール1の回路構成図である。同図に示すように、通信装置5は、高周波モジュール1と、アンテナ素子2と、RF信号処理回路(RFIC)3と、ベースバンド信号処理回路(BBIC)4と、を備える。
RFIC3は、アンテナ素子2で送受信される高周波信号を処理するRF信号処理回路である。具体的には、RFIC3は、高周波モジュール1の受信信号経路を介して入力された高周波受信信号を、ダウンコンバートなどにより信号処理し、当該信号処理して生成された受信信号をBBIC4へ出力する。また、RFIC3は、BBIC4から入力された送信信号をアップコンバートなどにより信号処理し、当該信号処理して生成された高周波送信信号を、高周波モジュール1の送信信号経路に出力する。
BBIC4は、高周波モジュール1を伝搬する高周波信号よりも低周波の中間周波数帯域を用いて信号処理する回路である。BBIC4で処理された信号は、例えば、画像表示のための画像信号として使用され、または、スピーカを介した通話のために音声信号として使用される。
また、RFIC3は、使用される通信バンド(周波数帯域)に基づいて、高周波モジュール1が有するスイッチ51、52、53、54、55および56の接続を制御する制御部としての機能も有する。具体的には、RFIC3は、制御信号(図示せず)によって、高周波モジュール1が有するスイッチ51〜56の接続を切り替える。なお、制御部は、RFIC3の外部に設けられていてもよく、例えば、高周波モジュール1またはBBIC4に設けられていてもよい。
アンテナ素子2は、高周波モジュール1の共通端子100に接続され高周波モジュール1から出力された高周波信号を放射し、また、外部からの高周波信号を受信して高周波モジュール1へ出力する。
なお、本実施の形態に係る通信装置5において、アンテナ素子2およびBBIC4は、必須の構成要素ではない。
次に、高周波モジュール1の詳細な構成について説明する。
図1に示すように、高周波モジュール1は、共通端子100と、送信電力増幅器11および12と、受信低雑音増幅器21および22と、送信フィルタ61T、62T、63Tおよび64Tと、受信フィルタ61R、62R、63Rおよび64Rと、送信出力整合回路30と、受信入力整合回路40と、整合回路71、72、73および74と、スイッチ51、52、53、54、55および56と、カプラ80と、カプラ出力端子180と、を備える。
共通端子100は、アンテナ素子2に接続される。
送信電力増幅器11は、第1周波数帯域群に属する通信バンドAおよび通信バンドBの高周波信号を増幅する電力増幅器である。また、送信電力増幅器12は、第1周波数帯域群よりも高周波側の第2周波数帯域群に属する通信バンドCおよび通信バンドDの高周波信号を増幅する電力増幅器である。
受信低雑音増幅器21は、通信バンドAおよび通信バンドBの高周波信号を低雑音で増幅する低雑音増幅器である。また、受信低雑音増幅器22は、通信バンドCおよび通信バンドDの高周波信号を低雑音で増幅する低雑音増幅器である。
送信電力増幅器11および12、ならびに、受信低雑音増幅器21および22は、例えば、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)、または、GaAsを材料とする電界効果型トランジスタ(FET)、ヘテロバイポーラトランジスタ(HBT)などで構成されている。
送信フィルタ61Tは、送信出力整合回路30およびスイッチ51を介して送信電力増幅器11の出力端に電気的に接続され、送信電力増幅器11で増幅された高周波送信信号のうち、通信バンドAの送信帯域の高周波送信信号を通過させる。また、送信フィルタ62Tは、送信出力整合回路30およびスイッチ51を介して送信電力増幅器11の出力端に電気的に接続され、送信電力増幅器11で増幅された高周波送信信号のうち、通信バンドBの送信帯域の高周波送信信号を通過させる。また、送信フィルタ63Tは、送信出力整合回路30およびスイッチ52を介して送信電力増幅器12の出力端に電気的に接続され、送信電力増幅器12で増幅された高周波送信信号のうち、通信バンドCの送信帯域の高周波送信信号を通過させる。また、送信フィルタ64Tは、送信出力整合回路30およびスイッチ52を介して送信電力増幅器12の出力端に電気的に接続され、送信電力増幅器12で増幅された高周波送信信号のうち、通信バンドDの送信帯域の高周波送信信号を通過させる。
受信フィルタ61Rは、受信入力整合回路40およびスイッチ53を介して受信低雑音増幅器21の入力端に電気的に接続され、共通端子100から入力された高周波受信信号のうち、通信バンドAの受信帯域の高周波受信信号を通過させる。また、受信フィルタ62Rは、受信入力整合回路40およびスイッチ53を介して受信低雑音増幅器21の入力端に電気的に接続され、共通端子100から入力された高周波受信信号のうち、通信バンドBの受信帯域の高周波受信信号を通過させる。また、受信フィルタ63Rは、受信入力整合回路40およびスイッチ54を介して受信低雑音増幅器22の入力端に電気的に接続され、共通端子100から入力された高周波受信信号のうち、通信バンドCの受信帯域の高周波受信信号を通過させる。また、受信フィルタ64Rは、受信入力整合回路40およびスイッチ54を介して受信低雑音増幅器22の入力端に電気的に接続され、共通端子100から入力された高周波受信信号のうち、通信バンドDの受信帯域の高周波受信信号を通過させる。
なお、上記の送信フィルタ61T〜64Tおよび受信フィルタ61R〜64Rは、例えば、弾性表面波フィルタ、BAW(Bulk Acoustic Wave)を用いた弾性波フィルタ、LC共振フィルタ、および誘電体フィルタのいずれであってもよく、さらには、これらには限定されない。
送信フィルタ61Tおよび受信フィルタ61Rは、通信バンドAを通過帯域とするデュプレクサ61を構成している。また、送信フィルタ62Tおよび受信フィルタ62Rは、通信バンドBを通過帯域とするデュプレクサ62を構成している。また、送信フィルタ63Tおよび受信フィルタ63Rは、通信バンドCを通過帯域とするデュプレクサ63を構成している。また、送信フィルタ64Tおよび受信フィルタ64Rは、通信バンドDを通過帯域とするデュプレクサ64を構成している。
送信出力整合回路30は、整合回路31および32を有する。整合回路31は、送信電力増幅器11と送信フィルタ61Tおよび62Tとを結ぶ送信経路に配置され、送信電力増幅器11と送信フィルタ61Tおよび62Tとのインピーダンス整合をとる。整合回路32は、送信電力増幅器12と送信フィルタ63Tおよび64Tとを結ぶ送信経路に配置され、送信電力増幅器12と送信フィルタ63Tおよび64Tとのインピーダンス整合をとる。
受信入力整合回路40は、整合回路41および42を有する。整合回路41は、受信低雑音増幅器21と受信フィルタ61Rおよび62Rとを結ぶ受信経路に配置され、受信低雑音増幅器21と受信フィルタ61Rおよび62Rとのインピーダンス整合をとる。整合回路42は、受信低雑音増幅器22と受信フィルタ63Rおよび64Rとを結ぶ受信経路に配置され、受信低雑音増幅器22と受信フィルタ63Rおよび64Rとのインピーダンス整合をとる。
スイッチ51は、整合回路31と送信フィルタ61Tおよび62Tとを結ぶ送信経路に配置され、送信電力増幅器11と送信フィルタ61Tとの電気的な接続、および、送信電力増幅器11と送信フィルタ62Tとの電気的な接続、を切り替える。スイッチ52は、整合回路32と送信フィルタ63Tおよび64Tとを結ぶ送信経路に配置され、送信電力増幅器12と送信フィルタ63Tとの電気的な接続、および、送信電力増幅器12と送信フィルタ64Tとの電気的な接続、を切り替える。スイッチ53は、整合回路41と受信フィルタ61Rおよび62Rとを結ぶ受信経路に配置され、受信低雑音増幅器21と受信フィルタ61Rとの電気的な接続、および、受信低雑音増幅器21と受信フィルタ62Rとの電気的な接続、を切り替える。スイッチ54は、整合回路42と受信フィルタ63Rおよび64Rとを結ぶ受信経路に配置され、受信低雑音増幅器22と受信フィルタ63Rとの電気的な接続、および、受信低雑音増幅器22と受信フィルタ64Rとの電気的な接続、を切り替える。
スイッチ55は、共通端子100と送信フィルタ61T〜64Tおよび受信フィルタ61R〜64Rとを結ぶ信号経路に配置され、(1)共通端子100と送信フィルタ61Tおよび受信フィルタ61Rとの電気的な接続、(2)共通端子100と送信フィルタ62Tおよび受信フィルタ62Rとの電気的な接続、(3)共通端子100と送信フィルタ63Tおよび受信フィルタ63Rとの電気的な接続、ならびに、(4)共通端子100と送信フィルタ64Tおよび受信フィルタ64Rとの電気的な接続、を切り替える。なお、スイッチ55は、上記(1)〜(4)のうちの2以上の接続を同時に行うことが可能なマルチ接続型のスイッチ回路で構成される。
整合回路71は、スイッチ55と送信フィルタ61Tおよび受信フィルタ61Rとを結ぶ経路に配置されている。整合回路72は、スイッチ55と送信フィルタ62Tおよび受信フィルタ62Rとを結ぶ経路に配置されている。整合回路73は、スイッチ55と送信フィルタ63Tおよび受信フィルタ63Rとを結ぶ経路に配置されている。整合回路74は、スイッチ55と送信フィルタ64Tおよび受信フィルタ64Rとを結ぶ経路に配置されている。
カプラ80およびスイッチ56は、共通端子100とスイッチ55との間を伝送する高周波信号の電力強度をモニタする回路であり、モニタした電力強度を、カプラ出力端子180を介してRFIC3などに出力する。
上記回路構成によれば、高周波モジュール1は、通信バンドAおよび通信バンドBのいずれかの通信バンドの高周波信号と、通信バンドCおよび通信バンドDのいずれかの通信バンドの高周波信号とを、同時送信、同時受信、および同時送受信の少なくともいずれかを実行することが可能である。
なお、送信フィルタ61T〜64T、受信フィルタ61R〜64R、送信電力増幅器12、受信低雑音増幅器21および22、整合回路31、32、41、42、71〜74、カプラ80、スイッチ51〜56、ならびにカプラ出力端子180は、本発明に係る高周波モジュールに必須の構成要素ではない。つまり、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、通信バンドAの高周波信号を送信する回路であればよく、送信電力増幅器11と、送信電力増幅器11を実装する実装基板(図2Aおよび図2Bにて図示)との接続構造に特徴を有している。
[2 高周波モジュール1の回路素子配置構成]
図2Aは、実施の形態に係る高周波モジュール1の回路配置を示す平面構成概略図である。また、図2Bは、実施の形態に係る高周波モジュール1の断面概略図および送信電力増幅器11の第1の実装配置を示す平面概略図である。より具体的には、図2Bの(a)は、図2AのIIB−IIB線における断面図であり、図2Bの(b)は、送信電力増幅器11が実装された領域Apの主面90aにおける平面図である。
図2Aおよび図2Bに示すように、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、図1に示された回路構成に加えて、さらに、実装基板90と、樹脂部材70と、を有している。
実装基板90は、互いに背向する主面90aおよび主面90bを有し、図1に示された回路素子を実装する基板である。実装基板90としては、例えば、樹脂からなる多層基板、または、複数の誘電体層のからなる低温同時焼成セラミックス(Low Temperature Co−fired Ceramics:LTCC)多層基板等が用いられる。
樹脂部材70は、実装基板90の主面90aに配置され、主面90aに実装された回路素子および実装基板90の主面90aを覆っており、上記回路素子の機械強度および耐湿性などの信頼性を確保する機能を有している。なお、樹脂部材70は、本発明に係る高周波モジュールに必須の構成要素ではない。
図2Aおよび2Bに示すように、本実施の形態に係る高周波モジュール1では、送信電力増幅器11および12、受信低雑音増幅器21および22、デュプレクサ61〜64、整合回路31、32、41および42、ならびに、スイッチ51、52および55は、実装基板90の主面90aに表面実装されている。なお、送信電力増幅器12、受信低雑音増幅器21および22、デュプレクサ61〜64、整合回路31、32、41および42、ならびに、スイッチ51、52および55は、実装基板90の主面90bに実装されていてもよい。また、スイッチ53、54および56、整合回路71〜74、ならびに、カプラ80は、図2Aおよび図2Bには図示されていないが、実装基板90の主面90aおよび90bのいずれに表面実装されていてもよいし、また実装基板90に内蔵されていてもよい。
整合回路31は、インダクタ31Lおよびキャパシタ31Cを含む。整合回路32は、インダクタ32Lおよびキャパシタ32Cを含む。整合回路41は、インダクタ41Lおよびキャパシタ41Cを含む。整合回路42は、インダクタ42Lおよびキャパシタ42Cを含む。
図2Aに示すように、実装基板90を平面視した場合、送信電力増幅器11および12、整合回路31および32、ならびに、スイッチ51および52の送信回路素子は、実装基板90の左側領域に配置されている。一方、受信低雑音増幅器21および22、ならびに、整合回路41および42の受信回路素子は、実装基板90の右側領域に配置されている。そして、デュプレクサ61〜64が、実装基板90の主面90aを平面視した場合、送信回路素子と受信回路素子との間(の中央領域)に配置されている。これにより、高周波モジュール1の送信系回路と受信系回路とが、デュプレクサを挟んで離間配置されるので、送信系回路と受信系回路とのアイソレーションを向上させることが可能となる。
高周波モジュール1は、さらに、図2Bに示すように、送信電力増幅器11の主面に接続され、当該主面を平面視した場合に長尺形状であるバンプ電極13(第1バンプ電極)を備える。
また、実装基板90は、実装基板90を平面視した場合に長尺形状であるビア導体91を有している。ビア導体91は、実装基板90を貫通し、主面90aから主面90bに到る導体である。
ここで、バンプ電極13とビア導体91とは、図2Bの(b)に示すように、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも上記長尺方向に長い、バンプ電極13とビア導体91との重複領域で接続されている。ここで、上記長尺方向に長い重複領域とは、上記平面視におけるバンプ電極13の領域のうち上記長尺方向に長い一部領域と、上記平面視におけるビア導体91の領域のうち上記長尺方向に長い一部領域とが重複している領域である。
つまり、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、送信電力増幅器11と、上記平面視において長尺形状であるバンプ電極13と、実装基板90と、を備え、実装基板90は、上記平面視において長尺形状であるビア導体91を有し、バンプ電極13とビア導体91とは、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも上記長尺方向に長い、バンプ電極13とビア導体91との重複領域で接続されている。
なお、長尺形状とは、一方向に長い形状であり、長尺方向とは、当該一方向を指す。
これによれば、長尺形状のバンプ電極13と長尺形状のビア導体91とが、上記平面視において長尺方向にわたって重複するように接続されるので、従来に比べて、バンプ電極13とビア導体91との接触面積が大きくなる。よって、高周波モジュール1の放熱性を高めることが可能となる。
なお、バンプ電極13は、例えば、銅(Cu)を主成分とする柱状電極である。これによれば、バンプ電極13を、電解または無電解メッキ法などにより容易に上記長尺形状に形成でき、また、他の金属材料と比較して熱抵抗を低くすることができる。よって、製造工程の簡素化およびさらなる放熱性の向上を達成できる。
また、本実施の形態に係る高周波モジュール1において、実装基板90には、実装基板90の内層に形成されたグランド電極93g〜96g、および、実装基板の主面90bに形成された裏面グランド電極93が形成されている。グランド電極93gは、実装基板90の主面90aから第1層目に形成された内層グランドパターンである。グランド電極94gは、実装基板90の主面90aから第2層目に形成された内層グランドパターンである。グランド電極95gは、実装基板90の主面90aから第3層目に形成された内層グランドパターンである。グランド電極96gは、実装基板90の主面90aから第4層目に形成された内層グランドパターンである。裏面グランド電極93は、実装基板90の主面90bに形成された導体パターンであり、ビア導体91と接続されている。
ここで、グランド電極94g〜96gは、ビア導体91と接続されており、その他の回路素子とも適宜接続(図示せず)されている。一方、グランド電極93gは、デュプレクサ61および受信低雑音増幅器21などの他の回路素子と接続されているが、ビア導体91とは接続されていない。つまり、送信電力増幅器11を放熱させるためのビア導体91は、実装基板90の第1層目に形成されたグランド電極93gとは接続されておらず、実装基板90の第2層目以降に形成されたグランド電極94g〜96gと接続されている。これにより、送信電力増幅器11での発熱を、送信電力増幅器11に近いグランド電極93gを経由して放熱させることが抑制される。よって、高周波モジュール1を構成する送信電力増幅器11以外の回路素子が、送信電力増幅器11からの発熱を受けることを抑制できるので、高精度な高周波モジュール1の回路動作を確保できる。
図3は、実施の形態に係る送信電力増幅器11の回路構成図である。同図に示すように、送信電力増幅器11は、増幅トランジスタ110と、キャパシタ115および116と、バイアス回路117と、コレクタ端子113と、エミッタ端子112と、入力端子114と、出力端子111と、を備える。
増幅トランジスタ110は、例えば、コレクタ、エミッタおよびベースを有し、エミッタ接地型のバイポーラトランジスタであり、ベースに入力された高周波電流を増幅してコレクタから出力する増幅素子である。なお、増幅トランジスタ110は、ドレイン(コレクタに対応)、ソース(エミッタに対応)およびゲート(ベースに対応)を有する電界効果型のトランジスタであってもよい。
キャパシタ115は、DCカット用の容量素子であり、バイアス回路117からベースに印加される直流バイアス電圧により、入力端子114に直流電流が漏洩するのを防止する機能を有する。
キャパシタ116は、DCカット用の容量素子であり、直流バイアス電圧が重畳された高周波増幅信号の直流成分を除去する機能を有し、当該直流成分が除去された高周波増幅信号が出力端子111から出力される。
バイアス回路117は、増幅トランジスタ110のベースに接続され、当該ベースにバイアス電圧を印加することで、増幅トランジスタ110の動作点を最適化する機能を有する。
エミッタ端子112は、バンプ電極13(第1バンプ電極)に接続され、バンプ電極13およびビア導体91を介してグランドと接続されている。
送信電力増幅器11の上記回路構成によれば、入力端子114から入力された高周波信号RFinは、増幅トランジスタ110のベースからエミッタに流れるベース電流Ibとなる。増幅トランジスタ110によりベース電流Ibが増幅されてコレクタ電流Iccとなり、当該コレクタ電流Iccに対応した高周波信号RFoutが出力端子111から出力される。このとき、エミッタ端子112からグランドには、ベース電流Ibおよびコレクタ電流Iccが合算された大電流が流れる。よって、送信電力増幅器11の放熱性を向上させるには、増幅トランジスタ110の放熱部として機能する必要があるエミッタ端子112からの放熱性を向上させる必要がある。
これに対して、大電流が流れるエミッタ端子112がバンプ電極13(第1バンプ電極)およびビア導体91を介してグランドと接続されているので、送信電力増幅器11の放熱性を効果的に高めることが可能となる。
また、本実施の形態に係る高周波モジュール1は、さらに、図2Bに示すように、送信電力増幅器11の主面に接続されたバンプ電極14(第2バンプ電極)を備える。バンプ電極14は、送信電力増幅器11の出力端子111またはコレクタ端子113の少なくとも1つと接続されている。また、バンプ電極14は、実装基板90に設けられた略円形状のビア導体92と接続されている。ここで、上記平面視において、バンプ電極13(第1バンプ電極)の面積は、バンプ電極14(第2バンプ電極)の面積よりも大きい。
これによれば、大電流が流れるバンプ電極13の上記平面視における面積が、高周波信号または電源電圧Vccが印加されるバンプ電極14の上記平面視における面積よりも大きいので、送信電力増幅器11の放熱性を最適化できる。
図4は、実施の形態の変形例1に係る高周波モジュール1Aが有する送信電力増幅器11の第2の実装配置を示す平面概略図である。同図は、送信電力増幅器11が実装された領域Apの主面90aにおける電極接続構成の第1変形例である。図4に示された送信電力増幅器11の第2の実装配置は、図2Bの(b)に示された送信電力増幅器11の第1の実装配置と比較して、バンプ電極13とビア導体91との配置関係が異なる。
実装基板90は、上述したビア導体91および92のほか、実装基板90の本体であり、ビア導体91の外周と接する非導体部を有している。実装基板90の非導体部とは、例えば、実装基板90が樹脂からなる多層基板の場合、当該多層基板の本体を構成する樹脂部材のことである。また、実装基板90がLTCC基板の場合、非導体部とは、当該LTCC基板の本体を構成するセラミック部材のことである。
本変形例に係る送信電力増幅器11の第2の実装配置では、バンプ電極13は、上記平面視において、ビア導体91と重複せず非導体部と重複する領域を含む。つまり、図4に示すように、バンプ電極13とビア導体91とは、それぞれの長尺方向は揃っているが、完全に重複していない。
長尺形状のビア導体91は、まず、実装基板90にレーザなどで穴開けした後、銀(Ag)または銅(Cu)などの導体部材(例えば導電性ペースト)を充填するなどして形成される。長尺形状のビア導体91は、上記平面視において真円形状ではないため、ビア導体91の形成にあたり導体部材を充填する場合、ビア外周領域に比べてビア内周領域の導体充填量が少なくなることがある。このため、ビア外周領域に比べてビア内周領域のほうが実装基板90の主面90aにおいて凹部が発生し易いことが想定され、実装基板90の主面90aにおいてビア導体91の平坦性を確保することが困難となる。一方、上記平面視においてビア導体91を囲む非導体部は、実装基板90の主面90aにおいて平坦性が確保されている。
上記第2の実装配置によれば、バンプ電極13は、上記平面視において一部領域がビア導体91と重複し、かつ、その他の領域が非導体部と重複する。これにより、バンプ電極13とビア導体91との接続により高周波モジュール1Aの放熱性を向上させつつ、バンプ電極13と非導体部との接続により実装基板90上における送信電力増幅器11の平坦性を確保することが可能となる。
さらに、バンプ電極13とビア導体91とを完全に重ねる必要がないので、実装基板90におけるビア導体91の配置位置を、ある程度自由に選択することができ、実装基板90内での放熱領域を変えることができる。特に、ビア導体91を、熱による特性変化の大きい部品などから離して配置することも可能となり、高周波モジュール1Aの電気特性を安定化させることができる。
なお、主面90aにおけるビア導体91の面積を、バンプ電極13の面積よりも小さくしてもよい。これにより、ビア導体91を小型化できるため、実装基板90内部の配線設計の自由度を向上できる。
図5は、実施の形態の変形例2に係る高周波モジュール1Bが有する送信電力増幅器11の第3の実装配置を示す平面および断面概略図である。同図は、送信電力増幅器11が実装された領域Apの主面90aにおける電極接続構成の第2変形例である。図5に示された送信電力増幅器11の第3の実装配置は、図4に示された送信電力増幅器11の第2の実装配置と比較して、バンプ電極13とビア導体91との間に接続電極97が配置されている点が異なる。
接続電極97は、実装基板90の主面90aに配置された導体電極であり、図5の(a)に示すように、断面視において、バンプ電極13とビア導体91との間に介在し、バンプ電極13とビア導体91とを接続する平面導体層である。また、接続電極97は、図5の(b)に示すように、上記平面視において、バンプ電極13を包含し、かつ、ビア導体91を包含している。
なお、第3の実装配置においても、第2の実装配置と同様に、バンプ電極13は、上記平面視において、ビア導体91と重複せず非導体部と重複する領域を含む。つまり、図5に示すように、バンプ電極13とビア導体91とは、それぞれの長尺方向は揃っているが、完全に重複していない。
上記第3の実装配置によれば、バンプ電極13は、上記平面視において一部領域がビア導体91と重複し、かつ、その他の領域が非導体部と重複し、かつ、接続電極97は、上記平面視においてバンプ電極13およびビア導体91を包含する。つまり、接続電極97を経由したバンプ電極13とビア導体91との接続により、バンプ電極13とビア導体91との接続信頼性を向上でき、高周波モジュール1Bの放熱性をさらに向上させることができる。また、実装基板90におけるビア導体91の配置位置の自由度を確保できる。加えて、バンプ電極13と非導体部との接続により実装基板90上における送信電力増幅器11の平坦性を確保することが可能となる。
[3 複数段の電力増幅器の回路構成および電極配置構成]
図6は、実施の形態の変形例3に係る高周波モジュール1Cが有する送信電力増幅器11Aの回路構成図である。本変形例に係る送信電力増幅器11Aは、互いに縦続接続された2段の増幅トランジスタを含む構成となっている。図6に示すように、送信電力増幅器11Aは、第1電力増幅器11Pと、第2電力増幅器11Dと、を有している。
第1電力増幅器11Pは、増幅トランジスタ110Pと、キャパシタ115Pおよび116Pと、バイアス回路117Pと、コレクタ端子113Pと、エミッタ端子112Pと、入力端子114Pと、出力端子111と、を備える。
増幅トランジスタ110Pは、複数の増幅トランジスタの最後段(パワー段)に配置された第1増幅素子であり、例えば、コレクタ、エミッタおよびベースを有し、エミッタ接地型のバイポーラトランジスタであり、ベースに入力された高周波電流を増幅してコレクタから出力する。なお、増幅トランジスタ110Pは、ドレイン(コレクタに対応)、ソース(エミッタに対応)およびゲート(ベースに対応)を有する電界効果型のトランジスタであってもよい。
第2電力増幅器11Dは、増幅トランジスタ110Dと、キャパシタ115Dおよび116Dと、バイアス回路117Dと、コレクタ端子113Dと、エミッタ端子112Dと、入力端子114と、出力端子111Dと、を備える。
増幅トランジスタ110Dは、最後段に配置された増幅トランジスタ110Pよりも前段(ドライブ段)に配置された第2増幅素子であり、例えば、コレクタ、エミッタおよびベースを有し、エミッタ接地型のバイポーラトランジスタであり、ベースに入力された高周波電流を増幅してコレクタから出力する。なお、増幅トランジスタ110Dは、ドレイン(コレクタに対応)、ソース(エミッタに対応)およびゲート(ベースに対応)を有する電界効果型のトランジスタであってもよい。
キャパシタ115Pおよび115Dは、DCカット用の容量素子であり、キャパシタ115と同様の機能を有する。キャパシタ116Pおよび116Dは、DCカット用の容量素子であり、キャパシタ116と同様の機能を有する。バイアス回路117Pおよび117Dは、それぞれ、増幅トランジスタ110Pおよび110Dのベースに接続され、バイアス回路117と同様の機能を有する。
ここで、エミッタ端子112Pは、バンプ電極13に接続され、バンプ電極13およびビア導体91を介してグランドと接続されている。
本変形例に係る送信電力増幅器11Aの上記回路構成によれば、入力端子114から入力された高周波信号RFinは、増幅トランジスタ110Dのベースからエミッタに流れるベース電流Ib1となる。増幅トランジスタ110Dによりベース電流Ib1が増幅されてコレクタ電流Icc1となり、当該コレクタ電流Icc1に対応した高周波信号が出力端子111D(入力端子114P)から出力される。さらに、増幅トランジスタ110Dで増幅された高周波信号は、入力端子114Pを経由して増幅トランジスタ110Pのベースからエミッタに流れるベース電流Ib2となる。増幅トランジスタ110Pによりベース電流Ib2が増幅されてコレクタ電流Icc2となり、当該コレクタ電流Icc2に対応した高周波信号が出力端子111から出力される。このとき、エミッタ端子112Pからグランドには、ベース電流Ib2およびコレクタ電流Icc2が合算された大電流が流れる。
図7Aは、実施の形態の変形例3に係る高周波モジュール1Cが有する送信電力増幅器11Aの第4の実装配置を示す平面概略図である。同図は、本変形例に係る送信電力増幅器11Aが実装された領域Apの主面90aにおける第4の実装配置を示す平面図である。本変形例に係る高周波モジュール1Cは、送信電力増幅器11Aの主面に接続され当該主面を平面視した場合に、長尺形状であるバンプ電極13P、長尺形状であるバンプ電極13D、円形状であるバンプ電極14P、および、円形状であるバンプ電極14Dを備える。
また、実装基板90は、実装基板90を平面視した場合に長尺形状であるビア導体91A、円形状であるビア導体92Pおよび92Dを有している。
ここで、エミッタ端子112Pは、バンプ電極13Pに接続され、バンプ電極13Pおよびビア導体91Aを介してグランドと接続されている。また、エミッタ端子112Dは、バンプ電極13Dに接続され、バンプ電極13Dおよびビア導体91Aを介してグランドと接続されている。
図7Aに示すように、バンプ電極13Pとビア導体91Aとは、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも上記長尺方向に長い、バンプ電極13Pとビア導体91Aとの重複領域で接続されている。ここで、上記長尺方向に長い重複領域とは、上記平面視におけるバンプ電極13Pの領域のうち上記長尺方向に長い領域と、上記平面視におけるビア導体91Aの領域のうち上記長尺方向に長い領域とが重複している領域である。また、バンプ電極13Dとビア導体91Aとは、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも上記長尺方向に長い、バンプ電極13Dとビア導体91Aとの重複領域で接続されている。ここで、上記長尺方向に長い重複領域とは、上記平面視におけるバンプ電極13Dの領域のうち上記長尺方向に長い領域と、上記平面視におけるビア導体91Aの領域のうち上記長尺方向に長い領域とが重複している領域である。
また、バンプ電極14Pは、円形状のビア導体92Pと、上記平面視において重複した状態で接続され、バンプ電極14Dは、円形状のビア導体92Dと、上記平面視において重複した状態で接続されている。
つまり、本変形例に係る第4の実装配置において、高周波モジュール1Cは、送信電力増幅器11Aと、上記平面視において長尺形状であるバンプ電極13Pおよび長尺形状であるバンプ電極13Dと、実装基板90と、を備え、実装基板90は、上記平面視において長尺形状であるビア導体91Aを有し、バンプ電極13Pとビア導体91Aとは、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも上記長尺方向に長い、バンプ電極13Pとビア導体91Aとの重複領域により接続されている。
これによれば、複数の増幅トランジスタ110Dおよび110Pのうちで最も高出力の増幅トランジスタ110Pが、長尺形状のバンプ電極13Pおよびビア導体91Aに接続されている。また、長尺形状のバンプ電極13Pと長尺形状のビア導体91Aとが、上記平面視において長尺方向にわたって重複するように接続されるので、従来に比べて、バンプ電極13Pとビア導体91Aとの接触面積が大きくなる。よって、送信電力増幅器11Aを効果的に放熱できる。なお、本変形例に係る第4の実装配置では、パワー段の増幅トランジスタ110Pが、長尺形状のバンプ電極13Pおよびビア導体91Aを介してグランドに接続されていることに加え、ドライブ段の増幅トランジスタ110Dが、長尺形状のバンプ電極13Dおよびビア導体91Aを介してグランドに接続されているので、高周波モジュール1Cの放熱性を最大化することが可能となる。
また、本変形例の第4の実装配置によれば、バンプ電極13Pおよびバンプ電極13Dは、それぞれ、上記平面視において、一部領域がビア導体91Aと重複し、かつ、その他の領域が実装基板90の非導体部と重複する。つまり、バンプ電極13Pとビア導体91Aとの接続により高周波モジュール1Cの放熱性を向上させつつ、バンプ電極13Pおよびバンプ電極13Dと非導体部との接続により実装基板90上における送信電力増幅器11Aの平坦性を確保することが可能となる。
また、実装基板90における放熱位置を1つのビア導体91Aに集中させることができるので、高周波モジュール1Cの放熱範囲を縮小できる。
図7Bは、実施の形態の変形例4に係る高周波モジュール1Dが有する送信電力増幅器11Aの第5の実装配置を示す平面概略図である。同図は、本変形例に係る送信電力増幅器11Aが実装された領域Apの主面90aにおける第5の実装配置を示す平面図である。本変形例に係る高周波モジュール1Dは、送信電力増幅器11Aの主面に接続され、当該主面を平面視した場合に、長尺形状であるバンプ電極13P、円形状であるバンプ電極13d1、13d2および13d3、円形状であるバンプ電極14P、および、円形状であるバンプ電極14Dを備える。
また、実装基板90は、実装基板90を平面視した場合に長尺形状であるビア導体91A、円形状であるビア導体92Pおよび92Dを有している。
本変形例に係る第5の実装配置は、変形例3に係る第4の実装配置と比較して、ドライブ段の増幅トランジスタ110Dのエミッタ端子112Dに接続されたバンプ電極の構成のみが異なる。以下、本変形例に係る第5の実装配置について、変形例3に係る第4の実装配置と異なる点を中心に説明する。
バンプ電極13d1、13d2および13d3は、ビア導体91Aの長尺方向に沿って、所定の間隔をあけて離散的に配置されている。
ここで、エミッタ端子112Pは、バンプ電極13Pに接続され、バンプ電極13Pおよびビア導体91Aを介してグランドと接続されている。また、エミッタ端子112Dは、バンプ電極13d1、13d2および13d3に接続され、バンプ電極13d1〜13d3およびビア導体91Aを介してグランドと接続されている。
図7Bに示すように、バンプ電極13Pとビア導体91Aとは、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも上記長尺方向に長い、バンプ電極13Pとビア導体91Aとの重複領域で接続されている。また、バンプ電極13d1とビア導体91Aとは、上記平面視において、少なくとも一部領域が重複することにより接続されている。バンプ電極13d2とビア導体91Aとは、上記平面視において、少なくとも一部領域が重複することにより接続されている。バンプ電極13d3とビア導体91Aとは、上記平面視において、少なくとも一部領域が重複することにより接続されている。
つまり、本変形例に係る第5の実装配置において、高周波モジュール1Dは、送信電力増幅器11Aと、上記平面視において長尺形状であるバンプ電極13Pおよび長尺形状であるバンプ電極13d1〜13d3と、実装基板90とを備え、実装基板90は、上記平面視において長尺形状であるビア導体91Aを有し、バンプ電極13Pとビア導体91Aとは、上記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、上記平面視において少なくとも前記長尺方向に長い、バンプ電極13Pとビア導体91Aとの重複領域により接続されている。
これによれば、複数の増幅トランジスタ110Dおよび110Pのうちで最も高出力の増幅トランジスタ110Pが、長尺形状のバンプ電極13Pおよびビア導体91Aに接続されている。また、長尺形状のバンプ電極13Pと長尺形状のビア導体91Aとが、上記平面視において、長尺方向にわたって重複するように接続されるので、従来に比べて、バンプ電極13Pとビア導体91Aとの接触面積が大きくなる。よって、高周波モジュール1Dを効果的に放熱できる。
また、上記第5の実装配置によれば、バンプ電極13Pおよびバンプ電極13d1〜13d3は、上記平面視において、一部領域がビア導体91Aと重複し、かつ、その他の領域が実装基板90の非導体部と重複する。つまり、バンプ電極13Pとビア導体91Aとの接続により高周波モジュール1Dの放熱性を向上させつつ、バンプ電極13Pおよびバンプ電極13d1〜13d3と非導体部との接続により実装基板90上における送信電力増幅器11Aの平坦性を確保することが可能となる。
なお、変形例3および変形例4に係る送信電力増幅器11Aとして、2段の増幅トランジスタ110Pおよび110Dを有する構成を示したが、縦続接続される増幅トランジスタの数は2段でなくてもよく、3段以上であってもよい。この場合、パワー段の増幅トランジスタは、最後段の増幅トランジスタであり、ドライブ段の増幅トランジスタは、最後段よりも前段の増幅トランジスタのうちのいずれかである。
なお、上記実施の形態およびその変形例に係る高周波モジュールでは、長尺形状のバンプ電極13(または13P)は、送信電力増幅器11(または11A)に接続されたバンプ電極であるとしたが、長尺形状のバンプ電極13は、送信電力増幅器12に接続されたバンプ電極であってもよく、また、受信低雑音増幅器21または22に接続されたバンプ電極であってもよい。さらには、バンプ電極13は、送信電力増幅器および受信低雑音増幅器のような自ら発熱する能動素子に接続されていなくてもよく、送信フィルタ61T〜64Tのような増幅器の出力端に接続された受動素子に接続されていてもよい。
(その他の実施の形態など)
以上、本実施の形態に係る高周波モジュールおよび通信装置について、実施の形態およびその変形例を挙げて説明したが、本発明に係る高周波モジュールおよび通信装置は、上記実施の形態およびその変形例に限定されるものではない。上記実施の形態およびその変形例における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施の形態や、上記実施の形態およびその変形例に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、上記高周波モジュールおよび通信装置を内蔵した各種機器も本発明に含まれる。
例えば、上記実施の形態およびその変形例に係る高周波モジュールおよび通信装置において、図面に開示された各回路素子および信号経路を接続する経路の間に、別の回路素子および配線などが挿入されていてもよい。
本発明は、マルチバンド対応のフロントエンド部に配置される高周波モジュールとして、携帯電話などの通信機器に広く利用できる。
1、1A、1B、1C、1D 高周波モジュール
2 アンテナ素子
3 RF信号処理回路(RFIC)
4 ベースバンド信号処理回路(BBIC)
5 通信装置
11、11A、12 送信電力増幅器
11D 第2電力増幅器
11P 第1電力増幅器
13、13d1、13d2、13d3、13D、13P、14、14D、14P バンプ電極
21、22 受信低雑音増幅器
30 送信出力整合回路
31、32、41、42、71、72、73、74 整合回路
31C、32C、41C、42C キャパシタ
31L、32L、41L、42L インダクタ
40 受信入力整合回路
51、52、53、54、55、56 スイッチ
61、62、63、64 デュプレクサ
61R、62R、63R、64R 受信フィルタ
61T、62T、63T、64T 送信フィルタ
70 樹脂部材
80 カプラ
90 実装基板
90a、90b 主面
91、91A、92、92D、92P ビア導体
93 裏面グランド電極
93g、94g、95g、96g グランド電極
97 接続電極
100 共通端子
110、110D、110P 増幅トランジスタ
111、111D 出力端子
112、112D、112P エミッタ端子
113、113D、113P コレクタ端子
114、114P 入力端子
115、115D、115P、116、116D、116P キャパシタ
117、117D、117P バイアス回路
180 カプラ出力端子

Claims (10)

  1. 高周波部品と、
    前記高周波部品に接続され、当該高周波部品を平面視した場合に長尺形状である第1バンプ電極と、
    前記高周波部品が実装された実装基板と、を備え、
    前記実装基板は、前記実装基板を平面視した場合に長尺形状であるビア導体を有し、
    前記第1バンプ電極と前記ビア導体とは、前記平面視において長尺方向同士が揃っており、かつ、前記平面視において少なくとも前記長尺方向に長い、前記第1バンプ電極と前記ビア導体との重複領域で接続されている、
    高周波モジュール。
  2. 前記高周波部品は、電力増幅器、低雑音増幅器、および電力増幅器の出力端に接続されたフィルタの少なくとも1つである、
    請求項1に記載の高周波モジュール。
  3. 前記高周波部品は、電力増幅器であり、
    ベース端子、コレクタ端子およびエミッタ端子を有し、前記コレクタ端子から前記エミッタ端子へ向けて駆動電流を流すバイポーラトランジスタを有し、
    前記エミッタ端子は、前記第1バンプ電極および前記ビア導体を介してグランドと接続されている、
    請求項1または2に記載の高周波モジュール。
  4. さらに、
    前記高周波部品の主面に接続された第2バンプ電極を備え、
    前記第2バンプ電極は、前記ベース端子および前記コレクタ端子の少なくとも1つと接続され、
    前記平面視において、前記第1バンプ電極の面積は、前記第2バンプ電極の面積よりも大きい、
    請求項3に記載の高周波モジュール。
  5. 前記高周波部品は、電力増幅器であり、
    ゲート端子、ドレイン端子およびソース端子を有し、前記ドレイン端子から前記ソース端子へ向けて駆動電流を流す電界効果型トランジスタを有し、
    前記ソース端子は、前記第1バンプ電極および前記ビア導体を介してグランドと接続されている、
    請求項1または2に記載の高周波モジュール。
  6. さらに、
    前記高周波部品の主面に接続された第2バンプ電極を備え、
    前記第2バンプ電極は、前記ゲート端子および前記ドレイン端子の少なくとも1つと接続され、
    前記平面視において、前記第1バンプ電極の面積は、前記第2バンプ電極の面積よりも大きい、
    請求項5に記載の高周波モジュール。
  7. 前記高周波部品は、互いに縦続接続された複数の増幅素子からなる電力増幅器であり、
    前記複数の増幅素子は、
    前記複数の増幅素子の最後段に配置された第1増幅素子と、
    前記第1増幅素子よりも前段に配置された第2増幅素子と、を有し、
    前記第1バンプ電極は、前記第1増幅素子の端子に接続されている、
    請求項1〜6のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  8. 前記第1バンプ電極は、銅を主成分とする柱状電極である、
    請求項1〜7のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  9. 前記実装基板は、さらに、前記実装基板の本体であり、前記ビア導体の外周と接する非導体部を有し、
    前記第1バンプ電極は、前記平面視において、前記ビア導体と重複せず前記非導体部と重複する領域を含む、
    請求項1〜8のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  10. アンテナ素子で送受信される高周波信号を処理するRF信号処理回路と、
    前記アンテナ素子と前記RF信号処理回路との間で前記高周波信号を伝達する請求項1〜9のいずれか1項に記載の高周波モジュールと、を備える、
    通信装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022118891A1 (ja) * 2020-12-04 2022-06-09 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置
WO2022130740A1 (ja) * 2020-12-14 2022-06-23 株式会社村田製作所 高周波モジュールおよび通信装置
WO2022137708A1 (ja) * 2020-12-25 2022-06-30 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置
WO2022176454A1 (ja) * 2021-02-22 2022-08-25 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置
WO2022209742A1 (ja) * 2021-03-31 2022-10-06 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020027973A (ja) * 2018-08-09 2020-02-20 株式会社村田製作所 高周波モジュールおよび通信装置
JP2021170582A (ja) * 2020-04-15 2021-10-28 株式会社村田製作所 増幅モジュール
WO2021241339A1 (ja) * 2020-05-27 2021-12-02 株式会社村田製作所 高周波モジュールおよび通信装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1441414A1 (en) * 2003-01-23 2004-07-28 Alps Electric Co., Ltd. Dual band antenna with reduced size and height
JP4524454B2 (ja) * 2004-11-19 2010-08-18 ルネサスエレクトロニクス株式会社 電子装置およびその製造方法
JP2007295327A (ja) * 2006-04-26 2007-11-08 Hitachi Metals Ltd 高周波回路、高周波部品及び通信装置
JP5407667B2 (ja) 2008-11-05 2014-02-05 株式会社村田製作所 半導体装置
US9351404B2 (en) * 2010-11-24 2016-05-24 Hitachi Metals, Ltd. Electronic device
CN106252310B (zh) * 2016-06-02 2020-05-05 苏州能讯高能半导体有限公司 半导体器件及其制造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022118891A1 (ja) * 2020-12-04 2022-06-09 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置
WO2022130740A1 (ja) * 2020-12-14 2022-06-23 株式会社村田製作所 高周波モジュールおよび通信装置
WO2022137708A1 (ja) * 2020-12-25 2022-06-30 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置
WO2022176454A1 (ja) * 2021-02-22 2022-08-25 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置
WO2022209742A1 (ja) * 2021-03-31 2022-10-06 株式会社村田製作所 高周波モジュール及び通信装置

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