JP2020010386A - High frequency low-noise amplifier - Google Patents

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Abstract

To provide a high frequency low-noise amplifier, capable of suppressing unwanted oscillation while approaching an impedance to minimize the noise figure and an impedance to maximize the gain.SOLUTION: A high frequency low-noise amplifier includes a circuit board, a first and a second bonding wires, and a field effect transistor. The circuit board includes a ground conductor on its reverse surface, and a first and a second microstrip lines. One-end parts of the microstrip lines are connected to the ground conductor, and the microstrip lines provide inductance. The other-end part of the first microstrip line and a source electrode are connected with a first bonding wire. The other-end part of the second microstrip line and a source electrode are connected with a second bonding wire. A distance between the one-end part and the other-end part of the microstrip line is different from a distance between the one-end part and the other-end part of the second microstrip line.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明の実施形態は高周波低雑音増幅器に関する。   Embodiments of the present invention relate to a high frequency low noise amplifier.

HEMT(High Electron Mobility Transistor)を含む電界効果トランジスタを用いると高周波低雑音増幅器が実現できる。   When a field effect transistor including a HEMT (High Electron Mobility Transistor) is used, a high frequency low noise amplifier can be realized.

電界効果トランジスタのソースをインダクタを介して接地すると、雑音指数が最小となるインピーダンスと、利得が最大となるインピーダンスとを近づけることができる。   When the source of the field-effect transistor is grounded via the inductor, the impedance at which the noise figure becomes minimum and the impedance at which the gain becomes maximum can be made close to each other.

接地インダクタは、先端短絡マイクロストリップ線路などを用いて構成することができる。線路パターンに寄生容量が生じると、この寄生容量と接地インダクタンスとが並列共振し、低雑音増幅器のソースが開放近傍となることがある。寄生容量がないときでも、その線路長が4分の1波長となる周波数では低雑音増幅器のソースが開放近傍となることがある。この結果、不要な発振を生じ、電界効果トランジスタの動作が不安定となる。   The ground inductor can be configured using a short-circuited microstrip line or the like. When a parasitic capacitance occurs in the line pattern, the parasitic capacitance and the ground inductance resonate in parallel, and the source of the low-noise amplifier may be close to open. Even when there is no parasitic capacitance, the source of the low-noise amplifier may be close to open at a frequency where the line length is a quarter wavelength. As a result, unnecessary oscillation occurs, and the operation of the field effect transistor becomes unstable.

特許第3592873号Patent No. 3592873

雑音指数が最小となるインピーダンスと利得が最大となるインピーダンスとを近づけつつ不要な発振を抑制可能な高周波低雑音増幅器を提供する。   Provided is a high-frequency low-noise amplifier capable of suppressing unnecessary oscillation while approaching an impedance with a minimum noise figure and an impedance with a maximum gain.

実施形態の高周波低雑音増幅器は、基板と、ボンディングワイヤと、絶縁性接着剤と、電界効果トランジスタと、を有する。前記基板は、裏面に接地導体が設けられた基板であって、一方の端部が前記接地導体に接続され帯域内においてインダクタンスを有するマイクロストリップ線路と、表面絶縁領域と、を有する。前記電界効果トランジスタは、前記基板上に配置されソース電極を表面に有する。前記マイクロストリップ線路の他方の端部と前記ソース電極とは前記ボンディングワイヤにより接続される。前記電界効果トランジスタの裏面は、前記絶縁性接着剤により前記表面絶縁領域に接合されることにより、前記マイクロストリップ線路とは絶縁される。 前記電界効果トランジスタの前記ソース電極と前記接地導体との間のインピーダンスは、前記帯域内において所望の範囲のインダクタンス成分を有する。   The high-frequency low-noise amplifier according to the embodiment includes a substrate, a bonding wire, an insulating adhesive, and a field-effect transistor. The substrate is a substrate provided with a ground conductor on the back surface, and has a microstrip line having one end connected to the ground conductor and having an inductance in a band, and a surface insulating region. The field effect transistor is disposed on the substrate and has a source electrode on a surface. The other end of the microstrip line and the source electrode are connected by the bonding wire. The back surface of the field effect transistor is insulated from the microstrip line by being joined to the surface insulating region by the insulating adhesive. The impedance between the source electrode of the field effect transistor and the ground conductor has an inductance component in a desired range within the band.

図1(a)は第1の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の模式平面図、図1(b)はA−A線に沿った模式断面図、図1(c)は電界効果トランジスタの模式平面図、図1(d)は理想状態のソース・接地間の等価回路図、である。FIG. 1A is a schematic plan view of the high-frequency low-noise amplifier according to the first embodiment, FIG. 1B is a schematic cross-sectional view taken along line AA, and FIG. 1C is a schematic view of a field-effect transistor. FIG. 1D is a plan view, and FIG. 1D is an equivalent circuit diagram between the source and the ground in an ideal state. 図2(a)は基板パターン上に電界効果トランジスタが接着された模式平面図、図2(b)はパターンにより生じる寄生容量を説明する模式図、図2(c)は寄生容量を含むソース・接地間の等価回路図、である。FIG. 2A is a schematic plan view in which a field-effect transistor is bonded on a substrate pattern, FIG. 2B is a schematic view illustrating a parasitic capacitance generated by the pattern, and FIG. It is an equivalent circuit diagram between grounds. 図3(a)は比較例にかかる高周波低雑音増幅器の模式平面図、図3(b)は寄生容量を説明する模式図、図3(c)はソース・接地間の等価回路図、である。FIG. 3A is a schematic plan view of a high-frequency low-noise amplifier according to a comparative example, FIG. 3B is a schematic view illustrating a parasitic capacitance, and FIG. 3C is an equivalent circuit diagram between a source and a ground. . 図4(a)は第2の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の模式平面図、図4(b)はB−B線に沿った模式断面図、である。FIG. 4A is a schematic plan view of the high-frequency low-noise amplifier according to the second embodiment, and FIG. 4B is a schematic cross-sectional view along line BB. 図5(a)は第2の実施形態においてソース接地インダクタを説明する模式図、図5(b)はソース電極・接地間の等価回路図、である。FIG. 5A is a schematic diagram illustrating a common-source inductor in the second embodiment, and FIG. 5B is an equivalent circuit diagram between a source electrode and ground. 図6(a)は第3の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器のソース接地インダクタを説明する模式図、図6(b)はソース電極・接地間の等価回路図、である。FIG. 6A is a schematic diagram illustrating a common-source inductor of the high-frequency low-noise amplifier according to the third embodiment, and FIG. 6B is an equivalent circuit diagram between the source electrode and the ground. 図7(a)は第4の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の模式断面図、図7(b)はソース電極・接地間の等価回路図、である。FIG. 7A is a schematic sectional view of a high-frequency low-noise amplifier according to the fourth embodiment, and FIG. 7B is an equivalent circuit diagram between a source electrode and ground. 図8(a)第5の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の模式断面図、図8(b)はソース電極・接地間の等価回路図、である。FIG. 8A is a schematic sectional view of a high-frequency low-noise amplifier according to a fifth embodiment, and FIG. 8B is an equivalent circuit diagram between a source electrode and ground.

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を説明する。
図1(a)は第1の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の模式平面図、図1(b)はA−A線に沿った模式断面図、図1(c)は理想状態のソース・接地間の等価回路図、である。
高周波低雑音増幅器10は、基板80と、ボンディングワイヤ52、54と、電界効果トランジスタ20と、を有する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1A is a schematic plan view of the high-frequency low-noise amplifier according to the first embodiment, FIG. 1B is a schematic sectional view taken along line AA, and FIG. It is an equivalent circuit diagram between grounds.
The high-frequency low-noise amplifier 10 includes a substrate 80, bonding wires 52 and 54, and the field-effect transistor 20.

電界効果トランジスタ20は、HEMTやMESFET(Metal Semiconductor Field Effect Transistor)などとすることができる。また、その材料は、AlGaN/GaNを含む窒化物系半導体またはAlGaAs/GaAsなどとすることができる。   The field effect transistor 20 can be a HEMT, a metal semiconductor field effect transistor (MESFET), or the like. The material may be a nitride semiconductor containing AlGaN / GaN, AlGaAs / GaAs, or the like.

基板80は、インダクタを介して電界効果トランジスタ20のソース電極Sを接地するためのマイクロストリップ線路31、32を含む。また、基板80は、入力端子40、入力回路42、出力回路48、出力端子50などをさらに含むことができる。   The substrate 80 includes microstrip lines 31 and 32 for grounding the source electrode S of the field effect transistor 20 via an inductor. In addition, the substrate 80 may further include the input terminal 40, the input circuit 42, the output circuit 48, the output terminal 50, and the like.

図1(b)に表すように、基板80は、絶縁体81、絶縁体81の表面に設けられた導体、および裏面に設けられた接地導体82、を有する。表面の導体には、第1および第2のマイクロストリップ線路31、32などが設けられる。それぞれのマイクロストリップ線路31、32は、一方の端部が絶縁体81に設けられた貫通孔H1、H2内の導体を介して接地導体82に接続される。なお、基板80は、たとえば、アルミナなどのセラミックとすることができる。   As shown in FIG. 1B, the substrate 80 has an insulator 81, a conductor provided on the front surface of the insulator 81, and a ground conductor 82 provided on the back surface. The first and second microstrip lines 31, 32 and the like are provided on the conductor on the surface. One end of each of the microstrip lines 31 and 32 is connected to the ground conductor 82 via conductors in through holes H1 and H2 provided in the insulator 81. The substrate 80 can be made of, for example, ceramic such as alumina.

図1(c)に表すように、電界効果トランジスタ20は、半導体積層体の表面にソース電極(S)72、ゲート電極(G)70、及びドレイン電極(D)74を有する、半導体積層体の表面にフィンガーソース電極70aが設けられ、フィンガーソース電極72aと、フィンガードレイン電極74bと、の間に形成されたチャネルにおいて、ゲート電圧を変化してドレイン電流が制御される。   As shown in FIG. 1C, the field-effect transistor 20 has a source electrode (S) 72, a gate electrode (G) 70, and a drain electrode (D) 74 on the surface of the semiconductor laminate. A finger source electrode 70a is provided on the surface, and a drain current is controlled by changing a gate voltage in a channel formed between the finger source electrode 72a and the finger drain electrode 74b.

低雑音増幅用途では、フィンガーゲート電極70aは、数本以下とすることができる。本図では、フィンガーゲート電極70aの2本がゲート端子電極70bに接続される。また、フィンガードレイン電極74aに1本がドレイン端子電極74bに接続される。フィンガーソース電極72aは、2つのソース端子電極72b、73bにそれぞれ接続される。なお、2つのソース端子電極72b、73bは、チップ上で接続されていてもよい。   In low-noise amplification applications, the number of finger gate electrodes 70a can be several or less. In the figure, two finger gate electrodes 70a are connected to a gate terminal electrode 70b. One finger drain electrode 74a is connected to the drain terminal electrode 74b. The finger source electrode 72a is connected to two source terminal electrodes 72b and 73b, respectively. Note that the two source terminal electrodes 72b and 73b may be connected on a chip.

ゲート端子電極70bは、入力回路42の端子44に接続される。入力回路42は、雑音指数を最小値近傍に保ちつつ、利得を最大値近傍とする整合回路を含むことができる。また、ドレイン端子電極74bは、ドレイン端子電極74bは、出力回路48の端子46に接続される。出力回路は、利得を最大値近傍とする整合回路を含む。   Gate terminal electrode 70b is connected to terminal 44 of input circuit 42. The input circuit 42 can include a matching circuit that keeps the gain near the maximum value while keeping the noise figure near the minimum value. The drain terminal electrode 74b is connected to the terminal 46 of the output circuit 48. The output circuit includes a matching circuit that sets the gain near the maximum value.

図1(d)は、寄生容量がなく、ソース接地インダクタンスがL0である理想状態の電界効果トランジスタの等価回路図である。   FIG. 1D is an equivalent circuit diagram of an ideal field-effect transistor having no parasitic capacitance and a grounded source inductance of L0.

電界効果トランジスタ20は、基板80上に設けられたダイパッド領域に、導電性接着剤56で接着される。導電性接着剤56は、金属半田や導電性ペーストなどとすることができる。第1のマイクロストリップ線路31の他方の端部とソース電極Sとは第1のボンディングワイヤ52により接続され、第2のマイクロストリップ線路32の他方の端部とソース電極Sとは第2のボンディングワイヤ54により接続される。   The field effect transistor 20 is bonded to a die pad region provided on the substrate 80 with a conductive adhesive 56. The conductive adhesive 56 can be a metal solder, a conductive paste, or the like. The other end of the first microstrip line 31 and the source electrode S are connected by a first bonding wire 52, and the other end of the second microstrip line 32 and the source electrode S are connected by a second bonding wire. They are connected by wires 54.

図2(a)は基板パターン上に電界効果トランジスタが接着された模式平面図、図2(b)はパターンにより生じる寄生容量を説明する模式図、図2(c)は寄生容量を含むソース・接地間の等価回路図、である。
第1のマイクロストリップ線路31における一方の端部と他方の端部との間の距離(電気長EL1)と、第2のマイクロストリップ線路32における一方の端部と他方の端部との間の距離(EL2)と、は異なるように設定される。なお、電気長EL1は、ボンディング位置(の中心)B1と、貫通孔H1の中心と、の間の距離とする。電気長EL2は、ボンディング位置(の中心)B2と、貫通孔2の中心と、の間の距離とする。
FIG. 2A is a schematic plan view in which a field-effect transistor is bonded on a substrate pattern, FIG. 2B is a schematic view illustrating a parasitic capacitance generated by the pattern, and FIG. It is an equivalent circuit diagram between grounds.
The distance (electrical length EL1) between one end and the other end of the first microstrip line 31 and the distance between one end and the other end of the second microstrip line 32 The distance (EL2) is set to be different from the distance (EL2). Note that the electrical length EL1 is a distance between (the center of) the bonding position B1 and the center of the through hole H1. The electric length EL2 is a distance between (the center of) the bonding position B2 and the center of the through hole 2.

第1のマイクロストリップ線路31の他方の端部と、第2のマイクロストリップ線路32の他方の端部と、は、電界効果トランジスタ20が接着される導電性のダイパッド領域33で接続される。ボンディング位置B1、B2の間のダイパッド領域33a、33bは、基板10の接地導体82との間にキャパシタ27、キャパシタ28をそれぞれ生じ、第1のマイクロストリップ線路31の線路端、第2のマイクロストリップ線路32の線路端の寄生容量となる。すなわち、図2(c)に表すような等価回路となる。なお、領域33aと3bとは、実際には連続している。   The other end of the first microstrip line 31 and the other end of the second microstrip line 32 are connected by a conductive die pad region 33 to which the field effect transistor 20 is adhered. The die pad regions 33a and 33b between the bonding positions B1 and B2 generate the capacitors 27 and 28 between the die pads and the ground conductor 82 of the substrate 10, respectively, and the line ends of the first microstrip line 31, the second microstrip It becomes the parasitic capacitance of the line end of the line 32. That is, an equivalent circuit as shown in FIG. Note that the regions 33a and 3b are actually continuous.

第1の実施形態では、第1のマイクロストリップ線路31の電気長EL1と、第2のマイクロストリップ線路32の電気長EL2と、は、異なる。このため、第1のマイクロストリップ線路31とキャパシタ27とによる共振周波数と、第2のマイクロストリップ回路32とキャパシタ28とによる共振周波数と、が異なるようにすることができる。かつ、増幅回路の安定指数Kを1よりも大きく保ちつつ、ソース接地インダクタにより雑音指数を最小とするインピーダンスと、利得を最大とするインピーダンスと、を近づけることが容易となる。   In the first embodiment, the electrical length EL1 of the first microstrip line 31 is different from the electrical length EL2 of the second microstrip line 32. Therefore, the resonance frequency of the first microstrip line 31 and the capacitor 27 can be different from the resonance frequency of the second microstrip circuit 32 and the capacitor 28. In addition, it is easy to keep the impedance that minimizes the noise figure and the impedance that maximizes the gain close to each other by using the common source inductor while keeping the stability index K of the amplifier circuit larger than 1.

すなわち、並列共振回路のうちのいずれか一方が開放近傍となる周波数となっても、他方の並列共振回路は開放とはならない。ソース電極Sは、インダクタを介して接地される。このため、電界効果トランジスタ20が不安定となり発振することが抑制される。   That is, even if one of the parallel resonance circuits has a frequency near the open state, the other parallel resonance circuit does not become open. The source electrode S is grounded via an inductor. For this reason, the field effect transistor 20 is prevented from becoming unstable and oscillating.

なお、図2(c)において、寄生容量が小さいとき、ソース接地インダクタンスは、ボンディングワイヤ52、54のインダクタンスL1a、L1b、第1のマイクロストリップ線路31のインダクタンスL2、および第2のマイクロストリップ線路32のインダクタンスL3、が合成されたものとなる。   In FIG. 2C, when the parasitic capacitance is small, the grounded source inductances are the inductances L1a and L1b of the bonding wires 52 and 54, the inductance L2 of the first microstrip line 31, and the second microstrip line 32. Is synthesized.

図3(a)は比較例にかかる高周波低雑音増幅器の模式平面図、図3(b)は寄生容量を説明する模式図、図3(c)はソース・接地間の等価回路図、である。
高周波低雑音増幅器110は、基板(図示せず)と、ボンディングワイヤ152、154と、電界効果トランジスタ120と、を有する。
FIG. 3A is a schematic plan view of a high-frequency low-noise amplifier according to a comparative example, FIG. 3B is a schematic view illustrating a parasitic capacitance, and FIG. 3C is an equivalent circuit diagram between a source and a ground. .
The high-frequency low-noise amplifier 110 includes a substrate (not shown), bonding wires 152 and 154, and a field-effect transistor 120.

基板180は、インダクタを介して電界効果トランジスタ120のソース電極Sを接地するためのマイクロストリップ線路131、132を含む。マイクロストリップ線路131の電気長EL1とマイクロストリップ線路132の電気長EL2とは等しい。このため、寄生キャパシタとインダクタとが並列共振をする周波数の近傍では、ソース電極Sが開放近傍になり電界効果トランジスタが発振しやすくなる。   The substrate 180 includes microstrip lines 131 and 132 for grounding the source electrode S of the field effect transistor 120 via an inductor. The electrical length EL1 of the microstrip line 131 is equal to the electrical length EL2 of the microstrip line 132. For this reason, near the frequency at which the parasitic capacitor and the inductor resonate in parallel, the source electrode S is close to open, and the field-effect transistor easily oscillates.

低雑音増幅用の電界効果トランジスタのゲート幅は、電力増幅用の電界効果トランジスタのゲート幅よりも十分に小さく、低雑音増幅器の電界効果トランジスタは帯域内で高い利得を有する。このため、ソース電極Sが開放に近づくと、発振を生じ不安定動作になり易くなる。   The gate width of the field effect transistor for low noise amplification is sufficiently smaller than the gate width of the field effect transistor for power amplification, and the field effect transistor of the low noise amplifier has a high gain in the band. For this reason, when the source electrode S approaches an open state, oscillation is caused and the operation becomes unstable.

これに対して、第1の実施形態において、雑音指数(NF)を最小にするソース接地インダクタンスL0(理想値)を実現するには、インダクタンスL2およびインダクタンスL3の組み合わせを変化させる自由度がある。すなわち、低雑音増幅器の帯域内でソース電極Sが開放から遠ざかるようにインダクタンスを合成し不要な発振を抑制することができる。   On the other hand, in the first embodiment, in order to realize the common source inductance L0 (ideal value) that minimizes the noise figure (NF), there is a degree of freedom to change the combination of the inductance L2 and the inductance L3. That is, in the band of the low-noise amplifier, the inductance is combined so that the source electrode S moves away from the open state, and unnecessary oscillation can be suppressed.

図4(a)は第2の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の模式平面図、図4(b)はB−B線に沿った模式断面図、である。
高周波低雑音増幅器10は、基板80と、ボンディングワイヤ52、54と、電界効果トランジスタ20と、を有する。
FIG. 4A is a schematic plan view of the high-frequency low-noise amplifier according to the second embodiment, and FIG. 4B is a schematic cross-sectional view along line BB.
The high-frequency low-noise amplifier 10 includes a substrate 80, bonding wires 52 and 54, and the field-effect transistor 20.

基板80は、インダクタを介して電界効果トランジスタ20のソース電極Sを接地するため第1および第2のマイクロストリップ線路31、32を含む。第1、第2のマイクロストリップ線路31、32の電気長EL1、EL2は同一とする。   The substrate 80 includes first and second microstrip lines 31 and 32 for grounding the source electrode S of the field effect transistor 20 via an inductor. The electrical lengths EL1, EL2 of the first and second microstrip lines 31, 32 are the same.

電界効果トランジスタ20の裏面と、マイクロストリップ線路31、32と、は絶縁される。すなわち、本図において、電界効果トランジスタ20は、基板80の表面に設けられたダイパッド領域33上に、導電性接着剤56で接着される。ダイパッド領域33と第1および第2マイクロストリップ線路31、32とは、同一プロセスを用いて形成することができる。第1のマイクロストリップ線路31の他方の端部とソース電極72とは第1のボンディングワイヤ52により接続され、第2のマイクロストリップ線路32の他方の端部とソース電極72とは第2のボンディングワイヤ54により接続される。   The back surface of the field effect transistor 20 and the microstrip lines 31 and 32 are insulated. That is, in this drawing, the field-effect transistor 20 is bonded to the die pad region 33 provided on the surface of the substrate 80 with the conductive adhesive 56. The die pad region 33 and the first and second microstrip lines 31 and 32 can be formed using the same process. The other end of the first microstrip line 31 and the source electrode 72 are connected by a first bonding wire 52, and the other end of the second microstrip line 32 and the source electrode 72 are connected by a second bonding wire. They are connected by wires 54.

図5(a)は第2の実施形態においてパターンの寄生容量を説明する模式図、図5(b)はソース電極・接地間の等価回路図、である。
電界効果トランジスタ20が接着されるダイパッド領域(図示せず)は、第1、第2マイクロストリップ線路31、32と離間している。このため、ボンディングワイヤ52、54と第1、第2マイクロストリップ線路31、32の他方の端部との接続位置にダイパッド領域は接続されない。このため、図5(b)の等価回路図に表すように寄生容量を十分に小さくできる。すなわち、第1の実施形態と比較して並列共振によりソース電極Sが開放になることを回避し、発振を抑制できる。
FIG. 5A is a schematic diagram illustrating a parasitic capacitance of a pattern in the second embodiment, and FIG. 5B is an equivalent circuit diagram between a source electrode and ground.
A die pad region (not shown) to which the field-effect transistor 20 is bonded is separated from the first and second microstrip lines 31 and 32. For this reason, the die pad region is not connected to the connection position between the bonding wires 52, 54 and the other ends of the first and second microstrip lines 31, 32. Therefore, the parasitic capacitance can be made sufficiently small as shown in the equivalent circuit diagram of FIG. That is, it is possible to prevent the source electrode S from being opened due to parallel resonance as compared with the first embodiment, and to suppress oscillation.

図6(a)は第3の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の寄生容量を説明する模式図、図6(b)はソース電極・接地間の等価回路図、である。
第3の実施形態では、第1のマイクロストリップ線路31の電気長EL1と、第2のマイクロストリップ線路32の電気長EL2と、は異なる。また、電界効果トランジスタ20が接着されるダイパッド領域は、第1および第マイクロストリップ線路31、32と接続されない。このため、マイクロストリップ線路に並列に加わる寄生容量は十分に小さくできる。寄生容量がない場合でも、その線路長が4分の1波長となる周波数では線路端のインピーダンスは開放近傍となるが、第1のマイクロストリップ線路31の電気長EL1と、第2のマイクロストリップ線路32の電気長EL2と、は異なるので2つの線路のインピーダンスが同時に開放となることはない。
FIG. 6A is a schematic diagram illustrating the parasitic capacitance of the high-frequency low-noise amplifier according to the third embodiment, and FIG. 6B is an equivalent circuit diagram between the source electrode and the ground.
In the third embodiment, the electrical length EL1 of the first microstrip line 31 is different from the electrical length EL2 of the second microstrip line 32. Further, the die pad region to which the field effect transistor 20 is bonded is not connected to the first and the microstrip lines 31 and 32. Therefore, the parasitic capacitance applied to the microstrip line in parallel can be sufficiently reduced. Even when there is no parasitic capacitance, the impedance at the line end is close to open at a frequency at which the line length becomes a quarter wavelength, but the electric length EL1 of the first microstrip line 31 and the second microstrip line Since the electrical length EL2 is different from 32, the impedances of the two lines are not simultaneously opened.

図6(a)において、寄生容量を無視できるものとすると、理想状態のソース接地インダクタンスL0は、式(1)で表すことができる。   In FIG. 6A, assuming that the parasitic capacitance can be neglected, the ideal source ground inductance L0 can be expressed by Expression (1).


1/L0=1/(L1a+L2)+1/(L1b+L3) 式(1)

但し、L1a:ボンディングワイヤ52のインダクタンス
L1b:ボンディングワイヤ54のインダクタンス
L2:マイクロストリップ線路31のインダクタンス
L3:マイクロストリップ線路32のインダクタンス

1 / L0 = 1 / (L1a + L2) + 1 / (L1b + L3) Equation (1)

Here, L1a: inductance of the bonding wire 52
L1b: inductance of the bonding wire 54
L2: inductance of the microstrip line 31
L3: inductance of the microstrip line 32

第3の実施形態において、雑音指数を最小にするソース接地インダクタンスL0(理想値)を実現するには、インダクタンスL2およびインダクタンスL3の組み合わせを変化させる自由度がある。すなわち、ソース接地インダクタンスL0を実現しつつ、かついずれか一方のマイクロストリップ線路の線路端でのインピーダンスが開放付近となる周波数においても低雑音増幅器のソース電極Sが開放にならないように設定することができる。   In the third embodiment, in order to realize the grounded source inductance L0 (ideal value) that minimizes the noise figure, there is a degree of freedom to change the combination of the inductance L2 and the inductance L3. That is, the source electrode S of the low-noise amplifier is set not to be open even at a frequency where the impedance at the line end of one of the microstrip lines is close to open while realizing the common source inductance L0. it can.

図7(a)は第4の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の模式断面図、図7(b)はソース電極・接地間の等価回路図、である。
図7(a)に表した電界効果トランジスタ20のソース電極(S)72、73と電界効果トランジスタ20の裏面導体78との間には容量90、92が生じる。図4に表す第2の実施形態のようにダイパッド33がある場合、ダイパッド33と基板80の接地導体82との間の容量91、93が生じる。
FIG. 7A is a schematic sectional view of a high-frequency low-noise amplifier according to the fourth embodiment, and FIG. 7B is an equivalent circuit diagram between a source electrode and ground.
Capacitors 90 and 92 are generated between the source electrodes (S) 72 and 73 of the field-effect transistor 20 shown in FIG. When the die pad 33 is provided as in the second embodiment shown in FIG. 4, capacitances 91 and 93 occur between the die pad 33 and the ground conductor 82 of the substrate 80.

図7(b)に示すように容量91、93と容量90、92とはソース電極Sと接地導体82との間に直列接続され、ソース電極Sに対する寄生容量となる。この寄生容量が接地インダクタンスと並列共振を生じる周波数でソース電極Sが開放に近づき易くなる。   As shown in FIG. 7B, the capacitances 91 and 93 and the capacitances 90 and 92 are connected in series between the source electrode S and the ground conductor 82, and serve as a parasitic capacitance for the source electrode S. At a frequency at which this parasitic capacitance causes parallel resonance with the ground inductance, the source electrode S tends to approach open.

容量90、92が十分小さい場合は容量91、93の影響は無視できる。導電性接着剤を用いる場合、図4に表す第2の実施形態において、ダイパッド領域33のサイズを電界効果トランジスタ20のサイズよりも大きくすると接着剤がはみ出ることなく、アセンブリが容易となる。しかし、電界効果トランジスタ20の厚みが薄く、ソース電極Sが比較的大きい場合、容量90、92が大きくなり、容量90、92の影響が無視できなくなる。   When the capacitances 90 and 92 are sufficiently small, the effects of the capacitances 91 and 93 can be ignored. When a conductive adhesive is used, in the second embodiment shown in FIG. 4, if the size of the die pad region 33 is made larger than the size of the field effect transistor 20, the adhesive does not protrude, and the assembly becomes easy. However, when the thickness of the field effect transistor 20 is small and the source electrode S is relatively large, the capacitances 90 and 92 increase, and the influence of the capacitances 90 and 92 cannot be ignored.

これに対して、第4の実施形態では、チップサイズよりも大きいダイパッド領域を設けない。すなわち、電界効果トランジスタ20の裏面とマイクロストリップ線路31、32とは絶縁される。本図において、電界効果トランジスタ20の裏面導体78のサイズは、電界効果トランジスタ20のサイズよりも小さい。また、導電性接着剤が広がるとダイパッド同様に容量を生じるので、電界効果トランジスタ20と基板80の表面絶縁領域81aとの間が絶縁性接着剤79で接着される。   On the other hand, in the fourth embodiment, a die pad area larger than the chip size is not provided. That is, the back surface of the field-effect transistor 20 and the microstrip lines 31 and 32 are insulated. In the figure, the size of the back conductor 78 of the field effect transistor 20 is smaller than the size of the field effect transistor 20. In addition, when the conductive adhesive spreads, a capacitance is generated as in the case of the die pad. Therefore, the insulating adhesive 79 bonds between the field effect transistor 20 and the surface insulating region 81a of the substrate 80.

ソース電極72と裏面導体78との間にキャパシタ90が生じる。また、裏面導体78と基板80の接地導体82との間にキャパシタ91が生じる。このため、ソース電極72と接地との間には、キャパシタ90、91が直列接続される。同様に、ソース電極73と接地との間には、キャパシタ92、93が直列接続される。直列接続された寄生容量の値は、図4の第2の実施形態の寄生容量よりも小さくできる。このため、不要な発振がさらに抑制される。   A capacitor 90 is generated between the source electrode 72 and the back surface conductor 78. Further, a capacitor 91 is generated between the back conductor 78 and the ground conductor 82 of the substrate 80. Therefore, capacitors 90 and 91 are connected in series between source electrode 72 and ground. Similarly, capacitors 92 and 93 are connected in series between the source electrode 73 and the ground. The value of the parasitic capacitance connected in series can be smaller than the parasitic capacitance of the second embodiment in FIG. For this reason, unnecessary oscillation is further suppressed.

図8(a)は第5の実施形態にかかる高周波低雑音増幅器の模式断面図、図8(b)はソース電極・接地間の等価回路図、である。
第5の実施形態では、チップに裏面導体が設けられず、電界効果トランジスタ20の裏面の絶縁領域と基板80の表面絶縁領域81aとの間が絶縁性接着剤79で接着される。このため、ソース電極(S)72、73と接地導体82との間のみが容量となり寄生キャパシタ94の容量、寄生キャパシタ95の容量が第2の実施形態よりも低減でき、不要な発振がさらに抑制される。
FIG. 8A is a schematic cross-sectional view of a high-frequency low-noise amplifier according to the fifth embodiment, and FIG. 8B is an equivalent circuit diagram between a source electrode and ground.
In the fifth embodiment, the back conductor is not provided on the chip, and the insulating region on the back surface of the field effect transistor 20 and the front insulating region 81a of the substrate 80 are bonded with the insulating adhesive 79. Therefore, only the space between the source electrodes (S) 72 and 73 and the ground conductor 82 becomes a capacitance, so that the capacitance of the parasitic capacitor 94 and the capacitance of the parasitic capacitor 95 can be reduced as compared with the second embodiment, and unnecessary oscillation is further suppressed. Is done.

第1〜第5の実施形態およびこれに付随する変形例によれば、雑音指数が最小となるインピーダンスと利得が最大となるインピーダンスとを近づけつつ不要な発振を抑制可能な高周波低雑音増幅器が提供される。これらの高周波低雑音増幅器は、マイクロ波通信機器などに広く応用可能である。   According to the first to fifth embodiments and the accompanying modifications, there is provided a high-frequency low-noise amplifier capable of suppressing unnecessary oscillation while approaching an impedance with a minimum noise figure and an impedance with a maximum gain. Is done. These high-frequency low-noise amplifiers can be widely applied to microwave communication equipment and the like.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   While some embodiments of the invention have been described, these embodiments have been presented by way of example only, and are not intended to limit the scope of the inventions. These new embodiments can be implemented in other various forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and their modifications are included in the scope and gist of the invention, and are also included in the invention described in the claims and their equivalents.

10 高周波低雑音増幅器、20 電界効果トランジスタ、31 第1のマイクロストリップ線路、32 第2のマイクロストリップ線路、33 ダイパッド領域、52 第1のボンディングワイヤ、54 第2のボンディングワイヤ、72、73 ソース電極、78 裏面導体、79 絶縁性接着剤、80 基板、81a 表面絶縁領域、82 接地導体、EL1、EL2 電気長、H1、H2 貫通孔

Reference Signs List 10 high frequency low noise amplifier, 20 field effect transistor, 31 first microstrip line, 32 second microstrip line, 33 die pad region, 52 first bonding wire, 54 second bonding wire, 72, 73 source electrode , 78 back conductor, 79 insulating adhesive, 80 substrate, 81a surface insulating area, 82 ground conductor, EL1, EL2 electrical length, H1, H2 through hole

Claims (3)

裏面に接地導体が設けられた基板であって、一方の端部が前記接地導体に接続され帯域内においてインダクタンスを有するマイクロストリップ線路と、表面絶縁領域と、を有する基板と、
ボンディングワイヤと、
絶縁性接着剤と、
前記基板上に配置されソース電極を表面に有する電界効果トランジスタであって、前記マイクロストリップ線路の他方の端部と前記ソース電極とは前記ボンディングワイヤにより接続された、電界効果トランジスタと、
を備え、
前記電界効果トランジスタの裏面は、前記絶縁性接着剤により前記表面絶縁領域に接合されることにより、前記マイクロストリップ線路とは絶縁され、
前記電界効果トランジスタの前記ソース電極と前記接地導体との間のインピーダンスは、前記帯域内において所望の範囲のインダクタンス成分を有する、高周波低雑音増幅器。
A substrate provided with a ground conductor on the back surface, a microstrip line having one end connected to the ground conductor and having an inductance in a band, and a substrate having a surface insulating region,
A bonding wire;
An insulating adhesive;
A field-effect transistor disposed on the substrate and having a source electrode on a surface, wherein the other end of the microstrip line and the source electrode are connected by the bonding wire,
With
The back surface of the field effect transistor is insulated from the microstrip line by being joined to the surface insulating region by the insulating adhesive,
A high frequency low noise amplifier, wherein an impedance between the source electrode of the field effect transistor and the ground conductor has an inductance component in a desired range within the band.
前記電界効果トランジスタの前記裏面は、裏面導体を含まずかつ絶縁領域とされる、請求項1記載の高周波低雑音増幅器。   The high-frequency low-noise amplifier according to claim 1, wherein the back surface of the field-effect transistor does not include a back conductor and is an insulating region. 前記電界効果トランジスタは、裏面導体を含み、
前記裏面導体のサイズは、前記電界効果トランジスタのサイズよりも小さく、
前記裏面導体と前記表面絶縁領域とが前記絶縁性接着剤により接着される、請求項1記載の高周波低雑音増幅器。
The field effect transistor includes a back conductor,
The size of the back conductor is smaller than the size of the field effect transistor,
The high-frequency low-noise amplifier according to claim 1, wherein the back conductor and the front insulating region are bonded by the insulating adhesive.
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