JP2019179039A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2019179039A5
JP2019179039A5 JP2019117416A JP2019117416A JP2019179039A5 JP 2019179039 A5 JP2019179039 A5 JP 2019179039A5 JP 2019117416 A JP2019117416 A JP 2019117416A JP 2019117416 A JP2019117416 A JP 2019117416A JP 2019179039 A5 JP2019179039 A5 JP 2019179039A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
fixed
force
force receiving
deformed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019117416A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6685568B2 (ja
JP2019179039A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2019117416A priority Critical patent/JP6685568B2/ja
Priority claimed from JP2019117416A external-priority patent/JP6685568B2/ja
Publication of JP2019179039A publication Critical patent/JP2019179039A/ja
Publication of JP2019179039A5 publication Critical patent/JP2019179039A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6685568B2 publication Critical patent/JP6685568B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2019117416A 2019-06-25 2019-06-25 力覚センサ Active JP6685568B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019117416A JP6685568B2 (ja) 2019-06-25 2019-06-25 力覚センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019117416A JP6685568B2 (ja) 2019-06-25 2019-06-25 力覚センサ

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019030866A Division JP6552026B2 (ja) 2019-02-22 2019-02-22 力覚センサ

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020052854A Division JP6804122B2 (ja) 2020-03-24 2020-03-24 力覚センサ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2019179039A JP2019179039A (ja) 2019-10-17
JP2019179039A5 true JP2019179039A5 (enExample) 2020-03-26
JP6685568B2 JP6685568B2 (ja) 2020-04-22

Family

ID=68278394

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019117416A Active JP6685568B2 (ja) 2019-06-25 2019-06-25 力覚センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6685568B2 (enExample)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6808249B2 (ja) * 2018-02-09 2021-01-06 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ
JP6893717B2 (ja) * 2020-03-24 2021-06-23 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ
JP6804122B2 (ja) * 2020-03-24 2020-12-23 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ
JP6923988B2 (ja) * 2020-11-25 2021-08-25 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ
CN115226401B (zh) 2021-02-18 2025-09-23 三角力量管理株式会社 扭矩传感器
JP7308548B2 (ja) * 2021-02-18 2023-07-14 株式会社トライフォース・マネジメント トルクセンサ

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5142906A (en) * 1990-07-09 1992-09-01 Westinghouse Electric Corp. Apparatus for measuring valve stem loads in a motor operated valve assembly
JP4907050B2 (ja) * 2003-03-31 2012-03-28 株式会社ワコー 力検出装置
JP5568768B2 (ja) * 2003-03-31 2014-08-13 株式会社トライフォース・マネジメント 力検出装置
JP5490619B2 (ja) * 2010-06-09 2014-05-14 東亜バルブエンジニアリング株式会社 弁用スラスト・トルクセンサ
JP4948630B2 (ja) * 2010-08-05 2012-06-06 株式会社トライフォース・マネジメント トルクセンサ
WO2013014803A1 (ja) * 2011-07-27 2013-01-31 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ
JP6092326B2 (ja) * 2015-07-29 2017-03-08 株式会社トライフォース・マネジメント トルクセンサ
WO2018163255A1 (ja) * 2017-03-06 2018-09-13 株式会社 トライフォース・マネジメント 力覚センサ
JP6404514B2 (ja) * 2018-03-05 2018-10-10 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ
JP6494056B2 (ja) * 2018-08-22 2019-04-03 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ
JP6552026B2 (ja) * 2019-02-22 2019-07-31 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2019179039A5 (enExample)
JP2018132442A5 (enExample)
US10557766B2 (en) Torque sensor for detecting occurrence of metal fatigue in an elastic body
CN110088584B (zh) 力矩传感器
JP2019023639A5 (enExample)
US11085836B2 (en) Force sensor that detects at least one of a force in each axial direction and a moment around each axis in an XYZ three-dimensional coordinate system
CN104272073B (zh) 力传感器
CN111735561B (zh) 一种机器人用柔性接近觉和触觉双模传感器
JP2012037300A5 (enExample)
US20120073370A1 (en) Micromechanical structure
JP7560031B2 (ja) 3軸力センサ
CN110411615A (zh) 一种高灵敏度的mems触觉传感器结构
JP2019174477A5 (enExample)
CN107582081A (zh) 一种检测装置及一种疲劳检测系统
KR101449407B1 (ko) 압전소자의 맞물림을 이용한 촉각 센서
WO2008044404A1 (fr) Capteur à jauges de contraintes
JP2009198337A (ja) センサ装置
US11740150B2 (en) Electrostatic capacity sensor
JP2018200259A5 (enExample)
US10775250B2 (en) Torque sensor
JP2017187399A (ja) 触覚センサおよびせん断力検出方法
WO2019171810A1 (ja) トルクセンサ
JP2017072602A5 (enExample)
JP2020034581A5 (enExample)
CN106932123B (zh) 一种手腕传感器