JP2019138718A - センサ用電極材、センサ用電極、センサ、及びバイオセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
ビーム)、スパッタ等により蒸着する方法、金属触媒微粒子の懸濁液を基材上に塗布する方法等が挙げられる。
<カーボンナノチューブ集合体の製造>
(実施例1)
シリコン基材(バルカー・エフティ社製、厚み700μm)上に、スパッタ装置(芝浦メカトロニクス社製、商品名「CFS−4ES」)により、4000ng/cm2のAl2O3薄膜を形成した(到達真空度:8.0×10−4Pa、スパッタガス:Ar、ガス圧:0.50Pa)。このAl2O3薄膜上に、さらに上記スパッタ装置にて、260ng/cm2のFe薄膜を触媒層として担持させた(スパッタガス:Ar、ガス圧:0.75Pa)。
触媒層のFeを微粒子化する際の時間を30分間としたこと以外は、実施例1と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは700μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は567個/μm2であった。
担持させた触媒の量を550ng/cm2とし、触媒層のFeを微粒子化する際の時間を30分間としたこと以外は、実施例1と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは700μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は583個/μm2であった。
担持させた触媒の量を550ng/cm2とし、触媒層のFeを微粒子化する際の温度を765℃、時間を30分間とし、さらに、カーボンナノチューブの成長に用いるガスを、ヘリウム/水素/エチレン/水(体積比率で69.9/22/8/0.1)の混合ガスとしたこと以外は、実施例1と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは1000μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は917個/μm2であった。
担持させた触媒の量を550ng/cm2とし、触媒層のFeの微粒子化を行わず、カーボンナノチューブの成長に用いるガスを、ヘリウム/水素/エチレン/水(体積比率で48.92/43/8/0.08)の混合ガスとしたこと以外は、実施例1と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは1000μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は1050個/μm2であった。
カーボンナノチューブの成長に用いるガスを、ヘリウム/水素/エチレン/水(体積比率で48.97/43/8/0.03)の混合ガスとしたこと以外は、実施例5と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは1000μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は1050個/μm2であった。
カーボンナノチューブの成長に用いるガスを、ヘリウム/水素/エチレン/水(体積比率で59.9/32/8/0.1)の混合ガスとしたこと以外は、実施例5と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは1000μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は1050個/μm2であった。
カーボンナノチューブの成長に用いるガスを、ヘリウム/水素/エチレン/水(体積比率で15.9/65/19/0.1)の混合ガスとしたこと以外は、実施例5と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは1000μmであった。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは1200μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は1050個/μm2であった。
担持させたFe触媒の量を1100ng/cm2とし、触媒層のFeを微粒子化する際の時間を30分間とし、さらに、カーボンナノチューブの成長に用いるガスを、ヘリウム/水素/エチレン/水(26.9/65/0.1/8)の混合ガスとしたこと以外は、実施例1と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは700μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は608個/μm2であった。
担持させたFe触媒の量を1650ng/cm2としたこと以外は、実施例9と同様にして実施例1と同様にしてカーボンナノチューブ集合体を得た。得られたカーボンナノチューブ集合体の厚さは700μmであった。なお、Feの微粒子化後のFe微粒子の密度は608個/μm2であった。
比較例1のカーボンナノチューブ集合体として、浜松カーボニクス社製の多層カーボンナノチューブ・アレイ(型番:「NTA05」)を準備した。このカーボンナノチューブ集合体は、カーボンナノチューブが略垂直方向に延伸するシート状で提供されるものである。
まず、査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、カーボンナノチューブ集合体を面方向に垂直に切断した断面を撮像し、縦4μm×横6μmの領域の2万倍の断面画像を取得した。得られた断面画像に対して、WinROOF2015(三谷商事株式会社製)の針状分離計測機能を用いて、カーボンナノチューブを針状粒子とみなして解析を行い、針状粒子の長さ及び配向角度を算出した。この計測機能では、交錯した針状粒子を分離して計測することができる。算出は、以下の手順で行った。
1.バックグラウンド除去 物体サイズ0.248μm
2.メディアンフィルタにより処理 フィルタサイズ3*3
3.ルックアップテーブル変換(ヒストグラム平均輝度補正) 補正基準値:90
4.単一しきい値による2値化 しきい値:90、透明度:53
5.モルフォロジー処理(クロージング処理) 回数:1
6.針状分離計測 計測最小長さ:0.49630μm、最大計測幅:0.4963μm
カーボンナノチューブ集合体を面方向に垂直な方向に切断した断面をSEMにより撮像し、20000倍の画像を取得した。画像内の各カーボンナノチューブの外径を測定し、平均を求めた。画像は、シリコン基材側の主面から2μm付近、及びシリコン基材の反対側の主面から2μm付近のそれぞれにおいて取得し、両者の平均を求めた。
上述の外径の測定と同様に、SEM画像に基づき層数を確認した。外径と同様に、シリコン基材側の主面から2μm付近、及びシリコン基材の反対側の主面から2μm付近のそれぞれにおいて層数を求め、両者の平均を求めた。
<電極の作製>
(実施例11)
バイオデバイステクノロジー社製の丸形カーボン電極を用いて評価を行った。当該カーボン電極は、3電極系印刷電極(作用極:カーボン、参照極:Ag/AgCl、作用極面積:2.64mm2)である。この丸形カーボン電極の作用極に、上記実施例4のシート状のカーボンナノチューブ集合体を、カーボンペースト(イーエムジャパン株式会社製「G7711」)によって貼り付けた。カーボンペーストの溶剤を乾燥させ、電極を得た。
実施例11においてシート状のカーボンナノチューブ集合体を貼り付けなかった電極を比較例2とした。
実施例11及び比較例2の各電極において、1mMでフェリシアン化カリウムが含まれる電解液PBS(リン酸緩衝液)溶液40uLを、対極、作用極、及び参照極が覆われるように滴下した。続いて、掃引速度0.1V/sで、CV(サイクリックボルタモグラム)を測定した。その際、フェリシアン化カリウムの酸化・還元時の電子の授受(酸化還元対:[Fe(CN)6]3−/[Fe(CN)6]4−)で電流値として検出することができる。得られたCVより還元ピークの電流値(μA)を求めた。さらに、作用電極の面積当たりの電流値を求め、その面積当たり電流値については、比較例2を1とした場合の値も求めた。結果を表2に示す。
<電極の作製>
(実施例12)
リンカーとしてピレン誘導体(1−ピレン酪酸N−ヒドロキシスクシンイミドエステル)を、DMF(N,N−ジメチルホルムアミド)に溶かし、1mMに調整した。この溶液を、実施例9のカーボンナノチューブ集合体上に滴下し、常温にて1時間放置した。その後、カーボンナノチューブ集合体をアセトン溶媒で洗浄し、乾燥させ、ピレン誘導体被覆カーボンナノチューブシートを作製した。得られたシートを、バイオデバイステクノロジー社製の丸形カーボン電極(3電極系印刷電極、作用極:カーボン、参照極:Ag/AgCl、作用極面積:2.64mm2)の作用極の上に、カーボンペースト(イーエムジャパン株式会社製「G7711」)によって貼り付けた。カーボンペーストの溶剤を乾燥させ、ピレン誘導体被覆電極を得た。
実施例12で用いた調製したピレン誘導体のDMF溶液を、丸形カーボン電極に直接滴下したこと以外は、実施例13と同様にしてピレン誘導体被覆電極を得た。そして、実施例13と同様に、ピレンのエステル部をAuマーカー付抗体で置換した。
実施例12及び比較例3で得られた、Auマーカー付抗体付電極について、0.1M塩酸中で掃引速度0.1V/sでCVを測定した。測定に際しては、実施例13及び比較例3それぞれについて、Au起因の電流値を確認した。具体的には、Auナノ粒子‐抗体複合体の溶液を滴下していない実施例13の電極でのCVと、実施例13の電極でのCVとをそれぞれ測定し、前者でAu起因の0.2〜0.3V付近のピークがないことを確認した。実施例13の電流ピーク値の波形にてベースラインを引き、ピーク値との差分を検知電流とした。比較例3においても同様に、検知電流を求めた。結果を表3に示す。なお、表3中のいずれの検知電流値も1サイクル目の電流値である。
<電極の作製>
(実施例13)
Siウェハの表面をスパッタリングによりAuで被覆し、2cm×2cmの導電性基板を得た。そして、Au上に、実施例3で製造したシート状のカーボンナノチューブ集合体を、カーボンペースト(イーエムジャパン株式会社製「G7711」)によって貼り付け、電極を得た。
実施例13において、シート状のカーボンナノチューブ集合体が貼り付けられていない電極、すなわちSiウェハの表面をスパッタリングによりAuで被覆した状態の電極を準備した。
実施例13で用いた導電性基板の上に、グラッシーカーボンを被覆した電極を準備した。
実施例13及び比較例4、5で得られた各電極を作用極Wとし、対極CとしてPt、参照極RとしてAg/AgClを用いたセンサ50を、図6のような構成で作製し、CVを測定した。同構成においては、Oリングによって、作用極の電解液への露出面積を規定している(直径5mm、面積0.2cm2)。作用極W、対極C、及び参照極Rを、電解質溶液(2mMフェリシアン化カリウム、200mM硫酸ナトリウム)に浸し、掃引速度0.1V/sでCV測定を行った。実施例13及び比較例4、5の還元ピークの電流値を表4に示す。
11 一方の面
12 他方の面
21 リンカー
22 生体関連物質
23 検出対象物
30 カーボンナノチューブ集合体の製造装置
31 反応容器
32 電気管状炉
110 低配向部
120 高配向部
100 カーボンナノチューブ集合体
C 対極
R 参照極
S 成長用基材
W 作用極
Claims (10)
- 複数のカーボンナノチューブからシート状に構成されたカーボンナノチューブ集合体を備えた、センサ用電極材であって、
各カーボンナノチューブの長手は、前記カーボンナノチューブ集合体の一方の面から他方の面に向かって延伸し、
前記カーボンナノチューブ集合体は、前記カーボンナノチューブの低配向部を有する、センサ用電極材。 - 前記低配向部では、前記カーボンナノチューブの配向角度が分布を有し、且つ前記カーボンナノチューブの配向度が75%以下であり、
前記配向度は、前記カーボンナノチューブの、配向角度が前記一方の面又は前記他方の面に対して70〜110°である部分の長さの合計の、前記カーボンナノチューブの長さの合計100%に対する割合である、請求項1に記載のセンサ用電極材。 - 前記低配向部は、前記一方の面から厚さ方向に最大20μmまでの領域に少なくとも、形成されている、請求項1又は2に記載のセンサ用電極材。
- 前記一方の面は、前記センサにおける電極用基材に付着させる側の面である、請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサ用電極材。
- 前記シートの厚みが10〜2000μmである、請求項1から4のいずれか一項に記載のセンサ用電極材。
- 前記カーボンナノチューブは、多層カーボンナノチューブである、請求項1から5のいずれか一項に記載のセンサ用電極材。
- 前記カーボンナノチューブ集合体は、平面状の基材上に配置された平均粒径1μm以下の触媒微粒子の上に成長させた複数のカーボンナノチューブを前記基材から剥離してなる、請求項1から6のいずれか一項に記載のセンサ用電極材。
- 電極用基材に、請求項1から7のいずれか一項に記載のセンサ用電極材を被着させてなる、センサ用電極。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載のセンサ用電極材を備えた、センサ。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載のセンサ用電極材を備えた、バイオセンサ。
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