JP2019049255A - 真空ポンプの磁気支承部のマグネットリングのマーキングの為の方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】課題は、真空ポンプ(111)、特にターボ分子ポンプの磁気支承部(183)のマグネットリング(195,197)のマーキングの為の方法であって、この方法において、マグネットリング(195,197)の表面に、当該表面において、マグネットリング(195,197)の他の残りの表面と比較して異なる表面特性が加熱によって生じることによって、マーキング(225,227)が生じることを特徴とする方法により解決される。
【選択図】 図1
Description
113 インレットフランジ
115 ポンプインレット
117 ポンプアウトレット
119 ハウジング
121 下部分
123 エレクトロニクスハウジング
125 電動モーター
127 アクセサリー接続部
129 データインターフェース
131 電源供給接続部
133 フローインレット
135 シールガス接続部
137 モーター室
139 冷却媒体接続部
141 下側
143 スクリュー
145 支承部カバー
147 固定穴
148 冷却媒体配管
149 ローター
151 回転軸
153 ローター軸
155 ローターディスク
157 ステーターディスク
159 スペーサーリング
161 ローターハブ
163 ホルベックロータースリーブ
165 ホルベックロータースリーブ
167 ホルベックステータースリーブ
169 ホルベックステータースリーブ
171 ホルベック間隙
173 ホルベック間隙
175 ホルベック間隙
179 接続チャネル
181 ローラー支承部
183 永久磁石支承部
185 スプラッシュナット
187 ディスク
189 インサート
191 ローター側の支承半部
193 ステーター側の支承半部
195 リングマグネット
197 リングマグネット
199 支承間隙
201 キャリア部分
203 キャリア部分
205 半径方向の支柱
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 さらばね
215 緊急用、又は安全用支承部
217 モーターステーター
219 中間空間
221 壁部
223 ラビリンスシール
225 マーキング
227 マーキング
Claims (15)
- 真空ポンプ(111)、特にターボ分子ポンプの磁気支承部(183)のマグネットリング(195,197)のマーキングの為の方法であって、この方法において、マグネットリング(195,197)の表面に、当該表面において、マグネットリング(195,197)の他の残りの表面と比較して異なる表面特性が加熱によって生じることによって、マーキング(225,227)が生じることを特徴とする方法。
- 加熱が、レーザーによって実施され、特にファイバーレーザーによって、特にナノセカンド領域のパルス幅、及び/又は約1064の波長を有するファイバーレーザーによって、及び/又は、その際、特にレーザーが、スキャナーによってマグネットリングの表面にわたってハッチングするよう転向され、及び/又は、その際、レーザーの為の光学装置、特にスキャナーに、5cmから70cmの間の焦点距離で設けられていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- レーザーがマーキングの際に、10ワットから40ワットの出力により運転されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- レーザーが、マーキングの際、50kHzから400kHzの間のパルス周波数でもって運転されることを特徴とする請求項2または3に記載の方法。
- レーザーが、マーキング(225,227)の領域の加熱を少なくとも一回繰り返すことを特徴とする請求項2から4の少なくとも一項に記載の方法。
- マーキング(225,227)が、レーザーの焦点面の外に位置する、特に0mmから20mmの間の間隔で焦点面の外に位置するように、レーザー、及び/又はマグネットリングが整向されることを特徴とする請求項2から5の少なくとも一項に記載の方法。
- 表面が、稜線形成が行われない程度のみ加熱されることを特徴とする請求項1から6の少なくとも一項に記載の方法。
- マグネットリング(195,197)が、少なくともマーキング(195,197)の領域においてコーティングを施されておらず、及び表面が、マーキング(195,197)の領域において焼き戻されるが、しかし溶融しないことを特徴とする請求項1から7の少なくとも一項に記載の方法。
- 表面が、少なくともマーキング(225,227)の領域において、マグネットリング(195,197)のコーティングによって形成されており、そして表面がマーキング(195,197)の領域において短時間溶融され、特に、表面が後続する硬化の後に、変化した表面粗さを有するよう溶融されることを特徴とする請求項1から8の少なくとも一項に記載の方法。
- マグネットリング(195,197)が、ニッケルコーティング、及び/又はコバルト合金を有することを特徴とする請求項1から9の少なくとも一項に記載の方法。
- マーキング(225,227)が、マグネットリング(195,197)の外側面、及び/又は正面に配置されていることを特徴とする請求項1から10の少なくとも一項に記載の方法。
- 方法が、更に、マグネットリング(195,197)の極性と、方向依存する更なる特性の検出を含み、その際、唯一のマーキング(225,227)が施され、このマーキングが、方向依存する特性に相当するマグネットリングの角度位置に配置されることによって、マーキングが、極性も、方向依存する別の特性も認識可能とさせることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- 複数のマグネットリング(195,197)を有する磁気支承部(183)を有する真空ポンプ(111)の製造の為の方法であって、この方法において、
少なくとも一つのマグネットリング(195,197)が、その特性の一つに応じて請求項1から12のいずれか一項に記載の方法によってマーキングされ、そして、
マグネットリング(195,197)が、マーキングに応じて真空ポンプの磁気支承部(183)内に配置されることを特徴とする方法。 - マグネットリング(195,197)が、圧入によって真空ポンプ(111)内で固定され、そしてマーキング(195,197)が圧入に関与するマグネットリング(195,197)の表面に配置されていることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 少なくとも一つのマグネットリング(195,197)を有する磁気支承部(183)を有する真空ポンプ(111)であって、
その際、マグネットリング(195,197)が、表面にマーキング(225,227)を有し、その際、当該表面が、マーキング(225,227)の領域において、マグネットリングの他の残りの表面と比較して異なる表面特性を有することを特徴とする真空ポンプ。
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