JP2019188387A - Printing method, printing device, el and solar battery manufacturing method - Google Patents

Printing method, printing device, el and solar battery manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP2019188387A
JP2019188387A JP2018227855A JP2018227855A JP2019188387A JP 2019188387 A JP2019188387 A JP 2019188387A JP 2018227855 A JP2018227855 A JP 2018227855A JP 2018227855 A JP2018227855 A JP 2018227855A JP 2019188387 A JP2019188387 A JP 2019188387A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
droplet
cell
droplets
printing method
cells
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018227855A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7122663B2 (en
Inventor
圭二郎 増永
Keijiro Masunaga
圭二郎 増永
室 真弘
Shinko Muro
真弘 室
孝夫 南雲
Takao Nagumo
孝夫 南雲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority to CN201811653371.4A priority Critical patent/CN110385926B/en
Priority to TW108100057A priority patent/TWI705591B/en
Publication of JP2019188387A publication Critical patent/JP2019188387A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7122663B2 publication Critical patent/JP7122663B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

To improve effect of reducing printing unevenness caused by variation in discharge volume for every nozzle.SOLUTION: The printing method in which liquid droplets are discharged from a nozzle of an inkjet head and the liquid droplets are applied to a plurality of cells of a medium to be printed, includes a first liquid droplet application step in which first liquid droplets are applied for restricting flow of second liquid droplets which are applied subsequently, to the plurality of cells and a second liquid droplet application step in which the second liquid droplets are applied to a plurality of set regions in one cell. In the second liquid droplet application step, positions of application of the second liquid droplets are changed for every cell.SELECTED DRAWING: Figure 6B

Description

本開示は、インクジェットヘッドを用いて印刷を行う印刷方法および印刷装置とEL、太陽電池の製造方法に関する。   The present disclosure relates to a printing method, a printing apparatus, an EL, and a solar cell manufacturing method that perform printing using an inkjet head.

現在、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイの製造方法では、蒸着を用いることが主流である。これに対し、コストダウンを図るために、真空を必要とせず、材料の利用効率が高いインクジェット方式の印刷装置(以下、インクジェット装置という)を用いて、有機ELディスプレイの発光層や封止膜を形成することが検討されている。   Currently, in the manufacturing method of an organic EL (Electro Luminescence) display, it is mainstream to use vapor deposition. On the other hand, in order to reduce costs, an organic EL display light-emitting layer or sealing film is used by using an ink jet printing apparatus (hereinafter referred to as an ink jet apparatus) that does not require a vacuum and has high material utilization efficiency. It is being considered to form.

一般的に、インクジェット装置を用いて有機ELディスプレイを製造する場合、インクジェットヘッドのノズルから各色のインクを、バンクと呼ばれる隔壁で区切られた画素に吐出し、画素内に機能膜を形成する。有機ELは、インクの体積に応じて発光量が増加するため、画素に充填されたインク量のばらつきが小さいほど、ディスプレイの色ムラが低減される。この色ムラを低減することで、高品質な有機ELディスプレイを製造することができる。   In general, when an organic EL display is manufactured using an ink jet device, ink of each color is ejected from a nozzle of an ink jet head to a pixel partitioned by a partition called a bank, and a functional film is formed in the pixel. Since the amount of light emitted from the organic EL increases according to the volume of the ink, the color unevenness of the display is reduced as the variation in the amount of ink filled in the pixel is smaller. By reducing this color unevenness, a high-quality organic EL display can be manufactured.

一方、有機ELディスプレイは、高解像度、高精細化によって画素が微細化する傾向にある。画素の微細化に伴い、インクジェットヘッドで塗工するパターンピッチは狭くなるため、ノズルから吐出されるインクの量(以下、吐出量という)が少量かつ均一となるように高精度の制御を行う必要がある。そこで、複数のインクジェットヘッドを積み重ねたインクジェット装置を用いることで、解像度を向上させる方法が用いられている。   On the other hand, organic EL displays tend to have finer pixels due to higher resolution and higher definition. As the pixels become finer, the pattern pitch applied by the inkjet head becomes narrower, so it is necessary to perform high-precision control so that the amount of ink ejected from the nozzle (hereinafter referred to as ejection amount) is small and uniform. There is. Therefore, a method of improving resolution by using an ink jet apparatus in which a plurality of ink jet heads are stacked is used.

しかしながら、各ノズルからの吐出量は、ノズル毎の体積ばらつきにより異なる場合がある。特に、複数のインクジェットヘッドを積み重ねたインクジェット装置では、1つのノズルからの吐出量が微小量であるため、吐出量のばらつきは相対的に大きいものとなってしまう。   However, the discharge amount from each nozzle may vary depending on the volume variation of each nozzle. In particular, in an ink jet apparatus in which a plurality of ink jet heads are stacked, since the discharge amount from one nozzle is very small, the variation in the discharge amount is relatively large.

この場合、各画素に対して同量のインクを充填するために、各ノズルから同じ回数のインクを吐出したとしても、ノズル毎の体積ばらつきにより最終的なインクの充填量に差が生じる。具体的には、同一ノズルセットで形成した画素のラインと、異なるノズルセットにより形成した画素のラインとの間に、充填量の差が発生する。充填量の差は、筋状の色ムラ(以下、筋ムラという)の発生につながり、ディスプレイの品質および歩留まりが低下する原因となる。   In this case, in order to fill each pixel with the same amount of ink, even if the same number of inks are ejected from each nozzle, a difference occurs in the final ink filling amount due to volume variation for each nozzle. Specifically, a difference in filling amount occurs between a pixel line formed with the same nozzle set and a pixel line formed with a different nozzle set. The difference in the filling amount leads to the occurrence of streak-like color unevenness (hereinafter referred to as streak unevenness), which causes a decrease in display quality and yield.

同様の問題は、有機ELディスプレイの封止膜をインクジェット装置によって製造する場合にも生じる。   Similar problems also occur when an organic EL display sealing film is manufactured by an ink jet apparatus.

封止膜の製造では、光硬化型のインクをインクジェット装置によってワーク(印刷対象の媒体)に塗布し、塗布されたインク膜に対して紫外光などの光線を照射することでインクを硬化させ、封止膜を形成する。この場合、必要箇所以外に過度に濡れ広がらないように一定の粘度を保ったインクが使用される。そのため、所定のノズルから吐出されてワークに付着したインクが、吐出されるインクの体積が異なる他のノズルから吐出されたインクと結合し、同一の高さに濡れ広がるには時間がかかる。よって、塗布後に十分な時間をおかずに硬化処理を行うと、上述したノズルの体積ばらつきに起因する筋ムラが発生する。   In the production of the sealing film, a photocurable ink is applied to a work (medium to be printed) by an inkjet apparatus, and the ink is cured by irradiating the applied ink film with light rays such as ultraviolet light, A sealing film is formed. In this case, an ink having a certain viscosity is used so that it does not get wet excessively except for the necessary part. For this reason, it takes time for the ink ejected from the predetermined nozzles and attached to the work to combine with the ink ejected from other nozzles having different ejected ink volumes and spread out at the same height. Therefore, when the curing process is performed without sufficient time after application, streak unevenness due to the above-described nozzle volume variation occurs.

このような筋ムラを低減する方法が、例えば特許文献1に開示されている。特許文献1の方法は、同一ノズルセットで形成した吐出パターンのラインで画素毎の吐出回数をランダムに変更することにより、同一ノズルセットで形成した吐出パターンのラインの体積を変動させる方法である。   For example, Patent Document 1 discloses a method for reducing such unevenness of muscle. The method of Patent Document 1 is a method of changing the volume of a discharge pattern line formed with the same nozzle set by randomly changing the number of discharges for each pixel in the discharge pattern line formed with the same nozzle set.

この方法では、画素毎に必要なインクの充填量に対してノズルからの吐出量が十分に小さい場合(例えば、充填量に対して吐出量が1/100程度である場合)、筋ムラの発生を防止できるとしている。   In this method, when the ejection amount from the nozzle is sufficiently small with respect to the ink filling amount required for each pixel (for example, when the ejection amount is about 1/100 with respect to the filling amount), streak unevenness occurs. Can be prevented.

特許第5157348号公報Japanese Patent No. 5157348

しかしながら、特許文献1の方法では、画素毎に必要なインクの充填量に対してノズルからの吐出量が大きい場合(例えば、充填量に対して吐出量が1/10以上である場合)、画素毎に吐出回数を変更すると、吐出1回あたりのインク量の変化が相対的に大きくなる。そのため、粒状のムラが発生し、ディスプレイの画質に大きな影響が出てしまう。   However, in the method of Patent Document 1, when the discharge amount from the nozzle is large with respect to the ink filling amount required for each pixel (for example, when the discharge amount is 1/10 or more with respect to the filling amount), the pixel When the number of ejections is changed every time, the change in the ink amount per ejection becomes relatively large. For this reason, granular unevenness occurs, which greatly affects the image quality of the display.

本開示の一態様の目的は、印刷ムラの低減効果を向上させることができる印刷方法および印刷装置とEL、太陽電池の製造方法を提供することである。   An object of one embodiment of the present disclosure is to provide a printing method, a printing apparatus, an EL, and a method for manufacturing a solar cell that can improve the effect of reducing printing unevenness.

本開示の一態様に係る印刷方法は、インクジェットヘッドのノズルから液滴を吐出し、印刷対象媒体の複数のセルに前記液滴を塗布する印刷方法であって、前記複数のセルに、後から塗布される第2液滴の流れを制限するための第1液滴を塗布する第1液滴塗布工程と、1つの前記セル内に複数設定された設定領域に、前記第2液滴を塗布する第2液滴塗布工程と、を含み、前記第2液滴塗布工程では、前記セル毎に前記第2液滴の塗布位置を変える。   A printing method according to an aspect of the present disclosure is a printing method in which droplets are ejected from nozzles of an inkjet head and the droplets are applied to a plurality of cells of a print target medium. A first droplet applying step for applying a first droplet for restricting the flow of the second droplet to be applied, and applying the second droplet to a plurality of setting areas set in one cell. A second droplet applying step, wherein in the second droplet applying step, the application position of the second droplet is changed for each cell.

本開示の一態様に係る印刷装置は、印刷対象媒体の複数のセルに液滴が塗布されるようにノズルから前記液滴を吐出するインクジェットヘッドと、前記複数のセルに、後から塗布される第2液滴の流れを制限するための第1液滴を塗布するように前記インクジェットヘッドを制御する第1制御と、1つの前記セル内に複数設定された設定領域に、前記第2液滴を塗布するように前記インクジェットヘッドを制御する第2制御と、を行う制御部と、を有し、前記制御部は、前記第2制御を行う際、前記セル毎に前記第2液滴の塗布位置を変えるように前記インクジェットヘッドを制御する。   A printing apparatus according to an aspect of the present disclosure is applied later to an inkjet head that discharges the droplets from a nozzle so that the droplets are applied to a plurality of cells of a print target medium, and to the plurality of cells. A first control for controlling the inkjet head to apply a first droplet for restricting a flow of the second droplet, and a plurality of the second droplets in a set region set in one cell. And a second control unit that controls the inkjet head so as to apply the liquid droplets, and the control unit applies the second liquid droplets for each cell when performing the second control. The inkjet head is controlled to change the position.

上記印刷方法を用いて、ELを製造する方法を用いる。   A method for manufacturing EL is used by using the above printing method.

本開示によれば、印刷ムラの低減効果を向上させることができる。   According to the present disclosure, it is possible to improve the effect of reducing printing unevenness.

従来のインクジェット印刷方法を用いて印刷を行う場合の印刷パターンの一例を示す模式図Schematic diagram showing an example of a printing pattern when printing is performed using a conventional inkjet printing method 従来のインクジェット印刷方法における各ノズルから吐出される液滴の体積を示す図The figure which shows the volume of the droplet discharged from each nozzle in the conventional inkjet printing method 従来のインクジェット印刷方法を用いて図1に示した印刷パターンを形成した場合における各セルの充填体積を示す図The figure which shows the filling volume of each cell at the time of forming the printing pattern shown in FIG. 1 using the conventional inkjet printing method. 特許文献1の印刷方法を用いて印刷を行う場合の印刷パターンの一例を示す模式図Schematic diagram showing an example of a printing pattern when printing is performed using the printing method of Patent Document 1 特許文献1の印刷方法を用いて図4に示した印刷パターンを形成した場合における各セルの充填体積を示す図The figure which shows the filling volume of each cell at the time of forming the printing pattern shown in FIG. 4 using the printing method of patent document 1 本開示の印刷装置の構成を示す図1 is a diagram illustrating a configuration of a printing apparatus according to the present disclosure. 本開示の印刷方法の流れを示す図The figure which shows the flow of the printing method of this indication 本開示の印刷方法を用いて印刷を行う場合の印刷パターンの一例を示す模式図Schematic diagram showing an example of a printing pattern when printing is performed using the printing method of the present disclosure 本開示の第1液滴が基板の平面部に塗布された状態を示す模式図The schematic diagram which shows the state by which the 1st droplet of this indication was apply | coated to the plane part of a board | substrate. 本開示の第1液滴が基板の凹部内へ塗布された状態を示す模式図The schematic diagram which shows the state by which the 1st droplet of this indication was apply | coated in the recessed part of a board | substrate. 図9AのA−A断面図AA sectional view of FIG. 9A 本開示の第1液滴が基板の凹部を覆って塗布された状態を示す模式図The schematic diagram which shows the state by which the 1st droplet of this indication was applied covering the recessed part of a board | substrate. 図10AのB−B断面図BB sectional view of FIG. 10A 本開示の設定領域の拡大図Enlarged view of the setting area of this disclosure 本開示の印刷方法を用いて図7に示した印刷パターンを形成した場合における各セルの充填体積を示す図The figure which shows the filling volume of each cell at the time of forming the printing pattern shown in FIG. 7 using the printing method of this indication.

(従来の印刷方法の課題)
まず、従来のインジェット印刷方法で印刷を行った場合における課題について、図1〜図3を用いて説明する。
(Problems with conventional printing methods)
First, a problem when printing is performed by a conventional in-jet printing method will be described with reference to FIGS.

図1は、従来の印刷方法を用いて印刷する場合の印刷パターンの一例を示す模式図である。基板101は、ディスプレイの基板であり、印刷対象の媒体の一例である。セル102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104cは、それぞれ、隔壁で区切られた凹部であり、例えばディスプレイの画素となる。液滴201は、ノズルから吐出され、セル内に着弾したインクの液滴である。   FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of a print pattern when printing is performed using a conventional printing method. The substrate 101 is a display substrate and is an example of a medium to be printed. Each of the cells 102a, 102b, 102c, 103a, 103b, 103c, 104a, 104b, and 104c is a concave portion partitioned by a partition wall, and serves as a display pixel, for example. A droplet 201 is a droplet of ink ejected from a nozzle and landed in a cell.

また、図1に示したN1〜N21は、それぞれ、図示しないインクジェットヘッドの各ノズルを示す番号(ノズル番号ともいう)である。また、図1において、各ノズル番号に対応して示された点線は、ノズルの位置を表している。点線上の液滴201は、その点線に対応して示されたN1〜N21のいずれかのノズルから吐出された液滴である。   Further, N1 to N21 shown in FIG. 1 are numbers (also referred to as nozzle numbers) indicating nozzles of an inkjet head (not shown). Further, in FIG. 1, the dotted line shown corresponding to each nozzle number represents the position of the nozzle. A droplet 201 on the dotted line is a droplet ejected from any one of the nozzles N1 to N21 shown corresponding to the dotted line.

セル102a、102b、102cに対しては、N1〜N6のノズルから液滴201が吐出される。また、セル103a、103b、103cに対しては、N8〜N13のノズルから液滴201が吐出される。セル104a、104b、104cに対しては、N15〜N20のノズルから液滴201が吐出される。   Droplets 201 are ejected from the nozzles N1 to N6 to the cells 102a, 102b, and 102c. In addition, droplets 201 are discharged from the nozzles N8 to N13 to the cells 103a, 103b, and 103c. Droplets 201 are discharged from the nozzles N15 to N20 to the cells 104a, 104b, and 104c.

図2は、図1に示したノズル番号のノズルから吐出される液滴の体積(以下、吐出体積という)を示すグラフである。図2では、各ノズルから吐出する液滴の目標体積を7plとして、最大で5%程度のズレがある場合を示している。   FIG. 2 is a graph showing the volume of liquid droplets ejected from the nozzle of the nozzle number shown in FIG. 1 (hereinafter referred to as ejection volume). FIG. 2 shows a case where the target volume of droplets discharged from each nozzle is 7 pl and there is a deviation of about 5% at the maximum.

図3は、図2に示した吐出体積のノズルを使用して図1に示した印刷パターンを形成した場合に各セル(画素)に充填された液滴の体積(以下、充填体積という)を示す表である。   3 shows the volume of liquid droplets (hereinafter referred to as filling volume) filled in each cell (pixel) when the print pattern shown in FIG. 1 is formed using the nozzle having the discharge volume shown in FIG. It is a table | surface which shows.

図3の表において、1行目はセルの番号を表し、1列目はセルのアルファベットを表している。例えば、2行目2列目の数値「42.1」は、セル102aの充填体積を表している。図3の表を列方向に見ると、充填体積が同じになっていることが分かる。これは、図1に示したとおり、ノズルの位置を示す点線と直交するセルでは、使用するノズルが同じであり、印刷パターンも同じであるので、セル毎の充填体積も等しくなるからである。   In the table of FIG. 3, the first row represents the cell number, and the first column represents the cell alphabet. For example, the numerical value “42.1” in the second row and the second column represents the filling volume of the cell 102a. When the table of FIG. 3 is viewed in the column direction, it can be seen that the filling volume is the same. This is because, as shown in FIG. 1, in the cells orthogonal to the dotted line indicating the position of the nozzles, the nozzles used are the same and the printing patterns are the same, so the filling volume for each cell is also the same.

一方、図3において、ノズルの配列方向(図3の行方向)の各セルの充填体積に着目すると、セル毎に充填体積が異なる。これは、図2に示したノズル毎の吐出体積のばらつきにより、充填体積が異なるからである。このような吐出体積と充填体積との体積差は、有機ELディスプレイの発光層では発光量の差となり、視覚的に筋ムラとして認識されてしまう。   On the other hand, in FIG. 3, when paying attention to the filling volume of each cell in the nozzle arrangement direction (row direction in FIG. 3), the filling volume differs for each cell. This is because the filling volume differs due to the variation in the discharge volume for each nozzle shown in FIG. Such a volume difference between the discharge volume and the filling volume becomes a difference in light emission amount in the light emitting layer of the organic EL display, and is visually recognized as a stripe unevenness.

(特許文献1の印刷方法の課題)
次に、特許文献1(特許第5157348号公報)の印刷方法で印刷を行った場合における課題について、図4、図5を用いて説明する。
(Problems of the printing method of Patent Document 1)
Next, problems when printing is performed by the printing method disclosed in Patent Document 1 (Japanese Patent No. 5157348) will be described with reference to FIGS.

図4は、特許文献1の印刷方法を用いて印刷する場合の印刷パターンの一例を示す模式図である。図4において、図1と共通の構成要素については同一符号を付している。   FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of a printing pattern when printing is performed using the printing method disclosed in Patent Document 1. In FIG. 4, the same reference numerals are given to components common to FIG. 1.

図4において、非吐出位置202は、液滴が吐出されない位置である。非吐出位置202は、ランダムに選択される。   In FIG. 4, a non-ejection position 202 is a position where no droplet is ejected. The non-ejection position 202 is selected at random.

図5は、図2に示した吐出体積のノズルを使用して図4に示した印刷パターンを形成した場合における、各セル(画素)の充填体積を示す表である。図5では、図3と異なり、行毎に体積が異なっている。例えば、セル102a、セル102b、セル102cそれぞれの充填体積は、異なっている。これは、図4に示した非吐出位置202には液滴が吐出されないためである。   FIG. 5 is a table showing the filling volume of each cell (pixel) when the print pattern shown in FIG. 4 is formed using the nozzle having the discharge volume shown in FIG. In FIG. 5, unlike FIG. 3, the volume is different for each row. For example, the filling volumes of the cells 102a, 102b, and 102c are different. This is because droplets are not ejected to the non-ejection position 202 shown in FIG.

よって、特許文献1の印刷方法では、セル毎に必要な充填体積に対して吐出体積が十分に小さい場合、筋ムラの発生を防止できる。しかし、この方法では、液滴の吐出を行うノズルの数をセル毎に異ならせるため、セル間の充填体積の差は、液滴の1つ分の吐出量よりも大きくなる。   Therefore, in the printing method of Patent Document 1, when the discharge volume is sufficiently small with respect to the filling volume required for each cell, it is possible to prevent the occurrence of streak unevenness. However, in this method, since the number of nozzles for discharging droplets is made different for each cell, the difference in filling volume between cells becomes larger than the discharge amount for one droplet.

例えば、図5に示すように、セル102bの充填体積は42.1plであるのに対し、セル102aの充填体積は35.2plであり、20%程度の体積差が生じている。このような大きな体積差が生じた場合、例えば、有機ELディスプレイの発光層では、セル毎の発光量の差により粒状感のある画質となり、表示品質が悪化する。   For example, as shown in FIG. 5, the filling volume of the cell 102b is 42.1 pl, whereas the filling volume of the cell 102a is 35.2 pl, resulting in a volume difference of about 20%. When such a large volume difference occurs, for example, in the light emitting layer of the organic EL display, the image quality becomes grainy due to the difference in the light emission amount for each cell, and the display quality deteriorates.

本開示は、上述した従来の印刷方法の課題や特許文献1の印刷方法の課題を鑑みて考案したものである。   The present disclosure has been devised in view of the problems of the above-described conventional printing method and the printing method of Patent Document 1.

(本開示の実施の形態)
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、各図において共通する構成要素については同一の符号を付し、それらの説明は適宜省略する。
(Embodiment of the present disclosure)
Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the component which is common in each figure, and those description is abbreviate | omitted suitably.

図6Aは、本実施の形態の印刷装置1の構成を示す図である。図6Bは、印刷装置1によって行われる本実施の形態の印刷方法の流れを示す図である。図7は、本実施の形態の印刷方法を用いて印刷を行う場合の印刷パターンの一例を示す模式図である。図7において、図1と共通の構成要素については同一符号を付している。   FIG. 6A is a diagram illustrating a configuration of the printing apparatus 1 according to the present embodiment. FIG. 6B is a diagram illustrating a flow of the printing method of the present embodiment performed by the printing apparatus 1. FIG. 7 is a schematic diagram illustrating an example of a print pattern when printing is performed using the printing method of the present embodiment. In FIG. 7, the same components as those in FIG.

図6Aに示す印刷装置1は、図6Bに示す印刷方法を実行するインクジェット方式の印刷装置である。図6Aに示すように、印刷装置1は、複数のノズルからインクの液滴を吐出するインクジェットヘッド10と、インクジェットヘッド10を制御する制御部20と、を有する。   A printing apparatus 1 illustrated in FIG. 6A is an inkjet printing apparatus that executes the printing method illustrated in FIG. 6B. As illustrated in FIG. 6A, the printing apparatus 1 includes an inkjet head 10 that ejects ink droplets from a plurality of nozzles, and a control unit 20 that controls the inkjet head 10.

なお、図示は省略するが、制御部20は、ハードウェアとして、例えば、CPU(Central Processing Unit)、コンピュータプログラムを格納したROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、および通信回路などを有する。後述する制御部20の機能は、CPUがROMから読み出したコンピュータプログラムを実行することにより実現される。   Although illustration is omitted, the control unit 20 includes, for example, a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory) storing a computer program, a RAM (Random Access Memory), and a communication circuit as hardware. Have. The function of the control unit 20 described later is realized by the CPU executing a computer program read from the ROM.

インクジェットヘッド10は、例えば、図7に示すように、N1〜N21のノズルを備える。   The inkjet head 10 includes, for example, nozzles N1 to N21 as illustrated in FIG.

制御部20は、図6Bに示す第1液滴塗布工程S301、第2液滴塗布工程S302がこの順で実行されるように、インクジェットヘッド10を制御する。   The control unit 20 controls the inkjet head 10 so that the first droplet application step S301 and the second droplet application step S302 shown in FIG. 6B are executed in this order.

第1液滴塗布工程S301は、液滴が定着するための基礎(anchor)となる点を作るために、図7に示すように、第1液滴203を基板101に塗布する工程である。この工程では、制御部20は、第1液滴203を基板101に塗布するようにインクジェットヘッド10を制御する。   The first droplet applying step S301 is a step of applying the first droplet 203 to the substrate 101 as shown in FIG. 7 in order to create a point that becomes a foundation for fixing the droplet. In this step, the control unit 20 controls the inkjet head 10 so as to apply the first droplet 203 to the substrate 101.

第2液滴塗布工程S302は、第1液滴塗布工程S301の後で、図7に示すように、基板101の設定領域204内に第2液滴205を塗布する工程である。この工程では、制御部20は、第2液滴205を設定領域204内に塗布するようにインクジェットヘッド10を制御する。   The second droplet application step S302 is a step of applying the second droplet 205 in the setting area 204 of the substrate 101 as shown in FIG. 7 after the first droplet application step S301. In this step, the control unit 20 controls the inkjet head 10 so as to apply the second droplet 205 in the setting area 204.

以下、第1液滴塗布工程S301および第2液滴塗布工程S302の詳細について説明する。   Hereinafter, the details of the first droplet application step S301 and the second droplet application step S302 will be described.

<第1液滴塗布工程>
第1液滴塗布工程S301の詳細について説明する。
<First droplet application process>
Details of the first droplet application step S301 will be described.

工業生産において一般的に用いられる基板(例えば、ディスプレイ用のガラス基板等)は、インク受容性を有さない。このような基板に対してインクジェット方式により液滴を塗布する場合、後から基板に塗布された液滴が、先に基板に塗布された隣接する液滴に結合、吸収され、適切な位置に塗布されないといった現象が発生する。   A substrate generally used in industrial production (for example, a glass substrate for display) does not have ink acceptability. When droplets are applied to such a substrate by an inkjet method, the droplets subsequently applied to the substrate are combined and absorbed by the adjacent droplets previously applied to the substrate, and applied to an appropriate position. The phenomenon that is not done occurs.

上記現象によってセル内の液滴の分布が変化すると、インクが硬化した後の膜厚分布に差が生じ、ムラとなって現れる。例えば後述する第2液滴塗布工程S302のみを行った場合、後述する設定領域204(図7参照)で使用されるノズルによっては、隣接する液滴間において、後から吐出された液滴が先に吐出された液滴に吸収され、セル内の液滴分布に偏りが生じ、ムラが発生する。   When the distribution of the droplets in the cell changes due to the above phenomenon, a difference occurs in the film thickness distribution after the ink is cured, which appears as unevenness. For example, when only the second droplet application step S302 described later is performed, depending on the nozzles used in the setting region 204 (see FIG. 7) described later, a droplet discharged later may be first between adjacent droplets. Is absorbed by the droplets discharged in the cell, and the distribution of the droplets in the cell is biased, resulting in unevenness.

本実施の形態では、第2液滴塗布工程S302の前に、第1液滴塗布工程S301を行うことで、上述したムラを防止する。上述したとおり、第1液滴塗布工程S301では、図7に示すように、第1液滴203を基板101に塗布する。第1液滴203は、第2液滴塗布工程S302で塗布される第2液滴と合体される。その結果、基板101における液滴の分布を全体として均一化できる。以下では、第2液滴塗布工程S302で塗布される液滴を、第2液滴205とする。   In the present embodiment, the above-described unevenness is prevented by performing the first droplet application step S301 before the second droplet application step S302. As described above, in the first droplet applying step S301, the first droplet 203 is applied to the substrate 101 as shown in FIG. The first droplet 203 is combined with the second droplet applied in the second droplet application step S302. As a result, the distribution of droplets on the substrate 101 can be made uniform as a whole. Hereinafter, the droplet applied in the second droplet application step S302 is referred to as a second droplet 205.

液滴はセルの端部に広がりにくいので、第1液滴203は、セルの少なくとも1つの端部に位置させるのがよい。セルの対角線上の2つの端部に、第1液滴を塗布するのが好ましい。さらに、コーナ4箇所の端部でもよい。   Since the droplets are unlikely to spread at the end of the cell, the first droplet 203 is preferably located at at least one end of the cell. Preferably, the first droplet is applied to two ends on the diagonal of the cell. Furthermore, the edge part of four corners may be sufficient.

図7に示すように、第1液滴203は、セル102a〜102c、103a〜103c、104a〜104cのそれぞれにおいて、同じ位置、つまり、固定された位置に塗布される。   As shown in FIG. 7, the first droplet 203 is applied to the same position, that is, a fixed position in each of the cells 102a to 102c, 103a to 103c, and 104a to 104c.

第1液滴203は、第2液滴205と合体して塗布膜を形成する為、第2液滴205の材料と親和性が高い材料が好ましい。   Since the first droplet 203 is combined with the second droplet 205 to form a coating film, a material having high affinity with the material of the second droplet 205 is preferable.

ただし、製品の品質上、第2液滴205と異なる材料を使用することが難しい場合、第1液滴203は、第2液滴205と同じ材料で構成される。   However, when it is difficult to use a material different from the second droplet 205 because of product quality, the first droplet 203 is made of the same material as the second droplet 205.

第1液滴203および第2液滴205の材料としては、例えば、有機EL材料を溶媒で溶かし、粘度を10CP程度に調整したインクが挙げられる。   Examples of the material of the first droplet 203 and the second droplet 205 include ink in which an organic EL material is dissolved in a solvent and the viscosity is adjusted to about 10 CP.

液滴(第1液滴203、第2液滴205)と、セル(セル102a〜102c、103a〜103c、104a〜104c)との大きさの関係について説明する。   The relationship between the sizes of the droplets (first droplet 203 and second droplet 205) and the cells (cells 102a to 102c, 103a to 103c, 104a to 104c) will be described.

例えば、55インチの4Kディスプレイを製造する場合を例に挙げると、セルのサイズは、幅250μm、高さ100μm、奥行き2μmであり、セルの体積は、50000μm3=50plである。このサイズのセル内に充填率80%を目標に、1滴あたり7plの液滴を吐出した場合、6滴程度の液滴をセル内に向けて吐出することになる。
有機ELディスプレイの場合、当方の実験では1.6%膜厚が変化すると輝度ムラが視認できるようになる事が分かっている。その為、特許文献1の方法ではセル内に充填する液滴の体積がノズルから吐出する液滴の体積に対して50倍以上の比率でないと有効でない。それに対し本発明の方式では、セル内に充填する液滴の体積がノズルから吐出する液滴の体積に対して1倍から50倍程度の範囲で使用する事が可能である。
For example, in the case of manufacturing a 55-inch 4K display, the cell size is 250 μm wide, 100 μm high, and 2 μm deep, and the cell volume is 50000 μm3 = 50 pl. When droplets of 7 pl per droplet are ejected into a cell of this size with a target of 80% filling rate, approximately 6 droplets are ejected toward the cell.
In the case of an organic EL display, in our experiment, it is known that luminance unevenness becomes visible when the film thickness changes by 1.6%. For this reason, the method of Patent Document 1 is not effective unless the volume of the liquid droplet filled in the cell is 50 times or more the volume of the liquid droplet discharged from the nozzle. On the other hand, according to the method of the present invention, the volume of the liquid droplet filled in the cell can be used in the range of about 1 to 50 times the volume of the liquid droplet discharged from the nozzle.

ただし、上記塗布方法をとるには、1セルに最低3液滴(3倍)必要である。また、セルの幅から考えると、4液滴分(4倍)は必要である。結果、少なくとも3倍以上必要で、4倍以上がよい。5倍以上が好ましい。そして50倍程度までである。   However, at least 3 droplets (three times) are required for one cell in order to adopt the above coating method. Considering the cell width, four droplets (four times) are necessary. As a result, at least 3 times or more is necessary, and 4 times or more is good. 5 times or more is preferable. And it is up to about 50 times.

また、第1液滴203の体積が第2液滴205の体積より大きいと、第1液滴203が支配的になり、第2液滴塗布工程S302の効果が低減する。よって、第1液滴203の体積は、第2液滴205の体積以下となるように調整される。   Further, if the volume of the first droplet 203 is larger than the volume of the second droplet 205, the first droplet 203 becomes dominant, and the effect of the second droplet application step S302 is reduced. Therefore, the volume of the first droplet 203 is adjusted to be equal to or less than the volume of the second droplet 205.

次に、第1液滴203の配置方法について説明する。   Next, a method for arranging the first droplet 203 will be described.

第1液滴203同士が接触し、互いに結合、吸収されると、第2液滴205の位置がばらつき、第1液滴203の効果が得られない。そこで、第1液滴203同士の接触を回避するために、第1液滴203は、下記式(1)の関係が成り立つように配置される。   When the first droplets 203 come into contact with each other and are bonded and absorbed, the positions of the second droplets 205 vary, and the effects of the first droplets 203 cannot be obtained. Therefore, in order to avoid contact between the first droplets 203, the first droplets 203 are arranged so that the relationship of the following formula (1) is satisfied.

L>Rmax1+Rmax2 ・・・(1)
上記式(1)において、Lは、隣接する2つの第1液滴203の中心間の距離であり、Rmax1、Rmax2は、最大濡れ広がり距離である(図8〜図10参照)。
L> Rmax1 + Rmax2 (1)
In the above formula (1), L is a distance between the centers of two adjacent first droplets 203, and Rmax1 and Rmax2 are maximum wetting spread distances (see FIGS. 8 to 10).

最大濡れ広がり距離とは、一方の第1液滴203の中心と他方の第1液滴203の中心とを結ぶ方向において、第1液滴203が濡れ広がる最大の距離である。最大濡れ広がり距離は、時間的に変化する。そのため、インクジェットヘッド10から吐出された第1液滴203が基板101に着弾した瞬間から定常状態に落ち着くまでの時間の間において最大限に濡れ広がったときの距離が、最大濡れ広がり距離に設定される。   The maximum wetting spread distance is the maximum distance at which the first droplet 203 spreads in the direction connecting the center of one first droplet 203 and the center of the other first droplet 203. The maximum wetting spread distance varies with time. Therefore, the distance when the first droplet 203 ejected from the inkjet head 10 reaches the substrate 101 to the steady state from the moment when it reaches the substrate 101 is set to the maximum wetting spread distance. The

次に、第1液滴203を平面や凹凸面に塗布する場合の各例について、図8、図9A、図9B、図10A、図10Bを用いて以下に説明する。   Next, examples of applying the first droplet 203 to a flat surface or an uneven surface will be described below with reference to FIGS. 8, 9A, 9B, 10A, and 10B.

まず、図8に示す塗布例について説明する。図8は、基板101の平面部に2つの第1液滴203が塗布された状態を示す模式図である。   First, the application example shown in FIG. 8 will be described. FIG. 8 is a schematic diagram showing a state in which two first droplets 203 are applied to the planar portion of the substrate 101.

図8に示す2つの第1液滴203は、互いに隣接している。また、濡れ広がり範囲203aは、第1液滴203が基板101に着弾した際に濡れ広がった範囲である。   Two first droplets 203 shown in FIG. 8 are adjacent to each other. Further, the wet spread range 203a is a range where the first liquid droplet 203 spreads wet when it has landed on the substrate 101.

図8に示した濡れ広がり範囲203aが円形であることから分かるように、第1液滴203は、基板101の平面部に着弾した場合、全方向に等しく濡れ広がる。そのため、Rmax1およびRmax2は、第1液滴203が最大限に濡れ広がったときの半径と等しくなる。よって、図8に示すLは、第1液滴203が最大限に濡れ広がったときの半径の2倍以上に設定される。例えば、図8に示すLは、第1液滴203同士の結合の有無についての実験やシミュレーションの結果に基づいて設定される。   As can be seen from the wet spread area 203a shown in FIG. 8, when the first droplet 203 lands on the flat surface of the substrate 101, it spreads equally in all directions. Therefore, Rmax1 and Rmax2 are equal to the radius when the first droplet 203 spreads to the maximum extent. Therefore, L shown in FIG. 8 is set to be twice or more the radius when the first droplet 203 spreads out to the maximum. For example, L shown in FIG. 8 is set based on the results of experiments and simulations regarding the presence or absence of coupling between the first droplets 203.

次に、図9Aおよび図9Bに示す塗布例について説明する。図9Aは、基板101に形成された凹部105内に2つの第1液滴203が塗布された状態を示す模式図である。図9Bは、図9AのA−A断面図である。   Next, application examples shown in FIGS. 9A and 9B will be described. FIG. 9A is a schematic diagram showing a state in which two first droplets 203 are applied in the recess 105 formed in the substrate 101. 9B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 9A.

図9A、図9Bに示すように、凹部105は、略直方体状に形成されている。凹部105の容積は、2つの第1液滴203の体積よりも大きい。凹部105は、例えば、ディスプレイのセル(例えば、図7に示したセル102a〜102c、103a〜103c、104a〜104c)である。   As shown in FIGS. 9A and 9B, the recess 105 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. The volume of the recess 105 is larger than the volume of the two first droplets 203. The recess 105 is, for example, a display cell (for example, the cells 102a to 102c, 103a to 103c, and 104a to 104c shown in FIG. 7).

このような凹部105の内部に液滴を塗布する場合、セルの端部に液滴が広がりにくいので、図9Aに示すようにセルの端部に第1液滴203を塗布する。この時、凹部105の端部から第1液滴203の中心までの距離は下記式(2)、(3)の関係が成り立つように配置する。   When a droplet is applied to the inside of the concave portion 105, the droplet does not easily spread to the end portion of the cell. Therefore, as shown in FIG. 9A, the first droplet 203 is applied to the end portion of the cell. At this time, the distance from the end of the concave portion 105 to the center of the first droplet 203 is arranged so that the following expressions (2) and (3) are satisfied.

D1、D2 ≦ Rmax1 ・・・ (2)
D3,D4 ≦ Rmax2 ・・・ (3)
上記式(2)において、D1は凹部105の左上の角と第1液滴203の中心との距離であり、D2は凹部105の左下の角と第1液滴203の中心との距離である。また、式(3)においてD3は凹部105の右上の角と第1液滴203の中心との距離であり、D4は凹部105の右下の角と第1液滴203の中心との距離である。
上記式(2)、(3)を満たすように第1液滴203を吐出した場合、図9Bに示すように、濡れ広がり範囲203aは、凹部105の端部によって制限される。よって、図9Aに示すように、第1液滴203は、凹部105の中央部分に向けて濡れ広がる。その結果、図9Aに示すRmax1およびRmax2は、図8に示したRmax1およびRmax2よりも大きくなる。よって、図9Aに示すLは、図8に示したLよりも大きい値に設定される。例えば、図9Aに示すLは、第1液滴203同士の結合の有無についての実験やシミュレーションの結果に基づいて設定される。
D1, D2 ≦ Rmax1 (2)
D3, D4 ≦ Rmax2 (3)
In the above formula (2), D1 is the distance between the upper left corner of the recess 105 and the center of the first droplet 203, and D2 is the distance between the lower left corner of the recess 105 and the center of the first droplet 203. . In Expression (3), D3 is the distance between the upper right corner of the recess 105 and the center of the first droplet 203, and D4 is the distance between the lower right corner of the recess 105 and the center of the first droplet 203. is there.
When the first droplet 203 is ejected so as to satisfy the above expressions (2) and (3), the wetting spread range 203a is limited by the end of the recess 105 as shown in FIG. 9B. Therefore, as shown in FIG. 9A, the first droplet 203 spreads wet toward the central portion of the recess 105. As a result, Rmax1 and Rmax2 shown in FIG. 9A are larger than Rmax1 and Rmax2 shown in FIG. Therefore, L shown in FIG. 9A is set to a larger value than L shown in FIG. For example, L shown in FIG. 9A is set based on the results of experiments and simulations regarding the presence or absence of the coupling between the first droplets 203.

上述したとおり、凹部105の容積は2つの第1液滴203の体積よりも大きく、凹部105の形状は円柱状ではない。このような場合、凹部105の端部(角部)には、第1液滴203が侵入しにくい。よって、凹部105の端部に第1液滴203を塗布(配置)することが好ましい。また、凹部105内に3つ以上の第1液滴203を互いに接触しないように配置できる場合、凹部105の両端部に第1液滴203を配置し、それらの間の第1液滴203を等間隔で配置することが好ましい。   As described above, the volume of the recess 105 is larger than the volume of the two first droplets 203, and the shape of the recess 105 is not cylindrical. In such a case, the first droplet 203 hardly enters the end (corner) of the recess 105. Therefore, it is preferable to apply (arrange) the first droplet 203 to the end of the recess 105. Further, when three or more first droplets 203 can be arranged in the recess 105 so as not to contact each other, the first droplets 203 are arranged at both ends of the recess 105, and the first droplet 203 between them is placed. It is preferable to arrange them at equal intervals.

次に、図10Aおよび図10Bに示す塗布例について説明する。図10Aは、基板101に形成された凹部106を覆って第1液滴203が塗布された状態を示す模式図である。図10Bは、図10AのB−B断面図である。   Next, application examples shown in FIGS. 10A and 10B will be described. FIG. 10A is a schematic diagram illustrating a state in which the first droplet 203 is applied so as to cover the recess 106 formed in the substrate 101. 10B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 10A.

図10A、図10Bに示すように、凹部106は、円柱状に形成されている。凹部106の容積は、2つの第1液滴203の体積よりも小さい。凹部106は、例えば、コンタクトホールである。   As shown in FIGS. 10A and 10B, the recess 106 is formed in a cylindrical shape. The volume of the recess 106 is smaller than the volume of the two first droplets 203. The recess 106 is, for example, a contact hole.

このような凹部106が基板101に設けられている場合、図10Aに示すように、凹部106に対して複数の第1液滴206を吐出する。
この時、凹部106の中心から第1液滴206a、206bの中心までの距離は下記式(4)の関係が成り立つように配置する。
D1、D2 ≦ Rmax1 ・・・ (4)
上記式(4)において、D1は凹部106の中心と第1液滴206aの中心との距離であり、D2は凹部106の中心と第1液滴206bの中心との距離である。
これにより、凹部106は、第1液滴206で満たされる。
When such a recess 106 is provided in the substrate 101, a plurality of first droplets 206 are ejected to the recess 106 as shown in FIG. 10A.
At this time, the distance from the center of the recess 106 to the center of the first droplets 206a and 206b is arranged so that the relationship of the following formula (4) is satisfied.
D1, D2 ≦ Rmax1 (4)
In the above equation (4), D1 is the distance between the center of the recess 106 and the center of the first droplet 206a, and D2 is the distance between the center of the recess 106 and the center of the first droplet 206b.
As a result, the recess 106 is filled with the first droplet 206.

このとき、第1液滴206a、206bは、凹部106から溢れ、基板101の表面上に濡れ広がる。図10A、図10Bに示す濡れ広がり範囲206cは、第1液滴206a、206bが濡れ広がった範囲である。   At this time, the first droplets 206 a and 206 b overflow from the recess 106 and spread on the surface of the substrate 101. A wet spread area 206c shown in FIGS. 10A and 10B is an area where the first liquid droplets 206a and 206b are wet spread.

よって、基板101の平面部における濡れ広がり範囲203a、206cは、凹部106の容積および第1液滴206の吐出回数に応じて変わる。そのため、図10Aに示すLおよび第1液滴206の吐出回数は、第1液滴203の濡れ広がり範囲203aと第1液滴206a、206bの濡れ広がり範囲206cとが接触しないように、設定される。例えば、図10Aに示すLは、第1液滴203と第1液滴206同士の結合の有無についての実験やシミュレーションの結果に基づいて設定される。
ここで、凹部106であるコンタクトホールは、内側が未濡れになりやすいので、第1液滴206で先に埋めた。第1液滴206を凹部106の中心に2滴打ち込めれば、コンタクトホールである凹部106を満たすことが出来るが、印刷スキャン方向の解像度やノズルピッチの制約上、凹部106の中心を狙う事が難しい。このため、凹部106であるコンタクトホールの中心が、第1液滴が濡れ広がる範囲内に設定して塗布している。
Therefore, the wetting and spreading ranges 203a and 206c in the planar portion of the substrate 101 vary depending on the volume of the recess 106 and the number of ejections of the first droplet 206. Therefore, L and the number of ejections of the first droplet 206 shown in FIG. 10A are set so that the wet spread area 203a of the first droplet 203 does not contact the wet spread area 206c of the first droplets 206a and 206b. The For example, L shown in FIG. 10A is set based on the results of experiments and simulations on whether or not the first droplet 203 and the first droplet 206 are coupled to each other.
Here, the inside of the contact hole, which is the concave portion 106, is likely to be unwetted, so it was filled with the first droplet 206 first. If two drops of the first droplet 206 are injected into the center of the concave portion 106, the concave portion 106 that is a contact hole can be filled, but the center of the concave portion 106 may be aimed at due to restrictions on the resolution in the print scan direction and the nozzle pitch. difficult. For this reason, the center of the contact hole, which is the recess 106, is set and applied within a range where the first droplet spreads.

<第2液滴塗布工程>
第2液滴塗布工程S302の詳細について説明する。
<Second droplet application process>
Details of the second droplet application step S302 will be described.

上述したとおり、第2液滴塗布工程S302は、第1液滴塗布工程S301の後に行われ、図7に示すように、基板101の設定領域204内に第2液滴205を塗布する工程である。   As described above, the second droplet application step S302 is performed after the first droplet application step S301, and is a step of applying the second droplet 205 in the setting region 204 of the substrate 101 as shown in FIG. is there.

図7に示すように、設定領域204は、セル102a〜102c、103a〜103c、104a〜104cのそれぞれにおいて、同じセル上の位置に設定される。   As shown in FIG. 7, the setting area 204 is set at a position on the same cell in each of the cells 102a to 102c, 103a to 103c, and 104a to 104c.

まず、図7に示した設定領域204について、図11を用いて説明する。図11は、図7に示した複数の設定領域204のうちの1つを拡大して示す図である。   First, the setting area 204 shown in FIG. 7 will be described with reference to FIG. FIG. 11 is an enlarged view showing one of the plurality of setting areas 204 shown in FIG.

図11の例では、設定領域204に対してノズル群207が設定されている。ノズル群207とは、設定領域204に対して第2液滴205を吐出可能なノズルである。図11の例では、ノズル群207には、N1〜N4の4つのノズルが含まれている。   In the example of FIG. 11, the nozzle group 207 is set for the setting area 204. The nozzle group 207 is a nozzle that can eject the second droplet 205 to the setting region 204. In the example of FIG. 11, the nozzle group 207 includes four nozzles N1 to N4.

第2液滴塗布工程S302では、ノズル群207の中から1つのノズルがランダムに選択され、使用される。例えば、N1のノズルが選択され、そのノズルから第2液滴205が吐出された場合、第2液滴205は、図11に示すように設定領域204に塗布される。   In the second droplet application step S302, one nozzle is randomly selected from the nozzle group 207 and used. For example, when the N1 nozzle is selected and the second droplet 205 is ejected from the nozzle, the second droplet 205 is applied to the setting region 204 as shown in FIG.

また、第2液滴塗布工程S302では、予め作成された乱数表に基づいて、設定領域204毎に、使用するノズルが選択される。よって、例えば、図7に示すように、セル102a、102b、102cそれぞれの設定領域204の配置が同じであっても、選択されるノズルの組み合わせは異なる。例えば図7では、セル102aの設定領域204では、N1、N2、N5、N5のノズルが選択され、セル102bの設定領域204では、N1、N3、N4、N4のノズルが選択され、セル102cの設定領域204では、N2、N2、N4、N5のノズルが選択されている。すなわち、セル毎に、設定領域204内における第2液滴205の塗布位置(着弾位置)が変わるように、ノズルが選択される。   In the second droplet application step S302, a nozzle to be used is selected for each setting region 204 based on a random number table created in advance. Therefore, for example, as shown in FIG. 7, even if the arrangement of the setting areas 204 in the cells 102a, 102b, and 102c is the same, the combination of the selected nozzles is different. For example, in FIG. 7, the nozzles N1, N2, N5, and N5 are selected in the setting area 204 of the cell 102a, and the nozzles N1, N3, N4, and N4 are selected in the setting area 204 of the cell 102b. In the setting area 204, nozzles N2, N2, N4, and N5 are selected. That is, the nozzle is selected so that the application position (landing position) of the second droplet 205 in the setting area 204 changes for each cell.

なお、ランダムに選択されるノズルの数は、1つに限定されない。必要な液滴の量に応じて、2つ以上のノズルがランダムに選択されるようにしてもよい。   Note that the number of nozzles selected at random is not limited to one. Two or more nozzles may be selected randomly depending on the amount of droplets required.

次に、図7を用いて設定領域204の設定方法について説明する。   Next, a method for setting the setting area 204 will be described with reference to FIG.

例として、図7のセル102aに設定領域204を設定する場合について説明する。   As an example, a case where the setting area 204 is set in the cell 102a of FIG. 7 will be described.

まず、以下の式(2)により、セル102a内を充填するために必要なインクの体積Vを求める。式(2)において、Sはセル102aの面積であり、Tは目標膜厚である。   First, the volume V of ink necessary for filling the cell 102a is obtained by the following equation (2). In Equation (2), S is the area of the cell 102a, and T is the target film thickness.

V=S×T・・・(2)
次に、以下の式(3)により、セル102a内の第2液滴205の個数Nrandを求める。式(3)において、Vは、上記式(2)で算出されたセル102a内を充填するために必要なインクの体積である。また、式(3)において、Vancは第1液滴203の平均体積であり、Nancはセル102a内の第1液滴203の個数であり、Vrandは第2液滴205の平均体積である。
V = S × T (2)
Next, the number Nrand of the second droplets 205 in the cell 102a is obtained by the following equation (3). In Expression (3), V is the volume of ink necessary for filling the cell 102a calculated in Expression (2). In Expression (3), Vanc is the average volume of the first droplets 203, Nanc is the number of the first droplets 203 in the cell 102a, and Vrand is the average volume of the second droplets 205.

Nrand=(V−Vanc×Nanc)/Vrand・・・(3)
次に、以下の式(4)を満たすように、設定領域204を設定する。式(4)において、Nrandは、上記式(3)で算出されたセル102a内の第2液滴205の個数である。また、式(4)において、Nは、設定領域204内に吐出可能なノズル数である。
Nrand = (V−Vanc × Nanc) / Vrand (3)
Next, the setting area 204 is set so as to satisfy the following expression (4). In the equation (4), Nrand is the number of the second droplets 205 in the cell 102a calculated by the above equation (3). In Expression (4), N is the number of nozzles that can be discharged into the setting area 204.

N>Nrand・・・(4)
ここで、1個のセル内のNと設定領域204の関係について、図11を用いて説明する。
N> Nrand (4)
Here, the relationship between N in one cell and the setting area 204 will be described with reference to FIG.

図11は、設定領域204内に第2液滴205が1滴存在する状態を表している。また、図11は、設定領域204内に吐出可能なノズルが、ノズル群207に含まれるN1、N2、N3、N4の4つのノズルであることを表している。   FIG. 11 shows a state where there is one second droplet 205 in the setting area 204. FIG. 11 illustrates that the nozzles that can be discharged into the setting area 204 are four nozzles N1, N2, N3, and N4 included in the nozzle group 207.

設定領域204は、使用するノズルをランダムに変更することで効果を発揮するため、図11に示すようにノズルの配列方向(図中の左右方向)に設定される。   The setting area 204 is set in the nozzle arrangement direction (left-right direction in the figure) as shown in FIG. 11 in order to exert an effect by randomly changing the nozzles to be used.

図7では、上述した式(4)が満たされるように、図11を用いて説明した設定領域204が各セル内に複数個設定されている。なお、設定領域204内に吐出可能なノズル数Nは、Nrandの2倍以上の数であることが望ましい。   In FIG. 7, a plurality of setting areas 204 described with reference to FIG. 11 are set in each cell so that the above-described formula (4) is satisfied. Note that the number N of nozzles that can be ejected into the setting area 204 is preferably a number that is twice or more the Nrand.

また、設定領域204の位置は、膜厚均一性の観点から、設定領域204における第2液滴205の着弾位置と第1液滴203の着弾位置とが重ならないように、設定されることが好ましい。ただし、第2液滴205の着弾位置が十分に確保できない場合、第1液滴203の着弾位置と、設定領域204とが重複して設定されてもよい。   Also, the position of the setting area 204 may be set so that the landing position of the second droplet 205 and the landing position of the first droplet 203 in the setting area 204 do not overlap from the viewpoint of film thickness uniformity. preferable. However, when the landing position of the second droplet 205 cannot be sufficiently secured, the landing position of the first droplet 203 and the setting area 204 may be set to overlap.

以上、第1液滴塗布工程S301および第2液滴塗布工程S302の詳細について説明した。
図7では、1つのセルに、設定領域204が4つある。また、設定領域204は、2個液滴分、3個液滴分の2種類ある。これは、セル内で使用するノズルの組合せパターンを増やし複数の種類にするためである。
ノズル2個で1液滴吐出する設定領域204とノズル3個で1液滴吐出する設定領域204とを設けている。
<評価>
次に、図6Bに示した印刷方法を行った結果について、図12を用いて説明する。
The details of the first droplet application step S301 and the second droplet application step S302 have been described above.
In FIG. 7, there are four setting areas 204 in one cell. There are two types of setting areas 204 for two droplets and three droplets. This is to increase the combination pattern of nozzles used in the cell to a plurality of types.
A setting area 204 for discharging one droplet with two nozzles and a setting area 204 for discharging one droplet with three nozzles are provided.
<Evaluation>
Next, the results of performing the printing method shown in FIG. 6B will be described with reference to FIG.

図12は、図2に示した吐出体積のノズルを使用して、図6Bに示した印刷方法により図7に示した印刷パターンを形成した場合における、各セル(画素)の充填体積を示す表である。   FIG. 12 is a table showing the filling volume of each cell (pixel) when the print pattern shown in FIG. 7 is formed by the printing method shown in FIG. 6B using the nozzle having the discharge volume shown in FIG. It is.

図12に示すセル102a、102b、102cそれぞれの充填体積は、図3に示したセル102a、102b、102cそれぞれの充填体積のように均一ではない。これは、セル毎に設定領域204がランダムに設定されるため、セル毎に充填体積が変化するためである。よって、図3を用いて説明した筋ムラの発生は認められない。   The filling volumes of the cells 102a, 102b, and 102c shown in FIG. 12 are not as uniform as the filling volumes of the cells 102a, 102b, and 102c shown in FIG. This is because the setting area 204 is randomly set for each cell, so that the filling volume changes for each cell. Therefore, the occurrence of the stripe unevenness described with reference to FIG. 3 is not recognized.

また、上述したとおり、図6Bに示した印刷方法では、特許文献1の印刷方法とは違い、液滴の吐出を行うノズルの数をセル毎に異ならせない。よって、セル間の充填体積の差は、液滴1つ分の吐出量以下となる。   Further, as described above, in the printing method shown in FIG. 6B, unlike the printing method of Patent Document 1, the number of nozzles that eject droplets is not different for each cell. Therefore, the difference in filling volume between cells is equal to or less than the discharge amount for one droplet.

例えば、図12に示すように、セル102bの充填体積は42.5plであるのに対し、セル102aの充填体積は42.0plであり、それらの差は2%以下である。上述したとおり、特許文献1の印刷方法では20%程度の体積差が生じるため、本実施の形態の印刷方法では充填体積の差をかなり小さくすることができる。よって、例えば、有機ELディスプレイの発光層では、セル毎の発光量の差が小さくなるので、粒状感がない画質となり、表示品質が悪化しない。   For example, as shown in FIG. 12, the filling volume of the cell 102b is 42.5 pl, whereas the filling volume of the cell 102a is 42.0 pl, and the difference between them is 2% or less. As described above, since the volume difference of about 20% occurs in the printing method of Patent Document 1, the difference in filling volume can be considerably reduced in the printing method of the present embodiment. Therefore, for example, in the light emitting layer of the organic EL display, the difference in the amount of light emitted from each cell is small, so that there is no graininess and the display quality is not deteriorated.

以上のことから、本実施の形態では、画素毎に必要なインク充填量(充填体積)に対してインクジェットヘッドのノズルからのインク吐出量(吐出体積)が相対的に大きい場合でも、ノズル毎の体積ばらつきによる印刷ムラ(例えば、筋ムラ)の低減が可能となり、製品歩留まりの向上が可能となる。   From the above, in this embodiment, even when the ink discharge amount (discharge volume) from the nozzles of the inkjet head is relatively large with respect to the ink fill amount (fill volume) required for each pixel, Printing unevenness (for example, streak unevenness) due to volume variation can be reduced, and the product yield can be improved.

また、本実施の形態の印刷方法を用いて有機ELディプレイを製造した場合、ディスプレイの発光層や封止膜の印刷品位を向上させることができる。   Moreover, when an organic EL display is manufactured using the printing method of this Embodiment, the printing quality of the light emitting layer and sealing film of a display can be improved.

なお、本実施の形態の印刷方法は、基板のセル内に液滴を塗布する場合だけでなく、基板の平面に膜を形成する場合または基板の凹凸面を覆う膜を形成する場合にも適用可能である。その場合、例えば、インクジェットヘッド10またはインクジェットヘッド10のノズルを印刷走査方向に複数個設置することにより、図6に示した工程を繰り返し行ってもよい。これにより、膜表面の凸凹を均一にするためのレベリング時間を短縮することができ、タクト短縮が可能となる。   Note that the printing method of the present embodiment is applied not only when droplets are applied to cells in a substrate, but also when a film is formed on the plane of the substrate or when a film covering the uneven surface of the substrate is formed. Is possible. In that case, for example, the process shown in FIG. 6 may be repeated by installing a plurality of nozzles of the inkjet head 10 or the inkjet head 10 in the printing scanning direction. Thereby, the leveling time for making the unevenness of the film surface uniform can be shortened, and the tact can be shortened.

なお、本開示は、上記実施の形態の説明に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。   In addition, this indication is not limited to description of the said embodiment, A various deformation | transformation is possible in the range which does not deviate from the meaning.

例えば、上記実施の形態では、セルが存在することを前提に説明したが、本開示は、セルがない場合にも適用することができる。すなわち、基板101上に、ベタ膜(均質な1つの膜)を形成する場合にも用いることができる。   For example, although the above embodiment has been described on the assumption that a cell exists, the present disclosure can also be applied when there is no cell. That is, it can also be used when a solid film (a uniform film) is formed on the substrate 101.

例えば、基板101上の全面に1つの膜を形成する場合に、上述した本開示の方法を用いることができる。この場合、セルは存在しないが、複数の仮想セルがあるとして、上述した本開示の方法を用いる。   For example, when a single film is formed on the entire surface of the substrate 101, the above-described method of the present disclosure can be used. In this case, although the cell does not exist, the above-described method of the present disclosure is used on the assumption that there are a plurality of virtual cells.

なお、仮想セルとは、実際には存在しないが、セルがあると想定した場合における仮想的なセルである。仮想セルの数を多く設定し、各仮想セルのサイズを小さく設定すれば、より均質な膜を形成できる。仮想セル内へ液滴を塗布するが、最終、液滴は広がり、全体が繋がり1つの平坦な膜となる。   Note that a virtual cell is a virtual cell that does not actually exist but is assumed to have a cell. If the number of virtual cells is set large and the size of each virtual cell is set small, a more uniform film can be formed. Although droplets are applied into the virtual cell, the droplets eventually spread and connect as a whole to form one flat film.

この方式は、平面上にムラの無い均一膜を生成することが出来るので例えばペロブスカイト太陽電池等の塗布型太陽電池の正孔輸送層、有機半導体活性層、電子輸送層等の膜を形成する事に利用できる。   This method can form a uniform film without unevenness on a flat surface. For example, a film such as a hole transport layer, an organic semiconductor active layer, or an electron transport layer of a coating type solar cell such as a perovskite solar cell can be formed. Available to:

この方法は、特に、液滴201の粘度が高い場合に有効である。セルがないとしても、液滴201が広がる範囲が限られるためである。   This method is particularly effective when the droplet 201 has a high viscosity. This is because even if there is no cell, the range in which the droplet 201 spreads is limited.

なお、実施の形態では、図7に示すように、セルに塗布される液滴の大きさは、図1,4の液滴と比較して小さい。実施の形態では、液滴が小さいが、上記第1液摘、第2液滴の塗布により、均質な膜を形成できる。   In the embodiment, as shown in FIG. 7, the size of the droplet applied to the cell is smaller than the droplets shown in FIGS. In the embodiment, the droplets are small, but a uniform film can be formed by applying the first liquid drop and the second droplet.

本開示の印刷方法および印刷方法は、インクジェット方式により対象物に液滴を塗布する技術全般に有用である。   The printing method and the printing method of the present disclosure are useful for all techniques for applying droplets to an object by an inkjet method.

1 印刷装置
10 インクジェットヘッド
20 制御部
101 基板
102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104c セル
105、106 凹部
201 液滴
202 非吐出位置
203、206、206a、206b 第1液滴
203a、206c 濡れ広がり範囲
204 設定領域
205 第2液滴
207 ノズル群
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Printing apparatus 10 Inkjet head 20 Control part 101 Board | substrate 102a, 102b, 102c, 103a, 103b, 103c, 104a, 104b, 104c Cell 105, 106 Concave part 201 Droplet 202 Non-ejection position 203, 206, 206a, 206b 1st liquid Drops 203a and 206c Wetting and spreading range 204 Setting region 205 Second droplet 207 Nozzle group

Claims (12)

インクジェットヘッドのノズルから液滴を吐出し、印刷対象媒体の複数のセルに前記液滴を塗布する印刷方法であって、
前記複数のセルに、前記セル内の固定された位置に第1液滴を塗布する第1液滴塗布工程と、
1つの前記セル内に複数設定された設定領域に、第2液を塗布する第2液滴塗布工程と、を含み、
前記第2液滴塗布工程では、前記セル毎に前記第2液滴の塗布位置を変える、
印刷方法。
A printing method in which droplets are ejected from nozzles of an inkjet head, and the droplets are applied to a plurality of cells of a print target medium,
Applying a first droplet to the plurality of cells at a fixed position in the cell;
A second liquid droplet applying step of applying a second liquid to a plurality of setting areas set in one of the cells,
In the second droplet application step, the application position of the second droplet is changed for each cell.
Printing method.
前記第1液滴塗布工程では、
前記第1液滴を、前記セルの少なくとも1つの端部に塗布する、
請求項1に記載の印刷方法。
In the first droplet application step,
Applying the first droplet to at least one end of the cell;
The printing method according to claim 1.
前記第1液滴塗布工程では、
複数の前記第1液滴を、前記印刷対象媒体に設けられた凹部に塗布する、
請求項1または2に記載の印刷方法。
In the first droplet application step,
Applying a plurality of the first droplets to a recess provided in the print target medium,
The printing method according to claim 1 or 2.
前記設定領域は、
前記第1液滴の塗布位置以外の領域である、
請求項1から3のいずれか1項に記載の印刷方法。
The setting area is
An area other than the application position of the first droplet,
The printing method according to claim 1.
前記複数のセルにおける前記第1液滴の塗布位置は同じである、
請求項1から4のいずれか1項に記載の印刷方法。
The application position of the first droplet in the plurality of cells is the same.
The printing method according to any one of claims 1 to 4.
前記複数のセルにおける前記設定領域の位置は同じである、
請求項1から5のいずれか1項に記載の印刷方法。
The position of the setting area in the plurality of cells is the same;
The printing method according to any one of claims 1 to 5.
前記複数のセルは、複数の仮想セルである、
請求項1から6のいずれか1項に記載の印刷方法。
The plurality of cells are a plurality of virtual cells.
The printing method according to claim 1.
前記第1液滴の体積は、前記第2液滴の体積以下となる請求項1から7のいずれか1項に記載の印刷方法。 The printing method according to claim 1, wherein a volume of the first droplet is equal to or less than a volume of the second droplet. 1つの前記セルに、複数の前記第1液滴が塗布されるが、前記第1液滴同士が接触しない請求項1から8のいずれか1項に記載の印刷方法。 The printing method according to claim 1, wherein a plurality of the first droplets are applied to one cell, but the first droplets do not contact each other. 印刷対象媒体の複数のセルに液滴が塗布されるようにノズルから前記液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記複数のセルに、後から塗布される第2液滴の流れを制限するための第1液滴を塗布するように前記インクジェットヘッドを制御する第1制御と、1つの前記セル内に複数設定された設定領域に、前記第2液滴を塗布するように前記インクジェットヘッドを制御する第2制御と、を行う制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記第2制御を行う際、前記セル毎に前記第2液滴の塗布位置を変えるように前記インクジェットヘッドを制御する、
印刷装置。
An inkjet head that ejects the droplets from a nozzle so that the droplets are applied to a plurality of cells of a print target medium;
A first control for controlling the ink jet head so as to apply a first droplet for restricting a flow of a second droplet applied later to the plurality of cells, and a plurality of settings in one cell. A control unit that performs a second control for controlling the inkjet head so as to apply the second droplet to the set region.
The controller is
When performing the second control, the inkjet head is controlled to change the application position of the second droplet for each cell;
Printing device.
請求項1〜9のいずれか1項に記載の印刷方法により、ELを製造するELの製造方法。 The manufacturing method of EL which manufactures EL with the printing method of any one of Claims 1-9. 請求項1〜9のいずれか1項に記載の印刷方法により、太陽電池を製造する太陽電池の製造方法。
The manufacturing method of the solar cell which manufactures a solar cell with the printing method of any one of Claims 1-9.
JP2018227855A 2018-04-18 2018-12-05 PRINTING METHOD, PRINTING APPARATUS, EL AND SOLAR CELL MANUFACTURING METHOD Active JP7122663B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811653371.4A CN110385926B (en) 2018-04-18 2018-12-29 Printing method, printing apparatus, EL, and method for manufacturing solar cell
TW108100057A TWI705591B (en) 2018-04-18 2019-01-02 Printing method, printing device and manufacturing method of EL and solar cell

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018079956 2018-04-18
JP2018079956 2018-04-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019188387A true JP2019188387A (en) 2019-10-31
JP7122663B2 JP7122663B2 (en) 2022-08-22

Family

ID=68388346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018227855A Active JP7122663B2 (en) 2018-04-18 2018-12-05 PRINTING METHOD, PRINTING APPARATUS, EL AND SOLAR CELL MANUFACTURING METHOD

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7122663B2 (en)
TW (1) TWI705591B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7546943B2 (en) 2022-06-29 2024-09-09 タクボエンジニアリング株式会社 Painting equipment and painting method

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030026896A1 (en) * 2000-08-03 2003-02-06 Ichiro Shinkoda Method and apparatus for fabrication of color filters
JP2003279724A (en) * 2002-03-26 2003-10-02 Seiko Epson Corp Method and apparatus for manufacturing display, display, and device
JP2005227684A (en) * 2004-02-16 2005-08-25 Seiko Epson Corp Method for manufacturing color filter, color filter manufacturing apparatus, electrooptic apparatus and electronic appliance
JP2007298950A (en) * 2006-02-07 2007-11-15 Applied Materials Inc Method and apparatus for reducing irregularity in color filter
JP2015100747A (en) * 2013-11-26 2015-06-04 住友重機械工業株式会社 Thin film forming method and thin film forming device
JP2015230860A (en) * 2014-06-06 2015-12-21 パナソニック株式会社 Method and apparatus of manufacturing organic el display panel

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003266669A (en) * 2002-03-18 2003-09-24 Seiko Epson Corp Liquid ejector and its writing method, system and method for fabricating device, and device
JP3925526B2 (en) * 2004-10-01 2007-06-06 セイコーエプソン株式会社 Droplet ejection device, panel manufacturing method, image display device, and electronic apparatus
GB2463493B (en) * 2008-09-15 2012-11-14 Cambridge Display Tech Ltd An improved method for ink jet printing organic electronic devices

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030026896A1 (en) * 2000-08-03 2003-02-06 Ichiro Shinkoda Method and apparatus for fabrication of color filters
JP2003279724A (en) * 2002-03-26 2003-10-02 Seiko Epson Corp Method and apparatus for manufacturing display, display, and device
JP2005227684A (en) * 2004-02-16 2005-08-25 Seiko Epson Corp Method for manufacturing color filter, color filter manufacturing apparatus, electrooptic apparatus and electronic appliance
JP2007298950A (en) * 2006-02-07 2007-11-15 Applied Materials Inc Method and apparatus for reducing irregularity in color filter
JP2015100747A (en) * 2013-11-26 2015-06-04 住友重機械工業株式会社 Thin film forming method and thin film forming device
JP2015230860A (en) * 2014-06-06 2015-12-21 パナソニック株式会社 Method and apparatus of manufacturing organic el display panel

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7546943B2 (en) 2022-06-29 2024-09-09 タクボエンジニアリング株式会社 Painting equipment and painting method

Also Published As

Publication number Publication date
TW201944630A (en) 2019-11-16
TWI705591B (en) 2020-09-21
JP7122663B2 (en) 2022-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102052331B1 (en) Inkjet print head, apparatus and method using the same for manufacturing organic luminescence display
EP3200227B1 (en) Electroluminescent device and manufacturing method thereof, display substrate and display apparatus
KR102487276B1 (en) Inkjet printing method and display device manufacturing method using the inkjet printing method
JP6232564B2 (en) Display panel
JP2007136330A (en) Ink ejection apparatus and ink ejection method
JP2009000618A (en) Liquid discharging method and manufacturing method of organic el element, color filter
CN110385926B (en) Printing method, printing apparatus, EL, and method for manufacturing solar cell
US10847723B2 (en) Droplet discharge method, program, manufacturing method of organic el device, forming method of color filter
JP5432304B2 (en) Inkjet device
JP2004031070A (en) Organic el material application device, its application method, and organic el display device
JP2005114986A (en) Plotting method, plotting device, and display device
JP7122663B2 (en) PRINTING METHOD, PRINTING APPARATUS, EL AND SOLAR CELL MANUFACTURING METHOD
US8944564B2 (en) Printing apparatus and method for manufacturing organic light emitting diode display
JP2006194921A (en) Pattern forming method, manufacturing method of color filter, color filter, manufacturing method of electrooptical apparatus and electrooptical apparatus
JP2005131606A (en) Discharge device, manufacturing device of color filter substrate, manufacturing device of electroluminescence display unit, and discharge method
JP4631364B2 (en) Droplet discharge head driving method, droplet discharge apparatus, device manufacturing method, and device
KR101038782B1 (en) Printing apparatus of printing patterns using inkjet method and printing method of printing patterns
CN114290806A (en) Ink jet printing method and ink jet printing apparatus
WO2010004995A1 (en) Printing device and film forming method
TW201318713A (en) Nozzle printing device
JP7321801B2 (en) Inkjet device, method for forming organic EL element, method for forming functional element, method for manufacturing display device
JP2008225302A (en) Method of discharging liquid matter, method of manufacturing color filter, method of manufacturing organic el element, and method of manufacturing electro-optical device
JP2005230615A (en) Material coating method, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display, method of manufacturing plasma display and delivery device
KR20070046461A (en) Method for fabricating ink pattern, method for fabricating liquid crystal display and organic electroluminescence display including the same
JP2009244872A (en) Droplet application apparatus and droplet application method

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20190124

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210601

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20211014

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20211018

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220413

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220419

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220617

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220719

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220721

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7122663

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151