JP2019095320A - Flaw detector - Google Patents

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Abstract

To enable a discharge tube to be effectively cooled with water in a nondestructive inspection by thermography.SOLUTION: Provided is a flaw detector comprising a heating device 3 equipped with a discharge tube 4 for heating the surface of a test object m by light emission and an image acquisition device 1 for making it possible to observe the movement of heat generated by heating inside the test object m, and designed to examine a defect of the test object m by observation, the heating device 3 including a trigger line 6 connected to a trigger electrode, the trigger line 6 performing a trigger discharge to induce a discharge of the discharge tube 4, wherein a cooling unit 8 causes a coolant to be moved on the outside of the discharge tube 4 and thereby cools the discharge tube 4 with water, and the trigger line 6 is arranged at a position where the water-cooling of the discharge tube 4 is not obstructed.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本願発明は、探傷装置に関する。 The present invention relates to a flaw detection apparatus.

放電管にて被検材即ち検査対象の表面を瞬間的に加熱し、当該加熱によって生じる熱の移動を赤外線カメラなどにて可視化し観察することにより被検材内部の傷や密度むらなどの欠陥を検出し欠陥を計測する赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査が近年利用されつつある。
一般に、サーモグラフィー(thermography)は、物体から放射される赤外線を分析し熱分布を図として表した画像を指す。
赤外線サーモグラフィーを利用した探傷法は、超音波による探傷法のように水や油などの超音波の媒介液が不要なため、媒介液を付着させたくない被検材の探傷を行う場合や、製品の製造工程において、オンラインにて迅速で簡便に探傷を行いたい場合などに利用の用途が広まっている。例えば、赤外線サーモグラフィーを利用した探傷法は、金属材料のほか、CFRP(炭素繊維強化プラスチック)の欠陥検出の有効な手段として注目されている。
The surface of the test material, ie, the object to be inspected, is instantaneously heated by the discharge tube, and the movement of heat generated by the heating is visualized and observed by an infrared camera or the like, and defects such as scratches and density unevenness inside the test material. In recent years, nondestructive inspection by infrared thermography which detects defects and measures defects is being used.
In general, thermography refers to an image that analyzes infrared radiation emitted from an object and graphically represents a heat distribution.
The flaw detection method using infrared thermography does not require ultrasonic fluid such as water or oil as in the flaw detection method using ultrasonic waves, so it is necessary to perform flaw detection on a test material to which the media fluid does not want to be attached. In the manufacturing process of (1), the use is widely used when it is desired to quickly and easily conduct online flaw detection. For example, a flaw detection method using infrared thermography is attracting attention as an effective means for detecting defects of CFRP (carbon fiber reinforced plastic) as well as metal materials.

具体的には、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査は、キセノンランプなどにより、検査対象表面に熱を加え、その熱が内部へ拡散し内部の状況に対応して変化する表面の温度の時間変化を検知して検査対象内部の状況を解析するものである。
検査対象の内部に欠陥が存在する場合には、検査対象内部へと伝播する熱の流れの速さが変化するため、検査対象表面に局所的な温度変化が発生する。この温度変化を検出することで、探傷対象の内部に生じている欠陥を検出することができる。
特許文献1には、赤外線サーモグラフィーによる探傷方法とその装置の例が示されている。
Specifically, in nondestructive inspection by infrared thermography, heat is applied to the surface to be inspected with a xenon lamp or the like, and the heat diffuses inside and detects a temporal change of the temperature of the surface which changes according to the internal condition. And analyze the internal condition of the inspection object.
When there is a defect inside the inspection object, the speed of heat flow propagating to the inside of the inspection object changes, so that a local temperature change occurs on the inspection object surface. By detecting this temperature change, it is possible to detect a defect occurring inside the flaw detection target.
Patent Document 1 shows an example of an infrared thermography flaw detection method and an apparatus therefor.

特許文献1に示された装置は、加熱手段02と共に赤外線カメラ等の温度測定手段03を用いて、加熱された検査対象物01の温度を測定し、時間と温度の関係を示すデータを取得する(段落0014及び図1)。そして、データ解析ソフト05が導入されたコンピュータと結果画像表示用の表示手段06を用い取得したデータを適切に解析することによって、欠陥検出を確実に行う(段落0015〜0029)。 The apparatus disclosed in Patent Document 1 measures the temperature of the heated inspection object 01 using the temperature measurement means 03 such as an infrared camera together with the heating means 02, and acquires data indicating the relationship between time and temperature (Paragraph 0014 and FIG. 1). Then, by appropriately analyzing the acquired data using the computer into which the data analysis software 05 has been introduced and the display means 06 for result image display, defect detection is reliably performed (paragraphs 0015 to 0029).

上記の赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、上記キセノンランプの照射によるランプエネルギーが検査対象物に熱エネルギーを加えるものである。当該熱エネルギーは物質内に伝搬する。上記の赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査において、当該伝播の様子を赤外線カメラで測定することで検査対象物内部の検査を行うものであるため、熱エネルギーは、対象物の表面を極力一様に加熱することが要求される。
上記要求を前提とし、上記赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、検査対象の大きさ、材質、検査に要求される時間間隔などによって、光源の大きさ、強度、種類を選定するのである。
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、加熱装置即ち通常加熱用の光源である放電管として1つ又は複数の、上記キセノンランプ(キセノンフラッシュランプ)が用いられる。
In the above-mentioned non-destructive inspection by infrared thermography, the lamp energy by the irradiation of the xenon lamp applies thermal energy to the inspection object. The heat energy propagates into the substance. In the nondestructive inspection by the above-mentioned infrared thermography, since the inside of the inspection object is inspected by measuring the state of the propagation with the infrared camera, the heat energy heats the surface of the object as uniformly as possible. Is required.
On the premise of the above requirement, in the nondestructive inspection by the infrared thermography, the size, the intensity and the type of the light source are selected according to the size, the material and the time interval required for the inspection.
In non-destructive inspection by infrared thermography, one or more of the above-mentioned xenon lamps (xenon flash lamps) are used as a heating device, that is, a discharge tube which is a light source for normal heating.

光源となる上記放電管は、瞬間的に発光することにより熱を発生させて瞬時に検査対象を加熱することができるものであるが、発生する熱によって消耗も激しいものであった。
具体的には、上記キセノンランプなどの放電管については、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査で必要とする加熱エネルギーを短時間の発光で確保するものであり、その上発光する時間間隔が短い場合や、更には検査を連続して長時間実施する場合には、発生する熱によるランプの消耗は極めて大きく、ランプの性能維持、保護などのため、ランプを冷却することが必要となる。
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査の加熱装置以外に放電管を使用する場合を含め、放電管の冷却は、ファンにて放電管へ送風したり、ヒートシンクを用いるなどの空冷によるのが一般的である。
しかし、上記赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、上記の通りキセノンランプを用いて瞬時にまた繰り返し多量の発熱を伴う発光を行うものであるため、より冷却能力の高い冷却手段が望まれた。
非破壊検査以外の分野では、キセノンランプはYAGレーザの励起光源として使用されることが良く知られている。即ち、YAGレーザ発振では、キセノンランプが、励起源として使用されている。特に眼科の治療や皮膚の治療などに用いるYAGレーザは、発光の繰り返しが早く出力の安定性が要求されるので一般に水冷による冷却方法が採用されている。
YAGレーザにおいては、光源からの光を拡散して対象物へ照射するという上記非破壊検査とは異なり、閉じた空間でキセノンランプを発光させて外部へ放散させることなく光ファイバ中にて光を導きレーザを発するレーザ材料にエネルギーを加えている。上記YAGレーザにおいて、貯められた冷却水へランプとレーザのYAGロッドを纏めて水没させて冷却する。そして上記YAGレーザにおいて、ランプの発光に必要なトリガ電圧は、発信器の筐体を電極として印加され、筐体の外部に対し筐体内全体を絶縁する構造になっている。
キセノンランプに関し、上記レーザ発振に使用される場合と非破壊検査に使用される場合の根本的な違いは、レーザではレーザ発振材料に光エネルギーを照射しエネルギーを集中することが目的であるのに対し、非破壊検査の場合は検査対象物の表面に極力一様にエネルギーを照射することが目的であり、このため非破壊検査の場合は上記の通りランプの光をオープンに外部即ち大気中にて放射するという点がレーザの場合と異なるのである。
照射する距離についても、レーザは至近距離であるが、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査の場合には、検査対象物の大きさなどにより至近距離とは限らない。従って、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、上記レーザの場合と比較して放電管からの熱の拡散が大きく、より効果的に放電管の水冷を行うことが必要である。
以上を鑑み本発明の発明者は、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査に適した水冷方法として、特許文献2へ示される高圧放電ランプにおける水冷ユニットのように、水冷管を用いて通水により冷却を行う水冷について着目した。
The discharge tube serving as the light source can emit heat instantaneously to generate heat and heat the object to be inspected instantaneously, but the exhaustion is also intense due to the generated heat.
Specifically, for a discharge tube such as the xenon lamp, heating energy required in nondestructive inspection by infrared thermography is secured by light emission for a short time, and the light emission time interval is also short, Furthermore, when the inspection is carried out continuously for a long time, the heat dissipation of the lamp is extremely large, and it is necessary to cool the lamp for maintaining the performance of the lamp and protecting it.
Cooling of the discharge tube is generally performed by air cooling such as blowing air to the discharge tube with a fan or using a heat sink, including when using the discharge tube other than the heating device for nondestructive inspection by infrared thermography.
However, in the above non-destructive inspection by infrared thermography, as described above, a xenon lamp is used to perform light emission accompanied by a large amount of heat generation instantaneously and repeatedly. Therefore, a cooling means having a higher cooling capacity has been desired.
In fields other than nondestructive inspection, it is well known that xenon lamps are used as excitation light sources for YAG lasers. That is, in YAG laser oscillation, a xenon lamp is used as an excitation source. In particular, a YAG laser used for ophthalmologic treatment, skin treatment, etc., is required to have rapid light emission repetition and stable output, so a cooling method by water cooling is generally adopted.
In the YAG laser, unlike the nondestructive inspection described above, in which the light from the light source is diffused and irradiated to the object, the light is emitted in the optical fiber without emitting the xenon lamp in the closed space and diffusing it to the outside. The energy is applied to the laser material that emits the directing laser. In the above-described YAG laser, the lamp and the YAG rod of the laser are put together in the stored cooling water and immersed in water for cooling. In the YAG laser, a trigger voltage required for light emission of the lamp is applied with the housing of the transmitter as an electrode, and the entire inside of the housing is insulated from the outside of the housing.
The fundamental difference between the case of using the above-mentioned laser oscillation and the case of using it for nondestructive inspection regarding the xenon lamp is that the purpose of the laser is to irradiate light energy to the lasing material and concentrate the energy. On the other hand, in the case of nondestructive inspection, the purpose is to irradiate energy as uniformly as possible to the surface of the inspection object, and in the case of nondestructive inspection, therefore, the light of the lamp is opened and exposed to the outside as in the above. It differs from the case of the laser in that it emits
As for the irradiation distance, the laser is a close distance, but in the case of nondestructive inspection by infrared thermography, it is not limited to the close distance depending on the size of the inspection object and the like. Therefore, in nondestructive inspection by infrared thermography, the diffusion of heat from the discharge tube is greater than in the case of the above laser, and it is necessary to perform water cooling of the discharge tube more effectively.
In view of the above, the inventor of the present invention performs cooling by passing water using a water cooling pipe like a water cooling unit in a high pressure discharge lamp shown in Patent Document 2 as a water cooling method suitable for nondestructive inspection by infrared thermography We focused on water cooling.

特許第5574261号公報Patent No. 5574261 特開2016−103413号公報JP, 2016-103413, A

上記のキセノンランプといった放電管は、封入されたガスを放電より発光させるものである。当該放電を発生させるためには、当該放電を誘発するトリガ即ちきっかけとなる放電が先ず必要であり、このトリガ放電を行うトリガ線を放電管の近傍へ配置する必要がある。
詳しくは、特許文献2の図1へ示される通り、水冷ユニット20は、水冷管として円筒状に形成された内管21と外管22を備えた二重構造となっており、内管21の内部空間へ放電管(放電管ランプ10)が収容され、内管21と外管22の間に冷却水が通水される。上記トリガ線(ワイヤ14)を放電管の近傍へ配置するため、放電管と上記内管21との間にはトリガ線を通す隙間(空間)が設けられている。
従って、水冷による場合、上記隙間というトリガ線を配置するための専用のスペースが放電管の近傍特に放電管の径(方向)外側に設けられることで、内管21即ち冷却水の流路から放電管ランプ10が、トリガ線を収容する空気層に隔てられ、通水による冷却効果が低減してしまう。
本発明は、上記問題を解決して、サーモグラフィーによる非破壊検査において効果的に放電管の水冷を行うことを可能とする。
A discharge tube such as the above-mentioned xenon lamp causes the enclosed gas to emit light from the discharge. In order to generate the discharge, a trigger that triggers the discharge is first required, and a trigger line for performing the trigger discharge needs to be disposed in the vicinity of the discharge tube.
Specifically, as shown in FIG. 1 of Patent Document 2, the water cooling unit 20 has a double structure including an inner pipe 21 and an outer pipe 22 formed cylindrically as a water cooling pipe. A discharge tube (discharge tube lamp 10) is accommodated in the internal space, and cooling water is passed between the inner tube 21 and the outer tube 22. In order to dispose the trigger wire (wire 14) in the vicinity of the discharge tube, a gap (space) through which the trigger wire passes is provided between the discharge tube and the inner tube 21.
Therefore, in the case of water cooling, a dedicated space for arranging the trigger wire of the above-mentioned gap is provided in the vicinity of the discharge tube, in particular, outside the diameter (direction) of the discharge tube. The tube lamp 10 is separated by the air layer accommodating the trigger line, and the cooling effect due to water flow is reduced.
The present invention solves the above problems and enables effective water cooling of a discharge tube in nondestructive inspection by thermography.

本発明では、発光することにより被検材の表面を加熱する放電管を備えた加熱装置と、前記加熱によって生じる前記被検材内部の熱の変化を観察可能とする画像取得装置とを備え、前記観察にて前記被検材の欠陥を調べるものであり、前記加熱装置はトリガ電源に接続されたトリガ導電部を備え、前記トリガ導電部が放電管の前記発光の放電を誘発するトリガ電圧を供給する探傷装置について、次の構成を採るものを提供できた。
即ち、前記加熱装置は、前記放電管を冷却する冷却部を備え、前記冷却部は、前記放電管の径外側にて冷却液を移動させることにより、前記放電管を水冷するものであり、前記トリガ導電部は、前記放電管に対し前記水冷を邪魔しない位置へ配置されたことを特徴とする。
被検材の欠陥を調べるというのは、被検材が目的とする状態となっているか否か或いは被検材が目的とする状態とどのように異なっているかを調べることであり、例えば、内部欠陥又は表面欠陥について、欠陥の有無、欠陥の大きさ、欠陥の位置、欠陥の形状、又は欠陥の種類を検出することを含むものである。欠陥の種類には、傷やボイド、剥離、密度むらなどを含み、異物の存在やバリを含む。上記検出には、検査対象の温度を調べることにより、単に欠陥を検出する場合はもとより検出した欠陥の位置や大きさなどを計測することも含む。
また本発明では、前記冷却部は、前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、前記冷却部は、前記筒状部の内周面と前記放電管の外周面との間の空間を前記冷却液の流路として、前記中空部分へ前記冷却液を流すものであり、前記冷却液は、前記トリガ電圧に対する絶縁性を備えたものであり、前記トリガ導電部は、前記流路内に配置されたものである探傷装置を提供できた。
更に本発明では、前記冷却部は、前記トリガ電圧による誘電を遮蔽せず且つ前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、前記冷却部は、前記中空部分へ前記冷却液を流す流路を有し、前記トリガ導電部は、前記筒状部の径外側へ配置された探傷装置を提供できた。
更にまた本発明では、前記加熱装置は、反射部材を備え、前記反射部材は、前記筒状部を挟んで前記被検材の反対側に配置される副反射部と、前記副反射部よりも前記被検材寄りに配置される主反射部とを備え、前記副反射部は、前記放電管から受けた光を前記被検材及び前記主反射部へ向けて反射する反射面を備えたものであり、前記主反射部は、前記放電管から直接受けた光及び前記副反射部の反射した光を前記被検材へ向けて反射する反射面を備えたものであり、前記主反射部は、第1主反射部と第2主反射部とを備え、前記第1主反射部と第2主反射部とは、互いの反射面を対向させ、前記第1主反射部と第2主反射部の間にて前記放電管から前記被検材へ向かう光を通すものであり、前記第1主反射部の反射面と第2主反射部の反射面との間隔を、前記副反射部側から前記被検材側へ向け漸次広げるものである探傷装置を提供できた。
また本発明では、前記副反射部は、前記主反射部と別体に形成されたものであり、少なくとも第1主反射部と第2主反射部夫々の前記反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面(仮想面)へ投影された輪郭が放物線の一部を呈する探傷装置を提供できた。
更に本発明では、前記第1主反射部は前記副反射部の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、前記第2主反射部は前記副反射部の他の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、第1主反射部及び第2主反射部夫々の前記反射面と副反射部の反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面(仮想面)へ投影された輪郭が連続する放物線を呈する探傷装置を提供できた。
更にまた本発明では、前記画像取得装置は、赤外線カメラにて赤外線サーモグラフィーによる画像を取得するものであり、前記トリガ導電部は、金属線材にて形成されたトリガ線であり、前記放電管は、キセノンランプであり、前記筒状部は、石英管であり、前記冷却部は、前記冷却液を循環させるチラーを備え、前記加熱装置は、前記筒状部と共に前記放電管の両端を保持する保持部を備え、前記加熱装置は、前記保持部と前記主反射部とが取り付けられた基盤を備え、前記加熱装置は筐体を備え、前記筐体は前記主反射部を支持し且つ前記筐体には前記基盤が着脱可能に取り付けられ、前記筐体は、少なくとも、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを収容するものであり、前記筐体から前記基盤を取り外すことにより、前記主反射部を前記筐体に残し、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを一体にして前記筐体から取り出すことができる探傷装置を提供できた。
The present invention includes a heating device provided with a discharge tube that heats the surface of the test material by emitting light, and an image acquisition device capable of observing a change in heat inside the test material caused by the heating. In the observation, a defect in the test material is checked, and the heating device includes a trigger conductive unit connected to a trigger power source, and the trigger conductive unit generates a trigger voltage that induces discharge of the light emission of the discharge tube. Regarding the flaw detection apparatus to be supplied, one having the following configuration could be provided.
That is, the heating device includes a cooling unit that cools the discharge tube, and the cooling unit water-cools the discharge tube by moving a cooling liquid outside the diameter of the discharge tube. The trigger conductive portion is disposed at a position not disturbing the water cooling with respect to the discharge tube.
Investigating defects in the test material means checking whether or not the test material is in a desired state, or how the test material is different from the desired state, for example, the inside Detecting the presence or absence of a defect, the size of the defect, the position of the defect, the shape of the defect, or the type of the defect for defects or surface defects. Types of defects include scratches, voids, peeling, uneven density, and the like, and include the presence of foreign matter and burrs. The above detection includes measuring the position and size of the detected defect as well as the case of simply detecting the defect by examining the temperature of the inspection object.
Further, in the present invention, the cooling unit includes a hollow cylindrical portion that transmits light emitted by the discharge tube, the discharge tube is disposed to a hollow portion of the cylindrical portion, and the cooling unit is the cylinder. The space between the inner peripheral surface of the ring-shaped portion and the outer peripheral surface of the discharge tube is used as a flow path for the cooling fluid, and the cooling fluid is allowed to flow to the hollow portion. It is possible to provide a flaw detection apparatus in which the trigger conductive portion is disposed in the flow path.
Furthermore, in the present invention, the cooling unit includes a hollow cylindrical portion that does not shield the dielectric caused by the trigger voltage and transmits light emitted by the discharge tube, and the discharge tube extends to the hollow portion of the cylindrical portion. The cooling unit has a flow path for flowing the cooling fluid to the hollow portion, and the trigger conductive unit can provide a flaw detection apparatus disposed radially outside the cylindrical portion.
Furthermore, in the present invention, the heating device includes a reflecting member, and the reflecting member is a sub-reflecting portion disposed on the opposite side of the test material with the tubular portion interposed therebetween, and the sub-reflecting portion A main reflection portion disposed closer to the test material, and the sub reflection portion includes a reflection surface that reflects light received from the discharge tube toward the test material and the main reflection portion. The main reflection portion includes a reflection surface that reflects the light directly received from the discharge tube and the light reflected by the sub reflection portion toward the test material, and the main reflection portion is A first main reflection portion and a second main reflection portion, and the first main reflection portion and the second main reflection portion face each other's reflection surfaces, and the first main reflection portion and the second main reflection Light passing from the discharge tube toward the test material between the parts, and the reflection surface of the first main reflection part and the opposite of the second main reflection part The spacing between the surface, was able to provide flaw detector is intended to widen gradually toward the material being tested side from the sub-reflecting portion.
Further, in the present invention, the sub-reflecting portion is formed separately from the main reflecting portion, and at least the reflecting surface of each of the first main reflecting portion and the second main reflecting portion, the longitudinal direction of the discharge tube It has been possible to provide a flaw detection apparatus in which the contour projected onto a plane (virtual plane) orthogonal to the direction exhibits a portion of a parabola.
Furthermore, in the present invention, the first main reflection portion is extended from one end of the sub reflection portion and is continuous with the sub reflection portion, and the second main reflection portion is from the other end of the sub reflection portion. It is extended and is continuous with the sub-reflecting portion, and a plane orthogonal to the longitudinal direction of the discharge tube for the reflecting surface of each of the first main reflecting portion and the second main reflecting portion and the reflecting surface of the sub-reflecting portion It has been possible to provide a flaw detection apparatus in which the contour projected onto the (virtual surface) exhibits a continuous parabola.
Furthermore, in the present invention, the image acquisition device acquires an image by infrared thermography with an infrared camera, the trigger conductive portion is a trigger wire formed of a metal wire, and the discharge tube is A xenon lamp, the cylindrical portion is a quartz tube, the cooling portion includes a chiller for circulating the cooling liquid, and the heating device holds the cylindrical portion and both ends of the discharge tube The heating device includes a base on which the holding portion and the main reflection portion are attached, the heating device includes a housing, and the housing supports the main reflection portion and the housing The base is detachably attached to the housing, and the housing accommodates at least the discharge tube, the cylindrical portion, the trigger conductive portion, the holding portion, and the sub-reflecting portion. Said base from the body By leaving the main reflection portion in the housing by disengaging, the discharge tube, the cylindrical portion, the trigger conductive portion, the holding portion, and the sub reflection portion may be integrally taken out from the housing. It was possible to provide a flaw detection device that can

本発明では、被検材の表面を加熱する放電管を備えた加熱装置と、被検材内部の熱の移動を観察可能とする画像取得装置とを備え、前記観察にて前記被検材の欠陥を調べる探傷装置であって放電管を水冷するものについて、放電管の放電を誘発するトリガ導電部を前記水冷の邪魔とならないものとし、放電管の水冷による冷却を効果的なものとした。即ち、本発明は、トリガ線(トリガ導電部)の配置専用の空間を加熱装置内へ確保する必要をなくして、水冷によるより効果的な放電管の冷却を実現した。本発明は、特に発光方向である放電管の径の内外方向について、トリガ導電部の配置のために冷却液を放電管から隔てるような空気層を設けない。
また、本発明は、加熱装置から上記配置専用の空間を排除することにて上記加熱装置の構造の複雑化を防いだ。
また、冷却水の流路中にトリガ導電部を配置し直接トリガ導電部を放電管の表面へ沿わせることにて、トリガ導電部専用の上記配置空間を不要とすると共に、放電管の径外において放電管に最も近い位置にトリガ導電部を配置することを可能とし、放電管径外の他の位置へトリガ導電部を配置した場合に比べて放電を行い易いものとした。
更に、本発明では、冷却液の流路の外側即ち筒状部の径外へトリガ導電部を配置することで、放電管に対し簡単にトリガ導電部を設けることができるものとした。
特に上記本願の各発明のように、a)冷却液の流路中にトリガ導電部を配置するもの、b)冷却液の流路外側に位置する筒状部の外側へトリガ導電部を配置するものでは、特許文献2に示す、放電管(高圧放電ランプ10)を内包する内管21を設け内管21と放電管との間の空間へトリガ導電部(導電性ワイヤ14)を配置するもののように(段落0023,0024及び図1)、冷却液の流路と間へ内管21を配置し上記空間にて隔するという構成を採る必要がない。従って、本願の上記各発明では、特許文献2のように冷却液の流路から放電管を隔てて水冷を邪魔するものと異なり、トリガ導電部の配置のための構成によって水冷を邪魔せず、冷却液を直接放電管へ接触させることができ、より効果的な放電管の冷却が行える。
また上記b)の場合トリガ導電部の配置に保持部を関与させる必要がなく、トリガ導電部の取り回しを容易なものとした。
更に、被検材へ効率よく放電管の発する光を向ける反射部材について、主反射部と当該主反射部とは別体に形成された副反射部とで構成することにより、放電管(を内包する筒状部)と、反射部材の反射面の各位置との間隔の設定が容易となり、特にb)の冷却液の流路外側に位置する筒状部の外側へトリガ導電部を配置するものであっても反射部材へ放電させない適切な間隔を確保する設計を行い易いものとした。
また、上記筐体から基盤を取り外すことにより、基盤と一体のユニットとして放電管と筒状部とトリガ導電部と保持部と副反射部とを、筐体から取り出すことができるため、加熱装置の主要部のメンテナンスや交換が容易である。
In the present invention, a heating device provided with a discharge tube for heating the surface of the test material, and an image acquisition device capable of observing the movement of heat inside the test material are provided. With regard to a flaw detection apparatus for inspecting defects, in which the discharge tube is water-cooled, the trigger conductive portion for inducing discharge of the discharge tube is not disturbed by the water cooling, and cooling of the discharge tube by water cooling is made effective. That is, according to the present invention, more effective cooling of the discharge tube by water cooling is realized by eliminating the need for securing a space dedicated to the arrangement of the trigger wire (trigger conductive portion) in the heating device. The present invention does not provide an air layer which separates the coolant from the discharge tube for the arrangement of the trigger conductive portion particularly in the inward and outward directions of the diameter of the discharge tube which is the light emission direction.
Further, the present invention prevents the structure of the heating device from being complicated by eliminating the space dedicated for the placement from the heating device.
In addition, by arranging the trigger conductive portion in the coolant flow path and directly bringing the trigger conductive portion along the surface of the discharge tube, the above-mentioned arrangement space dedicated to the trigger conductive portion is not necessary, and In this case, it is possible to arrange the trigger conductive part at a position closest to the discharge tube, and it is easier to perform discharge as compared with the case where the trigger conductive part is arranged at another position outside the discharge tube diameter.
Furthermore, in the present invention, the trigger conductive portion can be easily provided to the discharge tube by arranging the trigger conductive portion outside the flow path of the coolant, that is, outside the diameter of the cylindrical portion.
In particular, as in the inventions of the present application, a) the trigger conductive portion is disposed in the flow path of the coolant, and b) the trigger conductive portion is disposed outside the cylindrical portion located outside the flow path of the coolant. In the one shown in Patent Document 2, an inner tube 21 including a discharge tube (high-pressure discharge lamp 10) is provided and a trigger conductive portion (conductive wire 14) is disposed in a space between the inner tube 21 and the discharge tube. As described above (paragraphs 0023 and 0024 and FIG. 1), it is not necessary to arrange the inner pipe 21 between the coolant flow paths and to separate the space from the above. Therefore, in each of the above inventions of the present application, unlike the one in which the discharge tube is separated from the flow path of the coolant to disturb the water cooling as in Patent Document 2, the arrangement for the arrangement of the trigger conductive portion does not disturb the water cooling, The coolant can be brought into direct contact with the discharge tube, and more effective cooling of the discharge tube can be achieved.
Further, in the case of the above b), it is not necessary to involve the holding part in the arrangement of the trigger conductive part, and the arrangement of the trigger conductive part is made easy.
Furthermore, the reflection member for efficiently directing the light emitted from the discharge tube to the test material is configured by including the main reflection portion and the sub reflection portion separately formed from the main reflection portion, thereby including the discharge tube Setting of the distance between each of the cylindrical portions) and each position of the reflecting surface of the reflecting member is easy, and in particular, the trigger conductive portion is disposed outside the cylindrical portion positioned outside the flow path of the coolant in b) Even in this case, it is easy to design to secure an appropriate distance not to discharge the reflective member.
In addition, since the discharge tube, the cylindrical portion, the trigger conductive portion, the holding portion, and the sub-reflecting portion can be taken out of the housing as a unit integral with the base by removing the base from the housing, Maintenance and replacement of main parts are easy.

(A)は本発明に係る赤外線サーモグラフィーによる探傷装置の概要の説明図、(B)は本発明の他の実施の形態に係る赤外線サーモグラフィーによる探傷装置の概要の説明図。(A) is explanatory drawing of the outline | summary of the flaw detection apparatus by infrared thermography which concerns on this invention, (B) is explanatory drawing of the outline of the flaw detection apparatus by infrared thermography which concerns on other embodiment of this invention. 本発明に係る探傷装置の一実施の形態を示す全体説明図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Whole explanatory drawing which shows one Embodiment of the flaw detector which concerns on this invention. (A)は本発明に係る探傷装置が備える加熱装置の一実施の形態を示す略縦断面図、(B)は(A)の要部拡大断面図。(A) is a schematic longitudinal cross-sectional view which shows one Embodiment of the heating apparatus with which the flaw detection apparatus which concerns on this invention is equipped, (B) is a principal part expanded sectional view of (A). (A)は本発明に係る探傷装置が備える加熱装置の更に他の実施の形態を示す略縦断面図、(B)は(A)の要部拡大断面図。(A) is a schematic longitudinal cross-sectional view which shows further another embodiment of the heating apparatus with which the flaw detection apparatus which concerns on this invention is equipped, (B) is a principal part expanded sectional view of (A). 図2へ示す反射部材の平面図、(B)は(A)の反射部材の正面図。The top view of the reflective member shown to FIG. 2, (B) is a front view of the reflective member of (A). 図5(B)のX−X断面図。XX sectional drawing of FIG. 5 (B). (A)は図6の主反射部から放電管ユニットを取り外した状態を示す断面図、(B)は(A)の主反射部の平面図。(A) is sectional drawing which shows the state which removed the discharge tube unit from the main reflection part of FIG. 6, (B) is a top view of the main reflection part of (A). 図4へ示す探傷装置の反射部材の断面図。Sectional drawing of the reflective member of the flaw detector shown to FIG. 本発明に係る探傷装置の反射部材の更に他の実施の形態を示す断面図。Sectional drawing which shows the further another embodiment of the reflection member of the flaw detector which concerns on this invention.

(探傷装置の概要)
本発明は、金属材料又はプラスチック、CFRP(炭素繊維強化プラスチック)を含む複合材料、セラミック、その他の材料を検査対象即ち被検材として、光を照射することにより被検材を加熱し、前記加熱によって生じる前記被検材内を伝導する熱の変化を観察することにより、前記被検材の欠陥を調べるものである。ここでは、特に被検材としてCFRPを例に挙げ、図面に基づき本発明の好ましい実施の形態について説明する。
図1(A)へ示す通り、この例は、被検材mへ照射した光による被検材mからの輻射熱のサーモグラフィーを解析するものである。
図1(A)及び図2へ示す通り、この探傷装置は、画像取得装置1と、加熱装置3とを備える。
(Outline of flaw detection equipment)
The present invention heats a test material by irradiating light with a metal material or plastic, a composite material containing CFRP (carbon fiber reinforced plastic), ceramic, and other materials as an inspection target, ie, a test material, The defects in the test material are examined by observing the change in heat conducted in the test material caused by Here, in particular, CFRP is taken as an example of the test material, and a preferred embodiment of the present invention will be described based on the drawings.
As shown to FIG. 1 (A), this example analyzes the thermography of the radiant heat from the test material m by the light irradiated to the test material m.
As shown in FIG. 1A and FIG. 2, the flaw detection apparatus includes an image acquisition device 1 and a heating device 3.

(画像取得装置1)
画像取得装置1は、赤外線カメラ10と、画像処理装置11とを備える。
赤外線カメラ10は、上記被検材mへ向けられ、被検材mのサーモグラフィーを撮影する。図2において、白抜きの矢印が被検材mへ向けて照射した光を示し、実線の太い矢印が被検材mから赤外線カメラ10へ向けて放出された赤外線を示す。
被検材mを建造物の壁面などの所定の場所へ定着されたものとする場合や被検材mの重量が大きく移動が難しい場合は、上記画像取得装置1と加熱装置3とを被検材mのある場所へ配置し、被検材mに対し必要な間隔や向きを採るように、画像取得装置1と加熱装置3との位置を調整する。
一方、被検材mが可搬性を有する場合、所定の場所にセットされた画像取得装置1と加熱装置3に対し被検材mの位置を調整するものとしてもよく(図2)、勿論画像取得装置1と加熱装置3と被検材mの夫々の位置を調整するものとしてもよい。
被検材mが軽量なものである場合、赤外線カメラ10や加熱装置3(放電管4)に対して位置が変わらないように、被検材mを適切な固定手段にて位置を固定する。例えば、台に固定されたホルダにて被検材mを傷つけないように保持させることで、被検材mを当該台に固定すればよい(図示しない)。但し、被検材mを定位置に設置して探傷を行うものに限定するものではない。例えば、本発明は、製造ライン上の被検材mに対し探傷を行うものも含む。製造ライン上の被検材mに対し探傷を行う場合、加熱装置3の放電管4の発光は、製造ライン上を移動中の被検材mに対し行い、被検材mが赤外線カメラ10の前に到達した際、ラインを停止して赤外線カメラ10の前で撮影する間被検材mを静止させればよい。また、赤外線カメラ10をラインの移動に同期して移動させるものとし、製造ラインを停止させずに探傷を行うものとしてもよい。更に、赤外線カメラ10を固定したまま、ラインを停止させずに通過時のみ撮影するものとしても実施可能である。
(Image acquisition device 1)
The image acquisition device 1 includes an infrared camera 10 and an image processing device 11.
The infrared camera 10 is directed to the test material m and captures a thermography of the test material m. In FIG. 2, white arrows indicate light emitted toward the test material m, and thick solid arrows indicate infrared rays emitted from the test material m toward the infrared camera 10.
When the test material m is fixed to a predetermined place such as a wall of a building or when the weight of the test material m is large and movement is difficult, the image acquisition device 1 and the heating device 3 are tested. The position of the image acquisition device 1 and the heating device 3 are adjusted so as to be disposed at a place where the material m is present and to take necessary spacing and orientation with respect to the test material m.
On the other hand, when the test material m has portability, the position of the test material m may be adjusted with respect to the image acquisition device 1 and the heating device 3 set in a predetermined place (FIG. 2). It is good also as what adjusts each position of acquisition device 1, heating device 3, and test material m.
When the test material m is lightweight, the test material m is fixed in position by an appropriate fixing means so that the position does not change with respect to the infrared camera 10 and the heating device 3 (discharge tube 4). For example, the test material m may be fixed to the table (not illustrated) by holding the test material m with a holder fixed to the table so as not to damage the test material m. However, it does not limit to what installs test material m in a fixed position and performs flaw detection. For example, the present invention includes one that performs flaw detection on a test material m on a production line. When flaw detection is performed on the test material m on the manufacturing line, the light emission of the discharge tube 4 of the heating device 3 is performed on the test material m moving on the manufacturing line, and the test material m of the infrared camera 10 When reaching the front, it is sufficient to stop the test material m while shooting in front of the infrared camera 10 by stopping the line. The infrared camera 10 may be moved in synchronization with the movement of the line, and the flaw detection may be performed without stopping the production line. Furthermore, it can be implemented as one that shoots only when passing, without stopping the line while the infrared camera 10 is fixed.

画像処理装置11は、赤外線カメラ10で撮影した映像を可視化してオペレータにおいて解析できるようにモニタへ表示する。モニタへの表示は、赤外線カメラ10が捉えた熱画像をそのまま表示するものとしても、或いは赤外線カメラ10が捉えた熱画像をデータとして記録し、記録されたデータを再生して表示するものとしてもよい。
この例では、上記探傷装置は、解析ソフトウエアを導入したコンピュータ(以下PC)にて構築された解析装置2を備え、画像処理装置11の取得した画像データからPCが熱の移動を解析し被検材の欠陥の有無や欠陥の大きさの判定を行い、またはPCがオペレータによる上記判定を補助する。
The image processing device 11 visualizes the image captured by the infrared camera 10 and displays it on a monitor so that the operator can analyze it. The display on the monitor may be one that displays the thermal image captured by the infrared camera 10 as it is, or one that records the thermal image captured by the infrared camera 10 as data and reproduces and displays the recorded data. Good.
In this example, the flaw detection apparatus includes the analysis device 2 constructed by a computer (hereinafter referred to as a PC) into which analysis software is introduced, and the PC analyzes the movement of heat from the image data acquired by the image processing device 11 The determination of the presence or absence of the defect of the inspection material and the size of the defect is performed, or the PC assists the above determination by the operator.

また、上記画像処理装置11も上記PCにて構築することができる。具体的には、この例では、画像のキャプチャーボード或いは周知の他のインターフェースを介して赤外線カメラ10をPCへ接続し、PCのモニタ12へサーモグラフィーを表示可能とする。また上記画像処理装置11は、PCの備える記憶装置へキャプチャーした画像データを保存し、保存した当該画像データをモニタ12へ表示可能とし、更に上記解析結果をモニタ12へ表示可能とする。上記解析ソフトウエアには、上記画像データの取り込みもサポートするものを用いればよい。 The image processing apparatus 11 can also be constructed by the PC. Specifically, in this example, the infrared camera 10 is connected to the PC via an image capture board or other known interface, and the thermography can be displayed on the monitor 12 of the PC. Further, the image processing apparatus 11 stores the captured image data in a storage device provided in the PC, can display the stored image data on the monitor 12, and can display the analysis result on the monitor 12. As the analysis software, one that supports the acquisition of the image data may be used.

簡単に欠陥の有無を判定する原理について触れると、被検材mに傷や、剥離、ボイド(空隙)などの欠陥F1,F2,F3がある場合、加熱装置1にて被検材mへ与えられた熱(図1(A)のa1,a2,a3)については欠陥F1,F2,F3中の空気に阻害されて移動が遅くなる。従って、欠陥F1,F2,F3のある位置(光を照射した被検材mの面)における温度変化及び温度変化の時間と欠陥のない位置(光を照射した被検材mの面)における温度変化及び温度変化の時間を比較すると温度変化や温度変化の時間は異なるのである。当該温度変化及び温度変化の時間を分析することにより、被検材mにおける欠陥や当該欠陥の大きさや位置などを検出することができる。尚図1(A)のPCのモニタにおいて、g1は最も浅い位置にある欠陥F1の熱画像を、g2は欠陥F1よりも深い位置にある欠陥F2の熱画像を、g3は欠陥F2よりも深い位置にある欠陥F3の熱画像を示している。 When the principle of determining the presence or absence of a defect is simply mentioned, if there is a defect F1, F2, F3 such as a flaw, peeling, or void (void) in the test material m, it is given to the test material m by the heating device 1. The heat (a1, a2, a3 in FIG. 1A) is blocked by the air in the defects F1, F2, F3, and the movement is delayed. Therefore, the time of temperature change and temperature change at a certain position of the defects F1, F2 and F3 (the surface of the test material m irradiated with light) and the temperature at the position without defects (the surface of the test material m irradiated with light) Comparing the time of change and temperature change, the time of temperature change and temperature change are different. By analyzing the temperature change and the time of the temperature change, it is possible to detect a defect in the test material m and the size and position of the defect. In the PC monitor of FIG. 1A, g1 is the thermal image of the defect F1 located at the shallowest position, g2 is the thermal image of the defect F2 located at a position deeper than the defect F1, and g3 is deeper than the defect F2 The thermal image of the defect F3 in position is shown.

(加熱装置3)
加熱装置3について、第1の実施の形態について説明する。
図2へ示す通り、加熱装置3は、放電管4と、保持部30と、電源(以下発光用電源5)、トリガ導電部6と、トリガ電源7と、冷却部8と、反射部材9と、筐体13とを備える。
(Heating device 3)
The first embodiment of the heating device 3 will be described.
As shown in FIG. 2, the heating device 3 includes a discharge tube 4, a holding unit 30, a power supply (hereinafter referred to as a light emission power supply 5), a trigger conductive unit 6, a trigger power supply 7, a cooling unit 8, and a reflecting member 9. , And the housing 13.

放電管4は、放電により発光する発光気体を封入した封入管である。放電管4の両端即ち放電管4の正負両電極40の夫々が当該放電の上記発光用電源5の電極の夫々と接続される。前記封入管は、透明の石英管である。この例では、放電管4は、キセノンガスが充填されたキセノンランプである。放電管4には、特に発光時間が短く、短い時間間隔を開けて発光を繰り返すことができるキセノンフラッシュランプが好適である。
上記の放電管4の正負の電極40は、放電管4(石英管)から露出する露出部分40aと、放電管4内へ内包される内包部分40bとを備える。
The discharge tube 4 is a sealing tube in which a luminescent gas that emits light by discharge is sealed. Both ends of the discharge tube 4, that is, both positive and negative electrodes 40 of the discharge tube 4 are connected to respective electrodes of the light emission power supply 5 of the discharge. The enclosed tube is a transparent quartz tube. In this example, the discharge tube 4 is a xenon lamp filled with xenon gas. Particularly suitable for the discharge tube 4 is a xenon flash lamp which has a short light emission time and can repeat light emission with a short time interval.
The positive and negative electrodes 40 of the discharge tube 4 include an exposed portion 40 a exposed from the discharge tube 4 (quartz tube) and an inclusion portion 40 b included in the discharge tube 4.

保持部30は、円筒状の放電管4の両端に一対配置され、放電管4の両端を保持する。保持部30は、絶縁性と耐熱性を備えた素材にて形成する。具体的には、放電管4の放電・発光時に流れる電流を絶縁し、当該放電・発光時に瞬間的に生じる高熱に耐える耐熱性を備えた素材にて、保持部30を形成するのが望ましい。
保持部30全体は、テフロン(登録商標)、アクリル、その他の熱可塑性エンジニアリングプラスチックといった絶縁材にて形成することができる。
例えば、保持部30の上記熱影響を受ける部分は、耐熱性を備えたセラミックにて形成するのが望ましい。また保持部30の全体について耐熱性を備えたセラミックにて形成してもよい。保持部30に用いる上記セラミックについては、アルミナセラミックが好ましい。但し放電管4の放熱に対し適切な耐熱性を備えたものであれば、アルミナセラミック以外の他のセラミックや、セラミック以外の素材を採用して実施することも可能である。
保持部30として使用可能な材料には、例えば、耐熱材料ファインセラミックでは、アルミナ以外に、ジルコニア、炭化珪素、石英を挙げることができる。
図3(A)へ示す通り、保持部30の内部は、放電管4の端部を挿入する挿入空間30aと、通水連絡部30bとを備える。上記挿入空間30aへ放電管4の端部が嵌め込まれているのである。
この例では、放電管4の挿入空間30aへ挿入される部位へ、シリコン系素材、具体的にはシリコンなどの耐熱素材で形成された冷却液bの液漏れ防止用のパッキン34を装着し、挿入空間30aへ放電管4を嵌めている。
尚、図3(A)では図面の煩雑を避けるため加熱装置3の反射部材9や筐体13は省略して描いている。
両保持部30の挿入空間30aの夫々には、放電管4の電極40の露出部分40aが通される。挿入空間30aから突き出て各保持部30の外部へ露出する電極40の露出部分40aの夫々へ、発光用電源5と接続された電線51,52即ち発光のための放電用の入力ケーブル(入力線)が接続されているのである。
詳しくは放電管4左右の電極40の露出部分40aには、ソケット51a,52aが着脱自在に装着される(図3(A))。一方のソケット51aは上記一方の電線51の端部に設けられている。当該電線51の他の一端が上記発光用電源5の正負一方の極へ接続されている。
他の一方のソケット52aは上記他の一方の電線52の端部に設けられている。当該電線52の他の一端が上記発光用電源5の正負他の一方の極に接続されている。
放電管4は両ソケット51a,52aへ上記の通り装着されることにより、電気的に発光用電源5へ接続可能となる。
上記発光用電源5は、コンデンサを備える。発光用電源5は、商用電源に接続されて放電管4の発光に必要な蓄電を行う。
The holding portion 30 is disposed in a pair at both ends of the cylindrical discharge tube 4 and holds the both ends of the discharge tube 4. The holding portion 30 is formed of a material having insulation and heat resistance. Specifically, it is desirable that the holding portion 30 be formed of a material having heat resistance that insulates the current flowing at the time of discharge and light emission of the discharge tube 4 and withstands high heat instantaneously generated at the time of discharge and light emission.
The entire holder 30 can be formed of an insulating material such as Teflon (registered trademark), acrylic, or other thermoplastic engineering plastic.
For example, it is desirable that the heat-affected portion of the holding portion 30 be formed of heat-resistant ceramic. Further, the whole of the holding portion 30 may be formed of ceramic having heat resistance. About the said ceramic used for the holding | maintenance part 30, an alumina ceramic is preferable. However, as long as the heat resistance suitable for the heat radiation of the discharge tube 4 is provided, it is possible to adopt and carry out other ceramics other than the alumina ceramic and materials other than the ceramic.
Examples of the material that can be used as the holding unit 30 include zirconia, silicon carbide, and quartz other than alumina in the heat-resistant material fine ceramic, for example.
As shown to FIG. 3A, the inside of the holding | maintenance part 30 is equipped with the insertion space 30a which inserts the edge part of the discharge tube 4, and the water flow connection part 30b. The end of the discharge tube 4 is fitted into the insertion space 30a.
In this example, a packing 34 for preventing liquid leakage of the cooling fluid b formed of a heat resistant material such as a silicon-based material, specifically silicon, is attached to the portion of the discharge tube 4 inserted into the insertion space 30a, The discharge tube 4 is fitted in the insertion space 30a.
In FIG. 3A, the reflecting member 9 and the housing 13 of the heating device 3 are omitted for the sake of simplicity.
The exposed portion 40 a of the electrode 40 of the discharge tube 4 is passed through each of the insertion spaces 30 a of the two holding portions 30. Wires 51, 52 connected to the light emission power source 5 to the exposed portions 40a of the electrodes 40 which project from the insertion space 30a and are exposed to the outside of the holding portions 30, ie, input cables for discharge (input wires for light emission) ) Is connected.
Specifically, sockets 51a and 52a are detachably mounted on exposed portions 40a of the electrodes 40 on the left and right of the discharge tube 4 (FIG. 3A). One socket 51 a is provided at the end of the one electric wire 51. The other end of the wire 51 is connected to one of the positive and negative poles of the light emission power source 5.
Another socket 52 a is provided at the end of the other electric wire 52. The other end of the wire 52 is connected to the positive and negative other poles of the light emission power source 5.
The discharge tube 4 can be electrically connected to the light emission power supply 5 by being mounted on the both sockets 51a and 52a as described above.
The light emission power supply 5 includes a capacitor. The light emission power source 5 is connected to a commercial power source to perform storage required for light emission of the discharge tube 4.

また、通水連絡部30bは、一端が挿入空間30aへ連絡し他の一端が保持部30の外部へ連絡する空間である。
この例では、更に保持部30内に、一端が通水連絡部30bと連絡し他の一端側が保持部30の外部へ連絡する引出線挿入部30cが設けられている。
図2へ示す放電管4の左右に配された一対の上記保持部30は、冶具32を介して基盤31へ固定されている。図2の33は左右の保持部30を締結し放電管4に対する保持部30の位置を定める位置決め部材を示している。左右の保持部30の外側へ配された一対の上記位置決め部材33は、夫々板状の部材であり、電極40の露出部分40aを通す穴hを備える(図3)。穴hの径は、放電管4の電極40の上記露出部分40以外の部分よりも小さい。
位置決め部材33の夫々には、当該穴h以外の位置にて締結部材33aが突き通される(図2)。締結部材33aは座面を提供する頭部を備えたボルトであり、締結部材33aの軸外周面に雄螺子が形成されている。
図2において、左右の締結部材33aの前記頭部のみ現れている。前記位置決め部33には、締結部材33aを通す穴が設けられ当該穴を通り抜けた締結部材33aの先端側は保持部30に設けられた螺子穴にねじ込まれる。当該螺子穴には雌螺子が形成されており締結部材33aの前記雄螺子がねじ込まれるのである。
締結部材33aの頭部座面は、保持部30との間に位置決め部材33を挟み保持部30と位置決め部材33とを締結する。保持部30へ固定された位置決め部33にて、保持部30に対し放電管4の位置決めがなされる。
また基盤31は、ネジ止め・ボルト止めなどの周知の取付手段により、直接又は間接的に上記筐体13へ着脱自在に固定される板材である。基盤31は、筐体13へ取り付けることによって、筐体13の一部を構成する。例えば図2へ示す例では、筐体13は下方に開口を備え、基盤31の上記取り付けによって当該開口を塞いでいる。
基盤31の上面即ち筐体13を臨む面に放電管4と筒状部81とトリガ導電部6と保持部30とが設けられ、筐体13へ基盤31を取り付けることにより、放電管4と筒状部81とトリガ導電部6と保持部30と基盤31とをまとめて筐体13内へ収容することができる。
放電管4の交換時には、基盤31を筐体13から取り外すことにより、放電管4と筒状部81とトリガ導電部6と保持部30とを基盤31と共に取り外すことができる。即ち、筐体13に対して、放電管4と筒状部81とトリガ導電部6と保持部30と冶具32と位置決め部材33と基盤31とを1つのユニットとして一体に着脱できる。
図2へ示す例では、上記ユニットとは別にトリガ電源7が筐体13内に収容されている。但しトリガ電源7は筐体13の外部へ配置するものとしてもよい。
Further, the water flow communication unit 30 b is a space in which one end communicates with the insertion space 30 a and the other end communicates with the outside of the holding unit 30.
In this example, a leader insertion portion 30c is provided in the holder 30. The one end communicates with the water flow communication unit 30b and the other end communicates with the outside of the holder 30.
The pair of holding portions 30 disposed on the left and right of the discharge tube 4 shown in FIG. 2 is fixed to the base 31 via the jig 32. Reference numeral 33 in FIG. 2 denotes a positioning member which fastens the left and right holding portions 30 and determines the position of the holding portion 30 with respect to the discharge tube 4. The pair of positioning members 33 disposed to the outside of the left and right holding portions 30 are plate-like members, respectively, and have holes h through which the exposed portions 40a of the electrodes 40 pass (FIG. 3). The diameter of the hole h is smaller than that of the portion other than the exposed portion 40 of the electrode 40 of the discharge tube 4.
Fastening members 33a are pierced through the positioning members 33 at positions other than the holes h (FIG. 2). The fastening member 33a is a bolt having a head providing a seat surface, and a male screw is formed on the outer peripheral surface of the fastening member 33a.
In FIG. 2, only the head of the left and right fastening members 33a appears. The positioning portion 33 is provided with a hole through which the fastening member 33a is passed, and the tip end side of the fastening member 33a that has passed through the hole is screwed into a screw hole provided in the holding portion 30. A female screw is formed in the screw hole, and the male screw of the fastening member 33a is screwed.
The head seat surface of the fastening member 33 a sandwiches the positioning member 33 with the holding unit 30 and fastens the holding unit 30 and the positioning member 33. The positioning portion 33 fixed to the holding portion 30 positions the discharge tube 4 with respect to the holding portion 30.
Further, the base 31 is a plate material which is detachably fixed to the housing 13 directly or indirectly by known mounting means such as screwing and bolting. The base 31 constitutes a part of the housing 13 by being attached to the housing 13. For example, in the example shown to FIG. 2, the housing | casing 13 equips the downward direction with the opening, and has closed the said opening by said attachment of the base | substrate 31. As shown in FIG.
The discharge tube 4, the tubular portion 81, the trigger conductive portion 6 and the holding portion 30 are provided on the upper surface of the base 31, ie, the surface facing the housing 13, and the base 31 is attached to the housing 13. The shape portion 81, the trigger conductive portion 6, the holding portion 30, and the base 31 can be accommodated together in the housing 13.
At the time of replacement of the discharge tube 4, the discharge tube 4, the tubular portion 81, the trigger conductive portion 6 and the holding portion 30 can be removed together with the base 31 by removing the base 31 from the housing 13. That is, the discharge tube 4, the cylindrical portion 81, the trigger conductive portion 6, the holding portion 30, the jig 32, the positioning member 33, and the base 31 can be integrally attached to and detached from the housing 13 as one unit.
In the example shown in FIG. 2, the trigger power supply 7 is accommodated in the housing 13 separately from the above unit. However, the trigger power supply 7 may be disposed outside the housing 13.

トリガ導電部6は、この例では、トリガ電圧を与える導線である(以下必要に応じてトリガ線6と呼ぶ)。
トリガ線6の基端は上記トリガ電源7の出力電極へ接続される。トリガ線6がトリガ電源7から電圧を受けて放電管4発光の際の放電を誘発する。
トリガ線6は、絶縁材で被覆されていないむき出しの金属線であり、トリガ線6基端は、絶縁材で被覆された電線61(以下導電線61と呼ぶ。)を介してトリガ電源7に接続されている。詳しくは、トリガ線6(トリガ導電部6)は引出線60を介して導電線61に接続されている。トリガ線6と引出線60は一体に形成された金属線である。即ち、トリガ線6と引出線60は1本の線材であり、ここでは、当該線材において、放電管4へ配置され放電に関与する区間をトリガ線6と呼び、放電管4から離れて放電に関与しない区間を引出線60と呼ぶ。
図2へ示す例では、引出線60は上記引出線挿入部30c内に通される。
トリガ電源7には、必要なトリガ電圧を供給できるものを採用する。具体的には、トリガ電源7は、20〜30KVのトリガ電圧を供給する能力を備えたものを採用する。
トリガ電源7は、トランス(トリガトランス)であり、当該トランスの一次側が上記発光用電源5に接続されている。
この例では、トリガ線6は、ニッケルの線材である。但し、トリガ線6は、トリガ放電を行うことが可能な導線であれば、ニッケル以外の金属線を採用して実施することも可能である。
トリガ線6は、放電管4へ向け安定して放電を誘発する位置にあればよい。トリガ線6は、放電管4の電極40の露出部分40aを避け、放電管4の長手方向について放電管4の正極と負極の露出部分40a同士の間にのみ配置される。言い換えるとトリガ線6は、放電管4の長手方向について正負両電極40の露出部分40aに挟まれた区間のみに配置されておれば、放電管4の正負両電極40の内包部分40bと前記長手方向の位置について幾分重なるものであってもよい。トリガ線6を提供する上記線材において、上記引出線60は、放電しないように露出部分40a外周面から露出部分40aの径外側へ離されている。
上記発光用電源5は、信号線にて上記PCに接続されている。発光用電源5は、上記画像取得装置1による画像取得時にPCからの指令を受けて、蓄電した電荷を放電管4へ放出する。発光用電源5に接続されているトリガ電源7は、発光用電源5の上記電荷の放出動作に伴いトリガ線6へ必要な電圧を供給する。
The trigger conductive part 6 is a conducting wire which provides a trigger voltage in this example (hereinafter referred to as the trigger wire 6 as required).
The proximal end of the trigger wire 6 is connected to the output electrode of the trigger power supply 7. The trigger wire 6 receives a voltage from the trigger power supply 7 to induce a discharge when the discharge tube 4 emits light.
The trigger wire 6 is a bare metal wire not coated with an insulating material, and the base end of the trigger wire 6 is connected to the trigger power supply 7 via a wire 61 (hereinafter referred to as a conductive wire 61) coated with an insulating material. It is connected. Specifically, the trigger wire 6 (trigger conductive portion 6) is connected to the conductive wire 61 via the lead wire 60. The trigger wire 6 and the lead wire 60 are integrally formed metal wires. That is, the trigger wire 6 and the lead wire 60 are one wire, and in this wire, the section disposed to the discharge tube 4 and involved in the discharge is called the trigger wire 6 and is separated from the discharge tube 4 to discharge A section not involved is called a leader 60.
In the example shown in FIG. 2, the leader 60 is passed through the leader insertion portion 30c.
As the trigger power supply 7, one capable of supplying a necessary trigger voltage is employed. Specifically, the trigger power source 7 adopts one having a capability of supplying a trigger voltage of 20 to 30 KV.
The trigger power source 7 is a transformer (trigger transformer), and the primary side of the transformer is connected to the light source 5 for light emission.
In this example, the trigger wire 6 is a nickel wire. However, if the trigger wire 6 is a conducting wire capable of performing trigger discharge, it is also possible to adopt and implement a metal wire other than nickel.
The trigger wire 6 may be located at a position where a stable discharge is induced toward the discharge tube 4. The trigger wire 6 avoids the exposed portion 40 a of the electrode 40 of the discharge tube 4, and is disposed only between the positive electrode of the discharge tube 4 and the exposed portion 40 a of the negative electrode in the longitudinal direction of the discharge tube 4. In other words, if the trigger wire 6 is disposed only in the section sandwiched by the exposed portions 40 a of the positive and negative electrodes 40 in the longitudinal direction of the discharge tube 4, the inclusion portion 40 b of the positive and negative electrodes 40 of the discharge tube 4 It may overlap somewhat with the position of the direction. In the wire providing the trigger wire 6, the lead wire 60 is separated from the outer peripheral surface of the exposed portion 40a to the outside of the exposed portion 40a so as not to discharge.
The light emission power source 5 is connected to the PC by a signal line. The light emission power source 5 receives a command from the PC at the time of image acquisition by the image acquisition device 1 and discharges the accumulated charge to the discharge tube 4. The trigger power supply 7 connected to the light emission power supply 5 supplies a necessary voltage to the trigger line 6 in accordance with the discharge operation of the charge of the light emission power supply 5.

トリガ線6は、この例では、図3(A)(B)へ示す通り、放電管4の外周面へ直接巻き付けられている。即ち、トリガ線6は放電管4へ螺旋状に巻きつけられている。
トリガ線6は、放電管4の光の放出を阻害しないように放電管4の外周へ疎に巻回されており、光を遮るような密に巻かれるものではない。トリガ線6の長さは、放電管4の径や長さ、種類、発熱量等その他の事項により適宜変更可能である。
上記の通りトリガ線6を放電管4へ巻き付けるものに限定するものではなく、巻き付けずに単に放電管4の外周面へ沿わせるのを排除するものではない。例えば、放電管4の長手方向に沿って真っすぐ伸びるものであってもよい。また、トリガ線6は放電管4と接触するものに限らず、トリガ線6は後述する冷却液bの流路r内に配置されるのみで放電管4とは接触しないものとしてもよい。
上記のトリガ線6の全区間が放電管4と接触するものや、トリガ線6の全区間が放電管4と接触しないものの他、トリガ線6の一部が放電管4表面と接触しトリガ線6の他の部分は放電管4と接触しないものとしても実施できる。例えば、放電管4の表面に巻き付けたトリガ線6が部分的に放電管4表面から浮き上がって放電管4から離れたものとなっていてもよいのである。
この例では、トリガ線6の先端は、輪6aにされて放電管4の外周へ留められている。
The trigger wire 6 is directly wound around the outer peripheral surface of the discharge tube 4 in this example, as shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B). That is, the trigger wire 6 is spirally wound around the discharge tube 4.
The trigger wire 6 is loosely wound around the outer periphery of the discharge tube 4 so as not to inhibit the light emission of the discharge tube 4 and is not tightly wound to block light. The length of the trigger wire 6 can be appropriately changed according to the diameter and length of the discharge tube 4, the type, the calorific value, and the like.
As described above, the trigger wire 6 is not limited to being wound around the discharge tube 4, and it is not excluded that the trigger wire 6 simply follows the outer peripheral surface of the discharge tube 4 without being wound. For example, it may extend straight along the longitudinal direction of the discharge tube 4. Further, the trigger wire 6 is not limited to one in contact with the discharge tube 4, and the trigger wire 6 may be disposed only in the flow path r of the coolant b described later but not in contact with the discharge tube 4.
Aside from the one in which the entire section of the trigger wire 6 contacts the discharge tube 4 or the one in which the entire section of the trigger wire 6 does not contact the discharge tube 4, a part of the trigger wire 6 contacts the surface of the discharge tube 4 The other part of 6 can also be implemented as one not in contact with the discharge tube 4. For example, the trigger wire 6 wound around the surface of the discharge tube 4 may be partially lifted from the surface of the discharge tube 4 and separated from the discharge tube 4.
In this example, the tip of the trigger wire 6 is formed into a ring 6 a and is fastened to the outer periphery of the discharge tube 4.

上記赤外線サーモグラフィーで被検材mの広い面積を検査する場合には、放電管4には光の放射により広い面を加熱する能力を備えたものを採用する。特に消費電力について限定はないが、被検材mや探傷の条件に応じて、放電管4には、1回の発光につき500Jから20000Jの電力を消費するものを採用することが考えられ、特に放電管4には1回の発光につき1000J〜12000Jの電力を消費するものを採用することが考えられる。
CFRPの表層における剥離を検出する場合において2000J〜4000Jの電力消費のもので実施可能であることを確認している。
但し、被検材mによって放電管4は上記数値範囲以外の能力のものを採用して実施するのを排除するものではない。即ち、1回の発光につき、500J未満の消費電力である放電管4や20000Jを超える消費電力の放電管4の採用を排除するものではない。
上記冷却部8は、上記発光にて加熱する放電管4の冷却の能力を備えたものを用いる。
冷却部8について具体的に説明する。
冷却部8は、上述の冷却液bの流路rを形成する筒状部81と、冷却液bを供給するタンクTと、冷却液bを循環させるポンプPとを備える。具体的には、筒状部81は中空で透明な石英管であり、筒状部81の内径は、放電管4の外径よりも大きい。筒状部81は、放電管4の外部へ配置される。即ち、筒状部81の中空部分へ放電管4が配置される。放電管4の外周面と筒状部81の内周面との間の隙間が冷却液bの上記流路rを構成する。流路rである上記隙間へ冷却液bが流され、冷却液bは、移動中放電管4の表面と直接接触する。上記の通り筒状部81は、放電管4の径外へ上記冷却液bの流路を形成する水冷管である。
筒状部81は放電管4と共に保持部30の挿入空間30aへ嵌められる。筒状部81は、図3(A)へ示す通り、放電管4よりも短く、保持部30の挿入空間30a内にて、放電管4の両端(電極40の露出部分40a,40b)は筒状部81の両端より突出している。挿入空間30aの径について、筒状部81の挿入される区間は上記露出部分40a,40bを収容する小径区間よりも大きい大径区間である。上記小径区間と大径区間は同心とされ、上記大径区間へ筒状部81を嵌め、上記小径区間へ放電管4を嵌めることにより、放電管4と筒状部81の周方向の各位置において均等に流路rとなる隙間を設けることができる。
また、放電管4において上記小径区間に嵌められた露出部分40a,40bへ上記水漏れ防止用のパッキン34が装着されているのである。筒状部81の挿入空間30aへ嵌められる部位にも、放電管4の上記水漏れ防止用のパッキン34と同様素材のパッキン35が装着されている。
冷却液bに関し、上記のパッキン34,35により保持部30から外部へ漏れることが防がれており、冷却液bにより確実に放電管4からの熱を排除することができる。
この例では、引出線挿入部30c内の上記引出線60の周囲の隙間を放電管4の放熱性に耐える耐熱性を備えた周知の接着剤やパテにて塞いでいる。
上記の筒状部81即ち水冷管が、放電管4の発する光を通すことにより当該光を外部へ放出し、被検材mを加熱する。
In the case where a wide area of the test material m is inspected by the above-mentioned infrared thermography, the discharge tube 4 has an ability to heat a wide surface by light emission. There is no particular limitation on the power consumption, but depending on the condition of the test material m and the flaw detection, it is considered to adopt a discharge tube 4 that consumes 500 J to 20000 J of electric power per light emission, in particular. It is conceivable to adopt a discharge tube 4 that consumes 1000 J to 12000 J of electric power per light emission.
In the case of detecting exfoliation in the surface layer of CFRP, it has been confirmed that it can be implemented with a power consumption of 2000 J to 4000 J.
However, it does not exclude that the discharge tube 4 employ | adopts and implements the thing of the capability except the said numerical range with the to-be-tested material m. That is, the use of the discharge tube 4 having a power consumption of less than 500 J and the discharge tube 4 having a power consumption exceeding 20000 J per one light emission is not excluded.
The cooling unit 8 has a cooling capacity of the discharge tube 4 heated by the light emission.
The cooling unit 8 will be specifically described.
The cooling unit 8 includes a cylindrical portion 81 that forms the flow path r of the above-described coolant b, a tank T that supplies the coolant b, and a pump P that circulates the coolant b. Specifically, the cylindrical portion 81 is a hollow transparent quartz tube, and the inner diameter of the cylindrical portion 81 is larger than the outer diameter of the discharge tube 4. The cylindrical portion 81 is disposed to the outside of the discharge tube 4. That is, the discharge tube 4 is disposed in the hollow portion of the cylindrical portion 81. A gap between the outer circumferential surface of the discharge tube 4 and the inner circumferential surface of the cylindrical portion 81 constitutes the flow passage r of the cooling fluid b. The cooling fluid b is flowed into the above-mentioned gap which is the flow passage r, and the cooling fluid b directly contacts the surface of the discharge tube 4 during movement. As described above, the cylindrical portion 81 is a water cooling pipe which forms the flow path of the cooling fluid b outside the diameter of the discharge pipe 4.
The cylindrical portion 81 is fitted into the insertion space 30 a of the holding portion 30 together with the discharge tube 4. The cylindrical portion 81 is shorter than the discharge tube 4 as shown in FIG. 3A, and both ends (exposed portions 40a and 40b of the electrode 40) of the discharge tube 4 are cylindrical in the insertion space 30a of the holding portion 30. It protrudes from the both ends of the rod-like portion 81. As for the diameter of the insertion space 30a, the section into which the cylindrical portion 81 is inserted is a large diameter section larger than the small diameter section that accommodates the exposed portions 40a and 40b. The small diameter section and the large diameter section are concentric, and the cylindrical portion 81 is fitted to the large diameter section, and the discharge tube 4 is fitted to the small diameter section, thereby each position of the discharge tube 4 and the cylindrical portion 81 in the circumferential direction There can be provided a gap which becomes the flow passage r evenly.
Further, the packing 34 for preventing water leakage is attached to the exposed portions 40a and 40b of the discharge tube 4 fitted in the small diameter section. A packing 35 made of the same material as the packing 34 for preventing water leakage of the discharge tube 4 is also attached to a portion of the cylindrical portion 81 fitted in the insertion space 30 a.
With respect to the coolant b, the packings 34 and 35 prevent the holding portion 30 from leaking to the outside, and the coolant b can reliably remove the heat from the discharge tube 4.
In this example, the gap around the lead wire 60 in the lead wire insertion portion 30c is closed with a known adhesive or putty having heat resistance to endure the heat dissipation of the discharge tube 4.
The above-mentioned cylindrical portion 81, that is, the water-cooled tube emits the light to the outside by passing the light emitted from the discharge tube 4 and heats the test material m.

一方(図2及び図3(A)中左側)の保持部30の上記通水連絡部30bへ導入用のホース83が接続され、導入用のホース83は上記ポンプPを介して上記タンクTへ接続されている。他の一方(図2及び図3(A)中右側)の保持部30の上記通水連絡部30bへ排出用のホース84が接続され、回収した冷却液bを再びタンクTへ収容する。
一方の保持部30の通水連絡部30bから水冷管内に導入された冷却液bは、放電管4及び上記水冷管の長手方向沿って流れ(図3(B)の白抜き矢印)他方の保持部30の通水連絡部30bから排出され、タンクTを経て再び上記一方の保持部30の通水連絡部30bから水冷管内に導入されるのである。
また、冷却液bは、絶縁性を備えた液体である必要がある。絶縁性を備えた液体として、冷却液bに純水を採用すればよい。
図示は省略するが、タンクT又はホース83,84に温度センサと導電率計とを備える。上記温度センサと導電率計はPCに接続され、所定以上の温度の上昇や所定以上の冷却液bの純度の変化が生じれば、PCから警報が出される。オペレータは冷却液bが冷却に必要な温度であるか否か更に絶縁性を備える純度を保っているかモニタ12を見て確認できる。
冷却液bの絶縁性が低下すれば、タンクTの冷却液bを絶縁性の高いものに入れ替えればよい。冷却液bの温度が高くなった場合も、冷却液bの入れ替えで対応することができるが、ここでは、冷却部8はチラーを備え(図示しない。)、上記温度センサの温度の検出によって自動的に冷却装置を作動させて冷却液bの温度を調整するものとする。従って、冷却水bの純度変化のみ上記警報を行えばよく、導電率計のみPCへ接続して実施することも可能である。
具体的には、タンクTには収容した冷却液を冷却する熱交換器などの上記冷却装置が設けられている。尚、冷却装置は、タンクTと別にホース83,84へ設けることにて、冷却水bの循環経路中に配置するものとしてもよい。
上記にて、冷却液bは、一定の水温に保たれ水質について純水であることを維持できる。
冷却液bの流量とその流速は、ランプの特性、加熱エネルギーに対応した値が選択される。即ち当該値の選択に応じた能力のものを上記ポンプpに採用する。但し、別途の上記ポンプpを設けるのではなく、上記チラーの備えるポンプにて冷却液bを循環させるものとしてもよい。
また、冷却液bの循環経路の途中にイオン交換器を設けて、冷却液bの絶縁性の低下に対し、自動的に冷却液bの絶縁性を回復するものとしてもよい。
上記において前記温度センサと前記導電率計はPCへ接続するものとしたが、前記温度センサと前記導電率計はPLC(programmable logic controller)へ接続してシーケンス制御するものとしてもよい。
A hose 83 for introduction is connected to the water communication portion 30b of the holding portion 30 on one side (the left side in FIGS. 2 and 3A), and the hose 83 for introduction is connected to the tank T via the pump P. It is connected. A hose 84 for discharge is connected to the water communication portion 30b of the holding portion 30 on the other side (right side in FIG. 2 and FIG. 3A), and the collected coolant b is stored in the tank T again.
The cooling fluid b introduced into the water cooling pipe from the water flow communicating portion 30b of one holding portion 30 flows along the longitudinal direction of the discharge pipe 4 and the water cooling pipe (white arrow in FIG. 3B) The water is discharged from the water flow communication unit 30b of the unit 30, passes through the tank T, and is again introduced into the water cooling pipe from the water flow communication unit 30b of the one holding unit 30.
In addition, the coolant b needs to be a liquid having an insulating property. Pure water may be employed as the coolant b as a liquid having an insulating property.
Although not shown, the tank T or hoses 83 and 84 are provided with a temperature sensor and a conductivity meter. The temperature sensor and the conductivity meter are connected to the PC, and an alarm is issued from the PC if a rise in temperature above a predetermined level or a change in the purity of the coolant b above the predetermined level occurs. The operator can check the monitor 12 to see if the coolant b is at a temperature required for cooling and whether it is maintaining the purity with insulation.
If the insulation of the cooling fluid b is lowered, the cooling fluid b of the tank T may be replaced with one having high insulation. Even when the temperature of the cooling fluid b becomes high, it can be coped with by replacing the cooling fluid b, but here, the cooling unit 8 is provided with a chiller (not shown) and is automatically detected by detecting the temperature of the temperature sensor. The cooling device is operated to adjust the temperature of the coolant b. Therefore, only the change in the purity of the cooling water b may be performed, and the conductivity meter may be connected to the PC.
Specifically, the tank T is provided with the above-described cooling device such as a heat exchanger that cools the contained cooling fluid. The cooling device may be disposed in the circulation path of the cooling water b by providing the hoses 83 and 84 separately from the tank T.
As described above, the coolant b can be maintained at a constant water temperature and can be maintained to be pure water with respect to the water quality.
The flow rate of the coolant b and its flow rate are selected to correspond to the lamp characteristics and the heating energy. That is, a pump having an ability according to the selection of the value is adopted for the pump p. However, instead of providing the separate pump p, the coolant b may be circulated by a pump provided in the chiller.
In addition, an ion exchanger may be provided in the middle of the circulation path of the coolant b, and the insulation of the coolant b may be automatically recovered in response to the decrease in the insulation of the coolant b.
Although the temperature sensor and the conductivity meter are connected to a PC in the above, the temperature sensor and the conductivity meter may be connected to a programmable logic controller (PLC) to perform sequence control.

反射部材9の例を図5乃至図7へ示す。
反射部材9は、放電管4が発した光を効率よく被検材mへ向けるものである。
反射部材9は、湾曲した板状体である。反射部材9は、筒状部81の外側へ筒状部81と間隔を開けて配置され、筒状部81を取り囲む。湾曲する反射部材9の内面は、放電管4の光を反射する反射面90である。
詳しくは、反射部材9は、主反射部92と、副反射部91とを備える(図6)。
副反射部91は筒状部81を挟んで被検材mの反対側に配置され、主反射部92は、副反射部91よりも被検材m寄りに配置される。
主反射部92と副反射部91夫々の内面が、上記反射面90をなすものである。
副反射部91の反射面90は放電管から受けた光を被検材m及び主反射部92へ向けて反射し、主反射部92の反射面90は放電管4から直接受けた光及び副反射部91の反射した光を被検材mへ向けて反射する。
また、主反射部92は、第1主反射部92aと第2主反射部92bとを備える。第1主反射部92aと第2主反射部92bとは、互いの反射面90を対向させる。第1主反射部92aと第2主反射部92bとは夫々放電管4(筒状部81)側から被検材m側へ伸び、第1主反射部92aと第2主反射部92bの間にて放電管4から被検材mへ向かう光を通す。反射部材9の側面視において、第1主反射部92aと第2主反射部92bは、互いの反射面90間の間隔を、副反射部91側から被検材m側へ向け漸次広げる。
An example of the reflecting member 9 is shown in FIGS. 5 to 7.
The reflecting member 9 efficiently directs the light emitted by the discharge tube 4 to the test material m.
The reflecting member 9 is a curved plate-like body. The reflecting member 9 is disposed outside the cylindrical portion 81 at an interval from the cylindrical portion 81 and surrounds the cylindrical portion 81. The inner surface of the curved reflecting member 9 is a reflecting surface 90 that reflects the light of the discharge tube 4.
Specifically, the reflection member 9 includes a main reflection portion 92 and a sub reflection portion 91 (FIG. 6).
The sub reflection portion 91 is disposed on the opposite side of the test material m with the cylindrical portion 81 interposed therebetween, and the main reflection portion 92 is disposed closer to the test material m than the sub reflection portion 91.
The inner surfaces of the main reflection portion 92 and the sub reflection portion 91 form the reflection surface 90.
The reflection surface 90 of the sub reflection portion 91 reflects the light received from the discharge tube toward the test material m and the main reflection portion 92, and the reflection surface 90 of the main reflection portion 92 directly receives the light and the sub light received from the discharge tube 4. The light reflected by the reflection unit 91 is reflected toward the test material m.
Further, the main reflection portion 92 includes a first main reflection portion 92a and a second main reflection portion 92b. The first main reflection portion 92 a and the second main reflection portion 92 b make their reflection surfaces 90 face each other. The first main reflection portion 92a and the second main reflection portion 92b respectively extend from the discharge tube 4 (cylindrical portion 81) side to the test material m side, and between the first main reflection portion 92a and the second main reflection portion 92b The light traveling from the discharge tube 4 to the test material m is passed. In a side view of the reflecting member 9, the first main reflecting portion 92a and the second main reflecting portion 92b gradually increase the distance between the reflecting surfaces 90 from the sub-reflecting portion 91 side to the test material m side.

図5(A)及び図6へ示す通り副反射部91は樋状に形成されている。
主反射部92の側面側は、側板95で覆われている。側板95の内側面は、この例では主反射部92の反射面90よりも反射率の低い面である。但し、側板95の内側面は、主反射部92の反射面90よりも反射率の低い面に限定するものではなく、側板95の内側面の反射率は、主反射部92の反射面90の反射率と同じ若しくは主反射部92の反射面90の反射率よりも大きなものであってもよい。
また、第1主反射部92aと第2主反射部92bとからなる主反射部92において、側板95は第1主反射部92aと第2主反射部92bとを接続する接続面を提供する(図5(B)及び図6)。
例えば、被検材mを放電管4の上方に配置し下方から上方の被検材mへ向けて光を発するものとし尚且つ加熱装置3の前後方向について第1主反射部92aは第2主反射部92bの前方に配されたものとすると、側板95は、主反射部92の左右に配置され、第1主反射部92aの左右側辺の夫々と第2主反射部92bの左右側辺の夫々とを接続する。但し、主反射部92の左右を覆うものであればよく、側板95は第1主反射部92a及び第2主反射部92bに接続されたものでなくてもよい。側板95は主反射部92と一体である必要はないのである。
上記主反射部92の底を上記副反射部91が塞ぐ。この例では、副反射部91は主反射部92と別体に形成され主反射部92から分離できる(図6及び図7)。主反射部92の上端は、光の放射口93として開放されている。
図示を省略するが、主反射部92は、螺子、ボルト、ピン或いは溶接といった周知の固着手段により前述の筐体13へ固着されている。
As shown in FIG. 5A and FIG. 6, the sub-reflecting portion 91 is formed in a bowl shape.
The side surface side of the main reflection portion 92 is covered by a side plate 95. The inner side surface of the side plate 95 is a surface having a reflectance lower than that of the reflection surface 90 of the main reflection portion 92 in this example. However, the inner side surface of the side plate 95 is not limited to a surface having a lower reflectance than the reflection surface 90 of the main reflection portion 92, and the reflectance of the inner side surface of the side plate 95 is the same as that of the reflection surface 90 of the main reflection portion 92. It may be the same as the reflectance or larger than the reflectance of the reflecting surface 90 of the main reflecting portion 92.
Further, in the main reflection portion 92 composed of the first main reflection portion 92a and the second main reflection portion 92b, the side plate 95 provides a connection surface for connecting the first main reflection portion 92a and the second main reflection portion 92b (see FIG. Fig. 5 (B) and Fig. 6).
For example, the test material m is disposed above the discharge tube 4 and light is emitted from the lower side toward the upper test material m, and the first main reflection portion 92a is a second main reflection member in the front-rear direction of the heating device 3 Assuming that the side plates 95 are disposed on the left and right sides of the main reflection portion 92, the side plates 95 are disposed on the left and right sides of the main reflection portion 92a, and the left and right sides of the second main reflection portion 92b. Connect with each other. However, the side plate 95 may not be connected to the first main reflection part 92 a and the second main reflection part 92 b as long as it covers the left and right of the main reflection part 92. The side plate 95 need not be integral with the main reflector 92.
The bottom of the main reflection part 92 is closed by the sub reflection part 91. In this example, the sub-reflection part 91 is formed separately from the main reflection part 92 and can be separated from the main reflection part 92 (FIGS. 6 and 7). The upper end of the main reflection portion 92 is opened as a light emission port 93.
Although not shown, the main reflection portion 92 is fixed to the aforementioned housing 13 by a known fixing means such as a screw, a bolt, a pin or welding.

この図5〜図7へ示す例では、副反射部91は、放電管4と筒状部81とトリガ導電部6と保持部30と冶具32と位置決め部材33と共に上記基盤31へ設けられ、上記ユニットの一部として筐体13から取り外すことができる(図2、図5〜図7)。上記ユニットを筐体13から取り外すことにより、副反射部91を筐体13へ固着している主反射部92と分離して筐体13から取り外すことができる。
図7(A)(B)へ示す通り、副反射部91が取り除かれた主反射部92の底は、開口部94として開口する。
In the example shown in FIGS. 5 to 7, the sub-reflecting portion 91 is provided to the base 31 together with the discharge tube 4, the tubular portion 81, the trigger conductive portion 6, the holding portion 30, the jig 32 and the positioning member 33. It can be removed from the housing 13 as part of the unit (FIGS. 2, 5-7). By removing the unit from the housing 13, the sub-reflection portion 91 can be separated from the main reflection portion 92 fixed to the housing 13 and removed from the housing 13.
As shown in FIGS. 7A and 7B, the bottom of the main reflection portion 92 from which the sub reflection portion 91 is removed opens as an opening 94.

図6へ示す通り、この例では、副反射部91と主反射部92夫々の反射面90については、放電管4(筒状部81)の長手方向と直交する平面(仮想面)へ投影された輪郭が放物線を呈する。
上記放物線の焦点と放電管4の中心軸(仮想線)とが一致するように、反射部材9に対し放電管4及び筒状部81を配置するのが好ましい。但し上記焦点に対し放電管4の中心軸が若干ずれていたとしても反射に支障のない範囲であればよい。
放電管4であるキセノンランプが反射部材9の反射面の呈する放物面の上記焦点上に配置されることにより、放電管4の発する光を乱反射し、加熱装置3は放射口93から被検材mへ向けて光を放射する。
As shown in FIG. 6, in this example, the reflection surface 90 of each of the sub reflection portion 91 and the main reflection portion 92 is projected on a plane (virtual surface) orthogonal to the longitudinal direction of the discharge tube 4 (cylindrical portion 81). The contour has a parabola.
It is preferable to arrange the discharge tube 4 and the cylindrical portion 81 with respect to the reflecting member 9 so that the focal point of the parabola coincides with the central axis (virtual line) of the discharge tube 4. However, even if the central axis of the discharge tube 4 is slightly deviated from the focal point, it may be in a range that does not affect the reflection.
The xenon lamp which is the discharge tube 4 is disposed on the focal point of the paraboloid of the reflection surface of the reflection member 9 to diffusely reflect the light emitted from the discharge tube 4, and the heating device 3 is Emit light towards material m.

反射部材9の少なくとも反射面90には、反射率の高い金属板を採用することができる。この例では、反射部材9としてアルミニウムを採用する。また、反射部材9の反射面に複数の凹凸を分布させることにより、受けた光を乱反射させて均一な光とすることができる。
図6及び図7へ示す例の他、主反射部92の上記輪郭即ち第1主反射部92aと第2主反射部92bの上記輪郭が放物線の一部を呈するものとし、副反射部91は放物線の一部と異なる輪郭を呈するものとしてもよく、副反射部91を図6及び図7へ示す樋状以外の形状に形成するものとしてもよい。また、副反射部91の上記輪郭についても、厳密な放物線に限定するものではなく、適切な反射を行うことができれば放物線と若干異なる形状を採るものとしてもよい。
For at least the reflection surface 90 of the reflection member 9, a metal plate with high reflectance can be employed. In this example, aluminum is employed as the reflecting member 9. In addition, by distributing the plurality of irregularities on the reflection surface of the reflection member 9, the received light can be irregularly reflected to be uniform light.
In addition to the example shown in FIGS. 6 and 7, the above-mentioned outline of the main reflection part 92, that is, the above-mentioned outlines of the first main reflection part 92a and the second main reflection part 92b assume a part of a parabola. Alternatively, the sub-reflecting portion 91 may be formed in a shape other than the bowl shape shown in FIGS. 6 and 7. Further, the contour of the sub-reflecting portion 91 is not limited to a strict parabola, and may be slightly different from the parabola if appropriate reflection can be performed.

次に図4(A)(B)を用いて、加熱装置3の第2の実施の形態について説明する。
この第2の実施の形態において、トリガ線6は冷却部4を構成する筒状部81の外周面へ配置されている。
この例は、特にトリガ線6を上記筒状部81の外周面へ螺旋状に巻き付けたものである。但し、トリガ線6は巻き付けずに単に筒状部81の外周面へ沿わせたものであってもよい。
図4へ示す第2の実施の形態では、トリガ線6は冷却部4を構成する筒状部81の外周面へ配置されるので、トリガ線6は放電管4や筒状部81の構成に影響を与えることなく設置できる。
また第2の実施の形態についても、冷却液bは絶縁性を備えたものとするのが好ましい。第2の実施の形態においてトリガ線6は冷却液bと直接接触するものではないが、トリガ線6に電圧が掛かった際、冷却水bに通電してしまい発光の放電の誘発が適切に行われないという事態を避けるためである。
Next, a second embodiment of the heating device 3 will be described using FIGS. 4 (A) and 4 (B).
In the second embodiment, the trigger wire 6 is disposed on the outer peripheral surface of the cylindrical portion 81 constituting the cooling unit 4.
In this example, particularly, the trigger wire 6 is spirally wound around the outer peripheral surface of the cylindrical portion 81. However, the trigger wire 6 may simply be along the outer peripheral surface of the cylindrical portion 81 without being wound.
In the second embodiment shown in FIG. 4, since the trigger wire 6 is disposed on the outer peripheral surface of the cylindrical portion 81 constituting the cooling portion 4, the trigger wire 6 has the structure of the discharge tube 4 or the cylindrical portion 81. It can be installed without affecting it.
Also in the second embodiment, it is preferable that the cooling fluid b be provided with an insulating property. In the second embodiment, the trigger wire 6 is not in direct contact with the cooling fluid b, but when a voltage is applied to the trigger wire 6, the cooling water b is energized and discharge of light emission is appropriately induced. It is to avoid the situation that it is not

第2の実施の形態では、アルミニウムで形成された反射部材9へトリガ線6が放電を行う危険があるので、トリガ線6と反射部材9の各部位との間の間隔を上記放電を生じさせない大きさとすることが必要である。当該大きさは、トリガ線6へ10〜30kvの電圧を印加する場合3mm以上とするのが適切である。トリガ線6の供給する電圧によって当該大きさを変更すればよい。 In the second embodiment, since there is a risk that the trigger wire 6 discharges to the reflecting member 9 formed of aluminum, the discharge between the trigger wire 6 and each portion of the reflecting member 9 is not generated. It is necessary to make it a size. The size is suitably 3 mm or more when applying a voltage of 10 to 30 kv to the trigger wire 6. The magnitude may be changed according to the voltage supplied by the trigger line 6.

また、図4(A)へ示す例では、トリガ電源7は、ブラケット14にて、筐体13へ取り付けられている。ブラケット14は棚状に形成された板材である。
ブラケット14は、左右に伸びる放電管4の右側と左側とに配置され筐体13へ固定されている。左右のブラケット14の夫々には、碍子62が設けられている。上記ブラケット14上部の棚部分の夫々に設けられることにて碍子62は、放電管4の上方の右側と左側とに配置される。
一端をトリガ電源7に接続された導電線61の他の一端は、一方のブラケット14の碍子62へネジ止めされている。そして筒状部81の外周面へ巻き付けられたトリガ線6の一端から伸びる引出線60の他の一端は、上記導電線61と共に上記碍子62へ止められ、当該引出線60と導電線61とが電気的に接続される。前記側板95には貫通部分96が設けられている(図8)。当該引出線60は、貫通部分96を通ってトリガ線6の一端と碍子62に止められた導電線61とを結ぶ。
Further, in the example shown in FIG. 4A, the trigger power supply 7 is attached to the housing 13 by the bracket 14. The bracket 14 is a plate material formed in a shelf shape.
The bracket 14 is disposed on the right and left sides of the discharge tube 4 extending leftward and rightward, and is fixed to the housing 13. Forceps 62 are provided on each of the left and right brackets 14. The insulators 62 are disposed on the upper right side and the left side of the discharge tube 4 by being provided on each of the shelf portions at the top of the bracket 14.
The other end of the conductive wire 61 whose one end is connected to the trigger power source 7 is screwed to the forceps 62 of one of the brackets 14. The other end of the lead wire 60 extending from one end of the trigger wire 6 wound around the outer peripheral surface of the cylindrical portion 81 is fastened to the insulator 62 together with the conductive wire 61, and the lead wire 60 and the conductive wire 61 are Electrically connected. The side plate 95 is provided with a through portion 96 (FIG. 8). The lead wire 60 connects one end of the trigger wire 6 and the conductive wire 61 fixed to the insulator 62 through the penetrating portion 96.

また、図4(A)へ示す通り筒状部81の外周面へ巻き付けられたトリガ線6の他の一端も、上記トリガ電源7のブラケット14と放電管4(筒状部81)を挟んで反対側に位置するブラケット14の碍子62へネジ止めされている。主反射部92の左右両側の側板95の夫々に上記貫通部分96が形成されている。上記反対側のブラケット14の碍子62にネジ止めされる上記他の一方の引出線60も、他方の側板95の貫通部分96へ通される(図4(A)及び図8)。この例では両貫通部分96は、側板95に設けられた切り欠き部分であるが、側板95に穴を設けて貫通部分96としてもよい。
左右の引出線60は、筒状部81へ巻き付けられたトリガ線6の両端を引っ張るようにトリガ線6と碍子62との間へ張られる。引出線60は、弛みのないように張っておくのが望ましい。
貫通部分96は、引出線60と反射部材9との絶縁性を確保するため、トリガ線6と碍子62との間に張られた引出線60と反射部材9(主反射部材92)とが接触しない十分な大きさを有するものとする。貫通部分96は、図8へ示す紡錘形の輪郭を備えたものに限定するものではなく、他の形状を備えたものであってもよい。また、引出線60や導電線61、碍子62、トリガ電源7、ブラケット14の各配置は、図示したものに限定するものではなく適宜変更可能である。更にブラケット14の形状についても図示したものに限定するものではなく適宜変更可能である。
Further, as shown in FIG. 4A, the other end of the trigger wire 6 wound around the outer peripheral surface of the cylindrical portion 81 also sandwiches the bracket 14 of the trigger power source 7 and the discharge tube 4 (cylindrical portion 81). It is screwed to the forceps 62 of the bracket 14 located on the opposite side. The penetrating portions 96 are formed on the left and right side plates 95 of the main reflection portion 92, respectively. The other one lead wire 60 screwed to the forceps 62 of the opposite side bracket 14 is also passed to the through portion 96 of the other side plate 95 (FIGS. 4A and 8). In this example, both penetration parts 96 are notched parts provided in the side plate 95, but holes may be provided in the side plate 95 to form penetration parts 96.
The left and right lead wires 60 are stretched between the trigger wire 6 and the forceps 62 so as to pull both ends of the trigger wire 6 wound around the tubular portion 81. The lead wire 60 is preferably stretched so as not to be slack.
In the penetrating portion 96, the lead wire 60 stretched between the trigger wire 6 and the insulator 62 is in contact with the reflection member 9 (main reflection member 92) in order to ensure insulation between the lead wire 60 and the reflection member 9. Do not have enough size. The penetrating portion 96 is not limited to the one having the spindle-shaped contour shown in FIG. 8 but may have another shape. Further, the arrangement of the lead wire 60, the conductive wire 61, the insulator 62, the trigger power source 7, and the bracket 14 is not limited to that illustrated, and can be appropriately changed. Furthermore, the shape of the bracket 14 is not limited to that illustrated either, but can be changed as appropriate.

トリガ線6と反射部材9の各部位との間の間隔に関し、上記放電を生じさせない大きさを確保するのに適した変更例について図9へ示す。
図9へ示す例は、反射部材9について、副反射部91を主反射部92と別体に形成する点、図7及び図8へ示す例と同様であるが、主反射部92の開口部94の縁と副反射部91の上端とを一致させるのではなく、主反射部92の開口部94から間隔を開けて副反射部91が配置される。即ち、筐体13へ基盤31を取り付けた状態において、図9へ示す通り、放電管4(及び筒状部81)と共に副反射部91を、主反射部92から間隔を開けて配置するものとする。当該配置により、副反射部91と主反射部92の上記輪郭は、夫々放物線の一部を呈するものの、放物線全体としては若干途切れたものとなる。しかし、筒状部81外側のトリガ線6と、主反射部92との間の間隔を確保する設計が容易である。
第2の実施の形態及び図9へ示す変更例も特に言及しなかった事項については、上記第1の実施の形態と同様である。
FIG. 9 shows a modification suitable for securing the size which does not cause the above discharge with respect to the distance between the trigger wire 6 and each part of the reflecting member 9.
The example shown in FIG. 9 is the same as the example shown in FIGS. 7 and 8 in that the sub-reflecting portion 91 is formed separately from the main reflecting portion 92 for the reflecting member 9, but the opening of the main reflecting portion 92 Instead of aligning the edge of the auxiliary reflection portion 91 with the upper end of the auxiliary reflection portion 91, the auxiliary reflection portion 91 is disposed at a distance from the opening 94 of the main reflection portion 92. That is, in a state where the base 31 is attached to the housing 13, as shown in FIG. 9, the sub-reflecting portion 91 is disposed apart from the main reflecting portion 92 together with the discharge tube 4 (and the tubular portion 81). Do. Due to the arrangement, the contours of the sub-reflecting portion 91 and the main reflecting portion 92 each represent a part of a parabola, but the entire parabola is slightly interrupted. However, it is easy to design a space between the trigger wire 6 outside the cylindrical portion 81 and the main reflection portion 92.
The matters not particularly mentioned in the second embodiment and the modification shown in FIG. 9 are similar to those of the first embodiment.

(装置の他の変更例)
図3及び図4へ示す各実施の形態において、トリガ導電部6は、線材即ちトリガ線6としたが、図3及び図4の夫々の実施の形態において、トリガ導電部6は板状の部材(金属板)であってもよく、更には、放電管4表面、筒状部81内周面又は筒状部81外周面へ、メッキにより形成された金属メッキ層であってもよい。
冷却部8は、上述した水冷の構成に加えて冷却用ファンなどの空冷の構成を備えるものとしてもよい。
(Other example of change of device)
In each of the embodiments shown in FIGS. 3 and 4, the trigger conductive portion 6 is a wire or trigger wire 6. However, in each of the embodiments of FIGS. 3 and 4, the trigger conductive portion 6 is a plate-like member (Metal plate) may be used, and further, a metal plating layer may be formed on the surface of the discharge tube 4, the inner peripheral surface of the cylindrical portion 81, or the outer peripheral surface of the cylindrical portion 81 by plating.
The cooling unit 8 may have an air cooling configuration such as a cooling fan in addition to the above-described water cooling configuration.

また、放電管4の交換時など前述のユニットを筐体13から着脱するものとしたが、この他、上記基盤31から筒状部81と共に直接放電管4を取り外すものとしてもよい。具体的には、図2へ示す筐体13の主反射部92の放射口93から放電管4を内包する筒状部81を取り出すものとしてもよい。筒状部81の上記放射口93からの取り出しにおいて、放電管4の両端(電極40の露出部分40a)付近が反射部材9の側面部95に邪魔されないように、反射部材9や保持部30の寸法や形状を定めればよい。
また、筒状部81の上記放射口93からの取出しにおいて、筒状部81のみならず、筒状部81と共に副反射部91も上記放射口93から取り出せるように形成してもよい。
更に、図2へ示す筐体13から副反射部91と共に主反射部92も取り外せるものとしてもよい。副反射部91と共に主反射部92を筐体13から取り外すものとする場合、上記ユニットに主反射部92を含むものとし、基盤31の筐体13からの取外しによってユニットの他の構成部材と共に主反射部92を取り外せるものとしてもよい。
図2へ示す例では、基盤31は筐体13底部の上記開口を塞ぐものとしたが、筐体31の底部以外に上記ユニットを出し入れする開口を設けて実施するものとしてもよい。筐体31の底部以外の開口から上記ユニットを出し入れする場合、基盤31で当該開口を塞ぐものとせず、別途の蓋体にて当該開口を塞ぐものとしてもよい。
In addition, although the above-described unit is attached to and detached from the housing 13 at the time of replacement of the discharge tube 4 or the like, the discharge tube 4 may be directly removed from the base 31 together with the cylindrical portion 81. Specifically, the cylindrical portion 81 including the discharge tube 4 may be taken out from the radiation port 93 of the main reflection portion 92 of the housing 13 shown in FIG. When taking out the cylindrical portion 81 from the radiation port 93, the side surfaces 95 of the reflection member 9 do not disturb the vicinity of both ends of the discharge tube 4 (the exposed portion 40a of the electrode 40). The size and shape may be determined.
Further, when the cylindrical portion 81 is taken out from the radiation port 93, not only the cylindrical portion 81 but also the sub-reflection portion 91 may be formed along with the cylindrical portion 81 so as to be able to be taken out from the radiation port 93.
Furthermore, the main reflection portion 92 may be removable together with the sub reflection portion 91 from the housing 13 shown in FIG. When the main reflection portion 92 is to be removed from the housing 13 together with the sub reflection portion 91, the main reflection portion 92 is included in the unit, and the main reflection is performed together with other constituent members of the unit by removing the base 31 from the housing 13. The portion 92 may be removable.
In the example shown in FIG. 2, the base 31 closes the opening at the bottom of the housing 13, but an opening for inserting and removing the unit may be provided in addition to the bottom of the housing 31. When the unit is taken in and out from an opening other than the bottom of the housing 31, the opening may not be closed by the base 31, but may be closed by a separate lid.

副反射部91は、主反射部92と一体に形成されたものとし主反射部92から分離できな
いものとしてもよい(図示しない)。即ち、第1主反射部92aを副反射部91の一方の上端から延設されて副反射部91と連続するものとし、第2主反射部92bを副反射部91の他の一方の上端から延設されて副反射部91と連続するものとしてもよい。
副反射部91を主反射部92と一体とする場合も主反射部92から分離可能とする場合も、放電管4の長手方向と直交する平面へ投影した輪郭が、上記放物線を描くものとするのが好ましい。但し、上記輪郭を放物線に近似する他の曲線とするのを除外するものではない。
尚、反射部材9の上記各説明において、放電管4の上方へ被検材mを配置するものとしたが、各部の相対的な位置関係を説明する便宜上のものであり、放電管4の上方へ被検材mを配置するのに限定するものではない。
The sub reflection part 91 may be integrally formed with the main reflection part 92 and may not be separated from the main reflection part 92 (not shown). That is, the first main reflection portion 92 a is extended from one upper end of the sub reflection portion 91 to be continuous with the sub reflection portion 91, and the second main reflection portion 92 b is from the other upper end of the sub reflection portion 91. It may be extended to be continuous with the sub-reflecting portion 91.
When the sub-reflecting portion 91 is integrated with the main reflecting portion 92 or when it is separable from the main reflecting portion 92, the contour projected on a plane orthogonal to the longitudinal direction of the discharge tube 4 draws the parabola. Is preferred. However, it does not exclude that the said contour is made into another curve which approximates a parabola.
In the above description of the reflecting member 9, the test material m is disposed above the discharge tube 4, but for convenience of describing the relative positional relationship of each part, the upper side of the discharge tube 4 There is no limitation to the arrangement of the test material m.

(探傷方法の変更例)
上述してきた各実施の形態では、被検材mに対し、加熱装置3(放電管4)と同じ側に赤外線カメラ10を配置して画像を取得するものであった。
この他図1(B)へ示す通り、被検材mを挟んで加熱装置3(放電管4)と反対側に赤外線カメラを配置して画像を取得するものとしても実施できる。
図1(B)へ示す例では、図1(A)へ示す例と異なり、加熱装置3(放電管)と赤外線カメラ10との間へ被検材mを配置し、加熱装置3から発されて被検材mを伝導してきた熱を被検材mを挟んで加熱装置3と反対側から観察するものである。図1(B)へ示す例では、赤外線カメラ10の周囲を覆うケーシングcの天部c1に被検材mが載せられる。被検材mを載せたケーシングcの天部c1は、上下に貫通する貫通部c2を備える。被検材mは、貫通部c1を塞ぐようにケーシングcの上記天部へ載せられる。ケーシングc内にて上記貫通部cへ向けられた赤外線カメラ10は、貫通部c2を通じて被検材mを伝導する熱についてサーモグラフィーを撮影することができる。
図1(B)へ示す例においても、特に言及しなかった事項については、上述してきた実施の形態と同様である。
また、加熱装置3は、上記探傷装置に用いるものに限定するものではなく、上記探傷装置以外の用途に用いるものとしてもよい。
(Example of change in flaw detection method)
In each embodiment described above, the infrared camera 10 is disposed on the same side as the heating device 3 (discharge tube 4) with respect to the test material m to acquire an image.
In addition to this, as shown in FIG. 1 (B), an infrared camera may be disposed on the opposite side to the heating device 3 (discharge tube 4) with the test material m in between to obtain an image.
In the example shown to FIG. 1 (B), unlike the example shown to FIG. 1 (A), the test material m is arrange | positioned between the heating apparatus 3 (discharge tube) and the infrared camera 10, The heat conducted through the test material m is observed from the opposite side of the heating device 3 with the test material m interposed. In the example shown to FIG. 1 (B), the test material m is mounted in the top part c1 of the casing c which covers the circumference | surroundings of the infrared camera 10. FIG. The top portion c1 of the casing c on which the test material m is placed has a penetrating portion c2 penetrating vertically. The test material m is placed on the top portion of the casing c so as to close the penetration portion c1. The infrared camera 10 directed to the through portion c in the casing c can capture a thermography of heat conducted to the test material m through the through portion c2.
Also in the example shown to FIG. 1 (B), about the matter which is not mentioned in particular, it is the same as that of embodiment mentioned above.
Moreover, the heating device 3 is not limited to what is used for the said flaw detection apparatus, It is good also as what is used for uses other than the said flaw detection apparatus.

(総括)
赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査において利用されるキセノンランプといった放電管4は、レーザ用のものと異なり、放電管4の光を被検材に向けて照射するために、放電管4の一部が外部にオープンとなっている必要がある。即ち反射部材9に設けられた放射口93から被検材mへ向けて光が投射される。また、上記非破壊検査において、冷却するにも、レーザ用途のように、構造的にランプ(放電管)やレーザロッド、反射面全体を水没させることができない。
そして、赤外線サーモグラフィーによる非破壊検査では、(1)冷却と(2)光の照射を同時に実行するものである。更に、ランプ(放電管)は放電をするために、(3)10〜30kVの高電圧のトリガパルスを外部から、要求されるタイミングで発光することが要求される。
本発明では、冷却部8について、放電管4の径外側にて冷却液bを移動させるものとして、放電管4を水冷すると共に、トリガ線6について、放電管4に対し冷却部8による水冷を邪魔しない位置へ配置することにて、上記(1)〜(3)の要求を充足する赤外線サーモグラフィーによる探傷装置を提供できたものである。
(Summary)
The discharge tube 4 such as a xenon lamp used in nondestructive inspection by infrared thermography is different from one for laser, and in order to irradiate the light of the discharge tube 4 toward the test material, a part of the discharge tube 4 is outside Needs to be open. That is, light is projected from the radiation port 93 provided in the reflecting member 9 toward the test material m. Further, in the above nondestructive inspection, even in the case of cooling, as in the case of laser application, the lamp (discharge tube), the laser rod, and the entire reflecting surface can not be submerged in structure.
And in nondestructive inspection by infrared thermography, (1) cooling and (2) irradiation of light are performed simultaneously. Further, in order to discharge the lamp (discharge tube), it is required that (3) a high voltage trigger pulse of 10 to 30 kV be emitted from the outside at a required timing.
In the present invention, the cooling liquid 8 is moved on the outer side of the discharge tube 4 with respect to the cooling unit 8, and the discharge tube 4 is water-cooled, and the trigger wire 6 is cooled by the cooling unit 8 with respect to the discharge tube 4. The infrared thermography flaw detection apparatus which satisfies the requirements of the above (1) to (3) can be provided by arranging the position to an unobstructed position.

1 画像取得装置
2 解析装置
3 加熱装置
4 放電管
5 (発光)電源
6 トリガ線(トリガ導電部)
6a(トリガ線6の)輪
7 トリガ電源
8 冷却部
9 反射部材
10 赤外線カメラ
11 画像処理装置
12 モニタ
13 筐体
14 ブラケット
30 保持部
30a 挿入空間
30b 通水連絡部
30c 引出線挿入部
31 基盤
32 冶具
33 位置決め部材
33a 締結部材
34 パッキン
35 パッキン
40 (放電管4の)電極
40a(電極40の)露出部分
40b(電極40の)内包部分
51 電線
51a(電線51の)ソケット
52 電線
52a(電線52の)ソケット
60 引出線
61 導電線
62 碍子
81 筒状部
83 導入用のホース
84 排出用のホース
90 反射面
91 副反射部
92 主反射部
92a 第1主反射部
92b 第2主反射部
93 放射口
94 開口部
95 側板
96 貫通部分
a1 熱
a2 熱
a3 熱
b 冷却液
c ケーシング
m 被検材
r 流路
F1 欠陥
F2 欠陥
F3 欠陥
g1 欠陥F1の熱画像
g2 欠陥F2の熱画像
g3 欠陥F3の熱画像
h (位置決め部材33の)穴
P ポンプ
T タンク
1 image acquisition device 2 analysis device 3 heating device 4 discharge tube 5 (light emission) power source 6 trigger wire (trigger conductive portion)
Reference Signs List 6 a (trigger wire 6) wheel 7 trigger power supply 8 cooling unit 9 reflection member 10 infrared camera 11 image processing device 12 monitor 13 housing 14 bracket 30 holding unit 30 a insertion space 30 b water communication portion 30 c leader line insertion portion 31 base 32 Jig 33 Positioning member 33a Fastening member 34 Packing 35 Packing 40 Electrode 40a (of discharge tube 4) Exposed portion 40b (of electrode 40) Containment portion 51 Wire 51a (of wire 51) Socket 52 Wire 52a (wire 52) ) Socket 60 Lead wire 61 Conductive wire 62 Ladder 81 Tubular part 83 Hose for introduction 84 Hose for discharge 90 Reflective surface 91 Secondary reflector 92 Main reflector 92a First main reflector 92b Second main reflector 93 Radiation Port 94 Opening 95 Side plate 96 Penetration part a1 heat a2 heat a3 heat b cooling fluid c ke Thing m (the positioning member 33) material being tested r flow path F1 defect F2 defect F3 defect g1 thermal image h of thermal image g3 defects F3 thermal image g2 defect F2 defect F1 holes P Pump T Tank

Claims (7)

発光することにより被検材の表面を加熱する放電管を備えた加熱装置と、前記加熱によって生じる前記被検材内部の熱の変化を観察可能とする画像取得装置とを備え、前記観察にて前記被検材の欠陥を調べるものであり、前記加熱装置はトリガ電源に接続されたトリガ導電部を備え、前記トリガ導電部が放電管の前記発光の放電を誘発するトリガ電圧を供給する探傷装置において、
前記加熱装置は、前記放電管を冷却する冷却部を備え、
前記冷却部は、前記放電管の径外側にて冷却液を移動させることにより、前記放電管を水冷するものであり、
前記トリガ導電部は、前記放電管に対し前記水冷を邪魔しない位置へ配置されたことを特徴とする探傷装置。
A heating device provided with a discharge tube for heating the surface of the test material by emitting light; and an image acquisition device capable of observing a change in heat inside the test material caused by the heating; A flaw detection apparatus for examining defects in the test material, the heating device including a trigger conductive unit connected to a trigger power supply, the trigger conductive unit supplying a trigger voltage for inducing discharge of the light emission of a discharge tube In
The heating device includes a cooling unit that cools the discharge tube.
The cooling unit water-cools the discharge tube by moving a cooling liquid outside the diameter of the discharge tube,
The flaw detection apparatus characterized in that the trigger conductive part is disposed at a position not disturbing the water cooling with respect to the discharge tube.
前記冷却部は、前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、
前記冷却部は、前記筒状部の内周面と前記放電管の外周面との間の空間を前記冷却液の流路として、前記中空部分へ前記冷却液を流すものであり、
前記冷却液は、前記トリガ電圧に対する絶縁性を備えたものであり、
前記トリガ導電部は、前記流路内に配置されたものであることを特徴とする請求項1記載の探傷装置。
The cooling unit includes a hollow cylindrical portion that transmits light emitted from the discharge tube, and the discharge tube is disposed to a hollow portion of the cylindrical portion.
The cooling unit flows the cooling fluid to the hollow portion, with a space between an inner circumferential surface of the cylindrical portion and an outer circumferential surface of the discharge tube as a flow passage of the cooling fluid.
The coolant has insulation to the trigger voltage,
The flaw detection device according to claim 1, wherein the trigger conductive portion is disposed in the flow path.
前記冷却部は、前記トリガ電圧による誘電を遮蔽せず且つ前記放電管の発する光を透過する中空の筒状部を備え、前記放電管は、前記筒状部の中空部分へ配置され、
前記冷却部は、前記中空部分へ前記冷却液を流す流路を有し、
前記トリガ導電部は、前記筒状部の径外側へ配置されたものであることを特徴とする請求項1記載の探傷装置。
The cooling unit includes a hollow cylindrical portion that does not shield the dielectric caused by the trigger voltage and transmits light emitted from the discharge tube, and the discharge tube is disposed to the hollow portion of the cylindrical portion.
The cooling unit has a flow path for flowing the cooling fluid to the hollow portion,
The flaw detection device according to claim 1, wherein the trigger conductive portion is disposed radially outward of the cylindrical portion.
前記加熱装置は、反射部材を備え、
前記反射部材は、前記筒状部を挟んで前記被検材の反対側に配置される副反射部と、前記副反射部よりも前記被検材寄りに配置される主反射部とを備え、
前記副反射部は、前記放電管から受けた光を前記被検材及び前記主反射部へ向けて反射する反射面を備えたものであり、
前記主反射部は、前記放電管から直接受けた光及び前記副反射部の反射した光を前記被検材へ向けて反射する反射面を備えたものであり、
前記主反射部は、第1主反射部と第2主反射部とを備え、
前記第1主反射部と第2主反射部とは、互いの反射面を対向させ、前記第1主反射部と第2主反射部の間にて前記放電管から前記被検材へ向かう光を通すものであり、
前記第1主反射部の反射面と第2主反射部の反射面との間隔を、前記副反射部側から前記被検材側へ向け漸次広げるものである請求項1乃至3の何れかに記載の探傷装置。
The heating device comprises a reflective member,
The reflecting member includes a sub-reflecting portion disposed on the opposite side of the test material with respect to the tubular portion, and a main reflecting portion disposed closer to the test material than the sub-reflection portion.
The sub-reflecting portion includes a reflecting surface that reflects light received from the discharge tube toward the test material and the main reflecting portion,
The main reflection portion includes a reflection surface that reflects the light directly received from the discharge tube and the light reflected by the sub reflection portion toward the test material,
The main reflection portion includes a first main reflection portion and a second main reflection portion.
The first main reflection portion and the second main reflection portion face each other's reflection surfaces, and light traveling from the discharge tube to the test material between the first main reflection portion and the second main reflection portion Through
The distance between the reflection surface of the first main reflection portion and the reflection surface of the second main reflection portion is gradually expanded from the sub-reflection portion side toward the test material side. The flaw detection device described.
前記副反射部は、前記主反射部と別体に形成されたものであり、
少なくとも第1主反射部と第2主反射部夫々の前記反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面へ投影された輪郭が放物線の一部を呈することを特徴とする請求項4記載の探傷装置。
The sub-reflecting portion is formed separately from the main reflecting portion,
The outline projected on a plane orthogonal to the longitudinal direction of the discharge tube exhibits at least a portion of a parabola on the reflection surfaces of at least the first main reflection portion and the second main reflection portion. Flaw detection equipment.
前記第1主反射部は前記副反射部の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、
前記第2主反射部は前記副反射部の他の一端から延設され、前記副反射部と連続するものであり、
第1主反射部及び第2主反射部夫々の前記反射面と副反射部の反射面について、前記放電管の長手方向と直交する平面へ投影された輪郭が連続する放物線を呈することを特徴とする請求項4記載の探傷装置。
The first main reflection portion is extended from one end of the sub reflection portion and is continuous with the sub reflection portion,
The second main reflection portion is extended from the other end of the sub reflection portion and is continuous with the sub reflection portion,
The reflecting surface of each of the first main reflecting portion and the second main reflecting portion and the reflecting surface of the sub-reflecting portion exhibit a parabola in which the contours projected onto a plane orthogonal to the longitudinal direction of the discharge tube are continuous. The flaw detection apparatus according to claim 4.
前記画像取得装置は、赤外線カメラにて赤外線サーモグラフィーによる画像を取得するものであり、
前記トリガ導電部は、金属線材にて形成されたトリガ線であり、
前記放電管は、キセノンランプであり、
前記筒状部は、石英管であり、
前記冷却部は、前記冷却液を循環させるチラーを備え、
前記加熱装置は、前記筒状部と共に前記放電管の両端を保持する保持部を備え、
前記加熱装置は、前記保持部と前記主反射部とが取り付けられた基盤を備え、
前記加熱装置は筐体を備え、
前記筐体は前記主反射部を支持し且つ前記筐体には前記基盤が着脱可能に取り付けられ、
前記筐体は、少なくとも、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを収容するものであり、
前記筐体から前記基盤を取り外すことにより、前記主反射部を前記筐体に残し、前記放電管と前記筒状部と前記トリガ導電部と前記保持部と前記副反射部とを一体にして前記筐体から取り出すことができる請求項5記載の探傷装置。
The image acquisition device is for acquiring an infrared thermography image with an infrared camera,
The trigger conductive portion is a trigger wire formed of a metal wire,
The discharge tube is a xenon lamp,
The cylindrical portion is a quartz tube,
The cooling unit includes a chiller for circulating the coolant.
The heating device includes a holding unit that holds both ends of the discharge tube together with the cylindrical portion,
The heating device includes a base on which the holding unit and the main reflection unit are attached,
The heating device comprises a housing;
The housing supports the main reflection portion and the base is detachably attached to the housing.
The housing accommodates at least the discharge tube, the cylindrical portion, the trigger conductive portion, the holding portion, and the sub-reflecting portion.
By removing the base from the housing, the main reflection portion is left in the housing, and the discharge tube, the cylindrical portion, the trigger conductive portion, the holding portion, and the sub-reflection portion are integrated. The flaw detector according to claim 5, which can be taken out of the case.
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