JP2019203863A5 - - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態としての波面センサは、被検光を複数の光に分割する分割素子と、前記複数の光を受光する撮像素子と、前記撮像素子で受光した前記複数の光の強度分布に基づいて前記被検光の波面を算出する演算手段とを有し、前記分割素子と前記撮像素子とが直接又は平板ガラスを介して接しており、前記演算手段は、前記波面の算出において、前記分割素子と前記撮像素子の相対位置のずれを、回転軸の周りに回転させる演算により補正することを特徴とする。
Claims (11)
- 被検光を複数の光に分割する分割素子と、
前記複数の光を受光する撮像素子と、
前記撮像素子で受光した前記複数の光の強度分布に基づいて前記被検光の波面を算出する演算手段とを有し、
前記分割素子と前記撮像素子とが直接又は平板ガラスを介して接しており、
前記演算手段は、前記波面の算出において、前記分割素子と前記撮像素子の相対位置のずれを、回転軸の周りに回転させる演算により補正することを特徴とする波面センサ。 - 前記回転軸は、前記撮像素子の撮像面に垂直であることを特徴とする請求項１に記載の波面センサ。
- 前記回転軸は、前記撮像素子の撮像面に平行であることを特徴とする請求項１または２に記載の波面センサ。
- 前記分割素子と前記撮像素子とが前記平板ガラスを介して接しており、
前記演算手段は、前記平板ガラスの厚み及び屈折率に基づいて前記波面を算出することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の波面センサ。 - 前記分割素子の光出射側の面が平面であり、
前記撮像素子または前記平板ガラスは、前記平面に接し、
前記演算手段は、前記分割素子の厚み及び屈折率に基づいて前記波面を算出することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の波面センサ。 - 前記撮像素子は、受光部と、該受光部の光入射側に配置された光透過部材を有し、
前記分割素子または前記平板ガラスは、前記光透過部材と接し、
前記演算手段は、前記光透過部材の厚み及び屈折率に基づいて前記波面を算出することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の波面センサ。 - 前記光透過部材は、カバーガラス、ローパスフィルタ、赤外カットフィルタの少なくとも１つにより構成されていることを特徴とする請求項６に記載の波面センサ。
- 前記分割素子と前記撮像素子とが前記平板ガラスを介して接しており、
前記平板ガラスの光入射側の面と光出射側の面がなす角度は０．００５度以下であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の波面センサ。 - 光源からの光を被検物に入射させる投光系と、
前記被検物から出射した被検光を受光して該被検光の波面を算出する請求項１から８のいずれか１項に記載の波面センサを有することを特徴とする波面計測装置。 - 光学系を組み立てるステップと、
請求項９に記載の波面計測装置を用いて前記光学系の波面収差を計測することにより、前記光学系の光学性能を評価するステップを含むことを特徴とする光学系の製造方法。 - 光学素子を加工するステップと、
請求項９に記載の波面計測装置を用いて前記光学素子の波面収差を計測することにより、前記光学素子の光学性能を評価するステップを含むことを特徴とする光学素子の製造方法。
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