JP2019191493A - Electromagnetic drive reflector - Google Patents

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Abstract

To provide an electromagnetic drive reflector with which it is possible to improve the fixation of a magnetic element to a reflector body.SOLUTION: A magnetic element 3 is secured to a reflector body 2 and a reinforcement member 4 by an adhesive 100, and a part of the adhesive 100 is filled in a gap 6 between the reinforcement member 4 and the reflector body 2, so that the adhesive 100 is caught by the reinforcement member 4 and becomes hardly separable from the reflector body 2 and the reinforcement member 4. Especially when a force in a direction Z (a force for leaving from the reflector body 2 in an out-of-plane direction) is applied to the magnetic element 3, the adhesive 100 is suppressed from peeling off. Thus, it is possible to make the adhesive 100 hardly separable from the reflector body 2 and the reinforcement member 4, and to improve the fixation of the magnetic element 3 to the reflector body 2.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、電磁駆動式反射板に関する。   The present invention relates to an electromagnetically driven reflector.

従来、反射板を回動させることで反射光を走査する光偏向器として、電磁駆動手段を備えたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載された光偏向器では、可動ミラー（反射板本体）に配置された可動磁石（磁気素子）と、固定コイル（磁気アクチュエータ）と、によって電磁駆動手段が構成されており、電磁力によって可動ミラーが変位するようになっている。   2. Description of the Related Art Conventionally, an optical deflector that scans reflected light by rotating a reflecting plate and has an electromagnetic driving means has been proposed (see, for example, Patent Document 1). In the optical deflector described in Patent Document 1, an electromagnetic drive means is configured by a movable magnet (magnetic element) disposed on a movable mirror (reflector main body) and a fixed coil (magnetic actuator). The movable mirror is displaced by force.

特開２００５−１７３４１１号公報JP-A-2005-173411

特許文献１に記載されたような電磁駆動式の光偏向器においては、反射板本体に磁気素子（磁石又はコイル）を固定する必要があり、接着剤を用いて磁気素子を固定する方法が考えられる。しかしながら、反射板本体が回動する際に振動が発生したり、光偏向器が搭載される対象（例えば車両等の移動体）において振動が発生したりすることがあり、接着剤に外力が加わって剥がれてしまう可能性があった。接着剤が剥がれると磁気素子が反射板本体から脱落してしまうことから、固定力の向上が望まれていた。   In the electromagnetically driven optical deflector described in Patent Document 1, it is necessary to fix a magnetic element (magnet or coil) to the reflector body, and a method of fixing the magnetic element using an adhesive is considered. It is done. However, vibration may occur when the reflector main body rotates, or vibration may occur in an object (for example, a moving body such as a vehicle) on which the optical deflector is mounted, and an external force is applied to the adhesive. There was a possibility of peeling off. When the adhesive is peeled off, the magnetic element falls off from the reflector main body, so that an improvement in fixing force has been desired.

したがって、本発明の課題は、反射板本体に対する磁気素子の固定力を向上させることができる電磁駆動式反射板を提供することが一例として挙げられる。   Therefore, an object of the present invention is to provide, as an example, an electromagnetically driven reflector that can improve the fixing force of the magnetic element to the reflector body.

前述した課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の電磁駆動式反射板は、反射板本体と、前記反射板本体の第一の面側に配置される磁気素子と、前記第一の面に設けられる補強体と、を備え、前記補強体と前記反射板本体との間に、前記第一の面の面外方向に離隔した空隙部が形成され、前記磁気素子は、接着剤によって前記反射板本体と前記補強体とのうち少なくとも一方に固定され、前記接着剤の一部が、前記空隙部に充填されていることを特徴としている。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the electromagnetically driven reflector according to the first aspect of the present invention includes a reflector main body and a magnetic element disposed on the first surface side of the reflector main body. And a reinforcing body provided on the first surface, and a gap portion is formed between the reinforcing body and the reflector main body in the out-of-plane direction of the first surface, and the magnetic The element is fixed to at least one of the reflector main body and the reinforcing body by an adhesive, and a part of the adhesive is filled in the gap.

本発明の第１実施例に係る光偏向器を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the optical deflector which concerns on 1st Example of this invention. 前記光偏向器の電磁駆動式反射板を示す平面図である。It is a top view which shows the electromagnetically driven reflecting plate of the said optical deflector. 図２のＸ１−Ｘ１線に沿った断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line X1-X1 of FIG. 本発明の第２実施例に係る光偏向器の電磁駆動式反射板を示す平面図である。It is a top view which shows the electromagnetically driven reflection plate of the optical deflector which concerns on 2nd Example of this invention. 図４のＸ２−Ｘ２線に沿った断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line X2-X2 of FIG. 前記電磁駆動式反射板の要部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows the principal part of the said electromagnetic drive type reflecting plate.

以下、本発明の実施形態を説明する。本発明の実施形態に係る電磁駆動式反射板は、反射板本体と、反射板本体の第一の面側に配置される磁気素子と、第一の面に設けられる補強体と、を備える。補強体と反射板本体との間に、第一の面の面外方向に離隔した空隙部が形成されている。磁気素子は、接着剤によって反射板本体と補強体とのうち少なくとも一方に固定される。接着剤の一部が、空隙部に充填されている。   Embodiments of the present invention will be described below. An electromagnetically driven reflector according to an embodiment of the present invention includes a reflector main body, a magnetic element disposed on the first surface side of the reflector main body, and a reinforcing body provided on the first surface. Between the reinforcing body and the reflector main body, a gap is formed that is separated in the out-of-plane direction of the first surface. The magnetic element is fixed to at least one of the reflector main body and the reinforcing body with an adhesive. A part of the adhesive is filled in the gap.

磁気素子が接着剤によって反射板本体と補強体とのうち少なくとも一方に固定されるとともに、この接着剤の一部が、補強体と反射板本体との間の空隙部に充填されることで、接着剤が補強体に対して引っ掛かり、反射板本体又は補強体から剥がれにくくなる。特に、反射板本体から面外方向に離れるような力が磁気素子に加わった場合に、接着剤の剥がれが抑制される。このように、接着剤を反射板本体又は補強体から剥がれにくくし、反射板本体に対する磁気素子の固定力を向上させることができる。   The magnetic element is fixed to at least one of the reflector main body and the reinforcing body by an adhesive, and a part of the adhesive is filled in a gap between the reinforcing body and the reflector main body. The adhesive is caught on the reinforcing body and is difficult to peel off from the reflector main body or the reinforcing body. In particular, when a force that moves away from the reflector main body is applied to the magnetic element, peeling of the adhesive is suppressed. In this way, the adhesive can be made difficult to peel off from the reflector main body or the reinforcing body, and the fixing force of the magnetic element to the reflector main body can be improved.

磁気素子は、第一の面に沿った板状に形成されるとともに、その周面に凹部を有し、接着剤の他の一部が、凹部に充填されていることが好ましい。これにより、接着剤が凹部において磁気素子に引っ掛かり、磁気素子から剥がれにくくなる。従って、反射板本体に対する磁気素子の固定力をさらに向上させることができる。   It is preferable that the magnetic element is formed in a plate shape along the first surface, has a concave portion on its peripheral surface, and is filled with the other part of the adhesive. As a result, the adhesive is caught by the magnetic element in the recess, and is difficult to peel off from the magnetic element. Therefore, the fixing force of the magnetic element with respect to the reflector main body can be further improved.

補強体は、第一の面から突出して磁気素子を囲むように配置され、空隙部は、磁気素子に対面して形成されていることが好ましい。これにより、磁気素子に対して第一の面の面方向の力が加わった場合に、反射板本体に対する磁気素子の位置ずれを抑制することができる。このとき、補強体と磁気素子との間には、面方向に離隔した第２の空隙部が形成されていてもよく、第２の空隙部にも接着剤が充填されていることが好ましい。   The reinforcing body is preferably disposed so as to protrude from the first surface and surround the magnetic element, and the gap is formed to face the magnetic element. Thereby, when the force in the surface direction of the first surface is applied to the magnetic element, it is possible to suppress the displacement of the magnetic element with respect to the reflector main body. At this time, a second gap portion separated in the surface direction may be formed between the reinforcing body and the magnetic element, and the second gap portion is preferably filled with an adhesive.

補強体は、第一の面上に配置され、磁気素子は、補強体上に載置されていてもよい。即ち、反射板と補強体と磁気素子とがこの順で重ねられた構成であってもよく、この構成においても、接着剤を反射板本体又は補強体から剥がれにくくし、反射板本体に対する磁気素子の固定力を向上させることができる。   The reinforcing body may be disposed on the first surface, and the magnetic element may be placed on the reinforcing body. That is, the reflector, the reinforcing body, and the magnetic element may be stacked in this order. In this structure, the adhesive is not easily peeled off from the reflector main body or the reinforcing body, and the magnetic element for the reflector main body is used. The fixing force can be improved.

補強体には、一端が空隙部に連通するとともに他端が開放された貫通孔が形成されていることが好ましい。これにより、接着剤を空隙部に充填する際に、貫通孔を気体抜き用の孔として用いることができ、即ち、空隙部に存在する気体を貫通孔から外部に放出することができる。従って、空隙部に気体が残留してしまうことを抑制することができる。   The reinforcing body is preferably formed with a through hole having one end communicating with the gap and the other end opened. Accordingly, when filling the gap with the adhesive, the through hole can be used as a vent hole, that is, the gas existing in the gap can be discharged to the outside from the through hole. Therefore, it can suppress that gas remains in a space | gap part.

本実施形態の光偏向器は、上記の電磁駆動式反射板と、磁気素子に働きかけて電磁駆動式反射板を回動させる磁気アクチュエータと、を備える。光偏向器が上記のような電磁駆動式反射板を備えることで、反射板本体に対する磁気素子の固定力を向上させることができる。   The optical deflector of the present embodiment includes the above-described electromagnetically driven reflector and a magnetic actuator that acts on the magnetic element to rotate the electromagnetically driven reflector. Since the optical deflector includes the electromagnetically driven reflector as described above, the fixing force of the magnetic element with respect to the reflector main body can be improved.

以下、本発明の各実施例について具体的に説明する。尚、第２実施例においては、第１実施例で説明する構成部材と同じ構成部材及び同様な機能を有する構成部材には、第１実施例と同じ符号を付すとともに説明を省略する。   Examples of the present invention will be specifically described below. In the second embodiment, the same constituent members as those described in the first embodiment and the constituent members having similar functions are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment and the description thereof is omitted.

［第１実施例］
本実施例の光偏向器１は、図１に示すように、電磁駆動式反射板１０Ａと、磁気アクチュエータ２０と、光源３０と、ビームスプリッタ４０と、光源用レンズ５０と、ディテクタ用レンズ６０と、共用レンズ７０と、ディテクタ８０と、を備える。光偏向器１は、例えば車両に搭載されて赤外線等の光を送受信することで他車両や設置物等との距離を検出するために用いられる。 [First embodiment]
As shown in FIG. 1, the optical deflector 1 of this embodiment includes an electromagnetically driven reflector 10 </ b> A, a magnetic actuator 20, a light source 30, a beam splitter 40, a light source lens 50, and a detector lens 60. The common lens 70 and the detector 80 are provided. The optical deflector 1 is mounted on a vehicle, for example, and used to detect a distance from another vehicle or an installation object by transmitting and receiving light such as infrared rays.

光偏向器１では、光源３０からの光が光源用レンズ５０を通り、ビームスプリッタ４０を経て電磁駆動式反射板１０Ａで反射されて走査対象領域へと照射される。また、走査対象領域からの戻り光は、共用レンズ７０を通って電磁駆動式反射板１０Ａで反射され、ビームスプリッタ４０及びディテクタ用レンズ６０を通ってディテクタ８０へと向かう。   In the optical deflector 1, the light from the light source 30 passes through the light source lens 50, is reflected by the electromagnetically driven reflector 10 </ b> A through the beam splitter 40, and is irradiated onto the scanning target region. The return light from the scanning target region is reflected by the electromagnetically driven reflector 10 </ b> A through the common lens 70, and travels toward the detector 80 through the beam splitter 40 and the detector lens 60.

本実施例では、図２に示すように、電磁駆動式反射板１０Ａの反射板本体２に沿った２方向をＸ方向及びＹ方向とし、ＸＹ平面に略直交する方向をＺ方向とする。ＸＹ平面に沿った任意の方向が面方向となり、Ｚ方向が面外方向となる。   In this embodiment, as shown in FIG. 2, two directions along the reflector main body 2 of the electromagnetically driven reflector 10A are defined as an X direction and a Y direction, and a direction substantially orthogonal to the XY plane is defined as a Z direction. An arbitrary direction along the XY plane is a surface direction, and a Z direction is an out-of-plane direction.

電磁駆動式反射板１０Ａは、反射板本体２と、磁気素子３と、補強体４と、を備える。本実施例における磁気素子３は永久磁石であり、磁気アクチュエータ２０はコイル及びヨークを備えるものである。即ち、磁気アクチュエータ２０のコイルに通電することにより、電磁駆動式反射板１０Ａを回動させる構成となっている。   The electromagnetically driven reflector 10 </ b> A includes a reflector main body 2, a magnetic element 3, and a reinforcing body 4. The magnetic element 3 in this embodiment is a permanent magnet, and the magnetic actuator 20 includes a coil and a yoke. In other words, the electromagnetically driven reflector 10A is rotated by energizing the coil of the magnetic actuator 20.

反射板本体２は、例えばシリコン基板により構成されたものであって、円板状部２１と、一対のトーションバー２２と、を一体に有する。図３に示すように、円板状部２１の第一の面２Ａには、磁気素子３及び補強体４が設けられ、反対側の第２の面２Ｂが鏡面加工されて反射面となる。一対のトーションバー２２は、反射板本体２の回動軸を定めるものであって、本実施例ではＹ方向に沿って延びているものとする。   The reflector main body 2 is made of, for example, a silicon substrate, and integrally includes a disk-shaped portion 21 and a pair of torsion bars 22. As shown in FIG. 3, the magnetic element 3 and the reinforcing body 4 are provided on the first surface 2A of the disk-shaped portion 21, and the second surface 2B on the opposite side is mirror-finished to become a reflecting surface. The pair of torsion bars 22 defines the rotation axis of the reflector main body 2 and extends in the Y direction in this embodiment.

磁気素子３は、第一の面２Ａに沿った四角形板状に形成され、反射板本体２の円板状部２１における第一の面２Ａ側に配置される。本実施例では、磁気素子３は接着剤１００を介して第一の面２Ａに固定される。磁気素子３は、その周面３１に凹部３２を有している。周面３１とは、四角形板状の磁気素子３の４つの側面を意味する。凹部３２は、周面３１において、四辺に沿って（図示の例ではＸ方向又はＹ方向に沿って）延在するものであってもよいし、点在するものであってもよい。   The magnetic element 3 is formed in a quadrangular plate shape along the first surface 2 </ b> A, and is arranged on the first surface 2 </ b> A side in the disc-shaped portion 21 of the reflector main body 2. In this embodiment, the magnetic element 3 is fixed to the first surface 2 </ b> A via the adhesive 100. The magnetic element 3 has a recess 32 on its peripheral surface 31. The peripheral surface 31 means the four side surfaces of the quadrangular plate-like magnetic element 3. The recesses 32 may extend along the four sides of the peripheral surface 31 (along the X direction or the Y direction in the illustrated example), or may be scattered.

補強体４は、第一の面２Ａから突出するとともに、磁気素子３を囲むように四角形枠状に形成されている。また、補強体４は反射板本体２と一体に形成されている。反射板本体２及び補強体４は、例えば、第１のＳｉ層とＳｉＯ2層と第２のＳｉ層とが順に積層されたシリコン基板にエッチング加工を施すことで形成されており、エッチング後に残る第２のＳｉ層が反射板本体２を構成し、エッチング後に残る第１のＳｉ層の一部とＳｉＯ2層の一部とが補強体４を構成する。 The reinforcing body 4 protrudes from the first surface 2A and is formed in a rectangular frame shape so as to surround the magnetic element 3. The reinforcing body 4 is formed integrally with the reflector main body 2. The reflector main body 2 and the reinforcing body 4 are formed by, for example, etching a silicon substrate in which a first Si layer, a SiO 2 layer, and a second Si layer are sequentially stacked, and remain after etching. The second Si layer constitutes the reflector main body 2, and a part of the first Si layer remaining after the etching and a part of the SiO 2 layer constitute the reinforcing body 4.

補強体４は、ＳｉＯ2層の一部により構成される基端部４１と、第１のＳｉ層の一部により構成される先端部４２と、を有する。尚、図３では、四角形枠状の補強体４のうちＹ方向に延びる部分の断面を示しているが、補強体４の他の部分も同様の形状を有している。先端部４２は、基端部４１よりもＸＹ平面内において内側に（即ち磁気素子３側に）向かって突出している。これにより、先端部４２と第一の面２ＡとがＺ方向に離隔し、補強体４と反射板本体２との間に、Ｚ方向に離隔した空隙部６が形成される。空隙部６は、補強体４において磁気素子３に対面する側に形成されている。 The reinforcing body 4 has a base end portion 41 constituted by a part of the SiO 2 layer and a tip end portion 42 constituted by a part of the first Si layer. Note that FIG. 3 shows a cross section of a portion extending in the Y direction of the rectangular frame-shaped reinforcing body 4, but the other portions of the reinforcing body 4 have the same shape. The distal end portion 42 protrudes inward (that is, toward the magnetic element 3) in the XY plane from the proximal end portion 41. Thereby, the front-end | tip part 42 and 2 A of 1st surfaces are spaced apart in the Z direction, and the space | gap part 6 spaced apart in the Z direction is formed between the reinforcement body 4 and the reflecting plate main body 2. FIG. The gap 6 is formed on the reinforcing body 4 on the side facing the magnetic element 3.

例えば、基端部４１を構成するＳｉＯ2層のうち内側の一部をウエットエッチング等によって除去することにより、上記のように先端部４２を内側に突出させ、空隙部６を形成すればよい。尚、反射板とは別体に形成された補強体を、接着等によって反射板本体の第一の面に固定してもよい。 For example, by removing a part of the inside of the SiO 2 layer constituting the base end portion 41 by wet etching or the like, the tip end portion 42 protrudes inward as described above to form the gap portion 6. In addition, you may fix the reinforcement body formed separately from the reflecting plate to the 1st surface of a reflecting plate main body by adhesion | attachment etc.

補強体４の先端部４２には、Ｚ方向に沿って延びる貫通孔４３が形成されている。図示の例では、補強体４の各辺の中央部にそれぞれ１つずつ貫通孔４３が形成されているが、貫通孔の数及び配置は適宜に設定されればよい。貫通孔４３は、一端（図３における下端）が空隙部６に連通するとともに、他端（図３における上端）が開放されている。   A through hole 43 extending along the Z direction is formed at the distal end portion 42 of the reinforcing body 4. In the illustrated example, one through hole 43 is formed at the center of each side of the reinforcing body 4, but the number and arrangement of the through holes may be set as appropriate. One end (the lower end in FIG. 3) of the through hole 43 communicates with the gap 6 and the other end (the upper end in FIG. 3) is open.

尚、磁気素子３にも、補強体４と同様に貫通孔が形成されていてもよい。即ち、一端（図３における下端）が凹部３２に連通するとともに、他端（図３における上端）が開放された貫通孔を形成してもよい。   The magnetic element 3 may also be formed with a through-hole as with the reinforcing body 4. That is, a through hole having one end (the lower end in FIG. 3) communicating with the recess 32 and the other end (the upper end in FIG. 3) being open may be formed.

ここで、磁気素子３を反射板本体２に固定する方法について詳細に説明する。まず、磁気素子３に対し、少なくとも下面（接着される面）３３に接着剤１００を塗布し、磁気素子３を補強体４の枠内且つ第一の面２Ａ上に載置する。このとき、補強体４の内面と磁気素子３の周面３１とは面方向に離隔して隙間が形成され、この隙間が第２の空隙部７となる。第２の空隙部７からさらに接着剤１００が注入される。この接着剤１００は空隙部６と凹部３２と第２の空隙部７とに充填される。空隙部６に存在していた気体（空気）は、貫通孔４３を通過して外部に放出される。また、磁気素子３に貫通孔を形成した場合も同様に、凹部３２に存在していた気体が貫通孔を通過して外部に放出される。   Here, a method for fixing the magnetic element 3 to the reflector main body 2 will be described in detail. First, the adhesive 100 is applied to at least the lower surface (surface to be bonded) 33 of the magnetic element 3, and the magnetic element 3 is placed in the frame of the reinforcing body 4 and on the first surface 2A. At this time, the inner surface of the reinforcing body 4 and the circumferential surface 31 of the magnetic element 3 are separated in the surface direction to form a gap, and this gap becomes the second gap portion 7. The adhesive 100 is further injected from the second gap 7. The adhesive 100 is filled in the gap 6, the recess 32, and the second gap 7. The gas (air) present in the gap 6 passes through the through hole 43 and is released to the outside. Similarly, when a through hole is formed in the magnetic element 3, the gas existing in the concave portion 32 passes through the through hole and is released to the outside.

尚、磁気素子３の下面３３及び周面３１に接着剤１００を塗布しておき、この磁気素子３を第一の面２Ａに載置することにより、周面３１の接着剤１００が空隙部６に充填されるようにしてもよい。また、接着剤１００が塗布されていない磁気素子３を第一の面２Ａに載置し、第２の空隙部７から接着剤１００を注入することにより、下面３３と第一の面２Ａとの間に接着剤１００を充填してもよい。   The adhesive 100 is applied to the lower surface 33 and the peripheral surface 31 of the magnetic element 3, and the magnetic element 3 is placed on the first surface 2A, so that the adhesive 100 on the peripheral surface 31 becomes the gap 6. You may make it fill with. In addition, the magnetic element 3 to which the adhesive 100 is not applied is placed on the first surface 2A, and the adhesive 100 is injected from the second gap portion 7, whereby the lower surface 33 and the first surface 2A are separated. Adhesive 100 may be filled in between.

以上のように接着剤１００を塗布または注入して硬化させることにより、磁気素子３が反射板本体２及び補強体４に固定される。これにより、接着剤１００の一部が空隙部６に充填され、他の一部が凹部３２に充填された状態となる。   As described above, the magnetic element 3 is fixed to the reflector main body 2 and the reinforcing body 4 by applying or injecting the adhesive 100 and curing it. Thus, a part of the adhesive 100 is filled in the gap 6 and the other part is filled in the recess 32.

上記の構成により、磁気素子３が接着剤１００によって反射板本体２及び補強体４に固定されるとともに、この接着剤１００の一部が、補強体４と反射板本体２との間の空隙部６に充填されることで、接着剤１００が補強体４に対して引っ掛かり、反射板本体２及び補強体４から剥がれにくくなる。特に、Ｚ方向の力（反射板本体２から面外方向に離れるような力）が磁気素子３に加わった場合に、接着剤１００の剥がれが抑制される。このように、接着剤１００を反射板本体２及び補強体４から剥がれにくくし、反射板本体２に対する磁気素子３の固定力を向上させることができる。   With the above configuration, the magnetic element 3 is fixed to the reflector main body 2 and the reinforcing body 4 by the adhesive 100, and a part of the adhesive 100 is a gap between the reinforcing body 4 and the reflector main body 2. By being filled in 6, the adhesive 100 is caught on the reinforcing body 4 and is difficult to peel off from the reflector main body 2 and the reinforcing body 4. In particular, when a force in the Z direction (a force that moves away from the reflector main body 2 in an out-of-plane direction) is applied to the magnetic element 3, peeling of the adhesive 100 is suppressed. Thus, the adhesive 100 can be made difficult to peel off from the reflector main body 2 and the reinforcing body 4, and the fixing force of the magnetic element 3 to the reflector main body 2 can be improved.

磁気素子３の周面３１に凹部３２が形成され、接着剤１００の他の一部が凹部３２に充填されることで、接着剤１００が凹部３２において磁気素子３に引っ掛かり、磁気素子３から剥がれにくくなる。従って、反射板本体２に対する磁気素子３の固定力をさらに向上させることができる。   A recess 32 is formed in the peripheral surface 31 of the magnetic element 3, and another part of the adhesive 100 is filled in the recess 32, so that the adhesive 100 is caught by the magnetic element 3 in the recess 32 and peeled off from the magnetic element 3. It becomes difficult. Therefore, the fixing force of the magnetic element 3 with respect to the reflector main body 2 can be further improved.

補強体４が磁気素子３を囲むように配置されていることで、磁気素子３に対してＸＹ平面に沿った力が加わった場合に、反射板本体２に対する磁気素子３の位置ずれを抑制することができる。   Since the reinforcing body 4 is disposed so as to surround the magnetic element 3, when the force along the XY plane is applied to the magnetic element 3, the positional deviation of the magnetic element 3 with respect to the reflector main body 2 is suppressed. be able to.

補強体４に貫通孔４３が形成されていることで、接着剤１００を空隙部６に充填する際に、貫通孔４３を気体抜き用の孔として用いることができ、空隙部６に気体が残留してしまうことを抑制することができる。   Since the through hole 43 is formed in the reinforcing body 4, the through hole 43 can be used as a vent hole when the adhesive 100 is filled in the gap 6, and gas remains in the gap 6. Can be suppressed.

［第２実施例］
本実施例の光偏向器は、第１実施例の光偏向器１において、電磁駆動式反射板１０Ａに代えて図４〜６に示す電磁駆動式反射板１０Ｂを用いたものである。 [Second Embodiment]
The optical deflector of this embodiment uses the electromagnetically driven reflector 10B shown in FIGS. 4 to 6 instead of the electromagnetically driven reflector 10A in the optical deflector 1 of the first embodiment.

電磁駆動式反射板１０Ｂは、反射板本体２と、磁気素子８と、補強体９と、を備える。磁気素子８は、第一の面２Ａに沿った四角形板状に形成されており、その周面には凹部は形成されていない。また、磁気素子８は、後述するように板状に形成された補強体９上に配置される。   The electromagnetically driven reflecting plate 10 </ b> B includes a reflecting plate body 2, a magnetic element 8, and a reinforcing body 9. The magnetic element 8 is formed in a quadrangular plate shape along the first surface 2A, and no recess is formed on the peripheral surface thereof. Moreover, the magnetic element 8 is arrange | positioned on the reinforcement body 9 formed in plate shape so that it may mention later.

補強体９は、第一の面２Ａ上に配置されるとともに、第一の面２Ａの大部分を覆うように形成された板状の部材である。反射板本体２及び補強体９は、例えば、第１のＳｉ層とＳｉＯ2層と第２のＳｉ層とが順に積層されたシリコン基板にエッチング加工を施すことで形成される。第１のＳｉ層及びＳｉＯ2層のうち外周近傍の部分が除去され、ＳｉＯ2層が補強体９の第１層９１を構成し、第１のＳｉ層が補強体９の第２層９２を構成する。また、除去されない第２のＳｉ層が反射板本体２を構成する。 The reinforcing body 9 is a plate-like member that is disposed on the first surface 2A and is formed so as to cover most of the first surface 2A. The reflector main body 2 and the reinforcing body 9 are formed, for example, by performing etching on a silicon substrate in which a first Si layer, a SiO 2 layer, and a second Si layer are sequentially laminated. The portions near the outer periphery of the first Si layer and the SiO 2 layer are removed, the SiO 2 layer constitutes the first layer 91 of the reinforcing body 9, and the first Si layer constitutes the second layer 92 of the reinforcing body 9. Constitute. Further, the second Si layer that is not removed constitutes the reflector main body 2.

補強体９には、接着剤導入穴９３が形成されている。接着剤導入穴９３は、図６における上面側が開放され、Ｚ方向に沿って延びて第一の面２Ａにまで到達するものである。接着剤導入穴９３は、第１層９１において第２層９２よりも内径が大きくなっている。これにより、第２層９２と第一の面２ＡとがＺ方向に離隔し、補強体９と反射板本体２との間に、Ｚ方向に離隔した空隙部６が形成される。尚、補強体９の第２層９２には、前記実施例と同様に、一端が空隙部６に連通するとともに他端が開放された貫通孔が形成されてもよい。このように貫通孔を形成する場合、貫通孔の他端は、磁気素子８が重ならない位置に配置されていることが好ましい。   An adhesive introduction hole 93 is formed in the reinforcing body 9. The adhesive introduction hole 93 is opened on the upper surface side in FIG. 6 and extends along the Z direction to reach the first surface 2A. The adhesive introduction hole 93 has an inner diameter larger in the first layer 91 than in the second layer 92. As a result, the second layer 92 and the first surface 2A are separated in the Z direction, and a gap portion 6 separated in the Z direction is formed between the reinforcing body 9 and the reflector main body 2. The second layer 92 of the reinforcing body 9 may be formed with a through hole having one end communicating with the gap portion 6 and the other end opened, as in the above-described embodiment. When the through hole is formed in this way, the other end of the through hole is preferably arranged at a position where the magnetic element 8 does not overlap.

接着剤導入穴９３は、図４に示すようにＺ方向から見て線状となっており、即ち、溝状に形成されている。本実施例では、Ｘ方向に沿って延びる２本の接着剤導入穴９３と、Ｙ方向に沿って延びる２本の接着剤導入穴９３と、が互いに交差している。尚、接着剤導入穴の数及び形状は任意である。例えば、延在方向の異なる３本以上の溝状の接着剤導入穴が形成されてもよいし、曲線状に延在する溝状の接着剤導入穴が形成されてもよいし、Ｚ方向から見て点状の接着剤導入穴が複数形成されてもよい。   As shown in FIG. 4, the adhesive introduction hole 93 is linear when viewed from the Z direction, that is, formed in a groove shape. In the present embodiment, the two adhesive introduction holes 93 extending along the X direction and the two adhesive introduction holes 93 extending along the Y direction intersect with each other. The number and shape of the adhesive introduction holes are arbitrary. For example, three or more groove-like adhesive introduction holes having different extending directions may be formed, or a groove-like adhesive introduction hole extending in a curved shape may be formed, or from the Z direction. A plurality of spot-like adhesive introduction holes may be formed as seen.

接着剤導入穴９３は、例えばエッチングによって形成される。ドライエッチングによりＳｉ層及びＳｉＯ2層を削って縦穴を形成した後、ウエットエッチングによってＳｉＯ2層のみを選択的に除去すれば、第１層９１の内径を第２層９２の内径よりも大きくすることができる。 The adhesive introduction hole 93 is formed by etching, for example. After the Si layer and the SiO 2 layer are cut by dry etching to form vertical holes, if only the SiO 2 layer is selectively removed by wet etching, the inner diameter of the first layer 91 is made larger than the inner diameter of the second layer 92. be able to.

接着剤導入穴９３に接着剤１００を注入するとともに、補強体９の上面に接着剤１００を塗布した後、磁気素子８を補強体９上に載置して硬化させる。これにより、磁気素子８が補強体９に固定されるとともに、接着剤１００の一部が空隙部６に充填される。また、下面に接着剤１００を塗布した磁気素子８を補強体９上に載置することにより、接着剤１００の一部が空隙部６に充填されるようにしてもよい。   In addition to injecting the adhesive 100 into the adhesive introduction hole 93 and applying the adhesive 100 to the upper surface of the reinforcing body 9, the magnetic element 8 is placed on the reinforcing body 9 and cured. Thereby, the magnetic element 8 is fixed to the reinforcing body 9 and a part of the adhesive 100 is filled in the gap 6. Alternatively, a part of the adhesive 100 may be filled in the gap 6 by placing the magnetic element 8 having the lower surface coated with the adhesive 100 on the reinforcing body 9.

上記の構成により、磁気素子８が接着剤１００によって補強体９に固定されるとともに、この接着剤１００が、補強体９と反射板本体２との間の空隙部６に充填されることで、接着剤１００が補強体９に対して引っ掛かり、補強体９から剥がれにくくなる。特に、Ｚ方向の力（反射板本体２から面外方向に離れるような力）が磁気素子８に加わった場合に、接着剤１００の剥がれが抑制される。このように、接着剤１００を補強体９から剥がれにくくし、反射板本体２に対する磁気素子８の固定力を向上させることができる。   With the above configuration, the magnetic element 8 is fixed to the reinforcing body 9 by the adhesive 100, and the adhesive 100 is filled in the gap 6 between the reinforcing body 9 and the reflector main body 2. The adhesive 100 is caught on the reinforcing body 9 and is not easily peeled off from the reinforcing body 9. In particular, when a force in the Z direction (a force that moves away from the reflector main body 2 in the out-of-plane direction) is applied to the magnetic element 8, peeling of the adhesive 100 is suppressed. Thus, the adhesive 100 can be made difficult to peel off from the reinforcing body 9, and the fixing force of the magnetic element 8 to the reflector main body 2 can be improved.

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、本発明の目的が達成できる他の構成等を含み、以下に示すような変形等も本発明に含まれる。   In addition, this invention is not limited to the said Example, The other deformation | transformation etc. which can achieve the objective of this invention are included in this invention.

例えば、前記第１実施例では、磁気素子３の周面３１に凹部３２が形成されているものとしたが、例えば接着剤１００と磁気素子３との接着強度が高い場合には、凹部３２は形成されていなくてもよい。また、前記第２実施例では、磁気素子８の周面に凹部が形成されていないものとしたが、例えば磁気素子８の下面だけでなく周面にも接着剤を塗布する場合には、周面に凹部を形成してもよい。   For example, in the first embodiment, the recess 32 is formed on the peripheral surface 31 of the magnetic element 3. However, when the adhesive strength between the adhesive 100 and the magnetic element 3 is high, for example, the recess 32 is It may not be formed. In the second embodiment, the concave portion is not formed on the peripheral surface of the magnetic element 8. However, for example, when an adhesive is applied to the peripheral surface as well as the lower surface of the magnetic element 8, A concave portion may be formed on the surface.

また、前記第１実施例では、補強体４に貫通孔４３が形成されているものとしたが、例えば空隙部６に気体が残留しにくい場合には、貫通孔４３は形成されなくてもよい。接着剤１００の粘性が低い場合や、ＸＹ平面内における空隙部６の寸法が小さい場合や、空隙部６に接着剤１００を充填した後に磁気素子３を載置する場合等には、空隙部６に気体が残留しにくい。   In the first embodiment, the through hole 43 is formed in the reinforcing body 4. However, for example, when the gas hardly remains in the gap 6, the through hole 43 may not be formed. . When the viscosity of the adhesive 100 is low, when the size of the gap 6 in the XY plane is small, or when the magnetic element 3 is placed after the gap 6 is filled with the adhesive 100, the gap 6 It is difficult for gas to remain.

また、前記第１実施例では、磁石である磁気素子３が反射板本体に配置されるものとしたが、少なくともコイルを有するユニットを、磁気素子として反射板本体に配置してもよい。   Moreover, in the said 1st Example, although the magnetic element 3 which is a magnet shall be arrange | positioned in a reflector main body, you may arrange | position the unit which has a coil at least in a reflector main body as a magnetic element.

その他、本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施例に関して特に図示され、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施例に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部、もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。   In addition, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, although the present invention has been particularly illustrated and described with respect to particular embodiments, it will be understood that the present invention is not limited in shape to the embodiments described above without departing from the scope and spirit of the invention. Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of materials, quantity, and other detailed configurations. Therefore, the description limiting the shape, material, etc. disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of one part or all of such is included in this invention.

１ 光偏向器
１０Ａ、１０Ｂ 電磁駆動式反射板
２ 反射板本体
２Ａ 第一の面
３ 磁気素子
３１ 周面
３２ 凹部
４、８ 補強体
６ 空隙部
２０ 磁気アクチュエータ
１００ 接着剤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical deflector 10A, 10B Electromagnetic drive type reflecting plate 2 Reflecting plate main body 2A 1st surface 3 Magnetic element 31 Peripheral surface 32 Recessed part 4, 8 Reinforcement body 6 Cavity part 20 Magnetic actuator 100 Adhesive

Claims (6)

反射板本体と、
前記反射板本体の第一の面側に配置される磁気素子と、
前記第一の面に設けられる補強体と、を備え、
前記補強体と前記反射板本体との間に、前記第一の面の面外方向に離隔した空隙部が形成され、
前記磁気素子は、接着剤によって前記反射板本体と前記補強体とのうち少なくとも一方に固定され、
前記接着剤の一部が、前記空隙部に充填されていることを特徴とする電磁駆動式反射板。 A reflector body;
A magnetic element disposed on the first surface side of the reflector main body;
A reinforcing body provided on the first surface,
Between the reinforcing body and the reflector main body, a gap is formed that is spaced in the out-of-plane direction of the first surface,
The magnetic element is fixed to at least one of the reflector main body and the reinforcing body by an adhesive,
An electromagnetically driven reflector, wherein a part of the adhesive is filled in the gap. 前記磁気素子は、前記第一の面に沿った板状に形成されるとともに、その周面に凹部を有し、
前記接着剤の他の一部が、前記凹部に充填されていることを特徴とする請求項１に記載の電磁駆動式反射板。 The magnetic element is formed in a plate shape along the first surface, and has a recess on the peripheral surface thereof.
The electromagnetically driven reflector according to claim 1, wherein another part of the adhesive is filled in the recess. 前記補強体は、前記第一の面から突出して前記磁気素子を囲むように配置され、
前記空隙部は、前記磁気素子に対面して形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電磁駆動式反射板。 The reinforcing body is disposed so as to protrude from the first surface and surround the magnetic element,
The electromagnetically driven reflector according to claim 1, wherein the gap is formed to face the magnetic element. 前記補強体は、前記第一の面上に配置され、
前記磁気素子は、前記補強体上に載置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の電磁駆動式反射板。 The reinforcing body is disposed on the first surface;
The electromagnetically driven reflector according to claim 1, wherein the magnetic element is placed on the reinforcing body. 前記補強体には、一端が前記空隙部に連通するとともに他端が開放された貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電磁駆動式反射板。   5. The electromagnetically driven reflection according to claim 1, wherein the reinforcing body is formed with a through hole having one end communicating with the gap and the other end being opened. Board. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の電磁駆動式反射板と、
前記磁気素子に働きかけて前記電磁駆動式反射板を回動させる磁気アクチュエータと、を備えることを特徴とする光偏向器。 The electromagnetically driven reflector according to any one of claims 1 to 5,
And a magnetic actuator that acts on the magnetic element to rotate the electromagnetically driven reflector.
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