JP2019018197A - サイドロードされるewodデバイスのためのスペーサ - Google Patents
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Abstract
Description
・電気的駆動回路が、下部基板10の上に集積できる。
・TFTベースの薄膜電子回路は、AM−EWODの適用によく適している。それらは安く製造できるため、比較的大きな基板領域が比較的安いコストで製造できる。
・通常のプロセスで製造されたTFTは、通常のCMOSプロセスで製造されたトランジスタより高い電圧で動作するように設計されうる。このことは、多くのEWOD技術が印加されるべき電圧として20V以上のエレクトロウェッティング電圧を要求することから、重要な事項である。
12 − アレイ素子電極
12A − 個々のアレイ素子電極
12B − 個々のアレイ素子電極
14 − 液滴
16 − 上部基板
18 − スペーサ
20 − 非極性周囲流体
22 − 絶縁体層
24 − 第1の疎水性コーティング
26 − 接触角
28 − 第2の疎水性コーティング
30 − 参照電極
36 − AM-EWODデバイス
44 − 下部基板
46 − 薄膜電子回路
48 − アレイ素子電極
50 − 電極または素子アレイ
52 − 液滴
54 − 上部基板
56 − スペーサ
62 − 上部基板
64 − 下部基板
66 − スペーサ
67 − デバイスの能動領域
68 − オイル
70 − 気泡
72 − ピペット
74 − 極性流体
80/80a-f − EWODデバイス
82 − 上部基板アセンブリ
84 − 下部基板アセンブリ
86 − スペーサ/スペーサ部分
88 − EWODチャネル
90 − スペーサの領域
92 − スペーサなし領域
93 − 能動領域
94 − オイル
96 − スペーサ歯
97 − スペーサ基板領域
98 − 流体入力ポート
100 − 気泡
102 − ピペットされた極性流体
104 − 薄膜駆動電子回路
106 − 能動領域
108 − 非能動境界領域
114 − リッジ
118 − EWOD電極部分
120 − 液滴
122 − 出口ポート
125 − EWODデバイス
130 − 入力液滴
132 − 極性流体液滴
134 − オイルシェル
Claims (23)
- 誘電体エレクトロウェッティング(EWOD)デバイスであって、
第1の基板アセンブリおよび第2の基板アセンブリと、ここにおいて、前記第1および第2の基板アセンブリは、対向する内側表面を有し、および、
前記第1および第2の基板アセンブリの前記対向する内側表面の間にチャネルを定義するために、前記第1の基板アセンブリの内側表面を前記第2の基板アセンブリの内側表面から間隔をおいて配置するように、前記第1の基板アセンブリと前記第2の基板アセンブリを位置づけるスペーサ部分と、を備え、
ここにおいて、前記スペーサ部分は、前記チャネルと流体連通している複数の流体入力ポートを定義し、前記スペーサ部分は、前記流体入力ポートから前記チャネルへと流体を向けるように構成されている、
EWODデバイス。 - 前記スペーサ部分は、複数の流体入力部分を定義するための櫛状スペーサ構成を有しており、前記櫛状スペーサ構成は、ベース領域から前記チャネルに延びる交互の歯を含む、請求項1に記載のEWODデバイス。
- 前記チャネルの外部で、前記歯は隣接する流体入力ポートをお互いに分離する、請求項2に記載のEWODデバイス。
- 前記スペーサ部分は、前記EWODデバイス内にスペーサなし領域を形成するために、前記第1および第2の基板アセンブリの一部分とのみ接触する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記スペーサ部分は、前記第1および第2の基板アセンブリの両方と接触する領域を含み、前記チャネルの均一なセルギャップを定義するために前記チャネルに延びる、請求項4に記載のEWODデバイス。
- 前記チャネルへの流体通路を形成する前記スペーサ部分の延長として構成された出口ポートをさらに備える、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記流体入力ポートを定義する、前記チャネルと反対側の前記スペーサ部分の一部は、円形である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記第1の基板アセンブリまたは前記第2の基板アセンブリのうちの一つは、エレクトロウェッティング電圧を前記チャネルに印加するための薄膜電子回路を含み、前記薄膜電子回路は、前記チャネル内で能動領域を定義し、および、
前記薄膜電子回路を含む基板アセンブリは、エレクトロウェッティング電圧が印加されない、能動領域に隣接する非能動境界領域を定義する、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載のEWODデバイス。 - 前記スペーサ部分は、前記複数の流体入力ポートを定義する櫛状のスペーサ構成を有しており、前記櫛状のスペーサ構成は、ベース領域から前記非能動境界領域を越えて前記チャネルに、そして、前記能動領域に延びる交互の歯を含む、請求項8に記載のEWODデバイス。
- 前記非能動境界領域の幅が「w」で表され、前記第1および第2の基板アセンブリの間の前記チャネルのセルギャップ寸法が「d」で表される場合、前記流体入力ポートは、少なくとも半径w/2、高さdの円盤の体積に相当する入力流体の最小体積を受けるようなサイズである、請求項8乃至9のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記非能動境界領域は、前記薄膜電子回路を含む前記基板アセンブリの、少なくともいくつかの反対側のエッジ上で対称である、請求項8乃至10のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記非能動境界領域は非対称であって、前記薄膜電子回路を含む前記基板アセンブリの異なるエッジ上で異なるサイズを有する、請求項8乃至11のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記薄膜電子回路を含む前記基板アセンブリは、前記非能動境界領域に隣接するリッジを有する、請求項8乃至12のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記第1の基板アセンブリは上部基板アセンブリであり、前記薄膜電子回路を含む、請求項8乃至13のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記第2の基板アセンブリは下部基板アセンブリであり、前記薄膜電子回路を含む、請求項8乃至13のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記薄膜電子回路を組み込んだ前記基板アセンブリの少なくとも1つのエッジは、前記能動領域と一致する、請求項8乃至15のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 前記第1の基板アセンブリまたは前記第2の基板アセンブリのうちの1つは、エレクトロウェッティング電圧を前記チャネルに印加するための薄膜電子回路を含み、前記薄膜電子回路は前記チャネル内で能動領域を定義し、および、
前記能動領域の一部は、前記薄膜電子回路を含む基板アセンブリを越えて延びる、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載のEWODデバイス。 - 前記第2の基板アセンブリは下部基板アセンブリであり、前記薄膜電子回路を含む、請求項17に記載のEWODデバイス。
- 前記スペーサ部分は、前記第1の基板アセンブリあるいは前記第2の基板アセンブリのうちの一つの上に配置されたフォトレジスト層を備える、請求項1乃至18のいずれか一項に記載のEWODデバイス。
- 誘電体エレクトロウェッティング(EWOD)デバイスに流体を入力する方法であって、前記EWODデバイスは、
第1の基板アセンブリおよび第2の基板アセンブリと、ここにおいて、前記第1および第2の基板アセンブリは対向する内側表面を有し、および、
前記第1および第2の基板アセンブリの前記対向する内側表面の間にチャネルを定義するために、前記第1の基板アセンブリの内側表面を前記第2の基板アセンブリの内側表面から間隔をおいて配置するように、前記第1の基板アセンブリと前記第2の基板アセンブリを位置づけるスペーサ部分と、を備え、
ここにおいて、前記スペーサ部分は、前記チャネルと流体連通している複数の流体入力ポートを定義し、前記スペーサ部分は、前記流体入力ポートから前記チャネルへと流体を向けるように構成されており、
流体を入力する前記方法は、
前記流体入力ポートの一つを介して前記チャネルに非極性流体を入力することと、
前記スペーサ部分によって定義された前記流体入力ポートの前記一つに極性流体を入力することと、前記流体入力ポートの一つにおける前記スペーサ部分の構成は、前記チャネルに前記極性流体を向けるものであり、および、
前記極性流体を前記チャネルに移動するために、エレクトロウェッティング電圧を印加すること、
とのステップを備える、流体を入力する方法。 - 前記スペーサ部分は、前記EWODデバイス内にスペーサなし領域を形成するために、前記第1および第2の基板アセンブリの一部分とのみ接触し、前記方法は、
前記スペーサなし領域内に気泡を形成するために、前記非極性流体で前記チャネルを不完全に充填することと、および、
前記気泡と前記非極性流体が出会う境界にある前記スペーサ部分によって定義される、前記流体入力ポートの一つに極性流体を入力すること、
とのステップをさらに備える、請求項20に記載の流体を入力する方法。 - 前記スペーサ部分は、前記EWODデバイス内にスペーサなし領域を形成するために、前記第1および第2の基板アセンブリの一部分とのみ接触し、前記方法は、
前記スペーサなし領域内に非極性流体の本体と気泡を形成するために、前記非極性流体で前記チャネルを不完全に充填することと、
前記非極性流体のシェルの中に入れられた極性流体の液滴を含む、入力液滴を形成することと、
前記非極性流体の前記本体から間隔をおいて配置された、前記スペーサ部分によって定義される前記流体入力ポートの一つに、前記入力液滴を入力することと、および、
前記非極性流体の前記本体と接触するように前記入力液滴を移動するために、エレクトロウェッティング電圧を印加すること、
とのステップを備えた、請求項20に記載の流体を入力する方法。 - 前記第1の基板アセンブリあるいは前記第2の基板アセンブリのうちの一つの上に配置されたフォトレジスト層から前記スペーサ部分を形成すること、をさらに備えた、請求項20乃至22の何れか一項に記載の流体を入力する方法。
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EP3795252A1 (en) * | 2019-09-19 | 2021-03-24 | Sharp Life Science (EU) Limited | Conductive spacer for a microfluidic device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005510347A (ja) * | 2001-11-26 | 2005-04-21 | ケック グラデュエイト インスティテュート | 化学、生化学、および生物学的アッセイ等のためにエレクトロウェッティングを介してマイクロ流体制御する方法、装置、および物 |
JP2011252768A (ja) * | 2010-06-01 | 2011-12-15 | Sharp Corp | マイクロ分析チップ、該マイクロ分析チップを用いた分析装置、及び送液方法 |
JP2012103252A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | マイクロ流体デバイスにおける液滴の蒸発制御方法 |
WO2015164846A1 (en) * | 2014-04-25 | 2015-10-29 | Berkeley Lights, Inc. | Dep force control and electrowetting control in different sections of the same microfluidic apparatus |
WO2016161400A1 (en) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | Abbott Laboratories | Devices and methods for sample analysis |
WO2017078059A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | シャープ マイクロフルイディック ソリューションズ リミテッド | エレクトロウェッティング装置およびその製造方法並びに液滴注入方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6565727B1 (en) | 1999-01-25 | 2003-05-20 | Nanolytics, Inc. | Actuators for microfluidics without moving parts |
US6911132B2 (en) | 2002-09-24 | 2005-06-28 | Duke University | Apparatus for manipulating droplets by electrowetting-based techniques |
US20070075922A1 (en) | 2005-09-28 | 2007-04-05 | Jessop Richard V | Electronic display systems |
JP2009014342A (ja) | 2005-10-19 | 2009-01-22 | Sharp Corp | 誘電泳動チップおよび誘電泳動装置並びに誘電泳動システム |
CN1862249B (zh) | 2006-04-20 | 2012-01-04 | 上海科勒电子科技有限公司 | 干电池供电主动式红外感应器具的节能处理方法 |
WO2011020020A2 (en) | 2009-08-14 | 2011-02-17 | University Of Cincinnati | Display pixels, displays, and methods of operating display pixels |
US8470153B2 (en) | 2011-07-22 | 2013-06-25 | Tecan Trading Ag | Cartridge and system for manipulating samples in liquid droplets |
US8980075B2 (en) | 2011-07-29 | 2015-03-17 | The Texas A & M University System | Digital microfluidic platform for actuating and heating individual liquid droplets |
CN203012239U (zh) * | 2012-12-05 | 2013-06-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板以及电润湿显示设备 |
WO2015023747A1 (en) | 2013-08-13 | 2015-02-19 | Advanced Liquid Logic, Inc. | Methods of improving accuracy and precision of droplet metering using an on-actuator reservoir as the fluid input |
US10137450B2 (en) | 2014-07-18 | 2018-11-27 | Tecan Trading Ag | Microfluidics cartridge with pipetting guide |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005510347A (ja) * | 2001-11-26 | 2005-04-21 | ケック グラデュエイト インスティテュート | 化学、生化学、および生物学的アッセイ等のためにエレクトロウェッティングを介してマイクロ流体制御する方法、装置、および物 |
JP2011252768A (ja) * | 2010-06-01 | 2011-12-15 | Sharp Corp | マイクロ分析チップ、該マイクロ分析チップを用いた分析装置、及び送液方法 |
JP2012103252A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | マイクロ流体デバイスにおける液滴の蒸発制御方法 |
WO2015164846A1 (en) * | 2014-04-25 | 2015-10-29 | Berkeley Lights, Inc. | Dep force control and electrowetting control in different sections of the same microfluidic apparatus |
WO2016161400A1 (en) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | Abbott Laboratories | Devices and methods for sample analysis |
WO2017078059A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | シャープ マイクロフルイディック ソリューションズ リミテッド | エレクトロウェッティング装置およびその製造方法並びに液滴注入方法 |
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