JP2019119118A - Liquid discharge head, liquid discharge unit, liquid discharging device - Google Patents

Liquid discharge head, liquid discharge unit, liquid discharging device Download PDF

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Hirosuke Hayashi
啓輔 林
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Abstract

To make it possible to efficiently perform monitoring and positional alignment of an application state of an adhesive.SOLUTION: A liquid discharge head comprises a first component 101, and a second component 102 which is joined to the first component 101 by an adhesive 103. The first component 101 is provided with a through hole mark 111 as a mark for positional alignment, and the second component 102 is provided with a first mark 121 and a second mark 122 as a mark for positional alignment. The first mark 121 is a mark for positional alignment such that the adhesive 103 is applied in vicinity thereof located in a joint area 104, and the second mark 122 is a mark for positional alignment such that the adhesive 103 is not applied in vicinity thereof located outside the joint area 104.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。   The present invention relates to a liquid discharge head, a liquid discharge unit, and a device for discharging a liquid.

液体吐出ヘッドとして、複数のヘッド構成部材を接着剤で接合するときの位置合わせ用マーク(アライメントマーク)を設けたものがある。   Some liquid discharge heads are provided with alignment marks (alignment marks) when bonding a plurality of head components with an adhesive.

そして、例えば、互いに接合される第1の部品及び第2の部品の少なくとも一方に2種類の接着剤を塗布し、各部品を互いに対向するように第1の保持手段及び第2の保持手段で保持する工程と、各部品を互いに接触させた後に弱圧にて加圧し、基準となる一方の部品に対して他方の部品を接触及び加圧して各部品が互いに密着した状態でこの姿勢を保持し、各部品を接触させたまま各部品に設けられたアライメントマークに基づいて各部品の相対的な位置合わせを行い、位置合わせ後に各部品の密着状体を一旦解除した後に各部品を第1の接着剤を用いて強圧下で加圧接合し、強圧下で加圧接合された各部材を紫外線硬化型の第2の接着剤により仮固定し、各部品を第1及び第2の接着剤を介した状態で接合することが知られている(特許文献1)。   Then, for example, two kinds of adhesives are applied to at least one of the first part and the second part to be joined to each other, and the first holding means and the second holding means make the parts face each other. After holding the components in contact with each other, they are pressurized with a weak pressure, and the other component is brought into contact and pressurized with one component serving as a reference to maintain this posture with the components in close contact with each other. First, after performing relative positioning of each component based on the alignment mark provided on each component while keeping each component in contact, and releasing the contact state of each component once after positioning, The components are pressure-bonded under high pressure using each adhesive, and the members pressure-bonded under high pressure are temporarily fixed with a second UV-curable adhesive, and each component is first and second adhesives It is known to join in the state through the (patent Document 1).

特開2012−254611号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2012-254611

ところで、位置合わせ用マーク(アライメントマーク)を認識しながらヘッド構成部材を接着剤で接合する場合、接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行わなければならないという課題がある。   By the way, when joining a head structural member with an adhesive agent while recognizing an alignment mark (alignment mark), there is a problem that the monitoring of the application state of the adhesive and the alignment must be performed efficiently.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行えるようにすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object thereof is to enable efficient monitoring and registration of the applied state of the adhesive.

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
第1部材と、
前記第1部材と接着剤で接合された第2部材と、を備え、
前記第1部材及び前記第2部材には位置合わせ用マークが設けられ、
前記第1部材及び前記第2部材の少なくともいずれかの部材に設けられた前記位置合わせ用マークは、近傍に前記接着剤が付与されている第1マークと、近傍に前記接着剤が付与されていない第2マークとを含む
構成とした。
In order to solve the above problems, a liquid discharge head according to the present invention is
A first member,
And a second member joined with the first member by an adhesive.
Alignment marks are provided on the first member and the second member,
The alignment mark provided on at least one of the first member and the second member has a first mark to which the adhesive is applied in the vicinity, and the adhesive is applied to the vicinity. And the second mark.

本発明によれば、接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行えるようにすることができる。   According to the present invention, it is possible to efficiently perform the monitoring of the application state of the adhesive and the alignment.

本発明に係る液体吐出ヘッドの第1実施形態のノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view taken along the direction orthogonal to the nozzle arrangement direction of the first embodiment of the liquid discharge head according to the present invention. 図1の要部拡大断面説明図である。It is principal part expanded sectional explanatory drawing of FIG. 同ヘッドノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。It is principal part cross-sectional explanatory drawing along the head nozzle sequence direction. 本発明の第1実施形態における位置合わせ用マークの説明に供する斜視説明図である。It is a perspective explanatory view by which it uses for explanation of a mark for alignment in a 1st embodiment of the present invention. 同実施形態における第1部材と第2部材の接着剤接合の一例の説明に供する斜視説明図である。It is perspective explanatory drawing which is provided to description of an example of adhesive bonding of the 1st member and 2nd member in the same embodiment. 同実施形態における第1部材と第2部材の接着剤接合の他の例の説明に供する斜視説明図である。FIG. 14 is a perspective view for explaining another example of adhesive bonding of the first member and the second member in the embodiment. 本発明の第2実施形態における第2部材としての流路板の平面説明図である。It is plane | planar explanatory drawing of the flow-path board as a 2nd member in 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態における第2部材の平面説明図である。It is a plane explanatory view of the 2nd member in a 3rd embodiment of the present invention. 同じく第1マーク部分の拡大平面説明図である。It is expansion plane explanatory drawing of a 1st mark part similarly. 同実施形態の作用説明に供する接着剤付与不足の場合の平面説明図である。It is a plane explanatory view in the case of adhesive application insufficient used for explanation of operation of the embodiment. 同じく接着剤付与過剰の場合の平面説明図である。It is a plane explanatory view in the case of adhesive application excess too similarly. 本発明の第4実施形態における第2部材の平面説明図である。It is a plane explanatory view of the 2nd member in a 4th embodiment of the present invention. 本発明の第5実施形態における第2部材の平面説明図である。It is a plane explanatory view of the 2nd member in a 5th embodiment of the present invention. 本発明の第6実施形態における第2部材の平面説明図である。It is a plane explanatory view of the 2nd member in a 6th embodiment of the present invention. 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。It is principal part plane explanatory drawing of an example of the apparatus which discharges the liquid which concerns on this invention. 同装置の要部側面説明図である。It is principal part side explanatory drawing of the same apparatus. 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。It is principal part plane explanatory drawing of the other example of the liquid discharge unit which concerns on this invention. 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。It is front explanatory drawing of the further another example of the liquid discharge unit which concerns on this invention.

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの第1実施形態について図1ないし図3を参照して説明する。図1は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図2は図1の要部拡大断面説明図、図3は同ヘッドノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the attached drawings. A first embodiment of a liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIG. 1 to FIG. FIG. 1 is a cross-sectional explanatory view taken along the direction orthogonal to the nozzle array direction of the head, FIG. 2 is an enlarged cross-sectional explanatory view of the main part of FIG.

液体吐出ヘッド100は、ノズル板1と、流路板2と、壁面部材である振動板部材3と、圧力発生素子である圧電素子11と、保持基板50と、FPCなどの配線部材60と、共通液室部材70と、カバー部材45とを備えている。   The liquid discharge head 100 includes a nozzle plate 1, a flow path plate 2, a diaphragm member 3 which is a wall surface member, a piezoelectric element 11 which is a pressure generating element, a holding substrate 50, and a wiring member 60 such as FPC. A common liquid chamber member 70 and a cover member 45 are provided.

ここで、流路板2、振動板部材3及び圧電素子11で構成される部分がアクチュエータ基板20となる。   Here, a portion constituted by the flow path plate 2, the diaphragm member 3 and the piezoelectric element 11 becomes an actuator substrate 20.

ノズル板1には、液体を吐出する複数のノズル4が形成されている。ここでは、ノズル4を配列したノズル列を4列配置した構成としている。   The nozzle plate 1 is provided with a plurality of nozzles 4 for discharging a liquid. Here, four nozzle rows in which the nozzles 4 are arranged are arranged.

流路板2は、ノズル板1及び振動板部材3とともに、ノズル4が通じる個別液室6、個別液室6に通じる流体抵抗部7、流体抵抗部7が通じる液導入部8を形成している。   The flow channel plate 2 together with the nozzle plate 1 and the diaphragm member 3 forms an individual liquid chamber 6 to which the nozzle 4 communicates, a fluid resistance portion 7 communicating to the individual liquid chamber 6, and a liquid introduction portion 8 to which the fluid resistance portion 7 communicates. There is.

この液導入部8は振動板部材3の開口9と保持基板50の流路となる開口部51を介して共通液室部材70で形成される共通液室10に通じている。   The liquid introducing portion 8 communicates with the common liquid chamber 10 formed by the common liquid chamber member 70 through the opening 9 of the diaphragm member 3 and the opening 51 serving as a flow path of the holding substrate 50.

振動板部材3は、個別液室6の壁面の一部を形成する変形可能な振動領域30を形成している。そして、この振動板部材3の振動領域30の個別液室6と反対側の面には、振動領域30と一体的に圧電素子11が設けられ、振動領域30と圧電素子11によって圧電アクチュエータ構成している。   The diaphragm member 3 forms a deformable vibration area 30 which forms a part of the wall surface of the individual liquid chamber 6. Then, a piezoelectric element 11 is provided integrally with the vibration area 30 on the surface of the vibration area 30 opposite to the individual liquid chamber 6 of the vibration plate member 3, and a piezoelectric actuator is formed by the vibration area 30 and the piezoelectric element 11. ing.

圧電素子11は、振動領域30側から下部電極13、圧電層(圧電体)12及び上部電極14を順次積層形成して構成している。この圧電素子11上には絶縁膜21が形成されている。   The piezoelectric element 11 is configured by sequentially laminating the lower electrode 13, the piezoelectric layer (piezoelectric body) 12 and the upper electrode 14 from the vibration region 30 side. An insulating film 21 is formed on the piezoelectric element 11.

複数の圧電素子11の共通電極となる下部電極13は、共通配線15を介して共通電極電源配線パターン28に接続されている。なお、下部電極13は、ノズル配列方向ですべての圧電素子11に跨って形成される1つの電極層である。   The lower electrode 13 serving as a common electrode of the plurality of piezoelectric elements 11 is connected to the common electrode power supply wiring pattern 28 via the common wiring 15. The lower electrode 13 is one electrode layer formed across all the piezoelectric elements 11 in the nozzle arrangement direction.

また、圧電素子11の個別電極となる上部電極14は、個別配線16を介して駆動回路部である駆動IC(以下、「ドライバIC」という。)500に接続されている。個別配線16などは絶縁膜22にて被覆されている。   Further, the upper electrode 14 serving as an individual electrode of the piezoelectric element 11 is connected to a drive IC (hereinafter, referred to as a “driver IC”) 500 which is a drive circuit unit via an individual wire 16. The individual wires 16 and the like are covered with an insulating film 22.

ドライバIC500は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板20にフリップチップボンディングなどの工法により実装されている。   The driver IC 500 is mounted on the actuator substrate 20 by a method such as flip chip bonding so as to cover the region between the rows of piezoelectric elements.

アクチュエータ基板20に搭載されたドライバIC500は、駆動波形(駆動信号)が供給される個別電極電源配線パターン29と接続されている。   The driver IC 500 mounted on the actuator substrate 20 is connected to an individual electrode power supply wiring pattern 29 to which a drive waveform (drive signal) is supplied.

配線部材60に設けられた配線が、ドライバIC500と電気的に接続されており、配線部材60の他端側は装置本体側の制御部に接続される。   The wiring provided in the wiring member 60 is electrically connected to the driver IC 500, and the other end side of the wiring member 60 is connected to the control unit on the apparatus main body side.

そして、アクチュエータ基板20の振動板部材3側には、アクチュエータ基板20上の圧電素子11を覆っている保持基板50が接着剤で接合されている。   Then, a holding substrate 50 covering the piezoelectric element 11 on the actuator substrate 20 is bonded to the side of the diaphragm member 3 of the actuator substrate 20 with an adhesive.

保持基板50には、共通液室10と個別液室6側を通じる流路の一部となる開口部51と、圧電素子11を収容する凹部52と、ドライバIC500を収容する開口部53が設けられている。開口部51は、ノズル配列方向に亘って延びるスリット状の貫通穴であり、ここでは共通液室10の一部を構成している。   The holding substrate 50 is provided with an opening 51 which is a part of a flow path communicating the common liquid chamber 10 and the individual liquid chamber 6 side, a recess 52 which accommodates the piezoelectric element 11, and an opening 53 which accommodates the driver IC 500. It is done. The opening 51 is a slit-like through hole extending in the nozzle arrangement direction, and constitutes a part of the common liquid chamber 10 here.

この保持基板50は、アクチュエータ基板20と共通液室部材70との間に介在し、共通液室10の壁面の一部を形成している。   The holding substrate 50 is interposed between the actuator substrate 20 and the common liquid chamber member 70, and forms a part of the wall surface of the common liquid chamber 10.

共通液室部材70は、各個別液室6に液体を供給する共通液室10を形成する。なお、共通液室10は4つのノズル列に対応してそれぞれ設けられ、外部から所要の色の液体が供給される。   The common liquid chamber member 70 forms a common liquid chamber 10 for supplying liquid to each individual liquid chamber 6. The common liquid chamber 10 is provided corresponding to each of the four nozzle rows, and a liquid of a required color is supplied from the outside.

共通液室部材70には、ダンパ部材90が接合されている。ダンパ部材90は、共通液室10の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ91と、ダンパ91を補強するダンパプレート92とを有している。   A damper member 90 is joined to the common liquid chamber member 70. The damper member 90 has a deformable damper 91 which forms a part of the wall surface of the common liquid chamber 10, and a damper plate 92 which reinforces the damper 91.

共通液室部材70はノズル板1の外周部及び保持基板50と接着剤で接合され、アクチュエータ基板20及び保持基板50を収容して、このヘッドのフレームを構成している。   The common liquid chamber member 70 is bonded to the outer peripheral portion of the nozzle plate 1 and the holding substrate 50 with an adhesive, accommodates the actuator substrate 20 and the holding substrate 50, and constitutes a frame of the head.

そして、ノズル板1の周縁部及び共通液室部材70の外周面の一部を覆うカバー部材45を設けている。   A cover member 45 is provided to cover the peripheral portion of the nozzle plate 1 and a part of the outer peripheral surface of the common liquid chamber member 70.

この液体吐出ヘッド100においては、ドライバIC500から圧電素子11の上部電極14と下部電極13の間に電圧を与えることで、圧電層12が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域30と平行な方向に収縮する。これにより、振動領域30の下部電極13側に引っ張り応力が発生し、振動領域30が個別液室6側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル4から液体が吐出される。   In the liquid discharge head 100, the piezoelectric layer 12 is stretched in the electrode laminating direction, that is, the electric field direction by applying a voltage between the upper electrode 14 and the lower electrode 13 of the piezoelectric element 11 from the driver IC 500. Shrink in parallel direction. As a result, a tensile stress is generated on the lower electrode 13 side of the vibration area 30, and the vibration area 30 is bent to the individual liquid chamber 6 side, and liquid is discharged from the nozzle 4 by pressurizing the liquid inside.

次に、本発明の第1実施形態における位置合わせ用マークと位置合わせについて図4を参照して説明する。図4は同説明に供する斜視説明図である。   Next, alignment marks and alignment in the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a perspective view for explaining the same.

ここでは、第1部材101と第2部材102とを接着剤103で接合する例で説明する。第1部材101及び第2部材102は、例えば、一方をノズル板1、他方をアクチュエータ基板20とし、また、一方をアクチュエータ基板20、他方を保持基板50とし、また、一方をノズル板1、他方を流路板2とするが、これらの例に限るものではない。   Here, an example in which the first member 101 and the second member 102 are joined by the adhesive 103 will be described. For example, one of the first member 101 and the second member 102 is the nozzle plate 1 and the other is the actuator substrate 20, one is the actuator substrate 20, the other is the holding substrate 50, and one is the nozzle plate 1 and the other. Although it is referred to as the flow channel plate 2, it is not limited to these examples.

第1部材101には位置合わせ用マークとして貫通穴マーク111が設けられている。貫通穴マーク111は、接着剤103で接合する接合領域104のノズル配列方向の両端部側にそれぞれ設けられている。   A through hole mark 111 is provided on the first member 101 as a positioning mark. The through hole marks 111 are respectively provided on both end sides in the nozzle array direction of the bonding area 104 bonded by the adhesive 103.

第2部材102には位置合わせ用マークとして第1マーク121と第2マーク122が設けられている。第1マーク121及び第2マーク122は、エッチングなどで形成したパターンである。   The second member 102 is provided with a first mark 121 and a second mark 122 as alignment marks. The first mark 121 and the second mark 122 are patterns formed by etching or the like.

ここで、第1マーク121は、接合領域104内に配置された近傍に接着剤103が付与されている位置合わせ用マークである。第2マーク122は、接合領域104外に配置された近傍に接着剤103が付与されていない位置合わせ用マークである。   Here, the first mark 121 is a positioning mark in which the adhesive 103 is applied in the vicinity disposed in the bonding area 104. The second mark 122 is a positioning mark in which the adhesive 103 is not applied in the vicinity located outside the bonding area 104.

また、第1マーク121は、接合領域104のノズル配列方向の両端部側にそれぞれ設けられている。第2マーク122は、接合領域104外で、ノズル配列方向の一端部側に、第1マーク121と並んで設けられている。   Further, the first marks 121 are respectively provided on both end sides of the bonding area 104 in the nozzle arrangement direction. The second mark 122 is provided outside the bonding area 104 and at one end side in the nozzle arrangement direction in line with the first mark 121.

ここで、第1マーク121と第2マーク122とをノズル配列方向の一端部に並べて配置することで、マークのレイアウトが容易になり、また、接合領域104となる接着剤103の付与領域と非付与領域105の制御が容易になる。   Here, by arranging the first marks 121 and the second marks 122 at one end in the nozzle arrangement direction, the layout of the marks becomes easy, and the application region of the adhesive 103 which becomes the bonding region 104 is not Control of the provision area 105 is facilitated.

なお、接着剤103は薄膜印刷やスプレー塗布などで第2部材102に付与される。   The adhesive 103 is applied to the second member 102 by thin film printing, spray coating, or the like.

次に、本実施形態における第1部材と第2部材の接着剤接合の一例について図5を参照して説明する。図5は同説明に供する斜視説明図である。   Next, an example of adhesive bonding of the first member and the second member in the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a perspective view for explaining the same.

この例では、撮像装置200によって第1部材101の貫通穴マーク111と第2部材102の第1マーク121とを同軸上で撮像して画像処理による画像認識を行いながら、第1部材101及び第2部材102を相対移動させて位置合わせを行う。その後、第1部材101と第2部材102とを加圧などして接着剤103で接合する。   In this example, while imaging the through hole mark 111 of the first member 101 and the first mark 121 of the second member 102 coaxially by the imaging device 200 and performing image recognition by image processing, the first member 101 and the first The two members 102 are moved relative to each other for alignment. Thereafter, the first member 101 and the second member 102 are bonded by the adhesive 103 by pressure or the like.

次に、本実施形態における第1部材と第2部材の接着剤接合の他の例について図6を参照して説明する。図6は同説明に供する斜視説明図である。   Next, another example of adhesive bonding of the first member and the second member in the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a perspective view for explaining the same.

ここでは、撮像装置201と撮像装置202の相互の位置関係を管理しておき、撮像装置201で第1部材101を撮像して画像認識し、撮像装置202で第2部材102を撮像して画像認識する。   Here, the positional relationship between the imaging device 201 and the imaging device 202 is managed, the first member 101 is imaged by the imaging device 201 for image recognition, and the second member 102 is imaged by the imaging device 202. recognize.

そして、第1部材101の貫通穴マーク111と第2部材102の第1マーク121を目標位置に合わせることにより、間接的に第1部材101と第2部材102の位置合わせを行う。その後、第1部材101と第2部材102とを加圧などして接着剤103で接合する。   Then, by aligning the through hole mark 111 of the first member 101 and the first mark 121 of the second member 102 to a target position, the first member 101 and the second member 102 are indirectly aligned. Thereafter, the first member 101 and the second member 102 are bonded by the adhesive 103 by pressure or the like.

これらの例において、第1マーク121を近傍の接着剤103の付与状態を含めて基準マークとして、位置合わせを行って接合する接合装置に予め登録しておく。   In these examples, the first mark 121 is registered in advance as a reference mark as a reference mark including the application state of the adhesive 103 in the vicinity, in a bonding apparatus that performs alignment and bonding.

そして、撮像装置200又は202による第1マーク121の撮像結果と登録している基準マークとを比較することによって、接着剤103の付与状態を判別して、接着剤103の付与不足などの付与不良が生じているときにはエラー処理を行うことができる。   Then, the application state of the adhesive 103 is determined by comparing the imaging result of the first mark 121 by the imaging device 200 or 202 with the registered reference mark, and the application failure such as the insufficient application of the adhesive 103 or the like. Error processing can be performed when a problem occurs.

このように、近傍に接着剤103が付与された第1マーク121を有することで、第1マーク121を近傍の接着剤103の付与状態を含めて基準マークとして登録できる。これにより、マークの認識による位置合わせとともに、接着剤付与状態を認識可能となり、安定した歩留まりの確保と高い生産性を両立できるようになる。   As described above, by having the first mark 121 to which the adhesive 103 is applied in the vicinity, the first mark 121 can be registered as a reference mark including the application state of the adhesive 103 in the vicinity. This makes it possible to recognize the adhesive application state as well as the alignment based on the recognition of the mark, so that it is possible to achieve both a stable yield and high productivity.

また、本実施形態では、近傍に接着剤103が付与される第1マーク121とともに、近傍に接着剤103が付与されない第2マーク122を備えている。   Further, in the present embodiment, the second mark 122 to which the adhesive 103 is not applied is provided along with the first mark 121 to which the adhesive 103 is applied in the vicinity.

そこで、第1マーク121の形状が例えば過剰な接着剤付与で変化している場合など、正常なマークの画像認識ができない場合などには、第2マーク122を使用して位置合わせすることが可能になる。   Therefore, if the image of the normal mark can not be recognized, for example, if the shape of the first mark 121 is changed due to excessive adhesive application, the second mark 122 can be used for alignment. become.

この場合には、第1マーク121と第2マーク122とのマーク間距離を予め管理しておき、第2マーク122を使用して位置合わせを行った後、第1部材101又は第2部材102をマーク間距離分だけオフセットさせることで、正しい位置に合わせることができる。   In this case, after the distance between the marks of the first mark 121 and the second mark 122 is managed in advance and alignment is performed using the second mark 122, the first member 101 or the second member 102 is used. The offset can be adjusted to the correct position by offsetting the distance between the marks.

このように、接着剤の付与状態のモニタリングと位置合わせを効率的に行うことができるようになる。   In this way, monitoring of the application state of the adhesive and alignment can be performed efficiently.

次に、本発明の第2実施形態について図7を参照して説明する。図7は同実施形態における第2部材としての流路板の平面説明図である。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a plan view of a flow path plate as a second member in the embodiment.

流路板2には個別液室6、流体抵抗部7、液導入部8などで構成される複数の個別流路61の列が4列設けられている。第1マーク121は個別液室61の列と隣接して配置している。   The flow path plate 2 is provided with four rows of a plurality of individual flow paths 61 constituted by the individual liquid chambers 6, the fluid resistance portion 7, the liquid introduction portion 8 and the like. The first mark 121 is disposed adjacent to the row of the individual liquid chambers 61.

これにより、ノズル配列方向におけるヘッドサイズを短くすることができる。   Thereby, the head size in the nozzle arrangement direction can be shortened.

また、第1マーク121と第2マーク122とは同じ形状としている。   Further, the first mark 121 and the second mark 122 have the same shape.

これにより、画像認識する場合のマーク登録を容易に行うことができ、また、接合後の位置ずれ量の管理が容易となる。更に、同じ形状とすることで、マークを形成するプロセスを同じにでき、プロセスばらつきの影響を小さくできる。   As a result, mark registration in the case of image recognition can be easily performed, and management of positional deviation amount after bonding becomes easy. Furthermore, with the same shape, the process of forming the mark can be made the same, and the influence of process variations can be reduced.

次に、本発明の第3実施形態について図8及び図9を参照して説明する。図8は同実施形態における第2部材の平面説明図、図9は同じく第1マーク部分の拡大平面説明図である。   Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9. FIG. 8 is a plan explanatory view of a second member in the embodiment, and FIG. 9 is an enlarged plan explanatory view of a first mark portion in the same manner.

本実施形態でも、第2部材102に第1マーク121と第2マーク122とを配置している。   Also in the present embodiment, the first mark 121 and the second mark 122 are disposed on the second member 102.

第1マーク121は、接着剤103が付与されていない領域121A、接着剤103が付与されている領域121B、接着剤103が付与されていない領域121Cが同心状に配置されて構成され、領域121Cの外側領域にも接着剤103が付与されている。   The first mark 121 is configured by concentrically arranging an area 121A to which the adhesive 103 is not applied, an area 121B to which the adhesive 103 is applied, and an area 121C to which the adhesive 103 is not applied. The adhesive 103 is also applied to the outer area of

そこで、図9に示すように、第1マーク121の外側領域の接着剤103も含めた領域をマーク画像(登録マーク)として接合装置に登録している。これにより、位置合わせだけでなく、接着剤付与状態も合わせて確認することができる。   Therefore, as shown in FIG. 9, the area including the adhesive 103 in the outer area of the first mark 121 is registered in the bonding apparatus as a mark image (registration mark). Thus, not only the alignment but also the adhesive application state can be confirmed.

この場合、接着剤103の付与状態(例えば印刷状態)は厚みによって色合いが変化するので、接着剤領域の第1マーク121の検出時は比較的感度を低くし、第2マーク122の検出時は感度を高くすることにより、適切に検査、確認することができる。   In this case, since the color tone changes depending on the thickness of the applied state of the adhesive 103 (for example, the printing state), the sensitivity is relatively lowered when detecting the first mark 121 in the adhesive area, and when detecting the second mark 122. By increasing the sensitivity, appropriate inspection and confirmation can be made.

次に、本実施形態の作用について図10及び図11も参照して説明する。図10は接着剤付与領域不足の場合の平面説明図、図11は接着剤付与量過剰の場合の平面説明図である。   Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 10 is a plan explanatory view in the case where the adhesive application area is insufficient, and FIG. 11 is a plan explanatory view in the case where the adhesive application amount is excessive.

図10に示すように、接着剤付与領域不足の場合には、登録マークとの不一致によりサーチエラーを発生させることが可能となり、不良発生を抑制することができる。   As shown in FIG. 10, in the case where the adhesive application area is insufficient, a search error can be generated due to a mismatch with the registration mark, and the occurrence of a defect can be suppressed.

これにより、第1部材101がノズル板1である場合など、貫通穴マーク111から液体が内部に侵入する液体吐出ヘッドの発生を防ぐことができる。   Thereby, when the first member 101 is the nozzle plate 1 or the like, it is possible to prevent the occurrence of the liquid discharge head in which the liquid intrudes from the through hole mark 111 into the inside.

また、図11に示すように、接着剤付与量過剰の場合には、第1マーク121の形状が変化したことにより第1マーク121を認識できないので、サーチエラー発生となり、不良発生を抑制することができる。また、接着剤付与量過剰に対する許容度のある接着の場合には、前述したように、近傍に接着剤103が付与されていない第2マーク122を位置合わせ用に使用してリカバリーを行う。   Further, as shown in FIG. 11, when the adhesive application amount is excessive, the first mark 121 can not be recognized due to the change of the shape of the first mark 121, so that a search error occurs and the occurrence of defect is suppressed. Can. Moreover, in the case of adhesion | attachment with the tolerance with respect to adhesive application amount excess, as above-mentioned, recovery is performed using the 2nd mark 122 in which the adhesive agent 103 is not provided in the vicinity for alignment.

この場合、前述したように、第1マーク121と第2マーク122とのマーク間距離を管理して第2マーク122で位置合わせ後にマーク間距離分をオフセットさせて対応する。このとき、マーク間距離を小さくすることによって、第1部材と第2部材とを相対移動させる距離が短くなり、接合装置の大型化を抑制できる。   In this case, as described above, the distance between marks of the first mark 121 and the second mark 122 is managed, and after the alignment with the second mark 122, the distance between marks is offset to correspond. At this time, by reducing the distance between marks, the distance for relatively moving the first member and the second member becomes short, and the enlargement of the bonding apparatus can be suppressed.

次に、本発明の第4実施形態について図12を参照して説明する。図12は同実施形態における第2部材の平面説明図である。   Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a plan view of the second member in the embodiment.

本実施形態では、第2部材102のノズル配列方向の両端部に、それぞれ、第1マーク121と第2マーク122を、ノズル配列方向に沿って並べて配置している。この場合、第2部材102のノズル配列方向の両端部には第2マーク122の近傍に接着剤103が付与されない非付与領域105を設けている。   In the present embodiment, the first marks 121 and the second marks 122 are arranged along the nozzle arrangement direction at both ends of the second member 102 in the nozzle arrangement direction. In this case, non-applied regions 105 to which the adhesive 103 is not applied are provided in the vicinity of the second marks 122 at both ends of the second member 102 in the nozzle arrangement direction.

次に、本発明の第5実施形態について図13を参照して説明する。図13は同実施形態における第2部材の平面説明図である。   Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a plan view of the second member in the embodiment.

本実施形態では、第2部材102のノズル配列方向の両端部に、それぞれ、第1マーク121と第2マーク122を、ノズル配列方向に沿って並べて配置している。そして、第2部材102のノズル配列方向の両端部の第2マーク122の近傍の領域だけ接着剤103が付与されない非付与領域105とし、その外側には接着剤103を付与する付与領域(接合領域)104を設けている。   In the present embodiment, the first marks 121 and the second marks 122 are arranged along the nozzle arrangement direction at both ends of the second member 102 in the nozzle arrangement direction. Then, only the area in the vicinity of the second marks 122 at both ends in the nozzle arrangement direction of the second member 102 is the non-application area 105 where the adhesive 103 is not applied, and the application area (junction area ) Is provided.

これにより、第4実施形態よりも第1部材101と第2部材102との接合領域が広くなって接合強度を向上することができる。   As a result, the bonding area between the first member 101 and the second member 102 can be wider than in the fourth embodiment, and the bonding strength can be improved.

次に、本発明の第6実施形態について図14を参照して説明する。図14は同実施形態における第2部材の平面説明図である。   Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 14 is a plan view of the second member in the embodiment.

本実施形態では、第1マーク121と第2マーク122とは、ノズル配列方向と直交する方向に並べて配置している。そして、第2マーク122は第2部材102の角に配置している。   In the present embodiment, the first marks 121 and the second marks 122 are arranged in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction. The second mark 122 is disposed at the corner of the second member 102.

これによって、接着剤103の付与領域を広くして接合強度を向上し、また、第2部材102のノズル配列方向のサイズを短くすることができ、ヘッドサイズの小型化や接合装置の小型化を図れる。   As a result, the area to which the adhesive 103 is applied is broadened to improve the bonding strength, and the size of the second member 102 in the nozzle arrangement direction can be shortened, so that the head size can be reduced and the bonding apparatus can be miniaturized. It can be done.

なお、上記各実施形態においては第1マークと第2マークを第2部材に設けた例で説明しているが、第1部材に第1マークと第2マークを設けてもよく、また、第1部材及び第2部材の両方に第1マークと第2マークを設けてもよい。   In the above embodiments, the first mark and the second mark are provided in the second member, but the first member may be provided with the first mark and the second mark. The first mark and the second mark may be provided on both the one member and the second member.

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図15及び図16を参照して説明する。図15は同装置の要部平面説明図、図16は同装置の要部側面説明図である。   Next, an example of a device for discharging a liquid according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 15 is an explanatory plan view of the main part of the apparatus, and FIG. 16 is an explanatory side view of the main part of the apparatus.

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構493によって、キャリッジ403は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構493は、ガイド部材401、主走査モータ405、タイミングベルト408等を含む。ガイド部材401は、左右の側板491A、491Bに架け渡されてキャリッジ403を移動可能に保持している。そして、主走査モータ405によって、駆動プーリ406と従動プーリ407間に架け渡したタイミングベルト408を介して、キャリッジ403は主走査方向に往復移動される。   This apparatus is a serial type apparatus, and the carriage 403 reciprocally moves in the main scanning direction by the main scanning movement mechanism 493. The main scanning movement mechanism 493 includes a guide member 401, a main scanning motor 405, a timing belt 408, and the like. The guide member 401 is bridged by the left and right side plates 491A and 491B and holds the carriage 403 movably. Then, the carriage 403 is reciprocated in the main scanning direction via the timing belt 408 bridged between the drive pulley 406 and the driven pulley 407 by the main scanning motor 405.

このキャリッジ403には、本発明に係る液体吐出ヘッド404及びヘッドタンク441を一体にした液体吐出ユニット440を搭載している。液体吐出ユニット440の液体吐出ヘッド404は、例えば、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド404は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。   On the carriage 403, a liquid discharge unit 440 in which a liquid discharge head 404 and a head tank 441 according to the present invention are integrated is mounted. The liquid ejection head 404 of the liquid ejection unit 440 ejects, for example, liquid of each color of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K). Further, the liquid discharge head 404 has a nozzle row consisting of a plurality of nozzles arranged in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and is mounted with the discharge direction downward.

液体吐出ヘッド404の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド404に供給するための供給機構494により、ヘッドタンク441には、液体カートリッジ450に貯留されている液体が供給される。   The liquid stored in the liquid cartridge 450 is supplied to the head tank 441 by the supply mechanism 494 for supplying the liquid stored in the outside of the liquid discharge head 404 to the liquid discharge head 404.

供給機構494は、液体カートリッジ450を装着する充填部であるカートリッジホルダ451、チューブ456、送液ポンプを含む送液ユニット452等で構成される。液体カートリッジ450はカートリッジホルダ451に着脱可能に装着される。ヘッドタンク441には、チューブ456を介して送液ユニット452によって、液体カートリッジ450から液体が送液される。   The supply mechanism 494 includes a cartridge holder 451 as a filling unit for mounting the liquid cartridge 450, a tube 456, a liquid feeding unit 452 including a liquid feeding pump, and the like. The liquid cartridge 450 is detachably mounted to the cartridge holder 451. The liquid is fed from the liquid cartridge 450 to the head tank 441 by the liquid feeding unit 452 via the tube 456.

この装置は、用紙410を搬送するための搬送機構495を備えている。搬送機構495は、搬送手段である搬送ベルト412、搬送ベルト412を駆動するための副走査モータ416を含む。   The apparatus includes a transport mechanism 495 for transporting the sheet 410. The transport mechanism 495 includes a transport belt 412 which is transport means, and a sub scanning motor 416 for driving the transport belt 412.

搬送ベルト412は用紙410を吸着して液体吐出ヘッド404に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト412は、無端状ベルトであり、搬送ローラ413と、テンションローラ414との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。   The conveyance belt 412 adsorbs the sheet 410 and conveys the sheet 410 at a position facing the liquid discharge head 404. The conveyance belt 412 is an endless belt and is stretched between the conveyance roller 413 and the tension roller 414. The adsorption can be performed by electrostatic adsorption or air suction.

そして、搬送ベルト412は、副走査モータ416によってタイミングベルト417及びタイミングプーリ418を介して搬送ローラ413が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。   The conveyance belt 412 rotates in the sub-scanning direction as the conveyance roller 413 is rotationally driven by the sub-scanning motor 416 via the timing belt 417 and the timing pulley 418.

さらに、キャリッジ403の主走査方向の一方側には搬送ベルト412の側方に液体吐出ヘッド404の維持回復を行う維持回復機構420が配置されている。   Further, on one side of the carriage 403 in the main scanning direction, a maintenance recovery mechanism 420 for maintaining and recovering the liquid discharge head 404 is disposed on the side of the transport belt 412.

維持回復機構420は、例えば液体吐出ヘッド404のノズル面(ノズルが形成された面)をキャッピングするキャップ部材421、ノズル面を払拭するワイパ部材422などで構成されている。   The maintenance and recovery mechanism 420 includes, for example, a cap member 421 for capping the nozzle surface (surface on which the nozzle is formed) of the liquid discharge head 404, a wiper member 422 for wiping the nozzle surface, and the like.

主走査移動機構493、供給機構494、維持回復機構420、搬送機構495は、側板491A,491B、背板491Cを含む筐体に取り付けられている。   The main scanning movement mechanism 493, the supply mechanism 494, the maintenance recovery mechanism 420, and the transport mechanism 495 are attached to a housing including the side plates 491A and 491B and the back plate 491C.

このように構成したこの装置においては、用紙410が搬送ベルト412上に給紙されて吸着され、搬送ベルト412の周回移動によって用紙410が副走査方向に搬送される。   In this apparatus configured as described above, the sheet 410 is fed and adsorbed onto the conveyance belt 412, and the sheet 410 is conveyed in the sub-scanning direction by the circumferential movement of the conveyance belt 412.

そこで、キャリッジ403を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド404を駆動することにより、停止している用紙410に液体を吐出して画像を形成
する。
Therefore, the liquid ejection head 404 is driven according to the image signal while moving the carriage 403 in the main scanning direction, thereby ejecting the liquid onto the stopped sheet 410 to form an image.

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。   As described above, in this apparatus, since the liquid discharge head according to the present invention is provided, a high quality image can be stably formed.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図17を参照して説明する。図17は同ユニットの要部平面説明図である。   Next, another example of the liquid discharge unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 17 is an explanatory plan view of the main part of the unit.

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板491A、491B及び背板491Cで構成される筐体部分と、主走査移動機構493と、キャリッジ403と、液体吐出ヘッド404で構成されている。   Among the members constituting the device for discharging the liquid, the liquid discharge unit includes a housing portion constituted by the side plates 491A and 491B and the back plate 491C, the main scanning movement mechanism 493, the carriage 403, and the liquid It comprises the discharge head 404.

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板491Bに、前述した維持回復機構420、及び供給機構494の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。   It is also possible to configure a liquid discharge unit in which at least one of the aforementioned maintenance and recovery mechanism 420 and the supply mechanism 494 is further attached to, for example, the side plate 491B of this liquid discharge unit.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図18を参照して説明する。図18は同ユニットの正面説明図である。   Next, still another example of the liquid discharge unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 18 is a front view of the unit.

この液体吐出ユニットは、液体供給部材である流路部品444が取付けられた液体吐出ヘッド404と、流路部品444に接続されたチューブ456で構成されている。   The liquid discharge unit includes a liquid discharge head 404 to which a flow path component 444 as a liquid supply member is attached, and a tube 456 connected to the flow path component 444.

なお、流路部品444はカバー442の内部に配置されている。流路部品444に代えてヘッドタンク441を含むこともできる。また、流路部品444の上部には液体吐出ヘッド404と電気的接続を行うコネクタ443が設けられている。   The channel component 444 is disposed inside the cover 442. Instead of the flow path component 444, a head tank 441 can be included. Further, a connector 443 electrically connected to the liquid discharge head 404 is provided on the upper portion of the flow path component 444.

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。   In the present invention, the liquid to be discharged is not particularly limited as long as it has a viscosity and surface tension that can be discharged from the head, but the viscosity becomes 30 mPa · s or less at normal temperature or normal pressure, or by heating and cooling. It is preferred that More specifically, solvents such as water and organic solvents, colorants such as dyes and pigments, polymerizable compounds, functionalizing materials such as resins and surfactants, and biocompatible materials such as DNA, amino acids, proteins and calcium Solutions, suspensions, emulsions, etc. containing edible materials such as natural pigments, etc. These are, for example, ink jet inks, surface treatment liquids, components of electronic devices and light emitting devices, and formation of electronic circuit resist patterns It can be used in applications such as liquids for liquids, material liquids for three-dimensional modeling and the like.

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ(積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子)、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。   Use a piezoelectric actuator (laminated piezoelectric element and thin film piezoelectric element), a thermal actuator using an electrothermal transducer such as a heating resistor, an electrostatic actuator consisting of a diaphragm and a counter electrode, etc. as an energy source to discharge liquid It includes what you do.

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。   The “liquid discharge unit” is a liquid discharge head in which functional parts and mechanisms are integrated, and includes an assembly of parts related to the discharge of liquid. For example, the “liquid discharge unit” includes a combination of at least one of the configuration of a head tank, a carriage, a supply mechanism, a maintenance recovery mechanism, and a main scanning movement mechanism with a liquid discharge head.

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。   Here, integration means, for example, one in which the liquid discharge head and the functional component or mechanism are fixed to each other by fastening, bonding, engagement or the like, or one in which one is held movably with respect to the other. Including. In addition, the liquid discharge head, the functional components, and the mechanism may be configured to be removable from each other.

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。   For example, there is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head and a head tank are integrated. In addition, there is one in which the liquid discharge head and the head tank are integrated by being connected to each other by a tube or the like. Here, it is possible to add a unit including a filter between the head tank of these liquid discharge units and the liquid discharge head.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。   Further, as a liquid discharge unit, there is one in which a liquid discharge head and a carriage are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。   Further, as a liquid discharge unit, there is one in which the liquid discharge head is movably held by a guide member constituting a part of the scanning movement mechanism, and the liquid discharge head and the scanning movement mechanism are integrated. In addition, there is one in which the liquid discharge head, the carriage, and the main scanning movement mechanism are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。   Further, as a liquid discharge unit, there is one in which a cap member which is a part of a maintenance recovery mechanism is fixed to a carriage attached with a liquid discharge head, and the liquid discharge head, the carriage and the maintenance recovery mechanism are integrated. .

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。   Further, as a liquid discharge unit, there is one in which a tube is connected to a liquid discharge head to which a head tank or a flow path part is attached, and the liquid discharge head and the supply mechanism are integrated. The liquid of the liquid storage source is supplied to the liquid discharge head through the tube.

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。   The main scanning movement mechanism also includes a single guide member. The supply mechanism also includes a single tube and a single loading unit.

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。 The “device for discharging liquid” includes a liquid discharge head or a liquid discharge unit, and includes a device which drives the liquid discharge head to discharge the liquid. The device for discharging the liquid includes not only a device capable of discharging the liquid to those to which the liquid can adhere, but also a device for discharging the liquid into the air or into the liquid.

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。   This "device for discharging liquid" can also include means related to feeding, transporting, and discharging of those to which the liquid can be attached, as well as a pre-processing device, a post-processing device, and the like.

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物(三次元造形物)を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置(三次元造形装置)がある。   For example, as a “device for discharging a liquid”, an image forming device which is a device for discharging an ink to form an image on a sheet, and forming a powder in layers to form a three-dimensional object (three-dimensional object) There is a three-dimensional modeling apparatus (three-dimensional modeling apparatus) which discharges a modeling liquid to the powder layer.

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。   Further, the “device for discharging liquid” is not limited to a device in which a significant image such as characters and figures is visualized by the discharged liquid. For example, those which form patterns having no meaning per se and those which form three-dimensional images are included.

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層(粉末層)、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。   The above-mentioned "thing to which liquid can be attached" means one to which liquid can be attached at least temporarily, which adheres and adheres, and adheres and penetrates. Specific examples include recording media such as paper, recording paper, recording paper, film, cloth, electronic substrates, electronic components such as piezoelectric elements, and media such as powder layers (powder layers), organ models, and inspection cells. Yes, and unless otherwise specified, all things to which the liquid adheres are included.

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。   The material of the above-mentioned "thing to which liquid can adhere" may be any liquid such as paper, yarn, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc. as long as it temporarily adheres thereto.

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。   Further, as the “device for discharging the liquid”, there is a device in which the liquid discharge head and the device to which the liquid can be attached relatively move, but it is not limited to this. Specific examples include a serial type device that moves the liquid discharge head, a line type device that does not move the liquid discharge head, and the like.

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。   In addition, as the “apparatus for discharging liquid”, there is also provided a processing liquid application apparatus for discharging a processing liquid onto a sheet in order to apply the processing liquid to the surface of the sheet for the purpose of reforming the surface of the sheet. There is an injection granulator which granulates the fine particles of the raw material by injecting a composition liquid in which the raw material is dispersed in a solution through a nozzle.

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。   In the terms of the present application, image formation, recording, printing, printing, printing, modeling and the like are all synonymous.

1 ノズル板
2 流路板
3 振動板部材
4 ノズル
6 個別液室
10 共通液室
20 アクチュエータ基板
50 保持基板
100 液体吐出ヘッド
101 第1部材
102 第2部材
103 接着剤
104 接合領域(付与領域)
105 非付与領域
403 キャリッジ
404 液体吐出ヘッド
440 液体吐出ユニット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 nozzle plate 2 flow path plate 3 diaphragm member 4 nozzle 6 individual liquid chamber 10 common liquid chamber 20 actuator substrate 50 holding substrate 100 liquid discharge head 101 first member 102 second member 103 adhesive 104 bonding region (application region)
105 Unapplied area 403 Carriage 404 Liquid discharge head 440 Liquid discharge unit

Claims (9)

第1部材と、
前記第1部材と接着剤で接合された第2部材と、を備え、
前記第1部材及び前記第2部材には位置合わせ用マークが設けられ、
前記第1部材及び前記第2部材の少なくともいずれかの部材に設けられた前記位置合わせ用マークは、近傍に前記接着剤が付与されている第1マークと、近傍に前記接着剤が付与されていない第2マークとを含む
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
A first member,
And a second member joined with the first member by an adhesive.
Alignment marks are provided on the first member and the second member,
The alignment mark provided on at least one of the first member and the second member has a first mark to which the adhesive is applied in the vicinity, and the adhesive is applied to the vicinity. And a second mark.
前記第1マーク及び前記第2マークはノズル配列方向の少なくとも一端部側に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
The liquid discharge head according to claim 1, wherein the first mark and the second mark are disposed on at least one end side in a nozzle arrangement direction.
前記第1マーク及び前記第2マークはノズル配列方向において並んで配置されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。
The liquid discharge head according to claim 1, wherein the first mark and the second mark are arranged side by side in the nozzle arrangement direction.
前記第1マーク及び前記第2マークはノズル配列方向と直交する方向において並んで配置されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。
The liquid discharge head according to claim 1, wherein the first mark and the second mark are arranged side by side in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction.
前記第1マークと前記第2マークは同じ形状である。
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
The first mark and the second mark have the same shape.
The liquid discharge head according to any one of claims 1 to 4, characterized in that:
前記第1マークは、前記接着剤が付与されていない領域と、前記接着剤が付与された領域とが同心状に配置されているマークである
ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
The first mark is a mark in which a region to which the adhesive is not applied and a region to which the adhesive is applied are arranged concentrically. The liquid discharge head according to claim 1.
請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。   A liquid discharge unit comprising the liquid discharge head according to any one of claims 1 to 6. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ユニット。
A head tank for storing liquid to be supplied to the liquid discharge head, a carriage for mounting the liquid discharge head, a supply mechanism for supplying liquid to the liquid discharge head, a maintenance recovery mechanism for maintaining and recovering the liquid discharge head, the liquid 8. The liquid discharge unit according to claim 7, wherein the liquid discharge head is integrated with at least one of a main scanning movement mechanism for moving the discharge head in the main scanning direction.
請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、請求項7若しくは8に記載の液体吐出ユニットを備えている
ことを特徴とする液体を吐出する装置。
An apparatus for discharging a liquid comprising the liquid discharge head according to any one of claims 1 to 6, and the liquid discharge unit according to claim 7 or 8.
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