JP2019158669A - センサ - Google Patents
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Abstract
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図2は、第1実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図1(a)は、図1(b)のA1−A2線断面図である。図1(b)は、図1(a)の矢印AR1からみた平面図である。図1(b)においては、図の見やすさのために、一部の要素が図示されていない。図2には、図1(b)で図示されなかった要素が図示されている。
図3(a)は、斜視図である。図3(b)は、図3(a)のA3−A4線断面図である。図3(c)は、第2素子52の断面図である。
図4は、膜部70dの第1縁部r1、第1磁性層11、第2磁性層12、及び第1磁性領域21aの配置を例示している。図4に示すように、第1縁部r1(支持部70sと膜部70dとの境界部分)は、第2方向D2に沿っている。
図5は、図1(b)のA1−A2線断面に対応する断面図である。
図5に示すように、センサ111は、第1部材28aを含む。センサ111におけるこれ以外の構成は、センサ110の構成と同様である。
この例において、第2磁性部22は、第1磁性部21とは別に設けられている。第1部材28aは、第2磁性部22と第1磁性部21との間に設けられる。第1部材28aは、第2磁性部22と第1磁性部21とを接合する。
図6は、第2磁性部22の1つの例を示している。図6に示すように、第2磁性部22は、第1部分領域22a及び第2部分領域22bを含む。第1部分領域22aの少なくとも一部は、第1方向D1(Z軸方向)において検知素子部51sと重なる。第1部分領域22aは、例えば、第1方向D1において、第1磁性領域21aと実質的に重ならない。第2部分領域22bは、第1方向D1において第1磁性領域21aと重なる。第2部分領域22bは、第1方向D1において、検知素子部51sと重ならない。第2部分領域22bと第1磁性部21(第1磁性領域21a)とが、第1部材28aにより接続される。孔h1は、第1部分領域22aに設けられる。
図7は、図1(b)のA1−A2線断面に対応する断面図である。
図7に示すように、センサ112においては、第2磁性部22は、実質的に平坦な板状である。第2磁性部22の第1方向D1に沿う厚さは、実質的に均一である。
図8は、第2実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図8は、図1(a)の矢印AR1からみた状態に対応する平面図である。図8においては、第2磁性部22が図示されていない。
Claims (20)
- 支持部と、
前記支持部に支持された第1縁部を含み変形可能な膜部と、
前記膜部に設けられた第1素子と、
を含む検知素子部であって、前記第1素子は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
を含み、前記第2磁性層から前記第1磁性層への第1方向は、前記膜部から前記第1素子への方向に沿い、前記第1縁部は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、前記検知素子部と、
前記検知素子部から離れ前記検知素子部に対向する第1磁性領域を含む第1磁性部と、
を備え、
前記第1磁性領域は、第3方向に沿い、
前記第3方向は、前記第1方向に対して垂直な平面と交差し、前記第2方向に対して傾斜した、センサ。 - 前記第1磁性領域は、前記第1磁性部のなかで前記検知素子部に最も近い部分を含む、請求項1記載のセンサ。
- 前記第3方向と前記第2方向との間の角度は、20度以上70度以下、または、110度以上160度以下である、請求項1または2に記載のセンサ。
- 前記第1磁性部は、第2磁性領域をさらに含み、
前記第2磁性領域は、前記検知素子部から離れ前記検知素子部に対向し、
前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に前記検知素子部が設けられ、
前記第2磁性領域は、前記第3方向に沿う、請求項1〜3のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記第1磁性部は、第3磁性領域及び第4磁性領域をさらに含み、
前記第3磁性領域及び前記第4磁性領域は、前記検知素子部から離れ前記検知素子部に対向し、
前記第3磁性領域と前記第4磁性領域との間に前記検知素子部が設けられ、
前記第2磁性領域から前記第1磁性領域への方向は、前記第4磁性領域から前記第3磁性領域への方向と交差した、請求項4記載のセンサ。 - 支持部と、
前記支持部に支持された第1縁部を含み変形可能な膜部と、
前記膜部に設けられた第1素子と、
を含む検知素子部であって、前記第1素子は、
第1磁性層と、
第2磁性層と、
を含み、前記第2磁性層から前記第1磁性層への第1方向は、前記膜部から前記第1素子への方向に沿い、前記第1縁部は、前記第1方向と交差する第2方向に沿う、前記検知素子部と、
前記検知素子部から離れ前記検知素子部に対向する第1磁性部と、
を備え、
前記第1磁性部は、第1〜第4磁性領域を含み、
前記第1磁性領域は、第3方向に沿い、前記第3方向は、前記第1方向に対して垂直な平面と交差し、前記第2方向に対して傾斜し、
前記第2磁性領域から前記第1磁性領域への第4方向は、前記平面に沿い、前記第3方向と交差し、
前記第4方向は、前記第4磁性領域から前記第3磁性領域への方向と交差し、
前記第1磁性領域と前記第2磁性領域との間に前記検知素子部が設けられ、
前記第3磁性領域と前記第4磁性領域との間に前記検知素子部が設けられた、センサ。 - 前記第1磁性領域と前記検知素子部との間の第1距離は、前記第3磁性領域と前記検知素子部との間の第3距離以下であり、前記第4磁性領域と前記検知素子部との間の第4距離以下である、請求項6記載のセンサ。
- 前記第2磁性領域は、前記第3方向に沿い、
前記第2磁性領域と前記検知素子部との間の第2距離は、前記第3距離以下であり、前記第4距離以下である、請求項7記載のセンサ。 - 第2磁性部をさらに備え、
前記検知素子部から前記第2磁性部への方向は、前記第1方向に沿い、
前記第2磁性部は、少なくとも1つの孔を含む、請求項1〜8のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記第2磁性部は、前記第1方向において前記検知素子部と重ならない領域を含む、請求項9記載のセンサ。
- 前記第2磁性部は、前記第1磁性部と連続した、請求項9または10に記載のセンサ。
- 前記第2磁性部と前記第1磁性部との間に設けられた第1部材をさらに備えた、請求項11記載のセンサ。
- 前記第2磁性部は、前記第1部分領域及び第2部分領域を含み、
前記第1部分領域の少なくとも一部は、前記第1方向において前記検知素子部と重なり、
前記第2部分領域は、前記第1方向において前記第1磁性領域と重なり、
前記第1部分領域の前記第1方向に沿う厚さは、前記第2部分領域の前記第1方向に沿う厚さよりも薄い、請求項12記載のセンサ。 - 前記孔は、前記第1部分領域に設けられた、請求項13記載のセンサ。
- 第3磁性部をさらに備え、
前記第3磁性部と前記第2磁性部との間に前記検知素子部が設けられた、請求項9〜14のいずれか1つに記載のセンサ。 - 第3磁性部と、
第2部材と、
をさらに備え、
前記第3磁性部と前記第2磁性部との間に前記検知素子部が設けられ、
前記第2部材は、前記第3磁性部と前記第1磁性部との間に設けられた、請求項12または14に記載のセンサ。 - 前記第3方向は、前記第2磁性層の磁化の向きに対して傾斜した、請求項1〜16のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記検知素子部の抵抗は、前記膜部の変形に応じて変化する、請求項1〜17のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記第1磁性部は、Fe、Ni、及びCoよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1〜18のいずれか1つに記載のセンサ。
- 基体と、
前記検知素子部と電気的に接続された制御素子部と、
をさらに備え、
前記基体から前記検知素子部への方向は、前記第1方向に沿い、
前記基体から前記制御素子部への方向は、前記第1方向に沿う、請求項1〜19のいずれか1つに記載のセンサ。
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