JP2019516139A - Bendable Display Substrate Thin Film, Method of Manufacturing the Same, Display Device - Google Patents

Bendable Display Substrate Thin Film, Method of Manufacturing the Same, Display Device Download PDF

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Abstract

【課題】屈曲可能な表示基板薄膜及びその製造方法、表示装置が開示される。【解決手段】該屈曲可能な表示基板薄膜は、上面に複数の凸部(10)を有するガラス薄膜(1)と、前記ガラス薄膜(1)を被覆するように形成される、下面に複数の前記凸部(10)を収納するための凹部(20)を有するプラスチック薄膜(2)と、を備え、複数の凸部(10)はガラス薄膜(1)の上面において横方向、縦方向或いはマトリクス状に配列される。本発明は、製造プロセスが簡単で、優れたガスバリア性を有する。機械衝撃と熱衝撃によるガラス薄膜の断裂やひびの発生を回避するため、屈曲可能な表示基板薄膜の軽量化とプラスチック薄膜を用いて衝撃を緩衝するようにし、これにより屈曲可能な表示基板薄膜の耐落下衝撃性と耐衝撃性を著しく向上させた。【選択図】図2A flexible display substrate thin film, a method of manufacturing the same, and a display device are disclosed. Kind Code: A1 A bendable display substrate thin film is formed on a lower surface of a glass thin film (1) having a plurality of projections (10) on the upper surface and a plurality of lower surfaces on the lower surface. And a plastic thin film (2) having a recess (20) for housing the protrusion (10), wherein the plurality of protrusions (10) are in the lateral direction, vertical direction or matrix on the upper surface of the glass thin film (1) Arranged in a shape. The present invention has a simple manufacturing process and excellent gas barrier properties. In order to avoid breakage and cracking of the glass thin film due to mechanical shock and thermal shock, weight reduction of the flexible display substrate thin film and shock absorption using a plastic thin film are performed to thereby make the flexible display substrate thin film Drop impact resistance and impact resistance have been significantly improved. [Selected figure] Figure 2

Description

本発明は屈曲可能な表示基板薄膜及びその製造方法、表示装置に関する。   The present invention relates to a flexible display substrate thin film, a method of manufacturing the same, and a display device.

近年、携帯端末表示装置とテレビなどの需要に仕掛けて、液晶表示装置(LCD,Liquid Crystal Display)、有機発光ダイオード表示装置(OLED,Organic Light−emitting Diode)及び電子ペーパー表示装置(E−paper,Electronic paper)などのディスプレイパネルの薄型化、軽量化及び軟質化において進展を続けている。現在、迫真の臨場感を求める大型パネルの曲面表示及び携帯性、利便性と安全性を求める携帯端末装置の可撓性化にとっては、フレキシビリティと耐衝撃性とを兼備する基板薄膜が不可欠となっている。   In recent years, due to demand for portable terminal display devices and televisions, liquid crystal display devices (LCD, Liquid Crystal Display), organic light emitting diode display devices (OLED, Organic Light-emitting Diode) and electronic paper display devices (E-paper, Progress has been made in thinning, reducing the weight and softening of display panels such as electronic paper). At present, a substrate thin film that combines flexibility and impact resistance is essential for the curved surface display of large panels that require a truly realistic feeling and the flexibility of portable terminal devices that require portability and convenience, and safety. It has become.

従来技術におけるフラットパネルディスプレイに広く使用されている基板はガラス基板であり、ガラス基板にフレキシビリティを付与して軟質化の表示を実現するため、基板の厚さを下げることで基板が屈曲可能な特性を有するようにすることは可能である。ガラス基板の厚さが0.1mm以下である時、ガラス基板は屈曲可能な基板薄膜の特性を有し、すなわちガラス薄膜は、プラスチック薄膜と類似する、ある程度の可撓性を有する。しかしながら、ガラス薄膜は依然として、屈曲の度合いと耐衝撃性が弱くて、ガラス基板薄膜がディスプレイパネルの製造工程において割れやすく、使用過程でディスプレイパネルが割れることが常にあり、特に瞬間的な曲げすぎによりガラス薄膜の潜性欠陥が生じ、今後の加工過程と使用過程において亀裂の発生などの厳しい問題点を抱えている。したがって、ガラス基板薄膜の代わり、耐衝撃性に優れ、軽量かつ軟質化に優れたプラスチック薄膜をディスプレイパネル基板用の薄膜として使用することについての研究も重要な研究方向の一つとなっている。しかし、プラスチック薄膜だけ使用すれば、薄膜の熱変形による表示への悪影響を回避することが難しく、ディスプレイパネルが薄膜の酸素や水蒸気を遮断する性能に対する要求(例えば、酸素バリア性、水蒸気バリア性)も満足できない。したがって、通常の方法はプラスチック薄膜に無機材料からなるフィルム層を蒸着するが、このようなフィルム層はコストが高い上、効果も理想的ではないので、ディスプレイのコストを下げることやディスプレイパネルの寿命を向上させることに不利であり、屈曲可能なディスプレイパネルの更なる広い応用を妨げる。プラスチック薄膜の酸素や水蒸気を遮断する性能を向上させるため、特許文献1(特開2004−82598号公報)において、基材に金属酸化物膜と有機材料層が積層されてなるガスバリア性を有する積層材を開示した。これは一つの代表的なやり方であるが、酸素や水蒸気を遮断する性能が要求される有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、上記の特許文献1に記載された積層材のガスバリア性はまだ十分ではない。   A substrate widely used in flat panel displays in the prior art is a glass substrate, and the substrate can be bent by lowering the thickness of the substrate in order to impart flexibility to the glass substrate to realize a display of softening. It is possible to have characteristics. When the thickness of the glass substrate is 0.1 mm or less, the glass substrate has the property of a bendable substrate thin film, that is, the glass thin film has a certain degree of flexibility similar to a plastic thin film. However, the thin glass film is still weak in degree of bending and impact resistance, and the thin glass substrate thin film is easily broken in the manufacturing process of the display panel, and the display panel is always broken in use, especially by momentary bending. Latent defects of the glass thin film occur, and there are severe problems such as generation of cracks in future processing and use processes. Therefore, research on the use of a thin plastic film excellent in impact resistance, light in weight and softened instead of a glass substrate thin film as a thin film for a display panel substrate is also one of the important research directions. However, if only plastic thin films are used, it is difficult to avoid the adverse effect on display due to thermal deformation of the thin film, and the display panel is required to have the ability to block oxygen and water vapor (for example, oxygen barrier and water vapor barrier) Not too satisfied. Therefore, although the usual method deposits a film layer consisting of inorganic material on a plastic thin film, such a film layer is expensive and its effect is not ideal, so the cost of the display can be reduced and the lifetime of the display panel It is a disadvantage to improve the flexibility and hinder the wider application of bendable display panels. In order to improve the performance of blocking plastic film oxygen and water vapor, in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-82598), a laminate having a gas barrier property in which a metal oxide film and an organic material layer are laminated on a substrate Material was disclosed. Although this is a typical method, the gas barrier properties of the laminate material described in the above-mentioned Patent Document 1 are still not sufficient in the organic electroluminescent display device which is required to have the ability to block oxygen and water vapor.

これにより、多層に積層することで、フレキシビリティ性に優れ、ガスバリア性が良いフレキシブルフィルムを得るというのは容易に案じることであり、例えば、無機ガラス及び該無機ガラスの両側に配置された樹脂基材層を含み、その中の一つの樹脂基材層の、無機ガラスが配置されていない側に無機薄膜を配置し、かつ該無機薄膜は対応する樹脂基材層の少なくとも一つの面の周縁部に形成する方案が容易に考えられる。しかしながら、このような積層された薄膜は依然として、例えば、ガラス薄膜が薄過ぎれば、耐衝撃性が足りないので、欠陥が生じやすく、ガラス薄膜が厚過ぎれば、可屈曲性が著しく低下される等の問題が存在する。このように、簡単的にガラス薄膜とプラスチック薄膜を積層することやフィルムコーティングする等の方案は、いずれも屈曲可能な基板薄膜の可撓性と耐衝撃性の不足により、欠陥が生じやすくなるとの強度の問題を解決することができない。   Thus, it is possible to easily obtain a flexible film having excellent flexibility and gas barrier properties by laminating in multiple layers, for example, inorganic glass and resin groups disposed on both sides of the inorganic glass. Material layer, and the inorganic thin film is disposed on the side of the one resin base material layer in which the inorganic glass is not disposed, and the inorganic thin film is a peripheral portion of at least one surface of the corresponding resin base layer It is easy to think of a plan to However, such a laminated thin film is, for example, insufficient in impact resistance if the glass thin film is too thin, so defects tend to occur, and if the glass thin film is too thick, the flexibility is significantly reduced, etc. Problems exist. As described above, in the case of simply laminating the glass thin film and the plastic thin film, or coating the film, defects are easily generated due to the lack of flexibility and impact resistance of the flexible thin film on the substrate. It can not solve the problem of strength.

特開2004−82598号公報JP 2004-82598 A

本発明は上記従来技術の問題点を鑑みてなされたもので、本発明の目的は優れた可撓性とガスバリア性を有する屈曲可能な表示基板薄膜及びその製造方法、表示装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a bendable display substrate thin film having excellent flexibility and gas barrier properties, a method of manufacturing the same, and a display device. is there.

本発明の一態様である屈曲可能な表示基板薄膜は、
上面に複数の凸部を有するガラス薄膜と、
前記ガラス薄膜を被覆するプラスチック薄膜とを備え、
前記プラスチック薄膜は下面に複数の前記凸部を収納するための凹部を有する。
The bendable display substrate thin film which is one embodiment of the present invention is
A glass thin film having a plurality of projections on the top surface,
And a plastic thin film covering the glass thin film.
The plastic thin film has a recess on the lower surface for receiving the plurality of protrusions.

上記屈曲可能な表示基板薄膜において、複数の前記凸部はガラス薄膜の上面において横方向、縦方向、或いはマトリクス状に配列される。   In the bendable display substrate thin film, the plurality of convex portions are arranged in the horizontal direction, the vertical direction, or in a matrix on the upper surface of the glass thin film.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、複数の凸部がガラス薄膜の上面において横方向や縦方向に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に前記凸部が設けられ、複数の凸部がガラス薄膜の上面においてマトリクス状に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に縁部突起が設けられる。   Furthermore, in the bendable display substrate thin film, when the plurality of convex portions are arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the convex portions are provided within a range having a predetermined distance from the edge of the glass thin film When the plurality of protrusions are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film, edge protrusions are provided within a range having a predetermined distance from the edge of the glass thin film.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、複数の凸部がガラス薄膜の上面において横方向や縦方向に配列される時、前記凸部は半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状であり、複数の凸部がガラス薄膜の上面においてマトリクス状に配列される時、前記凸部は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状或いは立方体形状である。   Furthermore, in the bendable display substrate thin film, when the plurality of convex portions are arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the convex portions have a semicylindrical shape, a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape or When the plurality of convex portions are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film, the convex portions have a quadrangular pyramid shape, a quadrangular pyramid shape, a spherical crown shape, or a cubic shape.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、前記プラスチック薄膜は、前記ガラス薄膜の上面に対向して設置されるカバー部と前記ガラス薄膜の側面に対向して設置される縁部を備える。   Further, in the bendable display substrate thin film, the plastic thin film includes a cover portion disposed opposite to the top surface of the glass thin film and an edge portion disposed opposite to the side surface of the glass thin film.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、前記凸部の突起の高さ、および凹部の陥凹の深さは100μm以下であり、前記ガラス薄膜の凸部以外の部分の厚さは100μm以下である。
さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、前記屈曲可能な表示基板薄膜は、ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置された電極と、
ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置された薄膜トランジスタとをさらに備える。
Furthermore, in the bendable display substrate thin film, the height of the protrusion of the protrusion and the depth of the recess of the recess are 100 μm or less, and the thickness of the portion other than the protrusion of the glass thin film is 100 μm or less is there.
Furthermore, in the bendable display substrate thin film, the bendable display substrate thin film includes an electrode disposed on the lower surface of the glass thin film and / or the upper surface of the plastic thin film;
And a thin film transistor disposed on the lower surface of the glass thin film and / or the upper surface of the plastic thin film.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、前記縁部の幅は100μmより大きく、前記カバー部の凹部以外の部分の厚さは400μm以下であり、前記ガラス薄膜の表面うねりは0.5μm/20mm以下であり、前記プラスチック薄膜の表面粗さは2nm以下である。   Furthermore, in the bendable display substrate thin film, the width of the edge is greater than 100 μm, the thickness of the portion other than the concave portion of the cover is 400 μm or less, and the surface waviness of the glass thin film is 0.5 μm / 20 mm. The surface roughness of the plastic thin film is 2 nm or less.

本発明の他の態様である屈曲可能な表示基板薄膜製造方法は、上記に記載の屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる製造方法であって、
圧延法或いは蝕刻法で、上面に複数の凸部を有するガラス薄膜を成型するステップと、
成型されたガラス薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法のガラス薄膜を得るステップと、
ガラス薄膜とプラスチック薄膜に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、
プラスチック薄膜をガラス薄膜上に被覆するステップと、
ラミネート法で、ガラス薄膜とプラスチック薄膜を一体に結合させるステップであって、その中で、ラミネート処理を行う時の加熱温度がプラスチック薄膜の軟化点温度より高く、かつガラス薄膜の軟化点温度より低い、ステップと、
ガラス薄膜と一体に結合されたプラスチック薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法の縁部を得るステップとを含む。
A bendable display substrate thin film production method according to another aspect of the present invention is a production method used for producing the bendable display substrate thin film described above,
Forming a thin glass film having a plurality of projections on the top surface by rolling or etching;
Laser cutting the molded glass thin film to obtain a glass thin film of the required size;
Performing a cleaning and drying process on the glass thin film and the plastic thin film;
Coating a thin plastic film on a thin glass film;
A step of integrally bonding a glass thin film and a plastic thin film by a laminating method, in which the heating temperature at the time of laminating is higher than the softening point temperature of the plastic thin film and lower than the softening point temperature of the glass thin film , Step, and
Laser cutting the plastic film integrally bonded to the glass film to obtain an edge of a desired size.

本発明のさらなる他の態様である表示装置は、上記のいずれかに記載の屈曲可能な表示基板薄膜を備える。   A display according to still another aspect of the present invention includes the bendable display substrate thin film described in any of the above.

上記の表示装置において、上記表示装置は、液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置である。   In the above display device, the display device is a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device, or an electronic paper display device.

上記の態様を用いたため、本発明が提供する屈曲可能な表示基板薄膜及びその製造方法と表示装置は、製造プロセスが簡単で、かつ優れたガスバリア性を有する。機械衝撃と熱衝撃によるガラス薄膜断裂やひびの発生を回避するために、屈曲可能な表示基板薄膜を軽量化し、かつプラスチック薄膜を介して振動を緩衝するようにしており、これにより屈曲可能な表示基板薄膜の耐落下衝撃性と耐衝撃性を著しく向上させた。ガラス薄膜の縁に凸部を設けることに加えて、プラスチック薄膜で被覆することにより、縁の欠陥の発生を有効に回避した。ガラス薄膜に凸部を、プラスチック薄膜に凹部を設置することで、曲げすぎの欠陥を有効に回避することができ、屈曲可能な表示基板薄膜の耐熱衝撃と機械衝撃の性能を向上させるとともに、ガラス薄膜は水蒸気や酸素を遮断する役割を果たすこともできる。プラスチック薄膜を内側表面とする場合、ガラス薄膜の縁における凸部や縁部突起の設置により、プラスチックの縁からの酸素と水分の浸み込みが低下又は遮断されるようになり、屈曲可能な表示基板薄膜もガラス基板薄膜と類似するガスバリア性を有する。   Since the above-described embodiment is used, the bendable display substrate thin film provided by the present invention and the method for manufacturing the same and the display device have a simple manufacturing process and excellent gas barrier properties. In order to avoid the occurrence of tears and cracks in the glass thin film due to mechanical and thermal shocks, the flexible display substrate thin film is made lightweight and vibration is buffered through the plastic thin film, thereby making the bendable display The drop impact resistance and impact resistance of the substrate thin film were significantly improved. In addition to providing projections on the edge of the glass thin film, coating with a plastic thin film effectively avoids the occurrence of edge defects. By placing the convex portion on the glass thin film and the concave portion on the plastic thin film, it is possible to effectively avoid the defect of over bending, and improve the performance of thermal shock and mechanical shock of the bendable display substrate thin film. The thin film can also play a role in blocking water vapor and oxygen. In the case of using a thin plastic film as the inner surface, the provision of convex portions or edge protrusions on the edge of the thin glass film makes it possible to reduce or block the penetration of oxygen and moisture from the edge of the plastic, and to display bendable The substrate thin film also has gas barrier properties similar to the glass substrate thin film.

本発明は、真空コーティングが必要ないので、屈曲可能な表示装置の低いコスト製造を実現することができる。単なるガラス薄膜と比べて、可撓性により優れるし、同じ寿命という表示性能を有し、特に長寿命の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適応する。ガラス薄膜の凸部とプラスチック薄膜の凹部は高い線膨張係数を有するプラスチック薄膜の熱膨張を抑えることができ、ガラス薄膜を表示基準面として用いることにより、線膨張係数が低い表示基板薄膜を得ることができる。一般的に、ガラス薄膜の断裂は応力集中によって表面の微小な欠陥が発生されて引き起こされることであり、ガラス薄膜の厚さが薄くなるほど割れやすくなるため、ガラス薄膜の薄型化が難しい。本発明に記載の表示基板薄膜において、ガラス薄膜の表面に形状が適当で、かつ密度が適当の凸部が配置することで、ガラス薄膜自身の耐衝撃性を著しく上向させるとともに、プラスチック薄膜及びその表面に付着された支持突起により、外力衝撃を緩衝することができ、変形時に欠陥引裂方向に向けての応力を抑えることができ、柔軟性に優れた屈曲可能な表示基板薄膜が得られる。また、現在の製造プロセスに適応でき、表示装置の加工過程における環境の温度と変形及び運搬過程における衝撃によって、欠陥が発生する確率が低い。上記の記載によれば、表示基板薄膜のガスバリア性を実現するには、複雑な薄膜の構成を必要とせず、かつガラス薄膜の欠陥を回避することができ、製造プロセスの環境に対する耐性を高め、製造コストが安い。   The present invention can realize low cost manufacturing of bendable displays, since no vacuum coating is required. Compared with a simple glass thin film, it is more flexible and has the same display performance as the life, and is particularly suitable for the manufacture of a long-life organic electroluminescent display. The projections of the glass thin film and the recesses of the plastic thin film can suppress the thermal expansion of the plastic thin film having a high linear expansion coefficient, and by using the glass thin film as a display reference surface, a display substrate thin film having a low linear expansion coefficient is obtained. Can. Generally, breakage of a glass thin film is caused by generation of minute defects on the surface due to stress concentration, and as the thickness of the glass thin film becomes thinner, it becomes more likely to be broken, making it difficult to thin the glass thin film. In the display substrate thin film according to the present invention, by arranging convex portions having an appropriate shape and an appropriate density on the surface of the glass thin film, the impact resistance of the glass thin film itself is significantly improved, and The support projections attached to the surface can buffer external force impact, can suppress stress in the direction of defect tear at the time of deformation, and can provide a flexible display substrate thin film having excellent flexibility. In addition, it can be adapted to the current manufacturing process, and the temperature of the environment in the process of processing the display device and the impact in the process of deformation and transportation have a low probability of generating a defect. According to the above description, in order to realize the gas barrier properties of the display substrate thin film, complicated thin film configuration is not required, and defects of the glass thin film can be avoided, and the environmental resistance of the manufacturing process is enhanced. The manufacturing cost is low.

本発明に記載の表示基板薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the display-substrate thin film as described in this invention. 本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the display-substrate thin film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the glass thin film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the display-substrate thin film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the glass thin film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the glass thin film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the glass thin film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the display-substrate thin film which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic which shows the structure of the glass thin film which concerns on embodiment of this invention. 本発明に記載の製造方法のフローチャートである。It is a flowchart of the manufacturing method as described in this invention.

図1、図2、図3、図4、図5、図6、図7、図8及び図9に示すように、屈曲可能な表示基板薄膜は、上面に複数の凸部10を有するガラス薄膜1と、前記ガラス薄膜1を被覆するプラスチック薄膜2とを含み、前記プラスチック薄膜2は、下面に複数の前記凸部10を収納するための凹部20を有する。   As shown in FIGS. 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 and 9, the bendable display substrate thin film is a glass thin film having a plurality of convex portions 10 on the top surface 1 and a plastic thin film 2 for covering the glass thin film 1, and the plastic thin film 2 has a recess 20 for receiving the plurality of projections 10 on its lower surface.

複数の前記凸部10はガラス薄膜1の上面に横方向、縦方向或いはマトリクス状に配列される。複数の凸部10がガラス薄膜1の上面に横方向や縦方向に配列される時、前記ガラス薄膜1の縁から所定距離を有する範囲内に前記凸部10が設けられ、複数の凸部10がガラス薄膜1の上面にマトリクス状に配列される時、前記ガラス薄膜1の縁から所定距離の範囲内に縁部突起11が設けられる。   The plurality of convex portions 10 are arranged in the lateral direction, the longitudinal direction or in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1. When the plurality of convex portions 10 are arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film 1, the convex portions 10 are provided in a range having a predetermined distance from the edge of the glass thin film 1. Are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1, an edge protrusion 11 is provided within a predetermined distance from the edge of the glass thin film 1.

複数の凸部10がガラス薄膜1の上面に横方向や縦方向に配列される時、前記凸部10は半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状であり、複数の凸部10がガラス薄膜1の上面にマトリクス状に配列される時、前記凸部10は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状或いは立方体形状であるのが良い。   When the plurality of convex portions 10 are arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film 1, the convex portions 10 have a semi-cylindrical shape, a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape or a cubic shape. When the portions 10 are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1, the convex portions 10 may have a quadrangular pyramid shape, a quadrangular pyramid shape, a spherical crown shape, or a cubic shape.

前記プラスチック薄膜2は前記ガラス薄膜1の上面に対向して設置されるカバー部21と前記ガラス薄膜1の側面に対向して設置される縁部22を有する。前記凸部10の突起の高さ及び凹部20の陥凹の深さは100μm以下であり、前記ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さは100μm以下であるのが良い。   The plastic thin film 2 has a cover 21 installed opposite to the upper surface of the glass thin film 1 and an edge 22 installed opposite to the side surface of the glass thin film 1. It is preferable that the height of the protrusion of the convex portion 10 and the depth of the concave portion of the concave portion 20 be 100 μm or less, and the thickness of the portion other than the convex portion 10 of the glass thin film 1 be 100 μm or less.

前記屈曲可能な表示基板薄膜はガラス薄膜1の下面及び/或いはプラスチック薄膜2の上面に配置される電極とガラス薄膜1の下面及び/或いはプラスチック薄膜2の上面に配置される薄膜トランジスタとをさらに有する。前記縁部22の幅は100μmより大きく、前記カバー部21の凹部20以外の部分の厚さは400μm以下であるのが良い。   The bendable display substrate thin film further includes an electrode disposed on the lower surface of the glass thin film 1 and / or the upper surface of the plastic thin film 2 and a thin film transistor disposed on the lower surface of the glass thin film 1 and / or the upper surface of the plastic thin film 2. The width of the edge 22 may be greater than 100 μm, and the thickness of the portion of the cover 21 other than the recess 20 may be 400 μm or less.

前記ガラス薄膜1の表面うねりは0.5μm/20mm以下であって、前記プラスチック薄膜2の表面の粗さは2nm以下であるのが良い。図1は本発明に記載の表示基板薄膜の構成を示す概略図である。図1において、異なるパターンで塗り潰されている部分はそれぞれプラスチック薄膜2における凹部20とガラス薄膜1における凸部10を示す。   The surface waviness of the glass thin film 1 may be 0.5 μm / 20 mm or less, and the surface roughness of the plastic thin film 2 may be 2 nm or less. FIG. 1 is a schematic view showing the structure of a display substrate thin film according to the present invention. In FIG. 1, portions filled with different patterns respectively indicate a recess 20 in the plastic thin film 2 and a protrusion 10 in the glass thin film 1.

図10に示す屈曲可能な表示基板薄膜製造方法は、上記に記載の屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる方法であって、
圧延法或いは蝕刻法で、上面に複数の凸部10を有するガラス薄膜1を成型するステップと、
成型されたガラス薄膜1に対して、レーザー切断を行うことで、所要寸法のガラス薄膜1を得るステップと、
ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、
プラスチック薄膜2をガラス薄膜1に被覆するステップと、
ラミネート法で、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を一体に結合させるステップであって、その中で、ラミネート処理を行う時の加熱温度がプラスチック薄膜2の軟化点温度より高く、かつガラス薄膜1の軟化点温度より低い、ステップと、
ガラス薄膜1と一体に結合されたプラスチック薄膜2に対して、レーザー切断を行うことで、所要寸法の縁部22を得るステップとを含む。
The method for producing a bendable display substrate thin film shown in FIG. 10 is a method used for producing the bendable display substrate thin film described above,
Forming a thin glass film 1 having a plurality of projections 10 on the upper surface thereof by rolling or etching;
Obtaining the glass thin film 1 of the required size by performing laser cutting on the molded glass thin film 1;
Performing a cleaning and drying process on the glass thin film 1 and the plastic thin film 2;
Coating the plastic thin film 2 on the glass thin film 1;
A step of integrally bonding the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 by the laminating method, in which the heating temperature at the time of performing the lamination process is higher than the softening point temperature of the plastic thin film 2 and the softening of the glass thin film 1 Step below the point temperature,
Laser cutting the plastic film 2 integrally coupled to the glass film 1 to obtain an edge 22 of a desired size.

表示装置であって、該表示装置は、上記に記載の屈曲可能な表示基板薄膜を有する。
表示装置は液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置から構成される。
A display device comprising the bendable display substrate thin film described above.
The display device comprises a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device or an electronic paper display device.

本発明の屈曲可能な表示基板薄膜の屈曲性能は、ガラス薄膜1の材質、プラスチック薄膜2の材質、ガラス薄膜1の厚さ、プラスチック薄膜2の厚さ、凸部10の形状、凸部10の分布密度のいずれとも直接な関係がある。具体的には、ガラス薄膜1にとって、ガラス薄膜1の厚さが厚くなるほど、曲げにくくなり、重さも重くなる一方、外力の衝撃を受けても優性の欠陥と劣性の欠陥が生じにくいので、ガラス薄膜1の厚さを増えさせることは、ガスバリア性の改善に対して必要ではない。それは、ガラス薄膜1の厚さが1μmであっても、非常に高いガスバリア能力があるためである。ガラス薄膜1における凸部10の分布密度を増えることも、ガラス薄膜1の厚さを増えることと同じく、ガラス薄膜1の重さを増えることができるが、このように、表示基板薄膜の可屈曲性に対する影響がわずかである。   The bending performance of the bendable display substrate thin film of the present invention includes the material of the glass thin film 1, the material of the plastic thin film 2, the thickness of the glass thin film 1, the thickness of the plastic thin film 2, the shape of the convex portion 10, and the convex portion 10. There is a direct relationship with any of the distribution density. Specifically, for the glass thin film 1, as the thickness of the glass thin film 1 becomes thicker, it becomes more difficult to bend and the weight becomes heavy, but even if it receives an impact of external force, it is difficult to cause dominant defects and recessive defects. Increasing the thickness of the thin film 1 is not necessary for the improvement of the gas barrier properties. That is because even if the thickness of the glass thin film 1 is 1 μm, it has a very high gas barrier ability. The distribution density of the projections 10 in the glass thin film 1 can also increase the weight of the glass thin film 1 in the same manner as increasing the thickness of the glass thin film 1. The influence on sex is slight.

プラスチック薄膜2にとっては、プラスチック薄膜2の厚さを増加させると、重さも増えるが、ガラス薄膜1の耐機械衝撃の能力を向上させることに対して有利であって、かつ水蒸気バリア性や酸素バリア性が改善できる。ガラス薄膜1は充分なガスバリア性と水蒸気バリア性を有するため、プラスチック薄膜2の厚さにとっては、ただ耐機械衝撃力の特性を考慮すればよい。なお、プラスチック薄膜2の厚さが増加されると、表示基板の透過率が低くなり、屈曲可能な表示基板薄膜の表示装置の厚さを下げようとする努力を相殺する。以上のように、表示基板薄膜の水蒸気バリア性とガスバリア性能を向上させるため、薄いガラス薄膜1だけを使っても要求に達することができ、かつガラス薄膜1の厚さが薄くなることと伴い、可撓性もよくなる。しかし、簡単にガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を積層すると、優性や劣性の欠陥の発生を回避することが困難である。機械力の衝撃の他に、熱衝撃、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2の膨張率の相違、ガラス薄膜1の応力の蓄積、屈曲する時のガラス薄膜1とプラスチック薄膜2の弾性の相違などの原因で、皹欠陥の発生を回避することが困難である。ガラス薄膜1の表面に凸部10を設けられることで、ガラス薄膜1の部分的に厚さを増えさせて、ガラス薄膜1が外力衝撃と熱衝撃を受けた時に、厚いガラス薄膜1と類似する強度を有するようにする。ガラス薄膜1における凸部10がプラスチック薄膜2における凹部20の中に収納されるモザイク構造を構成したので、膨張率の相違に起因したシフトの縮小に有利であり、ガラス薄膜1の応力を放出することで、応力の蓄積しすぎを防止でき、屈曲する時のガラス薄膜1とプラスチック薄膜2との弾性の相違を補い、剥離力の発生を回避できる。   For the plastic thin film 2, increasing the thickness of the plastic thin film 2 increases the weight, but is advantageous for improving the mechanical impact resistance of the glass thin film 1, and has a water vapor barrier property and an oxygen barrier I can improve the sex. Since the glass thin film 1 has sufficient gas barrier properties and water vapor barrier properties, the thickness of the plastic thin film 2 only needs to consider the characteristics of mechanical impact resistance. When the thickness of the plastic thin film 2 is increased, the transmittance of the display substrate is lowered, which offsets the effort to reduce the thickness of the display device thin film that can be bent. As described above, in order to improve the water vapor barrier property and the gas barrier performance of the display substrate thin film, the requirement can be reached even if only the thin glass thin film 1 is used, and the thickness of the glass thin film 1 becomes thin. Flexibility also improves. However, when the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are easily laminated, it is difficult to avoid the occurrence of the dominant or recessive defects. In addition to the impact of mechanical force, other causes such as thermal shock, difference in expansion coefficient of glass thin film 1 and plastic thin film 2, stress accumulation of glass thin film 1, difference in elasticity of glass thin film 1 and plastic thin film 2 when bent, etc. Therefore, it is difficult to avoid the occurrence of flaw defects. By providing the projections 10 on the surface of the glass thin film 1, the thickness of the glass thin film 1 is partially increased, and when the glass thin film 1 is subjected to external force impact and thermal shock, it is similar to the thick glass thin film 1 Have strength. Since the convex portion 10 in the glass thin film 1 constitutes a mosaic structure housed in the concave portion 20 in the plastic thin film 2, it is advantageous for reduction of shift due to the difference in expansion coefficient, and releases the stress of the glass thin film 1 Thus, it is possible to prevent excessive accumulation of stress, compensate for the difference in elasticity between the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 when bent, and avoid the generation of peeling force.

本発明に記載の凸部10はガラス薄膜1の上面において横方向、縦方向、或いはマトリクス状に配列され、前記凸部10は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状、半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状である。以下、凸部10の異なる構成が表示基板薄膜の屈曲性に対する影響に関連して、説明する。   The convex portions 10 according to the present invention are arranged in the lateral direction, longitudinal direction or in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1, and the convex portions 10 have a quadrangular pyramid shape, a quadrangular pyramid shape, a spherical crown shape, a semicylindrical shape, It has a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape or a cubic shape. Hereinafter, different configurations of the convex portion 10 will be described in relation to the influence on the flexibility of the display substrate thin film.

図2は、本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図であって、図3は、本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図2、3に示すように、好ましい実施形態として、ガラス薄膜1における凸部10は三角柱形状であって、縦断面が二等辺三角形の三角柱形状であるのが好ましく、かつ複数の凸部10がガラス薄膜1の上面において、横方向に配列されるように設置される。ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さをt、プラスチック薄膜2の凹部20以外の部分の厚さをt、凸部10の高さと凹部20の深さをhと仮定する場合、表示基板薄膜の全厚さはt=t+t+hである。隣接する凸部10の間の中心間距離がWで、凸部10の最大幅がWで、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間の支持突起23の最大幅がWで、凸部10の曲率半径がRで、隣接する凹部20の間の支持突起23の曲率半径がRである。通常の場合、屈曲可能な表示基板薄膜の曲率半径はプラスチック薄膜2の曲率半径より大きい、すなわちR≧Rである。本発明の表示基板薄膜は縦方向への可撓性を有しており、W=(W+W)/2である場合、プラスチック薄膜2が自由に圧縮できると仮定して、表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に向けて曲げられる時に(ガラス薄膜1が下に、プラスチック薄膜2が上に位置するように仮定すれば、表示基板薄膜が上に向けて曲げられることを指す)、凸部10の曲率半径はR=(h+W /4)0.5であるが、同様に表示基板がガラス薄膜1の一側に曲げられる時の(ガラス薄膜1が下に、プラスチック薄膜2が上に位置するように仮定すれば、表示基板薄膜が下に向けて曲げられることを指す)凸部10の曲率半径をさらに解析することができる。W=(W+W)/2である場合、ガラス薄膜1を省略する条件下で、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間に設置された支持突起23の曲率半径はR=(h+W /4)0.5となる。もしW=Wであれば、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間に設置された支持突起23と凸部10は同じ曲率半径を有し、それは、主に材料の変形を省略して、単純に凸部10の幾何学的形状だけを考慮した時に得られる結論である。 FIG. 2 is a schematic view showing the configuration of the display substrate thin film according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a schematic view showing the configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 2 and 3, as a preferred embodiment, the convex portion 10 in the glass thin film 1 is a triangular prism shape, preferably a triangular prism shape having an isosceles triangular longitudinal section, and a plurality of convex portions 10 The upper surface of the glass thin film 1 is arranged to be arranged in the lateral direction. Assuming that the thickness of the portion of the glass thin film 1 other than the protrusion 10 is t g , the thickness of the portion of the plastic thin film 2 other than the recess 20 is t p , and the height of the protrusion 10 and the depth of the recess 20 are h. The total thickness of the display substrate thin film is t = t g + t p + h. In the plastic thin film 2, the distance between the centers of adjacent projections 10 is W, the maximum width of the projections 10 is W g , and in the plastic thin film 2, the maximum width of the support projections 23 between the adjacent recesses 20 is W p , The radius of curvature of the portion 10 is R g , and the radius of curvature of the support projection 23 between the adjacent recesses 20 is R p . Usually, the radius of curvature of the bendable display substrate thin film is larger than the radius of curvature of the plastic thin film 2, ie, R 、 R p . The display substrate thin film of the present invention has flexibility in the longitudinal direction, and it is assumed that the plastic thin film 2 can be freely compressed if W = (W g + W p ) / 2, the display substrate thin film Is bent toward one side of the plastic thin film 2 (this means that the display substrate thin film is bent upward, assuming that the glass thin film 1 is on the bottom and the plastic thin film 2 is on the top), Although the radius of curvature of the convex portion 10 is R g = (h 2 + W g 2/4) is 0.5, likewise display substrate when bent to one side of the glass film 1 (the lower glass film 1, Assuming that the plastic thin film 2 is located at the top, the radius of curvature of the convex portion 10 (which indicates that the display substrate thin film is bent downward) can be further analyzed. When W = (W g + W p ) / 2, the radius of curvature of the support projection 23 disposed between the adjacent recesses 20 in the plastic thin film 2 is R p = (under the condition that the glass thin film 1 is omitted). the h 2 + W p 2/4 ) 0.5. If W p = W g , in the plastic thin film 2 the support projections 23 and the projections 10 placed between adjacent recesses 20 have the same radius of curvature, which mainly omits the deformation of the material Therefore, it is a conclusion obtained when only the geometric shape of the convex portion 10 is considered.

実際は、プラスチックの弾性変形の範囲が大きいので、実際の応用過程において、Rがガラス薄膜1の曲率半径よりかなり小さいので、プラスチック薄膜2はガラス薄膜1の屈曲に対して影響を与えることはない。もし、凸部10の突起の高さ値は[1μm、100μm]で、凸部10の最大幅(二等辺三角形の辺長)Wは[1μm、100μm]である場合、凸部10の曲率半径Rと支持突起23の曲率半径Rはいずれも120μmより小さく、該数値は厚さが100μmのガラス薄膜1の曲率半径(ミリメートル級)よりかなり小さいので、凸部10の設置がガラス薄膜1自身の屈曲特性に影響を与えることはなく、隣接する凹部20の間の支持突起23もプラスチック薄膜2自身の屈曲特性に影響を与えない。表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる時、プラスチック薄膜2の存在により、曲げられた後プラスチック薄膜2の塑性変形を省略する条件下で、プラスチック薄膜2において隣接する凹部20の間の支持突起23がガラス薄膜1を支持する役割を果たすので、ガラス薄膜1の過度の屈曲が生じないことが確保できる。同様に表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況を解析してみると、ガラス薄膜1には凸部10が設けられ、かつガラス薄膜1の塑性変形を省略してもよいので、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる時、ガラス薄膜1における凸部10はプラスチック薄膜2を支持する作用を有し、屈曲可能な表示基板薄膜も同様に過度の屈曲が発生できなくなり、ガラス薄膜1に欠陥が発生しないことが確保できる。 In fact, since plastic has a large range of elastic deformation, plastic thin film 2 does not affect the bending of glass thin film 1 since R p is considerably smaller than the curvature radius of glass thin film 1 in an actual application process. . If the height value of the protrusion of the protrusion 10 is [1 μm, 100 μm] and the maximum width of the protrusion 10 (side length of isosceles triangle) W g is [1 μm, 100 μm], the curvature of the protrusion 10 The radius R g and the radius of curvature R p of the support protrusions 23 are both smaller than 120 μm, which is considerably smaller than the radius of curvature (millimeter class) of the glass thin film 1 having a thickness of 100 μm. It does not affect the bending characteristics of 1 itself, and the support projections 23 between adjacent recesses 20 also do not affect the bending characteristics of the plastic thin film 2 itself. When the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, the presence of the plastic thin film 2 causes the plastic thin film 2 to be bent and after plastic deformation of the plastic thin film 2 is omitted. Since the support projection 23 plays a role of supporting the glass thin film 1, it is possible to ensure that excessive bending of the glass thin film 1 does not occur. Similarly, analyzing the situation in which the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the convex portion 10 may be provided on the glass thin film 1, and plastic deformation of the glass thin film 1 may be omitted. When the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the convex portion 10 in the glass thin film 1 has a function to support the plastic thin film 2, and the bendable display substrate thin film can not similarly generate excessive bending. It is possible to ensure that no defects occur in the glass thin film 1.

W>(W+W)/2かつW>Wである場合、プラスチック薄膜2の支持突起23の最大幅はガラス薄膜1の凸部10の最大幅より大きく、プラスチック薄膜2自身の特性で、支持突起23によりプラスチック薄膜2の屈曲性能に対して影響を与えることなく、同時に凸部10の寸法が大きい場合、表示基板薄膜が曲げられる時にプラスチック薄膜2における支持突起23がガラス薄膜1の凸部10から剥離される現象が発生しやすく、プラスチック薄膜2の膨張係数は有効に控えられず、ガラス材料とプラスチック材料の結合がしっかりしなくなり、ガラス薄膜1の応力放出に不利である。 When W> ( Wg + Wp ) / 2 and Wp > Wg , the maximum width of the support projection 23 of the plastic thin film 2 is larger than the maximum width of the convex portion 10 of the glass thin film 1, and the characteristics of the plastic thin film 2 itself In the case where the size of the convex portion 10 is large at the same time without affecting the bending performance of the plastic thin film 2 by the support projections 23, the support projections 23 in the plastic thin film 2 become the glass thin film 1 when the display substrate thin film is bent. The phenomenon of peeling off from the convex portion 10 easily occurs, the expansion coefficient of the plastic thin film 2 can not be effectively suppressed, the bonding between the glass material and the plastic material becomes unstable, and the stress release of the glass thin film 1 is disadvantageous.

<Wである場合、プラスチック薄膜2とガラス薄膜1が簡単に積層する状況に相当し、この状況による不良な結果は、上述に説明したとおりである。そのため、W>(W+W)/2かつW<Wであるパラメータの状況を回避することが必要であり、ガラス薄膜1における凸部10が大きすぎれば、屈曲の効果に影響を与えるとともに、表示基板薄膜の重さが増える。複数の凸部10はガラス薄膜1の上面に縦方向に配列される時、表示基板薄膜の屈曲方向以外、横方向に配列された複数の凸部10に対する説明と同じである。 In the case of W p <W g , this corresponds to a situation in which the plastic thin film 2 and the glass thin film 1 are easily stacked, and the defective result in this situation is as described above. Therefore, W> (W g + W p) / 2 and it is necessary to avoid a situation parameter is W p <W g, if the convex portion 10 of the glass film 1 is too large, the influence on the effect of bending As it is given, the weight of the display substrate thin film increases. When the plurality of projections 10 are arranged in the vertical direction on the upper surface of the glass thin film 1, the description is the same as that for the plurality of projections 10 arranged in the lateral direction except the bending direction of the display substrate thin film.

図4は本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図であって、図5は本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図4、図5に示すように、好ましい実施形態として、凸部10は四角柱形状であって、縦断面が同脚台形の四角柱形状であることが好ましく、かつ複数の凸部10がガラス薄膜1の上面において横方向に配列され、同脚台形の上底幅がWg0であり、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間の支持突起23の最少幅がWp0であり、屈曲可能な表示基板薄膜は縦方向(垂直方向)への可撓性を有する。 FIG. 4 is a schematic view showing the configuration of the display substrate thin film according to the embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a schematic view showing the configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4 and FIG. 5, as a preferred embodiment, the convex portion 10 is a quadrangular prism shape, and it is preferable that the longitudinal cross section is a quadrangular prism shape having the same trapezoidal trapezoidal shape, and the plural convex portions 10 are glass are arranged in the horizontal direction in the upper surface of the thin film 1, the upper base width of Doashi trapezoid is W g0, the plastics film 2, minimum width of the support projections 23 between adjacent recesses 20 is W p0, bendable The display substrate thin film has flexibility in the vertical direction (vertical direction).

W>(W+W)/2である場合、表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる時、隣接する凸部10の間の中心間距離をW、凸部10の最大幅(同脚台形の下底幅)をW、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20間の支持突起23の最大幅をW、凸部10の曲率半径をR、隣接する凹部20の間の支持突起23の曲率半径をRとすると、プラスチック薄膜2の存在を省略する条件下で、ガラス薄膜1における凸部10の曲率半径R=[W /{(W−Wg0+W /4}]0.5である。同様に、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況を解析すれば、W=(W+W)/2である場合、ガラス薄膜1の存在を省略する条件下で、プラスチック薄膜2における支持突起23の曲率半径はR=[W /{(W−Wp0+W /4}]0.5である。 When W> (W g + W p ) / 2, when the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, the distance between centers of the adjacent protrusions 10 is W, the maximum width of the protrusions 10 ( Doashi trapezoidal lower base width) of W g, in the plastics film 2, the maximum width of the support projections 23 between adjacent recesses 20 W p, the radius of curvature of R g of the convex portion 10, between the adjacent concave portions 20 Assuming that the curvature radius of the support projection 23 is R p , the curvature radius R g of the convex portion 10 in the glass thin film 1 under the condition of omitting the presence of the plastic thin film 2 = [W g 2 h 2 / {(W g −W g0) 2 + W g 2/ 4}] is 0.5. Similarly, analyzing the situation in which the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, it is plastic thin film under the condition that the presence of the glass thin film 1 is omitted when W = (W g + W p ) / 2. the radius of curvature of the support projections 23 in 2 R p = [W p 2 h 2 / {(W p -W p0) 2 + W p 2/4}] is 0.5.

もしW=Wであれば、プラスチック薄膜2における支持突起23とガラス薄膜1における凸部10は同じ曲率半径を有するが、これは上記の説明と同じく変形を省略するとの仮定の条件に基づいて、単純に幾何学的形状だけを考慮したとき得られる結論である。実際は、プラスチック材料の弾性変形の範囲が大きいので、実際の応用過程においてRがガラス薄膜1の曲率半径よりもかなり小さく、もし凸部10の突起の高さ値が[1μm,100μm]で、凸部10の最大幅(同脚台形の下底幅)Wが[1μm,100μm]である時、Wp0=50μmであり、RとRがそれぞれ290μmより小さく、該数値は厚さが100μmのガラス薄膜1の曲率半径(ミリメートル級)よりかなり小さいので、凸部10の設置はガラス薄膜1自身の屈曲特性に影響を与えることなく、隣接する凹部20の間にある支持突起23もプラスチック薄膜2自身の屈曲特性に影響を与えない。 If W p = W g , the support protrusions 23 in the plastic thin film 2 and the projections 10 in the glass thin film 1 have the same radius of curvature, which is based on the assumption that no deformation is to be made as described above. Therefore, it is a conclusion obtained when simply considering only the geometric shape. In fact, since the range of elastic deformation of the plastic material is large, R p is considerably smaller than the curvature radius of the glass thin film 1 in the actual application process, and the height value of the protrusion of the convex portion 10 is [1 μm, 100 μm], When the maximum width (lower base width of the same leg trapezoid) W g of the convex portion 10 is [1 μm, 100 μm], W p0 = 50 μm, R g and R p are respectively smaller than 290 μm, and the numerical value is the thickness Is considerably smaller than the radius of curvature (millimeter class) of the 100 .mu.m thin glass film 1, the placement of the projections 10 does not affect the bending characteristics of the glass thin film 1 itself, and the supporting projections 23 between adjacent concaves 20 are also It does not affect the bending characteristics of the plastic thin film 2 itself.

表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる時、曲げられた後、プラスチック薄膜2の存在により、プラスチック薄膜2の塑性変形を省略する条件下で、プラスチック薄膜2において隣接する凹部20の間にある支持突起23がガラス薄膜1を支持する役割を果たし、ガラス薄膜1の過度の屈曲が生じないことが確保できる。同様に表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況において、ガラス薄膜1には凸部10が設けられ、かつガラス薄膜1の塑性変形を省略してもよいので、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる時、ガラス薄膜1における凸部10はプラスチック薄膜2を支持するとの役割を果たすので、屈曲可能な表示基板薄膜は同様に過度の屈曲が生じることができなくなり、ガラス薄膜1に欠陥が発生しないことが確保できる。   When the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, after being bent, the plastic thin film 2 is present between the adjacent concave portions 20 in the plastic thin film 2 under the condition that plastic deformation of the plastic thin film 2 is omitted. The support projection 23 located on the side serves to support the glass thin film 1, and it can be ensured that excessive bending of the glass thin film 1 does not occur. Similarly, in a situation where the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the convex portion 10 is provided on the glass thin film 1 and plastic deformation of the glass thin film 1 may be omitted. When bent to one side of the thin film 1, the convex portion 10 in the glass thin film 1 plays a role of supporting the plastic thin film 2, so that the bendable display substrate thin film can not similarly cause excessive bending, and the glass It can be ensured that no defect occurs in the thin film 1.

表示基板薄膜の曲率半径の形態によれば、凸部10が四角柱形状である表示基板薄膜の曲率半径は凸部10が三角柱形状である表示基板薄膜の曲率半径より大きいので、ガラス薄膜1の屈曲性能が低い場合、凸部10が四角柱である構成を採用すれば、表示基板薄膜の過度の屈曲を回避することにはより有利である。W>(W+W)/2かつW>Wである場合、表示基板薄膜の重さを下げることに有利であり、W<2Wであるのが好ましく、欠陥の発生の防止に有利である。 According to the form of the curvature radius of the display substrate thin film, the curvature radius of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a quadrangular prism shape is larger than the curvature radius of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a triangular prism shape. When the bending performance is low, it is more advantageous to avoid excessive bending of the display substrate thin film if adopting a configuration in which the convex portion 10 is a square pole. When W> (W g + W p ) / 2 and W p > W g , it is advantageous to reduce the weight of the display substrate thin film, preferably W p <2 W g , and the prevention of the occurrence of defects It is advantageous to

プラスチック薄膜2の支持突起23の最大幅はガラス薄膜1の凸部10の最大幅より大きくて、プラスチック薄膜2自身の特性で、支持突起23がプラスチック薄膜2の屈曲性能に影響を与えることなく、同時に凸部10の寸法が大きい場合、表示基板薄膜に屈曲が生じる時に、プラスチック薄膜2における支持突起23がガラス薄膜1の凸部10から剥離される現象が発生しやすく、プラスチック薄膜2の膨張係数が有効に控えられず、ガラス材料とプラスチック材料がしっかりと結合できなくなるので、ガラス薄膜1の応力放出に不利である。   The maximum width of the support projection 23 of the plastic thin film 2 is larger than the maximum width of the convex portion 10 of the glass thin film 1, and the characteristic of the plastic thin film 2 itself is that the support projection 23 does not affect the bending performance of the plastic thin film 2 At the same time, when the dimension of the convex portion 10 is large, the phenomenon that the support projection 23 in the plastic thin film 2 is peeled off from the convex portion 10 of the glass thin film 1 easily occurs when the display substrate thin film is bent. However, since the glass material and the plastic material can not be firmly bonded, the stress release of the glass thin film 1 is disadvantageous.

<Wである場合、プラスチック薄膜2とガラス薄膜1が簡単に積層する状況に相当し、この状況による不良な結果は、上述した通りである。そのため、W>(W+W)/2かつW<Wであるパラメータの状況を回避することが必要であり、ガラス薄膜1における凸部10が大きすぎれば、屈曲の効果に影響を与えるとともに、表示基板薄膜の重さが増える。複数の凸部10がガラス薄膜1の上面に縦方向に配列される時、表示基板薄膜の屈曲方向以外、横方向に配列された複数の凸部10に対する説明と同じである。 When W p <W g , this corresponds to a situation in which the plastic thin film 2 and the glass thin film 1 are easily stacked, and the defective result in this situation is as described above. Therefore, W> (W g + W p) / 2 and it is necessary to avoid a situation parameter is W p <W g, if the convex portion 10 of the glass film 1 is too large, the influence on the effect of bending As it is given, the weight of the display substrate thin film increases. When the plurality of projections 10 are arranged in the vertical direction on the upper surface of the glass thin film 1, the description is the same as that for the plurality of projections 10 arranged in the lateral direction except the bending direction of the display substrate thin film.

図6は、本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図6に示すように、好ましい実施形態として、凸部10が四角錐形状であって、かつ複数の凸部10がガラス薄膜1の上面にマトリクス状に配列されることが好ましく、表示基板薄膜は横方向に曲げられてもよく、縦方向に曲げられてもよいが、他の方向へ曲げられる時の曲げ効果が少し悪い。凸部10の分布密度は空間の均等陳列分布であり、すなわち、各凸部10の同一方向の底辺がそれぞれ平行され、各凸部10の底面中心間の距離が相等しく、各凸部10の頂点間の距離が相等しいので、表示基板薄膜の曲げの均一性が確保できる。   FIG. 6 is a schematic view showing the configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, as a preferred embodiment, it is preferable that the convex portions 10 have a quadrangular pyramid shape, and the plurality of convex portions 10 be arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1. It may be bent in the lateral direction or in the longitudinal direction, but the bending effect when bent in the other direction is slightly worse. The distribution density of the projections 10 is a uniform display distribution of space, that is, the bases in the same direction of the projections 10 are parallel to each other, the distances between the centers of the bottoms of the projections 10 are equal, Since the distances between the apexes are equal, it is possible to ensure the uniformity of bending of the display substrate thin film.

凸部10が四角錐形状である表示基板薄膜の横方向と縦方向における屈曲特性はそれぞれ凸部10が三角柱形状である表示基板薄膜の屈曲特性と類似しており、他の屈曲方向においては影響要因が複雑で、屈曲の効果が悪いため、当該実施形態に係る表示基板薄膜を他の方向に曲げることは勧められない。   The bending characteristics in the horizontal direction and the vertical direction of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a quadrangular pyramid shape are similar to the bending characteristics of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a triangular prism shape, and influence in other bending directions. It is not recommended to bend the display substrate thin film according to the embodiment in the other direction because the factors are complicated and the effect of bending is poor.

図7は、本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図7に示すように、好ましい実施形態として、凸部10が四角錐台形状であって、かつ複数の凸部10がガラス薄膜1の上面においてマトリクス状に配列されることが好ましく、この場合、可撓性が少し悪いが、ガラス薄膜1の曲げすぎの発生を回避することにはより有利である。凸部10の分布密度は空間の均等陳列分布であり、すなわち、各凸部10の上下底面の辺がそれぞれ平行にされ、各凸部10の隣接する上下底面の中心間の距離が相等しくて均一に分布されるので、表示基板薄膜の曲げの均一性が確保できる。   FIG. 7 is a schematic view showing the configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, as a preferred embodiment, it is preferable that the convex portions 10 have a quadrangular frustum shape, and the plurality of convex portions 10 be arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1. Although the flexibility is a little bad, it is more advantageous to avoid the occurrence of excessive bending of the glass thin film 1. The distribution density of the convex portions 10 is a uniform display distribution of space, that is, the sides of the upper and lower bottom surfaces of the convex portions 10 are parallel to each other, and the distances between the centers of the adjacent upper and lower bottom surfaces of the convex portions 10 are equal. The uniform distribution can ensure the uniformity of the bending of the display substrate thin film.

凸部10が四角錐台形状である表示基板薄膜の横方向と縦方向における屈曲特性は、それぞれ凸部10が四角柱形状である表示基板薄膜の屈曲特性と類似しており、他の屈曲方向においては影響要因が複雑で、屈曲の効果がよくないので、当該実施形態に係る表示基板薄膜を他の方向に曲げることは勧められない。   The bending characteristics in the horizontal direction and the vertical direction of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a quadrangular pyramid shape are similar to the bending characteristics of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a quadrangular prism shape. In the above, the influence factor is complicated, and the effect of bending is not good, so it is not recommended to bend the display substrate thin film according to the embodiment in the other direction.

好ましい実施形態として、ガラス薄膜1における凸部10が半円柱形状である場合、屈曲の効果は凸部10が三角柱形状、四角柱形状である状況と類似しており、実際の表示基板薄膜の加工過程において、凸部10の半径と分布密度を調整し、満足な屈曲性能を得るようにしてもよい。該好ましい実施形態において、凸部10がガラス薄膜1の上面に横方向や縦方向に配列される場合の屈曲性能を解析する過程は同じであるが、表示基板薄膜の屈曲方向が異なる。   As a preferred embodiment, when the convex portion 10 in the glass thin film 1 has a semi-cylindrical shape, the effect of bending is similar to the situation where the convex portion 10 has a triangular prism shape or a quadrangular prism shape, and processing of the actual display substrate thin film In the process, the radius of the convex portion 10 and the distribution density may be adjusted to obtain satisfactory bending performance. In the preferred embodiment, the process of analyzing the bending performance in the case where the convex portions 10 are arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film 1 is the same, but the bending direction of the display substrate thin film is different.

図8は、本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図であって、図9は、本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図8、図9に示すように、好ましい実施形態として、ガラス薄膜1における凸部10が球冠形状である場合、凸部10がいずれかの方向において相等しい屈曲能力を有するので、凸部10の曲率半径に対して定量分析を行うことが難しい。表示基板薄膜の縦方向や横方向の屈曲特性は凸部10が半円柱形状である表示基板薄膜の屈曲特性と類似しており、実際の表示基板薄膜の加工過程において、凸部10の半径と分布密度を調整することで、満足な屈曲性能を得ることができる。   FIG. 8 is a schematic view showing the configuration of the display substrate thin film according to the embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a schematic view showing the configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 8 and 9, as a preferred embodiment, when the convex portion 10 in the glass thin film 1 has a spherical crown shape, since the convex portion 10 has equal bending ability in either direction, the convex portion 10 It is difficult to perform quantitative analysis for the radius of curvature of The bending characteristics of the display substrate thin film in the longitudinal direction and the lateral direction are similar to the bending characteristics of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a semi-cylindrical shape, and in the process of actual display substrate thin film By adjusting the distribution density, satisfactory bending performance can be obtained.

マトリクス状に配列される時、ガラス薄膜1の上面の縁部領域に分布される凸部10の数はガラス薄膜1の上面の縁部以外の領域に分布される凸部10の数より多い。ガラス薄膜1の最も弱い領域、最も欠陥が生じやすい領域はガラス薄膜1の縁から内の方へ数ミリメートル延在した面積範囲であり、該領域に凸部10を設置する目的は、縁の欠陥を回避させるためであり、各種の欠陥の発生を有効に低下させることができる。   When arranged in a matrix, the number of projections 10 distributed in the edge area of the upper surface of the glass thin film 1 is greater than the number of projections 10 distributed in the area other than the edge of the upper surface of the glass thin film 1. The weakest area of the glass thin film 1, the area most susceptible to defects is an area extending several millimeters inward from the edge of the glass thin film 1, and the purpose of placing the projections 10 in this area is the defect of the edge It is possible to effectively reduce the occurrence of various defects.

凸部10の形状は実際の状況に応じて、断面が三角形、台形、円弧形状、半円形或いは半楕円形状に設けることができる。ガラス薄膜1の厚さと凸部10の高さとの加算値が、0.1mmより大きい場合、屈曲性に影響を与えないように、ガラス薄膜1の縁の領域に布設される複数の凸部10とガラス薄膜1の縁以外の領域(内部領域)に布設される複数の凸部10との屈曲方向及び配列密度が一致するようにする。複数の凸部10が縦方向や横方向に配列される時、ガラス薄膜1の縁の領域に凸部10を有するようにし、屈曲特性を保証することが優先で、その次が耐衝撃力を保証することである。複数の凸部10がマトリクス状に配列される時、縁の領域に分布される凸部10の数が縁以外の領域に分布される凸部10の数より多いようにし、屈曲可能な特性を保証することが優先で、その次が耐衝撃力を保証することである。ガラス薄膜1の厚さと凸部10の高さとの加算値が0.1mmよりも大きい場合、可撓性が高いので、ガラス薄膜1の縁を全閉型や大部分密閉型に設けるようにすることを考慮してもよいが、内部の凸部10の構成の形態を考慮しなくてもよい。このような表示基板薄膜はより強い縁の耐衝撃能力を有するが、屈曲特性が弱い。   The shape of the convex portion 10 can be provided to have a triangular, trapezoidal, circular arc, semicircular or semielliptical cross section depending on the actual situation. When the sum of the thickness of the glass thin film 1 and the height of the projections 10 is larger than 0.1 mm, the plurality of projections 10 provided in the area of the edge of the glass thin film 1 do not affect the flexibility. The bending direction and the arrangement density of the plurality of convex portions 10 provided in the region (inner region) other than the edge of the glass thin film 1 are made to coincide with each other. When the plurality of projections 10 are arranged in the longitudinal direction or the lateral direction, it is preferred to have the projections 10 in the area of the edge of the glass thin film 1 to ensure bending characteristics, and the next is impact resistance. It is to guarantee. When the plurality of projections 10 are arranged in a matrix, the number of projections 10 distributed in the edge area is made larger than the number of projections 10 distributed in the area other than the edge, and the bendable characteristic is The priority is to guarantee, and the second is to guarantee the impact resistance. If the added value of the thickness of the glass thin film 1 and the height of the convex portion 10 is larger than 0.1 mm, the flexibility is high, so the edge of the glass thin film 1 is provided in a totally closed type or a mostly closed type. Although the above may be taken into consideration, the form of the configuration of the internal convex portion 10 may not be taken into consideration. Such display substrate thin films have stronger edge impact resistance capabilities, but weaker bending properties.

好ましい実施形態として、前記凸部10の高さと凹部20の深さは100μm以下である。ガラス薄膜1における凸部10の高さが高くなるほど、ガラス薄膜1自身の機械安定性の保持に有利である一方、欠点は屈曲性が悪くなり、重さも重くなることである。プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20間の支持突起23の作用はガラス薄膜1を支持することであり、支持突起23が厚くなるほど、その支持作用が強い。   As a preferred embodiment, the height of the convex portion 10 and the depth of the concave portion 20 are 100 μm or less. As the height of the convex portion 10 in the glass thin film 1 becomes higher, it is advantageous for maintaining the mechanical stability of the glass thin film 1 itself, but the disadvantage is that the flexibility becomes worse and the weight becomes heavier. In the plastic thin film 2, the action of the support projection 23 between the adjacent concave portions 20 is to support the glass thin film 1, and the thicker the support projection 23, the stronger the support action.

好ましい実施形態として、前記ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さは100μm以下である。実験により、各種アルカリガラスや無アルカリガラスの厚さが100μmより小さい場合、いずれもよい屈曲可能な特性を有することが認められた。   As a preferred embodiment, the thickness of the portion other than the convex portion 10 of the glass thin film 1 is 100 μm or less. Through experiments, it was found that when the thickness of various alkali glasses and alkali-free glasses is smaller than 100 μm, they all have good bendable characteristics.

好ましい実施形態として、前記プラスチック薄膜2は、前記ガラス薄膜1に対向して設置されるカバー部21とそれぞれカバー部21の両側に設置される2つの縁部22を含み、前記カバー部21の凹部20以外の部分の厚さは400μm以下であり、ガラス薄膜1に対する包みを満足する時、プラスチック薄膜2の厚さは薄いほどよく、透過率が増加され、屈曲性にもより有利である。   As a preferred embodiment, the plastic thin film 2 includes a cover portion 21 installed opposite to the glass thin film 1 and two edge portions 22 respectively installed on both sides of the cover portion 21. The thickness of the portion other than 20 is 400 μm or less, and when satisfying the package for the glass thin film 1, the thinner the plastic thin film 2 is, the better the transmittance is, and the flexibility is also more advantageous.

好ましい実施形態として、前記縁部22の幅は100μmより大きく、厚さは600μm以下であり、縁部22の厚さはプラスチック薄膜2のカバー部21の厚さとガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さとの加算値と等しい。ガラス薄膜1の外縁の縁の領域を被覆することにより、欠陥の発生率を有効に低下させることができる。   As a preferred embodiment, the width of the edge 22 is greater than 100 μm and the thickness is 600 μm or less, and the thickness of the edge 22 is other than the thickness of the cover 21 of the plastic thin film 2 and the convex 10 of the glass thin film 1. It is equal to the sum of the thickness of the part. By covering the area of the outer edge of the glass thin film 1, the incidence of defects can be effectively reduced.

好ましい実施形態として、前記表示基板薄膜の各所の厚さは均一であり、すなわち、ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さと、凸部10の突起の高さと、カバー部21の凹部20以外の部分の厚さとの合計は表示基板薄膜の厚さに等しく、プラスチック薄膜2の縁部22の厚さも表示基板薄膜の厚さに相等しく、かつ600μm以下である。表示基板薄膜の厚さが薄いほど、屈曲性がよりよい。一般的に、ガラス薄膜1の厚さを下げることで、表示基板薄膜全体の厚さを低下させて、可撓性を向上させるとともに表示基板薄膜全体の重さを低下させることができ、耐落下性を向上させることができる。ガラス薄膜1の厚さはただ数ミクロンである場合、表示基板薄膜の屈曲特性がプラスチック薄膜2の屈曲特性に近づく、かつガスバリア性は相変わらず普通のガラス基板に匹敵することができる。プラスチック薄膜2の厚さは表示基板薄膜の透過率に影響を与えるし、表示基板薄膜を背板以外の用途として使う場合、できるだけプラスチック薄膜2の厚さを下げて、基板全体の透過率を向上させる。   As a preferred embodiment, the thickness of each portion of the display substrate thin film is uniform, that is, the thickness of the portion other than the convex portion 10 of the glass thin film 1, the height of the protrusion of the convex portion 10, and the concave portion 20 of the cover portion 21. The sum of the thickness of the other portions and the thickness of the display substrate thin film is equal to that of the display substrate thin film, and the thickness of the edge 22 of the plastic thin film 2 is equal to the thickness of the display substrate thin film and is 600 μm or less. The thinner the display substrate thin film, the better the flexibility. Generally, by reducing the thickness of the glass thin film 1, the thickness of the entire display substrate thin film can be reduced to improve the flexibility and reduce the weight of the entire display substrate thin film. It is possible to improve the quality. If the thickness of the glass thin film 1 is only a few microns, the bending properties of the display substrate thin film approach the bending properties of the plastic thin film 2 and the gas barrier properties can still be comparable to ordinary glass substrates. The thickness of the plastic thin film 2 affects the transmittance of the display substrate thin film, and when the display substrate thin film is used as a back plate, the thickness of the plastic thin film 2 is reduced as much as possible to improve the transmittance of the entire substrate Let

好ましい実施形態として、前記ガラス薄膜1の表面うねりは0.5μm/20mm以下である。前記プラスチック薄膜2の表面の粗さは2nm以下である。ガラス薄膜1の下面を表示基準面とすると、研磨によりうねりを有効に下げ、表示が基板薄膜に対する要求を満たすことができる。プラスチック薄膜2は曲げやすいので、うねりはプロセス加工過程において補正しやすく、うねりに対し、表面の粗さはもっと関心すべき指標である。   As a preferred embodiment, the surface waviness of the glass thin film 1 is 0.5 μm / 20 mm or less. The surface roughness of the plastic thin film 2 is 2 nm or less. When the lower surface of the glass thin film 1 is used as a display reference surface, the undulation can be effectively reduced by polishing, and the display can satisfy the requirements for the substrate thin film. Since the plastic thin film 2 is flexible, undulation is easy to correct in the process, and to the undulation, the surface roughness is a more interesting index.

好ましい実施形態として、前記表示基板薄膜はガラス薄膜1の下面及び/或いはプラスチック薄膜2の上面に配置される電極をさらに含む。該電極は透明電極と非透明電極に分けられる。透明電極はITO材料、PEDOT材料、カーボンナノチューブ材料或いはグラフェン材料などより製造できる。非透明電極は金属電極より構成され、具体的に、例えば、アルミニウム、銀、銅などの金属電極である。電極がガラス薄膜1の表面に付着されるようにする設計の利点は高温の加工過程に耐えられることができ、表示基板薄膜の熱安定性が良いことである。温度が変化される時、プラスチック薄膜2の寸法が変更される場合でも、電極の幾何学的寸法に影響を与えることなく、高い熱安定性を有し、表示装置の解像度の向上に有利である。電極がプラスチック薄膜2の表面に付着される時に、より低い工程温度が必要であるが、電極はかなり良い屈曲可能な特性を有しており、特に有機電極材料、例えばPEDOT材料により製造された電極がプラスチック薄膜2の表面に付着される時に、より良い粘着力があり、かつ電極薄膜の均一性もよい。   In a preferred embodiment, the display substrate thin film further includes an electrode disposed on the lower surface of the glass thin film 1 and / or the upper surface of the plastic thin film 2. The electrode is divided into a transparent electrode and a non-transparent electrode. The transparent electrode can be made of ITO material, PEDOT material, carbon nanotube material or graphene material. The nontransparent electrode is composed of a metal electrode, and specifically, for example, a metal electrode of aluminum, silver, copper or the like. The advantage of the design that allows the electrodes to be attached to the surface of the thin glass film 1 is that it can withstand high temperature processing processes and the thermal stability of the display substrate thin film is good. When the temperature is changed, even if the dimension of the plastic thin film 2 is changed, it has high thermal stability and is advantageous for improving the resolution of the display device without affecting the geometrical dimension of the electrode. . Lower electrode temperatures are required when the electrodes are applied to the surface of the plastic film 2, but the electrodes have rather good bendable properties, in particular electrodes made of organic electrode materials, for example PEDOT materials Has a better adhesion when it is attached to the surface of the plastic film 2 and the uniformity of the electrode film is also good.

好ましい実施形態として、前記表示基板薄膜ガラス薄膜1の下面及び/或いはプラスチック薄膜2の上面に配置される薄膜トランジスタをさらに含む。該薄膜トランジスタは必要に応じて有機薄膜トランジスタ或いは無機薄膜トランジスタを用いることができ、無機薄膜トランジスタを用いる場合、ガラス薄膜1の一側に設けられると有利であり、ガラス薄膜1はより高い温度の処理過程に耐えられることができ、形状が変わらない。具体的には、例えば、a−Si(アモルファスシリコン)薄膜トランジスタ、p−Si(ポリシリコン)薄膜トランジスタ、LTPS(低温ポリシリコン)薄膜トランジスタ、IGZO(酸化インジウムガリウム亜鉛)薄膜トランジスタなどがガラス一側に設置されて、現在の製造工程の環境に適応できる。有機TFTすなわちOTFT(有機薄膜トランジスタ)を採用する場合、ガラス薄膜1或いはプラスチック薄膜2の一側に設置すれば、製造工程の環境を満たすことができるが、ガラス薄膜1の一側に設置すると、製造した能動素子の寸法の安定性及び均一性が高いので、高い解像度のディスプレイの実現に有利である。薄膜トランジスタをプラスチック薄膜2の上面に配置し、かつ無機薄膜トランジスタを用いる場合、高温の製造プロセスの要求を満たすために、プラスチック薄膜2は耐高温材料、例えばPI薄膜或いはPEN薄膜を選択するとともに、材料の熱安定性の要求を満たすように、製造プロセスに対する適当な調整が必要である。   As a preferred embodiment, the display substrate further includes a thin film transistor disposed on the lower surface of the thin film glass film 1 and / or the upper surface of the plastic film 2. The thin film transistor may be an organic thin film transistor or an inorganic thin film transistor if necessary, and when using an inorganic thin film transistor, it is advantageous to be provided on one side of the glass thin film 1 and the glass thin film 1 withstands higher temperature treatment processes. Can be done, the shape does not change. Specifically, for example, an a-Si (amorphous silicon) thin film transistor, a p-Si (polysilicon) thin film transistor, an LTPS (low temperature polysilicon) thin film transistor, an IGZO (indium gallium zinc oxide) thin film transistor etc. , Adaptable to the current manufacturing process environment. When an organic TFT, that is, OTFT (organic thin film transistor) is adopted, the environment of the manufacturing process can be satisfied by installing it on one side of the glass thin film 1 or the plastic thin film 2. The high dimensional stability and uniformity of the active elements are advantageous for realizing high resolution displays. When thin film transistors are disposed on the upper surface of the plastic thin film 2 and inorganic thin film transistors are used, the plastic thin film 2 should be a high temperature resistant material, such as PI thin film or PEN thin film, to meet the requirements of high temperature manufacturing process. Appropriate adjustments to the manufacturing process are required to meet the thermal stability requirements.

本発明は表示装置をさらに提供する。該表示装置は上記のいずれか一つの実施形態に記載の屈曲可能な表示基板薄膜を含む。前記表示装置は液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置であるのが好ましい。表示装置が液晶表示装置である場合、TN(ツイステッド・ネマチック型)、STN(スーパーツイステッド・ネマチック型)、IPS、PDLC、Ch−LCD、VAとFLCなどの異なる表示モードの液晶表示装置を作成することができる。その中で、TN表示モードである液晶表示装置は受動と能動の二種類に分けられる。受動表示の時に、プラスチック薄膜2の一側を液晶セルの内表面としてもよいし、ガラス薄膜1の一側を内表面、或いはプラスチック薄膜2の一側とガラス薄膜1の一側をそれぞれ内表面としてもよい。液晶セルの内表面の組み合わせは製造プロセス環境の温度が低いので、液晶セルの厚さの均一性に対する要求が高くない。能動表示の時に、ガラス薄膜1を液晶セルの内表面として使うことが好ましくて、液晶セルの製造過程における製造プロセス環境はいずれも満たすことができ、膨張率が低いので、能動素子の精度を精確に控えることができ、均等の能動素子が形成される。   The invention further provides a display device. The display device includes the bendable display substrate thin film according to any one of the above embodiments. The display device is preferably a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device or an electronic paper display device. When the display device is a liquid crystal display device, liquid crystal display devices of different display modes such as TN (twisted nematic type), STN (super twisted nematic type), IPS, PDLC, Ch-LCD, VA and FLC are produced. be able to. Among them, the liquid crystal display device in the TN display mode is divided into two types, passive and active. At the time of passive display, one side of the plastic thin film 2 may be the inner surface of the liquid crystal cell, one side of the glass thin film 1 is the inner surface, or one side of the plastic thin film 2 and one side of the glass thin film 1 It may be Because the combination of the inner surfaces of the liquid crystal cell is at a lower temperature in the manufacturing process environment, the demand for thickness uniformity of the liquid crystal cell is not high. At the time of active display, it is preferable to use the glass thin film 1 as the inner surface of the liquid crystal cell, and any manufacturing process environment in the liquid crystal cell manufacturing process can be satisfied and the expansion coefficient is low. Equal active elements are formed.

STN、PDLC、Ch−LCD、受動VAと受動FLC液晶セルの配置方式は受動TN形式と類似し、IPS、能動FLCと能動VAはガラス薄膜1を内表面とすれば、有利であるが、このような配置方式が絶対的であるのではない。OTFT或いは有機透明電極を採用すれば、プラスチック薄膜2を液晶セルの内側表面としてもよく、液晶表示装置の屈曲可能な表示基板薄膜を2枚使ってもよいが、2枚の表示基板薄膜の屈曲方向が一致するという要求を満たす必要がある。具体的に、その中の一つの表示基板薄膜における複数の凸部10がガラス薄膜1上に縦方向に配列されると仮定すれば、もう一つの表示基板薄膜における複数の凸部10はガラス薄膜1に縦方向或いはマトリクス状に配列される。なお、その中の一つの表示基板薄膜における複数の凸部10がガラス薄膜1上に横方向に配列されると仮定すれば、もう一つの表示基板薄膜における複数の凸部10がガラス薄膜1上に横方向或いはマトリクス状に配列される。液晶表示装置は種類が多く、材料の組合せの選択性が広いので、実際の応用過程で、薄膜の特性と製造プロセス環境の要求に応じて、好ましい組合せを選択することができるが、ここでは詳しく列挙しない。どの組合せを採用しても、屈曲可能な表示基板薄膜は屈曲可能との目的を達成することができ、過度の屈曲による欠陥の発生を有効に回避できるとともに、ガスバリア性も単なるガラス基板薄膜液晶セルに比べても遜色ないレベルである。   The arrangement method of STN, PDLC, Ch-LCD, passive VA and passive FLC liquid crystal cell is similar to passive TN type, and IPS, active FLC and active VA are advantageous if the glass thin film 1 is the inner surface, but Such a placement scheme is not absolute. If an OTFT or an organic transparent electrode is adopted, the plastic thin film 2 may be used as the inner surface of the liquid crystal cell, and two flexible display substrate thin films of the liquid crystal display device may be used. It is necessary to meet the requirement that the directions match. Specifically, assuming that the plurality of convex portions 10 in one of the display substrate thin films are vertically arranged on the glass thin film 1, the plurality of convex portions 10 in the other display substrate thin film is a glass thin film 1 are arranged in the vertical direction or in a matrix. Assuming that the plurality of projections 10 in one of the display substrate thin films are arranged in the lateral direction on the glass thin film 1, the plurality of projections 10 in the other display substrate thin film are on the glass thin film 1. Are arranged horizontally or in a matrix. Since there are many types of liquid crystal display devices and wide selectivity of combinations of materials, it is possible to select preferable combinations according to the characteristics of thin film and requirements of manufacturing process environment in actual application process, but here I do not enumerate. No matter which combination is adopted, the bendable display substrate thin film can achieve the purpose of being bendable, and generation of defects due to excessive bending can be effectively avoided, and the gas barrier property is also simply a thin film liquid crystal cell of glass substrate It is a level comparable to

好ましくは、前記表示装置は有機発光ダイオード表示装置でもよい。表示装置は有機発光ダイオード表示装置である場合、トップエミッション或いはボトムエミッションの表示装置に作成してもよい。有機発光ダイオード(OLED)は駆動原理により、能動表示と受動表示に分けられ、発光の材料により、高分子材料と低分子材料に分けられ、その中のパッシブ駆動は基板薄膜に対する要求が低くて、基板薄膜材料が表示の要求を満たしやすく、能動駆動のOLEDは能動駆動の液晶表示装置に比べて、OLEDが電流型の素子であるため、電荷の移動度と均一性の面においてより厳しい要求がある。   Preferably, the display may be an organic light emitting diode display. When the display device is an organic light emitting diode display device, it may be formed on a top emission or bottom emission display device. Organic light emitting diodes (OLEDs) are divided into active display and passive display according to driving principle, and are divided into polymer material and low molecular material according to light emitting materials, in which passive driving has low demand for substrate thin film, Substrate thin-film materials tend to satisfy display requirements, and OLEDs with current drive are more stringent in terms of charge mobility and uniformity, as OLEDs are current-type devices compared to liquid crystals with active drive. is there.

なお、OLEDを構成する材料、例えば、有機発光層、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、および電子注入層などは全部有機材料であって、酸素分子と水分子に対してより敏感であるため、表示基板薄膜のガスバリア性に対する要求も高い。液晶表示装置に係る上記の説明からわかるように、屈曲可能な表示基板薄膜は非常に適合的な形式である。   The materials constituting the OLED, for example, the organic light emitting layer, the hole injecting layer, the hole transporting layer, the electron transporting layer, the electron injecting layer, etc., are all organic materials, and it is more preferable for oxygen molecules and water molecules. Because of the sensitivity, the gas barrier properties of the display substrate thin film are also highly required. As can be seen from the above description of the liquid crystal display, the bendable display substrate thin film is of a very compatible type.

OLEDにおいて、屈曲可能な表示基板薄膜は単層、電極、表示材料は積層型を採用したので、屈曲形式は実現しやすいようであるが、実はそうではない。ガスバリア性に対する厳しい要求で、表示基板薄膜の他に、裏側の電極に対する保護は通常薄膜或いは基板薄膜により行うことが必要であり、屈曲可能な表示基板薄膜は表示基板薄膜として使うことだけでなく、裏側の電極を保護する基板薄膜として使ってもよく、そのコストも安い。   In the OLED, a bendable display substrate thin film adopts a single layer, an electrode, and a display material adopts a laminate type, so it seems that a bend form is easily realized, but it is not so. With strict requirements for gas barrier properties, it is usually necessary to protect the electrode on the back side by a thin film or substrate thin film in addition to the display substrate thin film, and the bendable display substrate thin film is not only used as a display substrate thin film It may be used as a substrate thin film protecting the backside electrode, and its cost is low.

屈曲可能な表示基板薄膜の構成はガスバリア性薄膜の性能を有し、凸部10の配列方向が表示基板薄膜に要求された屈曲方向と一致すると、OLED表示装置全体の屈曲を実現できる。具体的には、表示基板薄膜が縦方向に曲げられる場合、ガラス薄膜1における複数の凸部10は縦方向或いはマトリクス状に配列され、表示基板薄膜が横方向に曲げられる場合、ガラス薄膜1における複数の凸部10は横方向或いはマトリクス状に配列される。フィルムコーティングのプロセスを必要とせず、効率的なガスバリア性を実現でき、OLED表示装置のコストを低下させることができる。   The configuration of the bendable display substrate thin film has the performance of a gas barrier thin film, and when the arrangement direction of the convex portions 10 matches the bend direction required for the display substrate thin film, it is possible to realize bending of the entire OLED display device. Specifically, when the display substrate thin film is bent in the vertical direction, the plurality of convex portions 10 in the glass thin film 1 are arranged in the vertical direction or in a matrix, and when the display substrate thin film is bent in the horizontal direction The plurality of protrusions 10 are arranged in the lateral direction or in a matrix. Efficient gas barrier properties can be achieved and the cost of the OLED display can be reduced without the need for a film coating process.

好ましくは、前記表示装置は電子ペーパー表示装置であってもよい。上記の屈曲可能な表示基板薄膜を使って、駆動バッキングプレートを作成することができ、これでフレキシビリティ電子ペーパー表示のコストを有効に下げることができる。電子ペーパー表示は主にペーパーを替えるためであり、低コストは基本的な要求である。屈曲可能な表示基板薄膜は安いプラスチック薄膜2とガラス薄膜1を使用することで、該要求を満たすことができ、電子ペーパーの応用普及に条件を創造しうる。   Preferably, the display device may be an electronic paper display device. The bendable display substrate membrane can be used to make a driving backing plate, which can effectively lower the cost of flexible electronic paper display. Electronic paper display is mainly to replace paper, and low cost is a basic requirement. The flexible display substrate thin film can meet the requirements by using the cheap plastic thin film 2 and the glass thin film 1, and can create conditions for the spread of application of electronic paper.

本発明はさらに屈曲可能な表示基板薄膜製造方法を提供する。該方法は上記に記載の前記屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる方法であって、圧延法或いは蝕刻法を利用して、上面に複数の凸部10を有するガラス薄膜1を成型するステップと、所要寸法のガラス薄膜1が得られるように、成型されたガラス薄膜1に対してレーザー切断を行うステップと、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、プラスチック薄膜2をガラス薄膜1に被覆するステップと、ラミネート法を利用して、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を一体に結合させ、その中で、ラミネート処理を行う時の加熱温度はプラスチック薄膜2の軟化点温度より高くかつガラス薄膜1の軟化点温度より低いものであるステップと、所要寸法の縁部22が得られるように、ガラス薄膜1と一体に結合されたプラスチック薄膜2に対して、レーザー切断を行うステップとを含む。ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2は板状材料を用いることが好ましく、これは精度の良い凸部10の形成に有利であり、二種類の材料を結合させる時の密着度合いの増加にも有利である。   The present invention further provides a method of manufacturing a flexible display substrate thin film. The method is a method used for producing the bendable display substrate thin film as described above, comprising the steps of forming the glass thin film 1 having the plurality of convex portions 10 on the upper surface by using a rolling method or an etching method; A step of performing laser cutting on the molded glass thin film 1 so as to obtain the glass thin film 1 having a required size, a step of performing cleaning and drying processing on the glass thin film 1 and the plastic thin film 2, The glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are integrally bonded by using the step of coating the thin film 2 on the glass thin film 1 and the laminating method, in which the heating temperature at the time of laminating is softening of the plastic thin film 2 Integrally with the glass film 1 so as to obtain a step which is above the point temperature and below the softening point temperature of the glass film 1 and to obtain an edge 22 of the required dimensions. Against the plastic film 2 which is engaged, and a step of performing laser cutting. It is preferable to use a plate-like material for the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 and this is advantageous for forming the convex portion 10 with high accuracy, and also for increasing the degree of adhesion when bonding two types of materials. .

同時に、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2において若干の欠陥があるとしても、製造方法の加熱加工過程において、自動的に修復できる。通常、積層過程において、接着剤を使う必要がなく、単なる加熱によって結合させることができるが、積層されたプラスチック薄膜2とガラス薄膜1が直接に粘着するのが難しい場合、透明接着剤を使って粘着してもよい。   At the same time, even if there are some defects in the glass thin film 1 and the plastic thin film 2, they can be automatically repaired in the heating process of the manufacturing method. Usually, in the laminating process, it is not necessary to use an adhesive, and it is possible to bond by mere heating, but when it is difficult for the laminated plastic thin film 2 and the glass thin film 1 to stick directly, a transparent adhesive is used. You may stick.

本発明は、製造プロセスが簡単で、優れたガスバリア性を有し、コストも安い。ガラス薄膜1の厚さの調整が便利で、屈曲可能な表示基板薄膜の重さを下げやすく、薄膜を介した緩衝作用により、屈曲可能な表示基板薄膜の耐落下衝撃性と機械衝撃性能が著しく向上された。ガラス薄膜1の表面に凸部10を付着することは、ガラス薄膜1の厚さを著しく増加させることに相当し、表示基板薄膜の耐熱衝撃の能力を向上させる。ガラス薄膜1の縁に凸部10を布設することに加えて、プラスチック薄膜2で被覆することにより、縁の欠陥が生じることを有効に回避した。   The present invention has a simple manufacturing process, excellent gas barrier properties, and low cost. Adjustment of the thickness of the glass thin film 1 is convenient, it is easy to lower the weight of the bendable display substrate thin film, and the shock resistance and mechanical impact performance of the bendable display substrate thin film are remarkable due to the buffer action through the thin film. Improved. Attaching the convex portion 10 to the surface of the glass thin film 1 corresponds to significantly increasing the thickness of the glass thin film 1, and improves the thermal shock resistance of the display substrate thin film. In addition to laying the projections 10 on the edge of the glass thin film 1, coating with the plastic thin film 2 effectively avoids the occurrence of edge defects.

ガラス薄膜1に凸部10を設け、及びプラスチック薄膜2に凹部20を設けることにより、曲げすぎの欠陥を有効に回避でき、屈曲可能な表示基板薄膜の耐熱衝撃と機械衝撃の性能を向上させる一方、ガラス薄膜1は水蒸気や酸素を遮断する役割を果たすことができる。   By providing the convex portion 10 in the glass thin film 1 and providing the concave portion 20 in the plastic thin film 2, it is possible to effectively avoid the defect of over bending, and improve the performance of thermal shock and mechanical impact of the bendable display substrate thin film The glass thin film 1 can play a role of blocking water vapor and oxygen.

プラスチック薄膜2を内側表面とする場合、縁部突起11の設置により、プラスチックの縁からの酸素、水分の浸み込みが低下またはほとんど遮断されるので、表示基板薄膜全体のガスバリア性を実現でき、高価の真空コーティング無機薄膜を用いる必要がない上、ガラス薄膜1の欠陥も回避でき、製造プロセス環境に対する耐性を向上させることができ、低コストの屈曲可能な表示を実現できる。   When the plastic thin film 2 is used as the inner surface, the installation of the edge projections 11 reduces or substantially blocks the penetration of oxygen and moisture from the edge of the plastic, so that the gas barrier properties of the entire display substrate thin film can be realized. There is no need to use an expensive vacuum-coated inorganic thin film, defects in the glass thin film 1 can be avoided, resistance to the manufacturing process environment can be improved, and low-cost, bendable display can be realized.

作成されたOLED表示装置は単一のガラス薄膜1と比べて、同じ寿命の表示性能を有するので、特に長寿命の表示装置の製造に適応できる。ガラス薄膜1の凸部10とプラスチック薄膜2の凹部20により高線膨張係数を有するプラスチック薄膜2の熱膨張が控えられ、線膨張係数が小さい表示基板薄膜材料を得ることができるので、高解像度の表示装置への応用に適応できる。   The OLED display device produced has the same display performance as the single glass thin film 1, so that it can be particularly adapted to the production of long-life display devices. The thermal expansion of the plastic thin film 2 having a high linear expansion coefficient is suppressed by the projections 10 of the glass thin film 1 and the recesses 20 of the plastic thin film 2, and a display substrate thin film material having a small linear expansion coefficient can be obtained. It can be applied to applications to display devices.

一般的に、ガラス薄膜1の断裂は、応力が表面の微小な欠陥に集中されて起こるものであり、ガラス薄膜1の厚さが薄くなるほど、断裂が生じやすくなるため、薄型化を実現することが難しい。本発明の表示基板薄膜はガラス薄膜1の表面に適当な形状と密度の凸部10が設置されて、ガラス薄膜1自身の強さと靱性を著しく強化させるとともに、プラスチック薄膜2が外力の衝撃による影響を低減させ、変形する時、欠陥方向に向ける破断応力が緩和されるので、可撓性に優れた基板を得ることができ、さらに2次加工性と操作性を著しく向上させることができる。   Generally, tearing of the glass thin film 1 occurs because stress is concentrated on minute defects on the surface, and as the thickness of the glass thin film 1 becomes thinner, tearing tends to occur, thus realizing thinning. Is difficult. In the display substrate thin film of the present invention, a convex portion 10 having an appropriate shape and density is disposed on the surface of the glass thin film 1 to significantly strengthen the strength and toughness of the glass thin film 1 itself, and the plastic thin film 2 is affected by the impact of external force. When it deform | transforms, since the breaking stress which turns to a defect direction is relieved, the board | substrate excellent in flexibility can be obtained, and also secondary processability and operativity can be improved remarkably.

本発明は、過度の屈曲による基板薄膜の欠陥の発生を回避でき、強い剛性、低い膨張率とよい平面の延性などの利点を有するとともに、優れた酸素や水蒸気を遮断する性能を兼備し、非透明或いは透明の形式いずれによっても実現できるし、製造工程が簡単で、低コスト、及び耐高温のプラスチック薄膜2材料を使うことで、基板薄膜にも耐高温性を有するようにする等の特徴がある。コストが安く、安定性が高くて、外力の衝撃による優性や劣性の欠陥を回避でき、強固耐用である。   The present invention can avoid the generation of substrate thin film defects due to excessive bending, has advantages such as strong rigidity, low expansion coefficient and good planar ductility, and additionally has the ability to block excellent oxygen and water vapor, It can be realized in either transparent or transparent form, and it has features such as making the substrate thin film have high temperature resistance by using the plastic thin film 2 material which is simple in manufacturing process, low in cost and high in temperature. is there. The cost is low, the stability is high, the superiority and the recessive defect due to the impact of external force can be avoided, and the durability is strong.

本発明のガラス薄膜1の縁(側面)は全周に渡ってプラスチック薄膜2に囲まれており、プラスチック薄膜2とガラス薄膜1は加熱接着又は透明接着剤により一体に結合され、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2の表面は平滑平面である。アルカリガラスと無アルカリガラスの材料でガラス薄膜1を作成するのが好ましく、PET、PEN、TACとPIなどの材料でプラスチック薄膜2を作成することが好ましい。   The edge (side surface) of the glass thin film 1 of the present invention is surrounded by the plastic thin film 2 over the entire circumference, and the plastic thin film 2 and the glass thin film 1 are integrally bonded by heat bonding or a transparent adhesive. The surface of the plastic thin film 2 is a smooth plane. It is preferable to form the glass thin film 1 with materials of alkali glass and alkali-free glass, and it is preferable to form the plastic thin film 2 with materials such as PET, PEN, TAC and PI.

次に、各構造の具体的な寸法に関連して、本発明に記載の表示基板薄膜の応用例を説明する。具体的には、ガラス薄膜1(凸部10を含む)は無アルカリガラスを用い、プラスチック薄膜2はPEN材料を用いる。   Next, application examples of the display substrate thin film according to the present invention will be described in relation to specific dimensions of each structure. Specifically, non-alkali glass is used for the glass thin film 1 (including the convex portion 10), and PEN material is used for the plastic thin film 2.

図2、図3に示すように、凸部10は三角柱形状であって、かつガラス薄膜1の表面において横方向に配列されるように設定し、縦断面が二等辺三角形である三角柱形状であり、隣接する凸部10間の中心間の距離Wが80μmであり、隣接する凹部20の間の支持突起23の最大幅が80μmであり、凸部10の最大幅Wが80μmであり、凸部10の高さhが100μmである。 As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the convex portion 10 is in the form of a triangular prism, and is set to be arranged in the lateral direction on the surface of the glass thin film 1, and has a triangular prism shape whose longitudinal cross section is an isosceles triangle The distance W between centers of adjacent convex portions 10 is 80 μm, the maximum width of the support protrusions 23 between adjacent concave portions 20 is 80 μm, and the maximum width W g of the convex portions 10 is 80 μm. The height h of the portion 10 is 100 μm.

表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる場合、プラスチック薄膜2を省略する条件下で、ガラス薄膜1の凸部10の曲率半径Rは108μmである。ガラス薄膜1の屈曲性能を解析する時、Corning(登録商標)Willow(登録商標)ガラスを参照として、厚さが100μmである場合の曲率半径は180mmであり、厚さが200μmである場合の曲率半径は370mmである。ガラス薄膜1の凸部10の曲率半径R=108μmでかなり小さいので、凸部10はガラス薄膜1の屈曲性能に影響を与えない。 When the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, the curvature radius R g of the convex portion 10 of the glass thin film 1 is 108 μm under the condition that the plastic thin film 2 is omitted. When analyzing the bending performance of the glass thin film 1, the curvature radius is 180 mm when the thickness is 100 μm and the curvature when the thickness is 200 μm with reference to Corning® Willow® glass The radius is 370 mm. Since the radius of curvature R g of the convex portion 10 of the glass thin film 1 is so small as 108 μm, the convex portion 10 does not affect the bending performance of the glass thin film 1.

プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間の支持突起23がガラス薄膜1における凸部10とともに作用して、100μm程度の厚さの混合層を形成し、その屈曲性能は主にガラス薄膜1における凸部10の屈曲性能によって決定される。   In the plastic thin film 2, the support protrusions 23 between the adjacent concave portions 20 work together with the convex portions 10 in the glass thin film 1 to form a mixed layer having a thickness of about 100 μm, and the bending performance thereof is mainly in the glass thin film 1. It is determined by the bending performance of the convex portion 10.

表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる時、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間にある支持突起23は緩衝の作用を演じる。プラスチック薄膜2の塑性変形を省略する条件下において、プラスチック薄膜2の支持突起23はガラス薄膜1を支持する作用を演じ、ガラス薄膜1の曲げ過ぎ欠陥が発生しないように確保する。同様に、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況において、表示基板薄膜は縦方向への可撓性を有し、W=W=Wである場合、ガラス薄膜1の存在を省略する条件下で、プラスチック薄膜2の曲率半径はR=(h+W /4)0.5となり、R=108μmが得られる。プラスチック薄膜2における支持突起23とガラス薄膜1における凸部10は同じ曲率半径を有するが、これは変形を省略するとの仮定条件に基づいて、幾何学的形状から考えて得られた結論である。 When the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, the support protrusions 23 between the adjacent recesses 20 in the plastic thin film 2 play a buffering effect. Under the condition that plastic deformation of the plastic thin film 2 is omitted, the support projection 23 of the plastic thin film 2 plays the role of supporting the glass thin film 1 and secures that the excessive bending of the glass thin film 1 does not occur. Similarly, in a situation where the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the display substrate thin film has flexibility in the longitudinal direction, and W = W p = W g , the presence of the glass thin film 1 under conditions omitted, the radius of curvature of the plastic film 2 is R p = (h 2 + W p 2/4) 0.5 , and the the R p = 108μm obtained. Although the support projections 23 in the plastic thin film 2 and the projections 10 in the glass thin film 1 have the same radius of curvature, this is a conclusion obtained from the geometrical shape based on the assumption that deformation is omitted.

実際は、プラスチック材料の弾性変形の範囲が大きく、従って実際の応用過程においてRが108μmよりかなり小さい。ガラス薄膜1における凸部10の存在、かつガラス薄膜1の塑性変形も省略してもよいので、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる時、ガラス薄膜1における凸部10がプラスチック薄膜2に対して、支持の役割を果たすので、プラスチック薄膜2は同様に過度の屈曲が生じることはなく、ガラス薄膜1に欠陥が発生しないことが確保できる。 In practice, the range of elastic deformation of plastic materials is large, so R p is much smaller than 108 μm in practical application processes. Since the presence of the convex portion 10 in the glass thin film 1 and the plastic deformation of the glass thin film 1 may be omitted, when the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the convex portion 10 in the glass thin film 1 is a plastic thin film On the other hand, since the plastic thin film 2 does not cause excessive bending in the same manner as the second example, it is possible to ensure that no defects occur in the glass thin film 1.

ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さtは100μmであって、プラスチック薄膜2の凹部20以外の部分の厚さtは200μmである場合、表示基板薄膜全体の厚さは400μmであり、屈曲可能な曲率半径はガラス薄膜1の曲率半径に依存する。 When the thickness t g of the portion other than the convex portion 10 of the glass thin film 1 is 100 μm and the thickness t p of the portion other than the concave portion 20 of the plastic thin film 2 is 200 μm, the thickness of the entire display substrate thin film is 400 μm The bendable radius of curvature depends on the radius of curvature of the glass thin film 1.

図4、図5に示すように、凸部10は四角柱形状で、かつガラス薄膜1の表面に横方向に配列される場合、縦断面が同脚台形である四角柱形状が好ましく、同脚台形の上底幅Wg0=40μmであり、隣接する凸部10の間の中心間距離W=80μmであり、隣接する凹部20の間の支持突起23の最大幅W=80μmであり、凸部10の最大幅(同脚台形の下底幅)W=80μmであり、凸部10の高さh=100μmであって、屈曲可能な表示基板薄膜が縦方向への可撓性を有する。 As shown in FIG. 4 and FIG. 5, when the convex portion 10 has a quadrangular prism shape and is arranged in the lateral direction on the surface of the glass thin film 1, the quadrangular prism shape having the same trapezoidal trapezoidal cross section is preferable. The upper base width W g0 of the trapezoid is 40 μm, the center-to-center distance W between adjacent convex portions 10 is 80 μm, and the maximum width W p of support projection 23 between adjacent concave portions 20 is 80 μm. The maximum width (lower base width of the same leg trapezoid) W g of the portion 10 is 80 μm, and the height h of the convex portion 10 is 100 μm, and the bendable display substrate thin film has flexibility in the longitudinal direction .

W=W=Wである場合、プラスチック薄膜2の存在を省略する条件下で、表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側へ曲げられる場合、ガラス薄膜1の曲率半径がR=[W /{(W−Wg0+W /4}]0.5=204μmとなる。該曲率半径は、三角柱形状の凸部10の曲率半径108μmより大きいが、厚さが100μmのガラス薄膜1の曲率半径よりはかなり小さいので、凸部10がガラス薄膜1の屈曲性能に影響を与えない。 When W = W p = W g and the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2 under the condition of omitting the presence of the plastic thin film 2, the curvature radius of the glass thin film 1 is R g = [W g 2 h 2 / {(W g -W g0) 2 + W g 2/4}] becomes 0.5 = 204μm. The radius of curvature is larger than the radius of curvature 108 μm of the triangular prism-shaped convex portion 10 but is considerably smaller than the radius of curvature of the glass thin film 1 having a thickness of 100 μm, so the convex portion 10 affects the bending performance of the glass thin film 1 Absent.

プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間の支持突起23がガラス薄膜1における凸部10とともに作用して、100μm程度の厚さの混合層を形成し、その屈曲性能は主にガラス薄膜1における凸部10の屈曲性能によって決定される。プラスチック薄膜2において隣接する凹部20の間にある支持突起23は緩衝作用を有し、プラスチック薄膜2の塑性変形を省略する条件下で、プラスチック薄膜2の支持突起23はガラス薄膜1を支持する役割を果たすことで、ガラス薄膜1に過度の屈曲の欠陥が発生しないように確保する。   In the plastic thin film 2, the support protrusions 23 between the adjacent concave portions 20 work together with the convex portions 10 in the glass thin film 1 to form a mixed layer having a thickness of about 100 μm, and the bending performance thereof is mainly in the glass thin film 1. It is determined by the bending performance of the convex portion 10. The support projections 23 between the adjacent recesses 20 in the plastic film 2 have a buffer action, and the support projections 23 of the plastic film 2 support the glass film 1 under the condition that plastic deformation of the plastic film 2 is omitted. To ensure that the glass thin film 1 does not have a defect of excessive bending.

同様に、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況において、表示基板薄膜が縦方向への可撓性を有し、W=W=Wである場合、ガラス薄膜1の存在を省略する条件下で、プラスチック薄膜2の曲率半径R=[W /{(W−WP0+W /4}]0.5=204μmである。ガラス薄膜1において凸部10が存在し、かつガラス薄膜1の塑性変形を省略してもよいので、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる時、ガラス薄膜1における凸部10がプラスチック薄膜2に対して、支持の役割を果たすことになり、プラスチック薄膜2も同様に過度の屈曲が発生することなく、ガラス薄膜1に欠陥が発生しないように確保できる。 Similarly, in the situation where the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the presence of the glass thin film 1 when the display substrate thin film has flexibility in the longitudinal direction and W = W p = W g under conditions omitted, the curvature of the plastic film 2 radius R P = [W P 2 h 2 / {(W P -W P0) 2 + W P 2/4}] is 0.5 = 204μm. Since the convex portion 10 exists in the glass thin film 1 and plastic deformation of the glass thin film 1 may be omitted, the convex portion 10 in the glass thin film 1 is plastic when the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1 The thin film 2 will play a supporting role, and the plastic thin film 2 can also be secured so as not to generate defects in the glass thin film 1 without causing excessive bending as well.

表示基板薄膜の曲率半径の点から見ると、四角柱形状の凸部10の曲率半径が三角柱形状の凸部10の曲率半径より大きいことが必要なので、ガラス薄膜1の屈曲性能が低い時、四角柱形状の凸部10を採用すると、屈曲可能な表示基板薄膜の屈曲過ぎの発生をもっとよく回避することができる。ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さtが100μmであり、プラスチック薄膜2の凹部20以外の部分の厚さtが200μmである場合、表示基板薄膜全体の厚さは400μmになり、屈曲可能な曲率半径はガラス薄膜1の曲率半径に依存する。 From the viewpoint of the curvature radius of the display substrate thin film, the curvature radius of the quadrangular prism-shaped convex portion 10 needs to be larger than the curvature radius of the triangular prism-shaped convex portion 10. By employing the prismatic convex portion 10, the occurrence of excessive bending of the bendable display substrate thin film can be better avoided. When the thickness t g of the portion other than the convex portion 10 of the glass thin film 1 is 100 μm and the thickness t p of the portion other than the concave portion 20 of the plastic thin film 2 is 200 μm, the thickness of the entire display substrate thin film is 400 μm. The bendable radius of curvature depends on the radius of curvature of the glass thin film 1.

図6に示すように、凸部10が四角錐形状で、かつガラス薄膜1の表面においてマトリクス状に配列される場合、凸部10の四角錐形状の幾何学的寸法は以下のとおりである。即ち、底面辺長が80μmであり、高さが100μmであり、各凸部10の間の縦方向の中心間距離或いは横方向の中心間距離が120μmであり、ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さが100μmであり、プラスチック薄膜2の凹部20以外の部分の厚さが200μmであって、プラスチック薄膜2の凹部20においても、幾何学的寸法として、底面辺長が80μmで、高さが100μmである。表示基板薄膜全体の厚さは400μmで、曲率半径はガラス薄膜1によって決まれ、最も最適な屈曲方向は四角錐形状の底辺方向に沿う方向である。   As shown in FIG. 6, in the case where the convex portions 10 have a quadrangular pyramid shape and are arranged in a matrix on the surface of the glass thin film 1, geometrical dimensions of the quadrangular pyramid shape of the convex portions 10 are as follows. That is, the bottom side length is 80 μm and the height is 100 μm, and the distance between the centers of the respective protrusions 10 in the longitudinal direction or the distance between the centers in the lateral direction is 120 μm. The thickness of the portion is 100 μm, the thickness of the portion other than the recess 20 of the plastic thin film 2 is 200 μm, and the recess 20 of the plastic thin film 2 also has a bottom side length of 80 μm as a geometrical dimension The height is 100 μm. The thickness of the entire display substrate thin film is 400 μm, the radius of curvature is determined by the glass thin film 1, and the most optimal bending direction is the direction along the base of the quadrangular pyramid.

図7に示すように、凸部10が四角錐台形状で、かつガラス薄膜1の表面においてマトリクス状に配列される場合、凸部10の四角錐台形状の幾何学的寸法が以下のとおりである。上底面の辺長が40μmであり、下底面の辺長が80μmであり、高さが100μmであり、各凸部10の上底面の間の中心間距離が120μmであり、或いは、各凸部10の下底面の間の中心間距離が120μmであり、ガラス薄膜1の凸部10以外の厚さが100μmであり、プラスチック薄膜2の凹部20以外の厚さが200μmであって、プラスチック薄膜2の凹部20においても、幾何学的寸法として、上底面の辺長が40μmであり、下底面の辺長が80μmであり、高さが100μmである。屈曲可能な表示基板薄膜全体の厚さが400μmで、屈曲可能な曲率半径がガラス薄膜1によって決定され、最も好ましい屈曲方向は四角錐台の底辺後方に沿う方向である。   As shown in FIG. 7, when the protrusions 10 have a quadrangular pyramid shape and are arranged in a matrix on the surface of the glass thin film 1, the geometric dimensions of the quadrangular pyramid shape of the protrusions 10 are as follows: is there. The side length of the upper base is 40 μm, the side length of the lower base is 80 μm, the height is 100 μm, the center-to-center distance between the upper base of each convex portion 10 is 120 μm, or each convex portion The distance between the centers of the lower and bottom surfaces 10 is 120 μm, the thickness other than the convex portion 10 of the glass thin film 1 is 100 μm, and the thickness other than the concave portion 20 of the plastic thin film 2 is 200 μm. Also in the concave portion 20, as a geometrical dimension, the side length of the upper base is 40 μm, the side length of the lower base is 80 μm, and the height is 100 μm. The total thickness of the bendable display substrate thin film is 400 μm, the bendable radius of curvature is determined by the glass thin film 1, and the most preferable bending direction is along the rear of the base of the quadrangular frustum.

図8、図9に示すように、凸部10が球冠形状で、かつガラス薄膜1の表面においてマトリクス状に配列される場合、凸部10の球冠形状の幾何学的寸法は以下のとおりである。底面半径が120μmであり、高さが100μmであり、各凸部10の底面の間の中心間距離が160μmであり、ガラス薄膜1の凸部10以外の厚さが100μmであり、プラスチック薄膜2の凹部20以外の厚さが200μmであって、プラスチック薄膜2の凹部20の球冠形状においても、幾何学的寸法として、底面半径が100μmであり、高さが100μmであり、各凸部10の底面中心間距離が160μmである。屈曲可能な表示基板薄膜全体の厚さが400μmであり、屈曲可能な曲率半径はガラス薄膜1によって決定され、最も好ましい屈曲方向はなく、各屈曲方向においてほとんど同じである。   As shown in FIGS. 8 and 9, when the convex portions 10 have a spherical crown shape and are arranged in a matrix on the surface of the glass thin film 1, the geometrical dimensions of the spherical crown shape of the convex portions 10 are as follows. It is. The bottom radius is 120 μm, the height is 100 μm, the center-to-center distance between the bottoms of the projections 10 is 160 μm, and the thickness other than the projections 10 of the glass thin film 1 is 100 μm. Even in the spherical crown shape of the recess 20 of the plastic thin film 2, the thickness other than the recess 20 is 100 .mu.m as the geometrical dimension, the height is 100 .mu.m, and each protrusion 10 The center-to-center distance of the bottom of the The total thickness of the bendable display substrate thin film is 400 μm, and the bendable radius of curvature is determined by the glass thin film 1, and there is no most preferable bending direction, which is almost the same in each bending direction.

前記ガラス薄膜1の上面において、縁部突起11がさらに設けられて、前記縁部突起11は前記ガラス薄膜1の縁の所定距離範囲内に位置される。これらの縁部突起11は、各種の欠陥の発生を有効に低下させることができる。実際状況に応じて、突起の断面の形状を三角形、台形、円弧形状、半円形或いは半楕円形状に設けることができる。具体的な実施例において、断面の形状は半円形に設けられ、その半径が100μmであり、高さが100μmである。縁部突起11もガラス薄膜1における突起の形状、分布方向、密度の設置を参照して設けてもよいが、必ずしも最も好適な保護効果を持つものではないという欠点がある反面、利点としては任意の面積の基板薄膜と整合でき、且つ屈曲性能も基板薄膜と一致する。ガラス縁の突起の高さとガラス薄膜1の厚さの合計が100μmより小さい場合、縁部突起11を密閉形状に設置すると、欠陥の発生をより有効に回避できるとともに、屈曲性能にも影響を与えない。   An edge protrusion 11 is further provided on the upper surface of the glass thin film 1, and the edge protrusion 11 is positioned within a predetermined distance of the edge of the glass thin film 1. These edge projections 11 can effectively reduce the occurrence of various defects. Depending on the actual situation, the cross-sectional shape of the projections can be provided in a triangular, trapezoidal, circular arc, semicircular or semielliptical shape. In a specific embodiment, the cross-sectional shape is semi-circular, with a radius of 100 μm and a height of 100 μm. The edge projections 11 may also be provided with reference to the arrangement of the shape, distribution direction, and density of the projections in the glass thin film 1, but there is a drawback that they do not necessarily have the most preferable protective effect, but any advantage can be obtained. The area of the substrate thin film can be matched, and the bending performance is also matched with the substrate thin film. If the sum of the height of the protrusion of the glass edge and the thickness of the glass thin film 1 is smaller than 100 μm, installing the edge protrusion 11 in a closed shape can more effectively avoid the occurrence of defects and also affects the bending performance. Absent.

なお、受動の表示素子に対して、アルカリガラス、例えば、ナトリウムガラスと中性ホウケイ酸ガラスを用いれば、コストを有効に低下させることができる。能動素子に対しては、良い化学的安定性と電気的絶縁性を有する無アルカリガラス、主に無アルカリアルミノケイ酸塩ガラスを採用する。プラスチック薄膜2の縁部22の幅は500μmを選択するのが好ましい。ガラス薄膜1の表面を表示基準面とする場合、研磨により、ガラス薄膜1の表面うねりを0.3μm/20mmになるようにする。   In addition, cost can be effectively reduced if an alkali glass, for example, sodium glass and neutral borosilicate glass, is used for a passive display element. For active elements, alkali-free glass with good chemical stability and electrical insulation, mainly alkali-free aluminosilicate glass, is adopted. The width of the edge 22 of the plastic film 2 is preferably selected to be 500 μm. When the surface of the glass thin film 1 is used as a display reference surface, the surface undulation of the glass thin film 1 is made to be 0.3 μm / 20 mm by polishing.

以下、具体的な製造方法のステップに関連して本発明に記載の表示基板薄膜の製造方法の応用例を説明する。   Hereinafter, application examples of the method for producing a display substrate thin film according to the present invention will be described with reference to specific steps of the production method.

厚さが0.3mmであるガラス基板を溶融して、圧延法で複数の三角柱形状の凸部10を有するガラス薄膜1を形成し、その中に、ガラス薄膜1の凸部10以外の厚さが100μmであり、凸部10の高さが100μmであり、凸部10の最大幅が100μmである。成型されたガラス薄膜1に対して、レーザー切断を行い、所要寸法のガラス薄膜1を得るが、その過程において、ガラス薄膜1の縁の縦方向が三角柱形状の突起形状となって、横方向の突起の分布密度と方向がガラス薄膜1の内部と一致するように確保する。   A glass substrate having a thickness of 0.3 mm is melted to form a glass thin film 1 having a plurality of triangular prism-shaped convex portions 10 by rolling, and the thickness other than the convex portions 10 of the glass thin film 1 is formed therein. Is 100 μm, the height of the projections 10 is 100 μm, and the maximum width of the projections 10 is 100 μm. Laser cutting is performed on the molded glass thin film 1 to obtain the glass thin film 1 of the required size, but in the process, the longitudinal direction of the edge of the glass thin film 1 becomes a protrusion shape of a triangular prism shape, It is ensured that the distribution density and direction of the projections coincide with the inside of the glass thin film 1.

ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2に対して、洗浄及び乾燥を行った後、プラスチック薄膜2の外縁がガラス薄膜1より1mm大きいように、厚さが400μmのプラスチック薄膜2をガラス薄膜1に被覆する。続いて、ラミネート法でガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を一体に結合させて、レーザー切断によりプラスチック薄膜2の縁部22の幅が500μm、プラスチック薄膜2の縁部22の厚さが350μmになるように補正を行う。その後、ガラス薄膜1の表面うねりが0.3μm/20mm、屈曲可能な表示基板薄膜全体の厚さが350μmとなるようにガラス薄膜1の表面に対して、研磨を行う。   After the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are washed and dried, the glass thin film 1 is coated with the plastic thin film 2 having a thickness of 400 μm so that the outer edge of the plastic thin film 2 is 1 mm larger than the glass thin film 1. Subsequently, the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are integrally bonded by the laminating method, and the width of the edge 22 of the plastic thin film 2 is 500 μm and the thickness of the edge 22 of the plastic thin film 2 is 350 μm by laser cutting. Make corrections to Thereafter, the surface of the glass thin film 1 is polished so that the surface waviness of the glass thin film 1 is 0.3 μm / 20 mm, and the total thickness of the bendable display substrate thin film is 350 μm.

蝕刻法で厚さが100μmのガラス基板上に複数の四角柱形状の凸部10を形成し、その中で、ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さが50μm、凸部10の高さが50μm、凸部10の最大幅が50μmであり、ガラス薄膜1の縁の密閉突起が三角柱形状であり、その高さが50μm、幅が50ミクロンである。成型されたガラス薄膜1に対して、レーザー切断を行うことで所要寸法のガラス薄膜1が得られるが、得られたガラスの周りが三角柱形状の突起で取り囲まれるようにする。   A plurality of quadrangular prism-shaped protrusions 10 are formed on a glass substrate having a thickness of 100 μm by etching. Among them, the thickness of the portion other than the protrusions 10 of the glass thin film 1 is 50 μm, and the height of the protrusions 10 is high. 50 μm, the maximum width of the convex portion 10 is 50 μm, and the sealing protrusion at the edge of the glass thin film 1 is in the shape of a triangular prism, and its height is 50 μm, and its width is 50 microns. Although the glass thin film 1 of a required size can be obtained by performing laser cutting on the molded glass thin film 1, the obtained glass is surrounded by a triangular prism-shaped protrusion.

ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2に対して、洗浄及び乾燥を行った後、プラスチック薄膜2の外縁がガラス薄膜1よりも1mm大きいように、厚さが200μmのプラスチック薄膜2をガラス薄膜1に被覆する。続いて、ラミネート法でガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を一体に結合させて、レーザー切断によりプラスチック薄膜2の縁部22の幅が500μm、プラスチック薄膜2の縁部22の厚さが200μmになるように補正を行う。その後、ガラス薄膜1の表面うねりが0.5μm/20mm、屈曲可能な表示基板薄膜全体の厚さが200μm、プラスチック薄膜2の厚さが100μmになるようにガラス薄膜1の表面に対して、研磨を行う。   After washing and drying the glass thin film 1 and the plastic thin film 2, the glass thin film 1 is coated with the plastic thin film 2 having a thickness of 200 μm so that the outer edge of the plastic thin film 2 is 1 mm larger than the glass thin film 1 . Subsequently, the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are integrally bonded by the laminating method, and the width of the edge 22 of the plastic thin film 2 is 500 μm and the thickness of the edge 22 of the plastic thin film 2 is 200 μm by laser cutting. Make corrections to Thereafter, the surface of the glass thin film 1 is polished so that the surface waviness of the glass thin film 1 is 0.5 μm / 20 mm, the total thickness of the flexible display substrate thin film is 200 μm, and the thickness of the plastic thin film 2 is 100 μm. I do.

上記の表示基板薄膜の製造方法において、前記プラスチック薄膜2はいずれもPEN材料を採用し、ラミネート法で薄膜を積層する時の温度は300°Cにする。これによりプラスチック薄膜2をガラス薄膜1の表面に均一に被覆させた構造が形成される。   In the above method for producing a display substrate thin film, the plastic thin film 2 employs a PEN material, and the temperature is 300 ° C. when laminating the thin film by the laminating method. Thereby, a structure in which the plastic thin film 2 is uniformly coated on the surface of the glass thin film 1 is formed.

以上は、本発明の好適な実施形態に関連して説明したが、本発明の技術形態の範囲は上述したものに限らない。当業者であれば、本発明に開示した技術範囲内において、本発明の構成及び構想に基づいて行う同等な変わりと変更は本発明の技術形態の範囲内に含まれる。   Although the above has been described in relation to the preferred embodiments of the present invention, the scope of the technical form of the present invention is not limited to the above. Those skilled in the art, within the technical scope disclosed in the present invention, include equivalent variations and modifications based on the configuration and concept of the present invention within the scope of the technical form of the present invention.

(付記)
(付記1)
上面に複数の凸部を有するガラス薄膜と、
前記ガラス薄膜を被覆するプラスチック薄膜と、を備え、
前記プラスチック薄膜は、下面に複数の前記凸部を収納するための凹部を有する、ことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜。
(Supplementary note)
(Supplementary Note 1)
A glass thin film having a plurality of projections on the top surface,
And a plastic thin film covering the glass thin film.
The bendable display substrate thin film according to claim 1, wherein the plastic thin film has a recess on a lower surface thereof for receiving the plurality of projections.

(付記2)
複数の前記凸部はガラス薄膜の上面において、横方向、縦方向、或いはマトリクス状に配列されることを特徴とする付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Supplementary Note 2)
The bendable display substrate thin film according to claim 1, wherein the plurality of convex portions are arranged in a horizontal direction, a vertical direction, or a matrix on the upper surface of the glass thin film.

(付記3)
前記複数の凸部がガラス薄膜の上面において横方向或いは縦方向に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に前記凸部が設けられ、前記複数の凸部がガラス薄膜の上面においてマトリクス状に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に縁部突起が設けられることを特徴とする付記2に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Supplementary Note 3)
When the plurality of convex portions are arranged in the lateral direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the convex portions are provided within a range having a predetermined distance from the edge of the glass thin film, and the plurality of convex portions are glass thin film 5. The bendable display substrate thin film according to claim 2, wherein an edge protrusion is provided within a range having a predetermined distance from an edge of the glass thin film when arranged in a matrix on the upper surface of the glass substrate.

(付記4)
前記複数の凸部がガラス薄膜の上面に横方向或いは縦方向に配列される時、前記凸部は半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状であり、前記複数の凸部がガラス薄膜の上面にマトリクス状に配列される時、前記凸部は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状或いは立方体形状であることを特徴とする付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Supplementary Note 4)
When the plurality of projections are arranged in the lateral direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the projections have a semi-cylindrical shape, a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape or a cubic shape, and the plurality of convex portions In the bendable display substrate according to Additional Note 1, wherein the protrusions are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film, and the protrusions have a quadrangular pyramid shape, a quadrangular pyramid shape, a spherical crown shape, or a cubic shape. Thin film.

(付記5)
前記プラスチック薄膜は、前記ガラス薄膜の上面に対向して設置されるカバー部と前記ガラス薄膜の側面に対向して設置される縁部を備えることを特徴とする付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Supplementary Note 5)
The bendable display as set forth in claim 1, wherein the plastic thin film comprises a cover portion installed facing the upper surface of the glass thin film and an edge portion installed facing the side surface of the glass thin film. Substrate thin film.

(付記6)
前記凸部の突起の高さ、及び凹部の陥凹の深さはいずれも100μm以下であり、前記ガラス薄膜の凸部以外の部分の厚さは100μm以下であり、
前記屈曲可能な表示基板薄膜は、
ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置される電極と、
ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置される薄膜トランジスタと、をさらに備えることを特徴とする付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Supplementary Note 6)
The height of the protrusion of the convex portion and the depth of the recess of the concave portion are each 100 μm or less, and the thickness of the portion other than the convex portion of the glass thin film is 100 μm or less.
The bendable display substrate thin film is
An electrode disposed on the lower surface of the glass thin film and / or the upper surface of the plastic thin film;
The thin bendable display substrate thin film according to claim 1, further comprising a thin film transistor disposed on the lower surface of the glass thin film and / or the upper surface of the plastic thin film.

(付記7)
前記縁部の幅は100μmより大きく、前記カバー部の凹部以外の部分の厚さは400μm以下であり、前記ガラス薄膜の表面うねりは0.5μm/20mm以下であり、前記プラスチック薄膜の表面粗さは2nm以下であることを特徴とする付記5に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Appendix 7)
The width of the edge is greater than 100 μm, the thickness of the portion other than the recess of the cover portion is 400 μm or less, the surface waviness of the glass thin film is 0.5 μm / 20 mm or less, and the surface roughness of the plastic thin film The bendable display substrate thin film according to claim 5, wherein the thickness is 2 nm or less.

(付記8)
付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる製造方法であって、
圧延法或いは蝕刻法で、上面に複数の凸部を有するガラス薄膜を成型するステップと、
成型されたガラス薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法のガラス薄膜を得るステップと、
ガラス薄膜とプラスチック薄膜に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、
プラスチック薄膜をガラス薄膜上に被覆するステップと、
ラミネート法で、ガラス薄膜とプラスチック薄膜を一体に結合させるステップであって、その中で、ラミネート処理を行う時、加熱温度がプラスチック薄膜の軟化点温度より高く、且つガラス薄膜の軟化点温度より低くなるようにする、ステップと、
ガラス薄膜と一体に結合されたプラスチック薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法の縁部を得るステップ、とを含むことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜の製造方法。
(Supplementary Note 8)
It is a manufacturing method used for manufacture of a flexible display substrate thin film of additional remark 1 statement, and:
Forming a thin glass film having a plurality of projections on the top surface by rolling or etching;
Laser cutting the molded glass thin film to obtain a glass thin film of the required size;
Performing a cleaning and drying process on the glass thin film and the plastic thin film;
Coating a thin plastic film on a thin glass film;
A step of integrally bonding a glass thin film and a plastic thin film by a laminating method, in which when heating is performed, the heating temperature is higher than the softening point temperature of the plastic thin film and lower than the softening point temperature of the glass thin film Step to be
And D. performing laser cutting on a plastic thin film integrally bonded to the glass thin film to obtain an edge of a required size.

(付記9)
付記1〜7のいずれか1つに記載の屈曲可能な表示基板薄膜を備えることを特徴とする表示装置。
(Appendix 9)
A display comprising the bendable display substrate thin film according to any one of appendices 1 to 7.

(付記10)
前記表示装置は、液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置であることを特徴とする付記9に記載の表示装置。
(Supplementary Note 10)
The display device according to claim 9, wherein the display device is a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device or an electronic paper display device.

1、 ガラス薄膜
2、 プラスチック薄膜
10、凸部
11、縁部突起
20、凹部
21、カバー部
22、縁部
23、支持突起
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, Glass thin film 2, Plastic thin film 10, Convex part 11, Edge protrusion 20, Concave part 21, Cover part 22, Edge 23, Support protrusion

Claims (10)

上面に複数の凸部を有するガラス薄膜と、
前記ガラス薄膜を被覆するプラスチック薄膜と、を備え、
前記プラスチック薄膜は、下面に複数の前記凸部を収納するための凹部を有する、ことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜。
A glass thin film having a plurality of projections on the top surface,
And a plastic thin film covering the glass thin film.
The bendable display substrate thin film according to claim 1, wherein the plastic thin film has a recess on a lower surface thereof for receiving the plurality of projections.
複数の前記凸部はガラス薄膜の上面において、横方向、縦方向、或いはマトリクス状に配列されることを特徴とする請求項1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。   The bendable display substrate thin film according to claim 1, wherein the plurality of convex portions are arranged in a horizontal direction, a vertical direction, or a matrix on the upper surface of the glass thin film. 前記複数の凸部がガラス薄膜の上面において横方向或いは縦方向に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に前記凸部が設けられ、前記複数の凸部がガラス薄膜の上面においてマトリクス状に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に縁部突起が設けられることを特徴とする請求項2に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。   When the plurality of convex portions are arranged in the lateral direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the convex portions are provided within a range having a predetermined distance from the edge of the glass thin film, and the plurality of convex portions are glass thin film 3. The bendable display substrate thin film according to claim 2, wherein an edge protrusion is provided within a range having a predetermined distance from the edge of the glass thin film when arranged in a matrix on the top surface of the glass. 前記複数の凸部がガラス薄膜の上面に横方向或いは縦方向に配列される時、前記凸部は半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状であり、前記複数の凸部がガラス薄膜の上面にマトリクス状に配列される時、前記凸部は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状或いは立方体形状であることを特徴とする請求項1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。   When the plurality of projections are arranged in the lateral direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the projections have a semi-cylindrical shape, a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape or a cubic shape, and the plurality of convex portions The bendable display according to claim 1, wherein the protrusions are quadrangular pyramids, quadrangular pyramids, spherical crowns, or cubes when arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film. Substrate thin film. 前記プラスチック薄膜は、前記ガラス薄膜の上面に対向して設置されるカバー部と前記ガラス薄膜の側面に対向して設置される縁部を備えることを特徴とする請求項1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。   The bendable plastic film according to claim 1, characterized in that the plastic thin film comprises a cover portion disposed opposite to the top surface of the glass thin film and an edge portion disposed opposite to the side surface of the glass thin film. Display substrate thin film. 前記凸部の突起の高さ、及び凹部の陥凹の深さはいずれも100μm以下であり、前記ガラス薄膜の凸部以外の部分の厚さは100μm以下であり、
前記屈曲可能な表示基板薄膜は、
ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置される電極と、
ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置される薄膜トランジスタと、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
The height of the protrusion of the convex portion and the depth of the recess of the concave portion are each 100 μm or less, and the thickness of the portion other than the convex portion of the glass thin film is 100 μm or less.
The bendable display substrate thin film is
An electrode disposed on the lower surface of the glass thin film and / or the upper surface of the plastic thin film;
The bendable display substrate thin film according to claim 1, further comprising a thin film transistor disposed on the lower surface of the glass thin film and / or the upper surface of the plastic thin film.
前記縁部の幅は100μmより大きく、前記カバー部の凹部以外の部分の厚さは400μm以下であり、前記ガラス薄膜の表面うねりは0.5μm/20mm以下であり、前記プラスチック薄膜の表面粗さは2nm以下であることを特徴とする請求項5に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。   The width of the edge is greater than 100 μm, the thickness of the portion other than the recess of the cover portion is 400 μm or less, the surface waviness of the glass thin film is 0.5 μm / 20 mm or less, and the surface roughness of the plastic thin film 6. The bendable display substrate thin film according to claim 5, wherein the thickness is 2 nm or less. 請求項1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる製造方法であって、
圧延法或いは蝕刻法で、上面に複数の凸部を有するガラス薄膜を成型するステップと、
成型されたガラス薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法のガラス薄膜を得るステップと、
ガラス薄膜とプラスチック薄膜に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、
プラスチック薄膜をガラス薄膜上に被覆するステップと、
ラミネート法で、ガラス薄膜とプラスチック薄膜を一体に結合させるステップであって、その中で、ラミネート処理を行う時、加熱温度がプラスチック薄膜の軟化点温度より高く、且つガラス薄膜の軟化点温度より低くなるようにする、ステップと、
ガラス薄膜と一体に結合されたプラスチック薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法の縁部を得るステップ、とを含むことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜の製造方法。
A manufacturing method used for manufacturing the bendable display substrate thin film according to claim 1;
Forming a thin glass film having a plurality of projections on the top surface by rolling or etching;
Laser cutting the molded glass thin film to obtain a glass thin film of the required size;
Performing a cleaning and drying process on the glass thin film and the plastic thin film;
Coating a thin plastic film on a thin glass film;
A step of integrally bonding a glass thin film and a plastic thin film by a laminating method, in which when heating is performed, the heating temperature is higher than the softening point temperature of the plastic thin film and lower than the softening point temperature of the glass thin film Step to be
And D. performing laser cutting on a plastic thin film integrally bonded to the glass thin film to obtain an edge of a required size.
請求項1〜7のいずれか1項に記載の屈曲可能な表示基板薄膜を備えることを特徴とする表示装置。   A display device comprising the bendable display substrate thin film according to any one of claims 1 to 7. 前記表示装置は、液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置であることを特徴とする請求項9に記載の表示装置。   The display device according to claim 9, wherein the display device is a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device, or an electronic paper display device.
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CN110391132B (en) * 2018-04-16 2023-05-16 芝浦机械电子株式会社 Organic film forming apparatus
CN109037470A (en) 2018-07-16 2018-12-18 云谷(固安)科技有限公司 Display screen, display device
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101738649B (en) * 2008-11-11 2012-03-21 国硕科技工业股份有限公司 Composite optical film structure with multiple coatings
KR101305839B1 (en) * 2011-10-17 2013-09-06 엘지이노텍 주식회사 Flexsible solar cell apparatus and method of fabricating the same
CN104409408B (en) * 2014-12-02 2017-10-10 昆山国显光电有限公司 A kind of preparation method of rigid substrates and flexible display
CN105355634B (en) * 2015-11-20 2019-11-15 深圳市华星光电技术有限公司 Thin-film transistor display panel and preparation method thereof
CN110289271B (en) * 2016-03-23 2022-04-12 大连东方科脉电子股份有限公司 Flexible display substrate film, manufacturing method thereof and display device
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