JP2020021758A - Printed wiring board with electromagnetic wave shield sheet - Google Patents

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Abstract

To provide a printed wiring board with an electromagnetic wave shield sheet excellent in migration resistance, thermocompression bonding resistance, flexibility, light blocking effect, and incombustibility.SOLUTION: A printed wiring board with an electromagnetic wave shield sheet comprises an electromagnetic wave shield sheet, a cover coat layer, and a substrate with signal wiring and an insulating base material. The electromagnetic wave shield sheet has a phosphorus (P)-containing layer. The cover coat layer has a cured product of a resin layer containing a colorant. The shortest distance between the phosphorus (P)-containing layer and the signal wiring is in the range from 5 μm to 100 μm inclusive.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、電磁波シールドシート付きプリント配線板に関する。   The present invention relates to a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet.

近年では、小型化・薄型化が急速に進む携帯電話、ビデオカメラ、ノートパソコンなどの電子機器において、柔軟で可撓性のあるフレキシブルプリント基板(以下、FPCという)は必要不可欠となっている。さらに電子機器の高性能化に伴い内蔵される信号配線の狭ピッチ化・高周波化が進むため、電磁波ノイズに対する対策が重要度を増している。そのためFPCには、信号配線から発生する電磁波ノイズを遮蔽もしくは吸収する電磁波シールド材を組み込むことが一般的になっている。   2. Description of the Related Art In recent years, flexible and flexible flexible printed circuit boards (hereinafter, referred to as FPCs) have become indispensable for electronic devices such as mobile phones, video cameras, and notebook computers, which are rapidly becoming smaller and thinner. Further, as the pitch of the built-in signal wiring becomes narrower and higher in frequency as the performance of electronic devices becomes higher, measures against electromagnetic wave noise have become increasingly important. Therefore, it is common to incorporate an electromagnetic wave shielding material that shields or absorbs electromagnetic wave noise generated from signal wiring into the FPC.

尚、FPCは、エッチング処理により回路形成した銅張積層版(CCL)とカバーコート層から構成される。カバーコート層の形成は、カバーレイフィルム、感光性インク(ソルダーレジスト)、または感光性フィルム(ドライレジストフィルム)等から選択するのが一般的であり、取り扱いの容易さ、耐久性、絶縁信頼性の高さから、カバーレイフィルムが多く使用されている。   The FPC is composed of a copper clad laminate (CCL) having a circuit formed by an etching process and a cover coat layer. The formation of the cover coat layer is generally selected from a cover lay film, a photosensitive ink (solder resist), a photosensitive film (dry resist film), and the like, and is easy to handle, durable, and insulating reliability. Due to their height, coverlay films are often used.

カバーレイフィルムとは、絶縁性基材に熱硬化性接着剤を塗布した材料であり、このようなカバーレイフィルムを用いた利用形態として、特許文献1には、FPCのカバーコート層上に導電性接着剤層や金属薄膜層等を有するシールド層を貼り合せると共に、FPCのカバーコート層の開口部を介してグランド配線に導電接着剤層を接合して金属薄膜層を電気的に接続した電磁波シールド機能を有するFPCが開示されている。また、特許文献2には、FPCのカバーコート層上に有機リン系難燃剤を含む導電性接着剤層や金属層等を有するシールドフィルムが開示されている。   A coverlay film is a material in which a thermosetting adhesive is applied to an insulating base material. As a use form using such a coverlay film, Patent Document 1 discloses that a conductive layer is formed on a cover coat layer of an FPC. An electromagnetic wave in which a shield layer having a conductive adhesive layer, a metal thin film layer, and the like is bonded together, and a conductive adhesive layer is joined to a ground wiring through an opening of a cover coat layer of the FPC to electrically connect the metal thin film layer. An FPC having a shielding function is disclosed. Further, Patent Document 2 discloses a shield film having a conductive adhesive layer containing an organic phosphorus-based flame retardant, a metal layer, and the like on a cover coat layer of an FPC.

そして、電子機器の軽薄短小化に伴うFPCの高密度化により、微細な開口パターンを有するカバーコート層が求められるようになっており、特許文献3には、アルカリ現像性樹脂、エポキシ樹脂、光反応開始剤、光重合モノマーおよび表面処理された無機フィラーによって、解像性およびクラック耐性に優れる樹脂組成物およびドライフィルムが提案されている。   With the increase in the density of FPCs accompanying the reduction in size and size of electronic devices, a cover coat layer having a fine opening pattern has been required. Patent Literature 3 discloses an alkali developable resin, an epoxy resin, A resin composition and a dry film excellent in resolution and crack resistance by using a reaction initiator, a photopolymerizable monomer and a surface-treated inorganic filler have been proposed.

また、カバーコート層には情報保護や視認性の観点から高い遮光性も求められており、特許文献4には、カルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有する化合物、ウレタン(メタ)アクリレート、それ以外のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物、光重合開始剤、カーボンブラックによって、遮蔽性と保存安定性に優れる黒色感光性組成物およびドライフィルムが提案されている。   The cover coat layer is also required to have high light-shielding properties from the viewpoints of information protection and visibility. Patent Document 4 discloses a compound having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group, urethane (meth) acrylate, Black photosensitive compositions and dry films having excellent shielding properties and storage stability have been proposed by using a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated group other than the above, a photopolymerization initiator, and carbon black.

さらに、特許文献5には、熱硬化性樹脂と、無機充填材と、黒色酸化チタンを含む黒色顔料によって、絶縁性に優れたソルダーレジスト用樹脂組成物およびソルダーレジスト膜が提案されている。   Further, Patent Literature 5 proposes a resin composition for a solder resist and a solder resist film having excellent insulation properties by using a thermosetting resin, an inorganic filler, and a black pigment containing black titanium oxide.

特開2007−294996号公報JP 2007-294996 A WO2016/190278号公報WO2016 / 190278 特開2016−177174号公報JP-A-2006-177174 特開2012−141605号公報JP 2012-141605 A 特開2017−034213号公報JP-A-2017-034213

しかし、カバーコート層は、カバーレイフィルムに比べ絶縁基材を有さない単層構成である場合が多く、電磁波シールドシートを張り合わせた際、貼りあわせ時の熱と圧力によりカバーコート層がフローし、厚みが減少(耐熱圧着性)したり、マイグレーション耐性が極端に悪化することがある。また、遮光性を持たせるために用いられる着色剤により、活性エネルギー線による硬化が不足し、微細な開口部の形成が困難であるだけでなく、電磁波シールドシートを張り合わせた場合のマイグレーション耐性がより一層悪化してしまうことも問題となる。そして、上記マイグレーション耐性を改善するために架橋密度を増し、膜の硬度を高めると折り曲げ時にクラックが生じてしまう(屈曲性)という問題もあり、マイグレーション耐性と屈曲性の両立は困難となっている。   However, the cover coat layer is often a single layer structure without an insulating base material compared to the coverlay film, and when the electromagnetic wave shielding sheet is laminated, the cover coat layer flows due to heat and pressure at the time of lamination. In some cases, the thickness may be reduced (heat-resistant crimp resistance) or the migration resistance may be extremely deteriorated. In addition, due to the colorant used to provide light-shielding properties, curing by active energy rays is insufficient, not only is it difficult to form a fine opening, but also the migration resistance when an electromagnetic wave shielding sheet is laminated is more improved. Further deterioration is also a problem. If the crosslink density is increased to improve the migration resistance and the hardness of the film is increased, cracks may occur at the time of bending (flexibility), and it is difficult to achieve both migration resistance and flexibility. .

即ち、本発明が解決しようとする課題は、マイグレーション耐性、耐熱圧着性、屈曲性、遮光性および難燃性に優れた電磁波シールドシート付きプリント配線板を提供することである。   That is, the problem to be solved by the present invention is to provide a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet which is excellent in migration resistance, heat-resistant crimp resistance, flexibility, light shielding properties and flame retardancy.

本発明者らは、上記の課題を解決するため、鋭意検討の結果、電磁波シールドシートのりん(P)を含有する層と信号配線との間の最短距離を特定の範囲に制御することにより、上記課題を解決できることを見い出した。   The present inventors have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, by controlling the shortest distance between the phosphorus (P) -containing layer of the electromagnetic wave shielding sheet and the signal wiring to a specific range, We have found that the above problems can be solved.

即ち、本発明は、電磁波シールドシートと、カバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備する電磁波シールドシート付きプリント配線板であって、上記電磁波シールドシートが、りん(P)を含有する層を有し、カバーコート層が、着色剤を含有する樹脂層の硬化物を有し、上記りん(P)を含有する層と信号配線との間の最短距離が、5μm以上100μm以下の範囲内であることを特徴とする、電磁波シールドシート付きプリント配線板に関する。   That is, the present invention is a printed wiring board provided with an electromagnetic wave shielding sheet, comprising a substrate having an electromagnetic wave shielding sheet, a cover coat layer, a signal wiring and an insulating base material, wherein the electromagnetic wave shielding sheet is made of phosphorus (P ), The cover coat layer has a cured resin layer containing a colorant, and the shortest distance between the phosphorus (P) -containing layer and the signal wiring is 5 μm or more. The present invention relates to a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet, which is within a range of 100 μm or less.

また、本発明は、上記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が、1.0E+06〜1.0E+10Paである上記電磁波シールドシート付きプリント配線板に関する。   The present invention also relates to the printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet, wherein the cured product of the resin layer has a storage elastic modulus at 85 ° C. of 1.0E + 06 to 1.0E + 10 Pa.

また、本発明は、上記電磁波シールドシートは、少なくとも絶縁層と導電層とを有し、上記導電層がりん(P)を含有している上記電磁波シールドシート付きプリント配線板に関する。   Further, the present invention relates to the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding sheet, wherein the electromagnetic wave shielding sheet has at least an insulating layer and a conductive layer, and the conductive layer contains phosphorus (P).

また、本発明は、上記電磁波シールドシートは、少なくとも絶縁層と導電層とを有し、上記導電層がりん(P)を含有せず、上記絶縁層がりん(P)を含有している上記電磁波シールドシート付きプリント配線板に関する。   Further, according to the present invention, the electromagnetic wave shielding sheet has at least an insulating layer and a conductive layer, wherein the conductive layer does not contain phosphorus (P) and the insulating layer contains phosphorus (P). The present invention relates to a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet.

本発明により、マイグレーション耐性、耐熱圧着性、屈曲性、遮光性および難燃性に優れた電磁波シールドシート付きプリント配線板を提供できるようになった。   According to the present invention, it is possible to provide a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet, which is excellent in migration resistance, heat compression resistance, flexibility, light shielding properties, and flame retardancy.

図1は、マイグレーション試験を説明した概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating a migration test.

以下、本発明を適用した実施形態の一例について説明する。尚、以降の図における各部材のサイズや比率は、説明の便宜上のものであり、これに限定されるものではない。また、本明細書において「任意の数A〜任意の数B」なる記載は、当該範囲に数Aが下限値として、数Bが上限値として含まれる。また、本明細書における「シート」とは、JISにおいて定義される「シート」のみならず、「フィルム」も含むものとする。また、本明細書において特定する数値は、実施形態または実施例に開示した方法により求められる値である。また、本明細書中、「部」及び「%」は、特に断りのない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を表す。   Hereinafter, an example of an embodiment to which the present invention is applied will be described. Note that the sizes and ratios of the respective members in the following drawings are for convenience of explanation, and are not limited thereto. In the present specification, the description “any number A to any number B” includes the number A as a lower limit and the number B as an upper limit in the range. The term “sheet” in this specification includes not only “sheet” defined in JIS but also “film”. The numerical values specified in the present specification are values obtained by the method disclosed in the embodiment or the example. In this specification, “parts” and “%” represent “parts by mass” and “% by mass”, respectively, unless otherwise specified.

本発明の電磁波シールドシート付きプリント配線板は、電磁波シールドシートと、カバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備する電磁波シールドシート付きプリント配線板であって、電磁波シールドシートが、りん(P)を含有する層を有し、カバーコート層が、着色剤を含有する樹脂層の硬化物を有し、上記りん(P)を含有する層と信号配線との間の最短距離が、5μm以上100μm以下の範囲内であることを特徴とする。   A printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet according to the present invention is a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet, comprising: a substrate having an electromagnetic wave shielding sheet, a cover coat layer, a signal wiring and an insulating base material. Has a layer containing phosphorus (P), the cover coat layer has a cured product of a resin layer containing a colorant, and has a shortest distance between the layer containing phosphorus (P) and the signal wiring. The distance is within a range of 5 μm or more and 100 μm or less.

<カバーコート層>
カバーコート層は、基線板の信号配線を覆い外部環境から保護するための絶縁層であり、樹脂層の硬化物を有する。基板に樹脂層を設ける方法としては、硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有するドライレジストフィルムを形成し、基板にラミネートする方法や、基板に硬化性樹脂組成物を直接塗布する方法が挙げられる。これら樹脂層を硬化させることによりカバーコート層を得ることができる。ここで、硬化性樹脂組成物としては、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物および/または熱硬化性樹脂組成物が挙げられる。本発明を適用した実施形態の説明において、主にドライレジストフィルムを用いた例を記載するが、これに限定されるわけではない。
<Cover coat layer>
The cover coat layer is an insulating layer for covering the signal wiring of the base plate and protecting it from the external environment, and has a cured resin layer. Examples of a method of providing a resin layer on a substrate include a method of forming a dry resist film having a resin layer made of a curable resin composition and laminating the film on the substrate, and a method of directly applying the curable resin composition to the substrate. . By curing these resin layers, a cover coat layer can be obtained. Here, examples of the curable resin composition include an active energy ray-curable resin composition and / or a thermosetting resin composition. In the description of the embodiment to which the present invention is applied, an example using a dry resist film is mainly described, but the present invention is not limited thereto.

カバーコート層の厚みは、5〜100μmが好ましく、10〜70μmがより好ましい。カバーコート層の厚みを5〜100μmの範囲にすることで、屈曲性とマイグレーション耐性を向上することができる。   The thickness of the cover coat layer is preferably from 5 to 100 μm, more preferably from 10 to 70 μm. By setting the thickness of the cover coat layer in the range of 5 to 100 μm, flexibility and migration resistance can be improved.

カバーコート層のガラス転移温度(Tg)は40℃〜120℃が好ましく、50℃〜100℃がより好ましい。カバーコート層のガラス転移温度(Tg)を40℃〜120℃にすることで、屈曲性とマイグレーション耐性を向上することができる。   The glass transition temperature (Tg) of the cover coat layer is preferably from 40C to 120C, more preferably from 50C to 100C. By setting the glass transition temperature (Tg) of the cover coat layer to 40 ° C. to 120 ° C., flexibility and migration resistance can be improved.

<ドライレジストフィルム>
ドライレジストフィルムは、着色剤を含有する樹脂層を有する。樹脂層を形成するものとして硬化性樹脂組成物を挙げることができるが、光等の活性エネルギー線によってパターンニングを行う場合、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を使用することが好ましい。尚、本明細書でいう活性エネルギー線硬化性樹脂組成物とは、活性エネルギー線硬化性樹脂と活性エネルギー線重合開始剤を含むものを指す。
<Dry resist film>
The dry resist film has a resin layer containing a coloring agent. A curable resin composition may be used as a material for forming the resin layer. However, when patterning is performed using active energy rays such as light, it is preferable to use an active energy ray-curable resin composition. In addition, the active energy ray-curable resin composition referred to in the present specification refers to a composition containing an active energy ray-curable resin and an active energy ray polymerization initiator.

<硬化性樹脂組成物>
硬化性樹脂組成物としては、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物と熱硬化性樹脂組成物とに大別できる。
<Curable resin composition>
Curable resin compositions can be broadly classified into active energy ray-curable resin compositions and thermosetting resin compositions.

<活性エネルギー線硬化性樹脂組成物>
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、着色剤とを含有する。
<Active energy ray-curable resin composition>
The active energy ray-curable resin composition contains an active energy ray-curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a colorant.

<熱硬化性樹脂組成物>
熱硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂と、熱硬化剤と、着色剤とを含有する。
<Thermosetting resin composition>
The thermosetting resin composition contains a thermosetting resin, a thermosetting agent, and a coloring agent.

[樹脂]
樹脂としては、従来公知の熱可塑性樹脂および熱硬化性樹脂等を用いることができるが、活性エネルギー線硬化性樹脂を含むことが好ましい。活性エネルギー線硬化性樹脂は、活性エネルギー線の照射による硬化性を有する樹脂であり、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物であることが好ましい。また、現像性を付与するために、アルカリ可溶性であることが好ましい。
[resin]
As the resin, conventionally known thermoplastic resins and thermosetting resins can be used, but it is preferable to include an active energy ray-curable resin. The active energy ray-curable resin is a resin having curability by irradiation with an active energy ray, and is preferably a compound having an ethylenically unsaturated double bond. Further, in order to impart developability, it is preferably alkali-soluble.

樹脂の質量平均分子量(Mw)は2000〜40000が好ましく、3000〜30000がより好ましい。樹脂のMwを2000〜40000にすることで、アルカリ可溶性が向上しパターニング性に優れたものとすることができる。   The mass average molecular weight (Mw) of the resin is preferably 2,000 to 40,000, more preferably 3,000 to 30,000. By setting the Mw of the resin to 2000 to 40000, alkali solubility can be improved and patterning properties can be excellent.

活性エネルギー線硬化性樹脂は、単独で用いることができるが、パターニング性をより向上する観点から、熱硬化性樹脂を併用することが好ましい。熱硬化性樹脂を併用する場合には、活性エネルギー線硬化性樹脂と熱硬化性樹脂との配合比率は、樹脂の固形分比で30:70〜70:30が好ましく、40:60〜60:40がより好ましい。活性エネルギー線硬化性樹脂と熱硬化性樹脂との配合比率を上記範囲とすることで、パターニング性が向上する。   The active energy ray-curable resin can be used alone, but from the viewpoint of further improving the patterning property, it is preferable to use a thermosetting resin in combination. When a thermosetting resin is used in combination, the compounding ratio of the active energy ray-curable resin to the thermosetting resin is preferably 30:70 to 70:30, and 40:60 to 60:30 in terms of the solid content of the resin. 40 is more preferred. By setting the mixing ratio of the active energy ray-curable resin and the thermosetting resin within the above range, the patterning property is improved.

(活性エネルギー線硬化性樹脂)
活性エネルギー線硬化性樹脂は、酸性基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性アクリル系樹脂を用いることが好ましい。また、さらに活性エネルギー線感度等を向上させるために、エチレン性不飽和二重結合を有する活性エネルギー線硬化性樹脂を用いることもできる。
活性エネルギー線硬化性樹脂の酸価は、50〜120mgKOH/gが好ましく、60〜110mgKOH/gがより好ましい。活性エネルギー線硬化性樹脂の酸価を50〜120mgKOH/gにすることで、パターニング性とマイグレーション耐性が向上する。
(Active energy ray curable resin)
As the active energy ray-curable resin, it is preferable to use an alkali-soluble acrylic resin obtained by copolymerizing an acidic group-containing ethylenically unsaturated monomer. In order to further improve the active energy ray sensitivity and the like, an active energy ray-curable resin having an ethylenically unsaturated double bond can be used.
The acid value of the active energy ray-curable resin is preferably from 50 to 120 mgKOH / g, more preferably from 60 to 110 mgKOH / g. By setting the acid value of the active energy ray-curable resin to 50 to 120 mgKOH / g, patterning properties and migration resistance are improved.

酸性基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアクリル系アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性基を有する樹脂が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂として具体的には、酸性基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン/(無水)マレイン酸共重合体、スチレン/スチレンスルホン酸共重合体、エチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、又はイソブチレン/(無水)マレイン酸共重合体等が挙げられる。中でも、酸性基を有するアクリル樹脂、およびスチレン/スチレンスルホン酸共重合体から選ばれる少なくとも1種の樹脂、特に酸性基を有するアクリル樹脂は、マイグレーション耐性が高いため、好適に用いられる。   Examples of the acrylic alkali-soluble resin obtained by copolymerizing an acidic group-containing ethylenically unsaturated monomer include a resin having an acidic group such as a carboxyl group and a sulfone group. Specific examples of the alkali-soluble resin include an acrylic resin having an acidic group, an α-olefin / (anhydride) maleic acid copolymer, a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, an ethylene / (meth) acrylic acid copolymer, or Isobutylene / (anhydride) maleic acid copolymer; Above all, an acrylic resin having an acidic group and at least one resin selected from a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, and particularly an acrylic resin having an acidic group, are preferably used because of their high migration resistance.

エチレン性不飽和二重結合を有する樹脂としては、たとえば以下に示す方法(i)や(ii)の方法によりエチレン性不飽和二重結合を導入した樹脂が挙げられる。   Examples of the resin having an ethylenically unsaturated double bond include a resin having an ethylenically unsaturated double bond introduced by the following method (i) or (ii).

・方法(i)
方法(i)としては、例えば、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の1種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖エポキシ基に、エチレン性不飽和二重結合を有する不飽和一塩基酸のカルボキシル基を付加反応させ、更に、生成した水酸基に、多塩基酸無水物を反応させ、エチレン性不飽和二重結合およびカルボキシル基を導入する方法がある。
・ Method (i)
As the method (i), for example, the side chain epoxy group of a copolymer obtained by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group and one or more other monomers is used. The carboxyl group of an unsaturated monobasic acid having an ethylenically unsaturated double bond is subjected to an addition reaction, and further, the generated hydroxyl group is reacted with a polybasic acid anhydride to form an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group. There is a way to introduce it.

エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−グリシドキシエチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、及び3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートが挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。次工程の不飽和一塩基酸との反応性の観点で、グリシジル(メタ)アクリレートが好ましい。   Examples of the ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group include glycidyl (meth) acrylate, methyl glycidyl (meth) acrylate, 2-glycidoxyethyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate And 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate. These may be used alone or in combination of two or more. Glycidyl (meth) acrylate is preferred from the viewpoint of reactivity with the unsaturated monobasic acid in the next step.

不飽和一塩基酸としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸、(メタ)アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体等のモノカルボン酸等が挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。   Examples of the unsaturated monobasic acid include (meth) acrylic acid, crotonic acid, o-, m-, p-vinylbenzoic acid, α-haloalkyl (meth) acrylic acid, alkoxyl, halogen, nitro and cyano-substituted products. Monocarboxylic acids may be used, and these may be used alone or in combination of two or more.

多塩基酸無水物としては、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられ、これらは単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。カルボキシル基の数を増やす等、必要に応じて、トリメリット酸無水物等のトリカルボン酸無水物を用いたり、ピロメリット酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物を用いて、残った無水物基を加水分解したりすること等もできる。また、多塩基酸無水物として、エチレン性不飽和二重結合を有する、テトラヒドロ無水フタル酸、又は無水マレイン酸を用いると、更にエチレン性不飽和二重結合を増やすことができる。   Examples of polybasic acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride and the like, and these may be used alone or in combination of two or more. I don't care. Increasing the number of carboxyl groups, etc., if necessary, using a tricarboxylic anhydride such as trimellitic anhydride, or using a tetracarboxylic dianhydride such as pyromellitic dianhydride, the remaining anhydride Hydrolysis of the group can also be performed. When tetrahydrophthalic anhydride or maleic anhydride having an ethylenically unsaturated double bond is used as the polybasic acid anhydride, the number of ethylenically unsaturated double bonds can be further increased.

方法(i)の類似の方法として、例えば、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の1種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖カルボキシル基の一部に、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を付加反応させ、エチレン性不飽和二重結合およびカルボキシル基を導入する方法がある。   As a similar method to the method (i), for example, a side chain of a copolymer obtained by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group with one or more other monomers. There is a method in which an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group is subjected to an addition reaction to a part of the carboxyl group to introduce an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group.

・方法(ii)
方法(ii)としては、水酸基を有するエチレン性不飽和単量体を使用し、他のカルボキシル基を有する不飽和一塩基酸の単量体や、他の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖水酸基に、イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体のイソシアネート基を反応させる方法がある。
・ Method (ii)
In the method (ii), an ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group is used, and another monomer of an unsaturated monobasic acid having a carboxyl group or another monomer is copolymerized. There is a method of reacting an isocyanate group of an ethylenically unsaturated monomer having an isocyanate group with a side chain hydroxyl group of the obtained copolymer.

水酸基を有するエチレン性不飽和単量体としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−若しくは3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−若しくは3−若しくは4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、又はシクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類が挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用して用いてもかまわない。また、上記ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートに、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び/又はブチレンオキシド等を付加重合させたポリエーテルモノ(メタ)アクリレートや、(ポリ)γ−バレロラクトン、(ポリ)ε−カプロラクトン、及び/又は(ポリ)12−ヒドロキシステアリン酸等を付加した(ポリ)エステルモノ(メタ)アクリレートも使用できる。   Examples of the ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2- or 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- or 3- or 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerol Examples thereof include hydroxyalkyl (meth) acrylates such as (meth) acrylate and cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, and these may be used alone or in combination of two or more. Further, a polyether mono (meth) acrylate obtained by addition-polymerizing ethylene oxide, propylene oxide, and / or butylene oxide to the above hydroxyalkyl (meth) acrylate, (poly) γ-valerolactone, (poly) ε-caprolactone And / or (poly) ester mono (meth) acrylate to which (poly) 12-hydroxystearic acid or the like has been added.

イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体としては、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、又は1,1−ビス〔(メタ)アクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられるが、これらに限定することなく、2種類以上併用することもできる。   Examples of the ethylenically unsaturated monomer having an isocyanate group include 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate and 1,1-bis [(meth) acryloyloxy] ethyl isocyanate, but are not limited thereto. Instead, two or more types can be used in combination.

上記活性エネルギー線硬化性樹脂として感光性樹脂(A)を用いることも好ましい。以下、感光性樹脂(A)について説明する。感光性樹脂(A)は、以下に示すように、ヒドロキシル基含有感光性樹脂(A−1)またはカルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)であることを特徴とする。ヒドロキシル基含有感光性樹脂(A−1)は、第一の工程として、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)とを反応させて側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)を作製する。次に、第二の工程として、上記側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)と多塩基酸無水物(d)とを反応させてカルボキシル基含有樹脂(e)を作製する。更に、第三の工程として、上記カルボキシル基含有樹脂(e)と、エポキシ基またはオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)中のエポキシ基又はオキセタン基とを反応させることにより得ることができる。更に、カルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)は、第四の工程として、上記ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)中の水酸基多塩基酸無水物(d)中の酸無水物基により得ることができる。以下、感光性樹脂(A)の製造方法について詳細に説明する。   It is also preferable to use a photosensitive resin (A) as the active energy ray-curable resin. Hereinafter, the photosensitive resin (A) will be described. As described below, the photosensitive resin (A) is a hydroxyl group-containing photosensitive resin (A-1) or a carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2). The hydroxyl group-containing photosensitive resin (A-1) has, as a first step, an epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule and at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule. The side chain hydroxyl group-containing resin (c) is prepared by reacting with the phenol compound (b). Next, as a second step, the carboxyl group-containing resin (e) is prepared by reacting the side chain hydroxyl group-containing resin (c) with the polybasic acid anhydride (d). Further, as a third step, it is obtained by reacting the carboxyl group-containing resin (e) with an epoxy group or an oxetane group in the compound (f) having an epoxy group or an oxetane group and an ethylenically unsaturated group. be able to. Further, as the fourth step, the carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2) is obtained by the acid anhydride group in the hydroxyl group polybasic acid anhydride (d) in the hydroxyl group-containing resin (A-1). be able to. Hereinafter, the method for producing the photosensitive resin (A) will be described in detail.

まず、第一の工程で得られる側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)について説明する。側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)は、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)とを反応させることで得ることができ、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)中のエポキシ基と1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)中のフェノール性水酸基とを、エポキシ基/フェノール性水酸基=1/1〜1/2.5のモル比で反応させて作製することが好ましい。上記モル比の範囲よりフェノール性水酸基が少ないと、残存する余剰のエポキシ基が後の合成工程で反応してゲル化する場合がある。また、上記モル比の範囲よりフェノール性水酸基が多い場合、最終的に得られる感光性樹脂(A)の分子量が低くなり、所望の塗膜耐性や成膜性が得られにくくなる。更には、余剰の1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)が半田耐熱性や電気絶縁性などの物性に悪影響を及ぼす場合がある。   First, the side chain hydroxyl group-containing resin (c) obtained in the first step will be described. The side chain hydroxyl group-containing resin (c) reacts an epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule with a phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule. And a phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule and an epoxy group in the epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule. It is preferable that the phenolic hydroxyl group is prepared by reacting with a phenolic hydroxyl group at a molar ratio of epoxy group / phenolic hydroxyl group = 1/1 to 1 / 2.5. If the phenolic hydroxyl group is less than the above molar ratio range, the remaining excess epoxy group may react in the subsequent synthesis step to cause gelation. Further, when the phenolic hydroxyl group is more than the above molar ratio, the molecular weight of the photosensitive resin (A) finally obtained becomes low, and it becomes difficult to obtain desired coating film resistance and film formability. Furthermore, the surplus phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule may adversely affect physical properties such as solder heat resistance and electrical insulation.

尚、本発明でいう、モル比とは、実際に官能基同士が反応するモル比であり、各種出発材料は、上記モル比での反応を可能にする量を使用する。従って、例えば、「1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)」と、「1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)」との反応において各出発材料を仕込む際、「1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)」中のエポキシ基1.0モルに対して「1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)」中のフェノール性水酸基が2.5モルを超える量で仕込んで(好ましくは2.7モルを上限として仕込んで)反応させることがある。   In the present invention, the term "molar ratio" refers to a molar ratio at which functional groups actually react with each other, and various starting materials are used in an amount that enables the reaction at the above molar ratio. Therefore, for example, in the reaction of “the epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule” and “the phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule”, When the starting material is charged, the amount of “at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule is based on 1.0 mol of epoxy groups in the“ epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule ”. The phenolic hydroxyl group in the "phenol compound (b)" may be charged in an amount exceeding 2.5 mol (preferably with an upper limit of 2.7 mol) and reacted.

本発明で用いる1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)は、好ましくはエポキシ基を分子内に2個含有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。具体的には、例えば、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、テトラメチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリテトラメチレングリコールジグリシジルエーテル、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ビスフェノールA・エピクロロヒドリン型エポキシ樹脂、ビスフェノールF・エピクロロヒドリン型エポキシ樹脂、ビフェノール・エピクロロヒドリン型エポキシ樹脂、グリセリン・エピクロロヒドリン付加物のポリグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、ポリブタジエンジグリシジルエーテル、ヒドロキノンジグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、水添ビスフェノールA型ジグリシジルエーテル、ジヒドロキシアントラセン型エポキシ樹脂、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ジフェニルスルホンジグリシジルエーテル、ジヒドロキシベンゾフェノンジグリシジルエーテル、ビフェノールジグリシジルエーテル、ジフェニルメタンジグリシジルエーテル、ビスフェノールフルオレンジグリシジルエーテル、ビスクレゾールフルオレンジグリシジルエーテル、ビスフェノキシエタノールフルオレンジグリシジルエーテル、1,3−ビス(N,N−ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサン、N,N−ジグリシジルアニリン、N,N−ジグリシジルトルイジン、特開2004−156024号公報、特開2004−315595号公報、特開2004−323777号公報に開示されている柔軟性に優れたエポキシ化合物や、下記式(1)−(3)で表される構造のエポキシ化合物等が挙げられる。   The epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule used in the present invention is preferably a compound containing two epoxy groups in a molecule, and is not particularly limited. Specifically, for example, ethylene glycol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, tetramethylene glycol diglycidyl ether, polytetramethylene glycol diglycidyl ether, 1,6- Hexanediol diglycidyl ether, bisphenol A / epichlorohydrin type epoxy resin, bisphenol F / epichlorohydrin type epoxy resin, biphenol / epichlorohydrin type epoxy resin, polyglycidyl ether of glycerin / epichlorohydrin adduct , Resorcinol diglycidyl ether, polybutadiene diglycidyl ether, hydroquinone diglycidyl ether, dibromoneope Tyl glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, hexahydrophthalic acid diglycidyl ester, hydrogenated bisphenol A type diglycidyl ether, dihydroxyanthracene type epoxy resin, polypropylene glycol diglycidyl ether, diphenylsulfone diglycidyl ether, dihydroxybenzophenone Diglycidyl ether, biphenol diglycidyl ether, diphenylmethane diglycidyl ether, bisphenol full orange glycidyl ether, biscresol full orange glycidyl ether, bisphenoxyethanol full orange glycidyl ether, 1,3-bis (N, N-diglycidylaminomethyl) cyclohexane , N, N-diglycidylaniline, N, N-jig Risidyl toluidine, an epoxy compound having excellent flexibility disclosed in JP-A-2004-156024, JP-A-2004-315595, and JP-A-2004-323777, and the following formulas (1) to (3) And the like.

中でも、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテルは、最終的に得られるヒドロキシル基含有感光性樹脂(A−1)に柔軟性やアルカリ現像液に対する溶解性を付与させる場合に好ましく、ビスフェノールA・エピクロロヒドリン型エポキシ樹脂は、最終的に得られるカルボキシル基含有変性エステル樹脂(A)に耐熱性を付与させる場合に好ましい。このように本発明において、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(d)は目的に応じて選択することが可能であり、これらは単独で使用しても良いし、複数を併用することも好ましい。   Among them, polyethylene glycol diglycidyl ether is preferable when imparting flexibility and solubility in an alkali developer to the finally obtained hydroxyl group-containing photosensitive resin (A-1), and bisphenol A / epichlorohydrin type Epoxy resins are preferred when imparting heat resistance to the finally obtained carboxyl group-containing modified ester resin (A). As described above, in the present invention, the epoxy compound (d) having at least two epoxy groups in one molecule can be selected according to the purpose, and these can be used alone or in combination. It is also preferable to use them in combination.

本発明で用いる1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)としては、フェノール性水酸基を分子内に2個含有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。例えば、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン(別名:ビスフェノールA)が代表例であり、その他にも、ビス(4−ヒドロキシフェノル)メタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−プロパン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ブタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ペンタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ヘキサン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ヘプタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−オクタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ノナン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−デカン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)フェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ナフチルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)トルイルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−エチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−n−プロピルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−イソプロピルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−n−ブチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−ペンチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−ヘキシルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−フルオロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−クロロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(2−フルオロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(2−クロロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)テトラフルオロフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)テトラクロロフェニルメタン、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルメタン、ビス(3−フェニル−4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルメタン、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシフェニル)エタン等の中心炭素に水素原子が結合しているビスフェノール類;
2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ブタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ペンタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ヘキサン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ヘプタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−オクタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ノナン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−デカン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルエタン(通称ビスフェノールP)、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−ナフチルエタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−トルイルエタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−エチルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−n−プロピルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−イソプロピルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−n−ブチルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−ペンチルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−ヘキシルフェニル)エタン、1,1−ビス(3−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルエタン、1,1−ビス(3−フェニル−4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルエタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−フルオロフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−クロロフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(2−フルオロフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(2−クロロフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−テトラフルオロフェニルエタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−テトラクロロフェニルエタン等の中心炭素に1つのメチル基が結合しているビスフェノール類;
2,2−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン(通称ビスフェノールC)、2,2−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン等の中心炭素に2つのメチル基が結合しているビスフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン、ビス(3−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン、ビス(3−フェニル−4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン、ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン等のジフェニルメタン誘導体であるビスフェノール類;
1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン(通称ビスフェノールZ)、1,1−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン等のシクロヘキサン誘導体であるビスフェノール類;
1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン等の−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン誘導体であるビスフェノール類;
9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、1,1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン等のフルオレン誘導体であるビスフェノール類;
1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−シクロペンタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロペンタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロオクタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロノナン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロデカン等のシクロアルカン誘導体であるビスフェノール類;
4,4’−ビフェノール等の芳香族環が直接結合したビフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルホン等のスルホン誘導体であるビスフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)エーテル等のエーテル結合を有するビスフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド等のスルフィド結合を有するビスフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド等のスルホキシド誘導体であるビスフェノール類;
フェノールフタレイン等のヘテロ原子含有脂肪族環を有するビスフェノール類;
ビス(2,3,5,6−テトラフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)ジフルオロメタン、1,1−ビス(2,3,5,6−テトラフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)パーフルオロエタン、2,2−ビス(2,3,5,6−テトラフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)パーフルオロプロパン等の炭素−水素結合のないビスフェノール類等を挙げることができる。
The phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound containing two phenolic hydroxyl groups in the molecule. For example, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane (alias: bisphenol A) is a typical example, and bis (4-hydroxyphenol) methane and 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) are also typical examples. ) Ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-propane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-butane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-pentane 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-hexane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-heptane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-octane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-nonane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-decane, bis (4-hydroxyphenyl) phenylmethane, (4-hydroxyphenyl) naphthylmethane, bis (4-hydroxyphenyl) toluylmethane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-ethylphenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-n-propylphenyl ) Methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-isopropylphenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-n-butylphenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-pentylphenyl) ) Methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-hexylphenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-fluorophenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-chlorophenyl) methane, Bis (4-hydroxyphenyl)-(2-fluorophenyl) meth Bis (4-hydroxyphenyl)-(2-chlorophenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl) tetrafluorophenylmethane, bis (4-hydroxyphenyl) tetrachlorophenylmethane, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) ) Methane, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) methane, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) methane, bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) methane, bis (3-t- Butyl-4-hydroxyphenyl) -1-phenylmethane, bis (3-phenyl-4-hydroxyphenyl) -1-phenylmethane, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) methane, bis (3,5-difluoro -4-hydroxyphenyl) methane, bis (3-chloro-4-hydro (Xyphenyl) methane, bis (3,5-dichloro-4-hydroxyphenyl) methane, 1,1-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3,5-dimethyl-4-) Hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3-fluoro-4 -Hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3-chloro-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3 Bisphenols having a hydrogen atom bonded to the central carbon such as 5-dichloro-4-hydroxyphenyl) ethane;
2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-butane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-pentane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-hexane, 2, 2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-heptane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-octane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-nonane, 2,2- Bis (4-hydroxyphenyl) -n-decane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1-phenylethane (commonly known as bisphenol P), 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1-naphthylethane 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1-toluylethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-ethylphenyl) ethane, 1,1-bis (4 (Hydroxyphenyl) -1- (4-n-propylphenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-isopropylphenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl)- 1- (4-n-butylphenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-pentylphenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4 -Hexylphenyl) ethane, 1,1-bis (3-t-butyl-4-hydroxyphenyl) -1-phenylethane, 1,1-bis (3-phenyl-4-hydroxyphenyl) -1-phenylethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-fluorophenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-chlorophenyl) Tan, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (2-fluorophenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (2-chlorophenyl) ethane, 1,1-bis Bisphenols such as (4-hydroxyphenyl) -1-tetrafluorophenylethane and 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1-tetrachlorophenylethane having one methyl group bonded to the central carbon;
2,2-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) propane (commonly known as bisphenol C), 2,2-bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-ethyl -4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3 Central carbon such as 5-difluoro-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-chloro-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3,5-dichloro-4-hydroxyphenyl) propane Bisphenols in which two methyl groups are bonded to:
Bis (4-hydroxyphenyl) -1,1-diphenylmethane, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) -1,1-diphenylmethane, bis (3-t-butyl-4-hydroxyphenyl) -1,1- Bisphenols which are diphenylmethane derivatives such as diphenylmethane, bis (3-phenyl-4-hydroxyphenyl) -1,1-diphenylmethane, bis (3-chloro-4-hydroxyphenyl) -1,1-diphenylmethane;
1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclohexane (commonly known as bisphenol Z), 1,1-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3,5-dimethyl-4-hydroxy) Phenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3-fluoro-4- (Hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3-chloro-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3,5 Bis (dichloro-4-hydroxyphenyl) cyclohexane; Nord like;
1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1- Bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, -3,3,5-trimethylcyclohexane such as 1-bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane Bisphenols is Rohekisan derivatives;
9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) fluorene, 1,1-bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) fluorene, 9 , 9-bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) fluorene, 1,1-bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) fluorene, Bisphenols which are fluorene derivatives such as 9,9-bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) fluorene;
1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -cyclopentane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclopentane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclooctane, 1,1-bis (4 Bisphenols which are cycloalkane derivatives such as -hydroxyphenyl) cyclononane and 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclodecane;
Biphenols having an aromatic ring directly bonded, such as 4,4'-biphenol;
Bis (4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, Bisphenols which are sulfone derivatives such as bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) sulfone;
Bis (4-hydroxyphenyl) ether, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) ether, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) ether, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) ether, Bisphenols having an ether bond such as bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) ether, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) ether, bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) ether;
Bis (4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, Bisphenols having a sulfide bond such as bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) sulfide;
Bis (4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, Bisphenols which are sulfoxide derivatives such as bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) sulfoxide;
Bisphenols having a hetero atom-containing aliphatic ring such as phenolphthalein;
Bis (2,3,5,6-tetrafluoro-4-hydroxyphenyl) difluoromethane, 1,1-bis (2,3,5,6-tetrafluoro-4-hydroxyphenyl) perfluoroethane, 2,2 Bisphenols having no carbon-hydrogen bond, such as -bis (2,3,5,6-tetrafluoro-4-hydroxyphenyl) perfluoropropane;

さらに、ヒドロキノン、レゾルシノール、カテコール、メチルヒドロキノン等のジヒドロキシベンゼン類;
1,5−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン等のジヒドロキシナフタレン類等を挙げることができる。
Further, dihydroxybenzenes such as hydroquinone, resorcinol, catechol, and methylhydroquinone;
Examples thereof include dihydroxynaphthalenes such as 1,5-dihydroxynaphthalene and 2,6-dihydroxynaphthalene.

本発明において、側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)の合成条件は特に限定されるものではなく、公知の条件で行うことができる。例えば、フラスコに、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)、1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)、および溶剤を仕込み、撹拌しながら100〜150℃で加熱することで側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)を得ることができる。この際、必要に応じてトリフェニルホスフィンや、3級アミノ基含有化合物等の触媒を使用してもよい。   In the present invention, the conditions for synthesizing the side chain hydroxyl group-containing resin (c) are not particularly limited, and the synthesis can be performed under known conditions. For example, a flask is charged with an epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule, a phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule, and a solvent, and stirred. By heating at 100 to 150 ° C., the side chain hydroxyl group-containing resin (c) can be obtained. At this time, a catalyst such as triphenylphosphine or a tertiary amino group-containing compound may be used as necessary.

次に、第二の工程で得られるカルボキシル基含有樹脂(e)について説明する。カルボキシル基含有樹脂(e)は、上記側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)と多塩基酸無水物(d)とを反応させて得ることができ、側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)中の水酸基と多塩基酸無水物(d)中の酸無水物基とを、水酸基/酸無水物基=1/0.1〜1/1のモル比で反応させて作製することが好ましい。上記モル比の範囲より酸無水物基が少ないと、最終的に得られる感光性樹脂(A)中で架橋点として機能するカルボキシル基濃度が少なくなるため所望の耐熱性やアルカリ現像液に対する溶解性が得られにくくなる。また、上記モル比の範囲より酸無水物基が多い場合、余剰の多塩基酸無水物(d)が後の合成工程において副生成物を生じさせるため最終塗膜の屈曲性や半田耐熱性、絶縁信頼性が低下する傾向にある。   Next, the carboxyl group-containing resin (e) obtained in the second step will be described. The carboxyl group-containing resin (e) can be obtained by reacting the side chain hydroxyl group-containing resin (c) with the polybasic anhydride (d), and the hydroxyl group in the side chain hydroxyl group-containing resin (c) can be obtained. It is preferable to react with the acid anhydride group in the polybasic acid anhydride (d) in a molar ratio of hydroxyl group / acid anhydride group = 1 / 0.1 to 1/1. When the amount of the acid anhydride group is less than the above molar ratio, the concentration of the carboxyl group functioning as a crosslinking point in the finally obtained photosensitive resin (A) decreases, so that the desired heat resistance and solubility in an alkali developing solution are obtained. Is difficult to obtain. Further, when the number of the acid anhydride groups is larger than the above molar ratio, the excess polybasic acid anhydride (d) generates a by-product in a subsequent synthesis step, so that the flexibility and solder heat resistance of the final coating film, Insulation reliability tends to decrease.

本発明で用いる多塩基酸無水物(d)は、酸無水物基を分子内に1個以上含有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。例えば、無水フタル酸、無水トリメリット酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルハイミック酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルペンタヒドロ無水フタル酸、メチルトリヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルシクロへキセンジカルボン酸無水物、無水ヘット酸、テトラブロモ無水フタル酸などの脂環構造、又は芳香環構造を有する、酸無水物基を含む化合物が挙げられる。その他の化合物としては、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水グルタル酸、ブチルコハク酸無水物、ヘキシルコハク酸無水物、オクチルコハク酸無水物、ドデシルコハク酸無水物、ブチルマレイン酸無水物、ペンチルマレイン酸無水物、ヘキシルマレイン酸無水物、オクチルマレイン酸無水物、デシルマレイン酸無水物、ドデシルマレイン酸無水物、ブチルグルタミン酸無水物、ヘキシルグルタミン酸無水物、ヘプチルグルタミン酸無水物、オクチルグルタミン酸無水物、デシルグルタミン酸無水物、ドデシルグルタミン酸無水物などが挙げられる。本発明において、多塩基酸無水物(d)は、一種のみを単独で用いても良いし、複数を併用しても良い。   The polybasic acid anhydride (d) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound containing one or more acid anhydride groups in the molecule. For example, phthalic anhydride, trimellitic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhymic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methylpentahydrophthalic anhydride, methyltrihydrophthalic anhydride, trialkyltetrahydro Compounds containing an acid anhydride group having an alicyclic structure or an aromatic ring structure, such as phthalic anhydride, methylcyclohexenedicarboxylic anhydride, heptic anhydride, and tetrabromophthalic anhydride, may be mentioned. Other compounds include succinic anhydride, maleic anhydride, glutaric anhydride, butylsuccinic anhydride, hexylsuccinic anhydride, octylsuccinic anhydride, dodecylsuccinic anhydride, butylmaleic anhydride, pentylmaleic acid Anhydride, hexylmaleic anhydride, octylmaleic anhydride, decylmaleic anhydride, dodecylmaleic anhydride, butylglutamic anhydride, hexylglutamic anhydride, heptylglutamic anhydride, octylglutamic anhydride, decylglutamic anhydride And dodecylglutamic anhydride. In the present invention, as the polybasic acid anhydride (d), only one kind may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.

中でも、無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸などは、本発明において、パターニング性、パターン形成性および塗膜耐性が非常に優れるため特に好ましい。   Among them, succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and the like are particularly preferable in the present invention because the patterning property, pattern forming property, and coating film resistance are extremely excellent.

本発明において、カルボキシル基含有樹脂(e)の合成条件は特に限定されるものではなく、公知の条件で行うことができる。例えば、フラスコに、側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)、多塩基酸無水物(d)、および溶剤を仕込み、撹拌しながら25〜150℃で加熱することで側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)を得ることができる。この反応は無触媒下でも進行するが、必要に応じて、3級アミノ基含有化合物等の触媒を使用してもよい。   In the present invention, the conditions for synthesizing the carboxyl group-containing resin (e) are not particularly limited, and the synthesis can be performed under known conditions. For example, a side chain hydroxyl group-containing resin (c), a polybasic acid anhydride (d), and a solvent are charged into a flask, and heated at 25 to 150 ° C. while stirring, to thereby prepare a side chain hydroxyl group-containing resin (c). Can be obtained. Although this reaction proceeds even without a catalyst, a catalyst such as a tertiary amino group-containing compound may be used if necessary.

次に、第三の工程で得られるヒドロキシル基含有樹脂(A−1)について説明する。ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)は、上記カルボキシル基含有樹脂(e)とエポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)とを反応させて得ることができ、カルボキシル基含有樹脂(e)中のカルボキシル基と、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)中のエポキシ基又はオキセタン基とを、カルボキシル基/エポキシ基又はオキセタン基=1/0.1〜1/1のモル比で反応させて作製することが好ましい。上記モル比の範囲よりエポキシ基又はオキセタン基が少ないと、最終的に得られる感光性樹脂(A)中で光架橋点として機能する二重結合当量が高くなるため、所望の耐熱性や塗膜耐性が得られにくくなる。また、上記モル比の範囲よりエポキシ基又はオキセタン基が多い場合、余剰のエポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)により最終塗膜の屈曲性が低下する傾向にある。   Next, the hydroxyl group-containing resin (A-1) obtained in the third step will be described. The hydroxyl group-containing resin (A-1) can be obtained by reacting the carboxyl group-containing resin (e) with a compound (f) having an epoxy group or an oxetane group and an ethylenically unsaturated group. The carboxyl group in the containing resin (e) and the epoxy group or oxetane group in the compound (f) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group are converted into carboxyl group / epoxy group or oxetane group = 1 / It is preferable to make it by reacting at a molar ratio of 0.1 to 1/1. When the epoxy group or the oxetane group is less than the above molar ratio, the double bond equivalent functioning as a photocrosslinking point in the finally obtained photosensitive resin (A) becomes high, so that the desired heat resistance or coating film is obtained. It becomes difficult to obtain resistance. When the number of epoxy groups or oxetane groups is larger than the above molar ratio, the compound (f) having an excess epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group tends to lower the flexibility of the final coating film. .

本発明で用いるエポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)は、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを分子内に1個以上含有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、グリシジル桂皮酸、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、グリシジルアリルエーテル、2,3−エポキシ−2−メチルプロピル(メタ)アクリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート、4−ビニル−1−シクロヘキセン−1,2−エポキシド、1,3−ブタジエンモノエポキシド、オキセタニル(メタ)アクリレート、オキセタニル桂皮酸、又、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどの、水酸基含有多官能アクリルモノマーの水酸基に、エピクロルヒドリンを反応させた多官能アクリレート基含有モノエポキシドや、フェノールノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の大半をアクリル酸などでアクリレート基に変性することで得られる、平均で1分子中に1つのエポキシ基を残した多官能アクリレート基含有モノエポキシド、カルボキシル基含有多官能アクリルモノマーのカルボキシル基に、分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物のエポキシ基の一部を反応させることで得られる多官能アクリレート基含有モノエポキシド等が挙げられ、これらのエポキシ基又はオキセタン基を、カルボキシル基含有樹脂(e)中のカルボキシル基と反応させることで、ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)が得られる。本発明において、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)は、一種のみを単独で用いても良いし、複数を併用しても良い。   The compound (f) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group used in the present invention may be a compound containing at least one epoxy group or oxetane group and one or more ethylenically unsaturated groups in a molecule. However, there is no particular limitation. For example, glycidyl (meth) acrylate, glycidyl cinnamate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, glycidyl allyl ether, 2,3-epoxy-2-methylpropyl (meth) acrylate, (3,4-epoxycyclohexyl) Hydroxyl-containing poly (meth) acrylates such as methyl (meth) acrylate, 4-vinyl-1-cyclohexene-1,2-epoxide, 1,3-butadiene monoepoxide, oxetanyl (meth) acrylate, oxetanyl cinnamic acid, and pentaerythritol triacrylate; Modification of polyepoxyhydrin-containing monoepoxide obtained by reacting epichlorohydrin with hydroxyl group of functional acrylic monomer, or modification of most epoxy groups of phenol novolak type epoxy resin to acrylate groups with acrylic acid The obtained epoxy of a compound having two or more epoxy groups in the molecule in a carboxyl group of a polyfunctional acrylate group-containing monoepoxide and a carboxyl group-containing polyfunctional acrylic monomer having one epoxy group remaining in one molecule on average. Examples include monofunctional epoxides containing a polyfunctional acrylate group obtained by reacting a part of the groups. By reacting these epoxy groups or oxetane groups with a carboxyl group in the carboxyl group-containing resin (e), The group-containing resin (A-1) is obtained. In the present invention, the compound (f) having an epoxy group or an oxetane group and an ethylenically unsaturated group may be used alone or in combination of two or more.

中でも、グリシジル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテルなどは、本発明において、カルボキシル基と反応性に富み、又、感光性が非常に優れるため特に好ましい。   Among them, glycidyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether and the like are particularly preferred in the present invention because they have high reactivity with carboxyl groups and are extremely excellent in photosensitivity.

又、本発明において、エチレン性不飽和基を有さず、エポキシ基又はオキセタン基を有する化合物を、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(b)と併用して用いることもできる。この場合、カルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂(A)の感光性をより幅広く制御することが可能である。エチレン性不飽和基を有さず、エポキシ基又はオキセタン基を有する化合物としては、例えば、スチレンオキシド、フェニルグリシジルエーテル、o−フェニルフェノールグリシジルエーテル、p−フェニルフェノールグリシジルエーテル、グリシジルシンナメート、メチルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ステアリルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、グリシドール、N−グリシジルフタルイミド、1,3−ジブロモフェニルグリシジルエーテル、セロキサイド2000(ダイセル化学工業株式会社製)、オキセタンアルコール等が挙げられる。   In the present invention, a compound having an epoxy group or an oxetane group having no ethylenically unsaturated group and used in combination with a compound (b) having an epoxy group or an oxetane group and an ethylenically unsaturated group is used. Can also. In this case, it is possible to control the photosensitivity of the photosensitive urethane resin (A) containing a carboxyl group more widely. Examples of compounds having no ethylenically unsaturated group and having an epoxy group or an oxetane group include, for example, styrene oxide, phenyl glycidyl ether, o-phenylphenol glycidyl ether, p-phenylphenol glycidyl ether, glycidyl cinnamate, methyl glycidyl Ether, butyl glycidyl ether, 2-ethylhexyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, stearyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, glycidol, N-glycidyl phthalimide, 1,3-dibromophenyl glycidyl ether, celloxide 2000 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) And oxetane alcohol.

本発明において、ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)の合成条件は特に限定されるものではなく、公知の条件で行うことができる。例えば、フラスコに、酸素存在下、上記カルボキシル基含有樹脂(e)、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)、および溶剤を仕込み、撹拌しながら25〜150℃で加熱することでヒドロキシル基含有樹脂(A−1)を得ることができる。この際、反応促進のために必要に応じて3級アミノ基含有化合物等の反応触媒を添加したり、あるいは、重合反応や重合進行によるゲル化等を起こすことのないよう、エチレン性不飽和基の重合禁止剤や分子状酸素を用いたりすることもできる。   In the present invention, the conditions for synthesizing the hydroxyl group-containing resin (A-1) are not particularly limited, and the synthesis can be performed under known conditions. For example, in a flask, in the presence of oxygen, the carboxyl group-containing resin (e), the compound (f) having an epoxy group or an oxetane group and an ethylenically unsaturated group, and a solvent are charged, and the mixture is stirred at 25 to 150 ° C. By heating, the hydroxyl group-containing resin (A-1) can be obtained. At this time, a reaction catalyst such as a tertiary amino group-containing compound is added as necessary to promote the reaction, or an ethylenically unsaturated group is added so as not to cause a polymerization reaction or gelation due to polymerization progress. Or a molecular oxygen.

重合禁止剤としては、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、p−t−ブチルカテコール、2−t−ブチルハイドロキノン、2,5−ジ−t−ブチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン、メトキシハイドロキノン、p−ベンゾキノン、2,5−ジ−t−ブチルベンゾキノン、ナフトキノン、フェノチアジン、N−オキシル化合物等を用いることができる。また、分子状酸素を反応容器内に存在させても重合禁止効果があり、例えば空気、あるいは空気と窒素等の不活性ガスとの混合ガス等を反応容器に吹き込む、いわゆるバブリングを行えばよい。重合禁止効果を高めるには、重合禁止剤と分子状酸素とを併用することが好ましい。   Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, methylhydroquinone, pt-butylcatechol, 2-t-butylhydroquinone, 2,5-di-t-butylhydroquinone, trimethylhydroquinone, methoxyhydroquinone, p-benzoquinone, and 2,5- Di-t-butylbenzoquinone, naphthoquinone, phenothiazine, N-oxyl compound and the like can be used. In addition, the presence of molecular oxygen in the reaction vessel has a polymerization inhibiting effect. For example, so-called bubbling, in which air or a mixed gas of air and an inert gas such as nitrogen is blown into the reaction vessel, may be performed. In order to enhance the polymerization inhibiting effect, it is preferable to use a polymerization inhibitor and molecular oxygen in combination.

次に、第四の工程で得られるカルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)について説明する。カルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)は、上記ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)と多塩基酸無水物(d)とを反応させて得ることができ、ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)中の水酸基と、多塩基酸無水物(d)中の酸無水物基とを、水酸基/酸無水物基=1/0.01〜1/1のモル比で反応させて作製することが好ましい。上記モル比の範囲より酸無水物基が少ないと、最終的に得られる感光性樹脂(A)中で架橋点として機能するカルボキシル基濃度が少なくなるため所望の耐熱性やアルカリ現像液に対する溶解性が得られにくくなる。また、上記モル比の範囲より酸無水物基が多い場合、余剰の多塩基酸無水物(d)により最終塗膜の屈曲性や半田耐熱性、絶縁信頼性が低下する傾向にある。   Next, the carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2) obtained in the fourth step will be described. The carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2) can be obtained by reacting the hydroxyl group-containing resin (A-1) with the polybasic acid anhydride (d). )) And the acid anhydride group in the polybasic acid anhydride (d) in a molar ratio of hydroxyl group / acid anhydride group of 1 / 0.01 to 1/1. preferable. When the amount of the acid anhydride group is less than the above molar ratio, the concentration of the carboxyl group functioning as a crosslinking point in the finally obtained photosensitive resin (A) decreases, so that the desired heat resistance and solubility in an alkali developing solution are obtained. Is difficult to obtain. When the number of acid anhydride groups is larger than the above range, the excess polybasic acid anhydride (d) tends to decrease the flexibility, solder heat resistance, and insulation reliability of the final coating film.

本発明で用いる多塩基酸無水物(d)は、前述の通り、酸無水物基を分子内に1個以上含有する化合物であればよく、特に限定されるものではなく、一種のみを単独で用いても良いし、複数を併用しても良い。中でも、無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸などは、本発明において、パターニング性、パターン形成性および塗膜耐性が非常に優れるため特に好ましい。   As described above, the polybasic acid anhydride (d) used in the present invention may be any compound containing one or more acid anhydride groups in the molecule, and is not particularly limited. These may be used, or a plurality of them may be used in combination. Among them, succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and the like are particularly preferable in the present invention because the patterning property, pattern forming property, and coating film resistance are extremely excellent.

本発明において、カルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)の合成条件は特に限定されるものではなく、第三の工程と同様、フラスコに、酸素存在下、上記ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)、多塩基酸無水物(d)、および溶剤を仕込み、25〜150℃で加熱撹拌しながら加熱することで反応させることが好ましく、必要に応じて適した反応触媒及びエチレン性不飽和基の重合禁止剤を新たに追加することもできる。   In the present invention, the conditions for synthesizing the carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2) are not particularly limited, and the hydroxyl group-containing resin (A-1) is placed in a flask in the presence of oxygen as in the third step. ), A polybasic acid anhydride (d), and a solvent, and the reaction is preferably performed by heating while heating and stirring at 25 to 150 ° C. If necessary, a suitable reaction catalyst and an ethylenically unsaturated group may be used. A new polymerization inhibitor can be added.

感光性樹脂(A)の酸価は、50〜120mgKOH/gであることが好ましく、より好ましくは60〜110mgKOH/gである。酸価が50mgKOH/g未満の場合、充分なパターニング性が得られにくいことがあり、例えば、現像時に皮膜を溶解させて取り除きたい部分に、残渣として皮膜が残る場合がある。又、酸価が120mgKOH/gを超える場合、現像液に対する塗膜の溶解性が高くなり、光硬化させてパターンとして残したい部分までもが溶解し、パターンの形状が悪化する場合がある。   The acid value of the photosensitive resin (A) is preferably from 50 to 120 mgKOH / g, and more preferably from 60 to 110 mgKOH / g. If the acid value is less than 50 mgKOH / g, it may be difficult to obtain sufficient patterning properties. For example, a film may remain as a residue at a portion where the film is to be dissolved and removed during development. On the other hand, when the acid value exceeds 120 mgKOH / g, the solubility of the coating film in the developing solution becomes high, and even the portion which is to be left as a pattern after being light-cured is dissolved, and the shape of the pattern may be deteriorated.

感光性樹脂(A)のエチレン性不飽和基当量は、200〜5000g/eqであることが好ましく、より好ましくは、300〜3000g/eqである。エチレン性不飽和基当量が200g/eq未満の場合、光感度が高すぎることがあり、現像時に皮膜を溶解させて取り除きたい部分までもが光で硬化してしまい、良好なパターン形状が得られない場合がある。エチレン性不飽和基当量が5000g/eqを超える場合、光感度が低すぎることがあり、光硬化させたい部分が充分硬化せず、現像時にパターンが溶解することで、良好なパターン形状が得られない場合がある。尚、本発明でいう「エチレン性不飽和基当量」とは、樹脂の合成時に使用した原材料の質量から算出される理論値であって、樹脂の質量を、樹脂中に存在するエチレン性不飽和基の数で除したものであり、エチレン性不飽和基1モルあたりの樹脂の質量、すなわち、エチレン性不飽和基濃度の逆数に相当するものである。   The ethylenically unsaturated group equivalent of the photosensitive resin (A) is preferably from 200 to 5000 g / eq, more preferably from 300 to 3000 g / eq. If the ethylenically unsaturated group equivalent is less than 200 g / eq, the photosensitivity may be too high, and even the portion where the film is to be dissolved and removed during development is cured by light, and a good pattern shape is obtained. May not be. When the ethylenically unsaturated group equivalent exceeds 5,000 g / eq, the photosensitivity may be too low, the portion desired to be photocured is not sufficiently cured, and the pattern is dissolved at the time of development to obtain a good pattern shape. May not be. In the present invention, the term "ethylenically unsaturated group equivalent" is a theoretical value calculated from the mass of raw materials used in the synthesis of the resin, and the mass of the resin is defined as the ethylenically unsaturated group present in the resin. It is divided by the number of groups, and corresponds to the mass of the resin per mole of the ethylenically unsaturated group, that is, the reciprocal of the concentration of the ethylenically unsaturated group.

感光性樹脂(A)の質量平均分子量は、2000〜40000であることが好ましく、より好ましくは、3000〜30000である。質量平均分子量が2000以上の場合、半田耐熱性および可撓性が優れ、質量平均分子量が40000以下の場合は、パターニング性が良化できる。   The weight average molecular weight of the photosensitive resin (A) is preferably from 2,000 to 40,000, and more preferably from 3,000 to 30,000. When the mass average molecular weight is 2000 or more, solder heat resistance and flexibility are excellent, and when the mass average molecular weight is 40000 or less, patterning properties can be improved.

感光性樹脂(A)の合成に使用する溶剤は、最終用途や、反応物の溶解性に応じて適宜選択することができる。ドライフィルム作成工程において、溶剤をすばやく乾燥させるためには、低沸点の溶剤を用いることが好ましい。この場合の低沸点溶剤としては、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、テトラヒドロフラン、トルエン、イソプロピルアルコール等が挙げられる。   The solvent used for the synthesis of the photosensitive resin (A) can be appropriately selected depending on the final use and the solubility of the reactants. In the dry film forming step, it is preferable to use a solvent having a low boiling point in order to quickly dry the solvent. In this case, examples of the low boiling point solvent include methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, tetrahydrofuran, toluene, and isopropyl alcohol.

本発明において、これらの溶剤は、必要に応じて一種のみを単独で用いても良いし、複数を併用しても良く、又、反応過程で脱溶剤を行ったり、脱溶剤後、新たに別の溶剤を添加したりしても良い。   In the present invention, only one of these solvents may be used alone, if necessary, or a plurality of these solvents may be used in combination. May be added.

上述した感光性樹脂(A)は主鎖中に二塩基酸無水物によるハーフエステル化由来のエステル結合やイソシアネート基と水酸基の反応由来のウレタン結合を有しないため、主鎖が化学的に安定であることから、得られるカバーコート層は種々の塗膜耐性に優れ、半田浴等の高温条件下にさらされた場合でも優れた耐熱性を発揮し、又、高温多湿下でも優れた電気絶縁性を発揮するために好ましい。更には、感光性樹脂(A)は、側鎖に感光性基及びカルボキシル基を有しているため、含有する感光性基およびカルボキシル基の量が少ない場合でも、非常に優れたパターニング性を示す。これら側鎖に導入された官能基は、主鎖に直結した場合に比べ反応性に富み、又主鎖末端のみに導入されている場合に比べると導入量を任意に調整できるため、優れた光硬化性、パターニング性及び塗膜耐性を発揮することができる。   Since the photosensitive resin (A) described above does not have an ester bond derived from half-esterification with a dibasic acid anhydride or a urethane bond derived from the reaction between an isocyanate group and a hydroxyl group in the main chain, the main chain is chemically stable. As a result, the resulting cover coat layer has excellent resistance to various coatings, exhibits excellent heat resistance even when exposed to high-temperature conditions such as a solder bath, and has excellent electrical insulation even under high temperature and high humidity. It is preferable to exhibit. Furthermore, since the photosensitive resin (A) has a photosensitive group and a carboxyl group in the side chain, it exhibits extremely excellent patterning properties even when the amount of the photosensitive group and the carboxyl group contained is small. . The functional groups introduced into these side chains are more reactive than those directly linked to the main chain, and the amount of introduction can be arbitrarily adjusted as compared to the case where they are introduced only at the ends of the main chain, so that excellent light It can exhibit curability, patterning properties, and coating film resistance.

(熱硬化性樹脂)
熱硬化性樹脂は、加熱による架橋反応に利用できる官能基を複数有する樹脂である。官能基は、例えば、水酸基、フェノール性水酸基、カルボキシル基、アミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、オキサゾリン基、オキサジン基、アジリジン基、チオール基、シラノール基等が挙げられる。
上記の官能基を有する熱硬化性樹脂は、例えば、アクリル樹脂、マレイン酸樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ポリエステル樹脂、縮合型ポリエステル樹脂、付加型ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリウレタンウレア樹脂、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フェノール系樹脂、アルキド樹脂、アミノ樹脂、ポリ乳酸樹脂、オキサゾリン樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。
(Thermosetting resin)
The thermosetting resin is a resin having a plurality of functional groups that can be used for a crosslinking reaction by heating. Examples of the functional group include a hydroxyl group, a phenolic hydroxyl group, a carboxyl group, an amino group, an epoxy group, an oxetanyl group, an oxazoline group, an oxazine group, an aziridine group, a thiol group, and a silanol group.
Thermosetting resin having the above functional group, for example, acrylic resin, maleic acid resin, polybutadiene resin, polyester resin, condensation type polyester resin, addition type polyester resin, melamine resin, polyurethane resin, polyurethane urea resin, epoxy resin Oxetane resin, phenoxy resin, polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin, phenolic resin, alkyd resin, amino resin, polylactic acid resin, oxazoline resin, benzoxazine resin, silicone resin, fluorine resin and the like.

[熱硬化剤]
熱硬化剤は、活性エネルギー線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂のカルボン酸基および水酸基と熱架橋することでマイグレーション耐性および屈曲性に優れるカバーコート層を形成する。熱硬化剤は、活性エネルギー線硬化性樹脂および熱硬化性樹脂の官能基と反応可能な官能基を複数有している。熱硬化剤は、例えばエポキシ化合物、酸無水物基含有化合物、イソシアネート化合物、アジリジン化合物、アミン化合物、フェノール化合物等の公知の化合物が挙げられ、イソシアネート化合物が特に好ましい。
[Thermosetting agent]
The thermosetting agent forms a cover coat layer having excellent migration resistance and flexibility by thermally crosslinking with a carboxylic acid group and a hydroxyl group of an active energy ray-curable resin or a thermosetting resin. The thermosetting agent has a plurality of functional groups that can react with the functional groups of the active energy ray-curable resin and the thermosetting resin. Examples of the thermosetting agent include known compounds such as an epoxy compound, an acid anhydride group-containing compound, an isocyanate compound, an aziridine compound, an amine compound, and a phenol compound, and an isocyanate compound is particularly preferable.

イソシアネート化合物としては、イソシアネート基を分子内に有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。具体的には、ジイソシアネート化合物としては、例えば、炭素数4〜50の芳香族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート、芳香脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネート等を挙げることができる。   The isocyanate compound is not particularly limited as long as it is a compound having an isocyanate group in the molecule. Specifically, examples of the diisocyanate compound include an aromatic diisocyanate having 4 to 50 carbon atoms, an aliphatic diisocyanate, an araliphatic diisocyanate, and an alicyclic diisocyanate.

芳香族ジイソシアネートとしては、例えば、1,3−フェニレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルジイソシアネート、1,4−フェニレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、4,4’−トルイジンジイソシアネート、2,4,6−トリイソシアネートトルエン、1,3,5−トリイソシアネートベンゼン、ジアニシジンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルエーテルジイソシアネート、4,4’,4”−トリフェニルメタントリイソシアネート等を挙げることができる。   Examples of the aromatic diisocyanate include 1,3-phenylene diisocyanate, 4,4′-diphenyl diisocyanate, 1,4-phenylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6- Tolylene diisocyanate, 4,4'-toluidine diisocyanate, 2,4,6-triisocyanate toluene, 1,3,5-triisocyanate benzene, dianisidine diisocyanate, 4,4'-diphenyl ether diisocyanate, 4,4 ', 4 "-Triphenylmethane triisocyanate.

脂肪族ジイソシアネートとしては、例えば、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、1,2−プロピレンジイソシアネート、2,3−ブチレンジイソシアネート、1,3−ブチレンジイソシアネート、ドデカメチレンジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等を挙げることができる。   Examples of the aliphatic diisocyanate include trimethylene diisocyanate, tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, pentamethylene diisocyanate, 1,2-propylene diisocyanate, 2,3-butylene diisocyanate, 1,3-butylene diisocyanate, dodecamethylene diisocyanate, , 4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate.

芳香脂肪族ジイソシアネートとしては、例えばω,ω’−ジイソシアネート−1,3−ジメチルベンゼン、ω,ω’−ジイソシアネート−1,4−ジメチルベンゼン、ω,ω’−ジイソシアネート−1,4−ジエチルベンゼン、1,4−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、1,3−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等を挙げることができる。   Examples of the aromatic aliphatic diisocyanate include ω, ω′-diisocyanate-1,3-dimethylbenzene, ω, ω′-diisocyanate-1,4-dimethylbenzene, ω, ω′-diisocyanate-1,4-diethylbenzene, , 4-tetramethylxylylene diisocyanate, 1,3-tetramethyl xylylene diisocyanate, and the like.

脂環族ジイソシアネートとしては、例えば3−イソシアネートメチル−3,5,5−トリメチルシクロヘキシルイソシアネート[別名:イソホロンジイソシアネート]、1,3−シクロペンタンジイソシアネート、1,3−シクロヘキサンジイソシアネート、1,4−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−2,4−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−2,6−シクロヘキサンジイソシアネート、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、1,3−ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサン等を挙げることができる。   Examples of the alicyclic diisocyanate include 3-isocyanatomethyl-3,5,5-trimethylcyclohexyl isocyanate [also called isophorone diisocyanate], 1,3-cyclopentane diisocyanate, 1,3-cyclohexane diisocyanate, and 1,4-cyclohexane diisocyanate. , Methyl-2,4-cyclohexanediisocyanate, methyl-2,6-cyclohexanediisocyanate, 4,4'-methylenebis (cyclohexylisocyanate), 1,3-bis (isocyanatomethyl) cyclohexane, 1,4-bis (isocyanatomethyl) Cyclohexane and the like can be mentioned.

分子中にイソシアネート基を1個または3個以上有するイソシアネート化合物としては、具体的には、1分子中に1個のイソシアネート基を有する単官能イソシアネートとして、(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、1,1−ビス[(メタ)アクリロイルオキシメチル]エチルイソシアネート、ビニルイソシアネート、アリルイソシアネート、(メタ)アクリロイルイソシアネート、イソプロペニル−α,α−ジメチルベンジルイソシアネート等が挙げられる。また、1,6−ジイソシアナトヘキサン、ジイソシアン酸イソホロン、ジイソシアン酸4,4’−ジフェニルメタン、ポリメリックジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、2,4−ジイソシアン酸トリレン、ジイソシアン酸トルエン、2,4−ジイソシアン酸トルエン、ジイソシアン酸ヘキサメチレン、ジイソシアン酸4−メチル−m−フェニレン、ナフチレンジイソシアネート、パラフェニレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、シクロヘキシルメタンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、シクロヘキシルジイソシアネート、トリジンジイソシアネート、2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、m−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、p−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等のジイソシアン酸エステル化合物と水酸基、カルボキシル基、アミド基含有ビニルモノマーとを等モルで反応せしめた化合物もイソシアン酸エステル化合物として使用することができる。   As the isocyanate compound having one or more isocyanate groups in the molecule, specifically, as a monofunctional isocyanate having one isocyanate group in the molecule, (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, 1,1 -Bis [(meth) acryloyloxymethyl] ethyl isocyanate, vinyl isocyanate, allyl isocyanate, (meth) acryloyl isocyanate, isopropenyl-α, α-dimethylbenzyl isocyanate and the like. Also, 1,6-diisocyanatohexane, isophorone diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, polymeric diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate, tolylene 2,4-diisocyanate, toluene diisocyanate, 2,4-diisocyanate Toluene, hexamethylene diisocyanate, 4-methyl-m-phenylene diisocyanate, naphthylene diisocyanate, paraphenylene diisocyanate, tetramethyl xylylene diisocyanate, cyclohexyl methane diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate, cyclohexyl diisocyanate, tolidine diisocyanate, 2,2 2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate Compounds obtained by reacting a diisocyanate compound such as a diamine, m-tetramethylxylylene diisocyanate, p-tetramethyl xylylene diisocyanate, dimer acid diisocyanate, and a vinyl monomer having a hydroxyl group, a carboxyl group, or an amide group in an equimolar amount are also isocyanic acid. It can be used as an ester compound.

また、1分子中に3個以上のイソシアネート基を有する多官能イソシアネートとしては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、リジントリイソシアネートなどの脂肪族ポリイソシアネート、芳香脂肪族ポリイソシアネート、脂環族ポリイソシアネート等が挙げられ、前述したジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体、水と反応したビュウレット体、イソシアヌレート環を有する3量体が挙げられる。これらの中でもジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体およびイソシアヌレート環を有する3量体が好ましい。さらにジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体およびイソシアヌレート環を有する3量体を併用することで、マイグレーション耐性と屈曲性を向上することができる。   Examples of the polyfunctional isocyanate having three or more isocyanate groups in one molecule include aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate such as lysine triisocyanate, araliphatic polyisocyanate, and alicyclic polyisocyanate. Examples include the above-mentioned trimethylolpropane adduct of diisocyanate, a buret body reacted with water, and a trimer having an isocyanurate ring. Among these, a trimethylolpropane adduct of diisocyanate and a trimer having an isocyanurate ring are preferable. Furthermore, by using a trimethylolpropane adduct of diisocyanate and a trimer having an isocyanurate ring in combination, migration resistance and flexibility can be improved.

ブロック化イソシアネート化合物としては、イソシアネート基がε−カプロラクタムやMEKオキシム等のブロック剤で保護されたイソシアネート化合物である。具体的には、上記イソシアネート化合物のイソシアネート基を、ε−カプロラクタム、MEKオキシム、シクロヘキサノンオキシム、ピラゾール、フェノール等のブロック剤で保護したものなどが挙げられ、これらの中でもMEKオキシムが好ましい。これらの中でもイソシアネート化合物はブロックイソシアネート化合物が好ましい。ブロックイソシアネート化合物を用いることで、シートライフが向上するため好ましい。   The blocked isocyanate compound is an isocyanate compound in which an isocyanate group is protected by a blocking agent such as ε-caprolactam and MEK oxime. Specific examples include those in which the isocyanate group of the isocyanate compound is protected with a blocking agent such as ε-caprolactam, MEK oxime, cyclohexanone oxime, pyrazole, and phenol. Among these, MEK oxime is preferable. Among these, the isocyanate compound is preferably a blocked isocyanate compound. It is preferable to use a blocked isocyanate compound because the sheet life is improved.

ブロックイソシアネート化合物のブロック剤の解離温度は、120〜200℃が好ましく130〜180℃がより好ましい。ブロックイソシアネート化合物のブロック剤の解離温度を120℃以上とすることで、硬化性樹脂組成物を透明基材上へ塗工する際の乾燥温度で解離する事が無く、優れたパターニング性を有したドライレジストフィルムが得られる。また、ブロック剤の解離温度を200℃以下とすることで、カバーコート層を形成する際の熱キュア時にカバーコート層内の発泡を抑制することができる。   The dissociation temperature of the blocking agent of the blocked isocyanate compound is preferably from 120 to 200 ° C, more preferably from 130 to 180 ° C. By setting the dissociation temperature of the blocking agent of the blocked isocyanate compound to 120 ° C. or higher, the curable resin composition did not dissociate at the drying temperature when coated on the transparent substrate, and had excellent patterning properties. A dry resist film is obtained. Further, by setting the dissociation temperature of the blocking agent to 200 ° C. or less, foaming in the cover coat layer can be suppressed during thermal curing when forming the cover coat layer.

ブロックイソシアネート化合物はイソシアネート当量が200〜400g/eqと、500〜900g/eqとを併用することが好ましい。イソシアネート当量が異なるブロックイソシアネートを併用することで、屈曲性とマイグレーション耐性を向上できる。本発明でいうイソシアネート当量とは、JIS K 7301に従い測定した値である。   The blocked isocyanate compound preferably has an isocyanate equivalent of 200 to 400 g / eq and 500 to 900 g / eq in combination. Flexibility and migration resistance can be improved by using block isocyanates having different isocyanate equivalents in combination. The isocyanate equivalent referred to in the present invention is a value measured according to JIS K7301.

エポキシ化合物は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物である。エポキシ化合物の性状としては、液状および固形状を問わない。
エポキシ化合物としては、例えば、グリジシルエーテル型エポキシ化合物、グリジシルアミン型エポキシ化合物、グリシジルエステル型エポキシ化合物、環状脂肪族(脂環型)エポキシ化合物等が好ましい。
An epoxy compound is a compound having two or more epoxy groups in one molecule. The properties of the epoxy compound may be liquid or solid.
As the epoxy compound, for example, a glycidyl ether type epoxy compound, a glycidylamine type epoxy compound, a glycidyl ester type epoxy compound, a cyclic aliphatic (alicyclic type) epoxy compound and the like are preferable.

エポキシ化合物の分子量は100〜2000が好ましく、200〜1500がより好ましい。   The molecular weight of the epoxy compound is preferably from 100 to 2000, more preferably from 200 to 1500.

グリシジルエーテル型エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、ビスフェノールAD型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、α−ナフトールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールA型ノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、テトラブロムビスフェノールA型エポキシ化合物、臭素化フェノールノボラック型エポキシ化合物、トリス(グリシジルオキシフェニル)メタン、テトラキス(グリシジルオキシフェニル)エタン等が挙げられる。   Examples of the glycidyl ether type epoxy compound include bisphenol A type epoxy compound, bisphenol F type epoxy compound, bisphenol S type epoxy compound, bisphenol AD type epoxy compound, cresol novolak type epoxy compound, phenol novolak type epoxy compound, α-naphthol novolak Epoxy compound, bisphenol A type novolak type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, tetrabromobisphenol A type epoxy compound, brominated phenol novolak type epoxy compound, tris (glycidyloxyphenyl) methane, tetrakis (glycidyloxyphenyl) ethane And the like.

上記グリシジルアミン型エポキシ化合物としては、例えば、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルパラアミノフェノール、トリグリシジルメタアミノフェノール、テトラグリシジルメタキシリレンジアミン等が挙げられる。   Examples of the glycidylamine type epoxy compound include tetraglycidyldiaminodiphenylmethane, triglycidylparaaminophenol, triglycidylmethaminophenol, and tetraglycidylmetaxylylenediamine.

上記グリシジルエステル型エポキシ化合物としては、例えば、ジグリシジルフタレート、ジグリシジルヘキサヒドロフタレート、ジグリシジルテトラヒドロフタレート等が挙げられる。   Examples of the glycidyl ester type epoxy compound include diglycidyl phthalate, diglycidyl hexahydrophthalate, diglycidyl tetrahydrophthalate, and the like.

上記環状脂肪族(脂環型)エポキシ化合物としては、例えば、エポキシシクロヘキシルメチル−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(エポキシシクロヘキシル)アジペート等が挙げられる。
これらの中でも、エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、トリス(グリシジルオキシフェニル)メタン、およびテトラキス(グリシジルオキシフェニル)エタンが好ましい。これらのエポキシ化合物を用いることにより、マイグレーション耐性と屈曲性がより向上する。
Examples of the cycloaliphatic (alicyclic) epoxy compound include epoxycyclohexylmethyl-epoxycyclohexanecarboxylate, bis (epoxycyclohexyl) adipate, and the like.
Among them, as the epoxy compound, bisphenol A type epoxy compound, cresol novolak type epoxy compound, phenol novolak type epoxy compound, tris (glycidyloxyphenyl) methane, and tetrakis (glycidyloxyphenyl) ethane are preferable. By using these epoxy compounds, migration resistance and flexibility are further improved.

エポキシ化合物の配合量は熱硬化剤の全量(100質量%)中、20質量%以下が好ましく15質量%以下がより好ましい。エポキシ化合物を20質量%以下とすることで、ドライレジストフィルム中での硬化反応が抑制されシートライフが向上するため、パターニング性を良化できる。   The mixing amount of the epoxy compound is preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, based on the total amount (100% by mass) of the thermosetting agent. By setting the epoxy compound content to 20% by mass or less, the curing reaction in the dry resist film is suppressed and the sheet life is improved, so that the patterning property can be improved.

熱硬化剤の配合量は、活性エネルギー線硬化性樹脂および熱硬化性樹脂合計100質量部に対して、30〜150質量部であることが好ましく、50〜110質量部であることがより好ましい。活性エネルギー線硬化性樹脂および熱硬化性樹脂の合計100質量部に対して、30〜150質量部の熱硬化剤を配合することで、高いマイグレーション耐性と屈曲性を得ることができる   The compounding amount of the thermosetting agent is preferably 30 to 150 parts by mass, more preferably 50 to 110 parts by mass, based on 100 parts by mass of the active energy ray-curable resin and the thermosetting resin in total. High migration resistance and flexibility can be obtained by blending 30 to 150 parts by mass of a thermosetting agent with respect to a total of 100 parts by mass of the active energy ray-curable resin and the thermosetting resin.

[活性エネルギー線重合開始剤]
活性エネルギー線重合開始剤としては、4−フェノキシジクロロアセトフェノン、4−t−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン等のアセトフェノン系活性エネルギー線重合開始剤、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)−,2−(o−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)等のオキシムエステル系活性エネルギー線重合開始剤、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系活性エネルギー線重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン系活性エネルギー線重合開始剤、チオキサンソン、2−クロルチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、2,4−ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系活性エネルギー線重合開始剤、2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペロニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−スチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン等のトリアジン系活性エネルギー線重合開始剤、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドのアシルフォスフィンオキサイド系活性エネルギー線重合開始剤、ボレート系活性エネルギー線重合開始剤、カルバゾール系活性エネルギー線重合開始剤、またはイミダゾール系活性エネルギー線重合開始剤等が用いられる。これらの活性エネルギー線重合性化合物は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
[Active energy ray polymerization initiator]
Examples of the active energy ray polymerization initiator include 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopro An acetophenone-based active energy ray polymerization initiator such as pan-1-one, 1,2-octadion-1- (4- (phenylthio)-, 2- (o-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl -6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (o- Oxime ester active energy ray polymerization initiators such as cetyl oxime), benzoin active energy ray polymerization initiators such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzyl dimethyl ketal, benzophenone, benzoyl benzoic acid, and benzoyl Benzophenone-based active energy ray polymerization initiators such as methyl benzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxan Thioxanthone-based active energy ray polymerization initiators such as 2,4,6-trione, isopropylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; Rollo-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- ( (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-styryl -S-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloro Tria such as methyl) -s-triazine, 2,4-trichloromethyl- (piperonyl) -6-triazine, and 2,4-trichloromethyl (4′-methoxystyryl) -6-triazine Phosphine oxide active energy beam polymerization of 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide An initiator, a borate-based active energy ray polymerization initiator, a carbazole-based active energy ray polymerization initiator, an imidazole-based active energy ray polymerization initiator, or the like is used. One of these active energy ray polymerizable compounds can be used alone, or two or more of them can be used in an optional ratio as needed.

中でもアシルフォスフィンオキサイド系活性エネルギー線重合開始剤、およびアセトフェノン系活性エネルギー線重合開始剤は、膜の底部硬化性が良好でありマイグレーション耐性が向上することから、好ましい。アシルフォスフィンオキサイド系活性エネルギー線重合開始剤としては、具体的にはイルガキュアTPO(BASF社製)、イルガキュア819(BASF社製)、アセトフェノン系活性エネルギー線重合開始剤としては、具体的にはイルガキュア907(BASF社製)、イルガキュア379(BASF社製)、イルガキュア379EG(BASF社製)などが挙げられる。   Among them, acylphosphine oxide-based active energy ray polymerization initiators and acetophenone-based active energy ray polymerization initiators are preferred because they have good curability at the bottom of the film and have improved migration resistance. As the acylphosphine oxide-based active energy ray polymerization initiator, specifically, Irgacure TPO (manufactured by BASF), Irgacure 819 (manufactured by BASF), and as the acetophenone-based active energy ray polymerization initiator, specifically, Irgacure 907 (manufactured by BASF), Irgacure 379 (manufactured by BASF), Irgacure 379EG (manufactured by BASF), and the like.

活性エネルギー線重合開始剤は、活性エネルギー線硬化性樹脂の固形分の100質量部に対して、0.5〜15質量部で用いることが好ましい。   The active energy ray polymerization initiator is preferably used in an amount of 0.5 to 15 parts by mass based on 100 parts by mass of the solid content of the active energy ray-curable resin.

活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、さらに増感剤として、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、4,4’−ジエチルイソフタロフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。
増感剤は、活性エネルギー線重合開始剤100質量部に対して、0.1〜10質量部の量で用いることができる。
The active energy ray-curable resin composition further contains α-acyloxyester, acylphosphine oxide, methylphenylglyoxylate, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, ethylanthraquinone as a sensitizer. And compounds such as 4,4'-diethylisophthalophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone and 4,4'-diethylaminobenzophenone.
The sensitizer can be used in an amount of 0.1 to 10 parts by mass based on 100 parts by mass of the active energy ray polymerization initiator.

[着色剤]
ドライレジストフィルムは、カバーコート層の遮光性を高めるために、着色剤を含有する。着色剤は、黒色、赤色、緑色、青色、黄色、紫色、シアンおよびマゼンタ等の有彩色の顔料、および染料が挙げられる。これらは単独で使用しても良いし、複数含む混合系着色剤として使用しても良い。黒色着色剤は情報保護や視認性の観点から好ましく、混合系着色剤は、複数の顔料を減色混合することで黒色を得ることができる。
[Colorant]
The dry resist film contains a coloring agent in order to enhance the light shielding property of the cover coat layer. Examples of the colorant include chromatic pigments such as black, red, green, blue, yellow, purple, cyan, and magenta, and dyes. These may be used alone or may be used as a mixed colorant containing a plurality of them. A black colorant is preferable from the viewpoints of information protection and visibility, and a mixed colorant can obtain black by performing color reduction mixing of a plurality of pigments.

黒色顔料は、例えばカーボンブラック、ケッチェンブラック、カーボンナノチューブ(CNT)、ペリレンブラック、チタンブラック、鉄黒、アニリンブラック等が挙げられる。これらの中でも遮光性とマイグレーション耐性を向上する観点から、ペリレンブラック、チタンブラック、鉄黒および、混合系着色剤が好ましく、ペリレンブラックおよびチタンブラックがより好ましい。特に好ましくは、チタンブラックである。   Examples of the black pigment include carbon black, Ketjen black, carbon nanotube (CNT), perylene black, titanium black, iron black, and aniline black. Among these, from the viewpoint of improving light-shielding properties and migration resistance, perylene black, titanium black, iron black and a mixed colorant are preferable, and perylene black and titanium black are more preferable. Particularly preferred is titanium black.

着色剤は、比重が2〜7g/cm3であることが好ましく4〜6g/cm3以上がより好ましい。着色剤の比重が2〜7g/cm3であることで、硬化性樹脂組成物を透明基材に塗工後、含有する着色剤が適度に沈降する。これにより、乾燥しドライレジストフィルムを形成し剥離性シートを貼りつけると、着色剤の濃度は、透明基材面が濃く、剥離性シート面は薄くなる。
ドライレジストフィルムは、剥離性シートを剥がした面を信号回路側に張り付け、カバーコート層を形成することから、信号回路側の着色剤成分を少なくすることができると、不純物成分が少なくマイグレーション耐性がより向上できる。
The colorant preferably has a specific gravity of 2 to 7 g / cm 3 , more preferably 4 to 6 g / cm 3 or more. When the specific gravity of the colorant is 2 to 7 g / cm 3 , the contained colorant is appropriately settled after the curable resin composition is applied to the transparent substrate. Thus, when a dry resist film is formed by drying, and a peelable sheet is attached, the concentration of the colorant is higher on the transparent substrate surface and thinner on the release sheet surface.
Since the dry resist film is attached to the signal circuit side with the surface from which the peelable sheet has been peeled off and forms a cover coat layer, if the colorant component on the signal circuit side can be reduced, the impurity component is reduced and migration resistance is reduced. Can be further improved.

着色剤は、平均一次粒子径が20〜100nmであることが好ましく、30〜90nmがより好ましく、40〜90nmがさらに好ましい。上記平均一次粒子径の着色剤を用いることでドライレジストフィルムから形成されるカバーコート層は、遮光性と屈曲性がより向上する。尚、着色剤の粒子形状が、1.5以上の平均アスペクト比(長軸長さ/短軸長さ)を有する場合、平均一次粒子径は、長軸長さを平均して求める。   The colorant preferably has an average primary particle diameter of 20 to 100 nm, more preferably 30 to 90 nm, and still more preferably 40 to 90 nm. By using the coloring agent having the above average primary particle diameter, the cover coat layer formed from the dry resist film has more improved light-shielding properties and flexibility. When the particle shape of the colorant has an average aspect ratio (major axis length / minor axis length) of 1.5 or more, the average primary particle diameter is determined by averaging the major axis length.

着色剤の粉体抵抗値は3Ω・cm以上が好ましく、5Ω・cm以上がより好ましい。着色剤の粉体抵抗値を上記範囲にすることでマイグレーション耐性がより向上する。粉体抵抗値は、(株)三菱化学アナリテック製、粉体抵抗測定システムMCP−PD51、及び抵抗率計MCP−T610を用いて、プレス圧力2MPaでプレスした際の抵抗値である。   The colorant preferably has a powder resistance of 3 Ω · cm or more, more preferably 5 Ω · cm or more. By setting the powder resistance value of the colorant within the above range, the migration resistance is further improved. The powder resistance value is a resistance value when pressed at a pressing pressure of 2 MPa using a powder resistance measurement system MCP-PD51 and a resistivity meter MCP-T610 manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd.

着色剤の比表面積は10〜50m2/gが好ましく、15〜40m2/gがより好ましい。着色剤の比表面積を上記範囲にすることでパターニング性がより向上する。
比表面積は、日本ベル(株)製BELSORP−miniII等を用いて、BET法により求めることができる。
The specific surface area of the colorant is 10 to 50 m 2 / g are preferred, 15~40m 2 / g is more preferable. By setting the specific surface area of the coloring agent in the above range, the patterning property is further improved.
The specific surface area can be determined by a BET method using BELSORP-miniII manufactured by Bell Japan Co., Ltd.

尚、着色剤の平均一次粒子径は透過型電子顕微鏡(TEM)により5万倍〜100万倍程度に拡大した画像から観察できる20個程度の一次粒子の平均値から求めることができる。   The average primary particle diameter of the colorant can be determined from the average value of about 20 primary particles that can be observed from an image enlarged to about 50,000 to 1,000,000 times by a transmission electron microscope (TEM).

混合系着色剤は、以下の顔料を使用できる。尚、「C.I.」は、カラーインデックス(C.I.)を意味する。   The following pigments can be used as the mixed colorant. Note that “CI” means a color index (CI).

赤色顔料およびマゼンタ顔料は、例えばC.I.ピグメントレッド 7、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、57:1、81、81:1、81:2、81:3、81:4、122、146、168、176、177、178、184、185、187、200、202、208、210、242、246、254、255、264、270、272および279等が挙げられる。   Red pigments and magenta pigments include, for example, C.I. I. Pigment Red 7, 14, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 57: 1, 81, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 81: 4, 122, 146, 168, 176, 177, 178, 184, 185, 187, 200, 202, 208, 210, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272 and 279.

緑顔料は、例えばC.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55および58等が挙げられる。   Green pigments include, for example, C.I. I. Pigment Green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 45, 48, 50, 51, 54, 55, and 58, and the like.

青顔料およびシアン顔料は、例えばC.I.ピグメントブルー1、1:2、9、14、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、17、19、25、27、28、29、33、35、36、56、56:1、60、61、61:1、62、63、66、67、68、71、72、73、74、75、76、78および79等が挙げられる。   Blue pigments and cyan pigments include, for example, C.I. I. Pigment Blue 1, 1: 2, 9, 14, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56: 1, 60, 61, 61: 1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79 and the like.

黄顔料は、例えばC.I.ピグメントイエロー1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、126、127、128、129、138、139、147、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、184、185、187、188、193、194、198、199、213および214等が挙げられる。   Yellow pigments include, for example, C.I. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 82,184,185,187,188,193,194,198,199,213 and 214, and the like.

紫顔料としては、例えばC.I.ピグメントバイオレット1、1:1、2、2:2、3、3:1、3:3、5、5:1、14、15、16、19、23、25、27、29、31、32、37、39、42、44、47、49および50等が挙げられる。   Examples of the purple pigment include C.I. I. Pigment Violet 1, 1: 1, 2: 2: 2, 3: 1, 3: 3, 5, 5: 1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49 and 50.

着色剤は、ドライレジストフィルム100質量%中に0.5〜40質量%含むことが好ましく、1〜30質量%がより好ましい。着色剤を0.5〜40質量%含むことで、高い遮光性と、マイグレーション試験耐性を両立し易くなる。   The coloring agent preferably contains 0.5 to 40% by mass, more preferably 1 to 30% by mass, based on 100% by mass of the dry resist film. By containing the coloring agent in an amount of 0.5 to 40% by mass, it is easy to achieve both high light-shielding properties and resistance to a migration test.

[無機フィラー]
硬化性樹脂組成物は、さらに無機フィラーを含むことが好ましい。無機フィラーを含むことで、耐熱圧着性がより向上する。無機フィラーとしては、例えば、シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、三酸化アンチモン、酸化マグネシウム、タルク、モンモロリナイト、カオリン、ベントナイト等の無機化合物が挙げられる。
これらの中でも、無機フィラーとしては、シリカ表面のシラノール基とハロゲン化シランとを反応させることにより得られる疎水性シリカ微粒子は、耐熱圧着性だけでなく、膜の疎水性を上げ、マイグレーション耐性をより向上させる点から好ましい。
[Inorganic filler]
It is preferable that the curable resin composition further contains an inorganic filler. By including the inorganic filler, the heat-resistant pressure bonding property is further improved. Examples of the inorganic filler include silica, alumina, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, barium sulfate, calcium carbonate, titanium oxide, zinc oxide, antimony trioxide, magnesium oxide, talc, montmorolinite, kaolin, and bentonite. Compounds.
Among these, as the inorganic filler, hydrophobic silica fine particles obtained by reacting a silanol group on the silica surface with a halogenated silane, not only improve the heat-resistant pressure bonding property, but also increase the hydrophobicity of the film and improve the migration resistance. It is preferable from the viewpoint of improvement.

無機フィラーのBET比表面積は、50〜300m2/gが好ましい。上記範囲にあることでドライレジストフィルムに無機フィラーが均一に分散され、耐熱圧着性が向上する。 BET specific surface area of the inorganic filler, 50 to 300 m 2 / g are preferred. When the content is within the above range, the inorganic filler is uniformly dispersed in the dry resist film, and the heat-resistant pressure-bonding property is improved.

無機フィラーの平均粒子径(平均粒子径D50)は、0.01〜10μmであることが好ましく、0.05〜8μmであることがより好ましい。無機フィラーの平均粒子径が0.01〜10μmであることで、耐熱圧着性をより向上することができる。   The average particle diameter (average particle diameter D50) of the inorganic filler is preferably from 0.01 to 10 μm, and more preferably from 0.05 to 8 μm. When the average particle diameter of the inorganic filler is 0.01 to 10 μm, the heat-resistant pressure-bonding property can be further improved.

無機フィラーの含有量は、硬化性樹脂組成物の固形分100質量%中、0.5〜40質量%であることが好ましい。すなわち、ドライレジストフィルムの樹脂層100質量%中、0.5〜40質量%であることが好ましい。より好ましくは1〜30質量%である。0.5質量%以上であれば、マイグレーション耐性が向上する。また40質量%以下であれば、耐熱圧着性が向上する。   The content of the inorganic filler is preferably 0.5 to 40% by mass based on 100% by mass of the solid content of the curable resin composition. That is, it is preferably 0.5 to 40% by mass based on 100% by mass of the resin layer of the dry resist film. More preferably, it is 1 to 30% by mass. If it is 0.5% by mass or more, migration resistance is improved. When the content is 40% by mass or less, the heat-resistant pressure bonding property is improved.

硬化性樹脂組成物は、必要に応じてモノマー、溶剤、シランカップリング剤、イオン捕集剤、酸化防止剤、粘着付与樹脂、可塑剤、紫外線吸収剤、消泡剤、レベリング調整剤,充填剤,難燃剤等を含むことができる。
硬化性樹脂組成物は、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、着色剤とに、必要に応じて溶剤を加え、混合攪拌して作製できる。攪拌は、例えばディスパーマット、ホモジナイザー等の公知の攪拌装置を使用できる。
The curable resin composition may contain a monomer, a solvent, a silane coupling agent, an ion scavenger, an antioxidant, a tackifier resin, a plasticizer, an ultraviolet absorber, an antifoaming agent, a leveling regulator, and a filler, if necessary. , Flame retardants and the like.
The curable resin composition can be prepared by adding a solvent, if necessary, to the active energy ray-curable resin, the active energy ray polymerization initiator, and the colorant, followed by mixing and stirring. For the stirring, a known stirring device such as a disper mat or a homogenizer can be used.

<85℃における貯蔵弾性率>
ドライレジストフィルムは、着色剤を含有する硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有する。そして、上記樹脂層の硬化物の、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+06〜1.0E+10Paであることが好ましい。これにより、高い遮光性と、微細な開口部を形成できる優れたパターニング性とを有し、かつ耐熱圧着性、マイグレーション耐性および屈曲性をも満足させることができるカバーコート層とすることができる。また、1.0E+07〜5.0E+9Paがより好ましく、4.0E+07〜1.0E+9Paがさらに好ましい。85℃における貯蔵弾性率を、1.0E+06〜1.0E+10Paとすることで、マイグレーション耐性と屈曲性を付与することができる。
尚、1.0E+06〜1.0E+10Paは、1.0×106〜1.0×1010Pa、および0.001〜10GPaと同義である。
<Storage modulus at 85 ° C.>
The dry resist film has a resin layer formed from a curable resin composition containing a coloring agent. The cured product of the resin layer preferably has a storage elastic modulus at 85 ° C. of 1.0E + 06 to 1.0E + 10 Pa. This makes it possible to provide a cover coat layer having high light-shielding properties and excellent patterning properties capable of forming fine openings, and also satisfying the heat-resistant compression resistance, the migration resistance, and the flexibility. Further, 1.0E + 07 to 5.0E + 9Pa is more preferable, and 4.0E + 07 to 1.0E + 9Pa is more preferable. By setting the storage elastic modulus at 85 ° C. to 1.0E + 06 to 1.0E + 10 Pa, migration resistance and flexibility can be imparted.
Note that 1.0E + 06 to 1.0E + 10 Pa is synonymous with 1.0 × 10 6 to 1.0 × 10 10 Pa and 0.001 to 10 GPa.

樹脂層の硬化物は、硬化性樹脂組成物を、透明基材の一方の面に塗工、乾燥することによって得られた樹脂層を硬化することで得られる。すなわち、85℃における貯蔵弾性率とは、樹脂層を硬化されてなる硬化物を用いて得られた値である。   The cured product of the resin layer is obtained by applying the curable resin composition to one surface of the transparent substrate and drying the resulting resin layer to cure the resin layer. That is, the storage elastic modulus at 85 ° C. is a value obtained by using a cured product obtained by curing a resin layer.

また、樹脂層の硬化物の厚みが薄かったり、または樹脂層が柔軟であることにより、85℃における貯蔵弾性率の測定が困難な場合には、樹脂層を積層して硬化物を得たり、また積層体の片面だけでなく、両面から活性エネルギー線照射を行い、十分に硬化された樹脂層とすることにより、貯蔵弾性率を求めることができる。具体的には、例えば、基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥離した試料を2枚準備し、露出した樹脂層面同士を真空ラミネート(加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒)によって積層した後、透明基材側から両面に200〜1000mJ/cm2の積算光量となるように活性エネルギー線を照射した後、片方の透明基材を剥がし、露出した樹脂層面を液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液で60秒間現像して、80〜100℃の乾燥オーブンを用いて膜中の水分を乾燥除去した後、140〜180℃のボックスオーブンで加熱硬化させ、最後にもう片側の透明基材を剥離して、得られた樹脂層の硬化物について、貯蔵弾性率を測定することができる。貯蔵弾性率は、前述した樹脂の種類や分子量、熱硬化剤の種類や含有比率、または着色剤の種類や含有量等により適宜調整することが可能である。 Further, when the thickness of the cured product of the resin layer is small, or when the storage elastic modulus at 85 ° C. is difficult to measure due to the flexibility of the resin layer, the cured product is obtained by laminating the resin layers, The storage elastic modulus can be determined by irradiating active energy rays from not only one side but also both sides of the laminate to obtain a sufficiently cured resin layer. Specifically, for example, two samples from which a peelable sheet of a dry resist film with a base material is peeled are prepared, and the exposed resin layer surfaces are vacuum-laminated (heating temperature: 60 ° C., vacuum time: 60 seconds, vacuum ultimate pressure: 2 hPa). , A pressure of 0.4 MPa, and a pressure time of 60 seconds), and then irradiating both sides with an active energy ray from the transparent substrate side so as to have an integrated light amount of 200 to 1000 mJ / cm 2 , and then forming one transparent substrate The exposed resin layer surface is developed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate at a liquid temperature of 30 ° C. for 60 seconds, and the water in the film is dried and removed using a drying oven at 80 to 100 ° C., and then dried at 140 to 180 ° C. The resin is cured by heating in a box oven, and finally, the transparent substrate on the other side is peeled off, and the cured product of the obtained resin layer can be measured for storage elastic modulus. The storage elastic modulus can be appropriately adjusted according to the type and molecular weight of the resin, the type and content of the thermosetting agent, or the type and content of the colorant.

<ドライレジストフィルムの製造方法>
ドライレジストフィルムは、硬化性樹脂組成物を透明基材の一方の面に塗工、乾燥することによって得られた樹脂層を有する。さらに、樹脂層の保護のため、剥離性シートを貼りあわせ、透明基材/樹脂層/剥離性シートの積層構成とすることが一般的であり、以下、透明基材を有している形態を、基材付きドライレジストフィルムと呼ぶ場合がある。ドライレジストフィルムは、さらにクッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層等を有していても良い。
<Production method of dry resist film>
The dry resist film has a resin layer obtained by applying a curable resin composition to one surface of a transparent base material and drying it. Further, in order to protect the resin layer, it is general to form a laminated structure of a transparent base material / resin layer / peelable sheet in order to protect the resin layer. , A dry resist film with a base material. The dry resist film may further have an intermediate layer such as a cushion layer, an adhesive layer, a light absorbing layer, and a gas barrier layer.

上記ドライレジストフィルムの樹脂層は、透明基材に、例えば、ナイフコート、ダイコート、リップコート、ロールコート、カーテンコート、バーコート、グラビアコート、フレキソコート、ディップコート、スプレーコート、スピンコート等の方法で、溶剤に溶解・分散させた液状の硬化性樹脂組成物を塗工後、通常、40〜120℃の温度で溶剤を乾燥させることにより形成することができる。   The resin layer of the dry resist film is formed on a transparent substrate by, for example, a method such as knife coating, die coating, lip coating, roll coating, curtain coating, bar coating, gravure coating, flexo coating, dip coating, spray coating, or spin coating. After applying the liquid curable resin composition dissolved and dispersed in a solvent, the composition can be formed by drying the solvent at a temperature of usually 40 to 120 ° C.

透明基材は、波長320〜700nmの最小光線透過率が50%以上であることが好ましく、60%以上であることがより好ましい。波長320〜700nmの平均光線透過率が50%以上の透明基材を用いることで、活性エネルギー線がドライレジストフィルムに到達し、効率よく硬化するため、パターニング性が向上する。
このような透過率を有する透明基材としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリオレフィンフィルムが好適に用いられる。なお、ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリオレフィンフィルムの一方または、両面に離型剤がコーティングされていても良い。
The transparent substrate preferably has a minimum light transmittance at a wavelength of 320 to 700 nm of 50% or more, and more preferably 60% or more. By using a transparent base material having an average light transmittance of 50% or more at a wavelength of 320 to 700 nm, active energy rays reach the dry resist film and are efficiently cured, so that patterning properties are improved.
As the transparent substrate having such a transmittance, a polyethylene terephthalate film or a polyolefin film is suitably used. Note that a release agent may be coated on one or both sides of the polyethylene terephthalate film or the polyolefin film.

剥離性シートは、ポリエチレンテレフタレートフィルムやOPPフィルムの一方または、両面に離型剤がコーティングされたフィルムであり、ドライレジストフィルムを保護するために張り合わせる部材である。剥離性シートの光線透過率は特に制限なく使用できる。   The releasable sheet is a film in which one or both sides of a polyethylene terephthalate film or an OPP film are coated with a release agent, and is a member bonded to protect the dry resist film. The light transmittance of the peelable sheet can be used without any particular limitation.

ドライレジストフィルムの樹脂層の厚さは、5〜100μmであることが好ましく、10〜70μmであることがより好ましい。ドライレジストフィルムは、透明基材上に樹脂層を形成し、他の面に剥離性シートをさらに貼り合わせ両面で挟みこんだドライレジストフィルムとすることで、その取り扱いが容易になる。   The thickness of the resin layer of the dry resist film is preferably from 5 to 100 μm, more preferably from 10 to 70 μm. The dry resist film can be easily handled by forming a resin layer on a transparent base material, further attaching a releasable sheet to another surface, and sandwiching the dry resist film between both surfaces.

《プリント配線板》
続いて、ドライレジストフィルムを用いて形成されてなるカバーコート層を具備するプリント配線板について説明する。プリント配線板は電磁波シールドシートと、カバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備する。ドライレジストフィルムを用いて形成されてなるカバーコート層を有することにより、耐イオンマイグレーション性、屈曲性、遮光性に優れた電磁波シールドシート付きプリント配線板とすることができる。
《Printed circuit board》
Subsequently, a printed wiring board having a cover coat layer formed using a dry resist film will be described. The printed wiring board includes an electromagnetic wave shielding sheet, a cover coat layer, and a substrate having signal wiring and an insulating base material. By having a cover coat layer formed using a dry resist film, a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet having excellent ion migration resistance, flexibility and light shielding properties can be obtained.

<電磁波シールドシート>
電磁波シールドシートは、導電層および絶縁層を備え、少なくともいずれか一方はりん(P)を含有する。電磁波シールドシートにりん(P)を含有させることで、難燃性を向上させることができる。りん(P)としては、リン酸エステルや赤燐、リン酸アンモニウムやホスファゼン化合物、ホスフィン酸塩、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキシド誘導体などのりん系難燃剤が挙げられる。りん(P)を含有する層の全固形分に対して、りん(P)元素が1〜10%であることが好ましく、2〜7%であることがより好ましい。
<Electromagnetic wave shield sheet>
The electromagnetic wave shielding sheet includes a conductive layer and an insulating layer, at least one of which contains phosphorus (P). By including phosphorus (P) in the electromagnetic wave shielding sheet, flame retardancy can be improved. Examples of phosphorus (P) include phosphorous esters, red phosphorus, ammonium phosphate, phosphazene compounds, phosphinates, and phosphorus-based difficulties such as 9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide derivative. And the like. The phosphorus (P) element is preferably from 1 to 10%, more preferably from 2 to 7%, based on the total solid content of the layer containing phosphorus (P).

[導電層]
電磁波シールドシートの導電層は、電磁波等のノイズをシールドし、主にFPCのカバーコート層に貼り付ける層である。導電層は、導電性接着剤から形成した導電層の第一の態様、および金属層と導電性接着剤から形成した導電層とを有する第二の態様の2つの態様からなる。上記導電性接着剤層は、金、白金、銀、銅およびニッケル等の導電性金属およびその合金からなる導電性微粒子と、上記ドライレジストフィルムを形成する活性エネルギー線樹脂祖組成物で説明した、熱硬化性樹脂、および熱硬化剤を混合した導電性樹脂組成物を塗膜化したものである。金属層は、例えば厚みが0.005〜10μmのアルミニウム、銅、銀、金等の導電性の金属蒸着膜および金属箔等が使用される。
[Conductive layer]
The conductive layer of the electromagnetic wave shielding sheet is a layer that shields noise such as electromagnetic waves and is mainly attached to the cover coat layer of the FPC. The conductive layer has two modes, a first mode of a conductive layer formed from a conductive adhesive and a second mode having a metal layer and a conductive layer formed from a conductive adhesive. The conductive adhesive layer, gold, platinum, silver, conductive fine particles made of a conductive metal such as nickel and nickel and alloys thereof, and the active energy ray resin composition forming the dry resist film described, It is formed by coating a conductive resin composition obtained by mixing a thermosetting resin and a thermosetting agent. As the metal layer, for example, a conductive metal vapor-deposited film such as aluminum, copper, silver, or gold having a thickness of 0.005 to 10 μm, a metal foil, or the like is used.

[絶縁層]
絶縁層は、絶縁性樹脂組成物を使用して形成できる。絶縁層は、導電性接着剤と同様に熱硬化性樹脂および熱硬化剤を配合した絶縁性樹脂組成物を塗膜化して形成することができる。また、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド等の絶縁性樹脂を成形したフィルムを使用することもできる。
[Insulating layer]
The insulating layer can be formed using an insulating resin composition. The insulating layer can be formed by coating a thermosetting resin and an insulating resin composition containing a thermosetting agent in the same manner as the conductive adhesive. Further, a film obtained by molding an insulating resin such as polyester, polycarbonate, polyimide, and polyphenylene sulfide can also be used.

電磁波シールドシートは、導電層に含まれる熱硬化性樹脂と熱硬化剤が未硬化状態で存在し、カバーコート層とともに、熱プレスにより硬化することで、所望の接着強度を得ることが出来る。尚、上記未硬化状態は、熱硬化剤の一部が硬化した半硬化状態を含む。   The electromagnetic wave shielding sheet has a thermosetting resin and a thermosetting agent contained in the conductive layer in an uncured state, and can be cured by a hot press together with the cover coat layer to obtain a desired adhesive strength. The uncured state includes a semi-cured state in which a part of the thermosetting agent is cured.

<基板>
基板は信号配線および絶縁性基材を有する。信号配線としては、アースを取るグランド配線や電子部品に電気信号を送る配線回路等が挙げられ、銅箔をエッチング処理することで形成することが一般的である。絶縁性基材は、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー等の屈曲可能なプラスチックが好ましく、ポリイミドがより好ましい。
<Substrate>
The substrate has a signal wiring and an insulating base. Examples of the signal wiring include a ground wiring for grounding and a wiring circuit for sending an electric signal to an electronic component. The wiring is generally formed by etching a copper foil. The insulating base material is preferably a flexible plastic such as polyester, polycarbonate, polyimide, polyphenylene sulfide, or liquid crystal polymer, and more preferably polyimide.

<電磁波シールド付きプリントプリント配線板の製造方法>
本発明の電磁波シールドシート付きプリント配線板の製造方法について説明する。本発明の電磁波シールドシート付きプリント配線板は、絶縁性基材に信号配線を形成する工程(工程A)、信号配線上にドライレジストフィルムを積層する工程(工程B)、ドライレジストフィルムの樹脂層を露光し、現像後に熱硬化させて開口部を有するカバーコート層を形成する工程(工程C)、上記カバーコート層上に電磁波シールドシートを積層し熱プレスする工程(工程D)により製造することができる。以下各工程について具体的に説明する。
<Production method of printed wiring board with electromagnetic wave shield>
A method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet according to the present invention will be described. The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet of the present invention includes a step of forming signal wiring on an insulating base material (step A), a step of laminating a dry resist film on the signal wiring (step B), and a resin layer of the dry resist film. To form a cover coat layer having openings by exposing and thermally curing after development (step C), and laminating an electromagnetic wave shielding sheet on the cover coat layer and hot pressing (step D). Can be. Hereinafter, each step will be specifically described.

(工程A;信号配線形成工程)
まず絶縁性基板上の銅箔をエッチングすることでアースを取るグランド配線、電子部品に電気信号を送る配線回路を含む信号配線を形成する。
(Step A; signal wiring forming step)
First, ground wiring for grounding by etching a copper foil on an insulating substrate and signal wiring including a wiring circuit for sending an electric signal to an electronic component are formed.

(工程B;ドライレジストフィルム積層工程)
次いで、両面を透明基材および剥離性シートで挟み込まれたドライレジストフィルムの剥離性シートを剥がし、露出した樹脂層面を絶縁性基板上の信号配線を覆うようにラミネーターによって張り合わせる。
(Step B: Dry resist film laminating step)
Next, the releasable sheet of the dry resist film sandwiched between the transparent substrate and the releasable sheet on both sides is peeled off, and the exposed resin layer surface is bonded by a laminator so as to cover the signal wiring on the insulating substrate.

(工程C−1;カバーコート層形成工程)
ドライレジストフィルムに活性エネルギー線硬化性樹脂が含まれる場合、透明基材の上面から所望のパターンに形成されたフォトマスクを介して活性エネルギー線を照射し、ドライレジストフィルムの樹脂層を活性エネルギー線硬化させる。
(Step C-1; cover coat layer forming step)
When the dry resist film contains an active energy ray-curable resin, the active energy ray is irradiated from the upper surface of the transparent base material through a photomask formed into a desired pattern, and the resin layer of the dry resist film is exposed to the active energy ray. Let it cure.

ドライレジストフィルムの樹脂層を硬化するための活性エネルギー線としては、電子線、紫外線、350〜500nmの波長の光線を使用することができる。照射する電子線の線源には熱電子放射銃、電界放射銃等が使用できる。又、紫外線および350〜500nmの線源(光源)には、例えば、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、ガリウムランプ、キセノンランプ、カーボンアークランプ等を使用することができる。具体的には、点光源であること、輝度の安定性から、超高圧水銀ランプ、キセノン水銀ランプ、メタルハライドランプ、が用いられることが多い。照射する活性エネルギー線量は、5〜2000mJ/cm2の範囲で適時設定できるが、工程上管理しやすい50〜1000mJ/cm2の範囲であることが好ましい。又、これら活性エネルギー線と、赤外線、遠赤外線、熱風、高周波加熱等による熱の併用も可能である。 As an active energy ray for curing the resin layer of the dry resist film, an electron beam, an ultraviolet ray, or a light ray having a wavelength of 350 to 500 nm can be used. As a source of the electron beam to be irradiated, a thermionic emission gun, a field emission gun, or the like can be used. Further, as the ultraviolet ray and a 350-500 nm radiation source (light source), for example, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a gallium lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, or the like can be used. Specifically, an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon mercury lamp, and a metal halide lamp are often used from the viewpoint of a point light source and luminance stability. The active energy dose to be irradiated, can be set appropriately in the range of 5~2000mJ / cm 2, it is preferably in the range on the easy of 50~1000mJ / cm 2 management process. It is also possible to use these active energy rays in combination with heat by infrared rays, far infrared rays, hot air, high-frequency heating, or the like.

その後、透明基材を剥がし、アルカリ水溶液によって現像することで未照射部が洗い流され、グランド配線上や必要な箇所に開口部を形成する。
通常のカバーレイフィルムへの穴開けはドリルを使用するため直径2〜5mmの開口部を形成することが一般的であるが、本発明におけるドライレジストフィルムを用いることにより、開口部の直径を0.05〜1mmでテーパー形状の現像残渣がない開口部を有するカバーコート層を形成可能である。0.05〜1mm開口径にすることで、例えばグランド配線面積を大幅に縮小できるため、FPCの短小化が可能となる。
Thereafter, the transparent substrate is peeled off, and the non-irradiated portion is washed away by developing with an alkaline aqueous solution, and an opening is formed on the ground wiring or in a necessary portion.
A hole is usually formed in a coverlay film using a drill to form an opening having a diameter of 2 to 5 mm. However, by using a dry resist film in the present invention, the diameter of the opening is reduced to 0 mm. It is possible to form a cover coat layer having an opening of 0.05 to 1 mm and having no tapered development residue. By setting the opening diameter to 0.05 to 1 mm, for example, the ground wiring area can be significantly reduced, so that the FPC can be shortened.

現像に際しては、アルカリ現像液として炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム等の水溶液が使用され、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリを用いることもできる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。   In the development, an aqueous solution of sodium carbonate, sodium hydroxide or the like is used as an alkali developing solution, and an organic alkali such as dimethylbenzylamine or triethanolamine can also be used. Further, an antifoaming agent or a surfactant can be added to the developer.

現像処理方法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。   As a developing treatment method, a shower developing method, a spray developing method, a dip (immersion) developing method, a paddle (liquid puddle) developing method, or the like can be applied.

現像液を水洗した後、80℃〜110℃で2分〜10分加熱して、不要な水分を除去した後、150℃〜180℃で30分〜2時間加熱し、熱硬化させることでカバーコート層を形成する。熱硬化の後にも必要に応じて活性エネルギー線を照射することができる。   After washing the developing solution with water, it is heated at 80 ° C. to 110 ° C. for 2 minutes to 10 minutes to remove unnecessary water, and then heated at 150 ° C. to 180 ° C. for 30 minutes to 2 hours, and cured by heat to cover. Form a coat layer. An active energy ray can be irradiated as needed even after the thermosetting.

(工程C−2;カバーコート層形成工程)
ドライレジストフィルムに活性エネルギー線硬化性樹脂が含まれない場合、150℃〜180℃で1分〜2時間加熱し、熱硬化させた後、透明基材を剥がし、カバーコート層を形成する。その際、必要に応じて、圧力1〜3MPa程度のプレスを併用することができる。尚、グランド配線上や必要な箇所に開口部を形成する方法として、型抜き加工やルーター加工、レーザーカッターなどが挙げられるが、開口サイズの小型化の観点から、ルーター加工、レーザーカッターが好ましい。0.05〜1mm開口径にすることで、例えばグランド配線面積を大幅に縮小できるため、FPCの短小化が可能となる。尚、開口部の形成工程は、ドライレジストフィルムを基板に被着する前後、熱硬化したカバーコート層を形成するとき、のいずれでも良く、開口部を形成した際の形状を維持しやすい点から、熱硬化後の方がより好ましい。
(Step C-2; cover coat layer forming step)
When the dry resist film does not contain an active energy ray-curable resin, the film is heated at 150 ° C. to 180 ° C. for 1 minute to 2 hours, thermally cured, and then the transparent substrate is peeled off to form a cover coat layer. At that time, if necessary, a press at a pressure of about 1 to 3 MPa can be used in combination. In addition, as a method of forming an opening on a ground wiring or a necessary portion, a die cutting process, a router process, a laser cutter, and the like can be cited. From the viewpoint of reducing the size of the opening, a router process and a laser cutter are preferable. By setting the opening diameter to 0.05 to 1 mm, for example, the ground wiring area can be significantly reduced, so that the FPC can be shortened. The step of forming the opening may be any of before and after applying the dry resist film to the substrate, and when forming the thermosetting cover coat layer, from the viewpoint that the shape at the time of forming the opening is easily maintained. After heat curing, it is more preferable.

(工程D;熱プレス工程)
次いで、カバーコート層の一部または全面に、所定のサイズに打ち抜き加工した電磁波シールドシートを積層し仮貼りする。その後、熱プレスすることで、電磁波シールドシートの導電層が熱硬化し接着される。この時、導電性接着剤層がグランド配線上に形成されたカバーコート層の開口部に流れ込み硬化するためグランドと導通することでシールド性がさらに向上する。
(Step D; hot press step)
Next, an electromagnetic wave shielding sheet punched into a predetermined size is laminated on a part or the entire surface of the cover coat layer, and is temporarily attached. Thereafter, the conductive layer of the electromagnetic wave shielding sheet is thermally cured and bonded by hot pressing. At this time, the conductive adhesive layer flows into the opening of the cover coat layer formed on the ground wiring and hardens, so that the conductive adhesive layer is electrically connected to the ground, so that the shielding property is further improved.

電磁波シールドシートと、配線板との熱プレスは、温度150〜190℃程度、圧力1〜3MPa程度、時間1〜60分程度の条件で行うことが一般的である。熱プレスにより熱硬化性樹脂と熱硬化剤が反応する。尚、硬化を促進させるため、熱プレス後に150〜190℃で30〜90分ポストキュアを行う場合もある。尚、電磁波シールドシートは、熱プレス後に電磁波シールド層ということがある。   The heat pressing of the electromagnetic wave shielding sheet and the wiring board is generally performed at a temperature of about 150 to 190 ° C., a pressure of about 1 to 3 MPa, and a time of about 1 to 60 minutes. The thermosetting resin reacts with the thermosetting agent by hot pressing. In addition, post-curing may be performed at 150 to 190 ° C. for 30 to 90 minutes after hot pressing in order to promote curing. The electromagnetic wave shielding sheet may be referred to as an electromagnetic wave shielding layer after hot pressing.

得られた電磁波シールドシート付きプリント配線板における、電磁波シールドシートのりん(P)を含有する層と、信号配線との間の最短距離について、電磁波シールドシート付きプリント配線板を切断し断面を露出させ、その断面を垂直方向からSEMで観察することで測定することができる。   In the obtained printed wiring board with an electromagnetic shielding sheet, the printed wiring board with an electromagnetic shielding sheet is cut to expose the cross section at the shortest distance between the phosphorus (P) -containing layer of the electromagnetic shielding sheet and the signal wiring. The cross section can be measured by observing the cross section with a SEM from a vertical direction.

電磁波シールドシート付きプリント配線板を切断し、断面を露出させる方法は、割断法、機械研磨法、ミクロトーム法、FIB(集束イオンビーム)法等公知の方法がある。しかし、電磁波シールドシート付きプリント配線板のように硬さが異なる異種材料を含む場合、断面作製の際に、異種界面の剥離や空隙の変形などの構造変形、いわゆるアーティファクトが生じてしまい、真の断面構造が得られないことがある。一方、CP(クロスセクションポリッシャ)法はブロードなAr(アルゴン)イオンビームを用いた断面作製方法であり、金属、半導体、セラミックス、及びそれらの複合材料でも、平滑で歪みのない試料断面を作成することができる。すなわち本発明では、金属層を切断する方法は、CP法が好ましい。
電磁波シールドシートのりん(P)を含有する層と、信号配線との間の最短距離は、マイグレーション耐性の観点から、5μm以上が好ましく、10μm以上がより好ましく、15μm以上がさらに好ましい。また、屈曲性の観点から、80μm以下であることが好ましく、70μm以下であることがより好ましく、50μm以下であることがさらに好ましい。
As a method of cutting the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding sheet and exposing the cross section, there are known methods such as a cleaving method, a mechanical polishing method, a microtome method, and a FIB (focused ion beam) method. However, when different materials such as a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet are included, different shapes such as peeling of different interfaces and deformation of voids, so-called artifacts, are generated during cross-sectional fabrication. A cross-sectional structure may not be obtained. On the other hand, the CP (cross section polisher) method is a cross-section preparation method using a broad Ar (argon) ion beam, and a metal, semiconductor, ceramic, and a composite material thereof can be used to form a smooth and distortion-free sample cross section. be able to. That is, in the present invention, the method of cutting the metal layer is preferably the CP method.
The shortest distance between the layer containing phosphorus (P) of the electromagnetic wave shielding sheet and the signal wiring is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, and still more preferably 15 μm or more from the viewpoint of migration resistance. From the viewpoint of flexibility, the thickness is preferably 80 μm or less, more preferably 70 μm or less, and even more preferably 50 μm or less.

電磁波シールドシートのりん(P)を含有する層と、信号配線との間の最短距離は、カバーコート層の厚みや、電磁波シールドシートのいずれの層にりん(P)を含有するか等により適宜調整することが可能である。   The shortest distance between the phosphorus (P) -containing layer of the electromagnetic wave shielding sheet and the signal wiring is appropriately determined according to the thickness of the cover coat layer, which layer of the electromagnetic wave shielding sheet contains phosphorus (P), and the like. It is possible to adjust.

プリント配線板は、液晶ディスプレイ、タッチパネル等のほか、ノートPC、携帯電話、スマートフォン、タブレット端末等の電子機器に備えることが好ましい。   The printed wiring board is preferably provided in an electronic device such as a notebook PC, a mobile phone, a smartphone, and a tablet terminal, in addition to a liquid crystal display and a touch panel.

以下、実施例、比較例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の実施例のみに限定されるものではない。実施例で使用した活性エネルギー線硬化性樹脂等の合成方法を以下に示す。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to only the following Examples. The method for synthesizing the active energy ray-curable resin and the like used in the examples is shown below.

[活性エネルギー線硬化性樹脂1]
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、エポキシ当量650、軟化点81.1℃、溶融粘度(150℃)12.5ポイズのビスフェノールA型エポキシ樹脂371部、エピクロルヒドリン925部、ジメチルスルホキシド463部を投入し、均一に溶解させた後、攪拌下70℃で98.5%水酸化ナトリウム水溶液52.8部を100分かけて添加した。添加後、更に70℃で3時間反応を行った。次いで、過剰の未反応エピクロルヒドリン及びジメチルスルホキシドの大半を減圧下に留去し、副生塩とジメチルスルホキシドを含む反応生成物をメチルイソブチルケトン750部に溶解させ、更に30%水酸化ナトリウム水溶液10部を加え、70℃で1時間反応させた。反応終了後、水200部で2回水洗を行った。油水分離後、油層よりメチルイソブチルケトンを蒸留回収して、エポキシ当量287、加水分解性塩素含有量0.07%、軟化点64.2℃、溶融粘度(150℃)7.1ポイズのエポキシ樹脂を340部得た。
[Active energy ray curable resin 1]
In a four-necked flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a nitrogen inlet tube, an inlet tube, and a thermometer, bisphenol A type epoxy having an epoxy equivalent of 650, a softening point of 81.1 ° C, and a melt viscosity (150 ° C) of 12.5 poise After 371 parts of resin, 925 parts of epichlorohydrin and 463 parts of dimethyl sulfoxide were charged and uniformly dissolved, 52.8 parts of a 98.5% aqueous sodium hydroxide solution was added at 70 ° C. with stirring over 100 minutes. After the addition, the reaction was further performed at 70 ° C. for 3 hours. Next, most of the excess unreacted epichlorohydrin and dimethyl sulfoxide are distilled off under reduced pressure, the reaction product containing the by-product salt and dimethyl sulfoxide is dissolved in 750 parts of methyl isobutyl ketone, and 10 parts of a 30% aqueous sodium hydroxide solution is further dissolved. And reacted at 70 ° C. for 1 hour. After the completion of the reaction, the resultant was washed twice with 200 parts of water. After oil-water separation, methyl isobutyl ketone is distilled and recovered from the oil layer, and an epoxy resin having an epoxy equivalent of 287, a hydrolyzable chlorine content of 0.07%, a softening point of 64.2 ° C, and a melt viscosity (150 ° C) of 7.1 poise. 340 parts were obtained.

別の撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、このエポキシ樹脂を287部投入し、更にアクリル酸72部、メチルハイドロキノン0.3部、シクロヘキサノン194部を仕込み、90℃に加熱、攪拌し、反応混合物を溶解した。次いで、酸素存在下、100℃で約48時間反応し、酸価1mgKOH/gの反応物を得た。次に、これに無水コハク酸78部、シクロヘキサノン42部を仕込み、95℃で約6時間反応した。この溶液にシクロヘキサノンを加えて固形分が50.0%になるように調整し、活性エネルギー線硬化性樹脂1溶液を得た。活性エネルギー線硬化性樹脂1は、主骨格がビスフェノールA型エポキシ樹脂であるカルボキシル基含有感光性樹脂であり、エチレン性不飽和基当量は450g/eq、ポリスチレン換算の質量平均分子量は7400、分子量分布2.23、実測による樹脂固形分の酸価は100mgKOH/gであった。   In a four-necked flask equipped with another stirrer, a reflux condenser, a nitrogen inlet tube, an inlet tube, and a thermometer, 287 parts of this epoxy resin was charged, and further 72 parts of acrylic acid, 0.3 part of methylhydroquinone, and 194 parts of cyclohexanone. The mixture was heated to 90 ° C. and stirred to dissolve the reaction mixture. Then, the reaction was carried out at 100 ° C. for about 48 hours in the presence of oxygen to obtain a reaction product having an acid value of 1 mgKOH / g. Next, 78 parts of succinic anhydride and 42 parts of cyclohexanone were added thereto and reacted at 95 ° C. for about 6 hours. Cyclohexanone was added to this solution to adjust the solid content to 50.0%, to obtain an active energy ray-curable resin 1 solution. The active energy ray-curable resin 1 is a carboxyl group-containing photosensitive resin whose main skeleton is a bisphenol A type epoxy resin, has an ethylenically unsaturated group equivalent of 450 g / eq, a polystyrene equivalent mass average molecular weight of 7400, and a molecular weight distribution. 2.23, the acid value of the resin solids as measured was 100 mgKOH / g.

[活性エネルギー線硬化性樹脂2]
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、ビスフェノールA64.8部、YD8125(新日鐵化学株式会社製、ビスフェノールA型エポキシ化合物)57.1部、EX861(ナガセケムテックス株式会社製:ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル)128.1部、触媒としてN,N−ジメチルベンジルアミン1.25部、溶剤としてトルエン250部を仕込み、窒素気流下、撹拌しながら110℃に昇温し12時間反応させ、ヒドロキシル基含有樹脂を得た。次に、酸無水物としてリカシッドSA(新日本理化株式会社製:無水コハク酸)54.6部を投入し、110℃のまま4時間反応させた。FT−IR測定にて酸無水物基の吸収が消失しているのを確認後、室温まで冷却した。次に、このフラスコに、窒素導入管からの窒素を停止し乾燥空気の導入に切り替え、攪拌しながらGMA(日油株式会社製:グリシジルメタクリレート)26.0部、重合禁止剤としてヒドロキノン0.165部を投入し、80℃で8時間反応させた。反応終了後、この溶液にメチルエチルケトンを加えて固形分が50.0%になるように調整し、活性エネルギー線硬化性樹脂2溶液を得た。活性エネルギー線硬化性樹脂2は、ヒドロキシル基含有感光性樹脂(A−1)であり、エチレン性不飽和基当量は1803g/eq、ポリスチレン換算の質量平均分子量が23500、実測による樹脂固形分の酸価は63mgKOH/gであった。
[Active energy ray-curable resin 2]
In a four-necked flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a nitrogen inlet tube, an inlet tube, and a thermometer, 64.8 parts of bisphenol A and 57.1 parts of YD8125 (a bisphenol A type epoxy compound manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) , EX861 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation: polyethylene glycol diglycidyl ether), 128.1 parts, N, N-dimethylbenzylamine as a catalyst, 1.25 parts, and toluene as a solvent, 250 parts were charged and stirred under a nitrogen stream. The temperature was raised to 110 ° C. and the reaction was carried out for 12 hours to obtain a hydroxyl group-containing resin. Next, 54.6 parts of RIKACID SA (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd .: succinic anhydride) was added as an acid anhydride, and the mixture was reacted at 110 ° C. for 4 hours. After confirming that the absorption of the acid anhydride group had disappeared by FT-IR measurement, the mixture was cooled to room temperature. Next, in this flask, the nitrogen from the nitrogen inlet tube was stopped, the air was switched to the introduction of dry air, and 26.0 parts of GMA (manufactured by NOF CORPORATION: glycidyl methacrylate) was stirred while hydroquinone 0.165 was used as a polymerization inhibitor. Then, the mixture was reacted at 80 ° C. for 8 hours. After completion of the reaction, methyl ethyl ketone was added to this solution to adjust the solid content to 50.0%, to obtain an active energy ray-curable resin 2 solution. The active energy ray-curable resin 2 is a hydroxyl group-containing photosensitive resin (A-1), has an ethylenically unsaturated group equivalent of 1803 g / eq, a mass average molecular weight in terms of polystyrene of 23500, and an acid content of a resin solid measured by actual measurement. The value was 63 mg KOH / g.

[活性エネルギー線硬化性樹脂3]
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、ビスフェノールA60.8部、YD8125(新日鐵化学株式会社製、ビスフェノールA型エポキシ化合物)43.4部、EX861(ナガセケムテックス株式会社製:ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル)145.8部、触媒としてN,N−ジメチルベンジルアミン1.25部、溶剤としてトルエン250部を仕込み、窒素気流下、撹拌しながら110℃に昇温し12時間反応させ、ヒドロキシル基含有樹脂を得た。次に、酸無水物としてリカシッドSA(新日本理化株式会社製:無水コハク酸)49.8部を投入し、110℃のまま4時間反応させた。FT−IR測定にて酸無水物基の吸収が消失しているのを確認後、室温まで冷却した。次に、このフラスコに、窒素導入管からの窒素を停止し乾燥空気の導入に切り替え、攪拌しながらGMA(日油株式会社製:グリシジルメタクリレート)41.1部、重合禁止剤としてヒドロキノン0.17部を投入し、80℃で8時間反応させた。反応終了後、乾燥空気を導入した状態のフラスコに、酸無水物としてリカシッドSA(新日本理化株式会社製:無水コハク酸)26.0部を投入し、80℃のまま4時間反応させた。FT−IR測定にて酸無水物基の吸収が消失しているのを確認後、室温まで冷却した。この溶液にメチルエチルケトンを加えて固形分が50.0%になるように調整し、活性エネルギー線硬化性樹脂3溶液を得た。活性エネルギー線硬化性樹脂3は、カルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)であり、エチレン性不飽和基当量は1269g/eq、ポリスチレン換算の質量平均分子量が20200、実測による樹脂固形分の酸価は73mgKOH/gであった。
[Active energy ray-curable resin 3]
In a four-necked flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a nitrogen inlet tube, an inlet tube, and a thermometer, 60.8 parts of bisphenol A and 43.4 parts of YD8125 (a bisphenol A type epoxy compound manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) EX861 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation: polyethylene glycol diglycidyl ether) (145.8 parts), N, N-dimethylbenzylamine (1.25 parts) as a catalyst, and toluene (250 parts) as a solvent were charged and stirred under a nitrogen stream. The temperature was raised to 110 ° C. and the reaction was carried out for 12 hours to obtain a hydroxyl group-containing resin. Next, 49.8 parts of Ricacid SA (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd .: succinic anhydride) was added as an acid anhydride, and the mixture was reacted at 110 ° C. for 4 hours. After confirming that the absorption of the acid anhydride group had disappeared by FT-IR measurement, the mixture was cooled to room temperature. Next, in this flask, the nitrogen from the nitrogen inlet tube was stopped, and the flow was switched to the introduction of dry air. With stirring, 41.1 parts of GMA (glycidyl methacrylate, manufactured by NOF CORPORATION) and 0.17 of hydroquinone as a polymerization inhibitor were used. Then, the mixture was reacted at 80 ° C. for 8 hours. After the completion of the reaction, 26.0 parts of Ricacid SA (manufactured by Nippon Rika Co., Ltd .: succinic anhydride) was added as an acid anhydride to the flask in which dry air had been introduced, and the reaction was carried out at 80 ° C. for 4 hours. After confirming that the absorption of the acid anhydride group had disappeared by FT-IR measurement, the mixture was cooled to room temperature. Methyl ethyl ketone was added to this solution to adjust the solid content to 50.0%, to obtain an active energy ray-curable resin 3 solution. The active energy ray-curable resin 3 is a carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2), the equivalent weight of an ethylenically unsaturated group is 1269 g / eq, the mass average molecular weight in terms of polystyrene is 20200, and the acid content of the resin solid is measured. The value was 73 mg KOH / g.

[熱硬化性樹脂]
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、ポリカーボネートジオール(UM90(3/1):宇部興産株式会社製、1,4−シクロヘキサンジメタノール/1,6−ヘキサンジオール=3/1共重合ポリカーボネートジオール)274.8部、イソホロンジイソシアネート39.2部、溶剤としてトルエン300部を仕込み、窒素気流下、攪拌しながら60℃まで昇温し、均一に溶解させた。続いてこのフラスコにジブチル錫ジラウレート0.1部を投入し、110℃に昇温し、3時間反応させた。その後、40℃に冷却後、テトラヒドロ無水フタル酸(リカシッドTH:新日本理化株式会社製)37.6部を添加して110℃に昇温し4時間反応させた。続いて40℃に冷却後、ビフェニル型エポキシ樹脂(YX4000H:三菱ケミカル社製:エポキシ当量=192g/eq)42.7部を添加して110℃に昇温し、12時間反応させた。40℃まで冷却後、テトラヒドロ無水フタル酸32.5部を添加し、110℃で3時間反応させた。40℃まで冷却後、トルエンで固形分が60%になるよう調整し、カルボキシル基含有変性ウレタンエステル樹脂(A)溶液を得た。得られたカルボキシル基含有変性ウレタンエステル樹脂(A)の質量平均分子量は37270、樹脂固形分の酸価は30.2mgKOH/gであった。
[Thermosetting resin]
In a four-necked flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a nitrogen inlet tube, an inlet tube, and a thermometer, a polycarbonate diol (UM90 (3/1): 1,4-cyclohexanedimethanol / 1, manufactured by Ube Industries, Ltd.) was added. 274.8 parts of 6-hexanediol = 3/1 copolymerized polycarbonate diol), 39.2 parts of isophorone diisocyanate, and 300 parts of toluene as a solvent are charged, and the mixture is heated to 60 ° C. while stirring under a nitrogen stream, and uniformly dissolved. I let it. Subsequently, 0.1 part of dibutyltin dilaurate was charged into the flask, heated to 110 ° C., and reacted for 3 hours. Then, after cooling to 40 ° C., 37.6 parts of tetrahydrophthalic anhydride (Likacid TH: manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.) was added, and the temperature was raised to 110 ° C. and reacted for 4 hours. Subsequently, after cooling to 40 ° C., 42.7 parts of a biphenyl type epoxy resin (YX4000H: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation: epoxy equivalent = 192 g / eq) was added, the temperature was raised to 110 ° C., and the reaction was carried out for 12 hours. After cooling to 40 ° C., 32.5 parts of tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted at 110 ° C. for 3 hours. After cooling to 40 ° C., the solid content was adjusted to 60% with toluene to obtain a carboxyl group-containing modified urethane ester resin (A) solution. The obtained carboxyl group-containing modified urethane ester resin (A) had a mass average molecular weight of 37270 and an acid value of the resin solids of 30.2 mgKOH / g.

[表面処理難燃剤]
オルトケイ酸テトラエチル(以下、TEOSともいう)のエタノール溶液(濃度:0.4%)800mlに、後述する方法で求めたD95粒子径が5μmのホスフィン酸アルミニウムを10g加え、濃NH3水でpHを12に調整した後、3時間撹拌し、ろ過、エタノールで洗浄することで、ホスフィン酸アルミニウムの表面にシリカが付着している表面処理難燃剤を得た。シリカの量を、誘導結合プラズマ(ICP)発光分光分析法により求めたところ、ホスフィン酸アルミニウム100部に対し、0.01部であった。
[Surface treatment flame retardant]
To 800 ml of an ethanol solution (concentration: 0.4%) of tetraethyl orthosilicate (hereinafter also referred to as TEOS), 10 g of aluminum phosphinate having a D95 particle size of 5 μm determined by the method described later was added, and the pH was adjusted with concentrated NH 3 water. After adjusting to 12, the mixture was stirred for 3 hours, filtered, and washed with ethanol to obtain a surface-treated flame retardant having silica adhered to the surface of aluminum phosphinate. The amount of silica was determined by inductively coupled plasma (ICP) emission spectroscopy, and was 0.01 parts with respect to 100 parts of aluminum phosphinate.

<D95粒子径の測定方法>
D95は難燃剤の粒度分布において体積積算値95%が含まれる時の粒径を示す。難燃剤の粒子径は、マイクロトラックMT3000EX(日機装株式会社製)を用いて測定した。1%のドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム水溶液に対して、撹拌しながら、難燃剤を分散させ測定試料を作製した。測定は、水の屈折率、および難燃剤の屈折率を入力し、計測時間20秒、Signal Levelが緑色範囲内になるように試料濃度を調整して行った。
<Method for measuring D95 particle size>
D95 indicates a particle size when the volume integrated value of 95% is included in the particle size distribution of the flame retardant. The particle size of the flame retardant was measured using Microtrac MT3000EX (manufactured by Nikkiso Co., Ltd.). A flame retardant was dispersed in a 1% aqueous solution of sodium dodecylbenzenesulfonate while stirring to prepare a measurement sample. The measurement was performed by inputting the refractive index of water and the refractive index of the flame retardant, and adjusting the sample concentration so that the measurement time was 20 seconds and the Signal Level was within the green range.

活性エネルギー線硬化性樹脂1〜3の物性を表1に示す。また、着色剤1および2の物性値を表2に示す。   Table 1 shows the physical properties of the active energy ray-curable resins 1 to 3. Table 2 shows the physical properties of Colorants 1 and 2.

活性エネルギー線重合開始剤:2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−1−プロパン)「イルガキュアー907」BASF社製
増感剤:2,4−ジエチルチオキサントン「DETX−S」日本化薬社製
熱硬化剤1:HDIヌレート型MEKオキシムブロックイソシアネート化合物「デュラネートMF−B60X」(イソシアネート当量=525g/eq)旭化成ケミカルズ社製
熱硬化剤2:HDIアダクト型MEKオキシムブロックイソシアネート化合物「マイテックBLE−29」(イソシアネート当量=646g/eq)三菱化学社製
熱硬化剤3:ビスフェノールA型エポキシ化合物、「JER828」(エポキシ当量=189g/eq)三菱化学社製
無機フィラー:疎水性シリカ「「AEROSIL R812(一次平均粒子径7nm)」日本アエロジル(株)社製
Active energy ray polymerization initiator: 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propane) "Irgacure 907" Sensitizer manufactured by BASF: 2,4-diethylthioxanthone "DETX" -S "Nippon Kayaku Co., Ltd. thermosetting agent 1: HDI nullate type MEK oxime-blocked isocyanate compound" Duranate MF-B60X "(isocyanate equivalent = 525 g / eq) Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. thermosetting agent 2: HDI adduct type MEK oxime block Isocyanate compound “MYTEC BLE-29” (isocyanate equivalent = 646 g / eq) Thermosetting agent 3: bisphenol A type epoxy compound manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “JER828” (epoxy equivalent = 189 g / eq) inorganic filler manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation: Hydrophobic silica "" AEROSIL R8 12 (primary average particle size 7 nm) "manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.

<電磁波シールドシートの作製>
上記で製造した熱硬化性樹脂を100部、導電性微粒子(核体に銅、被覆層に銀を使用した樹枝状粒子D50平均粒子径=11.0μm、福田金属箔粉工業社製)を550部、熱硬化剤として「デナコールEX212」(2官能エポキシ化合物 エポキシ当量=151g/eq、ナガセケムテックス社製)を15部、および「ケミタイトPZ−33」(アジリジン化合物、日本触媒社製)を2.0部、さらにTEOS表面処理ホスフィン酸アルミニウム(D95平均粒子径=5μm)を23部容器に仕込み、不揮発分濃度が40質量%になるようトルエン:イソプロピルアルコール(質量比2:1)の混合溶剤を加えディスパーで10分攪拌することで導電性樹脂組成物を得た。次いで、導電性樹脂組成物を剥離性シート上に、乾燥厚みが10μmになるようにバーコーターを使用して塗工し、さらに100℃の電気オーブンで2分間乾燥し、導電性微粒子以外の不揮発分中の含有率において、りん(P)濃度が4%の導電層を得た。
<Preparation of electromagnetic wave shielding sheet>
100 parts of the above-prepared thermosetting resin and 550 conductive fine particles (dendritic particles D50 using copper for the core and silver for the coating layer, average particle size of D50 = 11.0 μm, manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd.) Parts, 15 parts of "Denacol EX212" (bifunctional epoxy compound, epoxy equivalent = 151 g / eq, manufactured by Nagase ChemteX Corporation) as a thermosetting agent, and 2 parts of "Chemite PZ-33" (aziridine compound, manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.) 2.0 parts, and 23 parts of TEOS surface-treated aluminum phosphinate (D95 average particle diameter = 5 μm) were charged into a container, and a mixed solvent of toluene: isopropyl alcohol (mass ratio 2: 1) was used so that the concentration of nonvolatile components became 40% by mass. Was added and stirred with a disper for 10 minutes to obtain a conductive resin composition. Next, the conductive resin composition is applied on a peelable sheet using a bar coater so that the dry thickness becomes 10 μm, and further dried for 2 minutes in an electric oven at 100 ° C. As a result, a conductive layer having a phosphorus (P) concentration of 4% was obtained.

別途、上記で製造した熱硬化性樹脂100部、熱硬化剤として「デナコールEX212」(2官能エポキシ化合物 エポキシ当量=151g/eq、ナガセケムテックス社製)を15部、および「ケミタイトPZ−33」(アジリジン化合物、日本触媒社製)を2.0部、さらにTEOS表面処理ホスフィン酸アルミニウム(D95平均粒子径=5μm)を23部容器に仕込み、不揮発分濃度が40質量%になるようトルエン:イソプロピルアルコール(質量比2:1)の混合溶剤を加えディスパーで10分攪拌することで絶縁性樹脂組成物を得た。この絶縁性樹脂組成物を剥離性シートにバーコーターを用いて乾燥厚みが15μmになるように塗工し、さらに100℃の電気オーブンで3分間乾燥し、りん(P)濃度が4%の絶縁層を得た。さらに導電層と絶縁層をラミネーターで張り合わせることで電磁波シールドシートを得た。尚、実施例に応じて、導電層と絶縁層との間に金属薄膜を積層する場合には、導電層側に0.1μmの厚みになるよう銀蒸着した金属薄膜と、絶縁層とをラミネーターで張り合わせることで電磁波シールドシートを得ることができる。また、導電層および絶縁層の厚みを変更する場合には、それぞれ導電性樹脂組成物および絶縁性樹脂組成物の塗工する膜厚を変更した。また、導電層および絶縁層に含まれるりん(P)の濃度を変更する場合には、表3中のりん(P)濃度となるように、それぞれ導電性樹脂組成物および絶縁性樹脂組成物中のTEOS表面処理ホスフィン酸アルミニウムの配合量を加減して電磁波シールドシートを作製した。   Separately, 100 parts of the thermosetting resin produced above, 15 parts of "Denacol EX212" (bifunctional epoxy compound, epoxy equivalent = 151 g / eq, manufactured by Nagase ChemteX Corporation) as a thermosetting agent, and "Chemite PZ-33" 2.0 parts of an aziridine compound (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.) and 23 parts of TEOS surface-treated aluminum phosphinate (D95 average particle size = 5 μm) were charged into a container, and toluene and isopropyl were added so that the non-volatile content concentration became 40% by mass. An insulating resin composition was obtained by adding a mixed solvent of alcohol (mass ratio 2: 1) and stirring with a disper for 10 minutes. This insulating resin composition is applied to a peelable sheet using a bar coater to a dry thickness of 15 μm, and further dried in an electric oven at 100 ° C. for 3 minutes to obtain an insulating resin having a phosphorus (P) concentration of 4%. Layer obtained. Further, an electromagnetic wave shielding sheet was obtained by laminating the conductive layer and the insulating layer with a laminator. According to the embodiment, when a metal thin film is laminated between the conductive layer and the insulating layer, the metal thin film having silver deposited on the conductive layer to have a thickness of 0.1 μm and the insulating layer are laminated with a laminator. Then, an electromagnetic wave shielding sheet can be obtained. When the thicknesses of the conductive layer and the insulating layer were changed, the thicknesses of the conductive resin composition and the insulating resin composition applied were changed. When the concentration of phosphorus (P) contained in the conductive layer and the insulating layer is changed, the concentration of phosphorus (P) in the conductive resin composition and the insulating resin composition is adjusted so that the phosphorus (P) concentration in Table 3 is obtained. The amount of the TEOS surface treated aluminum phosphinate was adjusted to produce an electromagnetic wave shielding sheet.

[実施例1]
活性エネルギー線硬化性樹脂1を100部、疎水性シリカを1.5部、黒色系着色剤を3部容器に仕込み、固形分が50%になるようメチルエチルケトン:メチルポリグリコール=1:1(質量比)混合溶剤を加え、均一になるよう混合した。これを横型サンドミルDYNO−MILL(株式会社シンマルエンタープライズ製)を使用して、グラインドゲージによる粒子径が10μm未満になるまで分散した。次いで、分散塗液の活性エネルギー線硬化性樹脂1を100部に対し、活性エネルギー線重合開始剤を4部、増感剤を0.5部、熱硬化剤1を2部、熱硬化剤2を40部添加し均一に混合することで活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を得た。
[Example 1]
100 parts of the active energy ray-curable resin 1, 1.5 parts of hydrophobic silica, and 3 parts of a black colorant are charged into a container, and methyl ethyl ketone: methyl polyglycol = 1: 1 (mass) so that the solid content becomes 50%. Ratio) A mixed solvent was added and mixed so as to be uniform. This was dispersed using a horizontal sand mill DYNO-MILL (manufactured by Shinmaru Enterprise Co., Ltd.) until the particle diameter by a grind gauge became less than 10 μm. Next, 4 parts of the active energy ray polymerization initiator, 0.5 part of the sensitizer, 2 parts of the heat curing agent 1 and 2 parts of the heat curing agent 2 were added to 100 parts of the active energy ray-curable resin 1 of the dispersion coating liquid. Was added and uniformly mixed to obtain an active energy ray-curable resin composition.

得られた活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を、ドクターブレードを使用して乾燥後の厚みが38μmとなるように透明基材(ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(エンブレットS25、厚さ25μm、320〜700nmの最小光線透過率が60%以上、ユニチカ社製))上に均一塗工して100℃で5分乾燥させた後、室温まで冷却し樹脂層を形成した。さらに得られた樹脂層を剥離性シート(離型剤がコーティングされたポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(PET75−AL5、厚さ75μm、320〜700nmの最小光線透過率が60%以上、リンテック社製)に貼り合わせることで透明基材および剥離性シートに挟み込まれた樹脂層を有するドライレジストフィルムを得た。   The obtained active energy ray-curable resin composition is coated with a transparent substrate (polyethylene terephthalate (PET) film (emblet S25, thickness 25 μm, 320 to 320 μm) so that the thickness after drying using a doctor blade is 38 μm. The minimum light transmittance at 700 nm was 60% or more, manufactured by Unitika Ltd.)), and the mixture was dried at 100 ° C. for 5 minutes, and then cooled to room temperature to form a resin layer. The obtained resin layer is further peeled off with a release sheet (polyethylene terephthalate (PET) film coated with a release agent (PET75-AL5, thickness 75 μm, minimum light transmittance of 320 to 700 nm of 60% or more, manufactured by Lintec Corporation)) To obtain a dry resist film having a resin layer sandwiched between a transparent substrate and a peelable sheet.

得られたドライレジストフィルムの剥離性シートを剥がし、露出した樹脂層面を、信号配線を形成した絶縁性基材の信号配線側に、真空ラミネーター(ニチゴーモートン製 小型加圧式真空ラミネーターV−130)で貼りあわせた。尚、真空ラミネート条件は加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒であった。ついで、得られたラミネート物の透明基材側から活性エネルギー線を照射した。活性エネルギー線の照射条件は下記の条件とした。マイラーフィルム(125μmPETフィルム)を使用したコンタクト露光方式、ショートアークUVランプ使用、積算露光量500mJ/cm2
次いで、片方の透明基材を剥がし、露出した樹脂層面を液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液で60秒現像し、水洗後、100℃、2分のボックスオーブンで乾燥した。160℃のボックスオーブンで1時間熱硬化させカバーコート層4付き配線板を得た。
The peelable sheet of the obtained dry resist film was peeled off, and the exposed resin layer surface was placed on the signal wiring side of the insulating base material on which the signal wiring was formed, using a vacuum laminator (Nichigo Morton small pressurized vacuum laminator V-130). Pasted. The vacuum lamination conditions were a heating temperature of 60 ° C., a vacuum time of 60 seconds, an ultimate vacuum pressure of 2 hPa, a pressure of 0.4 MPa, and a pressure time of 60 seconds. Then, an active energy ray was irradiated from the transparent substrate side of the obtained laminate. The irradiation conditions of the active energy ray were as follows. Contact exposure method using Mylar film (125 μm PET film), use of short arc UV lamp, integrated exposure amount 500 mJ / cm 2 .
Next, one of the transparent substrates was peeled off, and the exposed resin layer surface was developed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate at a liquid temperature of 30 ° C. for 60 seconds, washed with water, and dried in a box oven at 100 ° C. for 2 minutes. Heat curing was performed in a box oven at 160 ° C. for 1 hour to obtain a wiring board with a cover coat layer 4.

さらに得られた電磁波シールドシートの導電層側と、カバーコート層4を貼り合わせ、150℃、2.0MPa、30分の条件で熱プレスすることで熱硬化性樹脂を硬化させ、電磁波シールドシート付きプリント配線板を得た。   Further, the conductive layer side of the obtained electromagnetic wave shielding sheet and the cover coat layer 4 are bonded to each other, and the thermosetting resin is cured by hot pressing at 150 ° C., 2.0 MPa, for 30 minutes. A printed wiring board was obtained.

[実施例2〜18、実施例20、比較例1〜3]
表3に記載した通りに変更した以外は、実施例1と同様に行うことで実施例2〜18、実施例20、比較例1〜3の電磁波シールドシート付きプリント配線板をそれぞれ得た。ただし、実施例2〜5、15〜18、20、比較例2〜3では、樹脂層の厚みが表3に記載された数値となるように、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の塗工する膜厚を変更した。
表中、特に断りがない限り、数値は部を表し、空欄は配合していないことを表す。
[Examples 2 to 18, Example 20, Comparative Examples 1 to 3]
Except having changed as described in Table 3, it carried out similarly to Example 1 and obtained the printed wiring board with an electromagnetic shielding sheet of Examples 2-18, Example 20, and Comparative Examples 1-3, respectively. However, in Examples 2 to 5, 15 to 18, and 20 and Comparative Examples 2 to 3, the active energy ray-curable resin composition is applied so that the thickness of the resin layer becomes a numerical value shown in Table 3. The film thickness was changed.
In the table, unless otherwise specified, numerical values indicate parts, and blank columns indicate that no compounding was performed.

[実施例19]
熱硬化性樹脂を100部、疎水性シリカを1.5部、黒色系着色剤を3部容器に仕込み、固形分が50%になるようメチルエチルケトン:メチルポリグリコール=1:1(質量比)混合溶剤を加え、均一になるよう混合した。これを横型サンドミルDYNO−MILL(株式会社シンマルエンタープライズ製)を使用して、グラインドゲージによる粒子径が10μm未満になるまで分散した。次いで、熱硬化性樹脂を100部に対し、熱硬化剤1を2部、熱硬化剤2を40部添加し均一に混合することで熱硬化性樹脂組成物を得た。
[Example 19]
100 parts of thermosetting resin, 1.5 parts of hydrophobic silica, and 3 parts of black colorant are charged in a container, and methyl ethyl ketone: methyl polyglycol = 1: 1 (mass ratio) is mixed so that the solid content becomes 50%. The solvent was added and mixed until uniform. This was dispersed using a horizontal sand mill DYNO-MILL (manufactured by Shinmaru Enterprise Co., Ltd.) until the particle diameter by a grind gauge became less than 10 μm. Next, a thermosetting resin composition was obtained by adding 2 parts of the thermosetting agent 1 and 40 parts of the thermosetting agent 2 to 100 parts of the thermosetting resin and uniformly mixing them.

得られた熱硬化性樹脂組成物を、ドクターブレードを使用して乾燥後の厚みが70μmとなるように厚さ25μmの両面に剥離処理した透明基材(ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム)上に均一塗工して100℃で5分乾燥させた後、室温まで冷却し樹脂層を形成した。さらに得られた樹脂層を厚さ75μmの剥離性シート(軽離型剤がコーティングされたポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム)に貼り合わせることで透明基材および剥離性シートに挟み込まれた樹脂層を有するドライレジストフィルムを得た。   The obtained thermosetting resin composition is uniformly coated on a transparent substrate (polyethylene terephthalate (PET) film) having a thickness of 25 μm peeled off on both sides so that the thickness after drying using a doctor blade is 70 μm. After coating and drying at 100 ° C. for 5 minutes, the mixture was cooled to room temperature to form a resin layer. Further, the obtained resin layer is bonded to a 75 μm-thick release sheet (polyethylene terephthalate (PET) film coated with a light release agent) to have a transparent substrate and a resin layer sandwiched between the release sheets. A dry resist film was obtained.

得られたドライレジストフィルムの剥離性シートを剥がし、露出した樹脂層面を、信号配線を形成した絶縁性基材の信号配線側に、真空ラミネーター(ニチゴーモートン製 小型加圧式真空ラミネーターV−130)で貼りあわせた。尚、真空ラミネート条件は加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒であった。次いで、透明基材を剥がし、160℃のボックスオーブンで1時間熱硬化させカバーコート層4付き配線板を得た。   The peelable sheet of the obtained dry resist film was peeled off, and the exposed resin layer surface was placed on the signal wiring side of the insulating base material on which the signal wiring was formed, using a vacuum laminator (Nichigo Morton small pressurized vacuum laminator V-130). Pasted. The vacuum lamination conditions were a heating temperature of 60 ° C., a vacuum time of 60 seconds, an ultimate vacuum pressure of 2 hPa, a pressure of 0.4 MPa, and a pressure time of 60 seconds. Next, the transparent substrate was peeled off, and heat-cured in a box oven at 160 ° C. for 1 hour to obtain a wiring board with a cover coat layer 4.

さらに得られた電磁波シールドシートの導電層側と、カバーコート層4を貼り合わせ、150℃、2.0MPa、30分の条件で熱プレスすることで熱硬化性樹脂を硬化させ、電磁波シールドシート付きプリント配線板を得た。   Further, the conductive layer side of the obtained electromagnetic wave shielding sheet and the cover coat layer 4 are bonded to each other, and the thermosetting resin is cured by hot pressing at 150 ° C., 2.0 MPa, for 30 minutes. A printed wiring board was obtained.

[実施例21]
活性エネルギー線硬化性樹脂1を100部、疎水性シリカを1.5部、黒色系着色剤を3部容器に仕込み、予備混合してから三本ロールミルで十分に混練した。次いで、分散塗液の活性エネルギー線硬化性樹脂1を100部に対し、活性エネルギー線重合開始剤を4部、増感剤を0.5部、熱硬化剤1を2部、熱硬化剤2を40部添加し、さらに溶剤として固形分が70%となるようセロソルブアセテートを加え、小型プラネタリーミキサーで混合して活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を得た。
[Example 21]
100 parts of the active energy ray-curable resin 1, 1.5 parts of the hydrophobic silica, and 3 parts of the black colorant were charged into a container, preliminarily mixed, and then sufficiently kneaded with a three-roll mill. Next, 4 parts of the active energy ray polymerization initiator, 0.5 part of the sensitizer, 2 parts of the heat curing agent 1 and 2 parts of the heat curing agent 2 were added to 100 parts of the active energy ray-curable resin 1 of the dispersion coating liquid. Was added, and cellosolve acetate was further added as a solvent so that the solid content became 70%, followed by mixing with a small planetary mixer to obtain an active energy ray-curable resin composition.

得られた活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を、乾燥後膜厚が38μmになるようメッシュサイズを選定したポリエステル製スクリーン版を使用し、スクリーン印刷法で上記ドライフィルムを貼り合わせた同じ箇所に均一塗工した後、熱風炉で80℃、30分乾燥し樹脂層を形成した。以降、ドライレジストフィルムと同様の条件で調整しカバーコート層4付き配線板、電磁波シールドシート付きプリント配線板を得た。   The obtained active energy ray-curable resin composition is uniformly applied to the same place where the dry film is attached by a screen printing method using a polyester screen plate having a mesh size selected so that the film thickness after drying is 38 μm. After coating, the resin was dried in a hot air oven at 80 ° C. for 30 minutes to form a resin layer. Thereafter, adjustment was performed under the same conditions as for the dry resist film to obtain a wiring board with a cover coat layer 4 and a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet.

得られた電磁波シールドシート付きプリント配線板について以下の物性を評価した。
<貯蔵弾性率、ガラス転移温度(Tg)>
ドライレジストフィルムの樹脂層の硬化物の貯蔵弾性率およびTgは、次の方法で求めた。基材付きドライレジストフィルムから剥離性シートを剥がした試料を2枚準備し、露出した樹脂層面同士を真空ラミネーター(ニチゴーモートン製 小型加圧式真空ラミネーターV−130)で貼りあわせた。尚、真空ラミネート条件は加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒であった。ついで、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を使用して作製したドライレジストフィルムの場合には、得られた試料の両面に活性エネルギー線を照射した。活性エネルギー線の照射条件は下記の条件とした。マイラーフィルム(125μmPETフィルム)を使用したコンタクト露光方式、ショートアークUVランプ使用、積算露光量500mJ/cm2。次いで、片方の透明基材を剥がし、露出した樹脂層面を液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液で60秒現像し、水洗後、100℃、2分のボックスオーブンで乾燥した。160℃のボックスオーブンで1時間熱硬化させ、幅5mm×長さ30mmの大きさに切断し、他方の透明基材を剥離して、ドライレジストフィルムの樹脂層の硬化物についての測定試料を得た。熱硬化性樹脂組成物を使用して作製したドライレジストフィルムの場合には、160℃のボックスオーブンで1時間熱硬化させ、幅5mm×長さ30mmの大きさに切断し、他方の透明基材を剥離して、ドライレジストフィルムの樹脂層の硬化物についての測定試料とした。
次いで、動的弾性率測定装置DVA−200(アイティー計測制御社製)を用いて、測定試料に対して変形様式「引張り」、周波数10Hz、昇温速度10℃/分、測定温度範囲30〜300℃の条件で測定を行い、85℃における貯蔵弾性率とTgを求めた。
The following physical properties were evaluated for the obtained printed wiring board with the electromagnetic wave shielding sheet.
<Storage modulus, glass transition temperature (Tg)>
The storage elastic modulus and Tg of the cured product of the resin layer of the dry resist film were determined by the following methods. Two samples in which the peelable sheet was peeled from the dry resist film with the base material were prepared, and the exposed resin layer surfaces were bonded together with a vacuum laminator (Nichigo Morton's small pressure type vacuum laminator V-130). The vacuum lamination conditions were a heating temperature of 60 ° C., a vacuum time of 60 seconds, an ultimate vacuum pressure of 2 hPa, a pressure of 0.4 MPa, and a pressure time of 60 seconds. Then, in the case of a dry resist film produced using the active energy ray-curable resin composition, both sides of the obtained sample were irradiated with active energy rays. The irradiation conditions of the active energy ray were as follows. Contact exposure method using Mylar film (125 μm PET film), use of short arc UV lamp, integrated exposure amount 500 mJ / cm 2 . Next, one of the transparent substrates was peeled off, and the exposed resin layer surface was developed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate at a liquid temperature of 30 ° C. for 60 seconds, washed with water, and dried in a box oven at 100 ° C. for 2 minutes. Heat cured in a box oven at 160 ° C. for 1 hour, cut into a size of 5 mm wide × 30 mm long, peel off the other transparent substrate, and obtain a measurement sample for the cured product of the resin layer of the dry resist film Was. In the case of a dry resist film produced using a thermosetting resin composition, it is heat-cured in a box oven at 160 ° C. for 1 hour, cut into a size of 5 mm in width × 30 mm in length, and the other transparent substrate Was peeled off to obtain a measurement sample of a cured product of the resin layer of the dry resist film.
Next, using a dynamic elastic modulus measurement device DVA-200 (manufactured by IT Measurement Control Co., Ltd.), the deformation mode is “tensile”, the frequency is 10 Hz, the heating rate is 10 ° C./min, the measurement temperature range is 30 to The measurement was performed at 300 ° C., and the storage elastic modulus and Tg at 85 ° C. were determined.

<マイグレーション試験>
図1を参照してマイグレーション試験を説明する。厚さ12μmの銅箔と厚さ25μmポリイミドフィルムの積層体をエッチング処理することで図1(1)の平面図に示した通り、ポリイミドフィルム1上にライン/スペース=0.05mm/0.05mmの、カソード電極接続点2’を備えたカソード電極用櫛型信号配線2と、アノード電極接続点3’を備えたアノード電極用櫛型信号配線3とをそれぞれ形成した。
次いで基材付きドライレジストフィルムから、剥離性シートを剥がし、図1(2)の平面図に示した通り、カソード電極用櫛型信号配線2およびアノード電極用櫛型信号配線3を覆い、カソード電極接続点2’付近およびアノード電極接続点3’付近が露出する程度の大きさに樹脂層面を重ね、真空ラミネートすることでドライレジストフィルムを積層体に貼り合わせた。尚、真空ラミネート条件は加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒であった。さらに、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を使用して作製したドライレジストフィルムの場合には、基材付きドライレジストフィルムの透明基材側からマイラーフィルム(125μmPETフィルム)を使用したコンタクト露光方式、ショートアークUVランプ使用、積算露光量500mJ/cm2となるように露光した。次いで、PETマイラーシートおよび透明基材を剥がし、現像機で60秒間現像(現像液:濃度1%の炭酸ナトリウム水溶液、液温30℃、スプレー圧0.2 MPa)した。現像後、水洗し、100℃のボックスオーブンで2分間乾燥した後、160℃の熱風乾燥器でドライレジストフィルムの樹脂層を1時間熱硬化(ポストキュア)することでカバーコート層4付き配線板を得た。熱硬化性樹脂組成物を使用して作製したドライレジストフィルムの場合には、160℃の熱風乾燥器でドライレジストフィルムの樹脂層を1時間熱硬化(ポストキュア)した後、透明基材を剥がしたものをカバーコート層4付き配線板として使用した。
さらに得られた電磁波シールドシートの導電層側から剥離性シートを剥がし、露出した導電層面をカバーコート層4の上に貼り合わせることで図1(3)に示す平面図の通りに積層した試料を得た。得られた試料は、図1(4)に示す試料のA−A’断面図に記載した通り導電層5bはカソード電極用櫛型信号配線2と電気的に接続している。
<Migration test>
The migration test will be described with reference to FIG. As shown in the plan view of FIG. 1 (1), a laminate of a copper foil having a thickness of 12 μm and a polyimide film having a thickness of 25 μm was etched to form a line / space on the polyimide film 1 of 0.05 mm / 0.05 mm. Then, a comb-shaped signal wire 2 for a cathode provided with a cathode electrode connection point 2 'and a comb-shaped signal wire 3 for an anode electrode provided with an anode electrode connection point 3' were formed.
Next, the peelable sheet is peeled off from the dry resist film with the base material, and as shown in the plan view of FIG. 1 (2), the comb-shaped signal wiring 2 for the cathode electrode and the comb-shaped signal wiring 3 for the anode electrode are covered. The surface of the resin layer was overlapped to such an extent that the vicinity of the connection point 2 'and the vicinity of the anode electrode connection point 3' were exposed, and the laminate was vacuum-laminated to bond the dry resist film to the laminate. The vacuum lamination conditions were a heating temperature of 60 ° C., a vacuum time of 60 seconds, an ultimate vacuum pressure of 2 hPa, a pressure of 0.4 MPa, and a pressure time of 60 seconds. Further, in the case of a dry resist film produced using an active energy ray-curable resin composition, a contact exposure method using a mylar film (125 μm PET film) from the transparent substrate side of the dry resist film with a substrate, short-circuiting, Exposure was performed using an arc UV lamp so that the integrated exposure amount was 500 mJ / cm 2 . Next, the PET mylar sheet and the transparent substrate were peeled off, and development was performed with a developing machine for 60 seconds (developer: 1% aqueous sodium carbonate solution, liquid temperature 30 ° C., spray pressure 0.2 MPa). After development, it is washed with water, dried in a box oven at 100 ° C. for 2 minutes, and then thermally cured (post-cured) for 1 hour with a 160 ° C. hot air dryer to form a wiring board with a cover coat layer 4. I got In the case of a dry resist film produced using a thermosetting resin composition, the resin layer of the dry resist film is heat-cured (post-cured) for 1 hour with a hot air dryer at 160 ° C., and then the transparent substrate is peeled off. Was used as a wiring board with a cover coat layer 4.
Further, the peelable sheet was peeled off from the conductive layer side of the obtained electromagnetic wave shielding sheet, and the exposed conductive layer surface was bonded on the cover coat layer 4 to laminate a sample as shown in the plan view of FIG. Obtained. In the obtained sample, the conductive layer 5b is electrically connected to the comb-shaped signal wiring 2 for the cathode electrode as described in the AA 'cross-sectional view of the sample shown in FIG.

得られた試料を150℃、2.0MPa、30分の条件で熱プレスすることで熱硬化性樹脂を硬化させた。次いで、試料を85℃−85%RH(相対湿度)の雰囲気下で、アノード電極接続点3’にアノード電極を接続し、カソード電極接続点2’にカソード電極を接続した上で、電圧50Vを印加し500時間継続した。そして500時間を経過するまでの抵抗値の変化を継続して測定した。尚、下記「リークタッチ」とは、短絡による絶縁破壊があり、瞬間的に抵抗が低下し電流が流れることをいう。リークタッチがない場合は絶縁性が低下しない。評価基準は以下の通りである。   The thermosetting resin was cured by hot pressing the obtained sample at 150 ° C., 2.0 MPa, and 30 minutes. Next, the sample was placed in an atmosphere of 85 ° C.-85% RH (relative humidity), an anode electrode was connected to the anode electrode connection point 3 ′, a cathode electrode was connected to the cathode electrode connection point 2 ′, and a voltage of 50 V was applied. The application was continued for 500 hours. Then, the change of the resistance value until 500 hours passed was continuously measured. The “leak touch” described below means that there is dielectric breakdown due to a short circuit, and the resistance instantaneously decreases and current flows. If there is no leak touch, the insulation does not decrease. The evaluation criteria are as follows.

◎:500時間経過後の抵抗値が1×107Ω以上、かつリークタッチ無し。極めて良好
○:500時間経過後の抵抗値が1×107Ω以上、かつリークタッチ1回有り。良好
△:500時間経過後の抵抗値が1×107Ω以上、かつリークタッチ2回有り。実用上問題ない。
×:500時間経過後の抵抗値が1×107Ω未満、または、
500時間経過後の抵抗値が1×107Ω以上、かつリークタッチ3回以上有り。実用不可。
◎: The resistance value after 500 hours has passed is 1 × 10 7 Ω or more, and there is no leak touch. Very good :: The resistance value after 500 hours passed was 1 × 10 7 Ω or more, and there was one leak touch. Good: The resistance value after 500 hours passed was 1 × 10 7 Ω or more, and there were two leak touches. No problem in practical use.
×: The resistance value after 500 hours has passed is less than 1 × 10 7 Ω, or
The resistance value after 500 hours has passed is 1 × 10 7 Ω or more, and there are three or more leak touches. Not practical.

<耐熱圧着性>
基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥がし、ポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製「カプトン200EN」)と真空ラミネートした。その後、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を使用して作製したドライレジストフィルムの場合には、マイグレーション試験と同様の手順で、露光、現像、ポストキュアを行い、カバーコート層付きポリイミドフィルム(試料a)を作製した。熱硬化性樹脂組成物を使用して作製したドライレジストフィルムの場合には、露光、現像を行わず、ポストキュア後に透明基材を剥がし、カバーコート層付きポリイミドフィルム(試料a)を作製した。次いで、試料aのカバーコート層面に、マイグレーション試験と同様の手順で電磁波シールドシートを貼りあわせ熱プレスすることで電磁波シールドフィルム/カバーコート層/ポリイミドフィルムからなる積層体(試料b)を作製した。
試料aおよび試料bをそれぞれクロスセクションポリッシャー(日本電子社製、SM−09010)を用いてポリイミドフィルム側からイオンビーム照射により切断加工して、カバーコート層の断面を形成した。レーザーマイクロスコープVK−X100(キーエンス社製)、観察アプリケーションとしてVK−H1XV(キーエンス社製)を用いて試料aおよび試料bのカバーコート層の厚みを測定し、下記式より厚みの変化率を求めた。
<Heat resistant crimp resistance>
The peelable sheet of the dry resist film with the substrate was peeled off, and vacuum-laminated with a polyimide film ("Kapton 200EN" manufactured by Du Pont-Toray Co., Ltd.). Thereafter, in the case of a dry resist film produced using the active energy ray-curable resin composition, exposure, development, and post-curing are performed in the same procedure as the migration test, and a polyimide film with a cover coat layer (sample a ) Was prepared. In the case of a dry resist film produced using the thermosetting resin composition, the transparent substrate was peeled off after post-curing without performing exposure and development, thereby producing a polyimide film with a cover coat layer (sample a). Next, an electromagnetic wave shielding sheet was attached to the surface of the cover coat layer of the sample a in the same procedure as in the migration test, and hot-pressed to produce a laminate (sample b) composed of an electromagnetic wave shielding film / cover coat layer / polyimide film.
Samples a and b were each cut from the polyimide film side by ion beam irradiation using a cross section polisher (SM-09010, manufactured by JEOL Ltd.) to form a cross section of the cover coat layer. Using a laser microscope VK-X100 (manufactured by Keyence Corporation) and VK-H1XV (manufactured by Keyence Corporation) as an observation application, the thicknesses of the cover coat layers of the samples a and b were measured, and the rate of change of the thickness was determined from the following equation. Was.

厚み変化率
=100−(試料bのカバーコート層膜厚/試料aのカバーコート層膜厚×100)

厚み変化率により、耐熱圧着性について、以下の評価基準で評価した。

◎:2%未満。 極めて良好。
○:2%以上、4%未満。 良好。
△:4%以上、5%未満。 実用上問題ない。
×:5%以上。 実用不可。
Thickness change rate = 100− (cover coat layer thickness of sample b / cover coat layer thickness of sample a × 100)

The heat resistance and pressure resistance were evaluated according to the following evaluation criteria by the thickness change rate.

A: Less than 2%. Very good.
:: 2% or more and less than 4%. Good.
Δ: 4% or more and less than 5%. No problem in practical use.
X: 5% or more. Not practical.

<屈曲性>
基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥がし、ライン/スペース=0.05mm/0.05mmの回路基板上へ真空ラミネートした。その後、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を使用して作製したドライレジストフィルムの場合には、マイグレーション試験と同様の手順で、露光、現像、ポストキュアを行いカバーコート層付き回路基板を作製した。熱硬化性樹脂組成物を使用して作製したドライレジストフィルムの場合には、露光、現像を行わず、ポストキュア後に透明基材を剥がし、カバーコート層付き回路基板を作製した。
このカバーコート層付き回路基板を、カバーコート層が外側になるように180度折り曲げて、折り曲げ部位に500gの錘を5秒間載せた後、折り曲げた箇所を元の平面状態に戻して、再び500gの錘を5秒間載せ、これを折り曲げ回数を1回とした。カバーコート層にクラックが発生したかどうかを(株)キーエンス製マイクロスコープ「VHX−900」で観察し、クラックが発生しないで折り曲げられた回数を評価した。
500g荷重を掛けた折り曲げ部にクラックが発生までの折り曲げ回数をカウントした。評価基準は以下の通りである。
<Flexibility>
The peelable sheet of the dry resist film with the substrate was peeled off, and vacuum-laminated on a circuit board having a line / space of 0.05 mm / 0.05 mm. Thereafter, in the case of a dry resist film produced using the active energy ray-curable resin composition, exposure, development, and post-curing were performed in the same procedure as in the migration test to produce a circuit board with a cover coat layer. In the case of a dry resist film produced using the thermosetting resin composition, the transparent substrate was peeled off after post-curing without performing exposure and development, thereby producing a circuit board with a cover coat layer.
The circuit board with the cover coat layer is bent 180 degrees so that the cover coat layer is on the outside, and a 500 g weight is placed on the bent portion for 5 seconds. Then, the bent portion is returned to the original flat state, and 500 g is returned again. Was placed for 5 seconds, and this was folded once. Whether or not cracks occurred in the cover coat layer was observed with a microscope "VHX-900" manufactured by KEYENCE CORPORATION, and the number of times of bending without cracks was evaluated.
The number of times of bending until a crack occurred in the bent portion where a load of 500 g was applied was counted. The evaluation criteria are as follows.

◎:5回以上。 極めて良好。
○:3回以上、5回未満。 良好
△:2回以上、3回未満。 実用上問題ない。
×:2回未満。 実用不可。
:: 5 times or more. Very good.
:: 3 or more and less than 5 times. Good: 2 times or more and less than 3 times. No problem in practical use.
X: Less than 2 times. Not practical.

<遮光性>
基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥離して光学濃度をマクベス濃度計(GRETAGD200−II)により測定し、各実施例での膜厚における光学濃度(OD)を求めた。評価基準は以下の通りである。

◎:1.5以上。良好。
〇:1以上、1.5未満。実用上問題ない。
×:1未満。実用不可。
<Light shielding>
The optical density was measured by a Macbeth densitometer (GRETAGD200-II) after peeling off the peelable sheet of the dry resist film with the substrate, and the optical density (OD) at the film thickness in each example was determined. The evaluation criteria are as follows.

:: 1.5 or more. Good.
〇: 1 or more and less than 1.5. No problem in practical use.
×: less than 1. Not practical.

<難燃性>
電磁波シールドシートをカバーコート層全面に被着したこと以外はマイグレーション試験と同様の手順で、電磁波シールドシート付きプリント配線板を形成した。長さ200mm、幅50mmに切り出し、電磁波シールドシート面が外側となるように幅方向に巻いて筒状にし、筒の一方の端部から長さ方向に125mmの位置に印を付けたものを試験サンプルとした。この試験サンプルを用いて、アンダーライターズラボラトリーズ(Underwriter’s Laboratories Inc.)のUL−94薄型垂直燃焼試験規格に準拠した垂直燃焼性試験をn=10で実施し、難燃性を評価した。結果については次の基準を満たした回数で評価した。
<Flame retardant>
A printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet was formed in the same procedure as the migration test except that the electromagnetic wave shielding sheet was applied to the entire surface of the cover coat layer. Cut out to a length of 200 mm and a width of 50 mm, roll it in the width direction so that the electromagnetic wave shielding sheet surface is on the outside, form a tube, and mark the position 125 mm in the length direction from one end of the tube. Samples were used. Using this test sample, a vertical flammability test based on the UL-94 thin vertical flammability test standard of Underwriter's Laboratories Inc. was performed at n = 10 to evaluate the flame retardancy. The results were evaluated by the number of times satisfying the following criteria.

下記(A)〜(E)の条件を全て満たす。
(A)試験片5本を1本につき二回ずつ、合計10回の接炎後からの消炎時間の合計が50秒以内。
(B)試験片5本を1本につき二回ずつ接炎を行い、それぞれの接炎後からの消炎時間が10秒以内。
(C)すべての試験片で滴下物による、300mm下の脱脂綿への着火がない。
(D)すべての試験片で、二回目の接炎後のグローイングは30秒以内。
(E)すべての試験片で、クランプまでフレーミングしない。

◎・・・10回中10回すべて、条件を満たす。 極めて良好。
○・・・10回中9回、条件を満たす。 実用上問題ない。
×・・・10回中条件を満たすのが8回以下。 実用不可。
All of the following conditions (A) to (E) are satisfied.
(A) The total quenching time after 10 times of flame contact, that is, 5 test pieces twice each, is 50 seconds or less.
(B) Five test pieces were subjected to flame contact twice each, and the extinction time after each flame contact was within 10 seconds.
(C) There is no ignition of absorbent cotton 300 mm below by the dripping material in all the test pieces.
(D) For all test pieces, glowing after the second flame contact is within 30 seconds.
(E) For all test pieces, do not frame until the clamp.

A: The condition is satisfied all 10 times out of 10 times. Very good.
・ ・ ・: The condition is satisfied 9 times out of 10 times. No problem in practical use.
×: Eight or less satisfy the condition out of 10 times. Not practical.

表3の結果から、イオンマイグレーション耐性が向上されることで、電磁波シールドシートを貼り合わせた回路において接続信頼性が良化することが確認できた。   From the results in Table 3, it was confirmed that the connection reliability was improved in the circuit to which the electromagnetic wave shielding sheet was bonded by improving the ion migration resistance.

1 ポリイミドフィルム
2 カソード電極用櫛形信号配線
2’ カソード電極接続点
3 アノード電極用櫛形信号配線
3’ アノード電極接続点
4 カバーコート層
5 電磁波シールドシート
5a 絶縁層
5b 導電層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polyimide film 2 Comb-shaped signal wiring 2 'for cathode electrode Cathode electrode connection point 3 Comb-shaped signal wiring 3' for anode electrode Anode electrode connection point 4 Cover coat layer 5 Electromagnetic wave shielding sheet 5a Insulation layer 5b Conductive layer

Claims (4)

電磁波シールドシートと、カバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備する電磁波シールドシート付きプリント配線板であって、
前記電磁波シールドシートが、りん(P)を含有する層を有し、
カバーコート層が、着色剤を含有する樹脂層の硬化物を有し、
前記りん(P)を含有する層と信号配線との間の最短距離が、5μm以上100μm以下の範囲内であることを特徴とする、電磁波シールドシート付きプリント配線板。
An electromagnetic wave shielding sheet, a cover coat layer, a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet comprising a substrate having signal wiring and an insulating base material,
The electromagnetic wave shielding sheet has a layer containing phosphorus (P),
The cover coat layer has a cured product of the resin layer containing the coloring agent,
A printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet, wherein a shortest distance between the layer containing phosphorus (P) and the signal wiring is in a range of 5 μm or more and 100 μm or less.
前記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が、1.0E+06〜1.0E+10Paであることを特徴とする請求項1記載の電磁波シールドシート付きプリント配線板。   The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet according to claim 1, wherein the cured product of the resin layer has a storage elastic modulus at 85 ° C of 1.0E + 06 to 1.0E + 10Pa. 前記電磁波シールドシートは、少なくとも絶縁層と導電層とを有し、前記導電層がりん(P)を含有していることを特徴とする請求項1または2記載の電磁波シールドシート付きプリント配線板。   The printed wiring board according to claim 1, wherein the electromagnetic wave shielding sheet has at least an insulating layer and a conductive layer, and the conductive layer contains phosphorus (P). 前記電磁波シールドシートは、少なくとも絶縁層と導電層とを有し、前記導電層がりん(P)を含有せず、前記絶縁層がりん(P)を含有していることを特徴とする請求項1または2記載の電磁波シールドシート付きプリント配線板。   The electromagnetic wave shielding sheet has at least an insulating layer and a conductive layer, wherein the conductive layer does not contain phosphorus (P), and the insulating layer contains phosphorus (P). 3. The printed wiring board with the electromagnetic wave shielding sheet according to 1 or 2.
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