JP2019074447A - Laser radar device - Google Patents

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Abstract

To provide a laser radar device which exhibits satisfactory performance, though it is compact and inexpensive.SOLUTION: A laser radar device 1 comprises: a deflector 3 for oscillating an oscillatory reflection surface 5 around a first rotation axis 6 and thereby deflecting within a first angle range α and while so doing, reflecting light from a light source 2; and an element assembly 4 for expanding the angle range of deflection of light from the deflector 3 to a second angle range larger than the first angle range α. The element assembly 4 includes a plurality of reflection units A to F, N to S, each reflecting a part of light beams in deflection directions from the deflector 3, and a plurality of refraction units G to M, each refracting light beams in deflection directions other than the part of light beams in deflection directions.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光源からのコヒーレント性を有する光を偏向する偏向装置を備えたレーザレーダ装置に関する。   The present invention relates to a laser radar device provided with a deflection device that deflects coherent light from a light source.

近年、スマートモビリティの実現への機運の高まりにより、特に自動運転技術への関心が高まっている。自動運転を実現するためには、周囲の交通環境を瞬時に正確に把握する必要がある。このため、周囲360°をスキャニングできるレーザレーダ装置の開発が活発化している。   In recent years, with the growing momentum for the realization of smart mobility, there has been a growing interest in autonomous driving technology in particular. In order to realize automatic driving, it is necessary to instantly grasp the surrounding traffic environment accurately. For this reason, development of a laser radar device capable of scanning the surrounding 360 ° has been activated.

このようなレーザレーダ装置として、例えば、特許文献1には、装置の周囲において三次元的に物体を認識し得るレーザレーダ装置が開示されている。この装置では、複数の受光素子部が二次元的に配置された受光センサが、反射部によって導かれた反射光を受光領域において受光するようにしている。   As such a laser radar device, for example, Patent Document 1 discloses a laser radar device capable of three-dimensionally recognizing an object around the device. In this device, a light receiving sensor in which a plurality of light receiving element sections are two-dimensionally arranged is configured to receive the reflected light guided by the reflecting section in the light receiving area.

そして、レーザダイオードから外部空間に照射されるまでのレーザ光の投光経路には、凸状鏡が配置され、偏向部から外部空間に向かうレーザ光を拡がらせている。レーザ光は、モータにより回動される偏向部で偏向されて外部空間に照射される。外部空間からの反射光が偏向部に入射するときの入射の向きに対応させて、受光領域での反射光の入射位置が定められている。   Then, a convex mirror is disposed in a light projection path of the laser beam from the laser diode to the outside space, and the laser beam from the deflection unit toward the outside space is expanded. The laser beam is deflected by a deflection unit rotated by a motor and irradiated to the external space. The incident position of the reflected light in the light receiving area is determined in accordance with the direction of incidence when the reflected light from the external space is incident on the deflection unit.

一方、MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)ミラー(例えば、特許文献3参照)を用いてレーザ光を偏向させることにより該レーザ光で測定対象物を走査する装置が知られている。このような装置の1つとして、特許文献2には複数の光源を使って、広範囲をカバーするレーザ走査装置が開示されている。   On the other hand, there is known a device for scanning an object to be measured with a laser beam by deflecting the laser beam using a MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) mirror (see, for example, Patent Document 3). As one of such devices, Patent Document 2 discloses a laser scanning device that covers a wide range using a plurality of light sources.

この装置は、レーザ光源と、レーザ光源から出射されたレーザ光を走査する光走査部と、光走査部によって走査されたレーザ光が測定対象物に反射して戻ってきた反射光を検出する光検出部とを備える。レーザ光源から出射されたレーザ光は、光走査部に対して複数の方向から入射する。   This device comprises a laser light source, a light scanning unit for scanning laser light emitted from the laser light source, and light for detecting the reflected light returned from the object to be measured by the laser light scanned by the light scanning unit. And a detection unit. Laser light emitted from the laser light source is incident on the light scanning unit from a plurality of directions.

特開2013−072770号公報JP, 2013-072770, A 特開2015−025901号公報JP, 2015-025901, A 特開2013−007779号公報JP, 2013-007779, A

レーザレーダ装置を搭載しようとする対象物は、モビリティを向上させる乗用車を始めとした移動体である。このため、レーザレーダ装置には、構造が簡素で揺れや振動に強く、小型で低コストであることが求められる。   Objects to which the laser radar device is to be mounted are mobile bodies such as passenger cars for improving mobility. Therefore, the laser radar device is required to be simple in structure, resistant to vibration and vibration, small in size and low in cost.

しかしながら、特許文献1のレーザレーダ装置によれば、偏向部を回動させるためにモータを用いているので、重量とコストの両面で不利である。さらに、偏向部には曲面ミラーを用いているので、その曲率を正確に設定しないと、レーザ光が照射されるときのビーム形状が歪んでしまい、正確なスキャニングが不可能となる恐れがある。   However, according to the laser radar device of Patent Document 1, a motor is used to turn the deflection unit, which is disadvantageous in terms of both weight and cost. Furthermore, since a curved mirror is used for the deflection unit, if the curvature is not set accurately, the beam shape when the laser light is irradiated may be distorted, and accurate scanning may become impossible.

また、特許文献2のレーザ走査装置によれば、高価なレーザ光源を複数用いているので装置コストが増大する。また、MEMSミラーの裏面も鏡面とする必要があるので、製造プロセスが増加し、製造コストが増大する恐れがある。   Further, according to the laser scanning device of Patent Document 2, since a plurality of expensive laser light sources are used, the device cost is increased. In addition, since the back surface of the MEMS mirror also needs to be a mirror surface, the manufacturing process may be increased and the manufacturing cost may be increased.

本発明の目的は、かかる従来技術の問題点に鑑み、小型で低コストでありながら良好な性能を有するレーザレーダ装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a laser radar device having good performance while being compact and low in cost.

第1発明に係るレーザレーダ装置は、
コヒーレント性を有する光を出力する光源と、
前記光源からの光を反射する搖動反射面を有し、該搖動反射面を第1回転軸線の周りで搖動させることにより、反射光を第1角度範囲内で偏向させながら、該光源からの光を反射する偏向装置と、
該偏向装置からの光の偏向の角度範囲を前記第1角度範囲よりも大きい第2角度範囲に拡げる偏向範囲拡張手段とを備え、
前記偏向範囲拡張手段は、
前記偏向装置からの複数の偏向方向の光のうちの一部の偏向方向の光をそれぞれの反射方向に反射する複数の反射部と、
前記偏向装置からの複数の偏向方向の光のうちの前記一部以外の偏向方向の光をそれぞれの屈折方向に屈折させる複数の屈折部とを備えることを特徴とする。
The laser radar device according to the first invention is
A light source that outputs light having coherence;
A light from the light source is provided, having a peristaltic reflection surface that reflects the light from the light source, and deflecting the reflected light within a first angle range by swinging the peristaltic reflection surface around the first rotation axis. A deflector that reflects
And deflection range expansion means for expanding an angular range of deflection of light from the deflection device to a second angular range larger than the first angular range,
The deflection range extending means is
A plurality of reflecting portions for reflecting light in one of the plurality of deflection directions from the deflection device in the respective reflection directions;
It is characterized by comprising: a plurality of refracting portions for refracting light of deflection directions other than the part among the light of the plurality of deflection directions from the deflection device in respective refracting directions.

第1発明によれば、光源からの光が、偏向装置により第1角度範囲内で偏向され、さらに、偏向範囲拡張手段によってより大きい第2角度範囲で偏向されながら出力される。そして、偏向範囲拡張手段は、複数の反射部及び複数の屈折部により構成される。   According to the first aspect of the invention, the light from the light source is deflected by the deflection device within the first angle range, and is further outputted by being deflected by the deflection range extending means at the larger second angle range. And a deflection | deviation range expansion means is comprised by several reflection part and several refraction | bending part.

これにより、大きい角度範囲を十分な精度でスキャンすることができるレーザレーダ装置を、重量を増大させるモータ等の動力や、光学設計を複雑化させる曲面ミラーなどを使用することなく、小型かつ低コストで提供することができる。   As a result, the laser radar device capable of scanning a large angle range with sufficient accuracy can be compact and inexpensive without using power such as a motor that increases weight and a curved mirror or the like that complicates optical design. Can be provided by

第2発明に係るレーザレーダ装置は、第1発明において、前記偏向範囲拡張手段は、前記複数の反射部及び前記複数の屈折部を一列に配列して有する素子集合体からなることを特徴とする。   In the laser radar device according to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the deflection range extending means is composed of an element assembly including the plurality of reflecting portions and the plurality of refracting portions arranged in a line. .

第2発明によれば、偏向拡張手段をコンパクトに構成できるので、レーザレーダ装置の小型化をより確実に達成することができる。   According to the second aspect of the invention, since the deflection expanding means can be made compact, miniaturization of the laser radar device can be achieved more reliably.

第3発明に係るレーザレーダ装置は、第2発明において、
前記素子集合体の配列中心側に前記複数の屈折部が配列され、該配列の両側に前記複数の反射部が配列されており、
各屈折部及び各反射部は、前記偏向装置からの対応する入射光のベクトルとその出射光のベクトルとが成す角が、前記配列の中心に近いものほど小さいことを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a laser radar device according to the second aspect of the present invention.
The plurality of refracting portions are arrayed on the side of the array center of the element assembly, and the plurality of reflecting portions are arrayed on both sides of the array.
Each of the refracting portions and the reflecting portions is characterized in that the angle formed by the vector of the corresponding incident light from the deflecting device and the vector of the emitted light is smaller as it is closer to the center of the array.

第3発明によれば、素子集合体から出射される光の偏向方向を、偏向装置からの光の偏向方向が変化する場合と同様に、不規則ではなく連続的に変化させることができる。   According to the third aspect of the invention, the deflection direction of the light emitted from the element assembly can be changed not continuously but continuously as in the case where the deflection direction of the light from the deflection device changes.

第4発明に係るレーザレーダ装置は、第1〜第3のいずれかの発明において、各反射部及び各屈折部は、前記偏向装置からの対応する入射光を、基準となる1つの直線に垂直な方向に出射するように構成されることを特徴とする。   A laser radar device according to a fourth aspect of the present invention is the laser radar device according to any one of the first to third aspects, wherein each of the reflecting portions and each of the refracting portions is perpendicular to a corresponding straight line from the deflection device as a reference. It is characterized in that it is configured to emit in any direction.

第4発明によれば、該1つの直線に垂直なほぼ同一平面に含まれる範囲に、スキャン用の光を照射することができる。   According to the fourth aspect of the present invention, the light for scanning can be irradiated to a range included in substantially the same plane perpendicular to the one straight line.

第5発明に係るレーザレーダ装置は、第4発明において、各屈折部及び各反射部から出射される光の進路が基準となる1つの平面内に含まれるように、該進路の該平面に垂直な方向の位置を調整するプリズムを該屈折部毎又は該反射部毎に備えることを特徴とする。   A laser radar device according to a fifth aspect of the present invention is the laser radar device according to the fourth aspect, wherein a path of light emitted from each of the refracting portions and each reflecting portion is perpendicular to the plane of the path so as to be included in one reference plane. It is characterized in that a prism for adjusting the position in the normal direction is provided for each of the refracting portions or for each of the reflecting portions.

第5発明によれば、第1回転軸線に垂直な同一平面に含まれる範囲に、スキャン用の光を照射することができる。   According to the fifth invention, the light for scanning can be irradiated to the range included in the same plane perpendicular to the first rotation axis.

第6発明に係るレーザレーダ装置は、第1〜第5発明において、隣接する前記屈折部又は前記反射部の間に光が当たらないように、前記偏向装置における搖動反射面の回転角度と前記光源からの光の出力を制御する制御部を備えることを特徴とする。   A laser radar device according to a sixth aspect of the present invention is the laser radar device according to the first to fifth aspects, wherein the rotation angle of the peristaltic reflection surface in the deflection device and the light source are provided so that light does not hit between the adjacent refracting portions or the reflecting portions. And a controller configured to control the light output from the light source.

第6発明によれば、隣接する屈折部又は反射部の間に当たる光によってレーザレーダ装置による光の照射及びこれに基づく情報の収集に不都合が生じるのを防止することができる。   According to the sixth aspect of the present invention, it is possible to prevent the occurrence of inconvenience in the light irradiation by the laser radar device and the collection of information based thereon by the light falling between the adjacent refracting portions or the reflecting portions.

第7発明に係るレーザレーダ装置は、第1〜第6のいずれかの発明において、
前記光源と前記偏向装置の搖動反射面との間に配置されたビームスプリッタと、
前記偏向装置からの戻り光のうち、前記ビームスプリッタにより分割された部分を観察するための受光装置とを備えることを特徴とする。
A laser radar device according to a seventh invention is the laser radar device according to any one of the first to sixth inventions,
A beam splitter disposed between the light source and the peristaltic reflective surface of the deflection device;
A light receiving device for observing a portion of the return light from the deflection device divided by the beam splitter is provided.

第7発明によれば、レーザレーダ装置から外部に射出され、外部の物体で反射されて戻ってきた戻り光をビームスプリッタで分割し、受光装置で観察することができる。   According to the seventh invention, it is possible to split the return light emitted from the laser radar device to the outside, reflected by the external object and returned by the beam splitter, and to observe it with the light receiving device.

本発明の一実施形態に係るレーザレーダ装置の主要部を示す斜視図である。It is a perspective view showing the principal part of the laser radar device concerning one embodiment of the present invention. 図1のレーザレーダ装置の平面図である。It is a top view of the laser radar apparatus of FIG. 図1のレーザレーダ装置の側面図である。It is a side view of the laser radar apparatus of FIG. 図1のレーザレーダ装置の素子集合体を構成する各反射部及び屈折部における光の進路を示す図である。It is a figure which shows the course of the light in each reflection part and refractive part which comprise the element group of the laser radar apparatus of FIG. 図1のレーザレーダ装置の素子集合体を構成する他の反射部における光の進路を示す図である。It is a figure which shows the course of the light in the other reflection part which comprises the element group of the laser radar apparatus of FIG. 図1のレーザレーダ装置にプリズム群を設けた様子を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a mode that the prism group was provided in the laser radar apparatus of FIG. 図6中のプリズム群を構成する1つのプリズムにより光の進路が調整される様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the course of light is adjusted with one prism which comprises the prism group in FIG. 図6中のプリズム群を構成する他の1つのプリズムにより光の進路が調整される様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the course of light is adjusted by one other prism which comprises the prism group in FIG. 図1のレーザレーダ装置に使用される偏向装置の斜視図である。It is a perspective view of the deflection | deviation apparatus used for the laser radar apparatus of FIG. 図1のレーザレーダ装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the laser radar apparatus of FIG. 図1のレーザレーダ装置の光源から出力される光の波形を示す図である。It is a figure which shows the waveform of the light output from the light source of the laser radar apparatus of FIG.

以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。図1は、本実施形態のレーザレーダ装置の主要部を示す斜視図であり、図2はその平面図、図3はその側面図である。これらの図に示すように、このレーザレーダ装置1は、コヒーレント性を有する光を出力する光源2と、光源2からの光を偏向させながら反射する偏向装置3と、偏向装置3からの光の偏向の角度範囲を拡げる偏向範囲拡張手段としての素子集合体4とを備える。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described using the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing the main part of the laser radar device of this embodiment, FIG. 2 is a plan view thereof, and FIG. 3 is a side view thereof. As shown in these figures, the laser radar device 1 includes a light source 2 for outputting light having coherence, a deflector 3 for deflecting light from the light source 2 while deflecting it, and light from the deflector 3 And an element assembly 4 as deflection range expansion means for expanding the angular range of deflection.

光源2は、コヒーレント性を有する光としてレーザ光を出力するものである。レーザ光の波長としては、例えば、750ナノメートル〜1.5マイクロメートルの範囲の波長が、レーザレーダ装置1の使用目的に応じて選択される。なお、上記波長に限定されるものではない。   The light source 2 outputs laser light as light having coherence. As the wavelength of the laser light, for example, a wavelength in the range of 750 nanometers to 1.5 micrometers is selected according to the purpose of use of the laser radar device 1. In addition, it is not limited to the said wavelength.

偏向装置3は、光源2からの光が入射する搖動反射面5を有する。偏向装置3は、搖動反射面5をその法線に垂直な第1回転軸線6の周りで搖動させることにより、光源2からの光を第1角度α(図3参照)の範囲内で偏向させながら搖動反射面5で反射する。   The deflection device 3 has a peristaltic reflection surface 5 on which the light from the light source 2 is incident. The deflecting device 3 deflects the light from the light source 2 within the range of the first angle α (see FIG. 3) by swinging the peristaltic reflective surface 5 around the first rotation axis 6 perpendicular to the normal thereof. While reflecting on the peristaltic reflection surface 5.

なお、以下の説明では、図1〜図3で示されるような右手系のXYZ軸直交座標系が用いられる。X軸は、第1回転軸線6に平行である。Y軸及びZ軸は、光源2から素子集合体4までの光路を含む面に平行である。Y軸の正方向は、ほぼ搖動反射面5から光源2又は素子集合体4に向かう方向となっている。   In the following description, a right-handed XYZ-axis orthogonal coordinate system as shown in FIGS. 1 to 3 is used. The X axis is parallel to the first rotation axis 6. The Y-axis and the Z-axis are parallel to the plane including the optical path from the light source 2 to the element assembly 4. The positive direction of the Y axis is a direction substantially from the peristaltic reflective surface 5 toward the light source 2 or the element assembly 4.

図4は、素子集合体4を構成する各反射部A〜F及び屈折部G〜Mにおける光の進路を示す図であり、図5は、素子集合体4を構成する各反射部N〜Sにおける光の進路を示す図である。各反射部A〜F、N〜Sは、偏向装置3からの各偏向方向の光のうちの一部の偏向方向の光をそれぞれに対応する方向に反射する。各反射部A〜F、N〜Sの反射面は、ガラス面に蒸着したアルミなどの蒸着膜により形成される。   FIG. 4 is a view showing the path of light in each of the reflecting portions A to F and the refracting portions G to M constituting the element assembly 4, and FIG. 5 is a diagram showing each reflecting portion N to S constituting the element assembly 4 Is a figure which shows the course of the light in. Each of the reflecting portions A to F and N to S reflects light in a deflection direction of a part of the light in each deflection direction from the deflection device 3 in a direction corresponding to each. The reflective surface of each of the reflective portions A to F and N to S is formed of a deposited film of aluminum or the like deposited on the glass surface.

屈折部G〜Mは、偏向装置3からの各偏向方向の光のうちの前記一部の偏向方向以外の偏向方向の光をそれぞれに対応する方向に屈折させる。各屈折部G〜Mは、入射面と出射面を有する屈折光学素子で構成され、入射面に入射するとき及び出射面から出射するときに、スネルの法則に従い、光を屈折させる。   The refracting portions G to M refract light in the deflection directions other than the deflection direction of the part of the light in each deflection direction from the deflection device 3 in the corresponding directions. Each of the refracting portions G to M is a refracting optical element having an incident surface and an emitting surface, and refracts light according to Snell's law when entering the incident surface and emitting from the emitting surface.

素子集合体4は、Z軸の正方向又は負方向に上記の19個の反射部A〜F、屈折部G〜M及び反射部N〜Sをこの順で配置して構成される。素子集合体4は、偏向装置3が搖動反射面5を搖動させて上述の回転角度αの範囲内で偏向させながら光源2からの光を反射する場合、この反射光によって、反射部A〜F、屈折部G〜M及び反射部N〜Sが順次往復して照射されるように配置される。   The element assembly 4 is configured by arranging the 19 reflective portions A to F, the refractive portions G to M, and the reflective portions N to S in this order in the positive direction or the negative direction of the Z axis. The element assembly 4 reflects light from the light source 2 while deflecting the peristaltic reflection surface 5 by the deflection device 3 and deflecting the light within the range of the above-mentioned rotation angle α. The refracting portions G to M and the reflecting portions N to S are disposed so as to sequentially reciprocate and be irradiated.

屈折部G〜Mのうちの真ん中に配置される屈折部Jは、Z軸方向に見て、光源2からの光が直進するように構成される。すなわち、該光の屈折部Jに対する入射面及び出射面はZ軸方向に見て、該光に対して直交するように構成される。Z軸方向に見た場合の光源2からの入射光のベクトルaに対する出射光のベクトルbが成す角度を偏向角度θとすれば、屈折部Jの偏向角度θはゼロである。   The refracting portion J disposed in the middle of the refracting portions G to M is configured such that the light from the light source 2 travels straight as viewed in the Z-axis direction. That is, the entrance surface and the exit surface of the light with respect to the refracting portion J are configured to be orthogonal to the light as viewed in the Z-axis direction. The deflection angle θ of the refracting portion J is zero if the angle formed by the vector b of the emitted light with respect to the vector a of the incident light from the light source 2 when viewed in the Z-axis direction is the deflection angle θ.

屈折部Jの両側の屈折部I及びKは、偏向角度θが単位偏向角度θm(=360/19≒18.947)°となるように、光源2からの光をそれぞれX軸の正方向及び負方向に偏向する。同様に、中心の屈折部Jから両方向に向かってn番目に位置する屈折部又は反射部は、偏向角度θが単位偏向角度θmのn倍となるように、それぞれX軸の正方向及び負方向に偏向する。   The refracting portions I and K on both sides of the refracting portion J respectively receive the light from the light source 2 in the positive direction of the X axis and the deflection angle .theta. Becomes a unit deflection angle .theta.m (= 360 / 19.apprxeq.18.947). Deflection in the negative direction. Similarly, the refracting portion or the reflecting portion positioned n-th from the central refracting portion J in both directions has a positive direction and a negative direction of the X axis such that the deflection angle θ is n times the unit deflection angle θm. Bias.

したがって、各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mの偏向角度θは、これらの配列の中心に近いものほど小さく、中心から遠いものほど大きい。反射部A及びSでは、偏向角度θがθm×9≒170.5°となる。これにより、素子集合体4は、偏向装置3からの光の偏向の角度範囲を、第1角度範囲αよりも大きい第2角度範囲であるほぼ360°に拡げる機能を有する。   Therefore, the deflection angle θ of each of the reflection portions A to F and N to S and the refraction portions G to M is smaller as it is closer to the center of the arrangement, and larger as it is farther from the center. In the reflecting portions A and S, the deflection angle θ becomes θm × 9 ≒ 170.5 °. Thus, the element assembly 4 has a function of expanding the angular range of deflection of light from the deflection device 3 to approximately 360 °, which is a second angular range larger than the first angular range α.

図3に示すように、各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mは、偏向装置3からの対応する入射光を、基準となる1つの直線に垂直な方向に出射するように構成される。基準となる1つの直線は、本実施形態ではZ軸に平行な直線である。   As shown in FIG. 3, each of the reflecting portions A to F, N to S and the refracting portions G to M emits corresponding incident light from the deflecting device 3 in a direction perpendicular to one reference straight line. Configured One straight line to be a reference is a straight line parallel to the Z axis in the present embodiment.

すなわち、各反射部A〜F、N〜Sの反射面のZ軸に対する傾きは、偏向装置3からの対応する偏向方向の光が該反射面によってZ軸に垂直な方向に反射されるように設定される。なお、図3では、反射部A、S及び屈折部Jについて、反射又は屈折する光の光路が示されている。   That is, the inclination of the reflecting surface of each of the reflecting portions A to F and N to S with respect to the Z axis is such that light in the corresponding deflection direction from the deflecting device 3 is reflected by the reflecting surface in the direction perpendicular to the Z axis. It is set. In FIG. 3, the optical paths of light to be reflected or refracted are shown for the reflecting portions A and S and the refracting portion J.

各屈折部G〜Mの入射面及び出射面のZ軸に対する傾きは、偏向装置3からの対応する偏向方向の光が該入射面及び該出射面によってZ軸に垂直な方向に屈折するように設定される。各屈折部G〜Mの出射面がZ軸に平行であるとすれば、それぞれの入射面が入射光をZ軸に垂直な方向に偏向させるように、その入射面のZ軸に対する傾きが設定される。   The inclination of the entrance surface and the exit surface of each of the refracting portions G to M with respect to the Z axis is such that light in the corresponding deflection direction from the deflecting device 3 is refracted by the entrance surface and the exit surface in the direction perpendicular to the Z axis. It is set. If the exit surface of each of the refracting portions G to M is parallel to the Z axis, the inclination of the entrance surface with respect to the Z axis is set so that each incident surface deflects the incident light in the direction perpendicular to the Z axis. Be done.

光源2と偏向装置3の搖動反射面5との間には、ビームスプリッタ11が配置される。また、レーザレーダ装置1の外部からの戻り光のうち、ビームスプリッタ11により分割された部分を観察するための受光装置12が設けられる。   A beam splitter 11 is arranged between the light source 2 and the peristaltic reflection surface 5 of the deflection device 3. In addition, a light receiving device 12 is provided for observing a portion of the return light from the outside of the laser radar device 1 divided by the beam splitter 11.

図3に示すように、光源2、ビームスプリッタ11及び受光装置12は、光源2からの光が素子集合体4の下側から偏向装置3の搖動反射面5に入射し、また、その戻り光を観察できるように、素子集合体4よりもZ軸の負方向に配置される。YZ平面で見て、光源2からの光とY軸とが成す角は、例えば5〜15°程度である。   As shown in FIG. 3, in the light source 2, the beam splitter 11 and the light receiving device 12, the light from the light source 2 enters the peristaltic reflecting surface 5 of the deflecting device 3 from the lower side of the element assembly 4 and the return light To be observed in the negative direction of the Z axis relative to the element assembly 4. When viewed in the YZ plane, the angle between the light from the light source 2 and the Y axis is, for example, about 5 to 15 °.

図6は、レーザレーダ装置1にプリズム群14を設けた様子を示す。同図に示すように、素子集合体4の周りには、素子集合体4の各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mから装置外部に出力される光の進路13を、各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜M毎に調整するプリズム群14が設けられる。この調整は、各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mからの各光の進路13が、Z軸に垂直な基準となる1つの平面PL内に含まれるように行われる。   FIG. 6 shows the laser radar device 1 provided with a prism group 14. As shown in the figure, around the element assembly 4, the paths 13 of light output from the respective reflecting portions A to F and N to S of the element assembly 4 and the refracting portions G to M to the outside of the device are A prism group 14 is provided which adjusts for each of the reflective portions A to F and N to S and the refractive portions G to M. This adjustment is performed such that the paths 13 of light from the reflective portions A to F and N to S and the refractive portions G to M are included in one plane PL which is a reference perpendicular to the Z axis.

プリズム群14を構成する各プリズム15は、図7や図8のように、対応する反射部A〜F、N〜S又は屈折部G〜Mからの光の進路13のZ軸方向における必要な調整量dzに応じて、その形状、寸法、配置、姿勢が選択される。進路13の調整量dzは、該進路13に対応する反射部A〜F、N〜S又は屈折部G〜M毎に異なる。   As shown in FIG. 7 and FIG. 8, each of the prisms 15 constituting the prism group 14 is necessary in the Z-axis direction of the path 13 of the light from the corresponding reflecting portions A to F, N to S or the refracting portions G to M. The shape, size, arrangement, and posture are selected according to the adjustment amount dz. The adjustment amount dz of the track 13 is different for each of the reflective portions A to F, N to S or the refractive portions G to M corresponding to the track 13.

具体的には、例えば、図3における屈折部Jからの光の進路13を含む平面を上述の基準となる1つの平面PLとすれば、他の屈折部G〜I、K〜L及び反射部A〜F、N〜Sについて、それぞれの調整量dzを調整するためのプリズム15が設けられる。この場合、屈折部Jについては、進路13が平面PLに含まれるので、プリズム15は不要である。   Specifically, for example, assuming that the plane including the path 13 of the light from the refracting portion J in FIG. 3 is one plane PL as the above reference, the other refracting portions G to I, K to L and the reflecting portion For A to F and N to S, a prism 15 is provided to adjust each adjustment amount dz. In this case, for the refracting portion J, since the path 13 is included in the plane PL, the prism 15 is unnecessary.

屈折部G〜I、K〜L、反射部A〜F、N〜Sのうち、Z軸方向において屈折部Jを中心として対称な位置にあるもの同士については、調整量dzが同じ大きさで符号が異なるだけであるため、プリズム15として同様の形状及び寸法のものを、姿勢だけを変えて用いることができる。   Of the refracting portions G to I, K to L, and the reflecting portions A to F, and N to S, those at symmetrical positions with respect to the refracting portion J in the Z-axis direction have the same amount of adjustment dz Since the symbols are different only, the prism 15 having the same shape and size can be used by changing only the posture.

図9は、偏向装置3の斜視図である。同図に示すように、偏向装置3は、搖動反射面5を有するミラー部16と、ミラー部16を支持する第1支持部17と、一端がミラー部16に、他端が第1支持部17にそれぞれ連結された第1圧電アクチュエータ18a、18bを備える。第1圧電アクチュエータ18a、18bを圧電駆動することによりミラー部16を第1支持部17に対して第2回転軸線20の周りに回転させることができる。   FIG. 9 is a perspective view of the deflection device 3. As shown in the figure, the deflecting device 3 has a mirror portion 16 having a peristaltic reflection surface 5, a first support portion 17 supporting the mirror portion 16, one end to the mirror portion 16, and the other end to the first support portion The first piezoelectric actuators 18a and 18b are connected to the first and second electrodes 17, respectively. By piezoelectrically driving the first piezoelectric actuators 18a and 18b, the mirror portion 16 can be rotated about the second rotation axis 20 with respect to the first support portion 17.

また、偏向装置3は、第1支持部17を支持する第2支持部19と、一端が第1支持部17に、他端が第2支持部19にそれぞれ連結された第2圧電アクチュエータ21とを備える。第2圧電アクチュエータ21を圧電駆動することにより第1支持部17を第2支持部19に対して第1回転軸線6の周りに揺動させることができる。   The deflection device 3 further includes a second support 19 for supporting the first support 17, and a second piezoelectric actuator 21 having one end connected to the first support 17 and the other end connected to the second support 19. Equipped with By piezoelectrically driving the second piezoelectric actuator 21, the first support portion 17 can be swung about the first rotation axis 6 with respect to the second support portion 19.

偏向装置3は、第1回転軸線6がX軸と平行となり、かつ光源2からの光を反射して素子集合体4の各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mに入射するように配置される。   In the deflecting device 3, the first rotation axis 6 is parallel to the X axis, and the light from the light source 2 is reflected to be incident on each of the reflecting portions A to F and N to S and the refracting portions G to M of the element assembly 4. To be arranged.

この偏向装置3は、上述の特許文献3に記載されたものと同様のものであるが、偏向装置3としては、これに限らず、第1回転軸線6の周りに搖動反射面5を回転させる機能を有するものであれば、他のMEMSミラーなどを用いてもよい。   Although this deflecting device 3 is the same as that described in the above-mentioned Patent Document 3, the deflecting device 3 is not limited to this, and rotates the peristaltic reflecting surface 5 around the first rotation axis 6 Other MEMS mirrors may be used as long as they have a function.

図10は、レーザレーダ装置1の各部を示すブロック図である。同図に示すように、レーザレーダ装置1は、さらに、光源2を駆動する光源駆動回路22、偏向装置3を駆動する偏向装置駆動回路23、受光装置12から受光データを検出値として取り込む検出回路24、及びこれらを制御する制御部25を備える。   FIG. 10 is a block diagram showing each part of the laser radar device 1. As shown in the figure, the laser radar device 1 further includes a light source drive circuit 22 for driving the light source 2, a deflection device drive circuit 23 for driving the deflection device 3, and a detection circuit for capturing received light data as a detection value from the light receiving device 12. 24 and a control unit 25 that controls these.

制御部25は、光源駆動回路22及び偏向装置駆動回路23を同期して制御することにより、光源2及び偏向装置3を同期して駆動し、図11に示すようなパルス状の光を、素子集合体4に照射する。   The control unit 25 controls the light source drive circuit 22 and the deflection device drive circuit 23 in synchronization to drive the light source 2 and the deflection device 3 in synchronization, thereby pulsing light as shown in FIG. The assembly 4 is irradiated.

図11において、破線で示した部分は、各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mの継ぎ目部分に時間的又は位置的に相当する部分であり、この部分では、光源2から光が出力されない。これにより、素子集合体4の各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mの継ぎ目部分に光源2からの光が当たるのを回避している。   In FIG. 11, a portion indicated by a broken line is a portion temporally or positionally corresponding to a joint portion of each of the reflection portions A to F and N to S and the refraction portions G to M. Light is not output. Thereby, the light from the light source 2 is prevented from being applied to the joint portion of each of the reflection portions A to F and N to S and the refraction portions G to M of the element assembly 4.

なお、図11の各パルスの幅は、搖動反射面5からの光が素子集合体4を走査する速度に反比例する。そして、この走査速度は搖動反射面5の回転角度に応じて変動するので、この回転角度に応じてパルス幅が調整される。例えば、操作速度が遅い回転角度のときには、パルス幅が長くなるように制御される。   The width of each pulse in FIG. 11 is inversely proportional to the speed at which the light from the peristaltic reflective surface 5 scans the element assembly 4. And since this scanning speed is fluctuate | varied according to the rotation angle of the peristaltic reflective surface 5, a pulse width is adjusted according to this rotation angle. For example, when the operation speed is a slow rotation angle, the pulse width is controlled to be long.

制御部25は、このようなパルス光を、パルス毎に、順次素子集合体4の各反射部A〜F、屈折部G〜M及びN〜Sに入射させる。これにより、パルス光が、ほぼ360°の全周囲のスキャン範囲にわたって順次照射される。   The control unit 25 causes such pulse light to sequentially enter each of the reflection portions A to F and the refraction portions G to M and N to S of the element assembly 4 for each pulse. As a result, pulsed light is sequentially irradiated over the full 360 ° scan range.

制御部25は、照射したパルス光の検出対象物27からの戻り光に基づいて、検出回路24により、検出対象物27に関する検出処理を偏向装置3の駆動と同期して行う。このとき、光源2の点灯時と消灯時における検出回路24による検出データの差分を検出することにより、ノイズの原因となる環境光をフィルタリングして検出を行うことができる。   The control unit 25 causes the detection circuit 24 to perform detection processing on the detection target 27 in synchronization with the driving of the deflection device 3 based on the return light from the detection target 27 of the emitted pulse light. At this time, by detecting a difference between detection data by the detection circuit 24 when the light source 2 is turned on and off, ambient light that causes noise can be filtered and detected.

制御部25は、このようにして検出した検出対象物27に関する情報とそのときの偏向装置3における搖動反射面5の回転角度とに基づいて、スキャン範囲におけるどの角度方向に検出対象物27が存在するのかを把握することができる。このとき、搖動反射面5の回転角度とスキャン範囲における角度方向とを対応付けたマッピング情報が参照される。   Based on the information on the detection object 27 detected in this manner and the rotation angle of the peristaltic reflection surface 5 in the deflection device 3 at that time, the control unit 25 detects the detection object 27 in which angular direction in the scan range You can figure out what to do. At this time, mapping information in which the rotation angle of the peristaltic reflection surface 5 is associated with the angular direction in the scan range is referred to.

以上のように、本実施形態によれば、1つの光源2からの光を偏向装置3により第1角度αの範囲内で偏向させながら出力し、この光を素子集合体4の反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mによって、さらに大きい角度範囲で偏向するようにしている。これにより、第1角度αの範囲内で偏向されながら偏向装置3から出力される光によって、より大きい第2角度範囲であるほぼ360°の全周囲にわたってスキャンすることができる。   As described above, according to the present embodiment, the light from one light source 2 is output while being deflected by the deflecting device 3 within the range of the first angle α, and this light is output from the reflection part A of the element assembly 4 By F, N to S and the refracting portions G to M, deflection is made in a larger angle range. Thereby, the light output from the deflecting device 3 while being deflected within the range of the first angle α can scan over the entire circumference of approximately 360 ° which is the larger second angle range.

したがって、装置の重量を増大させるモータ等の動力や、光学設計を複雑化させる曲面ミラーを使用していないので、小型で低コストでありながら良好な性能を有するレーザレーダ装置1を提供することができる。   Therefore, since the power of a motor or the like that increases the weight of the device, and the curved mirror that complicates the optical design are not used, it is possible to provide the laser radar device 1 that has good performance while being small and inexpensive. it can.

また、複数の反射部A〜F、N〜S及び複数の屈折部G〜Mを一列に配列して結合し、又は一体的に形成した素子集合体4を採用したことにより、偏向拡張手段をコンパクトに構成できるので、レーザレーダ装置1の小型化をより確実に達成することができる。   In addition, a deflection extension means can be provided by adopting an element assembly 4 in which a plurality of reflecting portions A to F and N to S and a plurality of refracting portions G to M are arrayed and coupled in a row, or integrally formed. Since the configuration can be made compact, miniaturization of the laser radar device 1 can be achieved more reliably.

また、図4に示すように、各反射部A〜F、N〜S及び各屈折部G〜Mは、偏向装置3からの対応する入射光のベクトルaとその出射光のベクトルbとが成す角θが、反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mの配列の中心に近いものほど小さい。このため、素子集合体4からの光の偏向方向を、偏向装置3からの光の偏向方向が変化する場合と同様に、連続的に変化させることができる。   Further, as shown in FIG. 4, each of the reflecting portions A to F and N to S and each of the refracting portions G to M are formed by the vector a of the corresponding incident light from the deflecting device 3 and the vector b of the emitted light. The smaller the angle θ is, the closer to the center of the arrangement of the reflective portions A to F and N to S and the refractive portions G to M. Therefore, the deflection direction of the light from the element assembly 4 can be continuously changed as in the case where the deflection direction of the light from the deflection device 3 changes.

また、各反射部A〜F、N〜S及び各屈折部G〜Mは、偏向装置3からの対応する入射光を、基準となる1つの直線に垂直な方向に出射するように構成したので、該1つの直線に垂直な同一平面にほぼ含まれる範囲に、スキャン用の光を照射することができる。   In addition, since each of the reflecting portions A to F and N to S and each of the refracting portions G to M are configured to emit corresponding incident light from the deflecting device 3 in a direction perpendicular to one reference straight line. Light for scanning can be irradiated to a range substantially included in the same plane perpendicular to the one straight line.

また、各屈折部G〜M及び各反射部A〜F、N〜Sから出射される光の進路が基準となる1つの平面PL内に含まれるように、該進路の該平面に垂直な方向の位置を調整するプリズム15を該屈折部G〜M毎又は該反射部A〜F、N〜S毎に備えるので、平面PLに沿ってスキャンを行うことができる。   Also, a direction perpendicular to the plane of the light path such that the light path emitted from each of the refracting portions G to M and each of the reflecting portions A to F and N to S is included in one reference plane PL. Since the prisms 15 for adjusting the position of each of the refractive portions G to M or the reflective portions A to F and N to S are provided, scanning can be performed along the plane PL.

また、隣接する屈折部G〜M、又は反射部A〜F、N〜Sの間に光が当たらないように、偏向装置3における搖動反射面5の回転角度と光源2からの光の出力を制御するようにしたので、レーザレーダ装置1による光の照射及びこれに基づく情報の収集に不都合が生じるのを防止することができる。   In addition, the rotation angle of the peristaltic reflection surface 5 in the deflection device 3 and the output of the light from the light source 2 are set so that light does not hit between the adjacent refractive portions G to M or the reflection portions A to F and N to S. Since the control is performed, it is possible to prevent the occurrence of inconvenience in the irradiation of light by the laser radar device 1 and the collection of information based thereon.

以上本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、屈折部G〜M及び反射部A〜F、N〜Sの数は、上述の例に限定されることはない。この数を増大させることにより、レーザレーダ装置1による対象物検出の分解能を向上させることができる。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto. For example, the numbers of the refractive portions G to M and the reflective portions A to F and N to S are not limited to the above-described example. By increasing this number, the resolution of the object detection by the laser radar device 1 can be improved.

また、屈折部G〜M及び反射部A〜F、N〜SのZ軸方向の寸法を長くして、レーザレーダ装置1による観測領域をZ軸の方向に拡張し、三次元レーザレーダを実現するようにしてもよい。   Further, the dimension in the Z-axis direction of the refracting portions G to M and the reflecting portions A to F, N to S is elongated to expand the observation region by the laser radar device 1 in the direction of the Z axis, realizing a three-dimensional laser radar You may do it.

この場合、Z軸に平行な軸線の周りの360°のスキャン範囲に加え、搖動反射面5からの光が各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜Mを通過する毎に、X軸に平行な第1回転軸線6の周りについても、各反射部A〜F、N〜S及び屈折部G〜MのZ軸方向の寸法に対応する範囲が、順次スキャンされることになる。   In this case, in addition to the 360 ° scan range around an axis parallel to the Z axis, each time the light from the peristaltic reflective surface 5 passes through each of the reflecting portions A to F and N to S and the refracting portions G to M, A range corresponding to the dimension in the Z-axis direction of each of the reflecting portions A to F and N to S and the refracting portions G to M is sequentially scanned also around the first rotation axis 6 parallel to the X axis. .

1…レーザレーダ装置、2…光源、3…偏向装置、4…素子集合体、5…搖動反射面、6…第1回転軸線、11…ビームスプリッタ、12…受光装置、13…進路、14…プリズム群、15…プリズム、16…ミラー部、17…第1支持部、18a、18b…第1圧電アクチュエータ、19…第2支持部、20…第2回転軸線、21…第2圧電アクチュエータ、22…光源駆動回路、23…偏向装置駆動回路、24…検出回路、25…制御部、27…検出対象物、A〜F、N〜S…反射部、G〜M…屈折部、PL…平面。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... laser radar apparatus, 2 ... light source, 3 ... deflection apparatus, 4 ... element aggregate, 5 ... peristaltic reflective surface, 6 ... 1st axis of rotation, 11 ... beam splitter, 12 ... light receiving apparatus, 13 ... course, 14 ... Prism group 15 Prism 21 Mirror portion 17 First support portion 18a, 18b First piezoelectric actuator 19 Second support portion 20 Second rotational axis 21 Second piezoelectric actuator 22 ... light source drive circuit, 23 ... deflection device drive circuit, 24 ... detection circuit, 25 ... control unit, 27 ... detection object, A to F, N to S ... reflection portion, G to M ... refraction portion, PL ... plane.

Claims (7)

コヒーレント性を有する光を出力する光源と、
前記光源からの光を反射する搖動反射面を有し、該搖動反射面を第1回転軸線の周りで搖動させることにより、反射光を第1角度範囲内で偏向させながら、該光源からの光を反射する偏向装置と、
該偏向装置からの光の偏向の角度範囲を前記第1角度範囲よりも大きい第2角度範囲に拡げる偏向範囲拡張手段とを備え、
前記偏向範囲拡張手段は、
前記偏向装置からの複数の偏向方向の光のうちの一部の偏向方向の光をそれぞれの反射方向に反射する複数の反射部と、
前記偏向装置からの複数の偏向方向の光のうちの前記一部以外の偏向方向の光をそれぞれの屈折方向に屈折させる複数の屈折部とを備えることを特徴とするレーザレーダ装置。
A light source that outputs light having coherence;
A light from the light source is provided, having a peristaltic reflection surface that reflects the light from the light source, and deflecting the reflected light within a first angle range by swinging the peristaltic reflection surface around the first rotation axis. A deflector that reflects
And deflection range expansion means for expanding an angular range of deflection of light from the deflection device to a second angular range larger than the first angular range,
The deflection range extending means is
A plurality of reflecting portions for reflecting light in one of the plurality of deflection directions from the deflection device in the respective reflection directions;
A laser radar device comprising: a plurality of refracting portions for refracting light in deflection directions other than the part of the light in a plurality of deflection directions from the deflection device in respective refracting directions.
前記偏向範囲拡張手段は、前記複数の反射部及び前記複数の屈折部を一列に配列して有する素子集合体からなることを特徴とする請求項1に記載のレーザレーダ装置。   The laser radar device according to claim 1, wherein the deflection range extending means is an element assembly including the plurality of reflecting portions and the plurality of refracting portions arranged in a line. 前記素子集合体の配列中心側に前記複数の屈折部が配列され、該配列の両側に前記複数の反射部が配列されており、
各屈折部及び各反射部は、前記偏向装置からの対応する入射光のベクトルとその出射光のベクトルとが成す角が、前記配列の中心に近いものほど小さいことを特徴とする請求項2に記載のレーザレーダ装置。
The plurality of refracting portions are arrayed on the side of the array center of the element assembly, and the plurality of reflecting portions are arrayed on both sides of the array.
In each of the refracting portions and the reflecting portions, the angle formed by the vector of the corresponding incident light from the deflecting device and the vector of the outgoing light thereof is smaller as the angle is closer to the center of the array. The laser radar apparatus of description.
各反射部及び各屈折部は、前記偏向装置からの対応する入射光を、基準となる1つの直線に垂直な方向に出射するように構成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザレーダ装置。   Each of the reflectors and the refractors is configured to emit the corresponding incident light from the deflector in a direction perpendicular to one reference straight line. The laser radar device according to any one of the preceding claims. 各屈折部及び各反射部から出射される光の進路が基準となる1つの平面内に含まれるように、該進路の該平面に垂直な方向の位置を調整するプリズムを該屈折部毎又は該反射部毎に備えることを特徴とする請求項4に記載のレーザレーダ装置。   A prism for adjusting the position of the path in a direction perpendicular to the plane of each of the refractors or the refractor so that the course of the light emitted from each of the refractors and the reflectors is included in one reference plane. 5. The laser radar device according to claim 4, wherein each of the reflectors is provided. 隣接する前記屈折部又は前記反射部の間に光が当たらないように、前記偏向装置における搖動反射面の回転角度と前記光源からの光の出力を制御する制御部を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のレーザレーダ装置。   The control unit controls the rotation angle of the peristaltic reflection surface in the deflection device and the output of the light from the light source so that light does not hit between the adjacent refracting portion or the reflecting portion. The laser radar device according to any one of Items 1 to 5. 前記光源と前記偏向装置の搖動反射面との間に配置されたビームスプリッタと、
前記偏向装置からの戻り光のうち、前記ビームスプリッタにより分割された部分を観察するための受光装置とを備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のレーザレーダ装置。
A beam splitter disposed between the light source and the peristaltic reflective surface of the deflection device;
The laser radar device according to any one of claims 1 to 6, further comprising: a light receiving device for observing a part of the return light from the deflection device divided by the beam splitter.
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