JP2020024865A - 有機ｅｌパネル製造装置、有機ｅｌパネルの製造方法及び有機ｅｌパネル - Google Patents

Abstract

【課題】歩留まりを向上させることができる有機ＥＬパネル製造装置、有機ＥＬパネルの製造方法及び有機ＥＬパネルを提供する。【解決手段】有機ＥＬパネル製造装置１は、側面１０ｃが曲面となる柱体形状を有する回転ドラム１０と、回転ドラム１０の側面１０ｃに設けられた開口部１２１内を搬送路１２０とし、搬送路１２０に沿って、湾曲した基板３を搬送する搬送部と、搬送路１２０の上方であって回転ドラム１０の側面１０ｃに取り付けられたマスクと、マスクの位置まで搬送され、回転ドラム１０の回転に応じて回転する基板３に、マスクを介して有機ＥＬパネル９の材料を蒸着させる蒸着部２０と、を備えて概略構成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、有機ＥＬパネル製造装置、有機ＥＬパネルの製造方法及び有機ＥＬパネルに関する。

従来の技術として、第１の基板、第１の基板上に形成された第１の電極、第１の電極上に形成された有機ＥＬ（Electro Luminescence）層、及び有機ＥＬ層上に形成された第２の電極を有する有機ＥＬ素子と、有機ＥＬ素子上に形成され、有機ＥＬ層を封止する第１の無機絶縁膜と、第１の無機絶縁膜上に形成された第２の基板と、を備えた表示装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

この表示装置は、曲げ応力を加えたときの中立軸が第１の無機絶縁膜と第２の基板との界面近傍に位置するように、第１の基板及び第２の基板の材料及び厚さが設定されている。この第１の基板及び第２の基板は、樹脂フィルムで形成されている。

国際公開第２００５／０２７５８２号

この従来の表示装置の第１の基板及び第２の基板がガラス基板であった場合、湾曲させる際の応力で割れて歩留まりが低下する可能性がある。

従って本発明の目的は、歩留まりを向上させることができる有機ＥＬパネル製造装置、有機ＥＬパネルの製造方法及び有機ＥＬパネルを提供することにある。

本発明の一態様は、側面が曲面となる柱体形状を有する回転ドラムと、回転ドラムの側面に設けられた開口部内を搬送路とし、搬送路に沿って、湾曲した基板を搬送する搬送部と、搬送路の上方であって回転ドラムの側面に取り付けられたマスクと、マスクの位置まで搬送され、回転ドラムの回転に応じて回転する基板に、マスクを介して有機ＥＬパネルの材料を蒸着させる蒸着部と、を備えた有機ＥＬパネル製造装置を提供する。

本発明の他の態様は、側面が曲面となる柱体形状を有する回転ドラムの側面に設けられた開口部内を搬送路とし、搬送路に沿って、湾曲した基板を搬送し、搬送路の上方であって回転ドラムの側面に取り付けられたマスクの位置まで搬送され、回転ドラムの回転に応じて回転する基板に、マスクを介して有機ＥＬパネルの材料を蒸着させる有機ＥＬパネルの製造方法を提供する。

本発明の他の態様は、上記に記載の有機ＥＬパネル製造装置によって製造された、又は上記に記載の有機ＥＬパネルの製造方法によって製造された有機ＥＬパネルを提供する。

本発明によれば、歩留まりを向上させることができる。

図１（ａ）は、実施の形態に係る有機ＥＬパネル製造装置の一例を示す概略図であり、図１（ｂ）は、有機ＥＬパネル製造装置の一例を示すブロック図である。 図２（ａ）は、実施の形態に係る有機ＥＬパネル製造装置の一例を示す要部断面図であり、図２（ｂ）は、基板と搬送部に設けられたテーパー形状の一例について説明するための概略図であり、図２（ｃ）は、有機ＥＬパネル製造装置で製造された有機ＥＬパネルの一例を示す要部断面図である。 図３（ａ）及び図３（ｂ）は、変形例に係る有機ＥＬパネル製造装置の回転ドラムの前面の形状の一例を示す概略図であり、図３（ｃ）は、搬送部のテーパー面に設けられた位置決めのための凸部の一例を示す概略図である。 図４は、実施の形態に係る有機ＥＬパネル製造装置の動作の一例を示すフローチャートである。

（実施の形態の要約）
実施の形態に係る有機ＥＬパネル製造装置は、側面が曲面となる柱体形状を有する回転ドラムと、回転ドラムの側面に設けられた開口部内を搬送路とし、搬送路に沿って、湾曲した基板を搬送する搬送部と、搬送路の上方であって回転ドラムの側面に取り付けられたマスクと、マスクの位置まで搬送され、回転ドラムの回転に応じて回転する基板に、マスクを介して有機ＥＬパネルの材料を蒸着させる蒸着部と、を備えて概略構成されている。

この有機ＥＬパネル製造装置は、予め湾曲した基板を用いて有機ＥＬパネルを製造するので、有機発光層などを形成してから湾曲させる場合と比べて、湾曲させる応力で基板が破壊されることがなく、歩留まりを向上させることができる。

[実施の形態]
（有機ＥＬパネル製造装置１の概要）
図１（ａ）は、実施の形態に係る有機ＥＬパネル製造装置の一例を示す概略図であり、図１（ｂ）は、有機ＥＬパネル製造装置の一例を示すブロック図である。図２（ａ）は、実施の形態に係る有機ＥＬパネル製造装置の一例を示す要部断面図であり、図２（ｂ）は、基板と搬送部に設けられたテーパー形状の一例について説明するための概略図であり、図２（ｃ）は、有機ＥＬパネル製造装置で製造された有機ＥＬパネルの一例を示す要部断面図である。図２（ｃ）は、有機ＥＬパネル９の一部を図示している。

なお、以下に記載する実施の形態に係る各図において、図形間の比率は、実際の比率とは異なる場合がある。また図１（ｂ）では、主な信号や情報の流れを矢印で示している。さらに数値範囲を示す「Ａ〜Ｂ」は、Ａ以上Ｂ以下の意味で用いるものとする。

有機ＥＬパネル製造装置１は、例えば、湾曲した有機ＥＬパネル９を製造するように構成されている。なお変形例として有機ＥＬパネル製造装置１は、例えば、蒸着面がフラットな基板や複数の曲率を有する基板などを用いて有機ＥＬパネル９を製造しても良い。

具体的には、有機ＥＬパネル製造装置１は、例えば、図１（ａ）〜図２（ａ）に示すように、側面１０ｃが曲面となる柱体形状を有する回転ドラム１０と、回転ドラム１０の側面１０ｃに設けられた開口部１２１内を搬送路１２０とし、搬送路１２０に沿って、湾曲した基板３を搬送する搬送部と、搬送路１２０の上方であって回転ドラム１０の側面１０ｃに取り付けられたマスクと、マスクの位置まで搬送され、回転ドラム１０の回転に応じて回転する基板３に、マスクを介して有機ＥＬパネル９の材料を蒸着させる蒸着部２０と、を備えて概略構成されている。

搬送部は、搬送路１２０に沿って並ぶ複数の搬送用ローラ１２２を有する。本実施の形態の有機ＥＬパネル製造装置１は、一例として、搬送部として第１の搬送部１２ａ〜第３の搬送部１２ｃを備えているがこれに限定されず、さらに多くても少なくても良い。また第１の搬送部１２ａ〜第３の搬送部１２ｃは、例えば、搬送用ローラ１２２が搬送路１２０に沿って三列に等間隔で並んでいる。

この第１の搬送部１２ａ〜第３の搬送部１２ｃは、例えば、図２（ａ）に示すように、１２０°間隔で設けられている。なお以下では、第１の搬送部１２ａ〜第３の搬送部１２ｃは、配置される位置が異なるだけで構成が同じであるので、共通となる搬送路１２０、開口部１２１、搬送用ローラ１２２、後述する側面１２４及び側面１２５を同じ符号としている。

また本実施の形態の有機ＥＬパネル製造装置１は、一例として、マスクとしてマスク４ａ〜マスク４ｃを備えているがこれに限定されず、さらに多くても少なくても良い。この有機ＥＬパネル製造装置１は、径方向に同じ種類のマスクが配置されている。言い換えるならマスクは、蒸着源に応じて種類が変わるように回転ドラム１０に配置されている。

そして蒸着部２０は、マスク４ａ〜マスク４ｃに応じて第１の蒸着源２１〜第３の蒸着源２３を備えて構成されている。

また有機ＥＬパネル製造装置１は、一例として、図１（ｂ）に示すように、基板位置検出部１４と、回転ドラム駆動部１６と、ローラ駆動部１８と、制御部２５と、を備えている。

基板位置検出部１４は、基板３の位置を検出する。そして基板位置検出部１４は、例えば、図１（ｂ）に示すように、検出した基板３の位置を示す基板位置情報Ｓ_１を生成して制御部２５に出力する。

回転ドラム駆動部１６は、回転ドラム１０を駆動する。この回転ドラム１０は、例えば、図１（ａ）及び図２（ａ）の紙面において時計回りに回転する。回転ドラム駆動部１６は、例えば、図１（ａ）及び図２（ａ）に示すように、制御部２５から出力される駆動信号Ｓ_２に基づいて回転ドラム１０を回転軸Ｐの周りに回転させる。なお回転ドラム駆動部１６は、例えば、回転角を検出しながら回転ドラム１０を回転させるものとする。

ローラ駆動部１８は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、制御部２５から出力される駆動信号Ｓ_３に基づいて基板３を回転ドラム１０の後面１０ａ側から前面１０ｂ側に向けて搬送する。なお図１（ａ）に示す矢印は、後面１０ａ側から前面１０ｂ側に向かう搬送方向を示している。

制御部２５は、例えば、記憶されたプログラムに従って、取得したデータに演算、加工などを行うＣＰＵ（Central Processing Unit）、半導体メモリであるＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read Only Memory）などから構成されるマイクロコンピュータである。このＲＯＭには、例えば、制御部２５が動作するためのプログラムが格納されている。ＲＡＭは、例えば、一時的に演算結果などを格納する記憶領域として用いられる。

制御部２５は、例えば、基板３の位置に応じて回転ドラム駆動部１６、ローラ駆動部１８及び蒸着部２０を制御して基板３と蒸着源とを対向させ、有機発光層６の材料を基板３に蒸着させる。

有機ＥＬパネル９は、有機ＥＬパネル製造装置１によって製造された、又は後述する有機ＥＬパネルの製造方法によって製造されたものである。この有機ＥＬパネル９は、例えば、図２（ｃ）に示すように、湾曲した２つの基板（基板３と基板８）によって有機発光層６などを挟む構成を有している。

（基板３及び基板８の構成）
基板３及び基板８は、一例として、予め湾曲させてあるガラス基板である。基板８は、例えば、有機ＥＬパネル製造装置１ではなく他の製造装置にセットされて有機発光層６などが形成された基板３と接着される。

基板３は、遠心力で撓まない厚みを有している。この基板３の厚みは、一例として、１〜２ｍｍである。なお基板３及び基板８は、例えば、ガラス基板に限定されず、透明樹脂を用いて湾曲するように形成された樹脂基板であっても良い。この樹脂基板は、ガラス基板と同様に重力によって撓まない厚みを有している。

基板３は、例えば、図１（ａ）及び図２（ａ）に示すように、回転ドラム１０の側面１０ｃの形状に応じて湾曲している。この湾曲の曲率は、回転ドラム１０の中心から最下点に位置する基板３までの距離を半径とする円の曲率となっている。また基板３は、回転ドラム１０の側面１０ｃを径方向、及び径方向と直交する方向に沿って切り取ったような形状を有している。

（マスク４ａ〜マスク４ｃの構成）
マスク４ａ〜マスク４ｃは、形成する層の形状に抜かれたパターンを有している。この層の材料は、マスクを透過して基板３にパターンを形成する。このマスク４ａ〜マスク４ｃは、例えば、有機発光層６を構成する層ごとに設けられる。なお陰極５や陽極７などを蒸着によって形成する場合、この陰極５や陽極７などのパターンに応じたマスクが配置される。

（有機ＥＬパネル９の構成）
有機ＥＬパネル９は、一例として、図２（ｃ）に示すように、基板３と、陰極５と、有機発光層６と、陽極７と、基板８と、を備えて概略構成されている。また有機ＥＬパネル９は、例えば、有機発光層６などが形成された基板３と基板８とを接着する接着層、陰極５や陽極７などを絶縁するため、ポリイミドや酸化シリコンなどを用いて形成された層間絶縁層、及び有機発光層６を液体や気体による浸食を抑制するための酸化カルシウムなどの乾燥剤層などを備えている。

陰極５は、有機発光層６から出力される光の取り出し効率を高めるため、当該光を反射する材料で形成される。陰極５は、例えば、蒸着法などにより、Ａｌ、ＡｇやＭｇなどの金属材料やその合金材料を用いて形成される。なお陰極５は、例えば、透明電極であるＩＴＯ（スズドープ酸化インジウム：Indium Tin Oxide）であっても良い。

有機発光層６は、例えば、陽極７側から順に少なくとも正孔輸送層、発光層及び電子輸送層が積層される。正孔輸送層は、例えば、α−ＮＰＤ（ジフェニルナフチルジアミン）やＴＰＤ（Triphenyl Diamine）などを用いて形成される。発光層は、例えば、アルミキノリノール錯体（Ａｌｑ３）やベリリウムキノリノール錯体（ＢｅＢｑ２）などを用いて形成される。電子輸送層は、例えば、アルミキノリノール錯体などを用いて形成される。

陽極７は、光を透過する透明電極として構成されている。従って有機発光層６によって生成された光は、図２（ｃ）の紙面上方、つまり陽極７及び基板８を介して外に出力される。この陽極７は、有機発光層６に正孔を注入するためのものである。また陰極５は、有機発光層６に電子を注入するためのものである。

陽極７は、例えば、蒸着法やスパッタリング法などにより、有機発光層６から出力される光を透過するＩＴＯなどにより形成される。

陰極５、有機発光層６及び陽極７などが形成された基板３は、例えば、基板８と接着剤などによって一体とされる。この接着剤は、例えば、エポキシ系やアクリル系などの接着剤である。

（回転ドラム１０の構成）
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、変形例に係る有機ＥＬパネル製造装置の回転ドラムの前面の形状の一例を示す概略図であり、図３（ｃ）は、搬送部のテーパー面に設けられた位置決めのための凸部の一例を示す概略図である。

回転ドラム１０は、例えば、図１（ａ）及び図２（ａ）に示すように、円筒形や円柱形を有している。柱体である回転ドラム１０の２つの底面となる後面１０ａと前面１０ｂは、真円であるがこれに限定されない。

例えば、変形例として回転ドラム１０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、後面１０ａ及び前面１０ｂが、複数の曲線を組み合わせて形成されても良い。図３（ａ）は、後面１０ａ及び前面１０ｂが、４つの曲線を組み合わせて形成された面となっている。また図３（ｂ）は、後面１０ａ及び前面１０ｂが、３つの曲線を組み合わせて形成された面となっている。

これらの変形例では、側面１０ｃは、一定の曲率を有する曲面とならず、後面１０ａと前面１０ｂの曲線に応じた複数の曲面から構成される。搬送部は、この曲面部分に配置される。従って基板３は、後面１０ａと前面１０ｂの曲線に応じた曲面を有する。言い換えるなら回転ドラム１０は、基板３の曲面に応じた側面１０ｃとなるように構成される。

回転ドラム１０は、基板３の曲面に応じて後面１０ａ及び前面１０ｂを真円にする場合、後面１０ａ及び前面１０ｂが大きくなったり小さくなったり、真円にできなかったりする可能性がある。例えば、後面１０ａ及び前面１０ｂが小さい場合では、基板３が所望の数、加工できない可能性がある。しかし変形例のように回転ドラム１０の後面１０ａ及び前面１０ｂが基板３の形状に応じた曲線の組み合わせで形成される場合、回転ドラム１０の体格の大小を抑制しつつ所望の数の基板３を加工することが可能となる。従って有機ＥＬパネル製造装置１は、回転ドラム１０の側面１０ｃを基板３の曲率に応じた形状とすることによって、後面１０ａ及び前面１０ｂが真円である場合とは異なる曲率の有機ＥＬパネル９を製造することができる。

（第１の搬送部１２ａ〜第３の搬送部１２ｃの構成）
第１の搬送部１２ａ〜第３の搬送部１２ｃは、後面１０ａ側から前面１０ｂ側に向かって基板３を搬送するように構成されている。この搬送に使用される搬送用ローラ１２２は、例えば、リング形状のゴムを備えて構成されている。

搬送路１２０の搬送方向に交差する開口部１２１の両側面（側面１２４及び側面１２５）は、例えば、図２（ａ）に示すように、回転ドラム１０の回転中心Ｐ側より側面１０ｃ側の方が、間隔が狭くなるテーパー形状を有する。

そして基板３は、例えば、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、回転ドラム１０の側面１０ｃに応じた形状に湾曲すると共に、搬送方向と交差する方向の両端面（端面３２及び端面３３）に開口部１２１のテーパー形状に応じた逆テーパー形状を有している。そして開口部１２１の両側面（側面１２４及び側面１２５）は、回転ドラム１０の回転に伴う遠心力や基板３に作用する重力による基板３の側面１０ｃ側への移動において、基板３の両端面（端面３２及び端面３３）と接触して抜け止めとなると共に蒸着の際の位置決めとなる。なお側面１２４と端面３２、及び側面１２５と端面３３とが対向した場合、間の距離が等しい、つまり側面１２４、側面１２５、端面３２及び端面３３のテーパー量が等しくされている。

基板３は、例えば、図２（ａ）に示すように、搬送部が最下点に位置する場合、重力によって下方に落下する。側面１２４及び側面１２５がテーパー形状となっているので、開口部１２１の幅が径方向に短くなって基板３の幅よりも短くなるので、基板３が側面１２４及び側面１２５に接触し、回転ドラム１０から落下することはない。

また基板３は、例えば、図２（ａ）に示すように、回転ドラム１０が回転して最下点に位置した搬送部が上に向かって移動すると、開口部１２１内を落下する。そして基板３は、やがて搬送用ローラ１２２上に落下する。この落下は、最下点を基準として回転角を０°とした場合、少なくとも９０°より大きい回転によって生じる。この落下によって基板３の裏面３１が搬送用ローラ１２２と接触して搬送が可能となるので、基板３は、搬送用ローラ１２２によって次の蒸着源と対向する位置まで搬送される。

本実施の形態では、例えば、図２（ａ）の紙面において第１の搬送部１２ａが最下点に位置する場合、第２の搬送部１２ｂにおいて搬送が行われる。有機ＥＬパネル製造装置１は、搬送及び蒸着が終了した後、回転ドラム１０を１２０°回転させ、第２の搬送部１２ｂが最下点に位置すると回転を停止し、第３の搬送部１２ｃにおいて基板３をマスクの位置まで搬送する。

ここで変形例として、例えば、図３（ｃ）に示すように、開口部１２１の側面１２４及び側面１２５から周方向に突出する凸部１２６が形成されても良い。この凸部１２６は、基板３の表面３０と接触して基板３の落下を防止すると共に蒸着源に対する位置決めとなる。

（蒸着部２０の構成）
蒸着部２０は、例えば、図１（ａ）に示すように、回転ドラム１０の下方であって有機ＥＬパネル９の材料ごとに、基板３の搬送方向に沿って複数並んで配置されている。

蒸着部２０は、例えば、有機発光層６を形成する材料を、マスクを介して基板３に蒸着させる。図１（ａ）では、一例として、第２の蒸着源２２からマスク４ｂを介して基板３の表面３０側に材料を蒸着しているところを示している。本実施の形態では、蒸着部２０として第１の蒸着源２１〜第３の蒸着源２３を記載しているが一例であってこれに限定されない。また蒸着部２０は、例えば、有機発光層６だけではなく、陰極５や陽極７を形成するように構成されても良い。

蒸着部２０は、制御部２５から出力される制御信号Ｓ_４〜制御信号Ｓ_６に基づいて第１の蒸着源２１〜第３の蒸着源２３が制御される。

以下に本実施の形態の有機ＥＬパネル製造装置１の動作の一例について図４のフローチャートに従って説明する。ここでは、有機発光層６を蒸着によって形成する場合について説明する。

（動作）
まず陰極５が形成された基板３を有機ＥＬパネル製造装置１の回転ドラム１０にセットする（Ｓｔｅｐ１）。本実施の形態の有機ＥＬパネル製造装置１の場合、３枚の基板３が第１の搬送部１２ａ〜第３の搬送部１２ｃに順次セットされる。なお基板３は、例えば、同じ搬送部に対して適切なタイミングで連続的にセットされる。

次に制御部２５は、蒸着対象の基板３をマスクの位置まで搬送する（Ｓｔｅｐ２）。具体的には、有機ＥＬパネル製造装置１の制御部２５は、基板位置検出部１４から取得した基板位置情報Ｓ_１に基づいて駆動信号Ｓ_３を生成して出力し、ローラ駆動部１８を制御して所望のマスクの位置まで基板３を搬送する。

次に制御部２５は、蒸着対象の基板３が蒸着源と対向するように回転ドラム１０を回転させる（Ｓｔｅｐ３）。具体的には、制御部２５は、回転ドラム１０の回転角に基づいて駆動信号Ｓ_２を生成して回転ドラム駆動部１６に出力し、蒸着対象の基板３と蒸着部２０の蒸着源とが対向するように回転ドラム１０を回転させる。制御部２５は、蒸着対象の基板３と蒸着源とが対向すると、回転ドラム１０の回転を停止させる。

次に制御部２５は、蒸着対象の基板３に有機発光層６の材料を蒸着させる（Ｓｔｅｐ４）。具体的には、制御部２５は、制御信号を生成して蒸着源に出力し、蒸着対象の基板３に有機発光層６の材料を蒸着させる。この際、制御部２５は、回転ドラム駆動部１６を制御し、回転ドラム１０を回転させながら蒸着を行う。

次に制御部２５は、蒸着対象の基板３に対する蒸着が全て終了したか確認する。制御部２５は、蒸着対象の基板３に対する蒸着が全て終了していない場合（Ｓｔｅｐ５：Ｎｏ）、ステップ２に処理を進める。具体的には、制御部２５は、同じ蒸着源によって材料を蒸着させる基板３をマスクの位置まで搬送し（Ｓｔｅｐ２）、そして回転ドラム１０を回転させ（Ｓｔｅｐ３）、次の蒸着を行う。

ここでステップ５において制御部２５は、蒸着対象の基板３に対する全ての蒸着が終了した場合（Ｓｔｅｐ５：Ｙｅｓ）、当該基板３の搬送が可能となったタイミングで、次の工程を行う装置まで搬送する（Ｓｔｅｐ６）。

（実施の形態の効果）
本実施の形態に係る有機ＥＬパネル製造装置１は、歩留まりを向上させることができる。具体的には、有機ＥＬパネル製造装置１は、予め湾曲した基板３を用いて有機ＥＬパネル９を製造するので、有機発光層などを形成してから湾曲させる場合と比べて、湾曲させる応力で基板３が破壊されることがなく、歩留まりを向上させることができる。またこの有機ＥＬパネル製造装置１によって製造された有機ＥＬパネル９は、予め湾曲した基板３から製造されているので、湾曲させるための応力に起因して破壊されることがないので、歩留まりが向上する。

有機ＥＬパネル製造装置１は、湾曲したガラス基板を用いて有機ＥＬパネル９を製造することができるので、樹脂フィルムで有機ＥＬパネルを製造する場合と比べて、基板３の硬度が高く、異物が刺さることが抑制されると共に異物に起因するショートやダークスポットなどの不具合が抑制され、歩留まりが向上する。またこの有機ＥＬパネル製造装置１によって製造された有機ＥＬパネル９は、ガラス基板から製造されるので、樹脂フィルムで有機ＥＬパネルを製造する場合と比べて、硬度が高く、上記の不具合を抑制して歩留まりが向上する。

有機ＥＬパネル製造装置１は、有機発光層６などが形成された基板３を湾曲させる工程が必要ないので、この工程が必要な場合と比べて、リードタイムが短縮されると共に製造された有機ＥＬパネル９を湾曲させたことによる残留応力がなく、歩留まりが向上する。またこの有機ＥＬパネル製造装置１によって製造された有機ＥＬパネル９は、湾曲したガラス基板から製造されているので、製造後に湾曲させることで生じる残留応力がなく、歩留まりが向上する。

有機ＥＬパネル製造装置１は、回転ドラム１０を回転させながら蒸着を行うので、静止した湾曲した基板に蒸着を行う場合と比べて、蒸着源との距離を一定に保ちながら蒸着ができ、均一な蒸着膜が生成され、発光ムラが低減する。またこの有機ＥＬパネル製造装置１によって製造された有機ＥＬパネル９は、有機発光層６などが均一な蒸着膜に基づいて形成されるので、発光ムラが低減される。

有機ＥＬパネル製造装置１は、重力と、搬送部のテーパー形状を有する側面１２４及び側面１２５と基板３の逆テーパー形状を有する端面３２及び端面３３との接触と、によって蒸着源に対する位置決めが行われ、またこれらの形状が回転ドラム１０からの抜け止めとなるので、この構成を採用しない場合と比べて、位置合わせの工程が必要ないため、リードタイムが短縮されると共に位置合わせ精度が向上する。またこの有機ＥＬパネル製造装置１によって製造された有機ＥＬパネル９は、位置合わせ精度が高い状態で蒸着が行われるので、発光ムラなどが低減された高い性能を有する。

なお他の実施の形態としては、側面が曲面となる柱体形状を有する回転ドラムの側面に設けられた開口部内を搬送路とし、搬送路に沿って、湾曲した基板を搬送し、搬送路の上方であって回転ドラムの側面に取り付けられたマスクの位置まで搬送され、回転ドラムの回転に応じて回転する基板に、マスクを介して有機ＥＬパネルの材料を蒸着させる有機ＥＬパネルの製造方法を用いて有機ＥＬパネルを製造しても良い。この製造方法によって製造された有機ＥＬパネルは、歩留まりが向上する。

以上、本発明のいくつかの実施の形態及び変形例を説明したが、これらの実施の形態及び変形例は、一例に過ぎず、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。これら新規な実施の形態及び変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。また、これら実施の形態及び変形例の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない。さらに、これら実施の形態及び変形例は、発明の範囲及び要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…有機ＥＬパネル製造装置、３…基板、４ａ〜４ｃ…マスク、５…陰極、６…有機発光層、７…陽極、８…基板、９…有機ＥＬパネル、１０…回転ドラム、１０ａ…後面、１０ｂ…前面、１０ｃ…側面、１２ａ〜１２ｃ…第１の搬送部〜第３の搬送部、１４…基板位置検出部、１６…回転ドラム駆動部、１８…ローラ駆動部、２０…蒸着部、２１〜２３…第１の蒸着源〜第３の蒸着源、２５…制御部、３０…表面、３１…裏面、３２…端面、３３…端面、１２０…搬送路、１２１…開口部、１２２…搬送用ローラ、１２４…側面、１２５…側面、１２６…凸部

Claims (8)

1. 側面が曲面となる柱体形状を有する回転ドラムと、
   前記回転ドラムの前記側面に設けられた開口部内を搬送路とし、前記搬送路に沿って、湾曲した基板を搬送する搬送部と、
   前記搬送路の上方であって前記回転ドラムの前記側面に取り付けられたマスクと、
   前記マスクの位置まで搬送され、前記回転ドラムの回転に応じて回転する前記基板に、前記マスクを介して有機ＥＬパネルの材料を蒸着させる蒸着部と、
   を備えた有機ＥＬパネル製造装置。
2. 前記搬送部は、前記搬送路に沿って並ぶ複数の搬送用ローラを有する、
   請求項１に記載の有機ＥＬパネル製造装置。
3. 前記搬送路の搬送方向に交差する前記開口部の両側面は、前記回転ドラムの回転中心側より前記側面側の方が、間隔が狭くなるテーパー形状を有する、
   請求項１又は２に記載の有機ＥＬパネル製造装置。
4. 前記基板は、前記回転ドラムの前記側面に応じた形状に湾曲すると共に、前記搬送方向と交差する方向の両端面が前記開口部の前記テーパー形状に応じた逆テーパー形状を有し、
   前記開口部の前記両側面は、前記回転ドラムの回転に伴う遠心力や前記基板に作用する重力による前記基板の前記側面側への移動において、前記基板の前記両端面と接触して抜け止めとなると共に蒸着の際の位置決めとなる、
   請求項３に記載の有機ＥＬパネル製造装置。
5. 前記蒸着部は、前記回転ドラムの下方であって前記有機ＥＬパネルの材料ごとに、前記基板の搬送方向に沿って複数並んで配置される、
   請求項１乃至４のいずれか１項に記載の有機ＥＬパネル製造装置。
6. 側面が曲面となる柱体形状を有する回転ドラムの前記側面に設けられた開口部内を搬送路とし、前記搬送路に沿って、湾曲した基板を搬送し、
   前記搬送路の上方であって前記回転ドラムの前記側面に取り付けられたマスクの位置まで搬送され、前記回転ドラムの回転に応じて回転する前記基板に、前記マスクを介して有機ＥＬパネルの材料を蒸着させる、
   有機ＥＬパネルの製造方法。
7. 前記基板は、前記搬送方向と交差する方向の端部に前記開口部の前記テーパー形状に応じた逆テーパー形状を有し、
   前記開口部は、前記回転ドラムの遠心力によって前記両側面が前記基板の前記端部と接触して抜け止めとなる、
   請求項６に記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
8. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の有機ＥＬパネル製造装置によって製造された、又は請求項６もしくは請求項７に記載の有機ＥＬパネルの製造方法によって製造された有機ＥＬパネル。

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