JP2019045330A - Visual inspection device and product manufacturing system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、外観検査装置及び製品製造システムに係り、特に製品の製造過程において製品の外観を検査するための外観検査装置に関するものである。 The present invention relates to an appearance inspection apparatus and a product manufacturing system, and more particularly to an appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of a product in the manufacturing process of the product.
製品の製造過程において行われる外観検査においては、製品の表面に対して光源から検査光を照射し、この検査光により製品の表面の傷や凹み、汚れなどを顕在化させ、これをカメラで撮像し、カメラで撮像した画像を分析することで傷や凹み、汚れを検出することが一般的に行われている。このような外観検査においては、製品の様々な箇所を検査するために、製品に対してカメラを移動させることもなされている(例えば、特許文献1参照)。 In the appearance inspection carried out in the manufacturing process of a product, the surface of the product is irradiated with inspection light from the light source, and the inspection light causes scratches, dents, dirt, etc. on the surface of the product to be manifested by a camera It is a common practice to detect scratches, dents and stains by analyzing images taken with a camera. In such visual inspection, in order to inspect various parts of the product, the camera is moved relative to the product (see, for example, Patent Document 1).
例えば、製品の表面の傷や凹みが形成される角度や方向、長さなどは様々であり、これらの傷や凹みを精度高く検出するためには、様々な方向から検査光を照射する必要がある。しかしながら、特許文献1に開示されている技術では、光源とカメラとがフレームに一体的に設けられているため、光源とカメラとの位置関係が常に一定となり、製品の表面の構造によっては傷や凹み、汚れを検出できない場合がある。例えば、検査光が照射される方向によって傷や凹み、汚れの輪郭が不鮮明になってしまう場合や検査光により生ずる影が傷や凹み、汚れに重なってしまう場合には、これらの傷や凹み、汚れを検出することができず、人間の目による検査が必要となり、結果的に生産効率が低下する。 For example, the angle, direction, and length at which scratches and dents are formed on the surface of a product vary, and in order to detect these flaws and dents with high accuracy, it is necessary to irradiate inspection light from various directions. is there. However, in the technology disclosed in Patent Document 1, since the light source and the camera are integrally provided in the frame, the positional relationship between the light source and the camera is always constant, and depending on the structure of the product surface, scratches and In some cases, dents and dirt can not be detected. For example, depending on the direction in which the inspection light is irradiated, if the outline of the dirt becomes unclear or if the shadow caused by the inspection light overlaps with the flaw or dent, these scratches or dents may occur. The dirt can not be detected, and inspection by human eyes is required, resulting in a decrease in production efficiency.
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、検査対象物の表面の傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができる外観検査装置を提供することを第1の目的とする。 The present invention has been made in view of the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide an appearance inspection apparatus capable of detecting scratches, dents, stains and the like on the surface of an inspection object with high accuracy. The purpose of
表面に傷や凹み、汚れなどが存在する不具合製品を精度高く検出することができ、質の高い製品を製造することができる製品製造システムを提供することを第2の目的とする。 It is a second object of the present invention to provide a product manufacturing system capable of accurately detecting defective products in which scratches, dents, dirt, etc. are present on the surface, and capable of manufacturing high quality products.
本発明の第1の態様によれば、検査対象物の表面の傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができる外観検査装置が提供される。検査対象物の外観を検査するための外観検査装置は、上記検査対象物を支持する支持ステージと、上記支持ステージ上の上記検査対象物に検査光を照射する光源と、上記光源からの上記検査光が照射された上記検査対象物の外観を撮像する撮像ユニットと、上記光源が取り付けられた多関節ロボットとを備える。上記多関節ロボットは、上記光源と上記撮像ユニットとの間の相対的位置関係を変化させつつ、上記光源を上記検査対象物に対して移動させる。 According to the first aspect of the present invention, there is provided an appearance inspection apparatus capable of detecting scratches, dents, stains and the like on the surface of an inspection object with high accuracy. An appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of an inspection object includes a support stage for supporting the inspection object, a light source for irradiating inspection light to the inspection object on the support stage, and the inspection from the light source. It comprises an imaging unit for imaging the appearance of the inspection object irradiated with light, and an articulated robot to which the light source is attached. The articulated robot moves the light source relative to the inspection object while changing the relative positional relationship between the light source and the imaging unit.
このように、多関節ロボットを用いることにより、検査対象物に検査光を照射する光源を撮像ユニットから独立して移動させることができるので、光源と撮像ユニットとの間の位置関係をリアルタイムで変化させながら検査対象物に検査光を照射することができる。したがって、検査対象物の表面の傷や凹み、汚れなどの輪郭が鮮明になるように、あるいは、これらの傷や凹み、汚れなどが検査光により生ずる影と重ならないように光源を適切な姿勢で適切な位置に移動させることにより、従来の外観検査装置では検出できなかったような傷や凹み、汚れなどを検出することができる。このように、本発明に係る外観検査装置は、検査対象物の表面の傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができる。 Thus, by using the articulated robot, the light source for irradiating the inspection light to the inspection object can be moved independently from the imaging unit, so the positional relationship between the light source and the imaging unit is changed in real time It is possible to irradiate the inspection light to the inspection object while making the Therefore, the light source should be in an appropriate posture so that the outlines of scratches, dents and dirt on the surface of the inspection object become clear, or these scratches, dents and dirt do not overlap with the shadow caused by the inspection light. By moving it to an appropriate position, it is possible to detect scratches, dents, dirt, etc. which could not be detected by the conventional appearance inspection apparatus. As described above, the appearance inspection apparatus according to the present invention can detect scratches, dents, dirt and the like on the surface of the inspection object with high accuracy.
上記外観検査装置は、上記撮像ユニットにより撮像された画像を分析して上記検査対象物の外観検査を行う分析部をさらに備えていることが好ましい。また、上記外観検査装置は、上記光源と上記撮像ユニットとの間の相対的位置関係を変化させつつ、上記光源を上記検査対象物に対して移動するように上記多関節ロボットを制御する制御部をさらに備えていることが好ましい。この場合において、上記制御部は、上記光源から上記検査対象物の表面の検査対象部分に対して垂直な方向に上記検査光を照射するように上記多関節ロボットを制御してもよいし、あるいは、上記光源から上記検査対象物の表面の検査対象部分に対する接線方向に上記検査光を照射するように上記多関節ロボットを制御してもよい。 The appearance inspection apparatus preferably further includes an analysis unit that analyzes the image captured by the imaging unit and performs an appearance inspection of the inspection object. Further, the appearance inspection apparatus controls the articulated robot to move the light source relative to the inspection object while changing the relative positional relationship between the light source and the imaging unit. It is preferable to further comprise In this case, the control unit may control the articulated robot to irradiate the inspection light in a direction perpendicular to the inspection target portion of the surface of the inspection object from the light source, or The articulated robot may be controlled such that the inspection light is emitted from the light source in a direction tangential to the inspection target portion of the surface of the inspection object.
上記支持ステージは、上記撮像ユニットに対する上記検査対象物の姿勢を変化させるように構成されていることが好ましい。この場合には、上述の多関節ロボットにより光源と撮像ユニットとの間の位置関係を変化させるだけではなく、支持ステージ上の検査対象物と撮像ユニットとの間の位置関係も変化させることができるので、検査対象物を様々な角度から観察することができ、検査対象物の表面の傷や凹み、汚れなどの検出をより高精度に行うことができる。 It is preferable that the support stage is configured to change the posture of the inspection object with respect to the imaging unit. In this case, not only the positional relationship between the light source and the imaging unit can be changed by the above-described articulated robot, but also the positional relationship between the inspection object on the support stage and the imaging unit can be changed. Therefore, the inspection object can be observed from various angles, and detection of scratches, dents, dirt, etc. on the surface of the inspection object can be performed with higher accuracy.
本発明の第2の態様によれば、表面に傷や凹み、汚れなどが存在する不具合製品を精度高く検出することができ、質の高い製品を製造することができる製品製造システムが提供される。この製品製造システムは、上述した外観検査装置と、上記検査対象物を上記外観検査装置に搬入する第1の搬送装置と、上記外観検査装置において外観が検査された上記検査対象物を上記外観検査装置から搬出する第2の搬送装置とを備えている。 According to the second aspect of the present invention, there is provided a product manufacturing system capable of accurately detecting defective products having scratches, dents, dirt, etc. on the surface, and capable of manufacturing high quality products. . The product manufacturing system includes the appearance inspection apparatus described above, a first transport apparatus for carrying the inspection object into the appearance inspection apparatus, and the appearance inspection of the inspection object whose appearance is inspected in the appearance inspection apparatus. And a second transport device for unloading the device.
このように、上述した外観検査装置を製品製造システムに含めることにより、製造工程において生じた製品の傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができるため、そのような不具合のある製品を精度高く検出して最終製品から排除することができ、最終製品の品質を向上させることができる。 As described above, by including the appearance inspection apparatus described above in a product manufacturing system, it is possible to detect scratches, dents, dirt, etc. of the product generated in the manufacturing process with high accuracy. It can be highly detected and excluded from the final product, which can improve the quality of the final product.
本発明に係る外観検査装置によれば、多関節ロボットを用いることにより、光源と撮像ユニットとの間の位置関係をリアルタイムで変化させながら検査対象物に検査光を照射することができる。したがって、従来の外観検査装置では検出できなかったような傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができる。また、本発明に係る製品製造システムによれば、製造工程において生じた製品の傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができるため、そのような不具合のある製品を精度高く検出して最終製品から排除することができ、最終製品の品質を向上させることができる。 According to the appearance inspection apparatus according to the present invention, by using the articulated robot, the inspection light can be irradiated to the inspection object while changing the positional relationship between the light source and the imaging unit in real time. Therefore, scratches, dents, dirt and the like which can not be detected by the conventional appearance inspection apparatus can be detected with high accuracy. In addition, according to the product manufacturing system according to the present invention, it is possible to detect with high accuracy the scratches, dents, dirt, etc. of the product generated in the manufacturing process, so it is possible to detect such defective products with high accuracy. It can be excluded from the product, and the quality of the final product can be improved.
以下、本発明に係る製品製造システム及び外観検査装置の実施形態について図1から図10を参照して詳細に説明する。なお、図1から図10において、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。また、図1から図10においては、各構成要素の縮尺や寸法が誇張されて示されている場合や一部の構成要素が省略されている場合がある。 Hereinafter, embodiments of a product manufacturing system and an appearance inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 10. Note that, in FIG. 1 to FIG. 10, the same or corresponding components are given the same reference numerals, and duplicate explanations are omitted. Further, in FIGS. 1 to 10, the scale and dimensions of each component may be exaggerated and shown, or some components may be omitted.
図1は、本発明の一実施形態における製品製造システム1を示す模式図である。図1に示すように、製品製造システム1は、所望の製品を製造するための製造ラインを構成しており、本実施形態では、処理対象物に所定の処理を施して完成前の製品を作製する前段処理装置2と、前段処理装置2により得られた完成前の製品の外観を検査する外観検査装置3と、外観検査装置3により外観が検査された完成前の製品に対して所定の処理(例えば包装など)を施して製品を完成させる後段処理装置4とを備えている。
FIG. 1 is a schematic view showing a product manufacturing system 1 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the product manufacturing system 1 constitutes a manufacturing line for manufacturing a desired product, and in the present embodiment, the processing object is subjected to predetermined processing to manufacture a product before completion.
前段処理装置2と外観検査装置3との間にはベルトコンベアやロボットハンドなどの第1の搬送装置5が設けられており、この第1の搬送装置5により、前段処理装置2により得られた完成前の製品が外観検査装置3に搬送される。また、外観検査装置3と後段処理装置4との間にはベルトコンベアやロボットハンドなどの第2の搬送装置6が設けられており、この第2の搬送装置6により、外観検査装置3において外観が検査された完成前の製品が後段処理装置4に搬送される。
Between the
なお、前段処理装置2における処理が複数の工程からなる場合には、前段処理装置2を工程ごとに分割して、複数台の前段処理装置を設けてもよい。同様に、後段処理装置4における処理が複数の工程からなる場合には、後段処理装置4を工程ごとに分割して、複数台の後段処理装置を設けてもよい。また、外観検査装置3による外観検査に合格した製品を完成品とする場合には、後段処理装置4は不要である。
When the processing in the
図2は、外観検査装置3を示す模式図である。図2に示すように、外観検査装置3は、前段処理装置2から第1の搬送装置5により搬入された製品(検査対象物)10を支持する支持ステージ20と、検査対象物10の外観を撮像する撮像ユニット30と、支持ステージ20上の検査対象物10に検査光Lを照射する光源40と、この光源40を検査対象物10の周囲の所望の位置に移動させる多関節ロボット50と、マイクロプロセッサやメモリなどを含む制御ユニット60とを備えている。撮像ユニット30は、例えば、検査対象物10の静止画像又はビデオ画像を取得するカメラを備えている。また、光源40としては、蛍光管、LED、リング照明などを用いることができる。
FIG. 2 is a schematic view showing the
制御ユニット60は、撮像ユニット30により撮像された画像を分析する分析部62と、多関節ロボット50の動作を制御するロボット制御部64とを含んでいる。分析部62は、光源40からの検査光Lによって照明された検査対象物10の画像を各種の解析方法により分析し、検査対象物10の表面に傷や凹み、汚れなどがないかを判断する。なお、これらの解析方法としては、周知である任意の方法を用いることができるので、ここでは説明を省略する。
The
多関節ロボット50は、ベース部51と、複数の関節52〜54と、関節52〜54に連結された複数のリンク部材55〜57とを有しており、上述した光源40がリンク部材57の先端に取り付けられている。多関節ロボット50は、制御ユニット60のロボット制御部64に接続されており、ロボット制御部64からの命令に応じて各関節52〜54周りにリンク部材55〜57が回転するようになっている。したがって、ロボット制御部64は、多関節ロボット50に送信する命令を適切に組み合わせることにより、リンク部材57の先端に取り付けられた光源40を任意の姿勢で任意の位置に移動することができる。
The articulated
このように、本実施形態では、多関節ロボット50により、検査対象物10に検査光Lを照射する光源40を撮像ユニット30から独立して移動させることができるので、光源40と撮像ユニット30との間の位置関係をリアルタイムで変化させながら検査対象物10に検査光Lを照射することができる。したがって、検査対象物10の表面の傷や凹み、汚れなどの輪郭が鮮明になるように、あるいは、これらの傷や凹み、汚れなどが検査光Lにより生ずる影と重ならないように光源40を適切な姿勢で適切な位置に移動させることにより、従来の外観検査装置では検出できなかったような傷や凹み、汚れなどを検出することができる。このように、本実施形態の外観検査装置3は、検査対象物10の表面の傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができる。
As described above, in the present embodiment, since the
支持ステージ20はステージ台22に搭載されているが、このステージ台22は、アクチュエータなどの駆動により支持ステージ20の姿勢を変化させることができるように構成されていることが好ましい。この場合には、上述の多関節ロボット50により光源40と撮像ユニット30との間の位置関係を変化させるだけではなく、支持ステージ20上の検査対象物10と撮像ユニット30との間の位置関係も変化させることができるので、検査対象物10を様々な角度から観察することができ、検査対象物10の表面の傷や凹み、汚れなどの検出をより高精度に行うことができる。
Although the
検査対象物10の形態としては、平板状のものや凹凸のあるもの(例えばカメラの筐体や靴)が考えられるが、検査対象物10が複雑な形状を有する場合には、従来の外観検査装置では検出できない傷や凹み、汚れなどが多くなる傾向にある。本実施形態における外観検査装置3によれば、上述したように、光源40と撮像ユニット30との間の位置関係をリアルタイムで変化させながら検査光Lを検査対象物10に照射することができるので、そのような傷や凹み、汚れであっても精度高く検出することが可能である。
The form of the
また、上述した外観検査装置3を製品製造システム1に含めることにより、製造工程において生じた製品の傷や凹み、汚れなどを精度高く検出することができるため、そのような不具合のある製品を精度高く検出して最終製品から排除することができる。したがって、最終製品の品質が向上する。
Further, by including the
上述したように、本実施形態では、多関節ロボット50によって光源40を任意の姿勢で任意の位置に移動させることができるが、以下では、検査対象物10に対する光源40の位置及び姿勢についていくつかの例を説明する。
As described above, in the present embodiment, the
図3A〜図3Cは、平板状の検査対象物10Aに対して検査光Lを照射する光源40の位置と姿勢の例を示す模式的斜視図である。平板状の検査対象物10Aに対しては、図3Aに示すように、検査対象物10Aが延びる平面と平行な方向(水平方向)に検査光Lを照射してもよい。例えば、図3Aに示すように、検査対象物10Aの四辺に対応して、検査対象物10Aの中心周りに90度ごとに光源40を移動させるようにしてもよい(状態A1〜状態A4)。また、図3Bに示すように、検査対象物10Aの上方から検査対象物10Aの表面に対して斜め方向(例えば45度)に検査光Lを照射してもよい(状態B1〜状態B4)。さらに、図3Cに示すように、検査対象物10Aの上方から検査対象物10Aの表面に対して垂直な方向に検査光Lを照射してもよい(状態C1)。
3A to 3C are schematic perspective views showing an example of the position and posture of the
検査対象物10Aの外観検査を行う場合には、制御ユニット60のロボット制御部64は、水平方向からの検査光Lの照射(図3A)、斜め方向からの検査光Lの照射(図3B)、及び垂直方向からの検査光Lの照射(図3C)を組み合わせた所定のルートに沿って光源40を移動させるように多関節ロボット50を制御する。例えば、図4に示すように、まず、光源40を検査対象物10Aに対して水平方向に検査光Lを照射する状態A1とし、この状態A1から光源40を水平面内で時計回りに90度回転させて状態A2とする。そして、この状態A2から光源40を下方に傾けつつ反時計回りに180度回転させて状態B4とし、この状態B4から光源40を時計回りに180度回転させて状態B2とする。最後にこの状態B2から光源40を移動して検査対象物10Aに対して垂直な方向に検査光Lを照射する状態C1とする。なお、光源40がこのルートと逆のルートを辿るようにしてもよいし、その他任意のルートを辿るようにすることもできる。
When the appearance inspection of the
図5A及び図5Bは、凸部12を有する検査対象物10Bに対して検査光Lを照射する光源40の位置と姿勢の例を示す模式的斜視図である。凸部12を有する検査対象物10Bに対しては、図5Aに示すように、検査対象物10Bの上方から検査対象物10Bに対して斜め方向に検査光Lを照射してもよい(状態D1〜状態D4)。また、図5Bに示すように、検査対象物10Bの上方から検査対象物10Bに対して垂直な方向に検査光Lを照射してもよい(状態E1)。
5A and 5B are schematic perspective views showing an example of the position and posture of the
図5Aに示すように、検査対象物10Bに対して斜め方向に検査光Lを照射する場合には、検査対象物10Bの凸部12の表面の傷や凹みなどを顕在化させるために、図6Aに示すように凸部12の検査対象部分Pに対して垂直な方向から検査光Lを照射するか、あるいは、図6Bに示すように凸部12の検査対象部分Pに対する接線方向に検査光Lを照射することが好ましい。
As shown in FIG. 5A, in the case where the inspection light L is irradiated to the
検査対象物10Bの外観検査を行う場合には、制御ユニット60のロボット制御部64は、斜め方向からの検査光Lの照射(図5A)及び垂直方向からの検査光Lの照射(図5B)を組み合わせた所定のルートに沿って光源40を移動させるように多関節ロボット50を制御する。例えば、図7に示すように、まず、光源40を検査対象物10Bに対して斜め方向に検査光Lを照射する状態D3とし、この状態D3から光源40を時計回りに回転させて順次状態D4、状態D1、状態D2とする。このとき、図6A及び図6Bに示すように、凸部12の検査対象部分に対して垂直な方向又は接線方向に検査光Lを照射するように光源40の傾きを変化させながら回転させることが好ましい。そして、状態D2から光源40を移動して検査対象物10Bに対して垂直な方向に検査光Lを照射する状態E1とする。なお、光源40がこのルートと逆のルートを辿るようにしてもよいし、その他任意のルートを辿るようにすることもできる。
When the appearance inspection of the
図8A及び図8Bは、凹部14を有する検査対象物10Cに対して検査光Lを照射する光源40の位置と姿勢の例を示す模式的斜視図である。凹部14を有する検査対象物10Cに対しては、図8Aに示すように、検査対象物10Cの上方から検査対象物10Cに対して斜め方向に検査光Lを照射してもよい(状態F1〜状態F4)。また、図8Bに示すように、検査対象物10Cの上方から検査対象物10Cに対して垂直な方向に検査光Lを照射してもよい(状態G1)。
8A and 8B are schematic perspective views showing an example of the position and posture of the
図8Aに示すように、検査対象物10Cに対して斜め方向に検査光Lを照射する場合には、検査対象物10Cの凹部14の表面の傷や凹みなどを顕在化させるために、図9Aに示すように凹部14内の検査対象部分Pに対して垂直な方向から検査光Lを照射するか、あるいは、図9Bに示すように凹部14内の検査対象部分Pに対する接線方向に検査光Lを照射することが好ましい。
As shown in FIG. 8A, in the case where the inspection light L is irradiated to the
検査対象物10Cの外観検査を行う場合には、制御ユニット60のロボット制御部64は、斜め方向からの検査光Lの照射(図8A)及び垂直方向からの検査光Lの照射(図8B)を組み合わせた所定のルートに沿って光源40を移動させるように多関節ロボット50を制御する。例えば、図10に示すように、まず、光源40を検査対象物10Cに対して斜め方向に検査光Lを照射する状態F3とし、この状態F3から光源40を時計回りに回転させて順次状態F4、状態F1、状態F2とする。このとき、図9A及び図9Bに示すように、凹部14の検査対象部分に対して垂直な方向又は接線方向に検査光Lを照射するように光源40の傾きを変化させながら回転させることが好ましい。そして、状態F2から光源40を移動して検査対象物10Cに対して垂直な方向に検査光Lを照射する状態G1とする。なお、光源40がこのルートと逆のルートを辿るようにしてもよいし、その他任意のルートを辿るようにすることもできる。
When the appearance inspection of the
これまで本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。 Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiments and may be implemented in various different forms within the scope of the technical idea thereof.
1 製品製造システム
2 前段処理装置
3 外観検査装置
4 後段処理装置
5 第1の搬送装置
6 第2の搬送装置
10,10A,10B,10C 検査対象物
12 凸部
14 凹部
20 支持ステージ
22 ステージ台
30 撮像ユニット
40 光源
50 多関節ロボット
51 ベース部
52〜54 関節
55〜57 リンク部材
60 制御ユニット
62 分析部
64 ロボット制御部
L 検査光
P 検査対象部分
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (7)
前記検査対象物を支持する支持ステージと、
前記支持ステージ上の前記検査対象物に検査光を照射する光源と、
前記光源からの前記検査光が照射された前記検査対象物の外観を撮像する撮像ユニットと、
前記光源が取り付けられた多関節ロボットであって、前記光源と前記撮像ユニットとの間の相対的位置関係を変化させつつ、前記光源を前記検査対象物に対して移動させる多関節ロボットと
を備える、外観検査装置。 An appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of an inspection object, comprising:
A support stage for supporting the inspection object;
A light source for irradiating the inspection object on the inspection object on the support stage;
An imaging unit for imaging the appearance of the inspection object irradiated with the inspection light from the light source;
The articulated robot to which the light source is attached, the articulated robot moving the light source with respect to the inspection object while changing the relative positional relationship between the light source and the imaging unit , Appearance inspection device.
前記検査対象物を前記外観検査装置に搬入する第1の搬送装置と、
前記外観検査装置において外観が検査された前記検査対象物を前記外観検査装置から搬出する第2の搬送装置と
を備える、製品製造システム。
An appearance inspection apparatus according to any one of claims 1 to 6,
A first transport device for carrying the inspection object into the appearance inspection device;
A second manufacturing apparatus for carrying out the inspection object whose appearance has been inspected by the appearance inspection apparatus from the appearance inspection apparatus.
Priority Applications (2)
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