JP2019090626A - Substrate automatic analysis system - Google Patents

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Tatsushi Yabuuchi
達志 藪内
茅原 毅
Takeshi Kayahara
毅 茅原
直希 長須賀
Naoki Nagasuga
直希 長須賀
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Abstract

To provide a substrate automatic analysis apparatus capable of preventing human error in analysis of measurement results and improving efficiency of analysis work and improvement of analysis accuracy.SOLUTION: The substrate automatic analysis apparatus includes: a CAD device 6 having component data 13A during measurement and component position coordinate data 13B of a measurement point on a measured substrate 1; a measuring device 9 for acquiring a waveform or constant measurement result of the measurement point on the measured substrate 1; an analyzer 10 for performing analysis using measurement results of the measuring device 9; and result collectors 11 and 12 for storing the analysis results of the analyzer 10 and the measurement results of the measuring device 9.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、被測定基板の品質確認を行う技術に関する。   The present invention relates to a technique for performing quality confirmation of a substrate to be measured.

回路基板の開発段階で、開発中の回路基板(被測定基板)を試作してその品質を確認することが行われている。この際、プローブ装置を用いて被測定基板上における多数の部品の定数値測定および波形測定を行う。作業者は、得られた測定結果を用いて、被測定基板上の部品ごとに正常か異常かを判断し、開発、設計にフィードバックする。   At the development stage of a circuit board, it is practiced to test the quality of a circuit board under development (substrate to be measured) by trial manufacture. At this time, constant value measurement and waveform measurement of a large number of parts on the substrate to be measured are performed using a probe device. The operator uses the obtained measurement results to determine whether each part on the substrate to be measured is normal or abnormal, and feeds it back to development and design.

本技術分野の背景技術として、CADによる回路基板の配置配線設計データからプローブ位置合わせ制御用データへの一括自動変換処理手段により、プローブ位置合わせデータを自動生成する技術が開示されている(例えば特許文献1)。   As background art of this technical field, there is disclosed a technique of automatically generating probe alignment data by batch automatic conversion processing means from layout and wiring design data of a circuit board by CAD to data for probe alignment control (for example, patent) Literature 1).

また、多点波形測定を必要とする電子部品の電気特性試験において、安価な構成で、かつ簡易な制御によって、被測定物測定点間が狭ピッチであっても、接触の問題なく自動的にプロービングを可能にする技術が開示されている(例えば特許文献2)。   In addition, in the electrical property test of electronic parts that require multi-point waveform measurement, it has an inexpensive configuration and simple control, automatically even without a problem of contact, even if the distance between measured points of the measured object is narrow. A technique that enables probing is disclosed (eg, Patent Document 2).

特開平8−50163号公報JP-A-8-50163 特開2012−194191号公報JP 2012-194191 A

従来、被測定基板上の各部品の入出力が正常であるか異常であるかの上記判断は、作業者によって行われている。このため、人為的ミスの発生が生じ得る。また、測定結果の解析を作業者が行っているため、数千オーダーの部品から得られた測定結果を解析するのには、多くの作業時間が必要となる。   Conventionally, the above-described determination as to whether the input / output of each component on the measurement substrate is normal or abnormal is performed by the operator. This may cause human error. In addition, since workers analyze the measurement results, it takes a lot of working time to analyze the measurement results obtained from parts of several thousand orders.

特許文献1、2に記載された技術は、良好な測定結果を得ることができるが、測定結果を用いた正常/異常の判断や解析は、依然として作業者によって行われているため、上記の問題を解消できていない。   Although the techniques described in Patent Documents 1 and 2 can obtain good measurement results, the above-mentioned problems are caused because the judgment / analysis of normality / abnormality using the measurement results is still performed by the worker. Has not been able to

そこで本発明は、測定結果の解析における人為的ミスを防止すると共に、解析作業の効率化および解析精度の向上を図ることができる技術を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a technique capable of preventing the human error in the analysis of the measurement result and improving the efficiency of the analysis operation and the analysis accuracy.

上記課題を解決するために、代表的な本発明の基板自動解析システムは、被測定基板上の測定点の座標データと、前記測定点に関わる部品の部品データとを有するCADデータを記憶する設計データ保持部と、前記被測定基板上に配置される部品に関する解析用データを、前記部品データと関連付けて記憶する解析用データ保持部と、前記設計データ保持部に記憶されるCADデータの座標データに従い、前記被測定基板上の測定点での波形または定数測定の値を取得する測定部と、前記測定部での測定結果を取得し、前記解析用データ保持部から前記解析用データを取得し、これらに基づき、前記被測定基板上に配置された部品が、当該部品の仕様を満たすか否かの判定を部品ごとに行う処理を含めた解析処理を実施する解析部と、前記解析部の解析結果および前記測定部の測定結果を保存する結果収集部と、を有する。   In order to solve the above problems, a typical substrate automatic analysis system of the present invention is designed to store CAD data having coordinate data of measurement points on a substrate to be measured and part data of parts related to the measurement points. A data holding unit, an analysis data holding unit that stores analysis data related to a component disposed on the substrate to be measured in association with the component data, and coordinate data of CAD data stored in the design data holding unit According to the measurement unit for acquiring the value of the waveform or constant measurement at the measurement point on the substrate to be measured, and the measurement result obtained by the measurement unit, and the analysis data is obtained from the analysis data holding unit. And an analysis unit for performing an analysis process including a process of determining for each part whether or not the part disposed on the substrate to be measured satisfies the specification of the part based on the above, and the solution It has a result collecting unit which stores the analysis result and the measurement of the measurement section results parts, the.

本発明によれば、測定結果の解析における人為的ミスを防止すると共に、解析作業の効率化および解析精度の向上を図ることができる。
上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
According to the present invention, it is possible to prevent human error in the analysis of measurement results and to improve the efficiency of analysis and the accuracy of analysis.
Problems, configurations, and effects other than those described above will be clarified by the description of the embodiments below.

第1実施形態による基板自動解析システムのブロック構成図である。It is a block block diagram of a substrate automatic analysis system by a 1st embodiment. 実施形態による解析器のハードウェア構成例を示す図である。It is a figure showing an example of hardware constitutions of an analyzer by an embodiment. 図1に示した基板自動解析システムにおけるCAD装置の概略構成を示すブロック構成図である。It is a block block diagram which shows schematic structure of the CAD apparatus in the board | substrate automatic analysis system shown in FIG. 図1に示した基板自動解析システムにおける部品ライブラリの概略構成を示すブロック構成図である。It is a block block diagram which shows schematic structure of the components library in the board | substrate automatic analysis system shown in FIG. 図1に示した基板自動解析システムの処理動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the processing operation of the board | substrate automatic analysis system shown in FIG. ある電子部品の入力仕様を例示した図である。It is the figure which illustrated the input specification of a certain electronic component. ある電子部品の仕様値、測定結果、判定結果を示す図である。It is a figure which shows the specification value of a certain electronic component, a measurement result, and the determination result. 出力波形の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of an output waveform. 第2実施形態による基板自動解析システムのブロック構成図である。It is a block block diagram of a substrate automatic analysis system by a 2nd embodiment.

以下、本発明の第1、第2実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, the first and second embodiments of the present invention will be described based on the drawings.

(第1実施形態)
図1は、第1実施形態による基板自動解析システムのブロック構成図である。被測定基板1上には、露出したパッド2を備えた実装の電子部品3が多数形成されている。プローブ駆動制御装置4は、パッド2または電子部品3が測定対象として指定されたとき、そのパッド2に接触して電子部品3の定数測定またはパッド2に流れる信号の波形測定を行うプローブ5を備えている。ここでプローブ駆動制御装置4としては、フライングテスタが使用され、位置座標データを用いて、プローブ位置制御装置4Aがプローブ5を制御駆動し、測定対象のパッド2にプローブ5を接触させる構成となっている。
First Embodiment
FIG. 1 is a block diagram of an automatic substrate analysis system according to the first embodiment. A large number of mounted electronic components 3 provided with exposed pads 2 are formed on the substrate 1 to be measured. The probe drive control device 4 is provided with a probe 5 which contacts the pad 2 and designates a constant of the electronic component 3 or measures a waveform of a signal flowing to the pad 2 when the pad 2 or the electronic component 3 is designated as a measurement target. ing. Here, a flying tester is used as the probe drive control device 4, and the probe position control device 4A controls and drives the probe 5 using position coordinate data, and the probe 5 is brought into contact with the pad 2 to be measured. ing.

プローブ駆動制御装置4には、詳細については後述するが、被測定基板1の設計時のCAD図面データを格納したCAD装置6が接続されている。また、CAD装置6と連動して機能する部品ライブラリ7も基板自動解析システムに設けられている。この部品ライブラリ7も同様に、その詳細については後述する。   The probe drive control device 4 is connected to a CAD device 6 storing CAD drawing data at the time of design of the measurement target substrate 1 although details will be described later. Further, a component library 7 functioning in conjunction with the CAD device 6 is also provided in the substrate automatic analysis system. Similarly, the details of the component library 7 will be described later.

プローブ5には、測定用ケーブル8を用いて測定器9が接続されており、この測定器9によって、被測定基板1上に形成された測定点での、電子部品3における定数値または波形を抽出することができる構成となっている。   A measuring instrument 9 is connected to the probe 5 using a measuring cable 8, and the measuring instrument 9 generates a constant value or waveform of the electronic component 3 at a measuring point formed on the substrate 1 to be measured. It has a configuration that can be extracted.

CAD装置6、部品ライブラリ7および測定器9には、解析器10が接続されている。測定対象となったパッド2または電子部品3を指定する信号をCAD装置6に与えると、この解析器10は、やがて測定器9を通して測定点での電子部品3における定数値または波形を抽出する。また解析器10は、部品ライブラリ7に保存されている、測定対象部品に対応する解析用部品データを抽出する。その後、解析器10は、抽出した定数値または波形と、解析用部品データとを用いて所定の波形品質確認解析を行う。   An analyzer 10 is connected to the CAD device 6, the component library 7 and the measuring device 9. When a signal specifying the pad 2 or the electronic component 3 to be measured is given to the CAD device 6, this analyzer 10 extracts the constant value or the waveform of the electronic component 3 at the measurement point through the measuring device 9 eventually. The analyzer 10 also extracts analysis component data corresponding to the measurement target component stored in the component library 7. Thereafter, the analyzer 10 performs predetermined waveform quality confirmation analysis using the extracted constant value or waveform and the analysis component data.

測定器9には、測定器9による測定結果を収集しておく測定結果収集器11が接続され、解析器10には、解析器10によって解析された解析結果を収集しておく解析結果収集器12が接続されている。   A measurement result collector 11 for collecting measurement results by the measurement device 9 is connected to the measuring device 9, and an analysis result collector for collecting the analysis results analyzed by the analyzer 10 is connected to the analyzer 10. 12 are connected.

図2は、解析器10のハードウェア構成の一例を示す図である。解析器10は、コントローラ101と、入力デバイス110、出力デバイス111の各周辺機器とを有するコンピュータである。   FIG. 2 is a diagram showing an example of the hardware configuration of the analyzer 10. As shown in FIG. The analyzer 10 is a computer having a controller 101 and peripherals of an input device 110 and an output device 111.

コントローラ101は、解析器10の内部で動作する各ハードウェアを制御する。コントローラ101は、以下の構成を有する。   The controller 101 controls each piece of hardware operating inside the analyzer 10. The controller 101 has the following configuration.

CPU102(CPU:Central Processing Unit)は、ROM104やHDD105に記憶されているプログラムを、RAM103に展開し、演算実行する処理装置である。CPU102は、プログラムを演算実行することで、コントローラ101内部の各ハードウェアを統括的に制御する。RAM103は、揮発性メモリであり、CPU102が処理する際のワークメモリである。RAM103は、CPU102がプログラムを演算実行している間、必要なデータを一時的に記憶する。   The CPU 102 (CPU: Central Processing Unit) is a processing device that develops a program stored in the ROM 104 or the HDD 105 in the RAM 103 and executes calculation. The CPU 102 centrally controls each piece of hardware in the controller 101 by executing a program. The RAM 103 is a volatile memory and is a work memory when the CPU 102 processes. The RAM 103 temporarily stores necessary data while the CPU 102 executes the program.

ROM104は、不揮発性メモリであり、解析器10の起動の際にCPU102で実行されるBIOS(Basic Input/Output System)や、ファームウェアを記憶している。HDD105(HDD:Hard Disk Drive)は、データを不揮発的に記憶するための補助記憶装置である。HDD105は、CPU102が演算実行するプログラムや、制御データを記憶する。   The ROM 104 is a non-volatile memory, and stores a BIOS (Basic Input / Output System) executed by the CPU 102 when the analyzer 10 is activated, and firmware. The HDD 105 (HDD: Hard Disk Drive) is an auxiliary storage device for storing data in a non-volatile manner. The HDD 105 stores programs executed by the CPU 102 for calculation and control data.

ネットワークI/F106(I/F:Interface)は、外部機器との間で行われるデータ通信の制御を担うインターフェイスボードである。   A network I / F 106 (I / F: Interface) is an interface board responsible for control of data communication performed with an external device.

入力I/F107は、入力デバイス110との間で信号の入出力を制御するインターフェイスである。出力I/F108は、CPU102から指示を受けて、出力デバイス111に画像を描画させる。   The input I / F 107 is an interface that controls input and output of signals with the input device 110. The output I / F 108 receives an instruction from the CPU 102 and causes the output device 111 to draw an image.

入力デバイス110は、キーボードやマウスなどの入力部であり、出力デバイス111は、モニターやディスプレイなどの表示部である。   The input device 110 is an input unit such as a keyboard or a mouse, and the output device 111 is a display unit such as a monitor or a display.

尚、プローブ位置制御装置4A、CAD装置6、測定器9、測定結果収集器11、解析結果収集器12もコンピュータであり、これらのハードウェア構成も、図2に示す解析器10のハードウェア構成と同様である。部品ライブラリ7は、1つのコンピュータとして実装されているものとするが、データベースシステムとしてCAD装置6やその他の機器の内部に構築されていてもよい。   The probe position control device 4A, the CAD device 6, the measuring instrument 9, the measurement result collector 11, and the analysis result collector 12 are also computers, and the hardware configuration of these is also the hardware configuration of the analyzer 10 shown in FIG. Is the same as The component library 7 is implemented as a single computer, but may be built inside the CAD device 6 or another device as a database system.

図3は、上記のCAD装置6の概略構成を示すブロック構成図である。プローブ駆動制御装置4に接続されたCAD装置6には、被測定基板1の設計時のCAD図面データ13が格納されており、このCAD図面データ13には、被測定基板1上の電子部品毎の部品データ13Aおよび部品位置座標データ13Bが含まれている。そこで、測定対象となったパッド2または電子部品3が解析器10から指定されたとき、CAD装置6は、指定された電子部品3に対応するパッド2または電子部品3の位置座標データを、部品位置座標データ13Bから抽出する。プローブ駆動制御装置4のプローブ位置制御装置4Aは、この抽出した位置座標データを用いてプローブ5を駆動制御し、プローブ5を、対応するパッド2に接触させる。尚、解析器10は測定器9に対して測定開始の指令を出力し、測定器9は、当該座標データに位置する測定点での測定値を得る。   FIG. 3 is a block diagram showing a schematic configuration of the CAD apparatus 6 described above. The CAD device 6 connected to the probe drive control device 4 stores CAD drawing data 13 at the time of design of the substrate to be measured 1. In the CAD drawing data 13, every electronic component on the substrate to be measured 1 is stored. Component data 13A and component position coordinate data 13B. Therefore, when the pad 2 or the electronic component 3 to be measured is designated by the analyzer 10, the CAD apparatus 6 determines position coordinate data of the pad 2 or the electronic component 3 corresponding to the designated electronic component 3 as a component It extracts from position coordinate data 13B. The probe position control device 4A of the probe drive control device 4 drives and controls the probe 5 using the extracted position coordinate data, and brings the probe 5 into contact with the corresponding pad 2. The analyzer 10 outputs a measurement start command to the measuring device 9, and the measuring device 9 obtains a measured value at a measurement point located in the coordinate data.

図4は、上記の部品ライブラリ7の概略構成を示すブロック構成図である。部品ライブラリ7には、解析用部品データ14が格納されている。この解析用部品データ14は、被測定基板1における設計時のCAD図面作成時に使用した部品データ13Aの部品毎に、解析時に使用することになる絶対最大定格14A、電気的特性14Bなどの解析用データを関連付けたものである。   FIG. 4 is a block diagram showing a schematic configuration of the component library 7 described above. The component library 7 stores analysis component data 14. The analysis component data 14 is used for analysis of the absolute maximum rating 14A, the electrical characteristics 14B, etc., which will be used at the time of analysis, for each component of the component data 13A used at the time of designing the CAD drawing at the time of design It is a data association.

例えば、デジタルICの出力電圧が許容値を満足しているかを確認する波形品質確認試験の場合、入力仕様として、部品データ13Aの部品毎に、電源電圧VCCのMIN(最小値)およびMAX(最大値)、入力電圧VIのMINおよびMAXのデータが含まれる。また、Highレベル入力電圧のMIN、Lowレベル入力電圧VILのMAXなどのデータも含まれている。   For example, in the case of a waveform quality confirmation test for confirming whether the output voltage of the digital IC satisfies the allowable value, the MIN (minimum value) and MAX (maximum) of the power supply voltage VCC as input specifications for each component of the component data 13A. Value), the MIN and MAX data of the input voltage VI are included. Also, data such as MIN of the high level input voltage and MAX of the low level input voltage VIL are included.

従って、解析器10は、測定対象となった電子部品の測定結果を測定器9から取り込み、また測定対象となった電子部品の解析用部品データ14を部品ライブラリ7から取り込んで、解析を行うことができる。   Therefore, the analyzer 10 carries out analysis by taking in the measurement result of the electronic component to be measured from the measuring instrument 9 and taking in the analysis component data 14 of the electronic component to be measured from the component library 7 Can.

図5は、波形品質確認試験の手順を示すフローチャートである。上記の解析器10には波形品質確認試験プログラムが格納されており、波形品質確認試験プログラムは、試験対象となった被測定基板1の全ての測定点に対して一連の処理を繰り返して行うように作成されている。   FIG. 5 is a flowchart showing the procedure of the waveform quality check test. A waveform quality confirmation test program is stored in the above-mentioned analyzer 10, and the waveform quality confirmation test program repeats a series of processes for all measurement points of the substrate 1 to be tested. Has been created.

先ず、ステップS1で、被測定基板1上の第1測定点に関する指示がプローブ駆動制御装置4としてのフライングテスタに与えられる。そして、プローブ駆動制御装置4はプローブ5を駆動して所定の第1測定点のパッド2と接触する。その後、ステップS2で測定器9に測定指令が与えられ、プローブ5から波形または定数値を測定する。測定が完了したステップS3において、測定器9は、測定結果を測定結果収集器11に保存する。   First, in step S 1, an instruction regarding the first measurement point on the measurement target substrate 1 is given to the flying tester as the probe drive control device 4. Then, the probe drive control device 4 drives the probe 5 to make contact with the pad 2 at a predetermined first measurement point. Thereafter, in step S2, a measurement command is given to the measuring instrument 9, and the waveform or constant value is measured from the probe 5. In step S3 where the measurement is completed, the measuring instrument 9 stores the measurement result in the measurement result collector 11.

続くステップS4で、解析器10は、測定中の電子部品3に対応する解析用部品データ14を含めて、部品データ13AをCAD装置6から取得する。ステップS5で、解析器10は、取得した測定中の部品に対応する解析用部品データと、測定器9からの測定結果などを取り込んで、解析を行う。この解析についての具体例は後述する。その後、ステップS6で、解析器10は解析結果を解析結果収集器12に保存させる。   In the subsequent step S4, the analyzer 10 acquires component data 13A from the CAD apparatus 6 including the analysis component data 14 corresponding to the electronic component 3 under measurement. In step S5, the analyzer 10 analyzes by acquiring the analysis part data corresponding to the acquired part under measurement, the measurement result from the measuring instrument 9, and the like. A concrete example of this analysis will be described later. Thereafter, in step S6, the analyzer 10 stores the analysis result in the analysis result collector 12.

その後、ステップS7で、被測定基板1上における全ての測定点での測定を完了したかを判定し、完了していなければ、新たな第2測定点に関してステップS1からの処理を繰り返す。一方、完了してれば終了となる。   Thereafter, in step S7, it is determined whether measurement at all measurement points on the measurement target substrate 1 is completed, and if it is not completed, the process from step S1 is repeated for a new second measurement point. On the other hand, if it completes, it will end.

次に、図5に示したフローチャートに従って、波形品質確認作業を行う際の処理動作について具体的に説明する。   Next, according to the flowchart shown in FIG. 5, the processing operation at the time of performing the waveform quality check operation will be specifically described.

波形品質確認作業は、デジタルICの入力電圧がそのICの仕様許容値を満足しているかを確認する試験である。波形品質確認試験プログラムによってステップS1で、上記のように解析器10からCAD装置6に被測定基板1上の第1測定点に関する指示が与えられる。するとCAD装置6は、部品位置座標データ13Bから、対応する座標データを抽出してプローブ駆動制御装置4のプローブ位置制御装置4Aに与える。従来は、回路図とCAD図面データを用いて被測定基板1上の位置を表示させ、実際の被測定基板1上のどこに測定対象の信号とその信号に対応するGNDがあるかを作業者が目視して、測定箇所の特定を行っていた。これに対して、今回の作業では作業者が関与することなく完全自動化で行うことができる。   The waveform quality confirmation work is a test to confirm whether the input voltage of a digital IC meets the specification tolerance of the IC. In the step S1, the analyzer 10 gives the CAD apparatus 6 an instruction on the first measurement point on the measurement substrate 1 as described above by the waveform quality confirmation test program. Then, the CAD device 6 extracts the corresponding coordinate data from the component position coordinate data 13 B and supplies it to the probe position control device 4 A of the probe drive control device 4. Conventionally, the position on the substrate 1 to be measured is displayed using the circuit diagram and CAD drawing data, and the worker can find out on the actual substrate 1 to be measured the signal to be measured and the GND corresponding to the signal. It was visually observed to identify the measurement point. On the other hand, in this work, it can carry out by full automation, without the worker being involved.

プローブ駆動制御装置4のプローブ位置制御装置4Aは、取得した座標データを用いてプローブ5を制御駆動しながら所定の位置へと駆動して、対応するパッド2にプローブ5を接触させる。従来は、作業者が手作業でプローブ5を上記のようにして特定した測定箇所に接触させていた。これに対して、本実施形態では、プローブ駆動制御装置4に第1測定点の指示が与えられると、自動でプローブ5を所定の位置のパッド2に接触させることができ、また安定した接触状態を確保することができる。   The probe position control device 4A of the probe drive control device 4 drives the probe 5 to a predetermined position while controlling and driving the probe 5 using the acquired coordinate data, and brings the probe 5 into contact with the corresponding pad 2. Conventionally, the operator manually contacts the probe 5 with the measurement point specified as described above. On the other hand, in the present embodiment, when an instruction of the first measurement point is given to the probe drive control device 4, the probe 5 can be automatically brought into contact with the pad 2 at a predetermined position, and a stable contact state Can be secured.

その後、接触完了信号を受けた測定器9はステップS2で、プローブ5から波形または定数値の測定を行う。従来は、オシロスコープを用いて作業者が手動で測定していたのに対して、今回は作業者の習熟度に依拠する接触状態のばらつきを無くしながら、高精度で安定した測定を行うことができる。   Thereafter, the measuring instrument 9 having received the contact completion signal measures a waveform or a constant value from the probe 5 in step S2. In the past, the operator manually measured using an oscilloscope, but in this case, it is possible to perform highly accurate and stable measurement while eliminating variations in the contact state depending on the operator's skill level .

次いで、ステップS3で、測定器9からの測定結果を自動で測定結果収集器11に保存させる。従来は、作業者が手動で保存作業を行っていたが、今回は自動で測定結果を測定結果収集器11に保存させることができる。   Next, in step S3, the measurement result from the measuring instrument 9 is automatically stored in the measurement result collector 11. Conventionally, the worker manually performs the storage operation, but the measurement result can be automatically stored in the measurement result collector 11 this time.

一方、部品ライブラリ7はステップS4で、図4に示すように被測定基板1上に形成された電子部品毎の解析用部品データ14の中から、CAD装置6に与えられたのと同じ測定点に対応した電子部品3の解析用部品データを抽出する。その後、解析器10はステップS5で、測定中の電子部品3に対応した、部品名や部品識別情報などを含む部品データ13Aを取り込む。また解析器10は、部品データ13Aに基づき、部品ライブラリ7のCAD図面データ13からの測定点に対応した解析用部品データと、測定器9からの測定結果とを取り込んで解析を行う。このときの解析は、所定のアルゴリズムによる自動解析であるため、常に結果が安定しており、かつ作業者のミスなどがなく実施される。また解析器10はステップS6で、解析結果を解析結果収集器12に保存する。   On the other hand, the component library 7 is the same measurement point as given to the CAD apparatus 6 among the analysis component data 14 for each electronic component formed on the measurement substrate 1 as shown in FIG. The analysis component data of the electronic component 3 corresponding to is extracted. Thereafter, in step S5, the analyzer 10 takes in part data 13A including a part name and part identification information corresponding to the electronic part 3 under measurement. Further, the analyzer 10 analyzes the part data for analysis corresponding to the measurement point from the CAD drawing data 13 of the part library 7 and the measurement result from the measuring device 9 based on the part data 13A. Since the analysis at this time is automatic analysis according to a predetermined algorithm, the result is always stable, and is implemented without a worker's mistake or the like. The analyzer 10 stores the analysis result in the analysis result collector 12 in step S6.

この点でも従来は、作業者が目視によって測定結果を判定していたが、本実施形態では、後述するように自動解析を行うため、測定結果が、対応する入力仕様を満たしているかを確認するだけで済む。   Also in this point, conventionally, the operator visually determines the measurement result, but in the present embodiment, as will be described later, in order to perform automatic analysis, it is confirmed whether the measurement result satisfies the corresponding input specification It is enough.

その後、波形品質確認試験プログラムはステップS7で、被測定基板1上の全ての測定点に対して測定を行ったかを判定し、その結果、完了していなければ、第2測定点におけるステップS1からの処理を繰り返す。一方、完了してれば終了となる。   Thereafter, in step S7, the waveform quality confirmation test program determines whether measurement has been performed on all the measurement points on the measurement target substrate 1. As a result, if it has not been completed, step S1 from the second measurement point is performed. Repeat the process of On the other hand, if it completes, it will end.

図6は、ある電子部品3の入力仕様を例示している。項目としては、電源電圧VCCのMINおよびMAX、入力電圧VIのMINおよびMAX、Highレベル入力電圧のMIN、Lowレベル入力電圧VILのMAXなどのデータが含まれている。本仕様では、電源電圧VCCにおけるMINは「−0.5V」またMAXは「7.0V」、入力電圧VIにおけるMINは「−0.5V」またMAXは「5.5V」となっている。またHighレベル入力電圧のMINは「3.15V」、Lowレベル入力電圧のMAXは「1.65V」となっている。   FIG. 6 illustrates an input specification of a certain electronic component 3. The items include data such as MIN and MAX of the power supply voltage VCC, MIN and MAX of the input voltage VI, MIN of the high level input voltage, and MAX of the low level input voltage VIL. In this specification, MIN at the power supply voltage VCC is “−0.5 V” and MAX is “7.0 V”, and MIN at the input voltage VI is “−0.5 V” and MAX is “5.5 V”. In addition, MIN of the high level input voltage is “3.15 V”, and MAX of the low level input voltage is “1.65 V”.

図7は、電子部品3に対応した測定結果を示している。この測定項目は、入力電圧VIMINおよびVIMAX、Highレベル入力電圧、Lowレベル入力電圧などである。この測定結果の一例では、入力電圧VIMINは仕様値「−0.5V」に対して「−0.32V」となり、入力電圧VIMAXは仕様値「5.5V」に対して「5.0V」となっている。またHighレベル入力電圧は仕様値「3.15V」に対して「4.8V」、Lowレベル入力電圧は仕様値「1.65V」に対して「0.0V」となっている。   FIG. 7 shows the measurement results corresponding to the electronic component 3. The measurement items are the input voltages VIMIN and VIMAX, the high level input voltage, the low level input voltage, and the like. In an example of this measurement result, the input voltage VIMIN is "-0.32 V" with respect to the specification value "-0.5 V", and the input voltage VIMAX is "5.0 V" with respect to the specification value "5.5 V". It has become. The high level input voltage is "4.8 V" with respect to the specification value "3. 15 V", and the low level input voltage is "0.0 V" with respect to the specification value "1.65 V".

解析器10は、上記の図5のステップS5で、予め格納した所定のアルゴリズムによる自動解析を実施し、各項目の仕様値と測定値とを比較する。そして解析器10は、図7に示すようにいずれも仕様値を満足していれば判定欄15に「OK」を表記する。解析器10の出力デバイス111は、部品ごとに図7に示す一覧を表示する。解析器10の出力デバイス111に結果を表示させることで、作業者はその場で確認することができる。   The analyzer 10 performs automatic analysis according to a predetermined algorithm stored in advance in step S5 of FIG. 5 described above, and compares the specification value of each item with the measurement value. Then, as shown in FIG. 7, the analyzer 10 writes “OK” in the judgment column 15 if the specification value is satisfied in any case. The output device 111 of the analyzer 10 displays the list shown in FIG. 7 for each part. By displaying the result on the output device 111 of the analyzer 10, the operator can confirm on the spot.

上記のように、測定対象となった電子部品3の所定位置にプローブ5を接触させる工程から、測定器9の測定結果と、対応する測定対象の電子部品3の解析用部品データとを解析器10に取り込んで、比較、解析を行うまでを自動化することができる。これにより、作業者の習熟度による測定結果のばらつきを無くして、より正確な波形品質確認試験を行うことができるので、信頼性の高い基板を得ることができる。   As described above, from the step of bringing the probe 5 into contact with the predetermined position of the electronic component 3 to be measured, the analysis result of the measurement result of the measuring instrument 9 and the component data for analysis of the corresponding electronic component 3 to be measured are analyzed. It can be incorporated into 10, and it can be automated until comparison and analysis are performed. As a result, it is possible to perform a more accurate waveform quality confirmation test by eliminating variations in the measurement results due to the worker's level of proficiency, so that a highly reliable substrate can be obtained.

また解析器10を監視する作業者がいる場合、自動解析による判定欄15を確認するだけで、測定結果が、対応する入力仕様を満たしているかどうかを簡単に確認することができる。また一方で、測定結果収集器11には測定器9によって測定された測定結果が記憶されており、解析結果収集器12には解析器10によって解析された解析結果が記憶されている。よって、測定とは別の日、別の場所などで、確認や検討を行うことが可能となる。   In addition, when there is a worker who monitors the analyzer 10, it is possible to easily check whether the measurement result satisfies the corresponding input specification simply by checking the judgment field 15 by automatic analysis. On the other hand, the measurement result collector 11 stores the measurement result measured by the measuring instrument 9, and the analysis result collector 12 stores the analysis result analyzed by the analyzer 10. Therefore, it becomes possible to perform confirmation and examination on another day, another place, etc. from measurement.

尚、ここで波形品質確認試験プログラムは、被測定基板1の全ての測定点に対して解析が完了するまでを一連の処理として扱っている。これに限らず、各測定点毎に作業者が処理開始信号を与えるなど、習熟度による測定結果のばらつきと関係のないタイミングを作業者が与えるようにしてもよい。   Here, the waveform quality confirmation test program treats all measurement points of the substrate 1 until analysis is completed as a series of processes. The present invention is not limited to this, and the operator may give a timing that is not related to the variation of the measurement result due to the proficiency level, such as the operator giving a process start signal to each measurement point.

また解析器10は、プローブ5や測定器9が規定の周期で測定する値(電圧値)に基づき、測定値を当該規定周期の間隔でトレースする波形トレース処理を行い、このトレース結果を出力デバイス111に表示することができる。図8は、このトレース結果を例示したものである。図8(A)は正常波形の一例であり、図8(B)はオーバーシュートの例、図8(C)は波形なまりが生じているときの例、図8(D)は段付き波形の例である。図8(A)のみが正常波形であり、その他は異常波形とする。尚、これらはあくまでも例示であり、これら以外にも波形パターンは存在する。   The analyzer 10 also performs waveform trace processing to trace measured values at intervals of the specified cycle based on the values (voltage values) measured by the probe 5 and the measuring instrument 9 at specified cycles, and outputs this trace result as an output device It can be displayed on 111. FIG. 8 illustrates this trace result. 8A shows an example of a normal waveform, FIG. 8B shows an example of overshoot, FIG. 8C shows an example when waveform rounding occurs, and FIG. 8D shows a stepped waveform. It is an example. Only the waveform in FIG. 8A is a normal waveform, and the others are abnormal waveforms. Note that these are merely examples, and other waveform patterns exist.

このようにトレースした波形に対し、解析器10は、解析処理を実施して良/不良の判定を行う。本実施形態では、解析器10は、一周期前の測定値と着目時間の測定値とを比較し、その増減を確認することで、単調増加、単調減少、非単調、増減なし、最大値、最小値のいずれの波形状態となっているかを判定する。また解析器10は、得られた増減値が規定の許容範囲外となる場合、すなわち正常波形とは大きく異なる波形となる場合、当該測定点については不良と判定する。尚、正常波形のデータは、例えば部品ライブラリ7の電気的特性14Bなどに定義付けられている。   The analyzer 10 performs analysis processing on the waveform traced in this manner to make a judgment of pass / fail. In the present embodiment, the analyzer 10 compares the measured value of one cycle before with the measured value of the time of interest and confirms the increase or decrease thereof, thereby monotonously increasing, monotonically decreasing, non-monotonous, not increasing or decreasing, maximum value, It is determined which waveform state is the minimum value. The analyzer 10 determines that the measurement point is defective when the obtained increase / decrease value is out of the specified allowable range, that is, when the waveform is greatly different from the normal waveform. The data of the normal waveform is defined, for example, in the electrical characteristic 14 B of the component library 7 or the like.

(第2実施形態)
図9は、本発明の他の実施形態による基板自動解析システムのブロック構成図である。
Second Embodiment
FIG. 9 is a block diagram of an automatic substrate analysis system according to another embodiment of the present invention.

第1実施形態では、プローブ駆動制御装置4としてはフライングテスタが使用され、位置座標データを用いてプローブ5を制御駆動し、測定対象のパッド2にプローブ5を接触させる構成とした。第2実施形態では、プローブ駆動制御装置4としてインサーキットテスタを用いている。インサーキットテスタは、CAD装置6に格納されている被測定基板1の設計時のCAD図面データの位置座標データをもとに作成したピンボード16と、ピンボード16に取り付けたプローブ17を使用している。その他の構成は、第1実施形態と同様であるため、同等のユニットには同一符号を付けて詳細な説明を省略する。   In the first embodiment, a flying tester is used as the probe drive control device 4, and the position coordinate data is used to control and drive the probe 5, and the probe 5 is brought into contact with the pad 2 to be measured. In the second embodiment, an in-circuit tester is used as the probe drive control device 4. The in-circuit tester uses a pin board 16 created based on position coordinate data of CAD drawing data at the time of design of the measurement target substrate 1 stored in the CAD apparatus 6 and a probe 17 attached to the pin board 16 ing. The other configuration is the same as that of the first embodiment, so the same units are denoted with the same reference numerals and the detailed description will be omitted.

フライングテスタによるプローブ駆動制御装置4を用いた場合も、測定対象となった電子部品3の所定位置にプローブ5を接触させる工程から、測定結果と、対応する解析用部品データとを解析器10に取り込み、比較、解析を行うまでを自動化することができる。先の第1実施形態と同様に、作業者の習熟度による測定結果のばらつきを無くして、より正確な波形品質確認試験を行うことができるので、信頼性の高い基板を得ることができる。   Also in the case of using the probe drive control device 4 by the flying tester, in the step of bringing the probe 5 into contact with the predetermined position of the electronic component 3 to be measured, the measurement result and the corresponding component data for analysis are It is possible to automate up to loading, comparison and analysis. As in the first embodiment described above, it is possible to perform a more accurate waveform quality confirmation test by eliminating variations in measurement results due to workers' familiarity, so it is possible to obtain a highly reliable substrate.

また、いずれの実施形態でも、解析器10は、基板設計時に製作したCAD図面データ13に対応する解析用部品データを、部品ライブラリ7より引き出す。また解析器10は、測定器9からの測定結果を取り込み、解析用部品データと測定結果を比較することにより解析を行う構成とした。よって、CAD図面データ13を活用して、対応関係のある解析用部品データと測定結果とを自動で容易かつ確実に抽出することができる。   Further, in any of the embodiments, the analyzer 10 pulls out, from the component library 7, analysis component data corresponding to the CAD drawing data 13 manufactured at the time of substrate design. In addition, the analyzer 10 is configured to take in the measurement result from the measuring instrument 9 and perform analysis by comparing analysis part data with the measurement result. Therefore, the CAD drawing data 13 can be used to automatically and easily and reliably extract analysis part data and measurement results that have a correspondence relationship.

また、解析器10は、少なくとも測定対象の部品データと、部品ライブラリ7に予め格納された、対応する測定対象の解析用部品データと、測定器9により測定した波形または定数の測定結果と、この測定結果と解析用部品データを比較解析した解析結果を表示する。よって、作業者の習熟度によるばらつきを無くして、より正確な波形品質確認試験を行うことができる。特に、解析器10に接続した解析結果収集器12に解析結果を保存する場合、その後に解析や検討などを行う場合でも、解析結果収集器12から取り出した解析結果を用いて同様に正確な波形品質確認試験とすることができ、信頼性の高い基板を得ることができる。   Further, the analyzer 10 measures at least component data to be measured, analysis component data to be measured corresponding to that to be stored in advance in the component library 7, and measurement results of waveforms or constants measured by the measuring instrument 9, and Displays the analysis result comparing and analyzing the measurement result and the analysis part data. Therefore, it is possible to perform a more accurate waveform quality confirmation test by eliminating the variation due to the worker's skill level. In particular, when an analysis result is stored in the analysis result collector 12 connected to the analyzer 10, even if analysis or examination is performed thereafter, the same accurate waveform is obtained using the analysis result extracted from the analysis result collector 12 It can be a quality confirmation test, and a highly reliable substrate can be obtained.

上記第1、第2実施形態において、プローブ位置制御装置4A、CAD装置6、測定器9、測定結果収集器11、解析結果収集器12は、それぞれ別筐体として説明したが、一部の機能または全ての機能を1つの筐体に集約させてもよい。また、機器構成を特定せず、各機器それぞれが提供する機能を有するシステムとして、本実施形態で説明した基板自動解析システムが提供されてもよい。この場合の一例として、CAD装置6は設計データ保持部、部品ライブラリ7は解析用データ保持部、測定器9は測定部、解析器10は解析部、測定結果収集器11および解析結果収集器12は結果収集部(測定結果収集部、解析結果収集部)などとして提供される。その他の機器の機能に関しても、機能部として提供されてもよい。   In the first and second embodiments, the probe position control device 4A, the CAD device 6, the measuring instrument 9, the measurement result collector 11, and the analysis result collector 12 are described as separate cases, but some functions Alternatively, all the functions may be integrated into one case. In addition, the substrate automatic analysis system described in this embodiment may be provided as a system having a function provided by each device without specifying the device configuration. As an example in this case, the CAD apparatus 6 is a design data holding unit, the component library 7 is an analysis data holding unit, the measuring instrument 9 is a measuring unit, the analyzer 10 is an analyzing unit, the measurement result collector 11 and the analysis result collector 12 Is provided as a result collection unit (measurement result collection unit, analysis result collection unit) or the like. The functions of other devices may also be provided as functional units.

また、本実施形態では、各結果を記憶する記憶部を、結果の種別に応じて測定結果収集器11および解析結果収集器12に分けて記憶する実装とした。このようにデータを分けて記憶させることで、例えば、いずれか一方は持ち出し禁止としてサーバのみに記憶させ、他方は持ち出し可の扱いにして携帯型記憶装置に記憶させることを許容する、など、データの取り扱いを異ならせることができ、利便性が増す。   Further, in the present embodiment, the storage unit for storing each result is divided and stored in the measurement result collector 11 and the analysis result collector 12 according to the type of the result. By dividing and storing data in this way, for example, one of them is stored only in the server as a carry-out prohibition, and the other is allowed to be stored in a portable storage device with a handle that can be carried out. Handling can be differentiated, which increases convenience.

以上に詳説したように、本実施形態によって、測定結果の解析における人為的ミスを防止すると共に、解析作業の効率化および解析精度の向上を図ることができる。   As described in detail above, according to the present embodiment, it is possible to prevent human error in the analysis of the measurement result and to improve the efficiency of analysis and the accuracy of analysis.

尚、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部または全部を、例えば集積回路で設計する等によりハードウェアで実現してもよい。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリや、ハードディスク、SSD(Solid State Drive)等の記録装置、または、ICカード、SDカード、DVD等の記録媒体に置くことができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, but includes various modifications. For example, the above-described embodiment is described in detail to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and is not necessarily limited to one having all the described configurations. Further, part of the configuration of one embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment, and the configuration of another embodiment can be added to the configuration of one embodiment. Moreover, it is possible to add, delete, and replace other configurations for part of the configurations of the respective embodiments. Further, each of the configurations, functions, processing units, processing means, etc. described above may be realized by hardware, for example, by designing part or all of them with an integrated circuit. Further, each configuration, function, etc. described above may be realized by software by the processor interpreting and executing a program that realizes each function. Information such as a program, a table, and a file for realizing each function can be placed in a memory, a hard disk, a recording device such as an SSD (Solid State Drive), or a recording medium such as an IC card, an SD card, or a DVD.

1 :被測定基板
2 :パッド
3 :電子部品
4 :プローブ駆動制御装置
4A :プローブ位置制御装置
5 :プローブ
6 :CAD装置
7 :部品ライブラリ
8 :測定用ケーブル
9 :測定器
10 :解析器
11 :測定結果収集器
12 :解析結果収集器
1: measured substrate 2: pad 3: electronic component 4: probe drive control device 4A: probe position control device 5: probe 6: CAD device 7: component library 8: measuring cable 9: measuring instrument 10: analyzer 11: Measurement result collector 12: Analysis result collector

Claims (6)

基板自動解析システムであって、
被測定基板上の測定点の座標データと、前記測定点に関わる部品の部品データとを有するCADデータを記憶する設計データ保持部と、
前記被測定基板上に配置される部品に関する解析用データを、前記部品データと関連付けて記憶する解析用データ保持部と、
前記設計データ保持部に記憶されるCADデータの座標データに従い、前記被測定基板上の測定点での波形または定数測定の値を取得する測定部と、
前記測定部での測定結果を取得し、前記解析用データ保持部から前記解析用データを取得し、これらに基づき、前記被測定基板上に配置された部品が、当該部品の仕様を満たすか否かの判定を部品ごとに行う処理を含めた解析処理を実施する解析部と、
前記解析部の解析結果および前記測定部の測定結果を保存する結果収集部と、
を有する基板自動解析システム。
Automatic substrate analysis system,
A design data holding unit that stores CAD data including coordinate data of measurement points on a measurement target substrate and part data of parts related to the measurement points;
An analysis data holding unit that stores analysis data related to a component placed on the measurement target substrate in association with the component data;
A measurement unit that acquires a value of waveform or constant measurement at a measurement point on the measurement target substrate according to coordinate data of CAD data stored in the design data holding unit;
The measurement result in the measurement unit is acquired, the analysis data is acquired from the analysis data holding unit, and based on these, whether or not the component disposed on the substrate to be measured satisfies the specification of the component An analysis unit that performs an analysis process including a process of performing the determination of each
A result collection unit that stores the analysis result of the analysis unit and the measurement result of the measurement unit;
Substrate automatic analysis system having.
前記解析部は、前記測定部での測定結果と前記解析用データ保持部から取得した解析用部品データとを比較して前記解析処理を行う、
請求項1に記載の基板自動解析システム。
The analysis unit compares the measurement result of the measurement unit with the analysis component data acquired from the analysis data holding unit to perform the analysis process.
The substrate automatic analysis system according to claim 1.
前記解析用データは、前記部品の絶対最大定格および電気的特性のデータを含んでいる、
請求項1または2に記載の基板自動解析システム。
The analysis data includes data of an absolute maximum rating and an electrical property of the component.
The substrate automatic analysis system according to claim 1 or 2.
さらに、部品データごとに、当該部品データに対応する解析用データと、前記測定部により測定された、前記部品データに対応した測定結果と、当該測定結果および前記解析用データを比較解析した解析結果とを表示する表示部を有する、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板自動解析システム。
Furthermore, for each part data, an analysis result comparing and analyzing the analysis data corresponding to the part data, the measurement result corresponding to the part data measured by the measurement unit, the measurement result, and the analysis data And a display unit for displaying
The substrate automatic analysis system according to any one of claims 1 to 3.
前記結果収集部は、
前記測定部による測定結果を保存する測定結果収集部と、
前記解析部による解析結果を保存する解析結果収集部と、
を有する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板自動解析システム。
The result collection unit
A measurement result collection unit that stores the measurement results of the measurement unit;
An analysis result collection unit for storing analysis results by the analysis unit;
The substrate automatic analysis system according to any one of claims 1 to 4, comprising:
基板自動解析システムであって、
被測定基板上に配置される部品に関する解析用データを、CADデータに含まれる部品データと関連付けて記憶する解析用データ保持部と、
前記CADデータに含まれる、前記被測定基板上の測定点の座標データに従い、前記被測定基板上の測定点での波形または定数測定の値である測定結果を取得し、前記解析用データ保持部から前記解析用データを取得し、これらに基づき、前記被測定基板上に配置された部品が、当該部品の仕様を満たすか否かの判定を部品ごとに行う処理を含めた解析処理を実施する解析部と、
前記解析部の解析結果および前記測定結果を保存する結果収集部と、
を有する基板自動解析システム。
Automatic substrate analysis system,
An analysis data holding unit that stores analysis data related to a component placed on a measurement target substrate in association with component data included in CAD data;
According to the coordinate data of the measurement point on the measurement substrate included in the CAD data, the measurement result which is the value of the waveform or constant measurement at the measurement point on the measurement substrate is acquired, and the analysis data holding unit The analysis data is acquired from the above, and based on these, the analysis processing including the processing of performing, for each component, whether or not the component arranged on the substrate to be measured satisfies the specification of the component is performed. Analysis department,
A result collection unit that stores the analysis result of the analysis unit and the measurement result;
Substrate automatic analysis system having.
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