JP2019147174A - レーザ出射装置の加工点補正装置、レーザ出射装置及びレーザ加工装置 - Google Patents
レーザ出射装置の加工点補正装置、レーザ出射装置及びレーザ加工装置 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】光ファイバーケーブルの取り回しが容易であり、かつ、高い精度の加工を実現できるレーザ出射装置の加工点補正装置、レーザ出射装置及びレーザ加工装置を提供する。【解決手段】このレーザ出射装置の加工点補正装置は、レーザ発振器(11)から光ファイバーケーブル(13)を介して伝送されたレーザ光を出射ヘッド(15)から被加工物(H)に照射して被加工物(H)を加工するレーザ出射装置の加工点補正装置である。そして、出射ヘッド(15)と光ファイバーケーブル(13)との接続部(15c)における相対回転量(θ)を検出する検出部(21、23)と、検出部(21、23)の検出結果に基づいてレーザ光の照射位置を補正する補正部(25)とを備える。【選択図】図1
Description
本発明は、レーザ出射装置の加工点補正装置、レーザ出射装置及びレーザ加工装置に関する。
従来、レーザ発振器から光ファイバーケーブルを介して伝送されたレーザ光を、出射ヘッドから被加工物に照射して被加工物を加工するレーザ加工装置がある。このようなレーザ加工装置においては、一般に、出射ヘッドと光ファイバーケーブルとは互いに相対回転しないように接続され、また、光ファイバーケーブルは大きなねじれが生じないように扱われる。
特許文献1には、出射ヘッドを三次元方向に動かして被加工物を加工するレーザ加工装置において、光ファイバーケーブルと出射ヘッドとが接続部において相対回転可能にした構成が示されている。このような構成により、光ファイバーケーブルに大きなねじれが加わることが回避され、光ファイバーケーブルの取り回しが容易になる。
しかしながら、出射ヘッドと光ファイバーケーブルとを相対回転可能にした構成では、光ファイバーケーブルの出射端の光軸中心と、接続部における光ファイバーケーブルの回転中心とを、高い精度で合わせることが難しい。このため、光ファイバーケーブルが相対回転したときに、出射ヘッドに入射するレーザ光の光軸が僅かに変位し、被加工物へのレーザ光の照射位置に誤差が生じるという課題があった。レーザ光の照射位置に誤差が生じると加工精度が低下する。
本発明は、光ファイバーケーブルの取り回しが容易であり、かつ、高い精度で加工を実現できるレーザ出射装置の加工点補正装置、レーザ出射装置及びレーザ加工装置を提供することを目的とする。
本発明に係るレーザ出射装置の加工点補正装置は、
レーザ発振器から光ファイバーケーブルを介して伝送されたレーザ光を出射ヘッドから被加工物に照射して前記被加工物を加工するレーザ出射装置の加工点補正装置であって、
前記出射ヘッドと前記光ファイバーケーブルとの接続部における相対回転量を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいてレーザ光の照射位置を補正する補正部と、
を備える構成とした。
レーザ発振器から光ファイバーケーブルを介して伝送されたレーザ光を出射ヘッドから被加工物に照射して前記被加工物を加工するレーザ出射装置の加工点補正装置であって、
前記出射ヘッドと前記光ファイバーケーブルとの接続部における相対回転量を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいてレーザ光の照射位置を補正する補正部と、
を備える構成とした。
本発明に係るレーザ出射装置は、
レーザ発振器からレーザ光を伝送する光ファイバーケーブルと、
前記光ファイバーケーブルが接続され、前記光ファイバーケーブルにより伝送されたレーザ光を被加工物へ照射する出射ヘッドと、
前記出射ヘッドと前記光ファイバーケーブルとの接続部における相対回転量を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいて前記出射ヘッドから被加工物へのレーザ光の出射位置を補正する補正部と、
を備える構成とした。
レーザ発振器からレーザ光を伝送する光ファイバーケーブルと、
前記光ファイバーケーブルが接続され、前記光ファイバーケーブルにより伝送されたレーザ光を被加工物へ照射する出射ヘッドと、
前記出射ヘッドと前記光ファイバーケーブルとの接続部における相対回転量を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいて前記出射ヘッドから被加工物へのレーザ光の出射位置を補正する補正部と、
を備える構成とした。
本発明に係るレーザ加工装置は、
レーザ発振器と、
上記のレーザ出射装置と、
前記出射ヘッドと前記被加工物とを相対的に移動させる移動機構と、
を備える構成とした。
レーザ発振器と、
上記のレーザ出射装置と、
前記出射ヘッドと前記被加工物とを相対的に移動させる移動機構と、
を備える構成とした。
本発明によれば、光ファイバーケーブルの取り回しが容易であり、かつ、高い精度の加工を実現できるレーザ出射装置の加工点補正装置、レーザ出射装置及びレーザ加工装置を提供できる。
以下、本発明の各実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るレーザ加工装置を示す構成図である。
図1は、本発明の実施形態1に係るレーザ加工装置を示す構成図である。
実施形態1のレーザ加工装置1Aは、被加工物Hの切断、溶接又は穿孔等の加工を、レーザ光の照射により行う装置である。レーザ加工装置1Aは、レーザ光を出力するレーザ発振器11、光ファイバーケーブル13、出射ヘッド15、ロボット17、被加工物Hを保持するステージ19、エンコーダ21、計数部23、補正量演算部25及びロボット制御部29を備える。
このうち、エンコーダ21及び計数部23が、本発明に係る検出部の一例に相当する。また、補正量演算部25が、本発明に係る補正部の一例に相当する。また、エンコーダ21、計数部23及び補正量演算部25が、本発明に係るレーザ出射装置の加工点補正装置の一例に相当する。また、エンコーダ21、計数部23、補正量演算部25、光ファイバーケーブル13及び出射ヘッド15が、変発明に係るレーザ出射装置の一例に相当する。また、ロボット17が、本発明に係る移動機構及びヘッド移動機構の一例に相当する。
光ファイバーケーブル13は、レーザ発振器11から出射ヘッド15へレーザ光を伝送する。
出射ヘッド15は、光学系15bが設けられる本体部15aと、光ファイバーケーブル13の一端が接続される接続部15cとを備える。接続部15cは、光ファイバーケーブル13をほぼ出射端の光軸を中心に回転自在に接続する。ただし、光ファイバーケーブル13の回転中心と、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸とには公差等により僅かな誤差が含まれる。この誤差により、接続部15cで光ファイバーケーブル13が回転すると、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸が僅かに変位する。上記の光学系15bは、特に制限されないが、レーザ光のビームプロファイルを成形しレーザ光の経路を決定する、種々の光学素子を含む。光学素子には、各種のレンズ、ミラー、偏光子、回折格子、波長板等が含まれていてもよい。
ロボット17は、複数のサーボモータの駆動により出射ヘッド15を動かして、出射ヘッド15の位置及び角度を制御する。ロボット17は、複数のサーボモータの駆動指令に基づいて動作する。
エンコーダ21は、出射ヘッド15に取り付けられ、光ファイバーケーブル13の回転量及び回転方向を示す信号を出力する。
計数部23は、エンコーダ21の信号を計数し、検出結果として、出射ヘッド15と光ファイバーケーブル13との相対回転量θを求める。相対回転量θの情報は、即時に補正量演算部25に出力される。
補正量演算部25は、光ファイバーケーブル13の相対回転量θと、出射ヘッド15から出射されるレーザビームの光軸の変化量との関係を表わしたデータテーブル又は関数データを記憶した記憶部を備える。補正量演算部25は、このデータテーブル又は関数データを用いて、入力された相対回転量θからレーザビームの光軸の変化量を計算し、この変化量を相殺する出射ヘッド15の位置の補正量(Δx、Δy)を即時に求める。そして、補正量演算部25は、このデータをロボット制御部29へ出力する。補正量(Δx、Δy)は、例えば、予め出射ヘッド15の本体部15aに予め設定された光軸に垂直な二方向の変位量を表わす。
上記のデータテーブル又は関数データは、レーザ加工装置1Aの調整段階で、調整員が、光ファイバーケーブル13を回転させながらレーザビームの光軸位置を計測し、回転角度と計測された光軸位置とを対応させることで作成し、記憶部に格納しておけばよい。あるいは、このような処理を、コンピュータが自動的に行ってもよい。すなわち、光ファイバーケーブル13と出射ヘッド15とを相対的に回転させる駆動部と、出射ヘッド15から出射されるレーザビームの光軸のずれを計測する計測部と、計測部の計測結果と計数部23の検出結果を入力するコンピュータを設ける。そして、コンピュータが、計測部が計測した光軸のずれと、計数部23が検出した相対回転量θとを対応づけて、上記のデータテーブル又は関数データを作成し、補正量演算部25の記憶部に記憶させればよい。
ロボット制御部29は、CPU(Central Processing Unit)と、CPUが実行する制御プログラム及び制御データが記憶された記憶部と、ロボット17のサーボモータに駆動指令を出力するインタフェースと、を備えたコンピュータである。ロボット制御部29の記憶部には、予め出射ヘッド15の加工時の移動パターンを表わした制御データが記憶される。さらに、ロボット制御部29は、補正量演算部25から出射ヘッド15の補正量(Δx、Δy)のデータが入力される。ロボット制御部29は、出射ヘッド15の移動パターンを示す制御データと補正量(Δx、Δy)のデータとに基づいて、ロボット17の複数のサーボモータに駆動指令を出力する。
<加工処理>
レーザ加工装置1Aでは、ステージ19に被加工物Hが保持され、レーザ発振器11からレーザ光が出射されて加工処理が開始される。加工処理中、ロボット制御部29は、制御データの移動パターンが示す位置よりも補正量(Δx、Δy)だけ平行移動した位置に出射ヘッド15が移動するように各サーボモータに駆動指令を出力する。これにより、所定の加工パターンに対応するように出射ヘッド15と被加工物Hとの相対位置が変化し、かつ、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸にずれがあるときに、このずれを相殺するように、制御データの移動パターンが示す位置から僅かにずれた位置へ出射ヘッド15が移動される。このような出射ヘッド15の移動により、レーザ光の照射位置から、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸のずれによる誤差が除去される。
レーザ加工装置1Aでは、ステージ19に被加工物Hが保持され、レーザ発振器11からレーザ光が出射されて加工処理が開始される。加工処理中、ロボット制御部29は、制御データの移動パターンが示す位置よりも補正量(Δx、Δy)だけ平行移動した位置に出射ヘッド15が移動するように各サーボモータに駆動指令を出力する。これにより、所定の加工パターンに対応するように出射ヘッド15と被加工物Hとの相対位置が変化し、かつ、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸にずれがあるときに、このずれを相殺するように、制御データの移動パターンが示す位置から僅かにずれた位置へ出射ヘッド15が移動される。このような出射ヘッド15の移動により、レーザ光の照射位置から、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸のずれによる誤差が除去される。
加工処理中、出射ヘッド15の移動に伴って光ファイバーケーブル13の張りが変化し、出射ヘッド15の接続部15cにおいて光ファイバーケーブル13が回転する場合がある。光ファイバーケーブル13が回転すると、出射ヘッド15に入射されるレーサ光の光軸が変位する。一方、光ファイバーケーブル13が回転すると、即時に、この回転がエンコーダ21及び計数部23によって検出され、相対回転量θのデータに反映される。また、補正量演算部25が、即時に、相対回転量θに応じた補正量(Δx、Δy)を演算し、このデータをロボット制御部29に出力する。ロボット制御部29は、上述したように、常時、補正量(Δx、Δy)が反映されるようにロボット17を駆動している。これらにより、光ファイバーケーブル13が回転した場合でも、即時に、レーザ光の照射位置から、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸のずれによる誤差が除去される。
レーザ加工装置1Aでは、上記のようなロボット17の制御が、加工処理中を通して行われ、これにより予め設定された照射位置に高い精度でレーザ光が照射されて、被加工物Hを高い精度で加工することができる。
以上のように、実施形態1のレーザ加工装置1Aによれば、光ファイバーケーブル13と出射ヘッド15とが相対的に回転自在に接続されている。したがって、光ファイバーケーブル13がねじられて回転方向の張力が加わったときに、光ファイバーケーブル13が回転してこの張力を緩和することができ、光ファイバーケーブル13の取り回しが容易になる。また、本実施形態1のレーザ加工装置1Aによれば、エンコーダ21及び計数部23が、光ファイバーケーブル13と出射ヘッド15との相対回転量θを検出する。さらに、補正量演算部25が、相対回転量θに基づいてロボット制御部29に出射ヘッド15の移動量を修正して、レーザ光の照射位置を補正する。これらによって、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸が、光ファイバーケーブル13の回転中心から偏心していても、この偏心によるレーザ光の照射位置の誤差を抑制し、被加工物Hを高い精度で加工することができる。
また、実施形態1のレーザ加工装置1Aによれば、補正量演算部25は、ロボット制御部29を介して出射ヘッド15の移動量を修正することで、レーザ光の照射位置を補正する。このような構成によれば、ロボット17を、加工位置を移動させる用途と、レーザ光の照射位置を補正するために出射ヘッド15を僅かに変位させる用途とに、兼用できるので、その分、製品コストの低減を図れる。
(実施形態2)
図2は、本発明の実施形態2に係るレーザ加工装置を示す構成図である。実施形態2において、実施形態1と同様の構成要素については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図2は、本発明の実施形態2に係るレーザ加工装置を示す構成図である。実施形態2において、実施形態1と同様の構成要素については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
実施形態2のレーザ加工装置1Bは、レーザ光を照射して被加工物Hの切断、溶接又は穿孔などの加工を行う装置である。レーザ加工装置1Bは、レーザ発振器11、光ファイバーケーブル13、出射ヘッド15、被加工物Hを保持するステージ19B、エンコーダ21、計数部23、補正量演算部25及びステージ制御部29Bを備える。
実施形態2では、出射ヘッド15は三軸方向に平行移動可能な構成としてもよいし、固定とされても良い。
ステージ19Bは、複数のサーボモータを備え、出射ヘッド15と被加工物Hとを相対的に水平方向に移動させることができる。
実施形態2のレーザ加工装置1Bは、出射ヘッド15の三軸方向の平行移動と、ステージ19Bの水平方向の移動とを併用して、加工パターンに合わせて被加工物Hと出射ヘッド15との相対位置を変化させるように構成してもよい。この場合、出射ヘッド15を移動させる構成とステージ19Bが、本発明に係る移動機構の一例に相当する。また、実施形態2のレーザ加工装置1Bは、出射ヘッド15又はステージ19Bの一方の移動のみにより、加工パターンに合わせて被加工物Hと出射ヘッド15との相対位置を変化させるように構成してもよい。この場合、出射ヘッド15を移動させる構成又はステージ19Bの一方が、本発明に係る移動機構の一例に相当する。
ステージ制御部29Bは、CPUと、CPUが実行する制御ブログラム及び制御データが記憶された記憶部と、ステージ19Bのサーボモータに駆動指令を出力するインタフェースと、を備えたコンピュータである。加工パターンに合わせてステージ19Bを移動させる構成の場合、ステージ制御部29Bには、ステージ19Bの移動パターンを示す制御データが予め記憶される。加えて、ステージ制御部29Bは、補正量演算部25からレーザビームの光軸の変化量を相殺する補正量(Δx、Δy)のデータを入力する。ステージ制御部29Bは、ステージ19Bの移動パターンを示す制御データと補正量(Δx、Δy)のデータとに基づいて、ステージ19Bの複数のサーボモータに駆動指令を出力する。
<加工処理>
レーザ加工装置1Bでは、ステージ19Bに被加工物Hが保持され、レーザ発振器11からレーザ光が出射されて加工処理が開始される。加工処理中、ステージ制御部29Bは、制御データの移動パターンが示す位置よりも補正量(Δx、Δy)だけ異なる位置に被加工物Hが移動するようにステージ19Bを駆動する。
レーザ加工装置1Bでは、ステージ19Bに被加工物Hが保持され、レーザ発振器11からレーザ光が出射されて加工処理が開始される。加工処理中、ステージ制御部29Bは、制御データの移動パターンが示す位置よりも補正量(Δx、Δy)だけ異なる位置に被加工物Hが移動するようにステージ19Bを駆動する。
加工処理中、接続部15cにおいて出射ヘッド15と光ファイバーケーブル13との相対回転量θが変化すると、出射ヘッド15に入射されるレーザ光の光軸が変位する。一方、出射ヘッド15と光ファイバーケーブル13との相対回転量θが変化すると、即時に、エンコーダ21及び計数部23がこの変化を検出し、補正量演算部25が補正量(Δx、Δy)のデータを更新する。そして、更新された補正量(Δx、Δy)のデータを反映してステージ19Bが駆動される。これにより、接続部15cにおいて光ファイバーケーブル13が回転した場合でも、即時に、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸のずれによる誤差が除去され、高い精度で予め設定された位置にレーザ光が照射される。
出射ヘッド15の移動のみで加工パターンに合わせて被加工物Hと出射ヘッド15との相対位置を変化させる構成の場合、ステージ制御部29Bは、入力される補正量(Δx、Δy)のデータに応じて被加工物Hが変位するようにステージ19Bを駆動する。このような構成により、接続部15cにおいて光ファイバーケーブル13が回転した場合でも、即時に、光ファイバーケーブル13の出射端の光軸のずれによる誤差が除去され、高い精度で予め設定された位置にレーザ光が照射される。
以上のように、実施形態2のレーザ加工装置1Bによれば、光ファイバーケーブル13が出射ヘッド15に対して回転自在に接続されているので、光ファイバーケーブル13の取り回しが容易になる。また、光ファイバーケーブル13が接続部15cで回転することで、出射ヘッド15に入射されるレーザ光の光軸が変位しても、ステージ19Bの駆動により、光軸の変位に起因するレーザ光の照射位置の誤差を除去できる。これにより被加工物Hを高い精度で加工することができる。
また、実施形態2のレーザ加工装置1Bによれば、補正量演算部25は、ステージ制御部29Bを介して被加工物Hの水平方向の移動により、レーザ光の照射位置を補正する。したがって、レーザ光の照射位置を補正する処理を単純化でき、この処理の負荷を低減できる。
(実施形態3)
図3は、本発明の実施形態3に係るレーザ加工装置を示す構成図である。実施形態3において、実施形態1と同様の構成要素については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図3は、本発明の実施形態3に係るレーザ加工装置を示す構成図である。実施形態3において、実施形態1と同様の構成要素については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
実施形態3のレーザ加工装置1Cは、レーザ光を照射して被加工物Hの切断、溶接又は穿孔などの加工を行う装置である。レーザ加工装置1Cは、レーザ発振器11、光ファイバーケーブル13、出射ヘッド15C、被加工物Hを保持するステージ19、エンコーダ21、計数部23及び補正量演算部25を備える。
実施形態3のレーザ加工装置1Cは、出射ヘッド15C、ステージ19、又はこれら両方が移動可能に設けられ、何れかの移動により所定の加工パターンに合わせて被加工物Hと出射ヘッド15Cとの相対位置を変化させるように構成される。出射ヘッド15Cを移動させる構成、ステージ19を移動させる構成、又はこれら両方が、本発明に係る移動機構の一例に相当する。
出射ヘッド15Cは、その光学系15bに、光軸を光軸と交差する2軸方向に変位可能な光軸調整部15eが含まれる。光軸調整部15eは、光学素子(例えばミラー又はレンズ)を変位して光軸の位置をずらす光学部と、光学素子を変位させる駆動部とを有する。光軸調整部15eは、補正量演算部25から補正量(Δx、Δy)のデータを入力し、このデータに応じて駆動部を駆動させて光軸の位置を変化させる。
<加工処理>
レーザ加工装置1Cでは、ステージ19に被加工物Hが保持され、レーザ発振器11からレーザ光が出射されて加工処理が開始される。加工処理中、予め設定された加工パターンに合わせて出射ヘッド15Cと被加工物Hとの相対位置が変化され、被加工物Hにレーザ光が照射されていく。
レーザ加工装置1Cでは、ステージ19に被加工物Hが保持され、レーザ発振器11からレーザ光が出射されて加工処理が開始される。加工処理中、予め設定された加工パターンに合わせて出射ヘッド15Cと被加工物Hとの相対位置が変化され、被加工物Hにレーザ光が照射されていく。
加工処理中、接続部15cにおいて出射ヘッド15Cと光ファイバーケーブル13との相対回転量θが変化すると、出射ヘッド15Cに入射されるレーザ光の光軸が変位する。一方、出射ヘッド15Cと光ファイバーケーブル13との相対回転量θが変化すると、即時に、エンコーダ21及び計数部23がこの変化を検出し、補正量演算部25が補正量(Δx、Δy)のデータを更新する。そして、更新後の補正量(Δx、Δy)のデータに基づいて、光軸調整部15eが駆動されて光軸のずれを補正する。これにより、高い精度で予め設定された位置にレーザ光が照射される。
以上のように、実施形態3のレーザ加工装置1Cによれば、光ファイバーケーブル13が出射ヘッド15Cに対して回転自在に接続されているので、光ファイバーケーブル13の取り回しが容易になる。また、光ファイバーケーブル13が接続部15cで回転することで、出射ヘッド15Cに入射されるレーザ光の光軸が変位しても、光軸調整部15eの駆動により、光軸の変位に起因するレーザ光の照射位置の誤差を除去できる。これにより、被加工物Hを高い精度で加工することができる。
また、実施形態3のレーザ加工装置1Cによれば、補正量演算部25は、出射ヘッド15Cの光軸調整部15eの光学系を変位させることでレーザ光の照射位置を補正する。したがって、レーザ光の照射位置を補正する処理と、加工パターンに合わせて被加工物Hと出射ヘッド15Cとの相対位置を変化させる駆動処理とを、互いに独立した制御により実行できる。これにより総合的に制御処理の単純化を図ることができる。
以上、本発明の各実施形態について説明した。しかし、本発明は上記の実施形態に限られない。例えば、上記実施形態では、光ファイバーケーブル13が、出射ヘッド15に回転自在に接続される構成を示した。しかし、本発明に係るレーザ出射装置においては、出射ヘッドに回転自在に支持される接続部を設け、この接続部に光ファイバーケーブルが固定的に接続されることで、出射ヘッドと光ファイバーケーブルとが相対的に回転自在となる構成を採用してもよい。その他、光ファイバーケーブルの相対回転量を検出する構成、相対回転量に基づく出射ヘッド又は被加工物を移動させる方向及び移動量の決定方法、レーザ加工装置の加工内容など、実施の形態で示した細部は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
1A、1B、1C レーザ加工装置
11 レーザ発振器
13 光ファイバーケーブル
15 出射ヘッド
15a 本体部
15b 光学系
15c 接続部
15e 光軸調整部
17 ロボット
19、19B ステージ
21 エンコーダ
23 計数部
25 補正量演算部
29 ロボット制御部
29B ステージ制御部
H 被加工物
11 レーザ発振器
13 光ファイバーケーブル
15 出射ヘッド
15a 本体部
15b 光学系
15c 接続部
15e 光軸調整部
17 ロボット
19、19B ステージ
21 エンコーダ
23 計数部
25 補正量演算部
29 ロボット制御部
29B ステージ制御部
H 被加工物
Claims (6)
- レーザ発振器から光ファイバーケーブルを介して伝送されたレーザ光を出射ヘッドから被加工物に照射して前記被加工物を加工するレーザ出射装置の加工点補正装置であって、
前記出射ヘッドと前記光ファイバーケーブルとの接続部における相対回転量を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいてレーザ光の照射位置を補正する補正部と、
を備えるレーザ出射装置の加工点補正装置。 - 前記補正部は、前記被加工物を移動させる移動機構の移動量を修正してレーザ光の照射位置を補正する、
請求項1記載のレーザ出射装置の加工点補正装置。 - 前記補正部は、前記出射ヘッドを移動させるヘッド移動機構の移動量を修正してレーザ光の照射位置を補正する、
請求項1記載のレーザ出射装置の加工点補正装置。 - 前記補正部は、前記出射ヘッド内の光学系を変位させてレーザ光の照射位置を補正する、
請求項1記載のレーザ出射装置の加工点補正装置。 - レーザ発振器からレーザ光を伝送する光ファイバーケーブルと、
前記光ファイバーケーブルが接続され、前記光ファイバーケーブルにより伝送されたレーザ光を被加工物へ照射する出射ヘッドと、
前記出射ヘッドと前記光ファイバーケーブルとの接続部における相対回転量を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいて前記出射ヘッドから被加工物へのレーザ光の照射位置を補正する補正部と、
を備えるレーザ出射装置。 - レーザ発振器と、
請求項5記載のレーザ出射装置と、
前記出射ヘッドと前記被加工物とを相対的に移動させる移動機構と、
を備えるレーザ加工装置。
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JP (1) | JP2019147174A (ja) |
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2018
- 2018-02-28 JP JP2018034062A patent/JP2019147174A/ja active Pending
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