JP2019046870A - 熱流束センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1実施形態について説明する。まず、本実施形態の熱流束センサの構成について説明する。本実施形態の熱流束センサは、図1〜図3に示されるように、絶縁基材10、表面保護部材20、裏面保護部材30が積層されて一体化され、この一体化されたものの内部で第1、第2層間接続部材40、50が交互に直列に接続されて構成されている。なお、図1は、断面図ではないが、理解をし易くするために第1、第2層間接続部材40、50にハッチングを施してある。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 表面
10b 裏面
11 第1ビアホール
12 第2ビアホール
20 表面保護部材
20a 一面
20b 他面
21 表面パターン
22 表面バリア膜
30 裏面保護部材
30a 一面
30b 他面
31 裏面パターン
32 裏面バリア膜
Claims (6)
- 第1層間接続部材(40)および第2層間接続部材(50)を有する熱流束センサにおいて、
熱可塑性樹脂を含んで構成され、厚さ方向に貫通する第1ビアホール(11)および第2ビアホール(12)がそれぞれ複数形成された絶縁基材(10)と、
前記第1ビアホールに配置され、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持した状態で固相焼結された焼結合金で構成される前記第1層間接続部材と、
前記第2ビアホールに配置され、前記第1層間接続部材と異なる金属原子が所定の結晶構造を維持した状態で固相焼結された焼結合金で構成される前記第2層間接続部材と、
前記絶縁基材の表面(10a)に配置され、前記絶縁基材の表面と対向する一面(20a)に所定の前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材と電気的に接続される表面パターン(21)が形成された表面保護部材(20)と、
前記絶縁基材の裏面(10b)に配置され、前記絶縁基材の裏面と対向する一面(30a)に所定の前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材と電気的に接続される裏面パターン(31)が形成された裏面保護部材(30)と、を備え、
前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材が前記表面パターンおよび前記裏面パターンを介して直列に接続されており、
前記表面保護部材は、前記一面と反対側の他面(20b)に前記表面保護部材より酸化性の気体の透過率が低い表面バリア膜(22)が形成され、
前記裏面保護部材は、前記一面と反対側の他面(30b)に前記裏面保護部材より酸化性の気体の透過率が低い裏面バリア膜(32)が形成されている熱流束センサ。 - 前記表面バリア膜は、前記表面保護部材の他面に対する法線方向から視たとき、全ての前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材が前記表面バリア膜内に位置する状態で形成され、
前記裏面バリア膜は、前記裏面保護部材の他面に対する法線方向から視たとき、全ての前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材が前記裏面バリア膜内に位置する状態で形成されている請求項1に記載の熱流束センサ。 - 第1層間接続部材(40)および第2層間接続部材(50)を有する熱流束センサの製造方法において、
熱可塑性樹脂を含んで構成された絶縁基材(10)を用意することと、
前記絶縁基材に、厚さ方向に貫通する第1ビアホール(11)および第2ビアホール(12)をそれぞれ複数形成し、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金の粉末に有機溶剤が加えられてペースト化された第1導電性ペースト(41)を前記第1ビアホールに充填し、前記合金とは異なる合金の粉末であって、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金の粉末に有機溶剤が加えられてペースト化された第2導電性ペースト(51)を前記第2ビアホールに充填することと、
一面(20a)に表面パターン(21)が形成された表面保護部材(20)を用意することと、
一面(30a)に裏面パターン(31)が形成された裏面保護部材(30)を用意することと、
前記絶縁基材の表面側に、前記表面パターンが所定の前記第1、第2導電性ペーストと接触するように前記表面保護部材を配置すると共に、前記絶縁基材の裏面側に、前記裏面パターンが所定の前記第1、第2導電性ペーストと接触するように前記裏面保護部材を配置して積層体(90)を形成することと、
前記積層体を加熱しながら積層方向から加圧し、前記第1導電性ペーストを固相焼結して焼結合金で構成される第1層間接続部材を形成すると共に、前記第2導電性ペーストを固相焼結して焼結合金で構成される第2層間接続部材(50)を形成し、かつ前記第1層間接続部材および前記第2層間接続部材と前記表面パターンおよび前記裏面パターンとを電気的に接続する一体化することと、を行い、
前記表面保護部材の前記一面と反対側の他面(20b)に、前記表面保護部材より酸化性の気体の透過率が低い表面バリア膜(22)を形成することと、
前記裏面保護部材の前記一面と反対側の他面(30b)に、前記裏面保護部材より酸化性の気体の透過率が低い裏面バリア膜(32)を形成することと、を行う熱流束センサの製造方法。 - 前記表面保護部材を用意することでは、前記表面パターンと共に前記表面バリア膜を形成することを行い、
前記裏面保護部材を用意することでは、前記裏面パターンと共に前記裏面バリア膜を形成することを行う請求項3に記載の熱流束センサの製造方法。 - 前記表面バリア膜を形成することでは、前記表面パターンと同じ金属材料で形成された前記表面バリア膜を形成し、
前記裏面バリア膜を形成することでは、前記裏面パターンと同じ金属材料で形成された前記裏面バリア膜を形成する請求項4に記載の熱流束センサの製造方法。 - 前記表面保護部材を用意することでは、前記一面に金属膜(24)を配置すると共に前記他面に前記金属膜と同じ金属材料で形成された金属膜(25)を配置することと、前記一面に形成された前記金属膜をパターニングして前記表面パターンを形成することと、前記他面に形成された前記金属膜をパターニングして前記表面バリア膜を形成することと、を行い、
前記表面パターンを形成することおよび前記表面バリア膜を形成することでは、ウェットエッチングにより、前記一面に形成された金属膜および前記他面に形成された金属膜を同時にパターニングする請求項5に記載の熱流束センサの製造方法。
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