JP2019098338A - 芯合わせ装置および芯合わせ方法 - Google Patents

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倫央 郷古
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【課題】作業の簡略化および精度向上を実現する。【解決手段】芯合わせ装置21は、位置決めブッシュ6が設けられた下筐体5に対して位置決めピン4が設けられた上筐体22を移動軸に沿って移動させて位置決めピン4が位置決めブッシュ6に嵌め込まれることにより、上筐体22および下筐体5の移動軸と直交する平面方向における位置を目標位置に合わせる。芯合わせ装置21は、上筐体22に設けられ、位置決めピン4および位置決めブッシュ6に作用する平面方向の力または位置決めピン4または位置決めブッシュ6の平面方向の変位を検出するセンサユニットを備え、そのセンサユニットによる検出の結果に基づいて、下筐体5に対する上筐体22の平面方向における相対位置を調整する。【選択図】図1

Description

本発明は、一般的な設備および工程の芯合わせに用いることができる芯合わせ装置および芯合わせ方法に関する。
設備および工程において、鍛造プレス工程や組み付け工程など芯合わせ作業が必要なものがある。ここで、図12に示すような鍛造装置による鍛造プレス工程における上記芯合わせについて説明する。図12に示すように、鍛造装置において、上筐体1が図示しない上下機構によって下降すると、ワークは上金型2と下金型3とに挟まれて鍛造加工される。このとき、上金型2と下金型3との位置が合っていなくてはならない。そこで、上筐体1には位置決めピン4が設けられ、下筐体5には位置決めブッシュ6が設けられている。そして、位置決めピン4が位置決めブッシュ6に刺さるように、上筐体1の位置合わせ、すなわち芯合わせの調整が必要になる。
続いて、図13に示すような組み付け装置による組み付け工程における上記芯合わせについて説明する。図13に示すように、上筐体7および下筐体8を有する組み付け装置では、図示しないP&P機構、2軸ローダまたはロボット等により動作するチャックシリンダ9が組み付けワークを被組み付けワークに組み付ける作業が行われる。ここで、組み付けワークが正しく行われるためには、組み付けワークの代わりに組付側芯出し治具10をチャックさせるとともに、ワーク治具11に被組み付けワークの代わりに被組付側芯出し治具12をセットして芯合わせ調整が必要になる。なお、ロボットの場合、この芯合わせ調整は、ティーチングとなる。
芯合わせは、それを行う調整者の目視や感触などを頼りに行われるもので、非常に時間がかかる。また、鍛造装置のケースにおいて、位置決めピン4が位置決めブッシュ6に入ったとしても、位置決めブッシュ6の内径と位置決めピン4の外径には、はめあい公差の量の隙間が存在するため、隙間以下の精度で芯合わせをすることは非常に困難となる。また、上筐体1または下筐体5に力センサを設け、位置決めピン4と位置決めブッシュ6がずれて接触したときの力や方向を検出して芯合わせする方法も考えられるが、力センサは、ひずみゲージなどの抵抗体を用いるため衝撃に弱く、このような接触検知に用いるには、作業に慎重を要し、やはり時間と技量が必要となる。また、この場合、力センサ自体の弾性変形によって、上筐体1の剛性が失われるなどの課題も生じる。
特開2011−121210号公報
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、作業の簡略化および精度向上を実現することができる芯合わせ装置および芯合わせ方法を提供することにある。
請求項1に記載の手段は、位置決め用凹部(6、12)が設けられた第1筐体(5、8)に対して位置決め用凸部(4、10)が設けられた第2筐体(22、32)を移動軸に沿って移動させて前記位置決め用凸部が前記位置決め用凹部に嵌め込まれることにより、前記第1筐体および前記第2筐体の前記移動軸と直交する平面方向における位置を目標位置に合わせる芯合わせ装置(21、31)である。前記芯合わせ装置は、前記第1筐体または前記第2筐体に設けられ、前記位置決め用凸部および前記位置決め用凹部に作用する前記平面方向の力または前記位置決め用凸部または前記位置決め用凹部の前記平面方向の変位を検出する検出部(26〜29、36〜39)を備え、前記検出部による検出の結果に基づいて、前記第1筐体に対する前記第2筐体の前記平面方向における相対位置を調整する。
上記構成において、第1筐体および第2筐体の平面方向における位置が目標位置からずれている場合、位置決め用凸部と位置決め用凹部とが接触するが、その接触を検出部の検出結果に基づいて検出することができる。そして、検出部による検出の結果に基づいて第1筐体および第2筐体の平面方向における相対位置が調整されることにより、第1筐体および第2筐体の平面方向における位置を目標位置に合わせることができる。したがって、上記構成によれば、芯合わせに係る作業の簡略化および精度の向上を実現することができる。
一実施形態に係る鍛造装置による鍛造プレス工程における芯合わせに用いられる芯合わせ装置の構成を模式的に示す図 一実施形態に係るセンサ部の構成を模式的に示す平面図 一実施形態に係る組み付け装置による組み付け工程における芯合わせに用いられる芯合わせ装置の構成を模式的に示す図 一実施形態に係るセンサ部の構成を模式的に示す平面図 一実施形態に係るセンサユニットの構成を模式的に示す図 一実施形態に係る芯合わせ装置の動作を説明する図 一実施形態に係る2軸テーブルの芯合わせ機構を用いた鍛造プレス装置の構成を模式的に示す図 一実施形態に係るロボットのティーチングにより芯合わせを行う場合のフィードバック制御の内容を模式的に示す図 一実施形態に係る位置決めピンが位置決めブッシュに接触した場合にセンサユニットから出力される電圧信号の波形を模式的に示す図その1 一実施形態に係る位置決めピンが位置決めブッシュに接触した場合にセンサユニットから出力される電圧信号の波形を模式的に示す図その2 一実施形態に係る位置決めピンが位置決めブッシュに接触しなかった場合にセンサユニットから出力される電圧信号の波形を模式的に示す図 従来の鍛造装置による鍛造プレス工程の概要を示す図 従来の組み付け装置による組み付け工程の概要を示す図
以下、本発明を鍛造装置による鍛造プレス工程および組み付け装置による組み付け工程に適用した一実施形態について図1〜図11を参照して説明する。なお、本実施形態の構成において図12および図13を用いて説明した従来技術と実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
図1に示す芯合わせ装置21は、鍛造装置による鍛造プレス工程における芯合わせに用いられる。芯合わせ装置21において、上筐体22にはセンサ部23が設けられている。なお、センサ部23は、下筐体5に設けることも可能である。センサ部23は、上ケース24、下ケース25および4つのセンサユニット26、27、28、29により構成される。4つのセンサユニット26〜29は、図2に示すような配置となっている。
また、図3に示す芯合わせ装置31は、組み付け装置による組み付け工程における芯合わせに用いられる。芯合わせ装置31において、上筐体32にセンサ部33が設けられている。なお、センサ部33は、下筐体8に設けることも可能である。センサ部33は、上ケース34、下ケース35および4つのセンサユニット36、37、38、39により構成される。4つのセンサユニット36〜39は、図4に示すような配置となっている。
センサユニット26〜29および36〜39の具体的な構成は、いずれも図5に示すようなものとなっている。すなわち、図5に示すように、センサユニットは、熱流センサ40、弾性部材41、おさえ部材42およびおさえボルト43により構成される。熱流センサ40は、熱の移動量、方向を示す熱流を検出する。熱流センサ40としては、PALAP(Patterned Prepreg Lay Up Process)技術を用いたものを用いることが望ましい。
弾性部材41としては、ゴム、樹脂、金属など弾性変形する部材が用いられている。その他の構成については、ステンレスなどの金属が用いられている。弾性部材41は、おさえボルト43により、ある程度の圧縮率まで圧縮されている。なお、この圧縮の程度としては、例えば、弾性体が厚み1mmの高分子ポリエチレンの場合、9%(0.9mm)まで圧縮される。
図1に示す芯合わせ装置21において、上筐体22が第2筐体に相当し、下筐体5が第1筐体に相当する。また、位置決めピン4が位置決め用凸部に相当し、位置決めブッシュ6が位置決め用凹部に相当する。芯合わせ装置21は、下筐体5に対して上筐体22を移動軸に沿って移動させて位置決めピン4が位置決めブッシュ6に嵌め込まれることにより、上筐体22および下筐体5の移動軸と直交する平面方向における位置を目標位置に合わせる。
図3に示す芯合わせ装置31において、上筐体32が第2筐体に相当し、下筐体8が第1筐体に相当する。また、組付側芯出し治具10が位置決め用凸部に相当し、被組付側芯出し治具12が位置決め用凹部に相当する。芯合わせ装置31は、下筐体8に対して上筐体32を移動軸に沿って移動させて組付側芯出し治具10が被組付側芯出し治具12に嵌め込まれることにより、上筐体32および下筐体8の移動軸と直交する平面方向における位置を目標位置に合わせる。なお、この場合、上記移動軸は、装置の上下方向(図1、図3などの上下方向)に沿う軸であり、以下ではZ軸とも呼ぶ。また、このZ軸と直交するとともに、それぞれが互いに直交する2つの軸のことを、以下ではX軸およびY軸とも呼ぶ。
図1に示す芯合わせ装置21において、センサユニット26〜29は、位置決めピン4および位置決めブッシュ6に作用する上記平面方向の力または位置決めピン4および位置決めブッシュ6の上記平面方向の変位を検出する検出部に相当する。また、図3に示す芯合わせ装置31において、センサユニット36〜39は、組付側芯出し治具10および被組付側芯出し治具12に作用する上記平面方向の力または組付側芯出し治具10および被組付側芯出し治具12の変位を検出する検出部に相当する。
次に、図1に示した芯合わせ装置21の動作について図6を参照して説明する。図6に示すように、芯がずれた状態で上筐体22を下降させた場合、位置決めピン4と位置決めブッシュ6が接触し、センサ部23の上ケース24および下ケース25が変形する。このようなケースの変形により、センサユニット26の弾性部材41は圧縮されて発熱し、熱流センサ40から電圧信号が発生する。これに対し、センサユニット27の弾性部材41は、逆に復元するので吸熱し、熱流センサ40からセンサユニット27の熱流センサ40から出力される電圧信号とは、正負逆の電圧信号が発生する。
4つのセンサユニット26〜29から出力される各電圧信号の大きさ(レベル)と符号とから、接触とその方向が分かるため、その情報に応じて上筐体22を芯合わせすることができる。すなわち、芯合わせ装置21は、センサユニット26〜29による検出の結果に基づいて下筐体5に対する上筐体22の上記平面方向における相対位置を調整する芯合わせを行う。この場合、センサユニット26〜29による検出動作が第1工程に相当し、上記相対位置の調整が第2工程に相当する。
芯合わせは、上筐体22を上支え構造体(図示略)に取り付けているネジを緩め、上筐体22をずらして行う、といった一般の設備組み立て調整の方法や、上筐体22を、2軸テーブルを用いて、上筐体22の位置を、手動またはモータで調整する方法などを採用することができる。
図7に示すように、2軸テーブル51は、2本のLMガイド52と、1本のボールねじ53と、が平行に配置された1軸駆動構造を直交するように2段に積み上げた構成となっている。この場合、ボールねじ送り部54は、モータまたは手動ハンドルにより構成することができる。なお、図7では、下の段のLMガイドは図示されていないが、実際には、ボールねじ53の手前と奥に1本ずつ配置されている。
また、上記構成をロボット、例えば4軸の水平多関節型ロボットに適用する場合、そのロボットのティーチングにより、芯合わせを行うことができる。さらに、ボールねじ送り部54をモータで構成した2軸テーブル51またはロボットの場合、センサユニット26〜29の各出力信号を、駆動機器の制御装置に取り込み、位置決めピン4が位置決めブッシュ6に接触したら反対方向に芯をずらすなどのフィードバック制御を行い、芯合わせ(またはティーチング)を自動で行うことも可能となる。この場合、芯合わせは、センサユニット26〜29の検出値(以下、センサ検出値と省略する)が所定の閾値未満となるまで実施される。したがって、この場合、第1工程において検出される検出値が閾値未満となるまで、第1工程および第2工程が繰り返し実行されることとなる。
ロボットのティーチングにより芯合わせを行う場合のフィードバック制御の具体的な例としては、図8に示すような内容のものとなる。すなわち、図8に示すように、ステップS101では、ロボットの挿入動作が実行される。ステップS102では、センサ検出値がプラスの閾値以上またはマイナスの閾値以下であるか否かが判断される。
センサ検出値がプラスの閾値未満であり且つマイナスの閾値を超える値である場合、ステップS102で「NO」となり、ステップS103に進む。ステップS103では、ロボットの挿入目標値に到達したと判断されて処理が終了となる。一方、センサ検出値がプラスの閾値以上またはマイナスの閾値以下である場合、ステップS102で「YES」となり、ステップS104に進む。
ステップS104では、下記(1)式に基づいて算出される目標値修正量が目標値に加えられる。なお、下記(1)式は、X軸に関する式となっているが、Y軸およびZ軸に関する式も同様のものとなる。
目標値修正量ax=補正係数k1x×検出電圧vx+補正係数k2x …(1)
図9および図10に示すように、位置決めピン4が位置決めブッシュ6に接触した場合、センサユニット26〜29から出力される電圧信号は、比較的大きな振幅の信号となる。一方、図11に示すように、位置決めピン4が位置決めブッシュ6に接触しない場合、センサユニット26〜29から出力される電圧信号は、比較的小さな振幅の信号となる。
以上説明したように、本実施形態の芯合わせ装置21は、上筐体22に設けられ、位置決めピン4および位置決めブッシュ6に作用する平面方向の力または位置決めピン4または位置決めブッシュ6の平面方向の変位を検出するセンサユニット26〜29を備え、そのセンサユニット26〜29による検出の結果に基づいて、下筐体5に対する上筐体22の平面方向における相対位置を調整する芯合わせを行うことができる。
上記構成において、下筐体5および上筐体22の平面方向における位置が目標位置からずれている場合、位置決めピン4と位置決めブッシュ6とが接触するが、その接触をセンサユニット26〜29の検出結果に基づいて検出することができる。そして、センサユニット26〜29による検出の結果に基づいて下筐体5および上筐体22の平面方向における相対位置が調整されることにより、下筐体5および上筐体22の平面方向における位置を目標位置に合わせることができる。したがって、本実施形態によれば、芯合わせに係る作業の簡略化および精度の向上を実現することができる。
この場合、センサユニット26〜29は、熱流センサ40を備えた構成となっており、位置決めピン4と位置決めブッシュ6がずれて接触したときの弾性部材41の変形で生じる発熱を熱流センサ40で検出することにより、上記接触状態を検知するようになっている。このような構成によれば、次のような効果が得られる。
すなわち、本実施形態において、例えば高分子ポリエチレンを初期状態で90%に圧縮し、熱流センサ40としてPALAP工法による熱流センサを用いた場合、センサ部23のケースが約1μm変形した場合でも弾性部材 の発熱および吸熱による約1/1000℃の温度が生じ、センサから0.1mVの電圧信号が発生する。熱は、構造体の熱伝導を通してやがて放熱するため、センサの電圧信号は0に戻る。つまり、電圧信号の波形は、接触した瞬間から生じる凸型(あるいは凹型)波形になる(図9〜図11参照)。つまり、このセンサは、定常な状態では常に出力は0になるようになっており、これは、他のセンサよりも高感度になる理由の一つになる。
例えば、図6に示した動作において、センサユニット26〜29の代わりにロードセルを使った場合を考えてみる。上金型2などの質量でロードセルは下に引っ張られるため、ロードセルは初期状態から一定の出力を出すことになる。このときの出力が、例えば5Vと仮定する。ここで、位置決めピン4の接触が起きてロードセルに瞬間的な荷重が生じ、それが0.1mVだと仮定する。この場合、測定器は、5Vの信号を受けるレンジが必要になるため、分解の関係で0.1mVの変化は精度良く検知することは難しい。
これに対し、本実施形態で用いられる熱流センサ40は、初期荷重がかかっても定常の出力は0であり、接触した瞬間にだけ0.1mVの出力がでるため、測定器は、0.1mVの信号を受けるレンジでよく、高精度に検知することができる。
また、ロードセルは荷重をひずみゲージの変形でとらえるため、衝撃に対し、ゲージが破損しやすいという課題があり、静的な荷重を計測する用途が一般的であり、本実施形態における接触のような瞬間的な動的荷重の検知に用いることは難しい。また、ロードセルは、センサ自体に電源が必要なため、電源ノイズが入り、微小なセンサ出力はSN比が小さく測定が難しいという課題もある。以上の課題からロードセルによって芯合わせする方法は、精度や動作速度に制約がある。
これに対し、本実施形態のセンサユニット26〜29では、弾性部材41が変形し、センサ素子である熱流センサ40は変形しないため、衝撃荷重にも使用することができる。また、熱流センサ40は、熱流によって自ら電圧を生じるセンサであるため電源を必要とせず、電源ノイズの影響が少ない。
なお、本発明は上記し且つ図面に記載した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で任意に変形、組み合わせ、あるいは拡張することができる。
上記実施形態で示した数値などは例示であり、それに限定されるものではない。
上記実施形態で示した芯合わせのための構成は、あくまでも一例であり、同様の芯合わせを実現することができるものであれば、その具体的な構成は適宜変更可能である。
本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。
4…位置決めピン、5、8…下筐体、6…位置決めブッシュ、10…組付側芯出し治具、12…被組付け側芯出し治具、21、31…芯合わせ装置、22、32…上筐体、26〜29、36〜39…センサユニット、40…熱流センサ。

Claims (5)

  1. 位置決め用凹部(6、12)が設けられた第1筐体(5、8)に対して位置決め用凸部(4、10)が設けられた第2筐体(22、32)を移動軸に沿って移動させて前記位置決め用凸部が前記位置決め用凹部に嵌め込まれることにより、前記第1筐体および前記第2筐体の前記移動軸と直交する平面方向における位置を目標位置に合わせる芯合わせ装置(21、31)であって、
    前記第1筐体または前記第2筐体に設けられ、前記位置決め用凸部および前記位置決め用凹部に作用する前記平面方向の力または前記位置決め用凸部または前記位置決め用凹部の前記平面方向の変位を検出する検出部(26〜29、36〜39)を備え、
    前記検出部による検出の結果に基づいて、前記第1筐体に対する前記第2筐体の前記平面方向における相対位置を調整する芯合わせ装置。
  2. 前記相対位置の調整は、前記検出部により検出される前記力または前記変位の検出値が所定の閾値未満となるまで実施される請求項1に記載の芯合わせ装置。
  3. 前記検出部は、熱流を検出する熱流センサ(40)を備えている請求項1または2に記載の芯合わせ装置。
  4. 位置決め用凹部が設けられた第1筐体に対して位置決め用凸部が設けられた第2筐体を移動軸に沿って移動させて前記位置決め用凸部が前記位置決め用凹部に嵌め込まれることにより、前記第1筐体および前記第2筐体の前記移動軸と直交する平面方向における位置を目標位置に合わせる芯合わせ方法であって、
    前記位置決め用凸部および前記位置決め用凹部に作用する前記平面方向の力または前記位置決め用凸部または前記位置決め用凹部の前記平面方向の変位を検出する第1工程と、
    前記平面方向の力または前記平面方向の変位の検出結果に基づいて、前記第1筐体に対する前記第2筐体の前記平面方向における相対位置を調整する第2工程と、
    を有する芯合わせ方法。
  5. 前記第1工程において検出される前記力または前記変位の検出値が所定の閾値未満となるまで、前記第1工程および前記第2工程を繰り返し実行する請求項4に記載の芯合わせ方法。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0385198U (ja) * 1989-12-21 1991-08-28
JP2011121210A (ja) * 2009-12-08 2011-06-23 Japan Steel Works Ltd:The 射出成形用金型の位置決め方法および型締装置
JP2017191032A (ja) * 2016-04-14 2017-10-19 株式会社デンソー 張力計測装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0385198U (ja) * 1989-12-21 1991-08-28
JP2011121210A (ja) * 2009-12-08 2011-06-23 Japan Steel Works Ltd:The 射出成形用金型の位置決め方法および型締装置
JP2017191032A (ja) * 2016-04-14 2017-10-19 株式会社デンソー 張力計測装置

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