JP6671536B2 - Bendable display substrate thin film, method of manufacturing the same, and display device - Google Patents

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Description

本発明は屈曲可能な表示基板薄膜及びその製造方法、表示装置に関する。   The present invention relates to a bendable display substrate thin film, a method for manufacturing the same, and a display device.

近年、携帯端末表示装置とテレビなどの需要に仕掛けて、液晶表示装置(LCD,Liquid Crystal Display)、有機発光ダイオード表示装置(OLED,Organic Light−emitting Diode)及び電子ペーパー表示装置(E−paper,Electronic paper)などのディスプレイパネルの薄型化、軽量化及び軟質化において進展を続けている。現在、迫真の臨場感を求める大型パネルの曲面表示及び携帯性、利便性と安全性を求める携帯端末装置の可撓性化にとっては、フレキシビリティと耐衝撃性とを兼備する基板薄膜が不可欠となっている。   In recent years, in response to demands for portable terminal display devices and televisions, liquid crystal display devices (LCD, Liquid Crystal Display), organic light emitting diode display devices (OLED, Organic Light-emitting Diode), and electronic paper display devices (E-paper, 2. Description of the Related Art Progress has been made in making display panels such as electronic paper thinner, lighter, and softer. At present, for the display of curved surfaces on large panels that require a sense of realism and portability, and the flexibility of portable terminal devices that require convenience and safety, a thin substrate film that combines flexibility and impact resistance is indispensable. Has become.

従来技術におけるフラットパネルディスプレイに広く使用されている基板はガラス基板であり、ガラス基板にフレキシビリティを付与して軟質化の表示を実現するため、基板の厚さを下げることで基板が屈曲可能な特性を有するようにすることは可能である。ガラス基板の厚さが0.1mm以下である時、ガラス基板は屈曲可能な基板薄膜の特性を有し、すなわちガラス薄膜は、プラスチック薄膜と類似する、ある程度の可撓性を有する。しかしながら、ガラス薄膜は依然として、屈曲の度合いと耐衝撃性が弱くて、ガラス基板薄膜がディスプレイパネルの製造工程において割れやすく、使用過程でディスプレイパネルが割れることが常にあり、特に瞬間的な曲げすぎによりガラス薄膜の潜性欠陥が生じ、今後の加工過程と使用過程において亀裂の発生などの厳しい問題点を抱えている。したがって、ガラス基板薄膜の代わり、耐衝撃性に優れ、軽量かつ軟質化に優れたプラスチック薄膜をディスプレイパネル基板用の薄膜として使用することについての研究も重要な研究方向の一つとなっている。しかし、プラスチック薄膜だけ使用すれば、薄膜の熱変形による表示への悪影響を回避することが難しく、ディスプレイパネルが薄膜の酸素や水蒸気を遮断する性能に対する要求(例えば、酸素バリア性、水蒸気バリア性)も満足できない。したがって、通常の方法はプラスチック薄膜に無機材料からなるフィルム層を蒸着するが、このようなフィルム層はコストが高い上、効果も理想的ではないので、ディスプレイのコストを下げることやディスプレイパネルの寿命を向上させることに不利であり、屈曲可能なディスプレイパネルの更なる広い応用を妨げる。プラスチック薄膜の酸素や水蒸気を遮断する性能を向上させるため、特許文献1(特開2004−82598号公報)において、基材に金属酸化物膜と有機材料層が積層されてなるガスバリア性を有する積層材を開示した。これは一つの代表的なやり方であるが、酸素や水蒸気を遮断する性能が要求される有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、上記の特許文献1に記載された積層材のガスバリア性はまだ十分ではない。   A substrate widely used in flat panel displays in the prior art is a glass substrate, and the substrate can be bent by reducing the thickness of the substrate in order to impart flexibility to the glass substrate and realize a softened display. It is possible to have properties. When the thickness of the glass substrate is 0.1 mm or less, the glass substrate has the property of a bendable substrate thin film, that is, the glass thin film has some flexibility similar to a plastic thin film. However, the glass thin film still has a weak degree of bending and impact resistance, and the glass substrate thin film is easily broken in the manufacturing process of the display panel, and the display panel is always cracked in the use process, especially due to instantaneous excessive bending. The latent defects of the glass thin film occur, and there are severe problems such as cracks in the future processing and use processes. Therefore, research on using a plastic thin film having excellent impact resistance, light weight and excellent softness instead of a glass substrate thin film as a thin film for a display panel substrate is also an important research direction. However, if only a plastic thin film is used, it is difficult to avoid adverse effects on the display due to thermal deformation of the thin film, and requirements for the performance of the display panel to block oxygen and water vapor of the thin film (for example, oxygen barrier properties and water vapor barrier properties) Also not satisfied. Therefore, the usual method is to deposit a film layer made of an inorganic material on a plastic thin film, but such a film layer is expensive and not ideal, so that the cost of the display can be reduced and the life of the display panel can be reduced. And hinders the further widespread application of bendable display panels. In order to improve the performance of a plastic thin film for blocking oxygen and water vapor, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-82598 discloses a laminate having a gas barrier property in which a metal oxide film and an organic material layer are laminated on a base material. Material was disclosed. This is one typical method, but in an organic electroluminescence display device that is required to have a performance of blocking oxygen and water vapor, the gas barrier properties of the laminate described in Patent Document 1 described above are not yet sufficient.

これにより、多層に積層することで、フレキシビリティ性に優れ、ガスバリア性が良いフレキシブルフィルムを得るというのは容易に案じることであり、例えば、無機ガラス及び該無機ガラスの両側に配置された樹脂基材層を含み、その中の一つの樹脂基材層の、無機ガラスが配置されていない側に無機薄膜を配置し、かつ該無機薄膜は対応する樹脂基材層の少なくとも一つの面の周縁部に形成する方案が容易に考えられる。しかしながら、このような積層された薄膜は依然として、例えば、ガラス薄膜が薄過ぎれば、耐衝撃性が足りないので、欠陥が生じやすく、ガラス薄膜が厚過ぎれば、可屈曲性が著しく低下される等の問題が存在する。このように、簡単的にガラス薄膜とプラスチック薄膜を積層することやフィルムコーティングする等の方案は、いずれも屈曲可能な基板薄膜の可撓性と耐衝撃性の不足により、欠陥が生じやすくなるとの強度の問題を解決することができない。   Thereby, it is easy to think that a flexible film having excellent flexibility and good gas barrier properties can be obtained by laminating a plurality of layers, for example, an inorganic glass and a resin substrate disposed on both sides of the inorganic glass. Material layer, one of the resin base material layers, the inorganic thin film is arranged on the side where the inorganic glass is not arranged, and the inorganic thin film is a peripheral portion of at least one surface of the corresponding resin base material layer It is easy to imagine a method of forming it. However, such a laminated thin film still has defects, for example, because the impact resistance is insufficient if the glass thin film is too thin, and the flexibility is significantly reduced if the glass thin film is too thick. The problem exists. As described above, in the case of simply laminating a glass thin film and a plastic thin film or performing film coating, defects are likely to occur due to lack of flexibility and impact resistance of a bendable substrate thin film. Inability to solve the problem of strength.

特開2004−82598号公報JP-A-2004-82598

本発明は上記従来技術の問題点を鑑みてなされたもので、本発明の目的は優れた可撓性とガスバリア性を有する屈曲可能な表示基板薄膜及びその製造方法、表示装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the related art, and an object of the present invention is to provide a bendable display substrate thin film having excellent flexibility and gas barrier properties, a method for manufacturing the same, and a display device. is there.

本発明の一態様である屈曲可能な表示基板薄膜は、
上面に複数の凸部を有するガラス薄膜と、
前記ガラス薄膜を被覆するプラスチック薄膜とを備え、
前記プラスチック薄膜は下面に複数の前記凸部を収納するための凹部を有する。
The bendable display substrate thin film according to one embodiment of the present invention,
A glass thin film having a plurality of convex portions on the upper surface,
And a plastic thin film covering the glass thin film,
The plastic thin film has a concave portion on its lower surface for accommodating the plurality of convex portions.

上記屈曲可能な表示基板薄膜において、複数の前記凸部はガラス薄膜の上面において横方向、縦方向、或いはマトリクス状に配列される。   In the bendable display substrate thin film, the plurality of protrusions are arranged in a horizontal direction, a vertical direction, or a matrix on the upper surface of the glass thin film.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、複数の凸部がガラス薄膜の上面において横方向や縦方向に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に前記凸部が設けられ、複数の凸部がガラス薄膜の上面においてマトリクス状に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に縁部突起が設けられる。   Further, in the bendable display substrate thin film, when a plurality of protrusions are arranged in a horizontal direction or a vertical direction on an upper surface of the glass thin film, the protrusions are provided within a range having a predetermined distance from an edge of the glass thin film. When a plurality of projections are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film, an edge projection is provided within a range having a predetermined distance from an edge of the glass thin film.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、複数の凸部がガラス薄膜の上面において横方向や縦方向に配列される時、前記凸部は半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状であり、複数の凸部がガラス薄膜の上面においてマトリクス状に配列される時、前記凸部は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状或いは立方体形状である。   Further, in the bendable display substrate thin film, when a plurality of convex portions are arranged in a horizontal direction or a vertical direction on an upper surface of the glass thin film, the convex portions are in a semi-cylindrical shape, a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular solid shape or When a plurality of convex portions are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film, the convex portions have a quadrangular pyramid shape, a truncated quadrangular pyramid shape, a spherical crown shape, or a cubic shape.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、前記プラスチック薄膜は、前記ガラス薄膜の上面に対向して設置されるカバー部と前記ガラス薄膜の側面に対向して設置される縁部を備える。   Further, in the bendable display substrate thin film, the plastic thin film includes a cover portion provided to face an upper surface of the glass thin film and an edge portion provided to face a side surface of the glass thin film.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、前記凸部の突起の高さ、および凹部の陥凹の深さは100μm以下であり、前記ガラス薄膜の凸部以外の部分の厚さは100μm以下である。
さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、前記屈曲可能な表示基板薄膜は、ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置された電極と、
ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置された薄膜トランジスタとをさらに備える。
Further, in the bendable display substrate thin film, the height of the protrusion of the convex portion and the depth of the concave portion of the concave portion are 100 μm or less, and the thickness of the portion other than the convex portion of the glass thin film is 100 μm or less. is there.
Further, in the bendable display substrate thin film, the bendable display substrate thin film includes an electrode disposed on a lower surface of the glass thin film and / or an upper surface of the plastic thin film,
A thin film transistor disposed on the lower surface of the glass thin film and / or the upper surface of the plastic thin film.

さらに、上記屈曲可能な表示基板薄膜において、前記縁部の幅は100μmより大きく、前記カバー部の凹部以外の部分の厚さは400μm以下であり、前記ガラス薄膜の表面うねりは0.5μm/20mm以下であり、前記プラスチック薄膜の表面粗さは2nm以下である。   Further, in the bendable display substrate thin film, the width of the edge portion is larger than 100 μm, the thickness of the portion other than the concave portion of the cover portion is 400 μm or less, and the surface undulation of the glass thin film is 0.5 μm / 20 mm. And the surface roughness of the plastic thin film is 2 nm or less.

本発明の他の態様である屈曲可能な表示基板薄膜製造方法は、上記に記載の屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる製造方法であって、
圧延法或いは蝕刻法で、上面に複数の凸部を有するガラス薄膜を成型するステップと、
成型されたガラス薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法のガラス薄膜を得るステップと、
ガラス薄膜とプラスチック薄膜に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、
プラスチック薄膜をガラス薄膜上に被覆するステップと、
ラミネート法で、ガラス薄膜とプラスチック薄膜を一体に結合させるステップであって、その中で、ラミネート処理を行う時の加熱温度がプラスチック薄膜の軟化点温度より高く、かつガラス薄膜の軟化点温度より低い、ステップと、
ガラス薄膜と一体に結合されたプラスチック薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法の縁部を得るステップとを含む。
A bendable display substrate thin film manufacturing method according to another aspect of the present invention is a manufacturing method used for manufacturing the bendable display substrate thin film described above,
Forming a glass thin film having a plurality of convex portions on the upper surface by a rolling method or an etching method,
Laser cutting the molded glass thin film to obtain a glass thin film of a required size,
Performing a cleaning and drying process on the glass thin film and the plastic thin film,
Coating a thin plastic film on a thin glass film;
In the laminating method, a step of integrally bonding the glass thin film and the plastic thin film, wherein a heating temperature when performing the laminating process is higher than the softening point temperature of the plastic thin film and lower than the softening point temperature of the glass thin film. , Steps,
Performing a laser cut on the plastic thin film integrally bonded with the glass thin film to obtain an edge having a required size.

本発明のさらなる他の態様である表示装置は、上記のいずれかに記載の屈曲可能な表示基板薄膜を備える。   A display device according to still another aspect of the present invention includes the display substrate thin film according to any one of the above.

上記の表示装置において、上記表示装置は、液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置である。   In the above display device, the display device is a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device, or an electronic paper display device.

上記の態様を用いたため、本発明が提供する屈曲可能な表示基板薄膜及びその製造方法と表示装置は、製造プロセスが簡単で、かつ優れたガスバリア性を有する。機械衝撃と熱衝撃によるガラス薄膜断裂やひびの発生を回避するために、屈曲可能な表示基板薄膜を軽量化し、かつプラスチック薄膜を介して振動を緩衝するようにしており、これにより屈曲可能な表示基板薄膜の耐落下衝撃性と耐衝撃性を著しく向上させた。ガラス薄膜の縁に凸部を設けることに加えて、プラスチック薄膜で被覆することにより、縁の欠陥の発生を有効に回避した。ガラス薄膜に凸部を、プラスチック薄膜に凹部を設置することで、曲げすぎの欠陥を有効に回避することができ、屈曲可能な表示基板薄膜の耐熱衝撃と機械衝撃の性能を向上させるとともに、ガラス薄膜は水蒸気や酸素を遮断する役割を果たすこともできる。プラスチック薄膜を内側表面とする場合、ガラス薄膜の縁における凸部や縁部突起の設置により、プラスチックの縁からの酸素と水分の浸み込みが低下又は遮断されるようになり、屈曲可能な表示基板薄膜もガラス基板薄膜と類似するガスバリア性を有する。   Since the above embodiment is used, the bendable display substrate thin film, the method for manufacturing the same, and the display device provided by the present invention have a simple manufacturing process and excellent gas barrier properties. In order to avoid breakage and cracking of the glass thin film due to mechanical shock and thermal shock, the weight of the bendable display substrate thin film is reduced and the vibration is damped through the plastic thin film, which allows the display to be bent. The drop impact resistance and impact resistance of the substrate thin film have been significantly improved. In addition to providing a convex portion on the edge of the glass thin film, by coating with a plastic thin film, generation of edge defects was effectively avoided. By installing convex parts on the glass thin film and concave parts on the plastic thin film, it is possible to effectively avoid overbending defects, improve the thermal shock resistance and mechanical shock performance of the bendable display substrate thin film, The thin film can also serve to block water vapor and oxygen. When a plastic thin film is used as the inner surface, the protrusions and edge projections at the edge of the glass thin film are provided, so that the infiltration of oxygen and moisture from the edge of the plastic is reduced or cut off, and the display can be bent. The substrate thin film also has a gas barrier property similar to the glass substrate thin film.

本発明は、真空コーティングが必要ないので、屈曲可能な表示装置の低いコスト製造を実現することができる。単なるガラス薄膜と比べて、可撓性により優れるし、同じ寿命という表示性能を有し、特に長寿命の有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適応する。ガラス薄膜の凸部とプラスチック薄膜の凹部は高い線膨張係数を有するプラスチック薄膜の熱膨張を抑えることができ、ガラス薄膜を表示基準面として用いることにより、線膨張係数が低い表示基板薄膜を得ることができる。一般的に、ガラス薄膜の断裂は応力集中によって表面の微小な欠陥が発生されて引き起こされることであり、ガラス薄膜の厚さが薄くなるほど割れやすくなるため、ガラス薄膜の薄型化が難しい。本発明に記載の表示基板薄膜において、ガラス薄膜の表面に形状が適当で、かつ密度が適当の凸部が配置することで、ガラス薄膜自身の耐衝撃性を著しく上向させるとともに、プラスチック薄膜及びその表面に付着された支持突起により、外力衝撃を緩衝することができ、変形時に欠陥引裂方向に向けての応力を抑えることができ、柔軟性に優れた屈曲可能な表示基板薄膜が得られる。また、現在の製造プロセスに適応でき、表示装置の加工過程における環境の温度と変形及び運搬過程における衝撃によって、欠陥が発生する確率が低い。上記の記載によれば、表示基板薄膜のガスバリア性を実現するには、複雑な薄膜の構成を必要とせず、かつガラス薄膜の欠陥を回避することができ、製造プロセスの環境に対する耐性を高め、製造コストが安い。   The present invention does not require a vacuum coating, so that a low-cost manufacturing of a bendable display device can be realized. Compared to a mere glass thin film, it is superior in flexibility and has display performance with the same life, and is particularly applicable to the manufacture of a long life organic electroluminescence display device. The convex portion of the glass thin film and the concave portion of the plastic thin film can suppress the thermal expansion of the plastic thin film having a high linear expansion coefficient, and use the glass thin film as a display reference plane to obtain a display substrate thin film having a low linear expansion coefficient. Can be. Generally, a glass thin film is ruptured and caused by the generation of minute defects on the surface due to stress concentration. The thinner the glass thin film is, the more easily the glass thin film is broken. Therefore, it is difficult to reduce the thickness of the glass thin film. In the display substrate thin film according to the present invention, by appropriately arranging convex portions having an appropriate shape and an appropriate density on the surface of the glass thin film, the impact resistance of the glass thin film itself is significantly improved, and the plastic thin film and The support projections attached to the surface can buffer external force impact, suppress stress in the direction of defect tearing during deformation, and obtain a flexible display substrate thin film with excellent flexibility. In addition, it can be adapted to the current manufacturing process, and has a low probability of occurrence of defects due to environmental temperature and deformation during processing of the display device and impact during transportation. According to the above description, in order to realize the gas barrier property of the display substrate thin film, a complicated thin film configuration is not required, and the defect of the glass thin film can be avoided, and the resistance to the environment of the manufacturing process is increased, Manufacturing cost is low.

本発明に記載の表示基板薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a display substrate thin film according to the present invention. 本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a display substrate thin film according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a glass thin film according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a display substrate thin film according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a glass thin film according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a glass thin film according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a glass thin film according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a display substrate thin film according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス薄膜の構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a glass thin film according to an embodiment of the present invention. 本発明に記載の製造方法のフローチャートである。4 is a flowchart of a manufacturing method according to the present invention.

図1、図2、図3、図4、図5、図6、図7、図8及び図9に示すように、屈曲可能な表示基板薄膜は、上面に複数の凸部10を有するガラス薄膜1と、前記ガラス薄膜1を被覆するプラスチック薄膜2とを含み、前記プラスチック薄膜2は、下面に複数の前記凸部10を収納するための凹部20を有する。   As shown in FIGS. 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 and 9, a bendable display substrate thin film is a glass thin film having a plurality of convex portions 10 on the upper surface. 1 and a plastic thin film 2 covering the glass thin film 1. The plastic thin film 2 has a concave portion 20 for accommodating the plurality of convex portions 10 on a lower surface.

複数の前記凸部10はガラス薄膜1の上面に横方向、縦方向或いはマトリクス状に配列される。複数の凸部10がガラス薄膜1の上面に横方向や縦方向に配列される時、前記ガラス薄膜1の縁から所定距離を有する範囲内に前記凸部10が設けられ、複数の凸部10がガラス薄膜1の上面にマトリクス状に配列される時、前記ガラス薄膜1の縁から所定距離の範囲内に縁部突起11が設けられる。   The plurality of protrusions 10 are arranged on the upper surface of the glass thin film 1 in a horizontal direction, a vertical direction, or in a matrix. When the plurality of protrusions 10 are arranged on the upper surface of the glass thin film 1 in a horizontal direction or a vertical direction, the protrusions 10 are provided within a range having a predetermined distance from an edge of the glass thin film 1. Are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1, an edge projection 11 is provided within a predetermined distance from the edge of the glass thin film 1.

複数の凸部10がガラス薄膜1の上面に横方向や縦方向に配列される時、前記凸部10は半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状であり、複数の凸部10がガラス薄膜1の上面にマトリクス状に配列される時、前記凸部10は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状或いは立方体形状であるのが良い。   When the plurality of protrusions 10 are arranged on the upper surface of the glass thin film 1 in the horizontal direction or the vertical direction, the protrusions 10 have a semi-cylindrical shape, a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape, or a cubic shape. When the portions 10 are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1, the protrusions 10 may have a quadrangular pyramid shape, a truncated quadrangular pyramid shape, a spherical crown shape or a cubic shape.

前記プラスチック薄膜2は前記ガラス薄膜1の上面に対向して設置されるカバー部21と前記ガラス薄膜1の側面に対向して設置される縁部22を有する。前記凸部10の突起の高さ及び凹部20の陥凹の深さは100μm以下であり、前記ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さは100μm以下であるのが良い。   The plastic thin film 2 has a cover portion 21 installed facing the upper surface of the glass thin film 1 and an edge portion 22 installed facing the side surface of the glass thin film 1. It is preferable that the height of the protrusion of the convex portion 10 and the depth of the concave portion of the concave portion 20 be 100 μm or less, and the thickness of the glass thin film 1 other than the convex portion 10 be 100 μm or less.

前記屈曲可能な表示基板薄膜はガラス薄膜1の下面及び/或いはプラスチック薄膜2の上面に配置される電極とガラス薄膜1の下面及び/或いはプラスチック薄膜2の上面に配置される薄膜トランジスタとをさらに有する。前記縁部22の幅は100μmより大きく、前記カバー部21の凹部20以外の部分の厚さは400μm以下であるのが良い。   The bendable display substrate thin film further includes electrodes disposed on the lower surface of the glass thin film 1 and / or the upper surface of the plastic thin film 2 and thin film transistors disposed on the lower surface of the glass thin film 1 and / or the upper surface of the plastic thin film 2. Preferably, the width of the edge portion 22 is larger than 100 μm, and the thickness of the portion other than the concave portion 20 of the cover portion 21 is 400 μm or less.

前記ガラス薄膜1の表面うねりは0.5μm/20mm以下であって、前記プラスチック薄膜2の表面の粗さは2nm以下であるのが良い。図1は本発明に記載の表示基板薄膜の構成を示す概略図である。図1において、異なるパターンで塗り潰されている部分はそれぞれプラスチック薄膜2における凹部20とガラス薄膜1における凸部10を示す。   The surface undulation of the glass thin film 1 is preferably 0.5 μm / 20 mm or less, and the surface roughness of the plastic thin film 2 is preferably 2 nm or less. FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a display substrate thin film according to the present invention. In FIG. 1, portions filled with different patterns indicate the concave portions 20 in the plastic thin film 2 and the convex portions 10 in the glass thin film 1, respectively.

図10に示す屈曲可能な表示基板薄膜製造方法は、上記に記載の屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる方法であって、
圧延法或いは蝕刻法で、上面に複数の凸部10を有するガラス薄膜1を成型するステップと、
成型されたガラス薄膜1に対して、レーザー切断を行うことで、所要寸法のガラス薄膜1を得るステップと、
ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、
プラスチック薄膜2をガラス薄膜1に被覆するステップと、
ラミネート法で、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を一体に結合させるステップであって、その中で、ラミネート処理を行う時の加熱温度がプラスチック薄膜2の軟化点温度より高く、かつガラス薄膜1の軟化点温度より低い、ステップと、
ガラス薄膜1と一体に結合されたプラスチック薄膜2に対して、レーザー切断を行うことで、所要寸法の縁部22を得るステップとを含む。
The method for manufacturing a bendable display substrate thin film shown in FIG. 10 is a method used for manufacturing the bendable display substrate thin film described above,
Forming a glass thin film 1 having a plurality of convex portions 10 on the upper surface by a rolling method or an etching method;
Performing a laser cut on the molded glass thin film 1 to obtain a glass thin film 1 having required dimensions;
Cleaning and drying the glass thin film 1 and the plastic thin film 2;
Coating the plastic thin film 2 on the glass thin film 1;
A step of integrally bonding the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 by a laminating method, in which a heating temperature during the laminating process is higher than a softening point temperature of the plastic thin film 2 and a softening of the glass thin film 1 A step below the point temperature,
Laser cutting the plastic thin film 2 integrally joined with the glass thin film 1 to obtain an edge portion 22 having a required size.

表示装置であって、該表示装置は、上記に記載の屈曲可能な表示基板薄膜を有する。
表示装置は液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置から構成される。
A display device, comprising the display substrate thin film described above.
The display device includes a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device, or an electronic paper display device.

本発明の屈曲可能な表示基板薄膜の屈曲性能は、ガラス薄膜1の材質、プラスチック薄膜2の材質、ガラス薄膜1の厚さ、プラスチック薄膜2の厚さ、凸部10の形状、凸部10の分布密度のいずれとも直接な関係がある。具体的には、ガラス薄膜1にとって、ガラス薄膜1の厚さが厚くなるほど、曲げにくくなり、重さも重くなる一方、外力の衝撃を受けても優性の欠陥と劣性の欠陥が生じにくいので、ガラス薄膜1の厚さを増えさせることは、ガスバリア性の改善に対して必要ではない。それは、ガラス薄膜1の厚さが1μmであっても、非常に高いガスバリア能力があるためである。ガラス薄膜1における凸部10の分布密度を増えることも、ガラス薄膜1の厚さを増えることと同じく、ガラス薄膜1の重さを増えることができるが、このように、表示基板薄膜の可屈曲性に対する影響がわずかである。   The bending performance of the bendable display substrate thin film of the present invention depends on the material of the glass thin film 1, the material of the plastic thin film 2, the thickness of the glass thin film 1, the thickness of the plastic thin film 2, the shape of the convex portion 10, and the shape of the convex portion 10. There is a direct relationship with any of the distribution densities. Specifically, as the thickness of the glass thin film 1 increases, it becomes difficult to bend and the weight increases as the thickness of the glass thin film 1 increases. Increasing the thickness of the thin film 1 is not necessary for improving gas barrier properties. This is because even if the thickness of the glass thin film 1 is 1 μm, it has a very high gas barrier capability. Increasing the distribution density of the protrusions 10 in the glass thin film 1 can increase the weight of the glass thin film 1 in the same manner as increasing the thickness of the glass thin film 1. Has minimal effect on gender.

プラスチック薄膜2にとっては、プラスチック薄膜2の厚さを増加させると、重さも増えるが、ガラス薄膜1の耐機械衝撃の能力を向上させることに対して有利であって、かつ水蒸気バリア性や酸素バリア性が改善できる。ガラス薄膜1は充分なガスバリア性と水蒸気バリア性を有するため、プラスチック薄膜2の厚さにとっては、ただ耐機械衝撃力の特性を考慮すればよい。なお、プラスチック薄膜2の厚さが増加されると、表示基板の透過率が低くなり、屈曲可能な表示基板薄膜の表示装置の厚さを下げようとする努力を相殺する。以上のように、表示基板薄膜の水蒸気バリア性とガスバリア性能を向上させるため、薄いガラス薄膜1だけを使っても要求に達することができ、かつガラス薄膜1の厚さが薄くなることと伴い、可撓性もよくなる。しかし、簡単にガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を積層すると、優性や劣性の欠陥の発生を回避することが困難である。機械力の衝撃の他に、熱衝撃、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2の膨張率の相違、ガラス薄膜1の応力の蓄積、屈曲する時のガラス薄膜1とプラスチック薄膜2の弾性の相違などの原因で、皹欠陥の発生を回避することが困難である。ガラス薄膜1の表面に凸部10を設けられることで、ガラス薄膜1の部分的に厚さを増えさせて、ガラス薄膜1が外力衝撃と熱衝撃を受けた時に、厚いガラス薄膜1と類似する強度を有するようにする。ガラス薄膜1における凸部10がプラスチック薄膜2における凹部20の中に収納されるモザイク構造を構成したので、膨張率の相違に起因したシフトの縮小に有利であり、ガラス薄膜1の応力を放出することで、応力の蓄積しすぎを防止でき、屈曲する時のガラス薄膜1とプラスチック薄膜2との弾性の相違を補い、剥離力の発生を回避できる。   For the plastic thin film 2, increasing the thickness of the plastic thin film 2 increases the weight, but it is advantageous for improving the mechanical shock resistance of the glass thin film 1, and has a water vapor barrier property and an oxygen barrier property. Can be improved. Since the glass thin film 1 has sufficient gas barrier properties and water vapor barrier properties, the thickness of the plastic thin film 2 only needs to consider the characteristics of mechanical shock resistance. In addition, when the thickness of the plastic thin film 2 is increased, the transmittance of the display substrate is reduced, thereby offsetting the effort to reduce the thickness of the display device having the flexible display substrate thin film. As described above, in order to improve the water vapor barrier property and the gas barrier performance of the display substrate thin film, the demand can be reached even by using only the thin glass thin film 1, and with the thin glass thin film 1, Flexibility is also improved. However, if the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are simply laminated, it is difficult to avoid generation of dominant or inferior defects. Other than mechanical shock, thermal shock, difference in expansion coefficient between glass thin film 1 and plastic thin film 2, accumulation of stress in glass thin film 1, difference in elasticity between glass thin film 1 and plastic thin film 2 when bent, etc. Therefore, it is difficult to avoid the occurrence of the Re defect. By providing the convex portion 10 on the surface of the glass thin film 1, the thickness of the glass thin film 1 is partially increased, and when the glass thin film 1 is subjected to external force shock and thermal shock, it is similar to the thick glass thin film 1. Have strength. Since the convex portion 10 of the glass thin film 1 has a mosaic structure accommodated in the concave portion 20 of the plastic thin film 2, it is advantageous for reducing the shift caused by the difference in the expansion coefficient, and releases the stress of the glass thin film 1. This can prevent excessive accumulation of stress, compensate for the difference in elasticity between the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 at the time of bending, and avoid generation of a peeling force.

本発明に記載の凸部10はガラス薄膜1の上面において横方向、縦方向、或いはマトリクス状に配列され、前記凸部10は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状、半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状である。以下、凸部10の異なる構成が表示基板薄膜の屈曲性に対する影響に関連して、説明する。   The protrusions 10 according to the present invention are arranged in a horizontal direction, a vertical direction, or a matrix on the upper surface of the glass thin film 1, and the protrusions 10 have a quadrangular pyramid shape, a truncated quadrangular pyramid shape, a spherical crown shape, a semi-cylindrical shape, It has a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape or a cubic shape. Hereinafter, a description will be given in relation to the influence of different configurations of the protrusions 10 on the flexibility of the display substrate thin film.

図2は、本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図であって、図3は、本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図2、3に示すように、好ましい実施形態として、ガラス薄膜1における凸部10は三角柱形状であって、縦断面が二等辺三角形の三角柱形状であるのが好ましく、かつ複数の凸部10がガラス薄膜1の上面において、横方向に配列されるように設置される。ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さをt、プラスチック薄膜2の凹部20以外の部分の厚さをt、凸部10の高さと凹部20の深さをhと仮定する場合、表示基板薄膜の全厚さはt=t+t+hである。隣接する凸部10の間の中心間距離がWで、凸部10の最大幅がWで、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間の支持突起23の最大幅がWで、凸部10の曲率半径がRで、隣接する凹部20の間の支持突起23の曲率半径がRである。通常の場合、屈曲可能な表示基板薄膜の曲率半径はプラスチック薄膜2の曲率半径より大きい、すなわちR≧Rである。本発明の表示基板薄膜は縦方向への可撓性を有しており、W=(W+W)/2である場合、プラスチック薄膜2が自由に圧縮できると仮定して、表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に向けて曲げられる時に(ガラス薄膜1が下に、プラスチック薄膜2が上に位置するように仮定すれば、表示基板薄膜が上に向けて曲げられることを指す)、凸部10の曲率半径はR=(h+W /4)0.5であるが、同様に表示基板がガラス薄膜1の一側に曲げられる時の(ガラス薄膜1が下に、プラスチック薄膜2が上に位置するように仮定すれば、表示基板薄膜が下に向けて曲げられることを指す)凸部10の曲率半径をさらに解析することができる。W=(W+W)/2である場合、ガラス薄膜1を省略する条件下で、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間に設置された支持突起23の曲率半径はR=(h+W /4)0.5となる。もしW=Wであれば、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間に設置された支持突起23と凸部10は同じ曲率半径を有し、それは、主に材料の変形を省略して、単純に凸部10の幾何学的形状だけを考慮した時に得られる結論である。 FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration of a display substrate thin film according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 2 and 3, as a preferred embodiment, the convex portion 10 in the glass thin film 1 has a triangular prism shape, and preferably has a triangular prism shape having a vertical cross section of an isosceles triangle. On the upper surface of the glass thin film 1, they are arranged so as to be arranged in a horizontal direction. When assuming that the thickness of the portion other than the convex portion 10 of the glass thin film 1 is t g , the thickness of the portion of the plastic thin film 2 other than the concave portion 20 is t p , and the height of the convex portion 10 and the depth of the concave portion 20 are h. , the total thickness of the display substrate film is t = t g + t p + h. At a center-to-center distance is W between the protrusions 10 adjacent in the maximum width W g of the projections 10, the plastics film 2, the maximum width of the support projections 23 between adjacent recesses 20 in W p, convex radius of curvature of the section 10 is R g, the curvature of the support projections 23 between adjacent recesses 20 with a radius of R p. In the usual case, the radius of curvature of the bendable display substrate films greater than the radius of curvature of the plastics film 2, that is, R ≧ R p. The display substrate thin film of the present invention has flexibility in the vertical direction, and when W = (W g + W p ) / 2, it is assumed that the plastic thin film 2 can be freely compressed. Is bent toward one side of the plastic thin film 2 (assuming that the glass thin film 1 is located below and the plastic thin film 2 is located above, indicating that the display substrate thin film is bent upward). Although the radius of curvature of the convex portion 10 is R g = (h 2 + W g 2/4) is 0.5, likewise display substrate when bent to one side of the glass film 1 (the lower glass film 1, Assuming that the plastic thin film 2 is located on the upper side, it indicates that the display substrate thin film is bent downward.) The radius of curvature of the projection 10 can be further analyzed. When W = (W g + W p ) / 2, the radius of curvature of the support protrusion 23 provided between the adjacent recesses 20 in the plastic thin film 2 is R p = ( the h 2 + W p 2/4 ) 0.5. If W p = W g , in the plastic thin film 2, the support protrusions 23 and the protrusions 10 provided between the adjacent recesses 20 have the same radius of curvature, which mainly eliminates deformation of the material. Therefore, this is a conclusion obtained when only the geometrical shape of the convex portion 10 is simply considered.

実際は、プラスチックの弾性変形の範囲が大きいので、実際の応用過程において、Rがガラス薄膜1の曲率半径よりかなり小さいので、プラスチック薄膜2はガラス薄膜1の屈曲に対して影響を与えることはない。もし、凸部10の突起の高さ値は[1μm、100μm]で、凸部10の最大幅(二等辺三角形の辺長)Wは[1μm、100μm]である場合、凸部10の曲率半径Rと支持突起23の曲率半径Rはいずれも120μmより小さく、該数値は厚さが100μmのガラス薄膜1の曲率半径(ミリメートル級)よりかなり小さいので、凸部10の設置がガラス薄膜1自身の屈曲特性に影響を与えることはなく、隣接する凹部20の間の支持突起23もプラスチック薄膜2自身の屈曲特性に影響を与えない。表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる時、プラスチック薄膜2の存在により、曲げられた後プラスチック薄膜2の塑性変形を省略する条件下で、プラスチック薄膜2において隣接する凹部20の間の支持突起23がガラス薄膜1を支持する役割を果たすので、ガラス薄膜1の過度の屈曲が生じないことが確保できる。同様に表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況を解析してみると、ガラス薄膜1には凸部10が設けられ、かつガラス薄膜1の塑性変形を省略してもよいので、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる時、ガラス薄膜1における凸部10はプラスチック薄膜2を支持する作用を有し、屈曲可能な表示基板薄膜も同様に過度の屈曲が発生できなくなり、ガラス薄膜1に欠陥が発生しないことが確保できる。 In fact, the range of the elastic deformation of the plastic is large, in practical applications process, since R p is much smaller than the radius of curvature of the glass thin film 1, the plastic film 2 is not affected with respect to bending of the glass thin film 1 . If the height value of the protrusion of the protrusion 10 is [1 μm, 100 μm] and the maximum width (side length of the isosceles triangle) W g of the protrusion 10 is [1 μm, 100 μm], the curvature of the protrusion 10 curvature radius R g and the support projections 23 radius R p are both less than 120 [mu] m, since the numerical is considerably smaller than the radius of curvature of the glass thin film 1 of 100 [mu] m (mm grade) thick, thin glass film installation of the projecting portion 10 is 1 does not affect the bending characteristics of the plastic thin film 2 itself, and the support protrusions 23 between the adjacent concave portions 20 do not affect the bending characteristics of the plastic thin film 2 itself. When the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, the presence of the plastic thin film 2 causes the plastic thin film 2 to bend between adjacent recesses 20 in the plastic thin film 2 under the condition that plastic deformation of the plastic thin film 2 is omitted. Since the support protrusions 23 serve to support the glass thin film 1, it is possible to ensure that the glass thin film 1 is not excessively bent. Similarly, when analyzing the situation in which the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the convex portion 10 is provided on the glass thin film 1 and plastic deformation of the glass thin film 1 may be omitted. When the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the convex portion 10 on the glass thin film 1 has a function of supporting the plastic thin film 2, and the bendable display substrate thin film similarly cannot cause excessive bending. In addition, it is possible to ensure that no defect occurs in the glass thin film 1.

W>(W+W)/2かつW>Wである場合、プラスチック薄膜2の支持突起23の最大幅はガラス薄膜1の凸部10の最大幅より大きく、プラスチック薄膜2自身の特性で、支持突起23によりプラスチック薄膜2の屈曲性能に対して影響を与えることなく、同時に凸部10の寸法が大きい場合、表示基板薄膜が曲げられる時にプラスチック薄膜2における支持突起23がガラス薄膜1の凸部10から剥離される現象が発生しやすく、プラスチック薄膜2の膨張係数は有効に控えられず、ガラス材料とプラスチック材料の結合がしっかりしなくなり、ガラス薄膜1の応力放出に不利である。 When W> ( Wg + Wp ) / 2 and Wp > Wg , the maximum width of the support protrusion 23 of the plastic thin film 2 is larger than the maximum width of the convex portion 10 of the glass thin film 1, and the characteristics of the plastic thin film 2 itself When the size of the projections 10 is large without affecting the bending performance of the plastic thin film 2 by the support projections 23, the support projections 23 on the plastic thin film 2 are The phenomenon that the plastic thin film 2 is peeled off easily occurs, the coefficient of expansion of the plastic thin film 2 is not effectively suppressed, the bond between the glass material and the plastic material becomes loose, and this is disadvantageous for the stress release of the glass thin film 1.

<Wである場合、プラスチック薄膜2とガラス薄膜1が簡単に積層する状況に相当し、この状況による不良な結果は、上述に説明したとおりである。そのため、W>(W+W)/2かつW<Wであるパラメータの状況を回避することが必要であり、ガラス薄膜1における凸部10が大きすぎれば、屈曲の効果に影響を与えるとともに、表示基板薄膜の重さが増える。複数の凸部10はガラス薄膜1の上面に縦方向に配列される時、表示基板薄膜の屈曲方向以外、横方向に配列された複数の凸部10に対する説明と同じである。 If W p <W g , this corresponds to a situation in which the plastic thin film 2 and the glass thin film 1 are easily laminated, and a poor result in this situation is as described above. Therefore, W> (W g + W p) / 2 and it is necessary to avoid a situation parameter is W p <W g, if the convex portion 10 of the glass film 1 is too large, the influence on the effect of bending In addition, the weight of the display substrate thin film increases. When the plurality of protrusions 10 are arranged in the vertical direction on the upper surface of the glass thin film 1, the description is the same as that for the plurality of protrusions 10 arranged in the horizontal direction except for the bending direction of the display substrate thin film.

図4は本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図であって、図5は本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図4、図5に示すように、好ましい実施形態として、凸部10は四角柱形状であって、縦断面が同脚台形の四角柱形状であることが好ましく、かつ複数の凸部10がガラス薄膜1の上面において横方向に配列され、同脚台形の上底幅がWg0であり、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間の支持突起23の最少幅がWp0であり、屈曲可能な表示基板薄膜は縦方向(垂直方向)への可撓性を有する。 FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a configuration of a display substrate thin film according to the embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4 and FIG. 5, as a preferred embodiment, the convex portion 10 is preferably in the shape of a quadrangular prism, and the vertical cross section is preferably in the shape of a quadrangular prism having the same trapezoidal shape. It is arranged laterally on the upper surface of the thin film 1 and has a trapezoidal trapezoidal upper base width of W g0 , and in the plastic thin film 2, the minimum width of the support protrusion 23 between the adjacent concave portions 20 is W p0 and is bendable. A display substrate thin film has flexibility in the vertical direction (vertical direction).

W>(W+W)/2である場合、表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる時、隣接する凸部10の間の中心間距離をW、凸部10の最大幅(同脚台形の下底幅)をW、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20間の支持突起23の最大幅をW、凸部10の曲率半径をR、隣接する凹部20の間の支持突起23の曲率半径をRとすると、プラスチック薄膜2の存在を省略する条件下で、ガラス薄膜1における凸部10の曲率半径R=[W /{(W−Wg0+W /4}]0.5である。同様に、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況を解析すれば、W=(W+W)/2である場合、ガラス薄膜1の存在を省略する条件下で、プラスチック薄膜2における支持突起23の曲率半径はR=[W /{(W−Wp0+W /4}]0.5である。 When W> (W g + W p ) / 2, when the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, the center-to-center distance between adjacent convex portions 10 is W, and the maximum width of the convex portion 10 ( The lower width of the trapezoid of the same leg) is W g , the maximum width of the support protrusion 23 between the adjacent concave portions 20 in the plastic thin film 2 is W p , the radius of curvature of the convex portion 10 is R g , and the distance between the adjacent concave portions 20. If the radius of curvature of the support projections 23 and R p, under conditions omitted the presence of plastic film 2, the curvature of the convex portion 10 of the glass film 1 radius R g = [W g 2 h 2 / {(W g -W g0) 2 + W g 2/ 4}] is 0.5. Similarly, analyzing the situation where the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, when W = (W g + W p ) / 2, the plastic thin film under the condition that the presence of the glass thin film 1 is omitted. the radius of curvature of the support projections 23 in 2 R p = [W p 2 h 2 / {(W p -W p0) 2 + W p 2/4}] is 0.5.

もしW=Wであれば、プラスチック薄膜2における支持突起23とガラス薄膜1における凸部10は同じ曲率半径を有するが、これは上記の説明と同じく変形を省略するとの仮定の条件に基づいて、単純に幾何学的形状だけを考慮したとき得られる結論である。実際は、プラスチック材料の弾性変形の範囲が大きいので、実際の応用過程においてRがガラス薄膜1の曲率半径よりもかなり小さく、もし凸部10の突起の高さ値が[1μm,100μm]で、凸部10の最大幅(同脚台形の下底幅)Wが[1μm,100μm]である時、Wp0=50μmであり、RとRがそれぞれ290μmより小さく、該数値は厚さが100μmのガラス薄膜1の曲率半径(ミリメートル級)よりかなり小さいので、凸部10の設置はガラス薄膜1自身の屈曲特性に影響を与えることなく、隣接する凹部20の間にある支持突起23もプラスチック薄膜2自身の屈曲特性に影響を与えない。 If W p = W g , the support protrusion 23 on the plastic thin film 2 and the convex portion 10 on the glass thin film 1 have the same radius of curvature, which is based on the assumption that the deformation is omitted as in the above description. Therefore, this is a conclusion that can be obtained when simply considering only the geometric shape. In fact, since the range of elastic deformation of the plastic material is large, R p is considerably smaller than the radius of curvature of the glass thin film 1 in the actual application process, and if the height value of the projection of the projection 10 is [1 μm, 100 μm], When the maximum width (lower bottom width of the same leg trapezoid) W g of the convex portion 10 is [1 μm, 100 μm], W p0 = 50 μm, R g and R p are each smaller than 290 μm, and the numerical value is the thickness. Is considerably smaller than the radius of curvature (millimeter class) of the glass thin film 1 having a thickness of 100 μm, so that the provision of the projections 10 does not affect the bending characteristics of the glass thin film 1 itself. It does not affect the bending characteristics of the plastic thin film 2 itself.

表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる時、曲げられた後、プラスチック薄膜2の存在により、プラスチック薄膜2の塑性変形を省略する条件下で、プラスチック薄膜2において隣接する凹部20の間にある支持突起23がガラス薄膜1を支持する役割を果たし、ガラス薄膜1の過度の屈曲が生じないことが確保できる。同様に表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況において、ガラス薄膜1には凸部10が設けられ、かつガラス薄膜1の塑性変形を省略してもよいので、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる時、ガラス薄膜1における凸部10はプラスチック薄膜2を支持するとの役割を果たすので、屈曲可能な表示基板薄膜は同様に過度の屈曲が生じることができなくなり、ガラス薄膜1に欠陥が発生しないことが確保できる。   When the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, after the bending, the presence of the plastic thin film 2 causes a plastic deformation of the plastic thin film 2 to be performed between adjacent recesses 20 in the plastic thin film 2 under the condition of omitting plastic deformation. Supports the glass thin film 1 to ensure that the glass thin film 1 is not excessively bent. Similarly, in a situation where the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the glass thin film 1 is provided with a convex portion 10 and plastic deformation of the glass thin film 1 may be omitted. When bent to one side of the thin film 1, the convex portion 10 of the glass thin film 1 serves to support the plastic thin film 2, so that the bendable display substrate thin film similarly cannot be excessively bent, and It is possible to ensure that no defect occurs in the thin film 1.

表示基板薄膜の曲率半径の形態によれば、凸部10が四角柱形状である表示基板薄膜の曲率半径は凸部10が三角柱形状である表示基板薄膜の曲率半径より大きいので、ガラス薄膜1の屈曲性能が低い場合、凸部10が四角柱である構成を採用すれば、表示基板薄膜の過度の屈曲を回避することにはより有利である。W>(W+W)/2かつW>Wである場合、表示基板薄膜の重さを下げることに有利であり、W<2Wであるのが好ましく、欠陥の発生の防止に有利である。 According to the form of the radius of curvature of the display substrate thin film, the radius of curvature of the display substrate thin film in which the projections 10 have a quadrangular prism shape is larger than the radius of curvature of the display substrate thin film in which the projections 10 have a triangular prism shape. When the bending performance is low, adopting a configuration in which the protrusions 10 are square poles is more advantageous for avoiding excessive bending of the display substrate thin film. W> (W g + W p ) / 2 and if it is W p> W g, it is advantageous to reduce the weight of the display substrate film is preferably from W p <2W g, prevention of occurrence of defects Is advantageous.

プラスチック薄膜2の支持突起23の最大幅はガラス薄膜1の凸部10の最大幅より大きくて、プラスチック薄膜2自身の特性で、支持突起23がプラスチック薄膜2の屈曲性能に影響を与えることなく、同時に凸部10の寸法が大きい場合、表示基板薄膜に屈曲が生じる時に、プラスチック薄膜2における支持突起23がガラス薄膜1の凸部10から剥離される現象が発生しやすく、プラスチック薄膜2の膨張係数が有効に控えられず、ガラス材料とプラスチック材料がしっかりと結合できなくなるので、ガラス薄膜1の応力放出に不利である。   The maximum width of the support protrusion 23 of the plastic thin film 2 is larger than the maximum width of the protrusion 10 of the glass thin film 1, and the support protrusion 23 does not affect the bending performance of the plastic thin film 2 due to the characteristics of the plastic thin film 2 itself. At the same time, when the size of the projections 10 is large, when the display substrate thin film is bent, the phenomenon that the support projections 23 of the plastic thin film 2 are separated from the projections 10 of the glass thin film 1 easily occurs, and the expansion coefficient of the plastic thin film 2 is increased. Is not effectively suppressed, and the glass material and the plastic material cannot be firmly bonded, which is disadvantageous for releasing the stress of the glass thin film 1.

<Wである場合、プラスチック薄膜2とガラス薄膜1が簡単に積層する状況に相当し、この状況による不良な結果は、上述した通りである。そのため、W>(W+W)/2かつW<Wであるパラメータの状況を回避することが必要であり、ガラス薄膜1における凸部10が大きすぎれば、屈曲の効果に影響を与えるとともに、表示基板薄膜の重さが増える。複数の凸部10がガラス薄膜1の上面に縦方向に配列される時、表示基板薄膜の屈曲方向以外、横方向に配列された複数の凸部10に対する説明と同じである。 If W p <W g , this corresponds to a situation in which the plastic thin film 2 and the glass thin film 1 are simply laminated, and the poor result in this situation is as described above. Therefore, W> (W g + W p) / 2 and it is necessary to avoid a situation parameter is W p <W g, if the convex portion 10 of the glass film 1 is too large, the influence on the effect of bending In addition, the weight of the display substrate thin film increases. When the plurality of protrusions 10 are vertically arranged on the upper surface of the glass thin film 1, the description is the same as that of the plurality of protrusions 10 arranged in the horizontal direction except for the bending direction of the display substrate thin film.

図6は、本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図6に示すように、好ましい実施形態として、凸部10が四角錐形状であって、かつ複数の凸部10がガラス薄膜1の上面にマトリクス状に配列されることが好ましく、表示基板薄膜は横方向に曲げられてもよく、縦方向に曲げられてもよいが、他の方向へ曲げられる時の曲げ効果が少し悪い。凸部10の分布密度は空間の均等陳列分布であり、すなわち、各凸部10の同一方向の底辺がそれぞれ平行され、各凸部10の底面中心間の距離が相等しく、各凸部10の頂点間の距離が相等しいので、表示基板薄膜の曲げの均一性が確保できる。   FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, as a preferred embodiment, it is preferable that the protrusions 10 have a quadrangular pyramid shape, and that the plurality of protrusions 10 be arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1. It may be bent in the horizontal direction or in the vertical direction, but the bending effect when bent in other directions is slightly poor. The distribution density of the protrusions 10 is a uniform display distribution of space, that is, the bases of the protrusions 10 in the same direction are parallel to each other, the distance between the centers of the bottom surfaces of the protrusions 10 is equal, Since the distances between the vertices are equal, the uniformity of bending of the display substrate thin film can be ensured.

凸部10が四角錐形状である表示基板薄膜の横方向と縦方向における屈曲特性はそれぞれ凸部10が三角柱形状である表示基板薄膜の屈曲特性と類似しており、他の屈曲方向においては影響要因が複雑で、屈曲の効果が悪いため、当該実施形態に係る表示基板薄膜を他の方向に曲げることは勧められない。   The bending characteristics in the horizontal and vertical directions of the display substrate thin film in which the projections 10 have a quadrangular pyramid shape are similar to the bending characteristics of the display substrate thin film in which the projections 10 have a triangular prism shape, and are affected in other bending directions. It is not recommended that the display substrate thin film according to the present embodiment be bent in another direction because the factors are complicated and the bending effect is poor.

図7は、本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図7に示すように、好ましい実施形態として、凸部10が四角錐台形状であって、かつ複数の凸部10がガラス薄膜1の上面においてマトリクス状に配列されることが好ましく、この場合、可撓性が少し悪いが、ガラス薄膜1の曲げすぎの発生を回避することにはより有利である。凸部10の分布密度は空間の均等陳列分布であり、すなわち、各凸部10の上下底面の辺がそれぞれ平行にされ、各凸部10の隣接する上下底面の中心間の距離が相等しくて均一に分布されるので、表示基板薄膜の曲げの均一性が確保できる。   FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, as a preferred embodiment, it is preferable that the protrusions 10 have a truncated pyramid shape and the plurality of protrusions 10 are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film 1. Although the flexibility is slightly poor, it is more advantageous to avoid the glass thin film 1 from being excessively bent. The distribution density of the protrusions 10 is a uniform display distribution of space, that is, the sides of the upper and lower bottom surfaces of each protrusion 10 are parallel to each other, and the distance between the centers of the adjacent upper and lower bottom surfaces of each protrusion 10 is equal. Since it is uniformly distributed, uniformity of bending of the display substrate thin film can be secured.

凸部10が四角錐台形状である表示基板薄膜の横方向と縦方向における屈曲特性は、それぞれ凸部10が四角柱形状である表示基板薄膜の屈曲特性と類似しており、他の屈曲方向においては影響要因が複雑で、屈曲の効果がよくないので、当該実施形態に係る表示基板薄膜を他の方向に曲げることは勧められない。   The bending characteristics in the horizontal direction and the vertical direction of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a truncated quadrangular pyramid shape are similar to the bending characteristics of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a quadrangular prism shape, respectively. In (2), since the influence factor is complicated and the effect of bending is not good, it is not recommended to bend the display substrate thin film according to the embodiment in another direction.

好ましい実施形態として、ガラス薄膜1における凸部10が半円柱形状である場合、屈曲の効果は凸部10が三角柱形状、四角柱形状である状況と類似しており、実際の表示基板薄膜の加工過程において、凸部10の半径と分布密度を調整し、満足な屈曲性能を得るようにしてもよい。該好ましい実施形態において、凸部10がガラス薄膜1の上面に横方向や縦方向に配列される場合の屈曲性能を解析する過程は同じであるが、表示基板薄膜の屈曲方向が異なる。   As a preferred embodiment, when the convex portion 10 in the glass thin film 1 has a semi-cylindrical shape, the effect of bending is similar to the situation where the convex portion 10 has a triangular prism shape or a quadrangular prism shape. In the process, the radius and the distribution density of the projection 10 may be adjusted to obtain a satisfactory bending performance. In the preferred embodiment, the process of analyzing the bending performance when the protrusions 10 are arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film 1 is the same, but the bending direction of the display substrate thin film is different.

図8は、本発明の実施形態に係る表示基板薄膜の構成を示す概略図であって、図9は、本発明の実施形態に係るガラス薄膜1の構成を示す概略図である。図8、図9に示すように、好ましい実施形態として、ガラス薄膜1における凸部10が球冠形状である場合、凸部10がいずれかの方向において相等しい屈曲能力を有するので、凸部10の曲率半径に対して定量分析を行うことが難しい。表示基板薄膜の縦方向や横方向の屈曲特性は凸部10が半円柱形状である表示基板薄膜の屈曲特性と類似しており、実際の表示基板薄膜の加工過程において、凸部10の半径と分布密度を調整することで、満足な屈曲性能を得ることができる。   FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a configuration of a display substrate thin film according to the embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a configuration of the glass thin film 1 according to the embodiment of the present invention. As shown in FIGS. 8 and 9, as a preferred embodiment, when the convex portion 10 in the glass thin film 1 has a spherical crown shape, the convex portion 10 has the same bending ability in either direction. It is difficult to perform quantitative analysis on the radius of curvature of. The bending characteristics in the vertical and horizontal directions of the display substrate thin film are similar to the bending characteristics of the display substrate thin film in which the convex portion 10 has a semi-cylindrical shape. By adjusting the distribution density, satisfactory bending performance can be obtained.

マトリクス状に配列される時、ガラス薄膜1の上面の縁部領域に分布される凸部10の数はガラス薄膜1の上面の縁部以外の領域に分布される凸部10の数より多い。ガラス薄膜1の最も弱い領域、最も欠陥が生じやすい領域はガラス薄膜1の縁から内の方へ数ミリメートル延在した面積範囲であり、該領域に凸部10を設置する目的は、縁の欠陥を回避させるためであり、各種の欠陥の発生を有効に低下させることができる。   When arranged in a matrix, the number of protrusions 10 distributed in the edge region of the upper surface of the glass thin film 1 is larger than the number of protrusions 10 distributed in regions other than the edge of the upper surface of the glass thin film 1. The weakest area of the glass thin film 1 and the area where defects are most likely to occur are an area range extending several millimeters inward from the edge of the glass thin film 1. Therefore, occurrence of various defects can be effectively reduced.

凸部10の形状は実際の状況に応じて、断面が三角形、台形、円弧形状、半円形或いは半楕円形状に設けることができる。ガラス薄膜1の厚さと凸部10の高さとの加算値が、0.1mmより大きい場合、屈曲性に影響を与えないように、ガラス薄膜1の縁の領域に布設される複数の凸部10とガラス薄膜1の縁以外の領域(内部領域)に布設される複数の凸部10との屈曲方向及び配列密度が一致するようにする。複数の凸部10が縦方向や横方向に配列される時、ガラス薄膜1の縁の領域に凸部10を有するようにし、屈曲特性を保証することが優先で、その次が耐衝撃力を保証することである。複数の凸部10がマトリクス状に配列される時、縁の領域に分布される凸部10の数が縁以外の領域に分布される凸部10の数より多いようにし、屈曲可能な特性を保証することが優先で、その次が耐衝撃力を保証することである。ガラス薄膜1の厚さと凸部10の高さとの加算値が0.1mmよりも大きい場合、可撓性が高いので、ガラス薄膜1の縁を全閉型や大部分密閉型に設けるようにすることを考慮してもよいが、内部の凸部10の構成の形態を考慮しなくてもよい。このような表示基板薄膜はより強い縁の耐衝撃能力を有するが、屈曲特性が弱い。   The shape of the projection 10 can be provided in a triangular, trapezoidal, arcuate, semicircular or semielliptical shape, depending on the actual situation. When the sum of the thickness of the glass thin film 1 and the height of the projections 10 is greater than 0.1 mm, the plurality of projections 10 laid in the edge region of the glass thin film 1 is not affected by the flexibility. The bending direction and the arrangement density of the plurality of convex portions 10 laid in a region (inner region) other than the edge of the glass thin film 1 are made to match. When a plurality of protrusions 10 are arranged in a vertical direction or a horizontal direction, it is necessary to provide the protrusions 10 in the edge region of the glass thin film 1 to ensure the bending characteristics, and the next is to reduce the impact resistance. It is to guarantee. When the plurality of protrusions 10 are arranged in a matrix, the number of the protrusions 10 distributed in the edge region is set to be greater than the number of the protrusions 10 distributed in the region other than the edge, and the bendable characteristic is improved. Guarantee is a priority, followed by guaranteeing impact resistance. If the sum of the thickness of the glass thin film 1 and the height of the convex portion 10 is larger than 0.1 mm, the flexibility is high, so that the edge of the glass thin film 1 is provided in a fully-closed type or a largely closed type. However, it is not necessary to consider the form of the configuration of the internal protrusion 10. Such a display substrate thin film has a stronger edge impact resistance, but has poor bending characteristics.

好ましい実施形態として、前記凸部10の高さと凹部20の深さは100μm以下である。ガラス薄膜1における凸部10の高さが高くなるほど、ガラス薄膜1自身の機械安定性の保持に有利である一方、欠点は屈曲性が悪くなり、重さも重くなることである。プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20間の支持突起23の作用はガラス薄膜1を支持することであり、支持突起23が厚くなるほど、その支持作用が強い。   In a preferred embodiment, the height of the protrusion 10 and the depth of the recess 20 are 100 μm or less. The higher the height of the projections 10 in the glass thin film 1 is, the more advantageous it is for maintaining the mechanical stability of the glass thin film 1 itself, but the drawback is that the flexibility becomes worse and the weight becomes heavier. In the plastic thin film 2, the function of the support protrusion 23 between the adjacent concave portions 20 is to support the glass thin film 1. The thicker the support protrusion 23, the stronger the support function.

好ましい実施形態として、前記ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さは100μm以下である。実験により、各種アルカリガラスや無アルカリガラスの厚さが100μmより小さい場合、いずれもよい屈曲可能な特性を有することが認められた。   As a preferred embodiment, the thickness of the portion other than the convex portion 10 of the glass thin film 1 is 100 μm or less. Experiments have shown that when the thickness of each alkali glass or non-alkali glass is smaller than 100 μm, all of them have good bendable characteristics.

好ましい実施形態として、前記プラスチック薄膜2は、前記ガラス薄膜1に対向して設置されるカバー部21とそれぞれカバー部21の両側に設置される2つの縁部22を含み、前記カバー部21の凹部20以外の部分の厚さは400μm以下であり、ガラス薄膜1に対する包みを満足する時、プラスチック薄膜2の厚さは薄いほどよく、透過率が増加され、屈曲性にもより有利である。   As a preferred embodiment, the plastic thin film 2 includes a cover portion 21 provided to face the glass thin film 1 and two edges 22 provided on both sides of the cover portion 21 respectively. The thickness of the portion other than 20 is 400 μm or less, and when the envelope of the glass thin film 1 is satisfied, the thinner the thickness of the plastic thin film 2 is, the better the transmittance is, and the flexibility is more advantageous.

好ましい実施形態として、前記縁部22の幅は100μmより大きく、厚さは600μm以下であり、縁部22の厚さはプラスチック薄膜2のカバー部21の厚さとガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さとの加算値と等しい。ガラス薄膜1の外縁の縁の領域を被覆することにより、欠陥の発生率を有効に低下させることができる。   In a preferred embodiment, the width of the edge 22 is greater than 100 μm and the thickness is 600 μm or less, and the thickness of the edge 22 is other than the thickness of the cover 21 of the plastic thin film 2 and the protrusion 10 of the glass thin film 1. Equal to the value added to the thickness of the part. By covering the edge region of the outer edge of the glass thin film 1, the incidence of defects can be effectively reduced.

好ましい実施形態として、前記表示基板薄膜の各所の厚さは均一であり、すなわち、ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さと、凸部10の突起の高さと、カバー部21の凹部20以外の部分の厚さとの合計は表示基板薄膜の厚さに等しく、プラスチック薄膜2の縁部22の厚さも表示基板薄膜の厚さに相等しく、かつ600μm以下である。表示基板薄膜の厚さが薄いほど、屈曲性がよりよい。一般的に、ガラス薄膜1の厚さを下げることで、表示基板薄膜全体の厚さを低下させて、可撓性を向上させるとともに表示基板薄膜全体の重さを低下させることができ、耐落下性を向上させることができる。ガラス薄膜1の厚さはただ数ミクロンである場合、表示基板薄膜の屈曲特性がプラスチック薄膜2の屈曲特性に近づく、かつガスバリア性は相変わらず普通のガラス基板に匹敵することができる。プラスチック薄膜2の厚さは表示基板薄膜の透過率に影響を与えるし、表示基板薄膜を背板以外の用途として使う場合、できるだけプラスチック薄膜2の厚さを下げて、基板全体の透過率を向上させる。   In a preferred embodiment, the thickness of the display substrate thin film at each location is uniform, that is, the thickness of the portion of the glass thin film 1 other than the convex portions 10, the height of the projections of the convex portions 10, and the concave portions 20 of the cover portion 21. The sum of the thicknesses of the other parts is equal to the thickness of the display substrate thin film, and the thickness of the edge portion 22 of the plastic thin film 2 is also equal to the thickness of the display substrate thin film and is 600 μm or less. The thinner the display substrate thin film, the better the flexibility. In general, by reducing the thickness of the glass thin film 1, the thickness of the entire display substrate thin film can be reduced, thereby improving flexibility and reducing the weight of the entire display substrate thin film. Performance can be improved. When the thickness of the glass thin film 1 is only a few microns, the bending characteristics of the display substrate thin film approach the bending characteristics of the plastic thin film 2 and the gas barrier property can still be equal to that of a normal glass substrate. The thickness of the plastic thin film 2 affects the transmittance of the display substrate thin film. When the display substrate thin film is used for purposes other than the back plate, the thickness of the plastic thin film 2 is reduced as much as possible to improve the transmittance of the entire substrate. Let it.

好ましい実施形態として、前記ガラス薄膜1の表面うねりは0.5μm/20mm以下である。前記プラスチック薄膜2の表面の粗さは2nm以下である。ガラス薄膜1の下面を表示基準面とすると、研磨によりうねりを有効に下げ、表示が基板薄膜に対する要求を満たすことができる。プラスチック薄膜2は曲げやすいので、うねりはプロセス加工過程において補正しやすく、うねりに対し、表面の粗さはもっと関心すべき指標である。   As a preferred embodiment, the surface undulation of the glass thin film 1 is 0.5 μm / 20 mm or less. The surface roughness of the plastic thin film 2 is 2 nm or less. When the lower surface of the glass thin film 1 is used as a display reference plane, the undulation is effectively reduced by polishing, and the display can satisfy the demand for the substrate thin film. Since the plastic thin film 2 is easy to bend, the undulation is easily corrected in the process of processing, and the surface roughness is a more interesting index for the undulation.

好ましい実施形態として、前記表示基板薄膜はガラス薄膜1の下面及び/或いはプラスチック薄膜2の上面に配置される電極をさらに含む。該電極は透明電極と非透明電極に分けられる。透明電極はITO材料、PEDOT材料、カーボンナノチューブ材料或いはグラフェン材料などより製造できる。非透明電極は金属電極より構成され、具体的に、例えば、アルミニウム、銀、銅などの金属電極である。電極がガラス薄膜1の表面に付着されるようにする設計の利点は高温の加工過程に耐えられることができ、表示基板薄膜の熱安定性が良いことである。温度が変化される時、プラスチック薄膜2の寸法が変更される場合でも、電極の幾何学的寸法に影響を与えることなく、高い熱安定性を有し、表示装置の解像度の向上に有利である。電極がプラスチック薄膜2の表面に付着される時に、より低い工程温度が必要であるが、電極はかなり良い屈曲可能な特性を有しており、特に有機電極材料、例えばPEDOT材料により製造された電極がプラスチック薄膜2の表面に付着される時に、より良い粘着力があり、かつ電極薄膜の均一性もよい。   In a preferred embodiment, the display substrate thin film further includes an electrode disposed on a lower surface of the glass thin film 1 and / or an upper surface of the plastic thin film 2. The electrodes are divided into transparent electrodes and non-transparent electrodes. The transparent electrode can be manufactured from an ITO material, a PEDOT material, a carbon nanotube material, a graphene material, or the like. The non-transparent electrode is composed of a metal electrode, specifically, for example, a metal electrode of aluminum, silver, copper, or the like. The advantage of the design in which the electrodes are attached to the surface of the glass thin film 1 is that it can withstand a high temperature processing process and the thermal stability of the display substrate thin film is good. When the temperature is changed, even if the dimensions of the plastic thin film 2 are changed, the plastic thin film 2 has high thermal stability without affecting the geometric dimensions of the electrodes, which is advantageous for improving the resolution of the display device. . Although lower process temperatures are required when the electrodes are deposited on the surface of the plastic film 2, the electrodes have fairly good bendable properties, especially electrodes made of organic electrode materials, such as PEDOT materials. Is better adhered to the surface of the plastic thin film 2 and the uniformity of the electrode thin film is better.

好ましい実施形態として、前記表示基板薄膜ガラス薄膜1の下面及び/或いはプラスチック薄膜2の上面に配置される薄膜トランジスタをさらに含む。該薄膜トランジスタは必要に応じて有機薄膜トランジスタ或いは無機薄膜トランジスタを用いることができ、無機薄膜トランジスタを用いる場合、ガラス薄膜1の一側に設けられると有利であり、ガラス薄膜1はより高い温度の処理過程に耐えられることができ、形状が変わらない。具体的には、例えば、a−Si(アモルファスシリコン)薄膜トランジスタ、p−Si(ポリシリコン)薄膜トランジスタ、LTPS(低温ポリシリコン)薄膜トランジスタ、IGZO(酸化インジウムガリウム亜鉛)薄膜トランジスタなどがガラス一側に設置されて、現在の製造工程の環境に適応できる。有機TFTすなわちOTFT(有機薄膜トランジスタ)を採用する場合、ガラス薄膜1或いはプラスチック薄膜2の一側に設置すれば、製造工程の環境を満たすことができるが、ガラス薄膜1の一側に設置すると、製造した能動素子の寸法の安定性及び均一性が高いので、高い解像度のディスプレイの実現に有利である。薄膜トランジスタをプラスチック薄膜2の上面に配置し、かつ無機薄膜トランジスタを用いる場合、高温の製造プロセスの要求を満たすために、プラスチック薄膜2は耐高温材料、例えばPI薄膜或いはPEN薄膜を選択するとともに、材料の熱安定性の要求を満たすように、製造プロセスに対する適当な調整が必要である。   As a preferred embodiment, the display device further includes a thin film transistor disposed on the lower surface of the glass thin film 1 and / or the upper surface of the plastic thin film 2. As the thin film transistor, an organic thin film transistor or an inorganic thin film transistor can be used as needed. In the case of using an inorganic thin film transistor, it is advantageous that the thin film film is provided on one side of the glass thin film 1, and the glass thin film 1 withstands a process at a higher temperature. And the shape does not change. Specifically, for example, an a-Si (amorphous silicon) thin film transistor, a p-Si (polysilicon) thin film transistor, an LTPS (low temperature polysilicon) thin film transistor, an IGZO (indium gallium zinc oxide) thin film transistor, and the like are installed on one side of glass. , Adaptable to current manufacturing process environment. When an organic TFT, that is, an OTFT (organic thin film transistor) is adopted, if it is installed on one side of the glass thin film 1 or the plastic thin film 2, the environment of the manufacturing process can be satisfied. The high stability and uniformity of the dimensions of the active elements provided is advantageous for realizing a high-resolution display. When a thin film transistor is disposed on the upper surface of the plastic thin film 2 and an inorganic thin film transistor is used, in order to satisfy the requirements of a high-temperature manufacturing process, the plastic thin film 2 is selected from a high-temperature-resistant material, for example, a PI thin film or a PEN thin film. Appropriate adjustments to the manufacturing process are needed to meet the requirements of thermal stability.

本発明は表示装置をさらに提供する。該表示装置は上記のいずれか一つの実施形態に記載の屈曲可能な表示基板薄膜を含む。前記表示装置は液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置であるのが好ましい。表示装置が液晶表示装置である場合、TN(ツイステッド・ネマチック型)、STN(スーパーツイステッド・ネマチック型)、IPS、PDLC、Ch−LCD、VAとFLCなどの異なる表示モードの液晶表示装置を作成することができる。その中で、TN表示モードである液晶表示装置は受動と能動の二種類に分けられる。受動表示の時に、プラスチック薄膜2の一側を液晶セルの内表面としてもよいし、ガラス薄膜1の一側を内表面、或いはプラスチック薄膜2の一側とガラス薄膜1の一側をそれぞれ内表面としてもよい。液晶セルの内表面の組み合わせは製造プロセス環境の温度が低いので、液晶セルの厚さの均一性に対する要求が高くない。能動表示の時に、ガラス薄膜1を液晶セルの内表面として使うことが好ましくて、液晶セルの製造過程における製造プロセス環境はいずれも満たすことができ、膨張率が低いので、能動素子の精度を精確に控えることができ、均等の能動素子が形成される。   The present invention further provides a display device. The display device includes the bendable display substrate thin film according to any one of the above embodiments. Preferably, the display is a liquid crystal display, an organic light emitting diode display, or an electronic paper display. When the display device is a liquid crystal display device, liquid crystal display devices having different display modes such as TN (twisted nematic type), STN (super twisted nematic type), IPS, PDLC, Ch-LCD, VA and FLC, etc. are prepared. be able to. Among them, the liquid crystal display devices in the TN display mode are classified into two types, passive and active. At the time of passive display, one side of the plastic thin film 2 may be the inner surface of the liquid crystal cell, one side of the glass thin film 1 may be the inner surface, or one side of the plastic thin film 2 and one side of the glass thin film 1 may be the inner surface. It may be. Since the combination of the inner surfaces of the liquid crystal cell has a low temperature in the manufacturing process environment, the demand for uniformity of the thickness of the liquid crystal cell is not high. At the time of active display, it is preferable to use the glass thin film 1 as the inner surface of the liquid crystal cell, and it can satisfy any of the manufacturing process environments in the manufacturing process of the liquid crystal cell and has a low expansion coefficient, so that the precision of the active element can be accurately determined. And an equivalent active element is formed.

STN、PDLC、Ch−LCD、受動VAと受動FLC液晶セルの配置方式は受動TN形式と類似し、IPS、能動FLCと能動VAはガラス薄膜1を内表面とすれば、有利であるが、このような配置方式が絶対的であるのではない。OTFT或いは有機透明電極を採用すれば、プラスチック薄膜2を液晶セルの内側表面としてもよく、液晶表示装置の屈曲可能な表示基板薄膜を2枚使ってもよいが、2枚の表示基板薄膜の屈曲方向が一致するという要求を満たす必要がある。具体的に、その中の一つの表示基板薄膜における複数の凸部10がガラス薄膜1上に縦方向に配列されると仮定すれば、もう一つの表示基板薄膜における複数の凸部10はガラス薄膜1に縦方向或いはマトリクス状に配列される。なお、その中の一つの表示基板薄膜における複数の凸部10がガラス薄膜1上に横方向に配列されると仮定すれば、もう一つの表示基板薄膜における複数の凸部10がガラス薄膜1上に横方向或いはマトリクス状に配列される。液晶表示装置は種類が多く、材料の組合せの選択性が広いので、実際の応用過程で、薄膜の特性と製造プロセス環境の要求に応じて、好ましい組合せを選択することができるが、ここでは詳しく列挙しない。どの組合せを採用しても、屈曲可能な表示基板薄膜は屈曲可能との目的を達成することができ、過度の屈曲による欠陥の発生を有効に回避できるとともに、ガスバリア性も単なるガラス基板薄膜液晶セルに比べても遜色ないレベルである。   The arrangement of STN, PDLC, Ch-LCD, passive VA and passive FLC liquid crystal cells is similar to the passive TN type, and IPS, active FLC and active VA are advantageous if the glass thin film 1 is used as the inner surface. Such an arrangement is not absolute. If an OTFT or an organic transparent electrode is employed, the plastic thin film 2 may be used as the inner surface of the liquid crystal cell, and two bendable display substrate thin films of the liquid crystal display device may be used. The requirement that the directions match must be met. Specifically, assuming that a plurality of projections 10 in one display substrate thin film are vertically arranged on the glass thin film 1, the plurality of projections 10 in another display substrate thin film are glass thin films. 1 are arranged vertically or in a matrix. Assuming that the plurality of projections 10 on one display substrate thin film are arranged in the horizontal direction on the glass thin film 1, the plurality of projections 10 on the other display substrate thin film are Are arranged horizontally or in a matrix. Since there are many types of liquid crystal display devices and a wide selection of material combinations, it is possible to select a preferred combination according to the characteristics of the thin film and the requirements of the manufacturing process environment in the actual application process. Do not enumerate. Regardless of which combination is used, the bendable display substrate thin film can achieve the purpose of being bendable, can effectively avoid the occurrence of defects due to excessive bending, and has a simple gas-barrier thin film liquid crystal cell. This level is comparable to that of.

好ましくは、前記表示装置は有機発光ダイオード表示装置でもよい。表示装置は有機発光ダイオード表示装置である場合、トップエミッション或いはボトムエミッションの表示装置に作成してもよい。有機発光ダイオード(OLED)は駆動原理により、能動表示と受動表示に分けられ、発光の材料により、高分子材料と低分子材料に分けられ、その中のパッシブ駆動は基板薄膜に対する要求が低くて、基板薄膜材料が表示の要求を満たしやすく、能動駆動のOLEDは能動駆動の液晶表示装置に比べて、OLEDが電流型の素子であるため、電荷の移動度と均一性の面においてより厳しい要求がある。   Preferably, the display may be an organic light emitting diode display. When the display device is an organic light emitting diode display device, the display device may be a top emission or bottom emission display device. Organic light-emitting diodes (OLEDs) are divided into active display and passive display according to the driving principle, and are classified into polymer materials and low-molecular materials according to light emitting materials. Since the substrate thin film material can easily meet the display requirements, the active drive OLED is a current-type element compared to the active drive liquid crystal display device, so stricter requirements are required in terms of charge mobility and uniformity. is there.

なお、OLEDを構成する材料、例えば、有機発光層、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、および電子注入層などは全部有機材料であって、酸素分子と水分子に対してより敏感であるため、表示基板薄膜のガスバリア性に対する要求も高い。液晶表示装置に係る上記の説明からわかるように、屈曲可能な表示基板薄膜は非常に適合的な形式である。   Note that the materials constituting the OLED, for example, the organic light emitting layer, the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, and the electron injection layer are all organic materials, and are more sensitive to oxygen molecules and water molecules. Due to its sensitivity, the demand for gas barrier properties of the display substrate thin film is also high. As can be seen from the above description of the liquid crystal display device, the bendable display substrate thin film is of a very suitable type.

OLEDにおいて、屈曲可能な表示基板薄膜は単層、電極、表示材料は積層型を採用したので、屈曲形式は実現しやすいようであるが、実はそうではない。ガスバリア性に対する厳しい要求で、表示基板薄膜の他に、裏側の電極に対する保護は通常薄膜或いは基板薄膜により行うことが必要であり、屈曲可能な表示基板薄膜は表示基板薄膜として使うことだけでなく、裏側の電極を保護する基板薄膜として使ってもよく、そのコストも安い。   In the OLED, a bendable display substrate thin film adopts a single layer, an electrode and a display material adopt a laminated type, so that a bend type seems to be easily realized, but it is not so. Due to strict requirements for gas barrier properties, in addition to the display substrate thin film, it is necessary to protect the backside electrode with a normal thin film or substrate thin film, and the bendable display substrate thin film is not only used as a display substrate thin film, It may be used as a substrate thin film to protect the back electrode, and its cost is low.

屈曲可能な表示基板薄膜の構成はガスバリア性薄膜の性能を有し、凸部10の配列方向が表示基板薄膜に要求された屈曲方向と一致すると、OLED表示装置全体の屈曲を実現できる。具体的には、表示基板薄膜が縦方向に曲げられる場合、ガラス薄膜1における複数の凸部10は縦方向或いはマトリクス状に配列され、表示基板薄膜が横方向に曲げられる場合、ガラス薄膜1における複数の凸部10は横方向或いはマトリクス状に配列される。フィルムコーティングのプロセスを必要とせず、効率的なガスバリア性を実現でき、OLED表示装置のコストを低下させることができる。   The structure of the bendable display substrate thin film has the performance of a gas barrier thin film. When the arrangement direction of the protrusions 10 matches the bending direction required for the display substrate thin film, the entire OLED display device can be bent. Specifically, when the display substrate thin film is bent in the vertical direction, the plurality of protrusions 10 on the glass thin film 1 are arranged in a vertical direction or in a matrix. The plurality of protrusions 10 are arranged in a horizontal direction or in a matrix. Efficient gas barrier properties can be realized without the need for a film coating process, and the cost of the OLED display device can be reduced.

好ましくは、前記表示装置は電子ペーパー表示装置であってもよい。上記の屈曲可能な表示基板薄膜を使って、駆動バッキングプレートを作成することができ、これでフレキシビリティ電子ペーパー表示のコストを有効に下げることができる。電子ペーパー表示は主にペーパーを替えるためであり、低コストは基本的な要求である。屈曲可能な表示基板薄膜は安いプラスチック薄膜2とガラス薄膜1を使用することで、該要求を満たすことができ、電子ペーパーの応用普及に条件を創造しうる。   Preferably, the display device may be an electronic paper display device. A drive backing plate can be created using the bendable display substrate thin film, thereby effectively reducing the cost of flexible electronic paper display. Electronic paper labeling is primarily for changing paper, and low cost is a fundamental requirement. The use of inexpensive plastic thin film 2 and glass thin film 1 can satisfy the demand for a flexible display substrate thin film, and can create conditions for the widespread application of electronic paper.

本発明はさらに屈曲可能な表示基板薄膜製造方法を提供する。該方法は上記に記載の前記屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる方法であって、圧延法或いは蝕刻法を利用して、上面に複数の凸部10を有するガラス薄膜1を成型するステップと、所要寸法のガラス薄膜1が得られるように、成型されたガラス薄膜1に対してレーザー切断を行うステップと、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、プラスチック薄膜2をガラス薄膜1に被覆するステップと、ラミネート法を利用して、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を一体に結合させ、その中で、ラミネート処理を行う時の加熱温度はプラスチック薄膜2の軟化点温度より高くかつガラス薄膜1の軟化点温度より低いものであるステップと、所要寸法の縁部22が得られるように、ガラス薄膜1と一体に結合されたプラスチック薄膜2に対して、レーザー切断を行うステップとを含む。ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2は板状材料を用いることが好ましく、これは精度の良い凸部10の形成に有利であり、二種類の材料を結合させる時の密着度合いの増加にも有利である。   The present invention further provides a method for manufacturing a flexible display substrate thin film. The method is a method used for manufacturing the bendable display substrate thin film described above, wherein a glass thin film 1 having a plurality of convex portions 10 on an upper surface is formed by using a rolling method or an etching method. A step of performing laser cutting on the molded glass thin film 1 so as to obtain a glass thin film 1 of a required size; a step of performing washing and drying processing on the glass thin film 1 and the plastic thin film 2; The step of coating the glass thin film 1 with the thin film 2 and the laminating method are used to integrally bond the glass thin film 1 and the plastic thin film 2, and the heating temperature during the laminating process is such that the plastic thin film 2 is softened. A step which is higher than the point temperature and lower than the softening point temperature of the glass thin film 1, and integrally formed with the glass thin film 1 so as to obtain an edge 22 having a required size. Against the plastic film 2 which is engaged, and a step of performing laser cutting. The glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are preferably made of a plate-like material, which is advantageous for forming the convex portion 10 with high accuracy, and is also advantageous for increasing the degree of adhesion when combining two types of materials. .

同時に、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2において若干の欠陥があるとしても、製造方法の加熱加工過程において、自動的に修復できる。通常、積層過程において、接着剤を使う必要がなく、単なる加熱によって結合させることができるが、積層されたプラスチック薄膜2とガラス薄膜1が直接に粘着するのが難しい場合、透明接着剤を使って粘着してもよい。   At the same time, even if the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 have some defects, they can be automatically repaired in the heating process of the manufacturing method. Usually, in the laminating process, it is not necessary to use an adhesive, and the bonding can be performed by mere heating. However, when it is difficult to directly adhere the laminated plastic thin film 2 and the glass thin film 1, a transparent adhesive is used. May be sticky.

本発明は、製造プロセスが簡単で、優れたガスバリア性を有し、コストも安い。ガラス薄膜1の厚さの調整が便利で、屈曲可能な表示基板薄膜の重さを下げやすく、薄膜を介した緩衝作用により、屈曲可能な表示基板薄膜の耐落下衝撃性と機械衝撃性能が著しく向上された。ガラス薄膜1の表面に凸部10を付着することは、ガラス薄膜1の厚さを著しく増加させることに相当し、表示基板薄膜の耐熱衝撃の能力を向上させる。ガラス薄膜1の縁に凸部10を布設することに加えて、プラスチック薄膜2で被覆することにより、縁の欠陥が生じることを有効に回避した。   The present invention has a simple manufacturing process, has excellent gas barrier properties, and is inexpensive. Adjustment of the thickness of the glass thin film 1 is convenient, the weight of the bendable display substrate thin film is easily reduced, and the shock resistance through the thin film significantly reduces the drop impact resistance and mechanical shock performance of the bendable display substrate thin film. Improved. The attachment of the projections 10 to the surface of the glass thin film 1 is equivalent to significantly increasing the thickness of the glass thin film 1, and improves the thermal shock resistance of the display substrate thin film. In addition to laying the protrusions 10 on the edge of the glass thin film 1 and coating with the plastic thin film 2, the generation of edge defects was effectively avoided.

ガラス薄膜1に凸部10を設け、及びプラスチック薄膜2に凹部20を設けることにより、曲げすぎの欠陥を有効に回避でき、屈曲可能な表示基板薄膜の耐熱衝撃と機械衝撃の性能を向上させる一方、ガラス薄膜1は水蒸気や酸素を遮断する役割を果たすことができる。   By providing the convex portion 10 in the glass thin film 1 and the concave portion 20 in the plastic thin film 2, it is possible to effectively avoid overbending defects and to improve the thermal shock resistance and mechanical shock performance of the bendable display substrate thin film. In addition, the glass thin film 1 can play a role of blocking water vapor and oxygen.

プラスチック薄膜2を内側表面とする場合、縁部突起11の設置により、プラスチックの縁からの酸素、水分の浸み込みが低下またはほとんど遮断されるので、表示基板薄膜全体のガスバリア性を実現でき、高価の真空コーティング無機薄膜を用いる必要がない上、ガラス薄膜1の欠陥も回避でき、製造プロセス環境に対する耐性を向上させることができ、低コストの屈曲可能な表示を実現できる。   When the plastic thin film 2 is used as the inner surface, the infiltration of oxygen and moisture from the edge of the plastic is reduced or almost blocked by the provision of the edge projections 11, so that the gas barrier properties of the entire display substrate thin film can be realized. It is not necessary to use an expensive vacuum-coated inorganic thin film, the defects of the glass thin film 1 can be avoided, the resistance to the manufacturing process environment can be improved, and a low-cost flexible display can be realized.

作成されたOLED表示装置は単一のガラス薄膜1と比べて、同じ寿命の表示性能を有するので、特に長寿命の表示装置の製造に適応できる。ガラス薄膜1の凸部10とプラスチック薄膜2の凹部20により高線膨張係数を有するプラスチック薄膜2の熱膨張が控えられ、線膨張係数が小さい表示基板薄膜材料を得ることができるので、高解像度の表示装置への応用に適応できる。   The produced OLED display device has the same lifetime display performance as the single glass thin film 1 and is therefore particularly applicable to the production of a long-life display device. The convex portion 10 of the glass thin film 1 and the concave portion 20 of the plastic thin film 2 suppress the thermal expansion of the plastic thin film 2 having a high linear expansion coefficient, and a display substrate thin film material having a small linear expansion coefficient can be obtained. Applicable to display devices.

一般的に、ガラス薄膜1の断裂は、応力が表面の微小な欠陥に集中されて起こるものであり、ガラス薄膜1の厚さが薄くなるほど、断裂が生じやすくなるため、薄型化を実現することが難しい。本発明の表示基板薄膜はガラス薄膜1の表面に適当な形状と密度の凸部10が設置されて、ガラス薄膜1自身の強さと靱性を著しく強化させるとともに、プラスチック薄膜2が外力の衝撃による影響を低減させ、変形する時、欠陥方向に向ける破断応力が緩和されるので、可撓性に優れた基板を得ることができ、さらに2次加工性と操作性を著しく向上させることができる。   In general, the tearing of the glass thin film 1 occurs when stress is concentrated on minute defects on the surface, and the thinner the glass thin film 1 is, the more easily the glass thin film 1 is broken. Is difficult. In the display substrate thin film of the present invention, a convex portion 10 having an appropriate shape and density is provided on the surface of the glass thin film 1 to remarkably enhance the strength and toughness of the glass thin film 1 itself, and the plastic thin film 2 is affected by external force. When the substrate is deformed, the rupture stress directed to the defect direction is reduced, so that a substrate having excellent flexibility can be obtained, and the secondary workability and operability can be significantly improved.

本発明は、過度の屈曲による基板薄膜の欠陥の発生を回避でき、強い剛性、低い膨張率とよい平面の延性などの利点を有するとともに、優れた酸素や水蒸気を遮断する性能を兼備し、非透明或いは透明の形式いずれによっても実現できるし、製造工程が簡単で、低コスト、及び耐高温のプラスチック薄膜2材料を使うことで、基板薄膜にも耐高温性を有するようにする等の特徴がある。コストが安く、安定性が高くて、外力の衝撃による優性や劣性の欠陥を回避でき、強固耐用である。   The present invention can avoid the occurrence of defects in the substrate thin film due to excessive bending, has advantages such as strong rigidity, low expansion coefficient and good flat ductility, and has excellent performance of blocking oxygen and water vapor. It can be realized in either transparent or transparent form, and the manufacturing process is simple, low cost, and by using high temperature resistant plastic thin film 2 material, the substrate thin film has high temperature resistance. is there. It is inexpensive, has high stability, can avoid dominant and inferior defects due to the impact of external force, and has strong durability.

本発明のガラス薄膜1の縁(側面)は全周に渡ってプラスチック薄膜2に囲まれており、プラスチック薄膜2とガラス薄膜1は加熱接着又は透明接着剤により一体に結合され、ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2の表面は平滑平面である。アルカリガラスと無アルカリガラスの材料でガラス薄膜1を作成するのが好ましく、PET、PEN、TACとPIなどの材料でプラスチック薄膜2を作成することが好ましい。   The edge (side surface) of the glass thin film 1 of the present invention is surrounded by a plastic thin film 2 over the entire circumference, and the plastic thin film 2 and the glass thin film 1 are integrally bonded by heat bonding or a transparent adhesive. The surface of the plastic thin film 2 is a smooth plane. It is preferable that the glass thin film 1 is made of a material of alkali glass and non-alkali glass, and it is preferable that the plastic thin film 2 is made of a material such as PET, PEN, TAC and PI.

次に、各構造の具体的な寸法に関連して、本発明に記載の表示基板薄膜の応用例を説明する。具体的には、ガラス薄膜1(凸部10を含む)は無アルカリガラスを用い、プラスチック薄膜2はPEN材料を用いる。   Next, application examples of the display substrate thin film according to the present invention will be described in relation to specific dimensions of each structure. Specifically, the glass thin film 1 (including the convex portion 10) uses non-alkali glass, and the plastic thin film 2 uses a PEN material.

図2、図3に示すように、凸部10は三角柱形状であって、かつガラス薄膜1の表面において横方向に配列されるように設定し、縦断面が二等辺三角形である三角柱形状であり、隣接する凸部10間の中心間の距離Wが80μmであり、隣接する凹部20の間の支持突起23の最大幅が80μmであり、凸部10の最大幅Wが80μmであり、凸部10の高さhが100μmである。 As shown in FIGS. 2 and 3, the protrusions 10 have a triangular prism shape and are set so as to be arranged in the horizontal direction on the surface of the glass thin film 1, and have a triangular prism shape having a vertical cross section of an isosceles triangle. , the distance W is 80 [mu] m between the centers between the convex portions 10 adjacent a maximum width 80 [mu] m of the support projections 23 between adjacent recesses 20, the maximum width W g of the convex portion 10 is 80 [mu] m, convex The height h of the part 10 is 100 μm.

表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる場合、プラスチック薄膜2を省略する条件下で、ガラス薄膜1の凸部10の曲率半径Rは108μmである。ガラス薄膜1の屈曲性能を解析する時、Corning(登録商標)Willow(登録商標)ガラスを参照として、厚さが100μmである場合の曲率半径は180mmであり、厚さが200μmである場合の曲率半径は370mmである。ガラス薄膜1の凸部10の曲率半径R=108μmでかなり小さいので、凸部10はガラス薄膜1の屈曲性能に影響を与えない。 If the display substrate film is bent to one side of the plastic film 2, under conditions omitted plastics film 2, the curvature radius R g of the convex portion 10 of the glass film 1 is 108Myuemu. When analyzing the bending performance of the glass thin film 1, with reference to Corning (registered trademark) Willow (registered trademark) glass, the radius of curvature when the thickness is 100 μm is 180 mm, and the radius of curvature when the thickness is 200 μm. The radius is 370 mm. Since the radius of curvature R g of the convex portion 10 of the glass thin film 1 is considerably small at 108 μm, the convex portion 10 does not affect the bending performance of the glass thin film 1.

プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間の支持突起23がガラス薄膜1における凸部10とともに作用して、100μm程度の厚さの混合層を形成し、その屈曲性能は主にガラス薄膜1における凸部10の屈曲性能によって決定される。   In the plastic thin film 2, the support protrusions 23 between the adjacent concave portions 20 work together with the convex portions 10 in the glass thin film 1 to form a mixed layer having a thickness of about 100 μm. It is determined by the bending performance of the projection 10.

表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側に曲げられる時、プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間にある支持突起23は緩衝の作用を演じる。プラスチック薄膜2の塑性変形を省略する条件下において、プラスチック薄膜2の支持突起23はガラス薄膜1を支持する作用を演じ、ガラス薄膜1の曲げ過ぎ欠陥が発生しないように確保する。同様に、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況において、表示基板薄膜は縦方向への可撓性を有し、W=W=Wである場合、ガラス薄膜1の存在を省略する条件下で、プラスチック薄膜2の曲率半径はR=(h+W /4)0.5となり、R=108μmが得られる。プラスチック薄膜2における支持突起23とガラス薄膜1における凸部10は同じ曲率半径を有するが、これは変形を省略するとの仮定条件に基づいて、幾何学的形状から考えて得られた結論である。 When the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2, the support protrusions 23 between the adjacent recesses 20 in the plastic thin film 2 play a buffering action. Under the condition that the plastic deformation of the plastic thin film 2 is omitted, the support protrusions 23 of the plastic thin film 2 play the function of supporting the glass thin film 1 and ensure that the glass thin film 1 is not over-bent. Similarly, in a situation where the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the display substrate thin film has flexibility in the longitudinal direction, and when W = W p = W g , the presence of the glass thin film 1 under conditions omitted, the radius of curvature of the plastic film 2 is R p = (h 2 + W p 2/4) 0.5 , and the the R p = 108μm obtained. The support protrusion 23 in the plastic thin film 2 and the convex portion 10 in the glass thin film 1 have the same radius of curvature, which is a conclusion obtained from a geometrical shape based on the assumption that deformation is omitted.

実際は、プラスチック材料の弾性変形の範囲が大きく、従って実際の応用過程においてRが108μmよりかなり小さい。ガラス薄膜1における凸部10の存在、かつガラス薄膜1の塑性変形も省略してもよいので、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる時、ガラス薄膜1における凸部10がプラスチック薄膜2に対して、支持の役割を果たすので、プラスチック薄膜2は同様に過度の屈曲が生じることはなく、ガラス薄膜1に欠陥が発生しないことが確保できる。 In fact, large range of elastic deformation of the plastic material and therefore practical applications R p in the process is much smaller than 108μm. When the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the convex portion 10 in the glass thin film 1 is formed of a plastic thin film because the presence of the convex portion 10 in the glass thin film 1 and the plastic deformation of the glass thin film 1 may be omitted. Since the plastic thin film 2 serves as a support for the plastic thin film 2, the plastic thin film 2 similarly does not bend excessively, and it can be ensured that no defect occurs in the glass thin film 1.

ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さtは100μmであって、プラスチック薄膜2の凹部20以外の部分の厚さtは200μmである場合、表示基板薄膜全体の厚さは400μmであり、屈曲可能な曲率半径はガラス薄膜1の曲率半径に依存する。 The thickness t g of the portions other than the convex portion 10 of the glass film 1 is a 100 [mu] m, if the thickness t p of the portion other than the recess 20 of the plastic film 2 is 200 [mu] m, the total thickness of the display substrate film 400μm The bendable radius of curvature depends on the radius of curvature of the glass thin film 1.

図4、図5に示すように、凸部10は四角柱形状で、かつガラス薄膜1の表面に横方向に配列される場合、縦断面が同脚台形である四角柱形状が好ましく、同脚台形の上底幅Wg0=40μmであり、隣接する凸部10の間の中心間距離W=80μmであり、隣接する凹部20の間の支持突起23の最大幅W=80μmであり、凸部10の最大幅(同脚台形の下底幅)W=80μmであり、凸部10の高さh=100μmであって、屈曲可能な表示基板薄膜が縦方向への可撓性を有する。 As shown in FIG. 4 and FIG. 5, when the protrusions 10 are square pillars and are arranged in the horizontal direction on the surface of the glass thin film 1, the pillars preferably have the same vertical cross section as a trapezoid. The trapezoidal upper base width W g0 = 40 μm, the center-to-center distance W between adjacent protrusions 10 is 80 μm, and the maximum width W p = 80 μm of the support protrusion 23 between the adjacent recesses 20 is convex. The maximum width of the portion 10 (lower bottom width of the trapezoid of the same leg) W g = 80 μm, the height h of the convex portion 10 = 100 μm, and the bendable display substrate thin film has flexibility in the vertical direction. .

W=W=Wである場合、プラスチック薄膜2の存在を省略する条件下で、表示基板薄膜がプラスチック薄膜2の一側へ曲げられる場合、ガラス薄膜1の曲率半径がR=[W /{(W−Wg0+W /4}]0.5=204μmとなる。該曲率半径は、三角柱形状の凸部10の曲率半径108μmより大きいが、厚さが100μmのガラス薄膜1の曲率半径よりはかなり小さいので、凸部10がガラス薄膜1の屈曲性能に影響を与えない。 When W = W p = W g , the radius of curvature of the glass thin film 1 is R g = [W when the display substrate thin film is bent to one side of the plastic thin film 2 under the condition that the presence of the plastic thin film 2 is omitted. g 2 h 2 / {(W g -W g0) 2 + W g 2/4}] becomes 0.5 = 204μm. The radius of curvature is larger than the radius of curvature of the triangular prism-shaped convex portion 108, but is significantly smaller than the radius of curvature of the glass thin film 1 having a thickness of 100 μm, so that the convex portion 10 affects the bending performance of the glass thin film 1. Absent.

プラスチック薄膜2において、隣接する凹部20の間の支持突起23がガラス薄膜1における凸部10とともに作用して、100μm程度の厚さの混合層を形成し、その屈曲性能は主にガラス薄膜1における凸部10の屈曲性能によって決定される。プラスチック薄膜2において隣接する凹部20の間にある支持突起23は緩衝作用を有し、プラスチック薄膜2の塑性変形を省略する条件下で、プラスチック薄膜2の支持突起23はガラス薄膜1を支持する役割を果たすことで、ガラス薄膜1に過度の屈曲の欠陥が発生しないように確保する。   In the plastic thin film 2, the support protrusions 23 between the adjacent concave portions 20 work together with the convex portions 10 in the glass thin film 1 to form a mixed layer having a thickness of about 100 μm. It is determined by the bending performance of the projection 10. The support protrusions 23 between the adjacent recesses 20 in the plastic thin film 2 have a buffering function, and the support protrusions 23 of the plastic thin film 2 support the glass thin film 1 under the condition that plastic deformation of the plastic thin film 2 is omitted. By performing the above, it is ensured that the glass thin film 1 does not have excessive bending defects.

同様に、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる状況において、表示基板薄膜が縦方向への可撓性を有し、W=W=Wである場合、ガラス薄膜1の存在を省略する条件下で、プラスチック薄膜2の曲率半径R=[W /{(W−WP0+W /4}]0.5=204μmである。ガラス薄膜1において凸部10が存在し、かつガラス薄膜1の塑性変形を省略してもよいので、表示基板薄膜がガラス薄膜1の一側に曲げられる時、ガラス薄膜1における凸部10がプラスチック薄膜2に対して、支持の役割を果たすことになり、プラスチック薄膜2も同様に過度の屈曲が発生することなく、ガラス薄膜1に欠陥が発生しないように確保できる。 Similarly, in a situation where the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1 and the display substrate thin film has flexibility in the longitudinal direction and W = W p = W g , the presence of the glass thin film 1 under conditions omitted, the curvature of the plastic film 2 radius R P = [W P 2 h 2 / {(W P -W P0) 2 + W P 2/4}] is 0.5 = 204μm. When the display substrate thin film is bent to one side of the glass thin film 1, the convex portion 10 in the glass thin film 1 is made of plastic because the convex portion 10 exists in the glass thin film 1 and the plastic deformation of the glass thin film 1 may be omitted. The plastic thin film 2 also plays a role of supporting the thin film 2, so that the plastic thin film 2 can also be secured so that no excessive bending occurs and no defect occurs in the glass thin film 1.

表示基板薄膜の曲率半径の点から見ると、四角柱形状の凸部10の曲率半径が三角柱形状の凸部10の曲率半径より大きいことが必要なので、ガラス薄膜1の屈曲性能が低い時、四角柱形状の凸部10を採用すると、屈曲可能な表示基板薄膜の屈曲過ぎの発生をもっとよく回避することができる。ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さtが100μmであり、プラスチック薄膜2の凹部20以外の部分の厚さtが200μmである場合、表示基板薄膜全体の厚さは400μmになり、屈曲可能な曲率半径はガラス薄膜1の曲率半径に依存する。 From the viewpoint of the radius of curvature of the display substrate thin film, it is necessary that the radius of curvature of the quadrangular prism-shaped convex portion 10 is larger than the radius of curvature of the triangular prism-shaped convex portion 10. When the prism-shaped projection 10 is employed, it is possible to further prevent the bendable display substrate thin film from being excessively bent. The thickness t g of the portions other than the convex portion 10 of the glass film 1 is the 100 [mu] m, when the thickness t p of the portion other than the recess 20 of the plastic film 2 is 200 [mu] m, the total thickness of the display substrate film to 400μm The bendable radius of curvature depends on the radius of curvature of the glass thin film 1.

図6に示すように、凸部10が四角錐形状で、かつガラス薄膜1の表面においてマトリクス状に配列される場合、凸部10の四角錐形状の幾何学的寸法は以下のとおりである。即ち、底面辺長が80μmであり、高さが100μmであり、各凸部10の間の縦方向の中心間距離或いは横方向の中心間距離が120μmであり、ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さが100μmであり、プラスチック薄膜2の凹部20以外の部分の厚さが200μmであって、プラスチック薄膜2の凹部20においても、幾何学的寸法として、底面辺長が80μmで、高さが100μmである。表示基板薄膜全体の厚さは400μmで、曲率半径はガラス薄膜1によって決まれ、最も最適な屈曲方向は四角錐形状の底辺方向に沿う方向である。   As shown in FIG. 6, when the protrusions 10 are square pyramid and are arranged in a matrix on the surface of the glass thin film 1, the geometrical dimensions of the square pyramid of the protrusions 10 are as follows. That is, the bottom side length is 80 μm, the height is 100 μm, the vertical center distance or the horizontal center distance between the convex portions 10 is 120 μm, and the other than the convex portions 10 of the glass thin film 1 Is 100 μm, the thickness of the portion other than the concave portion 20 of the plastic thin film 2 is 200 μm, and the concave portion 20 of the plastic thin film 2 also has a bottom surface side length of 80 μm as a geometric dimension. The height is 100 μm. The thickness of the entire display substrate thin film is 400 μm, the radius of curvature is determined by the glass thin film 1, and the most optimal bending direction is the direction along the base of the quadrangular pyramid.

図7に示すように、凸部10が四角錐台形状で、かつガラス薄膜1の表面においてマトリクス状に配列される場合、凸部10の四角錐台形状の幾何学的寸法が以下のとおりである。上底面の辺長が40μmであり、下底面の辺長が80μmであり、高さが100μmであり、各凸部10の上底面の間の中心間距離が120μmであり、或いは、各凸部10の下底面の間の中心間距離が120μmであり、ガラス薄膜1の凸部10以外の厚さが100μmであり、プラスチック薄膜2の凹部20以外の厚さが200μmであって、プラスチック薄膜2の凹部20においても、幾何学的寸法として、上底面の辺長が40μmであり、下底面の辺長が80μmであり、高さが100μmである。屈曲可能な表示基板薄膜全体の厚さが400μmで、屈曲可能な曲率半径がガラス薄膜1によって決定され、最も好ましい屈曲方向は四角錐台の底辺後方に沿う方向である。   As shown in FIG. 7, when the protrusions 10 have a truncated quadrangular pyramid shape and are arranged in a matrix on the surface of the glass thin film 1, the geometrical dimensions of the truncated pyramid shape of the protrusions 10 are as follows. is there. The side length of the upper bottom surface is 40 μm, the side length of the lower bottom surface is 80 μm, the height is 100 μm, the center-to-center distance between the upper bottom surfaces of the projections 10 is 120 μm, or 10, the thickness of the glass thin film 1 other than the projections 10 is 100 μm, the thickness of the plastic thin film 2 other than the recesses 20 is 200 μm, and the thickness of the plastic thin film 2 is 100 μm. The concave portion 20 also has, as geometric dimensions, a side length of the upper bottom surface of 40 μm, a side length of the lower bottom surface of 80 μm, and a height of 100 μm. The total thickness of the bendable display substrate thin film is 400 μm, the bendable radius of curvature is determined by the glass thin film 1, and the most preferable bending direction is a direction along the rear of the base of the truncated pyramid.

図8、図9に示すように、凸部10が球冠形状で、かつガラス薄膜1の表面においてマトリクス状に配列される場合、凸部10の球冠形状の幾何学的寸法は以下のとおりである。底面半径が120μmであり、高さが100μmであり、各凸部10の底面の間の中心間距離が160μmであり、ガラス薄膜1の凸部10以外の厚さが100μmであり、プラスチック薄膜2の凹部20以外の厚さが200μmであって、プラスチック薄膜2の凹部20の球冠形状においても、幾何学的寸法として、底面半径が100μmであり、高さが100μmであり、各凸部10の底面中心間距離が160μmである。屈曲可能な表示基板薄膜全体の厚さが400μmであり、屈曲可能な曲率半径はガラス薄膜1によって決定され、最も好ましい屈曲方向はなく、各屈曲方向においてほとんど同じである。   As shown in FIGS. 8 and 9, when the protrusions 10 have a crown shape and are arranged in a matrix on the surface of the glass thin film 1, the geometrical dimensions of the crown shape of the protrusions 10 are as follows. It is. The bottom radius is 120 μm, the height is 100 μm, the center-to-center distance between the bottom surfaces of the projections 10 is 160 μm, the thickness of the glass thin film 1 other than the projections 10 is 100 μm, and the plastic thin film 2 Of the concave portion 20 of the plastic thin film 2 has a bottom radius of 100 μm, a height of 100 μm, and a height of 100 μm. Is 160 μm. The total thickness of the bendable display substrate thin film is 400 μm, and the bendable radius of curvature is determined by the glass thin film 1. There is no most preferable bending direction and almost the same in each bending direction.

前記ガラス薄膜1の上面において、縁部突起11がさらに設けられて、前記縁部突起11は前記ガラス薄膜1の縁の所定距離範囲内に位置される。これらの縁部突起11は、各種の欠陥の発生を有効に低下させることができる。実際状況に応じて、突起の断面の形状を三角形、台形、円弧形状、半円形或いは半楕円形状に設けることができる。具体的な実施例において、断面の形状は半円形に設けられ、その半径が100μmであり、高さが100μmである。縁部突起11もガラス薄膜1における突起の形状、分布方向、密度の設置を参照して設けてもよいが、必ずしも最も好適な保護効果を持つものではないという欠点がある反面、利点としては任意の面積の基板薄膜と整合でき、且つ屈曲性能も基板薄膜と一致する。ガラス縁の突起の高さとガラス薄膜1の厚さの合計が100μmより小さい場合、縁部突起11を密閉形状に設置すると、欠陥の発生をより有効に回避できるとともに、屈曲性能にも影響を与えない。   An edge protrusion 11 is further provided on the upper surface of the glass thin film 1, and the edge protrusion 11 is located within a predetermined distance from an edge of the glass thin film 1. These edge projections 11 can effectively reduce the occurrence of various defects. Depending on the actual situation, the cross section of the projection can be provided in a triangular, trapezoidal, arcuate, semicircular or semielliptical shape. In a specific embodiment, the cross-sectional shape is provided in a semicircular shape, the radius is 100 μm, and the height is 100 μm. The edge projections 11 may be provided with reference to the shape, distribution direction, and density of the projections on the glass thin film 1. However, the edge projections 11 have a disadvantage that they do not necessarily have the most suitable protective effect, but have an advantage as an optional feature. , And the bending performance also matches that of the substrate thin film. When the sum of the height of the projections on the glass edge and the thickness of the glass thin film 1 is smaller than 100 μm, when the edge projections 11 are installed in a closed shape, the generation of defects can be more effectively avoided and the bending performance is affected. Absent.

なお、受動の表示素子に対して、アルカリガラス、例えば、ナトリウムガラスと中性ホウケイ酸ガラスを用いれば、コストを有効に低下させることができる。能動素子に対しては、良い化学的安定性と電気的絶縁性を有する無アルカリガラス、主に無アルカリアルミノケイ酸塩ガラスを採用する。プラスチック薄膜2の縁部22の幅は500μmを選択するのが好ましい。ガラス薄膜1の表面を表示基準面とする場合、研磨により、ガラス薄膜1の表面うねりを0.3μm/20mmになるようにする。   The cost can be effectively reduced by using alkali glass, for example, sodium glass and neutral borosilicate glass for the passive display element. For the active element, an alkali-free glass having good chemical stability and electrical insulation, mainly an alkali-free aluminosilicate glass, is adopted. The width of the edge 22 of the plastic thin film 2 is preferably selected to be 500 μm. When the surface of the glass thin film 1 is used as a display reference plane, the surface undulation of the glass thin film 1 is adjusted to 0.3 μm / 20 mm by polishing.

以下、具体的な製造方法のステップに関連して本発明に記載の表示基板薄膜の製造方法の応用例を説明する。   Hereinafter, an application example of the method of manufacturing a display substrate thin film according to the present invention will be described with reference to specific steps of the manufacturing method.

厚さが0.3mmであるガラス基板を溶融して、圧延法で複数の三角柱形状の凸部10を有するガラス薄膜1を形成し、その中に、ガラス薄膜1の凸部10以外の厚さが100μmであり、凸部10の高さが100μmであり、凸部10の最大幅が100μmである。成型されたガラス薄膜1に対して、レーザー切断を行い、所要寸法のガラス薄膜1を得るが、その過程において、ガラス薄膜1の縁の縦方向が三角柱形状の突起形状となって、横方向の突起の分布密度と方向がガラス薄膜1の内部と一致するように確保する。   A glass substrate having a thickness of 0.3 mm is melted to form a glass thin film 1 having a plurality of triangular prism-shaped protrusions 10 by a rolling method. Is 100 μm, the height of the projection 10 is 100 μm, and the maximum width of the projection 10 is 100 μm. Laser cutting is performed on the molded glass thin film 1 to obtain a glass thin film 1 having a required size. In the process, the edge of the glass thin film 1 has a triangular prism-like projection, and the glass thin film 1 has a horizontal projection. It is ensured that the distribution density and direction of the projections coincide with the inside of the glass thin film 1.

ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2に対して、洗浄及び乾燥を行った後、プラスチック薄膜2の外縁がガラス薄膜1より1mm大きいように、厚さが400μmのプラスチック薄膜2をガラス薄膜1に被覆する。続いて、ラミネート法でガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を一体に結合させて、レーザー切断によりプラスチック薄膜2の縁部22の幅が500μm、プラスチック薄膜2の縁部22の厚さが350μmになるように補正を行う。その後、ガラス薄膜1の表面うねりが0.3μm/20mm、屈曲可能な表示基板薄膜全体の厚さが350μmとなるようにガラス薄膜1の表面に対して、研磨を行う。   After the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are washed and dried, the plastic thin film 2 is coated with a 400 μm thick plastic thin film 2 so that the outer edge of the plastic thin film 2 is 1 mm larger than the glass thin film 1. Subsequently, the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are integrally bonded by a lamination method, and the width of the edge 22 of the plastic thin film 2 is 500 μm and the thickness of the edge 22 of the plastic thin film 2 is 350 μm by laser cutting. Correction. Thereafter, the surface of the glass thin film 1 is polished so that the surface undulation of the glass thin film 1 is 0.3 μm / 20 mm and the thickness of the bendable display substrate thin film is 350 μm as a whole.

蝕刻法で厚さが100μmのガラス基板上に複数の四角柱形状の凸部10を形成し、その中で、ガラス薄膜1の凸部10以外の部分の厚さが50μm、凸部10の高さが50μm、凸部10の最大幅が50μmであり、ガラス薄膜1の縁の密閉突起が三角柱形状であり、その高さが50μm、幅が50ミクロンである。成型されたガラス薄膜1に対して、レーザー切断を行うことで所要寸法のガラス薄膜1が得られるが、得られたガラスの周りが三角柱形状の突起で取り囲まれるようにする。   A plurality of quadrangular prism-shaped protrusions 10 are formed on a glass substrate having a thickness of 100 μm by an etching method, and the thickness of the portion other than the protrusions 10 of the glass thin film 1 is 50 μm, and the height of the protrusions 10 is high. Is 50 μm, the maximum width of the projection 10 is 50 μm, the sealing projection at the edge of the glass thin film 1 is a triangular prism, and the height is 50 μm and the width is 50 μm. Laser cutting is performed on the formed glass thin film 1 to obtain a glass thin film 1 having a required size. The obtained glass is surrounded by triangular prism-shaped projections.

ガラス薄膜1とプラスチック薄膜2に対して、洗浄及び乾燥を行った後、プラスチック薄膜2の外縁がガラス薄膜1よりも1mm大きいように、厚さが200μmのプラスチック薄膜2をガラス薄膜1に被覆する。続いて、ラミネート法でガラス薄膜1とプラスチック薄膜2を一体に結合させて、レーザー切断によりプラスチック薄膜2の縁部22の幅が500μm、プラスチック薄膜2の縁部22の厚さが200μmになるように補正を行う。その後、ガラス薄膜1の表面うねりが0.5μm/20mm、屈曲可能な表示基板薄膜全体の厚さが200μm、プラスチック薄膜2の厚さが100μmになるようにガラス薄膜1の表面に対して、研磨を行う。   After the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are washed and dried, the plastic thin film 2 having a thickness of 200 μm is coated on the glass thin film 1 so that the outer edge of the plastic thin film 2 is 1 mm larger than the glass thin film 1. . Subsequently, the glass thin film 1 and the plastic thin film 2 are integrally bonded by a laminating method, and the width of the edge 22 of the plastic thin film 2 is 500 μm and the thickness of the edge 22 of the plastic thin film 2 is 200 μm by laser cutting. Correction. Then, the surface of the glass thin film 1 is polished so that the surface undulation of the glass thin film 1 is 0.5 μm / 20 mm, the thickness of the flexible display substrate thin film is 200 μm, and the thickness of the plastic thin film 2 is 100 μm. I do.

上記の表示基板薄膜の製造方法において、前記プラスチック薄膜2はいずれもPEN材料を採用し、ラミネート法で薄膜を積層する時の温度は300°Cにする。これによりプラスチック薄膜2をガラス薄膜1の表面に均一に被覆させた構造が形成される。   In the above method of manufacturing a display substrate thin film, the plastic thin film 2 employs a PEN material, and the temperature at which the thin films are laminated by the lamination method is set to 300 ° C. Thereby, a structure in which the plastic thin film 2 is uniformly coated on the surface of the glass thin film 1 is formed.

以上は、本発明の好適な実施形態に関連して説明したが、本発明の技術形態の範囲は上述したものに限らない。当業者であれば、本発明に開示した技術範囲内において、本発明の構成及び構想に基づいて行う同等な変わりと変更は本発明の技術形態の範囲内に含まれる。   Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, the scope of the technical form of the present invention is not limited to the above. For those skilled in the art, equivalent changes and modifications made based on the configuration and concept of the present invention within the technical scope disclosed in the present invention are included in the technical form of the present invention.

(付記)
(付記1)
上面に複数の凸部を有するガラス薄膜と、
前記ガラス薄膜を被覆するプラスチック薄膜と、を備え、
前記プラスチック薄膜は、下面に複数の前記凸部を収納するための凹部を有する、ことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜。
(Note)
(Appendix 1)
A glass thin film having a plurality of convex portions on the upper surface,
And a plastic thin film covering the glass thin film,
The flexible display substrate thin film, wherein the plastic thin film has a concave portion for accommodating a plurality of the convex portions on a lower surface.

(付記2)
複数の前記凸部はガラス薄膜の上面において、横方向、縦方向、或いはマトリクス状に配列されることを特徴とする付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Appendix 2)
The bendable display substrate thin film according to claim 1, wherein the plurality of protrusions are arranged in a horizontal direction, a vertical direction, or a matrix on the upper surface of the glass thin film.

(付記3)
前記複数の凸部がガラス薄膜の上面において横方向或いは縦方向に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に前記凸部が設けられ、前記複数の凸部がガラス薄膜の上面においてマトリクス状に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に縁部突起が設けられることを特徴とする付記2に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Appendix 3)
When the plurality of protrusions are arranged in a horizontal direction or a vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the protrusions are provided within a range having a predetermined distance from an edge of the glass thin film, and the plurality of protrusions are formed of the glass thin film. 3. The bendable display substrate thin film according to claim 2, wherein an edge projection is provided within a range having a predetermined distance from an edge of the glass thin film when arranged in a matrix on the upper surface of the thin film.

(付記4)
前記複数の凸部がガラス薄膜の上面に横方向或いは縦方向に配列される時、前記凸部は半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状であり、前記複数の凸部がガラス薄膜の上面にマトリクス状に配列される時、前記凸部は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状或いは立方体形状であることを特徴とする付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Appendix 4)
When the plurality of protrusions are arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the protrusions have a semi-cylindrical shape, a triangular prism shape, a quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape or a cubic shape, and the plurality of convex portions are formed. Wherein the convex portions have a quadrangular pyramid shape, a truncated quadrangular pyramid shape, a spherical crown shape, or a cubic shape when are arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film. Thin film.

(付記5)
前記プラスチック薄膜は、前記ガラス薄膜の上面に対向して設置されるカバー部と前記ガラス薄膜の側面に対向して設置される縁部を備えることを特徴とする付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Appendix 5)
2. The bendable display according to claim 1, wherein the plastic thin film includes a cover portion provided to face an upper surface of the glass thin film and an edge portion provided to face a side surface of the glass thin film. Substrate thin film.

(付記6)
前記凸部の突起の高さ、及び凹部の陥凹の深さはいずれも100μm以下であり、前記ガラス薄膜の凸部以外の部分の厚さは100μm以下であり、
前記屈曲可能な表示基板薄膜は、
ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置される電極と、
ガラス薄膜の下面及び/或いはプラスチック薄膜の上面に配置される薄膜トランジスタと、をさらに備えることを特徴とする付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Appendix 6)
The height of the projections of the projections and the depth of the depressions of the depressions are all 100 μm or less, and the thickness of the glass thin film other than the projections is 100 μm or less,
The bendable display substrate thin film,
An electrode disposed on the lower surface of the glass thin film and / or the upper surface of the plastic thin film;
2. The bendable display substrate thin film according to claim 1, further comprising: a thin film transistor disposed on a lower surface of the glass thin film and / or an upper surface of the plastic thin film.

(付記7)
前記縁部の幅は100μmより大きく、前記カバー部の凹部以外の部分の厚さは400μm以下であり、前記ガラス薄膜の表面うねりは0.5μm/20mm以下であり、前記プラスチック薄膜の表面粗さは2nm以下であることを特徴とする付記5に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
(Appendix 7)
The width of the edge portion is larger than 100 μm, the thickness of the portion other than the concave portion of the cover portion is 400 μm or less, the surface undulation of the glass thin film is 0.5 μm / 20 mm or less, and the surface roughness of the plastic thin film is 6. The bendable display substrate thin film according to appendix 5, wherein is not more than 2 nm.

(付記8)
付記1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる製造方法であって、
圧延法或いは蝕刻法で、上面に複数の凸部を有するガラス薄膜を成型するステップと、
成型されたガラス薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法のガラス薄膜を得るステップと、
ガラス薄膜とプラスチック薄膜に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、
プラスチック薄膜をガラス薄膜上に被覆するステップと、
ラミネート法で、ガラス薄膜とプラスチック薄膜を一体に結合させるステップであって、その中で、ラミネート処理を行う時、加熱温度がプラスチック薄膜の軟化点温度より高く、且つガラス薄膜の軟化点温度より低くなるようにする、ステップと、
ガラス薄膜と一体に結合されたプラスチック薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法の縁部を得るステップ、とを含むことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜の製造方法。
(Appendix 8)
A method for manufacturing a bendable display substrate thin film according to Supplementary Note 1, comprising:
Forming a glass thin film having a plurality of convex portions on the upper surface by a rolling method or an etching method,
Laser cutting the molded glass thin film to obtain a glass thin film of a required size,
Performing a cleaning and drying process on the glass thin film and the plastic thin film,
Coating a thin plastic film on a thin glass film;
In the laminating method, the glass thin film and the plastic thin film are integrally bonded. In the laminating process, the heating temperature is higher than the softening point temperature of the plastic thin film and lower than the softening point temperature of the glass thin film. Steps to be
Laser cutting the plastic thin film integrally bonded to the glass thin film to obtain an edge having a required size.

(付記9)
付記1〜7のいずれか1つに記載の屈曲可能な表示基板薄膜を備えることを特徴とする表示装置。
(Appendix 9)
A display device comprising the bendable display substrate thin film according to any one of supplementary notes 1 to 7.

(付記10)
前記表示装置は、液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置であることを特徴とする付記9に記載の表示装置。
(Appendix 10)
The display device according to claim 9, wherein the display device is a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device, or an electronic paper display device.

1、 ガラス薄膜
2、 プラスチック薄膜
10、凸部
11、縁部突起
20、凹部
21、カバー部
22、縁部
23、支持突起
1, glass thin film 2, plastic thin film 10, convex portion 11, edge protrusion 20, concave portion 21, cover portion 22, edge portion 23, support protrusion

Claims (9)

上面に複数の凸部を有するガラス薄膜と、
前記ガラス薄膜を被覆するプラスチック薄膜と、を備え、
前記プラスチック薄膜は、下面に複数の前記凸部を収納するための凹部を有し、前記ガラス薄膜の上面に対向して設置されるカバー部と前記ガラス薄膜の側面に対向して設置される縁部を備える、ことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜。
A glass thin film having a plurality of convex portions on the upper surface,
And a plastic thin film covering the glass thin film,
The plastics film is edge have a recess for accommodating a plurality of the convex portions on the lower surface is placed opposite the cover portion and which is disposed to face the upper surface of the glass thin film on a side surface of the glass film part Ru comprising a bendable display substrate thin film characterized in that.
複数の前記凸部はガラス薄膜の上面において、横方向、縦方向、或いはマトリクス状に配列されることを特徴とする請求項1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。   The bendable display substrate thin film according to claim 1, wherein the plurality of protrusions are arranged in a horizontal direction, a vertical direction, or a matrix on the upper surface of the glass thin film. 数の前記凸部が前記ガラス薄膜の上面において横方向或いは縦方向に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に前記凸部が設けられ、複数の前記凸部がガラス薄膜の上面においてマトリクス状に配列される時、前記ガラス薄膜の縁から所定距離を有する範囲内に縁部突起が設けられることを特徴とする請求項2に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。 When the convex portion of the multiple is arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass thin film, the convex portion within a range having a predetermined distance is provided from the edge of the glass thin film, the convex portion of the multiple 3. The bendable display substrate thin film according to claim 2, wherein the edge projections are provided within a range having a predetermined distance from an edge of the glass thin film when the is arranged in a matrix on the upper surface of the glass thin film. 4. . 数の前記凸部が前記ガラス薄膜の上面に横方向或いは縦方向に配列される時、前記凸部は半円柱形状、三角柱形状、四角柱形状、直方体形状或いは立方体形状であり、複数の前記凸部が前記ガラス薄膜の上面にマトリクス状に配列される時、前記凸部は四角錐形状、四角錐台形状、球冠形状或いは立方体形状であることを特徴とする請求項1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。 When the convex portion of the multiple is arranged in the horizontal direction or the vertical direction on the upper surface of the glass film, wherein the convex portion is semi-cylindrical, triangular prism, quadrangular prism shape, a rectangular parallelepiped shape or a cubic shape, the multiple when the convex portions are arranged in a matrix on the upper surface of the glass film, wherein the convex portion is quadrangular pyramid, a truncated quadrangular pyramid shape, according to claim 1, characterized in that the spherical crown shape or a cubic shape Flexible display substrate thin film. 前記凸部の突起の高さ、及び前記凹部の陥凹の深さはいずれも100μm以下であり、前記ガラス薄膜の前記凸部以外の部分の厚さは100μm以下であり、
前記屈曲可能な表示基板薄膜は、
前記ガラス薄膜の下面及び/或いは前記プラスチック薄膜の上面に配置される電極と、
前記ガラス薄膜の下面及び/或いは前記プラスチック薄膜の上面に配置される薄膜トランジスタと、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。
The height of protrusion of the convex portion, and recessed depth of the recess is any even 100μm or less, the thickness of the portion other than the convex portion of the glass film is at 100μm or less,
The bendable display substrate thin film,
An electrode disposed on the lower surface and / or the upper surface of the plastic film of the glass film,
Bendable display substrate thin film according to claim 1, further comprising a, a thin film transistor to be arranged on the lower surface and / or the upper surface of the plastic film of the glass film.
前記縁部の幅は100μmより大きく、前記カバー部の前記凹部以外の部分の厚さは400μm以下であり、前記ガラス薄膜の表面うねりは0.5μm/20mm以下であり、前記プラスチック薄膜の表面粗さは2nm以下であることを特徴とする請求項に記載の屈曲可能な表示基板薄膜。 The width of the edge portion is greater than 100 [mu] m, the thickness of the portion other than the recess of the cover portion is at 400μm or less, the surface waviness of the glass thin film is a 0.5 [mu] m / 20 mm or less, the surface roughness of the plastic film The bendable display substrate thin film according to claim 1 , wherein the thickness is 2 nm or less. 上面に複数の凸部を有するガラス薄膜と、
前記ガラス薄膜を被覆するプラスチック薄膜と、を備え、
前記プラスチック薄膜は、下面に複数の前記凸部を収納するための凹部を有する、ことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜の製造に用いる製造方法であって、
圧延法或いは蝕刻法で、上面に複数の前記凸部を有する前記ガラス薄膜を成型するステップと、
成型された前記ガラス薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法のガラス薄膜を得るステップと、
前記所要寸法のガラス薄膜と前記プラスチック薄膜に対して、洗浄及び乾燥処理を行うステップと、
前記プラスチック薄膜を前記所要寸法のガラス薄膜上に被覆するステップと、
ラミネート法で、前記所要寸法のガラス薄膜と前記プラスチック薄膜を一体に結合させるステップであって、その中で、ラミネート処理を行う時、加熱温度が前記プラスチック薄膜の軟化点温度より高く、且つ前記所要寸法のガラス薄膜の軟化点温度より低くなるようにする、ステップと、
前記所要寸法のガラス薄膜と一体に結合された前記プラスチック薄膜に対して、レーザー切断を行って、所要寸法の縁部を得るステップ、とを含むことを特徴とする屈曲可能な表示基板薄膜の製造方法。
A glass thin film having a plurality of convex portions on the upper surface,
And a plastic thin film covering the glass thin film,
The plastic thin film has a concave portion for accommodating a plurality of the convex portion on the lower surface, a manufacturing method used for manufacturing a bendable display substrate thin film, characterized in that,
The rolling method or etching method, comprising the steps of molding said glass thin film having a plurality of the convex portions on the upper surface,
Respect molded the glass thin film, performing laser cutting, and obtaining a glass thin film of the required size,
The glass thin film and the plastic film of the necessary length, and performing washing and drying process,
A step of covering the plastic film on the glass thin film of the desired dimensions,
In lamination, the glass thin film of the required dimensions as the plastic film comprising the steps of bonding together, in which, when performing the laminating process, the heating temperature is higher than the softening point temperature of the plastic film, and the required Lowering the softening point temperature of the glass thin film of the dimensions ; and
To the plastic film which is attached to a glass thin film integral with the required dimensions, by performing laser cutting, manufacturing bendable display substrate thin film characterized in that it comprises a step, city to obtain the edge of the required dimensions Method.
請求項1〜のいずれか1項に記載の屈曲可能な表示基板薄膜を備えることを特徴とする表示装置。 A display device comprising the bendable display substrate thin film according to any one of claims 1 to 6 . 前記表示装置は、液晶表示装置、有機発光ダイオード表示装置或いは電子ペーパー表示装置であることを特徴とする請求項に記載の表示装置。 The display device according to claim 8 , wherein the display device is a liquid crystal display device, an organic light emitting diode display device, or an electronic paper display device.
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