JP2019086493A - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019086493A JP2019086493A JP2017217250A JP2017217250A JP2019086493A JP 2019086493 A JP2019086493 A JP 2019086493A JP 2017217250 A JP2017217250 A JP 2017217250A JP 2017217250 A JP2017217250 A JP 2017217250A JP 2019086493 A JP2019086493 A JP 2019086493A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- measuring device
- displacement measuring
- sensor
- hydrogen sulfide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 64
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 47
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 47
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 15
- RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N Sulphur dioxide Chemical compound O=S=O RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims abstract description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 241000668842 Lepidosaphes gloverii Species 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24457—Failure detection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0044—Sulphides, e.g. H2S
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0062—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the measuring method or the display, e.g. intermittent measurement or digital display
- G01N33/0063—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the measuring method or the display, e.g. intermittent measurement or digital display using a threshold to release an alarm or displaying means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
Description
例えば、工作機械ではワークの加工にあたって切削液が使用される。近年では、環境負荷を低減するため、水溶性切削液が使用されるようになってきている。水溶性切削液の場合、液中にバクテリアが繁殖してしまって硫化水素が発生する場合がある。各工場の作業ガイドラインにおいて切削液を適切に管理して定期的に廃棄することが決められており、もちろん作業者はガイドラインに従って適切な管理を行ってはいる。
また、光学式の変位測定装置では反射膜を有する光学デバイス(例えば反射型回折格子)を有するが、硫化水素はその反射膜を腐食させて反射率を低下させてしまう。
特に、スケールやステータの収容筐体が液密な構造になっているため、もし収容筐体内でバクテリアが繁殖すると硫化水素の濃度が高くなりやすいという問題もある。
スケール収容筐体に収容されたスケールと、
前記スケールに対して相対移動可能に設けられ、前記スケールに対する相対変位を測定するスライダと、を備えた変位測定装置において、
前記スライダおよび前記スケール収容筐体の少なくとも一方に第2センサが設けられ、
前記第2センサは、硫化水素、二酸化硫黄、窒素酸化物、酸素、振動、音および磁気のうちの少なくとも一つを検出するものである
ことを特徴とする。
外部機器から位置データ要求信号を受信したとき、当該変位測定装置は位置データとともに前記第2センサによる測定値を取得し、
当該変位測定装置から外部機器にデータを送信するときには、前記位置データと合わせて前記第2センサによる前記測定値を送信する
ことが好ましい。
さらに、警報器が設けられ、
前記第2センサによる前記測定値が所定の閾値に達した場合、当該警報器から使用者に報知する
ことが好ましい。
(第1実施形態)
図1は、変位測定装置100の構成を示す図である。
変位測定装置100そのものは既知のものであるが、簡単に説明しておく。
変位測定装置100は、長手状のスケール部200と、スケール部200に対して相対的にスライド移動可能に設けられたスライダ300と、と備える。
図2は、変位測定装置100の分解斜視図である。
スケール部200は、長手状のメインスケール210と、メインスケール210を収容するスケール収容筐体220と、を備える。
メインスケール210は、主としてガラス基板で構成されており、測長軸方向に目盛りが形成されている。光電式の例でいうと目盛りは回折格子である。
スケール収容筐体220は、その側面に軸方向に沿ったスリット221を有している。
メインスケール210は、スケール収容筐体220の内部に取り付け固定される。
スリット221の両側壁には、スリット221の開口を閉じるように樹脂(ゴム)製の薄板222、222が配設されている。この二枚のゴム板222、222により、スリット221からスケール収容筐体220の内部に液体(油や切削液など)がなるべく浸入しないようにしている。
スライダ300は、メインスケール210上をメインスケール210に沿って走行する走行体310と、スケール収容筐体220の外部にあってスケール部200に沿ってスライド移動するキャリッジ部320と、
走行体310とキャリッジ部320とを連結する連結手段としてのネック部380と、を備える。走行体310には検出部が搭載され、検出部はメインスケール210に対する相対変位量を検出する。検出部は、例えば、発光素子と受光素子とで構成されている。
(図3中、図が見やすいように、断面のハッチングは省略した。)
図3においては、変位測定装置100を工作機械の可動部に取り付けている。
具体的には、キャリッジ部320を移動ステージ90のステージ91側に取り付け、スケール部200を移動ステージ90の基台92側に取り付けている。
キャリッジ部320は、キャリッジ筐体321と、キャリッジ筐体321の内部に収納された電装ユニット330と、を有する。電装ユニット330としては、光源の発光制御回路や、受光素子からの受光信号を処理する信号処理部などを搭載している。また、キャリッジ筐体321には、外部機器と接続するためのコネクタ340が設けられている。
このセンサ350は、硫化水素を検出する硫化水素センサ350である。硫化水素センサ350は、電装ユニット330に電気的に接続されており、硫化水素センサ350から出力される検知信号は電装ユニット330およびコネクタ340を介して外部に出力されるようになっている。
発生した硫化水素は、硫化水素センサ350で検出される。
硫化水素センサ350にて測定された硫化水素濃度データは電装ユニット330を介して外部機器(不図示)に送信される。
例えば、変位測定装置100が外部機器から位置データ要求信号を受信したとき、電装ユニット330は、位置データとともに硫化水素濃度データを取得する。
変位測定装置100から外部機器にデータを送信するときには、位置データに引き続いて硫化水素濃度データも送信する。これにより、外部機器は、位置データとともに、変位測定装置100が配設されている場所の硫化水素濃度を取得する。硫化水素濃度が高い場合、外部機器は、使用者に対して警告を発し、使用者に環境浄化を促すようにする。
スケール210の長さは、長いものでは2mから3mになる。変位測定装置100のキャリッジ部320に硫化水素センサ350を内蔵しておくことにより、2m〜3mにわたる広い範囲において、しかも詳細な硫化水素濃度マップを得ることができる。これにより、硫化水素濃度が高い範囲のみについて効率的に環境浄化を行うことができる。
キャリッジ部320に警報ランプ360を取り付け、硫化水素センサ350で測定された硫化水素濃度に応じたステイタスを報知するように警報ランプ360を点灯させてもよい。
硫化水素濃度に応じたステイタスを例えば次のように設定しておく(閾値は例示であって、閾値の設定数や値は適宜変更されたい)。
硫化水素濃度が1ppm未満: 安全ステイタス
硫化水素濃度が1ppm以上5ppm未満: 注意ステイタス
硫化水素濃度が5ppm以上: 危険ステイタス
そして、警報ランプ360の点灯様式はステイタスによって異なるようにし、例えば、安全ステイタスでは緑色、注意ステイタスでは黄色、危険ステイタスでは赤色を点灯させるようにする。
これによって、使用者に対して注意喚起を与えることができる。
同時に、外部機器へステイタス情報を送信することもできる。
上記実施形態ではキャリッジ部320に硫化水素センサ350を搭載する例を説明した。
キャリッジ部320にはもともと電装ユニット330が収納されているので、硫化水素センサ350と電装ユニット330とを電気的に接続し易いメリットがある。
ただし、硫化水素センサ350をスケール収容筐体220の内部に配設するようにしてもよい。
スケール収容筐体220の内部に切削液50が滞留して硫化水素が発生することが考えられるのであるから、硫化水素センサ350をスケール収容筐体220の内部に設置することには一理ある。
電気的な信号をやり取りする手段としては、スケール収容筐体220から信号線を別途引き出すようにしてもよいだろうし、硫化水素センサ350から無線で信号を送受信するようにしてもよいだろう。
このような場合、硫化水素は空気よりやや重いためスケール収容筐体220のなかでも重力方向で下の方から充満してくるわけであるから、硫化水素センサ350はスケール収容筐体220のなかのなるべく下寄りに設置するのがよいだろう。
上記実施形態の説明において、センサ350は硫化水素センサ350であったが、変位測定装置100に搭載するセンサ350としては、振動センサ、マイク、あるいは、磁気センサであってもよい。
振動センサは加速度計であってもよい。
変位測定装置100が取り付けられている可動部(例えば工作機械の移動ステージ9190)に何か故障の予兆があると、それは微小な振動として変位測定装置100に伝わる。この振動を変位測定装置100の振動センサで検知する。
これにより、キャリッジ部320が可動範囲を走査したときに可動範囲内において振動、音、磁気が特に高い領域を把握することができる。これにより、振動、音、磁気が特に高い範囲について詳細に検査を行い、工作機械の故障の予兆に早く気付くことができる。
センサ350として、硫化水素を検出する硫化水素センサを例に挙げたが、センサが検出する対象としては二酸化硫黄や窒素酸化物もあり得る。工業地帯の大気には二酸化硫黄や窒素酸化物が通常よりも高い濃度で含まれており、これらがスケール収容筐体の内部の滞留した水溶性切削液に溶け込むと、硫酸、硝酸となってスケールや電装部に影響する恐れがある。
上記に列挙したガスだけでなく、センサ350が検出対象とするガスとしては人体や電子機器(変位測定装置や工作機械)に影響があるものであれば種類を限定しない。例えば、酸素濃度が低すぎたり高濃度過ぎたりする場合には人体に影響があるから、場合によってはセンサ350として酸素センサも有り得る。
もちろん、振動、音、磁気といった物理量についても同様であり、センサ350の検出対象として、人体や電子機器(変位測定装置や工作機械)に影響があるものであれば種類を限定しない。
センサ350は一つではなく複数備えていても良く、複数のセンサは同じ種類のセンサでも、違う種類のセンサでも良い。
例えば、硫化水素センサ、振動センサ、マイク、磁気センサ、二酸化硫黄センサ、および、窒素酸化物センサのうちから検出したい対象に応じて選ばれる二つ以上のセンサが変位測定装置に搭載されていてもよい。
さらには、同じ種類のセンサが二つ以上あってもよいのであり、例えば、3つの硫化水素センサを長いスケールの両端と真ん中に設けるようにしてもよいだろう。
90…移動ステージ、91…ステージ、92…基台、
100…変位測定装置、
200…スケール部、210…メインスケール、220…スケール収容筐体、221…スリット、222…ゴム薄板、
300…スライダ、310…走行体、320…キャリッジ部、321…キャリッジ筐体、330…電装ユニット、340…コネクタ、
350…センサ、360…警報ランプ、380…ネック部。
Claims (3)
- スケール収容筐体に収容されたスケールと、
前記スケールに対して相対移動可能に設けられ、前記スケールに対する相対変位を測定するスライダと、を備えた変位測定装置において、
前記スライダおよび前記スケール収容筐体の少なくとも一方に第2センサが設けられ、
前記第2センサは、硫化水素、二酸化硫黄、窒素酸化物、酸素、振動、音および磁気のうちの少なくとも一つを検出するものである
ことを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1に記載の変位測定装置において、
外部機器から位置データ要求信号を受信したとき、当該変位測定装置は位置データとともに前記第2センサによる測定値を取得し、
当該変位測定装置から外部機器にデータを送信するときには、前記位置データと合わせて前記第2センサによる前記測定値を送信する
ことを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1または請求項2に記載の変位測定装置において、
さらに、警報器が設けられ、
前記第2センサによる前記測定値が所定の閾値に達した場合、当該警報器から使用者に報知する
ことを特徴とする変位測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017217250A JP7071790B2 (ja) | 2017-11-10 | 2017-11-10 | 変位測定装置 |
US16/178,027 US20190145800A1 (en) | 2017-11-10 | 2018-11-01 | Displacement measurement apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017217250A JP7071790B2 (ja) | 2017-11-10 | 2017-11-10 | 変位測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019086493A true JP2019086493A (ja) | 2019-06-06 |
JP7071790B2 JP7071790B2 (ja) | 2022-05-19 |
Family
ID=66433294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017217250A Active JP7071790B2 (ja) | 2017-11-10 | 2017-11-10 | 変位測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190145800A1 (ja) |
JP (1) | JP7071790B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11122902A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | リニアモータ駆動装置 |
JP2009270647A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Ntn Corp | 位置決めテーブル |
JP2014059297A (ja) * | 2012-08-20 | 2014-04-03 | Dmg Mori Seiki Co Ltd | スケール装置、位置情報生成方法及び多軸ステージ装置 |
CN104101491A (zh) * | 2014-07-01 | 2014-10-15 | 华中科技大学 | 一种检测滚动直线导轨副性能的装置 |
CN105759246A (zh) * | 2016-04-14 | 2016-07-13 | 中国计量学院 | 具有自校准功能的精度可调式网球击球点定位装置 |
JP2017067629A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社ミツトヨ | 直線変位測定装置 |
JP2019056701A (ja) * | 2017-09-20 | 2019-04-11 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 位置測定装置および位置測定装置の操作方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8614539D0 (en) * | 1986-06-14 | 1986-07-23 | Renishaw Plc | Coordinate positioning apparatus |
US7665223B2 (en) * | 2008-06-20 | 2010-02-23 | Delta Ii, I.P., Trust | Measuring device with extensible cord and method |
US10640742B2 (en) * | 2014-09-25 | 2020-05-05 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | Hybrid linear actuator controlled hydraulic cell stretching |
WO2017015358A1 (en) * | 2015-07-22 | 2017-01-26 | Fort Jameson, Llc | Container with concealed sensors |
-
2017
- 2017-11-10 JP JP2017217250A patent/JP7071790B2/ja active Active
-
2018
- 2018-11-01 US US16/178,027 patent/US20190145800A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11122902A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | リニアモータ駆動装置 |
JP2009270647A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Ntn Corp | 位置決めテーブル |
JP2014059297A (ja) * | 2012-08-20 | 2014-04-03 | Dmg Mori Seiki Co Ltd | スケール装置、位置情報生成方法及び多軸ステージ装置 |
CN104101491A (zh) * | 2014-07-01 | 2014-10-15 | 华中科技大学 | 一种检测滚动直线导轨副性能的装置 |
JP2017067629A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社ミツトヨ | 直線変位測定装置 |
CN105759246A (zh) * | 2016-04-14 | 2016-07-13 | 中国计量学院 | 具有自校准功能的精度可调式网球击球点定位装置 |
JP2019056701A (ja) * | 2017-09-20 | 2019-04-11 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 位置測定装置および位置測定装置の操作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190145800A1 (en) | 2019-05-16 |
JP7071790B2 (ja) | 2022-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI669490B (zh) | 密封式編碼器模組,密封式光學編碼器模組,及設置一密封式編碼器模組之方法 | |
TWI558979B (zh) | 編碼器之輸出訊號監視系統及編碼器之輸出訊號監視方法 | |
JP6499532B2 (ja) | 吸湿剤の吸湿量を取得する機能を備えた回転エンコーダ | |
EP3168583A1 (en) | Apparatus and method for diagnosing abnormal operation of a rotor | |
KR20180066221A (ko) | 이상 진단 장치 | |
JP2009236615A (ja) | 磁気式液面計 | |
CN100410619C (zh) | 带有检验标准规的粗糙度测量装置 | |
ES2289355T3 (es) | Sistema de medicion y procedimiento para controlar su funcionamiento. | |
JP2008249549A (ja) | 減速機等の故障予知装置 | |
JP2019086493A (ja) | 変位測定装置 | |
JP2006284520A (ja) | エンコーダおよびエンコーダ監視システム | |
JP2008304244A (ja) | 直動転がり案内装置の検査方法及び直動転がり案内装置 | |
KR20190073983A (ko) | 대형 플라즈마 절단장비의 정도 모니터링 장치 및 방법 | |
CN101799281B (zh) | 辊平行检测系统 | |
US20050167577A1 (en) | Monitoring apparatus | |
JP2019200157A (ja) | 磁性体検査システムおよびプログラム | |
CN105424069A (zh) | 编码器对准结构 | |
KR101341074B1 (ko) | 인코더 | |
JP2016027457A (ja) | 電子機器 | |
CN111486887A (zh) | 编码器所用的寿命检测装置 | |
JP2006284521A (ja) | エンコーダ | |
KR101064720B1 (ko) | 진동 변위 센서의 진동 측정 장치 및 이를 포함하는 진동 측정 시스템 | |
JP2019035641A (ja) | 位置検出器及び位置検出器を備えた検出システム | |
JP2019027782A (ja) | トルク検出用モジュール、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、及び制御装置 | |
JP2010025832A (ja) | 回転数計測装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201006 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210903 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7071790 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |