JP2020014013A - 太陽電池、太陽電池モジュール、及び太陽光発電システム - Google Patents
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Abstract
Description
該半導体基板の前記誘電体膜を部分的に除去する工程と、
前記誘電体膜が部分的に除去された領域に沿って電極を形成する工程と
を有する太陽電池の製造方法であって、
前記誘電体膜を部分的に除去する工程と前記電極を形成する工程を実施した後の半導体基板に対して、前記誘電体膜が部分的に除去された領域の位置と前記形成した電極の位置の相対的な位置関係を測定する工程を有し、
前記測定された位置関係に基づいて、新たに準備した少なくとも第一主表面に誘電体膜を有する半導体基板に対して、前記誘電体膜を部分的に除去する領域の位置を調整した後に前記誘電体膜を部分的に除去することを特徴とする太陽電池の製造方法を提供する。
前記ベース層は前記第一主表面上において長さと幅を有する線状の領域を有しており、該線状の領域は前記線状の領域の長さより短い直線状の領域を有しており、該直線状の領域は前記線状の領域の他の直線状の領域の延長上からずれた位置に配置されたものを含むものであることを特徴とする太陽電池を提供する。
前記第2の領域は前記第一主表面上において長さと幅を有する線状の領域を有しており、該線状の領域は前記線状の領域の長さより短い直線状の領域を有しており、該直線状の領域は前記線状の領域の他の直線状の領域の延長上からずれた位置に配置されたものを含むものであり、
前記第2の領域において前記電極が形成されていない領域の単位面積当たりの誘電体膜量が前記第1の領域の単位面積当たりの誘電体膜量の1/10以下であることを特徴とする太陽電池を提供する。
前記誘電体膜が部分的に除去された領域に沿って電極を形成する電極形成装置と、
前記電極形成装置で電極が形成された後の前記半導体基板の第一主表面を検査して、前記誘電体膜が部分的に除去された領域の位置と前記形成された電極の位置の相対的な位置関係のデータを取得する外観検査装置と、
前記取得したデータに基づいて、前記誘電体膜を部分的に除去する領域の位置を調整する補正値を決定し、該補正値を前記誘電体膜除去装置にフィードバックするデータ解析装置と
を有するものであることを特徴とする太陽電池の製造システムを提供する。
本発明の太陽電池の製造方法を用い太陽電池の作製を行った。まず、厚さ200μm、比抵抗1Ω・cmの、リンドープ{100}N型アズカットシリコン基板20枚を用意した。次に、熱濃水酸化カリウム水溶液により該シリコン基板のダメージ層を除去した。その後、72℃の水酸化カリウム/2−プロパノール水溶液中に浸漬しテクスチャ形成を行い、引き続き75℃に加熱した塩酸/過酸化水素混合溶液中で洗浄を行った。
実施例1で作製した第1サイクルの基板1枚を抜き取り、ベース層端とベース電極端間の距離(すなわち、ベース層端と電極端の間の隙間の量、図5における距離504、505に相当)の測定を行った。基板面内を6×7の42の領域に分割し、各領域で1点ずつ測定した。この際、同時に電極幅も測定した。電極がベース層からはみ出している箇所においては、次式を用いて、ベース層端とベース電極端間の距離の値を負数まで拡張して求めた。
(電極がベース層からはみ出している箇所におけるベース層端とベース電極端間の距離)
=(ベース層幅)−(電極端とベース層端間の距離)−(電極幅)
・・・式(1)
Claims (4)
- 半導体基板の第一主表面に拡散層を有し、該拡散層上に所定の膜厚の誘電体膜を有する第1の領域と前記所定の膜厚よりも薄い誘電体膜を備えているか又は前記誘電体膜を備えていない第2の領域を有しており、前記第2の領域の少なくとも一部に電極が配置されている太陽電池であって、
前記第2の領域は前記第一主表面上において長さと幅を有する線状の領域を有しており、該線状の領域は前記線状の領域の長さより短い直線状の領域を有しており、該直線状の領域は前記線状の領域の他の直線状の領域の延長上からずれた位置に配置されたものを含むものであり、
前記第2の領域において前記電極が形成されていない領域の単位面積当たりの誘電体膜量が前記第1の領域の単位面積当たりの誘電体膜量の1/10以下であり、
前記第1の領域は、前記第2の領域と該第2の領域に隣接する前記第1の領域の境界において、前記第1の領域側から凸となるくさび状の領域を有しており、前記くさび状の領域の底辺部の長さが1μm以上20μm以下であり、該くさび状の領域の頂部の角度が70°以上110°以下であることを特徴とする太陽電池。 - 前記第2の領域の幅は50μm以上250μm以下であり、前記電極の幅は30μm以上200μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。
- 請求項1又は請求項2に記載の太陽電池が内蔵されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
- 請求項3に記載の太陽電池モジュールを有することを特徴とする太陽光発電システム。
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