JP2019525450A - ニューラルネットワークと順物理モデルを半導体用途に組み込んだシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (31)
- ニューラルネットワークを訓練するように構成されたシステムであって、
1つ以上のコンピュータサブシステムと、
前記1つ以上のコンピュータサブシステムによって実行される1つ以上のコンポーネントを備え、前記1つ以上のコンポーネントが、
前記ニューラルネットワークに入力された試料の訓練セットにおける入力イメージの逆フィーチャを決定するように構成されたニューラルネットワークと、
前記逆フィーチャから入力イメージを再構築し、それによって訓練セットにおける入力イメージに対応する出力イメージのセットを生成するように構成された順物理モデルと、
訓練セットにおける入力イメージと、セットにおけるそれらの対応する出力イメージとの差を決定するように構成された残渣層と、
を備え、
前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、ニューラルネットワークの1つ以上のパラメータを、決定された差に基づいて変更し、それによってニューラルネットワークを訓練するように構成されているシステム。 - 前記ニューラルネットワークは畳み込みニューラルネットワークとして構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ニューラルネットワークは完全畳み込みモデルとして構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ニューラルネットワークは深層生成モデルとして構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ニューラルネットワークは生成敵対的ネットとして構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ニューラルネットワークは条件付き生成敵対的ネットとして構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ニューラルネットワークは生成敵対的ネットワークおよび変分オートエンコーダとして構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記ニューラルネットワークの一部は畳み込みニューラルネットワークとして構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記順物理モデルは微分可能な順物理モデルとして構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記順物理モデルは付加的なニューラルネットワークとして実施または近似される、請求項1に記載のシステム。
- 前記順物理モデルは、試料の入力イメージを生成するために用いられるイメージングパラメータに対応するモデルパラメータを備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記順物理モデルは、試料の入力イメージを生成することに係る物理パラメータに対応するモデルパラメータを備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記順物理モデルは、少なくとも1つの調整可能なモデルパラメータを備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記順物理モデルは、少なくとも1つの固定されたモデルパラメータを備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他のもう1つの試料のランタイムイメージを、訓練されたニューラルネットワークに入力して、その結果、訓練されたニューラルネットワークがランタイムイメージの逆フィーチャを決定するように構成され、逆フィーチャは、ランタイムイメージの光学的に補正されたバージョンのフィーチャである、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他のもう1つの試料のランタイムイメージを、訓練されたニューラルネットワークに入力して、その結果、訓練されたニューラルネットワークがランタイムイメージの逆フィーチャを決定するように構成され、逆フィーチャは、ランタイムイメージの振幅および位相バージョンのフィーチャである、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他のもう1つの試料のランタイムイメージを、訓練されたニューラルネットワークに入力して、その結果、
訓練されたニューラルネットワークがランタイムイメージの逆フィーチャを決定し、
順物理モデルが、ランタイムイメージに関して決定された逆フィーチャからランタイムイメージを再構築し、
残渣層が、ランタイムイメージと再構築されたランタイムイメージとの間の差を決定するように構成され、逆フィーチャはランタイムイメージの光学的に補正されたバージョンのフィーチャであり、ランタイムイメージと再構築されたランタイムイメージとの間の差は残渣イメージのフィーチャである、請求項1に記載のシステム。 - 前記入力イメージは電子ビームベースのイメージングシステムによって生成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記入力イメージは光学ベースのイメージングシステムによって生成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記入力イメージは検査システムによって生成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記入力イメージは計測システムによって再生される、請求項1に記載のシステム。
- 前記試料がウェハである、請求項1に記載のシステム。
- 前記試料がレチクルである、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他のもう1つの試料のランタイムイメージを、訓練されたニューラルネットワークに入力して、その結果、訓練されたニューラルネットワークがランタイムイメージの逆フィーチャを決定するように構成され、逆フィーチャは、ランタイムイメージの光学的に補正されたバージョンのフィーチャであり、前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他の試料上の欠陥を、ランタイムイメージの光学的に補正されたバージョンに基づいて検出するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他のもう1つの試料のランタイムイメージを、訓練されたニューラルネットワークに入力して、その結果、訓練されたニューラルネットワークがランタイムイメージの逆フィーチャを決定するように構成され、逆フィーチャは、ランタイムイメージの光学的に補正されたバージョンのフィーチャであり、前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、前記ランタイムイメージまたは前記ランタイムイメージの光学的に補正されたバージョン内で検出された欠陥を分類するように構成され、前記分類は、前記ランタイムイメージの光学的に補正されたバージョンに基づいて実行される、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他のもう1つの試料のランタイムイメージを、訓練されたニューラルネットワークに入力して、その結果、訓練されたニューラルネットワークがランタイムイメージの逆フィーチャを決定するように構成され、逆フィーチャは、ランタイムイメージの光学的に補正されたバージョンのフィーチャであり、前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他の試料の1つ以上のフィーチャまたは、試料または他の試料上で検出された欠陥を、ランタイムイメージの光学的に補正されたバージョンに基づいて測定するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他のもう1つの試料のランタイムイメージのスタックを、訓練されたニューラルネットワークに入力して、その結果、訓練されたニューラルネットワークがランタイムイメージのスタックの逆フィーチャを決定するように構成され、逆フィーチャは、ランタイムイメージのスタックの位相情報であり、前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、試料または他の試料上の欠陥の選択性を、位相情報に基づいて増加させるように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記1つ以上のコンピュータサブシステムはさらに、入力イメージを生成するために用いられる1つ以上のパラメータの1つ以上の調整を、訓練の結果に基づいて決定するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- ニューラルネットワークを訓練するように構成されたシステムであって、
試料のイメージを生成するように構成されたイメージングサブシステムと、
イメージを取得し、取得したイメージから入力イメージの訓練セットを生成するように構成された1つ以上のコンピュータサブシステムと、
前記1つ以上のコンピュータサブシステムによって実施される1つ以上のコンポーネントを備え、前記1つ以上のコンポーネントが、
前記ニューラルネットワークに入力された試料の訓練セットにおける入力イメージの逆フィーチャを決定するように構成されたニューラルネットワークと、
逆フィーチャから入力イメージを再構築し、それによって訓練セットにおける入力イメージに対応する出力イメージのセットを生成するように構成された順物理モデルと、
訓練セットにおける入力イメージと、セットにおけるそれらの対応する出力イメージとの差を決定するように構成された残渣層と、
を備え、
前記1つ以上のコンピュータサブシステムは、ニューラルネットワークの1つ以上のパラメータを、決定された差に基づいて変更し、それによってニューラルネットワークを訓練するように構成されているシステム。 - ニューラルネットワークを訓練するためのコンピュータ実装方法を実行するために1つ以上のコンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令を記憶する非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記コンピュータ実装方法が、
試料の訓練セット内の入力イメージの逆フィーチャを、ニューラルネットワークに入力イメージの訓練セットを入力することによって決定し、
逆フィーチャを順物理モデルに入力することによって逆フィーチャから入力イメージを再構築し、それによって訓練セットにおける入力イメージに対応する出力イメージのセットを生成し、
訓練セットにおける入力イメージと、セットにおけるそれらの対応する出力イメージとの差を決定し、
ニューラルネットワークの1つ以上のパラメータを、決定された差に基づいて変更し、それによってニューラルネットワークを訓練し、前記逆フィーチャの決定、前記入力イメージの再構築、差の決定および1つ以上のパラメータの変更は、1つ以上のコンピュータシステムによって実行され、前記1つ以上のコンポーネントは1つ以上のコンピュータシステムによって実施され、前記1つ以上のコンポーネントはニューラルネットワークと順物理モデルを含む、非一時的コンピュータ可読媒体。 - ニューラルネットワークを訓練するためのコンピュータ実装方法であって、
試料の訓練セット内の入力イメージの逆フィーチャを、入力イメージの訓練セットをニューラルネットワークに入力することによって決定し、
逆フィーチャを順物理モデルに入力することによって逆フィーチャから入力イメージを再構築し、それによって訓練セットにおける入力イメージに対応する出力イメージのセットを生成し、
訓練セットにおける入力イメージと、セットにおけるそれらの対応する出力イメージとの差を決定し、
ニューラルネットワークの1つ以上のパラメータを、決定された差に基づいて変更し、それによってニューラルネットワークを訓練し、前記逆フィーチャの決定、前記入力イメージの再構築、差の決定および1つ以上のパラメータの変更は、1つ以上のコンピュータシステムによって実行され、前記1つ以上のコンポーネントは1つ以上のコンピュータシステムによって実施され、前記1つ以上のコンポーネントはニューラルネットワークと順物理モデルを含む、コンピュータ実装方法。
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