JP2019109082A - State diagnosis apparatus for motion guide device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、軌道部材と移動部材を有する運動案内装置の状態を診断する状態診断装置に関する。 The present invention relates to a state diagnostic device that diagnoses the state of a motion guide device having a track member and a moving member.
従来、長手方向に沿って延在する軌道部材と、該軌道部材の該長手方向に沿って相対的に移動可能な移動部材と、を有する運動案内装置が知られている。この運動案内装置においては、軌道部材に形成された転動面との間に複数の転動体を転動可能な状態で挟み込んで移動部材が該軌道部材に対して係合されている。そして、移動部材の内部には複数の転動体が循環するための循環路が形成されている。これにより、軌道部材の長手方向に沿って移動部材が移動する際には、該軌道部材の転動面上および移動部材の内部(循環路)を通って複数の転動体が循環する。 Heretofore, there has been known a motion guiding device having a track member extending along a longitudinal direction and a movable member relatively movable along the longitudinal direction of the track member. In this motion guide device, the plurality of rolling elements are rollably held between the rolling surface formed on the raceway member, and the moving member is engaged with the raceway member. And a circulation way for a plurality of rolling elements to circulate is formed inside a movement member. Thereby, when the moving member moves along the longitudinal direction of the track member, the plurality of rolling elements circulate on the rolling surface of the track member and the inside (circulation path) of the moving member.
また、特許文献1には、上記のような運動案内装置(運動機構)において、軌道部材(特許文献1における「軌道体」)の転動面(特許文献1における「転動体転走面」)の損傷を検査する検査装置に関する技術が開示されている。この特許文献1に記載の検査装置においては、軌道体に加速度センサが設置されている。そして、バンドパスフィルタによって、加速度センサの検出信号から特定の周波数帯域の検出信号を取得し、取得された検出信号の強度を所定の閾値と比較することで転動面の損傷度合いを診断する。
In addition, in
運動案内装置においては、軌道部材の長手方向に沿って移動部材が移動する際に、該軌道部材の転動面と、該転動面上を転動する複数の転動体との間に摩擦力(動摩擦力)が発生する。ここで、軌道部材における転動面の状態はその長手方向に沿ったそれぞれの位置において異なっている。その結果、転動面と転動体との間に発生する摩擦力の大きさは軌道部材上における移動部材の位置によって異なる値となる。そのため、軌道部材の長手方向に沿って移動部材が移動する際には摩擦力変動が生じる。そして、フレーキング等が発生することによって軌道部材の転動面の状態が変化すると、該軌道部材を移動部材が移動する際に生じる摩擦力変動も変化する。そのため、摩擦力変動と相関のあるパラメータを取得することによって、運動案内装置における軌道部材の転動面の状態(軌道部材の転動面の劣化度合いや損傷度合い)を診断することができる。 In the motion guiding device, when the moving member moves along the longitudinal direction of the track member, a frictional force is generated between the rolling surface of the track member and the plurality of rolling elements rolling on the rolling surface. (Dynamic friction force) occurs. Here, the state of the rolling surface of the raceway member is different at each position along the longitudinal direction. As a result, the magnitude of the frictional force generated between the rolling surface and the rolling element varies depending on the position of the moving member on the raceway member. Therefore, when the moving member moves along the longitudinal direction of the track member, the frictional force fluctuation occurs. Then, when the state of the rolling surface of the raceway member changes due to the occurrence of flaking or the like, the fluctuation of the frictional force generated when the moving member moves along the raceway member also changes. Therefore, it is possible to diagnose the state (the degree of deterioration or damage of the rolling surface of the raceway member) of the rolling surface of the raceway member in the motion guide device by acquiring the parameter correlated with the friction force fluctuation.
ただし、運動案内装置においては、軌道部材の転動面上を転動体が転動することに起因して摩擦力変動が発生するのみならず、該軌道部材の転動面上と移動部材の循環路との間を該転動体が出入りすることによっても摩擦力変動が発生する。そして、運動案内装置において、ある特定の状態の変化が生じた場合、軌道部材の転動面上を転動体が転動することに起因して生じる摩擦力変動よりも、該軌道部材の転動面上と移動部材の循環路との間を該転動体が出入りすることに起因して生じる摩擦力変動の方がより顕著に変化する場合もあり得る。 However, in the motion guide device, not only the frictional force fluctuation occurs due to the rolling element rolling on the rolling surface of the raceway member, but the circulation of the rolling member on the raceway member and the moving member Frictional force fluctuations also occur when the rolling elements move in and out of the path. Then, in the motion guide device, when a change in a specific state occurs, the rolling of the race member is caused more than the friction force fluctuation caused by the rolling of the rolling element on the rolling surface of the race member. In some cases, the variation in the frictional force caused by the rolling elements moving in and out between the surface and the circulation path of the moving member may change more significantly.
本発明は、上記のような点に鑑みてなされたものであって、軌道部材と移動部材を有する運動案内装置の状態をより高精度で診断することが可能な技術を提供することを目的と
する。
The present invention has been made in view of the above-described points, and an object thereof is to provide a technology capable of diagnosing the state of a motion guide device having a track member and a moving member with higher accuracy. Do.
本発明に係る運動案内装置の状態診断装置は、
長手方向に沿って延在する軌道部材と、該軌道部材の長手方向に沿って相対的に移動可能な移動部材であって、該軌道部材に形成された転動面との間に複数の転動体を転動可能な状態で挟み込んで該軌道部材に対して係合され、且つ、その内部に形成された循環路を通って前記複数の転動体が循環するように構成されている移動部材と、を有する運動案内装置の状態を診断する状態診断装置であって、
前記運動案内装置において前記軌道部材の長手方向に沿って前記移動部材が移動する際に生じる摩擦力変動と相関のある所定の診断パラメータを取得するパラメータ取得部と、
前記パラメータ取得部によって取得された前記所定の診断パラメータに係る信号を処理する信号処理部であって、該所定の診断パラメータに係る信号から、第1所定周波数帯域の信号である第1診断用信号と、該第1所定周波数帯域よりも低い第2所定周波数帯域の信号である第2診断用信号とを抽出する信号処理部と、
前記信号処理部によって抽出された前記第1診断用信号および前記第2診断用信号に基づいて前記運動案内装置の状態を診断する診断部と、
を備える。
According to the present invention, there is provided a state diagnostic device for a motion guidance device,
A plurality of rolling members are provided between a track member extending along a longitudinal direction and a moving member relatively movable along the longitudinal direction of the track member, the rolling surface being formed on the track member A moving member configured to be capable of rolling the movable body, engaged with the track member, and configured to circulate the plurality of rolling elements through a circulation passage formed therein; A condition diagnostic device for diagnosing the condition of the motion guide device,
A parameter acquisition unit for acquiring a predetermined diagnostic parameter correlated with a frictional force fluctuation generated when the moving member moves in the longitudinal direction of the track member in the motion guide device;
A signal processing unit that processes a signal related to the predetermined diagnostic parameter acquired by the parameter acquisition unit, wherein a first diagnostic signal that is a signal of a first predetermined frequency band from the signal related to the predetermined diagnostic parameter And a signal processing unit that extracts a second diagnostic signal that is a signal of a second predetermined frequency band lower than the first predetermined frequency band.
A diagnosis unit that diagnoses the state of the exercise guide apparatus based on the first diagnosis signal and the second diagnosis signal extracted by the signal processing unit;
Equipped with
本発明によれば、軌道部材と移動部材を有する運動案内装置の状態をより高精度で診断することができる。 According to the present invention, it is possible to diagnose the state of the motion guide device having the track member and the moving member with higher accuracy.
本発明に係る運動案内装置の状態診断装置においては、運動案内装置において軌道部材の長手方向に沿って移動部材が移動する際に生じる摩擦力変動と相関のある所定の診断パラメータがパラメータ取得部によって取得される。さらに、パラメータ取得部によって取得された所定の診断パラメータに係る信号が信号処理部によって処理されることで第1診断用信号および第2診断用信号が抽出される。ここで、第1診断用信号は第1所定周波数帯域の信号であり、第2診断用信号は、第1所定周波数帯域よりも低い第2所定周波数帯域の信号である。 In the state diagnostic device of the motion guide apparatus according to the present invention, the parameter acquisition unit is a predetermined diagnostic parameter correlated with the frictional force fluctuation generated when the moving member moves in the longitudinal direction of the track member in the motion guide apparatus. It is acquired. Furthermore, the signal relating to the predetermined diagnostic parameter acquired by the parameter acquiring unit is processed by the signal processing unit, whereby the first diagnostic signal and the second diagnostic signal are extracted. Here, the first diagnostic signal is a signal of a first predetermined frequency band, and the second diagnostic signal is a signal of a second predetermined frequency band lower than the first predetermined frequency band.
上述したように、運動案内装置における摩擦力変動には、軌道部材の転動面上を転動体が転動することに起因する摩擦力変動(以下、「第1摩擦力変動」と称する場合もある。)のみならず、軌道部材の転動面上と移動部材の循環路との間を該転動体が出入りすることに起因する摩擦力変動(以下、「第2摩擦力変動」と称する場合もある。)が含まれている。そして、第1摩擦力変動と第2摩擦力変動とでは主な周波数帯域が異なっている。詳細には、第2摩擦力変動の主な周波数帯域は第1摩擦力変動の主な周波数帯域よりも低い。そこで、本発明では、摩擦力変動と相関のある所定の診断パラメータに係る信号から周波数帯域の異なる第1診断用信号および第2診断用信号を抽出する。これにより、発生要因の異なる摩擦力変動のそれぞれと相関のある二つのパラメータを切り分けて取得することができる。 As described above, in the friction force fluctuation in the motion guide device, the friction force fluctuation caused by the rolling of the rolling elements on the rolling surface of the raceway member (hereinafter also referred to as “first friction force fluctuation”) Not only) but also the friction force fluctuation (hereinafter referred to as “the second friction force fluctuation”) caused by the rolling element moving in and out between the rolling surface of the raceway member and the circulating path of the moving member. Also included). And the main frequency band differs in the 1st frictional force fluctuation and the 2nd frictional force fluctuation. In particular, the main frequency band of the second friction force fluctuation is lower than the main frequency band of the first friction force fluctuation. Therefore, in the present invention, the first diagnostic signal and the second diagnostic signal having different frequency bands are extracted from the signal relating to the predetermined diagnostic parameter correlated with the frictional force fluctuation. In this way, it is possible to separate and acquire two parameters correlated with each of the frictional force variations different in the generation factor.
そして、本発明においては、診断部が、第1診断用信号および前記第2診断用信号の両方に基づいて運動案内装置の状態を診断する。これによれば、運動案内装置において、第1摩擦力変動または第2摩擦力変動の少なくともいずれか一方に変化が生じるような状態の変化が発生した場合、該状態の変化を検出することができる。したがって、運動案内装置の状態をより高精度で診断することが可能となる。 Then, in the present invention, the diagnosis unit diagnoses the state of the exercise guide apparatus based on both the first diagnostic signal and the second diagnostic signal. According to this, when a change in a state occurs in which at least one of the first frictional force fluctuation and the second frictional force fluctuation occurs in the motion guiding device, the change in the state can be detected. . Therefore, it is possible to diagnose the state of the motion guide device with higher accuracy.
以下、本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。本実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置等は、特に記載がない限りは発明の技術的範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described based on the drawings. The dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in the present embodiment are not intended to limit the technical scope of the invention to them unless otherwise specified.
<実施例>
(システムの概略構成)
図1は、本実施例に係るリニアモータ式駆動システムの概略構成を示す図である。また、図2,3は、本実施例に係るリニアモータ式駆動システムが備える運動案内装置の概略構成を説明するための図である。
<Example>
(Schematic configuration of system)
FIG. 1 is a view showing a schematic configuration of a linear motor drive system according to the present embodiment. Further, FIGS. 2 and 3 are diagrams for explaining a schematic configuration of a motion guide device provided in the linear motor drive system according to the present embodiment.
図1に示すように、本実施例に係るリニアモータ式駆動システム1は、リニアモータ2、運動案内装置3、テーブル4、リニアスケール5、ベース部材7、制御装置10、および診断装置200を備えている。リニアモータ2は固定子21および可動子22を有している。固定子21はベース部材に7に固定されており、可動子22は該固定子21上を軸方向に移動する。そして、制御装置10によってリニアモータ2が制御される。また、リニアモータ2の可動子22には、ワークを載置するためのテーブル4が取り付けられている。そのため、固定子21の軸方向に可動子22が移動すると、それに伴ってテーブル4も移動する。
As shown in FIG. 1, the linear
運動案内装置3は、テーブル4を支持しつつ、リニアモータ2における可動子22の移
動に伴う該テーブル4の移動を案内するための装置である。運動案内装置3は、一対のレール31と、四つのブロック32とを有している。二本のレール31は、それぞれ、リニアモータ2の固定子21の軸方向に延び、該固定子21を挟んで互いに平行となるようにベース部材7に固定されている。各レール31には、該レール31の長手方向に沿って相対的に移動するブロック32が二つずつ取り付けられている。
The
図2は、運動案内装置3におけるレール31およびブロック32の外観斜視図である。また、図3はブロック32の内部構造を示す図である。なお、図2,3では、一つのレール31に取り付けられた一つのブロック32のみを図示する。レール31には、転動体となる複数のボール34が間に介在した状態でブロック32が取り付けられている。レール31の両側方部分には上下二条の転動面31aが形成されている。転動面31aは、レール31の長手方向に沿ってブロック32が移動する際に、ボール34が接触しつつその上を転動する面である。そして、レール31に形成された転動面31aとの間に複数のボール34を転動可能な状態で挟み込んでブロック32が該レール31に対して係合されている。
FIG. 2 is an external perspective view of the
また、ブロック32は、ブロック本体32aと、該ブロック本体32aの移動方向の前後の端部それぞれに取り付けられた二つの蓋部材32bを備えている。そして、ブロック本体32aおよび各蓋部材32bの内部には、レール31に形成された各転動面31aに対応する位置に、複数のボール34が循環するための循環路33が形成されている。そして、図3において白抜き矢印の方向にレール31上をブロック32が移動すると、複数のボール34が、該レール31の転動面31aと該ブロック32内部の循環路33とを通って矢印の方向に循環する。つまり、レール31上をブロック32が移動する際には、該レール31の転動面31a上と該ブロック32の循環路33との間を複数のボール34が出入りすることになる。
Further, the
上記のように構成された運動案内装置3の各ブロック32にはテーブル4が固定されている。これにより、リニアモータ2における可動子22の移動に伴ってテーブル4が移動すると、運動案内装置3において各ブロック32が各レール31の長手方向に沿って移動することで該テーブル4の移動を案内する。
The table 4 is being fixed to each
また、リニアモータ式駆動システム1では、リニアスケール5によってテーブル4の位置(リニアモータ2の固定子21の軸方向における位置)が検出される。リニアスケール5は制御装置10と電気的に接続されている。そして、リニアスケール5によって検出されたテーブル4の位置情報が制御装置10にフィーバックされる。また、制御装置10には、リニアモータ2から該リニアモータ2の推力もフィードバックされる。制御装置10は、サーボアンプおよびコンピュータを含んで構成されており、リニアスケール5からフィードバックされるテーブル4の位置情報や、リニアモータ2からフィードバックされる推力に基づいて、該リニアモータ2を制御する。
Further, in the linear
また、リニアモータ式駆動システム1には、運動案内装置3の状態を診断する診断装置200が設けられている。図4は、診断装置200における各機能部を示すブロック図である。図4に示すように、診断措置20は、パラメータ取得部210、信号処理部220、および診断部230を備える。なお、診断装置200では、コンピュータが所定のプログラムを実行することで各機能部が実現される。ただし、診断装置200における一部または全部の機能部はハードウェア回路によって実現されてもよい。診断装置200における各機能部の機能の詳細については後述する。
Further, the linear
なお、本実施例においては、運動案内装置3における、レール31が本発明に係る軌道部材に相当し、ブロック32が本発明に係る移動部材に相当し、ボール34が本発明に係
る転動体に相当する。また、本実施例においては、リニアモータ2が本発明に係るアクチュエータに相当する。なお、本発明に係るアクチュエータは、リニアモータに限られるものではなく、ボールねじ等であってもよい。また、本実施例においては、制御装置10が本発明に係る制御装置に相当し、リニアスケール5が本発明に係る位置情報取得装置に相当する。
In the present embodiment, the
(状態診断)
次に、診断装置200によって行われる運動案内装置3の状態診断について説明する。運動案内装置3では、リニアモータ2によってテーブル4が移動されることに伴ってレール31の長手方向に沿ってブロック32が移動する際に摩擦力変動が生じる。そして、運動案内装置3の状態が変化すると、この摩擦力変動に変化が生じる。そこで、診断装置200は、摩擦力変動と相関のある所定の診断パラメータに基づいて運動案内装置3の状態を診断する。
(Status diagnosis)
Next, the state diagnosis of the
診断装置200による運動案内装置3の状態診断が行われる場合、リニアモータ2が駆動される。これにより、リニアモータ2における可動子22と共にテーブル4が移動し、それに伴ってレール31上をブロック32が移動する。ここで、リニアモータ2が駆動される際には、制御装置10からリニアモータ2に対してテーブル4の位置(すなわち、可動子22の位置)に関する指令値が出力される。ただし、上述したように、リニアモータ2によるテーブル4の移動に伴ってレール31上をブロック32が移動すると摩擦力変動が生じる。そして、この摩擦力変動が外乱となって、制御装置10からリニアモータ2に対して出力された指令値とテーブル4の実際の位置との間に差が生じる。そのため、制御装置10からリニアモータ2に対して出力されるテーブル4の位置に関する指令値とリニアスケール5の検出値との差は、運動案内装置3における摩擦力変動と相関のある値となる。
When the state diagnosis of the
そこで、診断装置200においては、パラメータ取得部210が、運動案内装置3の状態を診断するための所定の診断パラメータとして、リニアモータ2を駆動させたときのテーブル4の位置に関する位置偏差を制御装置10から取得する。この位置偏差は、制御装置10からリニアモータ2に対して出力されるテーブル4の位置に関する指令値とリニアスケール5の検出値との差である。なお、運動案内装置3のブロック32はテーブル4と共に移動するため、この位置偏差はブロック32に関する位置偏差として捉えることができる。制御装置10においては、リニアモータ2を駆動させたときに、該リニアモータ2に対して出力した指令値と、リニアスケール5からフィードバックされる検出値とに基づいて位置偏差が所定の演算周期で繰り返し算出されている。そして、算出された位置偏差が、リニアモータ2に対して出力した指令値と対応付けられて、制御装置10から診断装置200のパラメータ取得部210に出力される。
Therefore, in the
図5は、パラメータ取得部210が取得した、テーブル4の位置(指令値)に応じた位置偏差を示す図である。図5に示すように、リニアモータ2を駆動した際には、運動案内装置3における摩擦力変動が位置偏差の変動として現れる。そのため、運動案内装置3の状態が変化することで摩擦力変動に変化が生じると、位置偏差の変動にも変化が現れる。
FIG. 5 is a diagram showing the positional deviation according to the position (command value) of the table 4 acquired by the
ここで、運動案内装置3においては、レール31上をブロック32が移動する際に、該レール31の転動面31a上をボール34が転動することに起因する摩擦力変動(第1摩擦力変動)と、レール31の転動面31a上とブロック32の循環路33との間をボール34が出入りすることに起因する摩擦力変動(第2摩擦力変動)とが生じ得る。そして、運動案内装置3の状態の変化の態様によっては、第1摩擦力変動と第2摩擦力変動とのいずれか一方が他方に比べてより顕著に変化する場合がある。そこで、診断装置200においては、図5に示すような、パラメータ取得部210が取得した位置偏差に係る信号から
、第1摩擦力変動と相関のある第1診断用信号と、第2摩擦力変動と相関のある第2診断用信号とを抽出すべく、信号処理部220が該位置偏差に係る信号を処理する。
Here, in the
詳細には、信号処理部220は、位置偏差に係る信号から、第1所定周波数帯域の信号として第1診断用信号を抽出するとともに、第1所定周波数帯域よりも低い第2所定周波数帯域の信号として第2診断用信号を抽出する。ここで、運動案内装置3において発生する第2摩擦力変動の主な周波数帯域は第1摩擦力変動の主な周波数帯域よりも低い。そして、本実施例では、第1所定周波数帯域が第1摩擦力変動の周波数帯域に設定されており、第2所定周波数帯域が第2摩擦力変動の周波数帯域に設定されている。これにより、第1診断用信号を第1摩擦力変動と相関のあるパラメータとして抽出でき、第2診断用信号を第2摩擦力変動と相関のあるパラメータとして抽出できる。
Specifically, the
図6は、信号処理部220によって抽出される第1診断用信号を示す図である。このような第1診断用信号は、図5に示す位置偏差に係る信号をハイパスフィルタによって処理することで抽出することができる。また、図7は、信号処理部220によって抽出される第2診断用信号を示す図である。このような第2診断用信号は、図5に示す位置偏差に係る信号をローパスフィルタまたはバンドパスフィルタによって処理することで抽出することができる。なお、このときのローパスフィルタまたはバンドパスフィルタは、例えば、ボール34の直径または該直径の二倍に相当する波長の成分を抽出するように設定されていてもよい。
FIG. 6 is a diagram showing the first diagnostic signal extracted by the
そして、診断装置200においては、診断部230が、信号処理部220によって抽出された第1診断用信号および第2診断用信号に基づいて運動案内装置3の状態を診断する。詳細には、運動案内装置3の状態が変化すると、第1摩擦力変動の振幅および第2摩擦力変動の振幅が変化する。そのため、運動案内装置3の状態が変化すると、図5に示すような第1診断用信号の振幅および図6に示すような第2診断用信号の振幅が変化する。そこで、診断部230は、信号処理部220によって抽出される第1診断用信号および第2診断用信号それぞれの所定期間における振幅の平均値を算出する。そして、第1診断用信号の振幅の平均値および第2診断用信号の振幅の平均値それぞれを所定の上限値および所定の下限値と比較することで運動案内装置3の状態を診断する。
Then, in the
図8、図9、図10は、本実施例に係る、運動案内装置3の状態の変化に応じた第1診断用信号および第2診断用信号それぞれの振幅(所定期間における平均値)の変化を示す図である。図8、図9、図10において、横軸はリニアモータ式駆動システム1の使用日数を表しており、縦軸は信号の振幅を表している。そして、図8、図9、図10において、実線L1は第1診断用信号の振幅の推移を示しており、一点鎖線L2は第2診断用信号の振幅の推移を示している。また、図8、図9、図10において、dPmaxは所定の上限値を示しており、dPminは所定の下限値を示している。所定の上限値dPmaxは、第1診断用信号の振幅または第2診断用信号の振幅の少なくともいずれかが該所定の上限値dPmaxを超えた場合、運動案内装置3の状態が異常であると診断すべき値として予め設定されている。また、所定の下限値dPminは、第1診断用信号の振幅または第2診断用信号の振幅の少なくともいずれかが該所定の下限値dPminを下回った場合、運動案内装置3の状態が異常であると診断すべき値として予め設定されている。なお、第1診断用信号および第2診断用信号のそれぞれに対して異なる所定の上限値および所定の下限値が設定されてもよい。
8, 9 and 10 show changes in the amplitude (average value in a predetermined period) of each of the first diagnostic signal and the second diagnostic signal according to the change in the state of the
図8は、運動案内装置3においてレール31の転動面31aにフレーキングが発生した場合の各信号の振幅の推移の一例を示している。この場合、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD1に達した時点で、第1診断用信号の振幅(L1)が所定の上限値dPmaxに達している。ただし、この時点においては、第2診断用信号の振幅(L2)は正
常範囲(すなわち、所定の下限値dPmin以上且つ所定の上限値dPmax以下の範囲)内の値となっている。つまり、この場合は、レール31の転動面31aのフレーキングに伴って、第1摩擦力変動の方が第2摩擦力変動よりも顕著に変化したと考えられる。このような場合であっても、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の下限値dPminおよび所定の上限値dPmaxと比較することによる運動案内装置3の状態診断を行うことで、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD1を超えた直後に、運動案内装置3の状態が異常であると診断することができる。
FIG. 8 shows an example of the transition of the amplitude of each signal when flaking occurs on the rolling
図9は、運動案内装置3においてボール34の損傷が発生した場合の各信号の振幅の推移の一例を示している。この場合、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD2に達した時点で、第2診断用信号の振幅(L2)が所定の上限値dPmaxに達している。ただし、この時点においては、第1診断用信号の振幅(L1)は正常範囲内の値となっている。つまり、この場合は、運動案内装置3におけるボール34の損傷に伴って、第2摩擦力変動の方が第1摩擦力変動よりも顕著に変化したと考えられる。このような場合であっても、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の下限値dPminおよび所定の上限値dPmaxと比較することによる運動案内装置3の状態診断を行うことで、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD2を超えた直後に、運動案内装置3の状態が異常であると診断することができる。
FIG. 9 shows an example of the transition of the amplitude of each signal when damage to the
図10は、運動案内装置3のブロック32内において複数のボール34にかかる予圧の低下(以下、「予圧抜け」と称する。)が発生した場合の各信号の振幅の推移の一例を示している。この場合、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD3に達した時点で、第1診断用信号の振幅(L1)が所定の下限値dPminに達している。ただし、この時点においては、第2診断用信号の振幅(L2)は正常範囲内の値となっている。つまり、この場合は、運動案内装置3における予圧抜けに伴って、第1摩擦力変動の方が第2摩擦力変動よりも顕著に変化したと考えられる。このような場合であっても、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の下限値dPminおよび所定の上限値dPmaxと比較することによる運動案内装置3の状態診断を行うことで、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD3を超えた直後に、運動案内装置3の状態が異常であると診断することができる。
FIG. 10 shows an example of the transition of the amplitude of each signal when drop in preload applied to the plurality of balls 34 (hereinafter referred to as “preload loss”) occurs in the
図8、図9、図10に示す第1診断用信号の振幅(L1)および第2診断用信号の振幅(L2)の推移からもわかるように、いずれか一方の信号の振幅が正常範囲から外れていても他方の信号の振幅は正常範囲内となる場合がある。そのため、仮に、第1診断用信号および第2診断用信号のいずれか一方に基づいて運動案内装置3の状態診断を行った場合、該運動案内装置3の異常状態の態様によっては、該運動案内装置3の状態が異常である診断すべき状態であるにも関わらず該運動案内装置3の状態は正常であると誤診断してしまう虞がある。これに対し、 本実施例に係る診断装置200によれば、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の下限値および所定の上限値と比較することで運動案内装置3の状態診断を行うため、該運動案内装置3の状態をより高精度で診断することができる。また、図8、図9、図10に示すような、運動案内装置3の異常状態の態様と、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅の変化の仕方との相関関係を実験等に基づいて予め求めておけば、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅の変化に基づいて運動案内装置3の異常状態の態様を推定することもできる(すなわち、摩擦力変動の変化の要因を推定することができる)。
As can be seen from the transition of the amplitude (L1) of the first diagnostic signal and the amplitude (L2) of the second diagnostic signal shown in FIGS. 8, 9, and 10, the amplitude of one of the signals is from the normal range The amplitude of the other signal may fall within the normal range even if it is deviated. Therefore, if the state diagnosis of the
(診断フロー)
ここで、診断装置200によって実行される運動案内装置3の状態診断のフローについて図11に示すフローチャートに基づいて説明する。本フローは、診断装置200によって所定の頻度(例えば、1日に1回)で実行される。
(Diagnostic flow)
Here, the flow of the state diagnosis of the
本フローでは、先ずS101において、リニアモータ2を駆動した際に制御装置10において算出される位置偏差が、テーブル4の位置(指令値)に対応付けられて取得される。次に、S102において、S101で取得された位置偏差に係る信号に対して上述したようなフィルタ処理が行われることで、第1診断用信号および第2診断用信号が抽出される。次に、S103において、第1診断用信号の振幅dP1および第2診断用信号の振幅dP2が算出される。なお、上述したように、各信号の振幅dP1、dP2はいずれも所定期間における平均値として算出される。
In the present flow, first, in S101, the positional deviation calculated in the
次に、S104において、第1診断用信号の振幅dP1が所定の下限値dPmin以上であり且つ所定の上限値dPmax以下であるか否かが判別される。すなわち、第1診断用信号の振幅dP1が正常範囲内の値であるか否かが判別される。S104において肯定判定された場合、次にS105において、第2診断用信号の振幅dP2が所定の下限値dPmin以上であり且つ所定の上限値dPmax以下であるか否かが判別される。すなわち、第2診断用信号の振幅dP2が正常範囲内の値であるか否かが判別される。S105において肯定判定された場合、次にS106において運動案内装置3の状態は正常であると判定される。一方、S104またはS105において否定判定された場合、次にS107において運動案内装置3の状態が異常であると判定される。
Next, in S104, it is determined whether the amplitude dP1 of the first diagnostic signal is equal to or greater than a predetermined lower limit dPmin and equal to or less than a predetermined upper limit dPmax. That is, it is determined whether or not the amplitude dP1 of the first diagnostic signal is a value within the normal range. If an affirmative determination is made in S104, then it is determined in S105 whether the amplitude dP2 of the second diagnostic signal is greater than or equal to a predetermined lower limit dPmin and less than or equal to a predetermined upper limit dPmax. That is, it is determined whether or not the amplitude dP2 of the second diagnostic signal is a value within the normal range. If an affirmative determination is made in S105, then it is determined in S106 that the state of the
(変形例1)
以下、診断装置200によって行われる運動案内装置3の状態診断の変形例1について説明する。上記実施例においては、運動案内装置3における摩擦力変動と相関のある所定の診断パラメータとして位置偏差を用いた。ここで、上述したように、リニアモータ2においては、該リニアモータ2の実際の推力が制御装置10にフィードバックされる。そして、リニアモータ2の実際の推力は運動案内装置3における摩擦力変動に応じて変動する。したがって、制御装置10にフィードバックされるリニアモータ2の推力(以下「フィードバック推力」と称する。)は運動案内装置3における摩擦力変動と相関がある。そこで、本変形例では、運動案内装置3の状態診断における所定の診断パラメータとして、位置偏差に代えて、フィードバック推力を用いる。
(Modification 1)
Hereinafter,
本変形例では、診断装置200のパラメータ取得部210によって、リニアモータ2を駆動させたときのフィードバック推力が制御装置10から取得される。このとき、フィードバック推力が、リニアモータ2に対して出力した指令値と対応付けられて制御装置10からパラメータ取得部210に出力される。図12は、パラメータ取得部210が取得した、テーブル4の位置(指令値)に応じたフィードバック推力を示す図である。図12に示すように、リニアモータ2を駆動した際には、運動案内装置3における摩擦力変動がフィードバック推力の変動として現れる。そのため、運動案内装置3の状態が変化することで摩擦力変動に変化が生じると、フィードバック推力の変動にも変化が現れる。
In the present modification, the feedback thrust when driving the
そして、本変形例では、図12に示すような、パラメータ取得部210が取得したフィードバック推力に係る信号から第1診断用信号および第2診断用信号を抽出すべく、信号処理部220が該フィードバック推力に係る信号を処理する。なお、この場合においても、上記実施例と同様、第1診断用信号は第1所定周波数帯域の信号であり、第2診断用信号は第2所定周波数帯域の信号である。これにより、第1診断用信号を第1摩擦力変動と相関のあるパラメータとして抽出でき、第2診断用信号を第2摩擦力変動と相関のあるパラメータとして抽出できる。
And in this modification, as shown in FIG. 12, the
そして、本変形例の場合においても、運動案内装置3の状態が変化すると、第1摩擦力変動の振幅および第2摩擦力変動の振幅が変化することに伴って第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅が変化する。ただし、このときの各信号の振幅の変化の仕方は
、上記実施例に係る第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅の変化の仕方と必ずしも同様とはならない。これは、制御装置10によって算出される位置偏差の変動周期と、リニアモータ2から制御装置10に入力されるフィードバック推力の変動周期とが必ずしも同様ではないためである。
And also in the case of this modification, when the state of the
図13、図14、図15は、本変形例に係る、運動案内装置3の状態の変化に応じた第1診断用信号および第2診断用信号それぞれの振幅(所定期間における平均値)の変化を示す図である。図13、図14、図15において、横軸はリニアモータ式駆動システム1の使用日数を表しており、縦軸は信号の振幅を表している。そして、図13、図14、図15において、実線L1は第1診断用信号の振幅の推移を示しており、一点鎖線L2は第2診断用信号の振幅の推移を示している。また、図13、図14、図15において、Fmaxは所定の上限値を示しており、Fminは所定の下限値を示している。所定の上限値Fmaxは、第1診断用信号の振幅または第2診断用信号の振幅の少なくともいずれかが該所定の上限値Fmaxを超えた場合、運動案内装置3の状態が異常であると診断すべき値として予め設定されている。また、所定の下限値Fminは、第1診断用信号の振幅または第2診断用信号の振幅の少なくともいずれかが該所定の下限値Fminを下回った場合、運動案内装置3の状態が異常であると診断すべき値として予め設定されている。なお、本変形例の場合においても、第1診断用信号および第2診断用信号のそれぞれに対して異なる所定の上限値および所定の下限値が設定されてもよい。
13, 14 and 15 show changes in the amplitude (average value in a predetermined period) of each of the first diagnostic signal and the second diagnostic signal according to the change in the state of the
図13は、運動案内装置3においてレール31の転動面31aにフレーキングが発生した場合の各信号の振幅の推移の一例を示している。この場合、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD4に達した時点で、第1診断用信号の振幅(L1)が所定の上限値Fmaxに達している。ただし、この時点においては、第2診断用信号の振幅(L2)は正常範囲(すなわち、所定の下限値Fmin以上且つ所定の上限値Fmax以下の範囲)内の値となっている。つまり、この場合は、図8に示す場合と同様、レール31の転動面31aのフレーキングに伴って、第1摩擦力変動の方が第2摩擦力変動よりも顕著に変化したと考えられる。このような場合であっても、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の下限値Fminおよび所定の上限値Fmaxと比較することによる運動案内装置3の状態診断を行うことで、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD4を超えた直後に、運動案内装置3の状態が異常であると診断することができる。
FIG. 13 shows an example of the transition of the amplitude of each signal when flaking occurs on the rolling
図14は、運動案内装置3においてボール34の損傷が発生した場合の各信号の振幅の推移の一例を示している。この場合、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD5に達した時点で、第2診断用信号の振幅(L2)が所定の上限値Fmaxに達している。ただし、この時点においては、第1診断用信号の振幅(L1)は正常範囲内の値となっている。つまり、この場合は、図9に示す場合と同様、運動案内装置3におけるボール34の損傷に伴って、第2摩擦力変動の方が第1摩擦力変動よりも顕著に変化したと考えられる。このような場合であっても、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の下限値Fminおよび所定の上限値Fmaxと比較することによる運動案内装置3の状態診断を行うことで、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD5を超えた直後に、運動案内装置3の状態が異常であると診断することができる。
FIG. 14 shows an example of the transition of the amplitude of each signal when damage to the
図15は、運動案内装置3において予圧抜けが発生した場合の各信号の振幅の推移の一例を示している。この場合、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD6に達した時点で、第1診断用信号の振幅(L1)が所定の下限値Fminに達している。ただし、この時点においては、第2診断用信号の振幅(L2)は正常範囲内の値となっている。つまり、この場合は、図10に示す場合と同様、運動案内装置3における予圧抜けに伴って、第1摩擦力変動の方が第2摩擦力変動よりも顕著に変化したと考えられる。このような場合であっても、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の下
限値Fminおよび所定の上限値Fmaxと比較することによる運動案内装置3の状態診断を行うことで、リニアモータ式駆動システム1の使用日数がD6を超えた直後に、運動案内装置3の状態が異常であると診断することができる。
FIG. 15 shows an example of the transition of the amplitude of each signal when preload loss occurs in the
上記のように、本変形例においても、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の下限値および所定の上限値と比較することで運動案内装置3の状態診断を行うことで、該運動案内装置3の状態をより高精度で診断することができる。また、本変形例においても、図13、図14、図15に示すような、運動案内装置3の異常状態の態様と、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅の変化の仕方との相関関係を実験等に基づいて予め求めておけば、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅の変化に基づいて運動案内装置3の異常状態の態様を推定することもできる(すなわち、摩擦力変動の変化の要因を推定することができる)。
As described above, also in the present modification, the state diagnosis of the
なお、テーブル4を移動させるためのアクチュエータとしてリニアモータ2に代えてボールねじを用いることもできる。このような構成とした場合、ボールねじが制御装置10によって制御される。このとき、ボールねじの実際のトルクが制御装置10にフィードバックされる。そして、ボールねじを駆動した際には、運動案内装置3における摩擦力変動が、制御装置10にフィードバックされるトルクの変動として現れる。そのため、フィードバック推力と同様、制御装置10にフィードバックされるトルクを、運動案内装置3の状態診断における所定の診断パラメータとして用いることができる。
A ball screw can be used instead of the
(変形例2)
以下、診断装置200によって行われる運動案内装置3の状態診断の変形例2について説明する。図16は、本変形例に係るリニアモータ式駆動システムの概略構成を示す図である。本変形例では、テーブル4に加速度センサ40が設置されている。そして、リニアモータ2が駆動されることでテーブル4が移動したときの該テーブル4の加速度が加速度センサ40によって検出される。そして、加速度センサ40の検出値が診断装置200に入力される。その他の構成は図1に示す構成と同様である。なお、運動案内装置3のブロック32はテーブル4と共に移動するため、加速度センサ40によって検出される加速度はブロック32の加速度として捉えることができる。
(Modification 2)
Hereinafter, a second modification of the state diagnosis of the
リニアモータ2が駆動されることでテーブル4が移動したときの該テーブル4の加速度は運動案内装置3における摩擦力変動に応じて変動する。したがって、加速度センサ40の検出値は運動案内装置3における摩擦力変動と相関がある。そこで、本変形例では、運動案内装置3の状態診断における所定の診断パラメータとして、位置偏差に代えて加速度センサ40の検出値を用いる。
When the
本変形例では、診断装置200のパラメータ取得部210によって、加速度センサ40の検出値が、リニアモータ2に対して出力した指令値と対応付けられて取得される。そして、パラメータ取得部210が取得した加速度センサ40の検出値に係る信号から第1診断用信号および第2診断用信号を抽出すべく、信号処理部220が該加速度センサ40の検出値に係る信号を処理する。なお、この場合においても、上記実施例と同様、第1診断用信号は第1所定周波数帯域の信号であり、第2診断用信号は第2所定周波数帯域の信号である。これにより、第1診断用信号を第1摩擦力変動と相関のあるパラメータとして抽出でき、第2診断用信号を第2摩擦力変動と相関のあるパラメータとして抽出できる。
In the present modification, the detection value of the
そして、本変形例の場合においても、運動案内装置3の状態が変化すると、第1摩擦力変動の振幅および第2摩擦力変動の振幅が変化することに伴って第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅が変化する。そこで、上記実施例1および上記変形例1と同様、本変形例でも、第1診断用信号の振幅および第2診断用信号の振幅のそれぞれを所定の
下限値および所定の上限値と比較することで運動案内装置3の状態診断を行う。これにより、上記実施例1および上記変形例1に係る運動案内装置3の状態診断と同様の効果を得ることができる。
And also in the case of this modification, when the state of the
1・・・リニアモータ式駆動システム、10・・・制御装置、2・・・リニアモータ、21・・・固定子、22・・・可動子、3・・・運動案内装置、31・・・レール、32・・・ブロック、31a・・・転動面、33・・・循環路、34・・・ボール、4・・・テーブル、40・・・加速度センサ、5・・・リニアスケール、200・・・診断装置、210・・・パラメータ取得部、220・・・信号処理部、230・・・診断部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記運動案内装置において前記軌道部材の長手方向に沿って前記移動部材が移動する際に生じる摩擦力変動と相関のある所定の診断パラメータを取得するパラメータ取得部と、
前記パラメータ取得部によって取得された前記所定の診断パラメータに係る信号を処理する信号処理部であって、該所定の診断パラメータに係る信号から、第1所定周波数帯域の信号である第1診断用信号と、該第1所定周波数帯域よりも低い第2所定周波数帯域の信号である第2診断用信号とを抽出する信号処理部と、
前記信号処理部によって抽出された前記第1診断用信号および前記第2診断用信号に基づいて前記運動案内装置の状態を診断する診断部と、
を備える運動案内装置の状態診断装置。 A plurality of rolling members are provided between a track member extending along a longitudinal direction and a moving member relatively movable along the longitudinal direction of the track member, the rolling surface being formed on the track member A moving member configured to be capable of rolling the movable body, engaged with the track member, and configured to circulate the plurality of rolling elements through a circulation passage formed therein; A condition diagnostic device for diagnosing the condition of the motion guide device,
A parameter acquisition unit for acquiring a predetermined diagnostic parameter correlated with a frictional force fluctuation generated when the moving member moves in the longitudinal direction of the track member in the motion guide device;
A signal processing unit that processes a signal related to the predetermined diagnostic parameter acquired by the parameter acquisition unit, wherein a first diagnostic signal that is a signal of a first predetermined frequency band from the signal related to the predetermined diagnostic parameter And a signal processing unit that extracts a second diagnostic signal that is a signal of a second predetermined frequency band lower than the first predetermined frequency band.
A diagnosis unit that diagnoses the state of the exercise guide apparatus based on the first diagnosis signal and the second diagnosis signal extracted by the signal processing unit;
The state diagnostic device of the movement guide device provided with
前記所定の診断パラメータが、前記制御装置から前記アクチュエータに対して出力される前記移動部材の位置に関する指令値と、前記位置情報取得装置によって取得される位置情報との差である請求項1から3のいずれか一項に記載の運動案内装置の状態診断装置。 A control device for controlling an actuator when moving the moving member along the longitudinal direction of the track member, and a position at which position information on an actual position of the moving member on the track member is acquired by the motion guide device Further comprising an information acquisition device;
The predetermined diagnostic parameter is a difference between a command value regarding the position of the moving member output from the control device to the actuator and position information acquired by the position information acquiring device. The state diagnostic device of the movement guide device according to any one of the above.
前記所定の診断パラメータが、前記アクチュエータから前記制御装置にフィードバックされる推力またはトルクである請求項1から3のいずれか一項に記載の運動案内装置の状態診断装置。 The motion guide device further includes a control device that controls an actuator when moving the moving member along the longitudinal direction of the track member,
The condition diagnosis apparatus for motion guidance apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the predetermined diagnostic parameter is a thrust or a torque fed back from the actuator to the control apparatus.
前記所定の診断パラメータが、前記加速度センサの検出値である請求項1から3のいずれか一項に記載の運動案内装置の状態診断装置。 The motion guide device further includes an acceleration sensor that detects an acceleration when the moving member moves along the longitudinal direction of the track member,
The condition diagnosis apparatus of the motion guide apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the predetermined diagnostic parameter is a detection value of the acceleration sensor.
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