JP2019113312A - 皮膜の検査方法及び装置並びに皮膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態では、本発明の皮膜の検査方法及び皮膜の形成方法を、ガスタービンを構成する圧縮機の動翼に適用して説明する。第1実施形態の皮膜の検査方法は、動翼の表面に形成されたガラス皮膜の表面に光を照射する工程と、ガラス皮膜の表面に映る光の像の状態に基づいて表面粗度の良否を判定する工程とを有する。また、第1実施形態の皮膜の形成方法は、動翼(部材)の表面にガラス皮膜を形成する工程と、ガラス皮膜の表面を研磨する工程と、研磨後のガラス皮膜の表面に光を照射する工程と、ガラス皮膜の表面に映る光の像の状態に基づいて表面粗度の良否を判定する工程とを有する。
図4は、第2実施形態の皮膜の形成装置を表す概略図である。なお、上述した実施形態と同様の機能を有する部材には、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
13 翼部
20 研磨工具
21 バフ
30 ライト
31 照射部
32 発光ダイオード(光源)
41 光
50 皮膜の検査装置
51 研磨装置
52 照射装置
53 撮影装置
54 制御装置
62 研磨工具
64 ライト
65 カメラ
66 判定部
67 記憶部
Claims (9)
- ガラス皮膜の表面に光を照射する工程と、
前記ガラス皮膜の表面に映る光の像の状態に基づいて表面粗度の良否を判定する工程と、
を有することを特徴とする皮膜の検査方法。 - 前記ガラス皮膜の表面に映る光の像の鮮明度に基づいて表面粗度の良否を判定することを特徴とする請求項1に記載の皮膜の検査方法。
- 前記ガラス皮膜の表面に映る光の像と予め設定された判定基準とを比較して表面粗度の良否を判定することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の皮膜の検査方法。
- 前記ガラス皮膜の表面に映る光の像の状態に基づいて表面粗度を推定し、推定した表面粗度に基づいて良否を判定することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の皮膜の検査方法。
- 前記ガラス皮膜の表面に対して複数の光源から光を照射することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の皮膜の検査方法。
- 前記複数の光源は、発光ダイオードであることを特徴とする請求項5に記載の皮膜の検査方法。
- ガラス皮膜の表面に光を照射する光源と、
前記ガラス皮膜の表面に映る光の像を撮像するカメラと、
前記カメラが撮像した画像に基づいて表面粗度の良否を判定する判定部と、
を備えることを特徴とする皮膜の検査装置。 - 部材の表面にガラス皮膜を形成する工程と、
前記ガラス皮膜の表面を研磨する工程と、
研磨後のガラス皮膜の表面に光を照射する工程と、
前記ガラス皮膜の表面に映る光の像の状態に基づいて表面粗度の良否を判定する工程と、
を有することを特徴とする皮膜の形成方法。 - 前記ガラス皮膜の表面粗度の判定結果が否であるとき、再度前記ガラス皮膜の表面を研磨した後、前記ガラス皮膜の表面に映る光の像の状態に基づいて表面粗度の良否を判定することを特徴とする請求項8に記載の皮膜の形成方法。
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