JP2019049489A - 変位検出装置及び変位検出装置の較正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 変位検出対象部材に追従して変位する変位部材と、
前記変位部材の一端側に配置され、前記変位部材とともに変位する磁石と、
前記変位部材を変位方向に往復動自在に支持する支持部材と、
前記磁石に対向するように前記支持部材に配置される磁気検出部と、を備え、
前記磁気検出部は、前記磁石の変位に伴う磁界の変化に応じた出力値を出力する磁気センサと、前記磁気センサの前記出力値を補正する出力補正部と、を有し、
前記出力補正部は、前記磁石と前記磁気センサとが互いに近づく方向に前記変位部材が傾いた状態で前記変位部材を前記変位方向に変位させたときに計測された前記磁気センサの第1出力値と、前記磁石と前記磁気センサとが互いに離れる方向に前記変位部材が傾いた状態で前記変位部材を前記変位方向に変位させたときに計測された前記磁気センサの第2出力値と、に基づいて設定された補正マップを有し、前記補正マップに基づいて前記磁気センサの前記出力値を前記変位部材の変位量に対して直線的に変化するように補正することを特徴とする変位検出装置。 - 前記補正マップは、前記第1出力値と前記第2出力値との平均値である平均出力値と、前記変位部材の変位量に対して直線的に変化する基準出力値との差分に基づいて設定されることを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。
- 前記磁気センサは、通過する磁束の角度に応じて前記出力値が変化するホール素子であることを特徴とする請求項1または2に記載の変位検出装置。
- 変位検出対象部材に追従して変位する変位部材と、前記変位部材の一端側に配置される磁石と、前記変位部材を変位方向に往復動自在に支持する支持部材と、前記磁石に対向するように前記支持部材に配置され前記磁石の変位に伴う磁界の変化に応じた出力値を出力する磁気センサと、前記磁気センサの前記出力値を補正マップに基づいて補正する出力補正部と、を備える変位検出装置の較正方法であって、
前記磁石と前記磁気センサとが互いに近づく方向に前記変位部材が傾いた状態において前記変位部材を前記変位方向に変位させて前記磁気センサの第1出力値を測定し、
前記磁石と前記磁気センサとが互いに離れる方向に前記変位部材が傾いた状態において前記変位部材を前記変位方向に変位させて前記磁気センサの第2出力値を測定し、
前記磁気センサの前記出力値を前記変位部材の変位量に対して直線的に変化するように補正する前記補正マップを前記第1出力値及び前記第2出力値に基づいて設定することを特徴とする変位検出装置の較正方法。
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