JP2019504810A - 石英ガラス体の調製および後処理 - Google Patents

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6676826B1 (ja) * 2018-12-14 2020-04-08 東ソー・クォーツ株式会社 不透明石英ガラスの製造方法
JP2024506468A (ja) * 2021-01-21 2024-02-14 ヘレーウス クヴァルツグラース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト 石英ガラス体

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3390290B1 (de) 2015-12-18 2023-03-15 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Herstellung eines opaken quarzglaskörpers
CN108698894A (zh) 2015-12-18 2018-10-23 贺利氏石英玻璃有限两合公司 在多腔式烘箱中制备石英玻璃体
US10676388B2 (en) 2015-12-18 2020-06-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass fibers and pre-forms made of homogeneous quartz glass
WO2017103115A2 (de) 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Herstellung eines quarzglaskörpers in einem schmelztiegel aus refraktärmetall
JP7044454B2 (ja) 2015-12-18 2022-03-30 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 石英ガラス調製時の中間体としての炭素ドープ二酸化ケイ素造粒体の調製
WO2017103160A1 (de) 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Herstellung von quarzglaskörpern aus siliziumdioxidgranulat
US11952303B2 (en) 2015-12-18 2024-04-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Increase in silicon content in the preparation of quartz glass
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
US11492282B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven
TWI794149B (zh) 2015-12-18 2023-03-01 德商何瑞斯廓格拉斯公司 石英玻璃粉粒、不透明成型體及彼等之製備方法
CN113200669B (zh) * 2021-06-04 2022-09-16 齐鲁工业大学 一种将难熔或不熔材料制成玻璃的方法
US12366831B2 (en) 2022-05-20 2025-07-22 Mb-Microtec Ag Fabrication of glass cells for hermetic gas enclosures

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07109135A (ja) * 1992-11-19 1995-04-25 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 大型石英ガラス管、大型石英ガラスプリフォ−ム及びそれらの製造方法
JP2001220126A (ja) * 2000-02-01 2001-08-14 Tosoh Corp 結晶質合成シリカ粉体及びこれを用いたガラス成形体
JP2001354438A (ja) * 2000-04-20 2001-12-25 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 不透明合成石英ガラスから作られる部材の製造法と、この方法によって製造される石英ガラス管
JP2005531475A (ja) * 2002-03-18 2005-10-20 ワツカー−ケミー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 高純度シリカ粉末、その製造方法及び製造装置
JP2011528651A (ja) * 2008-07-19 2011-11-24 ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト 窒素をドープした石英ガラスを製造する方法、及びその方法を実行するのに好適な石英ガラス粒

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5767031A (en) * 1980-10-06 1982-04-23 Shin Etsu Chem Co Ltd Formation of quartz glass
JPS60260434A (ja) * 1984-06-04 1985-12-23 Shin Etsu Chem Co Ltd 光伝送用無水ガラス素材の製造方法
US5141786A (en) * 1989-02-28 1992-08-25 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Synthetic silica glass articles and a method for manufacturing them
EP0598349B1 (en) * 1992-11-19 1998-07-29 Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. Process for manufacturing a large sized quartz glass tube, a preform and an optical fiber
US6136736A (en) * 1993-06-01 2000-10-24 General Electric Company Doped silica glass
JP3751326B2 (ja) * 1994-10-14 2006-03-01 三菱レイヨン株式会社 高純度透明石英ガラスの製造方法
US20040118155A1 (en) * 2002-12-20 2004-06-24 Brown John T Method of making ultra-dry, Cl-free and F-doped high purity fused silica
US7637126B2 (en) * 2003-12-08 2009-12-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for the production of laser-active quartz glass and use thereof
JP4470479B2 (ja) * 2003-12-17 2010-06-02 旭硝子株式会社 光学部材用合成石英ガラスおよびその製造方法
DE102004038602B3 (de) * 2004-08-07 2005-12-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Elektrogeschmolzenes, synthetisches Quarzglas, insbesondere für den Einsatz in der Lampen- und in der Halbleiterfertigung und Verfahren zur Herstellung desselben
US7166963B2 (en) * 2004-09-10 2007-01-23 Axcelis Technologies, Inc. Electrodeless lamp for emitting ultraviolet and/or vacuum ultraviolet radiation
CN101511744B (zh) * 2006-09-11 2012-11-14 东曹株式会社 熔融石英玻璃及其制造方法
JPWO2009096557A1 (ja) * 2008-01-30 2011-05-26 旭硝子株式会社 エネルギー伝送用または紫外光伝送用光ファイバプリフォームおよびその製造方法
WO2013149882A1 (de) * 2012-04-05 2013-10-10 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur herstellung eines formkörpers aus elektrogeschmolzenem synthetischem quarzglas

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07109135A (ja) * 1992-11-19 1995-04-25 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 大型石英ガラス管、大型石英ガラスプリフォ−ム及びそれらの製造方法
JP2001220126A (ja) * 2000-02-01 2001-08-14 Tosoh Corp 結晶質合成シリカ粉体及びこれを用いたガラス成形体
JP2001354438A (ja) * 2000-04-20 2001-12-25 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 不透明合成石英ガラスから作られる部材の製造法と、この方法によって製造される石英ガラス管
JP2005531475A (ja) * 2002-03-18 2005-10-20 ワツカー−ケミー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 高純度シリカ粉末、その製造方法及び製造装置
JP2011528651A (ja) * 2008-07-19 2011-11-24 ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト 窒素をドープした石英ガラスを製造する方法、及びその方法を実行するのに好適な石英ガラス粒

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6676826B1 (ja) * 2018-12-14 2020-04-08 東ソー・クォーツ株式会社 不透明石英ガラスの製造方法
JP2024506468A (ja) * 2021-01-21 2024-02-14 ヘレーウス クヴァルツグラース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト 石英ガラス体
JP7591661B2 (ja) 2021-01-21 2024-11-28 ヘレーウス クヴァルツグラース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト 石英ガラス体

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