JP2019117063A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019117063A JP2019117063A JP2017249989A JP2017249989A JP2019117063A JP 2019117063 A JP2019117063 A JP 2019117063A JP 2017249989 A JP2017249989 A JP 2017249989A JP 2017249989 A JP2017249989 A JP 2017249989A JP 2019117063 A JP2019117063 A JP 2019117063A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- igbt
- cathode
- cathode mark
- master image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 title abstract description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 20
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
Images
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
Description
4:カソード跡
10:外観検査装置
12:ステージ
14:カメラ
16:プロセッサ
20:第1マスタ画像
22:第2マスタ画像
Claims (1)
- RC−IGBTの下面を外観検査する外観検査装置であって、前記RC−IGBTは、前記下面に露出するとともに複数のカソード領域に接する下面電極を有し、
前記外観検査装置は、
前記RC−IGBTの前記下面を撮影するカメラと、
前記カメラによって撮影された撮影画像を処理する処理装置と、を備え、
前記処理装置は、
カソード跡を有する第1マスタ画像と、カソード跡を有さない第2マスタ画像とを記憶する記憶部と、
前記撮影画像に対して輪郭線抽出を実行し、前記撮影画像におけるカソード跡の有無を判定する判定部と、
前記撮影画像にカソード跡が存在する場合は、前記撮影画像と前記第1マスタ画像との間の差分を演算し、前記撮影画像にカソード跡が存在しない場合は、前記撮影画像と第2マスタ画像との間の差分を演算する演算部とを有する、
外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017249989A JP6965734B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017249989A JP6965734B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 外観検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019117063A true JP2019117063A (ja) | 2019-07-18 |
JP6965734B2 JP6965734B2 (ja) | 2021-11-10 |
Family
ID=67305249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017249989A Active JP6965734B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6965734B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008261667A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Oki Electric Ind Co Ltd | 基板検査装置及び基板検査方法 |
JP2010164333A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JP2010245301A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Toyota Motor Corp | ウエハの外観検査方法、及び、外観検査補助装置 |
JP2015105897A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マスクパターンの検査方法 |
US20170213796A1 (en) * | 2016-01-27 | 2017-07-27 | Infineon Technologies Ag | Electronic chip inspection by backside illumination |
-
2017
- 2017-12-26 JP JP2017249989A patent/JP6965734B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008261667A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Oki Electric Ind Co Ltd | 基板検査装置及び基板検査方法 |
JP2010164333A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JP2010245301A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Toyota Motor Corp | ウエハの外観検査方法、及び、外観検査補助装置 |
JP2015105897A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マスクパターンの検査方法 |
US20170213796A1 (en) * | 2016-01-27 | 2017-07-27 | Infineon Technologies Ag | Electronic chip inspection by backside illumination |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6965734B2 (ja) | 2021-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7978903B2 (en) | Defect detecting method and defect detecting device | |
TWI412739B (zh) | 缺陷檢測方法及缺陷檢測裝置 | |
TWI758609B (zh) | 影像生成裝置及影像生成方法 | |
WO2017071406A1 (zh) | 金针类元件的引脚检测方法和系统 | |
JP2008064486A (ja) | 印刷物検査装置、印刷物検査方法 | |
JP2006284471A (ja) | パターン検査方法及びパターン検査装置並びにパターン検査用プログラム | |
JP6696323B2 (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JP2005172559A (ja) | パネルの線欠陥検出方法及び装置 | |
JP2007155610A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
JP2010181328A (ja) | 太陽電池ウェハ表面の検査装置,太陽電池ウェハ表面の検査用プログラム,太陽電池ウェハ表面の検査方法 | |
JP2012047618A (ja) | 円筒形状容器の検査方法 | |
JP4331558B2 (ja) | 被検査物の外観検査方法及び外観検査装置 | |
JP2009139133A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
KR20160097651A (ko) | 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치 및 방법, 그리고 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체 | |
JP2019117063A (ja) | 外観検査装置 | |
JP4131804B2 (ja) | 実装部品検査方法 | |
JP2019045451A (ja) | 検査装置、検査方法、およびプログラム | |
KR101126759B1 (ko) | 칩 마운터의 부품 정보 티칭방법 | |
KR101383827B1 (ko) | 인쇄회로기판의 솔더링 영역 자동검출 시스템 및 방법 | |
JP2019117126A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2009074828A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2000321038A (ja) | パターン欠陥検出方法 | |
JP2010243214A (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JPH0735699A (ja) | 表面欠陥検出方法およびその装置 | |
JPWO2012160611A1 (ja) | 位置検出装置およびそれを搭載した外観検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20200401 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210921 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211004 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6965734 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |