JP2019052925A - Dryness measuring device and dryness measurement method - Google Patents

Dryness measuring device and dryness measurement method Download PDF

Info

Publication number
JP2019052925A
JP2019052925A JP2017176989A JP2017176989A JP2019052925A JP 2019052925 A JP2019052925 A JP 2019052925A JP 2017176989 A JP2017176989 A JP 2017176989A JP 2017176989 A JP2017176989 A JP 2017176989A JP 2019052925 A JP2019052925 A JP 2019052925A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
emitting element
light emitting
dryness
ambient temperature
inspection light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017176989A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
泰明 松儀
Yasuaki Matsugi
泰明 松儀
康博 五所尾
Yasuhiro Goshoo
康博 五所尾
アレクサンダー レクラーク
Leclerc Alexandre
アレクサンダー レクラーク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP2017176989A priority Critical patent/JP2019052925A/en
Publication of JP2019052925A publication Critical patent/JP2019052925A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

To correct dryness based on a change of emission intensity of a light-emitting element by a simple configuration.SOLUTION: The present invention comprises: a light-emitting element 102 for emitting inspection light having a wavelength absorbed by a saturation liquid; a light-emitting element 103 for emitting reference light having a wavelength hardly absorbed by a wet vapor; a piping 101, located within a given range to the light-emitting element 102 and light-emitting element 103, in which vapor flows and which the inspection light and reference light pass through; a light-receiving element 110 for receiving the inspection light and reference light having passed through the piping 101; a temperature sensor 1041 for measuring an ambient temperature Tof the light-emitting element 102 and light-emitting element 103; an absorbance calculation unit 1141 for calculating the absorbance Aof vapor from the received inspection light and reference light; and a dryness calculation unit 1142 for calculating the dryness z of vapor from the absorbance Aof vapor and the ambient temperature T.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、乾き度を測定する乾き度測定装置及び乾き度測定方法に関する。   The present invention relates to a dryness measuring apparatus and a dryness measuring method for measuring dryness.

従来から、近赤外光の光吸収により配管を流れる蒸気の乾き度を測定する技術が知られている(例えば特許文献1参照)。この特許文献1では、2つの発光素子を用いて、飽和液で吸収される波長を有する検査光と、湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光とを発光している。そして、配管の側壁に設けられた窓を介して検査光及び参照光を配管の内部に進入させ、配管を流れる蒸気を透過した検査光及び参照光を受光し、その光に基づいて乾き度を算出している。ここで、参照光を用いることで、配管の内部での反射、散乱及び屈折並びに配管の側壁に設けられた窓の汚れ等による検査光の損失を補正できる。
また、上記2つの発光素子により発光された検査光及び参照光(配管を流れる蒸気を透過する前の検査光及び参照光)をモニタし、その光も考慮して乾き度を補正することで、乾き度とは無関係に2つの発光素子の発光強度が変化した場合でも、乾き度を正確に測定可能となる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a technique for measuring the dryness of steam flowing through piping by light absorption of near infrared light is known (see, for example, Patent Document 1). In Patent Document 1, two light emitting elements are used to emit inspection light having a wavelength that is absorbed by a saturated liquid and reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by wet steam. Then, the inspection light and the reference light are made to enter the inside of the pipe through the window provided on the side wall of the pipe, the inspection light and the reference light transmitted through the pipe are received, and the dryness is determined based on the light. Calculated. Here, by using the reference light, it is possible to correct the loss of inspection light due to reflection, scattering, and refraction inside the pipe and dirt on a window provided on the side wall of the pipe.
In addition, by monitoring the inspection light and reference light emitted by the two light emitting elements (inspection light and reference light before transmitting the vapor flowing through the pipe), and correcting the dryness in consideration of the light, Even when the light emission intensity of the two light emitting elements changes regardless of the dryness, the dryness can be accurately measured.

特開2016−151572号公報JP 2006-151572 A

しかしながら、上記2つの発光素子により発光された検査光及び参照光(配管を流れる蒸気を透過する前の検査光及び参照光)をモニタし、その光に基づいて乾き度を補正する方法では、上記2つの発光素子の光路を分岐させてモニタを行う必要がある。そのため、この方法では、乾き度測定装置の構造が複雑となり、また、モニタ用の特殊な光ファイバ及び受光素子が必要になるという課題がある。   However, in the method of monitoring the inspection light and the reference light emitted by the two light emitting elements (the inspection light and the reference light before transmitting the vapor flowing through the pipe) and correcting the dryness based on the light, It is necessary to monitor by branching the optical paths of the two light emitting elements. Therefore, in this method, there is a problem that the structure of the dryness measuring apparatus is complicated and a special optical fiber and light receiving element for monitoring are required.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、簡易な構成で、発光素子の発光強度の変化に基づく乾き度の補正を行うことができる乾き度測定装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a dryness measuring apparatus capable of correcting dryness based on a change in light emission intensity of a light emitting element with a simple configuration. It is an object.

この発明に係る乾き度測定装置は、飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する検査光発光素子と、検査光発光素子により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する参照光発光素子と、検査光発光素子及び参照光発光素子に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該検査光発光素子により発光された検査光及び当該参照光発光素子により発光された参照光が透過する配管と、配管を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子と、検査光発光素子及び参照光発光素子の周辺温度を測定する周辺温度測定部と、受光素子により受光された検査光及び参照光に基づいて、配管を流れる蒸気の吸光度を算出する吸光度算出部と、吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、及び、周辺温度測定部により測定された周辺温度に基づいて、配管を流れる蒸気の乾き度を算出する乾き度算出部とを備えたことを特徴とする。   A dryness measuring apparatus according to the present invention includes an inspection light emitting element that emits inspection light having a wavelength that is absorbed by a saturated liquid, and a wavelength that is difficult to be absorbed by wet steam with respect to inspection light emitted by the inspection light emitting element. A reference light-emitting element that emits a reference light, and the inspection light-emitting element and the reference light-emitting element, which are located within a certain range with respect to the inspection light-emitting element and the reference light-emitting element. A pipe through which the reference light emitted by the reference light emitting element is transmitted, a light receiving element that receives the inspection light and the reference light transmitted through the pipe, and an ambient temperature measurement that measures the ambient temperature of the inspection light emitting element and the reference light emitting element. Based on the inspection light and the reference light received by the light receiving element, the absorbance calculation unit for calculating the absorbance of the vapor flowing through the pipe, the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculation unit, and the ambient temperature measurement Based on the measured ambient temperature by section, characterized in that a dryness fraction calculating unit for calculating the dryness of the steam flowing through the pipe.

この発明によれば、上記のように構成したので、簡易な構成で、発光素子の発光強度の変化に基づく乾き度の補正を行うことができる。   According to this invention, since it comprised as mentioned above, the dryness correction | amendment based on the change of the emitted light intensity of a light emitting element can be performed with a simple structure.

この発明の実施の形態1に係る乾き度測定装置の構成例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structural example of the dryness measuring apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 標準大気圧における水の状態変化を示すグラフである。It is a graph which shows the state change of the water in standard atmospheric pressure. 飽和蒸気及び飽和液の吸光スペクトルと乾き度との関係の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the relationship between the absorption spectrum of saturated vapor | steam and a saturated liquid, and dryness. この発明の実施の形態1における2つの発光素子の発光強度と順方向電圧との関係の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the relationship between the emitted light intensity of two light emitting elements and forward voltage in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1における2つの発光素子の順方向電圧と周辺温度との関係の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the relationship between the forward voltage of two light emitting elements and ambient temperature in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1に係る乾き度測定装置の動作例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation example of the dryness measuring apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態2に係る乾き度測定装置の構成例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structural example of the dryness measuring apparatus which concerns on Embodiment 2 of this invention. この発明の実施の形態3に係る乾き度測定装置の構成例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structural example of the dryness measuring apparatus which concerns on Embodiment 3 of this invention.

以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係る乾き度測定装置1の構成例を示す模式図である。
乾き度測定装置1は、配管101を流れる蒸気(冷媒等)の乾き度zを測定する。この乾き度測定装置1は、図1に示すように、配管101、発光素子(検査光発光素子)102、発光素子(参照光発光素子)103、駆動回路104、光導波路105、光導波路106、光合波器107、光導波路108、光導波路109、受光素子110、信号増幅分離回路111、温度センサ(蒸気温度測定部)112、データ記憶装置113、CPU114、入力装置115、出力装置116、プログラム記憶装置117及び一時記憶装置118を備えている。また、データ記憶装置113は、演算情報記憶部1131を有している。また、CPU114は、吸光度算出部1141、乾き度算出部1142、温度推定部(周辺温度推定部)1143及び不具合判定部1144を有している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of a dryness measuring apparatus 1 according to Embodiment 1 of the present invention.
The dryness measuring device 1 measures the dryness z of the steam (refrigerant etc.) flowing through the pipe 101. As shown in FIG. 1, the dryness measuring apparatus 1 includes a pipe 101, a light emitting element (inspection light emitting element) 102, a light emitting element (reference light emitting element) 103, a drive circuit 104, an optical waveguide 105, an optical waveguide 106, Optical multiplexer 107, optical waveguide 108, optical waveguide 109, light receiving element 110, signal amplification / separation circuit 111, temperature sensor (vapor temperature measuring unit) 112, data storage device 113, CPU 114, input device 115, output device 116, program storage A device 117 and a temporary storage device 118 are provided. In addition, the data storage device 113 includes a calculation information storage unit 1131. Further, the CPU 114 includes an absorbance calculation unit 1141, a dryness calculation unit 1142, a temperature estimation unit (ambient temperature estimation unit) 1143, and a failure determination unit 1144.

配管101は、耐熱性を有し、蒸気が流れる配管である。また、図1に示す配管101の側壁には、窓1011及び窓1012が設けられている。窓1011及び窓1012は対向配置されている。この窓1011及び窓1012は、例えば光透過性を有する耐熱ガラスから構成されたサイトグラスである。
なお、乾き度測定装置1が測定対象としている蒸気の流動様式は、配管101が水平配置の場合には層状流及び波状流であり、配管101が垂直配置の場合には環状流である。以下では、配管101が水平配置の場合を想定して説明を行うが、配管101が垂直配置の場合についても同様である。
The pipe 101 is a pipe having heat resistance and flowing steam. Further, a window 1011 and a window 1012 are provided on the side wall of the pipe 101 shown in FIG. The window 1011 and the window 1012 are arranged to face each other. The windows 1011 and 1012 are sight glasses made of heat-resistant glass having light permeability, for example.
In addition, the flow pattern of the vapor | steam which the dryness measuring apparatus 1 is measuring object is a laminar flow and a wave-like flow, when the piping 101 is horizontal arrangement | positioning, and when the piping 101 is vertical arrangement | positioning, it is an annular flow. The following description will be made assuming that the pipe 101 is horizontally arranged, but the same applies to the case where the pipe 101 is vertically arranged.

発光素子102は、飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する。なお、検査光はパルス光である。発光素子102としては発光ダイオード等が使用可能である。   The light emitting element 102 emits inspection light having a wavelength that is absorbed by the saturated liquid. The inspection light is pulsed light. As the light emitting element 102, a light emitting diode or the like can be used.

発光素子103は、発光素子102により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する。なお、参照光はパルス光である。また、発光素子103は、発光素子102の周辺に配置される。発光素子103としては発光ダイオード等が使用可能である。   The light emitting element 103 emits reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by the wet steam with respect to the inspection light emitted by the light emitting element 102. The reference light is pulsed light. The light emitting element 103 is disposed around the light emitting element 102. As the light emitting element 103, a light emitting diode or the like can be used.

なお、配管101と発光素子102及び発光素子103との間の距離は、一定の範囲内となるように設定されている。上記一定の範囲とは、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tが、配管101の内部の蒸気温度Tに伴って変化する範囲である。 Note that the distance between the pipe 101 and the light emitting element 102 and the light emitting element 103 is set to be within a certain range. The certain range is a range in which the ambient temperature T L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 changes with the vapor temperature T s inside the pipe 101.

駆動回路104は、発光素子102及び発光素子103を駆動する。また、駆動回路104は、信号増幅分離回路111に対し、検査光の光強度を示す信号と参照光の光強度を示す信号とを分離するための同期信号を出力する。この駆動回路104としては定電流駆動回路又は定電圧駆動回路等が使用可能である。
また、駆動回路104は、図1に示すように、温度センサ(周辺温度測定部)1041を有している。温度センサ1041は、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを測定する。
The drive circuit 104 drives the light emitting element 102 and the light emitting element 103. In addition, the drive circuit 104 outputs a synchronization signal for separating a signal indicating the light intensity of the inspection light and a signal indicating the light intensity of the reference light to the signal amplification / separation circuit 111. As the drive circuit 104, a constant current drive circuit or a constant voltage drive circuit can be used.
Further, as shown in FIG. 1, the drive circuit 104 has a temperature sensor (ambient temperature measurement unit) 1041. The temperature sensor 1041 measures the ambient temperature TL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103.

光導波路105は、発光素子102により発光された検査光を光合波器107に伝搬する。光導波路105は、一端が発光素子102の出力部に対向配置され、他端が光合波器107の入力部に対向配置されている。   The optical waveguide 105 propagates the inspection light emitted by the light emitting element 102 to the optical multiplexer 107. One end of the optical waveguide 105 is disposed to face the output portion of the light emitting element 102, and the other end is disposed to face the input portion of the optical multiplexer 107.

光導波路106は、発光素子103により発光された参照光を光合波器107に伝搬する。光導波路106は、一端が発光素子103の出力部に対向配置され、他端が光合波器107の入力部に対向配置されている。   The optical waveguide 106 propagates the reference light emitted from the light emitting element 103 to the optical multiplexer 107. One end of the optical waveguide 106 is disposed to face the output portion of the light emitting element 103, and the other end is disposed to face the input portion of the optical multiplexer 107.

光合波器107は、光導波路105により伝搬された検査光と光導波路106により伝搬された参照光とを合波する。   The optical multiplexer 107 multiplexes the inspection light propagated by the optical waveguide 105 and the reference light propagated by the optical waveguide 106.

光導波路108は、光合波器107により合波された光(検査光及び参照光)を配管101に伝搬する。光導波路108は、一端が光合波器107の出力部に対向配置され、他端が配管101に設けられた窓1011の外面に対向配置されている。また、光導波路108の他端と窓1011の外面との間に、コリメータレンズを配置してもよい。   The optical waveguide 108 propagates the light (inspection light and reference light) combined by the optical multiplexer 107 to the pipe 101. One end of the optical waveguide 108 is disposed to face the output portion of the optical multiplexer 107, and the other end is disposed to face the outer surface of the window 1011 provided in the pipe 101. A collimator lens may be disposed between the other end of the optical waveguide 108 and the outer surface of the window 1011.

光導波路109は、一端が配管101を介して光導波路108の他端に対向配置され、配管101の内部からの光を受光素子110に伝搬する。光導波路109は、一端が配管101に設けられた窓1012の外面に対向配置され、他端が受光素子110の入力部に対向配置されている。また、光導波路109の一端と窓1012の外面との間に、光導波路109に配管101の内部からの光を入射させるレンズを配置してもよい。   One end of the optical waveguide 109 is disposed opposite to the other end of the optical waveguide 108 via the pipe 101, and propagates light from the inside of the pipe 101 to the light receiving element 110. The optical waveguide 109 has one end opposed to the outer surface of the window 1012 provided in the pipe 101 and the other end opposed to the input portion of the light receiving element 110. Further, a lens that allows light from the inside of the pipe 101 to enter the optical waveguide 109 may be disposed between one end of the optical waveguide 109 and the outer surface of the window 1012.

なお、光導波路105、光導波路106、光導波路108及び光導波路109としては、ポリメタクリル酸メチル樹脂(PMMA:Polymethyl Methacrylate)等のプラスチックから成るシングルコア光ファイバ、又は、石英ガラス等のガラスから成るシングルコア光ファイバ等が使用可能であるが、光を伝搬可能であればよく、これらに限定されない。   The optical waveguide 105, the optical waveguide 106, the optical waveguide 108, and the optical waveguide 109 are made of a single core optical fiber made of plastic such as polymethyl methacrylate (PMMA) or glass such as quartz glass. A single-core optical fiber or the like can be used, but is not limited to this as long as it can propagate light.

受光素子110は、光導波路109により伝搬された光(検査光及び参照光)を受光する。そして、受光素子110は、受光した光の光強度に応じた信号を出力する。受光素子110としてはフォトダイオード等の光強度検出素子が使用可能である。   The light receiving element 110 receives light (inspection light and reference light) propagated through the optical waveguide 109. The light receiving element 110 outputs a signal corresponding to the light intensity of the received light. As the light receiving element 110, a light intensity detecting element such as a photodiode can be used.

信号増幅分離回路111は、受光素子110により出力された信号を増幅し、駆動回路104からの同期信号に基づいて、増幅した信号を検出光の光強度を示す信号と参照光の光強度を示す信号とに分離する。この信号増幅分離回路111により分離された各信号はCPU114に出力される。   The signal amplifying / separating circuit 111 amplifies the signal output from the light receiving element 110, and based on the synchronization signal from the driving circuit 104, the amplified signal indicates a signal indicating the light intensity of the detection light and a light intensity of the reference light. Separated into signal. Each signal separated by the signal amplification / separation circuit 111 is output to the CPU 114.

温度センサ112は、配管101の内部の蒸気温度Tを測定する。 The temperature sensor 112 measures the steam temperature T s inside the pipe 101.

演算情報記憶部1131は、CPU114で実施される演算で用いられる情報を記憶する。演算情報記憶部1131には、例えば、蒸気の吸光度Aと乾き度zとの関係を示す情報、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化を補正するための関数f(T,T)を示す情報、及び、周辺温度Tと蒸気温度Tとの関係を示す情報等が記憶される。 The calculation information storage unit 1131 stores information used in calculations performed by the CPU 114. The calculation information storage unit 1131, for example, information indicating the relationship between the absorbance A s and the dryness z steam, the function f (T L for correcting the variation of the emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103, T Information indicating s ), information indicating the relationship between the ambient temperature T L and the steam temperature T s, and the like are stored.

吸光度算出部1141は、受光素子110により受光された光に基づいて、配管101を流れる蒸気の吸光度Aを算出する。
乾き度算出部1142は、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、温度センサ1041により測定された周辺温度T、及び、温度センサ112により測定された蒸気温度Tに基づいて、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する。
Absorbance calculation section 1141 based on the light received by the light receiving element 110, and calculates the absorbance A s of the steam flowing through the pipe 101.
Dryness fraction calculating unit 1142, the absorbance of the vapor is calculated by the absorbance calculation section 1141 A s, the peripheral measured by the temperature sensor 1041 temperature T L, and, based on the steam temperature T s which is measured by the temperature sensor 112, The dryness z of the steam flowing through the pipe 101 is calculated.

温度推定部1143は、温度センサ112により測定された蒸気温度Tに基づいて、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを推定する。
不具合判定部1144は、温度センサ1041により測定された周辺温度Tを温度推定部1143により推定された周辺温度Tと比較することで、不具合の有無を判定する。
なお、温度推定部1143及び不具合判定部1144は必須の構成ではなく、乾き度測定装置1から取除いてもよい。
The temperature estimation unit 1143 estimates the ambient temperature T L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 based on the vapor temperature T s measured by the temperature sensor 112.
The defect determination unit 1144 determines the presence or absence of a defect by comparing the ambient temperature TL measured by the temperature sensor 1041 with the ambient temperature TL estimated by the temperature estimation unit 1143.
Note that the temperature estimation unit 1143 and the failure determination unit 1144 are not essential components, and may be removed from the dryness measuring apparatus 1.

入力装置115は、演算情報記憶部1131に記憶される情報のユーザ入力を受付ける。入力装置115としてはスイッチ及びキーボード等が使用可能である。
出力装置116は、乾き度算出部1142により算出された乾き度zを示す情報を出力する。出力装置116としては、光インジケータ、デジタルインジケータ及び液晶表示装置等が使用可能である。
プログラム記憶装置117は、CPU114に接続された装置間のデータ送受信等をCPU114に実行させるためのプログラムを記憶する。
一時記憶装置118は、CPU114の演算過程でのデータを一時的に記憶する。
The input device 115 accepts user input of information stored in the calculation information storage unit 1131. As the input device 115, a switch, a keyboard, and the like can be used.
The output device 116 outputs information indicating the dryness z calculated by the dryness calculation unit 1142. As the output device 116, a light indicator, a digital indicator, a liquid crystal display device, or the like can be used.
The program storage device 117 stores a program for causing the CPU 114 to execute data transmission / reception between devices connected to the CPU 114.
The temporary storage device 118 temporarily stores data in the calculation process of the CPU 114.

次に、実施の形態1に係る乾き度測定装置1による乾き度zの算出方法について説明する。
図2に示すように、標準大気圧下においては、水は沸点(100℃)に達した後、飽和蒸気(蒸気)と飽和液(水)とが混合した湿り蒸気となる。蒸気の圧力Pが一定である場合、蒸気の加熱及び冷却により潜熱が変化するため、飽和温度は一定となる。ここで、下式(1)のように、乾き度zは、湿り蒸気全量に対する飽和蒸気の質量比で表される。したがって、飽和蒸気の乾き度zは1となり、飽和液の乾き度zは0となる。
z=mvapor/(mvapor+mwater) (1)
なお、式(1)において、mvaporは蒸気中の飽和蒸気の質量を表し、mwaterは蒸気中の飽和液の質量を表す。
Next, a method for calculating the dryness z by the dryness measuring apparatus 1 according to the first embodiment will be described.
As shown in FIG. 2, under standard atmospheric pressure, water reaches a boiling point (100 ° C.) and then becomes wet steam in which saturated steam (steam) and saturated liquid (water) are mixed. When the steam pressure P is constant, the saturation temperature is constant because the latent heat changes due to the heating and cooling of the steam. Here, as in the following formula (1), the dryness z is represented by the mass ratio of saturated steam to the total amount of wet steam. Therefore, the dryness z of saturated steam is 1, and the dryness z of saturated liquid is 0.
z = m vapor / (m vapor + m water ) (1)
In formula (1), m vapor represents the mass of the saturated vapor in the vapor, and m water represents the mass of the saturated liquid in the vapor.

ここで、蒸気中の飽和蒸気の質量mvaporは、蒸気中の飽和蒸気の吸光度avaporに比例する。また、蒸気中の飽和液の質量mwaterは、蒸気中の飽和液の吸光度awaterに比例する。そのため、式(1)から下式(2)が導かれる。
z=mvapor/(mvapor+mwater
=avapor/(avapor+k×awater) (2)
なお、式(2)において、kはモル吸光係数比を表す。
Here, the mass m vapor of the saturated vapor in the vapor is proportional to the absorbance a vapor of the saturated vapor in the vapor . Further, the mass m water of the saturated liquid in the vapor is proportional to the absorbance a water of the saturated liquid in the vapor. Therefore, the following formula (2) is derived from the formula (1).
z = m vapor / (m vapor + m water )
= A vapor / (a vapor + k × a water ) (2)
In the formula (2), k represents a molar extinction coefficient ratio.

また、モル吸光係数比kは下式(3)で与えられる。
k≒evapor/ewater (3)
なお、式(3)において、evaporは蒸気中の飽和蒸気の吸光係数を表し、ewaterは蒸気中の飽和液の吸光係数を表す。
The molar extinction coefficient ratio k is given by the following formula (3).
k ≒ e vapor / e water (3)
In equation (3), e vapor represents the extinction coefficient of the saturated vapor in the vapor, and e water represents the extinction coefficient of the saturated liquid in the vapor.

また、蒸気の吸光度Aは、下式(4)のように、蒸気中の飽和蒸気の吸光度avaporと蒸気中の飽和液の吸光度awaterとの和で与えられる。
=avapor+awater (4)
Also, the absorbance A s of the vapor, as in the following equation (4) is given by the sum of the absorbance a water saturated solution of absorbance a Vapor and vapor of the saturated vapor in the vapor.
A s = a vapor + a water (4)

一方、検査光を用いて蒸気の吸光度A’を求めることもできる。この蒸気の吸光度A’は、ランベルト・ベールの法則により、下式(5)のように、蒸気を透過する前又は蒸気が存在しない場合での検査光の光強度Isteam0に対する、蒸気を透過した後の検査光の光強度Isteam1の比の対数で与えられる。
’=−ln(Isteam1/Isteam0) (5)
On the other hand, the absorbance A s ′ of the vapor can be obtained using the inspection light. The absorbance A s ′ of the vapor is transmitted through the vapor with respect to the light intensity I steam0 of the inspection light before the vapor is transmitted or when there is no vapor, according to Lambert Beer's law, as shown in the following formula (5). Is obtained as a logarithm of the ratio of the light intensity I steam1 of the inspection light.
A s ′ = −ln (I steam1 / I steam0 ) (5)

図3に示すように、飽和蒸気の吸収スペクトル301と飽和液の吸収スペクトル302とは異なり、蒸気の乾き度zが変化すると蒸気中の飽和液の吸収スペクトル302が変化する。例えば、乾き度zが0から1に向かって変化するにつれて蒸気中の飽和液の含有量は減少するので、飽和液の吸収スペクトル302のピーク波長における蒸気の吸光度Aも減少する。なお図3において、符号303は、蒸気の吸光スペクトルを示している。飽和液の吸収スペクトル302のピーク波長は、1880nm付近である。
なお、湿り蒸気においては、飽和蒸気の体積が飽和液の体積より非常に大きい。よって、蒸気温度T(又は圧力P)が一定であれば飽和蒸気の吸光度avaporは一定とみなすことができ、飽和蒸気の吸光度avaporを蒸気温度T(又は圧力P)から導くことができる。
As shown in FIG. 3, unlike the absorption spectrum 301 of saturated vapor and the absorption spectrum 302 of saturated liquid, the absorption spectrum 302 of saturated liquid in the steam changes when the dryness z of the steam changes. For example, the content of the saturated liquid in the vapor as dryness of z varies toward 0 to 1 due to the reduced, also reduced the absorbance A s of the vapor at the peak wavelength of the absorption spectrum 302 of saturated liquid. In FIG. 3, reference numeral 303 denotes a vapor absorption spectrum. The peak wavelength of the absorption spectrum 302 of the saturated liquid is around 1880 nm.
In wet steam, the volume of saturated steam is much larger than the volume of saturated liquid. Therefore, the absorbance a Vapor saturated steam if the steam temperature T s (or pressure P) is constant can be regarded as constant, that guide the absorbance a Vapor saturated steam from the steam temperature T s (or pressure P) it can.

一方、図3に示すように、乾き度測定装置1から配管101の内部に進入した検査光304のうちの一部の光305は、配管101の内部における飽和液の層状流又は波状流によって反射、散乱及び屈折等され、検査光304は損失する。また、配管101に設けられた窓1011及び窓1012が汚れている場合にも、上記検査光304の一部は損失する。よって、これらの損失の分、検査光304を用いて算出した蒸気の吸光度A’は、蒸気の吸光度Aからずれる。そこで、参照光306を用いて算出した蒸気の吸光度Aにより、上記反射、散乱及び屈折並びに窓1011及び窓1012の汚れ等による検査光304の損失を補正する。なお図3において、光307は、参照光306のうちの、配管101の内部における飽和液の層状流又は波状流によって反射、散乱及び屈折等した光を示している。また図3において、光304〜307の幅は、光強度の強弱を表している。 On the other hand, as shown in FIG. 3, a part of the inspection light 304 that has entered the inside of the pipe 101 from the dryness measuring apparatus 1 is reflected by a laminar flow or a wave-like flow of saturated liquid inside the pipe 101. The inspection light 304 is lost due to scattering, refraction, and the like. Even when the window 1011 and the window 1012 provided in the pipe 101 are dirty, a part of the inspection light 304 is lost. Therefore, minute these losses, the absorbance A s of the vapor is calculated using an inspection light 304 'is offset from the absorbance A s of steam. Therefore, the absorbance A r of was calculated using the reference beam 306 vapor, to correct the loss of the inspection light 304 due to contamination or the like of the reflection, scattering and refraction, as well as the window 1011 and window 1012. In FIG. 3, light 307 indicates light of the reference light 306 that is reflected, scattered, refracted, or the like by the laminar flow or wave flow of the saturated liquid inside the pipe 101. In FIG. 3, the width of light 304 to 307 represents the intensity of light intensity.

ここで、蒸気の吸光度Aは、ランベルト・ベールの法則により、下式(6)のように、蒸気を透過する前又は蒸気が存在しない場合での参照光の光強度Iref0に対する、蒸気を透過した後の参照光の光強度Iref1の比の対数で与えられる。
=−ln(Iref1/Iref0) (6)
Here, the absorbance A r of the steam, by the Lambert-Beer law, as in the following equation (6), the reference light in the absence of a prior or vapor passes through the vapor to light intensity I ref0, steam It is given by the logarithm of the ratio of the light intensity I ref1 of the reference light after passing through.
A r = −ln (I ref1 / I ref0 ) (6)

そして、下式(7)のように、検査光を用いて算出した蒸気の吸光度A’から、参照光を用いて算出した蒸気の吸光度Aを差し引く。これにより、配管101の内部における反射、散乱及び屈折並びに窓1011及び窓1012の汚れ等による検査光の損失を補正でき、蒸気の吸光度Aを得ることができる。
=A’−A (7)
Then, as in the following equation (7), from the absorbance A s' of the calculated steam using the inspection light, subtracting the absorbance A r of the vapor is calculated using the reference light. Thus, reflection in the interior of the pipe 101, can be corrected loss of the inspection light due to contamination or the like of scattering and refraction, as well as the window 1011 and window 1012, it is possible to obtain the absorbance A s of steam.
A s = A s ' −A r (7)

そして、乾き度zは、式(2)及び式(4)から下式(8)のようにも導かれる。
z=1/(1−k+(k/avapor)×A×f(T,T)) (8)
なお、式(8)において、f(T,T)は、周辺温度T及び蒸気温度Tを変数とする関数であり、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化を補正するための関数である。この関数f(T,T)は、事前に、周辺温度T及び蒸気温度Tを変えながら発光素子102及び発光素子103の発光強度を測定する等して得ることができる。
The dryness z is also derived from the formula (2) and the formula (4) as in the following formula (8).
z = 1 / (1−k + (k / a vapor ) × A s × f (T L , T s )) (8)
In Expression (8), f (T L , T s ) is a function having the ambient temperature T L and the vapor temperature T s as variables, and corrects changes in the light emission intensity of the light emitting elements 102 and 103. Is a function for This function f (T L , T s ) can be obtained in advance by measuring the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 while changing the ambient temperature T L and the vapor temperature T s .

また、式(8)において、モル吸光係数比kは定数である。また、上述したように、飽和蒸気の吸光度avaporは一定の蒸気温度T(又は一定の圧力P)の下では一定とみなせるため、飽和蒸気の吸光度avaporは蒸気温度T(又は圧力P)から導くことができる。そのため、蒸気の吸光度A及び関数f(T,T)を算出することで、式(8)から乾き度zを算出できる。 In the formula (8), the molar extinction coefficient ratio k is a constant. Further, as described above, the absorbance a vapor of the saturated vapor can be regarded as constant under a constant vapor temperature T s (or a constant pressure P), so the absorbance a vapor of the saturated vapor is equal to the vapor temperature T s (or the pressure P ) Can be derived from. Therefore, by calculating the vapor absorbance A s and function f (T L, T s), it can be calculated dryness of z from Equation (8).

ここで、従来の乾き度測定装置では、2つの発光素子により発光された検査光及び参照光(配管を流れる蒸気を透過する前の検査光及び参照光)をモニタして、その光に基づいて乾き度zを補正している。この方法では、乾き度測定装置の構造が複雑となり、また、モニタ用の特殊な光ファイバ及び受光素子が必要になる。   Here, in the conventional dryness measuring apparatus, the inspection light and the reference light emitted by the two light emitting elements are monitored, and based on the light. The dryness z is corrected. This method complicates the structure of the dryness measuring apparatus and requires a special optical fiber and light receiving element for monitoring.

一方、例えば図4に示すように、発光素子102及び発光素子103の発光強度は、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vに依存する。また、例えば図5に示すように、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vは、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tに依存する。なお図4に示す発光強度は、基準値からの変化率を示している。また、発光素子102及び発光素子103は配管101の近くに配置されており、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tは配管101の内部の蒸気温度Tに依存する。すなわち、発光素子102及び発光素子103の発光強度は、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tの影響を受ける。また、発光素子102及び発光素子103の発光強度は、配管101の内部の蒸気温度Tの影響を受けるとも言える。なお、配管101の内部の蒸気温度Tは150℃程度である。また、この蒸気温度Tは、従来の乾き度測定装置においても必須のものとして測定している。
そこで、実施の形態1に係る乾き度測定装置1では、上記周辺温度T及び蒸気温度Tを測定し、その測定結果に基づいて発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化(関数f(T,T))を推定し、その変化に応じて乾き度zを補正する。これにより、従来構成に対して簡易な構成で、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化に基づく乾き度zの補正を行うことができる。
On the other hand, for example, as shown in FIG. 4, the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 depends on the forward voltage VL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. For example, as shown in FIG. 5, the forward voltage V L of the light emitting element 102 and the light-emitting element 103 depends on the ambient temperature T L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. Note that the emission intensity shown in FIG. 4 indicates the rate of change from the reference value. In addition, the light emitting element 102 and the light emitting element 103 are disposed near the pipe 101, and the ambient temperature TL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 depends on the vapor temperature T s inside the pipe 101. That is, the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 is affected by the ambient temperature TL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. It can also be said that the light emission intensities of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 are affected by the vapor temperature T s inside the pipe 101. Note that the steam temperature T s inside the pipe 101 is about 150 ° C. In addition, this steam temperature T s is measured as an essential factor in a conventional dryness measuring apparatus.
Therefore, the dryness measuring apparatus 1 according to Embodiment 1 measures the ambient temperature T L and the vapor temperature T s , and changes in the emission intensity (function f) of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 based on the measurement results. (T L , T s )) is estimated, and the dryness z is corrected according to the change. Accordingly, it is possible to correct the dryness z based on the change in the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 with a simple structure compared to the conventional structure.

次に、実施の形態1に係る乾き度測定装置1の動作例について、図6を参照しながら説明する。
実施の形態1に係る乾き度測定装置1の動作例では、図6に示すように、まず、発光素子102が、飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する(ステップST601)。発光素子102により発光された検査光は、光導波路105を介して光合波器107に伝搬する。
ここで、発光素子102により発光される検査光は、例えば、波長領域が800〜2500nmの近赤外光である。図3に示すように、検査光304の中心波長を、飽和液の吸収スペクトル302のピーク波長(1880nm付近)としてもよい。
Next, an operation example of the dryness measuring apparatus 1 according to Embodiment 1 will be described with reference to FIG.
In the operation example of the dryness measuring apparatus 1 according to Embodiment 1, as shown in FIG. 6, first, the light emitting element 102 emits inspection light having a wavelength that is absorbed by the saturated liquid (step ST601). The inspection light emitted by the light emitting element 102 propagates to the optical multiplexer 107 via the optical waveguide 105.
Here, the inspection light emitted by the light emitting element 102 is, for example, near infrared light having a wavelength region of 800 to 2500 nm. As shown in FIG. 3, the center wavelength of the inspection light 304 may be the peak wavelength (near 1880 nm) of the absorption spectrum 302 of the saturated liquid.

また、発光素子103が、発光素子102により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する(ステップST602)。発光素子103により発光された参照光は、光導波路106を介して光合波器107に伝搬する。ここで、湿り蒸気に吸収され難い波長とは、例えば1300nm未満の波長である(図3参照)。   In addition, the light emitting element 103 emits reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by the wet steam with respect to the inspection light emitted by the light emitting element 102 (step ST602). The reference light emitted from the light emitting element 103 propagates to the optical multiplexer 107 via the optical waveguide 106. Here, the wavelength that is difficult to be absorbed by the wet steam is, for example, a wavelength of less than 1300 nm (see FIG. 3).

なお、発光素子102及び発光素子103の駆動は、駆動回路104により制御される。また、駆動回路104は、信号増幅分離回路111に対し、検査光の光強度を示す信号と参照光の光強度を示す信号とを分離するための同期信号を出力する。   Note that driving of the light-emitting element 102 and the light-emitting element 103 is controlled by the drive circuit 104. In addition, the drive circuit 104 outputs a synchronization signal for separating a signal indicating the light intensity of the inspection light and a signal indicating the light intensity of the reference light to the signal amplification / separation circuit 111.

次いで、光合波器107が、光導波路105により伝搬された検査光と光導波路106により伝搬された参照光とを合波する(ステップST603)。光合波器107により合波された光(検査光及び参照光)は、光導波路108を介して配管101の内部に進入し、配管101を流れる蒸気を透過した後、光導波路109を介して受光素子110に伝搬する。   Next, the optical multiplexer 107 multiplexes the inspection light propagated through the optical waveguide 105 and the reference light propagated through the optical waveguide 106 (step ST603). The light (inspection light and reference light) combined by the optical multiplexer 107 enters the pipe 101 through the optical waveguide 108, passes through the vapor flowing through the pipe 101, and then receives the light through the optical waveguide 109. Propagate to element 110.

ここで、光導波路108の他端から発せられた光に含まれる検査光は、配管101の内部において、蒸気中の飽和液によって吸収される。また上述したように、蒸気中の飽和液は、乾き度zが0から1に近づくにつれて減少する。したがって、乾き度zが0から1に近づくにつれて、蒸気の吸光度Aは低下する傾向にある。 Here, the inspection light contained in the light emitted from the other end of the optical waveguide 108 is absorbed by the saturated liquid in the vapor inside the pipe 101. Further, as described above, the saturated liquid in the steam decreases as the dryness z approaches 0 to 1. Therefore, as the dryness fraction z approaches from 0 to 1, the absorbance A s of the vapor tends to decrease.

また、光導波路108の他端から発せられた光のうちの一部は、配管101の内部における飽和液の層状流又は波状流によって反射、散乱及び屈折等され、当該光は損失する。また、配管101に設けられた窓1011及び窓1012が汚れている場合にも、上記光の一部は損失する。ここで、上記反射、散乱及び屈折並びに窓1011及び窓1012の汚れ等による検査光の損失量は、参照光の損失量と略同一である。   A part of the light emitted from the other end of the optical waveguide 108 is reflected, scattered, refracted, etc. by the laminar flow or wave flow of the saturated liquid inside the pipe 101, and the light is lost. Also, when the window 1011 and the window 1012 provided in the pipe 101 are dirty, a part of the light is lost. Here, the loss amount of the inspection light due to the reflection, scattering, refraction, and dirt of the window 1011 and the window 1012 is substantially the same as the loss amount of the reference light.

次いで、受光素子110が、光導波路109により伝搬された光(検査光及び参照光)を受光する(ステップST604)。そして、受光素子110は、受光した光の光強度に応じた信号を出力する。そして、信号増幅分離回路111は、受光素子110により出力された信号を増幅し、駆動回路104からの同期信号に基づいて、増幅した信号を検出光の光強度を示す信号と参照光の光強度を示す信号とに分離する。   Next, the light receiving element 110 receives light (inspection light and reference light) propagated through the optical waveguide 109 (step ST604). The light receiving element 110 outputs a signal corresponding to the light intensity of the received light. The signal amplifying / separating circuit 111 amplifies the signal output from the light receiving element 110, and based on the synchronization signal from the driving circuit 104, the amplified signal is a signal indicating the light intensity of the detection light and the light intensity of the reference light. It separates into the signal which shows.

また、温度センサ1041が、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを測定する(ステップST605)。
また、温度センサ112が、配管101の内部の蒸気温度Tを測定する(ステップST606)。
Further, the temperature sensor 1041 measures the ambient temperature TL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 (step ST605).
The temperature sensor 112 measures the steam temperature T s of the inner pipe 101 (step ST606).

次いで、吸光度算出部1141が、受光素子110により受光された光に基づいて、配管101を流れる蒸気の吸光度Aを算出する(ステップST607)。 Then, the absorbance calculation section 1141, based on the light received by the light receiving element 110, and calculates the absorbance A s of the steam flowing through the pipe 101 (step ST 607).

この際、吸光度算出部1141は、まず、信号増幅分離回路111から、受光素子110により受光された検査光の光強度Isteam1(測定値)を示す信号及び参照光の光強度Iref1(測定値)を示す信号を受信する。
次に、吸光度算出部1141は、検査光の光強度Isteam1に基づいて、例えば式(5)に従い、蒸気の吸光度A’を算出する。なお、蒸気を透過する前又は配管101に蒸気が流れていない場合での検査光の光強度Isteam0は、事前に測定された値を定数として用いてもよい。
At this time, the absorbance calculation section 1141, first, the signal from the amplitude separating circuit 111, the signal and reference light intensity I ref1 (measured value showing the light intensity I steam1 (measured value) of the inspection light received by the light receiving element 110 ) Is received.
Next, the absorbance calculation unit 1141 calculates the absorbance A s ′ of the vapor according to, for example, the equation (5) based on the light intensity I steam1 of the inspection light. Note that a value measured in advance may be used as a constant for the light intensity I steam0 of the inspection light before passing through the steam or when the steam is not flowing through the pipe 101.

同様に、吸光度算出部1141は、参照光の光強度Iref1に基づいて、例えば式(6)に従い、蒸気の吸光度Aを算出する。なお、蒸気を透過する前又は配管101に蒸気が流れていない場合での参照光の光強度Iref0は、事前に測定された値を定数として用いてもよい。 Similarly, the absorbance calculation section 1141, based on the reference light intensity I ref1, for example in accordance with Equation (6), to calculate the absorbance A r of the steam. Note that the light intensity I ref0 of the reference light before passing through the steam or when the steam is not flowing through the pipe 101 may use a value measured in advance as a constant.

次に、吸光度算出部1141は、例えば式(7)に従い、検査光を用いて算出した蒸気の吸光度A’から、参照光を用いて算出した蒸気の吸光度Aを差し引くことで、吸光度Aを算出する。 Next, the absorbance calculation section 1141, for example, according to Equation (7), by subtracting the absorbance A r of the vapor is calculated using the absorbance A s' of the calculated steam using the inspection light, the reference light, absorbance A s is calculated.

次いで、乾き度算出部1142が、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、温度センサ1041により測定された周辺温度T、及び、温度センサ112により測定された蒸気温度Tに基づいて、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する(ステップST608)。 Next, the dryness calculation unit 1142 is based on the vapor absorbance A s calculated by the absorbance calculation unit 1141, the ambient temperature T L measured by the temperature sensor 1041, and the vapor temperature T s measured by the temperature sensor 112. Then, the dryness z of the steam flowing through the pipe 101 is calculated (step ST608).

この際、乾き度算出部1142は、まず、吸光度算出部1141から、蒸気の吸光度Aを示す情報を受信する。また、乾き度算出部1142は、温度センサ1041から周辺温度T(測定値)を示す情報を受信する。また、乾き度算出部1142は、温度センサ112から蒸気温度T(測定値)を示す情報を受信する。 At this time, the dryness degree calculation unit 1142, first, the absorbance calculation section 1141 receives the information indicating the absorbance A s of steam. Further, the dryness calculating unit 1142 receives information indicating the ambient temperature T L (measured value) from the temperature sensor 1041. In addition, the dryness calculation unit 1142 receives information indicating the steam temperature T s (measured value) from the temperature sensor 112.

次に、乾き度算出部1142は、周辺温度T及び蒸気温度Tに基づいて、関数f(T,T)を算出する。
次に、乾き度算出部1142は、例えば式(8)に対し、蒸気の吸光度Aの値と、算出した関数f(T,T)の値とを代入して、乾き度zを算出する。なお式(8)における飽和蒸気の吸光度avaporは、蒸気温度Tから導く。
Next, the dryness calculation unit 1142 calculates a function f (T L , T s ) based on the ambient temperature T L and the steam temperature T s .
Next, the dryness calculating unit 1142, for example, with respect to formula (8), the value of the absorbance A s of steam, calculated function f (T L, T s) by substituting the value of the dryness fraction z calculate. Note that the absorbance a vapor of the saturated vapor in the equation (8) is derived from the vapor temperature T s .

また、温度推定部1143が、温度センサ112により測定された蒸気温度Tに基づいて、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを推定する(ステップST609)。なお、蒸気温度Tと周辺温度Tとの関係は、事前に、蒸気温度Tを変えながら周辺温度Tを測定する等して得ることができ、温度推定部1143は、この情報を元に周辺温度Tの推定を行う。例えば、発光素子102及び発光素子103が配管101の直近に配置されている場合には、周辺温度Tは蒸気温度Tに対してほぼ比例する。 The temperature estimation unit 1143, based on the steam temperature T s which is measured by the temperature sensor 112, to estimate the ambient temperature T L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 (step ST609). The relationship between the steam temperature T s and the ambient temperature TL can be obtained in advance by measuring the ambient temperature TL while changing the steam temperature T s , and the temperature estimation unit 1143 obtains this information. First, the ambient temperature TL is estimated. For example, when the light emitting element 102 and the light emitting element 103 is disposed in the immediate vicinity of the pipe 101, the ambient temperature T L is approximately proportional to the steam temperature T s.

次いで、不具合判定部1144が、温度センサ1041により測定された周辺温度Tを温度推定部1143により推定された周辺温度Tと比較することで、不具合の有無を判定する(ステップST610)。ここで、不具合判定部1144は、測定された周辺温度Tが推定された周辺温度Tに対して閾値以上乖離していると判定した場合には、乾き度測定装置1に不具合が発生したと判定する。 Then, fault determination unit 1144, is compared with the ambient temperature T L which is estimated by the temperature estimation unit 1143 of the ambient temperature T L measured by the temperature sensor 1041 determines the presence or absence of defects (step ST 610). Here, when the malfunction determination unit 1144 determines that the measured ambient temperature TL is more than the threshold value with respect to the estimated ambient temperature TL , a malfunction has occurred in the dryness measurement apparatus 1. Is determined.

ここで、実施の形態1に係る乾き度測定装置1では、検査光及び参照光を合波した後、光導波路108の他端から配管101の内部に照射する。これにより、配管101の内部における検査光の光路及び参照光の光路はほぼ同じとなる。ここで、配管101の内部における検査光の光路及び参照光の光路が異なる場合、配管101の内部の乾き度zを正確に測定できないことがありうる。これに対し、実施の形態1に係る乾き度測定装置1によれば、配管101の内部の乾き度zを正確に測定できる。   Here, in the dryness measuring apparatus 1 according to the first embodiment, the inspection light and the reference light are combined and then irradiated to the inside of the pipe 101 from the other end of the optical waveguide 108. Thereby, the optical path of the inspection light and the optical path of the reference light in the pipe 101 are almost the same. Here, when the optical path of the inspection light and the optical path of the reference light in the pipe 101 are different, the dryness z inside the pipe 101 may not be accurately measured. On the other hand, according to the dryness measuring apparatus 1 according to Embodiment 1, the dryness z inside the pipe 101 can be accurately measured.

また、実施の形態1に係る乾き度測定装置1では、周辺温度T及び蒸気温度Tに基づいて発光素子102及び発光素子103の発光強度を推定し、その発光強度の変化に応じて乾き度zの補正を行う。これにより、従来のようなモニタ用の特殊な光ファイバ及び受光素子を用いずに、従来構成に対して簡易な構成で、乾き度zとは無関係に発光素子102及び発光素子103の発光強度が変化した場合でも、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化に基づく乾き度zの補正を行うことができ、乾き度zを正確に測定可能となる。 Also, the dryness fraction measuring device 1 according to the first embodiment, the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light-emitting element 103 is estimated based on the ambient temperature T L and steam temperature T s, in accordance with the change of the emission intensity dryness The degree z is corrected. As a result, without using special optical fibers and light receiving elements for monitoring as in the prior art, the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 can be reduced with respect to the dryness z regardless of the dryness z. Even when it changes, the dryness z can be corrected based on the change in the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103, and the dryness z can be accurately measured.

また、実施の形態1に係る乾き度測定装置1では、蒸気温度Tに基づいて周辺温度Tを予測している。このように、乾き度測定装置1で従来から必須のものとして測定されている蒸気温度Tによる発光素子102及び発光素子103への影響をモデル化し、周辺温度Tの温度予測を取り入れることで、予測的な対応が可能となる。また、予測した周辺温度Tと温度センサ1041により測定された周辺温度Tとの乖離度合から、乾き度測定装置1に対する不具合の発生が予測可能となる。 Also, the dryness fraction measuring device 1 according to the first embodiment predicts the ambient temperature T L based on steam temperature T s. In this way, by modeling the influence on the light emitting element 102 and the light emitting element 103 due to the vapor temperature T s, which has been conventionally measured by the dryness measuring apparatus 1, by incorporating the temperature prediction of the ambient temperature TL. Predictive response is possible. Moreover, the degree of deviation between the measured ambient temperature T L by the ambient temperature T L and a temperature sensor 1041 that the predicted defect generation is predictable for the dryness measuring device 1.

なお図1では、配管101に光透過性を有する窓1011を設け、窓1011の外面に光導波路108の他端が対向配置された場合を示した。しかしながら、これに限らず、配管101には窓1011を設けず、光導波路108の他端が配管101の側壁に貫通されてもよい。
また図1では、光導波路108の他端が窓1011の外面に対向配置された場合を示したが、これに限らず、光導波路108は用いず、光合波器107の出力部が窓1011の外面に対向配置されてもよい。
In FIG. 1, a case where a light-transmitting window 1011 is provided in the pipe 101 and the other end of the optical waveguide 108 is disposed opposite to the outer surface of the window 1011 is shown. However, the present invention is not limited thereto, and the pipe 101 may not be provided with the window 1011, and the other end of the optical waveguide 108 may be passed through the side wall of the pipe 101.
1 shows the case where the other end of the optical waveguide 108 is disposed opposite to the outer surface of the window 1011. However, the present invention is not limited to this, and the optical waveguide 108 is not used, and the output unit of the optical multiplexer 107 is the window 1011. It may be arranged opposite to the outer surface.

また図1では、配管101に光透過性を有する窓1012を設け、窓1012の外面に光導波路109の一端が対向配置された場合を示した。しかしながら、これに限らず、配管101には窓1012を設けず、光導波路109の一端が配管101の側壁に貫通されてもよい。
また図1では、光導波路109の一端が窓1012の外面に対向配置された場合を示したが、これに限らず、光導波路109は用いず、受光素子110の入力部が窓1012の外面に対向配置されてもよい。
Further, FIG. 1 shows a case where the pipe 101 is provided with a light-transmitting window 1012 and one end of the optical waveguide 109 is disposed opposite to the outer surface of the window 1012. However, the present invention is not limited to this, and the pipe 101 may not be provided with the window 1012, and one end of the optical waveguide 109 may be passed through the side wall of the pipe 101.
1 shows a case where one end of the optical waveguide 109 is disposed opposite to the outer surface of the window 1012. However, the present invention is not limited thereto, and the optical waveguide 109 is not used, and the input portion of the light receiving element 110 is disposed on the outer surface of the window 1012. It may be arranged oppositely.

また図1では、光導波路108と光導波路109とが対向配置された透過形の構成を示したが、これに限らず、反射形に構成されてもよい。この場合、窓1012に代えて、配管101の側壁における窓1011に対向する内面に反射板が配置される。また、光導波路109は一端が窓1011の外面に対向配置される。この場合、光導波路108により配管101の内部に伝搬された光は、配管101の内部を進行して反射板で反射され、光導波路109により受光素子110に伝搬される。   1 shows a transmissive configuration in which the optical waveguide 108 and the optical waveguide 109 are arranged to face each other, the present invention is not limited to this, and a reflective configuration may be used. In this case, instead of the window 1012, a reflector is disposed on the inner surface of the side wall of the pipe 101 that faces the window 1011. One end of the optical waveguide 109 is disposed opposite to the outer surface of the window 1011. In this case, the light propagated inside the pipe 101 by the optical waveguide 108 travels inside the pipe 101, is reflected by the reflecting plate, and propagates to the light receiving element 110 through the optical waveguide 109.

なお上記では、乾き度算出部1142が、蒸気温度Tから飽和蒸気の吸光度avaporを算出する場合を示した。しかしながら、これに限らず、配管101の内部の圧力Pを測定する圧力センサ(圧力測定部)を乾き度測定装置1に追加し、乾き度算出部1142が、圧力センサにより測定された圧力Pから飽和蒸気の吸光度avaporを算出してもよい。 In the above description, the case where the dryness calculation unit 1142 calculates the absorbance a vapor of saturated steam from the steam temperature T s has been shown. However, the present invention is not limited to this, and a pressure sensor (pressure measurement unit) that measures the pressure P inside the pipe 101 is added to the dryness measurement device 1, and the dryness calculation unit 1142 uses the pressure P measured by the pressure sensor. The absorbance a vapor of the saturated vapor may be calculated.

また上記では、温度センサ112が蒸気温度Tを測定する場合を示した。しかしながら、温度センサ112による蒸気温度Tの測定は必須ではなく、温度センサ112を乾き度測定装置1から取除いてもよい。
この場合、乾き度算出部1142は、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、及び、温度センサ1041により測定された周辺温度Tに基づいて、例えば下式(9)に従って、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する。
z=1/(1−k+(k/avapor)×A×f(T)) (9)
なお、式(9)において、f(T)は、周辺温度Tを変数とする関数であり、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化を補正するための関数である。この関数f(T)は、事前に、周辺温度Tを変えながら発光素子102及び発光素子103の発光強度を測定する等して得ることができる。
In the above description, the temperature sensor 112 measures the steam temperature T s . However, the measurement of the steam temperature T s by the temperature sensor 112 is not essential, and the temperature sensor 112 may be removed from the dryness measuring apparatus 1.
In this case, the dryness calculation unit 1142 performs piping according to, for example, the following equation (9) based on the absorbance A s of the vapor calculated by the absorbance calculation unit 1141 and the ambient temperature T L measured by the temperature sensor 1041. The dryness z of the steam flowing through 101 is calculated.
z = 1 / (1-k + (k / a vapor ) × A s × f (T L )) (9)
Note that in Expression (9), f (T L ) is a function having the ambient temperature T L as a variable, and is a function for correcting a change in light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. This function f (T L ) can be obtained in advance by measuring the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 while changing the ambient temperature T L.

以上のように、この実施の形態1によれば、飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する発光素子102と、発光素子102により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する発光素子103と、発光素子102及び発光素子103に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該発光素子102により発光された検査光及び当該発光素子103により発光された参照光が透過する配管101と、配管101を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子110と、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを測定する温度センサ1041と、受光素子110により受光された検査光及び参照光に基づいて、配管101を流れる蒸気の吸光度Aを算出する吸光度算出部1141と、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、及び、温度センサ1041により測定された周辺温度Tに基づいて、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する乾き度算出部1142とを備えたので、簡易な構成で、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化に基づく乾き度zの補正を行うことができる。 As described above, according to the first embodiment, the light emitting element 102 that emits the inspection light having the wavelength absorbed by the saturated liquid, and the inspection light emitted by the light emitting element 102 are absorbed by the wet steam. Light emitting element 103 that emits reference light having a difficult wavelength, light emitting element 102 and inspection light emitted by light emitting element 102 that is located within a certain range with respect to light emitting element 102 and light emitting element 103 and the light emitting element a pipe 101 that the emitted reference light is transmitted with the 103, the temperature sensor 1041 for measuring the light receiving element 110 for receiving the inspection light and the reference light transmitted through the pipe 101, the ambient temperature T L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 If, on the basis of the inspection light and the reference light is received by the light receiving element 110, the absorbance calculation section 1141 for calculating the absorbance a s of the steam flowing through the pipe 101 Absorbance A s of the steam which is calculated by the absorbance calculation section 1141, and, based on the ambient temperature T L measured by the temperature sensor 1041, and a dryness fraction calculating unit 1142 for calculating the dryness fraction z of the steam flowing through the pipe 101 Since it is provided, the dryness z can be corrected based on the change in the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 with a simple configuration.

実施の形態2.
実施の形態1では、周辺温度T及び蒸気温度Tを用いて乾き度zを補正する場合を示した。一方、上述したように、発光素子102及び発光素子103の発光強度は、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vに依存する。また、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vは、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tに依存する。そこで、実施の形態2では、上記周辺温度Tに代えて又は追加して、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vを用いて乾き度zを補正する場合について示す。
図7はこの発明の実施の形態2に係る乾き度測定装置1の構成例を示す模式図である。この図7に示す実施の形態2に係る乾き度測定装置1では、図1に示す実施の形態1に係る乾き度測定装置1に対し、駆動回路104を駆動回路104bに変更し、乾き度算出部1142を乾き度算出部1142bに変更している。その他の構成は同様であり、同一の符号を付して異なる部分についてのみ説明を行う。
Embodiment 2. FIG.
In the first embodiment, the case where the dryness z is corrected using the ambient temperature T L and the steam temperature T s has been described. On the other hand, as described above, the light emission intensities of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 depend on the forward voltage VL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. Further, the forward voltage V L of the light emitting element 102 and the light-emitting element 103 depends on the ambient temperature T L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. Therefore, Embodiment 2 shows a case where the dryness z is corrected using the forward voltage V L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 instead of or in addition to the ambient temperature TL .
FIG. 7 is a schematic diagram showing a configuration example of a dryness measuring apparatus 1 according to Embodiment 2 of the present invention. In the dryness measuring apparatus 1 according to the second embodiment shown in FIG. 7, the drive circuit 104 is changed to the drive circuit 104b in comparison with the dryness measuring apparatus 1 according to the first embodiment shown in FIG. The unit 1142 is changed to a dryness calculation unit 1142b. Other configurations are the same, and only the different parts are described with the same reference numerals.

駆動回路104bは、発光素子102及び発光素子103を駆動する。また、駆動回路104bは、信号増幅分離回路111に対し、検査光の光強度を示す信号と参照光の光強度を示す信号とを分離するための同期信号を出力する。この駆動回路104bとしては定電流駆動回路又は定電圧駆動回路等が使用可能である。
また、駆動回路104bは、図7に示すように、温度センサ(周辺温度測定部)1041及び電圧測定部1042を有している。温度センサ1041は、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを測定する。電圧測定部1042は、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vを測定する。
The drive circuit 104 b drives the light emitting element 102 and the light emitting element 103. In addition, the drive circuit 104b outputs a synchronization signal for separating the signal indicating the light intensity of the inspection light and the signal indicating the light intensity of the reference light to the signal amplification / separation circuit 111. As this drive circuit 104b, a constant current drive circuit, a constant voltage drive circuit, or the like can be used.
In addition, the drive circuit 104b includes a temperature sensor (ambient temperature measurement unit) 1041 and a voltage measurement unit 1042, as shown in FIG. The temperature sensor 1041 measures the ambient temperature TL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. The voltage measuring unit 1042 measures the forward voltage VL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103.

乾き度算出部1142bは、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、電圧測定部1042により測定された順方向電圧V、温度センサ1041により測定された周辺温度T、及び、温度センサ112により測定された蒸気温度Tに基づいて、例えば下式(10)に従って、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する。
z=1/(1−k+(k/avapor)×A×f(V,T,T)) (10)
なお、式(10)において、f(V,T,T)は、順方向電圧V、周辺温度T及び蒸気温度Tを変数とする関数であり、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化を補正するための関数である。この関数f(V,T,T)は、事前に、順方向電圧V、周辺温度T及び蒸気温度Tを変えながら発光素子102及び発光素子103の発光強度を測定する等して得ることができる。
Dryness fraction calculating unit 1142b the absorbance A s of the steam which is calculated by the absorbance calculation section 1141, the forward voltage V L measured by the voltage measuring unit 1042, the peripheral measured by the temperature sensor 1041 temperature T L, and the temperature Based on the steam temperature T s measured by the sensor 112, for example, the dryness z of the steam flowing through the pipe 101 is calculated according to the following equation (10).
z = 1 / (1−k + (k / a vapor ) × A s × f (V L , T L , T s )) (10)
In Expression (10), f (V L , T L , T s ) is a function having the forward voltage V L , the ambient temperature T L, and the vapor temperature T s as variables, and the light emitting element 102 and the light emitting element 103 is a function for correcting a change in the emission intensity 103. This function f (V L , T L , T s ) measures in advance the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 while changing the forward voltage V L , the ambient temperature T L and the vapor temperature T s in advance. Can be obtained.

また上記では、温度センサ1041が周辺温度Tを測定する場合を示した。しかしながら、温度センサ1041による周辺温度Tの測定は必須ではなく、温度センサ1041を乾き度測定装置1から取除いてもよい。
この場合、乾き度算出部1142bは、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、電圧測定部1042により測定された順方向電圧V、及び、温度センサ112により測定された蒸気温度Tに基づいて、例えば下式(11)に従って、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する。
z=1/(1−k+(k/avapor)×A×f(V,T)) (11)
なお、式(11)において、f(V,T)は、順方向電圧V及び蒸気温度Tを変数とする関数であり、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化を補正するための関数である。この関数f(V,T)は、事前に、順方向電圧V及び蒸気温度Tを変えながら発光素子102及び発光素子103の発光強度を測定する等して得ることができる。
In the above description, the temperature sensor 1041 measures the ambient temperature TL . However, the measurement of the ambient temperature TL by the temperature sensor 1041 is not essential, and the temperature sensor 1041 may be removed from the dryness measuring apparatus 1.
In this case, the dryness fraction calculating unit 1142b, the absorbance of the vapor is calculated by the absorbance calculation section 1141 A s, a forward voltage measured by the voltage measuring unit 1042 V L, and the steam temperature T measured by the temperature sensor 112 Based on s , for example, the dryness z of the steam flowing through the pipe 101 is calculated according to the following equation (11).
z = 1 / (1−k + (k / a vapor ) × A s × f (V L , T s )) (11)
In Expression (11), f (V L , T s ) is a function having the forward voltage V L and the vapor temperature T s as variables, and corrects the change in the emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. It is a function to do. This function f (V L , T s ) can be obtained in advance by measuring the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 while changing the forward voltage V L and the vapor temperature T s .

また上記では、温度センサ1041が周辺温度Tを測定し、温度センサ112が蒸気温度Tを測定する場合を示した。しかしながら、温度センサ1041による周辺温度Tの測定及び温度センサ112による蒸気温度Tの測定は必須ではなく、温度センサ1041及び温度センサ112を乾き度測定装置1から取除いてもよい。
この場合、乾き度算出部1142bは、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、及び、電圧測定部1042により測定された順方向電圧Vに基づいて、例えば下式(12)に従って、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する。
z=1/(1−k+(k/avapor)×A×f(V)) (12)
なお、式(12)において、f(V)は、順方向電圧Vを変数とする関数であり、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化を補正するための関数である。この関数f(V)は、事前に、順方向電圧Vを変えながら発光素子102及び発光素子103の発光強度を測定する等して得ることができる。
In the above, it shows the case where the temperature sensor 1041 measures the surrounding temperature T L, the temperature sensor 112 measures the steam temperature T s. However, the measurement of the ambient temperature T L by the temperature sensor 1041 and the measurement of the vapor temperature T s by the temperature sensor 112 are not essential, and the temperature sensor 1041 and the temperature sensor 112 may be removed from the dryness measuring apparatus 1.
In this case, the dryness degree calculation unit 1142b the absorbance A s of the steam which is calculated by the absorbance calculation section 1141, and, based on the forward voltage V L measured by the voltage measuring unit 1042, for example according to the following equation (12) The dryness z of the steam flowing through the pipe 101 is calculated.
z = 1 / (1-k + (k / a vapor ) × A s × f (V L )) (12)
Note that in Expression (12), f (V L ) is a function having the forward voltage V L as a variable, and is a function for correcting a change in light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. This function f (V L ) can be obtained in advance by measuring the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 while changing the forward voltage V L.

以上のように、この実施の形態2によれば、飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する発光素子102と、発光素子102により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する発光素子103と、発光素子102及び発光素子103に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該発光素子102により発光された検査光及び当該発光素子103により発光された参照光が透過する配管101と、配管101を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子110と、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vを測定する電圧測定部1042と、受光素子110により受光された検査光及び参照光に基づいて、配管101を流れる蒸気の吸光度Aを算出する吸光度算出部1141と、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、及び、電圧測定部1042により測定された順方向電圧Vに基づいて、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する乾き度算出部1142bとを備えても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。 As described above, according to the second embodiment, the light emitting element 102 that emits the inspection light having the wavelength absorbed by the saturated liquid, and the inspection light emitted by the light emitting element 102 are absorbed by the wet steam. Light emitting element 103 that emits reference light having a difficult wavelength, light emitting element 102 and inspection light emitted by light emitting element 102 that is located within a certain range with respect to light emitting element 102 and light emitting element 103 and the light emitting element The pipe 101 through which the reference light emitted by the light source 103 is transmitted, the light receiving element 110 that receives the inspection light and the reference light transmitted through the pipe 101, and the voltage measurement that measures the forward voltage VL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. a Department 1042, based on the inspection light and the reference light received by the light receiving element 110, the absorbance calculation section 1141 for calculating the absorbance a s of the steam flowing through the pipe 101 Absorbance A s of the steam which is calculated by the absorbance calculation section 1141, and, based on the forward voltage V L measured by the voltage measuring unit 1042, the dryness calculating unit for calculating a dryness fraction z of the steam flowing through the pipe 101 Even if 1142b is provided, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

実施の形態3.
実施の形態1では、周辺温度T及び蒸気温度Tを用いて乾き度zを補正する場合を示した。それに対し、実施の形態3では、周辺温度T及び順方向電圧Vを用いて乾き度zを補正する場合について示す。
図8はこの発明の実施の形態3に係る乾き度測定装置1の構成例を示す模式図である。この図8に示す実施の形態3に係る乾き度測定装置1では、図1に示す実施の形態1に係る乾き度測定装置1に対し、温度センサ112を取除き、駆動回路104を駆動回路104cに変更し、乾き度算出部1142を乾き度算出部1142cに変更し、温度推定部1143を温度推定部1143cに変更し、不具合判定部1144を不具合判定部1144cに変更している。その他の構成は同様であり、同一の符号を付して異なる部分についてのみ説明を行う。
Embodiment 3 FIG.
In the first embodiment, the case where the dryness z is corrected using the ambient temperature T L and the steam temperature T s has been described. On the other hand, the third embodiment shows a case where the dryness z is corrected using the ambient temperature TL and the forward voltage VL .
FIG. 8 is a schematic diagram showing a configuration example of the dryness measuring apparatus 1 according to Embodiment 3 of the present invention. In the dryness measuring apparatus 1 according to the third embodiment shown in FIG. 8, the temperature sensor 112 is removed from the dryness measuring apparatus 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1, and the drive circuit 104 is replaced with the drive circuit 104c. The dryness calculation unit 1142 is changed to a dryness calculation unit 1142c, the temperature estimation unit 1143 is changed to a temperature estimation unit 1143c, and the failure determination unit 1144 is changed to a failure determination unit 1144c. Other configurations are the same, and only the different parts are described with the same reference numerals.

駆動回路104cは、発光素子102及び発光素子103を駆動する。また、駆動回路104cは、信号増幅分離回路111に対し、検査光の光強度を示す信号と参照光の光強度を示す信号とを分離するための同期信号を出力する。この駆動回路104cとしては定電流駆動回路又は定電圧駆動回路等が使用可能である。
また、駆動回路104cは、図8に示すように、温度センサ(周辺温度測定部)1041及び電圧測定部1042を有している。温度センサ1041は、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを測定する。電圧測定部1042は、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vを測定する。
The drive circuit 104 c drives the light emitting element 102 and the light emitting element 103. In addition, the drive circuit 104c outputs a synchronization signal for separating a signal indicating the light intensity of the inspection light and a signal indicating the light intensity of the reference light to the signal amplification / separation circuit 111. A constant current drive circuit or a constant voltage drive circuit can be used as the drive circuit 104c.
The drive circuit 104c includes a temperature sensor (ambient temperature measurement unit) 1041 and a voltage measurement unit 1042, as shown in FIG. The temperature sensor 1041 measures the ambient temperature TL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. The voltage measuring unit 1042 measures the forward voltage VL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103.

乾き度算出部1142cは、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、電圧測定部1042により測定された順方向電圧V、及び、温度センサ1041により測定された周辺温度Tに基づいて、例えば下式(13)に従って、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する。
z=1/(1−k+(k/avapor)×A×f(V,T)) (13)
なお、式(13)において、f(V,T)は、順方向電圧V及び周辺温度Tを変数とする関数であり、発光素子102及び発光素子103の発光強度の変化を補正するための関数である。この関数f(V,T)は、事前に、順方向電圧V及び周辺温度Tを変えながら発光素子102及び発光素子103の発光強度を測定する等して得ることができる。
Dryness fraction calculating unit 1142c is based absorbance A s of the steam which is calculated by the absorbance calculation section 1141, the order was determined by the voltage measuring unit 1042 direction voltage V L, and the ambient temperature T L measured by the temperature sensor 1041 Thus, for example, according to the following equation (13), the dryness z of the steam flowing through the pipe 101 is calculated.
z = 1 / (1−k + (k / a vapor ) × A s × f (V L , T L )) (13)
In Expression (13), f (V L , T L ) is a function having the forward voltage V L and the ambient temperature T L as variables, and corrects changes in the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. It is a function to do. This function f (V L , T L ) can be obtained in advance by measuring the light emission intensity of the light emitting element 102 and the light emitting element 103 while changing the forward voltage V L and the ambient temperature T L.

温度推定部1143cは、電圧測定部1042により測定された順方向電圧Vに基づいて、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを推定する。
不具合判定部1144cは、温度センサ1041により測定された周辺温度Tを温度推定部1143cにより推定された周辺温度Tと比較することで、不具合の有無を判定する。なお、不具合判定部1144cによる不具合判定方法は、実施の形態1における不具合判定部1144による不具合判定方法と同様である。
なお、温度推定部1143c及び不具合判定部1144cは必須の構成ではなく、乾き度測定装置1から取除いてもよい。
Temperature estimation unit 1143c, based on the forward voltage V L measured by the voltage measuring unit 1042 estimates the ambient temperature T L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103.
Fault determination unit 1144c, by comparison with ambient temperature T L of the ambient temperature T L that is measured is estimated by the temperature estimation unit 1143c by the temperature sensor 1041 determines the presence or absence of defects. The defect determination method by defect determination unit 1144c is the same as the defect determination method by defect determination unit 1144 in the first embodiment.
The temperature estimation unit 1143c and the defect determination unit 1144c are not essential components, and may be removed from the dryness measuring apparatus 1.

以上のように、この実施の形態3によれば、飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する発光素子102と、発光素子102により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する発光素子103と、発光素子102及び発光素子103に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該発光素子102により発光された検査光及び当該発光素子103により発光された参照光が透過する配管101と、配管101を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子110と、発光素子102及び発光素子103の順方向電圧Vを測定する電圧測定部1042と、発光素子102及び発光素子103の周辺温度Tを測定する温度センサ1041と、受光素子110により受光された検査光及び参照光に基づいて、配管101を流れる蒸気の吸光度Aを算出する吸光度算出部1141と、吸光度算出部1141により算出された蒸気の吸光度A、電圧測定部1042により測定された順方向電圧V、及び、温度センサ1041により測定された周辺温度Tに基づいて、配管101を流れる蒸気の乾き度zを算出する乾き度算出部1142cとを備えても、実施の形態1と同様の効果が得られる。 As described above, according to the third embodiment, the light emitting element 102 that emits the inspection light having the wavelength absorbed by the saturated liquid, and the inspection light emitted by the light emitting element 102 are absorbed by the wet steam. Light emitting element 103 that emits reference light having a difficult wavelength, light emitting element 102 and inspection light emitted by light emitting element 102 that is located within a certain range with respect to light emitting element 102 and light emitting element 103 and the light emitting element The pipe 101 through which the reference light emitted by the light source 103 is transmitted, the light receiving element 110 that receives the inspection light and the reference light transmitted through the pipe 101, and the voltage measurement that measures the forward voltage VL of the light emitting element 102 and the light emitting element 103. a Department 1042, a temperature sensor 1041 for measuring the ambient temperature T L of the light emitting element 102 and the light emitting element 103, the inspection light and the reference received by the light receiving element 110 Based on a absorbance calculation section 1141 for calculating the absorbance A s of the steam flowing through the pipe 101, the absorbance absorbance A s of the steam which is calculated by the calculation unit 1141, the forward voltage V L measured by the voltage measuring unit 1042, Even if the dryness calculation unit 1142c that calculates the dryness z of the steam flowing through the pipe 101 is provided based on the ambient temperature TL measured by the temperature sensor 1041, the same effect as in the first embodiment can be obtained. It is done.

なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。   In the present invention, within the scope of the invention, any combination of the embodiments, or any modification of any component in each embodiment, or omission of any component in each embodiment is possible. .

1 乾き度測定装置
101 配管
102 発光素子(検査光発光素子)
103 発光素子(参照光発光素子)
104,104b,104c 駆動回路
105 光導波路
106 光導波路
107 光合波器
108 光導波路
109 光導波路
110 受光素子
111 信号増幅分離回路
112 温度センサ(蒸気温度測定部)
113 データ記憶装置
114 CPU
115 入力装置
116 出力装置
117 プログラム記憶装置
118 一時記憶装置
1011 窓
1012 窓
1041 温度センサ(周辺温度測定部)
1042 電圧測定部
1131 演算情報記憶部
1141 吸光度算出部
1142,1142b,1142c 乾き度算出部
1143,1143c 温度推定部(周辺温度推定部)
1144,114b,1144c 不具合判定部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dryness measuring apparatus 101 Piping 102 Light emitting element (inspection light emitting element)
103 Light Emitting Element (Reference Light Emitting Element)
104, 104b, 104c Drive circuit 105 Optical waveguide 106 Optical waveguide 107 Optical multiplexer 108 Optical waveguide 109 Optical waveguide 110 Light receiving element 111 Signal amplification separation circuit 112 Temperature sensor (vapor temperature measuring section)
113 Data storage device 114 CPU
115 Input Device 116 Output Device 117 Program Storage Device 118 Temporary Storage Device 1011 Window 1012 Window 1041 Temperature Sensor (Ambient Temperature Measurement Unit)
1042 Voltage measurement unit 1131 Calculation information storage unit 1141 Absorbance calculation unit 1142, 1142b, 1142c Dryness calculation unit 1143, 1143c Temperature estimation unit (ambient temperature estimation unit)
1144, 114b, 1144c Defect determination unit

Claims (12)

飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する検査光発光素子と、
前記検査光発光素子により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する参照光発光素子と、
前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該検査光発光素子により発光された検査光及び当該参照光発光素子により発光された参照光が透過する配管と、
前記配管を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子と、
前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の周辺温度を測定する周辺温度測定部と、
前記受光素子により受光された検査光及び参照光に基づいて、前記配管を流れる蒸気の吸光度を算出する吸光度算出部と、
前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、及び、前記周辺温度測定部により測定された周辺温度に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する乾き度算出部と
を備えた乾き度測定装置。
An inspection light emitting element that emits inspection light having a wavelength absorbed by the saturated liquid;
A reference light emitting element that emits reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by wet steam with respect to the inspection light emitted by the inspection light emitting element;
The inspection light emitting element and the reference light emitting element are located within a certain range, the vapor flows, and the inspection light emitted by the inspection light emitting element and the reference light emitted by the reference light emitting element are Permeate piping,
A light receiving element for receiving inspection light and reference light transmitted through the pipe;
An ambient temperature measuring unit for measuring ambient temperatures of the inspection light emitting element and the reference light emitting element;
Based on the inspection light and the reference light received by the light receiving element, an absorbance calculation unit that calculates the absorbance of the vapor flowing through the pipe;
A dryness degree provided with a dryness calculation unit that calculates the dryness of the steam flowing through the pipe based on the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculation unit and the ambient temperature measured by the ambient temperature measurement unit measuring device.
前記配管の内部の蒸気温度を測定する蒸気温度測定部を備え、
前記乾き度算出部は、前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、前記周辺温度測定部により測定された周辺温度、及び、前記蒸気温度測定部により測定された蒸気温度に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する
ことを特徴とする請求項1記載の乾き度測定装置。
A steam temperature measuring unit for measuring the steam temperature inside the pipe;
The dryness calculation unit is configured based on the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculation unit, the ambient temperature measured by the ambient temperature measurement unit, and the steam temperature measured by the steam temperature measurement unit. The dryness measuring apparatus according to claim 1, wherein the dryness of the steam flowing through is calculated.
前記蒸気温度測定部により測定された蒸気温度に基づいて、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の周辺温度を推定する周辺温度推定部と、
前記周辺温度測定部により測定された周辺温度を前記周辺温度推定部により推定された周辺温度と比較することで、不具合の有無を判定する不具合判定部とを備えた
ことを特徴とする請求項2記載の乾き度測定装置。
Based on the vapor temperature measured by the vapor temperature measurement unit, an ambient temperature estimation unit that estimates the ambient temperature of the inspection light-emitting element and the reference light-emitting element,
3. A failure determination unit that determines whether or not there is a defect by comparing the ambient temperature measured by the ambient temperature measurement unit with the ambient temperature estimated by the ambient temperature estimation unit. Described dryness measuring device.
飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する検査光発光素子と、
前記検査光発光素子により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する参照光発光素子と、
前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該検査光発光素子により発光された検査光及び当該参照光発光素子により発光された参照光が透過する配管と、
前記配管を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子と、
前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の順方向電圧を測定する電圧測定部と、
前記受光素子により受光された検査光及び参照光に基づいて、前記配管を流れる蒸気の吸光度を算出する吸光度算出部と、
前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、及び、前記電圧測定部により測定された順方向電圧に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する乾き度算出部と
を備えた乾き度測定装置。
An inspection light emitting element that emits inspection light having a wavelength absorbed by the saturated liquid;
A reference light emitting element that emits reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by wet steam with respect to the inspection light emitted by the inspection light emitting element;
The inspection light emitting element and the reference light emitting element are located within a certain range, the vapor flows, and the inspection light emitted by the inspection light emitting element and the reference light emitted by the reference light emitting element are Permeate piping,
A light receiving element for receiving inspection light and reference light transmitted through the pipe;
A voltage measuring unit for measuring a forward voltage of the inspection light emitting element and the reference light emitting element;
Based on the inspection light and the reference light received by the light receiving element, an absorbance calculation unit that calculates the absorbance of the vapor flowing through the pipe;
The dryness degree provided with the dryness degree calculation part which calculates the dryness degree of the steam which flows through the piping based on the light absorbency of the vapor computed by the light absorbency calculation part, and the forward voltage measured by the voltage measurement part measuring device.
前記配管の内部の蒸気温度を測定する蒸気温度測定部を備え、
前記乾き度算出部は、前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、前記電圧測定部により測定された順方向電圧、及び、前記蒸気温度測定部により測定された蒸気温度に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する
ことを特徴とする請求項4記載の乾き度測定装置。
A steam temperature measuring unit for measuring the steam temperature inside the pipe;
The dryness calculation unit is configured to calculate the pipe based on the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculation unit, the forward voltage measured by the voltage measurement unit, and the vapor temperature measured by the vapor temperature measurement unit. The dryness measurement apparatus according to claim 4, wherein the dryness of the steam flowing through is calculated.
前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の周辺温度を測定する周辺温度測定部を備え、
前記乾き度算出部は、前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、前記電圧測定部により測定された順方向電圧、前記周辺温度測定部により測定された周辺温度、及び、前記蒸気温度測定部により測定された蒸気温度に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する
ことを特徴とする請求項5記載の乾き度測定装置。
An ambient temperature measuring unit for measuring ambient temperatures of the inspection light emitting element and the reference light emitting element;
The dryness calculation unit includes the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculation unit, the forward voltage measured by the voltage measurement unit, the ambient temperature measured by the ambient temperature measurement unit, and the vapor temperature measurement unit. The dryness measuring apparatus according to claim 5, wherein the dryness of the steam flowing through the pipe is calculated based on the steam temperature measured by the method.
前記蒸気温度測定部により測定された蒸気温度に基づいて、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の周辺温度を推定する周辺温度推定部と、
前記周辺温度測定部により測定された周辺温度を前記周辺温度推定部により推定された周辺温度と比較することで、不具合の有無を判定する不具合判定部とを備えた
ことを特徴とする請求項6記載の乾き度測定装置。
Based on the vapor temperature measured by the vapor temperature measurement unit, an ambient temperature estimation unit that estimates the ambient temperature of the inspection light-emitting element and the reference light-emitting element,
7. A failure determination unit that determines the presence or absence of a failure by comparing the ambient temperature measured by the ambient temperature measurement unit with the ambient temperature estimated by the ambient temperature estimation unit. Described dryness measuring device.
飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する検査光発光素子と、
前記検査光発光素子により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する参照光発光素子と、
前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該検査光発光素子により発光された検査光及び当該参照光発光素子により発光された参照光が透過する配管と、
前記配管を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子と、
前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の順方向電圧を測定する電圧測定部と、
前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の周辺温度を測定する周辺温度測定部と、
前記受光素子により受光された検査光及び参照光に基づいて、前記配管を流れる蒸気の吸光度を算出する吸光度算出部と、
前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、前記電圧測定部により測定された順方向電圧、及び、前記周辺温度測定部により測定された周辺温度に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する乾き度算出部と
を備えた乾き度測定装置。
An inspection light emitting element that emits inspection light having a wavelength absorbed by the saturated liquid;
A reference light emitting element that emits reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by wet steam with respect to the inspection light emitted by the inspection light emitting element;
The inspection light emitting element and the reference light emitting element are located within a certain range, the vapor flows, and the inspection light emitted by the inspection light emitting element and the reference light emitted by the reference light emitting element are Permeate piping,
A light receiving element for receiving inspection light and reference light transmitted through the pipe;
A voltage measuring unit for measuring a forward voltage of the inspection light emitting element and the reference light emitting element;
An ambient temperature measuring unit for measuring ambient temperatures of the inspection light emitting element and the reference light emitting element;
Based on the inspection light and the reference light received by the light receiving element, an absorbance calculation unit that calculates the absorbance of the vapor flowing through the pipe;
Based on the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculation unit, the forward voltage measured by the voltage measurement unit, and the ambient temperature measured by the ambient temperature measurement unit, the dryness of the steam flowing through the pipe is determined. A dryness measuring apparatus comprising: a dryness calculating unit for calculating.
前記電圧測定部により測定された順方向電圧に基づいて、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の周辺温度を推定する周辺温度推定部と、
前記周辺温度測定部により測定された周辺温度を前記周辺温度推定部により推定された周辺温度と比較することで、不具合の有無を判定する不具合判定部とを備えた
ことを特徴とする請求項8記載の乾き度測定装置。
Based on the forward voltage measured by the voltage measuring unit, an ambient temperature estimating unit that estimates the ambient temperature of the inspection light emitting element and the reference light emitting element,
9. A failure determination unit that determines the presence or absence of a failure by comparing the ambient temperature measured by the ambient temperature measurement unit with the ambient temperature estimated by the ambient temperature estimation unit. Described dryness measuring device.
飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する検査光発光素子と、前記検査光発光素子により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する参照光発光素子と、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該検査光発光素子により発光された検査光及び当該参照光発光素子により発光された参照光が透過する配管と、前記配管を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子と、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の周辺温度を測定する周辺温度測定部とを備えた乾き度測定装置による乾き度測定方法であって、
吸光度算出部が、前記受光素子により受光された検査光及び参照光に基づいて、前記配管を流れる蒸気の吸光度を算出し、
乾き度算出部が、前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、及び、前記周辺温度測定部により測定された周辺温度に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する
ことを特徴とする乾き度測定方法。
An inspection light emitting element that emits inspection light having a wavelength that is absorbed by the saturated liquid, and a reference light that emits reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by wet steam with respect to the inspection light emitted by the inspection light emitting element. The light emitting element is positioned within a certain range with respect to the inspection light emitting element and the reference light emitting element, vapor flows, and the inspection light emitted by the inspection light emitting element and the reference light emitting element emit light. A pipe through which the reference light is transmitted, a light receiving element that receives the inspection light and the reference light transmitted through the pipe, and an ambient temperature measurement unit that measures the ambient temperature of the inspection light emitting element and the reference light emitting element. A dryness measuring method using a dryness measuring device,
The absorbance calculation unit calculates the absorbance of the vapor flowing through the pipe based on the inspection light and the reference light received by the light receiving element,
The dryness calculating unit calculates the dryness of the steam flowing through the pipe based on the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculating unit and the ambient temperature measured by the ambient temperature measuring unit. How to measure dryness.
飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する検査光発光素子と、前記検査光発光素子により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する参照光発光素子と、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該検査光発光素子により発光された検査光及び当該参照光発光素子により発光された参照光が透過する配管と、前記配管を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子と、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の順方向電圧を測定する電圧測定部とを備えた乾き度測定装置による乾き度測定方法であって、
吸光度算出部が、前記受光素子により受光された検査光及び参照光に基づいて、前記配管を流れる蒸気の吸光度を算出し、
乾き度算出部が、前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、及び、前記電圧測定部により測定された順方向電圧に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する
ことを特徴とする乾き度測定方法。
An inspection light emitting element that emits inspection light having a wavelength that is absorbed by the saturated liquid, and a reference light that emits reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by wet steam with respect to the inspection light emitted by the inspection light emitting element. The light emitting element is positioned within a certain range with respect to the inspection light emitting element and the reference light emitting element, vapor flows, and the inspection light emitted by the inspection light emitting element and the reference light emitting element emit light. A pipe through which the reference light is transmitted, a light receiving element that receives the inspection light and the reference light transmitted through the pipe, and a voltage measuring unit that measures a forward voltage of the inspection light emitting element and the reference light emitting element. A dryness measuring method using a dryness measuring device,
The absorbance calculation unit calculates the absorbance of the vapor flowing through the pipe based on the inspection light and the reference light received by the light receiving element,
The dryness calculation unit calculates the dryness of the steam flowing through the pipe based on the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculation unit and the forward voltage measured by the voltage measurement unit. How to measure dryness.
飽和液で吸収される波長を有する検査光を発光する検査光発光素子と、前記検査光発光素子により発光される検査光に対して湿り蒸気に吸収され難い波長を有する参照光を発光する参照光発光素子と、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子に対して一定の範囲内に位置し、蒸気が流れ、当該検査光発光素子により発光された検査光及び当該参照光発光素子により発光された参照光が透過する配管と、前記配管を透過した検査光及び参照光を受光する受光素子と、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の順方向電圧を測定する電圧測定部と、前記検査光発光素子及び前記参照光発光素子の周辺温度を測定する周辺温度測定部とを備えた乾き度測定装置による乾き度測定方法であって、
吸光度算出部が、前記受光素子により受光された検査光及び参照光に基づいて、前記配管を流れる蒸気の吸光度を算出し、
乾き度算出部が、前記吸光度算出部により算出された蒸気の吸光度、前記電圧測定部により測定された順方向電圧、及び、前記周辺温度測定部により測定された周辺温度に基づいて、前記配管を流れる蒸気の乾き度を算出する
ことを特徴とする乾き度測定方法。
An inspection light emitting element that emits inspection light having a wavelength that is absorbed by the saturated liquid, and a reference light that emits reference light having a wavelength that is difficult to be absorbed by wet steam with respect to the inspection light emitted by the inspection light emitting element. The light emitting element is positioned within a certain range with respect to the inspection light emitting element and the reference light emitting element, vapor flows, and the inspection light emitted by the inspection light emitting element and the reference light emitting element emit light. A pipe through which the reference light is transmitted, a light receiving element that receives the inspection light and the reference light transmitted through the pipe, a voltage measuring unit that measures a forward voltage of the inspection light emitting element and the reference light emitting element, A dryness measuring method by a dryness measuring device comprising an inspection light emitting element and an ambient temperature measuring unit for measuring the ambient temperature of the reference light emitting element,
The absorbance calculation unit calculates the absorbance of the vapor flowing through the pipe based on the inspection light and the reference light received by the light receiving element,
The dryness calculation unit is configured to connect the pipe based on the absorbance of the vapor calculated by the absorbance calculation unit, the forward voltage measured by the voltage measurement unit, and the ambient temperature measured by the ambient temperature measurement unit. A dryness measuring method characterized by calculating dryness of flowing steam.
JP2017176989A 2017-09-14 2017-09-14 Dryness measuring device and dryness measurement method Pending JP2019052925A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017176989A JP2019052925A (en) 2017-09-14 2017-09-14 Dryness measuring device and dryness measurement method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017176989A JP2019052925A (en) 2017-09-14 2017-09-14 Dryness measuring device and dryness measurement method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2019052925A true JP2019052925A (en) 2019-04-04

Family

ID=66014688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017176989A Pending JP2019052925A (en) 2017-09-14 2017-09-14 Dryness measuring device and dryness measurement method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2019052925A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021124385A (en) * 2020-02-05 2021-08-30 アズビル株式会社 Measuring device, measuring method, and generation method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021124385A (en) * 2020-02-05 2021-08-30 アズビル株式会社 Measuring device, measuring method, and generation method
JP7440287B2 (en) 2020-02-05 2024-02-28 アズビル株式会社 measuring device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6786099B2 (en) Concentration measuring device
JP4846467B2 (en) Color reaction detection device and method for producing the same
JP2012037355A (en) Fluorescence detector, fluorescence measuring method and environment measuring device
WO2017029791A1 (en) Concentration measurement device
JP2019052925A (en) Dryness measuring device and dryness measurement method
TWI719650B (en) Concentration measurement method
WO2020158506A1 (en) Concentration measurement device
JP2016151572A (en) Dryness measurement device
JP2019052924A (en) Dryness measuring device and dryness measurement method
JP7492269B2 (en) Concentration Measuring Device
WO2019065067A1 (en) Dryness measurement device and information acquisition method
JP6484125B2 (en) Temperature measuring apparatus and temperature measuring method
JP2019095098A (en) Water hammer monitoring device
JP6664926B2 (en) Dryness measuring device
TWI762233B (en) Concentration measuring method and concentration measuring device
US11686671B2 (en) Concentration measurement device
WO2024116593A1 (en) Concentration measurement device
JP7244900B2 (en) Front and back identification method of reflective member
JP2018119861A (en) Dry level measurement device, and dry level measurement method
JP2004251766A (en) Temperature measuring method, and measuring instrument used therefor
WO2018135130A1 (en) Dryness measurement device and method for measuring dryness
JP2016151571A (en) Dryness measurement device
JP2016121930A (en) Dryness measuring device and dryness measuring method