JP2020024446A - 光学フィルタ - Google Patents
光学フィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020024446A JP2020024446A JP2019190868A JP2019190868A JP2020024446A JP 2020024446 A JP2020024446 A JP 2020024446A JP 2019190868 A JP2019190868 A JP 2019190868A JP 2019190868 A JP2019190868 A JP 2019190868A JP 2020024446 A JP2020024446 A JP 2020024446A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical filter
- wavelength
- solution
- composition
- phosphonic acid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 264
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 74
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims abstract description 51
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 109
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 59
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N Phosphorous acid Chemical compound OP(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 36
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 35
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 34
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 33
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 17
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 15
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 15
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 8
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 150000003009 phosphonic acids Chemical class 0.000 abstract description 3
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 abstract description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 112
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 48
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 44
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 39
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 39
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 38
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 38
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 38
- -1 phenylbutyl group Chemical group 0.000 description 31
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 26
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 21
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 18
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 18
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 12
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 12
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 11
- 239000000047 product Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 9
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 8
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 8
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 8
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 6
- NWFNSTOSIVLCJA-UHFFFAOYSA-L copper;diacetate;hydrate Chemical compound O.[Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O NWFNSTOSIVLCJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004807 desolvation Methods 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 150000003014 phosphoric acid esters Chemical class 0.000 description 4
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 4
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 3
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 239000007859 condensation product Substances 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 3
- PXACTUVBBMDKRW-UHFFFAOYSA-N 4-bromobenzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=C(Br)C=C1 PXACTUVBBMDKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N Indole Chemical compound C1=CC=C2NC=CC2=C1 SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 2
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000012025 fluorinating agent Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 239000005303 fluorophosphate glass Substances 0.000 description 2
- 125000004464 hydroxyphenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002454 metastable transfer emission spectrometry Methods 0.000 description 2
- 125000006501 nitrophenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005429 oxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000005365 phosphate glass Substances 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 2
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 125000005425 toluyl group Chemical group 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CZHYAAVLICZNRV-UHFFFAOYSA-N (4-bromophenyl)methanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC1=CC=C(Br)C=C1 CZHYAAVLICZNRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDGIQCFWQNHSMV-UHFFFAOYSA-N (4-bromophenyl)phosphonic acid Chemical compound OP(O)(=O)C1=CC=C(Br)C=C1 XDGIQCFWQNHSMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYUKAAZJZMQJGE-UHFFFAOYSA-N (4-methylphenyl)methanesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(CS(O)(=O)=O)C=C1 VYUKAAZJZMQJGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZUWVSFITLRLXOF-UHFFFAOYSA-L C(CCC)S(=O)(=O)[O-].[Cu+2].C(CCC)S(=O)(=O)[O-] Chemical compound C(CCC)S(=O)(=O)[O-].[Cu+2].C(CCC)S(=O)(=O)[O-] ZUWVSFITLRLXOF-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 241000511976 Hoya Species 0.000 description 1
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QLZHNIAADXEJJP-UHFFFAOYSA-N Phenylphosphonic acid Chemical compound OP(O)(=O)C1=CC=CC=C1 QLZHNIAADXEJJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N butane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCS(O)(=O)=O QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- UOKRBSXOBUKDGE-UHFFFAOYSA-N butylphosphonic acid Chemical compound CCCCP(O)(O)=O UOKRBSXOBUKDGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- WYKCOLQQHSQKIU-UHFFFAOYSA-L copper butyl-dioxido-oxo-lambda5-phosphane Chemical compound [Cu++].CCCCP([O-])([O-])=O WYKCOLQQHSQKIU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RIOSFUBRIQHOMS-UHFFFAOYSA-L copper;benzenesulfonate Chemical compound [Cu+2].[O-]S(=O)(=O)C1=CC=CC=C1.[O-]S(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 RIOSFUBRIQHOMS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DHGSSULXZRNIPW-UHFFFAOYSA-L copper;dioxido-oxo-phenyl-$l^{5}-phosphane Chemical compound [Cu+2].[O-]P([O-])(=O)C1=CC=CC=C1 DHGSSULXZRNIPW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000006081 fluorescent whitening agent Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- PZOUSPYUWWUPPK-UHFFFAOYSA-N indole Natural products CC1=CC=CC2=C1C=CN2 PZOUSPYUWWUPPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKJUIXBNRJVNHR-UHFFFAOYSA-N indolenine Natural products C1=CC=C2CC=NC2=C1 RKJUIXBNRJVNHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M merocyanine Chemical compound [Na+].O=C1N(CCCC)C(=O)N(CCCC)C(=O)C1=C\C=C\C=C/1N(CCCS([O-])(=O)=O)C2=CC=CC=C2O\1 DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- RCMHUQGSSVZPDG-UHFFFAOYSA-N phenoxybenzene;phosphoric acid Chemical class OP(O)(O)=O.C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 RCMHUQGSSVZPDG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003884 phenylalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000286 phenylethyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004344 phenylpropyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012643 polycondensation polymerization Methods 0.000 description 1
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000003678 scratch resistant effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M thionine Chemical compound [Cl-].C1=CC(N)=CC2=[S+]C3=CC(N)=CC=C3N=C21 ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000000870 ultraviolet spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/22—Absorbing filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Blocking Light For Cameras (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
Description
ホスホン酸及びスルホン酸の少なくとも一つの酸と銅イオンとによって形成された紫外線及び赤外線を吸収可能なUV‐IR吸収剤を含むUV‐IR吸収層を備え、
5%以下のヘイズを有する、
光学フィルタを提供する。
光学フィルタ用組成物であって、
ホスホン酸及びスルホン酸の少なくとも一つの酸と、銅イオンとを含み、
当該光学フィルタ用組成物の塗膜を硬化させて100〜300μmの厚みを有する層を形成したときに、前記層が紫外線及び赤外線を吸収可能であり、かつ、前記層のヘイズが5%以下である、
組成物を提供する。
(i)波長450nm〜600nmにおいて78%以上の平均透過率
(ii)波長300nm〜350nmにおいて1%以下の分光透過率
(iii)波長600nm〜750nmにおいて波長の増加に伴い減少する分光透過率及び波長610nm〜680nmの範囲内に存在する第一IRカットオフ波長
(iv)波長350nm〜450nmにおいて波長の増加に伴い増加する分光透過率及び波長380nm〜430nmの範囲内に存在する第一UVカットオフ波長
(v)波長750nm〜1080nmにおいて5%以下の分光透過率
(vi)波長1000〜1100nmにおいて10%以下の分光透過率
(vii)波長1100〜1200nmにおいて15%以下の分光透過率
(I)波長450nm〜600nmにおいて78%以上の平均透過率を有する。
(II)波長300nm〜350nmにおいて1%以下の分光透過率を有する。
(III)波長600nm〜750nmにおいて波長の増加に伴い減少する分光透過率を有するとともに、波長600nm〜750nmにおいて分光透過率が50%を示す第一IRカットオフ波長が波長610nm〜680nmの範囲内に存在する。
(IV)波長350nm〜450nmにおいて波長の増加に伴い増加する分光透過率を有するとともに、波長350nm〜450nmにおいて分光透過率が50%を示す第一UVカットオフ波長が波長380nm〜430nmの範囲内に存在する。
光学フィルタ1aは、様々な観点から変更可能である。例えば、光学フィルタ1aは、図1B〜図1Fに示す光学フィルタ1b〜1fにそれぞれ変更されてもよい。光学フィルタ1b〜1fは、特に説明する場合を除き、光学フィルタ1aと同様に構成されている。光学フィルタ1aの構成要素と同一又は対応する光学フィルタ1b〜1fの構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。光学フィルタ1aに関する説明は、技術的に矛盾しない限り光学フィルタ1b〜1fにも当てはまる。
酢酸銅一水和物4.500gとテトラヒドロフラン(THF)240gとを混合して、3時間撹拌し酢酸銅溶液を得た。次に、得られた酢酸銅溶液に、リン酸エステル化合物であるプライサーフA208N(第一工業製薬社製)を1.646g加えて30分間撹拌し、A液を得た。フェニルホスホン酸0.706gにTHF40gを加えて30分間撹拌し、B−1液を得た。4‐ブロモフェニルホスホン酸4.230gにTHF40gを加えて30分間撹拌し、B−2液を得た。次に、B−1液とB−2液とを混ぜて1分間撹拌し、メチルトリエトキシシラン(MTES:信越化学工業社製)8.664gとテトラエトキシシラン(TEOS:キシダ化学社製 特級)2.840gとをこの混合液に加えて、さらに1分間撹拌し、B液を得た。A液を撹拌しながらA液にB液を加え、室温で1分間撹拌した。次に、この溶液にトルエン140gを加えた後、室温で1分間撹拌し、C液を得た。このC液をフラスコに入れてオイルバス(東京理化器械社製、型式:OSB−2100)で加温しながら、ロータリーエバポレータ(東京理化器械社製、型式:N−1110SF)によって、脱溶媒処理を行った。オイルバスの設定温度は、105℃に調整した。その後、フラスコの中から脱溶媒処理後の実施例1に係るD液を取り出した。脱溶媒処理において溶媒を完全に除去してしまわずに、D液の粘度がある程度低くなるように脱溶媒処理を実施した。フェニル系ホスホン酸銅(UV‐IR吸収剤)の微粒子の分散液であるD液は透明であり、D液においてその微粒子が良好に分散していた。得られたD液は107.06gであった。D液を得るためのトルエンの添加量、得られたD液の質量、及びD液における銅イオンの濃度を表1に示す。
D液を得るためのトルエンの添加量、得られたD液の質量、及びD液における銅イオンの濃度が表1に示す通りになるように、D液の調製条件を変更した以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜15に係るD液及び比較例1に係るD液を調製した。H液を得るためのトルエンの添加量、得られたH液の質量、及びH液における銅イオンの濃度が表2に示す通りになるように、H液の調製条件を変更した以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜15及び比較例1に係るH液を調製した。D液、H液、及びシリコーン樹脂の添加量を表3に示すように調整した以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜15及び比較例1に係る光学フィルタ用組成物を調製した。さらに、実施例1に係る光学フィルタ用組成物の代わりに、実施例2〜15及び比較例1に係る光学フィルタ用組成物を用いた以外は、実施例1と同様にして、それぞれ、実施例2〜15及び比較例1に係る光学フィルタを作製した。
酢酸銅一水和物4.500gとテトラヒドロフラン(THF)240gとを混合して、3時間撹拌し酢酸銅溶液を得た。次に、得られた酢酸銅溶液に、リン酸エステル化合物であるプライサーフA208N(第一工業製薬社製)を1.646g加えて30分間撹拌し、A液を得た。パラトルエンスルホン酸0.769gにTHF40gを加えて30分間撹拌し、B−1液を得た。4‐ブロモベンゼンスルホン酸4.230gにTHF40gを加えて30分間撹拌し、B−2液を得た。次に、B−1液とB−2液とを混ぜて1分間撹拌し、メチルトリエトキシシラン(MTES:信越化学工業社製)8.664gとテトラエトキシシラン(TEOS:キシダ化学社製 特級)2.840gとをこの混合液に加えて、さらに1分間撹拌し、B液を得た。A液を撹拌しながらA液にB液を加え、室温で1分間撹拌した。次に、この溶液にトルエン140gを加えた後、室温で1分間撹拌し、C液を得た。このC液をフラスコに入れてオイルバス(東京理化器械社製、型式:OSB−2100)で加温しながら、ロータリーエバポレータ(東京理化器械社製、型式:N−1110SF)によって、脱溶媒処理を行った。オイルバスの設定温度は、105℃に調整した。その後、フラスコの中から脱溶媒処理後の実施例1に係るD液を取り出した。脱溶媒処理において溶媒を完全に除去してしまわずに、D液の粘度がある程度低くなるように脱溶媒処理を実施した。フェニル系スルホン酸銅(UV‐IR吸収剤)の微粒子の分散液であるD液は透明であり、D液においてその微粒子が良好に分散していた。得られたD液は107.12gであった。D液を得るためのトルエンの添加量、得られたD液の質量、及びD液における銅イオンの濃度を表1に示す。
振動式粘度計(セコニック社製、プローブ:PR−10 L、コントローラ:VM−10A)を用いて、各実施例及び比較例1に係る光学フィルタ用組成物の22〜23℃における粘度を測定した。結果を表3に示す。表3に示す通り、各実施例に係る光学フィルタ用組成物の22〜23℃における粘度は1〜200mPa・sの範囲に含まれていたのに対し、比較例1に係る光学フィルタ用組成物の22〜23℃における粘度は330mPa・sであった。
ステンレス製トレイの底に、アルミニウムシート(住軽アルミ箔社製、厚み:12μm)を敷き、そのアルミニウムシート上に、硬化後の厚みが100〜300μmになるように、各実施例及び比較例1に係る光学フィルタ用組成物を塗布し、硬化前サンプルを準備した。硬化前サンプルを、内部の温度が45℃に保たれているオーブンに入れてそのままオーブンの内部の温度を45℃で2時間保った。その後、さらにオーブンの内部の温度を30分間かけて85℃まで上昇させ、そのままオーブンの内部の温度を85℃で6時間保った。その後、オーブンの電源を切って自然冷却させ、オーブンの内部の温度が室温程度の温度まで下がった後にオーブンからサンプルを取り出した。次に、そのサンプルを恒温恒湿槽に入れて、恒温恒湿槽の内部を45分間かけて温度85℃及び相対湿度85%の環境に変化させ、そのまま恒温恒湿槽をその環境で2時間保った。その後、恒温恒湿槽の環境を45分間かけて温度及び湿度を十分に低下させてから恒温恒湿槽からサンプルを取り出した。サンプルは十分に乾燥し硬化していた。硬化後のサンプルの質量Wbを計測して、その計測結果を固形分の質量と決定した。硬化後のサンプルの質量Wb及び硬化前のサンプルの質量Waから、各実施例及び比較例1に係る光学フィルタ用組成物における固形分比(Wb/Wa×100)を求めた。結果を表3に示す。
レーザー変位計(キーエンス社製、製品名:LK−H008)を用いて、各実施例及び比較例1に係る光学フィルタの表裏面の距離を測定して、各実施例及び比較例1に係る光学フィルタの厚みを算出した。結果を表4に示す。
ヘイズメーター(村上色彩技術研究所社製、製品名:HM−65L2)を用いて、各実施例及び比較例1に係る光学フィルタのヘイズをJIS K 7136:2000に準拠して測定した。
結果を表4に示す。
紫外線可視分光光度計(日本分光社製、製品名:V−670)を用いて、波長300nm〜1200nmの光を0°の入射角度で各実施例及び比較例1に係る光学フィルタに入射させたときの透過率スペクトルを測定した。この透過率スペクトルから、各実施例及び比較例1に係る光学フィルタに対し、波長450〜600nmにおける平均透過率、波長300〜350nmにおける平均透過率、IRカットオフ波長、及びUVカットオフ波長を求めた。結果を表4に示す。実施例1、4、13、14、及び15並びに比較例1に係る透過率スペクトルをそれぞれ図3〜図8に示す。
ホスホン酸と銅イオンとによって形成された紫外線及び赤外線を吸収可能なUV‐IR吸収剤を含むUV‐IR吸収層を備え、
前記ホスホン酸は、フェニル基又はフェニル基における少なくとも一つの水素原子がハロゲン原子に置換されたハロゲン化フェニル基を有するホスホン酸を含み、
5%以下のヘイズを有する、
光学フィルタを提供する。
Claims (10)
- ホスホン酸及びスルホン酸の少なくとも一つの酸と銅イオンとによって形成された紫外線及び赤外線を吸収可能なUV‐IR吸収剤を含むUV‐IR吸収層を備え、
5%以下のヘイズを有する、
光学フィルタ。 - 0°の入射角度で波長300nm〜1200nmの光を入射させたときに、
(i)波長450nm〜600nmにおいて78%以上の平均透過率を有し、
(ii)波長300nm〜350nmにおいて1%以下の分光透過率を有し、
(iii)波長600nm〜750nmにおいて波長の増加に伴い減少する分光透過率を有するとともに、波長600nm〜750nmにおいて分光透過率が50%を示す第一IRカットオフ波長が波長610nm〜680nmの範囲内に存在し、
(iv)波長350nm〜450nmにおいて波長の増加に伴い増加する分光透過率を有するとともに、波長350nm〜450nmにおいて分光透過率が50%を示す第一UVカットオフ波長が波長380nm〜430nmの範囲内に存在する、
請求項1に記載の光学フィルタ。 - 前記ホスホン酸は、アリール基を有する第一ホスホン酸を含む、請求項1又は2に記載の光学フィルタ。
- 前記第一ホスホン酸は、その一部において、フェニル基における少なくとも1つの水素原子がハロゲン原子に置換されているハロゲン化フェニル基を有する、請求項3に記載の光学フィルタ。
- 前記ホスホン酸は、アルキル基を有する第二ホスホン酸をさらに含む、請求項3又は4に記載の光学フィルタ。
- 光学フィルタ用組成物であって、
ホスホン酸及びスルホン酸の少なくとも一つの酸と、銅イオンとを含み、
当該光学フィルタ用組成物の塗膜を硬化させて100〜300μmの厚みを有する層を形成したときに、前記層が紫外線及び赤外線を吸収可能であり、かつ、前記層のヘイズが5%以下である、
組成物。 - 0°の入射角度で波長300nm〜1200nmの光を前記層に入射させたときに、
(I)波長450nm〜600nmにおいて78%以上の平均透過率を有し、
(II)波長300nm〜350nmにおいて1%以下の分光透過率を有し、
(III)波長600nm〜750nmにおいて波長の増加に伴い減少する分光透過率を有するとともに、波長600nm〜750nmにおいて分光透過率が50%を示す第一IRカットオフ波長が波長610nm〜680nmの範囲内に存在し、
(IV)波長350nm〜450nmにおいて波長の増加に伴い増加する分光透過率を有するとともに、波長350nm〜450nmにおいて分光透過率が50%を示す第一UVカットオフ波長が波長380nm〜430nmの範囲内に存在する、
請求項6に記載の組成物。 - 22〜23℃において1〜200mPa・sの粘度を有する、請求項6又は7に記載の組成物。
- 固形分の含有量が3〜17質量%である、請求項6〜8のいずれか1項に記載の組成物。
- 銅イオンの含有量が、0.5〜2.2質量%である、請求項6〜9のいずれか1項に記載の組成物。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018086686 | 2018-04-27 | ||
JP2018086686 | 2018-04-27 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019538708A Division JP6606626B1 (ja) | 2018-04-27 | 2019-04-22 | 光学フィルタ及び光学フィルタ用組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020024446A true JP2020024446A (ja) | 2020-02-13 |
JP6646179B2 JP6646179B2 (ja) | 2020-02-14 |
Family
ID=68295330
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019538708A Active JP6606626B1 (ja) | 2018-04-27 | 2019-04-22 | 光学フィルタ及び光学フィルタ用組成物 |
JP2019190869A Active JP6686222B2 (ja) | 2018-04-27 | 2019-10-18 | 光学フィルタ用組成物及び光学フィルタを製造する方法 |
JP2019190868A Active JP6646179B2 (ja) | 2018-04-27 | 2019-10-18 | 光学フィルタ |
JP2020065892A Active JP6783966B2 (ja) | 2018-04-27 | 2020-04-01 | 光学フィルタ |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019538708A Active JP6606626B1 (ja) | 2018-04-27 | 2019-04-22 | 光学フィルタ及び光学フィルタ用組成物 |
JP2019190869A Active JP6686222B2 (ja) | 2018-04-27 | 2019-10-18 | 光学フィルタ用組成物及び光学フィルタを製造する方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020065892A Active JP6783966B2 (ja) | 2018-04-27 | 2020-04-01 | 光学フィルタ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (4) | JP6606626B1 (ja) |
TW (2) | TW202323871A (ja) |
WO (1) | WO2019208518A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7474056B2 (ja) * | 2020-01-10 | 2024-04-24 | 日本板硝子株式会社 | 光学フィルタ |
CN118647907A (zh) * | 2022-02-22 | 2024-09-13 | 日本板硝子株式会社 | 滤光器、光吸收性组合物、制造滤光器的方法、感测装置和感测方法 |
WO2023248738A1 (ja) * | 2022-06-24 | 2023-12-28 | 日本板硝子株式会社 | 光吸収体、光吸収性化合物、光吸収性化合物の分散液、光吸収性組成物、光学フィルタ、光電変換素子、環境光センサ、及び撮像装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009123016A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 株式会社クレハ | ホスホン酸銅化合物、並びにこれを含む赤外吸収材料及び積層体 |
JP2009242650A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Kureha Corp | 銅塩組成物、並びに、これを用いた樹脂組成物、赤外吸収膜及び光学部材 |
WO2017183671A1 (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 日本板硝子株式会社 | 赤外線吸収性組成物、赤外線カットフィルタ、及び撮像光学系 |
JP6267823B1 (ja) * | 2017-07-27 | 2018-01-24 | 日本板硝子株式会社 | 光学フィルタ、カメラモジュール、及び情報端末 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2633170B2 (ja) * | 1992-08-20 | 1997-07-23 | 呉羽化学工業株式会社 | 光学フィルター |
JP5594110B2 (ja) * | 2010-01-15 | 2014-09-24 | 旭硝子株式会社 | 撮像装置用レンズおよび撮像装置 |
JP5611631B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2014-10-22 | 株式会社クレハ | 近赤外線吸収フィルターおよびその製造方法 |
JP6180379B2 (ja) * | 2013-07-12 | 2017-08-16 | 富士フイルム株式会社 | 近赤外線吸収性組成物、近赤外線カットフィルタおよびその製造方法、ならびに固体撮像素子 |
JP6232161B1 (ja) * | 2017-07-27 | 2017-11-15 | 日本板硝子株式会社 | 光学フィルタ |
-
2019
- 2019-04-22 JP JP2019538708A patent/JP6606626B1/ja active Active
- 2019-04-22 WO PCT/JP2019/017086 patent/WO2019208518A1/ja active Application Filing
- 2019-04-26 TW TW112103478A patent/TW202323871A/zh unknown
- 2019-04-26 TW TW108114669A patent/TWI791823B/zh active
- 2019-10-18 JP JP2019190869A patent/JP6686222B2/ja active Active
- 2019-10-18 JP JP2019190868A patent/JP6646179B2/ja active Active
-
2020
- 2020-04-01 JP JP2020065892A patent/JP6783966B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009123016A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 株式会社クレハ | ホスホン酸銅化合物、並びにこれを含む赤外吸収材料及び積層体 |
JP2009242650A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Kureha Corp | 銅塩組成物、並びに、これを用いた樹脂組成物、赤外吸収膜及び光学部材 |
WO2017183671A1 (ja) * | 2016-04-21 | 2017-10-26 | 日本板硝子株式会社 | 赤外線吸収性組成物、赤外線カットフィルタ、及び撮像光学系 |
JP6267823B1 (ja) * | 2017-07-27 | 2018-01-24 | 日本板硝子株式会社 | 光学フィルタ、カメラモジュール、及び情報端末 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020024447A (ja) | 2020-02-13 |
JP6646179B2 (ja) | 2020-02-14 |
JP6783966B2 (ja) | 2020-11-11 |
JP6686222B2 (ja) | 2020-04-22 |
TW202001301A (zh) | 2020-01-01 |
TW202323871A (zh) | 2023-06-16 |
WO2019208518A1 (ja) | 2019-10-31 |
JP6606626B1 (ja) | 2019-11-13 |
JPWO2019208518A1 (ja) | 2020-04-30 |
JP2020112826A (ja) | 2020-07-27 |
TWI791823B (zh) | 2023-02-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11885993B2 (en) | Optical filter and method of manufacturing | |
US12072517B2 (en) | Light-absorbing composition and method of manufacturing | |
JP6646179B2 (ja) | 光学フィルタ | |
JP6435033B1 (ja) | 光学フィルタ | |
JP6368417B1 (ja) | 光学フィルタ | |
JP6545780B2 (ja) | 光学フィルタ及びカメラ付き情報端末 | |
JP6368443B1 (ja) | Uv‐ir吸収性組成物 | |
JP6368444B1 (ja) | 光学フィルタの製造方法 | |
JP6778222B2 (ja) | 光学フィルタ及びカメラモジュール | |
JP6634541B1 (ja) | 光学フィルタ、カメラモジュール、及び情報端末 | |
JP6634540B1 (ja) | 光学フィルタ、カメラモジュール、及び情報端末 | |
JP6640404B2 (ja) | 光学フィルタ及びカメラ付き情報端末 | |
JP2020057009A (ja) | 光学フィルタ及びカメラ付き情報端末 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191030 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191030 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20191030 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20191127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200109 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6646179 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |