JP2019133995A - Sample holder - Google Patents

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Abstract

To make it possible to improve the durability of a sample holder 10.SOLUTION: A sample holder 10 comprises: a plate-like ceramic body 1 that has a sample holding surface 11 on one principal surface and heat elements 2 in the inside or on the other principal surface; a metal plate 3 that is located below the ceramic body 1 and separated from the ceramic body 1 and has a vent hole 31 penetrating from a top face to an under surface; a fixing member 4 that fixes the ceramic body 1 and the metal plate 3 to position at which the other principal surface of the ceramic body 1 and the top face of the metal plate 3 face each other; and a temperature detection device 5 that is provided on the metal plate 3. The temperature detection device 5 is provided overlapping part of the vent hole 31 when seen from a direction perpendicular to the sample holding surface 11.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本開示は、半導体集積回路の製造工程または液晶表示装置の製造工程において、半導体ウエハ等の試料を保持する際に用いられる試料保持具に関するものである。   The present disclosure relates to a sample holder used when holding a sample such as a semiconductor wafer in a manufacturing process of a semiconductor integrated circuit or a manufacturing process of a liquid crystal display device.

試料保持具として、例えば、特許文献１に記載のヒータユニットが知られている。特許文献１に開示されたヒータユニットは、ヒータ基板と、ヒータ基板の輻射熱を反射する容器と、ヒータ基板と容器とを装置架台に固定する支持体とを備えている。   As a sample holder, for example, a heater unit described in Patent Document 1 is known. The heater unit disclosed in Patent Document 1 includes a heater substrate, a container that reflects the radiant heat of the heater substrate, and a support that fixes the heater substrate and the container to the apparatus base.

特開２００５−２３５６７２号公報JP 2005-235672 A

このようなヒータユニットにおいて、試料保持面を冷却する目的で、容器に通気孔を設けることが考えられる。しかしながら、容器に通気孔を設けると、ヒータ基板からの輻射熱が、容器の通気孔を通って容器の下方に直接伝わってしまうおそれがおった。そのため、容器の下方に位置する耐熱性の低い部品が熱変形により破損してしまうおそれがあった。その結果、試料保持具の耐久性を高めることが困難であった。   In such a heater unit, it is conceivable to provide a vent hole in the container for the purpose of cooling the sample holding surface. However, if the container is provided with a vent hole, the radiant heat from the heater substrate may be directly transmitted to the lower part of the container through the vent hole of the container. For this reason, there is a possibility that a part having low heat resistance located below the container may be damaged due to thermal deformation. As a result, it was difficult to increase the durability of the sample holder.

本開示の試料保持具は、一方の主面が試料保持面であって内部または他方の主面に発熱抵抗体を有する板状のセラミック体と、該セラミック体より下側において前記セラミック体から離れて位置しており、上面から下面にかけて貫通する通気孔を有する金属板と、前記セラミック体および前記金属板を、前記セラミック体の他方の主面と前記金属板の上面とが向かい合う位置に固定する固定部材と、前記金属板に設けられた温度検知装置とを備えており、該温度検知装置は、前記試料保持面に垂直な方向から見たときに前記通気孔の一部に重なって設けられていることを特徴とする。   The sample holder of the present disclosure includes a plate-like ceramic body having one main surface as a sample holding surface and having a heating resistor inside or on the other main surface, and the ceramic body below the ceramic body. The metal plate having a vent hole penetrating from the upper surface to the lower surface, and the ceramic body and the metal plate are fixed at a position where the other main surface of the ceramic body and the upper surface of the metal plate face each other. A fixing member and a temperature detection device provided on the metal plate, and the temperature detection device is provided so as to overlap a part of the vent hole when viewed from a direction perpendicular to the sample holding surface. It is characterized by.

本開示の試料保持具によれば、金属板に温度検知装置が設けられている。これにより、例えば発熱抵抗体の過昇温等の異常が生じた場合に、早期に異常を検知することができる。その結果、試料保持具の耐久性を高めることができる。   According to the sample holder of the present disclosure, the temperature detection device is provided on the metal plate. Thereby, for example, when an abnormality such as overheating of the heating resistor occurs, the abnormality can be detected at an early stage. As a result, the durability of the sample holder can be increased.

さらに、温度検知装置は、試料保持面に垂直な方向から見たときに通気孔の一部に重なって設けられている。これにより、金属板が通気孔を有する場合であっても、試料保持具の耐久性を高めることができる。   Furthermore, the temperature detection device is provided so as to overlap a part of the vent hole when viewed from a direction perpendicular to the sample holding surface. Thereby, even if it is a case where a metal plate has a vent hole, durability of a sample holder can be improved.

試料保持具の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a sample holder. 図１に示す試料保持具の通気孔近傍を金属板の上方向から見た平面図である。It is the top view which looked at the ventilation hole vicinity of the sample holder shown in FIG. 1 from the upper direction of the metal plate. 試料保持具の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of a sample holder. 図３に示す試料保持具の通気孔近傍を金属板の上方向から見た平面図である。It is the top view which looked at the vent hole vicinity of the sample holder shown in FIG. 3 from the upper direction of the metal plate. 試料保持具の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of a sample holder. 図５に示す試料保持具の通気孔近傍を金属板の上方向から見た平面図である。It is the top view which looked at the vent hole vicinity of the sample holder shown in FIG. 5 from the upper direction of the metal plate.

試料保持具１０について詳細に説明する。   The sample holder 10 will be described in detail.

図１は、試料保持具１０の一例を示す断面図である。図１に示すように、この試料保持具１０は、セラミック体１と、セラミック体１の内部または他方の主面に設けられた発熱抵抗体２と、セラミック体１から離れて位置する金属板３と、セラミック体１と金属板３とを固定する固定部材４と、金属板３に設けられた温度検知装置５とを備えている。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a sample holder 10. As shown in FIG. 1, this sample holder 10 includes a ceramic body 1, a heating resistor 2 provided inside or on the other main surface of the ceramic body 1, and a metal plate 3 positioned away from the ceramic body 1. A fixing member 4 for fixing the ceramic body 1 and the metal plate 3, and a temperature detection device 5 provided on the metal plate 3.

セラミック体１は、試料を保持するための部材である。セラミック体１の形状は、例えば主面が円形状の円板状である。セラミック体１は、一方の主面が試料保持面１１である。試料保持具１０は、例えば、窒化アルミニウムまたはアルミナ等のセラミック材料からなる。セラミック体１は、例えば複数のグリーンシートを積層して、これを窒素雰囲気中で焼成することによって得ることができる。セラミック体１の内部には、必要に応じて静電吸着用電極が設けられていてもよい。セラミック体１の寸法は、例えば形状が円板状のときは、主面の直径を２００〜５００ｍｍに、厚みを５〜２５ｍｍにすることができる。   The ceramic body 1 is a member for holding a sample. The shape of the ceramic body 1 is, for example, a disk shape having a circular main surface. One main surface of the ceramic body 1 is a sample holding surface 11. The sample holder 10 is made of a ceramic material such as aluminum nitride or alumina, for example. The ceramic body 1 can be obtained, for example, by laminating a plurality of green sheets and firing them in a nitrogen atmosphere. Inside the ceramic body 1, an electrode for electrostatic attraction may be provided as necessary. For example, when the shape of the ceramic body 1 is a disk shape, the diameter of the main surface can be 200 to 500 mm and the thickness can be 5 to 25 mm.

発熱抵抗体２は、電流が流れることによって発熱する部材である。発熱抵抗体２は、試料保持面１１に保持された試料を加熱するために設けられている。発熱抵抗体２は、セラミック体１の内部または他方の主面に設けられている。発熱抵抗体２は、複数の折返し部を有する線状のパターンからなる。これにより、発熱抵抗体２は、試料保持面１１を均等に加熱することができる。   The heating resistor 2 is a member that generates heat when a current flows. The heating resistor 2 is provided to heat the sample held on the sample holding surface 11. The heating resistor 2 is provided in the ceramic body 1 or on the other main surface. The heating resistor 2 is composed of a linear pattern having a plurality of folded portions. Thereby, the heating resistor 2 can uniformly heat the sample holding surface 11.

発熱抵抗体２は、例えば金、銀、パラジウムまたは白金等の金属材料からなる。発熱抵抗体２は、例えば二酸化珪素等の酸化物のガラス成分を含んでいてもよい。発熱抵抗体２の寸法は、例えば幅を１〜５ｍｍに、厚みを０．０１〜０．１ｍｍに、長さを１〜１０ｍｍにすることができる。   The heating resistor 2 is made of a metal material such as gold, silver, palladium, or platinum. The heating resistor 2 may contain a glass component of an oxide such as silicon dioxide. The dimensions of the heating resistor 2 can be, for example, a width of 1 to 5 mm, a thickness of 0.01 to 0.1 mm, and a length of 1 to 10 mm.

金属板３は、発熱抵抗体２の熱輻射を反射するための部材である。金属板３は、例えば円板状または角板状の部材である。金属板３は、上面と下面とを有している。金属板３は、セラミック体１よりも下側においてセラミック体１から離れて位置している。また、金属板３は、セラミック体１の下面に対して上面が向かい合うように設けられている。金属板３は、例えば、セラミック体１に対して平行に設けられていてもよい。金属板３を設けることにより、発熱抵抗体２からの熱輻射を反射することができる。そのため、金属板３の下方に熱が伝わるおそれを低減することができる。その結果、金属板３の下方に設けられた部品等が熱変形するおそれを低減することができる。   The metal plate 3 is a member for reflecting the heat radiation of the heating resistor 2. The metal plate 3 is a disk-shaped or square-plate-shaped member, for example. The metal plate 3 has an upper surface and a lower surface. The metal plate 3 is located away from the ceramic body 1 below the ceramic body 1. The metal plate 3 is provided so that the upper surface faces the lower surface of the ceramic body 1. For example, the metal plate 3 may be provided in parallel to the ceramic body 1. By providing the metal plate 3, heat radiation from the heating resistor 2 can be reflected. Therefore, the possibility that heat is transmitted below the metal plate 3 can be reduced. As a result, it is possible to reduce the possibility that the components and the like provided below the metal plate 3 are thermally deformed.

金属板３は、例えばアルミニウムまたは鉄等の部材からなる。金属板３の寸法は、例えば金属板３が円板状のときは、直径を２００〜６００ｍｍに、厚みを０．５〜３ｍｍにすることができる。金属板３の下面とセラミック体１の他方の主面との間隔は、例えば３〜２０ｍｍにすることができる。   The metal plate 3 is made of a member such as aluminum or iron. For example, when the metal plate 3 has a disk shape, the metal plate 3 can have a diameter of 200 to 600 mm and a thickness of 0.5 to 3 mm. The space | interval of the lower surface of the metal plate 3 and the other main surface of the ceramic body 1 can be 3-20 mm, for example.

金属板３は、上面から下面にかけて貫通する通気孔３１を有している。これにより、通気孔３１を通じてセラミック体１と金属板３の間に空気を流入することによって、試料保持具１０を効率的に冷却することができる。通気孔３１の形状は、例えば円形状であってもよい。このときに、通気孔３１の寸法は、例えば直径が２５〜７５ｍｍにすることができる。また、通気孔３１は必要に応じて金属板３に複数設けられていてもよい。この場合は、例えば複数の通気孔３１のうちの一つを空気の流入口とし、他の一つを空気の排出口
とすることができる。 The metal plate 3 has a vent hole 31 penetrating from the upper surface to the lower surface. Thereby, the sample holder 10 can be efficiently cooled by flowing air between the ceramic body 1 and the metal plate 3 through the vent hole 31. The shape of the vent hole 31 may be, for example, a circular shape. At this time, the dimension of the vent hole 31 can be, for example, 25 to 75 mm in diameter. A plurality of vent holes 31 may be provided in the metal plate 3 as necessary. In this case, for example, one of the plurality of vent holes 31 can be an air inlet and the other one can be an air outlet.

なお、ここでいう「上面」、「下面」とは、説明の便宜のために用いるものであって、発明の実施の形態を限定するものではない。例えば、本開示の試料保持具１０を、下面が上面よりも上方向に位置するように用いてもよいものとする。   The “upper surface” and “lower surface” used here are used for convenience of description, and do not limit the embodiments of the invention. For example, the sample holder 10 of the present disclosure may be used such that the lower surface is positioned above the upper surface.

固定部材４は、セラミック体１と金属板３とを固定するための部材である。固定部材４は、例えば棒状の部材である。固定部材４は、例えば、セラミック体１と金属板３との間に複数設けられている。固定部材４は、例えば金属板３の上面に対し垂直に設けられている。固定部材４は、例えばネジまたはナット等の金具４１を有しており、金具４１によって金属板３に固定されていてもよい。   The fixing member 4 is a member for fixing the ceramic body 1 and the metal plate 3. The fixing member 4 is a rod-shaped member, for example. For example, a plurality of fixing members 4 are provided between the ceramic body 1 and the metal plate 3. The fixing member 4 is provided, for example, perpendicular to the upper surface of the metal plate 3. The fixing member 4 has a metal fitting 41 such as a screw or a nut, for example, and may be fixed to the metal plate 3 by the metal fitting 41.

温度検知装置５は、試料保持具１０の温度を検知するための装置である。温度検知装置５を金属板３に設けることにより、例えば発熱抵抗体２の過昇温等の異常が生じた場合に、発熱抵抗体２で生じた熱輻射を温度検知装置５が検知することによって、早期に異常を検知することができる。温度検知装置５は、例えばバイメタルを用いた装置またはＰＴＣサーミスタ等の温度制御装置等を用いることができる。温度検知装置５は、例えば接着剤または金属部材６等によって金属板３に固定されている。   The temperature detection device 5 is a device for detecting the temperature of the sample holder 10. By providing the temperature detection device 5 on the metal plate 3, for example, when an abnormality such as an excessive temperature rise of the heating resistor 2 occurs, the temperature detection device 5 detects thermal radiation generated in the heating resistor 2. An abnormality can be detected early. As the temperature detection device 5, for example, a device using a bimetal, a temperature control device such as a PTC thermistor, or the like can be used. The temperature detection device 5 is fixed to the metal plate 3 by, for example, an adhesive or a metal member 6.

温度検知装置５の表面は、例えば金属性の膜が設けられていてもよい。これにより、温度検知装置５の表面に金属性の膜が設けられていない場合と比較して、温度検知装置５の表面における反射率を高めることができる。そのため、温度制御装置によって、発熱抵抗体２で生じた熱輻射を反射することができる。その結果、金属板３の下方に設けられた部品等が熱変形するおそれを低減することができる。   The surface of the temperature detection device 5 may be provided with a metallic film, for example. Thereby, compared with the case where the metallic film is not provided in the surface of the temperature detection apparatus 5, the reflectance in the surface of the temperature detection apparatus 5 can be raised. Therefore, the heat radiation generated in the heating resistor 2 can be reflected by the temperature control device. As a result, it is possible to reduce the possibility that the components and the like provided below the metal plate 3 are thermally deformed.

なお、金属製の膜は、温度検知装置５の表面の全面に設けられている必要はなく、一部分に設けられていてもよい。例えば、図１に示す実施形態のように、温度検知装置５が金属板３の上面に位置している場合においては、通気孔３１に対向する面以外の面に金属製の膜が設けられていればよい。また、例えば図３に示す実施形態のように、温度検知装置５が金属板３の下面に位置している場合においては、通気孔３１に対向する面に少なくとも設けられていればよい。   Note that the metal film does not need to be provided on the entire surface of the temperature detection device 5, and may be provided on a part thereof. For example, when the temperature detection device 5 is located on the upper surface of the metal plate 3 as in the embodiment shown in FIG. 1, a metal film is provided on a surface other than the surface facing the vent hole 31. Just do it. Further, for example, in the case where the temperature detection device 5 is located on the lower surface of the metal plate 3 as in the embodiment shown in FIG. 3, it is only necessary to be provided at least on the surface facing the vent hole 31.

本開示の試料保持具１０によれば、図１および図２に示すように、温度検知装置５は、試料保持面１１に垂直な方向から見たときに通気孔３１の一部に重って設けられている。これにより、温度検知装置５が発熱抵抗体２からの輻射熱を反射または吸収することができる。そのため、金属板３の通気孔３１を通って金属板３の下方に伝わる輻射熱の量を低減することができる。これにより、金属板３の下方に位置する耐熱性の低い部品が破損してしまうおそれを低減することができる。その結果、金属板３が通気孔３１を有する場合であっても、試料保持具１０の耐久性を高めることができる。   According to the sample holder 10 of the present disclosure, as shown in FIGS. 1 and 2, the temperature detection device 5 overlaps a part of the vent hole 31 when viewed from a direction perpendicular to the sample holding surface 11. Is provided. Thereby, the temperature detection apparatus 5 can reflect or absorb the radiant heat from the heating resistor 2. Therefore, the amount of radiant heat transmitted through the vent hole 31 of the metal plate 3 and below the metal plate 3 can be reduced. Thereby, a possibility that components with low heat resistance located under the metal plate 3 may be damaged can be reduced. As a result, even when the metal plate 3 has the vent hole 31, the durability of the sample holder 10 can be improved.

図２に示すように、試料保持具１０の通気孔３１を金属板３の上方向から見たときに、温度検知装置５は、例えば通気孔３１の３０％〜５０％と重なっているとよい。これにより、温度検知装置５と通気孔３１とが部分的に重なる部位において輻射熱を反射しつつ、温度検知装置５と通気孔３１とが部分的に重ならない部位において空気を流入もしくは排出することができる。その結果、加熱時においては金属板の下面に熱が伝わるおそれを低減しつつ、冷却時においては試料保持具１０を冷却することができる。温度検知装置５が長手方向を有する形状である場合は、長手方向が通気孔３１を横断するように位置していてもよい。   As shown in FIG. 2, when the vent hole 31 of the sample holder 10 is viewed from above the metal plate 3, the temperature detection device 5 may overlap, for example, 30% to 50% of the vent hole 31. . Accordingly, air can be introduced or discharged at a portion where the temperature detecting device 5 and the vent hole 31 do not partially overlap while reflecting the radiant heat at a portion where the temperature detecting device 5 and the vent hole 31 partially overlap. it can. As a result, the sample holder 10 can be cooled at the time of cooling while reducing the possibility that heat is transmitted to the lower surface of the metal plate during heating. When the temperature detecting device 5 has a shape having a longitudinal direction, the longitudinal direction may cross the vent hole 31.

また、図３および図４に示すように、温度検知装置５は、金属板３の下面に設けられて
いてもよい。これにより、金属板３の上面において反射された輻射熱を、温度検知装置５において検出してしまうおそれを低減することができる。その結果、温度検知装置５の精度を高めることができる。さらに、温度検知装置５が金属板３の上面に設けられている場合と比較して、金属板３の上面のうち、発熱抵抗体２からの熱輻射を反射できる領域を広くすることができる。そのため、発熱抵抗体２で生じた熱輻射をより多く反射することができる。その結果、金属板３の下方に設けられた部品等が熱変形するおそれをより低減することができる。 Moreover, as shown in FIGS. 3 and 4, the temperature detection device 5 may be provided on the lower surface of the metal plate 3. Thereby, the possibility that the temperature detection device 5 may detect the radiant heat reflected on the upper surface of the metal plate 3 can be reduced. As a result, the accuracy of the temperature detection device 5 can be increased. Furthermore, compared with the case where the temperature detection device 5 is provided on the upper surface of the metal plate 3, the region where the heat radiation from the heating resistor 2 can be reflected on the upper surface of the metal plate 3 can be widened. Therefore, more heat radiation generated in the heating resistor 2 can be reflected. As a result, it is possible to further reduce the risk that the components and the like provided below the metal plate 3 are thermally deformed.

また、試料保持面１１に垂直な方向から見たときに、通気孔３１は、セラミック体１の中心に重なっていてもよい。これにより、通気孔３１を通じてセラミック体１と金属板３の間に空気を流入もしくは排出する場合において、セラミック体１の中心から空気を流入もしくは排出することができる。そのため、空気の流れがセラミック体１の周方向に対して均等に近づけることができる。その結果、試料保持面１１を周方向の均熱性を高めることができる。   Further, the air hole 31 may overlap the center of the ceramic body 1 when viewed from a direction perpendicular to the sample holding surface 11. Thereby, when air flows in or out between the ceramic body 1 and the metal plate 3 through the vent hole 31, the air can flow in or out from the center of the ceramic body 1. Therefore, the flow of air can be made closer to the circumferential direction of the ceramic body 1 evenly. As a result, it is possible to improve the heat uniformity in the circumferential direction of the sample holding surface 11.

また、試料保持面１１に垂直な方向から見たときに、温度検知装置５は、セラミック体１の中心に重なっていてもよい。これにより、発熱抵抗体２からの熱輻射が最も強いセラミック体１の中心部分の温度を、温度検知装置５によって検知することができる。そのため、発熱抵抗体２の過昇温等の異常が生じた場合に、早期に異常を検知することができる。その結果、試料保持具１０の耐久性を高めることができる。このような場合においては、温度検知装置５の検知機能を有する部分が、セラミック体１の中心と重なっているとよい。これにより、温度検知装置５による検知の精度を高めることができる。   Further, the temperature detection device 5 may overlap the center of the ceramic body 1 when viewed from a direction perpendicular to the sample holding surface 11. Thereby, the temperature of the central part of the ceramic body 1 where the heat radiation from the heating resistor 2 is the strongest can be detected by the temperature detection device 5. Therefore, when an abnormality such as an excessive temperature rise of the heating resistor 2 occurs, the abnormality can be detected at an early stage. As a result, the durability of the sample holder 10 can be increased. In such a case, the portion having the detection function of the temperature detection device 5 is preferably overlapped with the center of the ceramic body 1. Thereby, the accuracy of detection by the temperature detection device 5 can be increased.

また、図５および図６に示すように、金属板３の下面に温度検知装置５が設けられており、温度検知装置５の下面に、金属板３の上方から平面視したときに、通気孔３１の一部に重なる金属部材６が設けられていてもよい。これにより、温度検知装置５によって反射できない部分においては、金属部材６によって発熱抵抗体２からの輻射熱を反射または吸収することができる。そのため、金属部材６の下方に位置する耐熱性の低い部品が破損してしまうおそれを低減することができる。その結果、金属板３が通気孔３１を有する場合であっても、試料保持具１０の耐久性を高めることができる。   Further, as shown in FIGS. 5 and 6, the temperature detection device 5 is provided on the lower surface of the metal plate 3, and when the lower surface of the temperature detection device 5 is viewed in plan from above the metal plate 3, the air holes are provided. The metal member 6 which overlaps a part of 31 may be provided. Thereby, in the part which cannot be reflected by the temperature detection device 5, the radiant heat from the heating resistor 2 can be reflected or absorbed by the metal member 6. Therefore, it is possible to reduce the possibility that a part having low heat resistance located below the metal member 6 is damaged. As a result, even when the metal plate 3 has the vent hole 31, the durability of the sample holder 10 can be improved.

具体的には、温度検知装置５および金属部材６が長手方向を有する形状であって、それぞれの長手方向が交差する位置に設けられていてもよい。温度検知装置５の長手方向と金属部材６の長手方向とは、垂直に交差していてもよい。   Specifically, the temperature detection device 5 and the metal member 6 may have a longitudinal direction, and may be provided at positions where the longitudinal directions intersect. The longitudinal direction of the temperature detection device 5 and the longitudinal direction of the metal member 6 may intersect perpendicularly.

また、温度検知装置５は、金属部材６によって金属板３に固定されていてもよい。これにより、金属部材６によって発熱抵抗体２からの輻射熱を反射または吸収しつつ、温度検知装置５が位置ずれするおそれを低減することができる。そのため、温度検知装置５の位置ずれによって温度を検知する点がずれてしまうおそれを低減することができる。その結果、温度を検知する精度を高めることができる。   Further, the temperature detection device 5 may be fixed to the metal plate 3 by the metal member 6. Thereby, it is possible to reduce the possibility that the temperature detector 5 is displaced while reflecting or absorbing the radiant heat from the heating resistor 2 by the metal member 6. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the temperature detection point is shifted due to the position shift of the temperature detection device 5. As a result, the accuracy of detecting the temperature can be increased.

１：セラミック体
１１：試料保持面
２：発熱抵抗体
３：金属板
３１：通気孔
４：固定部材
４１：金具
５：温度検知装置
６：金属部材
１０：試料保持具 1: Ceramic body 11: Sample holding surface 2: Heating resistor 3: Metal plate 31: Vent hole 4: Fixing member 41: Metal fitting 5: Temperature detector 6: Metal member 10: Sample holder

Claims (4)

一方の主面が試料保持面であって内部または他方の主面に発熱抵抗体を有する板状のセラミック体と、該セラミック体より下側において前記セラミック体から離れて位置しており、上面から下面にかけて貫通する通気孔を有する金属板と、前記セラミック体および前記金属板を、前記セラミック体の他方の主面と前記金属板の上面とが向かい合う位置に固定する固定部材と、前記金属板に設けられた温度検知装置とを備えており、
該温度検知装置は、前記試料保持面に垂直な方向から見たときに前記通気孔の一部に重なって設けられていることを特徴とする試料保持具。 One main surface is a sample holding surface and has a plate-like ceramic body having a heating resistor inside or on the other main surface, and is positioned away from the ceramic body below the ceramic body, from the top surface A metal plate having a ventilation hole penetrating to the lower surface, a fixing member for fixing the ceramic body and the metal plate at a position where the other main surface of the ceramic body and the upper surface of the metal plate face each other, and the metal plate Equipped with a temperature sensing device provided,
The temperature detector is provided so as to overlap a part of the vent hole when viewed from a direction perpendicular to the sample holding surface. 前記温度検知装置は、前記金属板の下面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の試料保持具。   The sample holder according to claim 1, wherein the temperature detection device is provided on a lower surface of the metal plate. 前記試料保持面に垂直な方向から見たときに、前記通気孔は、前記セラミック体の中心に重なっていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の試料保持具。   3. The sample holder according to claim 1, wherein the vent hole overlaps a center of the ceramic body when viewed from a direction perpendicular to the sample holding surface. 前記試料保持面に垂直な方向から見たときに、前記温度検知装置は、前記セラミック体の中心に重なっていることを特徴とする請求項３に記載の試料保持具。   The sample holder according to claim 3, wherein the temperature detection device overlaps the center of the ceramic body when viewed from a direction perpendicular to the sample holding surface.
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