JP2019526058A5

JP2019526058A5 -

Info

Publication number: JP2019526058A5
Application number: JP2019523171A
Authority: JP
Filing date: 2017-07-06
Publication date: 2020-07-02
Anticipated expiration: 2037-07-06

Claims

光源（１）を特徴付ける方法であって、前記光源は、自由スペクトル範囲を有する固定キャビティ（２）を備え、
前記光源（１）の異なる調査状態に従って、前記光源によって第１の放射（３）を生成するステップであって、前記光源（１）の前記異なる状態は、前記光源（１）によって放射された前記第１の放射（３）の波長に影響を及ぼす、前記光源（１）の物理パラメータの相違によって区別される、ステップと、
少なくとも１つのセンサ（４）によって、前記第１の放射の少なくとも一部を受けるステップであって、前記各センサは、フォトダイオード（６）を伴ったファブリペローエタロン（５）を備える、ステップと、
前記光源の前記調査状態で前記センサが受けた、前記第１の放射の少なくとも１つの部分の関数として、前記各センサによって、かつ前記光源の前記各調査状態に対して、信号を測定するステップと、
前記測定された信号から、かつ前記光源の前記各調査状態に対して、前記第１の放射の前記波長を表す、第１のデータ項目を計算するステップであって、前記計算するステップは、前記光源の前記各調査状態に対して、いくつかの可能な値から前記第１のデータ項目の選択値の選択を含み、前記選択は、前記第１のデータ項目の単位で表される、前記固定キャビティの前記自由スペクトル範囲を法とする既知の定数（ｂ）と一致しない、前記第１のデータ項目の値を排除することを含む、ステップと
を含む方法。
前記各センサが、フォトダイオードアレイを含まないことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
前記各センサの前記ファブリペローエタロンが、可動部品を含まないことを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。
前記第１の放射の前記波長を示す、前記第１のデータ項目が、
前記第１の放射の前記波長、または
前記第１の放射の周波数、または
前記第１の放射の波数
であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
前記選択が、前記第１の放射のスペクトル領域範囲（１５）外にある、前記第１のデータ項目の値をさらに排除することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
前記各ファブリペローエタロンが、前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の強度の透過曲線（１２、１３、１４）を有し、前記第１の放射の前記スペクトル領域範囲以上の期間を有することを特徴とする、請求項５に記載の方法。
前記第１の放射の少なくとも一部を受けるステップが、いくつかのセンサ（４）で受けることを含み、前記各センサが、フォトダイオード（６）を伴ったファブリペローエタロン（５）を備え、前記各ファブリペローエタロンが、前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の透過強度曲線を有し、前記異なるファブリペローエタロン（５）の前記透過強度曲線が、前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の全体的な透過強度曲線（１６）を共に形成し、前記第１の放射の前記スペクトル領域範囲以上の期間を有することを特徴とする、請求項５または６に記載の方法。
前記少なくとも１つのセンサが、いくつかのセンサを含み、前記異なるセンサの前記異なるファブリペローエタロンが、少なくとも一対の２つのファブリペローエタロンを含み、前記２つのファブリペローエタロンは、
前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の第１の透過強度曲線を有する、第１のファブリペローエタロンと、
前記第１の放射の前記波長の関数として、前記第１の放射の第２の透過強度曲線を有する、第２のファブリペローエタロンとを含み、
その結果、
前記第１の放射（３）の同一の波長が、前記第１の透過強度曲線（１３）の最大勾配（１３０）、および絶対値で前記最大勾配（１３０）の１０％以下の、前記第２の透過強度曲線（１２）の勾配（１２０）の両方と一致し、かつ／または、
前記第１の放射（３）の同一の波長が、前記第２の透過強度曲線（１２）の最大勾配（１２１）、および絶対値で前記最大勾配（１２１）の１０％以下の、前記第１の透過強度曲線（１３）の勾配（１３１）の両方と一致することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
前記固定キャビティの前記自由スペクトル範囲を法とする前記定数（ｂ）と一致しない、前記第１のデータ項目の値を排除する、前記選択を実行する前に、前記定数（ｂ）を決定する工程、または知る工程を含むことを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
前記光源の異なる調査状態に従って、前記光源によって前記第１の放射（３）を生成する場合は、前記定数（ｂ）を決定する工程が、
前記光源の前記各調査状態に対する、前記第１のデータ項目の予備計算と、
前記光源の前記異なる調査状態のすべてに対する、前記第１のデータ項目の前記予備計算から、前記定数（ｂ）を決定することと、
を含むことを特徴とする、請求項９に記載の方法。
前記第１のデータ項目の選択値の選択が、前記自由スペクトル範囲を法とする定数（ｂ）と一致しない前記第１のデータ項目の値を排除した後の、好ましくは最小二乗法による、前記選択値の最終選択を含むことを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
前記光源が、光パラメトリック発振器、またはレーザであることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
前記光源が、少なくとも二重共振光源であって、同一の放射生成結晶（９）を共有する２つのキャビティを有し、前記キャビティが、
前記第１の放射（３）を生成する、可動キャビティ（７）と、
第２の放射（８）を生成する、前記固定キャビティ（２）と
を含むことを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
前記光源の各調査状態に対して、前記第１の放射の前記波長を表す前記第１のデータ項目の前記計算の関数として、前記第２の放射の前記波長を表す、第２のデータ項目を計算するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
光源（１）を特徴付ける装置（１０）であって、
計算ユニット（１１）であって、光源（１）がどのような状態になるかを制御するために、かつ／あるいは前記光源（１）の前記状態の、または前記光源（１）の前記異なる調査状態の情報項目を受けるために、配置および／またはプログラムされ、前記計算ユニット（１１）は、定数（ｂ）を知るために配置および／またはプログラムされる、計算ユニット（１１）と、
少なくとも１つのセンサ（４）であって、前記光源の異なる調査状態に従って前記光源によって生成された、前記第１の放射（３）の少なくとも一部を受けるために配置され、前記各センサは、フォトダイオード（６）を伴ったファブリペローエタロン（５）を備え、前記各センサは、前記光源の前記調査状態で前記センサが受けた、前記第１の放射の前記少なくとも１つの部分の関数として、前記光源の前記各調査状態に対する信号を測定するために配置される、少なくとも１つのセンサ（４）とを備え、
前記計算ユニット（１１）は、前記各センサによって測定され、かつ前記光源の前記各調査状態に対する前記信号から、前記第１の放射の前記波長を表す、第１のデータ項目を計算するために配置および／またはプログラムされ、前記計算ユニットは、前記光源の前記各調査状態に対して、いくつかの可能な値からの、前記第１のデータ項目の選択値の選択を実施するために配置および／またはプログラムされ、前記選択は、前記第１のデータ項目の前記単位で表される、前記自由スペクトル範囲を法とする前記定数（ｂ）と一致しない、前記第１のデータ項目の値を排除することを含む、装置（１０）。