JP2019510279A - 熱スイッチング相変化材料を有する光学デバイス - Google Patents
熱スイッチング相変化材料を有する光学デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019510279A JP2019510279A JP2018560264A JP2018560264A JP2019510279A JP 2019510279 A JP2019510279 A JP 2019510279A JP 2018560264 A JP2018560264 A JP 2018560264A JP 2018560264 A JP2018560264 A JP 2018560264A JP 2019510279 A JP2019510279 A JP 2019510279A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pcm
- heating element
- reflector
- layer
- pixels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012782 phase change material Substances 0.000 title claims abstract description 225
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 81
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 138
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 76
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 20
- 238000002135 phase contrast microscopy Methods 0.000 claims description 57
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 21
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 21
- 229910005900 GeTe Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 8
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims description 6
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims description 6
- 229910000618 GeSbTe Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 229910000763 AgInSbTe Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910005872 GeSb Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910018321 SbTe Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims description 3
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910008599 TiW Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 2
- 229910006091 NiCrSi Inorganic materials 0.000 claims 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 132
- 239000000463 material Substances 0.000 description 44
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 10
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000000763 evoking effect Effects 0.000 description 7
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 7
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 4
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 239000004984 smart glass Substances 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 229940125773 compound 10 Drugs 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- ZLVXBBHTMQJRSX-VMGNSXQWSA-N jdtic Chemical class C1([C@]2(C)CCN(C[C@@H]2C)C[C@H](C(C)C)NC(=O)[C@@H]2NCC3=CC(O)=CC=C3C2)=CC=CC(O)=C1 ZLVXBBHTMQJRSX-VMGNSXQWSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004770 chalcogenides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000382 optic material Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- MAKDTFFYCIMFQP-UHFFFAOYSA-N titanium tungsten Chemical compound [Ti].[W] MAKDTFFYCIMFQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/0147—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on thermo-optic effects
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/05—Function characteristic wavelength dependent
- G02F2203/055—Function characteristic wavelength dependent wavelength filtering
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/34—Colour display without the use of colour mosaic filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/345—Arrangements for heating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1255—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs integrated with passive devices, e.g. auxiliary capacitors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
本発明は特に層構造(2)を備える光学デバイス(1)に向けられ、層構造(2)は、熱伝導性の光学的な反射器(15)と、反射器(15)の上方に配置され光に対して透過性の熱伝導性のスペーサ(14)と、スペーサ(14)の上方に配置され2つの可逆的にスイッチング可能な状態を有する相変化材料即ちPCM、とを有する。2つの可逆的にスイッチング可能な状態において、PCMは屈折率の2つの異なる値を示す。反射器(15)、スペーサ(14)及びPCM(10)は、層構造の積層方向(z)に沿って順次積層される。光学デバイスは、加熱素子(17)及び制御器(19、19a)を更に備え、加熱素子(17)は、反射器(15)に関してPCM(10)と反対側にあり、層構造(2)はPCM(10)を加熱素子(17)から電気的に絶縁するように構成されている一方で加熱素子(17)は反射器(15)及びスペーサ(14)を介してPCM(10)と熱的に連通し、制御器(19、19a)は、PCM(10)を加熱するために加熱素子(17)にエネルギを与えることによりPCM(10)の屈折率及び/又は吸収を可逆的に変化させるように構成される。本発明は、更に、関連する光学デバイス(特に、上述のような層構造のセットにより各々が形成される1つ以上の画素を備えるデバイス)及び作動方法に向けられる。
【選択図】図1
Description
図1〜3を参照して、本発明の一側面を先ず説明し、これは単層構造2を備える光学デバイス1に関係する。基本的に、デバイス1は、光学反射器15と、光学スペーサ14と、相変化材料10、即ちPCMと、加熱素子17と、制御器19、19aと、を備える。
次に、光学デバイスの特定の実施形態を説明し、これらの実施形態は、セクション1に開示されたのと同じ基本原理に従う。即ち、加熱素子がスイッチング能力をもたらす一方で、PCMを含む光学活性素子は、電気的に絶縁性だが熱的に伝導性の障壁によって加熱器から隔てられている。
次に、図1を参照して具体的な実施形態を説明する。活性ソリッドステート材料10の一部分は、層の形態で提供される。この層の材料は、1つの相から別の相への転移の結果として、恒久的に、しかし可逆的に変化可能な屈折率を有する。従って、この材料は、相変化材料、即ちPCMと称することができる。好ましいPCMsは、セクション1で論じたように、GST、GeTe、又はAISTである。
スイッチング動作の詳細が図5及び6に示されている。セクション1で説明したように、抵抗加熱素子17は、制御信号を受けてPCM10を結晶質状態と非晶質状態の間でスイッチングするように構成することができる。抵抗加熱素子17は、例えば、先に例示したように、抵抗率及び実質的に高い熱伝導率を示す金属又は金属合金材料を含むことができる。ジュール加熱を介して抵抗加熱器17から対応する熱プロファイルを生成するために、例えば電流パルスS1、S2として信号を供給することができる。PCM10に対する抵抗加熱素子17の配置により、熱プロファイルをPCM10に熱伝達してPCMデバイスの状態を制御することができる。
図1〜3に見られるように、要求される電圧/電流を必要な持続時間だけ印加して材料層10をスイッチングするために、制御器19、19aを設けることができる。制御器は、マイクロプロセッサによって駆動される特定の電子回路を備えることができる。制御器の回路のいくつか(例えば構成要素191、192、211、212)、又は変形例においては制御器の回路の全てを、図1の光学層を有する基板上に一体化して設けることができ、あるいは別個の専用回路として設けることができる。
また、本デバイスは、他の光変調デバイス又はディスプレイデバイスと組み合わされてもよい。例えば、本デバイスのスイッチング可能な色反射が黒色を呈するようにするために(高コントラスト画像ディスプレイに対して)、本デバイスは、本デバイスと観察者の間に配置された追加の画素化光学シャッタと組み合わせることができる。この追加の光学シャッタは、スイッチング可能反射型デバイスの画素と位置合わせされた、独立してアドレス可能な画素領域を有することができ、スイッチング可能反射型デバイスは、光を選択的に透過又は吸収する。このようにして、シャッタは、光学デバイスによって生成された色付き反射を観察者によって観察させるか、黒色を呈するように遮るかのいずれかを行う。
概要で論じたように、本手法は2つの光学的機能を可能にする。加熱素子は、PCMの屈折率を変化させるために、スイッチング能力を提供する。また、加熱器の位置により、光学活性な基礎構造(PCM‐スペーサ‐反射器)における順序付けられたシーケンスを保つことができ、ここでは、スペーサ厚さは、追加のフィルタを必要とせずに、副画素に「色」を与えるように設定することができる。光学活性な基礎構造(PCM‐スペーサ‐反射器)に関してWO2015/097468において喚起される考察は、ここでも等しく適用される。
上述のデバイスは、一般的に、ディスプレイにおける(副)画素の製造や建築及び自動車用途のためのスマートガラスに使用することができる。
Claims (20)
- 層構造(2)を備える光学デバイス(1)であって、
前記層構造(2)が、
熱伝導性の光学的な反射器(15)と、
前記反射器(15)の上方に配置され光に対して透過性の熱伝導性のスペーサ(14)と、
前記スペーサ(14)の上方に配置される相変化材料(10)即ちPCMであって、前記PCMが屈折率の2つの異なる値を示す少なくとも2つの可逆的にスイッチング可能な状態を有する相変化材料(10)即ちPCM、とを有し、
前記反射器(15)、前記スペーサ(14)、及び前記PCM(10)が、前記層構造の積層方向(z)に沿って順次積層され、
前記光学デバイスが、加熱素子(17)及び制御器(19、19a、30)を更に備え、
前記加熱素子(17)が、前記反射器(15)に関して前記PCM(10)と反対側にあり、前記層構造(2)が前記PCM(10)を前記加熱素子(17)から電気的に絶縁するように構成されている一方で前記加熱素子(17)が前記反射器(15)及び前記スペーサ(14)を介して前記PCM(10)と熱的に連通し、
前記制御器(19、19a、30)が、前記PCM(10)を加熱することにより前記PCM(10)の屈折率及び/又は吸収を可逆的に変化させるために前記加熱素子(17)にエネルギを与えるように構成される光学デバイス。 - 前記反射器(15)の平均厚さが50nmと1μmの間であり、
前記スペーサ(14)の平均厚さが40nmと300nmの間であり、
前記PCM(10)の平均厚さが0.5nmと80nmの間である請求項1に記載の光学デバイス。 - 前記積層方向(z)に垂直な前記層構造の横寸法が、0.35μm以上であり、好ましくは5μm以上である請求項1又は2に記載のデバイス。
- 本質的に前記反射器(15)を前記加熱素子(17)から電気的に絶縁するように配置された、前記加熱素子(17)と前記反射器(15)の間の電気絶縁材料(18)を更に備える請求項1、2、又は3に記載のデバイス。
- 前記制御器(19)が、前記PCM(10)を加熱することにより前記PCM(10)の屈折率及び/又は吸収を可逆的に変化させるために電流及び/又は電圧を抵抗加熱素子(17)である前記加熱素子(17)に印加して前記加熱素子(17)にエネルギを与えるように構成される請求項1〜4のいずれか1項に記載のデバイス。
- 請求項5に記載のデバイスであって、
前記デバイスが導電層(21)を更に備え、前記加熱素子(17)が前記層構造(2)のレベルで前記導電層(21)内に挿入され、それにより、前記導電層(21)の2つの部分(211、212)が、前記加熱素子(17)のそれぞれの側面上でそれらに接触し、
前記制御器(19)が、前記2つの部分(211、212)のそれぞれに接触して前記加熱素子(17)に前記電流及び/又は電圧を印加する2つの端子(191、192)を備えるデバイス。 - 前記制御器(19)が、前記加熱素子(17)が前記PCM(10)に少なくとも2つの異なる熱パルスをそれぞれ印加するように、少なくとも2つの異なる信号により前記加熱素子(17)にエネルギを与え、前記PCM(10)をそれぞれ前記少なくとも2つのスイッチング可能な状態へと可逆的にスイッチングするように構成される請求項1〜6のいずれか1項に記載のデバイス。
- 前記PCM(10)が、GeSbTe、VOx、NbOx、GeTe、GeSb、GaSb、AgInSbTe、InSb、InSbTe、InSe、SbTe、TeGeSbS、AgSbSe、SbSe、GeSbMnSn、AgSbTe、AuSbTe、及びAlSbの化合物の1つ以上を備える請求項1〜7のいずれか1項に記載のデバイス。
- 前記PCM(10)が、Ge2Sb2Te5、GeTe、及びAg3In4Sb76Te17の1つを備える請求項1〜8のいずれか1項に記載のデバイス。
- 前記PCM(10)が3nmと15nmの間の平均厚さを有する請求項1〜9のいずれか1項に記載のデバイス。
- 前記加熱素子(17)が、NiCrSi、NiCr、W、TiW、Pt、Ta、Mo、Nb、及びIrの1つ以上を備える請求項1〜10のいずれか1項に記載のデバイス。
- 熱伝導性の光学的な反射器(15)のセットと、
各々が前記反射器(15)のそれぞれの上方にあって光に対して透過性である熱伝導性のスペーサ(14)のセットであって、実質的に異なる厚さを有するスペーサ(14)のセットと、
各々が前記スペーサのそれぞれの上方にあって屈折率の2つの異なる値を示す少なくとも2つの可逆的にスイッチング可能な状態を有する相変化材料(10)即ちPCMsのセットであって、前記スペーサのセット及び前記反射器のセットと共に層構造(2、2a、2b)のセットを形成する相変化材料(10)即ちPCMsのセットと、
加熱素子(17)のセットと、を備え、
前記加熱素子(17)の各々が、
前記反射器(15)のそれぞれに関して前記PCMs(10)のそれぞれと反対側に配置され、
前記反射器(15)のそれぞれ及び前記スペーサ(14)のそれぞれを介して前記PCMs(10)のそれぞれと熱的に連通し、
前記PCMs(10)のそれぞれから電気的に絶縁され、
前記制御器(19)が、前記PCMsを独立に加熱することによりその屈折率及び/又は吸収を可逆的に変化させるために前記加熱素子にエネルギを与えるように構成され、それにより、前記PCMsの各々の前記屈折率及び/又は吸収が前記制御器を介して独立に制御可能である請求項1〜11のいずれか1項に記載のデバイス。 - 画素のセットを更に備え、前記画素の各々が前記層構造のセット等の層構造のセットを備える請求項12に記載のデバイス。
- 画素のセットを形成するように請求項1〜13のいずれかに従うデバイスを備えるディスプレイデバイス(1c〜1f)であって、
前記画素の各々が層構造(2c〜2f)を有し、
前記層構造(2c〜2f)が、前記PCM(10)と、前記加熱素子(17)、とを含み、
前記加熱素子(17)が、前記層構造(2c〜2f)内で前記PCM(10)から電気的に絶縁されると共に前記PCM(10)と熱的に連通し、
前記ディスプレイデバイスが、前記制御器(31、32、41、42)と、電極(221、222)の複数対の配置、とを更に備え、
前記制御器(31、32、41、42)が、任意の画素のPCMを独立に加熱することによりその屈折率及び/又は吸収を可逆的に変化させるために前記任意の画素にエネルギを与えるように構成され、
前記画素の各々が前記ディスプレイデバイスの前記制御器により個別にアドレス可能になるように、前記電極(221、222)の複数対の各々が、前記画素(2c〜2f)の1つの加熱素子(17)と電気的に連通するディスプレイデバイス。 - 前記電極の複数対の各々が、前記画素の1つの前記層構造の積層方向(z)と平行に延在するビア(41)を通って前記画素(2c〜2f)の1つの前記加熱素子(17)と電気的に連通する請求項14に記載のディスプレイデバイス(1c〜1f)。
- 前記ビア(41)が薄膜トランジスタ(21)即ちTFTのドレイン端子と電気的に接触し、前記TFTのゲート端子及びソース端子が、動作に際して前記ゲート端子に印加された電圧が前記TFTの前記ソース端子及び前記ドレイン端子の間の電流を制御するように、前記電極の複数対の各々のそれぞれの電極に電気的に接触する請求項15に記載のディスプレイデバイス(1c〜1f)。
- 前記加熱素子(17)が、他のビア(42)を通って熱伝導性の光学反射器(15)と更に電気的に連通し、前記他のビア(42)が、前記画素の1つの前記層構造の積層方向(z)と平行に延在し、前記反射器が更に電気伝導性であり、それにより、動作に際して、前記加熱素子(17)を通る電流が、前記光学反射器(15)を通ってドレインされ得る請求項15又は16に記載のディスプレイデバイス(1c、1e、1f)。
- 前記加熱素子(17)が、他のビア(42)を通って前記ディスプレイデバイスの共通電極(223)と更に電気的に連通し、前記他のビア(42)が、前記画素の1つの前記層構造の積層方向(z)と平行に延在し、前記ビア(41、42)の各々が、前記電極(221、222)の複数対の配置の平均面と前記画素(2d)の1つの前記加熱素子(17)の平均面との間に延在し、それにより、動作に際して、前記加熱素子(17)を通る電流が、前記共通電極(223)を通ってドレインされ得る請求項15又は16に記載のディスプレイデバイス(1d)。
- 請求項1〜18のいずれか1項に記載の光学デバイスを制御するための方法であって、
前記光学デバイスのPCMを加熱するために前記制御器を介して前記光学デバイスの加熱素子(17)に繰り返しエネルギを与えて前記PCMの屈折率及び/又は吸収を可逆的に変化させることを備える方法。 - 繰り返しエネルギを与えることは、
時間t1の間に加熱素子(17)にエネルギを与えて、第1の時間的熱プロファイル(P1)に従って前記PCMを加熱し、それにより前記PCMを第1の状態から第2の状態にスイッチングすることと、
続いて、時間t2の間に前記加熱素子(17)にエネルギを与えて、第2の時間的熱プロファイル(P2)に従って前記PCMを加熱し、それにより前記PCMを前記第1の状態に戻すようにスイッチングすることと、を備え、
前記第1の時間的熱プロファイル(P1)が最大温度T1を示し、前記第2のプロファイル(P2)が最大温度T2を示し、ここで、t1>t2及びT2>Tm>T1>Tcであり、Tm及びTcがそれぞれ前記PCMの溶融温度及び結晶化温度に対応する請求項19に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP16000280.4A EP3203309A1 (en) | 2016-02-04 | 2016-02-04 | Optical device with thermally switching phase change material |
EP16000280.4 | 2016-02-04 | ||
PCT/IB2017/000041 WO2017134506A1 (en) | 2016-02-04 | 2017-01-25 | Optical device with thermally switching phase change material |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019510279A true JP2019510279A (ja) | 2019-04-11 |
JP6953443B2 JP6953443B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=55315287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018560264A Active JP6953443B2 (ja) | 2016-02-04 | 2017-01-25 | 熱スイッチング相変化材料を有する光学デバイス |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11215852B2 (ja) |
EP (2) | EP3203309A1 (ja) |
JP (1) | JP6953443B2 (ja) |
KR (1) | KR20180108779A (ja) |
CN (1) | CN108604022A (ja) |
ES (1) | ES2806849T3 (ja) |
TW (1) | TWI680324B (ja) |
WO (1) | WO2017134506A1 (ja) |
Families Citing this family (60)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB201518371D0 (en) | 2015-10-16 | 2015-12-02 | Isis Innovation | Optical Device |
ES2809026T3 (es) * | 2016-09-23 | 2021-03-02 | Bodle Tech Limited | Dispositivo de visualización basado en material de cambio de fase con elementos de conmutación resistivos |
EP3333618B1 (en) * | 2016-12-12 | 2019-11-20 | Bodle Technologies Limited | Transflective, pcm-based display device |
GB201621178D0 (en) | 2016-12-13 | 2017-01-25 | Bodle Tech Ltd | Display apparatus |
GB201621180D0 (en) | 2016-12-13 | 2017-01-25 | Bodle Tech Ltd | Display apparatus |
GB201705574D0 (en) | 2017-04-06 | 2017-05-24 | Bodle Tech Ltd | Optical apparatus |
US11187891B1 (en) * | 2017-06-12 | 2021-11-30 | Hrl Laboratories, Llc | Spatial light modulator using phase-change matertals with improved fill factor |
US10884278B2 (en) * | 2017-10-24 | 2021-01-05 | Palo Alto Research Center Incorporated | Liquid crystal temperature control by resistive heating |
GB201717566D0 (en) * | 2017-10-25 | 2017-12-06 | Bodle Tech Ltd | Display apparatus |
EP3521912B1 (en) | 2018-01-31 | 2021-10-27 | IMEC vzw | An optical device for forming a distribution of a three-dimensional light field |
GB201809760D0 (en) * | 2018-06-14 | 2018-08-01 | Bodle Tech Ltd | Display |
DE102018006314A1 (de) | 2018-08-09 | 2020-02-13 | Giesecke+Devrient Currency Technology Gmbh | Plättchenförmiges Effektpigment, Druckfarbe und Datenträger |
US11159145B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-10-26 | Newport Fab, Llc | Radio frequency (RF) filtering using phase-change material (PCM) RF switches |
US10644236B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-05-05 | Newport Fab, Llc | Phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switch with reduced parasitic capacitance |
US10937960B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-03-02 | Newport Fab, Llc | Concurrent fabrication of and structure for capacitive terminals and ohmic terminals in a phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switch |
US10686130B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-06-16 | Newport Fab, Llc | Phase-change material (PCM) contact configurations for improving performance in PCM RF switches |
US11050022B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-06-29 | Newport Fab, Llc | Radio frequency (RF) switches having phase-change material (PCM) and heat management for increased manufacturability and performance |
US10686128B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-06-16 | Newport Fab, Llc | Semiconductor devices having phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches and integrated passive devices |
US10615338B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-04-07 | Newport Fab, Llc | Phase-change material (PCM) contacts with slot lower portions and contact dielectric for reducing parasitic capacitance and improving manufacturability in PCM RF switches |
US10739290B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-08-11 | Newport Fab, Llc | Read out integrated circuit (ROIC) for rapid testing and characterization of conductivity skew of phase-change material (PCM) in PCM radio frequency (RF) switches |
US10862477B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-12-08 | Newport Fab, Llc | Read out integrated circuit (ROIC) for rapid testing of functionality of phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches |
US10476001B1 (en) | 2018-08-14 | 2019-11-12 | Newport Fab, Llc | Manufacturing RF switch based on phase-change material |
US10566528B1 (en) | 2018-08-14 | 2020-02-18 | Newport Fab, Llc | Heating element designs for phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches |
US10686010B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-06-16 | Newport Fab, Llc | Fabrication of semiconductor device using a shared material in a phase-change material (PCM) switch region and a resonator region |
US10593404B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-03-17 | Newport Fab, Llc | Array architecture for large scale integration of phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches |
US10461253B1 (en) | 2018-08-14 | 2019-10-29 | Newport Fab, Llc | High reliability RF switch based on phase-change material |
US10475993B1 (en) * | 2018-08-14 | 2019-11-12 | Newport Fab, Llc | PCM RF switch fabrication with subtractively formed heater |
US10916585B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-02-09 | Newport Fab, Llc | Stacked phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches with improved RF power handling |
US10693061B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-06-23 | Newport Fab, Llc | Semiconductor devices having phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches and integrated active devices |
US10566321B1 (en) * | 2018-08-14 | 2020-02-18 | Newport Fab, Llc | Wafer-to-wafer and die-to-wafer bonding of phase-change material (PCM) switches with integrated circuits and bonded two-die devices |
US10707125B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-07-07 | Newport Fab, Llc | Fabrication of contacts in an RF switch having a phase-change material (PCM) and a heating element |
US10749109B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-08-18 | Newport Fab, Llc | Read out integrated circuit (ROIC) for rapid testing and characterization of resistivity change of heating element in phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switch |
US10644235B2 (en) * | 2018-08-14 | 2020-05-05 | Newport Fab, Llc | Phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switch with reduced parasitic capacitance |
US10529922B1 (en) | 2018-08-14 | 2020-01-07 | Newport Fab, Llc | Substrates and heat spreaders for heat management and RF isolation in integrated semiconductor devices having phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches |
US10916540B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-02-09 | Newport Fab, Llc | Device including PCM RF switch integrated with group III-V semiconductors |
US11196401B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-12-07 | Newport Fab, Llc | Radio frequency (RF) module using a tunable RF filter with non-volatile RF switches |
US10978639B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-04-13 | Newport Fab, Llc | Circuits for reducing RF signal interference and for reducing DC power loss in phase-change material (PCM) RF switches |
US10622560B2 (en) * | 2018-08-14 | 2020-04-14 | Newport Fab, Llc | Semiconductor chips and systems having phase-change material (PCM) switches integrated with micro-electrical-mechanical systems (MEMS) and/or resonators |
US10770657B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-09-08 | Newport Fab, Llc | High reliability phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switch using trap-rich region |
US10944052B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-03-09 | Newport Fab, Llc | Phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switch using a chemically protective and thermally conductive layer |
US10770389B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-09-08 | Newport Fab, Llc | Phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches with capacitively coupled RF terminals |
US10862032B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-12-08 | Newport Fab, Llc | Phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switch |
US11057019B2 (en) | 2018-08-14 | 2021-07-06 | Newport Fab, Llc | Non-volatile adjustable phase shifter using non-volatile radio frequency (RF) switch |
US10454027B1 (en) | 2018-08-14 | 2019-10-22 | Newport Fab, Llc | Phase-change material (PCM) radio frequency (RF) switches with stressor layers and contact adhesion layers |
US10833004B2 (en) | 2018-08-14 | 2020-11-10 | Newport Fab, Llc Dba Jazz Semiconductor | Capacitive tuning circuit using RF switches with PCM capacitors and PCM contact capacitors |
CN109188799B (zh) * | 2018-11-15 | 2021-12-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示装置 |
GB201821051D0 (en) * | 2018-12-21 | 2019-02-06 | Bodle Tech Limited | Display material |
US20210231836A1 (en) * | 2019-02-28 | 2021-07-29 | BAE Systems Information and Electronic Systerms Integration Inc. | Optically induced phase change materials |
CN109884836B (zh) | 2019-03-29 | 2022-01-07 | 上海天马微电子有限公司 | 显示面板和显示装置 |
GB201915606D0 (en) | 2019-10-28 | 2019-12-11 | Bodle Tech Ltd | method of forming a pattern on an optical device |
GB201916438D0 (en) | 2019-11-12 | 2019-12-25 | Bodle Tech Ltd | Display device for displaying a pattern, method of manufacturing a display device |
US11226503B2 (en) | 2019-12-13 | 2022-01-18 | The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Tunable spectral filters |
GB202005350D0 (en) | 2020-04-10 | 2020-05-27 | Bodle Tech Ltd | Display device |
GB202008165D0 (en) | 2020-06-01 | 2020-07-15 | Bodle Tech Ltd | Method of applying a pattern, and security device for an article |
US11848400B2 (en) * | 2021-06-21 | 2023-12-19 | International Business Machines Corporation | Tuning emission wavelengths of quantum emitters via a phase change material |
CN113562330A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-10-29 | 北京工业大学 | 一种饱和度可调的炫彩包装薄膜及其制备方法 |
CN113737133A (zh) * | 2021-08-16 | 2021-12-03 | 北京工业大学 | 一种基于多效应光学干涉的防伪薄膜及其制备方法 |
US11789334B2 (en) | 2021-09-22 | 2023-10-17 | International Business Machines Corporation | Configurable geometric metasurface antenna |
GB202114302D0 (en) | 2021-10-06 | 2021-11-17 | Bodle Tech Ltd | Display device and projection device |
CN115016150A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-06 | 深圳迈塔兰斯科技有限公司 | 一种像素结构、超表面及控制像素结构的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60114830A (ja) * | 1983-11-26 | 1985-06-21 | Canon Inc | 光学素子 |
JP2004070186A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Hitachi Ltd | 画像表示装置および画像表示モジュール |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5418640A (en) | 1993-05-03 | 1995-05-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Spatially graded optical switch |
TW414892B (en) * | 1996-05-28 | 2000-12-11 | Ibm | Optical data storage system with multiple rewriteable phase-change recording layers |
JP2998075B2 (ja) | 1996-06-20 | 2000-01-11 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 反射型液晶表示装置 |
US5896005A (en) | 1997-01-29 | 1999-04-20 | Copytele, Inc. | High speed solid state optical display |
KR100751351B1 (ko) * | 2005-12-01 | 2007-08-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 광 제어 구조 및 이를 구비한 디스플레이 장치 |
US9795059B2 (en) | 2007-11-05 | 2017-10-17 | Laird Technologies, Inc. | Thermal interface materials with thin film or metallization |
KR20150040065A (ko) | 2013-10-04 | 2015-04-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 상변화 표시장치 |
EP3087430B1 (en) | 2013-12-23 | 2018-05-02 | Oxford University Innovation Limited | Display device based on phase-change materials |
CN104730796B (zh) * | 2015-03-09 | 2018-04-20 | 浙江大学 | 一种采用相变材料设计的非易失性显示单元和显示阵列 |
-
2016
- 2016-02-04 EP EP16000280.4A patent/EP3203309A1/en not_active Withdrawn
-
2017
- 2017-01-25 US US16/074,471 patent/US11215852B2/en active Active
- 2017-01-25 KR KR1020187025401A patent/KR20180108779A/ko not_active Application Discontinuation
- 2017-01-25 JP JP2018560264A patent/JP6953443B2/ja active Active
- 2017-01-25 CN CN201780009930.5A patent/CN108604022A/zh active Pending
- 2017-01-25 EP EP17703463.4A patent/EP3345045B1/en active Active
- 2017-01-25 WO PCT/IB2017/000041 patent/WO2017134506A1/en active Application Filing
- 2017-01-25 ES ES17703463T patent/ES2806849T3/es active Active
- 2017-02-03 TW TW106103610A patent/TWI680324B/zh active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60114830A (ja) * | 1983-11-26 | 1985-06-21 | Canon Inc | 光学素子 |
JP2004070186A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Hitachi Ltd | 画像表示装置および画像表示モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20180108779A (ko) | 2018-10-04 |
EP3345045B1 (en) | 2020-05-06 |
TW201741730A (zh) | 2017-12-01 |
US11215852B2 (en) | 2022-01-04 |
EP3203309A1 (en) | 2017-08-09 |
US20190064555A1 (en) | 2019-02-28 |
EP3345045A1 (en) | 2018-07-11 |
TWI680324B (zh) | 2019-12-21 |
WO2017134506A1 (en) | 2017-08-10 |
ES2806849T3 (es) | 2021-02-18 |
CN108604022A (zh) | 2018-09-28 |
JP6953443B2 (ja) | 2021-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6953443B2 (ja) | 熱スイッチング相変化材料を有する光学デバイス | |
EP3087430B1 (en) | Display device based on phase-change materials | |
TWI746643B (zh) | 具有電阻開關元件之基於相位變換材料之顯示裝置 | |
CN105938261A (zh) | 一种基于相变材料的显示器件 | |
EP3333618B1 (en) | Transflective, pcm-based display device | |
CN110753959B (zh) | 显示器 | |
US11614642B2 (en) | Phase change material display device | |
Broughton et al. | Phase Change Material Displays |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210419 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210914 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210929 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6953443 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |