JP6365712B1 - Dry resist film, printed wiring board with electromagnetic wave shielding sheet, and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

【課題】黒色着色剤により高い遮光性を有しながら、近年求められる、微細な開口部を形成できる優れたパターニング性を有し、かつ耐熱圧着性、マイグレーション耐性および屈曲性をも満足させることができるカバーコート層を形成可能なドライレジストフィルムを提供する。また、それにより、視認性と屈曲性及び、長期的な絶縁信頼性に優れ、回路の高密度による小型化に対応可能な電磁波シールドシート付きプリント配線板を提供する。
【解決手段】活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有し、
前記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+07〜1.0E+10Paであることを特徴とするドライレジストフィルムを用いることにより解決される。
【選択図】図1
An object of the present invention is to have a high patterning property capable of forming a fine opening, which is required in recent years, while also having a high light-shielding property by a black colorant, and to satisfy heat-resistant pressure-bonding property, migration resistance and flexibility. Provided is a dry resist film capable of forming a cover coat layer. Moreover, it provides a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet that is excellent in visibility, flexibility, and long-term insulation reliability, and can be used for miniaturization due to high density of circuits.
An active energy ray curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a resin layer formed from an active energy ray curable resin composition containing a black colorant,
The cured product of the resin layer is solved by using a dry resist film having a storage elastic modulus at 85 ° C. of 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、フレキシブルプリント基板の主に銅回路を保護するために使用されるドライレジストフィルムから形成されてなるカバーコート層と、電磁波シールドシートとを具備する電磁波シールドシート付きプリント配線板に用いられるドライレジストフィルムに関する。   INDUSTRIAL APPLICATION This invention is used for the printed wiring board with an electromagnetic wave shield sheet which comprises the cover coat layer formed from the dry resist film mainly used in order to protect a copper circuit of a flexible printed circuit board, and an electromagnetic wave shield sheet. The present invention relates to a dry resist film.

近年では、小型化・薄型化が急速に進む携帯電話、ビデオカメラ、ノートパソコンなどの電子機器において、柔軟で可撓性のあるフレキシブルプリント基板(以下、FPCという)は必要不可欠となっている。さらに電子機器の高性能化に伴い内蔵される信号配線の狭ピッチ化・高周波化が進むため、電磁波ノイズに対する対策が重要度を増している。そのためFPCには、信号配線から発生する電磁波ノイズを遮蔽もしくは吸収する電磁波シールド材を組み込むことが一般的になっている。   In recent years, flexible and flexible flexible printed boards (hereinafter referred to as FPCs) have become indispensable in electronic devices such as mobile phones, video cameras, and notebook personal computers that are rapidly becoming smaller and thinner. Furthermore, as the performance of electronic devices increases, the signal wiring built-in is becoming narrower and higher in frequency, and countermeasures against electromagnetic noise are becoming increasingly important. For this reason, an FPC is generally incorporated with an electromagnetic shielding material that shields or absorbs electromagnetic noise generated from signal wiring.

なおFPCは、エッチング処理により回路形成した銅張積層版(CCL)とカバーコート層から構成される。カバーコート層の形成は、カバーレイフィルム、感光性インク(ソルダーレジスト)、または感光性フィルム(ドライレジストフィルム)等から選択するのが一般的であり、取り扱いの容易さ、耐久性、絶縁信頼性の高さから、カバーレイフィルムが多く使用されている。   The FPC is composed of a copper clad laminate (CCL) formed by etching and a cover coat layer. The cover coat layer is generally selected from a cover lay film, photosensitive ink (solder resist), or photosensitive film (dry resist film), and is easy to handle, durable, and insulation reliability. Because of this height, coverlay films are often used.

カバーレイフィルムとは、絶縁性基材に熱硬化性接着剤を塗布した材料であり、このようなカバーレイフィルムを用いた利用形態として、特許文献1には、FPCのカバーコート層上に導電性接着剤層や金属薄膜層等を有するシールド層を貼り合せると共に、FPCのカバーコート層の開口部を介してグランド配線に導電接着剤層を接合して金属薄膜層を電気的に接続した電磁波シールド機能を有するFPCが開示されている。   The cover lay film is a material in which a thermosetting adhesive is applied to an insulating base material. As a form of use using such a cover lay film, Patent Document 1 discloses that a conductive material is formed on a cover coat layer of an FPC. An electromagnetic wave in which a metal thin film layer is electrically connected by bonding a conductive adhesive layer to a ground wiring through an opening of an FPC cover coat layer while bonding a shield layer having a conductive adhesive layer, a metal thin film layer, etc. An FPC having a shielding function is disclosed.

そして、電子機器の軽薄短小化に伴うFPCの高密度化により、微細な開口パターンを有するカバーコート層が求められるようになっており、特許文献2には、アルカリ現像性樹脂、エポキシ樹脂、光反応開始剤、光重合モノマーおよび表面処理された無機フィラーによって、解像性およびクラック耐性に優れる樹脂組成物およびドライフィルムが提案されている。   Further, with the increase in density of FPC accompanying the reduction in the thickness of electronic devices, a cover coat layer having a fine opening pattern has been required. Patent Document 2 discloses an alkali-developable resin, an epoxy resin, optical A resin composition and a dry film excellent in resolution and crack resistance have been proposed by a reaction initiator, a photopolymerization monomer, and a surface-treated inorganic filler.

また、カバーコート層には情報保護や視認性の観点から高い漆黒性も求められており、特許文献3には、カルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有する化合物、ウレタン(メタ)アクリレート、それ以外のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物、光重合開始剤、カーボンブラックによって、遮蔽性と保存安定性に優れる黒色感光性組成物およびドライフィルムが提案されている。   The cover coat layer is also required to have high jet blackness from the viewpoint of information protection and visibility. Patent Document 3 discloses compounds having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group, urethane (meth) acrylate, Other than the above, a black photosensitive composition and a dry film excellent in shielding properties and storage stability have been proposed by using a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, a photopolymerization initiator, and carbon black.

特開2007−294996号公報JP 2007-294996 A 特開2016−177174号公報JP, 2006-177174, A 特開2012−141605号公報JP 2012-141605 A

しかし、レジストフィルムを用いたカバーコート層は、カバーレイフィルムに比べ絶縁基材を有さない単層構成である場合が多く、電磁波シールドシートを張り合わせた際、貼りあわせ時の熱と圧力によりカバーコート層がフローし、厚みが減少(耐熱圧着性)したり、マイグレーション耐性が極端に悪化することがある。   However, the cover coat layer using a resist film often has a single layer structure that does not have an insulating base material compared to the cover lay film. When the electromagnetic wave shield sheet is laminated, the cover coat layer is covered by the heat and pressure at the time of bonding. The coating layer may flow, the thickness may decrease (heat-resistant pressure-bonding property), and the migration resistance may be extremely deteriorated.

また、遮光性を持たせるために用いられる黒色系着色剤により、活性エネルギー線による硬化が不足し、微細な開口部の形成が困難であるだけでなく、電磁波シールドシートを張り合わせた場合のマイグレーション耐性がより一層悪化してしまうことも問題となる。
そして、上記マイグレーション耐性を改善するために架橋密度を増し、膜の硬度を高めると折り曲げ時にクラックが生じてしまう(屈曲性)という問題もあり、マイグレーション耐性と屈曲性の両立は困難となっている。
In addition, the black colorant used to provide light-shielding properties is not only hard to cure with active energy rays, making it difficult to form fine openings, but also migration resistance when electromagnetic wave shield sheets are laminated. It is also a problem that it gets worse.
Further, if the crosslink density is increased in order to improve the migration resistance and the hardness of the film is increased, there is a problem that cracks occur at the time of bending (flexibility), and it is difficult to achieve both migration resistance and flexibility. .

このように、黒色着色剤により高い遮光性を有しながら、近年求められる、微細な開口部を形成できる優れたパターニング性を有し、かつ電磁波シールドシートを張り合わせた場合においても、耐熱圧着性、マイグレーション耐性および屈曲性を満足させるカバーコート層を形成できるドライレジストフィルムは得られていないのが現状である。   Thus, while having a high light-shielding property by the black colorant, it has excellent patternability that can be formed in recent years and can form fine openings, and even when an electromagnetic wave shield sheet is laminated, At present, no dry resist film capable of forming a cover coat layer satisfying migration resistance and flexibility is obtained.

本発明者らは前記の課題を解決するため、鋭意検討の結果、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有した活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有するドライレジストフィルムであって、かつ前記樹脂層の硬化物の、85℃における貯蔵弾性率を特定の範囲に制御することにより、前記課題を解決できることを見い出した。   In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have intensively studied, and as a result, an active energy ray-curable resin composition containing an active energy ray-curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a black colorant. It was found that the above-mentioned problems can be solved by controlling the storage elastic modulus at 85 ° C. of the cured product of the resin layer, which has a resin layer formed of

すなわち本発明は、電磁波シールドシートと、ドライレジストフィルムから形成されてなるカバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備するプリント配線板用のドライレジストフィルムであって、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有し、前記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+07〜1.0E+10Paであることを特徴とするドライレジストフィルムに関する。   That is, the present invention is a dry resist film for a printed wiring board comprising an electromagnetic wave shielding sheet, a cover coat layer formed from a dry resist film, and a substrate having a signal wiring and an insulating base material, It has a resin layer formed from an active energy ray curable resin composition containing an energy ray curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a black colorant, and the cured product of the resin layer is: It is related with the dry resist film characterized by the storage elastic modulus in 85 degreeC being 1.0E + 07-1.0E + 10Pa.

本発明により、黒色着色剤により高い遮光性を有しながら、近年求められる、微細な開口部を形成できる優れたパターニング性を有し、かつ耐熱圧着性、マイグレーション耐性および屈曲性をも満足させることができるカバーコート層を形成可能なドライレジストフィルムを提供することができる。また、それにより、視認性と屈曲性及び、長期的な絶縁信頼性に優れ、回路の高密度による小型化に対応可能な電磁波シールドシート付きプリント配線板を提供することが出来る。   According to the present invention, the black colorant has an excellent patterning property capable of forming a fine opening, which has been required in recent years, while having a high light-shielding property, and also satisfies heat-resistant pressure-bonding property, migration resistance, and flexibility. It is possible to provide a dry resist film capable of forming a cover coat layer that can be used. Thereby, it is possible to provide a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet that is excellent in visibility, bendability, and long-term insulation reliability, and can cope with miniaturization due to high density of circuits.

マイグレーション試験を説明した概念図である。It is the conceptual diagram explaining the migration test.

以下、本発明を適用した実施形態の一例について説明する。尚、以降の図における各部材のサイズや比率は、説明の便宜上のものであり、これに限定されるものではない。また、本明細書において「任意の数A〜任意の数B」なる記載は、当該範囲に数Aが下限値として、数Bが上限値として含まれる。また、本明細書における「シート」とは、JISにおいて定義される「シート」のみならず、「フィルム」も含むものとする。また、本明細書において特定する数値は、実施形態または実施例に開示した方法により求められる値である。   Hereinafter, an example of an embodiment to which the present invention is applied will be described. In addition, the size and ratio of each member in the following drawings are for convenience of explanation, and are not limited to this. In the present specification, the description “any number A to any number B” includes the number A as a lower limit and the number B as an upper limit in the range. The “sheet” in this specification includes not only “sheet” defined in JIS but also “film”. Moreover, the numerical value specified in this specification is a value calculated | required by the method disclosed by embodiment or an Example.

本発明のドライレジストフィルムは、電磁波シールドシートと、ドライレジストフィルムから形成されてなるカバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備するプリント配線板用のドライレジストフィルムであって、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有し、前記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+07〜1.0E+10Paであることを特徴とする。   The dry resist film of the present invention is a dry resist film for a printed wiring board comprising an electromagnetic wave shielding sheet, a cover coat layer formed from the dry resist film, and a substrate having a signal wiring and an insulating substrate. A resin layer formed from an active energy ray-curable resin composition containing an active energy ray-curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a black colorant, and curing the resin layer The product is characterized in that the storage elastic modulus at 85 ° C. is 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa.

《ドライレジストフィルム》
本発明のドライレジストフィルムは、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有する。そして、前記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+07〜1.0E+10Paである。
これにより、高い遮光性と、微細な開口部を形成できる優れたパターニング性とを有し、かつ耐熱圧着性、マイグレーション耐性および屈曲性をも満足させることができるカバーコート層とすることができる。
《Dry resist film》
The dry resist film of the present invention has a resin layer formed from an active energy ray curable resin composition containing an active energy ray curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a black colorant. The cured product of the resin layer has a storage elastic modulus at 85 ° C. of 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa.
Thereby, it can be set as the cover coat layer which has high light-shielding property, the outstanding patterning property which can form a fine opening part, and can satisfy heat-resistant crimping | compression-bonding property, migration resistance, and flexibility.

<85℃における貯蔵弾性率>
本発明のドライレジストフィルムは、樹脂層の硬化物の、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+07〜1.0E+10Paである。また、4.0E+07〜5.0E+9Paが好ましく、5.0E+07〜1.0E+9Paがより好ましい。85℃における貯蔵弾性率を、1.0E+07〜1.0E+10Paとすることで、マイグレーション耐性と屈曲性を付与することができる。
なお、1.0E+07〜1.0E+10Paは、1.0×10〜1.0×1010Pa、および0.01〜10GPaと同じである。
<Storage elastic modulus at 85 ° C>
In the dry resist film of the present invention, the cured product of the resin layer has a storage elastic modulus at 85 ° C. of 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa. Moreover, 4.0E + 07-5.0E + 9Pa is preferable and 5.0E + 07-1.0E + 9Pa is more preferable. By setting the storage elastic modulus at 85 ° C. to 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa, migration resistance and flexibility can be imparted.
Note that 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa is the same as 1.0 × 10 7 to 1.0 × 10 10 Pa and 0.01 to 10 GPa.

樹脂層の硬化物は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を、透明基材の一方の面に塗工、乾燥することによって得られた樹脂層に、活性エネルギー線を照射し、さらに加熱により、硬化することで得られる。すなわち、85℃における貯蔵弾性率とは、樹脂層を活性エネルギー線照射後、さらに加熱硬化されてなる硬化物を用いて得られた値である。   The cured product of the resin layer is obtained by applying an active energy ray-curable resin composition to one surface of a transparent substrate and drying the resin layer obtained by irradiating an active energy ray, followed by heating. Obtained by curing. That is, the storage elastic modulus at 85 ° C. is a value obtained using a cured product obtained by further heat-curing the resin layer after irradiation of the active energy ray.

このような、ドライレジストフィルムの樹脂層を硬化させてなる硬化物とするための条件としては、例えば、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を塗工してなる樹脂層を有するドライレジストフィルムについて、透明基材側から200〜1000mJ/cmの積算光量となるように活性エネルギー線を照射した後、剥離性シートを剥がし、露出した樹脂層面を液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液で60秒間現像して、80〜100℃の乾燥オーブンを用いて膜中の水分を乾燥除去した後、140〜180℃のボックスオーブンで加熱硬化させ、最後に透明基材を剥離することで得られた樹脂層の硬化物について、貯蔵弾性率を測定することができる。 As a condition for making such a cured product obtained by curing the resin layer of the dry resist film, for example, for a dry resist film having a resin layer formed by applying an active energy ray-curable resin composition, After irradiating active energy rays from the transparent substrate side so as to obtain an integrated light amount of 200 to 1000 mJ / cm 2 , the peelable sheet is peeled off, and the exposed resin layer surface is covered with a 1% aqueous sodium carbonate solution at a liquid temperature of 30 ° C. for 60 seconds. Resin obtained by developing and drying and removing moisture in the film using a drying oven at 80 to 100 ° C., followed by heat curing in a box oven at 140 to 180 ° C., and finally peeling off the transparent substrate The storage modulus can be measured for the cured product of the layer.

また、樹脂層の硬化物の厚みが薄かったり、または樹脂層が柔軟であることにより、85℃における貯蔵弾性率の測定が困難な場合には、樹脂層を積層して硬化物を得たり、また積層体の片面だけでなく、両面から活性エネルギー線照射を行い、十分に硬化された樹脂層とすることにより、貯蔵弾性率を求めることができる。
具体的には、例えば、基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥離した試料を2枚準備し、露出した樹脂層面同士を真空ラミネート(加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒)によって積層した後、透明基材側から両面に200〜1000mJ/cmの積算光量となるように活性エネルギー線を照射した後、片方の透明基材を剥がし、露出した樹脂層面を液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液で60秒間現像して、80〜100℃の乾燥オーブンを用いて膜中の水分を乾燥除去した後、140〜180℃のボックスオーブンで加熱硬化させ、最後にもう片側の透明基材を剥離して、得られた樹脂層の硬化物について、貯蔵弾性率を測定することができる。
貯蔵弾性率は、後述する樹脂の種類や分子量、硬化剤の種類や含有比率、または黒色着色剤の種類や含有量等により適宜調整することが可能である。
In addition, when it is difficult to measure the storage elastic modulus at 85 ° C. because the thickness of the cured product of the resin layer is thin or the resin layer is flexible, a cured product is obtained by laminating the resin layer, Moreover, the storage elastic modulus can be calculated | required by irradiating not only one side of a laminated body but active energy ray from both surfaces, and setting it as the fully hardened resin layer.
Specifically, for example, two samples from which a peelable sheet of a dry resist film with a substrate is peeled are prepared, and the exposed resin layer surfaces are vacuum laminated (heating temperature 60 ° C., vacuum time 60 seconds, vacuum ultimate pressure 2 hPa). , Pressure 0.4 MPa, pressurization time 60 seconds), and after irradiating active energy rays on the both sides from the transparent substrate side so as to obtain an integrated light amount of 200 to 1000 mJ / cm 2 , one transparent substrate The surface of the exposed resin layer was developed with a 1% sodium carbonate aqueous solution having a liquid temperature of 30 ° C. for 60 seconds, and moisture in the film was removed by drying using a drying oven at 80 to 100 ° C. The storage elastic modulus can be measured for the cured product of the resin layer obtained by heat-curing in a box oven and finally peeling off the other transparent substrate.
The storage elastic modulus can be appropriately adjusted depending on the type and molecular weight of the resin, the type and content ratio of the curing agent, the type and content of the black colorant, and the like.

<光線透過率>
本発明のドライレジストフィルムは波長450nm〜700nmの光線透過率が10%以下であり、波長300〜450nmの光線透過率が5%以上であることが好ましい。450nm〜700nmの光線透過率は、平均10%以下であることが好ましいが、波長450nm〜700nmの全波長領域において10%以下であることがより好ましく、5%以下がさらに好ましい。波長300〜450nmの光線透過率は平均5%以上であることが好ましいが、波長300〜450nmの全波長領域において5%以上であることがより好ましく、6%以上がさらに好ましい。上記光線透過率であることにより、活性エネルギー線硬化性樹脂を有する膜の底部まで硬化させることができ、マイグレーション耐性および耐熱圧着性が向上する。
本発明における光線透過率は、透明基材の一方の面に、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を塗工、乾燥することによって得られた樹脂層を有する、基材付きドライレジストフィルムを用い、透明基材側から入光して測定し、求めることができる。
<Light transmittance>
In the dry resist film of the present invention, the light transmittance at a wavelength of 450 nm to 700 nm is preferably 10% or less, and the light transmittance at a wavelength of 300 to 450 nm is preferably 5% or more. The light transmittance of 450 nm to 700 nm is preferably 10% or less on average, but is more preferably 10% or less and even more preferably 5% or less in the entire wavelength region of wavelengths 450 nm to 700 nm. The light transmittance at a wavelength of 300 to 450 nm is preferably 5% or more on average, but more preferably 5% or more, and even more preferably 6% or more in the entire wavelength region of a wavelength of 300 to 450 nm. By being the said light transmittance, it can be made to harden | cure to the bottom part of the film | membrane which has active energy ray curable resin, and migration tolerance and heat-resistant crimping | compression-bonding property improve.
For the light transmittance in the present invention, a dry resist film with a substrate having a resin layer obtained by coating and drying the active energy ray-curable resin composition on one surface of the transparent substrate, It can be obtained by measuring the light incident from the transparent substrate side.

測定は、分光光度計U−4100(日立ハイテクノロジーズ社製)等を使用し、波長300〜700nmの光線透過率を求めることができる。   Measurement can be performed using a spectrophotometer U-4100 (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), and the light transmittance at a wavelength of 300 to 700 nm can be obtained.

<活性エネルギー線硬化性樹脂組成物>
本発明のドライレジストフィルムは、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有する。
<Active energy ray-curable resin composition>
The dry resist film of the present invention has a resin layer formed from an active energy ray-curable resin composition, and the active energy ray-curable resin composition includes an active energy ray-curable resin and active energy ray polymerization initiation. And a black colorant.

[樹脂]
樹脂としては、従来公知の熱可塑性樹脂、および熱硬化性樹脂等を用いることができるが、少なくとも活性エネルギー線硬化性樹脂を含むことを特徴とする。活性エネルギー線硬化性樹脂は、活性エネルギー線の照射による硬化性を有する樹脂であり、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物であることが好ましい。また、現像性を付与するために、アルカリ可溶性であることが好ましい。
[resin]
Conventionally known thermoplastic resins, thermosetting resins, and the like can be used as the resin, and at least an active energy ray curable resin is included. The active energy ray-curable resin is a resin having curability by irradiation with active energy rays, and is preferably a compound having an ethylenically unsaturated double bond. Moreover, in order to provide developability, it is preferable that it is alkali-soluble.

樹脂の重量平均分子量(Mw)は2000〜40000が好ましく、3000〜30000がより好ましい。樹脂のMwを2000〜40000にすることで、アルカリ可溶性が向上しパターニング性に優れたものとすることができる。   The weight average molecular weight (Mw) of the resin is preferably 2000 to 40000, more preferably 3000 to 30000. By setting the Mw of the resin to 2000 to 40000, the alkali solubility can be improved and the patterning property can be improved.

活性エネルギー線硬化性樹脂は、単独で用いることができるが、パターニング性をより向上する観点から、熱硬化性樹脂を併用することが好ましい。熱硬化性樹脂を併用する場合には、活性エネルギー線硬化性樹脂と熱硬化性樹脂との配合比率は、樹脂の固形分比で30:70〜70:30が好ましく、40:60〜60:40がより好ましい。活性エネルギー線硬化性樹脂と熱硬化性樹脂との配合比率を上記範囲とすることで、パターニング性が向上する。   The active energy ray-curable resin can be used alone, but it is preferable to use a thermosetting resin in combination from the viewpoint of further improving the patterning property. When the thermosetting resin is used in combination, the mixing ratio of the active energy ray-curable resin and the thermosetting resin is preferably 30:70 to 70:30, and 40:60 to 60: in terms of the solid content ratio of the resin. 40 is more preferable. Patterning property improves by making the compounding ratio of active energy ray-curable resin and thermosetting resin into the said range.

(活性エネルギー線硬化性樹脂)
活性エネルギー線硬化性樹脂は、酸性基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性アクリル系樹脂を用いることが好ましい。また、さらに活性エネルギー線感度等を向上させるために、エチレン性不飽和二重結合を有する活性エネルギー線硬化性樹脂を用いることもできる。
活性エネルギー線硬化性樹脂の酸価は50〜120mgKOH/gが好ましく、60〜110mgKOH/gがより好ましい。活性エネルギー線硬化性樹脂の酸価を50〜120mgKOH/gにすることで、パターニング性とマイグレーション耐性が向上する。
(Active energy ray curable resin)
As the active energy ray curable resin, an alkali-soluble acrylic resin obtained by copolymerizing an acidic group-containing ethylenically unsaturated monomer is preferably used. In order to further improve the active energy ray sensitivity and the like, an active energy ray-curable resin having an ethylenically unsaturated double bond can also be used.
The acid value of the active energy ray-curable resin is preferably 50 to 120 mgKOH / g, more preferably 60 to 110 mgKOH / g. Patternability and migration resistance are improved by setting the acid value of the active energy ray-curable resin to 50 to 120 mgKOH / g.

酸性基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアクリル系アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性基を有する樹脂が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂として具体的には、酸性基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン/(無水)マレイン酸共重合体、スチレン/スチレンスルホン酸共重合体、エチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、又はイソブチレン/(無水)マレイン酸共重合体等が挙げられる。中でも、酸性基を有するアクリル樹脂、およびスチレン/スチレンスルホン酸共重合体から選ばれる少なくとも1種の樹脂、特に酸性基を有するアクリル樹脂は、マイグレーション耐性が高いため、好適に用いられる。   Examples of the acrylic alkali-soluble resin copolymerized with an acidic group-containing ethylenically unsaturated monomer include resins having an acidic group such as a carboxyl group or a sulfone group. Specific examples of the alkali-soluble resin include an acrylic resin having an acidic group, an α-olefin / (anhydrous) maleic acid copolymer, a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, an ethylene / (meth) acrylic acid copolymer, or Examples include isobutylene / (anhydrous) maleic acid copolymer. Among these, at least one resin selected from an acrylic resin having an acidic group and a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, particularly an acrylic resin having an acidic group, is preferably used because of high migration resistance.

エチレン性不飽和二重結合を有する樹脂としては、たとえば以下に示す方法(i)や(ii)の方法によりエチレン性不飽和二重結合を導入した樹脂が挙げられる。   Examples of the resin having an ethylenically unsaturated double bond include resins into which an ethylenically unsaturated double bond has been introduced by the methods (i) and (ii) shown below.

・方法(i)
方法(i)としては、例えば、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の1種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖エポキシ基に、エチレン性不飽和二重結合を有する不飽和一塩基酸のカルボキシル基を付加反応させ、更に、生成した水酸基に、多塩基酸無水物を反応させ、エチレン性不飽和二重結合およびカルボキシル基を導入する方法がある。
・ Method (i)
As the method (i), for example, a side chain epoxy group of a copolymer obtained by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group and one or more other monomers is used. Addition reaction of a carboxyl group of an unsaturated monobasic acid having an ethylenically unsaturated double bond, and further reacting a polybasic acid anhydride with the generated hydroxyl group to convert an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group. There is a way to introduce.

エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−グリシドキシエチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、及び3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートが挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。次工程の不飽和一塩基酸との反応性の観点で、グリシジル(メタ)アクリレートが好ましい。   Examples of the ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group include glycidyl (meth) acrylate, methyl glycidyl (meth) acrylate, 2-glycidoxyethyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate. And 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, which may be used alone or in combination of two or more. From the viewpoint of reactivity with the unsaturated monobasic acid in the next step, glycidyl (meth) acrylate is preferred.

不飽和一塩基酸としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸、(メタ)アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体等のモノカルボン酸等が挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。   Examples of unsaturated monobasic acids include (meth) acrylic acid, crotonic acid, o-, m-, p-vinylbenzoic acid, α-haloalkyl of (meth) acrylic acid, alkoxyl, halogen, nitro, cyano substituted products, etc. Monocarboxylic acid etc. are mentioned, These may be used independently or may use 2 or more types together.

多塩基酸無水物としては、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられ、これらは単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。カルボキシル基の数を増やす等、必要に応じて、トリメリット酸無水物等のトリカルボン酸無水物を用いたり、ピロメリット酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物を用いて、残った無水物基を加水分解したりすること等もできる。また、多塩基酸無水物として、エチレン性不飽和二重結合を有する、テトラヒドロ無水フタル酸、又は無水マレイン酸を用いると、更にエチレン性不飽和二重結合を増やすことができる。   Examples of polybasic acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride, etc., and these may be used alone or in combination of two or more. It doesn't matter. If necessary, use a tricarboxylic anhydride such as trimellitic anhydride or a tetracarboxylic dianhydride such as pyromellitic dianhydride to increase the number of carboxyl groups. The group can be hydrolyzed. Further, when tetrahydrophthalic anhydride or maleic anhydride having an ethylenically unsaturated double bond is used as the polybasic acid anhydride, the ethylenically unsaturated double bonds can be further increased.

方法(i)の類似の方法として、例えば、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の1種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖カルボキシル基の一部に、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を付加反応させ、エチレン性不飽和二重結合およびカルボキシル基を導入する方法がある。   As a method similar to the method (i), for example, a side chain of a copolymer obtained by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group and one or more other monomers. There is a method in which an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group is added to a part of a carboxyl group to introduce an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group.

・方法(ii)
方法(ii)としては、水酸基を有するエチレン性不飽和単量体を使用し、他のカルボキシル基を有する不飽和一塩基酸の単量体や、他の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖水酸基に、イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体のイソシアネート基を反応させる方法がある。
・ Method (ii)
As the method (ii), an ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group is used, and a monomer of an unsaturated monobasic acid having another carboxyl group or another monomer is copolymerized. There is a method of reacting an isocyanate group of an ethylenically unsaturated monomer having an isocyanate group with the side chain hydroxyl group of the obtained copolymer.

水酸基を有するエチレン性不飽和単量体としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−若しくは3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−若しくは3−若しくは4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、又はシクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類が挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用して用いてもかまわない。また、上記ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートに、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び/又はブチレンオキシド等を付加重合させたポリエーテルモノ(メタ)アクリレートや、(ポリ)γ−バレロラクトン、(ポリ)ε−カプロラクトン、及び/又は(ポリ)12−ヒドロキシステアリン酸等を付加した(ポリ)エステルモノ(メタ)アクリレートも使用できる。   Examples of the ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2- or 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- or 3- or 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, and glycerol. Examples thereof include hydroxyalkyl (meth) acrylates such as (meth) acrylate or cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, and these may be used alone or in combination of two or more. Further, polyether mono (meth) acrylate obtained by addition polymerization of ethylene oxide, propylene oxide, and / or butylene oxide to the above hydroxyalkyl (meth) acrylate, (poly) γ-valerolactone, (poly) ε-caprolactone And / or (poly) 12-hydroxystearic acid added (poly) ester mono (meth) acrylate can also be used.

イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体としては、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、又は1,1−ビス〔(メタ)アクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられるが、これらに限定することなく、2種類以上併用することもできる。   Examples of the ethylenically unsaturated monomer having an isocyanate group include 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, 1,1-bis [(meth) acryloyloxy] ethyl isocyanate, and the like. In addition, two or more types can be used in combination.

上記活性エネルギー線硬化性樹脂として感光性樹脂(A)を用いることも好ましい。以下、感光性樹脂(A)について説明する。   It is also preferable to use a photosensitive resin (A) as the active energy ray-curable resin. Hereinafter, the photosensitive resin (A) will be described.

本発明の感光性樹脂(A)は、以下に示すように、ヒドロキシル基含有感光性樹脂(A−1)またはカルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)であることを特徴とする。本発明のヒドロキシル基含有感光性樹脂(A−1)は、第一の工程として、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)とを反応させて側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)を作製する。次に、第二の工程として、前記側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)と多塩基酸無水物(d)とを反応させてカルボキシル基含有樹脂(e)を作製する。更に、第三の工程として、前記カルボキシル基含有樹脂(e)と、エポキシ基またはオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)中のエポキシ基又はオキセタン基とを反応させることにより得ることができる。更に、本発明のカルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)は、第四の工程として、前記ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)中の水酸基多塩基酸無水物(d)中の酸無水物基により得ることができる。以下、感光性樹脂(A)の製造方法について詳細に説明する。   As shown below, the photosensitive resin (A) of the present invention is a hydroxyl group-containing photosensitive resin (A-1) or a carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2). The hydroxyl group-containing photosensitive resin (A-1) of the present invention comprises, as a first step, an epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule and at least two phenolic compounds in one molecule. A side chain hydroxyl group-containing resin (c) is prepared by reacting with a phenol compound (b) having a hydroxyl group. Next, as a second step, the side chain hydroxyl group-containing resin (c) and the polybasic acid anhydride (d) are reacted to produce a carboxyl group-containing resin (e). Furthermore, as a third step, the carboxyl group-containing resin (e) is obtained by reacting the epoxy group or oxetane group in the compound (f) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group. be able to. Furthermore, the carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2) of the present invention comprises, as the fourth step, an acid anhydride in the hydroxyl group polybasic acid anhydride (d) in the hydroxyl group-containing resin (A-1). It can be obtained by the group. Hereinafter, the manufacturing method of photosensitive resin (A) is demonstrated in detail.

まず、本発明の第一の工程で得られる側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)について説明する。側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)は、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)とを反応させることで得ることができ、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)中のエポキシ基と1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)中のフェノール性水酸基とを、エポキシ基/フェノール性水酸基=1/1〜1/2.5のモル比で反応させて作製することが好ましい。上記モル比の範囲よりフェノール性水酸基が少ないと、残存する余剰のエポキシ基が後の合成工程で反応してゲル化する場合がある。また、上記モル比の範囲よりフェノール性水酸基が多い場合、最終的に得られる感光性樹脂(A)の分子量が低くなり、所望の塗膜耐性や成膜性が得られにくくなる。更には、余剰の1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)が半田耐熱性や電気絶縁性などの物性に悪影響を及ぼす場合がある。   First, the side chain hydroxyl group-containing resin (c) obtained in the first step of the present invention will be described. The side chain hydroxyl group-containing resin (c) reacts an epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule with a phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule. In the epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule and in the phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule. It is preferable to prepare a phenolic hydroxyl group by reacting with a molar ratio of epoxy group / phenolic hydroxyl group = 1/1 to 1 / 2.5. If the phenolic hydroxyl group is less than the above molar ratio range, the remaining excess epoxy group may react and gel in the subsequent synthesis step. Moreover, when there are more phenolic hydroxyl groups than the range of the said molar ratio, the molecular weight of the photosensitive resin (A) finally obtained becomes low, and it becomes difficult to obtain desired coating-film resistance and film formability. Furthermore, the phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one excess molecule may adversely affect physical properties such as solder heat resistance and electrical insulation.

なお、本発明でいう、モル比とは、実際に官能基同士が反応するモル比であり、各種出発材料は、前記モル比での反応を可能にする量を使用する。従って、例えば、「1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)」と、「1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)」との反応において各出発材料を仕込む際、「1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)」中のエポキシ基1.0モルに対して「1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)」中のフェノール性水酸基が2.5モルを超える量で仕込んで(好ましくは2.7モルを上限として仕込んで)反応させることがある。   In addition, the molar ratio as used in the field of this invention is a molar ratio with which functional groups actually react, and various starting materials use the quantity which enables reaction by the said molar ratio. Therefore, for example, in the reaction of “epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule” and “phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule”, When the starting material is charged, “having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule” with respect to 1.0 mol of epoxy groups in “epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule”. The phenolic hydroxyl group in the “phenolic compound (b)” may be charged in an amount exceeding 2.5 mol (preferably charged at an upper limit of 2.7 mol).

本発明で用いる1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)は、好ましくはエポキシ基を分子内に2個含有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。具体的には、例えば、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、テトラメチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリテトラメチレングリコールジグリシジルエーテル、1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ビスフェノールA・エピクロロヒドリン型エポキシ樹脂、ビスフェノールF・エピクロロヒドリン型エポキシ樹脂、ビフェノール・エピクロロヒドリン型エポキシ樹脂、グリセリン・エピクロロヒドリン付加物のポリグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、ポリブタジエンジグリシジルエーテル、ヒドロキノンジグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、水添ビスフェノールA型ジグリシジルエーテル、ジヒドロキシアントラセン型エポキシ樹脂、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ジフェニルスルホンジグリシジルエーテル、ジヒドロキシベンゾフェノンジグリシジルエーテル、ビフェノールジグリシジルエーテル、ジフェニルメタンジグリシジルエーテル、ビスフェノールフルオレンジグリシジルエーテル、ビスクレゾールフルオレンジグリシジルエーテル、ビスフェノキシエタノールフルオレンジグリシジルエーテル、1,3−ビス(N,N−ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサン、N,N−ジグリシジルアニリン、N,N−ジグリシジルトルイジン、特開2004−156024号公報、特開2004−315595号公報、特開2004−323777号公報に開示されている柔軟性に優れたエポキシ化合物や、下記式(1)−(3)で表される構造のエポキシ化合物等が挙げられる。   The epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule used in the present invention is not particularly limited as long as it is preferably a compound containing two epoxy groups in the molecule. Specifically, for example, ethylene glycol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, tetramethylene glycol diglycidyl ether, polytetramethylene glycol diglycidyl ether, 1,6- Hexanediol diglycidyl ether, bisphenol A / epichlorohydrin type epoxy resin, bisphenol F / epichlorohydrin type epoxy resin, biphenol / epichlorohydrin type epoxy resin, polyglycidyl ether of glycerin / epichlorohydrin adduct , Resorcinol diglycidyl ether, polybutadiene diglycidyl ether, hydroquinone diglycidyl ether, dibromoneope Tyl glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, hexahydrophthalic acid diglycidyl ester, hydrogenated bisphenol A type diglycidyl ether, dihydroxyanthracene type epoxy resin, polypropylene glycol diglycidyl ether, diphenylsulfone diglycidyl ether, dihydroxybenzophenone Diglycidyl ether, biphenol diglycidyl ether, diphenylmethane diglycidyl ether, bisphenol fluorenediglycidyl ether, biscresol fluorenediglycidyl ether, bisphenoxyethanol fluorenediglycidyl ether, 1,3-bis (N, N-diglycidylaminomethyl) cyclohexane N, N-diglycidylaniline, N, N-dig Ricidyl toluidine, an epoxy compound having excellent flexibility disclosed in JP-A No. 2004-156024, JP-A No. 2004-315595, and JP-A No. 2004-323777, and the following formulas (1) to (3) An epoxy compound having a structure represented by:

式(1)

Formula (1)

式(2)

Formula (2)

式(3)

Formula (3)

中でも、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテルは、最終的に得られるヒドロキシル基含有感光性樹脂(A−1)に柔軟性やアルカリ現像液に対する溶解性を付与させる場合に好ましく、ビスフェノールA・エピクロロヒドリン型エポキシ樹脂は、最終的に得られるカルボキシル基含有変性エステル樹脂(A)に耐熱性を付与させる場合に好ましい。このように本発明において、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(d)は目的に応じて選択することが可能であり、これらは単独で使用しても良いし、複数を併用することも好ましい。   Among them, polyethylene glycol diglycidyl ether is preferable in the case where the finally obtained hydroxyl group-containing photosensitive resin (A-1) is provided with flexibility and solubility in an alkaline developer, and is preferably a bisphenol A / epichlorohydrin type. The epoxy resin is preferable in the case where heat resistance is imparted to the finally obtained carboxyl group-containing modified ester resin (A). Thus, in the present invention, the epoxy compound (d) having at least two epoxy groups in one molecule can be selected according to the purpose, and these may be used alone or in combination. Use in combination is also preferred.

本発明で用いる1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)としては、フェノール性水酸基を分子内に2個含有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。例えば、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン(別名:ビスフェノールA)が代表例であり、その他にも、ビス(4−ヒドロキシフェノル)メタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−プロパン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ブタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ペンタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ヘキサン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ヘプタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−オクタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ノナン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−デカン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)フェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ナフチルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)トルイルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−エチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−n−プロピルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−イソプロピルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−n−ブチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−ペンチルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−ヘキシルフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−フルオロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(4−クロロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(2−フルオロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)−(2−クロロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)テトラフルオロフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)テトラクロロフェニルメタン、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルメタン、ビス(3−フェニル−4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルメタン、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)エタン、1,1−ビス(3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシフェニル)エタン等の中心炭素に水素原子が結合しているビスフェノール類;
2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ブタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ペンタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ヘキサン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ヘプタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−オクタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−ノナン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−n−デカン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルエタン(通称ビスフェノールP)、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−ナフチルエタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−トルイルエタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−エチルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−n−プロピルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−イソプロピルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−n−ブチルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−ペンチルフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−ヘキシルフェニル)エタン、1,1−ビス(3−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルエタン、1,1−ビス(3−フェニル−4−ヒドロキシフェニル)−1−フェニルエタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−フルオロフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4−クロロフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(2−フルオロフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−(2−クロロフェニル)エタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−テトラフルオロフェニルエタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1−テトラクロロフェニルエタン等の中心炭素に1つのメチル基が結合しているビスフェノール類;
2,2−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン(通称ビスフェノールC)、2,2−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン等の中心炭素に2つのメチル基が結合しているビスフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン、ビス(3−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン、ビス(3−フェニル−4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン、ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)−1,1−ジフェニルメタン等のジフェニルメタン誘導体であるビスフェノール類;
1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン(通称ビスフェノールZ)、1,1−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3−クロロ−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン等のシクロヘキサン誘導体であるビスフェノール類;
1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン等の−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン誘導体であるビスフェノール類;
9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、1,1−ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、1,1−ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)フルオレン等のフルオレン誘導体であるビスフェノール類;
1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−シクロペンタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロペンタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロオクタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロノナン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロデカン等のシクロアルカン誘導体であるビスフェノール類;
4,4’−ビフェノール等の芳香族環が直接結合したビフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルホン等のスルホン誘導体であるビスフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)エーテル等のエーテル結合を有するビスフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド等のスルフィド結合を有するビスフェノール類;
ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3−エチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3−イソブチル−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3−フルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド、ビス(3,5−ジフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)スルホキシド等のスルホキシド誘導体であるビスフェノール類;
フェノールフタレイン等のヘテロ原子含有脂肪族環を有するビスフェノール類;
ビス(2,3,5,6−テトラフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)ジフルオロメタン、1,1−ビス(2,3,5,6−テトラフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)パーフルオロエタン、2,2−ビス(2,3,5,6−テトラフルオロ−4−ヒドロキシフェニル)パーフルオロプロパン等の炭素−水素結合のないビスフェノール類等を挙げることができる。
The phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound containing two phenolic hydroxyl groups in the molecule. For example, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane (also known as bisphenol A) is a representative example, and other examples include bis (4-hydroxyphenol) methane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl). ) Ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-propane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-butane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-pentane 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-hexane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-heptane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-octane, , 1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-nonane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -n-decane, bis (4-hydroxyphenyl) phenylmethane, bi (4-hydroxyphenyl) naphthylmethane, bis (4-hydroxyphenyl) toluylmethane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-ethylphenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-n-propylphenyl) ) Methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-isopropylphenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-n-butylphenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-pentylphenyl) ) Methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-hexylphenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-fluorophenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl)-(4-chlorophenyl) methane, Bis (4-hydroxyphenyl)-(2-fluorophenyl) me Bis (4-hydroxyphenyl)-(2-chlorophenyl) methane, bis (4-hydroxyphenyl) tetrafluorophenylmethane, bis (4-hydroxyphenyl) tetrachlorophenylmethane, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) ) Methane, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) methane, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) methane, bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) methane, bis (3-t- Butyl-4-hydroxyphenyl) -1-phenylmethane, bis (3-phenyl-4-hydroxyphenyl) -1-phenylmethane, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) methane, bis (3,5-difluoro -4-hydroxyphenyl) methane, bis (3-chloro-4-hydro) Xylphenyl) methane, bis (3,5-dichloro-4-hydroxyphenyl) methane, 1,1-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3,5-dimethyl-4-) Hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3-fluoro-4) -Hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3-chloro-4-hydroxyphenyl) ethane, 1,1-bis (3 Bisphenols in which a hydrogen atom is bonded to a central carbon such as 5-dichloro-4-hydroxyphenyl) ethane;
2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-butane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-pentane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-hexane, 2, 2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-heptane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-octane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) -n-nonane, 2,2- Bis (4-hydroxyphenyl) -n-decane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1-phenylethane (commonly called bisphenol P), 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1-naphthylethane 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1-toluylethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-ethylphenyl) ethane, 1,1-bis (4 Hydroxyphenyl) -1- (4-n-propylphenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-isopropylphenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl)- 1- (4-n-butylphenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-pentylphenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4 -Hexylphenyl) ethane, 1,1-bis (3-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) -1-phenylethane, 1,1-bis (3-phenyl-4-hydroxyphenyl) -1-phenylethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-fluorophenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (4-chlorophenyl) 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (2-fluorophenyl) ethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1- (2-chlorophenyl) ethane, 1,1-bis Bisphenols in which one methyl group is bonded to the central carbon such as (4-hydroxyphenyl) -1-tetrafluorophenylethane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -1-tetrachlorophenylethane;
2,2-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) propane (commonly called bisphenol C), 2,2-bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-ethyl) -4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3 Central carbon such as 5-difluoro-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3-chloro-4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (3,5-dichloro-4-hydroxyphenyl) propane Bisphenols having two methyl groups bonded to each other;
Bis (4-hydroxyphenyl) -1,1-diphenylmethane, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) -1,1-diphenylmethane, bis (3-t-butyl-4-hydroxyphenyl) -1,1- Bisphenols which are diphenylmethane derivatives such as diphenylmethane, bis (3-phenyl-4-hydroxyphenyl) -1,1-diphenylmethane, bis (3-chloro-4-hydroxyphenyl) -1,1-diphenylmethane;
1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclohexane (commonly called bisphenol Z), 1,1-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3,5-dimethyl-4-hydroxy) Phenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3-fluoro-4-) Hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3-chloro-4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 1,1-bis (3,5 Bisph is a cyclohexane derivative such as -dichloro-4-hydroxyphenyl) cyclohexane Nord like;
1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1- Bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1, 1-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1, -3,3,5-trimethylsilane such as 1-bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane Bisphenols is Rohekisan derivatives;
9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) fluorene, 1,1-bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) fluorene, 9 , 9-bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) fluorene, 1,1-bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) fluorene, Bisphenols which are fluorene derivatives such as 9,9-bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) fluorene;
1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -cyclopentane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclopentane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclooctane, 1,1-bis (4 Bisphenols which are cycloalkane derivatives such as -hydroxyphenyl) cyclononane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclodecane;
Biphenols directly linked with aromatic rings such as 4,4′-biphenol;
Bis (4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, Bisphenols which are sulfone derivatives such as bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) sulfone;
Bis (4-hydroxyphenyl) ether, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) ether, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) ether, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) ether, Bisphenols having an ether bond such as bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) ether, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) ether, bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) ether;
Bis (4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, Bisphenols having a sulfide bond such as bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) sulfide;
Bis (4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3-ethyl-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, Bisphenols which are sulfoxide derivatives such as bis (3-isobutyl-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3-fluoro-4-hydroxyphenyl) sulfoxide, bis (3,5-difluoro-4-hydroxyphenyl) sulfoxide;
Bisphenols having a heteroatom-containing aliphatic ring such as phenolphthalein;
Bis (2,3,5,6-tetrafluoro-4-hydroxyphenyl) difluoromethane, 1,1-bis (2,3,5,6-tetrafluoro-4-hydroxyphenyl) perfluoroethane, 2,2 Examples thereof include bisphenols having no carbon-hydrogen bond such as -bis (2,3,5,6-tetrafluoro-4-hydroxyphenyl) perfluoropropane.

さらに、ヒドロキノン、レゾルシノール、カテコール、メチルヒドロキノン等のジヒドロキシベンゼン類;
1,5−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン等のジヒドロキシナフタレン類等を挙げることができる。
And dihydroxybenzenes such as hydroquinone, resorcinol, catechol, methylhydroquinone;
Examples thereof include dihydroxynaphthalenes such as 1,5-dihydroxynaphthalene and 2,6-dihydroxynaphthalene.

本発明において、側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)の合成条件は特に限定されるものではなく、公知の条件で行うことができる。例えば、フラスコに、1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)、1分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物(b)、および溶剤を仕込み、撹拌しながら100〜150℃で加熱することで側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)を得ることができる。この際、必要に応じてトリフェニルホスフィンや、3級アミノ基含有化合物等の触媒を使用してもよい。   In the present invention, the conditions for synthesizing the side chain hydroxyl group-containing resin (c) are not particularly limited, and can be performed under known conditions. For example, an epoxy compound (a) having at least two epoxy groups in one molecule, a phenol compound (b) having at least two phenolic hydroxyl groups in one molecule, and a solvent are charged into a flask while stirring. The side chain hydroxyl group-containing resin (c) can be obtained by heating at 100 to 150 ° C. At this time, a catalyst such as triphenylphosphine or a tertiary amino group-containing compound may be used as necessary.

次に、本発明の第二の工程で得られるカルボキシル基含有樹脂(e)について説明する。カルボキシル基含有樹脂(e)は、前記側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)と多塩基酸無水物(d)とを反応させて得ることができ、側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)中の水酸基と多塩基酸無水物(d)中の酸無水物基とを、水酸基/酸無水物基=1/0.1〜1/1のモル比で反応させて作製することが好ましい。上記モル比の範囲より酸無水物基が少ないと、最終的に得られる感光性樹脂(A)中で架橋点として機能するカルボキシル基濃度が少なくなるため所望の耐熱性やアルカリ現像液に対する溶解性が得られにくくなる。また、上記モル比の範囲より酸無水物基が多い場合、余剰の多塩基酸無水物(d)が後の合成工程において副生成物を生じさせるため最終塗膜の屈曲性や半田耐熱性、絶縁信頼性が低下する傾向にある。   Next, the carboxyl group-containing resin (e) obtained in the second step of the present invention will be described. The carboxyl group-containing resin (e) can be obtained by reacting the side chain hydroxyl group-containing resin (c) with the polybasic acid anhydride (d), and the hydroxyl group in the side chain hydroxyl group-containing resin (c). And an acid anhydride group in the polybasic acid anhydride (d) are preferably reacted at a molar ratio of hydroxyl group / acid anhydride group = 1 / 0.1 to 1/1. If there are less acid anhydride groups than the above molar ratio range, the concentration of carboxyl groups that function as crosslinking points in the finally obtained photosensitive resin (A) will decrease, so the desired heat resistance and solubility in alkaline developer Is difficult to obtain. In addition, when there are more acid anhydride groups than the above molar ratio range, the excess polybasic acid anhydride (d) generates a by-product in the subsequent synthesis step, so the flexibility of the final coating film and solder heat resistance, Insulation reliability tends to decrease.

本発明で用いる多塩基酸無水物(d)は、酸無水物基を分子内に1個以上含有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。例えば、無水フタル酸、無水トリメリット酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルハイミック酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルペンタヒドロ無水フタル酸、メチルトリヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルシクロへキセンジカルボン酸無水物、無水ヘット酸、テトラブロモ無水フタル酸などの脂環構造、又は芳香環構造を有する、酸無水物基を含む化合物が挙げられる。その他の化合物としては、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水グルタル酸、ブチルコハク酸無水物、ヘキシルコハク酸無水物、オクチルコハク酸無水物、ドデシルコハク酸無水物、ブチルマレイン酸無水物、ペンチルマレイン酸無水物、ヘキシルマレイン酸無水物、オクチルマレイン酸無水物、デシルマレイン酸無水物、ドデシルマレイン酸無水物、ブチルグルタミン酸無水物、ヘキシルグルタミン酸無水物、ヘプチルグルタミン酸無水物、オクチルグルタミン酸無水物、デシルグルタミン酸無水物、ドデシルグルタミン酸無水物などが挙げられる。本発明において、多塩基酸無水物(d)は、一種のみを単独で用いても良いし、複数を併用しても良い。   The polybasic acid anhydride (d) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound containing at least one acid anhydride group in the molecule. For example, phthalic anhydride, trimellitic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhymic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methylpentahydrophthalic anhydride, methyltrihydrophthalic anhydride, trialkyltetrahydro Examples thereof include compounds containing an acid anhydride group having an alicyclic structure such as phthalic anhydride, methylcyclohexene dicarboxylic acid anhydride, het acid anhydride, tetrabromophthalic anhydride, or an aromatic ring structure. Other compounds include succinic anhydride, maleic anhydride, glutaric anhydride, butyl succinic anhydride, hexyl succinic anhydride, octyl succinic anhydride, dodecyl succinic anhydride, butyl maleic anhydride, pentyl maleic acid Anhydride, hexylmaleic anhydride, octylmaleic anhydride, decylmaleic anhydride, dodecylmaleic anhydride, butylglutamic anhydride, hexylglutamic anhydride, heptylglutamic anhydride, octylglutamic anhydride, decylglutamic anhydride Products, dodecylglutamic acid anhydride, and the like. In the present invention, the polybasic acid anhydride (d) may be used alone or in combination.

なかでも、無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸などは、本発明において、パターニング性、パターン形成性および塗膜耐性が非常に優れるため特に好ましい。   Of these, succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride and the like are particularly preferable in the present invention because of their excellent patternability, pattern formability and coating film resistance.

本発明において、カルボキシル基含有樹脂(e)の合成条件は特に限定されるものではなく、公知の条件で行うことができる。例えば、フラスコに、側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)、多塩基酸無水物(d)、および溶剤を仕込み、撹拌しながら25〜150℃で加熱することで側鎖ヒドロキシル基含有樹脂(c)を得ることができる。この反応は無触媒下でも進行するが、必要に応じて、3級アミノ基含有化合物等の触媒を使用してもよい。   In the present invention, the synthesis conditions of the carboxyl group-containing resin (e) are not particularly limited, and can be performed under known conditions. For example, a side chain hydroxyl group-containing resin (c) is prepared by charging a flask with a side chain hydroxyl group-containing resin (c), a polybasic acid anhydride (d), and a solvent, and heating at 25 to 150 ° C. with stirring. Can be obtained. This reaction proceeds even in the absence of a catalyst, but a catalyst such as a tertiary amino group-containing compound may be used if necessary.

次に、本発明の第三の工程で得られるヒドロキシル基含有樹脂(A−1)について説明する。本発明のヒドロキシル基含有樹脂(A−1)は、前記カルボキシル基含有樹脂(e)とエポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)とを反応させて得ることができ、カルボキシル基含有樹脂(e)中のカルボキシル基と、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)中のエポキシ基又はオキセタン基とを、カルボキシル基/エポキシ基又はオキセタン基=1/0.1〜1/1のモル比で反応させて作製することが好ましい。上記モル比の範囲よりエポキシ基又はオキセタン基が少ないと、最終的に得られる感光性樹脂(A)中で光架橋点として機能する二重結合当量が高くなるため、所望の耐熱性や塗膜耐性が得られにくくなる。また、上記モル比の範囲よりエポキシ基又はオキセタン基が多い場合、余剰のエポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)により最終塗膜の屈曲性が低下する傾向にある。   Next, the hydroxyl group-containing resin (A-1) obtained in the third step of the present invention will be described. The hydroxyl group-containing resin (A-1) of the present invention can be obtained by reacting the carboxyl group-containing resin (e) with a compound (f) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group. The carboxyl group in the carboxyl group-containing resin (e) and the epoxy group or oxetane group in the compound (f) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group are converted into a carboxyl group / epoxy group or oxetane group. It is preferable to prepare it by reacting at a molar ratio of 1 / 0.1 to 1/1. When the epoxy group or oxetane group is less than the above molar ratio range, the double bond equivalent functioning as a photo-crosslinking point in the finally obtained photosensitive resin (A) becomes high. It becomes difficult to obtain resistance. Moreover, when there are more epoxy groups or oxetane groups than the range of the said molar ratio, it exists in the tendency for the flexibility of a final coating film to fall with the compound (f) which has an excess epoxy group or oxetane group, and an ethylenically unsaturated group. .

本発明で用いるエポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)は、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを分子内に1個以上含有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、グリシジル桂皮酸、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、グリシジルアリルエーテル、2,3−エポキシ−2−メチルプロピル(メタ)アクリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート、4−ビニル−1−シクロヘキセン−1,2−エポキシド、1,3−ブタジエンモノエポキシド、オキセタニル(メタ)アクリレート、オキセタニル桂皮酸、又、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどの、水酸基含有多官能アクリルモノマーの水酸基に、エピクロルヒドリンを反応させた多官能アクリレート基含有モノエポキシドや、フェノールノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の大半をアクリル酸などでアクリレート基に変性することで得られる、平均で1分子中に1つのエポキシ基を残した多官能アクリレート基含有モノエポキシド、カルボキシル基含有多官能アクリルモノマーのカルボキシル基に、分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物のエポキシ基の一部を反応させることで得られる多官能アクリレート基含有モノエポキシド等が挙げられ、これらのエポキシ基又はオキセタン基を、カルボキシル基含有樹脂(e)中のカルボキシル基と反応させることで、ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)が得られる。本発明において、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)は、一種のみを単独で用いても良いし、複数を併用しても良い。   The compound (f) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group used in the present invention may be any compound containing at least one epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group in the molecule. There is no particular limitation. For example, glycidyl (meth) acrylate, glycidyl cinnamic acid, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, glycidyl allyl ether, 2,3-epoxy-2-methylpropyl (meth) acrylate, (3,4-epoxycyclohexyl) Many hydroxyl-containing groups such as methyl (meth) acrylate, 4-vinyl-1-cyclohexene-1,2-epoxide, 1,3-butadiene monoepoxide, oxetanyl (meth) acrylate, oxetanylcinnamic acid, and pentaerythritol triacrylate Modification of most epoxide groups of polyfunctional acrylate groups by reacting epichlorohydrin with hydroxyl groups of functional acrylic monomers, and phenol novolac epoxy resins to acrylate groups with acrylic acid, etc. Epoxy of the compound which has two or more epoxy groups in the molecule to the carboxyl group of the polyfunctional acrylate group-containing monoepoxide and carboxyl group-containing polyfunctional acrylic monomer, in which one epoxy group remains in one molecule on average Polyfunctional acrylate group-containing monoepoxide obtained by reacting a part of the group, and the like. By reacting these epoxy group or oxetane group with the carboxyl group in the carboxyl group-containing resin (e), hydroxyl group is obtained. A group-containing resin (A-1) is obtained. In the present invention, the compound (f) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group may be used alone or in combination.

なかでも、グリシジル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテルなどは、本発明において、カルボキシル基と反応性に富み、又、感光性が非常に優れるため特に好ましい。   Among them, glycidyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, and the like are particularly preferable in the present invention because they are highly reactive with carboxyl groups and are very excellent in photosensitivity.

又、本発明において、エチレン性不飽和基を有さず、エポキシ基又はオキセタン基を有する化合物を、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(b)と併用して用いることもできる。この場合、本発明のカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂(A)の感光性をより幅広く制御することが可能である。本発明の、エチレン性不飽和基を有さず、エポキシ基又はオキセタン基を有する化合物としては、例えば、スチレンオキシド、フェニルグリシジルエーテル、o−フェニルフェノールグリシジルエーテル、p−フェニルフェノールグリシジルエーテル、グリシジルシンナメート、メチルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ステアリルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、グリシドール、N−グリシジルフタルイミド、1,3−ジブロモフェニルグリシジルエーテル、セロキサイド2000(ダイセル化学工業株式会社製)、オキセタンアルコール等が挙げられる。   In the present invention, a compound having no ethylenically unsaturated group and having an epoxy group or oxetane group is used in combination with the compound (b) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group. You can also. In this case, it is possible to control the photosensitivity of the carboxyl group-containing photosensitive urethane resin (A) of the present invention more broadly. Examples of the compound having no ethylenically unsaturated group and having an epoxy group or oxetane group of the present invention include styrene oxide, phenyl glycidyl ether, o-phenylphenol glycidyl ether, p-phenylphenol glycidyl ether, glycidyl cinnamon. Mate, methyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, 2-ethylhexyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, stearyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, glycidol, N-glycidyl phthalimide, 1,3-dibromophenyl glycidyl ether, Celoxide 2000 (Daicel Chemical Industries) And oxetane alcohol).

本発明において、ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)の合成条件は特に限定されるものではなく、公知の条件で行うことができる。例えば、フラスコに、酸素存在下、前記カルボキシル基含有樹脂(e)、エポキシ基又はオキセタン基とエチレン性不飽和基とを有する化合物(f)、および溶剤を仕込み、撹拌しながら25〜150℃で加熱することでヒドロキシル基含有樹脂(A−1)を得ることができる。この際、反応促進のために必要に応じて3級アミノ基含有化合物等の反応触媒を添加したり、あるいは、重合反応や重合進行によるゲル化等を起こすことのないよう、エチレン性不飽和基の重合禁止剤や分子状酸素を用いたりすることもできる。   In the present invention, the synthesis conditions of the hydroxyl group-containing resin (A-1) are not particularly limited, and can be performed under known conditions. For example, in the presence of oxygen, the flask is charged with the carboxyl group-containing resin (e), the compound (f) having an epoxy group or oxetane group and an ethylenically unsaturated group, and a solvent at 25 to 150 ° C. with stirring. The hydroxyl group-containing resin (A-1) can be obtained by heating. At this time, an ethylenically unsaturated group may be added so as not to add a reaction catalyst such as a tertiary amino group-containing compound or the like to promote the reaction, or to cause gelation due to polymerization reaction or progress of polymerization. It is also possible to use a polymerization inhibitor or molecular oxygen.

重合禁止剤としては、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、p−t−ブチルカテコール、2−t−ブチルハイドロキノン、2,5−ジ−t−ブチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン、メトキシハイドロキノン、p−ベンゾキノン、2,5−ジ−t−ブチルベンゾキノン、ナフトキノン、フェノチアジン、N−オキシル化合物等を用いることができる。また、分子状酸素を反応容器内に存在させても重合禁止効果があり、例えば空気、あるいは空気と窒素等の不活性ガスとの混合ガス等を反応容器に吹き込む、いわゆるバブリングを行えばよい。重合禁止効果を高めるには、重合禁止剤と分子状酸素とを併用することが好ましい。   As the polymerization inhibitor, hydroquinone, methylhydroquinone, pt-butylcatechol, 2-t-butylhydroquinone, 2,5-di-t-butylhydroquinone, trimethylhydroquinone, methoxyhydroquinone, p-benzoquinone, 2,5- Di-t-butylbenzoquinone, naphthoquinone, phenothiazine, N-oxyl compound and the like can be used. Further, even if molecular oxygen is present in the reaction vessel, there is an effect of inhibiting polymerization. For example, air or a mixed gas of air and an inert gas such as nitrogen may be blown into the reaction vessel so-called bubbling. In order to enhance the polymerization inhibition effect, it is preferable to use a polymerization inhibitor and molecular oxygen in combination.

次に、本発明の第四の工程で得られるカルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)について説明する。本発明のカルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)は、前記ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)と多塩基酸無水物(d)とを反応させて得ることができ、ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)中の水酸基と、多塩基酸無水物(d)中の酸無水物基とを、水酸基/酸無水物基=1/0.01〜1/1のモル比で反応させて作製することが好ましい。上記モル比の範囲より酸無水物基が少ないと、最終的に得られる感光性樹脂(A)中で架橋点として機能するカルボキシル基濃度が少なくなるため所望の耐熱性やアルカリ現像液に対する溶解性が得られにくくなる。また、上記モル比の範囲より酸無水物基が多い場合、余剰の多塩基酸無水物(d)により最終塗膜の屈曲性や半田耐熱性、絶縁信頼性が低下する傾向にある。   Next, the carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2) obtained in the fourth step of the present invention will be described. The carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2) of the present invention can be obtained by reacting the hydroxyl group-containing resin (A-1) with the polybasic acid anhydride (d). Prepared by reacting the hydroxyl group in A-1) with the acid anhydride group in the polybasic acid anhydride (d) at a molar ratio of hydroxyl group / acid anhydride group = 1 / 0.01 to 1/1. It is preferable to do. If there are less acid anhydride groups than the above molar ratio range, the concentration of carboxyl groups that function as crosslinking points in the finally obtained photosensitive resin (A) will decrease, so the desired heat resistance and solubility in alkaline developer Is difficult to obtain. Moreover, when there are more acid anhydride groups than the range of the said molar ratio, it exists in the tendency for the flexibility of a final coating film, solder heat resistance, and insulation reliability to fall with an excess polybasic acid anhydride (d).

本発明で用いる多塩基酸無水物(d)は、前述の通り、酸無水物基を分子内に1個以上含有する化合物であればよく、特に限定されるものではなく、一種のみを単独で用いても良いし、複数を併用しても良い。なかでも、無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸などは、本発明において、パターニング性、パターン形成性および塗膜耐性が非常に優れるため特に好ましい。   As described above, the polybasic acid anhydride (d) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound containing at least one acid anhydride group in the molecule. You may use and you may use multiple together. Of these, succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride and the like are particularly preferable in the present invention because of their excellent patternability, pattern formability and coating film resistance.

本発明において、カルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)の合成条件は特に限定されるものではなく、第三の工程と同様、フラスコに、酸素存在下、前記ヒドロキシル基含有樹脂(A−1)、多塩基酸無水物(d)、および溶剤を仕込み、25〜150℃で加熱撹拌しながら加熱することで反応させることが好ましく、必要に応じて適した反応触媒及びエチレン性不飽和基の重合禁止剤を新たに追加することもできる。   In the present invention, the synthesis condition of the carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2) is not particularly limited, and the hydroxyl group-containing resin (A-1) is added to the flask in the presence of oxygen in the same manner as in the third step. ), A polybasic acid anhydride (d), and a solvent are charged, and the reaction is preferably performed by heating and stirring at 25 to 150 ° C., and if necessary, a suitable reaction catalyst and an ethylenically unsaturated group A polymerization inhibitor can be newly added.

以上の工程により得られる本発明の感光性樹脂(A)の酸価は、50〜120mgKOH/gであることが好ましく、より好ましくは60〜110mgKOH/gである。酸価が50mgKOH/g未満の場合、充分なパターニング性が得られにくいことがあり、例えば、現像時に皮膜を溶解させて取り除きたい部分に、残渣として皮膜が残る場合がある。又、酸価が120mgKOH/gを超える場合、現像液に対する塗膜の溶解性が高くなり、光硬化させてパターンとして残したい部分までもが溶解し、パターンの形状が悪化する場合がある。   It is preferable that the acid value of the photosensitive resin (A) of this invention obtained by the above process is 50-120 mgKOH / g, More preferably, it is 60-110 mgKOH / g. When the acid value is less than 50 mgKOH / g, it may be difficult to obtain sufficient patterning properties. For example, the film may remain as a residue in a portion where the film is dissolved and removed during development. On the other hand, when the acid value exceeds 120 mgKOH / g, the solubility of the coating film with respect to the developer is increased, and even the portion which is desired to be photocured and left as a pattern is dissolved, and the pattern shape may be deteriorated.

本発明の感光性樹脂(A)のエチレン性不飽和基当量は、200〜5000g/eqであることが好ましく、より好ましくは、300〜3000g/eqである。エチレン性不飽和基当量が200g/eq未満の場合、光感度が高すぎることがあり、現像時に皮膜を溶解させて取り除きたい部分までもが光で硬化してしまい、良好なパターン形状が得られない場合がある。エチレン性不飽和基当量が5000g/eqを超える場合、光感度が低すぎることがあり、光硬化させたい部分が充分硬化せず、現像時にパターンが溶解することで、良好なパターン形状が得られない場合がある。なお、本発明でいう「エチレン性不飽和基当量」とは、樹脂の合成時に使用した原材料の重量から算出される理論値であって、樹脂の重量を、樹脂中に存在するエチレン性不飽和基の数で除したものであり、エチレン性不飽和基1モルあたりの樹脂の重量、すなわち、エチレン性不飽和基濃度の逆数に相当するものである。   It is preferable that the ethylenically unsaturated group equivalent of the photosensitive resin (A) of this invention is 200-5000 g / eq, More preferably, it is 300-3000 g / eq. When the ethylenically unsaturated group equivalent is less than 200 g / eq, the photosensitivity may be too high, and even the part to be removed by dissolving the film during development is cured by light, and a good pattern shape is obtained. There may not be. When the ethylenically unsaturated group equivalent exceeds 5000 g / eq, the photosensitivity may be too low, the portion to be photocured may not be sufficiently cured, and the pattern dissolves during development, thereby obtaining a good pattern shape. There may not be. The “ethylenically unsaturated group equivalent” as used in the present invention is a theoretical value calculated from the weight of raw materials used during the synthesis of the resin, and the weight of the resin is the ethylenically unsaturated group present in the resin. It is divided by the number of groups and corresponds to the weight of the resin per mole of ethylenically unsaturated groups, that is, the reciprocal of the ethylenically unsaturated group concentration.

本発明の感光性樹脂(A)の重量平均分子量は、2000〜40000であることが好ましく、より好ましくは、3000〜30000である。重量平均分子量が2000以上の場合、半田耐熱性および可撓性が優れ、重量平均分子量が40000以下の場合は、パターニング性が良化できる。   It is preferable that the weight average molecular weights of the photosensitive resin (A) of this invention are 2000-40000, More preferably, it is 3000-30000. When the weight average molecular weight is 2000 or more, the solder heat resistance and flexibility are excellent, and when the weight average molecular weight is 40000 or less, the patterning property can be improved.

感光性樹脂(A)の合成に使用する溶剤は、最終用途や、反応物の溶解性に応じて適宜選択することができる。ドライフィルム作成工程において、溶剤をすばやく乾燥させるためには、低沸点の溶剤を用いることが好ましい。この場合の低沸点溶剤としては、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、テトラヒドロフラン、トルエン、イソプロピルアルコール等が挙げられる。   The solvent used for the synthesis of the photosensitive resin (A) can be appropriately selected according to the end use and the solubility of the reactant. In the dry film preparation step, it is preferable to use a low boiling point solvent in order to quickly dry the solvent. Examples of the low boiling point solvent in this case include methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, tetrahydrofuran, toluene, isopropyl alcohol and the like.

本発明において、これらの溶剤は、必要に応じて一種のみを単独で用いても良いし、複数を併用しても良く、又、反応過程で脱溶剤を行ったり、脱溶剤後、新たに別の溶剤を添加したりしても良い。   In the present invention, these solvents may be used alone or in combination, if necessary, and may be used in combination. Or a solvent may be added.

上述した感光性樹脂(A)は主鎖中に二塩基酸無水物によるハーフエステル化由来のエステル結合やイソシアネート基と水酸基の反応由来のウレタン結合を有しないため、主鎖が化学的に安定であることから、得られるカバーコート層は種々の塗膜耐性に優れ、半田浴等の高温条件下にさらされた場合でも優れた耐熱性を発揮し、又、高温多湿下でも優れた電気絶縁性を発揮するために好ましい。更には、感光性樹脂(A)は、側鎖に感光性基及びカルボキシル基を有しているため、含有する感光性基およびカルボキシル基の量が少ない場合でも、非常に優れたパターニング性を示す。これら側鎖に導入された官能基は、主鎖に直結した場合に比べ反応性に富み、又主鎖末端のみに導入されている場合に比べると導入量を任意に調整できるため、優れた光硬化性、パターニング性及び塗膜耐性を発揮することができる。   The above-mentioned photosensitive resin (A) does not have an ester bond derived from half esterification with a dibasic acid anhydride or a urethane bond derived from the reaction of an isocyanate group and a hydroxyl group in the main chain, so that the main chain is chemically stable. Therefore, the obtained cover coat layer is excellent in various coating film resistance, exhibits excellent heat resistance even when exposed to high temperature conditions such as a solder bath, and also has excellent electrical insulation even under high temperature and high humidity. It is preferable to exhibit Furthermore, since the photosensitive resin (A) has a photosensitive group and a carboxyl group in the side chain, even when the amount of the photosensitive group and carboxyl group contained is small, it exhibits very good patterning properties. . The functional groups introduced into these side chains are more reactive than when directly connected to the main chain, and the amount of introduction can be adjusted arbitrarily compared to the case where they are introduced only at the ends of the main chain. Curability, patterning properties and coating film resistance can be exhibited.

(熱硬化性樹脂)
熱硬化性樹脂は、加熱による架橋反応に利用できる官能基を複数有する樹脂である。官能基は、例えば、水酸基、フェノール性水酸基、カルボキシル基、アミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、オキサゾリン基、オキサジン基、アジリジン基、チオール基、シラノール基等が挙げられる。
上記の官能基を有する熱硬化性樹脂は、例えば、アクリル樹脂、マレイン酸樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ポリエステル樹脂、縮合型ポリエステル樹脂、付加型ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリウレタンウレア樹脂、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フェノール系樹脂、アルキド樹脂、アミノ樹脂、ポリ乳酸樹脂、オキサゾリン樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。
(Thermosetting resin)
The thermosetting resin is a resin having a plurality of functional groups that can be used for a crosslinking reaction by heating. Examples of the functional group include a hydroxyl group, a phenolic hydroxyl group, a carboxyl group, an amino group, an epoxy group, an oxetanyl group, an oxazoline group, an oxazine group, an aziridine group, a thiol group, and a silanol group.
Examples of the thermosetting resin having the above functional group include acrylic resin, maleic acid resin, polybutadiene resin, polyester resin, condensation type polyester resin, addition type polyester resin, melamine resin, polyurethane resin, polyurethane urea resin, and epoxy resin. Oxetane resin, phenoxy resin, polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin, phenolic resin, alkyd resin, amino resin, polylactic acid resin, oxazoline resin, benzoxazine resin, silicone resin, fluorine resin, and the like.

[熱硬化剤]
本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、熱硬化剤を用いることが好ましい。熱硬化剤は活性エネルギー線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂のカルボン酸基および水酸基と熱架橋することでマイグレーション耐性および屈曲性に優れるカバーコート層を形成する。熱硬化剤は、活性エネルギー線硬化性樹脂および熱硬化性樹脂の官能基と反応可能な官能基を複数有している。熱硬化剤は、例えばエポキシ化合物、酸無水物基含有化合物、イソシアネート化合物、アジリジン化合物、アミン化合物、フェノール化合物等の公知の化合物が挙げられ、イソシアネート化合物が特に好ましい。
[Thermosetting agent]
The active energy ray-curable resin composition of the present invention preferably uses a thermosetting agent. The thermosetting agent forms a cover coat layer excellent in migration resistance and flexibility by thermally cross-linking with the carboxylic acid group and the hydroxyl group of the active energy ray curable resin or the thermosetting resin. The thermosetting agent has a plurality of functional groups capable of reacting with the functional groups of the active energy ray curable resin and the thermosetting resin. Examples of the thermosetting agent include known compounds such as an epoxy compound, an acid anhydride group-containing compound, an isocyanate compound, an aziridine compound, an amine compound, and a phenol compound, and an isocyanate compound is particularly preferable.

イソシアネート化合物としては、イソシアネート基を分子内に有する化合物であればよく、特に限定されるものではない。具体的には、ジイソシアネート化合物としては、例えば、炭素数4〜50の芳香族ジイソシアネート、脂肪族ジイソシアネート、芳香脂肪族ジイソシアネート、脂環族ジイソシアネート等を挙げることができる。   The isocyanate compound is not particularly limited as long as it is a compound having an isocyanate group in the molecule. Specific examples of the diisocyanate compound include aromatic diisocyanates having 4 to 50 carbon atoms, aliphatic diisocyanates, araliphatic diisocyanates, and alicyclic diisocyanates.

芳香族ジイソシアネートとしては、例えば、1,3−フェニレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルジイソシアネート、1,4−フェニレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、4,4’−トルイジンジイソシアネート、2,4,6−トリイソシアネートトルエン、1,3,5−トリイソシアネートベンゼン、ジアニシジンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルエーテルジイソシアネート、4,4’,4”−トリフェニルメタントリイソシアネート等を挙げることができる。   Examples of the aromatic diisocyanate include 1,3-phenylene diisocyanate, 4,4′-diphenyl diisocyanate, 1,4-phenylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6- Tolylene diisocyanate, 4,4'-toluidine diisocyanate, 2,4,6-triisocyanate toluene, 1,3,5-triisocyanate benzene, dianisidine diisocyanate, 4,4'-diphenyl ether diisocyanate, 4,4 ', 4 "-Triphenylmethane triisocyanate etc. can be mentioned.

脂肪族ジイソシアネートとしては、例えば、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、1,2−プロピレンジイソシアネート、2,3−ブチレンジイソシアネート、1,3−ブチレンジイソシアネート、ドデカメチレンジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等を挙げることができる。   Examples of the aliphatic diisocyanate include trimethylene diisocyanate, tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, pentamethylene diisocyanate, 1,2-propylene diisocyanate, 2,3-butylene diisocyanate, 1,3-butylene diisocyanate, dodecamethylene diisocyanate, 2 4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate and the like.

芳香脂肪族ジイソシアネートとしては、例えばω,ω’−ジイソシアネート−1,3−ジメチルベンゼン、ω,ω’−ジイソシアネート−1,4−ジメチルベンゼン、ω,ω’−ジイソシアネート−1,4−ジエチルベンゼン、1,4−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、1,3−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等を挙げることができる。   Examples of the araliphatic diisocyanate include ω, ω′-diisocyanate-1,3-dimethylbenzene, ω, ω′-diisocyanate-1,4-dimethylbenzene, ω, ω′-diisocyanate-1,4-diethylbenzene, 1 , 4-tetramethylxylylene diisocyanate, 1,3-tetramethylxylylene diisocyanate, and the like.

脂環族ジイソシアネートとしては、例えば3−イソシアネートメチル−3,5,5−トリメチルシクロヘキシルイソシアネート[別名:イソホロンジイソシアネート]、1,3−シクロペンタンジイソシアネート、1,3−シクロヘキサンジイソシアネート、1,4−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−2,4−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−2,6−シクロヘキサンジイソシアネート、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、1,3−ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(イソシアネートメチル)シクロヘキサン等を挙げることができる。   Examples of the alicyclic diisocyanate include 3-isocyanate methyl-3,5,5-trimethylcyclohexyl isocyanate [also known as isophorone diisocyanate], 1,3-cyclopentane diisocyanate, 1,3-cyclohexane diisocyanate, and 1,4-cyclohexane diisocyanate. , Methyl-2,4-cyclohexane diisocyanate, methyl-2,6-cyclohexane diisocyanate, 4,4′-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), 1,3-bis (isocyanatomethyl) cyclohexane, 1,4-bis (isocyanate methyl) A cyclohexane etc. can be mentioned.

分子中にイソシアネート基を1個または3個以上有するイソシアネート化合物としては、具体的には、1分子中に1個のイソシアネート基を有する単官能イソシアネートとして、(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、1,1−ビス[(メタ)アクリロイルオキシメチル]エチルイソシアネート、ビニルイソシアネート、アリルイソシアネート、(メタ)アクリロイルイソシアネート、イソプロペニル−α,α−ジメチルベンジルイソシアネート等が挙げられる。また、1,6−ジイソシアナトヘキサン、ジイソシアン酸イソホロン、ジイソシアン酸4,4’−ジフェニルメタン、ポリメリックジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、2,4−ジイソシアン酸トリレン、ジイソシアン酸トルエン、2,4−ジイソシアン酸トルエン、ジイソシアン酸ヘキサメチレン、ジイソシアン酸4−メチル−m−フェニレン、ナフチレンジイソシアネート、パラフェニレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、シクロヘキシルメタンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、シクロヘキシルジイソシアネート、トリジンジイソシアネート、2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、m−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、p−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等のジイソシアン酸エステル化合物と水酸基、カルボキシル基、アミド基含有ビニルモノマーとを等モルで反応せしめた化合物もイソシアン酸エステル化合物として使用することができる。   Specific examples of the isocyanate compound having one or three or more isocyanate groups in the molecule include (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, 1,1 as a monofunctional isocyanate having one isocyanate group in one molecule. -Bis [(meth) acryloyloxymethyl] ethyl isocyanate, vinyl isocyanate, allyl isocyanate, (meth) acryloyl isocyanate, isopropenyl-α, α-dimethylbenzyl isocyanate and the like. In addition, 1,6-diisocyanatohexane, isophorone diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, polymeric diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate, tolylene 2,4-diisocyanate, toluene diisocyanate, 2,4-diisocyanic acid Toluene, hexamethylene diisocyanate, 4-methyl-m-phenylene diisocyanate, naphthylene diisocyanate, paraphenylene diisocyanate, tetramethylxylylene diisocyanate, cyclohexylmethane diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate, cyclohexyl diisocyanate, tolidine diisocyanate, 2,2 , 4-Trimethylhexamethylene diisocyanate, 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate Nitrate, m-tetramethylxylylene diisocyanate, p-tetramethylxylylene diisocyanate, diisocyanate ester compounds such as dimer acid diisocyanate and hydroxyl group, carboxyl group, and amide group-containing vinyl monomers are reacted in equimolar amounts. It can be used as an ester compound.

また、1分子中に3個以上のイソシアネート基を有する多官能イソシアネートとしては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、リジントリイソシアネートなどの脂肪族ポリイソシアネート、芳香脂肪族ポリイソシアネート、脂環族ポリイソシアネート等が挙げられ、前述したジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体、水と反応したビュウレット体、イソシアヌレート環を有する3量体が挙げられる。これらの中でもジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体およびイソシアヌレート環を有する3量体が好ましい。さらにジイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体およびイソシアヌレート環を有する3量体を併用することで、マイグレーション耐性と屈曲性を向上することができる。   Examples of the polyfunctional isocyanate having 3 or more isocyanate groups in one molecule include aliphatic polyisocyanates such as aromatic polyisocyanates and lysine triisocyanates, araliphatic polyisocyanates, and alicyclic polyisocyanates. Examples thereof include trimethylolpropane adducts of diisocyanate described above, burettes reacted with water, and trimers having an isocyanurate ring. Among these, a trimethylolpropane adduct of diisocyanate and a trimer having an isocyanurate ring are preferable. Furthermore, the migration resistance and flexibility can be improved by using a trimethylolpropane adduct of diisocyanate and a trimer having an isocyanurate ring in combination.

ブロック化イソシアネート化合物としては、イソシアネート基がε−カプロラクタムやMEKオキシム等のブロック剤で保護されたイソシアネート化合物である。具体的には、上記イソシアネート化合物のイソシアネート基を、ε−カプロラクタム、MEKオキシム、シクロヘキサノンオキシム、ピラゾール、フェノール等のブロック剤で保護したものなどが挙げられ、これらの中でもMEKオキシムが好ましい。
これらの中でもイソシアネート化合物はブロックイソシアネート化合物が好ましい。ブロックイソシアネート化合物を用いることで、シートライフが向上するため好ましい。
The blocked isocyanate compound is an isocyanate compound in which an isocyanate group is protected with a blocking agent such as ε-caprolactam or MEK oxime. Specific examples include those obtained by protecting the isocyanate group of the isocyanate compound with a blocking agent such as ε-caprolactam, MEK oxime, cyclohexanone oxime, pyrazole, phenol, etc. Among these, MEK oxime is preferable.
Among these, the isocyanate compound is preferably a blocked isocyanate compound. It is preferable to use a blocked isocyanate compound because the sheet life is improved.

ブロックイソシアネート化合物のブロック剤の解離温度は、120〜200℃が好ましく130〜180℃がより好ましい。ブロックイソシアネート化合物のブロック剤の解離温度を120℃以上とすることで、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を透明基材上へ塗工する際の乾燥温度で解離する事が無く、優れたパターニング性を有したドライレジストフィルムが得られる。また、ブロック剤の解離温度を200℃以下とすることで、カバーコート層を形成する際の熱キュア時にカバーコート層内の発泡を抑制することができる。   The dissociation temperature of the blocking agent of the blocked isocyanate compound is preferably 120 to 200 ° C, more preferably 130 to 180 ° C. By setting the dissociation temperature of the blocking agent of the blocked isocyanate compound to 120 ° C. or higher, it does not dissociate at the drying temperature when coating the active energy ray-curable resin composition on the transparent substrate, and has excellent patterning properties. A dry resist film having the following can be obtained. Further, by setting the dissociation temperature of the blocking agent to 200 ° C. or less, foaming in the cover coat layer can be suppressed during heat curing when forming the cover coat layer.

ブロックイソシアネート化合物はイソシアネート当量が200〜400g/eqと、500〜900g/eqとを併用することが好ましい。イソシアネート当量が異なるブロックイソシアネートを併用することで、屈曲性とマイグレーション耐性を向上できる。本発明でいうイソシアネート当量とは、JIS K 7301に従い測定した値である。   The blocked isocyanate compound preferably has an isocyanate equivalent of 200 to 400 g / eq and 500 to 900 g / eq. Flexibility and migration resistance can be improved by using together block isocyanates having different isocyanate equivalents. The isocyanate equivalent referred to in the present invention is a value measured according to JIS K 7301.

エポキシ化合物は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物である。エポキシ化合物の性状としては、液状および固形状を問わない。
エポキシ化合物としては、例えば、グリジシルエーテル型エポキシ化合物、グリジシルアミン型エポキシ化合物、グリシジルエステル型エポキシ化合物、環状脂肪族(脂環型)エポキシ化合物等が好ましい。
The epoxy compound is a compound having two or more epoxy groups in one molecule. The property of the epoxy compound may be liquid or solid.
As the epoxy compound, for example, a glycidyl ether type epoxy compound, a glycidyl amine type epoxy compound, a glycidyl ester type epoxy compound, a cyclic aliphatic (alicyclic type) epoxy compound and the like are preferable.

エポキシ化合物の分子量は100〜2000が好ましく、200〜1500がより好ましい。   The molecular weight of the epoxy compound is preferably 100 to 2000, and more preferably 200 to 1500.

グリシジルエーテル型エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、ビスフェノールAD型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、α−ナフトールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールA型ノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、テトラブロムビスフェノールA型エポキシ化合物、臭素化フェノールノボラック型エポキシ化合物、トリス(グリシジルオキシフェニル)メタン、テトラキス(グリシジルオキシフェニル)エタン等が挙げられる。   Examples of the glycidyl ether type epoxy compound include bisphenol A type epoxy compound, bisphenol F type epoxy compound, bisphenol S type epoxy compound, bisphenol AD type epoxy compound, cresol novolac type epoxy compound, phenol novolac type epoxy compound, α-naphthol novolak. Type epoxy compound, bisphenol A type novolak type epoxy compound, dicyclopentadiene type epoxy compound, tetrabromobisphenol A type epoxy compound, brominated phenol novolac type epoxy compound, tris (glycidyloxyphenyl) methane, tetrakis (glycidyloxyphenyl) ethane Etc.

前記グリシジルアミン型エポキシ化合物としては、例えば、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルパラアミノフェノール、トリグリシジルメタアミノフェノール、テトラグリシジルメタキシリレンジアミン等が挙げられる。   Examples of the glycidylamine-type epoxy compound include tetraglycidyldiaminodiphenylmethane, triglycidylparaaminophenol, triglycidylmetaaminophenol, tetraglycidylmetaxylylenediamine, and the like.

前記グリシジルエステル型エポキシ化合物としては、例えば、ジグリシジルフタレート、ジグリシジルヘキサヒドロフタレート、ジグリシジルテトラヒドロフタレート等が挙げられる。   Examples of the glycidyl ester type epoxy compound include diglycidyl phthalate, diglycidyl hexahydrophthalate, diglycidyl tetrahydrophthalate, and the like.

前記環状脂肪族(脂環型)エポキシ化合物としては、例えば、エポキシシクロヘキシルメチル−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(エポキシシクロヘキシル)アジペート等が挙げられる。
これらの中でも、エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、トリス(グリシジルオキシフェニル)メタン、およびテトラキス(グリシジルオキシフェニル)エタンが好ましい。これらのエポキシ化合物を用いることにより、マイグレーション耐性と屈曲性がより向上する。
Examples of the cycloaliphatic (alicyclic) epoxy compound include epoxycyclohexylmethyl-epoxycyclohexanecarboxylate, bis (epoxycyclohexyl) adipate, and the like.
Among these, as the epoxy compound, bisphenol A type epoxy compound, cresol novolak type epoxy compound, phenol novolak type epoxy compound, tris (glycidyloxyphenyl) methane, and tetrakis (glycidyloxyphenyl) ethane are preferable. By using these epoxy compounds, migration resistance and flexibility are further improved.

エポキシ化合物の配合量は熱硬化剤の全量(100重量%)中、20重量%以下が好ましく15重量%以下がより好ましい。エポキシ化合物を20重量%以下とすることで、ドライレジストフィルム中での硬化反応が抑制されシートライフが向上するため、パターニング性を良化できる。   The compounding amount of the epoxy compound is preferably 20% by weight or less and more preferably 15% by weight or less in the total amount (100% by weight) of the thermosetting agent. By setting the epoxy compound to 20% by weight or less, the curing reaction in the dry resist film is suppressed and the sheet life is improved, so that the patterning property can be improved.

熱硬化剤の配合量は、活性エネルギー線硬化性樹脂および熱硬化性樹脂合計100重量部に対して、30〜150重量部であることが好ましく、50〜110重量部であることがより好ましい。活性エネルギー線硬化性樹脂および熱硬化性樹脂の合計100重量部に対して、30〜150重量部の硬化剤を配合することで、高いマイグレーション耐性と屈曲性を得ることができる   The blending amount of the thermosetting agent is preferably 30 to 150 parts by weight, and more preferably 50 to 110 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total of the active energy ray curable resin and the thermosetting resin. High migration resistance and flexibility can be obtained by blending 30 to 150 parts by weight of the curing agent with respect to 100 parts by weight of the total of the active energy ray curable resin and the thermosetting resin.

[活性エネルギー線重合開始剤]
活性エネルギー線重合開始剤としては、4−フェノキシジクロロアセトフェノン、4−t−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン等のアセトフェノン系活性エネルギー線重合開始剤、1,2−オクタジオン−1−[4−(フェニルチオ)−,2−(o−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)等のオキシムエステル系活性エネルギー線重合開始剤、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系活性エネルギー線重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン系活性エネルギー線重合開始剤、チオキサンソン、2−クロルチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、2,4−ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系活性エネルギー線重合開始剤、2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペロニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−スチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン等のトリアジン系活性エネルギー線重合開始剤、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイドのアシルフォスフィンオキサイド系活性エネルギー線重合開始剤、ボレート系活性エネルギー線重合開始剤、カルバゾール系活性エネルギー線重合開始剤、またはイミダゾール系活性エネルギー線重合開始剤等が用いられる。これらの活性エネルギー線重合性化合物は、1種を単独で、または必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
[Active energy ray polymerization initiator]
Examples of the active energy ray polymerization initiator include 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopro Acetophenone-based active energy ray polymerization initiators such as pan-1-one, 1,2-octadion-1- [4- (phenylthio)-, 2- (o-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl -6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (o- Cetyloxime) and other oxime ester active energy ray polymerization initiators, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyldimethyl ketal and other benzoin active energy ray polymerization initiators, benzophenone, benzoylbenzoic acid, benzoyl Benzophenone-based active energy ray polymerization initiators such as methyl benzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanone Thioxanthone-based active energy ray polymerization initiators such as Son, Isopropylthioxanthone, 2,4-Diisopropylthioxanthone, 2,4,6-Tri Loro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- ( p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-styryl -S-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloro) Tria such as methyl) -s-triazine, 2,4-trichloromethyl- (piperonyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl (4′-methoxystyryl) -6-triazine Active energy ray polymerization initiators, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide, acylphosphine oxide-based active energy ray polymerization of bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide An initiator, a borate-based active energy ray polymerization initiator, a carbazole-based active energy ray polymerization initiator, an imidazole-based active energy ray polymerization initiator, or the like is used. These active energy ray polymerizable compounds can be used singly or as a mixture of two or more at any ratio as required.

なかでもアシルフォスフィンオキサイド系活性エネルギー線重合開始剤、およびアセトフェノン系活性エネルギー線重合開始剤は、膜の底部硬化性が良好でありマイグレーション耐性が向上することから、好ましい。アシルフォスフィンオキサイド系活性エネルギー線重合開始剤としては、具体的にはイルガキュアTPO(BASF社製)、イルガキュア819(BASF社製)、アセトフェノン系活性エネルギー線重合開始剤としては、具体的にはイルガキュア907(BASF社製)、イルガキュア379(BASF社製)、イルガキュア379EG(BASF社製)などが挙げられる。   Of these, acylphosphine oxide-based active energy ray polymerization initiators and acetophenone-based active energy ray polymerization initiators are preferable because the bottom curability of the film is good and the migration resistance is improved. Specific examples of the acylphosphine oxide-based active energy ray polymerization initiator include Irgacure TPO (manufactured by BASF), Irgacure 819 (manufactured by BASF), and specific examples of the acetophenone-based active energy ray polymerization initiator include Irgacure. 907 (made by BASF), Irgacure 379 (made by BASF), Irgacure 379EG (made by BASF), etc. are mentioned.

活性エネルギー線重合開始剤は、活性エネルギー線硬化性樹脂の固形分の100重量部に対して、0.5〜15重量部で用いることが好ましい。   The active energy ray polymerization initiator is preferably used in an amount of 0.5 to 15 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the active energy ray curable resin.

本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、さらに増感剤として、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、4,4’−ジエチルイソフタロフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。
増感剤は、活性エネルギー線重合開始剤100重量部に対して、0.1〜10重量部の量で用いることができる。
The active energy ray-curable resin composition of the present invention further includes α-acyloxy ester, acylphosphine oxide, methylphenylglyoxylate, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, as a sensitizer. A compound such as ethyl anthraquinone, 4,4′-diethylisophthalophenone, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4,4′-diethylaminobenzophenone may be used in combination. it can.
The sensitizer can be used in an amount of 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the active energy ray polymerization initiator.

[黒色系着色剤]
本発明のドライレジストフィルムは、カバーコート層の遮光性を高めるために、黒色系着色剤を含有する。黒色系着色剤は、黒色顔料、ならびに赤色、緑色、青色、黄色、紫色、シアンおよびマゼンタ等の顔料を複数含む混合系着色剤が好ましい。混合系着色剤は、複数の顔料を減色混合することで黒色を得ることができる。
[Black colorant]
The dry resist film of the present invention contains a black colorant in order to enhance the light shielding property of the cover coat layer. The black colorant is preferably a black color pigment and a mixed colorant containing a plurality of pigments such as red, green, blue, yellow, purple, cyan and magenta. The mixed colorant can obtain black color by subtractive color mixing of a plurality of pigments.

黒色顔料は、例えばカーボンブラック、ケッチェンブラック、カーボンナノチューブ(CNT)、ペリレンブラック、チタンブラック、鉄黒、アニリンブラック等が挙げられる。これらの中でも漆黒性とマイグレーション耐性を向上する観点から、ペリレンブラック、チタンブラック、鉄黒および、混合系着色剤が好ましく、ペリレンブラックおよびチタンブラックがより好ましい。特に好ましくは、チタンブラックである。   Examples of the black pigment include carbon black, ketjen black, carbon nanotube (CNT), perylene black, titanium black, iron black, and aniline black. Among these, from the viewpoint of improving jetness and migration resistance, perylene black, titanium black, iron black, and mixed colorants are preferable, and perylene black and titanium black are more preferable. Particularly preferred is titanium black.

黒色系着色剤は、比重が2〜7g/cmであることが好ましく4〜6g/cm以上がより好ましい。黒色系着色剤の比重が2〜7g/cmであることで、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を透明基材に塗工後、含有する黒色系着色剤が適度に沈降する。これにより、乾燥しドライレジストフィルムを形成し剥離性シートを貼りつけると、黒色系着色剤の濃度は、透明基材面が濃く、剥離性シート面は薄くなる。
ドライレジストフィルムは、剥離性シートを剥がした面を信号回路側に張り付け、カバーコート層を形成することから、信号回路側の黒色系着色剤成分を少なくすることができると、不純物成分が少なくマイグレーション耐性がより向上できる。
The black colorant preferably has a specific gravity of 2 to 7 g / cm 3 and more preferably 4 to 6 g / cm 3 or more. When the specific gravity of the black colorant is 2 to 7 g / cm 3 , the black colorant contained is appropriately precipitated after the active energy ray-curable resin composition is applied to the transparent substrate. Thereby, when it dries and forms a dry resist film and a peelable sheet is affixed, as for the density | concentration of a black type colorant, a transparent base material surface will be dark and a peelable sheet surface will become thin.
Since the dry resist film has a peelable sheet peeled off to the signal circuit side and a cover coat layer is formed, if the black colorant component on the signal circuit side can be reduced, there is less impurity component and migration Resistance can be further improved.

黒色系着色剤は、平均一次粒子径が20〜100nmであることが好ましく、30〜90nmがより好ましく、40〜90nmがさらに好ましい。前記平均一次粒子径の黒色系着色剤を用いることでドライレジストフィルムから形成されるカバーコート層は、漆黒性と屈曲性がより向上する。なお、黒色系着色剤の粒子形状が、1.5以上の平均アスペクト比(長軸長さ/短軸長さ)を有する場合、平均一次粒子径は、長軸長さを平均して求める。   The black colorant preferably has an average primary particle size of 20 to 100 nm, more preferably 30 to 90 nm, and even more preferably 40 to 90 nm. By using the black colorant having the average primary particle diameter, the cover coat layer formed from the dry resist film is further improved in jet blackness and flexibility. In addition, when the particle shape of the black colorant has an average aspect ratio (major axis length / minor axis length) of 1.5 or more, the average primary particle diameter is obtained by averaging the major axis lengths.

黒色系着色剤の粉体抵抗値は3Ω・cm以上が好ましく、5Ω・cm以上がより好ましい。黒色系着色剤の粉体抵抗値を上記範囲にすることでマイグレーション耐性がより向上する。粉体抵抗値は、(株)三菱化学アナリテック製、粉体抵抗測定システムMCP−PD51、及び抵抗率計MCP−T610を用いて、プレス圧力2MPaでプレスした際の抵抗値である。   The powder resistance value of the black colorant is preferably 3 Ω · cm or more, and more preferably 5 Ω · cm or more. Migration resistance is further improved by setting the powder resistance value of the black colorant within the above range. The powder resistance value is a resistance value when pressed at a press pressure of 2 MPa using a powder resistance measurement system MCP-PD51 and a resistivity meter MCP-T610 manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech.

黒色系着色剤の比表面積は10〜50m/gが好ましく、15〜40m/gがより好ましい。黒色系着色剤の比表面積を上記範囲にすることでパターニング性がより向上する。
比表面積は、日本ベル(株)製BELSORP−miniII等を用いて、BET法により求めることができる。
The specific surface area of the black-based colorant is preferably 10~50m 2 / g, 15~40m 2 / g is more preferable. By setting the specific surface area of the black colorant within the above range, the patterning property is further improved.
The specific surface area can be determined by the BET method using BELSORP-miniII manufactured by Nippon Bell Co., Ltd.

なお、黒色系着色剤の平均一次粒子径は透過型電子顕微鏡(TEM)により5万倍〜100万倍程度に拡大した画像から観察できる20個程度の一次粒子の平均値から求めることができる。   The average primary particle diameter of the black colorant can be determined from an average value of about 20 primary particles that can be observed from an image enlarged to about 50,000 to 1,000,000 times with a transmission electron microscope (TEM).

混合系着色剤は、以下の顔料を使用できる。なお、「C.I.」は、カラーインデックス(C.I.)を意味する。   The following pigments can be used as the mixed colorant. “CI” means a color index (CI).

赤色顔料およびマゼンタ顔料は、例えばC.I.ピグメントレッド 7、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、57:1、81、81:1、81:2、81:3、81:4、122、146、168、176、177、178、184、185、187、200、202、208、210、242、246、254、255、264、270、272および279等が挙げられる。   Examples of red pigments and magenta pigments include C.I. I. Pigment Red 7, 14, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 57: 1, 81, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 81: 4, 122, 146, 168, 176, 177, 178, 184, 185, 187, 200, 202, 208, 210, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, and 279.

緑顔料は、例えばC.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55および58等が挙げられる。   Examples of the green pigment include C.I. I. Pigment green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 45, 48, 50, 51, 54, 55 and 58.

青顔料およびシアン顔料は、例えばC.I.ピグメントブルー1、1:2、9、14、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、17、19、25、27、28、29、33、35、36、56、56:1、60、61、61:1、62、63、66、67、68、71、72、73、74、75、76、78および79等が挙げられる。   Blue pigments and cyan pigments are exemplified by C.I. I. Pigment Blue 1, 1: 2, 9, 14, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56: 1, 60, 61, 61: 1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79 and the like.

黄顔料は、例えばC.I.ピグメントイエロー1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、126、127、128、129、138、139、147、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、184、185、187、188、193、194、198、199、213および214等が挙げられる。   Examples of yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 82,184,185,187,188,193,194,198,199,213 and 214, and the like.

紫顔料としては、例えばC.I.ピグメントバイオレット1、1:1、2、2:2、3、3:1、3:3、5、5:1、14、15、16、19、23、25、27、29、31、32、37、39、42、44、47、49および50等が挙げられる。   Examples of purple pigments include C.I. I. Pigment Violet 1, 1: 1, 2, 2: 2, 3, 3: 1, 3: 3, 5, 5: 1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, 50 and the like.

黒色系着色剤は、ドライレジストフィルム100重量%中に0.5〜40重量%含むことが好ましく、1〜30重量%がより好ましい。黒色系着色剤を0.5〜40重量%含むことで、高い漆黒性と、マイグレーション試験耐性を両立し易くなる。   The black colorant is preferably contained in an amount of 0.5 to 40% by weight, more preferably 1 to 30% by weight, in 100% by weight of the dry resist film. By including 0.5 to 40% by weight of the black colorant, it becomes easy to achieve both high jetness and migration test resistance.

[無機フィラー]
本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、さらに無機フィラーを含むことが好ましい。無機フィラーを含むことで、耐熱圧着性がより向上する。無機フィラーとしては、例えば、シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、三酸化アンチモン、酸化マグネシウム、タルク、モンモロリナイト、カオリン、ベントナイト等の無機化合物が挙げられる。
これらの中でも、無機フィラーとしては、シリカ表面のシラノール基とハロゲン化シランとを反応させることにより得られる疎水性シリカ微粒子は、耐熱圧着性だけでなく、膜の疎水性を上げ、マイグレーション耐性をより向上させる点から好ましい。
[Inorganic filler]
The active energy ray-curable resin composition of the present invention preferably further contains an inorganic filler. By including the inorganic filler, the heat-resistant press bonding property is further improved. Examples of the inorganic filler include inorganic substances such as silica, alumina, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, barium sulfate, calcium carbonate, titanium oxide, zinc oxide, antimony trioxide, magnesium oxide, talc, montmorolinite, kaolin, and bentonite. Compounds.
Among these, as an inorganic filler, hydrophobic silica fine particles obtained by reacting a silanol group on the silica surface with a halogenated silane increase not only the heat-resistant pressure-bonding property but also the hydrophobicity of the film, thereby improving the migration resistance. It is preferable from the point of improving.

無機フィラーのBET比表面積は、50〜300m/gが好ましい。前記範囲にあることでドライレジストフィルムに無機フィラーが均一に分散され、耐熱圧着性が向上する。 The BET specific surface area of the inorganic filler is preferably 50 to 300 m 2 / g. By being in the said range, an inorganic filler is uniformly disperse | distributed to a dry resist film, and heat-resistant press-fit property improves.

無機フィラーの平均粒子径(平均粒子径D50)は、0.01〜10μmであることが好ましく、0.05〜8μmであることがより好ましい。無機フィラーの平均粒子径が0.01〜10μmであることで、耐熱圧着性をより向上することができる。   The average particle diameter (average particle diameter D50) of the inorganic filler is preferably 0.01 to 10 μm, and more preferably 0.05 to 8 μm. When the average particle diameter of the inorganic filler is 0.01 to 10 μm, the heat-resistant press bonding property can be further improved.

無機フィラーの含有量は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の固形分100重量%中、0.5〜40重量%であることが好ましい。すなわち、ドライレジストフィルムの樹脂層100重量%中、0.5〜40重量%であることが好ましい。より好ましくは1〜30重量%である。0.5重量%以上であれば、マイグレーション耐性が向上する。また40重量%以下であれば、耐熱圧着性が向上する。   It is preferable that content of an inorganic filler is 0.5 to 40 weight% in 100 weight% of solid content of an active energy ray curable resin composition. That is, it is preferably 0.5 to 40% by weight in 100% by weight of the resin layer of the dry resist film. More preferably, it is 1 to 30% by weight. If it is 0.5% by weight or more, the migration resistance is improved. Moreover, if it is 40 weight% or less, heat-resistant press-fit property will improve.

活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、必要に応じて黒色系着色剤以外の顔料および染料、ならびに、モノマー、溶剤、シランカップリング剤、イオン捕集剤、酸化防止剤、粘着付与樹脂、可塑剤、紫外線吸収剤、消泡剤、レベリング調整剤,充填剤,難燃剤等を含むことができる。
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とに、必要に応じて溶剤を加え、混合攪拌して作製できる。攪拌は、例えばディスパーマット、ホモジナイザー等の公知の攪拌装置を使用できる。
The active energy ray-curable resin composition includes pigments and dyes other than black colorants, and monomers, solvents, silane coupling agents, ion scavengers, antioxidants, tackifying resins, and plasticizers as necessary. , UV absorbers, antifoaming agents, leveling regulators, fillers, flame retardants, and the like.
The active energy ray-curable resin composition can be prepared by adding a solvent to the active energy ray-curable resin, the active energy ray polymerization initiator, and the black colorant, and mixing and stirring as necessary. For the stirring, for example, a known stirring device such as a disperse mat or a homogenizer can be used.

<ドライレジストフィルムの製造方法>
本発明のドライレジストフィルムは、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を透明基材の一方の面に塗工、乾燥することによって得られた樹脂層を有する。
さらに、樹脂層の保護のため、剥離性シートを貼りあわせ、透明基材/樹脂層/剥離性シートの積層構成とすることが一般的であり、以下、透明基材を有している形態を、基材付きドライレジストフィルムと呼ぶ場合がある。
本発明のドライフィルムは、さらにクッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層等を有していても良い。
<Method for producing dry resist film>
The dry resist film of the present invention has a resin layer obtained by applying and drying an active energy ray-curable resin composition on one surface of a transparent substrate.
Furthermore, in order to protect the resin layer, it is common to laminate a peelable sheet to form a laminated structure of a transparent base material / resin layer / peelable sheet. Sometimes called a dry resist film with a substrate.
The dry film of the present invention may further have intermediate layers such as a cushion layer, an adhesive layer, a light absorption layer, and a gas barrier layer.

前記ドライレジストフィルムの樹脂層は、透明基材の剥離面に、例えば、ナイフコート、ダイコート、リップコート、ロールコート、カーテンコート、バーコート、グラビアコート、フレキソコート、ディップコート、スプレーコート、スピンコート等の方法で、溶剤に溶解・分散させた液状の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を塗工後、通常、40〜120℃の温度で溶剤を乾燥させることにより形成することができる。   The resin layer of the dry resist film is formed on the release surface of the transparent substrate, for example, knife coat, die coat, lip coat, roll coat, curtain coat, bar coat, gravure coat, flexo coat, dip coat, spray coat, spin coat. It can form by drying a solvent normally at the temperature of 40-120 degreeC after apply | coating the liquid active energy ray-curable resin composition melt | dissolved and disperse | distributed to the solvent by the method of these.

透明基材は、波長320〜700nmの最大光線透過率が50%以上であることが好ましく、60%以上であることがより好ましい。波長320〜700nmの平均光線透過率が50%以上の透明基材を用いることで、活性エネルギー線がドライレジストフィルムに到達し、効率よく硬化するため、パターニング性が向上する。
このような透過率を有する透明基材としてポリエチレンテレフタレートフィルムやポリオレフィンフィルムが好適に用いられる。
The transparent substrate preferably has a maximum light transmittance at a wavelength of 320 to 700 nm of 50% or more, and more preferably 60% or more. By using a transparent substrate having an average light transmittance of 50% or more at a wavelength of 320 to 700 nm, the active energy ray reaches the dry resist film and is cured efficiently, so that the patterning property is improved.
A polyethylene terephthalate film or a polyolefin film is suitably used as the transparent substrate having such transmittance.

剥離性シートはポリエチレンテレフタレートフィルムやOPPフィルムの一方または、両面に離型剤がコーティングされたフィルムであり、ドライレジストフィルムを保護するために張り合わせる部材である。剥離性シートの光線透過率は特に制限なく使用できる。   The peelable sheet is a film in which a release agent is coated on one or both sides of a polyethylene terephthalate film or an OPP film, and is a member to be bonded to protect the dry resist film. The light transmittance of the peelable sheet can be used without any particular limitation.

ドライレジストフィルムの樹脂層の厚さは、5〜100μmであることが好ましく、10〜70μmであることがより好ましい。
本発明のドライレジストフィルムは、透明基材上に樹脂層を形成し、他の面に剥離性シートをさらに貼り合わせ両面で挟みこんだドライレジストフィルムとすることで、その取り扱いが容易になる。
The thickness of the resin layer of the dry resist film is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 70 μm.
The dry resist film of the present invention can be handled easily by forming a resin layer on a transparent substrate and further bonding a peelable sheet to the other surface and sandwiching the both sides.

《プリント配線板》
続いて、本発明のドライレジストフィルムを用いて形成されてなるカバーコート層を具備するプリント配線板について説明する。
本発明のプリント配線板は電磁波シールドシートと、カバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備する。
本発明のドライレジストフィルムを用いて形成されてなるカバーコート層を有することにより、耐イオンマイグレーション性、屈曲性、漆黒性に優れた電磁波シールドシート付きプリント配線板とすることができる。
<Printed wiring board>
Then, the printed wiring board which comprises the cover coat layer formed using the dry resist film of this invention is demonstrated.
The printed wiring board of the present invention comprises an electromagnetic wave shielding sheet, a cover coat layer, a substrate having signal wiring and an insulating substrate.
By having the cover coat layer formed using the dry resist film of this invention, it can be set as the printed wiring board with the electromagnetic wave shield sheet excellent in ion migration resistance, a flexibility, and jetness.

<電磁波シールドシート>
本発明の電磁波シールドシートは、導電層および絶縁層を備える。
[導電層]
電磁波シールドシートの導電層は、電磁波等のノイズをシールドし、主にFPCのカバーコート層に貼り付ける層である。
導電層は、導電性接着剤から形成した導電層の第一の態様、および金属層と導電性接着剤から形成した導電層とを有する第二の態様の2つの態様からなる。上記導電性接着剤層は、金、白金、銀、銅およびニッケル等の導電性金属およびその合金からなる導電性微粒子と、前記ドライレジストフィルムを形成する活性エネルギー線樹脂祖組成物で説明した、熱硬化性樹脂、および硬化剤を混合した導電性樹脂組成物を塗膜化したものである。
<Electromagnetic wave shield sheet>
The electromagnetic wave shielding sheet of the present invention includes a conductive layer and an insulating layer.
[Conductive layer]
The conductive layer of the electromagnetic wave shielding sheet is a layer that shields noise such as electromagnetic waves and is mainly attached to the cover coat layer of the FPC.
A conductive layer consists of two aspects, the 1st aspect of the conductive layer formed from the conductive adhesive, and the 2nd aspect which has a conductive layer formed from the metal layer and the conductive adhesive. The conductive adhesive layer has been described with conductive fine particles made of a conductive metal such as gold, platinum, silver, copper and nickel and alloys thereof, and the active energy ray resin composition which forms the dry resist film. A conductive resin composition in which a thermosetting resin and a curing agent are mixed is formed into a coating film.

金属層は、例えば厚みが0.005〜10μmのアルミニウム、銅、銀、金等の導電性の金属蒸着膜および金属箔等が使用される。   For the metal layer, for example, a conductive metal vapor-deposited film such as aluminum, copper, silver, or gold having a thickness of 0.005 to 10 μm, a metal foil, or the like is used.

[絶縁層]
絶縁層は、絶縁性樹脂組成物を使用して形成できる。
絶縁性樹脂組成物は、導電性接着剤と同様に熱硬化性樹脂および熱硬化剤を配合した絶縁性樹脂組成物を塗膜化して形成することができる。また、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド等の絶縁性樹脂を成形したフィルムを使用することもできる。
[Insulation layer]
The insulating layer can be formed using an insulating resin composition.
The insulating resin composition can be formed by forming a coating film of an insulating resin composition containing a thermosetting resin and a thermosetting agent in the same manner as the conductive adhesive. In addition, a film obtained by molding an insulating resin such as polyester, polycarbonate, polyimide, polyphenylene sulfide, or the like can also be used.

電磁波シールドシートは、導電層に含まれる熱硬化性樹脂と熱硬化剤が未硬化状態で存在し、カバーコート層とともに、熱プレスにより硬化することで、所望の接着強度を得ることが出来る。なお、前記未硬化状態は、熱硬化剤の一部が硬化した半硬化状態を含む。   In the electromagnetic wave shielding sheet, the thermosetting resin and the thermosetting agent contained in the conductive layer exist in an uncured state, and a desired adhesive strength can be obtained by curing together with the cover coat layer by hot pressing. The uncured state includes a semi-cured state in which a part of the thermosetting agent is cured.

<カバーコート層>
カバーコート層は、配線板の信号配線を覆い外部環境から保護する絶縁材料である。本発明のカバーコート層は、本発明のドライレジストフィルムを用いて形成されてなり、ドライレジストフィルムの樹脂層を、活性エネルギー線硬化および熱硬化することで形成される。
<Cover coat layer>
The cover coat layer is an insulating material that covers the signal wiring of the wiring board and protects it from the external environment. The cover coat layer of the present invention is formed using the dry resist film of the present invention, and is formed by active energy ray curing and heat curing of the resin layer of the dry resist film.

本発明のカバーコート層は、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有し、前記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+07〜1.0E+10Paであるドライレジストフィルムから形成される。   The cover coat layer of the present invention has a resin layer formed from an active energy ray-curable resin composition containing an active energy ray-curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a black colorant. The cured product of the resin layer is formed from a dry resist film having a storage elastic modulus at 85 ° C. of 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa.

カバーコート層の厚みは、5〜100μmが好ましく、10〜70μmがより好ましい。カバーコート層の厚みを5〜100μmの範囲にすることで、屈曲性とマイグレーション耐性を向上することができる。   The thickness of the cover coat layer is preferably 5 to 100 μm, more preferably 10 to 70 μm. Flexibility and migration resistance can be improved by setting the thickness of the cover coat layer to a range of 5 to 100 μm.

カバーコート層のガラス転移温度(Tg)は40℃〜120℃が好ましく、50℃〜1
00℃がより好ましい。カバーコート層のガラス転移温度(Tg)を40℃〜120℃に
することで、屈曲性とマイグレーション耐性を向上することができる。
The glass transition temperature (Tg) of the cover coat layer is preferably 40 ° C to 120 ° C, and 50 ° C to 1 ° C.
00 ° C. is more preferable. Flexibility and migration resistance can be improved by setting the glass transition temperature (Tg) of the cover coat layer to 40 ° C to 120 ° C.

<基板>
基板は信号配線および絶縁性基材を有する。
<Board>
The substrate has signal wiring and an insulating base material.

信号配線としては、アースを取るグランド配線や電子部品に電気信号を送る配線回路等が挙げられ、銅箔をエッチング処理することで形成することが一般的である。   Examples of the signal wiring include a ground wiring for grounding and a wiring circuit for sending an electric signal to an electronic component. The signal wiring is generally formed by etching a copper foil.

絶縁性基材は、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー等の屈曲可能なプラスチックが好ましく、ポリイミドがより好ましい。   The insulating substrate is preferably a bendable plastic such as polyester, polycarbonate, polyimide, polyphenylene sulfide, liquid crystal polymer, and more preferably polyimide.

<電磁波シールド付きプリントプリント配線板の製造方法>
本発明の電磁波シールドシート付きプリント配線板の製造方法について説明する。
本発明の電磁波シールドシート付きプリント配線板は、絶縁性基材に信号配線を形成する工程(工程A)、信号配線上にドライレジストフィルムを積層する工程(工程B)、ドライレジストフィルムの樹脂層を露光し、現像後に熱硬化させて開口部を有するカバーコート層を形成する工程(工程C)、前記カバーコート層上に電磁波シールドシートを積層し熱プレスする工程(工程D)により製造することができる。以下各工程について具体的に説明する。
<Method for manufacturing printed printed wiring board with electromagnetic wave shield>
The manufacturing method of the printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet of this invention is demonstrated.
The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet of the present invention includes a step of forming a signal wiring on an insulating substrate (step A), a step of laminating a dry resist film on the signal wiring (step B), and a resin layer of the dry resist film. And a step of forming a cover coat layer having an opening by thermosetting after development (step C), and a step of laminating an electromagnetic wave shielding sheet on the cover coat layer and hot pressing (step D). Can do. Each step will be specifically described below.

(工程A;信号配線形成工程)
まず絶縁性基板上の銅箔をエッチングすることでアースを取るグランド配線、電子部品に電気信号を送る配線回路を含む信号配線を形成する。
(Process A; Signal wiring formation process)
First, a ground wiring for grounding by etching a copper foil on an insulating substrate and a signal wiring including a wiring circuit for sending an electric signal to an electronic component are formed.

(工程B;ドライレジストフィルム積層工程)
次いで、両面を透明基材および剥離性シートで挟み込まれたドライレジストフィルムの剥離性シートを剥がし、露出した樹脂層面を絶縁性基板上の信号配線を覆うようにラミネーターによって張り合わせる。
(Process B; Dry resist film lamination process)
Next, the peelable sheet of the dry resist film sandwiched between the transparent substrate and the peelable sheet is peeled off, and the exposed resin layer surface is pasted by a laminator so as to cover the signal wiring on the insulating substrate.

(工程C;カバーコート層形成工程)
透明基材の上面から所望のパターンに形成されたフォトマスクを介して活性エネルギー線を照射し、ドライレジストフィルムの樹脂層を活性エネルギー線硬化させる。
(Process C; Cover coat layer forming process)
Active energy rays are irradiated from the upper surface of the transparent substrate through a photomask formed in a desired pattern, and the resin layer of the dry resist film is cured with active energy rays.

ドライレジストフィルムの樹脂層を硬化するための活性エネルギー線としては、電子線、紫外線、350〜500nmの波長の光線を使用することができる。照射する電子線の線源には熱電子放射銃、電界放射銃等が使用できる。又、紫外線および350〜500nmの線源(光源)には、例えば、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、ガリウムランプ、キセノンランプ、カーボンアークランプ等を使用することができる。具体的には、点光源であること、輝度の安定性から、超高圧水銀ランプ、キセノン水銀ランプ、メタルハライドランプ、が用いられることが多い。照射する活性エネルギー線量は、5〜2000mJ/cmの範囲で適時設定できるが、工程上管理しやすい50〜1000mJ/cmの範囲であることが好ましい。又、これら活性エネルギー線と、赤外線、遠赤外線、熱風、高周波加熱等による熱の併用も可能である。 As an active energy ray for curing the resin layer of the dry resist film, an electron beam, an ultraviolet ray, or a light beam having a wavelength of 350 to 500 nm can be used. A thermionic emission gun, a field emission gun, or the like can be used as the electron beam source to be irradiated. For example, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a gallium lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, or the like can be used as the ultraviolet ray and a radiation source (light source) of 350 to 500 nm. Specifically, an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon mercury lamp, or a metal halide lamp is often used because of the point light source and the stability of luminance. The active energy dose to be irradiated, can be set appropriately in the range of 5~2000mJ / cm 2, it is preferably in the range on the easy of 50~1000mJ / cm 2 management process. Further, these active energy rays can be used in combination with heat by infrared rays, far infrared rays, hot air, high-frequency heating or the like.

その後、透明基材を剥がし、アルカリ水溶液によって現像することで未照射部が洗い流され、グランド配線上や必要な箇所に開口部を形成する。
通常のカバーレイフィルムへの穴開けはドリルを使用するため直径2〜5mmの開口部を形成することが一般的であるが、本発明におけるドライレジストフィルムを用いることにより、開口部の直径を0.05〜1mmでテーパー形状の現像残渣がない開口部を有するカバーコート層を形成可能である。0.05〜1mm開口径にすることで、例えばグランド配線面積を大幅に縮小できるため、FPCの短小化が可能となる。
Thereafter, the transparent substrate is peeled off and developed with an aqueous alkaline solution to wash away the unirradiated portion, and an opening is formed on the ground wiring or at a necessary location.
In general, a hole in a coverlay film is formed by using a drill to form an opening having a diameter of 2 to 5 mm. However, by using the dry resist film in the present invention, the diameter of the opening is reduced to 0. It is possible to form a cover coat layer having an opening having a tapered development residue of 0.05 to 1 mm. By setting the opening diameter to 0.05 to 1 mm, for example, the area of the ground wiring can be greatly reduced, so that the FPC can be shortened.

現像に際しては、アルカリ現像液として炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム等の水溶液が使用され、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリを用いることもできる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。   In development, an aqueous solution such as sodium carbonate or sodium hydroxide is used as an alkali developer, and an organic alkali such as dimethylbenzylamine or triethanolamine can also be used. An antifoaming agent or a surfactant can also be added to the developer.

現像処理方法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。   As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied.

現像液を水洗した後、80℃〜110℃で2分〜10分加熱して、不要な水分を除去した後、150℃〜180℃で30分〜2時間加熱し、熱硬化させることでカバーコート層を形成する。熱硬化の後にも必要に応じて活性エネルギー線を照射することができる。   After the developer is washed with water, it is heated at 80 ° C. to 110 ° C. for 2 minutes to 10 minutes to remove unnecessary moisture, and then heated at 150 ° C. to 180 ° C. for 30 minutes to 2 hours and thermally cured to cover. A coat layer is formed. Even after heat curing, active energy rays can be irradiated as necessary.

(工程D;熱プレス工程)
次いで、カバーコート層の一部または全面に、所定のサイズに打ち抜き加工した電磁波シールドシートを積層し仮貼りする。その後、熱プレスすることで、電磁波シールドシートの導電層が熱硬化し接着される。この時、導電性接着剤層がグランド配線上に形成されたカバーコート層の開口部に流れ込み硬化するためグランドと導通することでシールド性がさらに向上する。
(Process D; Hot press process)
Next, an electromagnetic wave shielding sheet punched into a predetermined size is laminated and temporarily attached to a part or the entire surface of the cover coat layer. Thereafter, the conductive layer of the electromagnetic wave shielding sheet is thermally cured and bonded by hot pressing. At this time, since the conductive adhesive layer flows into the opening of the cover coat layer formed on the ground wiring and is cured, the shielding property is further improved by conducting with the ground.

電磁波シールドシートと、配線板との熱プレスは、温度150〜190℃程度、圧力1〜3MPa程度、時間1〜60分程度の条件で行うことが一般的である。熱プレスにより熱硬化性樹脂と硬化剤が反応する。なお、硬化を促進させるため、熱プレス後に150〜190℃で30〜90分ポストキュアを行う場合もある。なお、電磁波シールドシートは、熱プレス後に電磁波シールド層ということがある。   The heat pressing of the electromagnetic wave shielding sheet and the wiring board is generally performed under conditions of a temperature of about 150 to 190 ° C., a pressure of about 1 to 3 MPa, and a time of about 1 to 60 minutes. The thermosetting resin and the curing agent react by hot pressing. In order to accelerate curing, post-curing may be performed at 150 to 190 ° C. for 30 to 90 minutes after hot pressing. In addition, an electromagnetic wave shield sheet may be called an electromagnetic wave shield layer after hot pressing.

本発明のプリント配線板は、液晶ディスプレイ、タッチパネル等のほか、ノートPC、携帯電話、スマートフォン、タブレット端末等の電子機器に備えることが好ましい。   The printed wiring board of the present invention is preferably provided in an electronic device such as a notebook PC, a mobile phone, a smartphone, and a tablet terminal in addition to a liquid crystal display and a touch panel.

以下、実施例、比較例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の実施例のみに限定されるものではない。なお、以下の「部」及び「%」は、それぞれ「重量部」及び「重量%」に基づく値である。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited only to a following example. The following “parts” and “%” are values based on “parts by weight” and “% by weight”, respectively.

実施例で使用した活性エネルギー線硬化性樹脂の合成方法を以下に示す。
[活性エネルギー線硬化性樹脂1]
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、ビスフェノールA64.8部、YD8125(新日鐵化学株式会社製、ビスフェノールA型エポキシ化合物)57.1部、EX861(ナガセケムテックス株式会社製:ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル)128.1部、触媒としてトリフェニルホスフィン1.25部、N,N−ジメチルベンジルアミン1.25部、溶剤としてトルエン250部を仕込み、窒素気流下、撹拌しながら110℃に昇温し8時間反応させ、ヒドロキシル基含有樹脂を得た。次に、酸無水物としてリカシッドSA(新日本理化株式会社製:無水コハク酸)54.6部を投入し、110℃のまま4時間反応させた。FT−IR測定にて酸無水物基の吸収が消失しているのを確認後、室温まで冷却した。次に、このフラスコに、窒素導入管からの窒素を停止し乾燥空気の導入に切り替え、攪拌しながらGMA(日油株式会社製:グリシジルメタクリレート)26.0部、重合禁止剤としてヒドロキノン0.165部を投入し、80℃で8時間反応させた。反応終了後、この溶液にメチルエチルケトンを加えて固形分が50.0%になるように調整し、活性エネルギー線硬化性樹脂1溶液を得た。
活性エネルギー線硬化性樹脂1は、ヒドロキシル基含有感光性樹脂(A−1)であり、エチレン性不飽和基当量は1803g/eq、ポリスチレン換算の重量平均分子量が23500、実測による樹脂固形分の酸価は63mgKOH/gであった。
A method for synthesizing the active energy ray-curable resin used in the examples is shown below.
[Active energy ray curable resin 1]
In a four-necked flask equipped with a stirrer, reflux condenser, nitrogen inlet tube, inlet tube, and thermometer, 64.8 parts of bisphenol A, 57.1 parts of YD8125 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., bisphenol A type epoxy compound) EX861 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation: polyethylene glycol diglycidyl ether) 128.1 parts, 1.25 parts triphenylphosphine as catalyst, 1.25 parts N, N-dimethylbenzylamine, 250 parts toluene as solvent The mixture was heated to 110 ° C. with stirring under a nitrogen stream and reacted for 8 hours to obtain a hydroxyl group-containing resin. Next, 54.6 parts of Ricacid SA (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd .: succinic anhydride) was added as an acid anhydride and reacted at 110 ° C. for 4 hours. After confirming that the absorption of the acid anhydride group disappeared by FT-IR measurement, it was cooled to room temperature. Next, the nitrogen from the nitrogen introduction tube was stopped in this flask and switched to introduction of dry air. While stirring, 26.0 parts of GMA (manufactured by NOF Corporation: glycidyl methacrylate), hydroquinone 0.165 as a polymerization inhibitor. Part was added and reacted at 80 ° C. for 8 hours. After completion of the reaction, methyl ethyl ketone was added to this solution to adjust the solid content to 50.0% to obtain an active energy ray-curable resin 1 solution.
The active energy ray-curable resin 1 is a hydroxyl group-containing photosensitive resin (A-1), the ethylenically unsaturated group equivalent is 1803 g / eq, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight is 23500, and the resin solid content acid measured is actually measured. The value was 63 mgKOH / g.

[活性エネルギー線硬化性樹脂2]
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、ビスフェノールA60.8部、YD8125(新日鐵化学株式会社製、ビスフェノールA型エポキシ化合物)43.4部、EX861(ナガセケムテックス株式会社製:ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル)145.8部、触媒としてトリフェニルホスフィン1.25部、DMBA1.25部、溶剤としてトルエン250部を仕込み、窒素気流下、撹拌しながら110℃に昇温し8時間反応させ、ヒドロキシル基含有樹脂を得た。次に、酸無水物としてリカシッドSA(新日本理化株式会社製:無水コハク酸)49.8部を投入し、110℃のまま4時間反応させた。FT−IR測定にて酸無水物基の吸収が消失しているのを確認後、室温まで冷却した。次に、このフラスコに、窒素導入管からの窒素を停止し乾燥空気の導入に切り替え、攪拌しながらGMA(日油株式会社製:グリシジルメタクリレート)41.1部、重合禁止剤としてヒドロキノン0.17部を投入し、80℃で8時間反応させた。反応終了後、乾燥空気を導入した状態のフラスコに、酸無水物としてリカシッドSA(新日本理化株式会社製:無水コハク酸)26.0部を投入し、80℃のまま4時間反応させた。FT−IR測定にて酸無水物基の吸収が消失しているのを確認後、室温まで冷却した。この溶液にメチルエチルケトンを加えて固形分が50.0%になるように調整し、活性エネルギー線硬化性樹脂2溶液を得た。
活性エネルギー線硬化性樹脂2は、カルボキシル基含有感光性樹脂(A−2)であり、エチレン性不飽和基当量は1269g/eq、ポリスチレン換算の重量平均分子量が20200、実測による樹脂固形分の酸価は73mgKOH/gであった。
[Active energy ray curable resin 2]
In a 4-neck flask equipped with a stirrer, reflux condenser, nitrogen inlet tube, inlet tube, and thermometer, 60.8 parts of bisphenol A, 43.4 parts of YD8125 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., bisphenol A type epoxy compound) , EX861 (manufactured by Nagase ChemteX Corporation: polyethylene glycol diglycidyl ether) 145.8 parts, 1.25 parts of triphenylphosphine as a catalyst, 1.25 parts of DMBA, 250 parts of toluene as a solvent, and stirred under a nitrogen stream However, the temperature was raised to 110 ° C. and the reaction was performed for 8 hours to obtain a hydroxyl group-containing resin. Next, 49.8 parts of Ricacid SA (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd .: succinic anhydride) was added as an acid anhydride and reacted at 110 ° C. for 4 hours. After confirming that the absorption of the acid anhydride group disappeared by FT-IR measurement, it was cooled to room temperature. Next, the nitrogen from the nitrogen introduction tube was stopped in this flask and switched to introduction of dry air, while stirring, 41.1 parts of GMA (manufactured by NOF Corporation: glycidyl methacrylate), hydroquinone 0.17 as a polymerization inhibitor. Part was added and reacted at 80 ° C. for 8 hours. After completion of the reaction, 26.0 parts of Ricacid SA (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd .: succinic anhydride) was added as an acid anhydride to a flask in which dry air was introduced, and reacted at 80 ° C. for 4 hours. After confirming that the absorption of the acid anhydride group disappeared by FT-IR measurement, it was cooled to room temperature. Methyl ethyl ketone was added to this solution to adjust the solid content to 50.0% to obtain an active energy ray-curable resin 2 solution.
The active energy ray-curable resin 2 is a carboxyl group-containing photosensitive resin (A-2), the ethylenically unsaturated group equivalent is 1269 g / eq, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight is 20200, and the acid content of the resin solid content by actual measurement The value was 73 mg KOH / g.

[活性エネルギー線硬化性樹脂3]
撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、エポキシ当量650、軟化点81.1℃、溶融粘度(150℃)12.5ポイズのビスフェノールA型エポキシ樹脂371部、エピクロルヒドリン925部、ジメチルスルホキシド463部を投入し、均一に溶解させた後、攪拌下70℃で98.5%水酸化ナトリウム水溶液52.8部を100分かけて添加した。添加後、更に70℃で3時間反応を行った。次いで、過剰の未反応エピクロルヒドリン及びジメチルスルホキシドの大半を減圧下に留去し、副生塩とジメチルスルホキシドを含む反応生成物をメチルイソブチルケトン750部に溶解させ、更に30%水酸化ナトリウム水溶液10部を加え、70℃で1時間反応させた。反応終了後、水200部で2回水洗を行った。油水分離後、油層よりメチルイソブチルケトンを蒸留回収して、エポキシ当量287、加水分解性塩素含有量0.07%、軟化点64.2℃、溶融粘度(150℃)7.1ポイズのエポキシ樹脂を340部得た。
[Active energy ray curable resin 3]
A four-necked flask equipped with a stirrer, reflux condenser, nitrogen inlet pipe, inlet pipe, thermometer, bisphenol A type epoxy having an epoxy equivalent of 650, a softening point of 81.1 ° C., and a melt viscosity (150 ° C.) of 12.5 poise 371 parts of resin, 925 parts of epichlorohydrin, and 463 parts of dimethyl sulfoxide were added and dissolved uniformly, and then 52.8 parts of 98.5% aqueous sodium hydroxide solution was added at 70 ° C. over 100 minutes with stirring. After the addition, the reaction was further carried out at 70 ° C. for 3 hours. Subsequently, most of the excess unreacted epichlorohydrin and dimethyl sulfoxide are distilled off under reduced pressure, the reaction product containing by-product salt and dimethyl sulfoxide is dissolved in 750 parts of methyl isobutyl ketone, and further 10 parts of 30% aqueous sodium hydroxide solution. And reacted at 70 ° C. for 1 hour. After completion of the reaction, washing was performed twice with 200 parts of water. After separation of oil and water, methyl isobutyl ketone is recovered by distillation from the oil layer, and an epoxy resin having an epoxy equivalent of 287, a hydrolyzable chlorine content of 0.07%, a softening point of 64.2 ° C., and a melt viscosity (150 ° C.) of 7.1 poise. 340 parts were obtained.

別の撹拌機、還流冷却管、窒素導入管、導入管、温度計を備えた4口フラスコに、このエポキシ樹脂を287部投入し、更にアクリル酸72部、メチルハイドロキノン0.3部、シクロヘキサノン194部を仕込み、90℃に加熱、攪拌し、反応混合物を溶解した。次いで、反応液を60℃に冷却し、トリフェニルフォスフィン1.7部を仕込み、酸素存在下、100℃で約32時間反応し、実測酸価1mgKOH/gの反応物を得た。次に、これに無水コハク酸78部、シクロヘキサノン42部を仕込み、95℃で約6時間反応した。この溶液にシクロヘキサノンを加えて固形分が50.0%になるように調整し、活性エネルギー線硬化性樹脂3溶液を得た。
活性エネルギー線硬化性樹脂3は、主骨格がビスフェノールA型エポキシ樹脂であるカルボキシル基含有感光性樹脂であり、エチレン性不飽和基当量は450g/eq、ポリスチレン換算の重量平均分子量は7400、分子量分布2.23、実測による樹脂固形分の酸価は100mgKOH/gであった。
Into a four-necked flask equipped with another stirrer, reflux condenser, nitrogen inlet pipe, inlet pipe and thermometer, 287 parts of this epoxy resin was added, and further 72 parts of acrylic acid, 0.3 part of methylhydroquinone, cyclohexanone 194 The reaction mixture was dissolved by heating and stirring at 90 ° C. Subsequently, the reaction liquid was cooled to 60 ° C., 1.7 parts of triphenylphosphine was added, and the reaction was performed at 100 ° C. for about 32 hours in the presence of oxygen to obtain a reaction product having an actually measured acid value of 1 mgKOH / g. Next, 78 parts of succinic anhydride and 42 parts of cyclohexanone were added thereto and reacted at 95 ° C. for about 6 hours. Cyclohexanone was added to this solution to adjust the solid content to 50.0% to obtain an active energy ray-curable resin 3 solution.
The active energy ray-curable resin 3 is a carboxyl group-containing photosensitive resin whose main skeleton is a bisphenol A type epoxy resin, the ethylenically unsaturated group equivalent is 450 g / eq, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight is 7400, and the molecular weight distribution. The acid value of the resin solid content by 2.23 and actual measurement was 100 mgKOH / g.

活性エネルギー線硬化性樹脂1〜3の物性を表1に示す。   The physical properties of the active energy ray curable resins 1 to 3 are shown in Table 1.

黒色系着色剤1〜3の物性値を表2に示す。
Table 2 shows the physical property values of the black colorants 1 to 3.

熱硬化性樹脂:ウレタン樹脂(酸価=10mgKOH/g、アミン価=0.1mgKOH/g)トーヨーケム株式会社製
活性エネルギー線重合開始剤:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド「イルガキュアTPO」BASF社製
増感剤:2,4−ジエチルチオキサントン「DETX−S」日本化薬社製
熱硬化剤1:IPDIヌレート型MEKオキシムブロックイソシアネート化合物「デスモジュールBL―4265SN」(イソシアネート当量=337g/eq)住化コベストロウレタン社製
熱硬化剤2:HDIアダクト型MEKオキシムブロックイソシアネート化合物「デュラネートE402−B80B」(イソシアネート当量=560g/eq)旭化成ケミカルズ社製
熱硬化剤3:ビスフェノールA型エポキシ化合物「jER1001」(エポキシ当量=189g/eq)三菱化学社製
無機フィラー1:疎水性シリカ「SS50F(一次平均粒子径25nm)」東ソー・シリカ株式会社製
無機フィラー2:親水性シリカ「AEROSILR200(平均1次粒子径12nm)」アエロジル社製
無機フィラー3:平均粒子径3.8μmの市販超微粒子タルク
難燃剤:ホスフィン酸アルミニウム塩「エクソリットOP935」クラリアント社製
Thermosetting resin: Urethane resin (acid value = 10 mg KOH / g, amine value = 0.1 mg KOH / g) Active energy ray polymerization initiator manufactured by Toyochem Co., Ltd .: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide “ "Irgacure TPO" BASF sensitizer: 2,4-diethylthioxanthone "DETX-S" Nippon Kayaku thermosetting agent 1: IPDI nurate type MEK oxime block isocyanate compound "Desmodur BL-4265SN" (isocyanate equivalent = 337 g / eq) Thermosetting agent manufactured by Sumika Covestro Urethane Co., Ltd. 2: HDI adduct type MEK oxime block isocyanate compound “Duranate E402-B80B” (isocyanate equivalent = 560 g / eq) Thermosetting agent manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. 3: Bisphenol A Epoxy compound “jER1001” (epoxy equivalent = 189 g / eq) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation inorganic filler 1: hydrophobic silica “SS50F (primary average particle size 25 nm)” Tosoh Silica Co., Ltd. inorganic filler 2: hydrophilic silica “AEROSILR200” (Average primary particle size 12 nm) “Inorganic filler 3 manufactured by Aerosil Co., Ltd .: Commercial ultrafine talc flame retardant having an average particle size of 3.8 μm: Aluminum phosphinate“ Exorit OP935 ”manufactured by Clariant

<電磁波シールドシートの作製>
熱硬化性樹脂を100部、導電性微粒子(核体に銅、被覆層に銀を使用した樹枝状粒子D50平均粒子径=11.0μm、福田金属箔粉工業社製)を450部、硬化剤として「JER828」(ビスフェノールA型エポキシ化合物 エポキシ当量=189g/eq、三菱化学社製)を15部、および「ケミタイトPZ−33」(アジリジン化合物、日本触媒社製)を2.0部容器に仕込み、不揮発分濃度が40重量%になるようトルエン:イソプロピルアルコール(重量比2:1)の混合溶剤を加えディスパーで10分攪拌することで導電性樹脂組成物を得た。次いで、導電性樹脂組成物を剥離性シート上に、乾燥厚みが10μmになるようにバーコーターを使用して塗工し、さらに100℃の電気オーブンで2分間乾燥することで導電層を得た。
<Production of electromagnetic shielding sheet>
100 parts of thermosetting resin, 450 parts of conductive fine particles (dendritic particle D50 using copper as the core and silver as the coating layer D50 average particle size = 11.0 μm, manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Industry Co., Ltd.), curing agent 15 parts of “JER828” (bisphenol A type epoxy compound epoxy equivalent = 189 g / eq, manufactured by Mitsubishi Chemical) and 2.0 parts of “Chemite PZ-33” (aziridine compound, manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.) Then, a mixed solvent of toluene: isopropyl alcohol (weight ratio 2: 1) was added so that the nonvolatile content concentration was 40% by weight, and the mixture was stirred with a disper for 10 minutes to obtain a conductive resin composition. Next, the conductive resin composition was coated on a peelable sheet using a bar coater so that the dry thickness was 10 μm, and further dried in an electric oven at 100 ° C. for 2 minutes to obtain a conductive layer. .

別途、熱硬化性樹脂100部、硬化剤として「JER828」(ビスフェノールA型エポキシ化合物 エポキシ当量=189g/eq、三菱化学社製)を15部、および「ケミタイトPZ−33」(アジリジン化合物、日本触媒社製)を2.0部容器に仕込み、不揮発分濃度が40重量%になるようトルエン:イソプロピルアルコール(重量比2:1)の混合溶剤を加えディスパーで10分攪拌することで絶縁性樹脂組成物を得た。この絶縁性樹脂組成物を剥離性シートにバーコーターを用いて乾燥厚みが15μmになるように塗工し、さらに100℃の電気オーブンで3分間乾燥し絶縁層を得た。さらに導電層と絶縁層をラミネーターで張り合わせることで電磁波シールドシートを得た。   Separately, 100 parts of thermosetting resin, 15 parts of “JER828” (bisphenol A type epoxy compound epoxy equivalent = 189 g / eq, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as a curing agent, and “Chemite PZ-33” (aziridine compound, Nippon Shokubai) Insulating resin composition by adding a mixed solvent of toluene: isopropyl alcohol (weight ratio 2: 1) to a non-volatile content concentration of 40% by weight and stirring with a disper for 10 minutes. I got a thing. This insulating resin composition was coated on a peelable sheet using a bar coater so as to have a dry thickness of 15 μm, and further dried in an electric oven at 100 ° C. for 3 minutes to obtain an insulating layer. Furthermore, the electromagnetic wave shielding sheet was obtained by bonding together a conductive layer and an insulating layer with a laminator.

[実施例1]
活性エネルギー線硬化性樹脂1を100重量部、難燃剤を10重量部、黒色系着色剤1を3重量部容器に仕込み、固形分が50%になるようメチルエチルケトン:メチルポリグリコール=1:1混合溶剤を加え均一に溶解・混合した。これを横型サンドミルDYNO−MILL(株式会社シンマルエンタープライズ製)を使用して、グラインドゲージによる粒子径が10μm未満になるまで分散した。次いで、分散塗液の活性エネルギー線硬化性樹脂1を100重量部に対し、活性エネルギー線重合開始剤を2重量部、増感剤を0.5重量部、熱硬化剤1を5重量部、熱硬化剤2を35重量部添加し均一に混合することで活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を得た。
[Example 1]
100 parts by weight of active energy ray curable resin 1, 10 parts by weight of flame retardant, 3 parts by weight of black colorant 1 are charged into a container, and methyl ethyl ketone: methyl polyglycol = 1: 1 mixed so that the solid content is 50%. A solvent was added and dissolved and mixed uniformly. This was dispersed using a horizontal sand mill DYNO-MILL (manufactured by Shinmaru Enterprise Co., Ltd.) until the particle diameter by a grind gauge was less than 10 μm. Next, 100 parts by weight of the active energy ray-curable resin 1 of the dispersion coating liquid, 2 parts by weight of the active energy ray polymerization initiator, 0.5 parts by weight of the sensitizer, 5 parts by weight of the thermosetting agent 1, An active energy ray-curable resin composition was obtained by adding 35 parts by weight of thermosetting agent 2 and mixing them uniformly.

得られた活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を、ドクターブレードを使用して乾燥後の厚さが45μmとなるように透明基材(ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(エンブレットS25、厚さ25μm、320〜700nmの最大光線透過率が60%以上、ユニチカ社製))上に均一塗工して100℃で5分乾燥させた後、室温まで冷却し樹脂層を形成した。さらに得られた樹脂層を剥離性シート(離型剤がコーティングされたポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(PET75−AL5、厚さ75μm、320〜700nmの最大光線透過率が60%以上、リンテック社製)に貼り合わせることで透明基材および剥離性シートに挟み込まれたドライレジストフィルムを得た。   The obtained active energy ray-curable resin composition was coated with a transparent substrate (polyethylene terephthalate (PET) film (Emblet S25, thickness 25 μm, 320 μm) so that the thickness after drying using a doctor blade was 45 μm. The maximum light transmittance of ˜700 nm was 60% or more, manufactured by Unitika Ltd.)) and dried at 100 ° C. for 5 minutes, and then cooled to room temperature to form a resin layer. Further, the obtained resin layer was separated into a release sheet (polyethylene terephthalate (PET) film coated with a release agent (PET75-AL5, thickness 75 μm, maximum light transmittance of 320 to 700 nm, 60% or more, manufactured by Lintec)) To obtain a dry resist film sandwiched between the transparent substrate and the peelable sheet.

[実施例2〜15、比較例1〜3]
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の組成を表1に記載した通りに変更した以外は、実施例1と同様に行うことで実施例2〜15、比較例1〜3のドライレジストフィルムをそれぞれ得た。
[Examples 2-15, Comparative Examples 1-3]
Except having changed the composition of the active energy ray-curable resin composition as described in Table 1, the dry resist films of Examples 2 to 15 and Comparative Examples 1 to 3 were obtained in the same manner as in Example 1. It was.

得られたドライレジストフィルムについて以下の物性を評価した。
<貯蔵弾性率、ガラス転移温度(Tg)>
ドライレジストフィルムの樹脂層の硬化物の貯蔵弾性率およびTgは、次の方法で求めた。
基材付きドライレジストフィルムから剥離性シートを剥がした試料を2枚準備し、露出した樹脂層面同士を真空ラミネーター(ニチゴーモートン製 小型加圧式真空ラミネーターV−130)で貼りあわせた。なお真空ラミネート条件は加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒であった。ついで、得られた試料の両面に活性エネルギー線を照射した。
活性エネルギー線の照射条件は下記の条件とした。マイラーフィルム(125μmPETフィルム)を使用したコンタクト露光方式、ショートアークUVランプ使用、積算露光量500mJ/cm。次いで、片方の透明基材を剥がし、露出した樹脂層面を液温30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液で60秒現像し、水洗後、100℃、2分のボックスオーブンで乾燥した。160℃のボックスオーブンで1時間熱硬化させ、幅5mm×長さ30mmの大きさに切断し、他方の透明基材を剥離して、ドライレジストフィルムの樹脂層の硬化物についての測定試料を得た。次いで、動的弾性率測定装置DVA−200(アイティー計測制御社製)を用いて、測定試料に対して変形様式「引張り」、周波数10Hz、昇温速度10℃/分、測定温度範囲30〜300℃の条件で測定を行い、85℃における貯蔵弾性率とTgを求めた。
The following physical properties of the obtained dry resist film were evaluated.
<Storage modulus, glass transition temperature (Tg)>
The storage elastic modulus and Tg of the cured product of the resin layer of the dry resist film were determined by the following methods.
Two samples were prepared by peeling off the peelable sheet from the dry resist film with a substrate, and the exposed resin layer surfaces were bonded together with a vacuum laminator (small pressure type vacuum laminator V-130 manufactured by Nichigo Morton). The vacuum lamination conditions were a heating temperature of 60 ° C., a vacuum time of 60 seconds, a vacuum ultimate pressure of 2 hPa, a pressure of 0.4 MPa, and a pressurization time of 60 seconds. Subsequently, active energy rays were irradiated on both surfaces of the obtained sample.
The irradiation conditions of active energy rays were as follows. Contact exposure method using Mylar film (125 μm PET film), use of short arc UV lamp, integrated exposure 500 mJ / cm 2 . Next, one transparent substrate was peeled off, and the exposed resin layer surface was developed with a 1% aqueous sodium carbonate solution at a liquid temperature of 30 ° C. for 60 seconds, washed with water, and dried in a box oven at 100 ° C. for 2 minutes. Heat cured in a 160 ° C. box oven for 1 hour, cut into a size of 5 mm wide × 30 mm long, peeled off the other transparent substrate, and obtained a measurement sample for the cured product of the resin layer of the dry resist film It was. Subsequently, using a dynamic elastic modulus measuring apparatus DVA-200 (made by IT Measurement & Control Co., Ltd.), a deformation mode “tension”, a frequency of 10 Hz, a heating rate of 10 ° C./min, a measurement temperature range of 30 to 30 for a measurement sample. The measurement was performed at 300 ° C., and the storage elastic modulus and Tg at 85 ° C. were obtained.

<光線透過率>
基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥離し、分光光度計U−4100(日立ハイテクノロジーズ社製)を使用して波長300〜700nmの光線透過率を測定した。測定時は、各波長の入射光が透明基材から入光するようドライレジストフィルムをセットした。
<Light transmittance>
The peelable sheet of the dry resist film with the substrate was peeled off, and the light transmittance at a wavelength of 300 to 700 nm was measured using a spectrophotometer U-4100 (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). At the time of measurement, the dry resist film was set so that incident light of each wavelength was incident from the transparent substrate.

<マイグレーション試験>
図1を参照してマイグレーション試験を説明する。厚さ12μmの銅箔と厚さ25μmポリイミドフィルムの積層体をエッチング処理することで図1(1)の平面図に示した通り、ポリイミドフィルム1上にライン/スペース=0.05mm/0.05mmの、カソード電極接続点2’を備えたカソード電極用櫛型信号配線2と、アノード電極接続点3’を備えたアノード電極用櫛型信号配線3とをそれぞれ形成した。次いで基材付きドライレジストフィルムから、剥離性シートを剥がし、図1(2)の平面図に示した通り、カソード電極用櫛型信号配線2およびアノード電極用櫛型信号配線3を覆い、カソード電極接続点2’付近およびアノード電極接続点3’付近が露出する程度の大きさに樹脂層面を重ね、真空ラミネートすることでドライレジストフィルムを積層体に貼り合わせた。なお真空ラミネート条件は加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒であった。さらに基材付きドライレジストフィルムの透明基材側からマイラーフィルム(125μmPETフィルム)を使用したコンタクト露光方式、ショートアークUVランプ使用、積算露光量500mJ/cmとなるように露光した。次いで、PETマイラーシートおよび透明基材を剥がし、現像機で60秒間現像(現像液:濃度1%の炭酸ナトリウム水溶液、液温30℃、スプレー圧0.2 MPa)した。現像後、水洗し、100℃のボックスオーブンで2分間乾燥した後、160℃の熱風乾燥器でドライレジストフィルムの樹脂層を1時間熱硬化(ポストキュア)することでカバーコート層4付き配線板を得た。
さらに得られた電磁波シールドシートの導電層側から剥離性シートを剥がし、露出した導電層面をカバーコート層4の上に貼り合わせることで図1(3)に示す平面図の通りに積層した試料を得た。得られた試料は、図1(4)に示す試料のA−A’断面図に記載した通り導電層5bはカソード電極用櫛型信号配線2と電気的に接続している。
<Migration test>
The migration test will be described with reference to FIG. By etching a laminate of a 12 μm thick copper foil and a 25 μm thick polyimide film, line / space = 0.05 mm / 0.05 mm on the polyimide film 1 as shown in the plan view of FIG. The cathode electrode comb signal wiring 2 having the cathode electrode connection point 2 'and the anode electrode comb signal wiring 3 having the anode electrode connection point 3' were formed. Next, the peelable sheet is peeled off from the dry resist film with the base material, and as shown in the plan view of FIG. 1 (2), the comb signal wiring 2 for the cathode electrode and the comb signal wiring 3 for the anode electrode are covered, and the cathode electrode The resin layer surface was overlaid so that the vicinity of the connection point 2 ′ and the vicinity of the anode electrode connection point 3 ′ were exposed, and the dry resist film was bonded to the laminate by vacuum lamination. The vacuum lamination conditions were a heating temperature of 60 ° C., a vacuum time of 60 seconds, a vacuum ultimate pressure of 2 hPa, a pressure of 0.4 MPa, and a pressurization time of 60 seconds. Furthermore, it exposed so that it might become the contact exposure system which uses a mylar film (125 micrometer PET film) from the transparent base material side of a dry resist film with a base material, use of a short arc UV lamp, and an integrated exposure amount of 500 mJ / cm < 2 >. Subsequently, the PET mylar sheet and the transparent substrate were peeled off, and developed with a developing machine for 60 seconds (developer: sodium carbonate aqueous solution with a concentration of 1%, liquid temperature 30 ° C., spray pressure 0.2 MPa). After development, washed with water, dried in a box oven at 100 ° C. for 2 minutes, and then thermally cured (post-cure) the resin layer of the dry resist film with a hot air dryer at 160 ° C. for 1 hour. Got.
Further, the peelable sheet was peeled off from the conductive layer side of the obtained electromagnetic wave shielding sheet, and the exposed conductive layer surface was bonded onto the cover coat layer 4 so that a sample laminated as shown in the plan view of FIG. Obtained. In the obtained sample, the conductive layer 5b is electrically connected to the comb signal wiring 2 for the cathode electrode as described in the AA ′ sectional view of the sample shown in FIG.

得られた試料を150℃、2.0MPa、30minの条件で熱プレスすることで熱硬化性樹脂を硬化させた。次いで、試料を85℃−85%RH(相対湿度)の雰囲気下で、アノード電極接続点3’にアノード電極を接続し、カソード電極接続点2’にカソード電極を接続した上で、電圧50Vを印加し500時間継続した。そして500時間を経過するまでの抵抗値の変化を継続して測定した。なお下記「リークタッチ」とは、短絡による絶縁破壊があり、瞬間的に抵抗が低下し電流が流れることをいう。リークタッチがない場合は絶縁性が低下しない。評価基準は以下の通りである。

◎:500時間経過後の抵抗値が1×10Ω以上、かつリークタッチ無し。極めて良好
○:500時間経過後の抵抗値が1×10Ω以上、かつリークタッチ1回有り。良好
△:500時間経過後の抵抗値が1×10Ω以上、かつリークタッチ2回有り。実用上問題ない。
×:500時間経過後の抵抗値が1×10Ω未満、または、
500時間経過後の抵抗値が1×10Ω以上、かつリークタッチ3回以上有り。実用不可。
The obtained sample was hot-pressed under the conditions of 150 ° C., 2.0 MPa, and 30 min to cure the thermosetting resin. Next, the anode was connected to the anode electrode connection point 3 ′ and the cathode electrode was connected to the cathode electrode connection point 2 ′ in an atmosphere of 85 ° C. to 85% RH (relative humidity). Application was continued for 500 hours. And the change of the resistance value until 500 hours passed was measured continuously. The “leak touch” described below means that there is a dielectric breakdown due to a short circuit, the resistance decreases instantaneously, and a current flows. If there is no leak touch, insulation does not decrease. The evaluation criteria are as follows.

A: Resistance value after 500 hours is 1 × 10 7 Ω or more and no leak touch. Very good ○: Resistance value after 500 hours is 1 × 10 7 Ω or more, and there is one leak touch. Good Δ: The resistance value after 500 hours passed is 1 × 10 7 Ω or more, and there are two leak touches. There is no problem in practical use.
×: Resistance value after 500 hours is less than 1 × 10 7 Ω, or
The resistance after 500 hours is 1 × 10 7 Ω or more, and there are 3 or more leak touches. Not practical.

<耐熱圧着性>
基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥がし、ポリイミドフィルム(東レ・デュポン社製「カプトン200EN」)と真空ラミネートした。その後、マイグレーション試験と同様の手順で、露光、現像、ポストキュアを行いカバーコート層付きポリイミドフィルム(試料a)を作製した。次いで、試料aのカバーコート層面に、マイグレーション試験と同様の手順で電磁波シールドシートを貼りあわせ熱プレスすることで電磁波シールドフィルム/カバーコート層/ポリイミドフィルムからなる積層体(試料b)を作製した。
試料aおよび試料bをそれぞれクロスセクションポリッシャー(日本電子社製、SM−09010)を用いてポリイミドフィルム側からイオンビーム照射により切断加工して、カバーコート層の断面を形成した。レーザーマイクロスコープVK−X100(キーエンス社製)、観察アプリケーションとしてVK−H1XV(キーエンス社製)を用いて試料aおよび試料bのカバーコート層の厚みを測定し、下記式より厚みの変化率を求めた。

厚み変化率
=100−(試料bのカバーコート層膜厚/試料aのカバーコート層膜厚×100)

厚み変化率により、耐熱圧着性について、以下の評価基準で評価した。
◎:2%未満。 良好。
○:2%以上、5%未満。 実用上問題ない。
×:5%以上。 実用不可。
<Heat-resistant crimpability>
The peelable sheet of the dry resist film with the substrate was peeled off, and vacuum-laminated with a polyimide film (“Kapton 200EN” manufactured by Toray DuPont). Thereafter, in the same procedure as in the migration test, exposure, development and post-cure were performed to prepare a polyimide film with a cover coat layer (sample a). Next, a laminate (sample b) composed of an electromagnetic wave shield film / cover coat layer / polyimide film was prepared by attaching an electromagnetic wave shield sheet to the cover coat layer surface of sample a in the same procedure as in the migration test and hot pressing.
Sample a and sample b were cut by ion beam irradiation from the polyimide film side using a cross section polisher (manufactured by JEOL Ltd., SM-09010) to form a cross section of the cover coat layer. Using the laser microscope VK-X100 (manufactured by Keyence Corporation) and VK-H1XV (manufactured by Keyence Corporation) as an observation application, the thickness of the cover coat layer of sample a and sample b is measured, and the rate of change in thickness is obtained from the following formula. It was.

Thickness change rate = 100− (cover coat layer thickness of sample b / cover coat layer thickness of sample a × 100)

Based on the rate of change in thickness, the heat-resistant press bonding property was evaluated according to the following evaluation criteria.
A: Less than 2%. Good.
○: 2% or more and less than 5%. There is no problem in practical use.
X: 5% or more. Not practical.

<屈曲性>
基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥がし、ライン/スペース=0.05mm/0.05mmの回路基板上へ真空ラミネートした。その後、マイグレーション試験と同様の手順で、露光、現像、ポストキュアを行いカバーコート層付き回路基板を形成した。
このカバーコート層付き回路基板を、カバーコート層が外側になるように180度折り曲げて、折り曲げ部位に500gの錘を5秒間載せた後、折り曲げた箇所を元の平面状態に戻して、再び500gの錘を5秒間載せ、これを折り曲げ回数を1回とした。カバーコート層にクラックが発生したかどうかを(株)キーエンス製マイクロスコープ「VHX−900」で観察し、クラックが発生しないで折り曲げられた回数を評価した。
500g荷重を掛けた折り曲げ部にクラックが発生までの折り曲げ回数をカウントした。評価基準は以下の通りである。

◎:5回以上。 極めて良好。
○:3回以上、5回未満。 良好
△:2回以上、3回未満。 実用上問題ない。
×:2回未満。 実用不可。
<Flexibility>
The peelable sheet of the dry resist film with the base material was peeled off, and vacuum-laminated onto a circuit board with line / space = 0.05 mm / 0.05 mm. Thereafter, in the same procedure as in the migration test, exposure, development, and post-cure were performed to form a circuit board with a cover coat layer.
The circuit board with the cover coat layer is bent 180 degrees so that the cover coat layer is on the outside, and a weight of 500 g is placed on the bent portion for 5 seconds, and then the bent portion is returned to the original flat state and again 500 g The weight was placed for 5 seconds, and this was bent once. Whether or not a crack was generated in the cover coat layer was observed with a microscope “VHX-900” manufactured by Keyence Co., Ltd., and the number of times that the cover coat layer was bent without a crack was evaluated.
The number of folds until a crack was generated in a fold portion subjected to a load of 500 g was counted. The evaluation criteria are as follows.

A: 5 or more times. Very good.
○: 3 times or more and less than 5 times. Good Δ: 2 times or more and less than 3 times. There is no problem in practical use.
X: Less than 2 times. Not practical.

<漆黒性>
基材付きドライレジストフィルムの剥離性シートを剥離して光学濃度をマクベス濃度計(GRETAGD200−II)により測定し、膜厚45μmにおける光学濃度(OD)を求めた。評価基準は以下の通りである。

◎:1.5以上。良好。
〇:1以上、1.5未満。実用上問題ない。
×:1未満。実用不可。
<Blackness>
The peelable sheet of the dry resist film with a substrate was peeled off, and the optical density was measured with a Macbeth densitometer (GRETAGD200-II) to obtain the optical density (OD) at a film thickness of 45 μm. The evaluation criteria are as follows.

A: 1.5 or more. Good.
○: 1 or more and less than 1.5. There is no problem in practical use.
X: Less than 1. Not practical.

<パターニング性>
基材付きドライレジストフィルムから剥離性シートを剥がし、銅張積層板(新日鉄化学社製:エスパネックスMC―18―25―00FRM)の銅面に真空ラミネートした。真空ラミネート条件は加熱温度60℃、真空時間60秒、真空到達圧2hPa、圧力0.4MPa、加圧時間60秒でおこなった。ドライレジストフィルムの透明基材側から120μmPETマイラーシート/直径が0.1mmの円形の黒色部が一面に等間隔で配置されたフォトマスク越しに積算光量500mJ/cmとなるように露光後、現像機で以下の現像条件(液温30℃の1% NaCO水溶液を0.2MPaのスプレー圧)で60秒現像した。
現像後、水洗し、100℃のボックスオーブンで2分間乾燥した後、160℃の熱風乾燥器で1時間熱硬化(ポストキュア)させ、開口部を有するカバーコート層付き銅張積層板を得た。カバーコート層の開口部10カ所を走査型電子顕微鏡(日本電子製 JSM−7800F)で観察し、直径を測長して平均値を算出し、下記の様に評価した。

[パターン精度T(%)]
=[開口部直径の平均値]/[フォトマスクの黒色部径]×100

パターン精度が大きいほど、設計通りのパターニングが出来る為、パターニング性に優れることが言える。このパターン精度を用いて、パターニング性を次の基準で判断した。

◎・・・パターン精度Tが、90%以上
○・・・パターン精度Tが、70%以上90%未満
△・・・パターン精度Tが、50%以上70%未満
×・・・パターン精度Tが、50%未満
<Patternability>
The peelable sheet was peeled off from the dry resist film with the base material, and vacuum-laminated on the copper surface of a copper-clad laminate (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd .: ESPANEX MC-18-25-00FRM). The vacuum lamination conditions were a heating temperature of 60 ° C., a vacuum time of 60 seconds, a vacuum ultimate pressure of 2 hPa, a pressure of 0.4 MPa, and a pressurization time of 60 seconds. 120 μm PET Mylar sheet from the transparent substrate side of the dry resist film / development after exposure so that the accumulated light amount is 500 mJ / cm 2 through a photomask in which circular black portions having a diameter of 0.1 mm are arranged at equal intervals on one surface The developing was carried out for 60 seconds under the following development conditions (1% Na 2 CO 3 aqueous solution having a liquid temperature of 30 ° C. and a spray pressure of 0.2 MPa).
After development, the plate was washed with water, dried in a box oven at 100 ° C. for 2 minutes, and then heat-cured (post-cure) for 1 hour in a hot air dryer at 160 ° C. to obtain a copper clad laminate with a cover coat layer having an opening. . Ten openings of the cover coat layer were observed with a scanning electron microscope (JSM-7800F manufactured by JEOL Ltd.), the diameter was measured, the average value was calculated, and evaluated as follows.

[Pattern accuracy T (%)]
= [Average value of diameter of opening] / [Black diameter of photomask] × 100

It can be said that the higher the pattern accuracy, the better the patterning because patterning can be performed as designed. Using this pattern accuracy, the patterning property was judged according to the following criteria.

◎ ・ ・ ・ Pattern accuracy T is 90% or more ○ ・ ・ ・ Pattern accuracy T is 70% or more and less than 90% Δ ・ ・ ・ Pattern accuracy T is 50% or more and less than 70% × ・ ・ ・ Pattern accuracy T is Less than 50%

表3、4の結果から、イオンマイグレーション耐性が向上されることで、電磁波シールドシートを貼り合わせた回路において接続信頼性が良化することが確認できた。   From the results of Tables 3 and 4, it was confirmed that the connection reliability was improved in the circuit in which the electromagnetic wave shield sheet was bonded by improving the ion migration resistance.

1 ポリイミドフィルム
2 カソード電極用櫛形信号配線
2’ カソード電極接続点
3 アノード電極用櫛形信号配線
3’ アノード電極接続点
4 カバーコート層
5 電磁波シールドシート
5a 絶縁層
5b 導電層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polyimide film 2 Comb signal wiring 2 'for cathode electrodes Cathode electrode connection point 3 Comb signal wiring 3' for anode electrodes Anode electrode connection point 4 Cover coat layer 5 Electromagnetic wave shielding sheet 5a Insulating layer 5b Conductive layer

Claims (9)

電磁波シールドシートと、ドライレジストフィルムから形成されてなるカバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備するプリント配線板用のドライレジストフィルムであって、
活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有し、
前記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+07〜1.0E+10Paであることを特徴とするドライレジストフィルム。
A dry resist film for a printed wiring board comprising an electromagnetic wave shielding sheet, a cover coat layer formed from a dry resist film, and a substrate having a signal wiring and an insulating substrate,
Having a resin layer formed from an active energy ray-curable resin composition containing an active energy ray-curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a black colorant;
The cured product of the resin layer has a storage elastic modulus at 85 ° C. of 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa.
波長450nm〜700nmの平均光線透過率が10%以下であり、波長300〜450nmの平均光線透過率が5%以上であることを特徴とする請求項1記載のドライレジストフィルム。   2. The dry resist film according to claim 1, wherein an average light transmittance at a wavelength of 450 nm to 700 nm is 10% or less, and an average light transmittance at a wavelength of 300 to 450 nm is 5% or more. 黒色系着色剤が、チタンブラックを含むことを特徴とする請求項1または2記載のドライレジストフィルム。   The dry resist film according to claim 1 or 2, wherein the black colorant contains titanium black. さらに疎水性シリカ微粒子を含有することを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載のドライレジストフィルム。   The dry resist film according to any one of claims 1 to 3, further comprising hydrophobic silica fine particles. 電磁波シールドシートと、請求項1〜4いずれか1項記載のドライレジストフィルムから形成されてなるカバーコート層と、信号配線および絶縁性基材を有する基板とを具備する、電磁波シールドシート付きプリント配線板。   Printed wiring with an electromagnetic wave shielding sheet, comprising: an electromagnetic wave shielding sheet; a cover coat layer formed from the dry resist film according to any one of claims 1 to 4; and a substrate having a signal wiring and an insulating substrate. Board. カバーコート層が、開口径0.05〜1mmの開口部を有する、請求項5記載の電磁波シールドシート付きプリント配線板。   The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet according to claim 5, wherein the cover coat layer has an opening having an opening diameter of 0.05 to 1 mm. 請求項5または6記載の電磁波シールドシート付きプリント配線板を備えた、電子機器。   An electronic device comprising the printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet according to claim 5. 絶縁性基材に信号配線を形成する工程、
信号配線上にドライレジストフィルムを積層する工程、
ドライレジストフィルムを露光し、現像後に熱硬化させて開口部を有するカバーコート層を形成する工程、
前記カバーコート層上に電磁波シールドシートを積層し、熱プレスする工程、
により製造する電磁波シールドシート付きプリント配線板の製造方法であって、
前記ドライフィルムが、活性エネルギー線硬化性樹脂と、活性エネルギー線重合開始剤と、黒色系着色剤とを含有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を有し、
前記樹脂層の硬化物は、85℃における貯蔵弾性率が1.0E+07〜1.0E+10Paである、電磁波シールドシート付きプリント配線板の製造方法。
Forming a signal wiring on an insulating substrate;
A process of laminating a dry resist film on the signal wiring;
A step of exposing a dry resist film and thermally curing after development to form a cover coat layer having an opening;
Laminating an electromagnetic wave shielding sheet on the cover coat layer, and hot pressing,
A method of manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet manufactured by:
The dry film has a resin layer formed from an active energy ray-curable resin composition containing an active energy ray-curable resin, an active energy ray polymerization initiator, and a black colorant,
The cured product of the resin layer is a method for producing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet, which has a storage elastic modulus at 85 ° C. of 1.0E + 07 to 1.0E + 10 Pa.
カバーコート層が、開口径0.05〜1mmの開口部を有する、請求項8記載の電磁波シールドシート付きプリント配線板の製造方法。
The method for producing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding sheet according to claim 8, wherein the cover coat layer has an opening having an opening diameter of 0.05 to 1 mm.
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