JP2020003412A - Inspection result presentation device, inspection result presentation method, and inspection result presentation program - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被検査物の外観検査結果をユーザに提示する検査結果提示装置、検査結果提示方法及び検査結果提示プログラムに関する。 The present invention relates to an inspection result presenting apparatus, an inspection result presenting method, and an inspection result presenting program for presenting a visual inspection result of an inspection object to a user.
製品が正常に製造されているか否か等を判定するために、製品表面のカメラによる撮影結果から製品表面の各所の特徴量（通常、輝度値）を求め、求めた特徴量と幾つかの閾値とを比較することで欠陥を検出する装置（以下、外観検査装置と表記する）が用いられている。 In order to determine whether or not the product is manufactured normally, the characteristic amount (usually, a luminance value) of each part of the product surface is obtained from the photographed result of the product surface by the camera, and the obtained characteristic amount and some threshold values are obtained. (Hereinafter, referred to as an appearance inspection device) is used.
欠陥の上記検出手順から明らかなように、既存の外観検査装置では、閾値が適切な値となっていなかった場合、誤った検査結果が得られてしまうが、既存の外観検査装置は、欠陥の総数や欠陥のサイズ別の数を出力する機能しか有していない（例えば、特許文献１参照）。そのため、閾値が適切な値となっていなかった場合、既存の外観検査装置では、各欠陥の特徴量を順々にチェックしてチェック結果から適切な閾値を決定するといった煩雑な作業を行わなければならなかった。 As is evident from the defect detection procedure described above, in the existing visual inspection device, if the threshold value is not an appropriate value, an erroneous inspection result may be obtained. It has only a function of outputting the total number and the number of defects by size (for example, see Patent Document 1). Therefore, if the threshold value is not an appropriate value, the existing visual inspection device must perform complicated work such as sequentially checking the feature amount of each defect and determining an appropriate threshold value from the check result. did not become.
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、欠陥判定用の１つ以上の閾値をより容易に決定できる環境を実現できる技術を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above situation, and has as its object to provide a technique capable of realizing an environment in which one or more thresholds for defect determination can be more easily determined.
上記目的を達成するために、本発明の一観点に係る検査結果提示装置は、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得部と、前記取得部により取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部とを備える。 In order to achieve the above object, an inspection result presenting apparatus according to one aspect of the present invention obtains a predetermined feature amount at each position of the inspection surface based on image data of the inspection surface of the inspection object. The first direction position and the feature amount of each defect present on the inspection surface are identified by comparing the feature amount at each position with one or more threshold values, and the first direction of each identified defect is identified. An acquisition unit that acquires the inspection result information generated by an inspection result information generation process that generates inspection result information including a position, the feature amount, and the one or more thresholds, and the inspection acquired by the acquiring unit A graph generation unit that generates a graph indicating the relationship between the first-direction position of each defect and the feature amount and the one or more threshold values based on the result information and presents the graph to a user.
すなわち、本発明の上記観点に係る検査結果提示装置は、その表示内容から、欠陥ごとに特徴量と閾値の関係性が分かるグラフをユーザに提示する構成を有する。従って、検査結果提示装置によれば、特徴量が閾値に近い各欠陥が実際に欠陥であるか否かを判定するだけで、適正値を調整することが可能となる。 That is, the inspection result presenting apparatus according to the above aspect of the present invention has a configuration in which the user is presented with a graph that indicates the relationship between the feature amount and the threshold value for each defect from the display contents. Therefore, according to the inspection result presentation device, it is possible to adjust the appropriate value only by determining whether or not each defect whose characteristic amount is close to the threshold value is actually a defect.
グラフ生成部がユーザに提示するグラフは、各欠陥の第１方向位置と特徴量との関係、及び、１つ以上の閾値を示すものであれば良い。従って、グラフ生成部は、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係と、前記１つ以上の閾値と、前記被検査面の前記欠陥以外の領域である地合領域の前記特徴量の前記第１方向位置依存性とを示すグラフを生成してユーザに提示しても良い。 The graph presented by the graph generation unit to the user only needs to show the relationship between the first direction position and the feature amount of each defect and one or more threshold values. Therefore, the graph generation unit may determine the relationship between the first directional position of each defect and the feature amount, the one or more threshold values, and the feature of the formation area that is an area other than the defect on the inspection surface. A graph indicating the first direction position dependence of the amount may be generated and presented to the user.
また、特徴量が閾値に近い各欠陥が実際に欠陥であるか否かの判定を容易に行えるようにするために、検査結果提示装置に、『前記検査結果情報は、前記画像データを含み、前記検査結果情報に含まれる前記画像データに基づき、前記ユーザにより前記グラフから選択された欠陥の拡大した画像をユーザに提示する拡大画像提示部をさらに備える』構成を採用しておいても良い。 Further, in order to easily determine whether or not each defect whose feature amount is close to the threshold is actually a defect, the inspection result presenting apparatus includes a message, “The inspection result information includes the image data, And an enlarged image presenting unit that presents an enlarged image of a defect selected from the graph by the user to the user based on the image data included in the inspection result information ”.
また、グラフ生成部に、複数の前記検査結果情報のそれぞれについて前記グラフを生成し、生成した複数の前記グラフを同時にユーザに提示する機能を付与しておいても良く、検査結果提示装置に、『前記取得部により取得された前記検査結果情報に基づき、前記被検査面に存在する欠陥の個数を前記特徴量別に示した頻度ヒストグラムを生成してユーザに提示するヒストグラム生成部』を付加しておいても良い。 Further, the graph generation unit may generate the graph for each of the plurality of test result information, may be provided with a function of simultaneously presenting the generated plurality of graphs to the user, the test result presentation device, A “histogram generation unit that generates a frequency histogram indicating the number of defects present on the inspection surface based on the feature amount and presents the frequency histogram to the user based on the inspection result information acquired by the acquisition unit”; You can leave it.
また、特徴量が閾値に近い各欠陥が実際に欠陥であるか否かの判定を容易に行えるようにするために、検査結果提示装置に、『前記検査結果情報は、前記画像データを含み、前記検査結果情報に含まれる前記画像データに基づき、前記ユーザにより前記グラフから選択された欠陥の拡大した画像をユーザに提示する拡大画像提示部をさらに備える』構成を採用しておいても良い。 Further, in order to easily determine whether or not each defect whose feature amount is close to the threshold is actually a defect, the inspection result presenting apparatus includes a message, “The inspection result information includes the image data, And an enlarged image presenting unit that presents an enlarged image of a defect selected from the graph by the user to the user based on the image data included in the inspection result information ”.
検査結果提示装置は、『前記被検査物がシート状の部材であり、前記被検査物の前記被検査面の前記画像データが、カメラと前記被検査物とを前記第１方向に相対的に移動させることにより得られるデータである』装置であっても良い。 The inspection result presenting apparatus may be configured such that “the object to be inspected is a sheet-shaped member, and the image data of the surface to be inspected of the object to be inspected relatively moves the camera and the object to be inspected in the first direction. It is data obtained by moving. "
また、本発明の一観点に係る検査結果提示方法は、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得ステップと、前記取得ステップにより取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成ステップと、を含む。 Further, the inspection result presenting method according to one aspect of the present invention obtains a predetermined feature amount at each position of the inspection surface based on image data of the inspection surface of the inspection object, and calculates the characteristic amount at each obtained position. The first direction position and the characteristic amount of each defect present on the inspection surface are specified by comparing the amount with one or more threshold values, and the first direction position and the characteristic amount of each specified defect are determined. An obtaining step of obtaining the inspection result information generated by the inspection result information generating process that generates the inspection result information including the one or more thresholds, and based on the inspection result information obtained by the obtaining step, A graph generating step of generating a graph indicating the relationship between the position of the defect in the first direction and the feature amount and the threshold and presenting the graph to a user.
また、本発明の一観点に係る検査結果提示プログラムは、コンピュータに、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得ステップと、前記取得ステップにより取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成ステップと、を実行させる。 Further, the inspection result presentation program according to one aspect of the present invention obtains a predetermined characteristic amount at each position of the inspection surface based on image data of the inspection surface of the inspection object based on image data of the inspection surface of the inspection object. The first direction position and the feature amount of each defect present on the inspection target surface are specified by comparing the feature amount with one or more threshold values in the first direction, and the first direction position and the feature direction of each specified defect are determined. An obtaining step of obtaining the inspection result information generated by an inspection result information generating process of generating inspection result information including a feature amount and the threshold value, and each defect based on the inspection result information obtained by the obtaining step. And a graph generation step of generating a graph indicating the relationship between the first direction position and the feature amount and the one or more thresholds and presenting the graph to the user.
また、本発明の一観点に係る検査結果提示装置は、被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成部と、前記検査結果情報生成部により生成された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部と、を備える。 Further, the inspection result presenting apparatus according to one aspect of the present invention obtains a predetermined characteristic amount at each position on the inspection surface based on image data of the inspection surface of the inspection object, and obtains the characteristic at each obtained position. The first direction position and the characteristic amount of each defect present on the inspection surface are specified by comparing the amount with one or more threshold values, and the first direction position and the characteristic amount of each specified defect are determined. An inspection result information generating unit that generates inspection result information including the threshold value, and a relationship between the first direction position of each defect and the feature amount based on the inspection result information generated by the inspection result information generating unit. And a graph generation unit that generates a graph indicating the threshold and presents the graph to the user.
これらの技術を用いても、欠陥判定用の１つ以上の閾値をより容易に決定できる環境を実現することができる。 Even with these techniques, it is possible to realize an environment in which one or more thresholds for defect determination can be more easily determined.
本発明によれば、欠陥判定用の１つ以上の閾値をより容易に決定できる環境を実現することができる。 According to the present invention, it is possible to realize an environment in which one or more thresholds for defect determination can be more easily determined.
図１に、本発明の一実施形態に係る検査結果提示装置１０の概略構成及び使用形態を示す。 FIG. 1 shows a schematic configuration and usage of an inspection result presentation device 10 according to an embodiment of the present invention.
本実施形態に係る検査結果提示装置１０は、１台以上（図１では、１台）の外観検査装置２０と接続されて使用される装置である。 The inspection result presenting apparatus 10 according to the present embodiment is an apparatus used by being connected to one or more (one in FIG. 1) appearance inspection apparatuses 20.
《外観検査装置２０》
外観検査装置２０は、搬送ローラ３１等からなる搬送機構により搬送されるシート状の被検査物３０の外観検査を行う装置である。図示してあるように、外観検査装置２０は、被検査物３０の所定領域に光を照射するための光源２１と、当該光源２１から照射されて被検査物３０の被検査面（図１におけるカメラ２２側の面）で反射した光が入射されるよう配置されたカメラ２２と、信号処理装置２５とを備える。なお、本実施形態に係る外観検査装置２０のカメラ２２は、カラーラインセンサと光学系とを組み合わせたものである。
<< Appearance inspection device 20 >>
The visual inspection device 20 is a device that performs a visual inspection of a sheet-like inspection object 30 that is transported by a transport mechanism including a transport roller 31 and the like. As shown in the drawing, the visual inspection device 20 includes a light source 21 for irradiating a predetermined area of the inspection object 30 with light, and an inspection surface of the inspection object 30 irradiated from the light source 21 (see FIG. 1). The camera 22 includes a camera 22 arranged to receive light reflected by the camera 22 (a surface on the camera 22 side) and a signal processing device 25. The camera 22 of the visual inspection device 20 according to the present embodiment is a combination of a color line sensor and an optical system.
外観検査装置２０は、検査結果情報生成処理を行う検査結果情報生成部２６と、検査結果情報生成処理により生成される検査結果情報を、削除が指示されるまで記憶しておくための記憶部２７とを備えた装置である。通常、外観検査装置２０の検査結果情報生成部２６、記憶部２７は、それぞれ、プロセッサ（ＣＰＵ、マイクロコントローラ）を中心としたユニット（信号処理用のハードウェア）、ハードディスクドライブ等の不揮発性記憶装置で実現される。 The appearance inspection apparatus 20 includes an inspection result information generation unit 26 that performs an inspection result information generation process, and a storage unit 27 that stores the inspection result information generated by the inspection result information generation process until deletion is instructed. And a device comprising: Normally, the inspection result information generation unit 26 and the storage unit 27 of the visual inspection device 20 are respectively a unit (hardware for signal processing) centered on a processor (CPU, microcontroller), and a non-volatile storage device such as a hard disk drive. Is realized.
外観検査装置２０の検査結果情報生成部２６が行う検査結果情報生成処理は、以下の処
理が組み合わせされた処理である。なお、以下の説明において、位置（"被検査面の各位
置"、"各領域の中心位置"等）とは、カメラ２２から入力される画像データの解像度単位
での位置のことである。また、検査結果情報生成処理の開始前に、検査結果情報生成部２６には、検査結果情報生成処理の処理対象となる被検査物３０の識別情報（製品名、ロット番号等）が入力される。
The inspection result information generation process performed by the inspection result information generation unit 26 of the visual inspection device 20 is a combination of the following processes. In the following description, the position (“each position on the surface to be inspected”, “the center position of each area”, etc.) refers to a position in units of resolution of image data input from the camera 22. Before the start of the inspection result information generation process, the identification information (product name, lot number, etc.) of the inspection object 30 to be processed by the inspection result information generation process is input to the inspection result information generation unit 26. .
・カメラ２２から入力される、被検査物３０の被検査面の画像データに基づき、被検査面の各位置の輝度値を求める処理
・求めた各位置の輝度値に基づき、被検査物３０の被検査面から、輝度値が明側検出閾値（詳細は後述）以上となっている領域である明側欠陥を探索し、探索された明側欠陥毎に、その範囲、中心位置及び中心位置輝度値を含む明側欠陥情報を生成する明側欠陥情報生成処理
・求めた各位置の輝度値に基づき、被検査物３０の被検査面から、輝度値が暗側検出閾値（詳細は後述）以下となっている領域である暗側欠陥を探索し、探索された暗側欠陥毎に、その範囲、中心位置及び中心位置輝度値を含む暗側欠陥情報を生成する明側欠陥情報生成処理
・各欠陥情報生成処理にて生成された及び暗側及び明側欠陥情報と被検査物３０の被検査面の画像データとを含む検査結果情報を、検査結果情報の生成に用いた明側検出閾値及び明側検出閾値と外観検査装置２０の装置識別情報と被検査物３０の識別情報と被検査面の画像データの生成日時とを含む検査結果識別情報に対応づけた形で記憶部２７に記憶（保存）する処理
A process of obtaining a luminance value of each position on the inspected surface based on image data of the inspected surface of the inspected object 30 input from the camera 22; From the surface to be inspected, a search is made for a light-side defect in which the luminance value is equal to or higher than a light-side detection threshold (details will be described later). Bright-side defect information generation processing for generating bright-side defect information including a value. Based on the obtained luminance value at each position, the luminance value is equal to or less than the dark-side detection threshold (details will be described later) from the inspection surface of the inspection object 30. A light-side defect information generating process for generating dark-side defect information including a range, a center position, and a center position luminance value for each of the searched dark-side defects. Inspection of the defect information generated by the defect information generation process and the dark side and bright side defect information The inspection result information including the image data of the inspection surface 30 is used to generate the inspection result information, the bright side detection threshold and the bright side detection threshold, the device identification information of the visual inspection device 20, and the identification information of the inspection object 30. A process of storing (storing) in the storage unit 27 in a form associated with inspection result identification information including the image data and the generation date and time of the image to be inspected.
明側検出閾値、暗側検出閾値は、外観検査装置２０の実際の運用前に、被検査物３０の標準的な幾つかのサンプル（以下、閾値決定用サンプルと表記する）の外観を外観検査装置２０により検査することにより定められる値である。外観検査装置２０は、記憶部２７に、各閾値決定用サンプルに関する検査結果情報及び検査結果識別情報が記憶された状態で運用が開始される装置となっている。なお、閾値決定用サンプルに関する検査結果識別情報には、自情報が、閾値決定用サンプルに関するものであることを示す情報が含まれている。 Before the actual operation of the visual inspection device 20, the light-side detection threshold and the dark-side detection threshold are used for visual inspection of the appearance of some standard samples of the inspection object 30 (hereinafter, referred to as threshold determination samples). This is a value determined by inspection by the device 20. The visual inspection device 20 is a device that starts operating in a state where the storage unit 27 stores the inspection result information and the inspection result identification information for each threshold determination sample. Note that the test result identification information on the threshold determination sample includes information indicating that the own information is related to the threshold determination sample.
また、外観検査装置２０は、被検査物３０の搬送方向と直交する直線状に配置された複数台のカメラ２２を接続することも可能な装置として構成されている。そのように配置された複数台のカメラ２２が接続されている場合、外観検査装置２０（検査結果情報生成部２６）は、各カメラ２２から出力された画像データが、検査結果情報中の画像データのどの部分のデータであるかを示す情報を含む検査結果識別情報を記憶部２７に記憶する。 Further, the visual inspection device 20 is configured as a device capable of connecting a plurality of cameras 22 arranged in a straight line perpendicular to the transport direction of the inspection object 30. When a plurality of cameras 22 arranged as described above are connected, the appearance inspection device 20 (the inspection result information generation unit 26) converts the image data output from each camera 22 into the image data in the inspection result information. Inspection result identification information including information indicating which part of the data is stored in the storage unit 27.
《検査結果提示装置１０》
検査結果提示装置１０は、コンピュータ本体１０ａ、入力装置１０ｂ、ディスプレイ１０ｃを備えたコンピュータ（デスクトップＰＣ、ラップトップＰＣ等）に、当該コンピュータを、図１に示してあるような構成の装置、すなわち、取得部１１、地合輝度情報算出部１２、指示応答部１３及び記憶部１５を備えた装置として動作させるための検査結果提示プログラムをインストールした装置である。
<< Inspection result presentation device 10 >>
The test result presentation device 10 is a device (desktop PC, laptop PC, or the like) including a computer main body 10a, an input device 10b, and a display 10c. This is an apparatus in which an inspection result presentation program for operating as an apparatus including the acquisition unit 11, the formation luminance information calculation unit 12, the instruction response unit 13, and the storage unit 15 is installed.
取得部１１は、検査結果提示装置１０に接続されている各外観検査装置２０から、各検査結果情報と各検査結果情報に対応づけられている検査結果識別情報とを取得して記憶部１５に記憶するユニットである。 The acquisition unit 11 acquires each inspection result information and inspection result identification information associated with each inspection result information from each appearance inspection device 20 connected to the inspection result presentation device 10 and stores the acquired information in the storage unit 15. It is a unit to memorize.
地合輝度情報算出部１２は、記憶部１５内の各検査結果情報に基づき、地合領域の輝度値の平均値と標準偏差σの搬送方向位置依存性を示す地合輝度情報を算出して、記憶部１５内の各検査結果情報に追加するユニットである。なお、地合領域とは、暗側欠陥でも明
側欠陥でもない被検査面の領域（換言すれば、正常な領域）のことである。
The formation brightness information calculation unit 12 calculates formation brightness information indicating the transport direction position dependence of the average value and the standard deviation σ of the brightness values of the formation region based on each inspection result information in the storage unit 15. , A unit to be added to each test result information in the storage unit 15. The formation region is a region of the surface to be inspected that is neither a dark side defect nor a light side defect (in other words, a normal region).
本実施形態に係る地合輝度情報算出部１２は、検査結果情報に含まれる、被検査物３０の搬送方向に垂直な方向の１ライン分の画像データから、暗側欠陥及び明側欠陥に関する各画素値を除去し、残りの画素値から輝度値の平均値と標準偏差σとを算出する処理を、輝度値の平均値等の算出対象となる部分が略等間隔となるように繰り返すことで、上記地合輝度情報を算出するユニットである。ただし、地合輝度情報は、地合領域の輝度値の搬送方向位置依存性を示す情報であれば良い。従って、地合輝度情報は、地合領域の輝度値の平均値の搬送方向位置依存性を示す情報であっても、地合領域の輝度値の標準偏差σの搬送方向位置依存性を示す情報であっても、地合領域の輝度値の代表値（例えば、ランダムに選択した輝度値や、輝度値の最頻値）の搬送方向位置依存性を示す情報であっても良い。 The formation luminance information calculation unit 12 according to the present embodiment calculates each of the dark side defect and the light side defect from one line of image data in the direction perpendicular to the transport direction of the inspection object 30 included in the inspection result information. The process of removing the pixel value and calculating the average value and the standard deviation σ of the luminance values from the remaining pixel values is repeated so that the portions to be calculated such as the average value of the luminance values are substantially equally spaced. , Is a unit for calculating the formation luminance information. However, the formation brightness information only needs to be information indicating the transport direction position dependency of the brightness value of the formation region. Accordingly, the formation brightness information is information indicating the transport direction position dependence of the standard deviation σ of the brightness value of the formation region even if the information indicates the transport direction position dependency of the average value of the brightness values of the formation region. Alternatively, the information may be information indicating the transport direction position dependency of a representative value (for example, a randomly selected brightness value or a mode value of the brightness value) of the brightness value of the formation region.
指示応答部１３は、入力装置１０ｂに対する操作を通じてユーザから各種の指示を受け付けて、受け付けた指示に応じた処理を行うユニットである。 The instruction responding unit 13 is a unit that receives various instructions from the user through an operation on the input device 10b and performs processing according to the received instructions.
指示応答部１３が実行可能な処理には、第１表示処理、頻度ヒスグラム付き第１表示処理、第２頻度ヒスグラム付き第２表示処理、拡大画像表示処理、閾値算出・設定処理、欠陥種別ヒストグラム表示処理、カメラ別輝度グラフ表示処理等がある。 The processes that can be executed by the instruction response unit 13 include a first display process, a first display process with a frequency histogram, a second display process with a second frequency histogram, an enlarged image display process, a threshold calculation / setting process, and a defect type histogram display. Processing, camera-specific luminance graph display processing, and the like.
第１表示処理は、ユーザにより、装置識別情報の指定を伴う第１表示処理の実行指示操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する処理である。 The first display process is a process executed by the instruction responding unit 13 when a user performs an operation of instructing execution of the first display process accompanied by designation of device identification information.
第１表示処理を開始した指示応答部１３は、まず、ユーザにより指定された装置識別情報（以下、指定装置識別情報と表記する）を含む閾値決定用サンプルに関する検査結果識別情報と、指定装置識別情報を含む検査対象サンプルに関する最新の検査結果識別情報とを記憶部１５から検索する。なお、検査対象サンプルとは、閾値決定用サンプルではない被検査物３０のことである。 The instruction responding unit 13 that has started the first display process first checks the test result identification information on the threshold determination sample including the device identification information designated by the user (hereinafter referred to as designated device identification information), The latest inspection result identification information on the inspection target sample including the information is searched from the storage unit 15. Note that the inspection target sample is the inspection object 30 that is not the threshold determination sample.
そして、指示応答部１３は、検索された各検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている各検査結果情報に基づき、図２に示したような画像情報をディスプレイ１０ｃに表示する。なお、この図２の左側、中央部、右側に示してあるグラフ（以下、輝度グラフと表記する）は、それぞれ、カットサンプルテスト（"サンプルテスト"）、ロールサンプルテスト（"ロールテスト"）、検査対象サンプル（"運用"）の検査結果情報に基づき表示されるグラフである。 Then, the instruction responding unit 13 displays the image information as shown in FIG. 2 on the display 10c based on each test result information stored in the storage unit 15 in association with each searched test result identification information. I do. The graphs (hereinafter, referred to as luminance graphs) shown on the left, center, and right sides of FIG. 2 are a cut sample test (“sample test”), a roll sample test (“roll test”), It is a graph displayed based on the test result information of a test object sample ("operation").
すなわち、指示応答部１３は、検査対象サンプルの検査結果情報については、当該検査結果情報に含まれる明側欠陥情報、暗側欠陥情報、地合輝度情報に基づき、図２の右側に示してあるような、輝度値を縦軸とし、搬送方向位置（図では、時間・距離）を横軸としたグラフであって、各明側欠陥を示すポイント４１ｂと、各暗側欠陥を示すポイント４１ｄと、地合領域内の各部の輝度値の平均値を示すポイント４３と、ポイント４３を近似する近似曲線４４と、２本の３σ曲線４５と、明側検出閾値を示すライン５１ｂと、暗側検出閾値を示すライン５１ｂとが示された輝度グラフを、ディスプレイ１０ｃに表示する。 That is, the instruction responding unit 13 displays the inspection result information of the inspection target sample on the right side of FIG. 2 based on the bright side defect information, the dark side defect information, and the formation luminance information included in the inspection result information. Such a graph in which the luminance value is set as the vertical axis and the position in the transport direction (time / distance in the figure) as the horizontal axis, the point 41b indicating each bright side defect and the point 41d indicating each dark side defect A point 43 indicating the average value of the luminance values of the respective parts in the formation region, an approximate curve 44 approximating the point 43, two 3σ curves 45, a line 51b indicating a light-side detection threshold, and a dark-side detection A luminance graph showing the line 51b indicating the threshold is displayed on the display 10c.
さらに、指示応答部１３は、各検査対象サンプルの検査結果情報についても、同様の輝度グラフをディスプレイ１０ｃに表示する。 Further, the instruction responding unit 13 also displays a similar luminance graph on the display 10c for the test result information of each test sample.
頻度ヒスグラム付き第１表示処理は、第１表示処理と同じ輝度グラフがディスプレイ１０ｃに表示される処理である。ただし、頻度ヒスグラム付き第１表示処理では、図３に示してあるように、各検査結果情報の内容を表す頻度ヒストグラムもディスプレイ１０ｃに
表示される。なお、この際、表示される各頻度ヒストグラムにも、輝度グラフと同様に、明側検出閾値を示すライン５２ｂと暗側検出閾値を示すライン５２ｂとが示される。
The first display process with frequency histogram is a process in which the same luminance graph as the first display process is displayed on the display 10c. However, in the first display process with the frequency histogram, as shown in FIG. 3, a frequency histogram representing the content of each test result information is also displayed on the display 10c. At this time, each of the displayed frequency histograms also shows a line 52b indicating a light side detection threshold and a line 52b indicating a dark side detection threshold, similarly to the luminance graph.
第２表示処理は、ユーザにより、記憶部１５内の２つ以上の検査結果識別情報を指定を伴う第２表示処理の実行指示操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する処理である。 The second display process is a process executed by the instruction response unit 13 when a user performs an instruction to execute the second display process accompanied by designation of two or more inspection result identification information in the storage unit 15. .
ユーザにより２つの検査結果識別情報が指定された場合、第２表示処理では、一方の検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている検査結果情報の内容を示す輝度グラフと他方の検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている検査結果情報の内容を示す輝度グラフとがディスプレイ１０ｃに表示される。具体的には、例えば、ロットＡの検査結果識別情報とロットＢの検査結果識別情報とがユーザにより指定された場合、第２表示処理では、図４に示したように、ロットＡに関する輝度グラフとロットＢに関する輝度グラフとがディスプレイ１０ｃに表示される。また、製品Ａの検査結果識別情報と製品Ｂの検査結果識別情報とがユーザにより指定された場合、第２表示処理では、図５に示したように、製品Ａに関する輝度グラフと製品Ｂに関する輝度グラフとがディスプレイ１０ｃに表示される。 When two pieces of inspection result identification information are specified by the user, in the second display process, a luminance graph indicating the content of the inspection result information stored in the storage unit 15 in association with one of the inspection result identification information and the other is displayed. A luminance graph indicating the contents of the test result information stored in the storage unit 15 in association with the test result identification information is displayed on the display 10c. Specifically, for example, when the inspection result identification information of the lot A and the inspection result identification information of the lot B are specified by the user, in the second display process, as shown in FIG. And a luminance graph for lot B are displayed on display 10c. Further, when the inspection result identification information of the product A and the inspection result identification information of the product B are specified by the user, in the second display process, as shown in FIG. The graph is displayed on the display 10c.
ユーザによりＮ（≧３）個の検査結果識別情報が指定された場合、第２表示処理では、図６に示したように、タブ操作によりＮ種の輝度グラフの中から表示する輝度グラフを選択可能な輝度グラフ用ＧＵＩウィジェット６１が２個ディスプレイ１０ｃに表示される。 When N (≧ 3) pieces of inspection result identification information are designated by the user, in the second display processing, as shown in FIG. 6, a luminance graph to be displayed is selected from N types of luminance graphs by a tab operation. Two possible luminance graph GUI widgets 61 are displayed on the display 10c.
頻度ヒスグラム付き第２表示処理は、頻度ヒスグラム付き第１表示処理（図３参照）と同様に、頻度ヒスグラムもディスプレイ１０ｃに表示されることになる処理である。なお、ユーザによりＮ（≧３）個の検査結果識別情報が指定された場合、頻度ヒスグラム付き第２表示処理では、図７に示してあるように、タブ操作によりＮ種の頻度ヒスグラムの中から表示する頻度ヒスグラムを選択可能な頻度ヒスグラム用ＧＵＩウィジェット６２が２個ディスプレイ１０ｃに表示される。 The second display process with frequency histogram is a process in which the frequency histogram is also displayed on the display 10c, similarly to the first display process with frequency histogram (see FIG. 3). When N (≧ 3) pieces of test result identification information are specified by the user, in the second display process with frequency histogram, as shown in FIG. 7, a tab operation is performed to select from N types of frequency histograms. Two frequency histogram GUI widgets 62 are displayed on the display 10c so that the frequency histogram to be displayed can be selected.
拡大画像表示処理は、表示中の輝度グラフ上の１つのポイント４１（４１ｂ又は４１ｄ）を選択する操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する処理である。この拡大画像表示処理時、指示応答部１３は、或るポイント４１が選択された輝度グラフの元となった検査結果情報中の画像データから、当該ポイント４１を中心とした所定サイズの画像データを抽出する。そして、指示応答部１３は、図８に示したような拡大表示ウィンドウ、すなわち、抽出した画像データを拡大表示した画像５５と、地合領域の、選択されたポイント４１と搬送方向位置が一致している部分の頻度ヒストグラムとを含む拡大表示ウィンドウを輝度グラフ上に表示する。 The enlarged image display process is a process executed by the instruction response unit 13 when an operation of selecting one point 41 (41b or 41d) on the displayed luminance graph is performed. At the time of this enlarged image display processing, the instruction responding unit 13 converts image data of a predetermined size centered on the point 41 from image data in the inspection result information on which a certain point 41 is selected as the basis of the selected luminance graph. Extract. Then, the instruction responding unit 13 determines that the enlarged display window as shown in FIG. 8, that is, the image 55 in which the extracted image data is enlarged and displayed, matches the selected point 41 of the formation area with the transport direction position. A magnified display window including the frequency histogram of the portion where the image is displayed is displayed on the luminance graph.
そして、指示応答部１３は、拡大表示ウィンドウに対して所定の除外操作がなされた場合には、拡大表示を行ったポイント４１を、欠陥とすべきではないことを記憶してから、拡大表示ウィンドウをディスプレイ１０ｃ上から消去する。 Then, when a predetermined exclusion operation is performed on the enlarged display window, the instruction responding unit 13 stores that the point 41 on which the enlarged display is performed should not be determined to be a defect, and then stores the enlarged display window. Is deleted from the display 10c.
閾値算出・設定処理は、所定の操作がなされたときに、指示応答部１３が開始する処理である。閾値算出・設定処理時、指示応答部１３は、まず、ユーザに提示する推奨閾値（暗側検出閾値及び明側検出閾値の奨値）を算出するための推奨閾値算出処理を行う。この推奨閾値算出処理としては、具体的な内容の異なる様々なものを採用することが出来る。例えば、推奨閾値算出処理は、欠陥とすべきではないことを記憶している各ポイント４１の部分も地合領域であると見なして、地合領域の輝度値の平均値及び標準偏差σを算出し、平均値±ｋ・σ（ｋは予め定められている定数）を推奨閾値として算出する処理であっても良い。また、推奨閾値算出処理は、欠陥とすべきではないことを記憶している各ポイ
ント４１が欠陥として特定されない暗側検出閾値及び明側検出閾値を推奨閾値として算出する処理であっても良い。
The threshold calculation / setting process is a process that is started by the instruction response unit 13 when a predetermined operation is performed. At the time of the threshold value calculation / setting process, the instruction response unit 13 first performs a recommended threshold value calculation process for calculating a recommended threshold value (recommended value of the dark side detection threshold value and the bright side detection threshold value) to be presented to the user. As the recommended threshold value calculation process, various processes having different specific contents can be adopted. For example, the recommended threshold value calculation process calculates the average value and the standard deviation σ of the brightness values of the formation region by assuming that each point 41 storing the fact that it should not be a defect is also a formation region. Alternatively, the average value ± k · σ (k is a predetermined constant) may be calculated as the recommended threshold value. In addition, the recommended threshold value calculation process may be a process of calculating, as a recommended threshold value, a dark side detection threshold value and a light side detection threshold value at which each point 41 that should not be determined to be a defect is not identified as a defect.
推奨閾値算出処理を終えた指示応答部１３は、表示中の輝度グラフ上に算出した各推奨閾値を表示する。そして、指示応答部１３は、ユーザにより各閾値の設定を指示する操作がなされた場合には、算出した各閾値を外観検査装置２０に設定してから、閾値算出・設定処理を終了する。 The instruction responding unit 13 that has completed the recommended threshold value calculation process displays the calculated recommended threshold values on the luminance graph being displayed. When the user performs an operation to instruct the setting of each threshold, the instruction responding unit 13 sets the calculated thresholds in the visual inspection device 20 and then ends the threshold calculation / setting processing.
また、指示応答部１３は、ユーザにより各閾値のマニュアル設定を指示する操作がなされた場合には、暗側検出閾値及び明側検出閾値をユーザに入力させるためのダイアログボックスをディスプレイ１０ｃ上に表示する。そして、指示応答部１３は、ダイアログボックスに入力された暗側検出閾値及び明側検出閾値を外観検査装置２０に設定してから、閾値算出・設定処理を終了する。 When the user performs an operation of instructing manual setting of each threshold value, the instruction response unit 13 displays a dialog box on the display 10c for prompting the user to input the dark side detection threshold value and the light side detection threshold value. I do. Then, the instruction responding unit 13 sets the dark side detection threshold and the light side detection threshold input to the dialog box in the appearance inspection device 20, and then ends the threshold calculation / setting processing.
以上、説明したように、検査結果提示装置１０の指示応答部１３は、輝度値が、各検出閾値（暗側検出閾値、明側検出閾値）に近い各欠陥が分かるグラフ（輝度グラフ、頻度グラフ）をユーザに提示する機能を有している。そのため、検査結果提示装置１０のユーザは、拡大表示処理等を利用することにより、輝度値が各検出閾値に近い欠陥が実際に欠陥であるか否かを判定するだけで、閾値が適正値であるか否かを判定することが出来る。そして、その結果として、検査結果提示装置１０によれば、各検出閾値の適正値への調整作業を容易なものとすることが出来る。 As described above, the instruction responding unit 13 of the inspection result presentation device 10 displays the graphs (luminance graph, frequency graph, ) To the user. Therefore, the user of the inspection result presentation device 10 only determines whether or not a defect whose luminance value is close to each detection threshold is actually a defect by using an enlarged display process or the like. It can be determined whether or not there is. As a result, according to the inspection result presenting apparatus 10, it is possible to easily adjust each detection threshold value to an appropriate value.
以下、指示応答部１３について幾つかの事項を補足する。 Hereinafter, some items of the instruction response unit 13 will be supplemented.
指示応答部１３は、上記した各種処理に加えて、欠陥種別ヒストグラム表示処理及びカメラ別輝度グラフ表示処理も実行可能なようにプログラミングされている。 The instruction responding unit 13 is programmed so as to be able to execute a defect type histogram display process and a camera-specific brightness graph display process in addition to the various processes described above.
欠陥種別ヒストグラム表示処理は、装置識別情報の指定を伴う欠陥種別ヒストグラム表示処理の実行指示操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する、以下の内容の処理である。 The defect type histogram display processing is the following processing executed by the instruction response unit 13 when an instruction to execute the defect type histogram display processing accompanied with designation of the device identification information is performed.
欠陥種別ヒストグラム表示処理を開始した指示応答部１３は、まず、ユーザにより指定された装置識別情報を含む検査結果識別情報を記憶部１５から検索する。次いで、指示応答部１３は、検索された各検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている各検査結果情報に基づき、各検査対象（ロット）の暗側欠陥数及び暗側欠陥数を特定する。そして、指示応答部１３は、各欠陥数の特定結果に基づき、図９に示したような画像情報、すなわち、各検査対象の明側欠陥数を検査日時順に示したヒストグラム及び各検査対象の暗側欠陥数を検査日時順に示したヒストグラムを、ディスプレイ１０ｃに表示する。 The instruction responding unit 13 that has started the defect type histogram display process first searches the storage unit 15 for inspection result identification information including device identification information specified by the user. Next, the instruction responding unit 13 determines the number of dark-side defects and the number of dark-side defects of each inspection target (lot) based on each inspection result information stored in the storage unit 15 in association with each retrieved inspection result identification information. Identify the number of defects. Then, based on the identification result of the number of defects, the instruction responding unit 13 generates image information as shown in FIG. 9, that is, a histogram indicating the number of bright-side defects of each inspection target in the order of inspection date and time, and the A histogram showing the number of side defects in order of inspection date and time is displayed on the display 10c.
なお、欠陥種別ヒストグラム表示処理によるヒストグラムの表示を高速に行えるようにするために、外観検査装置２０からの検査結果情報及び検査結果識別情報の取得時に、暗側欠陥数及び暗側欠陥数が算出されて、算出結果が検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されるようにしておいても良い。 In order to display a histogram by the defect type histogram display process at high speed, the number of dark side defects and the number of dark side defects are calculated when the inspection result information and the inspection result identification information are obtained from the visual inspection device 20. Then, the calculation result may be stored in the storage unit 15 in association with the inspection result identification information.
この欠陥種別ヒストグラム表示処理によりディスプレイ１０ｃに表示される情報を、被検査物３０の製造プロセスに関する情報（原料の追加・削減、装置の交換、機器のメンテナンス時期など）を参照して解析すれば、製造プロセスに潜在する問題を特定することが出来る。 If the information displayed on the display 10c by this defect type histogram display processing is analyzed with reference to the information on the manufacturing process of the inspection object 30 (addition / reduction of raw materials, replacement of equipment, maintenance time of equipment, etc.), Potential problems in the manufacturing process can be identified.
カメラ別輝度グラフ表示処理は、複数台のカメラ２２が接続された外観検査装置２０の装置識別情報と、当該外観検査装置２０により検査された被検査物３０の識別情報の指定を伴うカメラ別輝度グラフ表示処理の実行指示操作がなされたときに、指示応答部１３が実行する処理である。 The brightness graph display process for each camera is performed by specifying the device identification information of the visual inspection device 20 to which the plurality of cameras 22 are connected and the identification information of the inspection object 30 inspected by the visual inspection device 20. This is a process executed by the instruction responding unit 13 when an execution instruction operation of the graph display process is performed.
このカメラ別輝度グラフ表示処理時、指示応答部１３は、まず、ユーザにより指定された装置識別情報及び被検査物３０の識別情報を含む検査結果識別情報を記憶部１５から検索する。次いで、指示応答部１３は、検索した検査結果識別情報と、検査結果識別情報に対応づけられて記憶部１５に記憶されている検査結果識別情報とに基づき、カメラ２２毎の輝度グラフ（“カメラ１”からの画像データに基づく輝度グラフ、“カメラ２”からの画像データに基づく輝度グラフ等）を生成して、図１０に示したような形でディスプレイ１０ｃに表示する。このカメラ別輝度グラフ表示処理によれば、異常状態となっているカメラ２２を簡単に特定することが可能となる。 At the time of the brightness graph display process for each camera, the instruction responding unit 13 first searches the storage unit 15 for inspection result identification information including the device identification information specified by the user and the identification information of the inspection object 30. Next, the instruction responding unit 13 generates a luminance graph (“camera”) for each camera 22 based on the retrieved inspection result identification information and the inspection result identification information stored in the storage unit 15 in association with the inspection result identification information. A luminance graph based on the image data from “1” and a luminance graph based on the image data from “camera 2” are generated and displayed on the display 10c in the form shown in FIG. According to the brightness graph display process for each camera, it is possible to easily identify the camera 22 in an abnormal state.
《変形例》
上記した実施形態に係る検査結果提示装置１０は、各種の変形を行えるものである。例えば、第１表示処理を、図１１に示したような画像情報を表示する処理に変形しても良い。すなわち、第１表示処理を、各検査対象サンプル（図では、ロットＡ、Ｂ、Ｃ）についての輝度グラフがタブ表示される処理に変形しても良い。各表示処理を、表示中の或る輝度グラフ（以下、注目輝度グラフと表記する）に対して所定の操作（例えば、輝度グラフを右クリックする操作）がなされたときに、被検査物３０の識別情報等を選択するためのリストボックスを表示し、注目輝度グラフを、当該リストボックスで選択された識別情報等で識別される被検査物３０の検査結果に関する輝度グラフに変更する処理に変形しても良い。
《Modification》
The inspection result presentation device 10 according to the embodiment described above can perform various modifications. For example, the first display process may be modified to a process for displaying image information as shown in FIG. That is, the first display process may be modified to a process in which the luminance graph for each sample to be inspected (the lots A, B, and C in the figure) is displayed as a tab. When a predetermined operation (for example, an operation of right-clicking on the luminance graph) is performed on a certain luminance graph being displayed (hereinafter referred to as a luminance graph of interest) in each display process, the inspection object 30 is displayed. A list box for selecting identification information or the like is displayed, and the process is changed to a process of changing the luminance graph of interest to a luminance graph relating to the inspection result of the inspection object 30 identified by the identification information or the like selected in the list box. May be.
検査結果提示装置１０を、輝度グラフの表示に必要とされる情報（地合領域の各部の輝度値の平均値及び標準偏差σ）を予め算出しない装置に変形しても良い。すなわち、検査結果提示装置１０を、或る輝度グラフの表示が指示されたときに、当該輝度グラフの表示に必要とされる情報を算出し、算出した情報を利用して輝度グラフを表示する装置に変形しても良い。また、検査結果提示装置１０が表示する輝度グラフは、各欠陥の第１方向位置と輝度値との関係と、欠陥であるか否かの判定に使用された１つ以上の閾値とを示すものでありさえすれば良い。なお、第１方向位置とは、被検査物３０の被検査面に対して定められた直交座標系における一方の座標値のことである。従って、輝度グラフを、ポイント４３、近似曲線４４、３σ曲線４５のいずれか又は全てが示されないグラフとしておいても良い。 The inspection result presentation device 10 may be modified to a device that does not previously calculate information (an average value and a standard deviation σ of luminance values of respective portions of the formation region) required for displaying the luminance graph. That is, when the display of a certain brightness graph is instructed, the inspection result presentation device 10 calculates information required for displaying the brightness graph, and displays the brightness graph using the calculated information. May be deformed. The luminance graph displayed by the inspection result presentation device 10 indicates a relationship between the first direction position of each defect and a luminance value, and one or more threshold values used for determining whether or not the defect is present. It just needs to be. The first direction position refers to one coordinate value in a rectangular coordinate system defined with respect to the inspection surface of the inspection object 30. Therefore, the luminance graph may be a graph in which any or all of the point 43, the approximate curve 44, and the 3σ curve 45 are not shown.
また、被検査物３０が、暗側又は明側欠陥が全く（又は殆ど）発生しないものである場合には、当然、輝度グラフを、暗側又は明側欠陥に関する情報が示されないものとすることが出来る。 If the inspection object 30 has no (or almost no) dark-side or bright-side defect, the luminance graph is, of course, such that information on the dark-side or bright-side defect is not shown. Can be done.
検査結果提示装置１０を、輝度値以外の特徴量（色相、彩度、明度等）に基づき、欠陥被検査物３０の被検査面に存在する各欠陥を特定する外観検査装置２０が出力する検査結果情報を処理する装置に変形しても良い。また、検査結果提示装置１０を、Ｗｅｂブラウズ機能を有する機器（ＰＣ，スマートフォン等）から利用できる装置（つまり、各種グラフが表示されるＷｅｂウェブページを、Ｗｅｂブラウズ機能を有する機器に提供可能な装置）に変形しても良い。 An inspection output by the appearance inspection device 20 that specifies the inspection result presenting device 10 to identify each defect present on the inspection surface of the defect inspection object 30 based on feature amounts (hue, saturation, brightness, etc.) other than the luminance value. The apparatus may be modified to process the result information. In addition, a device that can use the inspection result presentation device 10 from a device (PC, smartphone, or the like) having a Web browsing function (that is, a device capable of providing a Web web page displaying various graphs to a device having a Web browsing function) ).
検査結果提示装置１０を、外観検査装置２０としても動作可能な装置に変形しても良い。なお、検査結果提示装置１０を、外観検査装置２０としても動作可能な装置に変形する場合には、検査結果提示装置１０に、輝度グラフ等をリアルタイムで表示する機能（被検
査物３０のカメラ２２からの画像データを取り込みながら、輝度グラフ内にポイント４１ｂ、４１ｄ、４３を追加していく機能）を付与しておいても良い。また、上記技術を、シート状ではない被検査物３０の検査に利用しても良い。
The inspection result presentation device 10 may be modified to a device that can also operate as the visual inspection device 20. When the inspection result presentation device 10 is transformed into a device that can also operate as the visual inspection device 20, a function of displaying a luminance graph or the like in real time on the inspection result presentation device 10 (the camera 22 of the inspection object 30). (A function of adding points 41b, 41d, and 43 in the luminance graph while taking in the image data from). Further, the above technique may be used for inspection of the inspection object 30 which is not in a sheet shape.
《付記》
１． 被検査物（３０）の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記１つ以上の閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得部（１１）と、
前記取得部（１１）により取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部（１２、１３）と、
を備えることを特徴とする検査結果提示装置（１０）。
《Note》
1. Calculating a predetermined characteristic amount at each position on the inspection surface based on image data of the inspection surface of the inspection object (30), and comparing the obtained characteristic amount at each position with one or more thresholds; The inspection result information including the first direction position and the characteristic amount of each defect present on the inspection target surface and the characteristic amount and the one or more threshold values of each identified defect. An acquisition unit (11) that acquires the inspection result information generated by the inspection result information generation processing that generates
Based on the inspection result information acquired by the acquisition unit (11), a graph indicating the relationship between the first direction position of each defect and the feature amount and the one or more thresholds is generated and provided to the user. A graph generation unit (12, 13) to be presented;
An inspection result presentation device (10), comprising:
２． 被検査物（３０）の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成部（１１、１２、２６）と、
前記検査結果情報生成部により生成された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部（１３）と、
を備えることを特徴とする検査結果提示装置。
2. Calculating a predetermined characteristic amount at each position on the inspection surface based on image data of the inspection surface of the inspection object (30), and comparing the obtained characteristic amount at each position with one or more thresholds; An inspection for identifying a first direction position and the characteristic amount of each defect present on the inspection target surface and generating inspection result information including the first direction position and the characteristic amount of each identified defect and the threshold value; A result information generation unit (11, 12, 26);
Graph generation that generates a graph indicating the relationship between the first direction position of each defect and the feature amount and the threshold based on the inspection result information generated by the inspection result information generation unit and presents the graph to a user. Part (13),
An inspection result presentation device, comprising:
１０ 検査結果提示装置
１０ａ コンピュータ本体
１０ｂ 入力装置
１０ｃ ディスプレイ
１１ 取得部
１２ 地合輝度情報算出部
１３ 指示応答部
１５、２７ 記憶部
２０ 外観検査装置
２１ 光源
２２ カメラ
２５ 信号処理装置
２６ 検査結果情報生成部
３０ 被検査物
３１ 搬送ローラ
４４ 近似曲線
４５ ３σ曲線
６１ 輝度グラフ用ＧＵＩウィジェット
６２ 頻度ヒスグラム用ＧＵＩウィジェット
Reference Signs List 10 inspection result presentation device 10a computer main unit 10b input device 10c display 11 acquisition unit 12 formation brightness information calculation unit 13 instruction response unit 15, 27 storage unit 20 appearance inspection device 21 light source 22 camera 25 signal processing device 26 inspection result information generation unit REFERENCE SIGNS LIST 30 inspection object 31 transport roller 44 approximate curve 45 3σ curve 61 GUI widget for luminance graph 62 GUI widget for frequency histogram
Claims (9)
前記取得部により取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部と、
を備えることを特徴とする検査結果提示装置。 Based on the image data of the surface to be inspected of the object to be inspected, a predetermined characteristic amount at each position on the surface to be inspected is obtained, and the characteristic amount at each position thus obtained is compared with one or more thresholds to obtain the characteristic amount. A first direction position and the characteristic amount of each defect existing on the inspection surface are specified, and inspection result information including the first direction position and the characteristic amount of each specified defect and the one or more thresholds is generated. An obtaining unit configured to obtain the test result information generated by a test result information generation process;
A graph that generates a graph indicating the relationship between the first direction position of each defect and the feature amount and the one or more threshold values based on the inspection result information acquired by the acquisition unit and presents the graph to a user. A generating unit;
An inspection result presentation device, comprising:
ことを特徴とする請求項１に記載の検査結果提示装置。 The graph generation unit may include a relation between the first direction position of each defect and the feature amount, the one or more threshold values, and the feature amount of a formation region that is an area other than the defect on the inspection surface. Generating a graph indicating the first direction position dependency of the first direction and presenting it to the user;
The inspection result presenting apparatus according to claim 1, wherein:
前記検査結果情報に含まれる前記画像データに基づき、前記ユーザにより前記グラフから選択された欠陥の拡大した画像をユーザに提示する拡大画像提示部をさらに備える、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査結果提示装置。 The inspection result information includes the image data,
Based on the image data included in the inspection result information, further includes an enlarged image presentation unit that presents to the user an enlarged image of the defect selected from the graph by the user,
The inspection result presentation device according to claim 1 or 2, wherein:
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査結果提示装置。 The graph generation unit has a function of generating the graph for each of a plurality of test result information, and presenting the generated plurality of graphs to a user at the same time,
The inspection result presentation device according to claim 1 or 2, wherein:
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の検査結果提示装置。 Based on the inspection result information acquired by the acquisition unit, further includes a histogram generation unit that generates a frequency histogram indicating the number of defects present on the inspection surface for each of the feature amounts and presents it to a user,
The inspection result presenting apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein:
前記被検査物の前記被検査面の前記画像データが、カメラと前記被検査物とを前記第１方向に相対的に移動させることにより得られるデータである、
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の検査結果提示装置。 The inspection object is a sheet-like member,
The image data of the inspection surface of the inspection object is data obtained by relatively moving a camera and the inspection object in the first direction.
The inspection result presentation device according to any one of claims 1 to 5, wherein:
前記取得ステップにより取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成ステップと、
を含むことを特徴とする検査結果提示方法。 Based on the image data of the surface to be inspected of the object to be inspected, a predetermined characteristic amount at each position on the surface to be inspected is obtained, and the characteristic amount at each position thus obtained is compared with one or more thresholds to obtain the characteristic amount. A first direction position and the characteristic amount of each defect existing on the inspection surface are specified, and inspection result information including the first direction position and the characteristic amount of each specified defect and the one or more thresholds is generated. An acquisition step of acquiring the inspection result information generated by an inspection result information generation process,
A graph generation step of generating a graph indicating the relationship between the first direction position of each defect and the feature amount and the threshold value based on the inspection result information acquired by the acquisition step, and presenting the graph to the user;
A test result presentation method, comprising:
被検査物の被検査面の画像データに基づき、前記被検査面の各位置における所定の特徴量を求め、求めた各位置における前記特徴量と１つ以上の閾値とを比較することで前記被検査面に存在する各欠陥の第１方向位置及び前記特徴量を特定し、特定した各欠陥の前記
第１方向位置及び前記特徴量と前記閾値とを含む検査結果情報を生成する検査結果情報生成処理により生成された前記検査結果情報を取得する取得ステップと、
前記取得ステップにより取得された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記１つ以上の閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成ステップと、
を実行させることを特徴とする検査結果提示プログラム。 On the computer,
Based on the image data of the surface to be inspected of the object to be inspected, a predetermined characteristic amount at each position on the surface to be inspected is obtained, and the characteristic amount at each position thus obtained is compared with one or more thresholds to obtain the characteristic amount. Inspection result information generation for specifying a first direction position and the characteristic amount of each defect existing on the inspection surface and generating inspection result information including the specified first direction position and the characteristic amount of each defect and the threshold value An obtaining step of obtaining the inspection result information generated by the processing,
A graph that generates a graph indicating the relationship between the first direction position of each defect and the feature amount and the one or more threshold values based on the inspection result information acquired in the acquiring step and presents the graph to a user. Generating step;
A test result presentation program characterized by executing
前記検査結果情報生成部により生成された前記検査結果情報に基づき、各欠陥の前記第１方向位置と前記特徴量との関係、及び、前記閾値を示すグラフを生成してユーザに提示するグラフ生成部と、
を備えることを特徴とする検査結果提示装置。 Based on the image data of the surface to be inspected of the object to be inspected, a predetermined characteristic amount at each position on the surface to be inspected is obtained, and the characteristic amount at each position thus obtained is compared with one or more thresholds to obtain the characteristic amount. Inspection result information generation for specifying a first direction position and the characteristic amount of each defect existing on the inspection surface and generating inspection result information including the specified first direction position and the characteristic amount of each defect and the threshold value Department and
Graph generation that generates a graph indicating the relationship between the first direction position of each defect and the feature amount and the threshold based on the inspection result information generated by the inspection result information generation unit and presents the graph to a user. Department and
An inspection result presentation device, comprising:
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