JP2020004954A - 半導体基板処理装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】チャンバ圧力を急速かつ安定的に変化させるための流れコンダクタンス調節システムを備えた処理ツールを提供する。【解決手段】処理ツール100は、チャンバ本体180、リッド141、ガス分配プレート140、基板を支持するためのチャック152、基板150をチャンバ本体に挿入するためのポート182含む。処理ツール100はまた、チャック152を囲むカソードライナ122と、カソードライナ122と位置合わせされた流れ閉じ込めリング120とを含むことができる。カソードライナ122および流れ閉じ込めリング120は、真空チャンバの主処理容積部105と周辺容積部106との間の開口部を画定する。【選択図】図1A
Description
関連出願の相互参照
[0001]本出願は、2018年5月2日に出願された米国仮特許出願第62/665,852号の利益を請求し、その全内容が、参照により本明細書に組み入れられる。
[0001]本出願は、2018年5月2日に出願された米国仮特許出願第62/665,852号の利益を請求し、その全内容が、参照により本明細書に組み入れられる。
[0002]実施形態は、半導体処理装置の分野に関し、特定の実施形態では、チャンバ圧力を急速かつ安定的に変化させるための流れコンダクタンス調節システムを備えた処理ツールに関する。
[0003]真空チャンバを有する処理ツールによって実施される処理レシピは、しばしば圧力変化を含む。例えば、所望の特性(例えば、プラズマ特性)を提供するために、圧力が増減され得る。さらに、真空チャンバに基板を挿入または真空チャンバから取り外すために、真空チャンバの圧力を変える必要があり得る。
[0004]上述のような圧力の変化は、真空チャンバが安定した圧力に落ち着くために、かなりの時間を必要とすることが多い。詳細には、真空チャンバが圧力を変えることができる速度は、真空チャンバの流れコンダクタンスによって制限される。真空チャンバの流れコンダクタンスは、少なくとも部分的には、真空チャンバを製造するために使用される構成および構成要素によって設定される。例えば、パイプ、継手およびバルブなどの直径は、真空チャンバの流れコンダクタンスに寄与し得る。
[0005]現在利用可能なシステムでは、流れコンダクタンスを制御するパラメータは、チャンバの構成によって設定され、動的に制御することはできない。そのため、真空チャンバの圧力の変化は、通常、システムの流れコンダクタンスを変えることによっては行うことができない。代わりに、真空チャンバの圧力の変化は、主にポンプの性能に依存している。
[0006]本明細書に記載の実施形態は、処理圧力の急速で安定した変化のために構成された処理ツールを含む。一実施形態では、処理ツールは、チャンバ本体を含むことができる。一実施形態では、チャンバ本体は、真空チャンバである。処理ツールは、チャンバ本体内で基板を支持するためのチャックをさらに含むことができる。一実施形態では、処理ツールはまた、チャックを囲むカソードライナと、カソードライナと位置合わせされた流れ閉じ込めリングとを含むことができる。一実施形態では、カソードライナおよび流れ閉じ込めリングは、真空チャンバの主処理容積部と周辺容積部との間の開口部を画定する。
[0007]実施形態はまた、流れコンダクタンス調節システムを含むことができる。一実施形態では、流れコンダクタンス調節システムは、カソードライナと流れ閉じ込めリングとを含むことができる。一実施形態では、カソードライナおよび流れ閉じ込めリングは、互いに対して機械的に変位可能である。
[0008]実施形態はまた、急速で安定した圧力変化のために構成された処理ツールを含むことができる。一実施形態では、処理ツールは、チャンバ本体を含むことができる。一実施形態では、チャンバ本体は、真空チャンバである。一実施形態では、処理ツールはまた、チャンバ本体内で基板を支持するためのチャックを含むことができる。一実施形態では、処理ツールはまた、チャックを囲むカソードライナを含むことができる。一実施形態では、カソードライナおよびチャックは、垂直方向に変位可能である。一実施形態では、処理ツールはまた、カソードライナと位置合わせされた流れ閉じ込めリングを含むことができる。一実施形態では、真空チャンバ内の流れコンダクタンスは、カソードライナを垂直方向に変位させることによって変化する。
[0009]上記の概要は、全ての実施形態の網羅的なリストを含んではいない。上記で要約された様々な実施形態、ならびに以下の詳細な説明に開示され、本出願とともに提出された特許請求の範囲において特に指摘されたもののすべての適切な組み合わせから実施できるすべてのシステムおよび方法が含まれることが、意図されている。そのような組み合わせは、上記の概要に具体的に列挙されていない特定の利点を有する。
[0034]本明細書に記載の実施形態による装置は、設定可能な流れコンダクタンスを有する真空処理チャンバを含む。特定の実施形態では、流れコンダクタンスを急速に変化させるために、カソードライナと流れ閉じ込めリングは、互いに対して変位可能である。以下の説明では、実施形態の完全な理解を提供するために、多数の特定の詳細が説明される。実施形態がこれらの特定の詳細なしで実施され得ることは、当業者には明らかであろう。他の例では、実施形態を不必要に曖昧にしないために、周知の態様は、詳細には説明されない。さらに、添付の図面に示されている様々な実施形態は例示的な表現であり、必ずしも一定の縮尺で描かれているわけではないことを、理解されたい。
[0035]上述のように、現在のシステムは、真空チャンバ内の圧力を急速かつ安定的に変化させるための機構を含まない。それゆえ、本明細書に記載の実施形態は、チャンバ内の流れコンダクタンスを制御することによって真空チャンバ内の圧力を急速かつ安定的に変化させるためのシステムを含む。詳細には、実施形態は、互いに対して変位可能であるカソードライナと流れ閉じ込めリングとを含む。カソードライナおよび流れ閉じ込めリングは、チャンバの主処理容積部をチャンバの周辺容積部から分離する。カソードライナと流れ閉じ込めリングの表面によって画定される開口部は、チャンバの主処理容積部をチャンバの周辺容積部に流体的に結合する。したがって、カソードライナと流れ閉じ込めリングとを互いに対して変位させることは、開口部の幾何学的形状を変化させ、それゆえ、チャンバの主処理容積部と周辺容積部との間の流れコンダクタンスを変化させる。
[0036]流れコンダクタンスの変化は、カソードライナおよび/または流れ閉じ込めリングの機械的変位の結果であるので、主処理容積部の圧力の急速な変化が可能になる。例えば、本明細書に記載の実施形態は、主処理容積部の圧力を約5秒以下で50mT以上変化させることを可能にする。さらなる実施形態は、主処理容積部の圧力を3秒未満で70mT以上変化させることを可能にし得る。
[0037]本発明の実施形態はまた、急速な圧力変化中の精度を向上させるための機構も提供する。例えば、実施形態は、開口部の流れコンダクタンスをさらに精緻化する輪郭を含むカソードライナおよび流れ閉じ込めリングを含む。いくつかの実施形態では、カソードライナおよび/または流れ閉じ込めリングは、寸法が減少する複数のスロットを含む。より多くのスロットが覆われて流れコンダクタンスが減少するにつれて、流れコンダクタンスの変化の分解能が向上する。
[0038]ここで図1Aを参照すると、一実施形態による、流れコンダクタンス調節システムを備えた処理ツール100の断面図が示されている。一実施形態では、処理ツール100は、チャンバ本体180を含むことができる。チャンバ本体180は、1つ以上の基板150の処理を行うことができる任意の大きさの任意の適切な真空チャンバとすることができる。一実施形態では、チャンバ本体180は、リッド141を含むことができる。一実施形態では、リッド141は、シャワーヘッドなどのガス分配プレート140を支持することができる。チャンバ本体180は、基板をチャンバ本体180に挿入するためのポート182を含むことができる。例えば、図示の実施形態は、サイドローディングドアであるポート182を含むが、実施形態は、サイドローディングポートに限定されない。図示されていないが、チャンバ本体180を貫通して1つ以上の排気口を形成することもできることを、理解されたい。
[0039]一実施形態では、チャンバ本体180内の基板150は、チャック152によって支持されてもよい。チャック152は、いくつかの実施形態では、静電チャックとすることができる。一実施形態では、チャック152は、処理中に所望の基板温度を提供するための加熱および/または冷却システムを含むことができる。プロセスキット130が、基板150の外縁部の周りでチャック152に結合されていてもよい。一実施形態では、チャック152は、ペデスタル154に結合されていてもよい。一実施形態では、ペデスタル154は、変位可能であってもよい。例えば、ペデスタル154の近くの矢印は、ペデスタル154が少なくとも垂直方向(すなわちZ方向)に変位可能であることを示す。
[0040]一実施形態では、処理ツール100は、カソードライナ122と流れ閉じ込めリング120とを備える流れコンダクタンス調節システムを含むことができる。一実施形態では、流れ閉じ込めリング120は、チャンバ本体180のリッド141に結合されていてもよい。一実施形態では、流れ閉じ込めリングは、浮遊電圧を有する(すなわち、流れ閉じ込めリングは接地されていない)。例えば、図1Aおよび図1Bでは、流れ閉じ込めリング120は、接地されたチャンバ本体180から絶縁体128によって電気的に絶縁されている。しかしながら、いくつかの実施形態では、流れ閉じ込めリング120は接地されていてもよく、構成要素128は導体であってもよいことを、理解されたい。一実施形態では、カソードライナ122は、チャック152の外周を囲むことができる。カソードライナ122はまた、ペデスタル154に結合されていてもよい。したがって、カソードライナ122は、いくつかの実施形態では、(矢印で示すように)少なくとも1つの方向に変位可能であり得る。
[0041]一実施形態では、流れコンダクタンス調節システムは、主処理容積部105と周辺チャンバ容積部106との間の流れコンダクタンスを調節するためのシステムを提供する。一実施形態では、流れコンダクタンスは、流れ閉じ込めリング120に対してカソードライナ122を変位させることによって調節される。例えば、カソードライナ122は、ペデスタル154を変位させることによって、流れ閉じ込めリング120に向かってまたは流れ閉じ込めリング120から離れるように変位させることができる。
[0042]一実施形態では、流れ閉じ込めリング120に対するカソードライナ122の変位により、流れ閉じ込めリング120およびカソードライナ122の表面によって画定される間隙Gの幾何学的形状が変化する。間隙Gは、主処理容積部105を周辺容積部106に流体的に結合する。
[0043]図1Aでは、カソードライナ122は、第1の位置にある。第1の位置は、大きな流れコンダクタンスを提供する間隙Gを提供し得る。例えば、流れコンダクタンスは、主処理容積部105内で低圧処理を提供するのに十分であり得る。例えば、カソードライナ122が第1の位置にあるとき、主処理容積部105は、約20mT以下で動作可能であり得る。一実施形態では、カソードライナ122が第1の位置にあるとき、破線で示されるように、基板150は、チャック152上に配置またはチャック152から取り外すために、開口部182を通って挿入可能であり得る。
[0044]図1Bでは、カソードライナ122は、第2の位置にある。第2の位置は、低い流れコンダクタンスを提供する間隙Gを提供し得る。例えば、流れコンダクタンスは、主処理容積部105内で比較的高圧の処理を提供するのに十分であり得る。例えば、カソードライナ122が第2の位置にあるとき、主処理容積部105は、約50mT以上で動作可能であり得る。
[0045]カソードライナ122は、図1Aで第1の位置および図1Bで第2の位置に示されているが、カソードライナ122は、所望の流れコンダクタンスを提供するために、第1の位置と第2の位置との間の任意の位置に移動させることができることを、理解されたい。したがって、実施形態において、カソードライナ122を任意の所望の位置に移動させることによって、主処理容積部105が、任意の所望の圧力に維持される。一実施形態によれば、流れコンダクタンス調節システムは、約5秒以下で、主処理容積部105内の50mT以上の圧力変化を可能にし得る。さらなる実施形態は、主処理容積部105の圧力を3秒未満で70mT以上変化させることを可能にし得る。流れコンダクタンスは、処理ツール内の構成要素の機械的変位によって修正されるので、主処理容積部の圧力変化は、ポンプのみに頼るときに可能であるよりも早く安定化されることを、理解されたい。
[0046]一実施形態では、カソードライナ122および流れ閉じ込めリング120は、互いに実質的に同心であり得る。一実施形態では、カソードライナ122の外面の直径D1は、流れ閉じ込めリング120の内面の直径D2より小さくてもよい。したがって、図1Bに示すように、カソードライナ122を流れ閉じ込めリング120に向かって変位させて、カソードライナ122の一部を流れ閉じ込めリング120で囲むことができる。しかしながら、いくつかの実施形態では、カソードライナ122の内面の直径D3は、流れ閉じ込めリング120の外面の直径D4より大きくてもよいことを、理解されたい。そのような実施形態では、流れ閉じ込めリング120の一部は、カソードライナ122によって囲まれてもよい。いくつかの実施形態では、カソードライナ122および流れ閉じ込めリング120の外径D1およびD4は、実質的に同じであってもよい。さらに、カソードライナ122および流れ閉じ込めリング120は、円形リングとして説明されているが、カソードリング122および流れ閉じ込めリング120の一方または両方が、非円形形状(例えば、正方形、長方形、楕円形など)を有することができることを、理解されたい。
[0047]いくつかの実施形態では、実質的に同心の位置合わせを維持するために、位置合わせパッドが、流れ閉じ込めリング120およびカソードライナ122の互いに面する表面上に形成されてもよい。位置合わせパッドはまた、カソードライナ122が流れ閉じ込めリング120から確実に電気的に絶縁されるようにするために、絶縁性の位置合わせパッドであってもよい。例えば、位置合わせパッドは、テフロンなどであってもよい。
[0048]ここで図2Aおよび図2Bを参照すると、追加の実施形態による、カソードライナ222が第1の位置(図2A)および第2の位置(図2B)にある処理ツール200が、示されている。処理ツール200は、流れ閉じ込めリング220が接地されていることを除いて、図1Aおよび図1Bに示された処理ツール100と実質的に同様であり得る。一実施形態では、流れ閉じ込めリング220は、チャンバ本体280に電気的に結合されることによって接地されている。いくつかの実施形態では、流れ閉じ込めリング220は、チャンバ本体280と一体化することができる。
[0049]ここで図3Aおよび図3Bを参照すると、一実施形態による、カソードライナ322および流れ閉じ込めリング320の一部が、示されている。一実施形態では、カソードライナ322の外面は、流れ閉じ込めリング320の内面の直径D2よりも小さい直径D1を有する。例えば、流れ閉じ込めリング320の内面の直径D2は、カソードライナ322の外面の直径D1よりも距離Xだけ大きくてもよい。一実施形態では、距離Xは、約0.25インチとすることができるが、距離Xは処理ツールの設計に応じて任意の適切な寸法とすることができることを、理解されたい。
[0050]図3Bでは、カソードライナ322は、流れ閉じ込めリング322に向かって変位している。カソードライナ322が流れ閉じ込めリング320に向かって変位するにつれて、主処理容積部305と周辺容積部306との間の間隙が、減少する。いくつかの実施形態では、カソードライナ322は、流れ閉じ込めリング320と一部重なってもよい。カソードライナ322が流れ閉じ込めリング320に向かって変位するにつれて、主処理容積部305と周辺容積部306との間の流れコンダクタンスが、減少する。
[0051]ここで図4Aおよび図4Bを参照すると、一実施形態による、カソードライナ422および接地された流れ閉じ込めリング420の一部が、示されている。そのような実施形態では、流れ閉じ込めリング420は、接地されたチャンバ本体を構成する一部分であることによって接地されてもよいし(図2Aおよび図2Bと同様)、または流れ閉じ込めリング420は、接地された構成要素に電気的に結合されてもよい(図1Aおよび図2Bと同様。ここで、構成要素128は導体である)。一実施形態では、カソードライナ422は、ノッチ425を含むことができる。一実施形態では、ノッチ425は、流れ閉じ込めリング420の端部を受け入れるような大きさにすることができる。例えば、ノッチ425は、流れ閉じ込めリング420の幅W2以上の幅W1を有してもよい。一実施形態では、RFガスケット421が、流れ閉じ込めリング420の端部に形成されてもよい。RFガスケット421は、図4Bに示されるように、流れ閉じ込めリング420がカソードライナ422のノッチ425に置かれているときに、流れ閉じ込めリング420をカソードライナ422から電気的に絶縁し得る。カソードライナ422が流れ閉じ込めリング420に向かって変位するにつれて、主処理容積部405と周辺容積部406との間の流れコンダクタンスが、減少する。さらに、RFガスケット421は、すべての実施形態において完全なシールを提供する必要はないことを、理解されたい。例えば、流れ閉じ込めリング420とカソードライナ422との間の流体の流れを可能にするために、流れ閉じ込めリング420とカソードライナ422との間に間隙が存在してもよい。
[0052]ここで図5Aおよび図5Bを参照すると、一実施形態による、カソードライナ522および流れ閉じ込めリング520の一部が、示されている。一実施形態では、カソードライナ522は、バッフル526を含むことができる。図示の実施形態では、バッフル526は、複数の貫通孔527を有するものとして示されている。しかしながら、実施形態は、任意の数のチャネルおよび/または貫通孔を備えたバッフル526を含むことができることを、理解されたい。流れ閉じ込めリング520は、バッフル526の上方に配置されてもよい。一実施形態において、バッフルは、図5Bに示されるように、カソードライナ522が流れ閉じ込めリング520に近づけられたときに、主処理容積部505と周辺容積部506との間の流れコンダクタンスを修正する。
[0053]ここで図6Aおよび図6Bを参照すると、一実施形態による、カソードライナ622および流れ閉じ込めリング620の一部が、示されている。一実施形態では、RFガスケット621が、流れ閉じ込めリング620の内面に形成されてもよい。一実施形態では、図6Bに示すように、カソードライナ622が流れ閉じ込めリング620に近接するように変位したときに、RFガスケット621は、流れ閉じ込めリング620をカソードライナ622から電気的に絶縁し得る。さらに、RFガスケット621は、すべての実施形態において完全なシールを提供する必要はないことを、理解されたい。例えば、流れ閉じ込めリング620とカソードライナ622との間の流体の流れを可能にするために、流れ閉じ込めリング620とカソードライナ622との間に間隙が存在してもよい。
[0054]ここで図7Aおよび図7Bを参照すると、一実施形態による、カソードライナ722および流れ閉じ込めリング720の一部が、示されている。一実施形態では、流れ閉じ込めリング720は、カソードライナ722に形成された凹部728にぴったりはまる大きさの突起部729を含むことができる。例えば、凹部728の幅W1は、突起部729の幅W2以上であり得る。一実施形態では、凹部728の表面733は、突起部の表面734と実質的に一致し得る。例えば、突起部表面734は丸くすることができ、凹部の表面733は、突起部表面734と一致するように丸くすることができる。一実施形態では、突起部729と凹部728との間の接合は、雄雌接合と呼ばれることもある。
[0055]一実施形態では、カソードライナ722が流れ閉じ込めリング722に向かって変位すると、突起部729が、凹部728を満たす。突起部729のより多くの部分が凹部728に入るにつれて、主処理容積部705と周辺容積部706との間の流れコンダクタンスが、減少する。
[0056]ここで図8Aおよび図8Bを参照すると、一実施形態による、カソードライナ822および流れ閉じ込めリング820の一部が、示されている。一実施形態では、カソードライナ822は、流れ閉じ込めリング820の表面819と相補的な表面818を有する。一実施形態では、流れ閉じ込めリング820およびカソードライナ822の中心線813および814は、実質的に一直線になり得る。一実施形態では、カソードライナ822の幅W1は、流れ閉じ込めリング820の幅に実質的に等しくてもよい。追加の実施形態では、カソードライナ822の幅W1は、カソードライナ822の幅W2と異なっていてもよい。カソードライナ822が流れ閉じ込めリング822に向かって変位するにつれて、主処理容積部805と周辺容積部806との間の流れコンダクタンスが、減少する。
[0057]ここで図9Aを参照すると、一実施形態による、流れ閉じ込めリング920の一部の断面図が示されている。一実施形態では、流れ閉じ込めリング920は、複数のスロット910A〜910nを含むことができる。スロット910の存在は、主処理容積部905と周辺容積部906との間の流れコンダクタンスのさらなる制御を可能にする。例えば、カソードライナが流れ閉じ込めリング920に向かって変位するにつれて、スロット910は、塞がれるようになる。いくつかの実施形態では、スロット910は、不均一な寸法を有する。例えば、スロットの寸法は、次第に小さくなってもよい。そのような実施形態は、流れコンダクタンスが減少するにつれて、流れコンダクタンスのより正確な制御を可能にする。
[0058]実施形態は、任意の形状のスロットを含む。スロット910の例示的な実施形態が、図9B〜図9Dに示されている。例えば、図9Bでは、スロット910A〜910nは、様々な幅の垂直スロットとして示されている。図9Cでは、スロット910A〜910nは、様々な直径の円形スロットとして示されている。図9Dでは、スロット910A〜910nは、様々な厚さの横方向スロットとして示されている。スロット910は、流れ閉じ込めリング910に形成されているものとして示されているが、スロットはカソードライナにも形成できることを理解されたい。いくつかの実施形態では、スロットは、カソードライナおよび流れ閉じ込めリングに形成されてもよい。
[0059]ここで図9Eを参照すると、一実施形態による、複数のスロット910が流れ閉じ込めリング920の周囲に配置された流れ閉じ込めリング920の斜視図が、示されている。示されるように、スロット910は、実質的に均一な幅であり得、周囲の周りに実質的に均一な間隔を有し得る。いくつかの実施形態では、スロット910は、不均一な高さを含み得る。スロット910の高さの変動は、図9Fで、より明確に見ることができる。示されるように、各スロット910の底面は、(Z方向において)実質的に互いに揃っていてもよい。スロット910の高さの変動のため、スロット910の上面は、(Z方向において)互いに揃っていない。図示の実施形態では、スロット910は、高さ順に並べられている。しかしながら、スロット910は任意の適切な順序で配置されてもよいことを、理解されたい。
[0060]高さが不均一なスロット910を使用すると、流れコンダクタンスの制御を改善することができる。例えば、いったん、最も短いスロット910がカソードライナ(図示せず)によって覆われると、部分的に露出したままであるスロット910の数は、カソードライナが進み続けるにつれて減少し続ける。これにより、低い流れコンダクタンス値で、より正確な制御が可能になる。
[0061]ここで図10を参照すると、一実施形態による、変位可能な流れ閉じ込めリング1020および変位可能なカソードライナ1022を備えたツール1000の断面図が、示されている。一実施形態では、流れ閉じ込めリング1020は、チャンバ本体1080の外側に位置するアクチュエータ1070によって、破線および矢印で示されるように、少なくとも1つの方向に変位させることができる。一実施形態では、アクチュエータ1070は、窓1083を通って流れ閉じ込めリング1020に機械的に結合されてもよい。いくつかの実施形態では、カソードライナ1022が、静止していてもよく、流れ閉じ込めリング1020が、唯一の変位可能な構成要素であってもよい。
[0062]本明細書で説明される実施形態は、単一の主処理容積部を備えた処理ツールを含む。しかしながら、実施形態は、2つ以上の主処理容積部を備えた処理ツールに統合されている流れコンダクタンス調節システムを含むこともできることを、理解されたい。例えば、処理ツールは、複数の基板を同時に処理するために、2つ以上の流れコンダクタンス調節システムを含んでもよい。
[0063]本明細書で説明される実施形態は、流れコンダクタンス調節システムを含むように改造された処理ツールを含むこともできる。変位可能なチャックを含む処理ツールでは、上記と同様の流れ閉じ込めリングを取り付けることでツールが改造され得る。変位可能なチャックのない処理ツールでは、図10で説明したものと同様の変位可能な流れ閉じ込めリングが、取り付けられ得る。
[0064]さらに、カソードライナおよび流れ閉じ込めリングの輪郭は、本明細書で説明された実施形態に関して説明された任意の輪郭であってよいことを、理解されたい。例えば、処理ツール100、200、および1000は、図3A〜図9Cに関して説明された輪郭のうちの1つ以上を含むカソードライナおよび/または流れ閉じ込めリングを含むことができる。
[0065]次に図11を参照すると、一実施形態による、処理ツールの例示的なコンピュータシステム1160のブロック図が、示されている。一実施形態では、コンピュータシステム1160は、処理ツールに結合され、処理ツールでの処理を制御する。コンピュータシステム1160は、ローカルエリアネットワーク(LAN)、イントラネット、エクストラネット、またはインターネット内の他のマシンに接続(例えば、ネットワーク化)されてもよい。コンピュータシステム1160は、クライアントサーバネットワーク環境のサーバもしくはクライアントマシンとして動作してもよいし、またはピアツーピア(もしくは分散)ネットワーク環境のピアマシンとして動作してもよい。コンピュータシステム1160は、パーソナルコンピュータ(PC)、タブレットPC、セットトップボックス(STB)、携帯情報端末(PDA)、携帯電話、ウェブアプライアンス、サーバ、ネットワークルーター、スイッチ、またはブリッジ、またはそのマシンによって行われるべきアクションを指定する命令のセット(シーケンシャルまたはその他)を実行することができる任意のマシンであってよい。さらに、コンピュータシステム1160について単一のマシンのみが示されているが、「マシン」という用語は、本明細書に記載の方法のうちのいずれか1つ以上を遂行するために命令のセット(または複数のセット)を個別にまたは共同で実行するマシン(例えば、コンピュータ)の任意の集合も含むものとする。
[0066]コンピュータシステム1160は、コンピュータシステム1160(または他の電子デバイス)をプログラムして実施形態によるプロセスを実施するために使用され得る命令を格納した非一時的なマシン可読媒体を有するコンピュータプログラム製品、すなわちソフトウェア1122を含んでもよい。マシン可読媒体は、マシン(例えば、コンピュータ)によって読み取り可能な形式で情報を保存または伝送するための任意の仕組みを含む。例えば、マシン可読(例えば、コンピュータ可読)媒体は、マシン(例えば、コンピュータ)可読記憶媒体(例えば、読み取り専用メモリ(「ROM」)、ランダムアクセスメモリ(「RAM」)、磁気ディスク記憶媒体、光学記憶媒体、フラッシュメモリデバイスなど)、マシン(例えば、コンピュータ)可読伝送媒体(電気、光学、音響またはその他の形式の伝搬信号(例えば、赤外線信号、デジタル信号など))などを含む。
[0067]一実施形態では、コンピュータシステム1160は、システムプロセッサ1102、メインメモリ1104(例えば、読み取り専用メモリ(ROM)、フラッシュメモリ、シンクロナスDRAM(SDRAM)またはラムバスDRAM(RDRAM)などのダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)など)、スタティックメモリ1106(例えば、フラッシュメモリ、スタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)など)、およびバス1130を介して互いに通信する二次メモリ1118(例えば、データ記憶装置)を含む。
[0068]システムプロセッサ1102は、マイクロシステムプロセッサ、中央処理装置などの1つ以上の汎用処理装置を表す。より具体的には、システムプロセッサは、複合命令セットコンピューティング(CISC)マイクロシステムプロセッサ、縮小命令セットコンピューティング(RISC)マイクロシステムプロセッサ、超長命令語(VLIW)マイクロシステムプロセッサ、他の命令セットを実装するシステムプロセッサ、または命令セットの組み合わせを実装する複数のシステムプロセッサであってもよい。システムプロセッサ1102は、特定用途向け集積回路(ASIC)、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)、デジタル信号システムプロセッサ(DSP)、ネットワークシステムプロセッサなどの1つ以上の専用処理装置であってもよい。システムプロセッサ1102は、本明細書で説明される動作を遂行するための処理ロジック1126を実行するように構成される。
[0069]コンピュータシステム1160は、他のデバイスまたはマシンと通信するためのシステムネットワークインターフェース装置1108をさらに含むことができる。コンピュータシステム1160はまた、ビデオディスプレイ装置1110(例えば、液晶ディスプレイ(LCD)、発光ダイオードディスプレイ(LED)、またはブラウン管(CRT))、英数字入力装置1112(例えば、キーボード)、カーソル制御装置1114(例えば、マウス)、および信号発生装置1116(例えば、スピーカー)を含んでもよい。
[0070]二次メモリ1118は、本書に記載されている方法または機能のうちのいずれか1つ以上の方法または機能を具体化する1つ以上の命令のセット(例えば、ソフトウェア1122)が格納されているマシンアクセス可能記憶媒体1131(またはより具体的には、コンピュータ可読記憶媒体)を含むことができる。ソフトウェア1122はまた、コンピュータシステム1160による実行中に、完全にまたは少なくとも部分的に、メインメモリ1104内および/またはシステムプロセッサ1102内に存在してもよく、メインメモリ1104およびシステムプロセッサ1102もまた、マシン可読記憶媒体を構成する。ソフトウェア1122はさらに、システムネットワークインターフェース装置1108を経由してネットワーク1120を通して送信または受信されてもよい。
[0071]マシンアクセス可能記憶媒体1131は、例示的な実施形態において、単一の媒体として示されているが、「マシン可読記憶媒体」という用語は、1つ以上の命令のセットを格納する単一の媒体または複数の媒体(例えば、集中型もしくは分散型データベース、ならびに/または関連するキャッシュおよびサーバ)を含むものとする。「マシン可読記憶媒体」という用語はまた、マシンによって実行され、いずれか1つ以上の方法をマシンに遂行させる命令のセットを格納または符号化することができる任意の媒体を含むものとする。したがって、「マシン可読記憶媒体」という用語は、限定しないが、固体メモリ、ならびに光媒体および磁気媒体を含むものとする。
[0072]前述の明細書では、特定の例示的な実施形態を説明した。以下の特許請求の範囲から逸脱することなく、それに様々な修正を加えることができることは明らかであろう。したがって、明細書および図面は、限定的な意味ではなく、例示的な意味で考えられるべきである。
Claims (15)
- 真空チャンバであるチャンバ本体と、
前記チャンバ本体内で基板を支持するチャックと、
前記チャックを囲むカソードライナと、
前記カソードライナと位置合わせされた流れ閉じ込めリングと、
を備える処理ツールであって、前記カソードライナと前記流れ閉じ込めリングが、前記真空チャンバの主処理容積部と周辺容積部との間の開口部を画定する、処理ツール。 - 前記カソードライナが、変位可能であり、前記カソードライナを変位させることにより、前記開口部の幾何学的形状が変化する、請求項1に記載の処理ツール。
- 前記カソードライナが、前記チャックに結合されており、前記カソードライナと前記チャックが、同時に変位される、請求項2に記載の処理ツール。
- 前記流れ閉じ込めリングが、チャンバリッドに結合されている、請求項2に記載の処理ツール。
- 前記流れ閉じ込めリングが、接地されている、請求項4に記載の処理ツール。
- 前記流れ閉じ込めリングが、接地されていない、請求項4に記載の処理ツール。
- 前記流れ閉じ込めリングが、変位可能であり、前記流れ閉じ込めリングを変位させることにより、前記開口部の幾何学的形状が変化する、請求項1に記載の処理ツール。
- 前記閉じ込めリングが、前記真空チャンバの外側にあるアクチュエータによって変位される、請求項7に記載の処理ツール。
- 前記流れ閉じ込めリングおよび前記カソードライナが、変位可能であり、前記流れ閉じ込めリングまたは前記カソードライナを変位させることにより、前記開口部の幾何学的形状が変化する、請求項1に記載の処理ツール。
- カソードライナと、
流れ閉じ込めリングと、
を備える流れコンダクタンス調節システムであって、前記カソードライナと前記流れ閉じ込めリングが、互いに対して機械的に変位可能である、流れコンダクタンス調節システム。 - 前記流れ閉じ込めリングが、チャンバのリッドに結合され、前記カソードライナが、前記チャンバ内のチャックに結合されている、請求項10に記載の流れコンダクタンス調節システム。
- 前記流れ閉じ込めリングの内径が、前記カソードライナの外径よりも大きい、請求項10に記載の流れコンダクタンス調節システム。
- 前記カソードライナが、前記流れ閉じ込めリングを受け入れる大きさのノッチを備える、請求項10に記載の流れコンダクタンス調節システム。
- 前記カソードライナが、バッフルを備える、請求項10に記載の流れコンダクタンス調節システム。
- 前記流れ閉じ込めリングが、突起部を備え、前記カソードライナが、前記流れ閉じ込めリングの前記突起部を受け入れる大きさの凹部を備える、請求項10に記載の流れコンダクタンス調節システム。
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