JP2020011509A - Method for selecting heat-conductive composite sheet for heat press bonding - Google Patents

Method for selecting heat-conductive composite sheet for heat press bonding Download PDF

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貴雄 宇野
Takao Uno
貴雄 宇野
米山 勉
Tsutomu Yoneyama
勉 米山
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Abstract

To provide a heat-conductive silicone rubber composite sheet for heat press bonding which controls curl at a very small level and is excellent in handleability even when a silicone rubber composition is laminated on only one surface of a heat-resistant resin film, and has such durability as to be hardly damaged even when bonding is repeatedly performed at the same portion, and a method for producing the same.SOLUTION: There is provided a heat-conductive composite sheet for heat bonding in which a silicone rubber layer formed of a cured product of a silicone rubber composition is laminated on one surface of a heat-resistant resin film, in which a thickness of the whole composite sheet is 100-400 μm, a thickness ratio represented by silicone rubber layer/heat-resistant resin film is 2-10, a thickness of the heat-resistant resin film is 20-50 μm, and a tensile elastic modulus in accordance with ASTM D-882 measurement method of the heat-resistant resin film is 4-20 GPa.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、熱圧着用熱伝導性複合シートに関し、特に、積層板やフレキシブル基板を形成する際の熱圧着用シート、或いは液晶ディスプレイ等の電極の接続に用いる異方性導電膜用熱圧着用シートとして好適な、熱伝導性の熱圧着用熱伝導性複合シート、及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a thermoconductive composite sheet for thermocompression bonding, and more particularly to a thermocompression bonding sheet for forming a laminated board or a flexible substrate, or for thermocompression bonding for an anisotropic conductive film used for connecting electrodes of a liquid crystal display or the like. The present invention relates to a thermally conductive heat conductive composite sheet for thermocompression bonding suitable as a sheet and a method for producing the same.

プレス成形機を用いて積層板やフレキシブルプリント基板を成形する際のシートや、液晶ディスプレイの電極端子部と駆動回路が搭載されたフレキシブルプリント基板の接続に用いる異方性導電膜を圧着機で熱圧着する際のシートとして、熱伝導性シートが用いられている。最近は、フレキシブルプリント基板や異方性導電膜の材質が高温形成タイプになり、さらに圧着サイクルを短縮して生産性を向上させるために成形温度が上昇しており、熱伝導性シートに対して、耐熱性と熱伝導性のみならず耐久性が要求されている。   A sheet for forming a laminated board or a flexible printed board using a press forming machine, or an anisotropic conductive film used to connect the electrode terminals of a liquid crystal display and a flexible printed board on which a drive circuit is mounted, are heated by a crimping machine. A heat conductive sheet is used as a sheet for pressure bonding. Recently, the materials of flexible printed circuit boards and anisotropic conductive films have become high-temperature forming types, and the molding temperature has been rising to shorten the pressure bonding cycle and improve productivity. In addition, heat resistance and thermal conductivity as well as durability are required.

このような熱伝導性シートとして、熱伝導性付与剤として水分を除いた揮発分が0.5質量%以下であるカーボンブラックを用いることにより、300℃以上で使用可能な耐熱性と熱伝導性を有するシリコーンゴムシート単体が提案されている(特許文献1:特許第4739009号公報)。   By using carbon black having a volatile content of 0.5% by mass or less as a thermal conductivity imparting agent as such a thermally conductive sheet, heat resistance and thermal conductivity usable at 300 ° C. or more can be obtained. Has been proposed (Patent Document 1: Japanese Patent No. 4739009).

また、カーボンブラックの他に金属ケイ素を熱伝導性付与剤として用いたシリコーンゴムシート単体も提案されている。ここでの目的は、液晶ディスプレイ等における狭ピッチのリード電極同士を、異方性導電膜を介して圧着させる際に使用する、高精度な熱圧着に好適な熱圧着用シリコーンゴムシートを提供することにある(特許文献2:特許第5058938号公報)。   Further, a silicone rubber sheet alone using metal silicon as a thermal conductivity imparting agent in addition to carbon black has been proposed. The object here is to provide a thermocompression-bonding silicone rubber sheet suitable for high-precision thermocompression bonding, which is used when press-fitting narrow-pitch lead electrodes in a liquid crystal display or the like via an anisotropic conductive film. (Patent Document 2: Japanese Patent No. 5058938).

これらの熱伝導性シリコーンゴムシート単体は、その目的を達成しているものの、さらなる生産性向上を目指すシートユーザーが、シートの交換回数の低減或いはシート破損によるラインの停止等を回避し、繰返し使用回数を増加させたいがため、使用環境がより過酷になってきている。   Although these thermal conductive silicone rubber sheets alone achieve their purpose, sheet users aiming to further improve productivity can reduce the number of sheet replacements or avoid line stoppage due to sheet breakage and use repeatedly. In order to increase the number of times, the use environment has become more severe.

そのためシリコーンゴム単体では、強度に限界があり複合化の検討が行われてきた。その手段としては、ガラスクロス或いは芳香族ポリイミドフィルムに代表される耐熱性樹脂フィルムとの複合化が公知である(特許文献3:特許第3902558号公報、特許文献4:特許第3041213号公報)。しかしながら、ガラスクロスとの複合化は、クロスの網目構造が狭ピッチによる高精度な熱圧着には不向きである。一方耐熱性樹脂フィルムとの複合化は、複合シート自体の伸びが10%以下と小さく、狭ピッチには対応可能である。しかし、片面だけにシリコーンゴム組成物を積層して加熱硬化させると、ガラスクロスもフィルムもシリコーンの熱収縮率よりも小さいために、シリコーンゴムを内側にして強くカールしてしまい、取扱い性が非常に悪くなるという欠点があった。また、ガラスクロスやフィルムの両面にシリコーンゴム組成物を積層して加熱硬化させる場合は、カールは抑制されるが、片面だけの積層に比べると、製造工程が長くなり生産性に劣ってしまう。   For this reason, silicone rubber alone has a limit in strength, and studies on compounding have been conducted. As a means therefor, it is known to form a composite with a heat-resistant resin film represented by a glass cloth or an aromatic polyimide film (Patent Document 3: Japanese Patent No. 3902558, Patent Document 4: Japanese Patent No. 30412113). However, compounding with a glass cloth is not suitable for high-precision thermocompression bonding with a narrow mesh structure of the cloth. On the other hand, when the composite sheet is combined with a heat-resistant resin film, the elongation of the composite sheet itself is as small as 10% or less, and it can be applied to a narrow pitch. However, if the silicone rubber composition is laminated on only one side and cured by heating, both the glass cloth and the film are smaller than the thermal shrinkage of silicone, so they curl strongly with the silicone rubber inside and handleability is very poor. Had the disadvantage of becoming worse. Further, when the silicone rubber composition is laminated on both sides of a glass cloth or a film and cured by heating, curling is suppressed, but the production process becomes longer and productivity is inferior to lamination on only one side.

一方、引張り方向の変形に強いポリテトラフルオロエチレン(PTFE)や芳香族ポリイミド等の耐熱性樹脂フィルムを単独で用いると、圧着時に圧着用ヒートツールから受ける圧力を吸収しきれずに、均一に圧着できない箇所が生じたり、圧着前に被圧着体に当たり、位置がずれてしまうので、目的とする場所とずれて圧着されてしまったりする場合があった。また、樹脂フィルムを単独で用いると、圧着後にフィルムに痕が残ってしまい、同じ箇所を繰返して使用することができない。フィルム自体の破損はしないが、耐久性には劣ると位置付けられる。   On the other hand, when a heat-resistant resin film such as polytetrafluoroethylene (PTFE) or aromatic polyimide that is resistant to deformation in the tensile direction is used alone, the pressure received from the heat tool for crimping at the time of crimping cannot be completely absorbed and uniform crimping cannot be performed. There is a case where a portion is generated or a contact with a body to be crimped occurs before the crimping, and the position is shifted. In addition, when the resin film is used alone, a mark remains on the film after the pressure bonding, and the same portion cannot be used repeatedly. Although the film itself is not damaged, it is considered to have poor durability.

特許第4739009号公報Japanese Patent No. 4739009 特許第5058938号公報Japanese Patent No. 5058938 特許第3902558号公報Japanese Patent No. 3902558 特許第3041213号公報Japanese Patent No. 3041213

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、耐熱性樹脂フィルムの片面だけにシリコーンゴム組成物を積層させても、カールが非常に小さく抑制され、取扱い性に優れ、かつ同一箇所で圧着を繰返し行っても非常に破損しにくい、耐久性を兼ね備えた熱圧着用熱伝導性シリコーンゴム複合シート、及びその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and even when a silicone rubber composition is laminated on only one side of a heat-resistant resin film, curling is suppressed to a very small level, handling is excellent, and pressure bonding is performed at the same location. An object of the present invention is to provide a thermally conductive silicone rubber composite sheet for thermocompression bonding, which is extremely resistant to breakage even when repeatedly performed and has durability.

本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、耐熱性樹脂フィルムの片面に、シリコーンゴム組成物の硬化物からなるシリコーンゴム層が積層された熱圧着用熱伝導性複合シートが、シート全体の厚さが100〜400μmであり、シリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルムの厚さ比が2〜10であり、前記耐熱性樹脂フィルムの厚さが20〜50μm、かつASTM D−882測定法に基づく引張弾性率が4〜20GPaである熱圧着用熱伝導性複合シートとすることで、耐熱性樹脂フィルムの片面だけにシリコーンゴム組成物を積層させても、カールが非常に小さく抑制され、耐久性を兼ね備えた熱圧着用熱伝導性シリコーンゴム複合シートが得られることを知見し、本発明をなすに至ったものである。   The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, a heat conductive composite for thermocompression bonding in which a silicone rubber layer made of a cured product of a silicone rubber composition is laminated on one surface of a heat resistant resin film. The sheet has a total thickness of 100 to 400 μm, a thickness ratio of the silicone rubber layer / heat-resistant resin film of 2 to 10, a thickness of the heat-resistant resin film of 20 to 50 μm, and ASTM D By making the heat-conductive composite sheet for thermocompression bonding having a tensile modulus of 4 to 20 GPa based on -882 measurement method, the curl is extremely high even when the silicone rubber composition is laminated on only one surface of the heat-resistant resin film. The present inventors have found that a thermally conductive silicone rubber composite sheet for thermocompression bonding that is small and suppressed and has durability can be obtained, and the present invention has been accomplished.

従って、本発明は下記の複合シート及びその製造方法を提供する。
[1] 耐熱性樹脂フィルムの片面に、シリコーンゴム組成物の硬化物からなるシリコーンゴム層が積層された熱圧着用熱伝導性複合シートであって、この複合シートのシート全体の厚さが100〜400μmであり、シリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルムで表される厚さ比が2〜10であり、前記耐熱性樹脂フィルムの厚さが20〜50μm、かつ前記耐熱性樹脂フィルムのASTM D−882測定法に基づく引張弾性率が4〜20GPaである熱圧着用熱伝導性複合シート。
[2].前記シリコーンゴム層が、
(A)下記平均組成式(I)で示される、平均重合度が100以上のオルガノポリシロキサン:100質量部、
1 aSiO(4-a)/2 (I)
(式中、R1は同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基であり、かつ1分子中の少なくとも2個は脂肪族不飽和基である。aは1.95〜2.05の正数である。)
(B)シリカ、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化チタン、カーボンブラック及び金属ケイ素から選らばれる1種以上の充填剤:10〜1,000質量部、
(C−1)白金系触媒:有効量、
(C−2)1分子中に少なくとも2個のケイ素原子に結合した水素原子を含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン:0.1〜20質量部
を含有するシリコーンゴム組成物の硬化物である[1]記載の熱圧着用熱伝導性複合シート。
[3].前記耐熱性樹脂フィルムが、芳香族ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリテトラフルオロエチレン及びテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体から選ばれる少なくとも1種からなり、かつ前記耐熱性樹脂フィルムの表面が、物理的処理又は化学的処理によって表面処理されている[1]又は[2]記載の熱圧着用熱伝導性複合シート。
[4].耐熱性樹脂フィルムの片面に、シリコーンゴム組成物の硬化物からなるシリコーンゴム層が積層された熱圧着用熱伝導性複合シートの製造方法であって、2本ロール又はカレンダーロール成形機により、シート状に成形したシリコーンゴム組成物を、直接耐熱性樹脂フィルムの上に積層させることで複合シートとして一体化させる工程、この一体化した複合シートを外部から張力をかけずに100〜160℃に加熱硬化させる工程を含む、[1]〜[3]のいずれかに記載の熱圧着用熱伝導性複合シートを製造する方法。
[5].耐熱性樹脂フィルムの片面に、シリコーンゴム組成物の硬化物からなるシリコーンゴム層が積層された熱圧着用熱伝導性複合シートの製造方法であって、耐熱性樹脂フィルム上に、溶剤で希釈した前記シリコーンゴム組成物希釈液を、溶剤が揮発した時の厚さが50〜380μmになるようにコーティングする工程、コーティング物を外部から張力をかけずに100〜160℃に加熱硬化させる工程を含む、[1]〜[3]のいずれかに記載の熱圧着用熱伝導性複合シートを製造する方法。
[6].前記シリコーンゴム組成物を希釈する溶剤がトルエン又はキシレンであり、その希釈量が、前記シリコーンゴム組成物を100質量部とした時に30〜500質量部であり、希釈液の粘度が25℃において3〜50Pa・sである[5]記載の熱圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。
Accordingly, the present invention provides the following composite sheet and a method for producing the same.
[1] A heat conductive composite sheet for thermocompression bonding in which a silicone rubber layer made of a cured product of a silicone rubber composition is laminated on one surface of a heat resistant resin film, and the total thickness of the composite sheet is 100. The thickness ratio of the silicone rubber layer / heat-resistant resin film is 2 to 10, the thickness of the heat-resistant resin film is 20 to 50 μm, and the ASTM D- A thermally conductive composite sheet for thermocompression bonding having a tensile modulus of 4 to 20 GPa based on a 882 measurement method.
[2]. The silicone rubber layer,
(A) an organopolysiloxane represented by the following average composition formula (I) and having an average degree of polymerization of 100 or more: 100 parts by mass;
R 1 a SiO (4-a) / 2 (I)
(In the formula, R 1 is the same or different unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group, and at least two in one molecule are an aliphatic unsaturated group. A is 1.95 to 2.05 It is a positive number.)
(B) one or more fillers selected from silica, zinc oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, titanium oxide, carbon black and metal silicon: 10 to 1,000 parts by mass;
(C-1) Platinum-based catalyst: effective amount,
(C-2) An organohydrogenpolysiloxane containing a hydrogen atom bonded to at least two silicon atoms in one molecule: a cured product of a silicone rubber composition containing 0.1 to 20 parts by mass [1] ] The heat conductive composite sheet for thermocompression bonding as described in [1].
[3]. The heat-resistant resin film is at least one selected from aromatic polyimide, polyamide, polyamide imide, polyether sulfone, polyether imide, polyethylene naphthalate, polytetrafluoroethylene, and tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer. The heat-conductive composite sheet for thermocompression bonding according to [1] or [2], wherein the heat-resistant resin film is made of a seed, and the surface of the heat-resistant resin film is surface-treated by physical treatment or chemical treatment.
[4]. A method for producing a thermoconductive composite sheet for thermocompression bonding in which a silicone rubber layer made of a cured product of a silicone rubber composition is laminated on one surface of a heat-resistant resin film, and the sheet is formed by a two-roll or calender roll forming machine. A step of integrating the silicone rubber composition formed into a shape into a composite sheet by directly laminating it on a heat-resistant resin film, and heating the integrated composite sheet to 100 to 160 ° C. without applying external tension. The method for producing a thermoconductive composite sheet for thermocompression bonding according to any one of [1] to [3], comprising a step of curing.
[5]. A method for producing a thermoconductive composite sheet for thermocompression bonding in which a silicone rubber layer made of a cured product of a silicone rubber composition is laminated on one side of a heat-resistant resin film, and the heat-resistant resin film is diluted with a solvent. A step of coating the silicone rubber composition diluent so that the thickness when the solvent is volatilized is 50 to 380 μm, and a step of heat-curing the coated material to 100 to 160 ° C. without applying external tension. , [1]-The method for producing a thermally conductive composite sheet for thermocompression bonding according to any one of [3].
[6]. The solvent for diluting the silicone rubber composition is toluene or xylene, the amount of dilution is 30 to 500 parts by mass when the silicone rubber composition is 100 parts by mass, and the viscosity of the diluent is 3 at 25 ° C. The method for producing a thermally conductive composite sheet for thermocompression bonding according to [5], wherein the thickness is from 50 to 50 Pa · s.

本発明の熱圧着用熱伝導性シリコーンゴム複合シートは、熱を伝えると共に均一に圧力をかけることができ、耐熱性樹脂フィルムの片面だけにシリコーンゴム組成物を積層させても、カールが非常に小さく抑制されているため、製造工程が煩雑にならずに製造が可能で、取扱い性に優れ、かつ同一箇所で圧着を繰返し行っても非常に破損しにくい、耐久性に優れた熱圧着用シートを提供し得る。   The heat-conductive silicone rubber composite sheet for thermocompression bonding of the present invention can transmit heat and apply pressure uniformly, and even when the silicone rubber composition is laminated on only one side of the heat-resistant resin film, the curl is extremely high. Because it is kept small, it can be manufactured without complicating the manufacturing process, is easy to handle, and is very hard to break even when repeatedly press-bonded at the same location, and has excellent durability for thermocompression bonding. Can be provided.

本発明の積層するシリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルム層の厚さ比は2〜10の範囲である熱圧着用熱伝導性複合シートの概略断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic sectional drawing of the heat conductive composite sheet for thermocompression bonding whose thickness ratio of the silicone rubber layer / heat-resistant resin film layer to laminate of this invention is in the range of 2-10. 図1と比較となる積層するシリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルム層の厚さ比が1に近い熱圧着用熱伝導性複合シートの概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a thermally conductive composite sheet for thermocompression bonding in which the thickness ratio of the laminated silicone rubber layer / heat resistant resin film layer is close to 1 as compared with FIG. 1. 図1と比較となる両面に同程度の厚さのシリコーンゴム層を積層した熱圧着用熱伝導性複合シートの概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a thermoconductive composite sheet for thermocompression bonding in which a silicone rubber layer having a thickness similar to that of FIG. 本発明の熱圧着用熱伝導性複合シートの製造方法の一例となる、カレンダー成形の模式図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram of calender molding which becomes an example of the manufacturing method of the heat conductive composite sheet for thermocompression bonding of this invention. 圧着耐久性試験の模式図である。It is a schematic diagram of a crimping durability test. 圧着耐久性試験に用いる、ACF試験片を上方向から見た概略図である。It is the schematic which looked at the ACF test piece used for crimping durability test from the upper direction. カールしない状態の熱圧着用熱伝導性複合シートである。It is a heat conductive composite sheet for thermocompression bonding in a non-curled state. 比較となるカールしている状態の熱圧着用熱伝導性複合シートである。It is a heat conductive composite sheet for thermocompression bonding in a curled state for comparison.

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の熱圧着用熱伝導性複合シートは、耐熱性樹脂フィルムの片面に、シリコーンゴム組成物の硬化物からなるシリコーンゴム層が積層された熱圧着用熱伝導性複合シートであって、この複合シートのシート全体の厚さが100〜400μmであり、シリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルムで表される厚さ比が2〜10であり、前記耐熱性樹脂フィルムの厚さが20〜50μm、かつASTM D−882測定法に基づく引張弾性率が4〜20GPaである熱圧着用熱伝導性複合シートである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The thermally conductive composite sheet for thermocompression bonding of the present invention is a thermoconductive composite sheet for thermocompression bonding in which a silicone rubber layer made of a cured product of a silicone rubber composition is laminated on one surface of a heat-resistant resin film. The thickness of the entire sheet of the composite sheet is 100 to 400 μm, the thickness ratio represented by the silicone rubber layer / heat-resistant resin film is 2 to 10, and the thickness of the heat-resistant resin film is 20 to 50 μm, Further, the thermal conductive composite sheet for thermocompression bonding has a tensile modulus of 4 to 20 GPa based on the ASTM D-882 measurement method.

[熱圧着用熱伝導性複合シート]
複合シート全体の厚さは100〜400μmの範囲であり、100〜300μmが好ましい。複合シート全体の厚さが400μmを超えると、カール抑制力が弱く、熱伝導性も不十分となる。幅は特に限定されないが、400〜1,200mmの範囲が好ましく、500〜1,100mmの範囲がより好ましい。
[Thermal conductive composite sheet for thermocompression bonding]
The thickness of the entire composite sheet is in the range of 100 to 400 μm, preferably 100 to 300 μm. When the thickness of the entire composite sheet exceeds 400 μm, the curl suppressing power is weak and the thermal conductivity is insufficient. The width is not particularly limited, but is preferably in the range of 400 to 1,200 mm, and more preferably in the range of 500 to 1,100 mm.

シートがカールしない状態とは、図7に示すように見た目は明らかであるが、その状態を本発明では次のように規定する。すなわち、成形したシリコーンゴム複合シートを300mm角に切り出し、シートを押さえつけたり裏面を糊付けしたりせずに、自然な状態で耐熱性樹脂フィルム層を下面/シリコーンゴム層を上面になるように水平面に置いた時に、シートが上側に反ることにより生じるシート端部と水平面との差が10mm以下であるものを、「カールなし」とした。カールする場合は、シリコーンゴム層を内側にして巻物状に丸まってしまう(図8)。   The state in which the sheet does not curl is apparent as shown in FIG. 7, but the state is defined in the present invention as follows. That is, the formed silicone rubber composite sheet is cut into a 300 mm square, and the heat-resistant resin film layer is naturally placed on the horizontal surface so that the lower surface / silicone rubber layer is on the upper surface without pressing the sheet or gluing the back surface. A sheet having a difference of 10 mm or less between a sheet edge and a horizontal plane caused by the sheet being warped upward when placed is defined as “no curl”. In the case of curling, the curl is rolled up with the silicone rubber layer inside (FIG. 8).

シリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルムで表される厚さ比が2〜10であり、2.5〜10が好ましい。複合シートは後述する成形方法により、100〜160℃に加熱硬化させる工程が含まれるが、シリコーンゴムと耐熱性樹脂フィルムとは熱収縮率が異なり、シリコーンゴムの方が大きいために収縮する力が働き、シリコーンゴム層を内側にして丸まろうとする。加熱硬化温度を低くすることで、これを抑制する傾向にあるが、積層するシリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルム層界面の接着性が低下する問題が生じてしまう。カールと複合シート界面の接着性は背反的であり、構造的にカールが発生しないように、耐熱性樹脂フィルム層の両面に同程度積層させる、或いは片面のみでも積層するシリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルム層を同程度にする、すなわち厚さ比が1に限りなく近くする、といった手法は公知である(図2,3)。しかし後述する特性を有する耐熱性樹脂フィルムを用いることで、この厚さ比は2〜10の範囲にすることができる(図1)。2未満では、シリコーンゴム層が薄く、圧着した時に被圧着物の段差を吸収しきれない、圧力が均一に伝わりにくい等、圧着用シートとしての機能を充分に満たさない場合がある。10を超えるとシリコーンゴム層が厚すぎて、シリコーンゴムが内側にカールしようとする力に対抗し切れない。   The thickness ratio represented by the silicone rubber layer / heat resistant resin film is 2 to 10, preferably 2.5 to 10. The composite sheet includes a step of heating and curing at 100 to 160 ° C. by a molding method described later. However, the heat shrinkage differs between the silicone rubber and the heat-resistant resin film, and the force of shrinkage is larger because the silicone rubber is larger. Works and tries to curl with the silicone rubber layer inside. Lowering the heat curing temperature tends to suppress this, but causes a problem that the adhesiveness at the interface between the laminated silicone rubber layer and the heat-resistant resin film layer is reduced. The adhesiveness between the curl and the composite sheet interface is reciprocal, so that the silicone rubber layer / heat-resistant resin is laminated on both sides of the heat-resistant resin film layer to the same extent or laminated on only one side so that the curl does not occur structurally. Techniques for making the film layers the same, that is, making the thickness ratio as close as possible to 1 are known (FIGS. 2 and 3). However, by using a heat-resistant resin film having the characteristics described below, this thickness ratio can be in the range of 2 to 10 (FIG. 1). If it is less than 2, the silicone rubber layer is too thin to be able to completely absorb the steps of the object to be crimped when pressure-bonded, and it is difficult to transmit the pressure uniformly. If it exceeds 10, the silicone rubber layer is too thick, and the silicone rubber cannot resist the force of curling inward.

[耐熱性樹脂フィルム]
耐熱性樹脂フィルムは、本発明の複合シートが、300℃付近或いはそれ以上の温度で使用されるため、高温において機械的強度及び離型性等に優れている必要がある。従って、耐熱性樹脂としては、ガラス転移点が200℃以上である、芳香族ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド(特に芳香族ポリアミド)、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド、ポリエチレンナフタレート等の樹脂フィルム、融点が300℃以上のポリテトラフルオロエチレン(PTFE)又はテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)等のフッ素樹脂フィルム等が利用できる。
[Heat-resistant resin film]
Since the composite sheet of the present invention is used at a temperature of about 300 ° C. or higher, the heat-resistant resin film needs to have excellent mechanical strength and releasability at high temperatures. Therefore, as the heat-resistant resin, resin films such as aromatic polyimide, polyamide imide, polyamide (particularly aromatic polyamide), polyether sulfone, polyether imide, and polyethylene naphthalate having a glass transition point of 200 ° C. or higher; Fluororesin films such as polytetrafluoroethylene (PTFE) or a tetrafluoroethylene / perfluoroalkylvinyl ether copolymer (PFA) having a melting point of 300 ° C. or higher can be used.

本発明で使用する耐熱性樹脂フィルムの厚さは20〜50μmの範囲であり、20〜40μmがより好ましい。厚さが薄すぎるとフィルム自体の機械的強度が小さいため、シート成形時或いは圧着シートとしての使用中に破断したりする。また、フィルム自体の取扱い性が悪く、シート成形時にシワがよってしまい、きれいに成形できなかったりすることがある。20μm未満だと、本発明のカールしない複合シートを得ることが非常に困難である。一方、50μmを超えると、カールにしにくい傾向になるものの、フィルムが厚いことで熱の伝わり方が悪くなり、熱圧着が不十分になったりするため、熱圧着用シートとしての機能が低下する。   The thickness of the heat-resistant resin film used in the present invention is in the range of 20 to 50 μm, more preferably 20 to 40 μm. If the thickness is too small, the mechanical strength of the film itself is low, so that the film breaks during sheet formation or during use as a pressure-bonded sheet. In addition, the handleability of the film itself is poor, and wrinkles may occur during sheet formation, which may make it impossible to form the sheet neatly. If it is less than 20 μm, it is very difficult to obtain the non-curled composite sheet of the present invention. On the other hand, if it exceeds 50 μm, although it tends to be hard to curl, the heat transfer becomes poor due to the thick film, and the thermocompression bonding becomes insufficient, so that the function as the thermocompression sheet is deteriorated.

また、耐熱性樹脂フィルムのASTM D−882測定法に基づく引張弾性率が4〜20GPaである。同じ厚さ、形状のシリコーンゴム複合シートを作製しても、引張弾性率が概ね4GPaを境に、小さい場合はカールしやすくなり、大きい場合は非常にカールしにくくなる。フィルムの引張弾性率が、熱収縮の大きいシリコーンゴムが内側にカールしようとする力に対抗し得るため、20μm以上の耐熱性樹脂フィルムにおいては、引張弾性率が4GPa以上必要となる。逆に20μm未満では、もっと大きな引張弾性率がないと、シリコーンゴムが内側にカールしようとする力に対抗し切れない。その対抗し得る力は概ね20GPaを超えるものとなるが、市販では20GPaを超える高弾性率のフィルムの入手は困難である。   Further, the tensile modulus of the heat-resistant resin film based on ASTM D-882 measurement method is 4 to 20 GPa. Even when a silicone rubber composite sheet having the same thickness and shape is produced, the curl becomes easier when the tensile elastic modulus is smaller than about 4 GPa, and the curl becomes very difficult when the tensile elastic modulus is larger. Since the tensile elasticity of the film can withstand the force of the silicone rubber having a large heat shrinkage to curl inward, a heat-resistant resin film having a thickness of 20 μm or more requires a tensile elasticity of 4 GPa or more. Conversely, below 20 μm, without a greater tensile modulus, the silicone rubber will not be able to resist the inward curling force. The opposing force generally exceeds 20 GPa, but it is difficult to obtain a film having a high elastic modulus exceeding 20 GPa on the market.

また、耐熱性樹脂フィルムの表面は、表面処理されていることが好ましい。表面処理されていることで、積層するシリコーンゴム界面との接着性が強固になりやすいので、同じ箇所で熱圧着を繰り返しても、該樹脂フィルムとシリコーンゴムとが界面から剥離しにくくなり、熱圧着用シートとして耐久性が向上することになる。表面処理の方法は、前記目的を達成し得るならば、特に限定されないが、物理的処理方法として、プラズマ処理、コロナ処理等が、化学的処理方法として、プライマー処理、薬品処理等が挙げられる。なお、ここでの接着性とは、具体的な接着強度の数値目標は設定せず、コーティングされた層が指で擦って剥がれたり、圧着時に破壊したりしないことを示す。表面処理されていない場合は、複合シート製造時にフィルム/ゴム界面の接着強度を向上させるための手法を導入する必要があり、工程が煩雑になるので好ましくない。   Further, the surface of the heat-resistant resin film is preferably surface-treated. Because of the surface treatment, the adhesiveness with the interface of the silicone rubber to be laminated tends to be strong, so that even if the thermocompression bonding is repeated at the same location, the resin film and the silicone rubber are hardly peeled off from the interface, and the heat is reduced. The durability is improved as a sheet for pressure bonding. The surface treatment method is not particularly limited as long as the above object can be achieved. Examples of the physical treatment method include plasma treatment and corona treatment, and chemical treatment methods include primer treatment and chemical treatment. Here, the term “adhesiveness” means that a specific numerical value of the adhesive strength is not set, and that the coated layer does not peel off by rubbing with a finger or break during crimping. If surface treatment is not performed, it is necessary to introduce a technique for improving the adhesive strength at the film / rubber interface during the production of the composite sheet, which is not preferable because the process becomes complicated.

これらの市販品としては、芳香族ポリイミドとして市販されているカプトン(東レデュポン(株)製)、アピカル((株)カネカ製)、ユーピレックス(宇部興産(株)製)、芳香族ポリアミドとして市販されているアラミカ(旭化成(株)製)、フッ素樹脂として市販されているテフロン(登録商標、デュポン製)、ニトフロン(日東電工(株)製)等がある。また、引張弾性率が4GPa以上を満足する市販品としては、カプトンENタイプ(100EN、150EN、200EN等)がある。ただし市販品は一般的に非表面処理タイプなので、表面処理タイプを用いることが好ましく、比較的容易に入手することができる。   These commercial products include Kapton (manufactured by Toray Dupont), Apical (manufactured by Kaneka Corporation), Upilex (manufactured by Ube Industries, Ltd.), and aromatic polyamide, which are commercially available as aromatic polyimides. Aramika (made by Asahi Kasei Corporation), Teflon (registered trademark, made by DuPont) commercially available as a fluororesin, and Nitoflon (made by Nitto Denko Corporation). As a commercially available product having a tensile modulus of 4 GPa or more, there is a Kapton EN type (100 EN, 150 EN, 200 EN, etc.). However, since commercially available products are generally non-surface-treated types, it is preferable to use surface-treated types, and they can be obtained relatively easily.

さらに、カーボンブラックを配合することにより電気伝導性を付与した耐熱性樹脂フィルムを使用したり、或いは酸化アルミニウムや酸化マグネシウム等の熱伝導性粉末を配合することにより熱伝導性を付与した耐熱性樹脂フィルムを利用したりすることもできる。熱伝導性を付与した耐熱性樹脂フィルムとしては、カプトンMT(商品名、東レデュポン(株)製)が市販されている。   In addition, a heat-resistant resin film that has been given thermal conductivity by adding carbon black, or a heat-resistant resin that has been given thermal conductivity by adding a thermally conductive powder such as aluminum oxide or magnesium oxide. Films can also be used. As a heat-resistant resin film provided with thermal conductivity, Kapton MT (trade name, manufactured by Toray Dupont Co., Ltd.) is commercially available.

[シリコーンゴム層]
耐熱性樹脂フィルムに積層するシリコーン層は、
(A)下記平均組成式(I)で示される、平均重合度が100以上のオルガノポリシロキサン:100質量部、
1 aSiO(4-a)/2 (I)
(式中、R1は同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基であり、かつ1分子中の少なくとも2個は脂肪族不飽和基である。aは1.95〜2.05の正数である。)
(B)シリカ、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化チタン、カーボンブラック及び金属ケイ素から選らばれる1種以上の充填剤:10〜1,000質量部、
(C−1)白金系触媒:有効量、
(C−2)1分子中に少なくとも2個のケイ素原子に結合した水素原子を含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン:0.1〜20質量部
を含有するシリコーンゴム組成物の硬化物であることが好ましい。
[Silicone rubber layer]
The silicone layer laminated on the heat-resistant resin film is
(A) an organopolysiloxane represented by the following average composition formula (I) and having an average degree of polymerization of 100 or more: 100 parts by mass;
R 1 a SiO (4-a) / 2 (I)
(In the formula, R 1 is the same or different unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group, and at least two in one molecule are an aliphatic unsaturated group. A is 1.95 to 2.05 It is a positive number.)
(B) one or more fillers selected from silica, zinc oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, titanium oxide, carbon black and metallic silicon: 10 to 1,000 parts by mass;
(C-1) Platinum-based catalyst: effective amount,
(C-2) An organohydrogenpolysiloxane containing at least two hydrogen atoms bonded to at least two silicon atoms in one molecule: a cured product of a silicone rubber composition containing 0.1 to 20 parts by mass. preferable.

(A)成分のオルガノポリシロキサンは、1種単独でも、粘度や平均重合度や組成が異なる2種以上を組み合わせても使用することができる。
本発明におけるオルガノポリシロキサンとしては、平均重合度100以上のビニル基を2個以上有するジオルガノポリシロキサンが好ましく、平均組成式(I)において、R1は同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基を表し、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基或いはこれらの水素原子が部分的に塩素原子、フッ素原子等で置換されたハロゲン化炭化水素基等が例示される。R1の0.001〜5モル%、特に0.01〜1モル%がアルケニル基であることが好ましい。
The organopolysiloxane of the component (A) may be used alone or in combination of two or more having different viscosities, average polymerization degrees and compositions.
As the organopolysiloxane in the present invention, a diorganopolysiloxane having two or more vinyl groups having an average degree of polymerization of 100 or more is preferable. In the average composition formula (I), R 1 is the same or different and is unsubstituted or substituted monovalent. Represents a hydrocarbon group, specifically, methyl group, ethyl group, alkyl group such as propyl group, cyclopentyl group, cycloalkyl group such as cyclohexyl group, vinyl group, alkenyl group such as allyl group, phenyl group, An aryl group such as a tolyl group or a halogenated hydrocarbon group in which these hydrogen atoms are partially substituted with a chlorine atom, a fluorine atom or the like is exemplified. It is preferred that 0.001 to 5 mol%, particularly 0.01 to 1 mol% of R 1 is an alkenyl group.

一般的には、オルガノポリシロキサンの主鎖が、ジメチルポリシロキサン単位からなるもの又はこのオルガノポリシロキサンの主鎖にビニル基、フェニル基、トリフルオロプロピル基等を導入したものが好ましい。また、分子鎖末端はトリオルガノシリル基又は水酸基で封鎖されたものであればよい。トリオルガノシリル基としては、トリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基等が例示される。平均重合度は100以上であり、好ましくは200〜6,000、さらに好ましくは1,000〜6,000である。平均重合度が100未満の場合、硬化後の機械的強度が劣り、脆くなる。なお、平均重合度はゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によるポリスチレン換算値である。   Generally, it is preferable that the main chain of the organopolysiloxane is composed of dimethylpolysiloxane units or that the main chain of the organopolysiloxane has a vinyl group, a phenyl group, a trifluoropropyl group or the like introduced. In addition, the terminal of the molecular chain only needs to be blocked with a triorganosilyl group or a hydroxyl group. Examples of the triorganosilyl group include a trimethylsilyl group, a dimethylvinylsilyl group, and a trivinylsilyl group. The average degree of polymerization is 100 or more, preferably 200 to 6,000, and more preferably 1,000 to 6,000. When the average degree of polymerization is less than 100, the mechanical strength after curing is inferior and becomes brittle. The average degree of polymerization is a value in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

(B)成分は、補強性或いは熱伝導性付与を目的として添加される。特にシリカは、他の合成ゴムに比べて非常に強度が弱いオルガノポリシロキサンに添加することによって、機械的強度を向上させることができる。シリカはBET法比表面積が50m2/g以上が好ましく、100〜400m2/gがより好ましい。煙霧質シリカ(乾式シリカ)、沈降シリカ(湿式シリカ)等が例示され、特に不純物の少ない煙霧質シリカ(乾式シリカ)が好ましい。また、シリカ表面をオルガノポリシロキサン、オルガノシラン、クロロシラン、アルコキシシラン等で疎水化処理を行なってもよい。市販品としては、アエロジル200、アエロジル300、アエロジルR972(いずれも日本アエロジル(株)製)等が例示される。また、必ずしも非晶性シリカである必要はなく、石英等の結晶性シリカを添加してもよい。市販品としては、クリスタライトVX−S、クリスタライト5X(いずれも(株)龍森製)等が例示される。このシリカの添加量は特に制限されるものではないが、オルガノポリシロキサン100質量部に対して、5〜300質量部が好ましく、さらに好ましくは10〜250質量部である。5質量部未満では充分な補強効果が得られないおそれがあり、300質量部より多くすると成形加工性が悪くなる場合がある。 The component (B) is added for the purpose of imparting reinforcement or thermal conductivity. In particular, the mechanical strength of silica can be improved by adding silica to an organopolysiloxane, which has extremely low strength as compared with other synthetic rubbers. Silica BET specific surface area of preferably 50 m 2 / g or more, 100 to 400 m 2 / g is more preferable. Examples include fumed silica (dry silica), precipitated silica (wet silica), and the like, and fumed silica (dry silica) containing less impurities is particularly preferable. Further, the silica surface may be subjected to a hydrophobic treatment with an organopolysiloxane, organosilane, chlorosilane, alkoxysilane, or the like. Examples of commercially available products include Aerosil 200, Aerosil 300, and Aerosil R972 (all manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.). It is not necessary to use amorphous silica, and crystalline silica such as quartz may be added. Examples of commercially available products include Crystallite VX-S and Crystallite 5X (both manufactured by Tatsumori Corporation). The amount of silica added is not particularly limited, but is preferably from 5 to 300 parts by mass, more preferably from 10 to 250 parts by mass, per 100 parts by mass of the organopolysiloxane. If the amount is less than 5 parts by mass, a sufficient reinforcing effect may not be obtained. If the amount is more than 300 parts by mass, moldability may be deteriorated.

また、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化チタン、カーボンブラック、金属ケイ素は、熱伝導性付与を目的として添加される。酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化チタン、カーボンブラック、金属ケイ素の添加は、(A)成分のオルガノポリシロキサンに添加してコンパウンド或いはマスターバッチにしてもよいし、粉状のまま直接シリコーンゴム組成物に添加してもよい。平均粒径は1〜50μmが好ましく、1〜30μmがより好ましい。平均粒径が50μmを超えるとシートの平滑性が損なわれ、熱圧着に均一に圧力を伝達できなくなるおそれがある。1μm未満では、添加後のゴム組成物の粘度或いは可塑度が上昇しやすく、成形加工性が悪くなる場合がある。なお、平均粒径はレーザー光回折法による粒度分布測定における質量平均値D50として測定した値である。   Zinc oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, titanium oxide, carbon black, and metallic silicon are added for the purpose of imparting thermal conductivity. Zinc oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, titanium oxide, carbon black, and metal silicon may be added to the organopolysiloxane of the component (A) to form a compound or a master batch, or a silicone rubber directly in powder form It may be added to the composition. The average particle size is preferably from 1 to 50 μm, more preferably from 1 to 30 μm. If the average particle size exceeds 50 μm, the smoothness of the sheet may be impaired, and pressure may not be transmitted uniformly to thermocompression bonding. If it is less than 1 μm, the viscosity or plasticity of the rubber composition after addition tends to increase, and the moldability may deteriorate. The average particle size is a value measured as a mass average value D50 in the particle size distribution measurement by the laser light diffraction method.

充填剤の市販品として、導電性亜鉛華(本荘ケミカル(株)製酸化亜鉛)、AL−24(昭和電工(株)製酸化アルミニウム)、LS−210BS(日本軽金属(株)製酸化アルミニウム)、AX10−32R((株)マイクロン製酸化アルミニウム)、クリスタライトVXS(前出、(株)龍森製結晶性シリカ)、MSRシリーズ((株)龍森製シリカ)、P−25(日本アエロジル(株)製酸化チタン)、タイペークR−820(石原産業(株)製酸化チタン)、デンカブラック(デンカ(株)製アセチレンブラック)、ケッチェンブラック(ライオンスペシャリティケミカルズ(株)製カーボンブラック)、メタシリシリーズ(キンセイマテック(株)製金属ケイ素)等が例示される。   As commercially available fillers, conductive zinc white (Zinc oxide manufactured by Honjo Chemical Co., Ltd.), AL-24 (aluminum oxide manufactured by Showa Denko KK), LS-210BS (aluminum oxide manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd.), AX10-32R (Aluminum oxide manufactured by Micron Corporation), Crystallite VXS (described above, crystalline silica manufactured by Tatsumori Corporation), MSR series (Silica manufactured by Tatsumori Corporation), P-25 (Nippon Aerosil ( Titape R-820 (Titanium oxide manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.), Denka Black (Acetylene Black manufactured by Denka Co., Ltd.), Ketjen Black (Carbon Black manufactured by Lion Specialty Chemicals Co., Ltd.), Meta Siri series (metal silicon manufactured by Kinsei Matech Co., Ltd.) and the like are exemplified.

カーボンブラックは、一般的に製法別に分類するとファーネス法、チャンネル法、サーマル法(アセチレンブラック法を含む)等に分けられる。ファーネス法とは、クレオソート油等を耐火室内で、適当な乱流拡散のもとに囲まれた空間における部分燃焼を行った後、飛沫を水冷する方法で、この方法により製造されたカーボンをファーネスブラックといい、チャンネル法とは、拡散炎を囲まれない空間で部分燃焼させて、冷たい面(チャンネル板)に衝突させる製法で、この方法により製造されたカーボンをチャンネルブラックと呼び、サーマル法とは、耐火レンガのチェッカー構築物を十分加熱しておき、ここに原料を熱分解する方法又はこれに類似の方法における製法で、この方法により製造されたカーボンをサーマルブラックといい、特にサーマル法のなかでアセチレンの囲まれた空間における発熱分解による製造方法によりつくられたカーボンをアセチレンブラックと呼ぶ。このようにカーボンブラックを製造するにあたり、アセチレンガスを燃焼させて製造するアセチレンブラックを除くカーボンブラックは、石油由来で原料を燃焼させて製造することから、結果的に、不純物として硫黄が含まれてしまうことが多い。その含有量は、例えばFEF(Fast Extruding Furnace)級カーボンでは、0.5質量%くらいのレベルである。この不純物が、特に付加架橋反応の硬化阻害の原因となるのは公知であり、そのためカーボンブラックとしては、アセチレンブラックが好んで使用される。   Generally, carbon black is classified into a furnace method, a channel method, a thermal method (including an acetylene black method) and the like when classified according to a production method. The furnace method is a method in which creosote oil or the like is partially burned in a refractory room in a space surrounded by appropriate turbulent diffusion, and then water droplets are cooled, and carbon produced by this method is used. It is called furnace black, and the channel method is a method in which a diffusion flame is partially burned in an unenclosed space and collides with a cold surface (channel plate). The carbon produced by this method is called channel black, and the thermal method Is a method in which a checker construction of refractory brick is sufficiently heated and the raw material is thermally decomposed or a method similar thereto, and the carbon produced by this method is referred to as thermal black, and particularly in the thermal method. Among them, carbon produced by a production method by exothermic decomposition in a space surrounded by acetylene is called acetylene black. In producing carbon black in this way, carbon black except acetylene black produced by burning acetylene gas is produced by burning raw materials derived from petroleum, and as a result, sulfur is contained as an impurity. It often happens. The content thereof is, for example, about 0.5% by mass in the case of FEF (Fast Extruding Furnace) grade carbon. It is known that this impurity causes the curing inhibition of the addition crosslinking reaction, and acetylene black is preferably used as carbon black.

(B)成分の全添加量は、(A)成分のオルガノポリシロキサン100質量部に対して、10〜1,000質量部であり、より好ましくは15〜800質量部、さらに好ましくは20〜600質量部である。10質量部未満では、熱伝導性付与やシート表面のタック感の低減に対して充分な効果が得られないおそれがあり、1,000質量部より多くすると成形加工性が悪くなる場合がある。   The total addition amount of the component (B) is 10 to 1,000 parts by mass, more preferably 15 to 800 parts by mass, and still more preferably 20 to 600 parts by mass, per 100 parts by mass of the organopolysiloxane of the component (A). Parts by weight. If the amount is less than 10 parts by mass, sufficient effects may not be obtained for imparting thermal conductivity or reducing the tackiness of the sheet surface, and when the amount is more than 1,000 parts by mass, moldability may be deteriorated.

(C)成分の硬化剤は、ヒドロシリル化反応による付加反応硬化剤である。付加反応硬化剤としては、(C−1)白金系触媒及び(C−2)1分子中に少なくとも2個のケイ素原子に結合した水素原子を含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンからなる、ヒドロシリル化反応によって硬化させることのできる組み合わせが用いられる。   The curing agent of the component (C) is an addition reaction curing agent by a hydrosilylation reaction. Examples of the addition reaction curing agent include a hydrosilylation reaction comprising (C-1) a platinum catalyst and (C-2) an organohydrogenpolysiloxane containing at least two hydrogen atoms bonded to one silicon atom in one molecule. The combination which can be hardened by is used.

これらの添加量は、通常のシリコーンゴムの場合と同様に有効量とすればよいが、(A)成分の少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン100質量部に対して、(C−1)成分は1〜2,000ppmとなる量が好ましく、1〜100ppmとなる量がより好ましい。なお、白金系触媒をさらに難燃性付与のために用いる場合は、多く配合してもよい。また、(C−2)成分の量は0.1〜20質量部であるが、SiH基の量が、(A)成分のアルケニル基の量に対して、0.5〜5モル%となる量が好ましく、0.5〜2モル%となる量がより好ましい。   The addition amount of these may be an effective amount as in the case of ordinary silicone rubber, but (C-1) is based on 100 parts by mass of the organopolysiloxane having at least two alkenyl groups of the component (A). The amount of the component) is preferably 1 to 2,000 ppm, more preferably 1 to 100 ppm. When a platinum-based catalyst is further used for imparting flame retardancy, a large amount may be blended. The amount of the component (C-2) is 0.1 to 20 parts by mass, but the amount of the SiH group is 0.5 to 5 mol% based on the amount of the alkenyl group of the component (A). The amount is preferably, and more preferably 0.5 to 2 mol%.

本発明においては、このシリコーンゴム組成物に酸化セリウム粉末或いは酸化鉄粉末を添加することにより、さらに耐熱性を向上させることができる。この添加量は(A)成分100質量部に対して、0.1〜5質量部の範囲が好ましい。5質量部を超えて添加しても、添加量に応じて耐熱性は向上しない。   In the present invention, heat resistance can be further improved by adding cerium oxide powder or iron oxide powder to the silicone rubber composition. The addition amount is preferably in the range of 0.1 to 5 parts by mass based on 100 parts by mass of the component (A). Even if it exceeds 5 parts by mass, the heat resistance does not improve according to the amount added.

本発明で使用されるシリコーンゴム組成物には、必要に応じてクレイ、炭酸カルシウム、珪藻土等の充填材、低分子シロキサンエステル、シラノール基含有低分子シロキサン等の分散剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等の接着付与剤、ゴムコンパウンドのグリーン強度を上げるテトラフルオロポリエチレン粒子等を添加してもよい。分散剤を配合する場合は、(A)成分100質量部に対して0.1〜10質量部が好ましい。なお、本発明に用いるシリコーンゴム組成物の配合は、上記成分を2本ロール、ニーダー、バンバリーミキサー、プラネタリーミキサー等の混合機を用いて混練りすればよい。硬化剤は使用する直前に添加することが好ましいが、シリコーンゴム組成物を溶剤に分散させる場合は、少なくとも溶剤分散を行なう前に添加するのが好ましい。   In the silicone rubber composition used in the present invention, if necessary, fillers such as clay, calcium carbonate, diatomaceous earth, low molecular siloxane esters, dispersants such as low molecular siloxanes containing silanol groups, silane coupling agents, titanium An adhesion imparting agent such as a coupling agent, tetrafluoropolyethylene particles for increasing the green strength of the rubber compound, and the like may be added. When a dispersant is blended, the amount is preferably 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A). The silicone rubber composition used in the present invention may be kneaded using a two-roller, a kneader, a Banbury mixer, a planetary mixer, or another mixer. The curing agent is preferably added immediately before use, but when the silicone rubber composition is dispersed in a solvent, it is preferably added at least before the dispersion of the solvent.

[複合シートの製造方法]
複合シートの成形方法によって、成形しやすい厚さの範囲がある。成形方法には、(1)硬化剤までを配合したシリコーンゴム組成物を2本ロール、カレンダー又は押出し機で所定の厚さに分出ししてから加熱硬化させる方法、(2)液状のシリコーンゴム組成物又はトルエン、キシレン等の有機溶剤に溶解して液状化したシリコーンゴム組成物を、キャリアフィルム上にコーティングしてから硬化させる方法等が挙げられる。
[Method of manufacturing composite sheet]
Depending on the method of forming the composite sheet, there is a range of thickness that can be easily formed. The molding method includes (1) a method of dispensing a silicone rubber composition containing a curing agent into a predetermined thickness with a two-roll, calender, or extruder, followed by heat curing, and (2) a liquid silicone rubber. A method of coating the composition or a silicone rubber composition dissolved in an organic solvent such as toluene or xylene and liquefied on a carrier film and then curing the composition is mentioned.

積層させるシリコーンゴム組成物を加熱硬化させる時に100〜160℃で行うことが必要である。複合シートの成形温度はカール抑制のためには、より低温で成形するのが好ましいが、製造された該複合シートのシリコーンゴム層と耐熱性樹脂フィルムとの接着性はより高温で成形するほど強固になる傾向にある。シリコーンゴム層とフィルムとの接着性が強固であるほど、繰返して使用する回数、すなわち耐久性が向上する傾向にある。   When the silicone rubber composition to be laminated is cured by heating, it is necessary to carry out the curing at 100 to 160 ° C. The molding temperature of the composite sheet is preferably formed at a lower temperature in order to suppress curling, but the adhesion between the silicone rubber layer and the heat-resistant resin film of the produced composite sheet is stronger as the molding is performed at a higher temperature. Tends to be. As the adhesiveness between the silicone rubber layer and the film becomes stronger, the number of times of repeated use, that is, the durability tends to be improved.

(1)2本ロール又はカレンダーロール成形機により、シート状に成形したシリコーンゴム組成物を、直接耐熱性樹脂フィルムの上に積層させることで複合シートとして一体化させる工程、この一体化した複合シートを外部から張力をかけずに100〜160℃に加熱硬化させる工程を含む熱圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。さらに、硬化して得られた複合シートを直接巻き取りロール状にする工程を含んでもよい。 (1) A step of integrating a silicone rubber composition formed into a sheet into a composite sheet by directly laminating the silicone rubber composition on a heat-resistant resin film using a two-roll or calender roll molding machine. A method for producing a thermally conductive composite sheet for thermocompression bonding, comprising a step of heating and curing at 100 to 160 ° C. without applying tension from the outside. Further, the method may include a step of directly forming the cured composite sheet into a take-up roll.

シリコーンゴム組成物をカレンダー成形する方法の一例を、図4を用いて説明する。本発明では耐熱性樹脂フィルムが、直接キャリアフィルムの役割も担う。あらかじめ硬化剤まで配合したシリコーンゴム組成物を準備する。カレンダーロール装置11内には、第1〜5ロールが配置されており、カレンダーロールによりシリコーンゴム組成物12が所定の厚さに分出しされる。第3ロール13と第4ロール14の間から、耐熱性樹脂フィルム15を通し、直接シリコーンゴム組成物を該フィルム上に積層し、一体化させる。続いて、得られた積層物16を加硫装置17中で、張力をかけずに100〜160℃、好適には110〜150℃で5〜30分間、好適には10〜20分間、加熱硬化することにより、複合シート18を得ることができる。得られる複合シート18全体の厚さは100〜400μmの範囲で製造可能だが、120〜380μmの厚さ範囲の製造がより好適である。複合シート18は、巻取装置19でロール状にされる。   An example of a method of calendering the silicone rubber composition will be described with reference to FIG. In the present invention, the heat-resistant resin film also directly serves as a carrier film. A silicone rubber composition in which a curing agent has been previously compounded is prepared. First to fifth rolls are arranged in the calender roll device 11, and the silicone rubber composition 12 is dispensed to a predetermined thickness by the calender roll. The silicone rubber composition is directly laminated on the heat-resistant resin film 15 from between the third roll 13 and the fourth roll 14 and integrated therewith. Subsequently, the obtained laminate 16 is heated and cured in a vulcanizer 17 at 100 to 160 ° C., preferably 110 to 150 ° C. for 5 to 30 minutes, preferably 10 to 20 minutes without applying tension. By doing so, the composite sheet 18 can be obtained. Although the total thickness of the obtained composite sheet 18 can be produced in the range of 100 to 400 μm, production in the thickness range of 120 to 380 μm is more preferable. The composite sheet 18 is rolled by a winding device 19.

(2)耐熱性樹脂フィルム上に、液状のシリコーンゴム組成物又は溶剤で希釈した前記シリコーンゴム組成物希釈液を、溶剤が揮発した時の厚さが50〜380μmになるようにコーティングする工程、コーティング物を外部から張力をかけずに100〜160℃に加熱硬化させる工程を含む熱圧着用熱伝導性複合シートの製造方法。さらに、硬化して得られた複合シートを直接巻き取りロール状にする工程を含んでもよい。 (2) coating the heat-resistant resin film with the liquid silicone rubber composition or the diluted silicone rubber composition diluted with a solvent so that the thickness when the solvent is volatilized becomes 50 to 380 μm; A method for producing a thermally conductive composite sheet for thermocompression bonding, comprising a step of heating and curing a coating at 100 to 160 ° C. without applying tension from the outside. Further, the method may include a step of directly forming the cured composite sheet into a take-up roll.

液状のシリコーンゴム組成物又は有機溶剤に溶解させて液状化したシリコーン組成物溶液を、耐熱性樹脂フィルムにコーティングさせる方法には、ブレードコーター、ナイフコーター、リバースロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等が挙げられるが、ブレードコーター、ナイフコーター等が好ましい。溶剤としては、オルガノポリシロキサンを溶解させる有機溶媒であれば特に限定されないが、トルエン又はキシレンが好ましい。その希釈量はシリコーンゴム組成物を100質量部としたときに30〜500質量部の範囲が好ましく、50〜500質量部がより好ましい。   A method of coating a liquid silicone rubber composition or a silicone composition solution liquefied by dissolving in an organic solvent onto a heat-resistant resin film includes a blade coater, a knife coater, a reverse roll coater, a gravure coater, a spray coater, and the like. However, a blade coater and a knife coater are preferred. The solvent is not particularly limited as long as it is an organic solvent capable of dissolving the organopolysiloxane, but toluene or xylene is preferable. The dilution amount is preferably in the range of 30 to 500 parts by mass, and more preferably 50 to 500 parts by mass, when the silicone rubber composition is 100 parts by mass.

濃度を決める要因は溶液の粘度であり、その粘度範囲はコーティング装置に依存する。粘度範囲を決定する要因は、積層させたときのシリコーン層(=塗膜)の厚さである。例えば、コンマコーター((株)ヒラノテクシード製)でコーティングを行なう時に3〜50Pa・sに調整した場合、10〜200μmの範囲で塗膜の厚さを管理できる。従って、シリコーンゴム組成物を有機溶媒希釈する場合も、溶液の粘度は、回転粘度計で測定した25℃の粘度を3〜50Pa・sとすることが好ましい。このように、シリコーンゴム組成物を塗工した後は、塗膜を乾燥し、100〜160℃、好適には110〜150℃、5〜30分間、好適には10〜20分間加熱硬化することにより、複合シートを得ることができる。得られる複合シート全体の厚さは100〜400μmの範囲で製造可能だが、100〜200μmの厚さ範囲の製造がより好適である。   The factor that determines the concentration is the viscosity of the solution, and its viscosity range depends on the coating equipment. The factor that determines the viscosity range is the thickness of the silicone layer (= coating) when laminated. For example, when adjusting to 3 to 50 Pa · s when coating with a comma coater (manufactured by Hirano Techseed Co., Ltd.), the thickness of the coating film can be controlled in the range of 10 to 200 μm. Therefore, even when the silicone rubber composition is diluted with an organic solvent, the viscosity of the solution is preferably 3 to 50 Pa · s at 25 ° C. measured by a rotational viscometer. Thus, after applying the silicone rubber composition, the coating film is dried and heat-cured at 100 to 160 ° C., preferably 110 to 150 ° C. for 5 to 30 minutes, preferably 10 to 20 minutes. Thus, a composite sheet can be obtained. Although the total thickness of the obtained composite sheet can be manufactured in the range of 100 to 400 μm, the manufacture in the thickness range of 100 to 200 μm is more preferable.

以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.

[シリコーンゴムコンパウンドの製造]
ジメチルシロキサン単位((CH32SiO2/2)99.825モル%、メチルビニルシロキサン単位((CH2=CH)(CH3)SiO2/2)0.15モル%、ジメチルビニルシロキシ単位((CH2=CH)(CH3)SiO1/2)0.025モル%からなり、平均重合度が約6,000であるオルガノポリシロキサン、及びジメチルシロキサン単位((CH32SiO2/2)99.675モル%、メチルビニルシロキサン単位((CH2=CH)(CH3)SiO2/2)0.30モル%、ジメチルビニルシロキシ単位((CH2=CH)(CH3)SiO1/2)0.025モル%からなり、平均重合度が約6,000であるオルガノポリシロキサンをブレンドして、ビニル基含有量が0.205〜0.215モル%の範囲に調整したオルガノポリシロキサン100質量部、シリカ(クリスタライト:商品名VXS、(株)龍森製)160質量部、カーボンブラック(デンカブラック、デンカ(株)製)30質量部、分散剤としてケイ素原子に水酸基及びビニル基が結合した平均重合度が約20であるオルガノポリシロキサン0.5質量部を添加し、バンバリーミキサーにて約10分間混練りしてコンパウンドAを得た。
[Production of silicone rubber compound]
99.825 mol% of dimethylsiloxane unit ((CH 3 ) 2 SiO 2/2 ), 0.15 mol% of methylvinylsiloxane unit ((CH 2 CHCH) (CH 3 ) SiO 2/2 ), dimethylvinylsiloxy unit ((CH 2 CHCH) (CH 3 ) SiO 1/2 ) 0.025 mol%, an organopolysiloxane having an average degree of polymerization of about 6,000, and a dimethylsiloxane unit ((CH 3 ) 2 SiO 2 ) / 2 ) 99.675 mol%, methyl vinyl siloxane unit ((CH 2 CHCH) (CH 3 ) SiO 2/2 ) 0.30 mol%, dimethyl vinyl siloxy unit ((CH 2 CHCH) (CH 3 ) SiO 1/2) consists 0.025 mol%, by blending an organopolysiloxane average degree of polymerization of about 6,000, a vinyl group content was adjusted to the range of 0.205 to 0.215 mol% 100 parts by mass of luganopolysiloxane, 160 parts by mass of silica (crystallite: VXS, manufactured by Tatsumori Co., Ltd.), 30 parts by mass of carbon black (Denka Black, manufactured by Denka Co., Ltd.), a silicon atom as a dispersant and a hydroxyl group And 0.5 parts by mass of an organopolysiloxane having an average degree of polymerization of about 20 to which a vinyl group was bonded, and kneaded with a Banbury mixer for about 10 minutes to obtain Compound A.

また、ジメチルシロキサン単位((CH32SiO2/2)99.825モル%、メチルビニルシロキサン単位((CH2=CH)(CH3)SiO2/2)0.15モル%、ジメチルビニルシロキシ単位((CH2=CH)(CH3)SiO1/2)0.025モル%からなり、平均重合度が約6,000であるオルガノポリシロキサン、及びジメチルシロキサン単位((CH32SiO2/2)99.675モル%、メチルビニルシロキサン単位((CH2=CH)(CH3)SiO2/2)0.30モル%、ジメチルビニルシロキシ単位((CH2=CH)(CH3)SiO1/2)0.025モル%からなり、平均重合度が約6,000であるオルガノポリシロキサンをブレンドして、ビニル基含有量が0.220〜0.230モル%の範囲に調整したオルガノポリシロキサン100質量部、クリスタライト(商品名VXS、(株)龍森製)220質量部、分散剤としてケイ素原子に水酸基及びビニル基が結合した平均重合度が約20であるオルガノポリシロキサン0.6質量部を添加し、バンバリーミキサーにて約10分間混練りしてコンパウンドBを得た。 Also, 99.825 mol% of a dimethylsiloxane unit ((CH 3 ) 2 SiO 2/2 ), 0.15 mol% of a methylvinylsiloxane unit ((CH 2 CHCH) (CH 3 ) SiO 2/2 ), An organopolysiloxane comprising 0.025 mol% of siloxy units ((CH 2 CHCH) (CH 3 ) SiO 1/2 ) having an average degree of polymerization of about 6,000, and a dimethylsiloxane unit ((CH 3 ) 2 SiO 2/2) 99.675 mol%, methylvinylsiloxane units ((CH 2 = CH) ( CH 3) SiO 2/2) 0.30 mol%, dimethylvinylsiloxy units ((CH 2 = CH) ( CH 3 ) An organopolysiloxane composed of 0.025 mol% of SiO 1/2 ) having an average degree of polymerization of about 6,000 is blended so that the vinyl group content is in the range of 0.220 to 0.230 mol%. Key 100 parts by mass of the obtained organopolysiloxane, 220 parts by mass of crystallite (trade name: VXS, manufactured by Tatsumori Co., Ltd.), and an organopolysiloxane having a hydroxyl atom and a vinyl group bonded to a silicon atom as a dispersant and having an average degree of polymerization of about 20. 0.6 parts by mass was added and kneaded with a Banbury mixer for about 10 minutes to obtain Compound B.

[実施例1]
上記製造方法により得たコンパウンドAに加硫剤としてC−19A(白金系触媒、信越化学工業(株)製)2.0質量部、C−8(過酸化物ペースト、信越化学工業(株)製)1.0質量部を添加した組成物1Aを得た。また、コンパウンドAに加硫剤としてC−19B(オルガノハイドロジェンシロキサン)(信越化学工業(株)製)4.0質量部を添加した組成物1Bを得た。
得られた組成物1A及び1Bを、等量ずつ2本ロールを用いて均一に混練りして組成物1を得た。組成物1を基材として1,000mm幅のプラズマ表面処理されたポリイミドフィルム(25μm厚、引張弾性率5.8GPa品)の上にカレンダー成形機を用いて直接ポリイミドフィルムの上に、シート全体の厚さが150μmになるように調整し積層した。線速2.0m/min.,加硫ラインの設定温度を最大150℃として、複合シート1を得た。
[Example 1]
2.0 parts by mass of C-19A (platinum catalyst, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a vulcanizing agent for Compound A obtained by the above-mentioned production method, C-8 (peroxide paste, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 1A) to which 1.0 part by mass of Co., Ltd. was added. Further, a composition 1B was obtained by adding 4.0 parts by mass of C-19B (organohydrogensiloxane) (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a vulcanizing agent to Compound A.
The obtained compositions 1A and 1B were uniformly kneaded with equal amounts using two rolls to obtain composition 1. The composition 1 was used as a base material, and a 1,000 mm-wide plasma-treated polyimide film (25 μm thick, tensile modulus 5.8 GPa product) was directly placed on the polyimide film using a calendering machine. The layers were adjusted to a thickness of 150 μm and laminated. Linear velocity 2.0 m / min. The maximum temperature of the vulcanizing line was set to 150 ° C. to obtain a composite sheet 1.

以下、実施例1と同様にして複合シートを得るが、実施例1等との相違点を示す。なおポリイミドフィルムは全てプラズマ表面処理品である。
[実施例2]
ポリイミドフィルム:38μm厚、引張弾性率5.8GPa品
シート全体厚さ:150μm(実施例1と同じ)
Hereinafter, a composite sheet is obtained in the same manner as in Example 1, but different points from Example 1 and the like will be described. The polyimide films are all plasma surface-treated products.
[Example 2]
Polyimide film: 38 μm thickness, tensile elastic modulus: 5.8 GPa Product sheet thickness: 150 μm (same as in Example 1)

[実施例3]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率4.4GPa品
シート全体厚さ:150μm(実施例1と同じ)
[Example 3]
Polyimide film: 25 μm thick, tensile modulus 4.4 GPa Product sheet overall thickness: 150 μm (same as in Example 1)

[実施例4]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率5.8GPa品
シート全体厚さ:250μm
[Example 4]
Polyimide film: 25 μm thick, tensile modulus 5.8 GPa Product sheet overall thickness: 250 μm

[実施例5]
ポリイミドフィルム:38μm厚、引張弾性率5.8GPa品(実施例2と同じ)
シート全体厚さ:250μm(実施例4と同じ)
[Example 5]
Polyimide film: 38 μm thick, 5.8 GPa tensile modulus (same as in Example 2)
Sheet overall thickness: 250 μm (same as Example 4)

[実施例6]
ポリイミドフィルム:50μm厚、引張弾性率5.8GPa品
シート全体厚さ:250μm(実施例4と同じ)
[Example 6]
Polyimide film: 50 μm thick, tensile elastic modulus: 5.8 GPa Product thickness: 250 μm (same as in Example 4)

[実施例7]
ポリイミドフィルム:50μm厚、引張弾性率8.8GPa品
シート全体厚さ:350μm
[Example 7]
Polyimide film: 50 μm thick, tensile modulus 8.8 GPa Product sheet overall thickness: 350 μm

[実施例8]
ポリイミドフィルム:50μm厚、引張弾性率16GPa品
シート全体厚さ:350μm(実施例7と同じ)
Example 8
Polyimide film: 50 μm thick, tensile modulus of elasticity 16 GPa Sheet overall thickness: 350 μm (same as in Example 7)

[比較例1]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率3.4GPa品
シート全体厚さ:150μm(実施例1と同じ)
[Comparative Example 1]
Polyimide film: 25 μm thickness, tensile elasticity 3.4 GPa Product sheet thickness: 150 μm (same as in Example 1)

[比較例2]
ポリイミドフィルム:38μm厚、引張弾性率3.4GPa品
シート全体厚さ:150μm(実施例1と同じ)
[Comparative Example 2]
Polyimide film: 38 μm thick, tensile modulus 3.4 GPa Product sheet overall thickness: 150 μm (same as in Example 1)

[比較例3]
ポリイミドフィルム:38μm厚、引張弾性率3.4GPa品
シート全体厚さ:250μm(実施例4と同じ)
[Comparative Example 3]
Polyimide film: 38 μm thickness, tensile elasticity 3.4 GPa Product overall thickness: 250 μm (same as Example 4)

[比較例4]
ポリイミドフィルム:75μm厚、引張弾性率5.8GPa品
シート全体厚さ:250μm(実施例4と同じ)
[Comparative Example 4]
Polyimide film: 75 μm thick, tensile modulus: 5.8 GPa Product sheet overall thickness: 250 μm (same as in Example 4)

[比較例5]
ポリイミドフィルム:38μm厚、引張弾性率5.8GPa品(実施例2と同じ)
シート全体厚さ:450μm
[Comparative Example 5]
Polyimide film: 38 μm thick, 5.8 GPa tensile modulus (same as in Example 2)
Sheet thickness: 450 μm

[実施例9]
上記製造方法により得たコンパウンドBに加硫剤としてC−19A(白金系触媒、信越化学工業(株)製)2.0質量部、C−8(過酸化物ペースト、信越化学工業(株)製)1.0質量部を添加した組成物をトルエン100質量部に溶解させて組成物2Aを得た。また、コンパウンドAに加硫剤としてC−19B(オルガノハイドロジェンシロキサン、信越化学工業(株)製)2.0質量部、色調調整用に黒色カラーペースト0.4質量部を添加した組成物をトルエン100質量部に溶解させて組成物2Bを得た。
得られた組成物2A及び2Bを等量ずつ加えて、均一に分散させて塗工液2を得た。塗工液2を基材として400mm幅のプラズマ表面処理されたポリイミドフィルム(25μm厚、引張弾性率5.8GPa品)の上にコンマコーター(前出)を用いて塗工した。ドライの塗膜厚が112μmになるようにギャップを調整し、最初に片面に線速0.4m/min.,加硫ラインの設定温度を最大140℃として、シート全体の厚さが150μmになるように複合シート9を得た。
[Example 9]
2.0 parts by mass of C-19A (platinum-based catalyst, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and C-8 (peroxide paste, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a vulcanizing agent for Compound B obtained by the above-mentioned production method The composition to which 1.0 part by mass was added was dissolved in 100 parts by mass of toluene to obtain a composition 2A. Further, a composition obtained by adding 2.0 parts by mass of C-19B (organohydrogensiloxane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a vulcanizing agent to compound A and 0.4 parts by mass of black color paste for color tone adjustment was added. The composition was dissolved in 100 parts by mass of toluene to obtain a composition 2B.
The obtained compositions 2A and 2B were added in equal amounts, and dispersed uniformly to obtain a coating liquid 2. The coating liquid 2 was applied as a base material onto a 400 mm-wide plasma-treated polyimide film (25 μm thick, tensile modulus 5.8 GPa) using a comma coater (described above). The gap was adjusted so that the dry coating film thickness was 112 μm, and firstly, a linear velocity of 0.4 m / min. The maximum temperature of the vulcanizing line was set to 140 ° C., and the composite sheet 9 was obtained so that the thickness of the entire sheet became 150 μm.

以下、実施例9と同様にして複合シートを得るが、実施例9等との相違点を示す。なおポリイミドフィルムは全てプラズマ表面処理品である。
[実施例10]
ポリイミドフィルム:38μm厚、引張弾性率5.8GPa品(実施例2と同じ)
シート全体厚さ:150μm(実施例9と同じ)
Hereinafter, a composite sheet is obtained in the same manner as in Example 9, but different points from Example 9 and the like will be described. The polyimide films are all plasma surface-treated products.
[Example 10]
Polyimide film: 38 μm thick, 5.8 GPa tensile modulus (same as in Example 2)
Sheet thickness: 150 μm (same as in Example 9)

[実施例11]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率4.4GPa品(実施例3と同じ)
シート全体厚さ:150μm(実施例9と同じ)
[Example 11]
Polyimide film: 25 μm thick, 4.4 GPa tensile modulus (same as in Example 3)
Sheet thickness: 150 μm (same as in Example 9)

[実施例12]
ポリイミドフィルム:50μm厚、引張弾性率16GPa品(実施例8と同じ)
シート全体厚さ:150μm(実施例9と同じ)
[Example 12]
Polyimide film: 50 μm thick, tensile modulus of 16 GPa (same as in Example 8)
Sheet thickness: 150 μm (same as in Example 9)

[比較例6]
ポリイミドフィルム:12μm厚、引張弾性率3.4GPa品
シート全体厚さ:50μm
[Comparative Example 6]
Polyimide film: 12 µm thick, tensile modulus 3.4 GPa Product sheet overall thickness: 50 µm

[比較例7]
ポリイミドフィルム:12μm厚、引張弾性率5.8GPa品
シート全体厚さ:50μm
[Comparative Example 7]
Polyimide film: 12 μm thick, tensile modulus 5.8 GPa Product sheet thickness: 50 μm

[比較例8]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率3.4GPa品
シート全体厚さ:50μm
[Comparative Example 8]
Polyimide film: 25 μm thickness, tensile elasticity 3.4 GPa Product sheet thickness: 50 μm

[比較例9]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率3.4GPa品
シート全体厚さ:75μm
[Comparative Example 9]
Polyimide film: 25 μm thickness, tensile elasticity 3.4 GPa Product sheet overall thickness: 75 μm

[比較例10]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率5.8GPa品
シート全体厚さ:75μm
[Comparative Example 10]
Polyimide film: 25 μm thickness, tensile elastic modulus: 5.8 GPa Product thickness: 75 μm

[比較例11]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率3.4GPa品
シート全体厚さ:150μm
[Comparative Example 11]
Polyimide film: 25 μm thickness, tensile elasticity 3.4 GPa Product sheet thickness: 150 μm

[比較例12]
ポリイミドフィルム:38μm厚、引張弾性率3.4GPa品
シート全体厚さ:150μm
[Comparative Example 12]
Polyimide film: 38 μm thickness, tensile modulus 3.4 GPa Product sheet thickness: 150 μm

[比較例13]
ポリイミドフィルム:75μm厚、引張弾性率5.8GPa品
シート全体厚さ:150μm
[Comparative Example 13]
Polyimide film: 75 μm thickness, tensile modulus: 5.8 GPa Product thickness: 150 μm

[比較例14]
ポリイミドフィルム:25μm厚、引張弾性率5.8GPa品(実施例9と同じ)
シート全体厚さ:450μm
[Comparative Example 14]
Polyimide film: 25 μm thick, 5.8 GPa tensile modulus (same as in Example 9)
Sheet thickness: 450 μm

[評価方法]
耐熱熱伝導性複合シートとしての評価は以下の試験機を用いて行なった。
試験機A:大崎エンジニアリング(株)製の熱圧評価試験機。用いた加圧用の鋼製ヒートツールの圧着部形状は10mm×30mmであった。
試験機B:(株)大橋製作所製の本圧着装置CBM−16。用いた加圧用の鋼製ヒートツールの圧着部形状は1mm×40mmであった。
設定温度、圧着時間、圧着部にかかる圧力、圧着回数は、それぞれの試験ごとに設定した。
[Evaluation method]
The evaluation as a heat- and heat-conductive composite sheet was performed using the following tester.
Tester A: Thermal pressure evaluation tester manufactured by Osaki Engineering Co., Ltd. The crimping part shape of the pressurized steel heat tool used was 10 mm × 30 mm.
Testing machine B: Full crimping machine CBM-16 manufactured by Ohashi Manufacturing Co., Ltd. The shape of the pressure-bonded portion of the steel heat tool for pressurization used was 1 mm × 40 mm.
The set temperature, crimping time, pressure applied to the crimping portion, and the number of times of crimping were set for each test.

(シートのカール)
成形した複合シートを300mm角に切り出し、シートを押さえつけたり裏面を糊付けしたりせずに、自然な状態で耐熱性樹脂フィルム層を下面/シリコーンゴム層を上面になるように水平面に置いた時に、シートが上側に反ることにより生じるシート端部と水平面との差が10mm以下であるものを、「○:カールなし」と判断した。また、シート自体がシリコーンゴム層を内側に巻物状に丸まってしまうものは×、完全には丸まらないがシートが上側に反ることにより水平面との差が10mmを超えるものは△とした。
(Sheet curl)
When the formed composite sheet is cut into 300 mm squares and the heat-resistant resin film layer is naturally placed on a horizontal surface with the lower surface / silicone rubber layer on the upper surface without pressing the sheet or gluing the back surface, A sheet having a difference of 10 mm or less between a sheet edge and a horizontal plane caused by the sheet being warped upward was judged as “○: no curl”. In addition, the sheet in which the silicone rubber layer was rolled inward in the form of a roll was marked as x, and the sheet which was not completely rolled but had a difference from the horizontal plane exceeding 10 mm due to the sheet warping upward was marked as Δ.

(熱伝導性)
熱圧着用シートとして、効率よく熱を伝えることができるかどうかを判定する。試験機Aのヒートツールの設定温度を300℃、圧着時間を20秒間、圧着部にかかる圧力を3MPa、圧着回数1回とした。30mm×50mmに切り出したシート片に、シート熱電対を用いてシート片を通して伝わる温度を測定し、5秒後に180〜220℃の範囲に到達するものを○、前記範囲外のものを×とした。
(Thermal conductivity)
It is determined whether heat can be transmitted efficiently as a thermocompression bonding sheet. The set temperature of the heat tool of the tester A was 300 ° C., the crimping time was 20 seconds, the pressure applied to the crimping part was 3 MPa, and the number of times of crimping was one. To a sheet piece cut out to 30 mm x 50 mm, the temperature transmitted through the sheet piece was measured using a sheet thermocouple, and those reaching the range of 180 to 220 ° C after 5 seconds were evaluated as ○, and those outside the above range were evaluated as ×. .

(圧着耐久性)
複合シートが、熱圧着用シートとして繰返し使用可能かどうかを判定する。図5に圧着耐久性試験の模式図を示す。(株)大橋製作所製の仮圧着装置ABM−42を用いて50mm×50mm×5mm厚のガラスプレート上に異方性導電膜(日立化成製、アクリルタイプACF21)20mm長を仮圧着する(=ACF(異方導電性膜)試験片22)。また、複合シート18を200mm×10mmに切り出し、試験機Bに耐熱性樹脂フィルム(ポリイミド)側がヒートツール側になるようにセッティングする。試験機Bのヒートツール23の設定温度を350℃、圧着時間を10秒間、圧着部にかかる圧力を4MPaとした。ヒートツール23が該複合シートを介して直接ACF21に当たるようにACF試験片22を試験機Bのステージにセットする。ACF試験片22自体は1回の圧着として都度交換するが、複合シート18は、ACF試験片22のACF21にシート成分が付着する迄、又は該複合シート18自身が破損する迄、圧着を繰り返した(図5,図6)。圧着回数が50回以上のものは○、50回未満のものは×とした。
(Crimping durability)
It is determined whether the composite sheet can be repeatedly used as a thermocompression bonding sheet. FIG. 5 shows a schematic view of the crimping durability test. Using a temporary crimping machine ABM-42 manufactured by Ohashi Seisakusho Co., Ltd., a 20 mm long anisotropic conductive film (Acrylic type ACF21, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) is temporarily crimped on a glass plate having a thickness of 50 mm × 50 mm × 5 mm (= ACF). (Anisotropic conductive film) Test piece 22). Further, the composite sheet 18 is cut out into a size of 200 mm × 10 mm and set on a tester B such that the heat-resistant resin film (polyimide) side is the heat tool side. The set temperature of the heat tool 23 of the testing machine B was 350 ° C., the pressure bonding time was 10 seconds, and the pressure applied to the pressure bonding portion was 4 MPa. The ACF test piece 22 is set on the stage of the tester B such that the heat tool 23 directly hits the ACF 21 via the composite sheet. The ACF test piece 22 itself was replaced each time as a single press, but the composite sheet 18 was repeatedly pressed until the sheet components adhered to the ACF 21 of the ACF test piece 22 or the composite sheet 18 itself was damaged. (FIGS. 5 and 6). When the number of times of press bonding was 50 or more, it was evaluated as ○, and when less than 50 times, it was evaluated as ×.

結果を下記表に示す。本発明に適していると判断されるものをOK、不適と判断されるものをNGとした。   The results are shown in the table below. Those judged to be suitable for the present invention were OK, and those judged to be unsuitable were NG.

1 熱圧着用熱伝導性複合シート
2 シリコーンゴム層
3 耐熱性樹脂フィルム
11 カレンダーロール装置
12 シリコーンゴム組成物
13 第3ロール
14 第4ロール
15 耐熱性樹脂フィルム
16 積層物
17 加硫装置
18 複合シート
19 巻取装置
20 ガラスプレート
21 ACF
22 ACF(異方導電性膜)試験片
23 ヒートツール
REFERENCE SIGNS LIST 1 heat conductive composite sheet for thermocompression bonding 2 silicone rubber layer 3 heat resistant resin film 11 calender roll device 12 silicone rubber composition 13 third roll 14 fourth roll 15 heat resistant resin film 16 laminate 17 vulcanizing device 18 composite sheet 19 Winding device 20 Glass plate 21 ACF
22 ACF (anisotropic conductive film) test piece 23 Heat tool

Claims (2)

耐熱性樹脂フィルムの片面に、シリコーンゴム組成物の硬化物からなるシリコーンゴム層が積層された熱圧着用熱伝導性複合シートの選択方法であって、この複合シートのシート全体の厚さを100〜400μm、シリコーンゴム層/耐熱性樹脂フィルムで表される厚さ比を2〜10、前記耐熱性樹脂フィルムの厚さを20〜50μm、かつ前記耐熱性樹脂フィルムのASTM D−882測定法に基づく引張弾性率を4〜20GPaに選択する選定方法。   A method for selecting a thermally conductive composite sheet for thermocompression bonding in which a silicone rubber layer made of a cured product of a silicone rubber composition is laminated on one surface of a heat-resistant resin film, wherein the thickness of the composite sheet is 100 The thickness ratio of the silicone rubber layer / heat-resistant resin film is 2 to 10, the thickness of the heat-resistant resin film is 20 to 50 μm, and the ASTM D-882 measurement method of the heat-resistant resin film is used. Selection method for selecting a tensile modulus of elasticity of 4 to 20 GPa based on the above. 耐熱性樹脂フィルムが、ガラス転移点が200℃以上又は融点が300℃以上である耐熱性樹脂フィルムであり、熱圧着用熱伝導性複合シートの熱伝導性が、熱圧評価試験機(加圧用の鋼製ヒートツールの圧着部形状は10mm×30mm)のヒートツールの設定温度を300℃、圧着時間を20秒間、圧着部にかかる圧力を3MPa、圧着回数1回とし、前記複合シートを30mm×50mmに切り出したシート片に、シート熱電対を用いてシート片を通して伝わる温度を測定した場合、5秒後に180〜220℃の範囲に到達するものである請求項1記載の選定方法。   The heat-resistant resin film is a heat-resistant resin film having a glass transition point of 200 ° C. or higher or a melting point of 300 ° C. or higher. (The crimping part shape of the steel heat tool is 10 mm × 30 mm) The set temperature of the heat tool is 300 ° C., the crimping time is 20 seconds, the pressure applied to the crimping part is 3 MPa, the number of times of crimping is one, and the composite sheet is 30 mm × The selection method according to claim 1, wherein when the temperature transmitted through the sheet piece is measured using a sheet thermocouple on a sheet piece cut out to 50 mm, the temperature reaches a range of 180 to 220C after 5 seconds.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08174765A (en) * 1994-12-26 1996-07-09 Shin Etsu Chem Co Ltd Heat-resistant, heat-conductive silicone rubber composite sheet
JP2000127291A (en) * 1998-10-29 2000-05-09 Mitsubishi Plastics Ind Ltd Metal foil laminated sheet
JP2001018330A (en) * 1999-07-07 2001-01-23 Shin Etsu Chem Co Ltd Heat-resistant heat conductive silicone rubber composite sheet and production thereof
JP2015170690A (en) * 2014-03-06 2015-09-28 信越化学工業株式会社 Thermally conductive composite sheet for crimping led chip and method for manufacturing the same
JP2016125001A (en) * 2015-01-06 2016-07-11 信越化学工業株式会社 Heat-conductive silicone composition, cured product, and composite seat

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08174765A (en) * 1994-12-26 1996-07-09 Shin Etsu Chem Co Ltd Heat-resistant, heat-conductive silicone rubber composite sheet
JP2000127291A (en) * 1998-10-29 2000-05-09 Mitsubishi Plastics Ind Ltd Metal foil laminated sheet
JP2001018330A (en) * 1999-07-07 2001-01-23 Shin Etsu Chem Co Ltd Heat-resistant heat conductive silicone rubber composite sheet and production thereof
JP2015170690A (en) * 2014-03-06 2015-09-28 信越化学工業株式会社 Thermally conductive composite sheet for crimping led chip and method for manufacturing the same
JP2016125001A (en) * 2015-01-06 2016-07-11 信越化学工業株式会社 Heat-conductive silicone composition, cured product, and composite seat

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