JP2019165084A - クロスポイント素子および記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】繰り返し特性を向上させることが可能なクロスポイント素子および記憶装置を提供する。【解決手段】本開示の一実施形態のクロスポイント素子は、第1電極と、第1電極と対向配置された第2電極と、第1電極と第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い。【選択図】図1
Description
本開示は、電極間にメモリ素子および選択素子を有するクロスポイント素子およびこれを備えた記憶装置に関する。
近年、ReRAM(Resistance Random Access Memory)(登録商標)やPRAM(Phase-Change Random Access Memory)(登録商標)等の抵抗変化型メモリに代表されるデータストレージ用の不揮発性メモリの大容量化が求められている。これに対して、交差する配線間の交点(クロスポイント)にメモリセルが配置されたクロスポイント型の記憶装置(メモリセルアレイ)が開発されている。メモリセルは、メモリ素子と、セル選択用のスイッチ素子(選択素子)が、例えば中間電極を介して積層された構成を有する。
クロスポイント型の記憶装置は、メモリ素子に付加される配線容量およびトランジスタの接合容量が大きい。このため、選択素子が低抵抗状態になる際にメモリ素子に意図しない大電流が流れてしまう。特に、メモリ素子の読み出しの際に大電流が流れるとメモリ素子の抵抗状態が変化してしまうという問題がある。
この問題は、一般に、回路上の工夫を行うことで解決することができるが、メモリ素子の面積効率が低下してしまうという課題が生じる。この他、クロスポイントに配置されたメモリセルに直列抵抗を挿入する例もある(例えば、非特許文献1および特許文献1参照)が、大きなエネルギーが必要なリセット時に特性が不安定になるという課題がある。
VLSI 2015,S.H.Jo et al
ところで、クロスポイント型の記憶装置では、繰り返し特性の向上が求められている。
繰り返し特性を向上させることが可能なクロスポイント素子および記憶装置を提供することが望ましい。
本開示の一実施形態のクロスポイント素子は、第1電極と、第1電極と対向配置された第2電極と、第1電極と第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備えたものであり、抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い。
本開示の一実施形態の記憶装置は、一の方向に延伸する一または複数の第1配線と、他の方向に延伸すると共に、第1配線と交差する1または複数の第2配線と、第1配線と第2配線との交点に配置される1または複数の上記本開示の一実施形態のクロスポイント素子とを備えたものである。
本開示の一実施形態のクロスポイント素子および一実施形態の記憶装置では、対向配置された第1電極と第2電極との間に、メモリ素子、選択素子および抵抗素子を積層するようにした。上記抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い特性を有する。これにより、メモリ素子のリセット動作に必要な電圧が低下し、抵抗変化に伴うメモリ素子への印加電圧の変化を小さくすることが可能となる。
本開示の一実施形態のクロスポイント素子および一実施形態の記憶装置によれば、対向配置された第1電極と第2電極との間に、メモリ素子および選択素子と共に、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い抵抗素子を配置するようにしたので、メモリ素子のリセット動作に必要な電圧が低下する。よって、抵抗変化に伴うメモリ素子への印加電圧の変化が小さくなり、メモリ素子の繰り返し特性を向上させることが可能となる。
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。
以下、本開示における実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下の説明は本開示の一具体例であって、本開示は以下の態様に限定されるものではない。また、本開示は、各図に示す各構成要素の配置や寸法、寸法比等についても、それらに限定されるものではない。なお、説明する順序は、下記の通りである。
1.実施の形態
(メモリ素子およびスイッチ素子と共に、正の電圧および負の電圧の印加によって得られる抵抗値が互いに異なる抵抗素子が積層されたクロスポイント素子の例)
1−1.クロスポイント素子の構成
1−2.メモリセルアレイの構成
1−3.作用・効果
2.変形例1(一対の電極間に、p型のカルコゲナイド層を間にn型の導電型層を有するスイッチ素子の例)
2−1.スイッチ素子の構成
2−2.作用・効果
3.変形例2(3次元構造を有するメモリセルアレイの例)
1.実施の形態
(メモリ素子およびスイッチ素子と共に、正の電圧および負の電圧の印加によって得られる抵抗値が互いに異なる抵抗素子が積層されたクロスポイント素子の例)
1−1.クロスポイント素子の構成
1−2.メモリセルアレイの構成
1−3.作用・効果
2.変形例1(一対の電極間に、p型のカルコゲナイド層を間にn型の導電型層を有するスイッチ素子の例)
2−1.スイッチ素子の構成
2−2.作用・効果
3.変形例2(3次元構造を有するメモリセルアレイの例)
<1.実施の形態>
図1は、本開示の一実施の形態に係るクロスポイント素子(クロスポイント素子10)の断面構成の一例を表したものである。このクロスポイント素子10は、例えば、図9に示した、所謂クロスポイントアレイ構造を有するメモリセルアレイ1において交差するワード線WLとビット線BLとが互いに対向する位置(クロスポイント)に配置されるものである。クロスポイント素子10は、対向する下部電極11(第1電極)と上部電極(第2電極)との間に、例えば、スイッチ素子30、抵抗素子40およびメモリ素子20がこの順に積層されたものである。本実施の形態のクロスポイント素子10では、抵抗素子40として負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い抵抗素子が用いられている。
図1は、本開示の一実施の形態に係るクロスポイント素子(クロスポイント素子10)の断面構成の一例を表したものである。このクロスポイント素子10は、例えば、図9に示した、所謂クロスポイントアレイ構造を有するメモリセルアレイ1において交差するワード線WLとビット線BLとが互いに対向する位置(クロスポイント)に配置されるものである。クロスポイント素子10は、対向する下部電極11(第1電極)と上部電極(第2電極)との間に、例えば、スイッチ素子30、抵抗素子40およびメモリ素子20がこの順に積層されたものである。本実施の形態のクロスポイント素子10では、抵抗素子40として負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い抵抗素子が用いられている。
(1−1.クロスポイント素子の構成)
下部電極11は、半導体プロセスに用いられる配線材料、例えば、タングステン(W),窒化タングステン(WN),窒化チタン(TiN)、銅(Cu),アルミニウム(Al),モリブデン(Mo),タンタル(Ta)、窒化タンタル(TaN)およびシリサイド等により構成されている。下部電極11がCu等の電界でイオン伝導が生じる可能性のある材料により構成されている場合にはCu等よりなる下部電極11の表面を、W,WN,窒化チタン(TiN),TaN等のイオン伝導や熱拡散しにくい材料で被覆するようにしてもよい。
下部電極11は、半導体プロセスに用いられる配線材料、例えば、タングステン(W),窒化タングステン(WN),窒化チタン(TiN)、銅(Cu),アルミニウム(Al),モリブデン(Mo),タンタル(Ta)、窒化タンタル(TaN)およびシリサイド等により構成されている。下部電極11がCu等の電界でイオン伝導が生じる可能性のある材料により構成されている場合にはCu等よりなる下部電極11の表面を、W,WN,窒化チタン(TiN),TaN等のイオン伝導や熱拡散しにくい材料で被覆するようにしてもよい。
上部電極12は、下部電極11と同様に公知の半導体配線材料を用いることができるが、ポストアニールを経ても、例えば直接接するメモリ素子20と反応しない安定な材料が好ましい。
メモリ素子20は、抵抗変化型のメモリ素子であり、下部電極11と上部電極12との間に所定の電圧以上の電圧を印加することによって抵抗状態が低抵抗状態にスイッチングすると共に、その低抵抗状態が記録されるものである。また、逆方向の所定の電圧を印加することにより、低抵抗状態は高抵抗状態にスイッチングして、その高抵抗状態が記録されるものである。ここで、所定の電圧とは、所定の書き込み抵抗が得られる電圧であり、メモリ素子20は、印加する電圧や電流の大きさを変えることによって、書き込まれる抵抗値が変化する。
メモリ素子20は、例えば、図2に示したように、対向配置された下部電極11と上部電極12との間に、イオン源層21および抵抗変化層22が積層された構造を有する。
イオン源層21は、電界の印加によって抵抗変化層22内にイオンとして移動して伝導パスを形成する可動元素を含んでいる。この可動元素は、例えば、遷移金属元素、アルミニウム(Al)、銅(Cu)またはカルコゲン元素である。カルコゲン元素としては、例えば、テルル(Te)、セレン(Se)、または硫黄(S)が挙げられる。遷移金属元素としては、周期律表第4族〜第6族の元素であり、例えば、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)またはタングステン(W)等が挙げられる。イオン源層21は、上記可動元素を1種あるいは2種以上含んで構成されている。また、イオン源層21は、酸素(O)、窒素(N)、上記可動元素以外の元素(例えば、マンガン(Mn)、コバルト(Co)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、または白金(Pt))またはケイ素(Si)等を含んでいてもかまわない。
抵抗変化層22は、例えば、金属元素もしくは非金属元素の酸化物、または、金属元素もしくは非金属元素の窒化物によって構成されており、下部電極11と上部電極12との間に所定の電圧を印加した場合に抵抗値が変化するものである。例えば、下部電極11と上部電極12との間に電圧が印加されると、イオン源層21に含まれる遷移金属元素が抵抗変化層22内に移動して伝導パスが形成され、これにより抵抗変化層22が低抵抗化する。また、抵抗変化層22内で酸素欠陥や窒素欠陥等の構造欠陥が生じて伝導パスが形成され、抵抗変化層22が低抵抗化する。また、抵抗変化層22が低抵抗化するときに印加される電圧の向きとは逆方向の電圧が印加されることによって、伝導パスが切断されるか、または導電性が変化し、抵抗変化層22は高抵抗化する。
なお、抵抗変化層22に含まれる金属元素および非金属元素は、必ずしも全てが酸化物の状態でなくてもよく、一部が酸化されている状態であってもよい。また、抵抗変化層22の初期抵抗値は、例えば数MΩから数百GΩ程度の素子抵抗が実現されればよく、素子の大きさやイオン源層の抵抗値によってもその最適値が変化するが、その膜厚は例えば1nm〜10nm程度が好ましい。
また、メモリ素子20は、図2に示した構造に限定されず、例えば、イオン源層21が下部電極11側に、抵抗変化層22が上部電極12側に配置されていてもよい。更に、イオン源層21および抵抗変化層22の他に他の層を有していてもよい。
スイッチ素子30は、メモリセルアレイ1において、クロスポイント毎に配設された複数のメモリ素子20のうちの任意のメモリ素子20を選択的に動作させるためのものである。スイッチ素子30は、印加電圧を所定の閾値電圧(スイッチング閾値電圧)以上に上げることにより低抵抗状態に変化し、印加電圧を上記の閾値電圧(スイッチング閾値電圧)より低い電圧に下げることにより高抵抗状態に変化するものである。即ち、スイッチ素子30は負性微分抵抗特性を有するものであり、スイッチ素子30に印加される電圧が所定の閾値電圧を超えたときに、電流を数桁倍流すようになるものである。また、スイッチ素子30は、図示しない電源回路(パルス印加手段)から下部電極11および上部電極12を介した電圧パルスあるいは電流パルスの印加によらず、スイッチ素子30のアモルファス構造が安定して維持されるものである。なお、スイッチ素子30は、電圧印加によるイオンの移動によって形成される伝導パスが印加電圧消去後にも維持される等のメモリ動作をしない。
スイッチ素子30は、メモリ素子20に直列に接続されており、例えば、下部電極11と上部電極12との間にスイッチ層31が配設された構造を有する。
スイッチ層31は、周期律表第16族の元素、具体的には、テルル(Te)、セレン(Se)および硫黄(S)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素を含んで構成されている。OTS(Ovonic Threshold Switch)現象を有するスイッチ素子30では、スイッチングのための電圧バイアスを印加してもスイッチ層31はアモルファス構造を安定して維持することが必要であり、アモルファス構造が安定であるほど、安定してOTS現象を生じさせることができる。スイッチ層31は、上記カルコゲン元素のほかに、ホウ素(B)および炭素(C)から選ばれる少なくとも1種の元素を含んで構成されている。また、スイッチ層31は、さらに、ホウ素(B)を除く周期律表第13族の元素、具体的には、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)およびインジウム(In)から選ばれる少なくとも1種の元素を含んで構成されている。スイッチ層31は、さらに、リン(P)およびヒ素(As)から選ばれる少なくとも1種の元素を含んで構成されている。
スイッチ素子30は、初期状態ではその抵抗値は高く(高抵抗状態(オフ状態))、電圧を印加すると、ある電圧(スイッチング閾値電圧)において低く(低抵抗状態(オン状態))なるスイッチ特性を有する。また、スイッチ素子30は、印加電圧をスイッチング閾値電圧より下げる、あるいは、電圧の印加を停止すると高抵抗状態に戻るものであり、オン状態が維持されない。即ち、スイッチ素子30は、図示しない電源回路(パルス印加手段)から下部電極11および上部電極12を介して電圧パルスあるいは電流パルスの印加によって、スイッチ層31の相変化(非晶質相(アモルファス相)と結晶相)を生じることによるメモリ動作がないものである。
なお、スイッチ素子30は、例えば図3に示したように、スイッチ層31と高抵抗層32とが積層された構成としてもよい。高抵抗層32は、例えば、スイッチ層31よりも絶縁性が高く、例えば、金属元素あるいは非金属元素の酸化物や窒化物、またはこれらの混合物を含んで構成されている。なお、図2では、高抵抗層32を下部電極11側に設けた例を示したが、これに限らず、上部電極12側に設けられていてもかまわない。また、高抵抗層32は、スイッチ層31を挟んで、下部電極11側および上部電極12側の両方に設けられていてもかまわない。更に、スイッチ層31および高抵抗層32をそれぞれ複数組積層した多層構造としてもよい。
抵抗素子40は、メモリセルアレイ1において、交差するワード線WLとビット線BLとのクロスポイント間に流れる電流を調整するためのものである。本実施の形態では、下部電極11と上部電極12との間に正の電圧および負の電圧が印加された際に得られる抵抗値が互いに異なる抵抗素子40が用いられており、具体的には、抵抗素子40は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い特性を有するものである。なお、本実施の形態では、正の電圧とは印加によってメモリ素子20が低抵抗状態となる電圧であり、負の電圧とは印加によってメモリ素子20が高抵抗状態となる電圧である。
抵抗素子40は、メモリ素子20およびスイッチ素子30に直列に接続されており、例えば、図1に示したように、メモリ素子20とスイッチ素子30との間に配設されている。抵抗素子40は多層構造を有し、例えば、図1に示したように第1層41および第2層42が、例えば下部電極11側からこの順に積層された積層体として形成されている。本実施の形態の抵抗素子40は、単位面積当たりの抵抗が1e9Ω/cm以上1e11Ω/cmであることが好ましい。このような抵抗素子40は、例えば以下の材料を用いて構成されている。
抵抗素子40は、上記のように、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い特性を有し、換言すると、正の電圧印加時に流れる電流が負の電圧印加時に流れる電流よりも小さい。即ち、抵抗素子40は、正負非対称な電流電圧特性を有するものである。
複数の層からなる抵抗素子40は、例えば1層に炭素(C)、ゲルマニウム(Ge)、ホウ素(B)およびケイ素(Si)のうちの少なくとも1種を含んでいることが好ましい。図4A〜図4Gは、C,Ge,BおよびSiならびにアルミニウム(Al)を組み合わせた積層膜(ここでは、2層膜)の電流電圧特性を表したものである。少なくとも一方にC,Ge,BおよびSiを含む層を設け、それとは異なる元素構成を有する層が積層された積層膜は、図4A〜図4Gに示したように、正の電圧(書き込み電圧(SetV))および負の電圧(消去電圧(RstV))の印加でそれぞれ異なる挙動を示す。この抵抗差を利用することで正負非対称な電流電圧特性を有する抵抗素子40を形成することができる。この非対称性は、第1層41および第2層42として、炭素(C)、ゲルマニウム(Ge)、ホウ素(B)およびケイ素(Si)を2種以上組み合わせて互いに元素構成の異なる層を形成し、それらを組み合わせることで増幅させることができる。一例として、例えば抵抗比を大きくする場合には、例えばC中のBの比率を高くしたり、C中の窒素(N)の含有量を高くする。また、抵抗素子40は上記のように多層構造であり、例えば、BC/Ge/Si/C/BCの5層構造とすることで非対称性を増幅させることができる。
第1層41および第2層42の膜厚は、例えば、1nm以上15nm以下であることが好ましい。また、第1層41および第2層42の抵抗値は、正(+)側では、配線容量から印加される虞のあるダメージを低減するために、例えば10kΩ以上有することが好ましい。但し、抵抗値が高すぎるとメモリ素子20の動作を阻害するため、例えば100kΩ以下であることが好ましい。負(−)側については特に限定されず、低い方が好ましい。
なお、抵抗素子40の望ましい抵抗範囲は、メモリセルアレイ1の動作条件によって規定される。例えば、一般的に抵抗変化型のメモリ素子は0.5V〜2V程度の動作範囲であり、そのメモリ素子を選択するためのスイッチ素子のスイッチング閾値電圧は1V〜4Vである。抵抗読み出し時に1V〜4Vの電圧印加によってスイッチングした後のスイッチ素子には0.5V〜2V程度の電圧が印加された状態となり、残りの0.5V〜2V程度の電圧が配線容量の放電に寄与する。配線抵抗は、何も対策を施していない場合には1kΩ前後になるため、500μA〜2mAのピーク電流が流れることになる。よって、メモリ素子の動作電流である10μA〜100μA以下にピーク電流を抑えるためには、抵抗素子40は10kΩ〜100kΩの抵抗値を有することが好ましい。
図1では、クロスポイント素子10の断面構成として下部電極11と上部電極12との間に、スイッチ素子30、抵抗素子40およびメモリ素子20がこの順に積層された例を示したがこれに限らない。例えば、クロスポイント素子10は、図5に示したように下部電極11側から、メモリ素子20、抵抗素子40およびスイッチ素子30がこの順に積層された構成としてもよい。また、抵抗素子40は必ずしもメモリ素子20とスイッチ素子30との間に配置されている必要はなく、例えば、図6に示したように、下部電極11側から、スイッチ素子30、メモリ素子20および抵抗素子40がこの順に積層された構成としてもよい。あるいは、図7に示したように、下部電極11側から、抵抗素子40、スイッチ素子30およびメモリ素子20がこの順に積層された構成としてもよい。
更に、クロスポイント素子10は、下部電極11と上部電極12との間に、メモリ素子20、スイッチ素子30および抵抗素子40以外に他の層を有していてもよい。例えば、図8に示したように、下部電極11とスイッチ素子30との間、スイッチ素子30と抵抗素子40との間、抵抗素子40とメモリ素子20との間およびメモリ素子20と上部電極12との間に、それぞれ、他の層51A、51B、51C,51Dが設けられていてもよい。他の層51A、51B、51C,51Dは、例えば金属膜であり、例えば、Ti,TiN,W,Ta,Ru,Al等を含んで形成されていてもよい。また、他の層51A、51B、51C,51Dは、例えば半導体膜であり、例えばNiO,TiOx,TaOx,GaAs,CdTe等を含んで形成されていてもよい。
(1−2.メモリセルアレイの構成)
図9は、本開示のメモリセルアレイの構成の一例(メモリセルアレイ1)を斜視的に表したものである。メモリセルアレイ1は、本開示の「記憶装置」の一具体例に相当する。メモリセルアレイ1は、所謂クロスポイントアレイ構造を備えており、例えば、図2に示したように、各ワード線WLと各ビット線BLとが互いに対向する位置(クロスポイント)に1つずつ、メモリセルを備えている。つまり、メモリセルアレイ1は、複数のワード線WLと、複数のビット線BLと、クロスポイントごとに1つずつ配置された複数のメモリセルとを備えている。本実施の形態のメモリセルアレイ1では、メモリセルは上述したクロスポイント素子10によって構成されており、複数のクロスポイント素子10を平面(2次元,XY平面方向)に配置したものである。
図9は、本開示のメモリセルアレイの構成の一例(メモリセルアレイ1)を斜視的に表したものである。メモリセルアレイ1は、本開示の「記憶装置」の一具体例に相当する。メモリセルアレイ1は、所謂クロスポイントアレイ構造を備えており、例えば、図2に示したように、各ワード線WLと各ビット線BLとが互いに対向する位置(クロスポイント)に1つずつ、メモリセルを備えている。つまり、メモリセルアレイ1は、複数のワード線WLと、複数のビット線BLと、クロスポイントごとに1つずつ配置された複数のメモリセルとを備えている。本実施の形態のメモリセルアレイ1では、メモリセルは上述したクロスポイント素子10によって構成されており、複数のクロスポイント素子10を平面(2次元,XY平面方向)に配置したものである。
各ワード線WLは、互いに共通の方向に延在している。各ビット線BLは、ワード線WLの延在方向とは異なる方向(例えば、ワード線WLの延在方向と直交する方向)であって、かつ互いに共通の方向に延在している。なお、複数のワード線WLは、1または複数の層内に配置されており、例えば、図12に示したように、複数の階層に分かれて配置されていてもよい。複数のビット線BLは、1または複数の層内に配置されており、例えば、図12に示したように、複数の階層に分かれて配置されていてもよい。
メモリセルアレイ1は、基板上に2次元配置された複数のクロスポイント素子10を備えている。基板は、例えば、各ワード線WLおよび各ビット線BLと電気的に接続された配線群や、その配線群と外部回路とを連結するための回路等を有している。各ワード線WLおよび各ビット線BLは、上述した下部電極11および上部電極12を兼ねていてもよいし、下部電極11および上部電極12とは別体で設けられていてもよい。その場合には、例えば、下部電極11はワード線WLと電気的に接続され、上部電極12はビット線BLと電気的に接続されている。
図10は、本開示のメモリセルアレイの構成の他の例(メモリセルアレイ2)を斜視的に表したものである。このメモリセルアレイ2は、上記メモリセルアレイ1と同様に、所謂クロスポイントアレイ構造を備えたものである。メモリセルアレイ2では、メモリ素子20は、互いに共通の方向に延在する各ビット線BLに沿って延在している。スイッチ素子30は、ビット線BLの延在方向とは異なる方向(例えば、ビット線BLの延在方向と直交する方向)に延在するワード線WLに沿って延在している。複数のワード線WLと、複数のビット線BLとのクロスポイントには、例えば抵抗素子40が配設されており、この抵抗素子40を介して、メモリ素子20とスイッチ素子30とが積層された構成となっている。
このように、メモリ素子20およびスイッチ素子30が、クロスポイントだけでなく、それぞれ、ワード線WLの延在方向およびビット線BLの延在方向に延在して設けられた構成とすることにより、ビット線BLあるいはワード線WLとなる層と同時にスイッチ素子層あるいはメモリ素子層を成膜し、一括してフォトリソグラフィのプロセスによる形状加工を行うことができる。よって、プロセス工程を削減することが可能となる。
(1−3.作用・効果)
前述したように、クロスポイント型の記憶装置は、メモリ素子に付加される配線容量およびトランジスタの接合容量が大きい。このため、選択素子が低抵抗状態になる際にメモリ素子に意図しない大電流が流れてしまう。特に、メモリ素子の読み出しの際に大電流が流れるとメモリ素子の抵抗状態が変化してしまうという問題がある。
前述したように、クロスポイント型の記憶装置は、メモリ素子に付加される配線容量およびトランジスタの接合容量が大きい。このため、選択素子が低抵抗状態になる際にメモリ素子に意図しない大電流が流れてしまう。特に、メモリ素子の読み出しの際に大電流が流れるとメモリ素子の抵抗状態が変化してしまうという問題がある。
この問題は、一般に、回路上の工夫を行うことで解決することができるが、メモリ素子の面積効率が低下してしまうという課題が生じる。この他、クロスポイントに配置されたメモリセルに直列抵抗を挿入する例もあるが、大きなエネルギーが必要なリセット時に特性が不安定になるという課題がある。
例えば、メモリセルに直列抵抗を挿入した場合、セット時およびリセット時に流せる電流は同じになる。一般的なクロスポイント型の記憶装置では、トランジスタのゲート電圧を切り替えてリセット時に多くの電流が流れるようにするが、直列抵抗を挿入した場合、リセット時に負荷される抵抗値によって同じリセット電圧を印加した際に用いることができるエネルギーが少なくなってしまい、メモリ素子を十分な高抵抗状態にすることができなくなる。リセット電圧を増加させることで用いることができるエネルギーを増加させることができるが、その場合、高電圧印加に起因する別の劣化モードによってメモリ特性が損なわれる。
これに対して、本実施の形態のクロスポイント素子10では、対向配置された下部電極11と上部電極12との間に、メモリ素子20およびスイッチ素子30と共に、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い抵抗素子40を直列に配置するようにした。
抵抗変化型のメモリ素子20のリセット動作(消去動作)は、セット動作(書き込み動作)と同等の電流が印加されたときに完了する。これは、書き込み時に抵抗変化層22に移動したイオンをもとに戻すために同等の電流を要するからである。このため、クロスポイント素子10に挿入される直列抵抗の抵抗値が低い場合には低い印加電圧で、直列抵抗の抵抗値が高い場合には高い印加電圧でリセットされる。繰り返し特性は、リセット時の抵抗変化に伴うメモリ素子への印加電圧の変化によって加速されることが知られている。即ち、直列抵抗が低く、リセット動作に必要な電圧が低ければ低いほど抵抗変化に伴うメモリ素子への印加電圧の変化が小さく、メモリ素子の繰り返し特性に有利になる。
本実施の形態では、上記のように、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い抵抗素子40をメモリ素子20およびスイッチ素子30に対して直列に配置するようにしたので、メモリ素子20のリセット動作に必要な電圧が低下し、抵抗変化に伴うメモリ素子への印加電圧の変化を小さくすることが可能となる。
以上のことから、本実施の形態のクロスポイント素子10およびメモリセルアレイ1では、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い抵抗素子40をメモリ素子20およびスイッチ素子30に対して直列に配置し、これを、ワード線WLとビット線BLとのクロスポイントに配置するようにした。これにより、メモリ素子20のリセット動作に必要な電圧が低下し、抵抗変化に伴うメモリ素子20への印加電圧の変化が小さくなる。よって、メモリ素子20の繰り返し特性の向上およびこれを備えたメモリセルアレイ1の繰り返し特性を向上させることが可能となる。
次に、上記実施の形態における変形例(変形例1,2)について説明する。以下では、上記実施の形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、適宜その説明を省略する。
<2.変形例1>
図11は、本開示の変形例1に係るクロスポイント素子10を構成するスイッチ素子(スイッチ素子60)の断面構成の一例を表したものである。このスイッチ素子60は、対向配置された下部電極61と上部電極62との間に、スイッチ層63と、下部電極61側および上部電極62側に設けられたn型導電型層64A,64Bとが積層されたものである。
図11は、本開示の変形例1に係るクロスポイント素子10を構成するスイッチ素子(スイッチ素子60)の断面構成の一例を表したものである。このスイッチ素子60は、対向配置された下部電極61と上部電極62との間に、スイッチ層63と、下部電極61側および上部電極62側に設けられたn型導電型層64A,64Bとが積層されたものである。
(2−1.スイッチ素子の構成)
下部電極61は、後述するスイッチ層63を構成するカルコゲナイドを含む半導体と反応する電極材料を用いることが好ましく、例えば、炭素(C)を用いることが好ましい。この他、例えばマグネシウム(Mg),アルミニウム(Al),亜鉛(Zn),スズ(Sn)等を用いることができる。
下部電極61は、後述するスイッチ層63を構成するカルコゲナイドを含む半導体と反応する電極材料を用いることが好ましく、例えば、炭素(C)を用いることが好ましい。この他、例えばマグネシウム(Mg),アルミニウム(Al),亜鉛(Zn),スズ(Sn)等を用いることができる。
上部電極62は、下部電極61と同様に、スイッチ層63を構成するカルコゲナイドを含む半導体と反応する電極材料を用いることが好ましく、例えば、炭素(C)を用いることが好ましい。この他、例えばマグネシウム(Mg),アルミニウム(Al),亜鉛(Zn),スズ(Sn)等を用いることができる。
スイッチ層63は、例えば、酸素(O)を除く周期律表第16族の元素、具体的には、テルル(Te)、セレン(Se)および硫黄(S)から選ばれる少なくとも1種のカルコゲン元素を含んで構成されている。スイッチ層63は、上記カルコゲン元素のほかに、例えば、ホウ素(B)および炭素(C)から選ばれる少なくとも1種の元素を含んで構成されている。また、スイッチ層31は、さらに、ホウ素(B)を除く周期律表第13族の元素、具体的には、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)およびインジウム(In)から選ばれる少なくとも1種の元素を含んで構成されていてもよい。スイッチ層31は、さらに、ゲルマニウム(Ge)、リン(P)およびヒ素(As)から選ばれる少なくとも1種の元素を含んで構成されていてもよい。スイッチ層63は、カルコゲン元素と共に、上記元素を含む半導体(カルコゲナイド半導体)で構成されており、p型の導電型を有する。
n型導電型層64A,64Bは、ドーパント元素として例えば窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)およびアンチモン(Sb)等を用いてスイッチ層63に注入することで形成されたものである。または、n型導電型層64A,64Bは、上部電極62の成膜後の加熱またはフォーミング時のジュール発熱によってスイッチ層63を構成するカルコゲナイド半導体が還元されて形成されたものである。あるいは、その両方の方法を用いて形成することが好ましい。加熱温度は、例えば下部電極61および上部電極62を構成する炭素(C)とカルコゲナイド半導体とが反応してその反応物が気体となって揮発するのに適した温度であることが好ましく、例えば、基板温度として400K以上700K以下の比較的低温の温度範囲とすることが好ましい。なお、加熱によってn型導電型層64A,64Bを形成する場合には、スイッチ層63に用いるカルコゲン元素は硫黄(S)またはセレン(Se)を用いることが好ましい。
例えば、スイッチ層63をGe2As2Seで構成した場合、Ge2As2Seは、成膜後の加熱等により、Cを含んで構成された下部電極61および上部電極62との酸化還元反応により2GeAsおよび3CSE2を生成する。3CSE2は融点−43.7℃であり、加熱によって気体となってスイッチ層63と下部電極61および上部電極62との界面から除去され、n型の2GeAsが残る。これによって、スイッチ層63と下部電極61および上部電極62との界面にはn型導電型層64A,64Bが形成される。
上記方法を用いて形成されたn型導電型層64A,64Bは、成膜プロセスの順序の都合上、下部電極61と接触するn型導電型層64Aよりも上部電極62と接触するn型導電型層64Bの方が制御性が高く、抵抗値比が低くなる。これにより、スイッチ素子60の電流電圧特性は電圧印加軸に対して非対称となる。
本変形例のスイッチ素子60では、n型導電型層64A,64Bの形成によりスイッチ層63と下部電極61および上部電極62との間の電極界面の電位障壁が低下する。一方で、n型導電型層64Aおよびn型導電型層64Bによって挟持されたスイッチ層63は全体が空乏化するため、ビルトインポテンシャルと呼ばれる内部障壁が発生する。内部障壁が占める領域の厚さdは、以下の理由から5nm以上であることが好ましい。空乏層の厚さが厚くなると、空乏層に注入されたキャリアは電界によって加速され、一般にアバランシェ増倍と呼ばれるキャリア増加作用が実現される。
平均自由行程をλ、電荷素量をe、電界をFとすると、空乏層を走行するキャリア(p型の場合はホール)の運動エネルギーEは下記式(1)で定義される。
(数1)E=λeF・・・・・・(1)
アバランシェ増倍が起こるためには、キャリアの持つ運動エネルギーEが、衝突電離を引き起こすために必要とされるエネルギーEiを越える必要がある。そのための条件は下記式(2)で表される。
(数2)E>Ei・・・・・・(2)
平均自由行程λに対して条件(2)が満たされるための最小走行距離Dは、凡そ下記式(3)になることが示唆されている(Y. Okuto and C. R. Crowell, "Threshold energy effect on avalanche breakdown voltage in semiconductor junctions," Solid-State Electronics, 18, 161 (1975) 参照)。
(数3)D/λ>10・・・・・・(3)
また、結晶半導体(例えば、Si)の平均自由行程は約5nmであるが、アモルファス半導体(例えば、a−Si)の平均自由行程は原子間距離程度(c軸方向で約0.5nm)になる。すると式(3)を満たすためには最小膜厚として5nm以上が必要になることがわかる。最小走行距離は原子間距離を基準として決まるので、スイッチ層63の最小膜厚は5nm程度となる。
(数1)E=λeF・・・・・・(1)
アバランシェ増倍が起こるためには、キャリアの持つ運動エネルギーEが、衝突電離を引き起こすために必要とされるエネルギーEiを越える必要がある。そのための条件は下記式(2)で表される。
(数2)E>Ei・・・・・・(2)
平均自由行程λに対して条件(2)が満たされるための最小走行距離Dは、凡そ下記式(3)になることが示唆されている(Y. Okuto and C. R. Crowell, "Threshold energy effect on avalanche breakdown voltage in semiconductor junctions," Solid-State Electronics, 18, 161 (1975) 参照)。
(数3)D/λ>10・・・・・・(3)
また、結晶半導体(例えば、Si)の平均自由行程は約5nmであるが、アモルファス半導体(例えば、a−Si)の平均自由行程は原子間距離程度(c軸方向で約0.5nm)になる。すると式(3)を満たすためには最小膜厚として5nm以上が必要になることがわかる。最小走行距離は原子間距離を基準として決まるので、スイッチ層63の最小膜厚は5nm程度となる。
アバランシェ増倍が作用している状態での閾値電圧は周囲温度に対して常に正の温度係数を持つ。空乏層材料自身の内部抵抗が負の温度係数を持っていたとしても、アバランシェ増倍による正の温度係数によって相殺可能なため、スイッチ素子60全体の閾値電圧依存性を周囲温度に対して無依存に調整することができる。
(2−2.作用・効果)
酸素を除く周期律表16族元素であるカルコゲン元素を含む半導体(カルコゲナイド半導体)はその導電型がp型となることがほとんどである。選択ダイオード素子材料としてカルコゲナイド半導体を電極とそのまま接触させると、所謂ショットキー障壁が形成される。ダイオード特性のオフ特性は、接触抵抗の期限である理想因子とショットキー障壁の高さによって決定される。理想因子とショットキー障壁の高さは最先端半導体プロセス技術を適用しても制御することが難しい物理量であり、均一は電気的特性を有する選択ダイオード素子の量産を困難にしている。
酸素を除く周期律表16族元素であるカルコゲン元素を含む半導体(カルコゲナイド半導体)はその導電型がp型となることがほとんどである。選択ダイオード素子材料としてカルコゲナイド半導体を電極とそのまま接触させると、所謂ショットキー障壁が形成される。ダイオード特性のオフ特性は、接触抵抗の期限である理想因子とショットキー障壁の高さによって決定される。理想因子とショットキー障壁の高さは最先端半導体プロセス技術を適用しても制御することが難しい物理量であり、均一は電気的特性を有する選択ダイオード素子の量産を困難にしている。
これに対して本変形例のスイッチ素子60では、カルコゲナイド半導体を含むp型の導電型のスイッチ層63と下部電極61および上部電極62との間にn型導電型層64A,64Bを設けた。これにより、下部電極61および上部電極62とスイッチ層63との界面におけるショットキー障壁電位を低減すると共に、ショットキー障壁電位よりも制御性が高い内部障壁電位(ビルトインポテンシャル)を形成することができる。よって、動作条件のばらつきが低減されたスイッチ素子60を量産することが可能となる。更に、スイッチ層63の膜厚を5nm以上として内部障壁が占める領域(空乏層)の膜厚を5nm以上確保するようにしたので、空乏層に注入されたキャリアが電界によって加速され、アバランシェ増倍と呼ばれるキャリア増加作用が実現される。これにより、周囲温度に対するスイッチ素子60のスイッチング閾値電圧の温度依存性を減少させることが可能となる。よって、大規模且つ高い信頼性を有するメモリセルアレイ1を実現することが可能となる。また、メモリセルアレイ1におけるクロスポイント素子10の温度補償対策のための回路の設置が不要となる。
なお、本変形例のスイッチ素子60は、例えば、上記実施の形態において例えば炭素(C)を用いた抵抗素子40と直接積層することによって、n型導電型層64Aまたはn型導電型層64Bを抵抗素子40のCを含む層で兼ねることができる。これにより、クロスポイント素子10の総数を削減することが可能となる。
<3.変形例2>
上記実施の形態におけるクロスポイント素子10は、3次元構造を有するメモリセルアレイも構成することができる。図12〜15は、本開示の変形例に係る3次元構造を有するメモリセルアレイ3〜6の構成の一例を斜視的に表したものである。3次元構造を有するメモリセルアレイでは、各ワード線WLは、互いに共通の方向に延在している。各ビット線BLは、ワード線WLの延在方向とは異なる方向(例えば、ワード線WLの延在方向と直交する方向)であって、かつ互いに共通の方向に延在している。更に、複数のワード線WLおよび複数のビット線BLは、それぞれ、複数の層内に配置されている。
上記実施の形態におけるクロスポイント素子10は、3次元構造を有するメモリセルアレイも構成することができる。図12〜15は、本開示の変形例に係る3次元構造を有するメモリセルアレイ3〜6の構成の一例を斜視的に表したものである。3次元構造を有するメモリセルアレイでは、各ワード線WLは、互いに共通の方向に延在している。各ビット線BLは、ワード線WLの延在方向とは異なる方向(例えば、ワード線WLの延在方向と直交する方向)であって、かつ互いに共通の方向に延在している。更に、複数のワード線WLおよび複数のビット線BLは、それぞれ、複数の層内に配置されている。
複数のワード線WLが複数の階層に分かれて配置されている場合、複数のワード線WLが配置された第1の層と、複数のワード線WLが配置された、第1の層に隣接する第2の層との間の層内に、複数のビット線BLが配置されている。複数のビット線BLが複数の階層に分かれて配置されている場合、複数のビット線BLが配置された第3の層と、複数のビット線BLが配置された、第3の層に隣接する第4の層との間の層内に、複数のワード線WLが配置されている。複数のワード線WLが複数の階層に分かれて配置されるとともに、複数のビット線BLが複数の階層に分かれて配置されている場合、複数のワード線WLおよび複数のビット線BLは、メモリセルアレイの積層方向において交互に配置されている。
本変形例のメモリセルアレイでは、ワード線WLもしくはビット線BLのどちから一方がZ軸方向に平行に備わり、残りのもう一方がXY平面方向に平行に備わった、縦型のクロスポイント構造を有する。例えば、図12に示したように、複数のワード線WLはそれぞれX軸方向に、複数のビット線BLはそれぞれZ軸方向に延伸し、それぞれのクロスポイントにクロスポイント素子10が配置された構成としてもよい。また、図13に示したように、X軸方向およびZ軸方向にそれぞれ延伸する複数のワード線WLおよび複数のビット線BLのクロスポイントの両面に、それぞれクロスポイント素子10が配置された構成としてもよい。更に、図14に示したように、Z軸方向に延伸する複数のビット線BLと、X軸方向またはY軸方向の2方向に延伸する2種類の複数のワード線WLとを有する構成としてもよい。更にまた、複数のワード線WLおよび複数のビット線BLは必ずしも一方向に延伸する必要はない。例えば、図15に示したように、例えば、複数のビット線BLはZ軸方向に延伸し、複数のワード線WLは、X軸方向に延伸する途中でY軸方向に屈曲し、さらに、X軸方向に屈曲し、XY平面において、いわゆるUの字状に延伸するようにしてもよい。
以上のように、本開示のメモリセルアレイは、複数のクロスポイント素子10を平面(2次元,XY平面方向)に配置し、さらにZ軸方向に積層させた3次元構造とするで、より高密度且つ大容量な記憶装置を提供することができる。
以上、実施の形態および変形例1,2を挙げて本開示を説明したが、本開示内容は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、本開示のクロスポイント素子10を用いたメモリセルアレイ(例えば、メモリセルアレイ1)の動作方法としては、公知のV,V/2方式やV,V/3方式等、種々のバイアス方式を用いることができる。
また、上記変形例1では、下部電極61とスイッチ層63との間およびスイッチ層63と上部電極62との間に、それぞれn型導電型層64A,64Bを設けた例を示したが、少なくとも一方に設けることで、本変形例1における効果を得ることができる。
なお、本明細書中に記載された効果は、あくまで例示である。本開示の効果は、本明細書中に記載された効果に限定されるものではない。本開示内容が、本明細書中に記載された効果以外の効果を持っていてもよい。
また、例えば、本開示は以下のような構成を取ることができる。
(1)
第1電極と、
前記第1電極と対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、
前記抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い
クロスポイント素子。
(2)
前記正の電圧とは印加によって前記メモリ素子が低抵抗状態となる電圧であり、前記負の電圧とは印加によって前記メモリ素子が高抵抗状態となる電圧である、前記(1)に記載のクロスポイント素子。
(3)
前記抵抗素子は、単位面積当たりの抵抗が1e9Ω/cm以上1e11Ω/cmである、前記(1)または(2)に記載のクロスポイント素子。
(4)
前記抵抗素子は多層構造を有し、前記多層構造のうちの少なくとも1層に炭素(C)、ゲルマニウム(Ge)、ホウ素(B)、ケイ素(Si)のうちの少なくとも1種を含んでいる、前記(1)乃至(3)のうちのいずれかに記載のクロスポイント素子。
(5)
前記メモリ素子および前記選択素子は、前記第1電極と前記第2電極との間にこの順に積層され、
前記抵抗素子は、少なくとも、前記第1電極と前記メモリ素子との間、前記メモリ素子と前記選択素子との間および前記選択素子と前記第2電極との間のいずれかに設けられている、前記(1)乃至(4)のうちのいずれかに記載のクロスポイント素子。
(6)
前記選択素子は、p型の導電型を有すると共に、カルコゲナイド半導体を含むスイッチ層と、前記スイッチ層と前記第1電極および前記スイッチ層と前記第2電極との間の少なくとも一方にn型導電型層とを有し、
前記スイッチ層には5nm以上の膜厚の空乏層が形成されている、前記(5)に記載のクロスポイント素子。
(7)
前記第2電極は炭素(C)を含んでいる、前記(6)に記載のクロスポイント素子。
(8)
前記抵抗素子が前記n型導電型層を兼ねている、前記(6)または(7)に記載のクロスポイント素子。
(9)
前記メモリ素子は、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することにより、所定の電圧以上で抵抗状態がスイッチングすると共に低抵抗状態を記録し、前記所定の電圧とは逆方向の電圧を印加することにより高抵抗状態を記録する、前記(1)乃至(8)のうちのいずれかに記載のクロスポイント素子。
(10)
前記選択素子は、非晶質相と結晶相との相変化を伴うことなく、印加電圧を所定の閾値電圧以上とすることにより低抵抗状態に、前記閾値電圧より下げることにより高抵抗状態に変化する、前記(1)乃至(9)のうちのいずれかに記載のクロスポイント素子。
(11)
一の方向に延伸する1または複数の第1配線と、他の方向に延伸すると共に、前記第1配線と交差する1または複数の第2配線と、前記第1配線と前記第2配線との交点に配置される1または複数のクロスポイント素子とを備え、
前記クロスポイント素子は、
第1電極と、
前記第1電極と対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、
前記抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い
記憶装置。
(12)
第1電極と、
前記第1電極と対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、
前記選択素子は、p型の導電型を有すると共に、カルコゲナイド半導体を含むスイッチ層と、前記スイッチ層と前記第1電極または前記第2電極との間の少なくとも一方にn型導電型層とを有し、
前記スイッチ層には5nm以上の膜厚の空乏層が形成されている
クロスポイント素子。
(1)
第1電極と、
前記第1電極と対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、
前記抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い
クロスポイント素子。
(2)
前記正の電圧とは印加によって前記メモリ素子が低抵抗状態となる電圧であり、前記負の電圧とは印加によって前記メモリ素子が高抵抗状態となる電圧である、前記(1)に記載のクロスポイント素子。
(3)
前記抵抗素子は、単位面積当たりの抵抗が1e9Ω/cm以上1e11Ω/cmである、前記(1)または(2)に記載のクロスポイント素子。
(4)
前記抵抗素子は多層構造を有し、前記多層構造のうちの少なくとも1層に炭素(C)、ゲルマニウム(Ge)、ホウ素(B)、ケイ素(Si)のうちの少なくとも1種を含んでいる、前記(1)乃至(3)のうちのいずれかに記載のクロスポイント素子。
(5)
前記メモリ素子および前記選択素子は、前記第1電極と前記第2電極との間にこの順に積層され、
前記抵抗素子は、少なくとも、前記第1電極と前記メモリ素子との間、前記メモリ素子と前記選択素子との間および前記選択素子と前記第2電極との間のいずれかに設けられている、前記(1)乃至(4)のうちのいずれかに記載のクロスポイント素子。
(6)
前記選択素子は、p型の導電型を有すると共に、カルコゲナイド半導体を含むスイッチ層と、前記スイッチ層と前記第1電極および前記スイッチ層と前記第2電極との間の少なくとも一方にn型導電型層とを有し、
前記スイッチ層には5nm以上の膜厚の空乏層が形成されている、前記(5)に記載のクロスポイント素子。
(7)
前記第2電極は炭素(C)を含んでいる、前記(6)に記載のクロスポイント素子。
(8)
前記抵抗素子が前記n型導電型層を兼ねている、前記(6)または(7)に記載のクロスポイント素子。
(9)
前記メモリ素子は、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することにより、所定の電圧以上で抵抗状態がスイッチングすると共に低抵抗状態を記録し、前記所定の電圧とは逆方向の電圧を印加することにより高抵抗状態を記録する、前記(1)乃至(8)のうちのいずれかに記載のクロスポイント素子。
(10)
前記選択素子は、非晶質相と結晶相との相変化を伴うことなく、印加電圧を所定の閾値電圧以上とすることにより低抵抗状態に、前記閾値電圧より下げることにより高抵抗状態に変化する、前記(1)乃至(9)のうちのいずれかに記載のクロスポイント素子。
(11)
一の方向に延伸する1または複数の第1配線と、他の方向に延伸すると共に、前記第1配線と交差する1または複数の第2配線と、前記第1配線と前記第2配線との交点に配置される1または複数のクロスポイント素子とを備え、
前記クロスポイント素子は、
第1電極と、
前記第1電極と対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、
前記抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い
記憶装置。
(12)
第1電極と、
前記第1電極と対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、
前記選択素子は、p型の導電型を有すると共に、カルコゲナイド半導体を含むスイッチ層と、前記スイッチ層と前記第1電極または前記第2電極との間の少なくとも一方にn型導電型層とを有し、
前記スイッチ層には5nm以上の膜厚の空乏層が形成されている
クロスポイント素子。
1〜5…メモリセルアレイ、10…クロスポイント素子、11…下部電極、12…記憶層、13…上部電極、20…メモリ素子、21…イオン源層、22…抵抗変化層、30…スイッチ素子、31…スイッチ層、32…高抵抗層、40…抵抗素子、41…第1層、42…第2層、BL…ビット線、RM…読み出しマージン、WL…ワード線。
Claims (11)
- 第1電極と、
前記第1電極と対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、
前記抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い
クロスポイント素子。 - 前記正の電圧とは印加によって前記メモリ素子が低抵抗状態となる電圧であり、前記負の電圧とは印加によって前記メモリ素子が高抵抗状態となる電圧である、請求項1に記載のクロスポイント素子。
- 前記抵抗素子は、単位面積当たりの抵抗が1e9Ω/cm以上1e11Ω/cmである、請求項1に記載のクロスポイント素子。
- 前記抵抗素子は多層構造を有し、前記多層構造のうちの少なくとも1層に炭素(C)、ゲルマニウム(Ge)、ホウ素(B)、ケイ素(Si)のうちの少なくとも1種を含んでいる、請求項1に記載のクロスポイント素子。
- 前記メモリ素子および前記選択素子は、前記第1電極と前記第2電極との間にこの順に積層され、
前記抵抗素子は、少なくとも、前記第1電極と前記メモリ素子との間、前記メモリ素子と前記選択素子との間および前記選択素子と前記第2電極との間のいずれかに設けられている、請求項1に記載のクロスポイント素子。 - 前記選択素子は、p型の導電型を有すると共に、カルコゲナイド半導体を含むスイッチ層と、前記スイッチ層と前記第1電極および前記スイッチ層と前記第2電極との間の少なくとも一方にn型導電型層とを有し、
前記スイッチ層には5nm以上の膜厚の空乏層が形成されている、請求項5に記載のクロスポイント素子。 - 前記第2電極は炭素(C)を含んでいる、請求項6に記載のクロスポイント素子。
- 前記抵抗素子が前記n型導電型層を兼ねている、請求項6に記載のクロスポイント素子。
- 前記メモリ素子は、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加することにより、所定の電圧以上で抵抗状態がスイッチングすると共に低抵抗状態を記録し、前記所定の電圧とは逆方向の電圧を印加することにより高抵抗状態を記録する、請求項1に記載のクロスポイント素子。
- 前記選択素子は、非晶質相と結晶相との相変化を伴うことなく、印加電圧を所定の閾値電圧以上とすることにより低抵抗状態に、前記閾値電圧より下げることにより高抵抗状態に変化する、請求項1に記載のクロスポイント素子。
- 一の方向に延伸する1または複数の第1配線と、他の方向に延伸すると共に、前記第1配線と交差する1または複数の第2配線と、前記第1配線と前記第2配線との交点に配置される1または複数のクロスポイント素子とを備え、
前記クロスポイント素子は、
第1電極と、
前記第1電極と対向配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に積層されたメモリ素子、選択素子および抵抗素子とを備え、
前記抵抗素子は、負の電圧の印加によって得られる抵抗値が正の電圧の印加によって得られる抵抗値よりも低い
記憶装置。
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