JP2019190678A - Active buffer pulse tube refrigerator - Google Patents
Active buffer pulse tube refrigerator Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019190678A JP2019190678A JP2018080762A JP2018080762A JP2019190678A JP 2019190678 A JP2019190678 A JP 2019190678A JP 2018080762 A JP2018080762 A JP 2018080762A JP 2018080762 A JP2018080762 A JP 2018080762A JP 2019190678 A JP2019190678 A JP 2019190678A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse tube
- buffer
- cold
- pressure
- temperature end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
Abstract
Description
本発明は、アクティブバッファ型のパルス管冷凍機(以下、アクティブバッファパルス管冷凍機ともいう)に関する。 The present invention relates to an active buffer type pulse tube refrigerator (hereinafter also referred to as an active buffer pulse tube refrigerator).
パルス管冷凍機は、主たる構成要素として、振動流発生源、蓄冷器、パルス管、および位相制御機構を備える。振動流の発生にはいくつかの方式がある。例えば、圧縮機と周期的な流路切替弁の組み合わせを用いるいわゆるGM(ギフォード・マクマホン;Gifford-McMahon)方式と、調和振動するピストンによって振動流を発生するスターリング方式が知られている。また、GM方式のパルス管冷凍機は、位相制御機構の構成により、ダブルインレット型、アクティブバッファ型、4バルブ型などいくつかの方式に分類される。 The pulse tube refrigerator includes a vibration flow source, a regenerator, a pulse tube, and a phase control mechanism as main components. There are several ways to generate an oscillating flow. For example, a so-called GM (Gifford-McMahon) system using a combination of a compressor and a periodic flow path switching valve and a Stirling system that generates a vibration flow by a harmonically oscillating piston are known. Further, GM pulse tube refrigerators are classified into several types such as a double inlet type, an active buffer type, and a four-valve type depending on the configuration of the phase control mechanism.
冷却すべき物体が大きい場合には、一つのパルス管冷凍機に複数のコールドヘッドを設け、これらを並列に運転することで、当該物体に要求される冷凍能力を提供するパルス管冷凍機の設計が採用されることがある。 When the object to be cooled is large, a single pulse tube refrigerator is equipped with multiple cold heads, and these are operated in parallel to provide a pulse tube refrigerator design that provides the refrigerating capacity required for the object. May be adopted.
一般に、アクティブバッファパルス管冷凍機は、圧縮機から独立して設けられパルス管の高温端に接続されたバッファタンクを備え、このバッファタンクからパルス管へのガス流入および流出が位相制御に用いられる。圧縮機が提供できるガス流量を位相制御に配分する必要が無いので、アクティブバッファパルス管冷凍機は、ダブルインレット型や4バルブ式など他の方式に比べて冷凍機の効率を高くしやすいという利点がある。 In general, an active buffer pulse tube refrigerator includes a buffer tank provided independently of a compressor and connected to a high temperature end of the pulse tube. Gas inflow and outflow from the buffer tank to the pulse tube are used for phase control. . Since there is no need to distribute the gas flow rate that the compressor can provide to phase control, the advantage of the active buffer pulse tube refrigerator is that it is easier to increase the efficiency of the refrigerator than other systems such as the double inlet type and the 4-valve type. There is.
その反面、アクティブバッファパルス管冷凍機は通例、所望の位相制御を実現するためにかなり大容積のバッファタンクを要しうる。アクティブバッファパルス管冷凍機が複数のコールドヘッドを有する場合には、コールドヘッドごとにバッファタンクが装備される。典型的には、一つ一つのコールドヘッドに複数個のバッファタンクが装備され、それぞれ異なる圧力源として用いられる(例えば、1台のコールドヘッドにつき、3個のバッファタンクが高圧源、中圧源、および低圧源として設置される)。個々のバッファタンクの容積は、しばしばパルス管または蓄冷器の容積の少なくとも数倍以上にも及びうる。 On the other hand, active buffer pulse tube refrigerators can typically require a fairly large buffer tank to achieve the desired phase control. When the active buffer pulse tube refrigerator has a plurality of cold heads, a buffer tank is provided for each cold head. Typically, each cold head is equipped with a plurality of buffer tanks, and each is used as a different pressure source (for example, three buffer tanks for each cold head are a high pressure source and an intermediate pressure source). , And as a low pressure source). The volume of individual buffer tanks can often be at least several times the volume of the pulse tube or regenerator.
したがって、複数のコールドヘッドが設けられたアクティブバッファパルス管冷凍機を設置するには、かなり大きなスペースを要する。そのため、アクティブバッファパルス管冷凍機には高い効率を実現しやすいという利点があるにもかかわらず、その適用可能な用途が制約されうる。 Therefore, a considerably large space is required to install an active buffer pulse tube refrigerator provided with a plurality of cold heads. Therefore, although the active buffer pulse tube refrigerator has an advantage that high efficiency is easily realized, the applicable applications can be restricted.
本発明のある態様の例示的な目的のひとつは、複数のコールドヘッドを有するアクティブバッファパルス管冷凍機の大型化を抑制する技術を提供することにある。 One exemplary object of an aspect of the present invention is to provide a technique for suppressing an increase in size of an active buffer pulse tube refrigerator having a plurality of cold heads.
本発明のある態様によると、アクティブバッファパルス管冷凍機は、複数のコールドヘッドであって、各コールドヘッドが、パルス管高温端とパルス管低温端とを有するパルス管と、蓄冷器高温端と、前記パルス管低温端と連通している蓄冷器低温端とを有する蓄冷器と、圧縮機吐出口および圧縮機吸入口を前記蓄冷器高温端に交互に接続する主圧力切替バルブと、前記パルス管高温端に接続された副圧力切替バルブと、を備える複数のコールドヘッドと、各コールドヘッドのパルス管高温端に当該コールドヘッドの副圧力切替バルブを介して接続され、第1圧力を有する第1圧力源として前記複数のコールドヘッドに共有される第1バッファ容積と、各コールドヘッドのパルス管高温端に当該コールドヘッドの副圧力切替バルブを介して接続され、前記第1圧力と異なる第2圧力を有する第2圧力源として前記複数のコールドヘッドに共有される第2バッファ容積と、を備える。 According to an aspect of the present invention, the active buffer pulse tube refrigerator is a plurality of cold heads, each cold head having a pulse tube hot end and a pulse tube cold end, a regenerator hot end, A regenerator having a regenerator low-temperature end communicating with the pulse tube low-temperature end, a main pressure switching valve for alternately connecting a compressor discharge port and a compressor suction port to the regenerator high-temperature end, and the pulse A plurality of cold heads connected to the high temperature end of the pipe, and a first pressure having a first pressure connected to the high temperature end of the pulse pipe of each cold head via the sub pressure switching valve of the cold head. A first buffer volume shared by the plurality of cold heads as a pressure source, and a pulse tube high temperature end of each cold head are connected to each cold head via a sub pressure switching valve of the cold head. It is, and a second buffer volume is shared by the plurality of the cold head as a second pressure source having a second pressure different from the first pressure.
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや本発明の構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。 Note that any combination of the above-described constituent elements and the constituent elements and expressions of the present invention replaced with each other among methods, apparatuses, systems, and the like are also effective as an aspect of the present invention.
本発明によれば、複数のコールドヘッドを有するアクティブバッファパルス管冷凍機の大型化が抑制される。 According to the present invention, an increase in size of an active buffer pulse tube refrigerator having a plurality of cold heads is suppressed.
以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。なお、説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、以下に述べる構成は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。また、以下の説明において参照する図面において、各構成部材の大きさや厚みは説明の便宜上のものであり、必ずしも実際の寸法や比率を示すものではない。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description, the same elements are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions are omitted as appropriate. Moreover, the structure described below is an illustration and does not limit the scope of the present invention at all. In the drawings referred to in the following description, the size and thickness of each constituent member are for convenience of description, and do not necessarily indicate actual dimensions and ratios.
図1は、ある実施の形態に係るアクティブバッファパルス管冷凍機(以下では単に、パルス管冷凍機ともいう)の全体構成を概略的に示す図である。図2は、図1に示されるアクティブバッファパルス管冷凍機の作動ガス回路構成を示す概略図である。 FIG. 1 is a diagram schematically showing an overall configuration of an active buffer pulse tube refrigerator (hereinafter also simply referred to as a pulse tube refrigerator) according to an embodiment. FIG. 2 is a schematic diagram showing a working gas circuit configuration of the active buffer pulse tube refrigerator shown in FIG.
パルス管冷凍機10は、複数の圧縮機12と、複数のコールドヘッド14とを備える。複数のコールドヘッド14の各々は、パルス管16、蓄冷器18、被冷却物19を冷却する冷却ステージ20、フランジ部22、およびバルブ部24を備える。バルブ部24は、主圧力切替バルブ24aおよび副圧力切替バルブ24bを備える。
The
詳しくは後述するが、パルス管冷凍機10は、いわゆる3バッファ方式のアクティブバッファパルス管冷凍機として構成され、第1バッファ容積B1と、第2バッファ容積B2と、第3バッファ容積B3とを備える。第1バッファ容積B1は、第1圧力を有する第1圧力源として複数のコールドヘッド14に共有される。第2バッファ容積B2は、第1圧力と異なる第2圧力を有する第2圧力源として複数のコールドヘッド14に共有される。第3バッファ容積B3は、第1圧力および第2圧力と異なる第3圧力を有する第3圧力源として複数のコールドヘッド14に共有される。
As will be described in detail later, the
パルス管冷凍機10は、同じ数の圧縮機12とコールドヘッド14を有し、コールドヘッド14ごとに圧縮機12が設けられている。説明の簡明化のため、図1には、パルス管冷凍機10が2台の圧縮機12と2台のコールドヘッド14を有する場合が示されている。以下では、説明の便宜上、2台の圧縮機12を区別するときは、第1圧縮機、第2圧縮機と称し、2台のコールドヘッド14を区別するときは、第1コールドヘッド、第2コールドヘッドと称する。
The
ただし、圧縮機12の数はコールドヘッド14の数と異なってもよい。例えば、圧縮機12の数はコールドヘッド14の数より少なくてもよい。少なくとも1つの圧縮機12が2つまたはそれより多数のコールドヘッド14に共有されてもよい。また、圧縮機12とコールドヘッド14の台数は2台に限られず、いくつであってもよい。パルス管冷凍機10は、3台またはそれより多数の圧縮機12と、3台またはそれより多数のコールドヘッド14とを備えてもよい。
However, the number of
パルス管冷凍機10は、単段式のパルス管冷凍機である。ただし、パルス管冷凍機10は、あるいは多段式(例えば二段式)のパルス管冷凍機とすることも可能である。
The
圧縮機12および主圧力切替バルブ24aによって、パルス管冷凍機10の振動流発生源が構成される。振動流発生源は、圧縮機12が生み出す作動ガスの定常流から、主圧力切替バルブ24aの切替動作によって蓄冷器18を通じてパルス管16内に作動ガスの圧力振動を生成するように構成されている。また、第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、第3バッファ容積B3、および副圧力切替バルブ24bによって、パルス管冷凍機10の位相制御機構が構成される。位相制御機構は、副圧力切替バルブ24bの開閉動作によって、作動ガスの圧力振動に対しパルス管16内のガス要素(ガスピストンとも呼ばれる)の変位振動の位相を遅らせるように構成されている。適切な位相遅れは、パルス管16の低温端でのPV仕事を生じさせ、作動ガスを冷却することができる。冷却された作動ガスとの熱交換により冷却ステージ20が冷却される。
The
圧縮機12は、圧縮機吐出口12aと圧縮機吸入口12bとを有し、回収した低圧PLの作動ガスを圧縮して高圧PHの作動ガスを生成するよう構成されている。圧縮機吐出口12aから蓄冷器18を通じてパルス管16に作動ガスが供給され、パルス管16から蓄冷器18を通じて圧縮機吸入口12bへと作動ガスが回収される。圧縮機吐出口12aおよび圧縮機吸入口12bはそれぞれ、パルス管冷凍機10の高圧源および低圧源として機能する。作動ガスは、冷媒ガスとも称され、例えばヘリウムガスである。
The
パルス管冷凍機10には、圧縮機12およびコールドヘッド14の組ごとに、高圧ライン13aおよび低圧ライン13bが設けられている。高圧ライン13aは、圧縮機吐出口12aをコールドヘッド14のバルブ部24に接続する。高圧ライン13aを通じて、高圧PHの作動ガスが圧縮機12からコールドヘッド14に供給される。低圧ライン13bは、圧縮機吸入口12bをコールドヘッド14のバルブ部24に接続する。低圧ライン13bを通じて、低圧PLの作動ガスがコールドヘッド14から圧縮機12に回収される。高圧ライン13aおよび低圧ライン13bはそれぞれ、圧縮機12とコールドヘッド14を接続する剛性または可撓性の配管であってもよい。
The
パルス管16は、パルス管高温端16aと、パルス管低温端16bとを有し、パルス管高温端16aからパルス管低温端16bへと延在する。パルス管高温端16aおよびパルス管低温端16bはそれぞれ、パルス管16の第1端および第2端とも称しうる。同様に、蓄冷器18は、蓄冷器高温端18aと、蓄冷器低温端18bとを有し、蓄冷器高温端18aから蓄冷器低温端18bへと延在する。蓄冷器高温端18aおよび蓄冷器低温端18bはそれぞれ、蓄冷器18の第1端および第2端とも称しうる。
The
パルス管低温端16bと蓄冷器低温端18bは冷却ステージ20によって構造的に接続され熱的に結合されている。冷却ステージ20には冷却ステージ連通路26が形成されている。冷却ステージ連通路26を通じて、パルス管低温端16bは、蓄冷器低温端18bと流体的に連通している。したがって、圧縮機12から供給される作動ガスは、蓄冷器低温端18bから冷却ステージ連通路26を通じてパルス管低温端16bへと流れることができる。パルス管16からの戻りガスは、パルス管低温端16bから冷却ステージ連通路26を通じて蓄冷器低温端18bへと流れることができる。
The pulse tube
例示的な構成においては、パルス管16は内部を空洞とする円筒状の管であり、蓄冷器18は内部に蓄冷材を充填した円筒状の管であり、両者は互いに隣り合って各々の中心軸を平行として配置されている。パルス管16および蓄冷器18は、冷却ステージ20から同方向に延びており、パルス管高温端16aおよび蓄冷器高温端18aは、冷却ステージ20に対して同じ側に配置されている。このようにして、パルス管16、蓄冷器18、および冷却ステージ20は、U字状に配置されている。
In the exemplary configuration, the
被冷却物19は、冷却ステージ20上に直接設置され、または冷却ステージ20に剛性または可撓性の伝熱部材を介して熱的に結合されている。パルス管冷凍機10は、冷却ステージ20からの伝導冷却によって被冷却物19を冷却することができる。図示される例では、コールドヘッド14ごとに冷却ステージ20が設けられ、パルス管冷凍機10は、複数の冷却ステージ20を有する。ある実施の形態においては、複数の冷却ステージ20は、互いに接続された一つの冷却ステージとして構成されてもよい。また、図示される例では、複数のコールドヘッド14それぞれの冷却ステージ20が、一つの共通の被冷却物19に熱的に結合されているが、これに限られない。複数の冷却ステージ20が複数の被冷却物に熱的に結合されてもよい。
The object to be cooled 19 is directly installed on the
一例として、パルス管冷凍機10によって冷却される被冷却物19は、超伝導電磁石またはその他の超伝導装置、あるいは赤外線撮像素子またはその他のセンサなど固形物であるが、これには限られない。言うまでもなく、パルス管冷凍機10は冷却ステージ20に接触する気体または液体を冷却することもできる。
As an example, the
一方、パルス管高温端16aと蓄冷器高温端18aはフランジ部22によって接続されている。フランジ部22は、パルス管冷凍機10が設置される支持台または支持壁などの支持部28に取り付けられる。支持部28は、冷却ステージ20および被冷却物19を(蓄冷器18およびパルス管16とともに)収容する断熱容器または真空容器の壁材またはその他の部位であってもよい。図示される例では、コールドヘッド14ごとにフランジ部22が設けられ、パルス管冷凍機10は、複数のフランジ部22を有する。ある実施の形態においては、複数のフランジ部22は、互いに接続された一つのフランジ部として構成されてもよい。
On the other hand, the pulse tube
フランジ部22の一方の主表面から蓄冷器18およびパルス管16が冷却ステージ20へと延び、フランジ部22の他方の主表面にはバルブ部24が設けられている。したがって、支持部28が断熱容器または真空容器の一部を構成する場合には、フランジ部22が支持部28に取り付けられるとき、蓄冷器18、パルス管16、および冷却ステージ20は、当該容器内に収容され、バルブ部24は、容器外に配置される。
The
このようにして、圧縮機12およびバルブ部24は周囲環境(例えば、室温大気圧環境)に配置される。第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、および第3バッファ容積B3も周囲環境に配置される。蓄冷器18、パルス管16、および冷却ステージ20は周囲環境から隔離された環境(例えば、極低温真空環境)に配置される。
Thus, the
なお、バルブ部24は、フランジ部22に直接取り付けられている必要はない。バルブ部24は、パルス管冷凍機10のコールドヘッド14から分離して配置され、剛性または可撓性の配管によりコールドヘッド14に接続されてもよい。こうして、パルス管冷凍機10の振動流発生源および位相制御機構がコールドヘッド14から分離して配置されてもよい。
The
また、パルス管冷凍機10は、パルス管連通路30、蓄冷器連通路32、第1バッファライン34、第2バッファライン36、および第3バッファライン38を有する。パルス管連通路30はパルス管高温端16aから延び副圧力切替バルブ24bを介して、第1バッファライン34、第2バッファライン36、第3バッファライン38に分岐している。蓄冷器連通路32は蓄冷器高温端18aから延び主圧力切替バルブ24aを介して高圧ライン13aと低圧ライン13bに分岐している。
Further, the
第1バッファライン34は、複数のコールドヘッド14それぞれの副圧力切替バルブ24bから第1バッファ容積B1へと合流している。第2バッファライン36は、複数のコールドヘッド14それぞれの副圧力切替バルブ24bから第2バッファ容積B2へと合流している。第3バッファライン38は、複数のコールドヘッド14それぞれの副圧力切替バルブ24bから第3バッファ容積B3へと合流している。第1バッファライン34、第2バッファライン36、および第3バッファライン38はそれぞれ、第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、および第3バッファ容積B3と複数のコールドヘッド14を接続する剛性または可撓性の配管であってもよい。
The
このようにして、第1バッファ容積B1は、各コールドヘッド14のパルス管高温端16aに当該コールドヘッド14の副圧力切替バルブ24bを介して接続されている。第1バッファ容積B1は、高圧PHを有する高圧源として複数のコールドヘッド14に共有される。
In this way, the first buffer volume B1 is connected to the pulse tube
同様に、第2バッファ容積B2は、各コールドヘッド14のパルス管高温端16aに当該コールドヘッド14の副圧力切替バルブ24bを介して接続されている。第2バッファ容積B2は、低圧PLを有する低圧源として複数のコールドヘッド14に共有される。
Similarly, the second buffer volume B2 is connected to the pulse tube
さらに、第3バッファ容積B3は、各コールドヘッド14のパルス管高温端16aに当該コールドヘッド14の副圧力切替バルブ24bを介して接続されている。第3バッファ容積B3は、中間圧PMを有する中圧源として複数のコールドヘッド14に共有される。中間圧は、高圧と低圧の平均圧であってもよい(すなわち、PM=(PH−PL)/2)。
Further, the third buffer volume B3 is connected to the pulse tube
第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、および第3バッファ容積B3はそれぞれ別個のバッファタンクとして構成されている。 The first buffer volume B1, the second buffer volume B2, and the third buffer volume B3 are each configured as a separate buffer tank.
パルス管冷凍機10はアクティブバッファ型であるから、パルス管高温端16aと蓄冷器高温端18aを流体的に連通させるバイパス路は設けられていない。したがって、パルス管高温端16aと蓄冷器高温端18aの間で作動ガスが直接流れることはできない。上述のように、パルス管16と蓄冷器18の間で流れる作動ガスはすべて冷却ステージ連通路26を通る。しかし、もし必要とされる場合には、パルス管冷凍機10は、パルス管高温端16aと蓄冷器高温端18aを流体的に連通させるバイパス路を備えてもよい。
Since the
バルブ部24の例示的な構成を述べる。主圧力切替バルブ24aは、蓄冷器高温端18aを圧縮機吐出口12aおよび圧縮機吸入口12bに交互に接続するように構成されている。主圧力切替バルブ24aは、圧縮機吐出口12aを蓄冷器高温端18aに接続する主吸気開閉バルブV1と、圧縮機吸入口12bを蓄冷器高温端18aに接続する主排気開閉バルブV2とを備える。
An exemplary configuration of the
主圧力切替バルブ24aは、主吸気開閉バルブV1および主排気開閉バルブV2がそれぞれ排他的に開放されるよう構成されている。すなわち、主吸気開閉バルブV1および主排気開閉バルブV2が同時に開くことは禁止されている。主吸気開閉バルブV1が開放されているとき主排気開閉バルブV2は閉鎖され、主排気開閉バルブV2が開放されているとき主吸気開閉バルブV1は閉鎖される。なお主吸気開閉バルブV1および主排気開閉バルブV2は一時的にともに閉鎖されてもよい。
The main
主吸気開閉バルブV1が開いているとき、圧縮機吐出口12aから高圧ライン13a、主吸気開閉バルブV1、蓄冷器連通路32、および蓄冷器高温端18aを通じて蓄冷器18に作動ガスが供給される。一方、主排気開閉バルブV2が開いているとき、蓄冷器18から蓄冷器高温端18a、蓄冷器連通路32、主排気開閉バルブV2、および低圧ライン13bを通じて圧縮機吸入口12bに作動ガスが回収される。
When the main intake opening / closing valve V1 is open, the working gas is supplied from the
副圧力切替バルブ24bは、主圧力切替バルブ24aが蓄冷器高温端18aを圧縮機吐出口12aに接続するとき第1バッファ容積B1をパルス管高温端16aに接続し、主圧力切替バルブ24aが蓄冷器高温端18aを圧縮機吸入口12bに接続するとき第2バッファ容積B2をパルス管高温端16aに接続するように構成されている。さらに、副圧力切替バルブ24bは、主圧力切替バルブ24aが蓄冷器高温端18aを圧縮機吐出口12aと圧縮機吸入口12bのいずれにも接続していないとき(すなわち、圧縮機吐出口12aへの接続と圧縮機吸入口12bへの接続とのインターバルにおいて)、第3バッファ容積B3をパルス管高温端16aに接続するように構成されている。
The sub
副圧力切替バルブ24bは、第1バッファ容積B1をパルス管高温端16aに接続する第1バッファ開閉バルブV3と、第2バッファ容積B2をパルス管高温端16aに接続する第2バッファ開閉バルブV4と、第3バッファ容積B3をパルス管高温端16aに接続する第3バッファ開閉バルブV5とを備える。第1バッファ開閉バルブV3、第2バッファ開閉バルブV4、および第3バッファ開閉バルブV5は、それらのうちいずれか1つが開放されているとき残りの2つは閉鎖される。なお、これら3つのバッファ開閉バルブは一時的にともに閉鎖されてもよい。
The auxiliary
第1バッファ開閉バルブV3が開いているときには、第1バッファ容積B1から第1バッファライン34、第1バッファ開閉バルブV3、パルス管連通路30およびパルス管高温端16aを通じてパルス管16に作動ガスが供給される。第2バッファ開閉バルブV4が開いているときには、パルス管16からパルス管高温端16a、パルス管連通路30、第2バッファ開閉バルブV4、第2バッファライン36を通じて第2バッファ容積B2に作動ガスが回収される。
When the first buffer opening / closing valve V3 is open, the working gas flows from the first buffer volume B1 to the
第3バッファ開閉バルブV5が開いているとき、第3バッファ容積B3の圧力がパルス管16の圧力よりも高ければ、第3バッファ容積B3から第3バッファライン38、第3バッファ開閉バルブV5、パルス管連通路30およびパルス管高温端16aを通じてパルス管16に作動ガスが供給される。一方、第3バッファ容積B3の圧力がパルス管16の圧力よりも低ければ、パルス管16からパルス管高温端16a、パルス管連通路30、第3バッファ開閉バルブV5、第3バッファライン38を通じて第3バッファ容積B3に作動ガスが回収される。
If the pressure in the third buffer volume B3 is higher than the pressure in the
バルブ部24の具体的構成は種々ありうる。一群のバルブ(V1〜V5)は、機械的に定められたバルブタイミングで動作するように構成されていてもよい。例えば、バルブ部24は、ロータリーバルブの形式をとってもよい。この場合、一群のバルブ(V1〜V5)がバルブ部24に組み込まれており、同期して駆動される。バルブ部24は、バルブ本体(またはバルブステータ)に対するバルブディスク(またはバルブロータ)の回転摺動によってバルブ(V1〜V5)が適正に切り替わるよう構成されている。一群のバルブ(V1〜V5)は、パルス管冷凍機10の運転中に同一周期で切り替えられ、それにより5つの開閉バルブ(V1〜V5)は周期的に開閉状態を変化させる。5つの開閉バルブ(V1〜V5)はそれぞれ異なる位相で開閉される。
There can be various specific configurations of the
ある実施形態においては、一群のバルブ(V1〜V5)は、複数の個別に制御可能なバルブの形式をとってもよい。各バルブ(V1〜V5)は、電磁開閉弁であってもよい。一群のバルブ(V1〜V5)は、予め定められたバルブタイミングで自動的に開閉動作をするように構成されていてもよい。あるいは、ある実施形態においては、一群のバルブ(V1〜V5)は、ロータリーバルブと個別に制御可能なバルブの組み合わせであってもよい。 In some embodiments, the group of valves (V1-V5) may take the form of a plurality of individually controllable valves. Each valve (V1 to V5) may be an electromagnetic on-off valve. The group of valves (V1 to V5) may be configured to automatically open and close at a predetermined valve timing. Alternatively, in one embodiment, the group of valves (V1 to V5) may be a combination of a rotary valve and a valve that can be individually controlled.
一般に、パルス管冷凍機10の冷凍サイクルの一周期は、吸気工程と排気工程に区分けされる。吸気工程と排気工程は交互に繰り返される。
In general, one cycle of the refrigeration cycle of the
吸気工程においては、圧縮機12から蓄冷器18を通じてパルス管16への吸気(主吸気)が行われる。主吸気に先行して、第3バッファ容積B3からパルス管16への予備的な吸気が行われ、主吸気と同時に(または主吸気よりもいくらか先に)、第1バッファ容積B1からパルス管16への吸気も行われる。主吸気の終盤では、第1バッファ容積B1は蓄冷器18およびパルス管16を通じて圧縮機吐出口12aに接続されるので、第1バッファ容積B1の圧力は圧縮機12によって高圧PHに回復される。
In the intake process, intake (main intake) from the
排気工程においては、パルス管16から蓄冷器18を通じて圧縮機12への排気(主排気)が行われる。主排気に先行して、パルス管16から第3バッファ容積B3への予備的な排気が行われ、主排気と同時に(または主排気よりもいくらか先に)、パルス管16から第2バッファ容積B2への排気も行われる。主排気の終盤では、第2バッファ容積B2は蓄冷器18およびパルス管16を通じて圧縮機吸入口12bに接続されるので、第2バッファ容積B2の圧力は圧縮機12によって低圧PLに回復される。
In the exhaust process, exhaust (main exhaust) from the
なお、パルス管冷凍機10の性能を向上するうえで理論的には、第1バッファ容積B1からパルス管16への吸気は、主吸気よりもいくらか先行して開始することが好ましい。この場合、第1バッファ開閉バルブV3は、主吸気開閉バルブV1よりも早く開かれる。同様に、パルス管16から第2バッファ容積B2への排気は、主排気よりもいくらか先行して開始することが好ましい。この場合、第2バッファ開閉バルブV4は、主排気開閉バルブV2よりも早く開かれる。
In theory, in order to improve the performance of the
しかし、大きな冷凍能力を有する大型のパルス管冷凍機10については、主圧力切替バルブ24aを流れる作動ガス流量を確保するために、上述のように、第1バッファ容積B1からパルス管16への吸気は、主吸気と同時に開始することが好ましい。同様に、パルス管16から第2バッファ容積B2への排気は、主排気と同時に開始することが好ましい。このようにすれば、バッファ開閉バルブ(V3,V4)を先行して開くことによる主圧力切替バルブ24aのガス流量の低下を抑制し、パルス管冷凍機10の性能を向上することができる。
However, for the large-sized
このような構成により、パルス管冷凍機10は、パルス管16内に高圧PHと低圧PLの作動ガス圧力振動を生成する。圧力振動と同期して適切な位相遅れをもって、パルス管16内で作動ガスの変位振動すなわちガスピストンの往復動が生じる。ある圧力を保持しながらパルス管16内を上下に周期的に往復する作動ガスの動きは、しばしば「ガスピストン」と称され、パルス管冷凍機10の動作を説明するためによく用いられる。ガスピストンがパルス管高温端16aまたはその近傍にあるときパルス管低温端16bで作動ガスが膨張し、寒冷が発生する。このような冷凍サイクルを繰り返すことにより、パルス管冷凍機10は、冷却ステージ20を冷却することができる。したがって、パルス管冷凍機10は、被冷却物19を冷却することができる。
With such a configuration, the
図3から図5はそれぞれ、図1および図2に示されるアクティブバッファパルス管冷凍機に適用可能である例示的なバルブタイミングを示す概略図である。各図の上部には第1コールドヘッドの各バルブ(V11〜V51)のバルブタイミングをパルス管冷凍機10の冷凍サイクルの一周期(360°)にわたって示す。同様に、各図の下部には、第2コールドヘッドの各バルブ(V12〜V52)のバルブタイミングをパルス管冷凍機10の冷凍サイクルの一周期にわたって示す。このように、以下では説明の便宜上、第1コールドヘッドのバルブ(V11〜V51)には添字「1」を付し、第2コールドヘッドのバルブ(V12〜V52)には添字「2」を付して区別する。図において、実線はバルブが開いている期間を示し、破線はバルブが閉じている期間を示す。
3-5 are schematic diagrams illustrating exemplary valve timings applicable to the active buffer pulse tube refrigerator shown in FIGS. 1 and 2, respectively. The upper part of each figure shows valve timings of the valves (V11 to V51) of the first cold head over one cycle (360 °) of the refrigeration cycle of the
図3から図5に示されるように、第1コールドヘッドの主圧力切替バルブ24aは、主吸気開閉バルブV11と主排気開閉バルブV21が交互に開くように動作する。第1コールドヘッドの副圧力切替バルブ24bは、第1バッファ開閉バルブV31、第3バッファ開閉バルブV51、第2バッファ開閉バルブV41、第3バッファ開閉バルブV51の順に開くように動作する。主吸気開閉バルブV11は第1バッファ開閉バルブV31と同時に開かれ、主排気開閉バルブV21は第2バッファ開閉バルブV41と同時に開かれる。
As shown in FIGS. 3 to 5, the main
同様に、第2コールドヘッドの主圧力切替バルブ24aは、主吸気開閉バルブV12と主排気開閉バルブV22が交互に開くように動作する。第1コールドヘッドの副圧力切替バルブ24bは、第1バッファ開閉バルブV32、第3バッファ開閉バルブV52、第2バッファ開閉バルブV42、第3バッファ開閉バルブV52の順に開くように動作する。主吸気開閉バルブV12は第1バッファ開閉バルブV32と同時に開かれ、主排気開閉バルブV22は第2バッファ開閉バルブV42と同時に開かれる。
Similarly, the main
このようにして、各コールドヘッド14の主圧力切替バルブ24aのバルブタイミングは、圧縮機吐出口12aおよび圧縮機吸入口12bを蓄冷器高温端18aに交互に接続するように定められている。各コールドヘッド14の副圧力切替バルブ24bのバルブタイミングは、異なるバッファ容積(B1〜B3)を当該コールドヘッド14のパルス管高温端16aに順番に接続するように定められている。
Thus, the valve timing of the main
図3に示されるバルブタイミングの第1の例では、複数のコールドヘッド14が、同位相で運転されている。すなわち、第1コールドヘッドと第2コールドヘッドはバルブタイミングに位相差が無い。
In the first example of the valve timing shown in FIG. 3, a plurality of
そのため、第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、および第3バッファ容積B3は、複数のコールドヘッド14に同じタイミングで利用されることになる。具体的には、第1コールドヘッドの第1バッファ開閉バルブV31と第2コールドヘッドの第1バッファ開閉バルブV32は同時に開かれ、第1バッファ容積B1から複数のコールドヘッド14に同じタイミングで高圧PHの作動ガスが供給される。第1コールドヘッドの第2バッファ開閉バルブV41と第2コールドヘッドの第2バッファ開閉バルブV42は同時に開かれ、複数のコールドヘッド14から第2バッファ容積B2に同じタイミングで低圧PLの作動ガスが回収される。第1コールドヘッドの第3バッファ開閉バルブV51と第2コールドヘッドの第3バッファ開閉バルブV52は同時に開かれ、複数のコールドヘッド14と第3バッファ容積B3との間で作動ガスが給排される。
Therefore, the first buffer volume B1, the second buffer volume B2, and the third buffer volume B3 are used by the plurality of
図4に示されるバルブタイミング第2の例では、複数のコールドヘッド14が、逆位相で運転されている。第1コールドヘッドと第2コールドヘッドはバルブタイミングに半周期(180°)の位相差を有する。第1コールドヘッドの吸気工程(排気工程)の間、第2コールドヘッドの排気工程(吸気工程)が行われる。
In the second example of the valve timing shown in FIG. 4, the plurality of
そのため、第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、および第3バッファ容積B3は、複数のコールドヘッド14に完全に異なるタイミングで利用される。例えば、第1コールドヘッドの第1バッファ開閉バルブV31が開かれ第1コールドヘッドが第1バッファ容積B1に連通しているとき、第2コールドヘッドの第1バッファ開閉バルブV32は閉鎖され第2コールドヘッドは第1バッファ容積B1から切り離されている。第2バッファ容積B2および第3バッファ容積B3についても同様である。
Therefore, the first buffer volume B1, the second buffer volume B2, and the third buffer volume B3 are used by the plurality of
図5に示されるバルブタイミングの第3の例では、複数のコールドヘッド14が、互いに位相をずらして運転されている。複数のコールドヘッド14の主圧力切替バルブ24aそれぞれのバルブタイミングが互いに位相差ΔTをもち、同じく、副圧力切替バルブ24bそれぞれのバルブタイミングも互いに位相差ΔTをもつ。
In the third example of the valve timing shown in FIG. 5, the plurality of
図5に示されるように、第2コールドヘッドのバルブタイミングは、第1コールドヘッドのバルブタイミングから位相差ΔTだけ遅れている。第2コールドヘッドの第1バッファ開閉バルブV32が開くタイミングは、第1コールドヘッドの第1バッファ開閉バルブV31が開くタイミングから位相差ΔTだけ遅れている。他のバルブ(V1,V2,V4,V5)についても同様である。位相差ΔTは、例えば、180°より小さくてもよい。この場合、第2コールドヘッドの吸気工程および排気工程はそれぞれ、第1コールドヘッドの吸気工程および排気工程の途中で開始される。 As shown in FIG. 5, the valve timing of the second cold head is delayed by a phase difference ΔT from the valve timing of the first cold head. The opening timing of the first buffer opening / closing valve V32 of the second cold head is delayed by a phase difference ΔT from the opening timing of the first buffer opening / closing valve V31 of the first cold head. The same applies to the other valves (V1, V2, V4, V5). The phase difference ΔT may be smaller than 180 °, for example. In this case, the intake process and the exhaust process of the second cold head are started in the middle of the intake process and the exhaust process of the first cold head, respectively.
なお位相差ΔTは、任意の大きさであってよく、例えば、90°以内であってもよい。あるいは、位相差ΔTは、180°以上であってもよい。図4に示される第2の例は、位相差ΔTが180°の場合にあたる。 The phase difference ΔT may be an arbitrary magnitude, and may be within 90 °, for example. Alternatively, the phase difference ΔT may be 180 ° or more. The second example shown in FIG. 4 corresponds to the case where the phase difference ΔT is 180 °.
ところで、従来典型的な3バッファ方式のアクティブバッファパルス管冷凍機では、複数のコールドヘッドの各々について3個のバッファタンクを個別に設置される。2台のコールドヘッドでは合計6個のバッファタンクが必要となる。 By the way, in the conventional typical three-buffer type active buffer pulse tube refrigerator, three buffer tanks are individually installed for each of the plurality of cold heads. Two cold heads require a total of 6 buffer tanks.
実施の形態に係るパルス管冷凍機10によると、複数のコールドヘッド14に共有される第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、および第3バッファ容積B3が設けられている。既存のアクティブバッファパルス管冷凍機に比べて、より少数のバッファタンクを有するだけでよいので、パルス管冷凍機10の設置に必要なスペースを小さくすることができる。アクティブバッファパルス管冷凍機の大型化が抑制され、冷凍機の設置が容易となり、より多くの適用分野に利用可能となる。
According to the
また、発明者の検討によれば、6個のバッファタンクを有する従来型でのバッファ総容積に比べて、これら3つのバッファ容積(B1〜B3)の合計容積が小さくても、同じ冷凍能力を提供することが可能である。例として、1個のバッファタンクの容積が10リットルと仮定すると、従来型での6個のバッファタンクの容積は60リットルである。例えば、図3に示されるバルブタイミングの第1の例では、3つのバッファ容積(B1〜B3)の合計容積が60リットル未満であっても、同じ冷凍能力を提供可能である。 Further, according to the inventor's study, even when the total volume of these three buffer volumes (B1 to B3) is smaller than the total buffer volume in the conventional type having six buffer tanks, the same refrigeration capacity is obtained. It is possible to provide. As an example, assuming that the volume of one buffer tank is 10 liters, the volume of six buffer tanks in the conventional type is 60 liters. For example, in the first example of the valve timing shown in FIG. 3, even if the total volume of the three buffer volumes (B1 to B3) is less than 60 liters, the same refrigeration capacity can be provided.
図4に示されるバルブタイミングの第2の例では、第1コールドヘッドと第2コールドヘッドが逆位相で運転され、これら2台のコールドヘッド14が1つのバッファ容積(B1〜B3)を同時に利用することがない。個々のバッファ容積(B1〜B3)は、一つのコールドヘッド14の運転に必要な能力をもつだけでよい。したがって、3つのバッファ容積(B1〜B3)の合計容積は、第1の例に比べて、顕著に低減される。上記の例で言えば、従来型の60リットルに対し、実施例では30リットル程度と約半分で済むことになる。アクティブバッファパルス管冷凍機の大型化が抑制される。
In the second example of valve timing shown in FIG. 4, the first cold head and the second cold head are operated in opposite phases, and these two
また、第2の例では、一方のコールドヘッド14がバッファ容積を利用するタイミングで他方のコールドヘッド14はそのバッファ容積から切り離されているから、2台のコールドヘッド14は性能上それぞれ個別のパルス管冷凍機10とみなすことができる。バッファ容積の共有に起因する冷凍能力の低下など性能上の悪影響は、ほとんど無いか、まったくないと期待される。
In the second example, the other
図5に示されるバルブタイミングの第3の例では、各コールドヘッド14の副圧力切替バルブ24bのバルブタイミングは、異なるバッファ容積(B1〜B3)を当該コールドヘッド14のパルス管高温端16aに順番に接続するように定められている。複数のコールドヘッド14の副圧力切替バルブ24bそれぞれのバルブタイミングが互いに位相差ΔTをもつ。
In the third example of the valve timing shown in FIG. 5, the valve timing of the sub
第3の例においても、3つのバッファ容積(B1〜B3)の合計容積は、第2の例ほどではないが、第1の例に比べてかなり低減される。アクティブバッファパルス管冷凍機の大型化が抑制される。また、バッファ容積の共有に起因する冷凍能力への影響についても、第1の例に比べて緩和される。 Also in the third example, the total volume of the three buffer volumes (B1 to B3) is not as large as the second example, but is considerably reduced compared to the first example. The increase in size of the active buffer pulse tube refrigerator is suppressed. Further, the influence on the refrigerating capacity due to the sharing of the buffer volume is also reduced as compared with the first example.
加えて、第3の例では位相差ΔTを任意の値にとることができるので、3台以上のコールドヘッド14を有するパルス管冷凍機10にも容易に拡張できるという利点もある。例えば、コールドヘッドがN台の場合(Nは2以上の整数)、コールドヘッド14のバルブタイミングを360°/Nずつ均等にずらすことができる。ただし、不均等にずらしても運転は可能である。
In addition, since the phase difference ΔT can be set to an arbitrary value in the third example, there is an advantage that it can be easily expanded to the
図6は、他の実施の形態に係るアクティブバッファパルス管冷凍機を概略的に示す図である。図6に示される実施形態は、パルス管冷凍機10の位相制御機構を除いて、既述の実施形態と共通する。以下では、両者の異なる構成を中心に説明し、共通する構成については簡単に説明するか、あるいは説明を省略する。
FIG. 6 is a diagram schematically showing an active buffer pulse tube refrigerator according to another embodiment. The embodiment shown in FIG. 6 is common to the above-described embodiment except for the phase control mechanism of the
図6に示されるように、第3バッファ容積B3は、コールドヘッド14ごとに設けられていてもよい。第1バッファ容積B1と第2バッファ容積B2は、複数のコールドヘッド14に共有されている。
As shown in FIG. 6, the third buffer volume B <b> 3 may be provided for each
このように、パルス管冷凍機10に設置されるすべてのバッファ容積が複数のコールドヘッド14に共有される必要はない。第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、および第3バッファ容積B3のうち1つまたは2つだけが、複数のコールドヘッド14に共有されてもよい。この場合にも、既述の実施形態と同様に、アクティブバッファパルス管冷凍機の大型化を抑制するという利点を得ることができる。
Thus, it is not necessary for all the buffer volumes installed in the
図7は、他の実施の形態に係るアクティブバッファパルス管冷凍機を概略的に示す図である。図7に示される実施形態は、パルス管冷凍機10の位相制御機構を除いて、既述の実施形態と共通する。以下では、両者の異なる構成を中心に説明し、共通する構成については簡単に説明するか、あるいは説明を省略する。
FIG. 7 is a diagram schematically showing an active buffer pulse tube refrigerator according to another embodiment. The embodiment shown in FIG. 7 is common to the above-described embodiment except for the phase control mechanism of the
パルス管冷凍機10は、いわゆる2バッファ方式のアクティブバッファパルス管冷凍機として構成されている。よって、パルス管冷凍機10は、第1バッファ容積B1と、第2バッファ容積B2とを有するが、第3バッファ容積B3は有しない。この場合にも、既述の実施形態と同様に、アクティブバッファパルス管冷凍機の大型化を抑制するという利点を得ることができる。
The
以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。 In the above, this invention was demonstrated based on the Example. It will be understood by those skilled in the art that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various design changes are possible, various modifications are possible, and such modifications are within the scope of the present invention. By the way.
ある実施形態においては、パルス管冷凍機10は、いわゆる4バッファ方式のアクティブバッファパルス管冷凍機として構成されてもよい。パルス管冷凍機10は、第4圧力を有する第4圧力源として複数のコールドヘッド14に共有される第4バッファ容積をさらに備えてもよい。第4バッファ容積は、各コールドヘッド14のパルス管高温端16aに当該コールドヘッド14の副圧力切替バルブ24bを介して接続されてもよい。第4バッファ容積の第4圧力は、第1バッファ容積B1、第2バッファ容積B2、および第3バッファ容積B3の圧力とは異なる圧力であってもよい。
In an embodiment, the
10 パルス管冷凍機、 12 圧縮機、 12a 圧縮機吐出口、 12b 圧縮機吸入口、 14 コールドヘッド、 16 パルス管、 16a パルス管高温端、 16b パルス管低温端、 18 蓄冷器、 18a 蓄冷器高温端、 18b 蓄冷器低温端、 24a 主圧力切替バルブ、 24b 副圧力切替バルブ、 B1 第1バッファ容積、 B2 第2バッファ容積、 B3 第3バッファ容積。 10 pulse tube refrigerator, 12 compressor, 12a compressor discharge port, 12b compressor suction port, 14 cold head, 16 pulse tube, 16a pulse tube high temperature end, 16b pulse tube low temperature end, 18 regenerator, 18a regenerator high temperature End, 18b Cold storage low temperature end, 24a Main pressure switching valve, 24b Sub pressure switching valve, B1 first buffer volume, B2 second buffer volume, B3 third buffer volume.
Claims (3)
パルス管高温端とパルス管低温端とを有するパルス管と、
蓄冷器高温端と、前記パルス管低温端と連通している蓄冷器低温端とを有する蓄冷器と、
圧縮機吐出口および圧縮機吸入口を前記蓄冷器高温端に交互に接続する主圧力切替バルブと、
前記パルス管高温端に接続された副圧力切替バルブと、を備える複数のコールドヘッドと、
各コールドヘッドのパルス管高温端に当該コールドヘッドの副圧力切替バルブを介して接続され、第1圧力を有する第1圧力源として前記複数のコールドヘッドに共有される第1バッファ容積と、
各コールドヘッドのパルス管高温端に当該コールドヘッドの副圧力切替バルブを介して接続され、前記第1圧力と異なる第2圧力を有する第2圧力源として前記複数のコールドヘッドに共有される第2バッファ容積と、を備えることを特徴とするアクティブバッファパルス管冷凍機。 Multiple cold heads, each cold head
A pulse tube having a pulse tube hot end and a pulse tube cold end;
A regenerator having a regenerator high temperature end and a regenerator low temperature end communicating with the pulse tube low temperature end;
A main pressure switching valve for alternately connecting a compressor discharge port and a compressor suction port to the regenerator high temperature end;
A plurality of cold heads including a sub-pressure switching valve connected to the high-temperature end of the pulse tube;
A first buffer volume that is connected to the high temperature end of each cold head pulse tube via a secondary pressure switching valve of the cold head and is shared by the plurality of cold heads as a first pressure source having a first pressure;
A second pressure source connected to the high temperature end of each cold head through a secondary pressure switching valve of the cold head and shared by the plurality of cold heads as a second pressure source having a second pressure different from the first pressure. And an active buffer pulse tube refrigerator.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018080762A JP2019190678A (en) | 2018-04-19 | 2018-04-19 | Active buffer pulse tube refrigerator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018080762A JP2019190678A (en) | 2018-04-19 | 2018-04-19 | Active buffer pulse tube refrigerator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019190678A true JP2019190678A (en) | 2019-10-31 |
Family
ID=68389826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018080762A Pending JP2019190678A (en) | 2018-04-19 | 2018-04-19 | Active buffer pulse tube refrigerator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019190678A (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1194382A (en) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Sanyo Electric Co Ltd | Pulse tube refrigerator |
JP2000161802A (en) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Aisin Seiki Co Ltd | Multi-type pulse tube refrigerating machine |
JP2002106993A (en) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Aisin Seiki Co Ltd | Gm type pulse tube refrigerating machine |
US20050115247A1 (en) * | 2002-03-05 | 2005-06-02 | Gao Jin L. | Fast warm up pulse tube |
JP2016217625A (en) * | 2015-05-20 | 2016-12-22 | エア・ウォーター株式会社 | Pulse tube refrigerator |
-
2018
- 2018-04-19 JP JP2018080762A patent/JP2019190678A/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1194382A (en) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Sanyo Electric Co Ltd | Pulse tube refrigerator |
JP2000161802A (en) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Aisin Seiki Co Ltd | Multi-type pulse tube refrigerating machine |
JP2002106993A (en) * | 2000-09-28 | 2002-04-10 | Aisin Seiki Co Ltd | Gm type pulse tube refrigerating machine |
US20050115247A1 (en) * | 2002-03-05 | 2005-06-02 | Gao Jin L. | Fast warm up pulse tube |
JP2016217625A (en) * | 2015-05-20 | 2016-12-22 | エア・ウォーター株式会社 | Pulse tube refrigerator |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101289395B1 (en) | Gas balanced cryogenic expansion engine | |
US6629418B1 (en) | Two-stage inter-phasing pulse tube refrigerators with and without shared buffer volumes | |
KR20130041395A (en) | Fast cool down cryogenic refrigerator | |
JP2019078481A (en) | Cryogenic system | |
KR102046020B1 (en) | Hybrid brayton-gifford-mcmahon expander | |
WO2020241377A1 (en) | Multi-stage pulse tube refrigerator and cold head of multi-stage pulse tube refrigerator | |
JP3936117B2 (en) | Pulse tube refrigerator and superconducting magnet system | |
JP2019190678A (en) | Active buffer pulse tube refrigerator | |
CN114739031B (en) | Dilution refrigeration system | |
US7272937B2 (en) | Cooling device | |
US10018381B2 (en) | Cryogenic refrigerator | |
JP6529850B2 (en) | Cryogenic refrigerator and operating method of cryogenic refrigerator | |
JP6909167B2 (en) | Active buffer pulse tube refrigerator | |
JP6270368B2 (en) | refrigerator | |
JP2003194428A (en) | Cooling device | |
WO2020235554A1 (en) | Pulse pipe refrigerator, and cold head for pulse pipe refrigerator | |
JPH11304271A (en) | Cold storage type refrigerating machine and superconducting magnet using it | |
JP6913039B2 (en) | Pulse tube refrigerator | |
JP2008215783A (en) | Cryogenic refrigerating machine and cryogenic refrigerating method | |
RU2273808C2 (en) | Refrigeration machine with pulsating pipe | |
JP2012057871A (en) | Pulse tube refrigerating machine, and superconductive magnet device using the same | |
CN1388344A (en) | Space cryogenic refrigerator with combined radiation refrigeration and pulse tube refrigeration | |
US7165406B2 (en) | Integral pulse tube refrigerator and cryopump | |
JP2002286312A (en) | Pulse tube refrigerating machine | |
WO2019230419A1 (en) | Pulse tube refrigerator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211222 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220614 |