JP2019518594A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 処理チャンバであって、
   石英ウィンドウで区切られた第１の領域と第２の領域を有する処理チャンバの内部空間を画定する上方ハウジングと下方ハウジングを有するチャンバ本体と、
   前記第２の領域内に配置された基板支持アセンブリであって、基板を支持するように構成された基板支持アセンブリと、
   前記第１の領域内の前記基板支持アセンブリの上方に配置された２つの光源であって、各光源が放射線状の一次リフレクタ内に配置されたバルブを備える、２つの光源と、
   前記２つの光源と前記石英ウィンドウとの間に配置された複数のレンズと
   を備え、前記複数のレンズの第１組が前記２つの光源に隣接して配置され、前記複数のレンズの第２組が二次リフレクタに結合され且つ前記第１組のレンズと前記石英ウィンドウの間に配置され、前記複数のレンズが、前記基板が前記基板支持アセンブリの上に配置されたとき、前記２つの光源からの光を前記基板上の関心領域へ選択的に配向するように構成されている、内部に形成された複数の特徴を有する、処理チャンバ。
2. 前記複数の特徴は前記複数のレンズの各レンズの本体の外側にある、請求項１に記載の処理チャンバ。
3. 前記複数の特徴は、前記基板が前記基板支持アセンブリの上に配置されたとき、光を前記基板の外部領域又は内部領域へ選択的に配向するように選択される深さ、間隔、及び角度を含む、請求項１に記載の処理チャンバ。
4. 前記複数の特徴は前記複数のレンズの各レンズに刻印される、請求項１に記載の処理チャンバ。
5. 前記複数の特徴は同心である、請求項１に記載の処理チャンバ。
6. 前記複数のレンズの各レンズは本体を含み、前記複数のレンズ各レンズの前記特徴は前記本体に少なくとも部分的に形成される、請求項１に記載の処理チャンバ。