JP2019219681A - Polarization microscope - Google Patents

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Abstract

To provide a polarization microscope having a simplified structure.SOLUTION: A polarizer 7 is disposed on the optical path from a visible light source 3 to a sample, which transmits a beam of light from visible light source 3 to thereby generate linearly polarized light whose polarization plane is along the first direction. An analyzer 8 is disposed on the optical path of a beam of light after being radiated to the sample, and transmits the linearly polarized light whose polarization plane is along the second direction. A rotation mechanism 9 rotates the analyzer 8 to thereby transit among orthogonal state where first direction and second direction are orthogonal, parallel state where first direction and second direction extend in parallel, and evacuation state without analyzer 8 on optical path.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、偏光子及び検光子を備えた偏光顕微鏡に関するものである。   The present invention relates to a polarizing microscope including a polarizer and an analyzer.

試料表面を観察するための光学顕微鏡の中には、偏光子及び検光子が設けられることにより偏光顕微鏡として機能するものがある(例えば、下記特許文献1参照)。偏光顕微鏡では、可視光源から照射される可視光が偏光子に入射し、偏光子を透過することにより直線偏光が生成される。そして、偏光子を透過した直線偏光が試料に照射され、試料からの光(透過光又は反射光)が検光子を透過してカメラに入射する。   Some optical microscopes for observing a sample surface function as a polarizing microscope by providing a polarizer and an analyzer (for example, see Patent Document 1 below). In a polarizing microscope, visible light emitted from a visible light source is incident on a polarizer and is transmitted through the polarizer to generate linearly polarized light. Then, the sample is irradiated with linearly polarized light that has passed through the polarizer, and light (transmitted light or reflected light) from the sample passes through the analyzer and enters the camera.

偏光顕微鏡は、検光子を回転させる回転機構と、検光子及び回転機構をスライドさせるスライド機構とを備えている。検光子は、回転機構により回転されることで、偏光子に対する相対的な角度が変化する。これにより、試料からの光のうち検光子を透過してカメラに入射する光が変化するため、その変化をカメラで撮影することにより偏光像を観察することができる。   The polarization microscope includes a rotation mechanism for rotating the analyzer, and a slide mechanism for sliding the analyzer and the rotation mechanism. When the analyzer is rotated by the rotation mechanism, the angle relative to the polarizer changes. Thus, among the light from the sample, the light that passes through the analyzer and enters the camera changes, so that the polarization image can be observed by photographing the change with the camera.

一方、スライド機構により検光子及び回転機構をスライドさせ、検光子を光路上から退避させた場合には、試料からの光が検光子を透過せずにカメラに直接入射する。この場合、試料からの可視光をカメラで撮影することにより光学像を観察することができる。   On the other hand, when the analyzer and the rotation mechanism are slid by the slide mechanism and the analyzer is retracted from the optical path, light from the sample directly enters the camera without passing through the analyzer. In this case, an optical image can be observed by photographing visible light from the sample with a camera.

特開2012−211771号公報JP 2012-211771 A

しかしながら、上記のような従来の偏光顕微鏡では、回転機構及びスライド機構の両方を設ける必要がある。したがって、電動の場合には、回転機構及びスライド機構のそれぞれにモータなどの動力源を設けなければならず、手動の場合には、作業者が把持して動作させるための把持部を複数設けなければならない。そのため、構造が複雑になるという問題があった。   However, in the conventional polarization microscope as described above, it is necessary to provide both a rotation mechanism and a slide mechanism. Therefore, in the case of electric operation, a power source such as a motor must be provided for each of the rotation mechanism and the slide mechanism. In the case of manual operation, a plurality of gripping portions for the operator to grip and operate must be provided. Must. Therefore, there was a problem that the structure became complicated.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、構造が簡略化された偏光顕微鏡を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a polarizing microscope having a simplified structure.

(1)本発明に係る偏光顕微鏡は、光源と、偏光子と、検光子と、移動機構とを備える。前記光源は、試料に向けて光を照射する。前記偏光子は、前記光源から試料までの光路上に配置され、前記光源からの光を透過させることにより、偏光面が第1の方向に沿った直線偏光を生成する。前記検光子は、試料に照射された後の光の光路上に配置され、偏光面が第2の方向に沿った直線偏光を透過させる。前記移動機構は、前記偏光子及び前記検光子を相対的に移動させることにより、前記第1の方向及び前記第2の方向が直交する直交状態と、前記第1の方向及び前記第2の方向が平行に延びる平行状態と、光路上に前記偏光子又は前記検光子がない退避状態との間で遷移させることができる。 (1) A polarizing microscope according to the present invention includes a light source, a polarizer, an analyzer, and a moving mechanism. The light source emits light toward the sample. The polarizer is disposed on an optical path from the light source to a sample, and transmits light from the light source to generate linearly polarized light having a polarization plane along a first direction. The analyzer is arranged on the optical path of the light after irradiating the sample, and transmits linearly polarized light whose polarization plane is along the second direction. The moving mechanism relatively moves the polarizer and the analyzer to form an orthogonal state in which the first direction and the second direction are orthogonal to each other, and the first direction and the second direction. Can be changed between a parallel state in which the light-emitting elements extend parallel to each other and a retracted state in which the polarizer or the analyzer does not exist on the optical path.

このような構成によれば、偏光子及び検光子を相対的に移動させる1つの移動機構を用いて、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。したがって、直交状態及び平行状態の間で遷移させるための機構と、退避状態に遷移させるための機構とを別々に設ける必要がないため、構造が簡略化された偏光顕微鏡を提供することができる。   According to such a configuration, transition can be made between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state by using one moving mechanism that relatively moves the polarizer and the analyzer. Therefore, there is no need to separately provide a mechanism for making a transition between the orthogonal state and the parallel state and a mechanism for making a transition to the retracted state, so that a polarization microscope with a simplified structure can be provided.

(2)前記移動機構は、回転軸線を中心にして前記偏光子又は前記検光子を回転移動させてもよい。 (2) The moving mechanism may rotate the polarizer or the analyzer around a rotation axis.

このような構成によれば、偏光子又は検光子の回転角を調整するだけの簡単な機構で、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。   According to such a configuration, it is possible to make a transition between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state with a simple mechanism that only adjusts the rotation angle of the polarizer or the analyzer.

(3)前記回転軸線が、前記偏光子又は前記検光子の重心を通っていてもよい。 (3) The rotation axis may pass through the center of gravity of the polarizer or the analyzer.

このような構成によれば、回転移動される偏光子又は検光子の回転軸線が偏心していないため、偏光子又は検光子が重力で回転することを防止できる。したがって、偏光子又は検光子が重力で回転することを阻止するためのストッパ又はブレーキなどを設ける必要がないため、さらに構造を簡略化することができる。   According to such a configuration, since the rotation axis of the polarizer or the analyzer that is rotated and moved is not eccentric, it is possible to prevent the polarizer or the analyzer from rotating due to gravity. Therefore, there is no need to provide a stopper or a brake for preventing the polarizer or the analyzer from rotating due to gravity, so that the structure can be further simplified.

(4)前記偏光子又は前記検光子は、前記回転軸線を中心として90°以上かつ360°未満の回転角で回転することにより、前記直交状態、前記平行状態及び前記退避状態の間で遷移してもよい。 (4) The polarizer or the analyzer transitions between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state by rotating at a rotation angle of 90 ° or more and less than 360 ° around the rotation axis. You may.

このような構成によれば、回転軸線を中心として90°以上かつ360°未満の範囲で偏光子又は検光子の回転角を調整するだけで、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。直交状態と平行状態との間は90°の回転角で遷移させることができるため、それ以上の回転角まで偏光子又は検光子を回転させることにより、退避状態まで遷移させることができる。   According to such a configuration, the transition between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state is made by simply adjusting the rotation angle of the polarizer or the analyzer within a range of 90 ° or more and less than 360 ° about the rotation axis. be able to. Since the transition between the orthogonal state and the parallel state can be made at a rotation angle of 90 °, it is possible to make a transition to the retracted state by rotating the polarizer or the analyzer to a larger rotation angle.

(5)前記偏光子又は前記検光子は、円板の一部に切欠きを有する形状であり、前記切欠きが光路上に位置しているときに前記退避状態となってもよい。 (5) The polarizer or the analyzer may have a shape having a notch in a part of a disk, and may be in the retracted state when the notch is located on an optical path.

このような構成によれば、円板の一部に切欠きを有する形状で偏光子又は検光子を形成するだけの簡単な構成により、その切欠きの部分を用いて退避状態に遷移させることができる。   According to such a configuration, a simple configuration in which a polarizer or an analyzer is formed in a shape having a notch in a part of a disk can be used to make a transition to a retracted state using the notch. it can.

(6)前記光源は、試料に向けて可視光を照射する可視光源と、試料に向けて赤外光を照射する赤外光源とを含んでいてもよい。この場合、前記偏光子及び前記検光子は、前記可視光源から照射される可視光の光路上に配置されてもよい。 (6) The light source may include a visible light source that emits visible light toward the sample, and an infrared light source that emits infrared light toward the sample. In this case, the polarizer and the analyzer may be arranged on an optical path of visible light emitted from the visible light source.

このような構成によれば、赤外顕微鏡における可視光を用いた観察時に、移動機構を用いて偏光子及び検光子を相対的に移動させるだけで、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。   According to such a configuration, at the time of observation using visible light with an infrared microscope, by simply moving the polarizer and the analyzer relatively using the moving mechanism, it is possible to switch between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state. You can make a transition.

(7)前記偏光子及び前記検光子は、前記赤外光源から照射される赤外光の光路上に配置されてもよい。 (7) The polarizer and the analyzer may be arranged on an optical path of infrared light emitted from the infrared light source.

このような構成によれば、赤外顕微鏡における赤外光を用いた観察時に、移動機構を用いて偏光子及び検光子を相対的に移動させるだけで、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。   According to such a configuration, at the time of observation using infrared light with an infrared microscope, by simply moving the polarizer and the analyzer relatively using the moving mechanism, the apparatus moves between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state. Can be changed.

本発明によれば、直交状態及び平行状態の間で遷移させるための機構と、退避状態に遷移させるための機構とを別々に設ける必要がないため、構造が簡略化された偏光顕微鏡を提供することができる。   According to the present invention, there is no need to separately provide a mechanism for making a transition between the orthogonal state and the parallel state and a mechanism for making a transition to the retracted state, so that a polarization microscope having a simplified structure is provided. be able to.

本発明の一実施形態に係る偏光顕微鏡として機能する赤外顕微鏡の構成例を示した概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration example of an infrared microscope functioning as a polarizing microscope according to an embodiment of the present invention. 検光子を回転させたときの直線偏光の方向の変化について説明するための概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a change in the direction of linearly polarized light when the analyzer is rotated. 検光子を回転させたときの直線偏光の方向の変化について説明するための概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a change in the direction of linearly polarized light when the analyzer is rotated. 検光子を回転させたときの直線偏光の方向の変化について説明するための概略図である。FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a change in the direction of linearly polarized light when the analyzer is rotated. 検光子の具体的構成の一例を示した図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a specific configuration of an analyzer. 検光子の具体的構成の他の例を示した図である。FIG. 6 is a diagram showing another example of the specific configuration of the analyzer.

1.赤外顕微鏡の構成
図1は、本発明の一実施形態に係る偏光顕微鏡として機能する赤外顕微鏡100の構成例を示した概略図である。この赤外顕微鏡100は、試料に対して赤外光及び可視光を照射することができる。赤外顕微鏡100には、試料ステージ1、赤外光源2、可視光源3、検出器4、カメラ5、ビームスプリッタ6及びカセグレン鏡200などが備えられている。
1. Configuration of Infrared Microscope FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of an infrared microscope 100 functioning as a polarizing microscope according to one embodiment of the present invention. The infrared microscope 100 can irradiate a sample with infrared light and visible light. The infrared microscope 100 includes a sample stage 1, an infrared light source 2, a visible light source 3, a detector 4, a camera 5, a beam splitter 6, a Cassegrain mirror 200, and the like.

試料ステージ1には、分析対象となる試料が載置される。試料ステージ1は、例えば水平方向(XY方向)及び鉛直方向(Z方向)に移動可能な構成となっている。本実施形態では、試料ステージ1を挟んで上方及び下方に1対のカセグレン鏡200が設置されている。   On the sample stage 1, a sample to be analyzed is placed. The sample stage 1 is configured to be movable in, for example, a horizontal direction (XY directions) and a vertical direction (Z direction). In the present embodiment, a pair of Cassegrain mirrors 200 is provided above and below the sample stage 1.

試料ステージ1に対して上方に設置されたカセグレン鏡200(上カセグレン鏡200A)、及び、試料ステージ1に対して下方に設置されたカセグレン鏡200(下カセグレン鏡200B)は、それぞれ同一の構成を有しているが、設置される向きが異なっている。上カセグレン鏡200A及び下カセグレン鏡200Bは、それぞれの軸線が鉛直方向に延びるように同軸上に配置される。   The Cassegrain mirror 200 (upper Cassegrain mirror 200A) installed above the sample stage 1 and the Cassegrain mirror 200 (lower Cassegrain mirror 200B) installed below the sample stage 1 have the same configuration. However, the installation direction is different. The upper Cassegrain mirror 200A and the lower Cassegrain mirror 200B are arranged coaxially so that their respective axes extend in the vertical direction.

赤外光源2は、FTIR(フーリエ変換赤外分光光度計)により構成されており、図示しない固定鏡及び移動鏡を用いて、赤外光の干渉波を発生させることができる。赤外光源2から出射した赤外光は、カセグレン鏡200を介して試料ステージ1上に照射される。反射測定を行う際には、赤外光源2から出射した赤外光が、反射ミラー21,22,23,24,25,26,27で順次反射した後、上カセグレン鏡200A内に上方から導入される。   The infrared light source 2 is configured by an FTIR (Fourier transform infrared spectrophotometer), and can generate an interference wave of infrared light using a fixed mirror and a movable mirror (not shown). The infrared light emitted from the infrared light source 2 is irradiated onto the sample stage 1 via the Cassegrain mirror 200. When performing the reflection measurement, the infrared light emitted from the infrared light source 2 is sequentially reflected by the reflection mirrors 21, 22, 23, 24, 25, 26, and 27 and then introduced into the upper Cassegrain mirror 200 </ b> A from above. Is done.

反射ミラー25は、例えば反射面が放物面からなる放物面鏡により構成されており、平行光として反射ミラー25に入射した赤外光は、当該反射ミラー25で反射することにより集光される。反射ミラー25は、図1に破線で示すように、回転することにより反射面の角度を変更することができる。透過測定を行う際には、反射ミラー25の角度が変更されることにより、赤外光源2から出射した赤外光が、反射ミラー21,22,23,24で順次反射した後、反射ミラー25,28,29で順次反射し、下カセグレン鏡200B内に下方から導入される。   The reflection mirror 25 is formed of, for example, a parabolic mirror having a reflection surface formed of a paraboloid, and infrared light incident on the reflection mirror 25 as parallel light is collected by being reflected by the reflection mirror 25. You. The reflection mirror 25 can change the angle of the reflection surface by rotating as shown by a broken line in FIG. When the transmission measurement is performed, the angle of the reflection mirror 25 is changed so that the infrared light emitted from the infrared light source 2 is reflected by the reflection mirrors 21, 22, 23, and 24 sequentially, and then reflected by the reflection mirror 25. , 28, and 29, and is introduced into the lower Cassegrain mirror 200B from below.

可視光源3は、試料観察用の可視光(例えば白色)を出射し、カセグレン鏡200を介して試料ステージ1上に照射される。可視光源3から出射する可視光は、赤外光の光路と大部分が共通する光路を通ってカセグレン鏡200に導かれる。上記反射ミラー24は、例えばビームスプリッタにより構成されており、可視光源3から出射した可視光は、当該反射ミラー24を透過して、赤外光と共通する光路上に導かれる。反射ミラー24を透過した可視光は、赤外光源2から出射する赤外光と同様に、反射ミラー25,26,27を介して上カセグレン鏡200A内に上方から導入することもできるし、反射ミラー25,28,29を介して下カセグレン鏡200B内に下方から導入することもできる。   The visible light source 3 emits visible light (for example, white) for observing the sample, and irradiates the sample stage 1 via the Cassegrain mirror 200. The visible light emitted from the visible light source 3 is guided to the Cassegrain mirror 200 through an optical path that is mostly common to the optical path of the infrared light. The reflection mirror 24 is composed of, for example, a beam splitter, and visible light emitted from the visible light source 3 is transmitted through the reflection mirror 24 and guided on an optical path common to infrared light. The visible light transmitted through the reflection mirror 24 can be introduced from above into the upper Cassegrain mirror 200A through the reflection mirrors 25, 26, and 27 similarly to the infrared light emitted from the infrared light source 2, and can be reflected. It can also be introduced into the lower Cassegrain mirror 200B from below via the mirrors 25, 28, 29.

カセグレン鏡200には、例えば主鏡201及び副鏡202が備えられている。主鏡201は、球面状の凹面からなる反射面を有している。一方、副鏡202は、球面状の凸面からなる反射面を有している。副鏡202の反射面は、主鏡201の反射面よりも小径である。主鏡201及び副鏡202は、それぞれの反射面の中心が同一の軸線上に位置するように取り付けられている。より具体的には、主鏡201の反射面に対して、副鏡202の反射面が間隔を隔てて対向している。   The Cassegrain mirror 200 includes, for example, a primary mirror 201 and a secondary mirror 202. The primary mirror 201 has a reflecting surface formed of a spherical concave surface. On the other hand, the secondary mirror 202 has a reflecting surface formed of a spherical convex surface. The reflecting surface of the secondary mirror 202 is smaller in diameter than the reflecting surface of the primary mirror 201. The main mirror 201 and the sub-mirror 202 are mounted such that the centers of the respective reflecting surfaces are located on the same axis. More specifically, the reflection surface of sub-mirror 202 faces the reflection surface of main mirror 201 with a space.

赤外光及び可視光は、副鏡202の反射面で反射した後、主鏡201の反射面で反射する。このとき、主鏡201の反射面で反射した光は、その一部が副鏡202により遮蔽されることとなるが、他の光は副鏡202の側方から出射し、測定位置Pに集光される。   The infrared light and the visible light are reflected by the reflecting surface of the secondary mirror 202 and then reflected by the reflecting surface of the primary mirror 201. At this time, a part of the light reflected by the reflection surface of the primary mirror 201 is blocked by the secondary mirror 202, but the other light is emitted from the side of the secondary mirror 202 and collected at the measurement position P. Is lighted.

反射測定が行われる際には、上カセグレン鏡200A内に導入された赤外光及び可視光が、副鏡202及び主鏡201で順次反射した後、試料ステージ1上の測定位置Pに上方から集光される。測定位置Pに載置された試料からの反射光は、上カセグレン鏡200A内に再び入射し、主鏡201及び副鏡202で順次反射した後、上カセグレン鏡200Aから上方に出射する。   When the reflection measurement is performed, the infrared light and the visible light introduced into the upper Cassegrain mirror 200A are sequentially reflected by the sub-mirror 202 and the main mirror 201, and then are moved from above to the measurement position P on the sample stage 1. It is collected. The reflected light from the sample placed at the measurement position P enters the upper Cassegrain mirror 200A again, is sequentially reflected by the primary mirror 201 and the secondary mirror 202, and then exits upward from the upper Cassegrain mirror 200A.

一方、透過測定が行われる際には、下カセグレン鏡200B内に導入された赤外光及び可視光が、副鏡202及び主鏡201で順次反射した後、試料ステージ1上の測定位置Pに下方から集光される。そして、測定位置Pに載置された試料からの透過光が、上カセグレン鏡200A内に入射する。上カセグレン鏡200A内に入射した光は、主鏡201及び副鏡202で順次反射した後、上カセグレン鏡200Aから上方に出射する。   On the other hand, when the transmission measurement is performed, the infrared light and the visible light introduced into the lower Cassegrain mirror 200B are sequentially reflected by the sub-mirror 202 and the main mirror 201, and then reflected at the measurement position P on the sample stage 1. Light is collected from below. Then, transmitted light from the sample placed at the measurement position P enters the upper Cassegrain mirror 200A. The light that has entered the upper Cassegrain mirror 200A is sequentially reflected by the primary mirror 201 and the secondary mirror 202, and then exits upward from the upper Cassegrain mirror 200A.

上カセグレン鏡200Aから上方に出射した試料からの光(反射光又は透過光)は、ビームスプリッタ6に導かれる。このビームスプリッタ6は、可視光又は赤外光の一方を透過し、他方を反射させる。本実施形態では、ビームスプリッタ6が可視光を透過し、赤外光を反射させるような構成について説明するが、ビームスプリッタ6が赤外光を透過し、可視光を反射させるような構成であってもよい。   Light (reflected light or transmitted light) from the sample emitted upward from the upper Cassegrain mirror 200 </ b> A is guided to the beam splitter 6. The beam splitter 6 transmits one of visible light and infrared light and reflects the other. In the present embodiment, a configuration in which the beam splitter 6 transmits visible light and reflects infrared light will be described. However, the beam splitter 6 is configured to transmit infrared light and reflect visible light. You may.

試料に照射され、試料で反射又は透過した赤外光は、ビームスプリッタ6で反射した後、反射ミラー30で反射して検出器4に入射する。これにより、検出器4から検出信号が出力され、当該検出信号に基づいて試料の反射測定又は透過測定を行うことができる。一方、試料に照射され、試料で反射又は透過した可視光は、ビームスプリッタ6を透過した後、反射ミラー31で反射してカメラ5に入射する。これにより、可視光によって照明された画像をカメラ5で撮像し、その画像を確認することができる。   The infrared light irradiated to the sample and reflected or transmitted by the sample is reflected by the beam splitter 6, then reflected by the reflection mirror 30, and enters the detector 4. As a result, a detection signal is output from the detector 4, and reflection measurement or transmission measurement of the sample can be performed based on the detection signal. On the other hand, the visible light radiated to the sample and reflected or transmitted by the sample passes through the beam splitter 6, is reflected by the reflection mirror 31 and enters the camera 5. Thus, the image illuminated by the visible light can be captured by the camera 5 and the image can be confirmed.

本実施形態では、可視光源3から照射される可視光の光路上に、偏光子7及び検光子8が配置されている。偏光子7は、可視光源3から試料までの光路上に配置されており、検光子8は、試料に照射された後の可視光の光路上に配置されている。偏光子7及び検光子8は、いずれも可視光のみの光路上に配置されており、赤外光の光路上には位置しないように配置されている。   In the present embodiment, the polarizer 7 and the analyzer 8 are arranged on the optical path of the visible light emitted from the visible light source 3. The polarizer 7 is arranged on the optical path from the visible light source 3 to the sample, and the analyzer 8 is arranged on the optical path of visible light after irradiating the sample. The polarizer 7 and the analyzer 8 are both arranged on the optical path of only visible light, and are arranged so as not to be located on the optical path of infrared light.

偏光子7は、可視光源3からの可視光を透過させることにより、偏光面が第1の方向に沿った直線偏光を生成する。すなわち、偏光子7に入射する可視光のうち、第1の方向に沿って振動する光のみが偏光子7を透過し、直線偏光として試料に照射される。偏光子7は、可視光源3からの可視光の光軸に対して直交するように配置されている。試料に照射された直線偏光は、試料で反射又は透過することにより振動方向が不規則となり、その後に検光子8に入射する。   The polarizer 7 transmits the visible light from the visible light source 3 to generate linearly polarized light whose polarization plane is along the first direction. That is, of the visible light incident on the polarizer 7, only the light that vibrates along the first direction passes through the polarizer 7 and is irradiated on the sample as linearly polarized light. The polarizer 7 is disposed so as to be orthogonal to the optical axis of the visible light from the visible light source 3. The linearly polarized light applied to the sample is reflected or transmitted by the sample, so that the vibration direction becomes irregular, and then enters the analyzer 8.

検光子8は、偏光面が第2の方向に沿った直線偏光を透過させる。すなわち、試料からの反射光又は透過光のうち、第2の方向に沿って振動する光のみが検光子8を透過し、直線偏光としてカメラ5に入射する。検光子8は、試料からの反射光又は透過光の光軸に対して直交するように配置されている。   The analyzer 8 transmits linearly polarized light whose polarization plane is along the second direction. That is, of the reflected light or transmitted light from the sample, only light that vibrates in the second direction passes through the analyzer 8 and enters the camera 5 as linearly polarized light. The analyzer 8 is disposed so as to be orthogonal to the optical axis of the reflected light or transmitted light from the sample.

本実施形態では、検光子8が、当該検光子8に対して直交する回転軸線Aを中心に回転可能に保持されている。回転軸線Aは、検光子8に入射する試料からの反射光又は透過光の光軸に対して平行に延びている。検光子8は、例えばモータなどの駆動源を含む回転機構(移動機構)9により、回転軸線Aを中心に回転駆動される。   In the present embodiment, the analyzer 8 is held rotatably around a rotation axis A orthogonal to the analyzer 8. The rotation axis A extends parallel to the optical axis of the reflected light or transmitted light from the sample incident on the analyzer 8. The analyzer 8 is driven to rotate about the rotation axis A by a rotation mechanism (moving mechanism) 9 including a drive source such as a motor.

回転機構9を用いて回転軸線Aを中心に検光子8を回転させることにより、偏光子7に対する検光子8の相対的な回転角を変化させ、カメラ5に入射する試料からの反射光又は透過光を変化させることができる。このようにしてカメラ5で撮像される画像を変化させることにより、試料の偏光特性を観察することができる。   By rotating the analyzer 8 about the rotation axis A using the rotation mechanism 9, the relative rotation angle of the analyzer 8 with respect to the polarizer 7 is changed, and the reflected light or transmission from the sample incident on the camera 5 is transmitted. Light can be changed. By changing the image captured by the camera 5 in this manner, the polarization characteristics of the sample can be observed.

2.検光子の回転移動
図2A〜図2Cは、検光子8を回転させたときの直線偏光の方向の変化について説明するための概略図である。本実施形態では、検光子8は、円板81の一部に切欠き82を有する形状で形成されている。検光子8の回転軸線Aは、例えば円板81の中心に位置しており、当該回転軸線Aを中心とする一定の角度範囲θの部分に切欠き82が形成されている。
2. 2A to 2C are schematic diagrams for explaining a change in the direction of linearly polarized light when the analyzer 8 is rotated. In the present embodiment, the analyzer 8 is formed in a shape having a notch 82 in a part of a disk 81. The rotation axis A of the analyzer 8 is located, for example, at the center of the disk 81, and a notch 82 is formed in a portion within a certain angle range θ centered on the rotation axis A.

この例では、上記角度範囲θが90°となっているが、これに限られるものではない。上記角度範囲θは、180°未満であることが好ましく、90°以上かつ180°未満であればより好ましい。すなわち、切欠き82を除く検光子8の部分は、回転軸線Aを中心として180°以上かつ360°未満であることが好ましく、180°以上かつ270°未満であればより好ましい。   In this example, the angle range θ is 90 °, but is not limited to 90 °. The angle range θ is preferably less than 180 °, more preferably 90 ° or more and less than 180 °. That is, the portion of the analyzer 8 excluding the notch 82 is preferably 180 ° or more and less than 360 ° around the rotation axis A, and more preferably 180 ° or more and less than 270 °.

測定位置Pに試料が載置されていない状態では、検光子8に入射する光Lは、第1の方向D1に沿った直線偏光となる。光Lの通過位置は、回転軸線Aを中心に回転する検光子8(円板81)の軌道上に位置するとともに、切欠き82の軌道上にも位置している。したがって、回転軸線Aを中心に検光子8を回転させることにより、検光子8を透過する光の振動方向である第2の方向D2を第1の方向D1に対して相対的に変化させることができるとともに、光Lが切欠き82を通過する状態とすることもできる。   In a state where the sample is not placed at the measurement position P, the light L incident on the analyzer 8 becomes linearly polarized light along the first direction D1. The passing position of the light L is located on the trajectory of the analyzer 8 (disk 81) rotating about the rotation axis A, and is also located on the trajectory of the notch 82. Therefore, by rotating the analyzer 8 about the rotation axis A, the second direction D2 which is the vibration direction of the light passing through the analyzer 8 can be relatively changed with respect to the first direction D1. At the same time, the light L may pass through the notch 82.

図2Aの状態は、第1の方向D1と第2の方向D2とが直交する直交状態である。この状態はクロスニコルと呼ばれており、第1の方向D1に沿った直線偏光である光Lは、検光子8を透過することができない。一方、図2Bの状態は、第1の方向D1と第2の方向D2とが平行に延びる平行状態である。この状態では、第1の方向D1に沿った直線偏光である光Lは、そのまま検光子8を透過することができる。   The state of FIG. 2A is an orthogonal state in which the first direction D1 and the second direction D2 are orthogonal. This state is called crossed Nicols, and the light L that is linearly polarized light along the first direction D1 cannot pass through the analyzer 8. On the other hand, the state of FIG. 2B is a parallel state in which the first direction D1 and the second direction D2 extend in parallel. In this state, light L that is linearly polarized light along the first direction D1 can pass through the analyzer 8 as it is.

図2Cの状態は、光Lの光路上に検光子8がない退避状態である。この状態はオープンニコルと呼ばれており、光Lの光路上に切欠き82が位置している。したがって、第1の方向D1に沿った直線偏光である光Lは、検光子8を透過することなく切欠き82を通過することとなる。   The state shown in FIG. 2C is a retracted state in which the analyzer 8 is not on the optical path of the light L. This state is called open Nicol, and the notch 82 is located on the optical path of the light L. Therefore, the light L that is linearly polarized light along the first direction D1 passes through the notch 82 without passing through the analyzer 8.

このように、本実施形態では、回転軸線Aを中心にして検光子8を回転移動させることにより、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。この例では、図2Aの直交状態から検光子8を時計回りに90°回転させることにより、第1の方向D1と第2の方向D2との角度を連続的に変化させ、図2Bの平行状態に遷移させることができる。また、図2Bの状態から検光子8を時計回りにさらに180°回転させることにより、図2Cの退避状態に遷移させることができる。   As described above, in the present embodiment, the analyzer 8 can be shifted between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state by rotating the analyzer 8 about the rotation axis A. In this example, the angle between the first direction D1 and the second direction D2 is continuously changed by rotating the analyzer 8 clockwise by 90 ° from the orthogonal state in FIG. Can be changed to By rotating the analyzer 8 further 180 ° clockwise from the state of FIG. 2B, it is possible to make a transition to the retracted state of FIG. 2C.

すなわち、本実施形態では、回転軸線Lを中心として270°の回転角で検光子8を回転させることにより、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。ただし、上記回転角は270°に限られるものではなく、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができるような任意の回転角とすることができる。この場合、上記回転角は、90°以上かつ360°未満であることが好ましく、180°以上かつ270°以下であることがより好ましい。   That is, in the present embodiment, the analyzer 8 can be shifted between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state by rotating the analyzer 8 at a rotation angle of 270 ° about the rotation axis L. However, the rotation angle is not limited to 270 °, and may be any rotation angle that allows transition between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state. In this case, the rotation angle is preferably 90 ° or more and less than 360 °, and more preferably 180 ° or more and 270 ° or less.

3.検光子の具体的構成例
図3Aは、検光子8の具体的構成の一例を示した図である。この例では、円板81に対して90°の角度範囲で切欠き82が形成されることにより検光子8が構成されている。検光子8は、第2の方向D2に沿った直線偏光を透過させる本体83と、本体83の外周を保持する保持部84と備えている。
3. FIG. 3A is a diagram showing an example of a specific configuration of the analyzer 8. In this example, the analyzer 8 is formed by forming the notch 82 in an angle range of 90 ° with respect to the disk 81. The analyzer 8 includes a main body 83 that transmits linearly polarized light along the second direction D2, and a holding section 84 that holds the outer periphery of the main body 83.

保持部84は、中空の円形状に形成された外枠841と、切欠き82に沿って形成されたリブ842とが一体的に形成された構成を有している。保持部84は、例えば樹脂又は金属などにより形成されている。保持部84は、フィルム状の本体83よりも厚みが大きい部材であり、単位面積当たりの重さが本体83よりも重い。そのため、検光子8の重心は円板81の中心からずれており、本実施形態では、回転軸線Aが検光子8の重心を通るように配置されている。   The holding portion 84 has a configuration in which an outer frame 841 formed in a hollow circular shape and a rib 842 formed along the notch 82 are integrally formed. The holding portion 84 is formed of, for example, resin or metal. The holding portion 84 is a member having a greater thickness than the film-shaped main body 83, and weighs more per unit area than the main body 83. For this reason, the center of gravity of the analyzer 8 is shifted from the center of the disk 81, and in this embodiment, the rotation axis A is arranged so as to pass through the center of gravity of the analyzer 8.

図3Bは、検光子8の具体的構成の他の例を示した図である。この例では、円板81に対して180°の角度範囲で切欠き82が形成されることにより半円板状の検光子8が構成されている。検光子8は、第2の方向D2に沿った直線偏光を透過させる本体85と、本体85の外周を保持する保持部86と備えている。   FIG. 3B is a diagram illustrating another example of the specific configuration of the analyzer 8. In this example, the notch 82 is formed in the angle range of 180 ° with respect to the circular plate 81, thereby forming the semi-circular analyzer 8. The analyzer 8 includes a main body 85 that transmits linearly polarized light along the second direction D2, and a holding unit 86 that holds the outer periphery of the main body 85.

保持部86は、中空の半円形状に形成されている。保持部86は、例えば樹脂又は金属などにより形成されている。保持部86は、フィルム状の本体85よりも厚みが大きい部材であり、単位面積当たりの重さが本体85よりも重い。そのため、検光子8の重心は円板81の中心からずれており、本実施形態では、回転軸線Aが検光子8の重心を通るように配置されている。   The holding portion 86 is formed in a hollow semicircular shape. The holding portion 86 is formed of, for example, resin or metal. The holding portion 86 is a member having a thickness greater than that of the film-shaped main body 85, and weighs more per unit area than the main body 85. For this reason, the center of gravity of the analyzer 8 is shifted from the center of the disk 81, and in this embodiment, the rotation axis A is arranged so as to pass through the center of gravity of the analyzer 8.

4.作用効果
(1)本実施形態では、偏光子7及び検光子8を相対的に移動させる1つの移動機構(回転機構9)を用いて、図2A〜図2Cに示すように、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。したがって、直交状態及び平行状態の間で遷移させるための機構と、退避状態に遷移させるための機構とを別々に設ける必要がないため、構造が簡略化された赤外顕微鏡100を提供することができる。
4. Operation and Effect (1) In the present embodiment, as shown in FIGS. 2A to 2C, a single moving mechanism (rotating mechanism 9) for relatively moving the polarizer 7 and the analyzer 8 is used. A transition can be made between the state and the evacuation state. Therefore, there is no need to separately provide a mechanism for making a transition between the orthogonal state and the parallel state and a mechanism for making a transition to the retracted state, so that it is possible to provide the infrared microscope 100 having a simplified structure. it can.

(2)特に、移動機構が、回転軸線Aを中心にして検光子8を回転移動させる回転機構9により構成されているため、検光子8の回転角を調整するだけの簡単な機構で、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。 (2) In particular, since the moving mechanism is constituted by the rotating mechanism 9 for rotating and moving the analyzer 8 about the rotation axis A, the moving mechanism is a simple mechanism for adjusting the rotation angle of the analyzer 8 and is orthogonal. A transition can be made between the state, the parallel state, and the retracted state.

(3)また、図3A又は図3Bに例示されるように、回転軸線Aが検光子8の重心を通っているような構成であれば、回転移動される検光子8の回転軸線Aが偏心していないため、検光子8が重力で回転することを防止できる。したがって、検光子8が重力で回転することを阻止するためのストッパ又はブレーキなどを設ける必要がないため、さらに構造を簡略化することができる。このような効果は、回転軸線Aが鉛直方向に対して交差する方向(例えば水平方向)に延びている場合に特に顕著となる。 (3) In addition, as illustrated in FIG. 3A or FIG. 3B, if the rotation axis A passes through the center of gravity of the analyzer 8, the rotation axis A of the analyzer 8 that is rotated and moved is deviated. Since the analyzer 8 is not centered, the analyzer 8 can be prevented from rotating by gravity. Therefore, since it is not necessary to provide a stopper or a brake for preventing the analyzer 8 from rotating by gravity, the structure can be further simplified. Such an effect is particularly remarkable when the rotation axis A extends in a direction intersecting the vertical direction (for example, a horizontal direction).

(4)また、本実施形態では、回転軸線Aを中心として90°以上かつ360°未満の範囲(例えば270°)で検光子8の回転角を調整するだけで、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。直交状態と平行状態との間は90°の回転角で遷移させることができるため、それ以上の回転角まで検光子8を回転させることにより、退避状態まで遷移させることができる。 (4) Further, in the present embodiment, the orthogonal state, the parallel state, and the retreating state are achieved only by adjusting the rotation angle of the analyzer 8 within a range of 90 ° or more and less than 360 ° (for example, 270 °) around the rotation axis A. Transitions can be made between states. Since the transition between the orthogonal state and the parallel state can be made at a rotation angle of 90 °, it is possible to make a transition to the retracted state by rotating the analyzer 8 to a larger rotation angle.

(5)さらに、本実施形態では、図3A又は図3Bに例示されるように、円板81の一部に切欠き82を有する形状で検光子8を形成するだけの簡単な構成により、その切欠き82の部分を用いて退避状態に遷移させることができる。 (5) Further, in the present embodiment, as illustrated in FIG. 3A or FIG. 3B, the analyzer 8 has a simple configuration in which the analyzer 8 is simply formed in a shape having a notch 82 in a part of a disk 81. Using the portion of the notch 82, the state can be changed to the retreat state.

5.変形例
(1)上記実施形態では、検光子8が可視光源3から照射される可視光の光路上に配置された構成について説明した。この場合、赤外顕微鏡100における可視光を用いた観察時に、移動機構(回転機構9)を用いて偏光子7及び検光子8を相対的に移動させるだけで、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。
5. Modification (1) In the above embodiment, the configuration in which the analyzer 8 is arranged on the optical path of the visible light emitted from the visible light source 3 has been described. In this case, at the time of observation using visible light in the infrared microscope 100, the polarizer 7 and the analyzer 8 are relatively moved using the moving mechanism (rotating mechanism 9), and the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state are obtained. Can be transitioned between

しかし、このような構成に限らず、検光子8が赤外光源2から照射される赤外光の光路上に配置された構成であってもよい。この場合、赤外顕微鏡100における赤外光を用いた観察時に、移動機構を用いて偏光子及び検光子を相対的に移動させるだけで、直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させることができる。   However, the configuration is not limited to such a configuration, and the analyzer 8 may be arranged on the optical path of infrared light emitted from the infrared light source 2. In this case, at the time of observation using the infrared light in the infrared microscope 100, the transition between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state is performed only by relatively moving the polarizer and the analyzer using the moving mechanism. Can be.

(2)上記実施形態では、回転軸線Aを中心にして検光子8を回転移動させるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、偏光子7に直交する回転軸線を中心にして、偏光子7を回転移動させるような構成であってもよい。また、偏光子7及び検光子8を相対的に移動させるような構成であれば、偏光子7及び検光子8の両方を回転移動させるような構成であってもよいし、偏光子7及び検光子8の少なくとも一方をスライドなどの回転以外の態様で移動させるような構成であってもよい。 (2) In the above embodiment, the configuration in which the analyzer 8 is rotationally moved about the rotation axis A has been described. However, the configuration is not limited to such a configuration, and a configuration in which the polarizer 7 is rotationally moved about a rotation axis orthogonal to the polarizer 7 may be used. Further, as long as the polarizer 7 and the analyzer 8 are relatively moved, the configuration may be such that both the polarizer 7 and the analyzer 8 are rotationally moved, or the polarizer 7 and the analyzer 8 may be moved. A configuration in which at least one of the photons 8 is moved in a mode other than rotation such as a slide may be employed.

(3)偏光子7又は検光子8を直交状態、平行状態及び退避状態の間で遷移させる移動機構は、回転機構9のようにモータなどの駆動源を含む構成に限らず、手動式のものであってもよい。この場合、作業者が把持して偏光子7又は検光子8を移動させるためのレバーが移動機構に設けられていてもよい。 (3) The moving mechanism for transitioning the polarizer 7 or the analyzer 8 between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state is not limited to a configuration including a driving source such as a motor like the rotating mechanism 9, but is a manual type. It may be. In this case, a lever for the operator to move the polarizer 7 or the analyzer 8 while holding the same may be provided in the moving mechanism.

(4)以上の実施形態では、本発明が赤外顕微鏡100に適用される場合について説明した。しかし、本発明は、赤外顕微鏡100に限らず、赤外光源2を備えていない偏光顕微鏡にも適用可能である。 (4) In the above embodiment, the case where the present invention is applied to the infrared microscope 100 has been described. However, the present invention is not limited to the infrared microscope 100, but is also applicable to a polarization microscope without the infrared light source 2.

1 試料ステージ
2 赤外光源
3 可視光源
4 検出器
5 カメラ
6 ビームスプリッタ
7 偏光子
8 検光子
9 回転機構
81 円板
82 切欠き
83 本体
84 保持部
85 本体
86 保持部
100 赤外顕微鏡
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sample stage 2 Infrared light source 3 Visible light source 4 Detector 5 Camera 6 Beam splitter 7 Polarizer 8 Analyzer 9 Rotation mechanism 81 Disk 82 Notch 83 Main body 84 Holding part 85 Main body 86 Holding part 100 Infrared microscope

Claims (7)

試料に向けて光を照射する光源と、
前記光源から試料までの光路上に配置され、前記光源からの光を透過させることにより、偏光面が第1の方向に沿った直線偏光を生成する偏光子と、
試料に照射された後の光の光路上に配置され、偏光面が第2の方向に沿った直線偏光を透過させる検光子と、
前記偏光子及び前記検光子を相対的に移動させることにより、前記第1の方向及び前記第2の方向が直交する直交状態と、前記第1の方向及び前記第2の方向が平行に延びる平行状態と、光路上に前記偏光子又は前記検光子がない退避状態との間で遷移させることができる移動機構とを備えることを特徴とする偏光顕微鏡。
A light source for irradiating the sample with light,
A polarizer that is disposed on an optical path from the light source to a sample and transmits light from the light source, so that a polarization plane generates linearly polarized light along a first direction,
An analyzer that is arranged on the optical path of the light after being irradiated on the sample, and whose polarization plane transmits linearly polarized light along the second direction;
By moving the polarizer and the analyzer relatively, a perpendicular state in which the first direction and the second direction are perpendicular to each other and a parallel state in which the first direction and the second direction extend in parallel. A polarizing microscope comprising: a moving mechanism capable of making a transition between a state and a retracted state in which the polarizer or the analyzer is not on an optical path.
前記移動機構は、回転軸線を中心にして前記偏光子又は前記検光子を回転移動させることを特徴とする請求項1に記載の偏光顕微鏡。   The polarization microscope according to claim 1, wherein the moving mechanism rotates the polarizer or the analyzer around a rotation axis. 前記回転軸線が、前記偏光子又は前記検光子の重心を通ることを特徴とする請求項2に記載の偏光顕微鏡。   The polarization microscope according to claim 2, wherein the rotation axis passes through the center of gravity of the polarizer or the analyzer. 前記偏光子又は前記検光子は、前記回転軸線を中心として90°以上かつ360°未満の回転角で回転することにより、前記直交状態、前記平行状態及び前記退避状態の間で遷移することを特徴とする請求項2又は3に記載の偏光顕微鏡。   The polarizer or the analyzer transitions between the orthogonal state, the parallel state, and the retracted state by rotating at a rotation angle of 90 ° or more and less than 360 ° around the rotation axis. The polarizing microscope according to claim 2 or 3, wherein: 前記偏光子又は前記検光子は、円板の一部に切欠きを有する形状であり、前記切欠きが光路上に位置しているときに前記退避状態となることを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載の偏光顕微鏡。   The polarizer or the analyzer has a shape having a notch in a part of a disk, and is in the retracted state when the notch is located on an optical path. The polarizing microscope according to any one of items 4 to 5. 前記光源は、試料に向けて可視光を照射する可視光源と、試料に向けて赤外光を照射する赤外光源とを含み、
前記偏光子及び前記検光子は、前記可視光源から照射される可視光の光路上に配置されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の偏光顕微鏡。
The light source includes a visible light source that emits visible light toward the sample, and an infrared light source that emits infrared light toward the sample,
The polarization microscope according to any one of claims 1 to 5, wherein the polarizer and the analyzer are arranged on an optical path of visible light emitted from the visible light source.
前記光源は、試料に向けて可視光を照射する可視光源と、試料に向けて赤外光を照射する赤外光源とを含み、
前記偏光子及び前記検光子は、前記赤外光源から照射される赤外光の光路上に配置されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の偏光顕微鏡。
The light source includes a visible light source that emits visible light toward the sample, and an infrared light source that emits infrared light toward the sample,
The polarization microscope according to any one of claims 1 to 5, wherein the polarizer and the analyzer are arranged on an optical path of infrared light emitted from the infrared light source.
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