JP2019020320A - probe - Google Patents
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Abstract
Description
ここに開示された技術は、プローブに関する。 The technique disclosed here relates to a probe.
従来より、プローブ、特に、渦電流を利用した探傷に用いられるプローブが知られている。例えば、特許文献1には、磁性体からなるコアと、コアに巻回されたコイルとを備えたプローブが開示されている。コイルにパルス状の電圧が印加されることによって、コアが励磁される。コアの両端部は、探傷の対象物である配管に対向するように配置されている。そのため、コイルが生成する磁場によって、配管には渦電流が発生する。この渦電流を検出することによって、配管の減肉検査等の探傷が行われる。
Conventionally, a probe, particularly a probe used for flaw detection using eddy current is known. For example,
ところで、前述のようなプローブにおいては、対象物により多くの磁束を通過させることが望まれる場合がある。例えば、探傷においては、渦電流が大きいほど、傷の有無又は大きさに起因する渦電流の変化が判別しやすくなるので、測定精度が向上する。そのためには、より多くの磁束を対象物に通過させることが好ましい。 By the way, in the probe as described above, it may be desired to pass more magnetic flux through the object. For example, in flaw detection, the larger the eddy current, the easier it is to determine the change in eddy current due to the presence or absence of the flaw, and the measurement accuracy improves. For this purpose, it is preferable to pass more magnetic flux through the object.
ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、より多くの磁束を対象物に通過させることにある。 The technology disclosed herein has been made in view of such a point, and an object thereof is to pass more magnetic flux through the object.
ここに開示された技術は、対象物に渦電流を発生させるプローブが対象である。このプローブは、前記対象物に対向するように配置され且つ互いに反対の磁性に励磁される第1極及び第2極を有し、前記第1極及び前記第2極の一方から出て他方へ入る磁束を対象物に通過させるコアと、前記コアに巻回され、前記コアを励磁するコイルとを備え、前記第1極及び前記第2極は、先細な形状をしている。 The technique disclosed herein is a probe that generates an eddy current in an object. The probe has a first pole and a second pole that are arranged so as to face the object and are excited by opposite magnetism, and exits from one of the first pole and the second pole to the other. A core for passing an incoming magnetic flux through an object and a coil wound around the core and exciting the core are provided, and the first pole and the second pole have a tapered shape.
前記プローブによれば、より多くの磁束を対象物に通過させることができる。 According to the probe, more magnetic flux can be passed through the object.
以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、厚さ測定装置100のブロック図である。
Hereinafter, exemplary embodiments will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of the
厚さ測定装置100は、測定対象物9に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出するセンサ装置10と、検出された渦電流の過渡変化に基づいて測定対象物9の厚さを求める演算装置6とを備えている。厚さ測定装置100は、パルス渦電流探傷(PEC:Pulsed Eddy Current)によって測定対象物9の厚さを測定する。測定対象物9は、例えば、金属配管である。
The thickness measuring
センサ装置10は、測定対象物9に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出するプローブ2と、プローブ2を制御する装置本体5とを有している。
The
プローブ2は、コア3と、コア3に巻回された励磁コイル41及び受信コイル42とを有している。プローブ2は、非接触型のプローブであり、測定対象物9に近接して配置される。尚、「非接触型」とは、非接触でも使用可能であることを意味し、接触状態での使用を除外するものではない。プローブ2は、変動磁場を発生させることによって測定対象物9に渦電流を発生させる。また、プローブ2は、測定対象物9に発生した渦電流の変化を誘導電圧として検出する。例えば、プローブ2は、断熱性を有するスペーサ(図示省略)を介して測定対象物9に設置される。
The
装置本体5は、励磁コイル41に励磁電流を印加する励磁部51と、測定対象物9の渦電流の過渡変化を検出する検出部54と、外部機器と通信を行う通信部56と、各種情報を記憶する記憶部57と、少なくとも励磁部51、検出部54、通信部56及び記憶部57を制御する制御部58とを有している。
The
励磁部51は、パルス状の励磁電流を励磁コイル41に供給する。励磁部51は、パルス信号を発生するパルス発生器52と、パルス発生器52からのパルス信号を増幅して、励磁電流として出力する送信アンプ53とを有している。
The
検出部54は、測定対象物9の渦電流に応じて受信コイル42に発生する誘導起電力を検出する。受信コイル42に発生する誘導起電力の過渡変化は、測定対象物9に発生する渦電流の過渡変化と関連している。検出部54は、受信コイル42に発生する電圧を増幅する受信アンプ55を少なくとも有している。検出部54は、電圧信号にフィルタ処理を施すフィルタをさらに有していてもよい。
The
通信部56は、外部機器と無線通信を行う。例えば、通信部56は、検出部54によって検出された電圧信号を演算装置6に送信する。
The
制御部58は、プロセッサで形成されている。例えば、制御部58は、励磁部51に所定期間だけ励磁電流を出力させる一方、励磁電流の出力停止後に検出部54による検出信号を取得する。制御部58は、取得した検出信号を記憶部57に記憶させ、記憶部57に記憶された検出信号を所定のタイミングで通信部56を介して演算装置6に送信する。
The
演算装置6は、コンピュータ又はコンピュータネットワーク(所謂、クラウド)で形成されている。演算装置6は、外部機器と通信を行う通信部61と、各種情報を記憶する記憶部62と、検出された渦電流の過渡変化に基づいて測定対象物9の厚さを求める演算部63とを有している。
The
通信部61は、外部機器と無線通信を行う。例えば、通信部61は、センサ装置10からの電圧信号を受信する。
The
記憶部62は、センサ装置10からの電圧信号、及び、測定対象物9の厚さを演算するために必要な情報等を記憶している。
The
演算部63は、プロセッサで形成されている。演算部63は、センサ装置10からの電圧信号(具体的には、電圧信号の過渡変化)に基づいて測定対象物9の厚さを演算する。
The
続いて、プローブ2について詳細に説明する。図2は、プローブ2の正面図である。図3は、コア3の第1極P1及び第2極P2の拡大斜視図である。
Subsequently, the
コア3は、第1直線部31と、第2直線部32と、第1直線部31及び第2直線部32を連結する連結部33とを有し、全体として概ねU字状に形成されている。より詳しくは、コア3は、パーマロイで形成された、概ねU字状の複数の薄板を積層されて形成されている(図3参照)。パーマロイの薄板は、水素焼鈍が施されている。
The
コア3は、第1直線部31の端部である第1端部34と、第2直線部32の端部である第2端部35との2つの端部を有している。コア3が励磁コイル41により励磁されることによって、第1端部34及び第2端部35には互いに反対の極が形成される。第1端部34に形成される極を第1極P1と称し、第2端部35に形成される極を第2極P2と称する。すなわち、コア3は、互いに反対の磁性に励磁される第1極P1及び第2極P2を有している。コア3は、第1極P1及び第2極P2が測定対象物9に対向するように配置される。第1極P1及び第2極P2の一方から出て他方へ入る磁束(図2中の二点鎖線の矢印)は、測定対象物9を通過する。このとき、連結部33は、ヨークとして機能し、コア3と測定対象物9とで閉回路が形成される。
The
第1極P1及び第2極P2は、先細な形状をしている。より詳しくは、第1極P1の端縁のうち第2極P2寄りの部分は、切り欠かれ、切欠部36が形成されている。同様に、第2極P2の端縁のうち第1極P1寄りの部分は、切り欠かれ、切欠部37が形成されている。
The first pole P1 and the second pole P2 have a tapered shape. More specifically, a portion near the second pole P2 in the end edge of the first pole P1 is notched, and a
励磁コイル41は、第1直線部31と第2直線部32とに巻回されている。この例では、第1直線部31に巻回された第1励磁コイル41Aと第2直線部32に巻回された第2励磁コイル41Bは、1本の電線で形成されている。以下、第1励磁コイル41Aと第2励磁コイル41Bとを区別しない場合には、単に「励磁コイル41」と称する。第1励磁コイル41A及び第2励磁コイル41Bは、コア3の長手方向において同じ向きの磁場を発生させる。そのため、第1極P1がN極となるときには、第2極P2はS極となる。逆に、第1極P1がS極となるときには、第2極P2はN極となる。
The
受信コイル42は、第1直線部31と第2直線部32とに巻回されている。この例では、第1直線部31に巻回された第1受信コイル42Aと第2直線部32に巻回された第2受信コイル42Bは、電気的に分離された電線で形成されている。以下、第1受信コイル42Aと第2受信コイル42Bとを区別しない場合には、単に「受信コイル42」と称する。測定対象物9のうち第1極P1に対向する部分に発生した渦電流によって形成され、第1直線部31を介して第1受信コイル42Aを通過する磁束が変化することによって、第1受信コイル42Aに誘導起電力が発生する。測定対象物9のうち第2極P2に対向する部分に発生した渦電流によって形成され、第2直線部32を介して第2受信コイル42Bを通過する磁束が変化することによって、第1受信コイル42Aに誘導起電力が発生する。第1受信コイル42A及び第2受信コイル42Bは、これらの誘導起電力を検出する。
The
続いて、厚さ測定装置100による厚さ測定処理について説明する。
Subsequently, a thickness measurement process performed by the
まず、制御部58は、励磁部51に励磁電流を励磁コイル41へ出力させる。次に、制御部58は、励磁電流の出力を停止させ、測定対象物9に発生する渦電流を検出部54に検出させる。制御部58は、検出部54を介した電圧信号の検出を所定期間継続し、検出された電気信号を記憶部57に記憶していく。これにより、制御部58は、受信コイル42の誘電起電力の過渡変化(経時変化)、即ち、測定対象物9に発生する渦電流の過渡変化を取得する。その後、制御部58は、記憶部57に記憶された電圧信号を演算部63へ通信部56を介して送信する。
First, the
制御部58は、測定対象物9の厚さdが既知の状態において前述のように渦電流の過渡変化を取得する。その後、制御部58は、渦電流の過渡変化の取得を定期的に行う。これにより、厚さdが変化した測定対象物9の渦電流の過渡変化が継続的に取得される。尚、定期的な渦電流の過渡変化の取得に際し、励磁コイル41に印加される励磁電流の大きさは一定である。
The
演算装置6は、センサ装置10から取得した電圧信号に基づいて測定対象物9の厚さdを求める。
The
図4は、電圧信号V(t)の時間変化を示すグラフである。図4のグラフは、両対数グラフである。図4において、電圧信号V0(t)は、厚さd0を有する測定対象物9の電圧信号であり、電圧信号V1(t)は、厚さd0よりも薄い厚さd1を有する測定対象物9の電圧信号である。
FIG. 4 is a graph showing a time change of the voltage signal V (t). The graph of FIG. 4 is a log-log graph. In FIG. 4, a voltage signal V0 (t) is a voltage signal of the
渦電流は、測定対象物9に浸透していくのに従って減衰していく。渦電流は、測定対象物9の表面(プローブ2が対向している面)から裏面に到達するまでの間は徐々に減衰し、裏面に到達すると急激に減衰する。電圧信号V(t)も渦電流と同様の変化を示す。つまり、電圧信号V(t)の過渡変化は、渦電流の過渡変化に相当する。渦電流が測定対象物9の裏面に達するまでの間の電圧信号V(t)の変化は、両対数グラフ上では直線的(線形的)に表される。その後、電圧信号V(t)は、急激に減衰していく。このように変化する電圧信号V(t)は、以下の式(1)のように表され
The eddy current attenuates as it penetrates into the measuring
式(1)からもわかるように、電圧信号V(t)の変化態様は、時間τにおいて切り替わる。以下、説明の便宜上、τを「減衰時間」と称する。減衰時間τは、以下の式(2)で表わされる。 As can be seen from Equation (1), the change mode of the voltage signal V (t) is switched at time τ. Hereinafter, for convenience of explanation, τ is referred to as “attenuation time”. The decay time τ is expressed by the following equation (2).
τ=σμd2 ・・・(2)
ここで、σは、測定対象物9の導電率であり、μは、測定対象物9の透磁率であり、dは、測定対象物9の厚さである。
τ = σμd 2 (2)
Here, σ is the conductivity of the
つまり、測定対象物9の厚さdが変化すると、減衰時間τが変化する。この場合、測定対象物9の導電率σ及び透磁率μは一定なので、減衰時間τは、測定対象物9の厚さdのみに依存して変化する。また、減衰時間τ及び厚さdが変化しても、τ/d2は、一定である。そのため、既知の厚さd0に対する減衰時間τ0と、未知の厚さdxに対する減衰時間τxとがわかれば、以下の式(3)に基づいて、未知の厚さdxを求めることができ
That is, when the thickness d of the
演算装置6は、測定対象物9の既知の厚さを基準厚さd0とし、基準厚さd0における電圧信号V0(t)の過渡変化を取得する。以下、電圧信号V0(t)を基準電圧信号V0(t)と称する。その後、演算装置6は、未知の厚さdxに関する電圧信号Vx(t)を取得すると、電圧信号Vx(t)の過渡変化を基準電圧信号V0(t)の過渡変化と比較することによって、測定対象物9の厚さdxを求める。具体的には、演算装置6は、式(3)を用いて、基準厚さd0、基準減衰時間τ0及び減衰時間τxから変化後の厚さdxを求める。
The
このように測定対象物9の厚さdを求める厚さ測定装置100において、前述のようなプローブ2を用いることによって、厚さdの測定精度を向上させることができる。以下、その理由を、図2に示すように第1極P1がN極となり、第2極P2がS極となる場合を例に説明する。尚、第1極P1がS極となり、第2極P2がN極となる場合も同様の説明が成り立つ。
Thus, in the
プローブ2の第1極P1から発せられる大部分の磁束は、第1極P1の端面の法線方向に出て測定対象物9内へ入り、測定対象物9内を略円弧状に通過し、第2極P2の端面の法線方向へ第2極P2に入っていく。しかし、一部の磁束は、第1極P1から測定対象物9の表層を通過して第2極P2へ入っていったり、第1極P1から空中を通って第2極P2へ入っていったりする。例えば、図5は、切欠部36,37が形成されていない第1極P1’及び第2極P2’を有するコア3’を備えたプローブ2’の正面図である。このような構成では、第1極P1’と第2極P2’との間隔が狭くなるため、測定対象物9の表層にしか磁場を発生させない磁束が多くなる。
Most of the magnetic flux emitted from the first pole P1 of the
それに対し、プローブ2のコア3の第1極P1及び第2極P2は、前述のように先細な形状をしている。磁束は、第1極P1のうちコア3の長手方向の最も端の部分から出て行き、第2極P2のうち測定対象物9に最も接近した部分、即ち、コア3の長手方向の最も端の部分から入ってくる傾向がある。そのため、第1極P1又は第2極P2から発せられる磁束密度及び第2極P2に入ってくる磁束密度が向上する。磁束密度が向上すると、第1極P1の端面の法線方向へ出ていく磁束、及び、第2極P2の端面の法線方向へ入ってくる磁束が増加する。このような磁束は、測定対象物9の深い部分(表層ではない部分)を通過するだけでなく、測定対象物9内を通過する距離が長くなるため、測定対象物9に作用する磁場が大きくなる。その結果、より大きな渦電流が測定対象物9に発生する。
On the other hand, the first pole P1 and the second pole P2 of the
測定対象物9に発生する渦電流が大きくなると、プローブ2による励磁を停止してから測定対象物9の渦電流が減衰し切るまでの時間が長くなる。つまり、減衰時間τが長くなる。減衰時間τが短いと、減衰時間τを高い精度で測定することが求められる。見方を変えれば、減衰時間τが長くなると、減衰時間τの測定精度が向上することになる。式(3)からわかるように、測定対象物9の厚さdxは、基準減衰時間τ0と減衰時間τxとの比に基づいて求められる。減衰時間τの測定精度が向上すると、当然ながら基準減衰時間τ0と減衰時間τxとの比の精度も向上する。その結果、厚さdxの測定精度が向上する。
When the eddy current generated in the
さらに、第1極P1の端縁のうち第2極P2寄りの部分が切り欠かれ、同様に、第2極P2の端縁のうち第1極P1寄りの部分が切り欠かれている。これにより、第1極P1の切欠部36から出る磁束は減り、第1極P1におけるコア3の長手方向の最も端の部分、即ち、測定対象物Pと最も接近している端面から出る磁束が増加する。第2極P2へ入る磁束も同様であり、第2極P2の切欠部37へ入る磁束は減り、第2極P2におけるコア3の長手方向の最も端の部分、即ち、測定対象物Pと最も接近している端面へ入る磁束が増加する。結果として、第1極P1と第2極P2との間隔が、切欠部36,37が形成されていない場合と比べて拡がる。これにより、前述の第1極P1から測定対象物9の表層を通過して第2極P2へ入っていく磁束や、第1極P1から空中を通って第2極P2へ入っていく磁束が減少し、第1極P1の端面の法線方向へ出て、測定対象物9の深い部分(表層ではない部分)へ入っていく磁束が増加する。これにより、測定対象物9に作用する磁場が大きくなり、より大きな渦電流が測定対象物9に発生する。
Furthermore, a portion near the second pole P2 in the end edge of the first pole P1 is cut out, and similarly, a portion near the first pole P1 in the end edge of the second pole P2 is cut out. As a result, the magnetic flux emitted from the
ところで、第1極P1と第2極P2とを単純に引き離すことによっても、前述の第1極P1から測定対象物9の表層を通過して第2極P2へ入っていく磁束や、第1極P1から空中を通って第2極P2へ入っていく磁束を減少させることができるかもしれない。しかしながら、その場合、コア3の寸法、ひいては、プローブ2の寸法が大きくなる。プローブ2が大きくなると、プローブ2の取り扱いが煩雑となるだけでなく、測定対象物9のうち厚さdの測定箇所の大きさが大きくなってしまう。つまり、第1極P1及び第2極P2に前述のような切欠部36,37を形成することによって、コア3を小型化しつつ、測定対象物9に大きな渦電流を発生させることができる。コア3を小型化させることによって、プローブ2の取り扱いが容易になると共に、測定対象物9の局所的な部分の厚さdを測定することができる。
By simply separating the first pole P1 and the second pole P2, the magnetic flux passing through the surface layer of the
以上のように、測定対象物9(対象物)に渦電流を発生させるプローブ2は、測定対象物9に対向するように配置され且つ互いに反対の磁性に励磁される第1極P1及び第2極P2を有し、第1極P1及び第2極P2の一方から出て他方へ入る磁束を測定対象物9に通過させるコア3と、コア3に巻回され、コアを励磁する励磁コイル41(コイル)とを備え、第1極P1及び第2極P2は、先細な形状をしている。
As described above, the
この構成によれば、第1極P1及び第2極P2の磁束密度を向上させることができる。これにより、第1極P1及び第2極P2の一方から空中又は測定対象物9の表層を通って他方へ入る磁束を低減し、測定対象物9に深く入っていく磁束を増加させることができる。その結果、より多くの磁束を測定対象物9に通過させて、測定対象物9に大きな渦電流を発生させることができる。
According to this configuration, the magnetic flux density of the first pole P1 and the second pole P2 can be improved. Thereby, the magnetic flux which enters into the other from the one of the 1st pole P1 and the 2nd pole P2 in the air or through the surface layer of the measuring
また、第1極P1の端縁のうち第2極P2寄りの部分、及び、第2極P2の端縁のうち第1極P1寄りの部分は、切り欠かれている。 Further, a portion near the second pole P2 in the edge of the first pole P1 and a portion near the first pole P1 in the edge of the second pole P2 are cut out.
この構成によれば、並んで配置される第1極P1及び第2極P2のそれぞれの内側の端縁を切り欠くことによって、第1極P1及び第2極P2の一方から空中又は測定対象物9の表層を通って他方へ入る磁束を低減し、測定対象物9に深く入っていく磁束を増加させることができる。それに加えて、コア3を大型にすることなく、第1極P1と第2極P2との間隔を大きくすることができる。
According to this configuration, the inner edge of each of the first pole P1 and the second pole P2 that are arranged side by side is cut out, so that one of the first pole P1 and the second pole P2 is in the air or the measurement object. The magnetic flux that enters the other through the surface layer of 9 can be reduced, and the magnetic flux that enters deeply into the measuring
また、プローブ2は、測定対象物9の厚さdを測定するためのものである。
The
渦電流を用いた厚さ測定においては、測定対象物9に大きな渦電流を発生させることが望まれる。そのため、プローブ2が特に有効となる。
In the thickness measurement using the eddy current, it is desired to generate a large eddy current in the
さらに、コア3は、パーマロイで形成されている。
Furthermore, the
この構成によれば、パーマロイが高透磁性材料なので、コア3の長手方向の最も端の部分から磁束が出る傾向が強くなる。そのため、前述のように第1極P1及び第2極P2に切欠部36,37を形成しても、切欠部36,37からの磁束は増加せず、第1極P1又は第2極P2の最も先の部分からでる磁束、又は、最も先の部分へ入ってくる磁束を増加させることができる。
According to this configuration, since permalloy is a highly magnetically permeable material, the tendency for magnetic flux to be emitted from the end portion in the longitudinal direction of the
また、コア3は、積層板で形成されている。
The
この構成よれば、コア3に発生する磁場を強くすることができる。
According to this configuration, the magnetic field generated in the
《その他の実施形態》
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、前記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、前記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
<< Other Embodiments >>
As described above, the embodiment has been described as an example of the technique disclosed in the present application. However, the technology in the present disclosure is not limited to this, and can also be applied to an embodiment in which changes, replacements, additions, omissions, and the like are appropriately performed. Moreover, it is also possible to combine each component demonstrated by the said embodiment and it can also be set as a new embodiment. In addition, among the components described in the attached drawings and detailed description, not only the components essential for solving the problem, but also the components not essential for solving the problem in order to illustrate the technology. May also be included. Therefore, it should not be immediately recognized that these non-essential components are essential as those non-essential components are described in the accompanying drawings and detailed description.
前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。 About the said embodiment, it is good also as following structures.
例えば、プローブ2は、厚さ測定装置100に適用されているが、これに限られるものではない。対象物に渦電流を発生させる必要がある装置であれば、前述のプローブ2を適用することができる。
For example, the
さらに、プローブ2は、前述の構成に限られない。例えば、プローブ2は、受信コイル42を備えていなくてもよい。その場合、測定対象物9の渦電流を、プローブ2とは物理的に分離された受信コイルで検出してもよい。また、測定対象物9の渦電流は、ホール素子等で検出こともできる。
Furthermore, the
また、コア3は、第1直線部31、第2直線部32及び連結部33を有する概ねU字状に形成されているが、これに限られるものではない。例えば、コア3は、第1極P1と第2極P2とを有していればよく、例えば、第1直線部31と第2直線部32とが物理的に分離されていてもよい。ただし、前述のように第1直線部31と第2直線部32とを連結部33によって連結することによって、連結部33がヨークのように作用するので、コア3に形成される磁場が強くなる。
Moreover, although the
また、第1励磁コイル41Aと第2励磁コイル41Bは、電気的に分離された別々の電線で形成されていてもよい。励磁コイル41は、第1直線部31と第2直線部32との2箇所ではなく、1箇所だけに設けられていてもよい。励磁コイル41は、連結部33に巻回されていてもよい。
Further, the
さらに、厚さ測定装置100による厚さ測定は、一例に過ぎない。PECによる厚さ測定方法は、様々であるので、任意の測定手法を採用することができる。
Furthermore, the thickness measurement by the
また、厚さ測定装置100の構成も一例に過ぎない。センサ装置10と演算装置6は、一体的に構成されていてもよい。また、センサ装置10のプローブ2、励磁部51及び検出部54を別筐体に収容して分離してもよい。また、センサ装置10と演算装置6とが有線で接続されていてもよい。また、1つの演算装置6に対して複数のセンサ装置10が接続されていてもよい。また、演算装置6は、無線又は有線により接続された他の装置に対して、演算した厚さに関するデータを送信するようにしてもよい。
Moreover, the structure of the
以上説明したように、ここに開示された技術は、プローブについて有用である。 As described above, the technique disclosed herein is useful for probes.
2 プローブ
3 コア
41A 第1励磁コイル(コイル)
41B 第2励磁コイル(コイル)
9 測定対象物(対象物)
P1 第1極
P2 第2極
2
41B Second excitation coil (coil)
9 Measurement object (object)
P1 1st pole P2 2nd pole
Claims (5)
前記対象物に対向するように配置され且つ互いに反対の磁性に励磁される第1極及び第2極を有し、前記第1極及び前記第2極の一方から出て他方へ入る磁束を対象物に通過させるコアと、
前記コアに巻回され、前記コアを励磁するコイルとを備え、
前記第1極及び前記第2極は、先細な形状をしていることを特徴とするプローブ。 A probe for generating an eddy current in an object,
A first magnetic pole and a second magnetic pole that are arranged so as to face the object and are excited by opposite magnetism, and the magnetic flux that exits from one of the first and second poles and enters the other A core to be passed through,
A coil wound around the core and exciting the core;
The probe characterized in that the first pole and the second pole have a tapered shape.
前記第1極の端縁のうち前記第2極寄りの部分、及び、前記第2極の端縁のうち前記第1極寄りの部分は、切り欠かれていることを特徴とするプローブ。 The probe according to claim 1, wherein
2. The probe according to claim 1, wherein a portion near the second pole in the edge of the first pole and a portion near the first pole in the edge of the second pole are cut out.
前記プローブは、対象物の厚さを測定するためのものであることを特徴とするプローブ。 The probe according to claim 1 or 2,
The probe is for measuring the thickness of an object.
前記コアは、パーマロイで形成されていることを特徴とするプローブ。 The probe according to any one of claims 1 to 3,
The probe is characterized in that the core is made of permalloy.
前記コアは、積層板で形成されていることを特徴とするプローブ。
The probe according to any one of claims 1 to 4,
The probe is characterized in that the core is formed of a laminated plate.
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